JP2528088B2 - 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体Info
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- JP2528088B2 JP2528088B2 JP2185528A JP18552890A JP2528088B2 JP 2528088 B2 JP2528088 B2 JP 2528088B2 JP 2185528 A JP2185528 A JP 2185528A JP 18552890 A JP18552890 A JP 18552890A JP 2528088 B2 JP2528088 B2 JP 2528088B2
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- Japan
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- magneto
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- optical recording
- film
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ光線及び外部磁界を用いて情報の記
録，再生，消去を行う光磁気記録媒体に関するものであ
る。
録，再生，消去を行う光磁気記録媒体に関するものであ
る。
書き換え可能な光ディスクとして、磁気モーメントの
配向による偏光面の回転を利用した光磁気方式の記録膜
がある。
配向による偏光面の回転を利用した光磁気方式の記録膜
がある。
この光磁気方式による記録膜では、Tb,Gd,Nd,Dyなど
の希土類とFe,Coなどの遷移金属を合金化したものが知
られている。
の希土類とFe,Coなどの遷移金属を合金化したものが知
られている。
しかしながら、このような記録膜は、カー回転角が小
さく十分な再生信号が得られにくい。そこで光学的にエ
ンハンス効果を利用したり、特開昭57−78652の様に記
録層には保磁力の大きい材料を、再生層にはカー回転角
の大きな材料を用いる２層構造が知られている。
さく十分な再生信号が得られにくい。そこで光学的にエ
ンハンス効果を利用したり、特開昭57−78652の様に記
録層には保磁力の大きい材料を、再生層にはカー回転角
の大きな材料を用いる２層構造が知られている。
しかし、全く異なる組成を積層するために、成膜プロ
セスが複雑になり、時間も要しコスト高となってしま
う。また、各層の拡散等より寿命が短いことが心配され
る。
セスが複雑になり、時間も要しコスト高となってしま
う。また、各層の拡散等より寿命が短いことが心配され
る。
従って、本発明は膜組成を変化させること無しに、記
録及び再生層からなる２層構造を有する光磁気記録媒体
を提供することを目的としてなされるものである。
録及び再生層からなる２層構造を有する光磁気記録媒体
を提供することを目的としてなされるものである。
そのため本発明は、記録膜組成Tb21〜25at％,Co12〜1
5at％，残部が実質的にFeよりなる組成を用い、再生層
にスパッタ圧力が低い状態で形成されるカー回転角の大
きな膜と、記録層にスパッタ圧力が大きい状態で形成さ
れる保磁力の大きな膜との２層構造を有する光磁気記録
媒体である。
5at％，残部が実質的にFeよりなる組成を用い、再生層
にスパッタ圧力が低い状態で形成されるカー回転角の大
きな膜と、記録層にスパッタ圧力が大きい状態で形成さ
れる保磁力の大きな膜との２層構造を有する光磁気記録
媒体である。
再生層，記録層ともに同一組成の膜を用いるので、タ
ーゲットは１つでよく、また成膜プロセスが従来とほと
んど変わらないのでコスト高になることなしに、カー回
転角，保磁力の良好な記録媒体を得ることができる。
ーゲットは１つでよく、また成膜プロセスが従来とほと
んど変わらないのでコスト高になることなしに、カー回
転角，保磁力の良好な記録媒体を得ることができる。
また、同一組成であるため長期間記録物を保存しても
拡散等の問題も無く、寿命にも影響しない。
拡散等の問題も無く、寿命にも影響しない。
第１図に、カー回転角のスパッタガス圧依存性を第２
図に、保磁力のスパッタガス圧依存性を示す。第１図よ
りカー回転角はスパッタガス圧力の上昇にともなって徐
々に低下していく。一方、保磁力は第２図よりスパッタ
ガス圧力の上昇に伴って急激に上昇する。このようにス
パッタガス圧一定の元ではカー回転角と保磁力にはトレ
ードオフの関係があることがわかる。
図に、保磁力のスパッタガス圧依存性を示す。第１図よ
りカー回転角はスパッタガス圧力の上昇にともなって徐
々に低下していく。一方、保磁力は第２図よりスパッタ
ガス圧力の上昇に伴って急激に上昇する。このようにス
パッタガス圧一定の元ではカー回転角と保磁力にはトレ
ードオフの関係があることがわかる。
そこで、第３図に示すように、ガラス，ポリカーボネ
ート又はアクリル樹脂などで形成された基板１の上にエ
ンハンス膜２としてZnS,SiN3等を膜厚約800Å程度被着
させる。その上に再生層３として膜組成が代表例として
Tb24Fe62Co14at％となる様に調整したターゲットをマグ
ネトロンスパッタリングにより、Arガス圧約３〜５×10
-1paで膜厚約300〜500Å被着させる。続けてArガス圧を
８〜10×10-1paに変えて記録層４を膜厚約500〜800Å連
続的に被着させる。尚、記録層の膜組成は再生層３の組
成に等しい。こうして成膜された記録層４上にZnS,SiN
等の保護膜５をディスク全面にわたって膜厚約1000Å程
度被着させる。
ート又はアクリル樹脂などで形成された基板１の上にエ
ンハンス膜２としてZnS,SiN3等を膜厚約800Å程度被着
させる。その上に再生層３として膜組成が代表例として
Tb24Fe62Co14at％となる様に調整したターゲットをマグ
ネトロンスパッタリングにより、Arガス圧約３〜５×10
-1paで膜厚約300〜500Å被着させる。続けてArガス圧を
８〜10×10-1paに変えて記録層４を膜厚約500〜800Å連
続的に被着させる。尚、記録層の膜組成は再生層３の組
成に等しい。こうして成膜された記録層４上にZnS,SiN
等の保護膜５をディスク全面にわたって膜厚約1000Å程
度被着させる。
このようにして作成した同一組成の記録−再生専用層
を有する光磁気ディスクに線速4.5m/s,波長780nm,パワ
ー6mWで出射し、外部磁界を400Oeとして、2.8M Hzの周
波数信号を記録したところ正確にピットが形成された。
これをレーザパワー1mWで再生すると、ディスク全面に
わたり、良好なCNRが得られた。
を有する光磁気ディスクに線速4.5m/s,波長780nm,パワ
ー6mWで出射し、外部磁界を400Oeとして、2.8M Hzの周
波数信号を記録したところ正確にピットが形成された。
これをレーザパワー1mWで再生すると、ディスク全面に
わたり、良好なCNRが得られた。
本発明によれば、スパッタによる成膜を異なるアルゴ
ンガス圧で成膜し、同一組成物のカー回転角の大なる再
生用の層と保持力が大なる記録用の層を積層した２層構
造を得るので、保持力が大で記録保持寿命が長く且つ優
れた再生特性を有する光磁気記録媒体を提供することが
できる。
ンガス圧で成膜し、同一組成物のカー回転角の大なる再
生用の層と保持力が大なる記録用の層を積層した２層構
造を得るので、保持力が大で記録保持寿命が長く且つ優
れた再生特性を有する光磁気記録媒体を提供することが
できる。
第１図はカー回転角のスパッタガス圧依存性、第２図は
保磁力のスパッタガス圧依存性を示す図、第３図は本発
明の記録媒体の断面図を示す。 １……基板、２……エンハンス膜 ３……再生膜、４……記録層 ５……保護層である。
保磁力のスパッタガス圧依存性を示す図、第３図は本発
明の記録媒体の断面図を示す。 １……基板、２……エンハンス膜 ３……再生膜、４……記録層 ５……保護層である。
Claims (2)
- 【請求項１】基板上に記録膜組成物を第１のアルゴンガ
ス圧でスパツタ成膜し、次に前記第１のガス圧と異なる
第２のアルゴンガス圧で成膜し、同一組成物の再生層と
記録層を形成することを特徴とする光磁気記録媒体の製
造方法。 - 【請求項２】基板上に記録膜組成物を異なるアルゴンガ
ス圧でスパツタ成膜した同一組成物によるカー回転角の
大きな膜と保磁力の大きな膜の２層構造を有することを
特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185528A JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2185528A JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478040A JPH0478040A (ja) | 1992-03-12 |
| JP2528088B2 true JP2528088B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=16172380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2185528A Expired - Lifetime JP2528088B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2528088B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130345A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Hitachi Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JP2556564B2 (ja) * | 1988-10-11 | 1996-11-20 | キヤノン株式会社 | 光磁気記録媒体 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2185528A patent/JP2528088B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0478040A (ja) | 1992-03-12 |
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