JP2514697Y2 - マウンタ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案はマウンタに関し、詳しく
は半導体装置の製造に使用され、粘着シート上に貼着さ
れた半導体ペレットをコレット及び突き上げピンでもっ
て粘着シートから剥離させ、その半導体ペレットをコレ
ットでもってリードフレーム上に載置するマウンタに関
する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造では、多数の半導体素
子を形成した半導体ウェーハを粘着シート上に貼着した
上で各素子ごとに分割することにより、上記粘着シート
上に多数個の半導体ペレットを形成している。ペレット
マウント工程では、この粘着シート上に貼着された半導
体ペレットがマウンタによりリードフレーム上に移し替
えられてマウントされる。

【０００３】上記ペレットマウント工程で使用されるマ
ウンタでは、図４及び図５に示すように多数の半導体ペ
レット（１）（１）…が整列状態で貼着された粘着シー
ト（２）を水平方向に張設する。具体的に、上記粘着シ
ート（２）はリング状の枠体〔図示せず〕に一定のテン
ションでもって引き伸ばした状態で張り付けられ、各半
導体ペレット（１）（１）…は、後述のコレットが半導
体ペレット吸着時に他の半導体ペレットに干渉しない程
度に間隔をあけた状態でもって粘着シート（２）上に整
列状態で配置されている。尚、上記枠体は水平ＸＹ方向
に移動可能なＸＹテーブル上に取り付けられており、こ
のＸＹテーブルの移動により粘着シート（２）上の所望
の半導体ペレット（１）（１）…を取出しポジションに
位置決め配置するようにしている。

【０００４】このマウンタは、図６に示すように上記粘
着シート（２）の上方に上下動自在に配置されたコレッ
ト（３）と、粘着シート（２）の下方にコレット（３）
と対向させて上下動自在に配置された突き上げピン
（４）とで構成される。具体的に、上記コレット（３）
は、ほぼ水平方向に張りだした上部アーム（５）の先端
に取り付けられ、粘着シート（２）上にある半導体ペレ
ット（１）（１）…の取出しポジションの上方に配置さ
れる。この上部アーム（５）はその基端を回転中心とし
て軸支することによりその先端のコレット（３）を上下
動可能な構造としている。尚、図示しないが上部アーム
（５）の基端にはコレット（３）を上下動させるための
駆動源が連結されている。また、突き上げピン（４）も
ほぼ水平方向に張りだした下部アーム（６）の先端に取
り付けられ、粘着シート（２）上にある半導体ペレット
（１）（１）…の取出しポジションの下方にコレット
（３）と対向させて配置される。この下部アーム（６）
はその基端を回転中心として軸支することにより上下動
可能な構造とし、図示しないがソレノイド或いはエアシ
リンダを駆動源として下部アーム（６）を上下動させて
いる。尚、上述では上部アーム（５）と下部アーム
（６）の駆動源が別々であったが、これ以外にも、カム
機構を利用して単一の駆動源により上部アーム（５）及
び下部アーム（６）を上下動させる構造のものもある。

【０００５】上記構成からなるマウンタでは、粘着シー
ト（２）上にある所望の半導体ペレット（１）（１）…
をＸＹテーブルによる水平ＸＹ方向での移動により取出
しポジションに配置した状態からコレット（３）による
半導体ペレット（１）（１）…のピックアップ動作を開
始する。このピックアップ動作では、図７に示すように
上部アーム（５）をその基端を回転中心として下方に向
けて旋回させることにより先端のコレット（３）を下降
させると共に、このコレット（３）の下降と同期させ
て、下部アーム（６）をその基端を回転中心として上方
に向けて旋回させることにより先端の突き上げピン
（４）を上昇させる。この突き上げピン（４）の上昇に
より粘着シート（２）を介して半導体ペレット（１）が
突き上げられてその貼着面の突き上げピン（４）が当接
する部分を除いて粘着シート（２）上から剥離する。こ
の状態で最下降位置にあるコレット（３）に半導体ペレ
ット（１）が接触して吸着される。その直後、上下部ア
ーム（５）（６）が逆に作動して突き上げピン（４）が
下降すると共にコレット（３）が上昇することにより、
半導体ペレット（１）は粘着シート（２）から完全に剥
離し、コレット（３）により吸着された状態を維持す
る。

【０００６】尚、上述したコレット（３）による半導体
ペレット（１）のピックアップ動作後にマウント動作に
移行する。即ち、コレット（３）を最上昇位置まで上昇
させた上で水平方向に旋回させ、再度下降させて別ポジ
ションにあるリードフレームのランド部に載置し、その
ランド部上に半導体ペレット（１）を半田付けしてマウ
ント動作を完了する。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のマウンタでは、上部アーム（５）の駆動源と下部ア
ーム（６）の駆動源とが別々であったり、或いは上部ア
ーム（５）と下部アーム（６）とをカム機構を介して連
結して単一の駆動源としているため、半導体ペレット
（１）（１）…のピックアップ動作時、上部アーム
（５）先端のコレット（３）と下部アーム（６）先端の
突き上げピン（４）との上下動を同期させることが非常
に困難である。その結果、コレット（３）が定ストロー
ク下降すると共に、突き上げピン（４）により上昇して
きた半導体ペレット（１）をコレット（３）で吸着する
に際し、その吸着後、コレット（３）の上昇タイミング
が遅いとコレット（３）の半導体ペレット（１）への当
たりが強くなり半導体ペレット（１）にクラックが発生
したり欠けが生じる。また、コレット（３）の上昇タイ
ミングが速いとコレット（３）で半導体ペレット（１）
を吸着することができないという問題があった。而も、
粘着シート（２）上での半導体ペレット（１）（１）…
の位置によってその中央部と周辺部とで、突き上げピン
（４）による突き上げ状態において粘着シート（２）か
ら半導体ペレット（１）の一部が剥離している状態が異
なり、半導体ペレット（１）の一部が粘着シート（２）
からあまり剥離されていないと、上述したコレット
（３）による吸着ミスがより一層発生しやすいという問
題が顕著であった。

【０００８】そこで、本考案は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、コレットと突
き上げピンの上下動を完全に同期させて半導体ペレット
の吸着を確実且つ良好に行い得るマウンタを提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本考案における上記目的
を達成するための技術的手段は、多数の半導体ペレット
が整列状態で貼着された粘着シートを水平方向に張設
し、上部アーム先端に取り付けられたコレットを粘着シ
ートの上方に上下動自在に配置すると共に下部アーム先
端に取り付けられた突き上げピンをコレットと対向させ
て粘着シートの下方に上下動自在に配置し、上記コレッ
トの下降と共に突き上げピンの上昇でもって粘着シート
を介して半導体ペレットを突き上げて粘着シートから剥
離させた上でコレットにより吸着保持するものにおい
て、上部アームと下部アームとの間に、突き上げピンと
コレットの相対的な上下動を同期させて突き上げピンと
コレットとを近接・離隔させる吸引手段を設けたことで
ある。

【００１０】

【作用】本考案に係るマウンタでは、上部アームと下部
アームとの間に、突き上げピンとコレットの相対的な上
下動を同期させて突き上げピンとコレットとを近接・離
隔させる吸引手段を設けたことにより、コレットで半導
体ペレットを粘着シートからピックアップするに際して
は、吸引手段の作用によりコレットと突き上げピンとを
完全に同期した状態で近接させ、上記吸着手段の作用停
止によりコレットと突き上げピンとを完全に同期した状
態で離隔させるので、突き上げピンにより突き上げられ
た半導体ペレットを粘着シートから剥離させてコレット
で吸着することが確実且つ良好となる。

【００１１】

【実施例】本考案に係るマウンタの一実施例を図１乃至
図３を参照しながら説明する。尚、半導体ペレット
（１）（１）…については、従来と同様に、粘着シート
（２）上に貼着したものを使用するのでその説明は省略
し、図４乃至図７と同一部分には同一参照符号を付す。

【００１２】本考案の特徴は、図１に示すように先端に
半導体ペレット（１）（１）…を吸着するコレット
（３）を取り付けてそのコレット（３）を取出しポジシ
ョンにある粘着シート（２）上の半導体ペレット（１）
の上方に配置した上部アーム（５）と、先端に粘着シー
ト（２）上の半導体ペレット（１）（１）…を突き上げ
る突き上げピン（４）を植設して粘着シート（２）の下
方にコレット（３）と対向させて配置した下部アーム
（６）との間に、突き上げピン（４）とコレット（３）
の相対的な上下動を同期させて突き上げピン（４）とコ
レット（３）とを近接・離隔させる吸引手段（７）を設
けたことにある。尚、上部アーム（５）はその基端を回
転中心として軸支され、その先端のコレット（３）が上
下動可能な構造となっており、その駆動源については、
従来と同様に、上記コレット（３）を上下動させると共
に水平方向に旋回させるためのものを必要とする。ま
た、下部アーム（６）はその基端を回転中心として軸支
され、その先端の突き上げピン（４）が上下動可能な構
造となっており、その駆動源については必ずしも必要と
するものではない。尚、従来と同様、ソレノイド或いは
エアシリンダ等を設けてもよいが、その場合、吸引手段
（７）が作用する範囲では下部アーム（６）がフリーな
状態で上下動できる構造とする。

【００１３】上記吸引手段（７）を具体的に説明する
と、上部アーム（５）に支持杆（８）を下方に向けて固
着し、その先端に上部電磁石（９）を取り付けると共
に、下部アーム（６）にも支持杆（10）を上方に向けて
固着し、その先端に上記上部電磁石（９）と対向させて
下部電磁石（11）を取り付ける。尚、上部電磁石（９）
と下部電磁石（11）を取り付ける代わりに、一方を電磁
石或いは永久磁石とし、他方を鉄片としてもよい。ま
た、吸引手段（７）の作用時、上部電磁石（９）と下部
電磁石（11）との近接した間隔を位置規制するため、突
き上げピン（４）をその最上昇位置で停止させるように
下部アーム（６）の先端に当接するストッパ（12）を設
ける。尚、このストッパ（12）は、吸引手段（７）の作
用時、上部電磁石（９）と下部電磁石（11）との近接し
た間隔を位置規制することができれば、必ずしも必要と
するものではない。

【００１４】上記構成からなるマウンタでは、粘着シー
ト（２）上にある所望の半導体ペレット（１）（１）…
をＸＹテーブルによる水平ＸＹ方向での移動により取出
しポジションに配置した状態からコレット（３）による
半導体ペレット（１）（１）…のピックアップ動作を開
始する。尚、この時、上部電磁石（９）及び下部電磁石
（11）は通電状態にある。このピックアップ動作では、
図２に示すように上部アーム（５）を駆動源の作動によ
りその基端を回転中心として下方に向けて旋回させるこ
とによりコレット（３）を下降させると、下部電磁石
（11）に対して上部電磁石（９）がその相互間の吸引機
能が作用する範囲に入った時点で、上部電磁石（９）と
下部電磁石（11）とが相互に吸引され下部アーム（６）
がその基端を回転中心として上方に向けて旋回すること
により突き上げピン（４）がコレット（３）と完全に同
期した状態で上昇する。そして、突き上げピン（４）が
所定の位置まで上昇すると、下部アーム（６）の先端が
ストッパ（12）に当接して位置規制され、突き上げピン
（４）がその位置で停止する。これにより、突き上げピ
ン（４）により粘着シート（２）をその下方から突き上
げて粘着シート（２）上の半導体ペレット（１）を粘着
シート（２）から一部剥離させる。これと同時に、コレ
ット（３）が最下降位置に配置され、突き上げピン
（４）で突き上げられた半導体ペレット（１）に当接し
てその半導体ペレット（１）を吸着する。この時、上部
電磁石（９）と下部電磁石（11）とが一定の間隔に近接
配置される。この時点で、上部電磁石（９）及び下部電
磁石（11）への通電を停止させることによりその間での
吸引を遮断させると、図３に示すように下部アーム
（６）がその基端を回転中心として下方に向けて旋回す
ることにより突き上げピン（４）が下降する。一方、そ
の通電停止による吸引の遮断と同時に、上部アーム
（５）を駆動源の作動でもってその基端を回転中心とし
て上方に向けて旋回させることによりコレット（３）を
突き上げピン（４）と完全に同期させた状態で上昇さ
せ、半導体ペレット（１）を粘着シート（２）から完全
に剥離させて吸着した状態を保持する。そのピックアッ
プ動作後、マウント動作に移行し、コレット（３）を最
上昇位置まで上昇させた上で水平方向に旋回させ、再度
下降させて別ポジションにあるリードフレームのランド
部に載置し、そのランド部上に半導体ペレット（１）を
半田付けしてマウント動作を完了する。

【００１５】尚、上記実施例では吸引手段（７）に電磁
石或いは永久磁石、鉄片を使用した場合について説明し
たが、本考案はこれに限定されることなく、上記吸引手
段（７）として真空吸引を利用することも可能である。

【００１６】

【考案の効果】本考案に係るマウンタによれば、上部ア
ームと下部アームとの間に、突き上げピンとコレットの
相対的な上下動を同期させて突き上げピンとコレットと
を近接・離隔させる吸引手段を設けたことにより、簡便
な手段でもって突き上げピンとコレットの上下動を完全
に同期させることができ、コレットによる半導体ペレッ
トの吸着を確実且つ良好に行え、信頼性が大幅に向上す
ると共に歩留まりの飛躍的な向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るマウンタの一実施例を示す概略構
成図

【図２】図１のコレットの下降状態及び突き上げピンの
上昇状態を示す要部拡大図

【図３】図１のコレットの上昇状態及び突き上げピンの
下降状態を示す要部拡大図

【図４】粘着シート上の半導体ペレットを示す部分平面
図

【図５】図４のＩ−Ｉ線に沿う断面図

【図６】マウンタの従来例を示す概略構成図

【図７】図６のコレットの下降状態及び突き上げピンの
上昇状態を示す要部拡大図

【符号の説明】

１ 半導体ペレット ２ 粘着シート ３ コレット ４ 突き上げピン ５ 上部アーム ６ 下部アーム ７ 吸引手段

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の半導体ペレットが整列状態で貼着
   された粘着シートを水平方向に張設し、上部アーム先端
   に取り付けられたコレットを粘着シートの上方に上下動
   自在に配置すると共に下部アーム先端に取り付けられた
   突き上げピンをコレットと対向させて粘着シートの下方
   に上下動自在に配置し、上記コレットの下降と共に突き
   上げピンの上昇でもって粘着シートを介して半導体ペレ
   ットを突き上げて粘着シートから剥離させた上でコレッ
   トにより吸着保持するものにおいて、上部アームと下部
   アームとの間に、突き上げピンとコレットの相対的な上
   下動を同期させて突き上げピンとコレットとを近接・離
   隔させる吸引手段を設けたことを特徴とするマウンタ。
2. 【請求項２】 吸引手段が磁気的吸着手段であることを
   特徴とする請求項１記載のマウンタ。
3. 【請求項３】 吸引手段が真空吸着手段であることを特
   徴とする請求項１記載のマウンタ。