JPH04111736U - マウンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡便な手段によりコレットと突き上げピンの
上下動を完全に同期させてコレットによる半導体ペレッ
トの吸着を確実且つ良好に行なうことにある。 【構成】 多数の半導体ペレット（１）（１）…が整列
状態で貼着された粘着シート（２）に対して、下部アー
ム（６）の先端に取り付けられた突き上げピン（４）を
上昇させて粘着シート（２）の下方から半導体ペレット
（１）を突き上げてその一部を粘着シート（２）から剥
離させると共に、上部アーム（５）の先端に取り付けら
れたコレット（３）を下降させて上記半導体ペレット
（１）をコレット（３）で吸着保持するものであって、
上部アーム（５）と下部アーム（６）との間に、突き上
げピン（４）とコレット（３）の上下動を同期させて突
き上げピン（４）とコレット（３）とを近接・離隔させ
る電磁石或いは永久磁石などの吸引手段（７）を設けた
ことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はマウンタに関し、詳しくは半導体装置の製造に使用され、粘着シート 上に貼着された半導体ペレットをコレット及び突き上げピンでもって粘着シート から剥離させ、その半導体ペレットをコレットでもってリードフレーム上に載置 するマウンタに関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体装置の製造では、多数の半導体素子を形成した半導体ウェーハを粘着シ ート上に貼着した上で各素子ごとに分割することにより、上記粘着シート上に多 数個の半導体ペレットを形成している。ペレットマウント工程では、この粘着シ ート上に貼着された半導体ペレットがマウンタによりリードフレーム上に移し替 えられてマウントされる。

【０００３】 上記ペレットマウント工程で使用されるマウンタでは、図４及び図５に示す ように多数の半導体ペレット（１）（１）…が整列状態で貼着された粘着シート （２）を水平方向に張設する。具体的に、上記粘着シート（２）はリング状の枠 体〔図示せず〕に一定のテンションでもって引き伸ばした状態で張り付けられ、 各半導体ペレット（１）（１）…は、後述のコレットが半導体ペレット吸着時に 他の半導体ペレットに干渉しない程度に間隔をあけた状態でもって粘着シート（ ２）上に整列状態で配置されている。尚、上記枠体は水平ＸＹ方向に移動可能な ＸＹテーブル上に取り付けられており、このＸＹテーブルの移動により粘着シー ト（２）上の所望の半導体ペレット（１）（１）…を取出しポジションに位置決 め配置するようにしている。

【０００４】 このマウンタは、図６に示すように上記粘着シート（２）の上方に上下動自在 に配置されたコレット（３）と、粘着シート（２）の下方にコレット（３）と対 向させて上下動自在に配置された突き上げピン（４）とで構成される。具体的に 、上記コレット（３）は、ほぼ水平方向に張りだした上部アーム（５）の先端に 取り付けられ、粘着シート（２）上にある半導体ペレット（１）（１）…の取出 しポジションの上方に配置される。この上部アーム（５）はその基端を回転中心 として軸支することによりその先端のコレット（３）を上下動可能な構造として いる。尚、図示しないが上部アーム（５）の基端にはコレット（３）を上下動さ せるための駆動源が連結されている。また、突き上げピン（４）もほぼ水平方向 に張りだした下部アーム（６）の先端に取り付けられ、粘着シート（２）上にあ る半導体ペレット（１）（１）…の取出しポジションの下方にコレット（３）と 対向させて配置される。この下部アーム（６）はその基端を回転中心として軸支 することにより上下動可能な構造とし、図示しないがソレノイド或いはエアシリ ンダを駆動源として下部アーム（６）を上下動させている。尚、上述では上部ア ーム（５）と下部アーム（６）の駆動源が別々であったが、これ以外にも、カム 機構を利用して単一の駆動源により上部アーム（５）及び下部アーム（６）を上 下動させる構造のものもある。

【０００５】 上記構成からなるマウンタでは、粘着シート（２）上にある所望の半導体ペレ ット（１）（１）…をＸＹテーブルによる水平ＸＹ方向での移動により取出しポ ジションに配置した状態からコレット（３）による半導体ペレット（１）（１） …のピックアップ動作を開始する。このピックアップ動作では、図７に示すよう に上部アーム（５）をその基端を回転中心として下方に向けて旋回させることに より先端のコレット（３）を下降させると共に、このコレット（３）の下降と同 期させて、下部アーム（６）をその基端を回転中心として上方に向けて旋回させ ることにより先端の突き上げピン（４）を上昇させる。この突き上げピン（４） の上昇により粘着シート（２）を介して半導体ペレット（１）が突き上げられて その貼着面の突き上げピン（４）が当接する部分を除いて粘着シート（２）上か ら剥離する。この状態で最下降位置にあるコレット（３）に半導体ペレット（１ ）が接触して吸着される。その直後、上下部アーム（５）（６）が逆に作動して 突き上げピン（４）が下降すると共にコレット（３）が上昇することにより、半 導体ペレット（１）は粘着シート（２）から完全に剥離し、コレット（３）によ り吸着された状態を維持する。

【０００６】 尚、上述したコレット（３）による半導体ペレット（１）のピックアップ動作 後にマウント動作に移行する。即ち、コレット（３）を最上昇位置まで上昇させ た上で水平方向に旋回させ、再度下降させて別ポジションにあるリードフレーム のランド部に載置し、そのランド部上に半導体ペレット（１）を半田付けしてマ ウント動作を完了する。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上述した従来のマウンタでは、上部アーム（５）の駆動源と下部ア ーム（６）の駆動源とが別々であったり、或いは上部アーム（５）と下部アーム （６）とをカム機構を介して連結して単一の駆動源としているため、半導体ペレ ット（１）（１）…のピックアップ動作時、上部アーム（５）先端のコレット（ ３）と下部アーム（６）先端の突き上げピン（４）との上下動を同期させること が非常に困難である。その結果、コレット（３）が定ストローク下降すると共に 、突き上げピン（４）により上昇してきた半導体ペレット（１）をコレット（３ ）で吸着するに際し、その吸着後、コレット（３）の上昇タイミングが遅いとコ レット（３）の半導体ペレット（１）への当たりが強くなり半導体ペレット（１ ）にクラックが発生したり欠けが生じる。また、コレット（３）の上昇タイミン グが速いとコレット（３）で半導体ペレット（１）を吸着することができないと いう問題があった。而も、粘着シート（２）上での半導体ペレット（１）（１） …の位置によってその中央部と周辺部とで、突き上げピン（４）による突き上げ 状態において粘着シート（２）から半導体ペレット（１）の一部が剥離している 状態が異なり、半導体ペレット（１）の一部が粘着シート（２）からあまり剥離 されていないと、上述したコレット（３）による吸着ミスがより一層発生しやす いという問題が顕著であった。

【０００８】 そこで、本考案は上記問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とするとこ ろは、コレットと突き上げピンの上下動を完全に同期させて半導体ペレットの吸 着を確実且つ良好に行い得るマウンタを提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

本考案における上記目的を達成するための技術的手段は、多数の半導体ペレッ トが整列状態で貼着された粘着シートを水平方向に張設し、上部アーム先端に取 り付けられたコレットを粘着シートの上方に上下動自在に配置すると共に下部ア ーム先端に取り付けられた突き上げピンをコレットと対向させて粘着シートの下 方に上下動自在に配置し、上記コレットの下降と共に突き上げピンの上昇でもっ て粘着シートを介して半導体ペレットを突き上げて粘着シートから剥離させた上 でコレットにより吸着保持するものにおいて、上部アームと下部アームとの間に 、突き上げピンとコレットの相対的な上下動を同期させて突き上げピンとコレッ トとを近接・離隔させる吸引手段を設けたことである。

【００１０】

【作用】

本考案に係るマウンタでは、上部アームと下部アームとの間に、突き上げピン とコレットの相対的な上下動を同期させて突き上げピンとコレットとを近接・離 隔させる吸引手段を設けたことにより、コレットで半導体ペレットを粘着シート からピックアップするに際しては、吸引手段の作用によりコレットと突き上げピ ンとを完全に同期した状態で近接させ、上記吸着手段の作用停止によりコレット と突き上げピンとを完全に同期した状態で離隔させるので、突き上げピンにより 突き上げられた半導体ペレットを粘着シートから剥離させてコレットで吸着する ことが確実且つ良好となる。

【００１１】

【実施例】

本考案に係るマウンタの一実施例を図１乃至図３を参照しながら説明する。尚 、半導体ペレット（１）（１）…については、従来と同様に、粘着シート（２） 上に貼着したものを使用するのでその説明は省略し、図４乃至図７と同一部分に は同一参照符号を付す。

【００１２】 本考案の特徴は、図１に示すように先端に半導体ペレット（１）（１）…を吸 着するコレット（３）を取り付けてそのコレット（３）を取出しポジションにあ る粘着シート（２）上の半導体ペレット（１）の上方に配置した上部アーム（５ ）と、先端に粘着シート（２）上の半導体ペレット（１）（１）…を突き上げる 突き上げピン（４）を植設して粘着シート（２）の下方にコレット（３）と対向 させて配置した下部アーム（６）との間に、突き上げピン（４）とコレット（３ ）の相対的な上下動を同期させて突き上げピン（４）とコレット（３）とを近接 ・離隔させる吸引手段（７）を設けたことにある。尚、上部アーム（５）はその 基端を回転中心として軸支され、その先端のコレット（３）が上下動可能な構造 となっており、その駆動源については、従来と同様に、上記コレット（３）を上 下動させると共に水平方向に旋回させるためのものを必要とする。また、下部ア ーム（６）はその基端を回転中心として軸支され、その先端の突き上げピン（４ ）が上下動可能な構造となっており、その駆動源については必ずしも必要とする ものではない。尚、従来と同様、ソレノイド或いはエアシリンダ等を設けてもよ いが、その場合、吸引手段（７）が作用する範囲では下部アーム（６）がフリー な状態で上下動できる構造とする。

【００１３】 上記吸引手段（７）を具体的に説明すると、上部アーム（５）に支持杆（８） を下方に向けて固着し、その先端に上部電磁石（９）を取り付けると共に、下部 アーム（６）にも支持杆（10）を上方に向けて固着し、その先端に上記上部電磁 石（９）と対向させて下部電磁石（11）を取り付ける。尚、上部電磁石（９）と 下部電磁石（11）を取り付ける代わりに、一方を電磁石或いは永久磁石とし、他 方を鉄片としてもよい。また、吸引手段（７）の作用時、上部電磁石（９）と下 部電磁石（11）との近接した間隔を位置規制するため、突き上げピン（４）をそ の最上昇位置で停止させるように下部アーム（６）の先端に当接するストッパ（ 12）を設ける。尚、このストッパ（12）は、吸引手段（７）の作用時、上部電磁 石（９）と下部電磁石（11）との近接した間隔を位置規制することができれば、 必ずしも必要とするものではない。

【００１４】 上記構成からなるマウンタでは、粘着シート（２）上にある所望の半導体ペレ ット（１）（１）…をＸＹテーブルによる水平ＸＹ方向での移動により取出しポ ジションに配置した状態からコレット（３）による半導体ペレット（１）（１） …のピックアップ動作を開始する。尚、この時、上部電磁石（９）及び下部電磁 石（11）は通電状態にある。このピックアップ動作では、図２に示すように上部 アーム（５）を駆動源の作動によりその基端を回転中心として下方に向けて旋回 させることによりコレット（３）を下降させると、下部電磁石（11）に対して上 部電磁石（９）がその相互間の吸引機能が作用する範囲に入った時点で、上部電 磁石（９）と下部電磁石（11）とが相互に吸引され下部アーム（６）がその基端 を回転中心として上方に向けて旋回することにより突き上げピン（４）がコレッ ト（３）と完全に同期した状態で上昇する。そして、突き上げピン（４）が所定 の位置まで上昇すると、下部アーム（６）の先端がストッパ（12）に当接して位 置規制され、突き上げピン（４）がその位置で停止する。これにより、突き上げ ピン（４）により粘着シート（２）をその下方から突き上げて粘着シート（２） 上の半導体ペレット（１）を粘着シート（２）から一部剥離させる。これと同時 に、コレット（３）が最下降位置に配置され、突き上げピン（４）で突き上げら れた半導体ペレット（１）に当接してその半導体ペレット（１）を吸着する。こ の時、上部電磁石（９）と下部電磁石（11）とが一定の間隔に近接配置される。 この時点で、上部電磁石（９）及び下部電磁石（11）への通電を停止させること によりその間での吸引を遮断させると、図３に示すように下部アーム（６）がそ の基端を回転中心として下方に向けて旋回することにより突き上げピン（４）が 下降する。一方、その通電停止による吸引の遮断と同時に、上部アーム（５）を 駆動源の作動でもってその基端を回転中心として上方に向けて旋回させることに よりコレット（３）を突き上げピン（４）と完全に同期させた状態で上昇させ、 半導体ペレット（１）を粘着シート（２）から完全に剥離させて吸着した状態を 保持する。そのピックアップ動作後、マウント動作に移行し、コレット（３）を 最上昇位置まで上昇させた上で水平方向に旋回させ、再度下降させて別ポジショ ンにあるリードフレームのランド部に載置し、そのランド部上に半導体ペレット （１）を半田付けしてマウント動作を完了する。

【００１５】 尚、上記実施例では吸引手段（７）に電磁石或いは永久磁石、鉄片を使用した 場合について説明したが、本考案はこれに限定されることなく、上記吸引手段（ ７）として真空吸引を利用することも可能である。

【００１６】

【考案の効果】

本考案に係るマウンタによれば、上部アームと下部アームとの間に、突き上げ ピンとコレットの相対的な上下動を同期させて突き上げピンとコレットとを近接 ・離隔させる吸引手段を設けたことにより、簡便な手段でもって突き上げピンと コレットの上下動を完全に同期させることができ、コレットによる半導体ペレッ トの吸着を確実且つ良好に行え、信頼性が大幅に向上すると共に歩留まりの飛躍 的な向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るマウンタの一実施例を示す概略構
成図

【図２】図１のコレットの下降状態及び突き上げピンの
上昇状態を示す要部拡大図

【図３】図１のコレットの上昇状態及び突き上げピンの
下降状態を示す要部拡大図

【図４】粘着シート上の半導体ペレットを示す部分平面
図

【図５】図４のＩ−Ｉ線に沿う断面図

【図６】マウンタの従来例を示す概略構成図

【図７】図６のコレットの下降状態及び突き上げピンの
上昇状態を示す要部拡大図

【符号の説明】

１ 半導体ペレット ２ 粘着シート ３ コレット ４ 突き上げピン ５ 上部アーム ６ 下部アーム ７ 吸引手段

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 多数の半導体ペレットが整列状態で貼着
   された粘着シートを水平方向に張設し、上部アーム先端
   に取り付けられたコレットを粘着シートの上方に上下動
   自在に配置すると共に下部アーム先端に取り付けられた
   突き上げピンをコレットと対向させて粘着シートの下方
   に上下動自在に配置し、上記コレットの下降と共に突き
   上げピンの上昇でもって粘着シートを介して半導体ペレ
   ットを突き上げて粘着シートから剥離させた上でコレッ
   トにより吸着保持するものにおいて、上部アームと下部
   アームとの間に、突き上げピンとコレットの相対的な上
   下動を同期させて突き上げピンとコレットとを近接・離
   隔させる吸引手段を設けたことを特徴とするマウンタ。
2. 【請求項２】 吸引手段が磁気的吸着手段であることを
   特徴とする請求項１記載のマウンタ。
3. 【請求項３】 吸引手段が真空吸着手段であることを特
   徴とする請求項１記載のマウンタ。