JP2511870B2 - スクリユ−真空ポンプ装置 - Google Patents
スクリユ−真空ポンプ装置Info
- Publication number
- JP2511870B2 JP2511870B2 JP61060572A JP6057286A JP2511870B2 JP 2511870 B2 JP2511870 B2 JP 2511870B2 JP 61060572 A JP61060572 A JP 61060572A JP 6057286 A JP6057286 A JP 6057286A JP 2511870 B2 JP2511870 B2 JP 2511870B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- casing
- vacuum pump
- discharge
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に半導体製造装置の排気用として使用さ
れるスクリュー真空ポンプ装置に関するものである。
れるスクリュー真空ポンプ装置に関するものである。
従来のスクリュー真空ポンプは、特開昭60−216089号
公報に開示されているように、吸入口、吐出口を有する
ケーシングの作動室に、互いに噛み合って回転するおす
とめすの対のロータが納められ、ロータを駆動機によっ
て駆動して、両ロータ間に低圧とすべき空間からガスを
吸込み、これを昇圧して大気中に排気するものである。
公報に開示されているように、吸入口、吐出口を有する
ケーシングの作動室に、互いに噛み合って回転するおす
とめすの対のロータが納められ、ロータを駆動機によっ
て駆動して、両ロータ間に低圧とすべき空間からガスを
吸込み、これを昇圧して大気中に排気するものである。
上記従来の装置は、おすロータおよびめすロータの軸
が水平な平面内に配置され、両ロータに水平面内に並べ
て配置されているため、据付けに要する床面積が広くな
る。また、ケーシングの吸入口、吐出口が水平面の両側
（ケーシングの上面とケーシングの下面）に配置される
構造であるため、吸入口、吐出口のいずれか一方がケー
シングの下面に位置する。そのため、ケーシングの下面
に位置する吸入口または吐出口への配管接続作業は、ケ
ーシングの下面で行わねばならず、作業性が極めて悪
い。さらに、半導体製造装置の排気用のように、真空ポ
ンプ内に反応生成物が堆積した場合、これを取り除いた
り、堆積状況を定期的に点検することが容易にできな
い。これらの作業を行うには、配管を取外すことが必要
である上、特別の器具を必要とする問題があった。
が水平な平面内に配置され、両ロータに水平面内に並べ
て配置されているため、据付けに要する床面積が広くな
る。また、ケーシングの吸入口、吐出口が水平面の両側
（ケーシングの上面とケーシングの下面）に配置される
構造であるため、吸入口、吐出口のいずれか一方がケー
シングの下面に位置する。そのため、ケーシングの下面
に位置する吸入口または吐出口への配管接続作業は、ケ
ーシングの下面で行わねばならず、作業性が極めて悪
い。さらに、半導体製造装置の排気用のように、真空ポ
ンプ内に反応生成物が堆積した場合、これを取り除いた
り、堆積状況を定期的に点検することが容易にできな
い。これらの作業を行うには、配管を取外すことが必要
である上、特別の器具を必要とする問題があった。
本発明の目的は、据付床面積を小さくすると同時に配
管接続作業を容易にし、しかも吐出口に堆積する反応生
成物の堆積状況の点検やその除去作業も容易に行うこと
ができる半導体製造装置用のスクリュー真空ポンプ装置
を得ることにある。
管接続作業を容易にし、しかも吐出口に堆積する反応生
成物の堆積状況の点検やその除去作業も容易に行うこと
ができる半導体製造装置用のスクリュー真空ポンプ装置
を得ることにある。
上記目的を達成するため本発明は、吸込口と吐出口を
有するスクリューケーシングと、このスクリューケーシ
ング内に回転可能に設けられたおすロータ及びめすロー
タと、前記ロータを駆動するモータと、モータの回転を
ロータに伝達するブルギヤ及びタイミングギヤと、これ
らのギヤを内蔵するギヤケーシングとを備えた半導体製
造装置用のスクリュー真空ポンプ装置において、前記ス
クリューケーシング及びモータの両方が前記ギヤケーシ
ングの一方の側のみに設けられ、モータはスクリューケ
ーシングの真下に位置する構成とし、スクリューシシン
グ内のおすロータ及びめすロータの軸は鉛直平面内に上
下方向に平行に配置され、前記吸込口と吐出口とは前記
鉛直平面を挟んでスクリューケーシングの両側に配置さ
れ、かつ前記吐出口は、水平方向の吐出通路及びこれに
直角方向上方に連通する吐出通路と直角方向下方に連通
する吐出通路とを備えるようにしたものである。
有するスクリューケーシングと、このスクリューケーシ
ング内に回転可能に設けられたおすロータ及びめすロー
タと、前記ロータを駆動するモータと、モータの回転を
ロータに伝達するブルギヤ及びタイミングギヤと、これ
らのギヤを内蔵するギヤケーシングとを備えた半導体製
造装置用のスクリュー真空ポンプ装置において、前記ス
クリューケーシング及びモータの両方が前記ギヤケーシ
ングの一方の側のみに設けられ、モータはスクリューケ
ーシングの真下に位置する構成とし、スクリューシシン
グ内のおすロータ及びめすロータの軸は鉛直平面内に上
下方向に平行に配置され、前記吸込口と吐出口とは前記
鉛直平面を挟んでスクリューケーシングの両側に配置さ
れ、かつ前記吐出口は、水平方向の吐出通路及びこれに
直角方向上方に連通する吐出通路と直角方向下方に連通
する吐出通路とを備えるようにしたものである。
本発明によれば以下の作用が得られる。
（ａ）スクリューケーシング及びモータの両方がギヤケ
ーシングの一方の側のみに設けられ、モータはスクリュ
ーケーシングの真下に位置する構成とし、スクリューシ
シング内のおすロータ及びめすロータの軸は鉛直平面内
に上下方向に平行に配置されているので、スクリュー真
空ポンプの据付床面積はほぼロータ１個を納める分の面
積だけでよくなり、据付床面積を大幅に小さくできる。
ーシングの一方の側のみに設けられ、モータはスクリュ
ーケーシングの真下に位置する構成とし、スクリューシ
シング内のおすロータ及びめすロータの軸は鉛直平面内
に上下方向に平行に配置されているので、スクリュー真
空ポンプの据付床面積はほぼロータ１個を納める分の面
積だけでよくなり、据付床面積を大幅に小さくできる。
（ｂ）吸込口と吐出口とは前記鉛直平面を挟んでスクリ
ューケーシングの両側に配置する構成としているので、
吸込口または吐出口をスクリューケーシングの下面に配
置する必要がなくなり、配管接続作業は全てスクリュー
ケーシングの側方で行なうことができるから、配管接続
作業の作業性を向上できる。
ューケーシングの両側に配置する構成としているので、
吸込口または吐出口をスクリューケーシングの下面に配
置する必要がなくなり、配管接続作業は全てスクリュー
ケーシングの側方で行なうことができるから、配管接続
作業の作業性を向上できる。
（ｃ）吐出口は、水平方向の吐出通路及びこれに直角方
向上方に連通する吐出通路と直角方向下方に連通する吐
出通路とを備えているので、三方向から吐出口を自由に
選択して吐出配管の接続が可能となり、配管接続作業を
容易に行なうことができるばかりでなく、半導体製造装
置用スクリュー真空ポンプ装置の吐出口に付着した堆積
物（反応生成物）の堆積状況の点検やその除去作業を、
これらの吐出口を利用して容易に行なうことができる。
向上方に連通する吐出通路と直角方向下方に連通する吐
出通路とを備えているので、三方向から吐出口を自由に
選択して吐出配管の接続が可能となり、配管接続作業を
容易に行なうことができるばかりでなく、半導体製造装
置用スクリュー真空ポンプ装置の吐出口に付着した堆積
物（反応生成物）の堆積状況の点検やその除去作業を、
これらの吐出口を利用して容易に行なうことができる。
以下、本発明の実施例を第１図〜第７図により説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、吸込口を２
ヶ所に設けたスクリュー真空ポンプ装置の外観図であ
る。第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図、第３図は第
１図におけるＢ−Ｂ断面図である。これらの図におい
て、１はおすロータ、２はめすロータ、7,8,9,10は両ロ
ータ1,2を支持する軸受で、両ロータ1,2及び軸受7,8,9,
10はケーシング3,4,5内に収納されている。また、両ロ
ータ1,2の一方の端部には、ギヤ11,12が結合され、これ
らギヤ11と12は互いに噛合ってタイミングギヤを構成し
ている。前述のギヤ12は、モータ14の軸に結合されたブ
ルギヤ13と噛合っている。ギヤ11,12およびブルギヤ13
はギヤケーシング６内に収納されており、これらロータ
1,2及びモータ14の軸中心は水平で互いに平行に配置さ
れ、しかもギヤケーシング側から見た前記各軸の軸中心
は鉛直（上下）方向の平面内に一直線上に並ぶように上
方から下方に向かって、おすロータ１、めすロータ２及
びモータ14の順に配置されている。そして、おすロータ
１とめすロータ２を収納しているスクリューケーシング
３とモータ14はギヤケーシング６の一方の側のみに配置
された構造となっている。スクリューケーシング３には
その片側に吸込口3a,3b、その反対側に吐出口3c,3d,3e
が設けられている。吸込口は、水平方向吸込通路を有す
る吸込口3aとこれに直角に上方から連通する吸込通路を
有する吸込口3bから構成され、吐出口は、水平方向の吐
出通路をもつ吐出口3d、及びこれに直角方向上方に連通
する吐出通路をもつ吐出口3cと直角方向下方に連通する
吐出通路をもつ吐出口3eから構成されている。1bは吸込
側止めフランジ、17a,17bは吐出側止めフランジであ
る。
ヶ所に設けたスクリュー真空ポンプ装置の外観図であ
る。第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図、第３図は第
１図におけるＢ−Ｂ断面図である。これらの図におい
て、１はおすロータ、２はめすロータ、7,8,9,10は両ロ
ータ1,2を支持する軸受で、両ロータ1,2及び軸受7,8,9,
10はケーシング3,4,5内に収納されている。また、両ロ
ータ1,2の一方の端部には、ギヤ11,12が結合され、これ
らギヤ11と12は互いに噛合ってタイミングギヤを構成し
ている。前述のギヤ12は、モータ14の軸に結合されたブ
ルギヤ13と噛合っている。ギヤ11,12およびブルギヤ13
はギヤケーシング６内に収納されており、これらロータ
1,2及びモータ14の軸中心は水平で互いに平行に配置さ
れ、しかもギヤケーシング側から見た前記各軸の軸中心
は鉛直（上下）方向の平面内に一直線上に並ぶように上
方から下方に向かって、おすロータ１、めすロータ２及
びモータ14の順に配置されている。そして、おすロータ
１とめすロータ２を収納しているスクリューケーシング
３とモータ14はギヤケーシング６の一方の側のみに配置
された構造となっている。スクリューケーシング３には
その片側に吸込口3a,3b、その反対側に吐出口3c,3d,3e
が設けられている。吸込口は、水平方向吸込通路を有す
る吸込口3aとこれに直角に上方から連通する吸込通路を
有する吸込口3bから構成され、吐出口は、水平方向の吐
出通路をもつ吐出口3d、及びこれに直角方向上方に連通
する吐出通路をもつ吐出口3cと直角方向下方に連通する
吐出通路をもつ吐出口3eから構成されている。1bは吸込
側止めフランジ、17a,17bは吐出側止めフランジであ
る。
モータ14を駆動すると、ブルギヤ13及びギヤ11,12を
介してロータ1,2が回転し、真空に引こうとする側の流
体は吸込口3bより吸込まれ（第３図において吸込口3aは
止めフランジで閉の状態にしてある）、吐出ポート15a,
15bを通って、吐出口3cより排出される（第３図におい
て吐出口3d,3eは止めフランジ17a,17bによって閉の状態
にしてある）。配管の都合上、例えば吸込口3aより吸込
ませたい場合は吸込側止めフランジ1bをはずして吸込口
3aを開にし、吸込口3bを閉にする。同様に吐出側におい
ても、吐出口3c,3d,3eの中から必要な吐出口を選んでそ
の吐出口に配管を接続することができ、配管接続作業が
容易になる。また、半導体製造装置の反応ガスにより吐
出口に付着した堆積物を清掃する場合などには、垂直方
向に貫通している吐出通路（吐出口3cから3e方向に貫通
している吐出通路）があるので、上部の吐出口3cからブ
ラシなどを挿入して吐出通路の付着物を掃除し、下部の
吐出口3eから排出することが可能なため、メンテナンス
作業を容易に行うことができる。
介してロータ1,2が回転し、真空に引こうとする側の流
体は吸込口3bより吸込まれ（第３図において吸込口3aは
止めフランジで閉の状態にしてある）、吐出ポート15a,
15bを通って、吐出口3cより排出される（第３図におい
て吐出口3d,3eは止めフランジ17a,17bによって閉の状態
にしてある）。配管の都合上、例えば吸込口3aより吸込
ませたい場合は吸込側止めフランジ1bをはずして吸込口
3aを開にし、吸込口3bを閉にする。同様に吐出側におい
ても、吐出口3c,3d,3eの中から必要な吐出口を選んでそ
の吐出口に配管を接続することができ、配管接続作業が
容易になる。また、半導体製造装置の反応ガスにより吐
出口に付着した堆積物を清掃する場合などには、垂直方
向に貫通している吐出通路（吐出口3cから3e方向に貫通
している吐出通路）があるので、上部の吐出口3cからブ
ラシなどを挿入して吐出通路の付着物を掃除し、下部の
吐出口3eから排出することが可能なため、メンテナンス
作業を容易に行うことができる。
本実施例によれば、ロータ1,2およびモータ14の軸中
心が水平で互いに平行に、しかも軸端側より見た軸中心
が鉛直方向の平面上に一直線上に並ぶように配置され、
しかもおすロータ1,めすロータ２を収納しているスクリ
ューケーシング３とモータ14がギヤケーシング６の一方
側に配置されているので、ポンプ本体の横巾寸法と長手
方向の寸法を大巾に減少でき、据付面積を小さくできる
とともに、吸込、吐出配管の接続作業が極めて容易に行
なえ、さらに吐出口に堆積した堆積物の清掃（除去作
業）などのメンテナンス作業を容易に行なうことができ
る。
心が水平で互いに平行に、しかも軸端側より見た軸中心
が鉛直方向の平面上に一直線上に並ぶように配置され、
しかもおすロータ1,めすロータ２を収納しているスクリ
ューケーシング３とモータ14がギヤケーシング６の一方
側に配置されているので、ポンプ本体の横巾寸法と長手
方向の寸法を大巾に減少でき、据付面積を小さくできる
とともに、吸込、吐出配管の接続作業が極めて容易に行
なえ、さらに吐出口に堆積した堆積物の清掃（除去作
業）などのメンテナンス作業を容易に行なうことができ
る。
第４図は上述した本発明の実施例において、吸込口を
水平方向に一ヶ所とした場合のスクリュー真空ポンプ装
置の実施例を示すもので、第３図に相当する断面図であ
る。
水平方向に一ヶ所とした場合のスクリュー真空ポンプ装
置の実施例を示すもので、第３図に相当する断面図であ
る。
また、第５図は低騒音化の目的で真空ポンプ全体を防
音カバーでおおった場合の本発明の実施例を示す断面図
で、前記第３図に相当する図である。図において、18a,
18bは防音カバーとポンプ本体吸気口をつなぐ吸気管、1
9a,19b,19cは防音カバーとポンプ本体吐出口をつなぐ吐
出管、20は防音カバ内面にとりつけられた吸音材であ
る。本図に示すように、防音カバの上部及び側面部に複
数個の配管口が設けられているので配管作業を非常に容
易に行え、吐出口が三方向に設けられているため吐出口
に反応生成物が堆積した場合には防音カバー21をとりは
ずすことなく上部あるいは水平部の吐出口3c,3dより堆
積物を清掃し、下部吐出口3eより容易に排出ができるの
で、メンテナンスを非常に容易に行えるという効果があ
る。
音カバーでおおった場合の本発明の実施例を示す断面図
で、前記第３図に相当する図である。図において、18a,
18bは防音カバーとポンプ本体吸気口をつなぐ吸気管、1
9a,19b,19cは防音カバーとポンプ本体吐出口をつなぐ吐
出管、20は防音カバ内面にとりつけられた吸音材であ
る。本図に示すように、防音カバの上部及び側面部に複
数個の配管口が設けられているので配管作業を非常に容
易に行え、吐出口が三方向に設けられているため吐出口
に反応生成物が堆積した場合には防音カバー21をとりは
ずすことなく上部あるいは水平部の吐出口3c,3dより堆
積物を清掃し、下部吐出口3eより容易に排出ができるの
で、メンテナンスを非常に容易に行えるという効果があ
る。
第６図は、清掃を容易にすると同時に消音の目的で、
吐出口3c,3d,3eにサイレンサーカートリッジ22を挿入し
たものである。サイレンサーカートリッジ22は第７図に
示すように、外筒22eと、パンチングメタルプレート
（多数の孔を設けた多孔鋼板）で形成された内筒22b
と、これら内外筒22b,22cとの間に充填された吸音材22a
から構成されている。
吐出口3c,3d,3eにサイレンサーカートリッジ22を挿入し
たものである。サイレンサーカートリッジ22は第７図に
示すように、外筒22eと、パンチングメタルプレート
（多数の孔を設けた多孔鋼板）で形成された内筒22b
と、これら内外筒22b,22cとの間に充填された吸音材22a
から構成されている。
このように、吐出口にサイレンサーカートリッジ22を
挿入しておくと、反応生成物がサイレンサーカートリッ
ジ22の内面に堆積するので、所定時間または点検時など
に、止めフランジ17a,17bを取外してサイレンサーカー
トリッジ22を別の新しいものと交換することにより、吐
出口あるいは吐出領域に堆積した反応生成物を取り除く
ことができる。
挿入しておくと、反応生成物がサイレンサーカートリッ
ジ22の内面に堆積するので、所定時間または点検時など
に、止めフランジ17a,17bを取外してサイレンサーカー
トリッジ22を別の新しいものと交換することにより、吐
出口あるいは吐出領域に堆積した反応生成物を取り除く
ことができる。
本発明によれば、スクリュー真空ポンプの据付床面積
が、ほぼロータ１個を納める分の面積だけでよくなるの
で据付床面積を大幅に小さくでき、しかも配管接続作業
は全てスクリューケーシングの側方で行なうことができ
るから、配管接続作業の作業性も向上できる。さらに、
三方向から吐出口を自由に選択して吐出配管の接続が可
能となり、配管接続作業を容易に行なうことができると
共に、半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ装置の吐
出口に付着した堆積物（反応生成物）の堆積状況の点検
やその除去作業も容易に行なえるという効果がある。
が、ほぼロータ１個を納める分の面積だけでよくなるの
で据付床面積を大幅に小さくでき、しかも配管接続作業
は全てスクリューケーシングの側方で行なうことができ
るから、配管接続作業の作業性も向上できる。さらに、
三方向から吐出口を自由に選択して吐出配管の接続が可
能となり、配管接続作業を容易に行なうことができると
共に、半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ装置の吐
出口に付着した堆積物（反応生成物）の堆積状況の点検
やその除去作業も容易に行なえるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すスクリュー真空ポンプ
の外観図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図、第３
図は第１図におけるＢ−Ｂ断面図、第４図は吸込口を水
平方向に一ヵ所設けた本発明の実施例を示す断面図、第
５図は真空ポンプ全体を防音カバーでおおった場合の本
発明の実施例を示す断面図、第６図は吐出口内にサイレ
ンサーカートリッジを配置した実施例の要部断面図、第
７図はサイレンサーカートリッジの断面図である。 １…おすロータ、２…めすロータ、3,4,5…スクリュー
ケーシング、3a,3b…吸込口、3c,3d,3e…吐出口（また
は吐出通路）、６…ギヤケーシング、7,8,9,10…軸受、
11,12…ギヤ（タイミングギヤ）、13…ブルギヤ、14…
モータ、15a,15b…吐出ポート、16,17a,17b…止めフラ
ンジ、18a,18b…吸気管、19a,19b,19c…吐出管、20…吸
着材、21…防音カバー、22…サイレンサーカートリッ
ジ。
の外観図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図、第３
図は第１図におけるＢ−Ｂ断面図、第４図は吸込口を水
平方向に一ヵ所設けた本発明の実施例を示す断面図、第
５図は真空ポンプ全体を防音カバーでおおった場合の本
発明の実施例を示す断面図、第６図は吐出口内にサイレ
ンサーカートリッジを配置した実施例の要部断面図、第
７図はサイレンサーカートリッジの断面図である。 １…おすロータ、２…めすロータ、3,4,5…スクリュー
ケーシング、3a,3b…吸込口、3c,3d,3e…吐出口（また
は吐出通路）、６…ギヤケーシング、7,8,9,10…軸受、
11,12…ギヤ（タイミングギヤ）、13…ブルギヤ、14…
モータ、15a,15b…吐出ポート、16,17a,17b…止めフラ
ンジ、18a,18b…吸気管、19a,19b,19c…吐出管、20…吸
着材、21…防音カバー、22…サイレンサーカートリッ
ジ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 早川 匡 海老名市下今泉810番地 株式会社日立 製作所海老名工場内 (72)発明者 内田 利一 土浦市神立町502番地 株式会社日立製 作所機械研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】吸込口と吐出口を有するスクリューケーシ
ングと、このスクリューケーシング内に回転可能に設け
られたおすロータ及びめすロータと、前記ロータを駆動
するモータと、モータの回転をロータに伝達するブルギ
ヤ及びタイミングギヤと、これらのギヤを内蔵するギヤ
ケーシングとを備えた半導体製造装置用のスクリュー真
空ポンプ装置において、前記スクリューケーシング及び
モータの両方が前記ギヤケーシングの一方の側のみに設
けられ、モータはスクリューケーシングの真下に位置す
る構成とし、スクリューシシング内のおすロータ及びめ
すロータの軸は鉛直平面内に上下方向に平行に配置さ
れ、前記吸込口と吐出口とは前記鉛直平面を挟んでスク
リューケーシングの両側に配置され、かつ前記吐出口
は、水平方向の吐出通路及びこれに直角方向上方に連通
する吐出通路と直角方向下方に連通する吐出通路とを備
えることを特徴とするスクリュー真空ポンプ装置。 - 【請求項２】おすロータ、めすロータおよびモータは、
鉛直な平面内において、上からおすロータ、めすロー
タ、モータの順に配置されていることを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載のスクリュー真空ポンプ装置。 - 【請求項３】吐出口はギヤケーシングに接近した位置に
配置され、吸込口は前記吐出口よりもギヤケーシングか
ら離れた位置に配置されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のスクリュー真空ポンプ装置。 - 【請求項４】吐出口にはサイレンサーカートリッジが装
填されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のスクリュー真空ポンプ装置。 - 【請求項５】サイレンサーカートリッジは、少なくとも
吐出口の垂直部分に装填されていることを特徴とする特
許請求の範囲第４項記載のスクリュー真空ポンプ装置。 - 【請求項６】サイレンサーカートリッジは、外筒及び多
数の孔を設けた内筒と、これら内外筒の間に充填された
吸音材から構成されていることを特徴とする特許請求の
範囲第４項または第５項に記載のスクリュー真空ポンプ
装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060572A JP2511870B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | スクリユ−真空ポンプ装置 |
| DE8787101053T DE3760231D1 (en) | 1986-03-20 | 1987-01-26 | Screw vacuum pump unit |
| EP87101053A EP0237734B2 (en) | 1986-03-20 | 1987-01-26 | Screw vacuum pump unit |
| US07/021,645 US4767284A (en) | 1986-03-20 | 1987-03-04 | Screw vacuum pump unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61060572A JP2511870B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | スクリユ−真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62218681A JPS62218681A (ja) | 1987-09-26 |
| JP2511870B2 true JP2511870B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=13146108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61060572A Expired - Lifetime JP2511870B2 (ja) | 1986-03-20 | 1986-03-20 | スクリユ−真空ポンプ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4767284A (ja) |
| EP (1) | EP0237734B2 (ja) |
| JP (1) | JP2511870B2 (ja) |
| DE (1) | DE3760231D1 (ja) |
Families Citing this family (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0290662B1 (de) * | 1987-05-15 | 1993-03-31 | Leybold Aktiengesellschaft | Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum |
| JPH0255892A (ja) * | 1988-08-19 | 1990-02-26 | Kobe Steel Ltd | スクリュ式真空ポンプ |
| US6413065B1 (en) * | 1998-09-09 | 2002-07-02 | Pradeep Dass | Modular downhole multiphase pump |
| JP3668616B2 (ja) * | 1998-09-17 | 2005-07-06 | 株式会社日立産機システム | オイルフリースクリュー圧縮機 |
| DE29904409U1 (de) * | 1999-03-10 | 2000-07-20 | Ghh Rand Schraubenkompressoren | Schraubenkompressor |
| DE59906772D1 (de) * | 1999-06-09 | 2003-10-02 | Sterling Fluid Sys Gmbh | Drehkolbenverdichter mit axialer Förderrichtung |
| DE10019066A1 (de) * | 2000-04-18 | 2001-10-25 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren |
| JP2002106484A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-10 | Toyota Industries Corp | モータ一体型スクロール圧縮機 |
| JP2003035261A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Toyota Industries Corp | 圧縮機 |
| KR100408153B1 (ko) * | 2001-08-14 | 2003-12-01 | 주식회사 우성진공 | 드라이 진공펌프 |
| JP4673136B2 (ja) * | 2005-06-09 | 2011-04-20 | 株式会社日立産機システム | スクリュー圧縮機 |
| US8342829B2 (en) * | 2005-12-08 | 2013-01-01 | Ghh Rand Schraubenkompressoren Gmbh | Three-stage screw compressor |
| EP1957798B1 (de) | 2005-12-08 | 2011-02-09 | GHH-RAND Schraubenkompressoren GmbH | Schraubenkompressor |
| DE102006004741A1 (de) * | 2006-02-02 | 2007-08-09 | Volkswagen Ag | R744-Kompressor für eine Fahrzeugklimaanlage |
| US8162625B1 (en) * | 2009-09-22 | 2012-04-24 | Harry Soderstrom | Nested motor, reduction motor reduction gear and pump with selectable mounting options |
| JP6116401B2 (ja) * | 2013-06-27 | 2017-04-19 | 株式会社荏原製作所 | 真空ポンプ装置 |
| CN103410729B (zh) * | 2013-08-26 | 2015-07-01 | 天津商业大学 | 卧式全封闭双级螺杆制冷压缩机 |
| DE102014000846A1 (de) * | 2014-01-27 | 2015-07-30 | Klaus Union Gmbh & Co. Kg | Schraubenspindelpumpe |
| MX2017013313A (es) * | 2015-04-17 | 2018-05-07 | Atlas Copco Airpower Nv | Compresor de tornillo, elemento compresor y caja de engranes aplicada por el mismo. |
| CN104948463A (zh) * | 2015-07-29 | 2015-09-30 | 宋东方 | 立式螺杆真空泵 |
| CN105041648B (zh) * | 2015-09-15 | 2017-11-17 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种螺杆压缩机及其机体 |
| CN107044417B (zh) * | 2017-04-18 | 2019-08-02 | 王旭明 | 一种压缩空气循环动力装置 |
| JP7306140B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2023-07-11 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボット用吸着ハンド |
| JP7279567B2 (ja) * | 2019-07-30 | 2023-05-23 | 株式会社デンソーウェーブ | ロボット用吸着ハンド |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1844105A (en) * | 1929-05-08 | 1932-02-09 | Burgess Lab Inc C F | Exhaust muffler |
| USRE22445E (en) * | 1939-04-08 | 1944-02-22 | Suction cleaner | |
| US2474653A (en) * | 1945-04-26 | 1949-06-28 | Jarvis C Marble | Helical gear compressor or motor |
| US2705922A (en) * | 1953-04-06 | 1955-04-12 | Dresser Ind | Fluid pump or motor of the rotary screw type |
| US2849988A (en) * | 1954-10-26 | 1958-09-02 | Svenska Rotor Maskiner Ab | Rotary devices and casing structures therefor |
| US2935247A (en) * | 1958-12-30 | 1960-05-03 | Atlas Copco Ab | Screw-rotor compressor |
| US3388854A (en) * | 1966-06-23 | 1968-06-18 | Atlas Copco Ab | Thrust balancing in rotary machines |
| SU420803A1 (ru) * | 1971-08-30 | 1974-03-25 | Способ работы ротационных машин | |
| JPS6013864B2 (ja) * | 1977-06-01 | 1985-04-10 | 三菱電機株式会社 | 列車の進行方向制御方式 |
| JPS5440316A (en) * | 1977-09-07 | 1979-03-29 | Hitachi Ltd | Enclosed screw compressor |
| EP0005327A1 (en) * | 1978-04-19 | 1979-11-14 | CompAir Industrial Limited | Gear train for driving a screw compressor with means for speed variation |
| DE3202993C2 (de) * | 1982-01-29 | 1986-07-10 | Aerzener Maschinenfabrik Gmbh, 3251 Aerzen | Drehkolbenverdichter |
| DE3311817C2 (de) * | 1983-03-31 | 1986-05-15 | Graubremse Gmbh, 6900 Heidelberg | Geräuschdämpfer für die Entlüftung pneumatischer Geräte |
| US4714418A (en) * | 1984-04-11 | 1987-12-22 | Hitachi, Ltd. | Screw type vacuum pump |
| JPS60164692U (ja) * | 1984-04-11 | 1985-11-01 | 株式会社日立製作所 | スクリユ−圧縮機 |
-
1986
- 1986-03-20 JP JP61060572A patent/JP2511870B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-01-26 DE DE8787101053T patent/DE3760231D1/de not_active Expired
- 1987-01-26 EP EP87101053A patent/EP0237734B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-03-04 US US07/021,645 patent/US4767284A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0237734A2 (en) | 1987-09-23 |
| EP0237734B1 (en) | 1989-06-07 |
| JPS62218681A (ja) | 1987-09-26 |
| US4767284A (en) | 1988-08-30 |
| EP0237734A3 (en) | 1988-01-27 |
| EP0237734B2 (en) | 1993-10-27 |
| DE3760231D1 (en) | 1989-07-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2511870B2 (ja) | スクリユ−真空ポンプ装置 | |
| US5443644A (en) | Gas exhaust system and pump cleaning system for a semiconductor manufacturing apparatus | |
| JPH10192U (ja) | 多段２軸真空ポンプ | |
| EP0365695B1 (de) | Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum | |
| JP2004346748A (ja) | ルーツポンプ | |
| CN215490184U (zh) | 一种洁净室压差平衡控制系统 | |
| JPS62218682A (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| JPS61234290A (ja) | 多段スクリユ−真空ポンプ装置 | |
| CN213610403U (zh) | 一种天然气输送过滤装置 | |
| JPH06103030B2 (ja) | スクリユ−真空ポンプ | |
| JPH01247787A (ja) | 多段真空ポンプ | |
| JP2650897B2 (ja) | 半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ | |
| CN220355487U (zh) | 一种复合式油烟净化器 | |
| CN220019113U (zh) | 一种有效防堵塞气体采样装置 | |
| CN217646071U (zh) | 高负压烟尘净化器 | |
| CN218620543U (zh) | 一种污水处理用处理箱 | |
| CN218515144U (zh) | 一种便于调节的火麻仁脱壳机出料组件 | |
| CN212976174U (zh) | 一种用于清洗喷油套管的装置 | |
| CN217071182U (zh) | 一种具有除尘功能的保护气输送机构 | |
| CN214944815U (zh) | 一种真空泵用回油过滤器 | |
| CN211490975U (zh) | 一种环保型抛光除尘设备 | |
| CN212383393U (zh) | 一种电气自动化加工用消音除尘装置 | |
| CN219913349U (zh) | 一种空气净化装置 | |
| CN218458958U (zh) | 一种节能建筑砂浆储料用清洁排气装置 | |
| CN218151424U (zh) | 一种真空泵负压反冲洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |