JP2650897B2 - 半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ - Google Patents
半導体製造装置用スクリュー真空ポンプInfo
- Publication number
- JP2650897B2 JP2650897B2 JP61253810A JP25381086A JP2650897B2 JP 2650897 B2 JP2650897 B2 JP 2650897B2 JP 61253810 A JP61253810 A JP 61253810A JP 25381086 A JP25381086 A JP 25381086A JP 2650897 B2 JP2650897 B2 JP 2650897B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotors
- discharge port
- motor
- vacuum pump
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造装置用スクリュー真空ポンプに
関する。
関する。
従来のスクリュー真空ポンプは、特開昭60−216089号
公報に開示されているように、吸入口、吐出口を有する
ケーシングの作動室に、互いにかみ合つて回転するおす
めす対のロータが納められ、ロータを駆動機によつて駆
動して、両ロータ間に低圧とすべき空間からガスを吸込
み、これを昇圧して大気中に排気するものである。
公報に開示されているように、吸入口、吐出口を有する
ケーシングの作動室に、互いにかみ合つて回転するおす
めす対のロータが納められ、ロータを駆動機によつて駆
動して、両ロータ間に低圧とすべき空間からガスを吸込
み、これを昇圧して大気中に排気するものである。
上記従来の装置は、複雑な形状をしておりかつ奥まつ
た所に有る吐出ポートがケーシングと一体物であつた。
このため、半導体製造装置の排気用のように、真空ポン
プ内に、特に活性ガスが大気と接触し易い吐出ポート部
に反応生成物が堆積した場合、これを取り除いたり、堆
積状況を定期的に点検することが容易にできないという
問題があつた。
た所に有る吐出ポートがケーシングと一体物であつた。
このため、半導体製造装置の排気用のように、真空ポン
プ内に、特に活性ガスが大気と接触し易い吐出ポート部
に反応生成物が堆積した場合、これを取り除いたり、堆
積状況を定期的に点検することが容易にできないという
問題があつた。
本発明の目的は、吐出ポート部の堆積物の除去や堆積
状況の確認を容易に行える半導体製造装置用スクリュー
真空ポンプを得ることにある。
状況の確認を容易に行える半導体製造装置用スクリュー
真空ポンプを得ることにある。
上記の目的を達成するために、本発明は互いに噛み合
って回転する一対のオスロータ及びメスロータと、この
両ロータの外周面及び両端面を覆い、これら両ロータと
の間に作動室を形成するケーシングと、両ロータを回転
駆動するモータと、このモータと両ロータ間に設けら
れ、モータの駆動力を両ロータに伝達する伝動手段と、
この伝動手段を収容する伝動ケーシングと、を備えた半
導体製造装置用スクリュー真空ポンプにおいて、ケーシ
ングの反モータ端側でかつ両ロータの噛み合い部に、作
動室への作動ガス流路を形成する吸込ポート部を、ケー
シングのモータ端側でかつ両ロータの噛み合い部にこの
スクリュー真空ポンプに吸い込まれて圧縮された作動ガ
スを排出する流路を形成する吐出ポート部とを設け、こ
の吐出ポート部はケーシングとは別体に形成されるとと
もにケーシングに密封手段を介して単独に着脱自在であ
り、かつ吐出ポート部のケーシング内壁側端部はケーシ
ング及び両ロータと共に作動室を区画する様に構成した
ものである。
って回転する一対のオスロータ及びメスロータと、この
両ロータの外周面及び両端面を覆い、これら両ロータと
の間に作動室を形成するケーシングと、両ロータを回転
駆動するモータと、このモータと両ロータ間に設けら
れ、モータの駆動力を両ロータに伝達する伝動手段と、
この伝動手段を収容する伝動ケーシングと、を備えた半
導体製造装置用スクリュー真空ポンプにおいて、ケーシ
ングの反モータ端側でかつ両ロータの噛み合い部に、作
動室への作動ガス流路を形成する吸込ポート部を、ケー
シングのモータ端側でかつ両ロータの噛み合い部にこの
スクリュー真空ポンプに吸い込まれて圧縮された作動ガ
スを排出する流路を形成する吐出ポート部とを設け、こ
の吐出ポート部はケーシングとは別体に形成されるとと
もにケーシングに密封手段を介して単独に着脱自在であ
り、かつ吐出ポート部のケーシング内壁側端部はケーシ
ング及び両ロータと共に作動室を区画する様に構成した
ものである。
大気との接触により反応生成物が生成するような活性
ガスを吸い込み、此を昇圧して大気中に排気するように
した半導体製造装置用スクリュー真空ポンプにおいて
は、吐出ポート部に反応生成物が堆積しやすい。本発明
では吐出ポート部を単独でケーシングから取り外し可能
な構成としたので、吐出ポート部の堆積物を取り除いた
り、堆積状況を定期的に点検する作業を極めて容易に行
うことができ、メンテナンス作業が容易になる。
ガスを吸い込み、此を昇圧して大気中に排気するように
した半導体製造装置用スクリュー真空ポンプにおいて
は、吐出ポート部に反応生成物が堆積しやすい。本発明
では吐出ポート部を単独でケーシングから取り外し可能
な構成としたので、吐出ポート部の堆積物を取り除いた
り、堆積状況を定期的に点検する作業を極めて容易に行
うことができ、メンテナンス作業が容易になる。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図、第３図、
第４図、第５図及び第６図により説明する。
第４図、第５図及び第６図により説明する。
第１図は本発明の一実施例であるスクリュー真空ポン
プの外観図、第２図はポンプ本体ブロツク図の水平断面
図、第３図はスクリュー真空ポンプの垂直断面図、第４
図は第３図における吐出ポート部の詳細図、第５図は第
３図におけるＡ−Ａ断面図である。１はオスロータ、２
はメスロータ、3,4,5,6は両ロータを支持する軸受で、
両ロータ1,2及び軸受3,4,5,6はケーシング7,8,9内に収
納されている。また両ロータ1,2の端部には、ギヤ10,11
が結合され、モートル12の軸に結合されたブルギヤ13に
よつて駆動される。ギヤ10,11及びブルギヤ13は、ギヤ
ケーシング14内に収納されている。ケーシング７にはそ
の左右に片側に吸込ポート部7a、反対側に吐出ポート部
15が設けられている。吐出ポート部15は、ケーシング７
とは別ピースになつており、ボルト16によりケーシング
７に固定されており、その作動室を形成する端面の加工
はケーシング７に取付けられた状態で同時加工されてい
る。第６図にこの吐出ポート部15の同時加工前の形状を
示す。17はＯリング（密封手段）で吐出ポート部15とケ
ーシング７の接合面のすきまから作動室内への洩れを密
封している。
プの外観図、第２図はポンプ本体ブロツク図の水平断面
図、第３図はスクリュー真空ポンプの垂直断面図、第４
図は第３図における吐出ポート部の詳細図、第５図は第
３図におけるＡ−Ａ断面図である。１はオスロータ、２
はメスロータ、3,4,5,6は両ロータを支持する軸受で、
両ロータ1,2及び軸受3,4,5,6はケーシング7,8,9内に収
納されている。また両ロータ1,2の端部には、ギヤ10,11
が結合され、モートル12の軸に結合されたブルギヤ13に
よつて駆動される。ギヤ10,11及びブルギヤ13は、ギヤ
ケーシング14内に収納されている。ケーシング７にはそ
の左右に片側に吸込ポート部7a、反対側に吐出ポート部
15が設けられている。吐出ポート部15は、ケーシング７
とは別ピースになつており、ボルト16によりケーシング
７に固定されており、その作動室を形成する端面の加工
はケーシング７に取付けられた状態で同時加工されてい
る。第６図にこの吐出ポート部15の同時加工前の形状を
示す。17はＯリング（密封手段）で吐出ポート部15とケ
ーシング７の接合面のすきまから作動室内への洩れを密
封している。
モートル12を駆動すると、ブルギヤ13、ギヤ10,11を
介してロータ1,2が回転し、真空に引こうとする側の流
体は吸込ポートより吸込まれ、吐出ポート部15より排出
される。吐出ポート部に付着した活性ガスによる生成物
を清掃する場合には、ボルト1bを取外せば吐出ポート部
15が取外せるためメンテナンス作業が非常に容易にな
る。
介してロータ1,2が回転し、真空に引こうとする側の流
体は吸込ポートより吸込まれ、吐出ポート部15より排出
される。吐出ポート部に付着した活性ガスによる生成物
を清掃する場合には、ボルト1bを取外せば吐出ポート部
15が取外せるためメンテナンス作業が非常に容易にな
る。
以上のように本発明によれば、吐出ポート部のみをケ
ーシングから取外し可能な構成としたので、吐出ポート
部の堆積物を取り除いたり、反応生成物の堆積状況を点
検することが容易となり、メインテナンス作業が非常に
容易になるという効果が得られる。
ーシングから取外し可能な構成としたので、吐出ポート
部の堆積物を取り除いたり、反応生成物の堆積状況を点
検することが容易となり、メインテナンス作業が非常に
容易になるという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例であるスクリュー真空ポンプ
の外観図、第２図はポンプ本体ブロツクの水平断面図、
第３図はスクリュー真空ポンプの垂直断面図、第４図は
第３図における吐出ポート部の詳細図、第５図は第３図
におけるＡ−Ａ断面図、第6A図，第6B図，第6C図は吐出
ポート部15の同時加工前の形状を示す図であり、第6A図
は断面図、第6B図は第6A図の6B−6B断面図、第6C図は第
6A図の6C矢視図である。 １……オスロータ、２……メスロータ、７……ケーシン
グ、7a……吸込ポート、8,9……ケーシング、10,11……
ギヤ、12……モートル、13……ブルギヤ、14……ギヤケ
ーシング、15……吐出ポート部、16……ボルト、17……
Ｏリング（密封手段）。
の外観図、第２図はポンプ本体ブロツクの水平断面図、
第３図はスクリュー真空ポンプの垂直断面図、第４図は
第３図における吐出ポート部の詳細図、第５図は第３図
におけるＡ−Ａ断面図、第6A図，第6B図，第6C図は吐出
ポート部15の同時加工前の形状を示す図であり、第6A図
は断面図、第6B図は第6A図の6B−6B断面図、第6C図は第
6A図の6C矢視図である。 １……オスロータ、２……メスロータ、７……ケーシン
グ、7a……吸込ポート、8,9……ケーシング、10,11……
ギヤ、12……モートル、13……ブルギヤ、14……ギヤケ
ーシング、15……吐出ポート部、16……ボルト、17……
Ｏリング（密封手段）。
フロントページの続き (72)発明者 三橋 晋司 海老名市下今泉810番地 株式会社日立 製作所海老名工場内 (56)参考文献 特開 昭60−216089（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−43197（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭51−106918（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】互いに噛み合って回転する一対のオスロー
タ（１）及びメスロータ（２）と、この両ロータの外周
面及び両端面を覆い、これら両ロータとの間に作動室を
形成するケーシング（７）と、前記両ロータを回転駆動
するモータ（12）と、このモータと前記両ロータ間に設
けられ、モータの駆動力を両ロータに伝達する伝動手段
（10、11、13）と、この伝動手段を収容する伝動ケーシ
ング（14）と、を備えた半導体製造装置用スクリュー真
空ポンプにおいて、 前記ケーシングの反モータ端側でかつ前記両ロータの噛
み合い部に、前記作動室への作動ガス流路を形成する吸
込ポート部（7a）を、前記ケーシングのモータ端側でか
つ前記両ロータの噛み合い部にこのスクリュー真空ポン
プに吸い込まれて圧縮された作動ガスを排出する流路を
形成する吐出ポート部（15）とを設け、この吐出ポート
部は前記ケーシングとは別体に形成されるとともにケー
シングに密封手段（17）を介して単独に着脱自在であ
り、かつ吐出ポート部のケーシング内壁側端部は前記ケ
ーシング及び両ロータと共に前記作動室を区画すること
を特徴とする半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61253810A JP2650897B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61253810A JP2650897B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63109292A JPS63109292A (ja) | 1988-05-13 |
| JP2650897B2 true JP2650897B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=17256460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61253810A Expired - Lifetime JP2650897B2 (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 半導体製造装置用スクリュー真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2650897B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5180709B2 (ja) * | 2008-07-10 | 2013-04-10 | 株式会社神戸製鋼所 | スクリュ圧縮機 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS576789Y2 (ja) * | 1975-02-26 | 1982-02-08 | ||
| JPS6043197U (ja) * | 1983-05-19 | 1985-03-27 | 日電アネルバ株式会社 | ねじ溝付き軸流分子ポンプ |
| JPH079239B2 (ja) * | 1984-04-11 | 1995-02-01 | 株式会社日立製作所 | スクリュー真空ポンプ |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP61253810A patent/JP2650897B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63109292A (ja) | 1988-05-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |