JPH01247787A - 多段真空ポンプ - Google Patents
多段真空ポンプInfo
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- JPH01247787A JPH01247787A JP1036453A JP3645389A JPH01247787A JP H01247787 A JPH01247787 A JP H01247787A JP 1036453 A JP1036453 A JP 1036453A JP 3645389 A JP3645389 A JP 3645389A JP H01247787 A JPH01247787 A JP H01247787A
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- Japan
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分暗〕
本発明は、ハウジングと、このハウジング内にある少な
く七も２つの吸込み室と、これらの吸込み室を互いに接
続する通路とを持つ多段嘱空ポンプに関する。
く七も２つの吸込み室と、これらの吸込み室を互いに接
続する通路とを持つ多段嘱空ポンプに関する。
多段菟空ポンプは、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３
１４７８２４号明細四層、びドイツ連邦共和国特許出願
公開第３２４４０９９号明細書から公知である。この皿
のポンプ又は同じようなａ類のポンプが、エツチング方
法、被覆方法又は他の真空処理方法又は真空発生方法が
実施される室の排気のために使用される場合は、固体が
ポンプに入ることがしばしばある。このような固体が気
体の圧縮中に、すなわち圧送されるべき気体のα空ポン
プ内の通過中にはじめて生ずる可能性さえある。例えば
アルミニウムエツチングの際の塩化アルミニウム、被覆
方法における塩化アンモニウムなどの発生である。
１４７８２４号明細四層、びドイツ連邦共和国特許出願
公開第３２４４０９９号明細書から公知である。この皿
のポンプ又は同じようなａ類のポンプが、エツチング方
法、被覆方法又は他の真空処理方法又は真空発生方法が
実施される室の排気のために使用される場合は、固体が
ポンプに入ることがしばしばある。このような固体が気
体の圧縮中に、すなわち圧送されるべき気体のα空ポン
プ内の通過中にはじめて生ずる可能性さえある。例えば
アルミニウムエツチングの際の塩化アルミニウム、被覆
方法における塩化アンモニウムなどの発生である。
この種の物質が、排気されるべき気体の流通路に付着す
る場合は、これらの通路の直径が縮小し、それは真空ポ
ンプの出力の低下を結果として招く。始まる汚損の確認
はポンプの解体を必要とし、それは手間がかかり、従っ
て高師である。
る場合は、これらの通路の直径が縮小し、それは真空ポ
ンプの出力の低下を結果として招く。始まる汚損の確認
はポンプの解体を必要とし、それは手間がかかり、従っ
て高師である。
本発明の基礎になっている課題は、危険にさらされる流
通路の汚損の確認が特に簡単である、冒頭に挙げた種類
の真空ポンプを提供することである。
通路の汚損の確認が特に簡単である、冒頭に挙げた種類
の真空ポンプを提供することである。
（！Ｉ！ 題を解決するための手段〕
本発明によればこの課題は、汚損により危険にさらされ
る流通路が、外部へ通じる孔の一部であり、この孔が栓
により閉鎖可能であることによって解決される。この解
決策は、ポンプの解体なしに接続通路を検査することを
許容する。
る流通路が、外部へ通じる孔の一部であり、この孔が栓
により閉鎖可能であることによって解決される。この解
決策は、ポンプの解体なしに接続通路を検査することを
許容する。
栓の取り外し後に、接続通路は、例えば内視鏡の導入の
ために到達可能である。
ために到達可能である。
栓が縦孔を備えており、この縦孔に外方へ、フランジを
備えたｇ！部分が接続するのが好ましい。このフランジ
を介して、例えば圧力又は温度センサが気密に接続通路
の内部へ導入されるので、これらのパラメータを運転中
に整風することができる。
備えたｇ！部分が接続するのが好ましい。このフランジ
を介して、例えば圧力又は温度センサが気密に接続通路
の内部へ導入されるので、これらのパラメータを運転中
に整風することができる。
別の有利な解決策では、孔にスリーブがはめ込まれてお
り、このスリーブは流通路の内壁の一部を形成する。外
部へ通じる孔の開口部を通って、固体が付着するスリー
ブを取り出すことができかつ清掃又は新しいスリーブと
取り賛えることができる。従って流通路の危険範囲の清
掃は特に簡単である。
り、このスリーブは流通路の内壁の一部を形成する。外
部へ通じる孔の開口部を通って、固体が付着するスリー
ブを取り出すことができかつ清掃又は新しいスリーブと
取り賛えることができる。従って流通路の危険範囲の清
掃は特に簡単である。
本発明のそれ以外の利点及び詳細を、第１図ないし第６
図に示された実施例について説明する。
図に示された実施例について説明する。
第１図に示された実施例は、２つの軸２及び３と、３つ
の回転子対４，５又は６，７又は８．９とを持つ３段弯
空ポンプ１である。これらの回転子の軸線方向長さは、
吸込み側から吐出側へ縮小する。回転ピストンは爪型で
あり（第２図参照）かつ吸込み室１１ 、１２．１３内
で回転し、これらの吸込み室は軸受壁又は側壁１４ない
し１７及びハウジング環１８ないし２０により形成され
る。
の回転子対４，５又は６，７又は８．９とを持つ３段弯
空ポンプ１である。これらの回転子の軸線方向長さは、
吸込み側から吐出側へ縮小する。回転ピストンは爪型で
あり（第２図参照）かつ吸込み室１１ 、１２．１３内
で回転し、これらの吸込み室は軸受壁又は側壁１４ない
し１７及びハウジング環１８ないし２０により形成され
る。
軸２．３は垂直に配置されている。これは、ポンプハウ
ジングと並んで配置された駆ｍ機械２２についても言え
る。下側の軸受壁１７の下に、軸２，３は同じ直径の歯
車２３．２４を備えており、これらの歯車は回転子対４
．５又は６，７又は８，９の運動の同期化に役立つ。駆
動機械２２も下側に歯車２５を持っている。この伝動結
合は、歯車２４及び２５とかみ合う別の歯車２６により
行なわれる。
ジングと並んで配置された駆ｍ機械２２についても言え
る。下側の軸受壁１７の下に、軸２，３は同じ直径の歯
車２３．２４を備えており、これらの歯車は回転子対４
．５又は６，７又は８，９の運動の同期化に役立つ。駆
動機械２２も下側に歯車２５を持っている。この伝動結
合は、歯車２４及び２５とかみ合う別の歯車２６により
行なわれる。
上側の軸受壁１４及び下側の軸受壁１７に、軸２．３は
ころがり軸受２７を介して支持される。
ころがり軸受２７を介して支持される。
上側の軸受９１４は、水平に配置された接続フランク２
８を備えており、この接続フランジはポンプの入口２９
を形成する。流入通路３１は端面（開口３２）において
第１段の吸込み室！ｌへ開口している。端面に配置され
た第１段の流出口は３３で示されており、接続通路３４
へ通じている。壁Ｉ５に存在する接続通路３４は第２段
の流入口３５と接続している。軸受ｌ５４１６は相応に
形成されている。最下（第３）ポンプ段の下に出口３６
が存在し、この出口は、下側の軸受［１７にある端面の
流出口３７と［＋続している。
８を備えており、この接続フランジはポンプの入口２９
を形成する。流入通路３１は端面（開口３２）において
第１段の吸込み室！ｌへ開口している。端面に配置され
た第１段の流出口は３３で示されており、接続通路３４
へ通じている。壁Ｉ５に存在する接続通路３４は第２段
の流入口３５と接続している。軸受ｌ５４１６は相応に
形成されている。最下（第３）ポンプ段の下に出口３６
が存在し、この出口は、下側の軸受［１７にある端面の
流出口３７と［＋続している。
第３図ないし第６図に示された軸受壁１６は、爪ポンプ
ｌの２つの吸込み室１２．１３の分離に役立つ。第１図
に選ばれた図形に関して、吸込み室のうちの一方流通路
は軸受壁１６の上冬こ位置し、第２の吸込み室１４は軸
受１１ｉ１７の下−こ位置している。吸込み室１２．１
３の輪郭は１点鎖線で示されている。これらの吸込み室
１２．１３の中にそれぞれ回転子対６，７又は８，９が
あり、この回転子対の一郭は破線で示されている。回転
子を保持する軸２，３は板１６を貫通する。これらの軸
の回転方向は矢印４９及び５１により示されている。
ｌの２つの吸込み室１２．１３の分離に役立つ。第１図
に選ばれた図形に関して、吸込み室のうちの一方流通路
は軸受壁１６の上冬こ位置し、第２の吸込み室１４は軸
受１１ｉ１７の下−こ位置している。吸込み室１２．１
３の輪郭は１点鎖線で示されている。これらの吸込み室
１２．１３の中にそれぞれ回転子対６，７又は８，９が
あり、この回転子対の一郭は破線で示されている。回転
子を保持する軸２，３は板１６を貫通する。これらの軸
の回転方向は矢印４９及び５１により示されている。
圧送される媒体に、板！６の上に吸込み室１２を持つ高
真空側段から、板の下に吸込み室１３を持つ補助真空側
段への流通を可能にするために、流通１！１５５２が設
けられている。この流通路は、吸込み室１２の端面にあ
る出口５３を、吸込みｉ１３の端面にある入口５４と接
続する。出口５３及び入口５４は、板１６にある弧状の
切欠きにより形成される。
真空側段から、板の下に吸込み室１３を持つ補助真空側
段への流通を可能にするために、流通１！１５５２が設
けられている。この流通路は、吸込み室１２の端面にあ
る出口５３を、吸込みｉ１３の端面にある入口５４と接
続する。出口５３及び入口５４は、板１６にある弧状の
切欠きにより形成される。
通路５２は、板１６にある盲孔５５により形成され、出
口５３及び入口５４を横切り、こうしてそれらの接続を
行なう。第３図及び第４図による実施例では、孔５５に
スリーブ５６がはめ込まれており、このスリーブは、特
に出口５３と入口５４を互いに接続する部分の範囲にお
いて、流通ｗ５５２の内壁を形成する。出口５３は、ス
リーブ５６の斜めに形成された内側端面５７に対応せし
められ、他方、入口５４に、スリーブにある切欠き５８
が対応せしめられている。
口５３及び入口５４を横切り、こうしてそれらの接続を
行なう。第３図及び第４図による実施例では、孔５５に
スリーブ５６がはめ込まれており、このスリーブは、特
に出口５３と入口５４を互いに接続する部分の範囲にお
いて、流通ｗ５５２の内壁を形成する。出口５３は、ス
リーブ５６の斜めに形成された内側端面５７に対応せし
められ、他方、入口５４に、スリーブにある切欠き５８
が対応せしめられている。
スリーブ５６の外側端面は栓５９を備えている。
スリーブ５６と栓５９は互いに溶接されている。
一方では、栓５９は盲孔５５の外側開口の密閉に役立つ
。そのためにこの栓は半径方向！！！！！封環６１を備
えている。さらにこの栓は外部から到達可愉なねじ穴６
２を持っている。このねじ穴６２はねじ６３を収容し、
このねじにより拘束片６４が栓５９に取り付けられてい
る。拘束片６４に栓５９における規定された位置を与え
るために、栓５９は縁６５を備えている。別のねじ６６
によって拘束片６４が板１６に取り付けられている。
。そのためにこの栓は半径方向！！！！！封環６１を備
えている。さらにこの栓は外部から到達可愉なねじ穴６
２を持っている。このねじ穴６２はねじ６３を収容し、
このねじにより拘束片６４が栓５９に取り付けられてい
る。拘束片６４に栓５９における規定された位置を与え
るために、栓５９は縁６５を備えている。別のねじ６６
によって拘束片６４が板１６に取り付けられている。
ポンプｌの運転中に固体の汚れが生ずる場合は、これら
の固体の汚れは特に流通路５２に付着する。この流通路
を清掃するには通常、ねじ６６をゆるめ、スリーブ５６
を引き出しかつ清掃し又は新しいスリーブと取り替えれ
ば十分である。スリーブが簡単には動かない場合は、ね
じ６３もゆるめかつねじ穴６２へ工具を挿入し、この工
具によって、動かなくなっているスリーブを一層大きい
力によってゆるめかつ引き出すことができる。清掃後、
拘束片６４はねじ６３により再び栓５９に取り付けられ
る。清掃されたスリーブ５６は孔５５へはめ込まれる。
の固体の汚れは特に流通路５２に付着する。この流通路
を清掃するには通常、ねじ６６をゆるめ、スリーブ５６
を引き出しかつ清掃し又は新しいスリーブと取り替えれ
ば十分である。スリーブが簡単には動かない場合は、ね
じ６３もゆるめかつねじ穴６２へ工具を挿入し、この工
具によって、動かなくなっているスリーブを一層大きい
力によってゆるめかつ引き出すことができる。清掃後、
拘束片６４はねじ６３により再び栓５９に取り付けられ
る。清掃されたスリーブ５６は孔５５へはめ込まれる。
その後、拘束片６４はねじ６６によって板１６に取り付
けられる。このねじ６６の位置及び栓５９の縁６５は、
孔５５内のスリーブ５６の正しい位置、すなわちスリー
ブ５６の傾斜端面５７が出口５３に対応せしめられかつ
切欠き５８が入口５４に対応せしめられることを保証す
る。
けられる。このねじ６６の位置及び栓５９の縁６５は、
孔５５内のスリーブ５６の正しい位置、すなわちスリー
ブ５６の傾斜端面５７が出口５３に対応せしめられかつ
切欠き５８が入口５４に対応せしめられることを保証す
る。
本発明□は多段重真空ポンプについて説明されており、
この真空ポンプの各段は、端面にある入口及び出口を持
っている。別の型の真空ポンプでは、入口及び出口は通
常周辺部にある。従ってこれらの真空ポンプの接続通路
は爪ポンプの場合と異なる方向を持っている。しかし通
路の方向には、これらの通路に本発明によるスリーブ５
６を備えられる可能性は左右されない。
この真空ポンプの各段は、端面にある入口及び出口を持
っている。別の型の真空ポンプでは、入口及び出口は通
常周辺部にある。従ってこれらの真空ポンプの接続通路
は爪ポンプの場合と異なる方向を持っている。しかし通
路の方向には、これらの通路に本発明によるスリーブ５
６を備えられる可能性は左右されない。
第５図及び第６図は、他の実施例の場合のように、接続
通路５２が軸受壁１６にあって外部へ通じる孔５５の一
部である実施例を示している。
通路５２が軸受壁１６にあって外部へ通じる孔５５の一
部である実施例を示している。
この孔５５は栓５９により閉鎖されている。栓５９の取
り外し後に、接続通路５２は、例えば内視鏡によって、
解体の必要なしに到達可能である。
り外し後に、接続通路５２は、例えば内視鏡によって、
解体の必要なしに到達可能である。
第６図は、栓５９が縦孔６７を備えており、この縦孔に
外部へ通じる管部分６８が存在する変形例を示している
。この管部分６８の外側端部はフランジ６９を備えてお
り、このフランジに、図示した実施例では、盲フランジ
７０が気密に装着されている。盲フランジ７０の代わり
に、接続通路５２へ導入されるセンサの保持片をフラン
ジ６９に気密に取り付けることができる。
外部へ通じる管部分６８が存在する変形例を示している
。この管部分６８の外側端部はフランジ６９を備えてお
り、このフランジに、図示した実施例では、盲フランジ
７０が気密に装着されている。盲フランジ７０の代わり
に、接続通路５２へ導入されるセンサの保持片をフラン
ジ６９に気密に取り付けることができる。
第１図はポンプハウジング心駈動機械が相並んで配置さ
れている、本発明による多段ポンプの縦断面図、第２図
はｌ対の回転子の断面図、第３図及び第５図は回転子の
軸線に対して垂直な、多段重真空ポンプの側壁の断面図
、第４図及び第６図はそれぞれ第３図又は第５図による
断面に対して垂直な側壁の断面図である。
れている、本発明による多段ポンプの縦断面図、第２図
はｌ対の回転子の断面図、第３図及び第５図は回転子の
軸線に対して垂直な、多段重真空ポンプの側壁の断面図
、第４図及び第６図はそれぞれ第３図又は第５図による
断面に対して垂直な側壁の断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ハウジングと、このハウジング内にある少なくとも
２つの吸込み室（１１、１２、１３）と、これらの吸込
み室を互いに接続する少なくとも１つの通路（５２）と
を持つ多段真空ポンプ（１）において、通路（５２）が
、外部へ通じる孔（５５）の一部であり、この孔が栓（
５９）により閉鎖可能であることを特徴とする多段真空
ポンプ。 ２ 吸込み室（１１、１２、１３）が側壁（１５、１６
）により互いに分離されており、この側壁に、接続通路
（５２）を形成する孔（５５）が存在することを特徴と
する、請求項１に記載のポンプ。 ３ 栓（５９）が縦孔（６７）を備えており、この縦孔
に外方へ、フランジ（７０）を備えた管部分（５８）が
接続することを特徴とする、請求項１又は２に記載のポ
ンプ。 ４ 栓（５９）にスリーブ（５６）が取り付けられてお
り、このスリーブが接続通路（５２）の内壁の少なくと
も一部を形成することを特徴とする、請求項１又は２に
記載のポンプ。 ５ スリーブが開口又は切欠き（５７、５８）を備えて
おり、これらが、接続通路（５２）を通つて流れる媒体
の流入及び流出に役立つことを特徴とする、請求項４に
記載のポンプ。 ６ スリーブ（５６）の内側端部が面取りされているこ
とを特徴とする、請求項４又は５に記載のポンプ。 ７ 栓（５９）がねじ穴（６２）を備えていることを特
徴とする、請求項４、５又は６のうち１つに記載のポン
プ。 ８ 栓（５９）に拘束片（６４）が設けられており、こ
の拘束片が壁（１６）に取り外し可能に取り付けられて
いることを特徴とする、請求項４ないし７のうち１つに
記載のポンプ。 ９ 拘束片（６４）に、栓（５９）に設けられた、位置
を固定するためのストッパ又は縁（６５）が付属してい
ることを特徴とする、請求項８に記載のポンプ。 １０ 栓（５９）が管部分（６８）及びスリーブ（５６
）を備えていることを特徴とする、請求項３及び４のう
ち１つに記載のポンプ。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP88102986.2 | 1988-02-29 | ||
| EP88102986 | 1988-02-29 | ||
| EP88117706.7 | 1988-10-25 | ||
| EP88117706A EP0332741B1 (de) | 1988-02-29 | 1988-10-25 | Mehrstufige Vakuumpumpe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01247787A true JPH01247787A (ja) | 1989-10-03 |
Family
ID=26113719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1036453A Pending JPH01247787A (ja) | 1988-02-29 | 1989-02-17 | 多段真空ポンプ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4943215A (ja) |
| JP (1) | JPH01247787A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
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-
1989
- 1989-02-17 US US07/313,165 patent/US4943215A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-02-17 JP JP1036453A patent/JPH01247787A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5173041A (en) * | 1990-09-21 | 1992-12-22 | Ebara Corporation | Multistage vacuum pump with interstage solid material collector and cooling coils |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4943215A (en) | 1990-07-24 |
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