DE10019066A1 - Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren - Google Patents

Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren

Info

Publication number
DE10019066A1
DE10019066A1 DE10019066A DE10019066A DE10019066A1 DE 10019066 A1 DE10019066 A1 DE 10019066A1 DE 10019066 A DE10019066 A DE 10019066A DE 10019066 A DE10019066 A DE 10019066A DE 10019066 A1 DE10019066 A1 DE 10019066A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
shaft
gear
drive
pump according
pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE10019066A
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Behling
Lothar Brenner
Thomas Dr Dreifert
Hartmut Kriehn
Klaus Dr Rofall
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Priority to DE10019066A priority Critical patent/DE10019066A1/de
Priority to AT01927731T priority patent/ATE474139T1/de
Priority to DE50115557T priority patent/DE50115557D1/de
Priority to US10/257,903 priority patent/US6964559B2/en
Priority to JP2001577068A priority patent/JP4838480B2/ja
Priority to KR1020027013903A priority patent/KR100793456B1/ko
Priority to PCT/EP2001/002972 priority patent/WO2001079701A1/de
Priority to EP01927731A priority patent/EP1274942B8/de
Priority to TW090109139A priority patent/TW507048B/zh
Publication of DE10019066A1 publication Critical patent/DE10019066A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/005Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse (5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf jeweils einer Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befinden, mit einem an das Schöpfraumgehäuse (5) angrenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Rotorwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Synchronisationsgetriebe (17) ausgerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25), dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) erstreckt und ein Antriebsrad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestufe (37) zwischen der Antriebswelle (28) und einer der Rotorwellen (8, 9); um eine Maschine dieser Art kompakt ausführen zu können wird vorgeschlagen, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) unmittelbar mit einem Abtriebsrad (36) auf einer der Rotorwellen (8, 9) in Eingriff steht und die Getriebestufe (37) bildet.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentan­ spruchs 1.
Vakuumpumpen dieser Art gehören zur Gattung der Zwei-Wellen-Vakuumpumpen. Typische Beispiele für Zwei-Wellen-Vakuumpumpen sind Rootspumpen, Klauen­ pumpen und Schraubenpumpen. Die beiden Rotoren derartiger Pumpen befinden sich in einem Schöpf­ raum und bewirken eine Förderung der Gase von ei­ nem Einlaß zu einem Auslaß. Die fliegende Lagerung hat bei axialfördernden Maschinen den Vorteil, dass auf der Saugseite (Hochvakuum-Seite) Wellen­ dichtungen nicht erforderlich sind.
Bei Zweiwellenmaschinen mit synchronisierten Wel­ len ist der Direktantrieb einer der beiden Wellen üblich (vgl. z. B. die DE 198 20 523 A1). Werden in Maschinen dieser Art gängige Wechselstromantriebs­ motoren eingesetzt, ergeben sich Rotordrehzahlen von 3000 U/min (bei 50 Hz) bzw. 3600 U/min (bei 60 Hz). Mit derartigen Drehzahlen betriebene Pumpen haben eine geringe Leistungsdichte, benötigen enge Spalte und/oder viele Stufen und sind damit relativ groß, schwer und kostspielig. Eine Erhöhung der Drehzahlen wäre mit Hilfe eines Frequenzumfor­ mers möglich; Frequenzumformer bei großen An­ triebsleistungen sind jedoch teuer.
Eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbe­ griffs des Patentanspruchs 1 ist aus der europäi­ schen Patentschrift 472 933, Fig. 15, bekannt. Der Antriebsmotor ist in einem seitlich neben der Pumpe befindlichen Gehäuse untergebracht. Um die Rotoren mit einer gegenüber der Motordrehzahl hö­ heren Drehzahl betreiben zu können, ist ein Über­ setzungsgetriebe vorgesehen. Das Antriebszahnrad der Motorwelle ist über ein weiteres Zahnrad mit einem auf einer der Rotorwellen angeordneten Zahn­ rad gekoppelt. Eine Lösung dieser Art hat einen hohen Raumbedarf. Außerdem sind vier Wellen vor­ handen, die jeweils mit Lagerungen ausgerüstet sein müssen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zu­ grunde, eine Vakuumpumpe der hier betroffenen Art einfacher und kompakter zu gestalten.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kenn­ zeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.
Der wesentliche Vorteil der Erfindung liegt darin, dass die Mittel, die für eine Übersetzung ins Schnelle - z. B. eine Verdoppelung der Rotordreh­ zahl - erforderlich sind, wesentlich einfacher sind als beim Stand der Technik. Die gängige Motortechnologie kann beibehalten werden. Insbeson­ dere dann, wenn auch der Antriebsmotor im Lager- /Getrieberaum untergebracht ist, ergeben sich eine äußerst schlanke und kompakte Bauform sowie eine vereinfachte Kühlung des Elektromotors.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Fig. 1 bis 10 schema­ tisch dargestellten Ausführungsbeispielen erläu­ tert werden. Es zeigen
  • Fig. 1 bis 3 Ausführungsbeispiele nach der Erfindung, bei denen der Motorrotor auf einer separaten, neben den Rotorwellen angeordneten Motorwelle läuft, und
  • Fig. 4 bis 10 Ausführungsbeispiele, bei de­ nen der Motorrotor und eine der Rotorwellen eine gemeinsame Drehachse haben.
In den Figuren sind die Zweiwellenvakuumpumpe mit 1, ihre Rotoren mit 2, 3, ihr Schöpfraum mit 4 und ihr Schöpfraumgehäuse mit 5 bezeichnet. An das Schöpfraumgehäuse 5 grenzt der Lager-/Getrieberaum 6 an, dessen Gehäuse mit 7 bezeichnet ist. In den Lager-/Getrieberaum 7 erstrecken sich die Rotor­ wellen 8, 9 hinein. Die Drehachsen der Rotoren und Wellen sind mit 11 und 12 bezeichnet. Die Wellen sind schöpfraumseitig und endseitig gelagert (La­ ger 13 bis 16), so daß die Rotoren 2, 3 fliegend gelagert sind. Die Rotorwellen 2, 3 sind über ein Synchronisationsgetriebe 17 miteinander gekoppelt, das von zwei miteinander in Eingriff stehenden Zahnrädern 18, 19 gebildet wird. Zur Abdichtung des Schöpfraumes 4 gegenüber dem Lagerraum 6 sind Dichtungen 21, 22 vorgesehen.
Bei allen dargestellten Ausführungsbeispielen be­ findet sich der Antriebsmotor 25 im Lager- /Getrieberaum 7. Der Stator 26 umgibt den Anker 27, der auf der Motorwelle 28 befestigt ist. Die Motorwelle 28 erstreckt sich jeweils parallel zu den Rotorwellen 8, 9 und ist im Bereich ihrer Enden (Lager 31, 32) im Lager-/Getrieberaum 7 gelagert. Ihre Drehachse ist mit 29 bezeichnet.
Es besteht auch die Möglichkeit, einen Standardmo­ tor außerhalb des Gehäuses 7 anzuordnen und mit einer Welle zu koppeln, die sich innerhalb des La­ ger-/Getrieberaumes 6 parallel zu den Rotorwellen 8, 9 erstreckt und die das Antriebszahnrad 35 trägt. Eine Lösung dieser Art ist durch die ge­ strichelte Linie 30 in Fig. 1 angedeutet.
Als Beispiel ist in Fig. 1 eine Schraubenvakuum­ pumpe 1 dargestellt. Die von den Drehachsen 11, 12 gebildete Ebene 23 (Fig. 2, 3 und 4) steht senk­ recht zur Zeichnungsebene, so dass nur eine rotie­ rende Einheit sichtbar ist. Während ihres Betriebs fördern die Rotoren 2, 3 Gase vom Einlaß 33 zu ei­ nem nicht dargestellten Auslaß.
Bei der Schraubenvakuumpumpe nach Fig. 1 befindet sich die Motorwelle 28 seitlich neben der von den Drehachsen 11, 12 gebildeten Ebene. Sie trägt ein Antriebszahnrad (Antriebsrad 35), das unmittelbar mit einem Zahnrad (Abtriebsrad 36) in Eingriff steht. Antriebsrad 35 und Abtriebsrad 36 bilden eine Getriebestufe 37. Das Abtriebsrad 36 ist auf einer der Rotorwellen 8, 9 befestigt. Der synchrone Antrieb der jeweils zweiten Rotorwelle erfolgt über die Zahnräder 18, 19 des Synchronisations- Getriebes 17.
Die Fig. 2 bis 4 deuten Kopplungsmöglichkeiten der beschriebenen Art an. Bei der Lösung nach Fig. 2 steht das Antriebsrad 35 mit einem (18) der beiden Synchronisationszahnräder 18, 19 in Ein­ griff. Das Zahnrad 18 ist gleichzeitig das Ab­ triebsrad 36. Das Durchmesserverhältnis der Zahn­ räder 35 und 18 bestimmt die Übersetzung.
Die Ausführung nach Fig. 3 entspricht der in Fig. 1 dargestellten Lösung. Unterhalb des Synchro­ nisationszahnrades 18 auf der Welle 8 befindet sich ein weiteres, vorzugsweise im Durchmesser kleineres Zahnrad 36, das mit dem Antriebszahnrad 35 in Eingriff steht. Dieses gilt auch für die Lö­ sung nach Fig. 4. Unterschiedlich gegenüber Fig. 3 ist, dass die Drehachsen 11, 12 und 29 in einer Ebene liegen.
Die Fig. 2 bis 4 lassen erkennen, dass zum ei­ nen der Bauraum zwischen den Rotorwellen 8, 9 zum Teil für den Motorstator 26 genutzt werden kann (Fig. 2, 3), so dass sich kompakte Lösungen ergeben. Zum anderen besteht weitgehend freie Wahl in Bezug auf die Winkellage der Drehachsen zuein­ ander.
Bei den Ausführungen nach den Fig. 5 bis 10 ist die Motorwelle 28 hohl ausgebildet, so dass die Möglichkeit besteht, dass eine der Rotorwellen die Hohlwelle 28 derart durchsetzt, dass ihre Drehach­ sen 29 und 11 bzw. 12 identisch sind. Bei Ausfüh­ rungen dieser Art kann der Bauraum zwischen den Rotorwellen 8, 9 noch besser genutzt werden. Insge­ samt resultiert daraus eine optimal kompakte und schlanke Bauform.
Einige der Gestaltungsmöglichkeiten derartiger Ausführungen zeigen die Fig. 5 bis 10. Bei den Lösungen nach den Fig. 5 und 6 trägt die Hohl­ welle 28 jeweils das Antriebsrad 35, das mit dem Abtriebsrad 36 auf der neben der Hohlwelle 28 be­ findlichen Rotorwelle in Eingriff steht. Über das versetzt dazu angeordnete Synchronisationsbetriebe 17 erfolgt der sychronisierte Antrieb der die Hohlwelle 28 durchsetzenden Rotorwelle 8. Auch in den Fig. 7 und 8 bildet ein antreibendes Rad 35 und ein angetriebenes Rad 36 die Getriebestufe 37. In Fig. 7 ist angedeutet, dass diese Getriebestu­ fe als Ketten- oder Rinnenstuffen ausgebildet ist. Die Lösung nach Fig. 8 besitzt ein Planetenge­ triebe.
Die Lagerung der Motorwelle 28 kann unabhängig von den Lagern 13 bis 16 der Rotorwellen 8, 9 über gehäusefeste Träger erfolgen (Fig. 8, oberes Lager 31). Eine besonders kompakte Lösung wird erreicht, wenn sich die Motorwelle 28 über mindestens ein (Fig. 8, Lager 32), zweckmäßig beide Lager 31, 32 (Fig. 5 und 7) auf der die Hohlwelle 28 durch­ setzenden Rotorwelle 8 abstützt. Im übrigen kann sich auch die die Hohlwelle 28 durchsetzende Ro­ torwelle 8 in der Hohlwelle abstützen (Lager 15 in Fig. 6). Schließlich zeigt Fig. 7 noch die Be­ sonderheit, dass auch die Synchronisationsstufe ein anderes Übersetzungsverhältnis als 1 : 1 haben kann. Die Zahnräder 18 und 19 haben unterschiedli­ che Durchmesser, die ein Übersetzungsverhältnis von 2 : 1 andeuten sollen. Voraussetzung ist eine entsprechende Gestaltung der Rotoren 2, 3.
Die Fig. 8 bis 10 zeigen die Kopplung der hoh­ len Motorwelle 28 mit der die Hohlwelle zentral durchsetzenden Rotorwelle 8 über ein Planetenbe­ triebe 41, das die Getriebestufe 37 bildet. Das Planetengetriebe umfaßt in an sich bekannterweise das äußere Hohlrad 42, z. B. zwei Planetenräder 43, 44 sowie das auf der Rotorwelle 8 mit der Dreh­ achse 29 befestigte Sonnenrad 45. Prinzipskizze 9 zeigt die in Fig. 8 dargestellte Lösung mit fest­ stehendem Hohlrad 42. Die Planetenräder 43, 44, die über Kurbeln 46, 47 mit der Motorwelle 28 in Ver­ bindung stehen, bilden Antriebsräder 35, 35'. Nur ein Planetenrad 44 würde als Antriebsrad 35 aus­ reichen (Fig. 9). Das Sonnenrad 45 bildet das Ab­ triebsrad 36.
Bei der Lösung nach Fig. 10 bildet das Hohlrad 42 das Antriebsrad 35. Für das Planetenrad 4 ist ein feststehender Träger vorgesehen. Das Sonnenrad 45 bildet wieder das Abtriebsrad 36. Obwohl bei die­ ser Lösung Antriebsrad 35 und Abtriebsrad 36 nicht unmittelbar in Eingriff stehen, können die erfin­ dungsgemäßen Ziele - kompakt, einfach - erreicht werden.
Es wurde bereits vorgeschlagen, mindestens eine der Rotorwellen 8, 9 mit einer zentralen Bohrung auszurüsten und diese Bohrung(en) zum Transport eines Schmier- und Kühl-Mittels (vorzugsweise Öl) zu nutzen. Bei im Lager-/Getrieberaum angeordnetem Antriebsmotor 25 kann dieser ebenfalls mit dem Öl gekühlt werden. Eine der Förderung des Öls dienen­ de Ölpumpe kann auf einer der Wellen 8, 9 oder 28 angeordnet sein. Liegt die Motorwelle 28 neben den Rotorwellen 8, 9, dann besteht eine besonders zweckmäßige Lösung darin, daß die Ölpumpe - vor­ zugsweise als Exzenterpumpe ausgebildet - auf der Motorwelle 28 angeordnet ist, und zwar im Bereich ihres oberen Endes. Diese Ausführung ist in Fig. 1 dargestellt. Die Ölpumpe ist mit 51 bezeichnet.
Zusätzlich kann eine der Wellen 8, 9 oder 28 auf ihrer schöpfraumfernen Seite aus dem Lager- /Getrieberaum 6 dicht herausgeführt sein und ein Lüfterrad 52 tragen. Zweckmäßig wird dazu entspre­ chend Fig. 1 ebenfalls die Motorwelle 28 verwen­ det.

Claims (15)

1. Vakuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse (5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf jeweils ei­ ner Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befin­ den, mit einem an das Schöpfraumgehäuse (5) an­ grenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Ro­ torwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Sychronisationsgetriebe (17) ausgerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25), dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) er­ streckt und ein Antriebsrad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestufe (37) zwischen der An­ triebswelle (28) und einer der Rotorwellen (8, 9), dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) unmittelbar mit einem Ab­ triebsrad (36) auf einer der Rotorwellen (8, 9) in Eingriff steht und die Getriebestufe (37) bildet.
2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) mit einem der Zahnräder (18, 19) des Sychronisationsgetriebes (17) in Eingriff steht, das einen im Vergleich zum Antriebsrad (35) kleineren Durchmes­ ser hat.
3. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) mit einem auf einer der Rotorwellen (8, 9) ange­ ordneten Zahnrad (36) in Eingriff steht, das ge­ genüber dem Synchronisations-Zahnrad (18 bzw. 19) auf dieser Welle einen kleineren Durchmesser hat.
4. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmotor (25) innerhalb des Lager-/Getrieberaumes (6) untergebracht ist.
5. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Motorwelle (28) neben den Rotorwellen (8, 9) angeordnet ist.
6. Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich auf einem der Enden der Motorwelle (28), vorzugsweise auf ihrem schöpfraumseitigen Ende, eine Ölpumpe (51) befindet.
7. Pumpe nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Motorwelle (28) mit ihrem schöpfraumfernen Ende aus dem Getriebe- /Lagerraum (6) herausgeführt ist und ein Lüf­ terrad (52) trägt.
8. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (28) des Antriebsmotors (25) hohl ausgebildet ist und dass eine der Ro­ torwellen (8, 9) die hohle Antriebswelle (28) durchsetzt.
9. Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die die Hohlwelle (28) durchsetzende Rotorwelle (8 bzw. 9) über Lager (13, 15) auf dem Gehäuse (7) abstützt und dass sich minde­ stens eines der beiden Lager (31, 32) der Mo­ torwelle (28) auf der Rotorwelle (8 bzw. 9) ab­ stützt.
10. Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Hohlwelle (28) durchsetzende Ro­ torwelle (8 bzw. 9) über mindestens ein Lager (31 bzw. 32) in der Hohlwelle (28) abstützt.
11. Pumpe nach einem der Ansprüche 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Getriebestufe (37) ein Planetengetriebe (41) mit feststehen­ dem Hohlrad (42) vorgesehen ist.
12. Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10 dadurch gekennzeichnet, dass eine Ketten- oder Riemen­ stufe die Getriebestufe (37) bildet.
13. Vakuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse (5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf je­ weils einer Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befinden, mit einem an das Schöpfraumge­ häuse (5) angrenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Rotorwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Sychronisationsgetriebe (17) aus­ gerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25), dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) erstreckt und ein Antriebs­ rad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestu­ fe (37) zwischen der Antriebswelle (28) und ei­ ner der Rotorwellen (8, 9), dadurch gekenn­ zeichnet, dass die Antriebswelle (28) des An­ triebsmotors (25) hohl ausgebildet ist, dass eine der Rotorwellen (8, 9) die hohle Antriebs­ welle (28) durchsetzt und dass als Getriebestu­ fe (37) ein Planetengetriebe (41) mit angetrie­ benem Hohlrad (42) und feststehendem Planeten­ träger vorgesehen ist.
14. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Synchronisati­ onsgetriebe (17) ein von 1 : 1 unterschiedliches Übersetzungsverhältnis hat.
15. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Pumpe ver­ wendete Zahnräder zur Geräuschreduzierung aus Kunststoff bestehen.
DE10019066A 2000-04-18 2000-04-18 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren Ceased DE10019066A1 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10019066A DE10019066A1 (de) 2000-04-18 2000-04-18 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren
AT01927731T ATE474139T1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
DE50115557T DE50115557D1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
US10/257,903 US6964559B2 (en) 2000-04-18 2001-03-15 Two shaft vacuum pump with cantilevered rotors
JP2001577068A JP4838480B2 (ja) 2000-04-18 2001-03-15 2つの協働するロータを備えた真空ポンプ
KR1020027013903A KR100793456B1 (ko) 2000-04-18 2001-03-15 상호 작용하는 두 개의 회전자를 갖는 진공 펌프
PCT/EP2001/002972 WO2001079701A1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
EP01927731A EP1274942B8 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
TW090109139A TW507048B (en) 2000-04-18 2001-04-17 Vacuum pump with two jointly functioning rotors

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10019066A DE10019066A1 (de) 2000-04-18 2000-04-18 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10019066A1 true DE10019066A1 (de) 2001-10-25

Family

ID=7639093

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10019066A Ceased DE10019066A1 (de) 2000-04-18 2000-04-18 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren
DE50115557T Expired - Lifetime DE50115557D1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50115557T Expired - Lifetime DE50115557D1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6964559B2 (de)
EP (1) EP1274942B8 (de)
JP (1) JP4838480B2 (de)
KR (1) KR100793456B1 (de)
AT (1) ATE474139T1 (de)
DE (2) DE10019066A1 (de)
TW (1) TW507048B (de)
WO (1) WO2001079701A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003042542A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-22 Leybold Vakuum Gmbh Temperierugsverfahren einer schraubenvakuumpumpe
WO2003042541A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-22 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte schraubenvakuumpumpe
DE102006030917A1 (de) 2006-06-26 2007-12-27 Pierburg Gmbh Ölpumpen- und Vakuumpumpenmodul
DE202017003046U1 (de) * 2017-06-09 2018-09-14 Leybold Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100561419B1 (ko) * 2004-02-21 2006-03-16 삼성전자주식회사 다중헤드기어펌프 및 이를 채용한 습식 화상형성장치
DE102004016237A1 (de) * 2004-04-02 2005-10-20 Leybold Vakuum Gmbh Zwei-Wellen-Vakuumpumpe
JP2008157446A (ja) * 2006-11-30 2008-07-10 Anest Iwata Corp 2軸以上の回転軸間の駆動力伝達機構と該駆動力伝達機構を用いた無給油流体機械
JP2008138549A (ja) * 2006-11-30 2008-06-19 Anest Iwata Corp 2軸以上の回転軸を配した無給油流体機械本体を有する無給油流体機械
US7997227B2 (en) * 2007-03-13 2011-08-16 General Electric Company Vacuum coater device and mechanism for supporting and manipulating workpieces in same
DE102007053979A1 (de) * 2007-11-13 2009-05-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schmiermittelpumpe
CN102256824B (zh) * 2008-12-19 2015-04-22 穆韦克斯公司 直接安装在动力输出设备上的流体加压装置
US8764424B2 (en) 2010-05-17 2014-07-01 Tuthill Corporation Screw pump with field refurbishment provisions
JP2013541669A (ja) 2010-10-27 2013-11-14 ゲーエーベーエル.ベッケル・ゲーエムベーハー 真空ポンプ
CN102080642B (zh) * 2010-12-17 2012-07-04 中国科学院遗传与发育生物学研究所 一种风力机气动提水方法
DE102018113043A1 (de) * 2018-05-31 2019-12-05 FRISTAM Pumpen Schaumburg GmbH Rotierende Verdrängerpumpe

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4767284A (en) * 1986-03-20 1988-08-30 Hitachi, Ltd. Screw vacuum pump unit
EP0332741A1 (de) * 1988-02-29 1989-09-20 Leybold Aktiengesellschaft Mehrstufige Vakuumpumpe
EP0472933A2 (de) * 1990-08-01 1992-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Drehanlage für flüssige Medien
DE3706588C2 (de) * 1987-02-26 1993-12-02 Mannesmann Ag Antriebseinrichtung für Rotationskolbenverdichter
US5454700A (en) * 1993-05-08 1995-10-03 Ishikawajima-Harima Jukogyo Kabushiki Kaisha Bearing support for a lysholm compressor
DE19820523A1 (de) * 1998-05-08 1999-11-11 Peter Frieden Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Rotorkühlung

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2446194A (en) * 1943-07-30 1948-08-03 Samiran David Pump construction
US2880676A (en) * 1956-03-26 1959-04-07 Succop Anna Louise Motor and pump combination
US2937807A (en) * 1956-12-26 1960-05-24 Heraeus Gmbh W C High vacuum pumps
US3651705A (en) * 1970-10-14 1972-03-28 Fiat Spa Gears for toothed belt drives, particularly for motors for automotive vehicles, made of synthetic material
US3796526A (en) * 1972-02-22 1974-03-12 Lennox Ind Inc Screw compressor
DD153168A5 (de) * 1979-09-24 1981-12-23 Isartaler Schraubenkompressor Verdichteranlage
US4674960A (en) * 1985-06-25 1987-06-23 Spectra-Physics, Inc. Sealed rotary compressor
US4877385A (en) * 1987-01-20 1989-10-31 General Motors Corporation Positive displacement rotary mechanism
JPS63198789A (ja) 1987-02-13 1988-08-17 Hitachi Ltd オイルフリ−真空ポンプ
JPH01247787A (ja) 1988-02-29 1989-10-03 Leybold Ag 多段真空ポンプ
JPH0758074B2 (ja) * 1988-04-28 1995-06-21 株式会社日立製作所 オイルフリー・スクリュー圧縮機装置
JP2635406B2 (ja) 1989-04-20 1997-07-30 株式会社神戸製鋼所 オイルフリースクリュ式ポンプ装置
FR2656658B1 (fr) * 1989-12-28 1993-01-29 Cit Alcatel Pompe a vide turbomoleculaire mixte, a deux arbres de rotation et a refoulement a la pression atmospherique.
US5443644A (en) * 1994-03-15 1995-08-22 Kashiyama Industry Co., Ltd. Gas exhaust system and pump cleaning system for a semiconductor manufacturing apparatus
JPH08144977A (ja) 1994-11-24 1996-06-04 Kashiyama Kogyo Kk 複合ドライ真空ポンプ
SE506513C2 (sv) * 1995-10-23 1997-12-22 Lysholm Techn Ab Transmission med ett tvådelat kopplingsorgan
JPH1193873A (ja) 1997-09-22 1999-04-06 Aisin Seiki Co Ltd 真空ポンプ
DE19745616A1 (de) * 1997-10-10 1999-04-15 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
JP3668616B2 (ja) 1998-09-17 2005-07-06 株式会社日立産機システム オイルフリースクリュー圧縮機
DE19945871A1 (de) 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4767284A (en) * 1986-03-20 1988-08-30 Hitachi, Ltd. Screw vacuum pump unit
DE3706588C2 (de) * 1987-02-26 1993-12-02 Mannesmann Ag Antriebseinrichtung für Rotationskolbenverdichter
EP0332741A1 (de) * 1988-02-29 1989-09-20 Leybold Aktiengesellschaft Mehrstufige Vakuumpumpe
EP0472933A2 (de) * 1990-08-01 1992-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Drehanlage für flüssige Medien
US5454700A (en) * 1993-05-08 1995-10-03 Ishikawajima-Harima Jukogyo Kabushiki Kaisha Bearing support for a lysholm compressor
DE19820523A1 (de) * 1998-05-08 1999-11-11 Peter Frieden Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Rotorkühlung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 11093873 A.,In: Patent Abstracts of Japan *

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003042542A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-22 Leybold Vakuum Gmbh Temperierugsverfahren einer schraubenvakuumpumpe
WO2003042541A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-22 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte schraubenvakuumpumpe
DE10156180A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-28 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
DE10156179A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-28 Leybold Vakuum Gmbh Kühlung einer Schraubenvakuumpumpe
US7056108B2 (en) 2001-11-15 2006-06-06 Leybold Vakuum Gmbh Cooled screw-type vacuum pump
US7232295B2 (en) 2001-11-15 2007-06-19 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Tempering method for a screw-type vacuum pump
CN100422561C (zh) * 2001-11-15 2008-10-01 奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 冷却式螺旋真空泵
CN100487249C (zh) * 2001-11-15 2009-05-13 奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 调节螺旋真空泵温度的方法
DE10156180B4 (de) * 2001-11-15 2015-10-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
DE102006030917A1 (de) 2006-06-26 2007-12-27 Pierburg Gmbh Ölpumpen- und Vakuumpumpenmodul
DE102006030917B4 (de) 2006-06-26 2018-08-16 Pierburg Gmbh Ölpumpen- und Vakuumpumpenmodul
DE202017003046U1 (de) * 2017-06-09 2018-09-14 Leybold Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
ATE474139T1 (de) 2010-07-15
US20030152468A1 (en) 2003-08-14
EP1274942B1 (de) 2010-07-14
TW507048B (en) 2002-10-21
JP2004501308A (ja) 2004-01-15
EP1274942A1 (de) 2003-01-15
US6964559B2 (en) 2005-11-15
WO2001079701A1 (de) 2001-10-25
KR20020091213A (ko) 2002-12-05
DE50115557D1 (de) 2010-08-26
JP4838480B2 (ja) 2011-12-14
KR100793456B1 (ko) 2008-01-14
EP1274942B8 (de) 2010-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10019066A1 (de) Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren
EP0409287B1 (de) Vakuumpumpe mit Schöpfraum
EP1069310A2 (de) Antriebsvorrichtung
DE19751231A1 (de) Antriebsvorrichtung
EP1757839B1 (de) Schwerlastgetriebe für Walzenschüsselmühlen
DE19841159A1 (de) Antriebsanordnung für ein Kraftfahrzeug
EP3507496B1 (de) Trockenverdichtende vakuumpumpe
DE102006043961B4 (de) Herstellverfahren für ein Getriebe aus einem Baukasten von Teilen, Baukasten zur Herstellung von unterschiedlichen Getrieben, System von aus einem Baukasten herstellbaren Getrieben
CH682891A5 (de) Hauptspindelantrieb für eine Werkzeugmaschine.
EP1618961B1 (de) Antriebsvorrichtung für Schneckenzentrifugen
EP0807030A1 (de) Antriebsvorrichtung, insbesondere radantrieb für kettenfahrzeuge
EP0085889B1 (de) Zwei-oder mehrstufige Drehkolbenmaschine
EP0258518B1 (de) Schwingschleifer
WO2012055734A2 (de) Vakuumpumpe
WO2015110618A2 (de) Drehzahlveränderliche maschinen-getriebe-einheit
DE102013015061A1 (de) Kompakter koaxialer Exzentergetriebe Antrieb eines handgeführten Elektro- oder Pneumatikgerätes
WO2004038227A1 (de) Verdichtermaschine mit zwei gegensinnig laufenden rotoren
DE3634894A1 (de) Antriebsvorrichtung mit einem elektromotor und einem diesem vorgeschalteten getriebe in einem gemeinsamen gehaeuse
WO2010046045A1 (de) Getriebemotor, getriebesystem und verfahren zum betrieb eines systems
WO2018224409A1 (de) Trockenverdichtende vakuumpumpe
DE3641656A1 (de) Antriebseinrichtung mit einem elektromotor und einem untersetzungsgetriebe
DE4306141A1 (de) Verstelleinrichtung für Propellerpumpen
DE4234055C2 (de) Spiralkompressor
WO2004074689A1 (de) Drehkolbenpumpe
DE19541748A1 (de) Zahnradkasten für kontinuierlich variables Getriebe

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8141 Disposal/no request for examination
8110 Request for examination paragraph 44
8170 Reinstatement of the former position
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final

Effective date: 20120522