WO2001079701A1 - Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren - Google Patents

Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren Download PDF

Info

Publication number
WO2001079701A1
WO2001079701A1 PCT/EP2001/002972 EP0102972W WO0179701A1 WO 2001079701 A1 WO2001079701 A1 WO 2001079701A1 EP 0102972 W EP0102972 W EP 0102972W WO 0179701 A1 WO0179701 A1 WO 0179701A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gear
shaft
drive
pump according
rotor shafts
Prior art date
Application number
PCT/EP2001/002972
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Manfred Behling
Lothar Brenner
Thomas Dreifert
Hartmut Kriehn
Klaus Rofall
Original Assignee
Leybold Vakuum Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum Gmbh filed Critical Leybold Vakuum Gmbh
Priority to JP2001577068A priority Critical patent/JP4838480B2/ja
Priority to US10/257,903 priority patent/US6964559B2/en
Priority to EP01927731A priority patent/EP1274942B8/de
Priority to DE50115557T priority patent/DE50115557D1/de
Priority to AT01927731T priority patent/ATE474139T1/de
Publication of WO2001079701A1 publication Critical patent/WO2001079701A1/de

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0042Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
    • F04C29/005Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions

Definitions

  • the invention relates to a vacuum pump with the features of the preamble of claim 1.
  • Vacuum pumps of this type belong to the genus of two-shaft vacuum pumps. Typical examples of two-shaft vacuum pumps are root pumps, claw pumps and screw pumps. The two rotors of such pumps are located in a pumping chamber and cause the gases to be conveyed from an inlet to an outlet.
  • the floating bearing has the advantage in axial conveying machines that shaft seals are not required on the suction side (high vacuum side).
  • a vacuum pump with the features of the preamble of claim 1 is known from European Patent 472 933, Figure 15.
  • the drive motor is housed in a housing on the side of the pump.
  • a transmission gear is provided in order to be able to operate the rotors at a higher speed than the motor speed.
  • the drive gear of the motor shaft is coupled via a further gear to a gear arranged on one of the rotor shafts.
  • a solution of this kind takes up a lot of space.
  • the object of the present invention is to make a vacuum pump of the type concerned here simpler and more compact.
  • the main advantage of the invention lies in the fact that the means which are required for a rapid translation - for example a doubling of the rotor speed - are much simpler than in the state of the art.
  • the current engine technology can be retained.
  • the drive motor is also housed in the bearing / gearbox, this results in an extremely slim and compact design and simplified cooling of the electric motor.
  • FIGS. 1 to 10 Show it
  • the twin-shaft vacuum pump is designated by 1, its rotors by 2.3, its pump chamber by 4 and its pump chamber housing by 5.
  • the bearing / gear chamber 6 adjoins the pump chamber housing 5, the housing of which is designated by 7.
  • the rotor shafts 8, 9 extend into the bearing / gear space 7.
  • the axes of rotation of the rotors and shafts are designated 11 and 12.
  • the shafts are mounted on the side of the suction chamber and on the end (bearings 13 to 16), so that the rotors 2, 3 are overhung are.
  • the rotor shafts 2, 3 are coupled to one another via a synchronization gear 17, which is formed by two gear wheels 18, 19 which are in engagement with one another.
  • Seals 21, 22 are provided to seal the scoop chamber 4 from the storage room 6.
  • the drive motor 25 is located in the bearing / gear space 7.
  • the stator 26 surrounds the armature 27, which is fastened on the motor shaft 28.
  • the motor shaft 28 extends parallel to the rotor shafts 8, 9 and is mounted in the area of its ends (bearings 31, 32) in the bearing / gear space 7. Its axis of rotation is designated 29.
  • a screw vacuum pump 1 is shown in FIG. 1 as an example.
  • the plane 23 formed by the axes of rotation 11, 12 (FIGS. 2, 3 and 4) is perpendicular to the plane of the drawing, so that only one rotating unit is visible.
  • the rotors 2,3 deliver gases from the inlet 33 to an outlet, not shown.
  • the motor shaft 28 is located laterally next to the plane formed by the axes of rotation 11, 12. It carries a drive gear (drive wheel 35) which is directly in engagement with a gear (driven wheel 36).
  • Drive wheel 35 and driven wheel 36 form a gear stage 37.
  • the driven wheel 36 is fastened on one of the rotor shafts 8, 9.
  • the synchronous drive of the second rotor shaft takes place via the gears 18, 19 of the synchronization gear 17.
  • Figures 2 to 4 indicate coupling options of the type described.
  • the drive wheel 35 is in engagement with one (18) of the two synchronization gears 18, 19.
  • the gear 18 is also the driven gear 36.
  • the diameter ratio of the gears 35 and 18 determines the translation.
  • FIG. 3 corresponds to the solution shown in FIG. 1.
  • a further gear 36 preferably with a smaller diameter, which engages with the drive gear 35.
  • FIG. 4 What differs from FIG. 3 is that the axes of rotation 11, 12 and 29 lie in one plane.
  • FIGS. 2 to 4 show that, on the one hand, the installation space between the rotor shafts 8, 9 can be used in part for the motor stator 26 (FIGS. 2, 3), so that compact solutions result.
  • the motor shaft 28 is hollow, so that there is the possibility that one of the rotor shafts passes through the hollow shaft 28 in such a way that its axes of rotation 29 and 11 and 12 are identical. With designs of this type, the installation space between the rotor shafts 8, 9 can be used even better. Overall, this results in an optimally compact and slim design.
  • FIGS. 5 to 10 show some of the design options of such designs.
  • the hollow shaft 28 carries the drive wheel 35, which engages with the driven wheel 36 on the rotor shaft located next to the hollow shaft 28.
  • the synchronized drive 17, which is arranged offset to this, provides the synchronized drive of the rotor shaft 8 passing through the hollow shaft 28.
  • a driving wheel 35 and a driven wheel 36 form the gear stage 37. In FIG. 7 it is indicated that this gear stage as Chain or gutter steps is formed.
  • the solution according to FIG. 8 has a planetary gear.
  • the motor shaft 28 can be supported independently of the bearings 13 to 16 of the rotor shafts 8, 9 via supports fixed to the housing (FIG. 8, upper bearing 31).
  • FIG. 7 shows the special feature that the synchronization stage can also have a gear ratio other than 1: 1.
  • the gear wheels 18 and 19 have different diameters, which are intended to indicate a gear ratio of 2: 1.
  • a corresponding design of the rotors 2, 3 is required.
  • FIGS. 8 to 10 show the coupling of the hollow motor shaft 28 to the rotor shaft 8 which passes through the hollow shaft centrally via a planetary gear 41 which forms the gear stage 37.
  • the planetary gear comprises in a known manner the outer ring gear 42, for. B. two planet gears 43,44 and the sun gear 45 fastened on the rotor shaft 8 with the axis of rotation 29.
  • Sketch 9 shows the solution shown in FIG. 8 with a fixed ring gear 42 28 are connected, form drive wheels 35.35 ⁇ . Only one planet gear 44 would suffice as the drive wheel 35 (Fig. 9).
  • the sun gear 45 forms the driven gear 36.
  • the ring gear 42 forms the drive gear 35.
  • a fixed carrier is provided for the planet gear 4.
  • the sun gear 45 again forms the driven gear 36.
  • one of the shafts 8, 9 or 28 can be tightly guided out of the bearing / gear space 6 on its side remote from the creation space and one Wear fan wheel 52.
  • the motor shaft 28 is also expediently used in accordance with FIG. 1.

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse (5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf jeweils einer Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befinden, mit einem an das Schöpfraumgehäuse (5) angrenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Rotorwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Synchronisationsgetriebe (17) ausgerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25), dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) erstreckt und ein Antriebsrad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestufe (37) zwischen der Antriebswelle (28) und einer der Rotorwellen (8, 9); und eine Maschine dieser Art kompakt ausführen zu können, wird vorgeschlagen, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) unmittelbar mit einem Abtriebsrad (36) auf einer der Rotorwellen (8, 9) in Eingriff steht und die Getriebestufe (37) bildet.

Description

VAKUUMPUMPE MIT ZWEI ZUSAMMENWIRKENDEN ROTOREN
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1.
Vakuumpumpen dieser Art gehören zur Gattung der Zwei-Wellen-Vakuumpumpen. Typische Beispiele für Zwei-Wellen-Vakuumpumpen sind Rootspu pen, Klauenpumpen und Schraubenpumpen. Die beiden Rotoren derartiger Pumpen befinden sich in einem Schöpfraum und bewirken eine Förderung der Gase von einem Einlaß zu einem Auslaß. Die fliegende Lagerung hat bei axialfördernden Maschinen den Vorteil, dass auf der Saugseite (Hochvakuum-Seite) Wellendichtungen nicht erforderlich sind.
Bei Zweiwellenmaschinen mit synchronisierten Wellen ist der Direktantrieb einer der beiden Wellen üblich (vgl. z.B. die DE 198 20 523 AI). Werden in Maschinen dieser Art gängige Wechselstromantriebs- motoren eingesetzt, ergeben sich Rotordrehzahlen von 3000 U/min (bei 50 Hz) bzw. 3600 U/min (bei 60 Hz) . Mit derartigen Drehzahlen betriebene Pumpen haben eine geringe Leistungsdichte, benötigen enge Spalte und/oder viele Stufen und sind damit relativ groß, schwer und kostspielig. Eine Erhöhung der Drehzahlen wäre mit Hilfe eines Frequenzumformers möglich; Frequenzumformer bei großen Antriebsleistungen sind jedoch teuer.
Eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 ist aus der europäischen Patentschrift 472 933, Figur 15, bekannt. Der Antriebsmotor ist in einem seitlich neben der Pumpe befindlichen Gehäuse untergebracht. Um die Rotoren mit einer gegenüber der Motordrehzahl höheren Drehzahl betreiben zu können, ist ein Übersetzungsgetriebe vorgesehen. Das Antriebszahnrad der Motorwelle ist über ein weiteres Zahnrad mit einem auf einer der Rotorwellen angeordneten Zahnrad gekoppelt. Eine Lösung dieser Art hat einen hohen Raumbedarf. Außerdem sind vier Wellen vorhanden, die jeweils mit Lagerungen ausgerüstet sein müssen.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumpumpe der hier betroffenen Art einfacher und kompakter zu gestalten.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.
Der wesentliche Vorteil der Erfindung liegt darin, dass die Mittel, die für eine Übersetzung ins Schnelle - z.B. eine Verdoppelung der Rotordrehzahl - erforderlich sind, wesentlich einfacher sind als beim Stand der Technik. Die gängige Motortechnologie kann beibehalten werden. Insbesondere dann, wenn auch der Antriebsmotor im Lager-/Getrieberaum untergebracht ist, ergeben sich eine äußerst schlanke und kompakte Bauform sowie eine vereinfachte Kühlung des Elektromotors.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 10 schematisch dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen
Figuren 1 bis 3 Ausführungsbeispiele nach der Erfindung, bei denen der Motorrotor auf einer separaten, neben den Rotorwellen angeordneten Motorwelle läuft, und
Figuren 4 bis 10 Ausführungsbeispiele, bei denen der Motorrotor und eine der Rotorwellen eine gemeinsame Drehachse haben.
In den Figuren sind die Zweiwellenvakuumpumpe mit 1, ihre Rotoren mit 2,3, ihr Schöpfräum mit 4 und ihr Schöpfraumgehäuse mit 5 bezeichnet. An das Schöpfraumgehäuse 5 grenzt der Lager-/Getrieberaum 6 an, dessen Gehäuse mit 7 bezeichnet ist. In den Lager-/Getrieberaum 7 erstrecken sich die Rotorwellen 8,9 hinein. Die Drehachsen der Rotoren und Wellen sind mit 11 und 12 bezeichnet. Die Wellen sind schöpfraumseitig und endseitig gelagert (Lager 13 bis 16), so daß die Rotoren 2,3 fliegend gelagert sind. Die Rotorwellen 2,3 sind über ein Synchronisationsgetriebe 17 miteinander gekoppelt, das von zwei miteinander in Eingriff stehenden Zahnrädern 18,19 gebildet wird. Zur Abdichtung des Schöpfraumes 4 gegenüber dem Lagerraum 6 sind Dichtungen 21,22 vorgesehen.
Bei allen dargestellten Ausführungsbeispielen befindet sich der Antriebsmotor 25 im Lager- /Getrieberaum 7. Der Stator 26 umgibt den Anker 27, der auf der Motorwelle 28 befestigt ist. Die Motorwelle 28 erstreckt sich jeweils parallel zu den Rotorwellen 8,9 und ist im Bereich ihrer Enden (Lager 31,32) im Lager-/Getrieberaum 7 gelagert. Ihre Drehachse ist mit 29 bezeichnet.
Es besteht auch die Möglichkeit, einen Standardmotor außerhalb des Gehäuses 7 anzuordnen und mit einer Welle zu koppeln, die sich innerhalb des Lager- /Getrieberaumes 6 parallel zu den Rotorwellen 8, 9 erstreckt und die das Antriebszahnrad 35 trägt. Eine Lösung dieser Art ist durch die gestrichelte Linie 30 in Figur 1 angedeutet.
Als Beispiel ist in Figur 1 eine Schraubenvakuumpumpe 1 dargestellt. Die von den Drehachsen 11,12 gebildete Ebene 23 (Figuren 2,3 und 4) steht senkrecht zur Zeichnungsebene, so dass nur eine rotierende Einheit sichtbar ist. Während ihres Betriebs fördern die Rotoren 2,3 Gase vom Einlaß 33 zu einem nicht dargestellten Auslaß. Bei der Schraubenvakuumpumpe nach Figur 1 befindet sich die Motorwelle 28 seitlich neben der von den Drehachsen 11,12 gebildeten Ebene. Sie trägt ein Antriebszahnrad (Antriebsrad 35) , das unmittelbar mit einem Zahnrad (Abtriebsrad 36) in Eingriff steht. Antriebsrad 35 und Abtriebsrad 36 bilden eine Getriebestufe 37. Das Abtriebsrad 36 ist auf einer der Rotorwellen 8,9 befestigt. Der synchrone Antrieb der jeweils zweiten Rotorwelle erfolgt über die Zahnräder 18,19 des Synchronisations-Getriebes 17.
Die Figuren 2 bis 4 deuten Kopplungsmöglichkeiten der beschriebenen Art an. Bei der Lösung nach Figur 2 steht das Antriebsrad 35 mit einem (18) der beiden Synchronisationszahnräder 18,19 in Eingriff. Das Zahnrad 18 ist gleichzeitig das Abtriebsrad 36. Das Durchmesserverhältnis der Zahnräder 35 und 18 bestimmt die Übersetzung.
Die Ausführung nach Figur 3 entspricht der in Figur 1 dargestellten Lösung. Unterhalb des Synchronisationszahnrades 18 auf der Welle 8 befindet sich ein weiteres, vorzugsweise im Durchmesser kleineres Zahnrad 36, das mit dem Antriebszahnrad 35 in Eingriff steht. Dieses gilt auch für die Lösung nach Figur 4. Unterschiedlich gegenüber Figur 3 ist, dass die Drehachsen 11,12 und 29 in einer Ebene liegen. Die Figuren 2 bis 4 lassen erkennen, dass zum einen der Bauraum zwischen den Rotorwellen 8,9 zum Teil für den Motorstator 26 genutzt werden kann (Figuren 2,3), so dass sich kompakte Lösungen ergeben. Zum anderen besteht weitgehend freie Wahl in Bezug auf die Winkellage der Drehachsen zueinander.
Bei den Ausführungen nach den Figuren 5 bis 10 ist die Motorwelle 28 hohl ausgebildet, so dass die Möglichkeit besteht, dass eine der Rotorwellen die Hohlwelle 28 derart durchsetzt, dass ihre Drehachsen 29 und 11 bzw. 12 identisch sind. Bei Ausführungen dieser Art kann der Bauraum zwischen den Rotorwellen 8,9 noch besser genutzt werden. Insgesamt resultiert daraus eine optimal kompakte und schlanke Bauform.
Einige der Gestaltungsmöglichkeiten derartiger Ausführungen zeigen die Figuren 5 bis 10. Bei den Lösungen nach den Figuren 5 und 6 trägt die Hohlwelle 28 jeweils das Antriebsrad 35, das mit dem Abtriebsrad 36 auf der neben der Hohlwelle 28 befindlichen Rotorwelle in Eingriff steht. Über das versetzt dazu angeordnete Synchronisationsbetriebe 17 erfolgt der sychronisierte Antrieb der die Hohlwelle 28 durchsetzenden Rotorwelle 8. Auch in den Figuren 7 und 8 bildet ein antreibendes Rad 35 und ein angetriebenes Rad 36 die Getriebestufe 37. In Figur 7 ist angedeutet, dass diese Getriebestufe als Ketten- oder Rinnenstuffen ausgebildet ist. Die Lösung nach Figur 8 besitzt ein Planetengetriebe. Die Lagerung der Motorwelle 28 kann unabhängig von den Lagern 13 bis 16 der Rotorwellen 8, 9 über gehausefeste Trager erfolgen (Figur 8, oberes Lager 31) . Eine besonders kompakte Lösung wird erreicht, wenn sich die Motorwelle 28 über mindestens ein (Figur 8, Lager 32), zweckmäßig beide Lager 31,32 (Figuren 5 und 7) auf der die Hohlwelle 28 durchsetzenden Rotorwelle 8 abstutzt. Im übrigen kann sich auch die die Hohlwelle 28 durchsetzende Rotorwelle 8 in der Hohlwelle abstutzen (Lager 15 in Figur 6) . Schließlich zeigt Figur 7 noch die Besonderheit, dass auch die Synchronisationsstufe ein anderes Übersetzungsverhältnis als 1:1 haben kann. Die Zahnrader 18 und 19 haben unterschiedliche Durchmesser, die ein Übersetzungsverhältnis von 2:1 andeuten sollen. Voraussetzung ist eine entsprechende Gestaltung der Rotoren 2,3.
Die Figuren 8 bis 10 zeigen die Kopplung der hohlen Motorwelle 28 mit der die Hohlwelle zentral durchsetzenden Rotorwelle 8 über ein Planetenbetriebe 41, das die Getriebestufe 37 bildet. Das Planetengetriebe umfaßt in an sich bekannterweise das äußere Hohlrad 42, z. B. zwei Planetenrader 43,44 sowie das auf der Rotorwelle 8 mit der Drehachse 29 befestigte Sonnenrad 45. Prinzipskizze 9 zeigt die in Figur 8 dargestellte Losung mit feststehendem Hohlrad 42. Die Planetenrader 43,44, die über Kurbeln 46,47 mit der Motorwelle 28 in Verbindung stehen, bilden Antriebsrader 35,35Λ. Nur ein Planetenrad 44 würde als Antriebsrad 35 ausreichen (Fig. 9). Das Sonnenrad 45 bildet das Abtriebsrad 36.
Bei der Lösung nach Figur 10 bildet das Hohlrad 42 das Antriebsrad 35. Für das Planetenrad 4 ist ein feststehender Träger vorgesehen. Das Sonnenrad 45 bildet wieder das Abtriebsrad 36. Obwohl bei dieser Lösung Antriebsrad 35 und Abtriebsrad 36 nicht unmittelbar in Eingriff stehen, können die erfindungsgemäßen Ziele - kompakt, einfach - erreicht werden.
Es wurde bereits vorgeschlagen, mindestens eine der Rotorwellen 8,9 mit einer zentralen Bohrung auszurüsten und diese Bohrung (en) zum Transport eines Schmier- und Kühl-Mittels (vorzugsweise Öl) zu nutzen. Bei im Lager-/Getrieberaum angeordnetem Antriebsmotor 25 kann dieser ebenfalls mit dem Öl gekühlt werden. Eine der Förderung des Öls dienende Ölpumpe kann auf einer der Wellen 8,9 oder 28 angeordnet sein. Liegt die Motorwelle 28 neben den Rotorwellen 8,9, dann besteht eine besonders zweckmäßige Lösung darin, daß die Ölpumpe - vorzugsweise als Exzenterpumpe ausgebildet - auf der Motorwelle 28 angeordnet ist, und zwar im Bereich ihres oberen Endes. Diese Ausführung ist in Figur 1 dargestellt. Die Ölpumpe ist mit 51 bezeichnet.
Zusätzlich kann eine der Wellen 8,9 oder 28 auf ihrer schöpfraumfernen Seite aus dem Lager- /Getrieberaum 6 dicht herausgeführt sein und ein Lüfterrad 52 tragen. Zweckmäßig wird dazu entsprechend Figur 1 ebenfalls die Motorwelle 28 verwendet.

Claims

VAKUUMPUMPE MIT ZWEI ZUSAMMENWIRKENDEN ROTORENPATENTANSPRÜCHE
1. Vakuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse (5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf jeweils einer Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befinden, mit einem an das Schöpfraumgehäuse (5) angrenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Rotorwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Sychronisations- getriebe (17) ausgerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25) , dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) erstreckt und ein Antriebsrad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestufe (37) zwischen der Antriebswelle (28) und einer der Rotorwellen (8, 9) , dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) unmittelbar mit einem Abtriebsrad (36) auf einer der Rotorwellen (8, 9) in Eingriff steht und die Getriebestufe (37) bildet. . Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) mit einem der Zahnräder (18, 19) des Sychronisationsge- triebes (17) in Eingriff steht, das einen im Ver- gleich zum Antriebsrad (35) kleineren Durchmesser hat.
Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsrad (35) der Antriebswelle (28) mit einem auf einer der Rotorwellen (8, 9) angeordneten Zahnrad (36) in Eingriff steht, das gegenüber dem Synchronisations-Zahnrad (18 bzw. 19) auf dieser Welle einen kleineren Durchmesser hat.
Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Antriebsmotor (25) innerhalb des Lager-/Getrieberaumes (6) untergebracht ist.
Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Motorwelle (28) neben den Rotorwellen (8, 9) angeordnet ist.
Pumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich auf einem der Enden der Motorwelle (28), vorzugsweise auf ihrem schöpfraumseitigen Ende, eine Ölpumpe (51) befindet.
Pumpe nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Motorwelle (28) mit ihrem schöpfraumfernen Ende aus dem Getriebe- /Lagerraum (6) herausgeführt ist und ein Lüfterrad (52) trägt. Pumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (28) des Antriebsmotors (25) hohl ausgebildet ist und dass eine der Rotorwellen (8, 9) die hohle Antriebswelle (28) durchsetzt .
Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die die Hohlwelle (28) durchsetzende Rotorwelle (8 bzw. 9) über Lager (13, 15) auf dem Gehäuse (7) abstützt und dass sich mindestens eines der beiden Lager (31, 32) der Motorwelle (28) auf der Rotorwelle (8 bzw. 9) abstützt .
Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Hohlwelle (28) durchsetzende Rotorwelle (8 bzw. 9) über mindestens ein Lager (31 bzw. 32) in der Hohlwelle (28) abstützt.
Pumpe nach einem der Ansprüche 8, 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass als Getriebestufe
(37) ein Planetengetriebe (41) mit feststehendem Hohlrad (42) vorgesehen ist.
Pumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 10 dadurch gekennzeichnet, dass eine Ketten- oder Riemenstufe die Getriebestufe (37) bildet. akuumpumpe (1) mit einem Schöpfraumgehäuse
(5), in dem sich zwei zusammenwirkende, auf je- weils einer Welle (8, 9) angeordnete Rotoren (2, 3) befinden, mit einem an das Schöpfraumgehäuse (5) angrenzenden Lager-/Getrieberaum (6), in dem die Rotorwellen (8, 9) fliegend gelagert und mit einem Sychronisationsgetriebe (17) ausgerüstet sind, mit einem Antriebsmotor (25), dessen Antriebswelle (28) sich parallel zu den Rotorwellen (8, 9) erstreckt und ein Antriebsrad (35) aufweist, sowie mit einer Getriebestufe (37) zwischen der Antriebswelle (28) und einer der Rotorwellen (8, 9), dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebswelle (28) des Antriebsmotors (25) hohl ausgebildet ist, dass eine der Rotorwellen (8, 9) die hohle Antriebswelle (28) durchsetzt und dass als Getriebestufe (37) ein Planetengetriebe (41) mit angetriebenem Hohlrad (42) und feststehendem Planetenträger vorgesehen ist.
Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Synchronisationsgetriebe (17) ein von 1:1 unterschiedliches Übersetzungsverhältnis hat.
Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Pumpe verwendete Zahnräder zur Geräuschreduzierung aus Kunststoff bestehen.
PCT/EP2001/002972 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren WO2001079701A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001577068A JP4838480B2 (ja) 2000-04-18 2001-03-15 2つの協働するロータを備えた真空ポンプ
US10/257,903 US6964559B2 (en) 2000-04-18 2001-03-15 Two shaft vacuum pump with cantilevered rotors
EP01927731A EP1274942B8 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
DE50115557T DE50115557D1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
AT01927731T ATE474139T1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10019066.9 2000-04-18
DE10019066A DE10019066A1 (de) 2000-04-18 2000-04-18 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden Rotoren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2001079701A1 true WO2001079701A1 (de) 2001-10-25

Family

ID=7639093

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2001/002972 WO2001079701A1 (de) 2000-04-18 2001-03-15 Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6964559B2 (de)
EP (1) EP1274942B8 (de)
JP (1) JP4838480B2 (de)
KR (1) KR100793456B1 (de)
AT (1) ATE474139T1 (de)
DE (2) DE10019066A1 (de)
TW (1) TW507048B (de)
WO (1) WO2001079701A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004016237A1 (de) * 2004-04-02 2005-10-20 Leybold Vakuum Gmbh Zwei-Wellen-Vakuumpumpe
WO2012055734A2 (de) 2010-10-27 2012-05-03 Gebr. Becker Gmbh Vakuumpumpe
EP3575549A3 (de) * 2018-05-31 2019-12-18 FRISTAM Pumpen Schaumburg GmbH Rotierende verdrängerpumpe

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10156179A1 (de) * 2001-11-15 2003-05-28 Leybold Vakuum Gmbh Kühlung einer Schraubenvakuumpumpe
DE10156180B4 (de) * 2001-11-15 2015-10-15 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe
KR100561419B1 (ko) * 2004-02-21 2006-03-16 삼성전자주식회사 다중헤드기어펌프 및 이를 채용한 습식 화상형성장치
DE102006030917B4 (de) 2006-06-26 2018-08-16 Pierburg Gmbh Ölpumpen- und Vakuumpumpenmodul
JP2008157446A (ja) * 2006-11-30 2008-07-10 Anest Iwata Corp 2軸以上の回転軸間の駆動力伝達機構と該駆動力伝達機構を用いた無給油流体機械
JP2008138549A (ja) * 2006-11-30 2008-06-19 Anest Iwata Corp 2軸以上の回転軸を配した無給油流体機械本体を有する無給油流体機械
US7997227B2 (en) * 2007-03-13 2011-08-16 General Electric Company Vacuum coater device and mechanism for supporting and manipulating workpieces in same
DE102007053979A1 (de) * 2007-11-13 2009-05-14 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Schmiermittelpumpe
US20110293444A1 (en) * 2008-12-19 2011-12-01 Mouvex Device for pressurizing a fluid, to be directly mounted on a power take-off
US8764424B2 (en) 2010-05-17 2014-07-01 Tuthill Corporation Screw pump with field refurbishment provisions
CN102080642B (zh) * 2010-12-17 2012-07-04 中国科学院遗传与发育生物学研究所 一种风力机气动提水方法
DE202017003046U1 (de) * 2017-06-09 2018-09-14 Leybold Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63198789A (ja) 1987-02-13 1988-08-17 Hitachi Ltd オイルフリ−真空ポンプ
US4767284A (en) * 1986-03-20 1988-08-30 Hitachi, Ltd. Screw vacuum pump unit
JPH02277994A (ja) * 1989-04-20 1990-11-14 Kobe Steel Ltd オイルフリースクリュ式ポンプ装置
EP0472933A2 (de) 1990-08-01 1992-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Drehanlage für flüssige Medien
US5549463A (en) * 1994-11-24 1996-08-27 Kashiyama Industry Co., Ltd. Composite dry vacuum pump having roots and screw rotors
DE19820523A1 (de) 1998-05-08 1999-11-11 Peter Frieden Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Rotorkühlung
JP2000097186A (ja) * 1998-09-17 2000-04-04 Hitachi Ltd オイルフリースクリュー圧縮機
DE19945871A1 (de) * 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2446194A (en) * 1943-07-30 1948-08-03 Samiran David Pump construction
US2880676A (en) * 1956-03-26 1959-04-07 Succop Anna Louise Motor and pump combination
US2937807A (en) * 1956-12-26 1960-05-24 Heraeus Gmbh W C High vacuum pumps
US3651705A (en) * 1970-10-14 1972-03-28 Fiat Spa Gears for toothed belt drives, particularly for motors for automotive vehicles, made of synthetic material
US3796526A (en) * 1972-02-22 1974-03-12 Lennox Ind Inc Screw compressor
SE455719B (sv) * 1979-09-24 1988-08-01 Isartaler Schraubenkompressor Kompressoranleggning med en i ett holje anordnad skruvkompressor
US4674960A (en) * 1985-06-25 1987-06-23 Spectra-Physics, Inc. Sealed rotary compressor
US4877385A (en) * 1987-01-20 1989-10-31 General Motors Corporation Positive displacement rotary mechanism
DE3706588C2 (de) * 1987-02-26 1993-12-02 Mannesmann Ag Antriebseinrichtung für Rotationskolbenverdichter
DE3865009D1 (de) * 1988-02-29 1991-10-24 Leybold Ag Mehrstufige vakuumpumpe.
JPH01247787A (ja) 1988-02-29 1989-10-03 Leybold Ag 多段真空ポンプ
JPH0758074B2 (ja) * 1988-04-28 1995-06-21 株式会社日立製作所 オイルフリー・スクリュー圧縮機装置
FR2656658B1 (fr) * 1989-12-28 1993-01-29 Cit Alcatel Pompe a vide turbomoleculaire mixte, a deux arbres de rotation et a refoulement a la pression atmospherique.
US5454700A (en) * 1993-05-08 1995-10-03 Ishikawajima-Harima Jukogyo Kabushiki Kaisha Bearing support for a lysholm compressor
US5443644A (en) * 1994-03-15 1995-08-22 Kashiyama Industry Co., Ltd. Gas exhaust system and pump cleaning system for a semiconductor manufacturing apparatus
SE506513C2 (sv) * 1995-10-23 1997-12-22 Lysholm Techn Ab Transmission med ett tvådelat kopplingsorgan
JPH1193873A (ja) 1997-09-22 1999-04-06 Aisin Seiki Co Ltd 真空ポンプ
DE19745616A1 (de) * 1997-10-10 1999-04-15 Leybold Vakuum Gmbh Gekühlte Schraubenvakuumpumpe

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4767284A (en) * 1986-03-20 1988-08-30 Hitachi, Ltd. Screw vacuum pump unit
JPS63198789A (ja) 1987-02-13 1988-08-17 Hitachi Ltd オイルフリ−真空ポンプ
JPH02277994A (ja) * 1989-04-20 1990-11-14 Kobe Steel Ltd オイルフリースクリュ式ポンプ装置
EP0472933A2 (de) 1990-08-01 1992-03-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Drehanlage für flüssige Medien
US5549463A (en) * 1994-11-24 1996-08-27 Kashiyama Industry Co., Ltd. Composite dry vacuum pump having roots and screw rotors
DE19820523A1 (de) 1998-05-08 1999-11-11 Peter Frieden Schraubenspindel-Vakuumpumpe mit Rotorkühlung
JP2000097186A (ja) * 1998-09-17 2000-04-04 Hitachi Ltd オイルフリースクリュー圧縮機
DE19945871A1 (de) * 1999-09-24 2001-03-29 Leybold Vakuum Gmbh Schraubenpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit zwei Pumpstufen

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 012, no. 478 (M - 775) 14 December 1988 (1988-12-14) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 015, no. 039 (M - 1075) 30 January 1991 (1991-01-30) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 2000, no. 07 29 September 2000 (2000-09-29) *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004016237A1 (de) * 2004-04-02 2005-10-20 Leybold Vakuum Gmbh Zwei-Wellen-Vakuumpumpe
WO2012055734A2 (de) 2010-10-27 2012-05-03 Gebr. Becker Gmbh Vakuumpumpe
DE102011054607A1 (de) 2010-10-27 2012-06-21 Gebr. Becker Gmbh Vakuumpumpe
EP3575549A3 (de) * 2018-05-31 2019-12-18 FRISTAM Pumpen Schaumburg GmbH Rotierende verdrängerpumpe

Also Published As

Publication number Publication date
DE50115557D1 (de) 2010-08-26
KR20020091213A (ko) 2002-12-05
TW507048B (en) 2002-10-21
ATE474139T1 (de) 2010-07-15
EP1274942A1 (de) 2003-01-15
KR100793456B1 (ko) 2008-01-14
JP4838480B2 (ja) 2011-12-14
US6964559B2 (en) 2005-11-15
JP2004501308A (ja) 2004-01-15
EP1274942B8 (de) 2010-09-01
EP1274942B1 (de) 2010-07-14
US20030152468A1 (en) 2003-08-14
DE10019066A1 (de) 2001-10-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2001079701A1 (de) Vakuumpumpe mit zwei zusammenwirkenden rotoren
DE4322674C2 (de) Elektrischer Getriebemotor für ein Fahrzeug
DE69727514T2 (de) Verdrängungsvakuumpumpe
EP2295147B1 (de) Mühlenantriebssystem
DE19715278C2 (de) Getriebeeinheit
EP3507496B1 (de) Trockenverdichtende vakuumpumpe
EP1069310A2 (de) Antriebsvorrichtung
EP1757839B1 (de) Schwerlastgetriebe für Walzenschüsselmühlen
DE19751231A1 (de) Antriebsvorrichtung
EP1618961B1 (de) Antriebsvorrichtung für Schneckenzentrifugen
DE102011079555B4 (de) Antriebsanordnung für eine Vertikal-Rollenmühle
EP2457663B1 (de) Getriebemotor eines Mühlenantriebssystems
EP0085889B1 (de) Zwei-oder mehrstufige Drehkolbenmaschine
DE3032587A1 (de) Elektrische maschine
DE102005008887A1 (de) Einwellige Vakuum-Verdränderpumpe
DE10219922A1 (de) Antriebsachse mit integrierter Bremse
DE10144693A1 (de) Zahnradpumpe zur Schmierölversorgung
DE3634894A1 (de) Antriebsvorrichtung mit einem elektromotor und einem diesem vorgeschalteten getriebe in einem gemeinsamen gehaeuse
DE3641656C2 (de)
WO2004038227A1 (de) Verdichtermaschine mit zwei gegensinnig laufenden rotoren
DE102005023032A1 (de) Elektrische Antriebsvorrichtung
WO2001023762A1 (de) Schraubenpumpe, insbesondere schraubenvakuumpumpe, mit zwei pumpstufen
DE4234055C2 (de) Spiralkompressor
WO2004074689A1 (de) Drehkolbenpumpe
DE102020200476A1 (de) Elektrischer Antrieb für ein Fahrzeug

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2001927731

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref country code: JP

Ref document number: 2001 577068

Kind code of ref document: A

Format of ref document f/p: F

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020027013903

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020027013903

Country of ref document: KR

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2001927731

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10257903

Country of ref document: US