JPS62218681A - スクリユ−真空ポンプ装置 - Google Patents

スクリユ−真空ポンプ装置

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JPS62218681A
JPS62218681A JP61060572A JP6057286A JPS62218681A JP S62218681 A JPS62218681 A JP S62218681A JP 61060572 A JP61060572 A JP 61060572A JP 6057286 A JP6057286 A JP 6057286A JP S62218681 A JPS62218681 A JP S62218681A
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screw
casing
rotor
discharge port
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Kazuaki Shiiki
和明 椎木
Kotaro Naya
納谷　孝太郎
Shinji Mihashi
三橋　晋司
Tadashi Hayakawa
早川　匡
Riichi Uchida
利一 内田
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スクリュー真空ポンプ装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
、従来のスクリュー真空ポンプは、特開昭６０−２１６
０８９号公報に開示さｎているように、吸入口、吐出口
ｋＭするケーシングの作動室に、互いに噛み会って回転
するおすめす対のロータが納められ、ロータを駆動機に
よって駆動して１両ロータ間に低圧とすべき空間からガ
スを吸込み、これを昇圧して大気中に排気するものであ
る。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記従来の装置は、おすロータおよびめすロータの軸が
水平な平面内に配置さｎ、両ロータに水平面内に並べて
配置さｎているため、据付けに要する床面積が広くなる
。また、ケーシングの吸入口、吐出口が水平面の両側（
ケーシングの上面とケーシングの下面）に配置さｎる構
造であるため、吸入口、吐出口のいずｎか一方がケーシ
ングの下面に位置する。そのため、ケーシングの下面に
位置する吸入口または吐出口への配管接続作業は。
ケーシングの下面で行わねばならず１作業性が極めて悪
い。さらに、半導体製造装置の排気用のように、真空ポ
ンプ内に反応生成物が堆積した場合。
これを取り除いたり、堆積状況を定期的に点検すること
が容易にできない。これらの作業を行うには、配管を取
外すことが必要である上、特別の器具を必要とする問題
があった。
本発明の目的は、据付床面積を小さくすると同時に、メ
ンテナンス作業を容易に行うことができるスクリュー真
空ポンプ装置を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の特徴は、スクリューブロックおよびモータの両
方が、伝動ケーシングの一方の側面に取付けられ、スク
リューブロックにおけるおすおよびめすの両ロータの軸
がともに、はぼ鉛直な平面内に上下方向に並べて配置さ
れておシ、吸入口と吐出口とは、前記鉛直平面をはさん
で両側に配置されていることにある。
〔作用〕
上記のように、おすロータおよびめすロータが鉛直（上
下）方向に配列されているので、床面積としては、１個
のロータを納める分だけで済み、床面積を従来より小さ
くすることができ、同時に。
両ロータの右側に吸入口を、左側に吐出口を位置させ、
ケーシングの下面とならないようにしているので、吸入
口および吐出口への配管接続作業を始め、堆積物の清掃
９点検などのメンテナンス作業を容易に行うことができ
る。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図、ｍ２図、第３図、第
４図および第５図にょシ祝明する。第１図は本発明の一
実施例を示した吸込口を２ケ所に設けたスクリュー真空
ポンプの外観図、５ｇ２図は第１図におけるＡ−ＡｔＩ
Ｒ面図、第３図は第１図におけるＢ−Ｂ断面図である。
ｌは、おｔロータ。
２はめすロータ、７，８，９．１０は、両ロータｌ、２
？支持する軸受で１両ロータ１，２及び軸受７，８，９
，１０はケーシング３，４，５内に収納さｎている。ま
た両ロータ１，２の端部には。
ギヤ１１．ｔ２が結合さｎ、モータ１４の軸に結合さｎ
たプルギヤ１３によって駆動される。ギヤ１１．１２お
よびプルギヤ１３は、ギヤケーシング６内に収納さ扛て
２ジ、このときロータ１，２及びモータ１４の軸中心は
水平、平行にしかもギヤ側から見た軸中心は一直線上に
鉛直（上下）方向にならぶように上部よりおすａ−夕１
．めすロータ２．モータ１４の順に配置さｎている。そ
して、おすロータ１とめすロータ２を収納しているスク
リューケーシングとモータ１４はギヤケーシング６０片
側に配置さ扛た構造になっている。ケーシング３にはそ
の左右に片側に吸込口３ａ、３ｂその反対側に吐出口３
ｃ　、３ｄ　、３ｅが設けらｎａ込口は、水平方向に配
置された３ａとこｎに直角に上部から連通している吸込
口３ｂが設けられ、吐出口は水平方間に吐出できる３ｄ
の吐出口及びこれに直角上部から連通している吐出０．
３Ｃ１直角下部から連通している吐出口３ｅが設けらｆ
している。１６は吸込側止めフランジ１７ａ、１７ｂは
吐出側止め７ノンジである。
モータ１４を駆動すると、プルギヤ１３．ギャ１１．１
２を介してロータ１，２が回転し、真空に引こうとする
側の流体は吸込口３ｂよシ吸込まｎ、（１４３図におい
ては吸込口３ａは止め７ランジで閉の状態にしである）
吐出ポート１５ａ、１５ｂを通って、吐出口３Ｃより排
出さｎる。（第３図においては、吐出口３ｄ、３ｅは止
めフランジ１７ａ、１７ｂによって閉の状態にしである
。）配管の都合上１例えば吸込口３ａより吸込ませたい
場合は吸込−止め７ランジ１６をはずして吸込口３ａを
開にし吸込口３ｂを閉にし、同様に吐出側においても必
要な吐出口を選んで配管することが容易にできる。また
反応ガスによる吐出口に付着した堆積ｖｌＪを清掃する
場合などには、吐出口に垂直方向に貫通している穴（吐
出口３Ｃよ、Ｑ３ｃに貫通している穴）があるので、上
部の吐出口３Ｃより付着物をブラシなどによって掃除し
下部の吐出口３ｅより排出することが可能なためメンテ
ナンス作業を容易にできる。
本実施例によれば、ロータ１，２およびモータ１４の軸
中心が互いに水平、平行に、しかも軸端側より見た軸中
心が一直線上に鉛直方向にならぶように配置さｒ、しか
も、おすロータｌ、めすロータ２を収納しているスクリ
ューケーシングとモータ１４がギヤケーシング６の片側
に配置さｎているので、ポンプ本体の横巾寸法と長手方
向の寸法を大巾に減少でき、据付面積を小さくできると
ともに、吸込、吐出配管接続が容易で、吐出口堆積物の
清掃、メンテナンス作業が容易にできる。
また第４図は本発明の一実施例を示した吸込口を水平方
向に一ケ所設けたスクリュー真空ポンプの第３図に相当
する断面図である。また第５図は低騒音化の目的で真空
ポンプ全体を防音カバーでおおった場合に、本発明を適
用した一実施例を示す断面図（第１図の真空ボング全体
を防音カバーでおおった場合のＢ−ＢＷｆｒ面に相当す
るもの、）で。
１８ａ、１８ｂは防音カバーとポンプ本体吸気口をつな
ぐ吸気管、１９ａ、１９ｂ、１９ｃは防音カバーとポン
プ本体吐出口をつなぐ吐出管、２０は防音カバ内面にと
りつけらｎた吸音材である。
本図に示すように、防音カバの上部及び側面部に複数個
の配管口が設けらｎているので配管が非常に容易で、吐
出口が三方向に設けられているため吐出口に反応生成物
が堆積した場合には防音カバ２１をと９はずすことなく
上部３Ｃあるいは水平部３ｄの吐出口より堆積物を清掃
し下部３ｅより容易に排出ができるのでメンテナンスが
非常に容易にできるという効果がある。第６図は、清掃
を容易にすると同時に消音の目的で、吐出口３ｃ。
３ｄ、３ｅにサイレンチーカートリッジ２２を挿入した
ものである。サイレンサーカートリッジ２２は、第７図
に示すように、外筒２２Ｃパンチングメタル（多孔鋼板
）で形成された内筒２２ｂと、これら内外筒２２ｂ　、
２２ｃとの間に充填された吸音材２２ａから構成されて
いる。
このように、吐出口にサイレンサーカートリッジ２２を
挿入しておくと１反応生成物がサイレンサーカートリッ
ジ２２の内面に堆積して行く。
所定時間または点検時、止めフランジ１７ａ　。
１７ｂを取外してサイレンサーカートリッジ２２を別の
新しいものに交換することにより、吐出口あるいは吐出
領域に堆積した反応生成物を取り除くことができる。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、据付床面積を小さくする
と同時にメンテナンス作業を容易に行うことができるス
クリュー真空ポンプ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すスクリュー真空ポンプ
の外観図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ断面図、第３
図は第１図におけるＢ−Ｂ＠面図。 ｇ４図は吸込口を水平方向に一カ所設けた本発明の一実
施例を示す１１９？面図、第５図は真空ポンプ全体を防
音カバーでおおった場合の本発明の一実施例を示す断面
図、第６図は、吐出口内にサイレンサーカートリッジを
配置した実施例の要部断面図。 第７図は、サイレンサーカートリッジの断面図である。 ｌ・・・おすロータ、２・・・めすロータ、３，４．５
・・・スクリューケーシング、３ａ、３ｂ・・・吸込口
、３Ｃ２３ｄ　、３ｅ・・・吐出口、６・・・ギヤケー
シング、７゜８，９．１０・・・軸受、１１．１２・・
・ギヤ、１３・・・プルギヤ、１４・・・モータ、１５
ａｌ１５ｂ・・・吐出ポート、１６　、　ｌ　７　ａ　
、　１７　ｂ　＝止め７ランジ、ｌ　Ｆ３　ａ　、　１
８　ｂ−吸気管％１９　ａ　、　１９　ｂ　、　１９ｃ
・・・吐出管、２０・・・吸着材、２１・・・防音カバ
ー。 ２２・・・サイレンサーカートリッジ。 図面の浄也に内容に変更なし） ＄　１　日 ３ｃ拮−吐土口 ６−一一セ）ｒ−’、−，７’ 茅４　日 に ＄　　ぎ　図 フロ　　乙　　しコ ′＄ｒＩ図 手続補正書（魚拓） 昭和６１年特許願第　６０５７２　　号２発明の名称　
スクリュー真空ポンプ装置１補正をする者 ゛１τ件トノ圓係特許出願人 名　　称　　　（５１０１株式会ル　　日　　立　製　
作　所覗代　理　人 ６、補正の内容　ｔａ１図〜第７図を添付のとおりに訂
正する。（内容に変更なし） ｌ・゛代１

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、作動室、この作動室に連通する吸入ポートおよび吐
    出ポートを有するスクリューケーシングと作動室に回転
    可能に納められ、互いにかみ合って回転するおすロータ
    、めすロータとを有するスクリューブロック、前記ロー
    タを駆動するモータ、モータの回転をロータに伝達する
    伝動手段およびこの伝動手段を内蔵する伝動ケーシング
    を備えたものにおいて、前記スクリューブロックおよび
    モータの両方が、伝動ケーシングの一方の側面に取付け
    られ、スクリューブロックにおけるおすおよびめすの両
    ロータの軸がほぼ鉛直な平面内に上下方向に並べて配置
    されており、吸入ポートと吐出ポートとは、前記鉛直平
    面をはさんで両側に配置されていることを特徴とするス
    クリュー真空ポンプ装置。 ２、作動室、この作動室に連通する吸入ポートおよび吐
    出ポートを有するスクリューケーシングと作動室に回転
    可能に納められ、互いにかみ合って回転するおすロータ
    、めすロータとを有するスクリューブロック、前記ロー
    タを駆動するモータ、モータの回転をロータに伝達する
    伝動手段およびこの伝動手段を内蔵する伝動ケーシング
    を備えたものにおいて、前記スクリューブロックおよび
    モータの両方が、伝動ケーシングの一方の側面に取付け
    られ、スクリューブロックにおけるおすおよびめすの両
    ロータの軸がほぼ鉛直な平面内に上下方向に並べて配置
    されており、吸入ポートと吐出ポートとは、前記鉛直平
    面をはさんで両側に配置されており、かつ吐出ポートは
    、水平方向に延長する部分と、この水平方向に延びる部
    分に対して垂直に延びた部分とから構成されていること
    を特徴とするスクリュー真空ポンプ装置。
JP61060572A 1986-03-20 1986-03-20 スクリユ−真空ポンプ装置 Expired - Lifetime JP2511870B2 (ja)

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DE8787101053T DE3760231D1 (en) 1986-03-20 1987-01-26 Screw vacuum pump unit
EP87101053A EP0237734B2 (en) 1986-03-20 1987-01-26 Screw vacuum pump unit
US07/021,645 US4767284A (en) 1986-03-20 1987-03-04 Screw vacuum pump unit

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