JPH0255892A

JPH0255892A - スクリュ式真空ポンプ

Info

Publication number: JPH0255892A
Application number: JP63206904A
Authority: JP
Inventors: Noboru Tsuboi; 壺井　昇
Original assignee: Kobe Steel Ltd
Current assignee: Kobe Steel Ltd
Priority date: 1988-08-19
Filing date: 1988-08-19
Publication date: 1990-02-26
Also published as: JPH0522079B2; DE68904263D1; EP0355260B1; US5018947A; EP0355260A2; DE68904263T2; EP0355260A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、吸込口側の流路に逆＋ｈ弁を打するスクリュ
式真空ポンプに関するものである。

（従来の技術）従来、第３図に示すように、真空装置において、共通の
吸込流路ＩＩに並列状態で接続した複数台、図示する例
では３台のスクリュ式真空ポンプ１２の各々の吸込口１
３に至る６分岐流路１４には、ポンプ本体！５の逆転を
防止するための逆止弁１６が設けである。

ここで、スクリュ式のポンプ本体１５は一般に第４図に
示すように、一方の側に吸込口１３を、他方の側に吐出
口１７を有するケーシング１８内に、互い１こ噛み合う
雌雄一対のスクリュロータ１９を回転可能に収納し、例
えばグーソング１８外へ１“１通させた吸込口１３側の
ロータ輔２０より一定方向に回転駆動ずろように形成し
たしのである。

そして、図中実線の矢印で示４−ように、このポンプ本
体１５はガスを吸込０１３より吸込んで吐出口１７より
吐出するのであるか、破線の矢印で示ず、１；うに、吸
込１−１１３にて実線の矢印とは逆方向の吸引力かある
と、破線の矢印の方向に吐出［１１７よりガスが流入し
、逆回転し得ろ構造でらある。

このため、第３図に示すように、吸込流路１１′を共通
配管とした場合、逆止弁１６がなければ、例えば図中量
ら右側のポンプ本体１５だけを運転停止させると、この
停止さけたポンプ本体１５は破線の矢印で示すように、
運転中の他の２台のポンプ本体１５からの吸引力により
逆回転してしまうことになる。この停止１−させたポン
プ本体１５が逆回転すれば、その軸受、同期歯車等の潤
滑油を必要とずろ箇所に潤滑油が供給されない状態で作
動することになり、装置を損傷させることになる。

斯る事態を防止するため、即ち、ポンプ本体１５の逆回
転を防ぐために逆止弁１６が用いである。

この逆止弁１６は、一般に市販されているらのの場合、
第５図に示すように、中間部に弁座２１を設けたガス流
通空間２２を内部に有する弁本体２３と、この弁座２１
に密着可能に設けた弁体２４と、この弁体２４を弁座２
１に密着させるように弁座方向に常時付勢するコイルば
ね２５とからなっている。そして、吸込口１３から吸引
力か作用する場合、即ち、図中Ｘボート側から吸引力が
作用する場合は、弁が開いて実線の矢印で示すように、
ＸボートからＸボートへとガスか流れて、逆に他のポン
プ本体■５から吸引力が作用した場合、即らＸボート側
から吸引力が作用した場合、弁体２４は弁座２１に密着
して、弁が閉じガスの逆流は阻止される。

（発明が解決しようとする課題）上記構成からなる逆止弁１６を用いた真空ポンプ１２で
は、コイルばね２５のばね定数が小Δい。

と、吸引力が逆転してＸボート側から生じた場合、弁を
閉じるのに時間遅れか生じ、ポンプ本体１５の逆回転を
完全には防出出来ない。

これに対して、上記ばね定数を大きくケると、真空装置
においては流入ガスの密度が小さいため、弁座２１に対
して弁体２４か繰り返し衝突して、弁か開閉するハンヂ
ング現象か生しるという問題がある。

本発明は、−Ｌ５ｉｌｌ！従来の問題点を課題としてな
されたしので、逆止弁の開閉を確実かつ即座に行うこと
を可能としたスクリュ式真空ポンプを提供しようとする
しのである。

（課題を解決ずろための手段）上記課題を解決するために、本発明は、互いに噛み合う
雌雄一対のスクリュロータと、その両側に吸込口と吐出
口とを有するポンプ本体と、原動機の回転駆動力を増速
しで上記スクリュロータに伝える増速機と、Ｍｂタンク
を兼ねた該増速機のケーシングと、ポンプ本体内の潤滑
油供給箇所、上記増速機、浦タンク、油ポンプ、浦クー
ラを通る１Ｉｌｆｔ循環流路と、ポンプ本体の吸込口に
通じる流路に設けた逆止弁とを備えたスクリュ式真空ポ
ンプにおいて、上記逆止弁を、中間部に弁座を打するガ
ス流通空間およびシリンダ空間を内部に形成した弁本体
と、適宜シール手段を介して上記両空間を互いにしゃ断
した状態に保ちつつ、両空間の仕ｌ、Ｉ↓り部分をｎ通
さけて、ガス流通空間側をこの空間内の弁座に密着可能
に形成するとともに、シリンダ空間側にこの空間内を仕
切って、この空ｕ■内のガス流通空間側に油室を、反対
側に大気連通空間を形成するピストンを設けた弁体と、
この弁体を弁座に密着さＵ゛るように上記弁座方向に常
時付勢するばね手段とから形成するとともに、上記油室
を三方切換弁を介して上記油クーラの出側および上記油
タンクに通じさせるバイパス流路を設けて、油室からこ
の油クーラの出側或いは油タンクのいずれかに通じる流
路に切換え可能に形成した。

（作用）本発明は、上記のように構成することにより、逆止弁を
開くのは油圧によって行い、閉じる場合だけばね手段を
用いて、ばね手段のばね定数を適宜自由に選択出来、迅
速に弁を閉じ、かつ確実に弁を開く構造となっている。

（実施例）次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。

第１図は、本発明に係るスクリコ式真空ポンプ１を示し
、第４図に示ずらのと実質的に同しスクリュ式のポンプ
本体１５と、浦循広１流路２と、逆止弁３と、バイパス
流路４とからなり、第４図と共通ケる部分には、同一番
号が付しである。

さらに第１図では、第４図では図面」二省略したポンプ
本体１５の部分が示してあり、下部に浦溜め部３３を備
えた油タンクを兼ねた増速機ケーシング３４内に内臓し
た互いに噛み合う小歯車３１、大歯車３２を介して図示
しない原動機からの回転駆動力をスクリュロータ１９に
伝えるようになっている。

油循環流路２は、油溜め部３３から浦ポンプ３５、油ク
ーラ３６を経由してポンプ１５内の軸受、軸封部、同期
歯車等の潤滑油供給箇所に至った後、再度油溜め部３３
に戻る流路からなり、油溜め部３３の油を循環させるよ
うになっている。

−力木実施例では、逆止弁３は、弁本体３７と弁体３８
とコイルばね３９とからなっている。

このうち、弁本体３７は中間部に弁座４０を設けたガス
流通空間４１とシリンダ空間４２を内部に有し、この両
者の間には仕切り部分４３が形成しである。

弁体３８はＯリング４４を介することによって、上記両
空間を互いにしゃ断した状態に保らつつ仕切り部分４３
を貫通している。そして、弁体３８のガス流通空間側を
上記弁座４０に密着可能に形成するとともに、そのシリ
ンダ空間４２側にこの空間を仕切って、そのガス流通空
間側に油室４５を反対側に大気連通空間４６を形成する
ピストン４７が設けである。

即ち、油室４５には下記する油溜め部３３の油が導かれ
、大気連通空間４６側には大気連通孔４８を設けるとと
しに、両空間はピストン４７の周囲に嵌挿した０リング
４９によりソールされている。

コイルばね３９は弁体３８を弁座４０に密着させる方向
に常時付勢１ろように設けである。

ついで、バイパス流路４は、油室ｉＩ　５をａ、　ｂ。

Ｃボートを有ずろ三方切溺弁５０を介して浦クーラ３６
の出側およびｎｌ＋溜め部３３に通じさせる流路からな
り、油室４５から浦クーラ３　（ｉの出側或いは浦溜め
部３３のいずれか一方に通じる流路に切換え可能に形成
しである。

そして、ｂ−Ｃボートが連通状態にあるときは、Ａｂ室
・１５は大気圧状態にある油溜め部３３と連通状態とな
り、油室４５内の油は浦溜め部３３に流出し、コイルば
ね３９の力により弁体３８は第１図中左方に移動して、
弁は閉じた状態となる。

これに対して、ａ−ｂボートが連通状態にあるときは、
第２図に示すように、油循環流路２の浦が油室４５に導
かれ、ここでこの油圧がコイルば１つ３９の力に打勝ち
、弁体３８は同図中右方に移動して弁は開いた状態とな
る。

このように、弁を開くときには油圧によって行い、弁を
閉じろときのコイルばね３９の力を自由に選定出来るよ
うにしである。

次に、上記構成からなる真空ポンプの作動について説明
する。

真空ポンプＩの停止時には、油ポンプ３５を停止させて
、三方切換弁５０のｂ−Ｃボートを連通状態とする。こ
の結果、油室・１５内の浦は浦溜め部３３に抜けて、コ
イルばわ３９の力により弁体３８は弁座４０に密着して
弁は閉じる。

一方、真空ポンプＩの運転時には油ポンプ３５を作動さ
せて、三方切換弁５０のａ−ｂボートを連通状態にする
。この結果、油室４５内に′Ａ１１圧が発生し、弁体３
８は右方に移動し、弁が開いて、ガス流路が確保される
。

（発明の効果）以上の説明より明らかなように、本発明によれば、逆Ｉ
Ｆ弁を、中間部に弁座をａ°４゛ろガス流通空間および
シリンダ空間を内部に形成した弁本体と、適宜シール手
段を介して上記両空間を互いにしゃ断した状態に保ちつ
つ、両空間の仕切り部分を貫通させて、ガス流通空間側
をこの空間内の弁座に密着可能に形成するととらに、シ
リンダ空間側にこの空間内を仕切って、この空間内のガ
ス流通空間側に油室を、反対側に大気連通空間を形成ケ
ろピストンを設けた弁体と、この弁体を弁座に密着さＵ
−るように上記弁座方向に常時付勢４”るばね手段とか
ら形成４゛るとと乙に、」二足油室を三方切換弁を介し
て上記Ａｌ＋ターラの出側および」−２浦タンクに通し
ざＵるバイパス流路を設けて、油室からこの浦ターラの
出側或いは浦タンクのい４″れかに通しる流路に切換え
可能に形成しである。

このため、弁体を弁座に確実かつ迅速に密着さ０゛ろの
に必要なばノつ定数を何するばね手段を自由に選択して
、ガスの逆流を防止出来、かつ油圧により確実に弁を開
いてハンチング現象を生じることなくガス流路を確保す
ることが出来るという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明に係るスクリュ式真空ポンプの概略断面
図、第２図は第１図の作動時における逆止弁部分の概略
部分断面図、第３図は従来のスクリュ式真空ポンプを用
いた真空装置のガス系統図、第４図はスクリュ式真空ポ
ンプのポンプ本体の断面図、第５図は従来の逆止弁の断
面図である。１・・・真空ポンプ、２・・・油循環流路、３・・・逆
止弁、４・・・バイパス流路、１３・・・吸込口、１５
・・・ポンプ本体、１７・・・吐出口、１９・・・スク
リュロータ、３５・・油ポンプ、３６・・浦クーラ、３
７・・弁本体、３８・・・弁体、３９・・・コイルばね
、４０・・・弁座、４１・・・ガス流通空間、４２・・
ンリンダ空間、４３・・・仕切り部分、４５・・・油室
、４６・・・大気連通空間、４７・・・ピストン、５０
・・・三方切換弁。特許出願人　株式会社神戸製舖所代理人　弁理士　前出　葆　はか１名第３図図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータと、そ
の両側に吸込口と吐出口とを有するポンプ本体と、原動
機の回転駆動力を増速して上記スクリュロータに伝える
増速機と、油タンクを兼ねた該増速機のケーシングと、
ポンプ本体内の潤滑油供給箇所、上記増速機、油タンク
、油ポンプ、油クーラを通る油循環流路と、ポンプ本体
の吸込口に通じる流路に設けた逆止弁とを備えたスクリ
ュ式真空ポンプにおいて、上記逆止弁を、中間部に弁座
を有するガス流通空間およびシリンダ空間を内部に形成
した弁本体と、適宜シール手段を介して上記両空間を互
いにしゃ断した状態に保ちつつ、両空間の仕切り部分を
貫通させて、ガス流通空間側をこの空間内の弁座に密着
可能に形成するとともに、シリンダ空間側にこの空間内
を仕切って、この空間内のガス流通空間側に油室を、反
対側に大気連通空間を形成するピストンを設けた弁体と
、この弁体を弁座に密着させるように上記弁座方向に常
時付勢するばね手段とから形成するとともに、上記油室
を三方切換弁を介して上記油クーラの出側および上記油
タンクに通じさせるバイパス流路を設けて、油室からこ
の油クーラの出側或いは油タンクのいずれかに通じる流
路に切換え可能に形成したことを特徴とするスクリュ式
真空ポンプ。