JPS60249690A - 回転ピストン真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般に回転ピストン真空ポンプに関し、より詳
細には、停止したポンプへの潤滑材の流れを止める吸い
戻し防止特徴を有するポンプに関する。

機械的回転真空ポンプではその作動要素のまわりの油の
流れはこれらの作動要素を潤滑しかつ要素間の隙間シー
ル材を提供するのに役立つ。油の強制循環をもたないか
かる回転ポンプでは、油溜め部から内部ポンプ機構への
油の流量は主としてこれら２つの領域間の差圧の関数で
ある。油溜め部がその通常の大気圧にありかつポンプが
そのポンプ入口の最低絶対圧力で作動しているとき、最
大の油流れ循環が起る。より高い吸引圧では、油の流れ
は減少され；実際、５００ｍｍＨｇａ以上の入口圧力範
囲では、ポンプ機構への油の流れはない。

かくして、この圧力範囲では作動時間を制限しなければ
ならない。油の流れを伴なわないで長時間作動すると潤
滑が不十分になり、過熱を引き起し、そしてポンプの故
障を起してしまう。

この問題を解決しかつ広い圧力範囲にわたる長い作動時
間に備えるために、真空ポンプの作動圧力範囲全体にわ
たって強制油流れを作る油ポンプを機械的真空ポンプの
油回路に付設するのがよい。

複式（２段）機械的真空ポンプでは、油ポンプは代表的
には第２すなわち荒作用段の油回路に付設されており、
第１すなわち高真空段の油の流れは小さい差圧および重
力によって引き起される。さらに、中間段の脱気油は代
表的には第１段ポンプ室を通して別々の独立の油回路で
再循環される。

何故なら、大気圧の油が、第１段に放出されれば有効ポ
ンプ容量を著しく減少させるような空気をしばしば含有
するからである。

真空ポンプの作動が止まると、このポンプ内の各ポンプ
室は異なる圧力になる。例えば、２段回転ピストンポン
プでは、第１段は作動室すなわちポンプ入口で真空引き
されている室と連通しており、排出分離器を介してポン
プ出口と連通している第２段内の圧力と比較して相対的
に低い圧力である。ポンプ室間にこの差圧が存在すると
、しばしば、潤滑およびシール用油は作動要素間から第
１ポンプ室へ漏れ或は逆流する。独立の油回路を用いた
真空ポンプでは、この漏れまたは逆流は代表的には第１
ポンプ室並びに供給膜気油を汚染する。さらに、室間の
差圧が室間に油の流れを引き起す程でなくても、ポンプ
がポンプ室の低い圧力で止められれば、そのポンプ室用
の潤滑回路内の油がポンプ室へ戻ってしまう。また、こ
れにより、しばしば、ポンプ室をあふれさせ、作動室を
汚染する。

先行技術の真空ポンプは、これがポンプ室内の真空また
は低い圧力条件下で止められるとき、ポンプ室すなわち
ポンプ段への油の流れを止める装置を備えていた。これ
らの装置はポンプ室のあぶれを回避し、そしてポンプ入
口装置を通る油の逆流を回避し、かつこれに取付けられ
た作動室も汚染しないようにしている。ポンプの油のあ
ぶれを防ぐことによって、あふれたポンプの始動と関連
した問題も除去される。入口装置へ戻る油の流れを防く
方法および／または装置は代表的には「吸い戻し防止」
装置と呼ばれている。先の油の逆流防止装置は電磁弁ま
たは遠心作動機構を有し、これらの弁または機構は例え
ば停止したポンプへの油の流れを止める弾力性のある弾
性体プランジャシールを有していた。しかしながら、こ
れらの装置は比較的高価であり、かつポンプの作動中、
突然の変化に対して高い応答性に欠けている。これらの
いわゆる吸い戻し防止装置は通常油シール回転翼真空ポ
ンプに組込ま乳でいる。

真空装置への油の吸い戻しを防ぐ他の技術は入口管路分
離弁を使用することであった。この弁は真空ポンプを止
める前は閉じられており、ポンプが止められるとき、分
離弁のポンプ吸引側に位置決めされかつポンプのモータ
に電気的に接続された小さい電磁弁は開いて大気又は、
必要なら、空気／油分離器のハウジングからの排出ガス
をポンプ内部に入れる。しかしながら、この方法はポン
プシリンダのあぶれを完全には防止せず、やはり、ある
種類の油管路遮断装置が望ましい。さらに〜分離弁が閉
じられるとき、この入口管路に沿う空気の漏れを防止す
るために精巧なシール装置を設けることがしばしば必要
である。

いくつかの適用では、これらの以前の吸い戻し防止技術
はある少量の油が漏れても適切に機能する。しかしなが
ら、半導体チップおよびマイクロプロセッサ装置を製造
する際、非常に低い圧力＜　０．５〜１−５　ｍｍｍｍ
１（はどの）を達成しかつ真空ポンプの入口から半導体
作動室への油の流れによって完全に汚染されないように
するために真空ポンプがしばしば必要とされる。かくし
て、安価な非常に信頼性のある吸い戻し防止装置が必要
とされてきた。

従って、本発明の目的は真空ポンプのための安価な非常
に信頼性のある吸い戻し防止装置を提供することである
。

他の目的は潤滑材の流れおよびポンプ室の圧力逃しを同
時に制御する液圧作動制御弁を有する回転ピストン用の
改良吸い戻し防止装置を提供することである。

なお一層の目的は複式すなわち多段真空ポンプ用の改良
液圧制御吸い戻し防止装置を提供することである。

さらに他の目的は真空ポンプを止めた後、ポンプ室内の
圧力均衡化を達成しかつ更に作動流体入口流路の応答性
の高い締切弁によって真空ポンプへの潤滑材の逆流を防
止する装置を提供することである。

本発明のこれらの目的および他の目的は潤滑油回路の油
ポンプ、より高い圧力源からポンプ室に連結今れた圧力
逃しベント、および油ポンプと油回路の間ならびに圧力
逃しベントと第１ポンプ室との間に夫々連結され、油の
流れおよび圧力を制御するための付勢弁を回転真空ポン
プに設けることによって達成される。油ポンプは油潤滑
回路内の油を真空ポンプ作動の関数として加圧する。こ
の弁は油ポンプによって作られる油圧に応答する。

この弁は真空ポンプが作動しているときに作動して油ポ
ンプから油回路への油の自由な流れを維持する。真空ポ
ンプが止められるとき、弁の付勢により油回路を通る油
の流れを止めかつ圧力逃しベントと第１ポンプ室との連
結を開放して第１ポンプ室内の圧力を増大させ、潤滑油
がこのポンプ室へ吸い込まれないようにする。圧力逃し
ベントからのこの増大圧力により入口締切弁を作動して
第１圧力室を作動室から分離する。

いくつかの独立の油回路を備えた多段回転真空ポンプで
は、本発明の弁構造は複数のこれらの油回路内の油の流
れを同時に制御することができる。

単一の油回路からの加圧油が制御信号を作り、弁構造を
作動する。かくして、その油回路のみが油ポンプを必要
とする。また、圧力逃しベントは、少なくとも第１ポン
プ室に連結されており、弁構造によって制御される。弁
構造は各油回路およびポンプ室への圧力逃し路を相互に
連結する単一のすべり弁または１つ以上の油回路および
／または圧力逃し路を各々が相互に連結する多数のすへ
り弁のいずれかを有するのがよい。真空ポンプが止まる
と、弁構造は油回路内の油圧降下に応答してその制御信
号を与え、少なくとも第１ポンプ室への油の流れを阻止
するとともに、そのポンプ室への圧力逃しを行う。

本発明の他の目的、利点および新規な特徴は添付図面と
関連して本発明の下記の詳細な説明を読むことにより明
らかになるであろう。

ましい　施゛ヒ様の示゛Ｈ 第１図は本発明の好ましい実施態様を示し、２段回転真
空ポンプ１０の部分横断面を示しており、ポンプ１０は
ハウジング１５を有し、このハウジング内には第１ポン
プ室２０および第２ポンプ室２５が夫々設けられている
。駆動シャフト３ｏが第１および第２ポンプ室２０．２
５を貫いて取付けられかつハウジング１５によって支持
されている。

第１および第２ポンプ室２０．２５は各々その室内の作
動要素を潤滑しかつ相対的に移動する部材間の隙間をシ
ールする独立の油回路を備えている。第１ポンプ室につ
いては、油回路は溜め部３５からの脱気油を用いている
。脱気油は溜め部３５から管路３７を通って部分Ａのと
ころの弁部材５０（第２図および第３図に示してあり、
以下に詳細に説明する）へ流れる。脱気油の流ればそこ
から管路４１を経て直接第１ポンプ室２０へ、あるいは
駆動シャフト３０内の管路３９を経て第１ポンプ室２０
内の出口ポート４３へ続く。第１ポンプ室のピストンポ
ンプ（図示せず）が回転および往復運動すると、脱気ガ
スの流れは溜め部３５へ戻る。

第２ポンプ室２５の油回路は油溜め部４５を有している
。油はこの溜め部から管路４７を通り、次いで部分への
弁５０へ流れる。油の流れは弁５０から管路４９を通っ
て軸受３２のところで駆動シャフト３０へ戻る。油は駆
動シャフト３０に沿って第２ポンプ室２５へ流れ、この
室内のポンプ作用によって、溜め部４５へ、そして導管
８１を経て排出分離器８０へ移送される。排出分離器８
０は真空ポンプ作動流体、代表的には空気、を真空ポン
プの大気出口（図示せず）へ通し、かつ移送された油を
導管８１を通して溜め部４５へ戻す。また、排出分離器
８０は作動流体の流れを弁５０へ戻すだめの圧力逃しベ
ント管路８２を備えている。

簡単に述べると、本発明は、真空ポンプが止ったとき、
余分の油がポンプ室へ流れないようにする装置を設けて
いる。これは真空ポンプが止まるとぎ、油回路を遮断し
かつポンプ室内の圧力を等しくする液圧応答弁構造によ
って達成される。より詳細には、第１図の例示の２段真
空ポンプ１０では、弁５０に対する液圧制御信号が真空
ポンプの止ったことを指示するとき、両溜め部３５．４
５からの油を第１および第２ポンプ室２０．２５内へ流
れないようにする。同時に、弁５０により、排出作動流
体を管路８２を通して第１ポンプ室２０へ流して圧力の
逃しを行う。かくして、真空ポンプが止ったとき、弁５
０により、第１ポンプ室２０と第２ポンプ室２５との圧
力を等しくする。弁５０に与えられる液圧制御信号は溜
め部４５のみからの油を油ポンプ７０によって加圧する
ことにより生じる。油ポンプ７０は真空ポンプ１０の作
動に応答して作動する。

両袖回路内の油の循環を同時に止めかつポンプ室２０．
２５内の圧力を等しくするごとによって、真空ポンプ１
０の作動を止めるとき、各ポンプ室の油供給部および隣
接したポンプ室の油供給部の両方から油をこれらの室内
へ流れ込まないようにする。本発明の液圧制御信号を与
えるために油圧を使用することにより、真空ポンプ１０
の作動に対する弁５０の応答をすばやくかつ正確にする
。

第２図はＡで示される第１図の部分を拡大した部分横断
面図を示している。第２図の弁５０の位置は真空ポンプ
１０が作動しているときの場合について示されている。

この図は真空ポンプが止ったときの弁５０の位置を示す
第３図と同様な横断面図と比較することができる。

第２図に示すように、弁５０はボア５６に沿って移動で
き、例えばばね５２によって上方に付勢される滑り弁で
ある。弁５０はボア室内の油圧によって下方に作動され
てばね５２のばねイー１勢に対向する。油ポンプ７０が
、例えば、シール装置３４を通り越す駆動シャフト３０
の延長部７２によって駆動されかつギヤ部材７４を有す
るギヤポンプとして設けられている。管路４７で入って
くる溜め部４５からの油は油ポンプのポンプ作用によっ
て加圧され、真空ポンプＩＯが作動中であるとき、次い
で管路７６を通りシール管路７８および入口管路６２を
経て弁５０のボア室５４へ流れる。

溜め室３５からの脱気油は管路３７を通って弁５０へ流
れるが、ポンプ加圧を受けない。この脱気油は重力およ
び圧力差のみで脱気油回路を通って流れる。管路３７で
入ってくる脱気油は真空ポンプ１０が作動しているとき
、管路５８を通って制御弁５０を通過する。管路５８か
らの脱気油はボア５６を出て駆動シャフト３０の入口ボ
ート３６に入る。次いで、この油は駆動シャフト３０内
の管路３９を通って出口ポート４３へあるいは管路４１
を通って直接第１ポンプ室２０へ流れる。

排出分離器８６からの圧力逃しベント管路８２は管路６
４を通って弁５０に達する。管路６８はポンプ室２０と
連通している。真空ポンプ１０の作動中、弁５０は管路
６４．６８間の°連通を遮断する。管路７８からの加圧
油は管路６４．６８間の弁５０の凹部６０のところに油
シールを形成して圧力逃し管路８２から第１ポンプ室２
０への漏れを防ぐ。

真空ポンプ１０が作動しているとき、駆動シャフト３０
は油ポンプ７０を駆動して第２ポンプ室２５の油回路内
の油を加圧する。真空ポンプ１０が作動していないとき
、油ポンプ７０は作動していなく、その油を加圧しない
、かくして室５４内の油圧はばね５２のばね付勢に打ち
勝たない。すると、弁５０は第３図に示すようにボア室
５４内へ上方に移動する。

弁５０が上方に移動して管路４９の入口を通り越すと、
溜め部４５および管路６２から管路４９を径て第２ポン
プ室２５へ戻る油の流れは制限されそして止められるこ
とになる。同時に、管路５８の入口は上方に移動して管
路３７の出口を通り越し、溜め部３５および管路３７か
ら管路３９．４１を経て第１ポンプ室２０へ戻る油の流
れは制限されそして止められることになる。弁５０のこ
の同し上方移動により、管路６４の出口を管路６６の人
口と整合させるとともに、管路６６の出口を管路６８の
入口と整合させて逃し圧力を排出分離器８０から第１ポ
ンプ室２０へ流す。かくして、弁５Ｃは、ポンプ室２０
．２５への油回路の両方の油の流れを止めると、圧力逃
し流を開放して第１ポンプ室２０内の圧力を上昇させか
つポンプ室２０．２５間の圧力を等しくする。この構造
によって、真空ポンプ１０が作動していないとき、いず
れか一方または両方の油回路からポンプ室のうちのいず
れか一方への油の逆流または漏れか防止される。

真空ポンプ１０が再び作動し始めると、油ポンプ７０も
再び作動し始め、室５４内の油を再び加圧する。これに
より、弁５０をばね５２の付勢に抗してボア室５４から
下方に移動せしめる。それにより、管路６２．４９から
第２ポンプ室２５へおよび管路３７．５８．３９．４１
から第１ポンプ室２０へ油か流れる。同時に、排出分離
器８０から第１ポンプ室２０への管路６４．６６．６８
間の連通が制限されそして止められる。同様に、管路７
８からの高圧油の連通が凹部６０と再開し、かくして、
真空ポンプ１０が再び作動し始めるとき、管路６４．６
８間の油シールが再び確立される。

第４図および第５図は本発明の別の実施態様を有する他
の回転ピストン真空ポンプ１１０の部分横断面図を示し
ている。第４図は真空ポンプ１１０が作動中であるとき
の本発明の種々の吸い戻し防止要素の位置を示している
。第５図は真空ポンプ１１０を止めたときの同要素の位
置を示している。

第１図、第２図および第３図と比較すると、第４図およ
び第５図は第１図、第２図および第３図の図と一般に直
角な平面に沿った横断面図である。

また、真空ポンプ１１０は各室ごとに別々の油回路を有
する２室ポンプであるのがよく、第４図および第５財に
ついて示しかつ説明する点を除いてあらゆる他の点で真
空ポンプ１０と同様である。

第４図および第５図に示すように、真空ポンプ１１０は
ハウジング１１５、排出分離器１８０および第１および
第２ポンプ室（開示せず）を有している。各ポンプ室は
第１図の実施態様におけるようにこの室と関連した油回
路を有している。各油回路は油溜め部および第４図およ
び第５図に示される本発明の吸い戻し防止部へそしてそ
こから延びた油管路を有している。

この実施態様も吸い戻し防止性能を備えている。

両ポンプ室への油回路の流れおよびポンプ室間の圧力逃
しと均衡化を単一の弁によって制御する代わりに、真空
ポンプ１１０は複数の弁を有する。

弁２５０は第１ポンプ室への圧力逃しおよびポンプ室間
の圧力の均衡化を制限する。また、この弁は弁１５０へ
の制御信号油の流れを制御し、弁１５０は独立の潤滑油
回路の両方内の潤滑油の流れを制御する。また、これら
の弁は真空ポンプ１１０の作動に応答して油ポンプから
の油圧によって液圧的に作動される。

弁１５０．２５０は夫々例えばばね１５２．２５２によ
って付勢され、そしてボア１５６．２５６内に摺動可能
に配置される。ばね１５２．２５２と反対側の弁１５０
．２５０の端部にはボア室１５４．２５４が夫々設けら
れている。かくして、ボア室１５４．２５４へ供給され
た加圧油は夫々ばね１５２．２５２の付勢作用に打ち勝
って、弁１５０．２５０を作動させることができる。

第２ポンプ室からの油は管路１４７を通ってポンプギヤ
１７４を有する油ポンプ１７０へ流れる。

油ポンプ１７０は加圧油を管路１７６を通して弁２５０
のボア室２５４へ供給する。弁２５０はばね２５２によ
ってボア室２５４の方に下方に付勢されている。第４図
に示すように、真空ポンプ１１０が作動しているとき、
油ポンプ１７０は油圧をボア室２５４に加え、この油圧
はばね２５２の付勢力を越え、弁２５０をボア室１５４
から上方乙こ摺動させて油を管路１６２へ、次いでボア
室１５４へ流す。

弁２５０はボア室２５４と反対側の端部に弁要素２５５
を有する。ボア２５６は弁２５０への管路１６４の出口
のまわりに弁座２５７を有している。また、ボア２５６
はその側壁を通る出口ボート２５８を有している。弁２
５０は例えば弁要素２５５の内部に中空部分を有してい
る場合について示されている。管路１６４は排出分離器
１８０から圧力逃しベント１８２を通して圧力逃しを受
ける。第４図に示すように、弁２５０が油圧によってボ
ア室２５４から押し上げられると、弁要素２５５は管路
１６４の出口をおおいかつ弁座２５７に着座して管路１
６４を通って弁要素２５５を通り越しそして出口ボート
２５８を通って管路１６８へそして第１ポンプ室への圧
力逃し空気の流れを遮断する。第１ポンプ室への圧力逃
し路はボア２５４の一部を通り、次いで出口ボート２５
８を通り管路１６８を経て入口締切弁２２０へ延ひてい
る。圧力逃し路は弁２２０を通り越して第１ポンプ室の
入口２４０内へ続いている。しかしなから、真空ポンプ
１１０が作動しているとき、入口締切弁２２０はストッ
パー２２２乙こ載ってこの逃し圧力路を少なくとも部分
的に締切る。

油圧により弁２５０をボア室２５４がら移動させると、
管路１６２との連通が開放され、油は管路１６２を通っ
て弁１５０のボア室１５４へ流れる。弁１５０はばね１
５２によってボア室１５４の方に上方に付勢されている
。第２図および第３図の弁５０におけるように、弁１５
０は中央脱気油管路１５８を有し、この管路は管路１３
７．１６１と整合して脱気油を第１ポンプ室（図示せず
）の脱気油溜め部からこれらの管路を通し駆動シャフト
（図示せず）の内部管路１３９を経て第１ポンプ室へ流
す。この整合は、真空ポンプ１１０が作動していて、管
路１７６、ボア２５４および管路１６２からのボア室１
５４内の油圧により第４図に示すようにばね１５２の（
」勢に打ち勝って弁１５０をボア１５６内に下方に摺動
させるときに生じる。同時に、弁１５０は第２ポンプ室
（図示せず）に通じる管路１４９との連通を開放して管
路１６２からの油かボア室１５４を通って管路１４９お
よび第２ポンプ室へ流れるようにする。

従って、真空ポンプ１１０が作動中であるとき、油ポン
プ１７０は加圧油をボア室２５４．１５４へ、引き続き
第２ポンプ室の油回路内に供給しっづける。この油圧に
より、弁要素２５５を弁座２５７に対して閉じかつ入口
締切弁２２０を開くことによって弁２５０は管路１６４
から第１ポンプ室への圧力逃しを遮断する。同様に、油
圧により、弁１５０は油を第１および第２ポンプ室に夫
夫達する管路１３９．１４９へ流れるようにする。

また、単一油回路のみ（第２ポンプ室の油回路）の油圧
を用いて液圧制御信号を与え、弁１５０を作動して多数
の油回路を通る油の流れを制御する。

第５図に示すように真空ポンプの作動が止ったとき、油
ポンプ１７０も作動せず、管Ｂ１７４を通って弁２５０
へのばね２５２のばね付勢に打ち勝つ加圧油の流れを供
給しない。次いで、弁２５０はボア室２５４内へ下方に
摺動する。かくして、弁要素２５５は弁座２５７からは
なれ、圧力逃しの流れが排出分離器１８０から圧力逃し
ベント管路１８２および管路１６４を通って弁２５０の
ボア２５６に入り、そして管路１６８、次いで入口締切
弁２２０へ進む。

排出分離器１８０からの圧力は代表的には第１ポンプ室
内の圧力より高い圧力である。かくして、空気の流れが
弁２５０から管路１６８を通って入口締切弁２２０へ続
くと、差圧により締切弁２２０を上昇させてストッパー
２２２から離し、そして入口締切弁２２０の弁面２２５
を入口弁シール２３０に着座させる。これにより、入口
フィルタ２１０および真空ポンプ入口２００を通って作
動室（図示せず）へ戻る圧力逃しの流れを制限する。

入口締切弁２２０がそのように作動されると、逃し圧力
の流れは真空ポンプ１１０の作動液体路をたどって第１
ポンプ室の入口を通り第１ポンプ室へ進む。この結果、
このポンプ室内の圧力が上昇し、第１および第２ポンプ
室間の圧力均衡を引き起す。

真空ポンプ１１０が作動していないとき、弁２５０は管
路１４７．１７６から管路１６２およびボア室１５４へ
の油の流れを止める。かくして、加圧油が弁１５０に作
用してばね１５２の付勢に打ち勝つのには有効でない。

すると、弁１５０はボア室１５４内へ内方に摺動して第
２ポンプ室へ向うボア室１５４と管路１４９との間、な
らびに第１ポンプ室へ向う管路１３７．１５８．１３９
間の油の流れを制限しそして止める。かくして、低圧ま
たは差圧いずれか一方によってポンプ室へ吸い込まれる
油の供給が制限される。低圧および差圧状態を除去する
圧力逃しとの組合せで、重大な逆流または油のあふれは
生しない。

真空ポンプ１１０が作動していないとき、油の逆流およ
びポンプ室のあぶれを効果的に防止するので、作動真空
室の作動環境の汚染を著しく減少させる。さらに、入口
締切弁２２０の作動により、このような汚染は真空ポン
プ１１０内の潤滑油からば生しない。真空ポンプ１１０
が再び作動し始めると、油ポンプも再び作動し始め、そ
して油の流れを再び加圧し弁２５０は入口締切弁２２０
への圧力逃し流れを止める。第１ポンプ室内の圧力が降
下すると、入口締切弁２２０の弁面２２５は弁座２３０
から離れ、そしてストッパー２２２へ降下して作動流体
を作動真空室からポンプ１１０へ流し始める。

油の流れおよび空気圧逃しについて本発明を説明したが
、これらの実施Ｂ様は単なる例示にすぎないことをはっ
きりわかるべきである。本発明は潤滑剤の流れおよび圧
力逃しを制御する弁構造体を液圧的に作動する油のほか
に他の任意適当な潤滑材を使用するものである。真空ポ
ンプが作動していないとき、ポンプ室への圧力逃しのた
めに、空気のほかに化学的に不活性の気体または液体の
ような他の任意適当な流体を用いてもよい。また、圧力
逃しベントを排出分離器に連結する必要がない。いくつ
かの適用では、圧力逃しベントを他の圧力源と連通させ
ても差しつかえない。この他の圧力源は例えば大気圧へ
の空気へントであってもよい。本発明のいくつかの適用
では、排出作動流体のほかに異なる流体を圧力逃しのた
めに用いてもよい。

さらに、第１ポンプ室への圧力逃しは第２ポンプ室内の
圧力にちょうど等しくなくてもよい。この圧力逃しは少
なくとも可成りであることが必要であるに過ぎない。こ
れは、圧力逃しかポンプ室間、特に第１ポンプ室への潤
滑材の流れを阻止するために潤滑材の流れの制限との組
合せで差圧を減少させるのに少なくとも十分であるべき
であることを意味している。

好ましい実施態様の先の説明から、本発明の目的が達成
されることは明らかであり、本発明の詳細な説明しかつ
示してきたが、例示としてのものであり、限定としての
ものではないことをはっきり理解すべきである。本発明
の精神および範囲は添付の特許請求の範囲によってのみ
限定されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を具体化する真空ポンプの駆動シャフト
に沿った部分横断面図；第２図は真空ポンプが作動して
いるときの本発明による吸い戻し防止装置の特定の要部
を示す第１図の部分と同し平面におけるこの部分の拡大
部分横断面図：第３図は真空ポンプが止められたときの
第２図に示す同じ部分の部分横断面図；第４図は真空ポ
ンプが作動中であるときの本発明の別の実施態様を示す
他の真空ポンプの部分横断面図；第５図は真空ポンプの
作動が止められたときの第４図に示すポンプの同じ部分
の部分横断面図である。（比較のため、第４図および第
５図の横断面図は第１図、第２図および第３図の横断面
図の平面と一般に直角な平面上であることを気づくべき
である）。 １０・・・回転真空ポンプ、２０・・・第１ポンプ室、
２５・・・第２ポンプ室、３０・・・駆動シャフト、３
５．４５・・・溜め部、３７．３９．４１．４７．４９
・・・管路、４３・・・出口ポート、５０・・・弁、７
０・・・油ポンプ、８０・・・排出分離器、８１・・・
導管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　少なくとも１つの第１ポンプ室を備えたハウジン
   グと、作動要素を潤滑する潤滑材回路と、この潤滑材回
   路内の流体潤滑材とを有する回転ピストン真空ポンプに
   おいて、 上記潤滑材回路と液体連通状態に連結され、作動中、上
   記潤滑材を上記潤滑材回路を通して流すのに十分な潤滑
   材圧力を生じさせる潤滑材ポンプ装置を備え、この潤滑
   材ポンプは上記真空ポンプが作動するときにのみ作動す
   るように上記真空ポンプに応答し； 上記第１ポンプ室と連通し一圧力を上記第１ポンプ室に
   供給する圧力逃し装置と； 上記潤滑材ポンプ装置と上記潤滑材回路との間にこれら
   と連通状態に連結され、かつ上記圧力逃し装置と上記第
   １ポンプ室との間にこれらと連通状態、に連結され、上
   記第１ポンプ室への上記潤滑材の流れおよび圧力を制御
   する弁装置と、を備え、この弁装置は上記潤滑材ポンプ
   の作動によって生しる上記潤滑材回路内の上記潤滑材圧
   力に応答して潤滑材の流れを制限しかつ圧力逃し流を上
   記第１ポンプ室へ流すことによって上記真空ポンプが作
   動していないときに上記第１ポンプ室への上記潤滑材の
   逆流および漏れを防止するようになっていることを特徴
   とする回転ピストン真空ポンプ。 ２、上記潤滑材回路に上記潤滑材ポンプによって生じる
   上記潤滑材圧力が上記真空ポンプの作動速度の関数であ
   るように上記潤滑材ポンプおよび上記真空ポンプの上記
   作動要素を相互に連結する装置をさらに有することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項に記載の真空ポンプ。 ３、　上記弁装置は上記真空ポンプが作動しているとき
   、上記真空ポンプの作動に応答して潤滑材を上記潤滑材
   回路に流しかつ上記第１ポンプ室への逃し圧力の流れを
   防止するようになっていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項に記載の真空ポンプ。 ４、　上記真空ポンプはその吐出ポートに連結された排
   出分離器をさらに有し、上記圧力逃し装置は逃し圧力を
   上記排出分離器から上記第１ポンプ室へ戻すために上記
   排出分離器装置と連通していることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項に記載の真空ポンプ。 ５、上記弁装置は上記圧力逃し装置からの圧力を上記第
   １ポンプ室へ流し、上記潤滑材ポンプ装置から上記潤滑
   材回路への潤滑材の流れを制限するようにばね付勢され
   ているすべり弁要素を有し、このすベリ弁要素のばね付
   勢は上記真空ポンプの作動中、上記滑り弁要素に作用す
   る上記潤滑材圧力に負けて上記圧力逃し装置から上記ポ
   ンプ室への圧力の流れが制限され、かつ上記潤滑材流体
   を遣る潤滑材の流れが可能になるようになっていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の真空ポンプ
   。 ６、上記弁装置は、上記潤滑材回路と連通し、真空ポン
   プの作動中、上記圧力逃し装置から上記第１ポンプ室へ
   の流れを阻止するような上記弁装置の部分で上記弁装置
   のまわりに潤滑材シールを確立する装置をさらに有して
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の真
   空ポンプ。 ７、上記弁装置は上記圧力逃し装置からの圧力を上記第
   １ポンプ室へ流すようにばね付勢されている第１すべり
   弁要素および上記潤滑材ポンプ装置から上記潤滑材回路
   への上記潤滑剤の流れを制限するようにばね付勢されて
   いる第２すべり弁要素を有し、上記第１および第２すべ
   り弁要素の両方は上記油回路と連通しており、上記真空
   ポンプが作動しているとき、上記第１すべり弁要素のば
   ね付勢が上記潤滑材圧力に負けて上記第１ポンプ室への
   圧力逃しを制限し、上記第２すべり弁要素のばね付勢が
   上記潤滑材圧力に負けて潤滑材を上記潤滑材回路に流す
   ようになっていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項に記載の真空ポンプ。 ８、上記第１ポンプ室は締切弁を有する入口装置を有し
   、上記締切弁は上記第１ポンプ室へ圧力を逃す第１すべ
   り弁要素の作動に応答して作動されて上記第１ポンプ室
   への作動流体の流れを制限するようになっていることを
   特徴とする特許請求の範囲第７項に記載の真空ポンプ。 ９、上記第１および第２すベリ弁要素のばね付勢は上記
   真空ポンプの作動中、上記潤滑材ポンプによって生じる
   潤滑材圧力に同時に負けて上記第１ポンプ室への圧力逃
   しを制限しかつ潤滑材を上記潤滑材回路に流すようにな
   っていることを特徴とする特許請求の範囲第７項に記載
   の真空ポンプ。 １０、第２ポンプ室と、別々の潤滑材回路と、上記第１
   および第２ポンプ室各々の作動要素を潤滑する上記第１
   および第２潤滑材回路各々のだめの別々の流体潤滑材供
   給部をさらに有していることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項に記載の真空ポンプ。 １１、上記潤滑材ポンプ装置は上記第２ポンプ室の潤滑
   材回路に設けられており〜上記弁装置はこの回路内の潤
   滑材圧力に応答して上記第１ポンプ室への潤滑材の流れ
   および圧力逃しを制御するようになっていることを特徴
   とする特許請求の範囲第１０項に記載の真空ポンプ。 １２、複数のポンプ室を備えたハウジングと、上記ポン
   プ室の各々の作動要素を潤滑する潤滑材回路と、これら
   の潤滑材回路内の流体潤滑材とを有する回転ピストン真
   空ポンプにおいて、上記潤滑材回路のうちの少なくとも
   １つと連通し、作動中、上記潤滑材をその潤滑材回路に
   流すためにその潤滑材回路め潤滑材に作用する圧力を生
   じさせる潤滑材ポンプ装置を備え、この潤滑材ポンプ装
   置は上記真空ポンプが作動するときにのみ作動するよう
   に上記真空ポンプに作動的に応答するようになっており
   ； 潤滑材回路と関連し上記潤滑材ポンプ装置と連通してい
   るポンプ室以外の少なくとも第１ポンプ室ど連通し、圧
   力を上記第１ポンプ室へ流して上記第１ポンプ室と少な
   くとも１つの他のポンプ室との間に圧力均衡化を達成す
   る圧力均衡化装置と； 上記潤滑材ポンプによって加圧される潤滑材と連通しか
   つ上記圧力均衡化装置と連通し、少なくとも上記第１ポ
   ンプ室と関連した潤滑材回路内の潤滑材の流れおよび上
   記第１ポンプ室への圧力均衡化流れを制御する弁装置と
   、をさらに備え、上記弁装置は上記真空ポンプが作動し
   ていないとき、上記潤滑材ポンプによって加圧される上
   記潤滑材に応答して上記第１ポンプ室と関連した上記潤
   滑材回路内の潤滑材の流れを制限しかつ圧力均衡化流れ
   を上記第１ポンプ室へ流すことによって潤滑材を上記第
   １ポンプ室へ入らないようにしたことを特徴とする回転
   真空ポンプ。 １３、上記圧力均衡化装置は上記第１ポンプ室へ、少な
   くともこれと隣接したポンプ室内の流体圧と実質的に等
   しいあるいはこの流体圧より大きい流体圧を供給するた
   めの圧力源と流体連通していて、上記真空ポンプが作動
   していないとき、上記第１ポンプ室と上記隣接したポン
   プ室との間の作動要素をシールする潤滑材がそれらの室
   間の流体差圧によって第１ポンプ室へ吸い込まれないよ
   うになっていることを特徴とする特許請求の範囲第１２
   項に記載の回転ピストンポンプ。 １４、上記圧力均衡化装置は大気圧で作動流体と流体連
   通していて、上記真空ポンプか作動していないとき、上
   記作動流体が上記第１ポンプ室へ供給されるようにした
   こを特徴とする特許請求の範囲第１２項に記載の回転ピ
   ストンポンプ。 １５、上記潤滑材回路の各々は独立していて、別々の潤
   滑材供給量を収容しており、上記弁装置は上記ポンプ室
   の各々と関連した潤滑材回路と連通していて、上記潤滑
   材ポンプが作動していないとき、上記弁装置はポンプ室
   −・の潤滑材の流れを制限するようになっていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１２項に記載の回転ピスト
   ンポンプ。 １６、上記圧力均衡化装置は上記ポンプ室へ圧力を流し
   てこれらのポンプ室間に少なくとも実質的な圧力均衡化
   を達成するために上記ポンプ室の各々と連通しており、
   上記弁装置は上記圧力均衡化装置と連通しかつ上記潤滑
   材ポンプ装置の作動に応答し、上記ポンプ室間の上記圧
   力の流れが上記真空ポンプの作動中は制限され、そして
   上記真空ポンプが作動していないときには上記ポンプ室
   間に圧力が流れるようになっていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１５項に記載の回転ピストンポンプ。