JP2023536607A - 試験サイト固有のシグナリングを使用して被試験デバイスを試験するためのハンドラ、自動試験機器及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェースを含み、リアルタイムテスタインターフェースは、自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供するように構成される。したがって、実施形態は、対応する自動試験機器と、かかる自動試験機器及びハンドラのための方法とを含む。【選択図】図４
Description
本発明に係る実施形態は、試験サイト固有のシグナリングを使用して被試験デバイスを試験するためのハンドラ、自動試験機器、及び方法に関する。
本発明に係る更なる実施形態は、例えば、トリガ、例えば、プレトリガ信号を使用する、高速同期及びデータ交換を伴う能動的温度制御に関する。本発明に係る更なる実施形態は、高速同期及びデータ交換を伴う能動的温度制御に関する。
例えば、ＭＰＵ（例えば、マイクロプロセッサ）、ＧＰＵ（例えば、グラフィックス処理ユニット）、及びＭＣＵ（例えば、マイクロコントローラ）などの複雑なデジタルデバイス（例えば、被試験デバイス（ＤＵＴ）として機能し得る）は、多くの電力を消費する可能性がある。電力消費及びデバイス温度プロファイルは、例えば、試験全体を通して、例えば、自動試験機器（ＡＴＥ）を用いた試験全体を通して変動する可能性があり、例えば、試験サイトに依存する可能性もある。一部の場合では、例えば、「平坦な」及び／又は予測可能な温度プロファイルを有するこれらのデバイスを試験するために、正確な温度制御が重要であり得るか、又は必須でさえあり得る。
加えて、良好な精度及び少ない時間労力で試験を実施可能な試験機器を提供することが重要であり得る。例えば、配線の複雑さ及び手間が少ないことが有益となる場合がある。
したがって、温度制御効率、試験精度、及び試験機器の複雑さの間のより良好な妥協を可能にする概念を得ることが望ましい。
これは、本出願の独立請求項の主題によって達成される。
本発明に係る更なる実施形態は、本出願の従属請求項の主題によって定義される。
第１の態様に係る発明の概要
本発明の第１の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
本発明の第１の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
ハンドラインターフェースは、例えば自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された双方向専用インターフェース、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェースである。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予冷機能をトリガするために、トリガシグナリングをハンドラに提供するように構成される。
ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードするように構成されてもよく、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御するように構成されてもよい。更に、ハンドラインターフェースは、例えば、（ハンドラを制御する）制御動作に影響を与えるためのシグナリングをハンドラに更に提供するように構成されてもよく、該シグナリングは、例えば、ハンドラの制御動作を決定するために考慮される。更に、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えばリアルタイムテスタインターフェースを介して、ハンドラからシグナリングを受信するように構成される。加えて、自動試験機器は、例えば試験を実行するとき、又は試験データから最終試験結果を導出するときに、例えばハンドラから受信したシグナリングに応答して試験フローを適合させるために、ハンドラから受信したシグナリングを考慮するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、双方向専用のリアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば（バスインターフェースではなく）「固定エンドポイントインターフェース」を含む。
テスタインターフェースは、例えば自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された双方向専用インターフェース、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェースである。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードすることができ、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御することができる。ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器からトリガ（例えばプレトリガ）シグナリングを受信するように構成され、ハンドラは、受信したシグナリングに応答して、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予冷機能をトリガするように構成される。更に、ハンドラは、例えば自動試験機器による考慮のために、テスタインターフェースを介して自動試験機器にシグナリングを提供するように考慮される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予冷機能をトリガするために、例えばそれによってトリガするために、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラにトリガシグナリングを提供することを含む。
ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードするように構成されてもよく、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御してもよい。更に、トリガシグナリングは、ハンドラに対するハンドラの制御動作に影響を与えるためのシグナリングを含むことができ、シグナリングは、例えば、ハンドラの制御動作を決定するために考慮される。
ハンドラインターフェースは、例えば自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された双方向専用インターフェース、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェースである。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
ハンドラインターフェースは、例えば、トリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」であってもよく、これは例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された通信チャネルなどの一部のラインを含み、例えば別個のシグナリングラインを有さない。
更に、方法は、例えばリアルタイムテスタインターフェースを介して、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラからシグナリングを受信することを含み、方法は、例えば自動試験機器において、例えば試験を実行するとき、又は試験データから最終試験結果を導出するときに、ハンドラから受信したシグナリングを考慮して、例えばハンドラから受信したシグナリングに応答して試験フローを適合させることを含む。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えばハンドラとともに使用するための、かつ／又は自動試験機器とともに使用するための方法を含み、方法は、双方向専用リアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を介して自動試験機器からトリガ、例えばプレトリガシグナリングを受信することを含み、方法は、受信したシグナリングに応答して、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予冷機能をトリガすることを含む。
テスタインターフェース及び／又はハンドラインターフェースは、例えば自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された双方向専用インターフェース、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェースである。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。更に、方法は、例えば自動試験機器による考慮のために、テスタインターフェースを介して自動試験機器にシグナリングを提供することを含む。
第１の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第１の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第１の態様に係る更なる実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに実施形態に係る方法を実行するためのコンピュータプログラムを含む。
第１の態様に係る更なる実施形態は、実施形態に係るハンドラと、実施形態に係る自動試験機器とを含む試験セルを含み、自動試験機器のハンドラインターフェースとハンドラのテスタインターフェースとが結合される。
本発明の第１の態様に係る実施形態は、双方向専用リアルタイムインターフェースを提供するという考えに基づいており、温度制御機能をトリガするために、リアルタイムハンドラインターフェースが、自動試験機器を含む実施形態において（例えば、自動試験機器の側で）使用され、かつ／又はリアルタイムテスタインターフェースが、ハンドラを含む実施形態において（例えば、ハンドラの側で）それぞれ使用される。
本発明の第１の態様に係る実施形態の概念を、自動試験機器との関連で以下に説明する。基本的な考え方は、かかる自動試験機器及び／又はハンドラとともに使用するための対応するハンドラ及び方法についても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して本明細書で論じた特徴、機能、及び詳細のいずれも、所望により、自動試験機器用、ハンドラ用、試験システム用、又は試験セル用のハンドラ、試験システム、試験セル、及び／又は方法において（例えば、同一又は類似の方法で）、個々に、かつ組み合わせて使用することができる。
実施形態によれば、自動試験機器は、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースを含み、当該インターフェースは、温度制御機能をトリガするためにハンドラにトリガシグナリングを提供するように構成される。
インターフェースがリアルタイムインターフェースである場合、温度制御のための情報を伝送することができ、その結果、特定の仕様、例えば温度限界による即時の反応が可能である。すなわち、実行時のデータ交換が可能であり得る。かかるシグナリングのレイテンシは、ある時間制限未満、例えば、１ｍｓ未満であり得る。これにより、情報伝送の高速化による温度制御の高精度化を図ることができる。かかるリアルタイム能力を提供するために、インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置することができる追加のインターフェースであってもよい。本発明者らは、他のインターフェース、例えば、従来のインターフェースよりも高速であり得るかかるインターフェースが、例えば、実行時に、リアルタイム試験適合を可能にすることを認識した。これにより、試験の精度及び効率を高めることができる。被試験デバイスの熱ホットスポット（又は更には熱暴走）をより速く認識することができるため、かかるリアルタイムインターフェースがない場合よりも早期に対策を実行することができる。
更に、インターフェースは、専用のハンドラインターフェースである。例えば、情報の伝送に必要な速度を提供するために、インターフェースは、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合されていてもよい。所望により、インターフェースは、例えば、汎用インターフェースとは対照的に、特定用途向けインターフェースであってもよい。その結果、インターフェースによって使用される通信プロトコルは、例えばリアルタイムシグナリングを提供するように適合させることができる。
本発明の第１の態様によれば、インターフェースは更に双方向インターフェースである。インターフェースの双方向性は、両側通信を可能にし、それにより、可能な試験適合範囲を広げることができる。例えば、テスタは、ハンドラに、例えば試験プログラムによって引き起こされる、被試験デバイスの次の予想される熱ピークを知らせることができる。これに応答して、ハンドラは、デバイスの現在の温度をテスタに通知することができ、ハンドラは、例えば事前の冷却時間を延長することによって、被試験デバイスの熱ホットスポット（又は熱暴走）を防止するために、温度を考慮して試験プログラムを適合させることができる。
かかる本発明のリアルタイム双方向専用インターフェースは、テスタとハンドラとの間の差し迫った、例えば直接的で高速な通信経路を可能にする。加えて、かかるインターフェースは、例えば、被試験デバイスの試験サイクルに有用であり得る他のタイムクリティカルな情報を提供及び／又は受信するために使用され得ることに留意されたい。
本発明者らは、リアルタイム双方向専用インターフェースが、ハンドラのタスクのためのテスタの計算性能の使用を可能にすることを認識した。制御ループ、例えば温度制御ループは、被試験デバイス、ハンドラ、及び自動試験機器を含めて実装することができる。リアルタイムインターフェースは、テスタが、例えば、実行時のハンドラの温度制御情報のための入力情報を用いて、被試験デバイスの温度制御に参加することを可能にし得る。逆に、ハンドラは、テスタが、例えば冷却振幅及び／又は冷却持続時間及び／又は冷却時間を含むかかる温度制御情報を計算することを可能にするために、測定データをリアルタイムで提供することができる。
したがって、双方向専用リアルタイムインターフェースであるインターフェースは、例えば、前述したように、テスタハンドラとデバイスとの間のリアルタイム制御ループを可能にする相乗効果を可能にする。加えて、かかるループは、伝送される情報、例えば、ハンドラによって提供される測定データ、及び自動試験機器によって決定及び提供される適合情報に基づいて、実行時に、試験フローを適合させるために使用されてもよい。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースは、温度制御機能のトリガを超えるハンドラの機能を同期させるために、同期シグナリングをハンドラに提供するように構成される。
同期は、被試験デバイスのある所定の条件で測定をトリガするために実行することができる。待機ステートメントを実装することとは対照的に、リアルタイムインターフェースを介した同期は、より高速及び／又はより正確であり得る。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースは、温度制御機能を制御するために、試験サイト固有のシグナリングをハンドラに提供するように構成される。
例えば、一部のデバイス（例えば、デバイスの試験サイト、又はサイト）は、異なる試験セットアップ（例えば、ＶＤＤ電圧）を有し、これは、例えば、より多くの放熱をもたらし得る。一部の場合では、ハンドラがトリガポイント、例えばプレトリガポイントにおいて、過冷却／過熱が発生しないことを可能にするために、又は例えば保証するために、どのサイトを後で冷却する必要があるかを知らされることが有利であるか、又は必要でさえあり得る。試験サイト固有の情報を用いて、試験ルーチンの柔軟性を高めることができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラから受信されるシグナリングは、試験サイト固有のシグナリングである。異なる試験サイトに複数の被試験デバイスがある場合、例えば、被試験デバイスの特定の温度に関する個々の情報を伝送することができる。したがって、各被試験デバイスを個別に制御することができる。結果として、単一のデバイスの熱ホットスポット（又は更には熱暴走）を検出することができ、当該デバイスは、他のデバイスのための試験ルーチンを中断することなく、シャットダウンすることができる。したがって、本発明に係る自動試験機器又はハンドラは、良好な試験速度及び良好な試験柔軟性を提供することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、双方向性専用リアルタイムハンドラインターフェースは、トリガシグナリングに加えて、追加のシグナリングを提供するように構成され、追加のシグナリングは、例えば実行時に、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、温度制御プロファイル又は温度調節の、例えば自律決定、例えば計算、又は例えば自律修正のための、例えばリアルタイム制御情報を含む。この情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）、及び／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有温度制御データに関する情報を含むことができる。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、自動試験機器によって決定された１又は複数の測定値に関する情報、例えばＰＭＯＮ、ＴＪ、及び／又は１又は複数の試験状態パラメータ、例えばＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、例えば次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。追加のシグナリングを提供することにより、インターフェースの双方向性及びリアルタイム能力の前述の利点と相乗して、複数の機能を使用することが可能になる。データ伝送、したがって試験適合、試験評価、及び試験問題に対する対策は、例えば、一方では反応時間の短縮のために、他方ではサイト固有の適合のために、より高速に、かつより高い精度で実施することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、シグナリング、例えばハンドラからのシグナリングに応答して、例えば試験を中断することによって、かつ／又は電源を停止することによって、かつ／又は異なる試験を選択することによって、かつ／又はクロック周波数、供給電圧などの１又は複数の試験パラメータを修正することによって、試験フローを適合させるように構成される。
反応は、例えば、リアルタイムで行ってもよい。例えば、被試験デバイスの熱ホットスポット（又は更には熱暴走）は、その電力供給を停止することによって停止されてもよい。更に、ハンドラからのシグナリングに従って試験サイクルを適合させることができる。異なる挙動を有する試験刺激に応答するデバイスは、品質の異なるカテゴリに分類されてもよく、例えば、異なる方法で更に試験されてもよい。試験フローの適合により、試験手順の効率及び柔軟性を増加させることができる。したがって、試験コストも低減することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラからのシグナリング、例えばシグナリングに反応して、例えば電源を停止することによって、試験を中断するように構成される。試験の中断は、例えば、特定のデバイス又は複数のデバイスの試験に対して個別に実行されてもよい。試験の中断は、デバイスの損傷を防止することができ、残りのデバイスの試験手順を再開するために、誤動作しているデバイスの迅速な処分を可能にすることができる。このようにして、誤動作にもかかわらず試験時間を短縮することができ、良好な試験の柔軟性を提供することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、例えばハンドラの異常状態又はエラー状態、又は温度制御が信頼できない状態、又はハンドラからの過温度、例えば過剰温度状態又は温度不足、例えば不十分な温度状態、又は「温度暴走」状態、例えば１又は複数の試験サイトの「シャットダウン」を引き起こす状態を示す停止シグナリングを、ハンドラから受信するように構成される。
ハンドラは、被試験デバイスの状態を評価し、その状態を自動試験機器に伝送するように構成することができる。被試験デバイスが誤動作した場合には、自動試験機器に停止シグナリングを提供することができる。被試験デバイスが破壊される前に停止することができるので、他の被試験デバイスの試験を継続することができ、誤動作が発生した場合であっても、より高速に試験を行うことができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラから温度警告シグナリングを受信するように構成され、温度警告シグナリングは、例えば、過温度、例えば、過剰温度状態又は温度不足、例えば、不十分温度状態を示す。これにより、例えば、自動試験機器は、被試験デバイスの状態に応じて試験プロセスを適合させることができる。したがって、本発明に係る実施形態は、デバイス故障に対処する可能性を提供するだけでなく、故障を防止すること、又はデバイス故障を予測することさえも可能であり得る。これにより、試験の高速かつ効率的な適合が可能となる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラから受信されるシグナリングに応答して、試験を中断するように構成される。その結果、デバイスの損傷を防止することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラから試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成される。前述したように、デバイスの試験サイクルは個々に適合させることができる。加えて、デバイスの分類及びソートは、試験サイト固有のシグナリングに従って実行することができる。その結果、柔軟性の高い試験を行うことができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラからの試験サイト固有のシグナリングの受信に応答して、試験サイト固有に試験を中断するように構成される。他の被試験デバイスの試験サイクルを中断することなく継続するために、単一のデバイスが中断されてもよい。これにより、高速の全体的な試験が可能になるため、デバイスのバッチの試験コストを低減することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラからのシグナリングの受信に応答して、例えば、過温度、例えば、被試験デバイス又は被試験デバイスサイト、例えば、試験サイトの過剰温度状態を示す所望による試験サイト固有のシグナリングに応答して、１又は複数の被試験デバイスの電源を停止する、例えば、サイト固有電源を、例えば、試験サイト固有の方法でシャットダウンするように構成される。
特定のデバイスの電力シャットダウンは、１又は少数の被試験デバイスのみが問題（例えば、過温度）を被った場合に、複数のデバイスを含む試験セットアップの失敗を防止する。したがって、デバイスの損傷を回避することができ、誤動作のないデバイスの試験を継続することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラからの、例えば試験サイト固有のシグナリング、例えばシグナリングの受信に応答して、被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように、例えばビニングを適合させるように構成される。例えば、被試験デバイスの過温度又は被試験デバイスの誤動作の場合、デバイスの測定値及び応答がもはや記録されないように、当該デバイスのデータ処理が影響を受ける可能性がある。リアルタイムインターフェースを介して、これはリアルタイムで実行することができ、その結果、誤ったデータは、例えば、被試験デバイスのバッチの全体的な評価の影響を有することなく、直ちに破棄されてもよい。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、例えば試験結果を提供するために、又は被試験デバイスの特性に関する情報を提供するために、又は試験結果の信頼性に関する情報を提供するために、ハンドラから受信したシグナリング、例えばハンドラから受信したシグナリングを記録するように構成される。リアルタイムインターフェースを介して、これは、ハンドラデータ及び試験ルーチンのより良好な同期、例えば、テスタからの試験刺激及びハンドラからの温度データの同期された割り当てを可能にし得る。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、例えば、自動試験機器の反応が、被試験デバイスの内部熱変化、又は制御ループ、例えば温度制御機能の制御ループの時定数よりも速くなるように、リアルタイムで反応するように構成される。かかる迅速な反応により、過熱した被試験デバイスの破壊を回避することができる。加えて、試験パラメータは、最初に被試験デバイスが過熱することを防止するために適合されてもよい。
以下では、本発明の第１の態様に係る更なる実施形態を更に詳細に説明する。しかしながら、自動試験機器に関連して説明した利点及び例は、対応するハンドラについても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して前述した特徴、機能、及び詳細のいずれも、対応するハンドラに使用することができ、又は対応するハンドラに組み込むことができ、又は対応するハンドラに適合させることができる。一例として、シグナリングを提供するように構成された自動試験機器は、当該シグナリングを受信するように構成された対応するハンドラによって置き換えられてもよく、又はその逆であってもよい。別の例として、自動試験機器によってタスクを実行するためにハンドラにシグナリングを提供することは、シグナリングを受信し、対応するハンドラのために当該タスクを実行するように構成されることによって置き換えられてもよい。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、双方向専用リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器から同期シグナリングを受信するように構成され、ハンドラは、受信した同期シグナリングに応答して温度制御機能のトリガを超える機能、例えばプレトリガを自動試験機器と同期させるように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、双方向専用リアルタイムテスタインターフェースを介して、自動試験機器から試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成され、ハンドラは、受信した試験サイト固有のシグナリングに応答して、温度制御機能を制御するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、テスタインターフェースを介した自動試験機器へのシグナリングは、試験サイト固有のシグナリングである。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェースを介してトリガシグナリングを受信し、トリガシグナリングに加えて、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の、例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための、例えばリアルタイム制御情報を含む追加のシグナリングを受信するように構成される。情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）、及び／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含んでもよい。
代替として、又は追加として、シグナリングは、自動試験機器によって決定された１又は複数の測定値に関する情報、例えばＰＭＯＮ、ＴＪ、及び／又は１又は複数の試験状態パラメータ、例えばＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、例えば次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。代替として、又は追加として、シグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。
更に、ハンドラは、１又は複数の被試験デバイスサイトの温度を制御するために、例えば、温度制御プロファイル又は温度調節を決定又は修正するために、追加のシグナリングを使用するように構成される。
追加のシグナリングを使用するハンドラでは、正確な温度制御が可能であり得る。情報は、リアルタイムインターフェースを介してリアルタイムで伝送され、高速温度調節のための最近のデータを提供することができる。更に、温度調節器は、シグナリングによって伝送された複数のパラメータを考慮することができる。温度ホットスポットなどの次のイベントの情報を用いて、予測温度制御を実装するこができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、試験フローの適合のために、例えば、試験を中断するために、かつ／又は電源を停止するために、かつ／又は異なる試験を選択するために、かつ／又はクロック周波数、供給電圧などの１又は複数の試験パラメータを修正するために、テスタインターフェースを介して自動試験機器にシグナリングを提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば、１又は複数の試験サイトの「シャットダウン」を生じさせるように、停止シグナリングをテスタインターフェースを介して自動試験機器に提供するように構成される。したがって、ハンドラは、過温度の場合にデバイスの損傷を回避することができる。双方向リアルタイムインターフェースのために、ハンドラからの即時フィードバックが可能であり得、デバイスからハンドラへ、そして自動試験機器への制御ループを可能にする。これにより、正確で迅速かつ安全な温度制御が可能になる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば温度制御が信頼できない状態、又は過温度状態、又は温度不足状態、又は「温度暴走」状態、又はハンドラの異常状態又はエラー状態などの、例えば熱的な、例えば試験サイト固有の誤動作を検出するように構成される。加えて、ハンドラは、誤動作の検出に応答して、例えば自動試験機器の被試験デバイスに供給するデバイス電源を停止するために、自動試験機器にシグナリング、例えば停止シグナリング又は誤動作シグナリングを提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば、過温度、例えば、過剰温度状態又は温度不足、例えば、不十分温度状態を示すために、テスタインターフェースを介して、温度警告シグナリングを自動試験機器に提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば、試験を中断するために、又は特定の被試験デバイス若しくは被試験デバイスサイトのための試験を中断するために、中断シグナリングをテスタインターフェースを介して自動試験機器に提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば、試験を中断するために、又は特定の被試験デバイス若しくは被試験デバイスサイトのための試験を中断するために、試験サイト固有の中断シグナリングをテスタインターフェースを介して自動試験機器に提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、１又は複数の被試験デバイスの電源を停止するために、例えば、試験サイト固有の電源を、例えば試験サイト固有の方法でシャットダウンするために、テスタインターフェースを介して自動試験機器に停止シグナリングを提供するように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェースを介した自動試験機器へのシグナリングを使用して、被試験デバイスのデータ処理、例えばビニング及びデータロギングに影響を与えるように構成される。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、自動試験機器によるロギングのために、テスタインターフェースを介して自動試験機器にシグナリングを提供するように構成される。ハンドラは、被試験デバイスの特別なイベント又は挙動を検出することができる。リアルタイムインターフェースを介して、信号は、更なる分析のために、例えば、かかるデバイスの試験データを記録するように、自動試験機器に提供されてもよい。したがって、柔軟で適合性のある試験を提供することができる。
本発明の第１の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、提供された信号に応答して自動試験機器のリアルタイム反応を可能にするために、例えば輻輳がなく、かつ／又はブロッキングのないテスタインターフェースを介して、例えば１ｍｓ未満又は更には１マイクロ秒未満のレイテンシなどの短いレイテンシで、テスタインターフェースを介してリアルタイムで自動試験機器にシグナリングを提供するように構成される。
第２の態様に係る発明の概要
本発明の第２の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
本発明の第２の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
加えて、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上のチップをロード及びアンロードすることができ、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御することができるトリガ（例えば、プレトリガ）シグナリングをハンドラに提供するように構成され、これにより、例えば、能動的温度制御機能、例えば調節機能（例えば、デバイスの予想される温度変化又はデバイスの予想される電力損失の変化に先行する温度制御機能（例えば、能動的温度制御の予冷又は予熱機能））をトリガ（例えば、プレトリガ）することができる。
更に、リアルタイムハンドラインターフェースは、温度制御機能のトリガを超えるハンドラの機能、例えばプレトリガを同期させるために、ハンドラに同期シグナリングを提供するように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含む。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
加えて、ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードすることができ、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御することができ、テスタインターフェースを介して自動試験機器からトリガシグナリングを受信するように構成され、ハンドラは、受信したトリガシグナリングに応答して温度制御機能、例えば、調節機能をトリガ（例えば、プレトリガ）するように構成される。
更に、ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器から同期シグナリングを受信するように構成され、ハンドラは、受信した同期シグナリングに応答して温度制御機能のトリガを超える機能、例えばプレトリガを自動試験機器と同期させるように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、例えば被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上のチップをロード及びアンロードすることができ、例えば１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば物理的、非電気的）パラメータを制御することができるハンドラにシグナリングするトリガ、例えばプレトリガを提供して、リアルタイムハンドラインターフェースを介して、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えばデバイスの予想される温度変化又はデバイスの予想される電力損失変化に先行する温度制御機能、例えば能動的温度制御の予冷又は予熱機能をトリガ、例えばプレトリガすることを含む。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、ハンドラインターフェースは、例えば、トリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」であってもよく、例えば、試験ヘッド上に配置されてもよく、例えば通信タスクに適合された通信チャネルなどの一部のラインを含み、例えば別個の（例えば個々の、専用の）シグナリングラインを有さない。換言すれば、例えば、トリガと通信との両方に使用される１つの通信チャネルが存在する。代替的に、複数の通信チャネルが存在してもよく、トリガは、（トリガ機能に加えて）通信にも使用される通信チャネルのうちの１つを介して実行される。更に、方法は、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラに同期シグナリングを提供することを含み、方法は、温度制御機能のトリガを超えるハンドラの機能、例えばプレトリガを同期させることを含む。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えばハンドラとともに使用するための、かつ／又は自動試験機器とともに使用するための方法を含み、方法は、リアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を介して自動試験機器からトリガシグナリングを受信することを含み、方法は、受信したトリガシグナリングに応答して温度制御機能、例えば調節機能をトリガする、例えばプレトリガすることを含む。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、方法は、テスタインターフェースを介して自動試験機器から同期シグナリングを受信することを含み、方法は、受信した同期シグナリングに応答して温度制御機能のトリガを超える機能、例えばプレトリガを自動試験機器と同期させることを含む。
第２の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第２の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第２の態様に係る更なる実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに実施形態に係る方法を実行するためのコンピュータプログラムを含む。
第２の態様に係る更なる実施形態は、実施形態によるハンドラと、実施形態に係る自動試験機器とを含む試験セルを含み、自動試験機器のハンドラインターフェースとハンドラのテスタインターフェースとが結合される。
本発明の第２の態様に係る実施形態は、自動試験機器とハンドラとの同期を実行するという考えに基づいており、リアルタイムハンドラインターフェースは、自動試験機器を含む実施形態において（例えば、自動試験機器の側で）使用され、かつ／又はリアルタイムテスタインターフェースは、ハンドラを含む実施形態において（例えば、ハンドラの側で）それぞれ使用される。
本発明の第２の態様に係る実施形態の概念を、自動試験機器との関連で以下に説明する。基本的な考え方は、かかる自動試験機器及び／又はハンドラとともに使用するための対応するハンドラ及び方法についても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して本明細書で論じた特徴、機能、及び詳細のいずれも、所望により、自動試験機器用、ハンドラ用、試験システム用、又は試験セル用のハンドラ、試験システム、試験セル、及び／又は方法において（例えば、同一又は類似の方法で）、個々に、かつ組み合わせて使用することができる。
実施形態によれば、自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェースを含み、当該インターフェースは、温度制御機能をトリガするためにハンドラにトリガシグナリングを提供するように構成される。しかしながら、加えて、リアルタイムハンドラインターフェースは、温度制御機能のトリガを超えるハンドラの機能を同期させるために、ハンドラに同期シグナリングを提供するように構成される。リアルタイムインターフェースを使用して、テスタとハンドラは複数の情報を交換することができる。情報は、被試験デバイスに関する温度情報、デバイスのステータス若しくは状態、又はデバイスの試験に関連し得る任意の他の情報を含み得る。被試験デバイスの試験は、自動試験機器、例えばテスタとハンドラとの相互作用であり得る。テスタは、被試験デバイスに刺激を与えることができ、ハンドラは、デバイスを監視する（例えば、デバイスの温度、又はデバイスの他の任意の環境条件を監視する）ことができる。同期シグナリングは、テスタとハンドラとの間の同期を可能にする。これは、テスタデータをハンドラデータに割り当てるために有益であり、場合によっては必要でさえあり得る。原因及び結果、又は刺激及び測定の正確な情報、例えば正確なタイミング情報がなければ、試験結果又は評価の精度が低下する可能性がある。リアルタイムインターフェースは、テスタとハンドラとの間の高速同期を可能にする。待機ステートメントは不要であり得、テスタとハンドラとの間の非常に正確な同期を提供する。したがって、被試験デバイスの改善された試験を実行することが可能であり得る。
更に、テスタとハンドラとの間の同期は、これら２つのより良好な協働を可能にする。被試験デバイスに対するテスタの刺激は、ハンドラの最近の情報に関して適合されてもよい。テスタとハンドラとが同期していない場合には、ハンドラによって検出される被試験デバイスの過温度などのイベントに対して適切な時間内に反応することが困難な場合がある。リアルタイムインターフェースを用いると、一例として、テスタとハンドラとの同期のための待機ステートメントを考慮する必要がないので、デバイスの損傷を回避することが可能であり得る。
適合とは別に、同期されたテスタ及びハンドラを用いて、簡単な測定も有益に実施することができる。ハンドラは、例えば、特定の条件下で、例えば刺激後の特定の時間の後に、被試験デバイスを測定するように命令されてもよい。かかる測定は、テスタとハンドラとが同期しているときに容易に実行することができる。
本発明の第２の態様に係る実施形態は、被試験デバイスの非常に柔軟で適合性のある試験を可能にする。本発明者らは、実ハンドラ時間インターフェースが、例えば温度制御機能の単なるトリガを超える追加の機能を提供するシグナリングとして、前述の同期シグナリングを提供することを可能にすることを認識した。したがって、追加のコマンド、又は命令、又は指示、例えば同期測定のための命令が、自動試験機器によってハンドラに提供されてもよい。例えば、試験の開始又は試験シーケンスの開始を同期させるために、較正命令をハンドラに伝送してもよい。情報のリアルタイムの、例えば即時の伝送は、テスタと組み合わせて、ハンドラの較正及び拡張された測定ルーチンを可能にすることができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、ハンドラへの同期シグナリングに基づいて、ハンドラとのアクティブな同期を可能にするように構成され、アクティブな同期は、待機時間挿入なしの同期である。
リアルタイムインターフェースは、例えば待機時間挿入の形で、遅延のない同期を可能にすることができる。自動試験機器は、いつ測定すべきかをハンドラに正確に知らせることができる。加えて、リアルタイムインターフェースの使用により、測定を刺激し、又はデバイスの状態と正確に同期させることが可能であり得、デバイスの状態及び測定の正確な時間に関する不確実性につながり得る、従来の待機時間挿入に優る利点を提供する。更に、アクティブな同期は、試験時間の大幅な短縮をもたらすことができる。
また、例えば、双方向インターフェースの場合、刺激－反応方式でアクティブな同期を行うことができる。自動試験機器は、ハンドラに刺激を送ることができ、ハンドラは、デバイス特性、例えば温度の測定値で応答することができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、ハンドラの較正、例えば自己較正のタイミングを決定するために、例えば同期シグナリングとして較正タイミング情報をハンドラに伝送するように構成され、較正は、例えば試験フローと同期して、例えば試験フローの所定の段階で実行される。
これにより、測定のための正確な較正及びタイミング情報のために、試験刺激と測定データ、例えばハンドラの測定データとの間の改善された割り当てが可能となり、これは、はるかに良好な（より短い）試験時間に寄与することができる。例えば、タイミング同期を使用することによって、不必要な待機時間を回避することができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えば同期シグナリングとして、被試験デバイスが所定の方法で、例えばハンドラ又は調節ループの較正（又は自己較正）に適した方法で電力供給又はバイアス又は初期化されることを示すシグナリングを伝送するように構成される。これにより、例えば、自動試験機器が、基準信号（例えば、基準温度）を提供するように被試験デバイスを操作し得る被試験デバイスのためのシグナリング（例えば、電源条件）を調整した後に、ハンドラの即時較正を可能にするこができる。基準信号を用いて、更なるハンドラ測定値を較正することができる。リアルタイムインターフェースは、ハンドラの即時の、例えば高速の、例えば迅速な、例えばリアルタイムの反応を可能にすることができ、その結果、較正は、ほとんど遅延なしに、かつ被試験デバイスが較正に有益な所定の状態にある時点で実行することができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、異なるデバイス又は試験条件に到達すると、例えば、被試験デバイスの異なる電力供給状態又は加熱状態又はバイアス状態又は初期化状態に到達すると、シグナリングを伝送するように構成される。かかる状態は、例えば、ハンドラによる２つ以上の異なる較正測定に適している場合がある。更に、状態は、例えば、異なる現在の被試験デバイス温度、例えば、ハンドラの較正に適した異なる被試験デバイス温度をもたらすことが予想され得る。
自動試験機器及びハンドラの同期は、当該シグナリングを伝送することによって有益に使用することができる。正確な測定のために、測定の時間及び測定条件の十分な知識を有することが有益であり得る。リアルタイムインターフェースを用いると、かかる情報は、例えばハンドラに到着したときに古いものとして伝送することができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラによる１又は複数の温度読み取り、例えば、被試験デバイスのバイアス後かつ能動デバイス試験の開始前（例えば、デバイスがバイアスされるが、１又は複数の試験パターンでまだ刺激されていない試験前段階）の第１の温度読み取り、及び試験の開始後の第２の温度読み取りをトリガするための同期シグナリングを提供するように構成される。
同期シグナリングは、較正シグナリングとして使用することができ。被試験デバイスは、ＡＴＥからハンドラへのハンドラインターフェースを介した同期信号に続いて、自動試験機器によって較正状態に設定することができる。ハンドラは、所定の較正状態における較正のための第１の温度読み取り又は測定を実行し、その後、他の測定を実行することができる。リアルタイムインターフェースを介して、ハンドラ測定は、ＡＴＥによって所定の信号（例えば、ある量の電力）がデバイスに提供されている状態で、正しい時点で実行することができる。これにより、正確で高速な測定が可能になり得る。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、ハンドラへの同期シグナリングに基づいて、熱ダイオード較正を可能にするように構成される。加えて、熱ダイオード較正は、デルタ温度測定を含み、リアルタイムハンドラインターフェースは、熱ダイオード較正のために、リアルタイム測定タイミング情報をハンドラに伝送するように構成される。
熱ダイオードの温度特性は、プロセスに大きく依存し得る。これは、例えば、デルタ温度測定による試験で排除することができる。正確な点、例えば、被試験デバイスの時点及び／又は点における温度を測定するために、ハンドラとＡＴＥとの間の高速かつ正確な同期を有益に使用することができる。例えば、この較正工程中に温度測定に影響を与え得る、例えば、漏れ電流又はデバイスターンオン漏れ電流又は加熱効果を補償するために、例えば、非電力供給モード及び電力供給モードなどの異なるデバイス又は試験条件で測定を行うことができる。その結果、正確で高速な熱ダイオード較正を行うことができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、同期シグナリングは、ハンドラの測定のための、例えば試験サイト固有の時間情報を含む。
試験サイト固有の時間情報を用いて、前述したように、複数の被試験デバイスに対して正確かつ高速な測定を実行することができる。同期は、各被試験デバイスに対して個別に実行され、デバイス刺激及び測定データの正確な割り当てを提供することができる。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、同期シグナリングは、例えば、ハンドラに試験フローについて知らせるために、かつ／又はハンドラの測定をスケジュールするために、かつ／又は予測温度制御、例えば、「Ｐ１」又は「Ｐ２」をトリガするために、例えば、試験サイト固有の試験状態情報又はデバイス状態情報を含む。
試験サイト固有の試験状態情報を用いて、ハンドラは、例えば、大量の電力を受け取るために過熱する可能性があるデバイスに焦点を合わせるために、温度測定スケジュールを適合させることができる。これにより、より高速な試験、及び被試験デバイスのより良好な保護が可能になり得る。
以下では、本発明の第２の態様に係る更なる実施形態を更に詳細に説明する。しかしながら、自動試験機器に関連して説明した利点及び例は、対応するハンドラについても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して前述した特徴、機能、及び詳細のいずれも、対応するハンドラに使用することができ、又は対応するハンドラに組み込むことができ、又は対応するハンドラに適合させることができる。一例として、シグナリングを提供するように構成された自動試験機器は、当該シグナリングを受信するように構成された対応するハンドラによって置き換えられてもよく、又はその逆であってもよい。別の例として、自動試験機器によってタスクを実行するためにハンドラにシグナリングを提供することは、シグナリングを受信し、対応するハンドラのために当該タスクを実行するように構成されることによって置き換えられてもよい。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、テスタインターフェースを介して、自動試験機器とのアクティブな同期のためのシグナリングを自動試験機器から受信するように構成される。加えて、ハンドラは、同期シグナリングに基づいて自動試験機器とのアクティブな同期を実行するように構成され、アクティブな同期は、待機時間挿入なしの同期である。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器から、例えば同期シグナリングとして、較正タイミング情報を受信して、例えば試験フローと同期して、例えば試験フローの所定の段階で実行することができる較正タイミング、例えば自己較正を決定するように構成される。また、ハンドラは、較正タイミング情報に基づいて較正タイミングを決定するように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば同期シグナリングとして、被試験デバイスが所定の方法で、例えばハンドラの較正（又は自己較正）に適した方法で調整又は電力供給又はバイアス又は初期化されることを示すシグナリングを、テスタインターフェースを介して自動試験機器から受信するように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、異なるデバイス又は試験条件に到達すると、例えば、被試験デバイスの異なる給電状態又は加熱状態又はバイアス状態又は初期化状態に到達すると、テスタインターフェースを介して、自動試験機器からシグナリングを受信するように構成される［かかる状態は、例えば、ハンドラによる２つ以上の異なる較正測定に好適であり得る］。更に、かかる状態は、例えば、異なる現在の被試験デバイス温度、例えば、ハンドラの較正に適した異なる被試験デバイス温度をもたらすことが予想され得る。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、１又は複数の温度読み取りをトリガするために、テスタインターフェースを介して、自動試験機器からシグナリングを受信するように構成される。更に、ハンドラは、同期シグナリングに基づいて、例えば温度測定の較正のために、１又は複数の温度測定、例えば、被試験デバイスのバイアス後かつ能動デバイス試験の開始前（例えば、デバイスがバイアスされるが、１又は複数の試験パターンでまだ刺激されていないドットである試験前段階）の第１の温度読み取り、及び試験の開始後の第２の温度読み取りを実行するように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器から受信される同期シグナリングに基づいて、熱ダイオード較正を行うように構成される。更に、熱ダイオード較正はデルタ温度測定を含み、ハンドラは、例えば同期シグナリングによって決定されたタイミングを使用して、デルタ温度測定を実行するように構成される。更に、ハンドラは、熱ダイオード較正のためにリアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器からリアルタイム測定タイミング情報を受信するように構成される。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、同期シグナリングは、ハンドラの測定のための、例えば試験サイト固有の時間情報を含む。
本発明の第２の態様に係る更なる実施形態によれば、同期シグナリングは、例えば、ハンドラに試験フローについて知らせるために、かつ／又はハンドラの測定をスケジュールするために、かつ／又は予測温度制御、例えば、「Ｐ１」又は「Ｐ２」をトリガするために、例えば、試験サイト固有の試験状態情報又はデバイス状態情報を含む。
第３の態様に係る発明の概要
本発明の第３の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
本発明の第３の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよい。ハンドラインターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えば能動的な、温度制御機能、例えば調節機能（例えばデバイスの予想される温度変化又はデバイスの予想される電力損失変化に先行する温度制御機能（例えば能動的温度制御の予冷又は予熱機能））を制御（例えばトリガ又はプレトリガ）するために、試験サイト固有のシグナリング（例えば複数の異なる試験サイトに対するトリガ又はプレトリガ）をハンドラに提供するように構成される。
ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードするように構成されてもよく、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御するように構成されてもよく、又は、例えば、共有信号線又は共有光リンクのような共有信号を介して、サイトＩＤを含んでもよい。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含む。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
更に、ハンドラは、テスタインターフェースを介して自動試験機器から試験サイト固有のシグナリング、例えばトリガ又はプレトリガを受信するように構成され、ハンドラは、受信した試験サイト固有のシグナリングに応答して、例えば能動的温度制御、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予冷機能を制御するように構成される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、制御するために、例えばそれによって制御するために、例えば能動的な、温度制御、例えば調節機能、例えばデバイスの予想される温度変化又はデバイスの予想される電力損失変化に先行する温度制御機能、例えば能動的温度制御の予冷又は予熱機能をトリガ又はプレトリガするために、リアルタイムのハンドラインターフェースを介してハンドラに、例えば複数の異なる試験サイトのための試験サイト固有のシグナリング、例えばトリガ又はプレトリガを提供することを含む。
ハンドラは、例えば、被試験デバイスボード又は被試験デバイスインターフェース上にチップをロード及びアンロードするように構成されてもよく、例えば、１又は複数の被試験デバイスが試験される温度のような１又は複数の（例えば、物理的、非電気的）パラメータを制御するように構成されてもよく、又は、例えば、共有信号線又は共有光リンクのような共有信号を介して、サイトＩＤを含んでもよい。
ハンドラインターフェースは、例えば、トリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」であってもよく、これは例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された通信チャネルなどの一部のラインを含み、例えば別個のシグナリングラインを有さない。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えばハンドラとともに使用するための、かつ／又は自動試験機器とともに使用するための方法を含み、方法は、リアルタイムのテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を介して、自動試験機器から試験サイト固有のシグナリング、例えばトリガ又はプレトリガを受信することを含む。更に、方法は、受信した試験サイト固有のシグナリングに応答して、例えば能動的温度制御機能、例えば調節機能、例えば能動的温度制御の予備冷却機能を制御することを含む。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
第３の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第３の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義されるハンドラと、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第３の態様に係る更なる実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに実施形態に係る方法を実行するためのコンピュータプログラムを含む。
第３の態様に係る更なる実施形態は、実施形態によるハンドラと、実施形態に係る自動試験機器とを含む試験セルを含み、自動試験機器のハンドラインターフェースとハンドラのテスタインターフェースとが結合される。
本発明の第３の態様に係る実施形態の概念を、自動試験機器との関連で以下に説明する。基本的な考え方は、かかる自動試験機器及び／又はハンドラとともに使用するための対応するハンドラ及び方法についても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して本明細書で論じた特徴、機能、及び詳細のいずれも、所望により、自動試験機器用、ハンドラ用、試験システム用、又は試験セル用のハンドラ、試験システム、試験セル、及び／又は方法において（例えば、同一又は類似の方法で）、個々に、かつ組み合わせて使用することができる。
本発明の第３の態様に係る実施形態は、リアルタイムハンドラインターフェースを介して、自動試験機器からハンドラに試験サイト固有のシグナリングを提供するという考えに基づいている。
リアルタイムハンドラインターフェースは、自動試験機器が、例えば、ハンドラが提供されたデータに基づいて反応を実行することが可能であり得るように、十分に短いものであり得るタイムスパン内でハンドラのための関連データを提供することを可能にする。加えて、この情報は、試験サイト固有であってもよい。自動試験機器とハンドラとの間のリアルタイムの相互作用を可能にすることとは別に、ハンドラには、複数の被試験デバイスに関する個別の情報が提供されてもよい。
その結果、試験ルーチンは、特定の被試験デバイスに対してリアルタイムで適合させることができる。ハンドラは、例えば、温度測定をスケジュールし、実行するために、特定の被試験デバイスの次のイベント、例えば、供給電力の増加について通知されてもよい。加えて、温度制御は、例えば、次の温度上昇に関する情報に基づいてハンドラによって実行されてもよい。一例として、予測冷却は、トリガシグナリング、例えばプレトリガシグナリングを介してトリガされてもよい。更に、試験サイト固有情報は、特定の被試験デバイスの冷却を準備するために、又は特定の被試験デバイスをシャットダウンするために、あるいは損傷を防止し、例えば残りの被試験デバイスの試験を継続できるようにするために使用されてもよい。
本発明者らは、リアルタイムインターフェースの使用が、試験の柔軟性の向上を可能にし得ることを認識した。情報は古くなる前に伝送及び受信され得るので、試験は、複数の被試験デバイスの各被試験デバイスに対して正確に適合させることができる。
加えて、本発明者らは、複数の被試験デバイスのうちのデバイスが、刺激に応答して異なって挙動又は反応し得ることを認識した。デバイスは、製造上のばらつきの影響を受けることがあり、その結果、複数の同様の又は等しい、例えば、その仕様に関して等しい被試験デバイスであっても、同一の入力信号が提供された場合であっても異なる出力信号を提供することがある。更に、一部のデバイスは、非決定性であり得る。システムは、例えばシステムオンチップ（ＳｏＣ）の形態の被試験デバイスのように、試験時間又は放熱を予測することが困難又は不可能なほど、高度に複雑である場合がある。
したがって、本発明に係る実施形態は、例えば、不均一な被試験デバイス挙動に対処するために、試験の試験サイト固有の適合を可能にする。試験、又は例えば冷却及び加熱は、例えば各被試験デバイスの個々の特性に関して適合させることができる。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、以下の情報、すなわち試験サイト固有のアラーム、試験サイト固有のトリガ、例えば、プレトリガ、識別情報、例えば、ＩＤ、試験サイト固有の温度調整、例えば、冷却情報、試験サイト固有の設定情報、例えば、ＶＤＤ電圧情報、試験サイト固有の、例えば、予想される放熱情報、試験サイト固有のタイミング情報、例えば、温度制御タイミング情報のうちの１又は複数のものを伴う、当該試験サイト固有のシグナリングを提供するように構成される。
シグナリングは、被試験デバイスの試験を最適化するために使用され得る複数のパラメータを伝送するために使用することができる。その結果、個々の被試験デバイスの熱管理を改善することができる。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と、調節情報、例えばタイミング情報、制御振幅情報、制御持続時間情報との組み合わせを含む。加えて、試験サイト識別情報は、例えばハンドラにおいて、調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成される。
特定の試験サイト、したがって例えば特定の被試験デバイスは、例えば、特定の調節情報セットに関連付けられるか、リンクされるか、又は関係付けられてもよい。この情報のセットは、例えば、ハンドラに記憶され、定期的に、又は必要なときはいつでも、例えば、被試験デバイス又は試験サイトの調節情報が自動試験機器によって更新されるときに、更新されてもよい。調節情報及び試験サイト識別情報に基づいて、ハンドラは、１又は複数の被試験デバイスの相互作用、例えば温度管理をスケジューリング及び／又は最適化することができる。したがって、例えば、試験を各被試験デバイスに適合させることができるので、試験をより高い効率で実行することができる。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、かつ／又は試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング上に変調される。試験サイトＩＤの使用は、特定の試験サイド又は被試験デバイスをそれぞれ識別するための実装が容易な方法を提供し得る。試験側ＩＤの変調は、自動試験機器とハンドラとの間の良好なデータ伝送効率を提供することができ、高速データ伝送を可能にすることができる。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、調節情報は、タイミング情報、例えば、冷却又は加熱するとき、又は遅延、及び／又は制御振幅情報、例えば、冷却振幅、及び／又は制御持続時間情報、例えば、冷却持続時間を含む。タイミング情報へのアクセスは、ハンドラが自動試験機器又は例えば試験サイクルと同期することを可能にし得る。これにより、適切な冷却又は加熱を行うことができる。更に、測定のための特定の時点を伝送して、例えば、被試験デバイスの調節のための温度情報を提供することができる。これにより、試験効率を改善することができ、被試験デバイスの温度誤動作を防止することを可能にすることができる。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、複数の試験サイトに対する単一の、例えば共通のトリガ、例えばプレトリガのシグナリングと、例えば単一の共通のトリガシグナリングによって定義されるトリガイベントと、異なる試験サイトに対して実行される熱的前処理動作の開始との間の遅延を記述する異なるサイト固有の遅延情報とを提供するように構成される。
データ伝送効率は、ベース信号及び試験サイト依存適合信号、又はベース情報及び試験サイト依存情報を伝送することによって改善され得る。共通トリガ、例えば、試験又は試験シーケンスの開始に関する情報が伝送されてもよく、例えば、複数の被試験デバイスに供給電圧が提供される。例えば、電力ピークのタイミング情報、又はデバイスの刺激に関するより詳細な情報が、サイト固有の遅延情報を介してハンドラに提供されてもよく、例えば、ハンドラには、温度を測定する際、又は特定の被試験デバイスを冷却若しくは加熱する際の情報が提供される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、対応する状態が異なる試験フローにおいて異なる時間に到達されるように、異なるサイトの試験フローを実行するように構成され、自動試験機器は、それぞれの試験フローの所定の状態に達することに応答して、サイト固有のシグナリングを提供するように構成される。これにより、各被試験デバイスの高度に個別の試験が可能となり得る。更に、ハンドラにサイト固有のシグナリングを提供することによって、正確な試験結果を達成することができる。その結果、ハンドラは、それぞれの所定の状態に従って、被試験デバイスの操作、例えば、加熱若しくは冷却、又は測定をスケジュールすることができる。
以下では、本発明の第３の態様に係る更なる実施形態を更に詳細に説明する。しかしながら、自動試験機器に関連して説明した利点及び例は、対応するハンドラについても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して前述した特徴、機能、及び詳細のいずれも、対応するハンドラに使用することができ、又は対応するハンドラに組み込むことができ、又は対応するハンドラに適合させることができる。一例として、シグナリングを提供するように構成された自動試験機器は、当該シグナリングを受信するように構成された対応するハンドラによって置き換えられてもよく、又はその逆であってもよい。別の例として、自動試験機器によってタスクを実行するためにハンドラにシグナリングを提供することは、シグナリングを受信し、対応するハンドラのために当該タスクを実行するように構成されることによって置き換えられてもよい。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムテスタインターフェースは、以下の情報、すなわち
試験サイト固有のアラーム、試験サイト固有のトリガ、例えば、プレトリガ、識別情報、例えば、ＩＤ、試験サイト固有の温度調整、例えば、冷却情報、試験サイト固有の設定情報、例えば、ＶＤＤ電圧情報、試験サイト固有の、例えば、予想される放熱情報、試験サイト固有のタイミング情報、例えば、温度制御タイミング情報のうちの１又は複数のものとともに、テスタインターフェースを介して、自動試験機器から当該試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成される。
試験サイト固有のアラーム、試験サイト固有のトリガ、例えば、プレトリガ、識別情報、例えば、ＩＤ、試験サイト固有の温度調整、例えば、冷却情報、試験サイト固有の設定情報、例えば、ＶＤＤ電圧情報、試験サイト固有の、例えば、予想される放熱情報、試験サイト固有のタイミング情報、例えば、温度制御タイミング情報のうちの１又は複数のものとともに、テスタインターフェースを介して、自動試験機器から当該試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と、調節情報、例えばタイミング情報、制御振幅情報、制御持続時間情報との組み合わせを含み、試験サイト識別情報は、例えばハンドラ内で、調節情報の試験サイト固有関連付けを可能にするように構成される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング上に変調される。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、調節情報は、タイミング情報、例えば、冷却又は加熱するとき、又は遅延、及び／又は制御振幅情報、例えば、冷却振幅、及び／又は制御持続時間情報、例えば、冷却持続時間を含む。
本発明の第３の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、複数の試験サイトに対する単一の、例えば共通のトリガ、例えばプレトリガのシグナリングと、例えば単一の共通のトリガシグナリングによって定義されるトリガイベントと、異なる試験サイトに対して実行される熱的前処理動作の開始との間の遅延を記述する異なるサイト固有の遅延情報とを、自動試験機器からテスタインターフェースを介して受信するように構成される。
第４の態様に係る発明の概要
本発明の第４の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェース、例えば、トリガ機能を有するインターフェース、「固定エンドポイントインターフェース」を含む。
本発明の第４の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェース、例えば、トリガ機能を有するインターフェース、「固定エンドポイントインターフェース」を含む。
更に、リアルタイムテスタインターフェースは、例えば温度制御機能を制御するために、又は試験フロー、例えば試験サイト固有のシャットダウンに影響を与えるか、又は適合させるために、自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供するように構成される。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又は特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、該自動試験機器は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を含み、該インターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数の回線、例えば通信チャネルを含み、例えば別個のシグナリングラインを含まない。
更に、自動試験機器は、ハンドラインターフェースを介してハンドラから試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成される。更に、自動試験機器は、例えば、試験サイト固有の受信したシグナリングに応答して、温度制御機能、例えばサイト固有のシャットダウンを制御するように、又は試験サイト固有のシグナリングを考慮するように、又は試験サイト固有のシグナリングを記録するように、又は試験サイト固有のシグナリングに応答して試験フローを適合させるように構成されてもよい。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、及び／又はアプリケーション固有のインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えばハンドラとともに使用するための、かつ／又は自動試験機器とともに使用するための方法を含み、方法は、例えば、温度制御機能を制御するために、試験フローに影響を与える若しくは適合させるために、例えば試験サイト特有のシャットダウンのために、リアルタイムテスタインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を介して、自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供することを含む。
テスタインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合される、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、テスタインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、リアルタイムハンドラインターフェース、例えばトリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」を介してハンドラから試験サイト固有のシグナリングを受信することを含み、このインターフェースは、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば別個のシグナリングラインを含まず、例えば通信タスクに適合された一部のライン、例えば通信チャネルを含む。所望により、自動試験機器は、例えば、試験サイト固有の受信したシグナリングに応答して、温度制御機能、例えばサイト固有のシャットダウンを制御するように、又は試験サイト固有のシグナリングを考慮するように、又は試験サイト固有のシグナリングを記録するように、又は試験サイト固有のシグナリングに応答して試験フローを適合させるように構成されてもよい。
ハンドラインターフェースは、例えば、自動試験機器とハンドラとの間の通信に特に適合された、例えば、所望により双方向の専用インターフェースであってもよく、ハンドラインターフェースは、例えば、通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよい。
更に、ハンドラインターフェースは、リアルタイムインターフェース、例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向けインターフェースである。更に、インターフェースは、バスに加えて実装されてもよく、例えば、バスより高速であってもよい。インターフェースは、例えば、低レイテンシ、例えばリアルタイム対応及び／又は高速インターフェースであってもよい。インターフェースは、例えば、試験ヘッドとハンドラとの間に直接配置されてもよい。リアルタイムインターフェースとして、インターフェースは、例えば、存在する追加の通信インターフェースよりも高速であってもよい。例えば、実行時のデータ交換が可能であり、例えば、データ交換が（例えば、実行時に）リアルタイム試験適合を可能にし、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満である。インターフェースは、例えば、特定用途向けインターフェースであってもよく、例えば、通信プロトコルは、リアルタイムシグナリングに適合される。
第４の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第４の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義されるハンドラと、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第４の態様に係る更なる実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに実施形態に係る方法を実行するためのコンピュータプログラムを含む。
第４の態様に係る更なる実施形態は、実施形態によるハンドラと、実施形態に係る自動試験機器とを含む試験セルを含み、自動試験機器のハンドラインターフェースとハンドラのテスタインターフェースとが結合される。
本発明の第４の態様に係る実施形態の概念を、ハンドラとの関連で以下に説明する。基本的な考え方は、対応する自動試験機器、並びにかかる自動試験機器及び／又はハンドラとともに使用するための方法についても同様に理解されるべきである。したがって、ハンドラに関して本明細書で論じられる特徴、機能、及び詳細のいずれも、所望により、自動試験システム、試験システム、試験セル、及び／又は自動試験機器、ハンドラ、試験システム、若しくは試験セルとともに使用するための方法において（例えば、同一又は類似の方法で）、個別に、かつ組み合わせて使用することができる。
本発明の第４の態様に係る実施形態は、リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供するという考えに基づいている。ハンドラは、被試験デバイスの温度を個別に測定するように構成されてもよい。例えば、誤動作の場合、１つの被試験デバイスが温度暴走を受ける可能性がある。例えば、被試験デバイスへの高電力供給を伴う試験サイクルでは、これは、被試験デバイスの差し迫った破壊をもたらす場合がある。リアルタイムテスタインターフェースは、かかるデバイスの破壊を防止することを可能にすることができる。温度上昇に関する情報は、ハンドラから自動試験機器にリアルタイムで、例えば、被試験デバイスの内部処理の時定数よりも短い時間間隔で伝送されてもよい。自動試験機器は、デバイスの破壊を防止するために、誤動作している被試験デバイスをシャットダウンすることができる。これにより、他の被試験デバイスの試験の継続を可能にすることができる。したがって、試験時間を短縮することができ、デバイスの損傷を防止することができる。
誤動作とは別に、ハンドラによって決定された、温度などのハンドラ情報、又は、例えば、デバイスの状態などの他の情報は、試験ルーチンを適合させるために、自動試験機器によって使用されてもよい。デバイスは、試験結果に従って、リアルタイムで品質によって分類されてもよく、試験は、デバイスの分類に従って適合されてもよい。
更に、複数の被試験デバイスの個々の温度情報を使用して、例えば、冷却時間、又は新しい刺激がデバイスに送られる前の短い遅延を調整することによって、試験を適合させることができる。これにより、被試験デバイスの過熱を防止することができるので、試験効率を改善することができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、温度誤動作、例えば温度暴走、又は例えば温度信号の接続の切断を検出するように構成され、又はハンドラは、例えば被試験デバイスのデバイスをそれ以上冷却することができない。更に、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト固有のアラームであり、ハンドラは、試験サイト固有のアラーム処理及び／又は試験サイト固有のシャットダウン、例えば試験サイト固有の電力シャットダウンを可能にするように構成される。
リアルタイムインターフェースは、温度暴走の場合の電力シャットダウンなどの高速対策を可能にし得る。したがって、ハンドラは、例えば試験サイト固有の任意の被試験デバイスについて、かかる温度誤動作を検出するように構成することができる。ハンドラは、デバイスの破壊を防止するために、例えば、次の刺激の前に追加の遅延を伴って、例えば、デバイスの冷却を可能にするために、自動試験機器にシグナリングを提供してもよい。したがって、試験効率を向上させることができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、リアルタイムテスタインターフェースを介した自動試験機器へのシグナリングを使用して、被試験デバイスのデータ処理、例えばビニング及びデータロギングに影響を与えるように構成される。ハンドラは、例えば、被試験デバイスの異常挙動を検出するように構成されてもよく、それにより、イベントの分析を可能にするために、（例えば、自動試験機器において、又は被試験デバイスにおいて）データロギングを開始してもよい。一方、被試験デバイスの誤動作は、ハンドラによって検出することができ、それにより、例えば、デバイスのバッチにわたって統計データを破損しないように、データロギングを停止することができる。したがって、試験精度及びデータ取得を改善することができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と、調節情報、例えばタイミング情報、制御振幅情報、制御持続時間情報との組み合わせを含む。更に、試験サイト識別情報は、例えばハンドラにおいて、調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成される。
特定の試験サイト、したがって例えば特定の被試験デバイスは、例えば、特定の組の調節情報に関連付けられ、又はリンクされ、又は関係付けられてもよい。この情報のセットは、例えば、自動試験機器に記憶され、定期的に、又は必要なときはいつでも、例えば、被試験デバイス又は試験サイトの調節情報がハンドラによって更新されるときに更新されてもよい。調節情報及び試験サイト識別情報に基づいて、自動試験機器は、特定の被試験デバイスに対して試験を適合させることができる。したがって、例えば、試験を各被試験デバイスに適合させることができるので、試験をより高い効率で実行することができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、かつ／又は試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング上に変調される。試験サイトＩＤの使用は、特定の試験サイド又は被試験デバイスをそれぞれ識別するための実装が容易な方法を提供し得る。試験側ＩＤの変調は、ハンドラと自動試験機器との間の良好なデータ伝送効率を提供することができ、高速データ伝送を可能にすることができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、調節情報は、タイミング情報、例えば、冷却又は加熱するとき、又は遅延、及び／又は制御振幅情報、例えば、冷却振幅、及び／又は制御持続時間情報、例えば、冷却持続時間を含む。
タイミング情報へのアクセスは、自動試験機器がハンドラと同期することを可能にする。これにより、適切な冷却又は加熱を行うことができる。これにより、試験効率を改善することができ、被試験デバイスの温度誤動作を防止することを可能にすることができる。
以下では、本発明の第４の態様に係る更なる実施形態を更に詳細に説明する。しかし、ハンドラに関連して説明した利点及び例は、対応する自動試験機器についても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して前述した特徴、機能、及び詳細のいずれも、対応するハンドラに使用することができ、又は対応するハンドラに組み込むことができ、又は対応するハンドラに適合させることができる。一例として、シグナリングを提供するように構成されたハンドラは、当該シグナリングを受信するように構成された対応する自動試験機器によって置き換えられてもよい。別の例として、ハンドラによってタスクを実行するために自動試験機器にシグナリングを提供することは、シグナリングを受信し、対応する自動試験機器のために当該タスクを実行するように構成されることによって置き換えられてもよい。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト固有のアラームであり、自動試験機器は、試験サイト固有のアラームに基づいて、試験サイト固有のアラームを処理し、及び／又は試験サイト固有のシャットダウン、例えば、被試験デバイスに供給するデバイス電源の試験サイト固有の停止を実行するように構成されている。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、ハンドラからの例えば試験サイト固有のシグナリングの受信に応答して、被試験デバイスのデータ処理、例えばビニング及びデータロギングに影響を与えるように構成される。自動試験機器は、被試験デバイスの異常挙動を検出するように構成されてもよく、それにより、イベントの分析を可能にするためにデータロギングを開始することができる。一方、被試験デバイスの誤動作は、自動試験機器によって判定することができ、それにより、例えば、デバイスのバッチにわたって統計データを破壊しないように、データロギングを停止することができる。したがって、試験精度及びデータ取得を改善することができる。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と、調節情報、例えばタイミング情報、制御振幅情報、制御持続時間情報との組み合わせを含み、試験サイト識別情報は、例えばハンドラ内で、調節情報の試験サイト固有関連付けを可能にするように構成される。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、かつ／又は試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング上に変調される。
本発明の第４の態様に係る更なる実施形態によれば、調節情報は、タイミング情報、例えば、冷却又は加熱するとき、又は遅延、及び／又は制御振幅情報、例えば、冷却振幅、及び／又は制御持続時間情報、例えば、冷却持続時間を含む。
本発明の更なる実施形態は、被試験デバイスを（例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向け；バスに加えて、バスより高速、低レイテンシ、リアルタイム対応、高速；例えば、試験ヘッドとハンドラとの間で直接；例えば、存在する追加の通信インターフェースより高速；例えば、実行時でのデータ交換が可能であるように；例えば、データ交換がリアルタイム試験適合（例えば、実行時で）を可能にするように、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満であるように）リアルタイム（例えば、トリガ機能を有するインターフェース、例えば「固定エンドポイントインターフェース」、例えば試験ヘッド上に配置され、例えば通信タスクに適合された複数のライン、例えば通信チャネルを備える；例えば、別個のシグナリングラインを有さない）ハンドラインターフェース（例えば、双方向専用装置とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば双方向専用の、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェース）で試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、（例えば、ポイントツーポイント、エンドツーエンド、非バス、非標準、特定用途向け；バスに加えて、バスより高速、低レイテンシ、リアルタイム対応、高速；例えば、試験ヘッドとハンドラとの間で直接；例えば、存在する追加の通信インターフェースより高速；例えば、実行時でのデータ交換が可能であるように；例えば、データ交換がリアルタイム試験適合（例えば、実行時で）を可能にするように、例えば、インターフェースによって提供又は受信されるシグナリングのレイテンシが１ｍｓ未満、又は更に１００マイクロ秒未満、又は更に１０マイクロ秒未満、又は更に１マイクロ秒未満であるように）リアルタイム（例えば、試験ヘッド上に配置された、例えば「固定エンドポイントインターフェース」などのトリガ機能を有するインターフェースであって、例えば、通信タスクに適合された通信チャネルなどの一部のラインを含み、例えば、別個のシグナリングラインを有さず、例えば、自動試験機器が、試験サイト固有の受信されたシグナリングに応答して、例えばサイト固有のシャットダウンなどの温度制御機能を制御するように、又は試験サイト固有のシグナリングを考慮するように、又は試験サイト固有のシグナリングを記録するように、又は試験サイト固有のシグナリングに応答して試験フローを適合させるように構成される）ハンドラインターフェース（例えば、双方向専用装置とハンドラとの間の通信のために特に適合された、例えば双方向専用の、例えば通信プロトコルがリアルタイムシグナリングに適合された特定用途向けインターフェース）を介してハンドラから試験サイト固有シグナリングを受信することを含む。
第５の態様に係る発明の概要
本発明の第５の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、自動試験機器は、例えば専用のリアルタイム、例えば「高速」ハンドラインターフェースを含み、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェース、例えばハンドラとテスタとの間の高速プレトリガ及び通信チャネルは、温度制御機能をトリガ、例えばプレトリガするために、トリガシグナリング、例えばプレトリガシグナリングをハンドラに提供するように構成される。更に、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェースは、トリガシグナリングに加えて追加のシグナリングを提供するように構成され、追加のシグナリングは、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための例えばリアルタイムの制御情報を含む。制御情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）を含むことができ、かつ／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、及び／又はサイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含むことができる。
本発明の第５の態様に係る実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器、例えば「テスタ」を含み、自動試験機器は、例えば専用のリアルタイム、例えば「高速」ハンドラインターフェースを含み、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェース、例えばハンドラとテスタとの間の高速プレトリガ及び通信チャネルは、温度制御機能をトリガ、例えばプレトリガするために、トリガシグナリング、例えばプレトリガシグナリングをハンドラに提供するように構成される。更に、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェースは、トリガシグナリングに加えて追加のシグナリングを提供するように構成され、追加のシグナリングは、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための例えばリアルタイムの制御情報を含む。制御情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）を含むことができ、かつ／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、及び／又はサイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含むことができる。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、自動試験機器、例えばＰＭＯＮ、ＴＪによって決定された、又は自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された、１又は複数の測定値に関する情報を含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、１又は複数の試験状態パラメータ、例えば、ＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラを含み、ハンドラは、例えば双方向のリアルタイムテスタインターフェースを含み、例えばハンドラは、例えば双方向のリアルタイムテスタインターフェースを介して、トリガシグナリングと、トリガシグナリングに加えて、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための例えばリアルタイム制御情報を含む追加のシグナリングとを受信するように構成される。制御情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）、及び／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、及び／又はサイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含んでもよい。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、自動試験機器、例えばＰＭＯＮ、ＴＪによって決定された、又は自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された、１又は複数の測定値に関する情報を含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、１又は複数の試験状態パラメータ、例えば、ＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。
更に、ハンドラは、１又は複数の被試験デバイスサイトの温度を制御、例えば調節するために、例えば、温度制御プロファイル又は温度調節を決定又は修正するために、追加のシグナリングを使用するように構成される。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態は、被試験デバイスを試験するための、例えば自動試験機器、例えば「テスタ」とともに使用するための方法を含み、方法は、温度制御機能をトリガするために、例えばそれによってトリガする、例えばプレトリガするために、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェース、例えばハンドラとテスタとの間の高速プレトリガ及び通信チャネルを介して、トリガシグナリング、例えばプレトリガシグナリングをハンドラに提供することを含む。
更に、方法は、例えば専用のリアルタイムハンドラインターフェースを介したトリガシグナリングに加えて、追加のシグナリングを提供することを含み、追加のシグナリングは、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の、例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための、例えばリアルタイムの制御情報を含む。制御情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）、及び／又は次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、及び／又はサイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含んでもよい。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、自動試験機器、例えばＰＭＯＮ、ＴＪによって決定された、又は自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された、１又は複数の測定値に関する情報を含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、１又は複数の試験状態パラメータ、例えば、ＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態は、例えばハンドラとともに使用するための、かつ／又は自動試験機器とともに使用するための、被試験デバイスを試験するための方法を含み、方法は、例えば双方向のリアルタイムテスタインターフェースを介して、トリガシグナリングを受信することと、トリガシグナリングに加えて、ハンドラによる、又は例えばハンドラのみによる、例えば実行時の温度制御プロファイル又は温度調節の例えば自律的な決定、例えば計算、又は例えば自律的な修正のための例えばリアルタイム制御情報を含む追加のシグナリングを受信することとを含む。制御情報は、例えば、ＰＭＯＮ（例えば、リアルタイムのＤＵＴ電力消費を監視するためのパラメータ）、ＴＪ（例えば、実際のＤＵＴ接合部温度）、ＳＩＴＥ（例えば、サイト固有の制御データ）、ＤＵＴ（例えば、ＤＵＴ固有の制御データ）、ＴＥＳＴ（例えば、試験固有の応答データ）、ＦＬＯＷ（例えば、試験サブｆ）、次の温度ホットスポット、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、及び／又はサイト及びデバイス固有の温度制御データに関する情報を含んでもよい。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、自動試験機器、例えばＰＭＯＮ、ＴＪによって決定された、又は自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された、１又は複数の測定値に関する情報を含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、１又は複数の試験状態パラメータ、例えば、ＳＩＴＥ、ＤＵＴ、ＴＥＳＴ、ＦＬＯＷ、次の温度ホットスポットに関する情報、ホットスポットの持続時間、ホットスポットの振幅、サイト及びデバイス固有の温度制御データを含む。
代替として、又は追加として、追加のシグナリングは、アラーム情報、例えば、１又は複数の被試験デバイスに関する試験サイト固有の過剰又は不十分な温度アラーム情報を含む。
更に、方法は、例えば温度制御プロファイル又は温度調節を決定又は修正するために、１又は複数の被試験デバイスサイトの温度を制御する、例えば調節する、例えばそれによって制御するために、追加のシグナリングを使用することを含む。
第５の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
第５の態様に係る更なる実施形態は、本明細書で定義されるハンドラと、本明細書で定義されるハンドラとを含む試験システムを含む。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに実施形態に係る方法を実行するためのコンピュータプログラムを含む。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態は、実施形態によるハンドラと、実施形態に係る自動試験機器とを含む試験セルを含み、自動試験機器のハンドラインターフェースとハンドラのテスタインターフェースとが結合される。
本発明の第５の態様に係る実施形態の概念を、自動試験機器との関連で以下に説明する。基本的な考え方は、かかる自動試験機器及び／又はハンドラとともに使用するための対応するハンドラ及び方法についても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して本明細書で論じた特徴、機能、及び詳細のいずれも、所望により、自動試験機器用、ハンドラ用、試験システム用、又は試験セル用のハンドラ、試験システム、試験セル、及び／又は方法において（例えば、同一又は類似の方法で）、個々に、かつ組み合わせて使用することができる。
本発明の第５の態様に係る実施形態は、トリガシグナリングに加えて、リアルタイムハンドラインターフェースを介して自動試験機器からハンドラに追加のシグナリングを提供するという考えに基づいており、追加のシグナリングは、ハンドラによる温度制御プロファイル若しくは温度調節の決定若しくは修正のための制御情報、自動試験機器によって決定された、若しくは自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された１又は複数の測定値に関する情報、１又は複数の試験状態パラメータ、及びアラーム情報のうちの少なくとも１つを含む。
本発明者らは、温度制御機能のためのトリガシグナリングに加えて、複数の情報をリアルタイムで、例えば、被試験デバイスの内部プロセスよりも短いタイムスパンで提供するために、リアルタイムインターフェースが使用され得ることを認識した。リアルタイムでかかる情報を提供する能力は、リアルタイムでの試験適合及び試験評価を可能にし、それにより、試験効率及び試験精度を改善する。
かかる情報に基づいて、自動試験機器は、被試験デバイスの温度ホットスポットを予測し、調節するように構成することができる。自動試験機器、例えばテスタ又はハンドラ又はその両方における特別なアルゴリズムは、このデータ、例えばパラメータを使用して、例えば各試験サイトの冷却振幅、持続時間、強度の例えば早期又は予測的決定を行うことができる。
一例として、追加情報は、トリガシグナリング、例えば、被試験デバイスが特定の状態、例えば、試験準備完了状態にあることを示すシグナリングを使用して伝送されてもよい。一例として、例えば当該追加情報を含むかかるシグナリングに基づいて、較正測定又は基準測定を実行することができる。したがって、被試験デバイスは、例えば、ハンドラによる基準温度測定を可能にするために、例えば自動試験機器によって適切にバイアスされてもよい。
したがって、ハンドラは、それぞれの試験又は試験シーケンスの過程で温度測定の実行を開始することができる。更なる追加情報が、例えば更なるトリガ、例えばプレトリガシグナリングを使用して伝送されてもよい。更なるトリガシグナリング又はトリガパルスは、ハンドラによって、例えば温度上昇に先立って冷却を起動するためのプレトリガ信号として解釈されてもよい。温度上昇は、例えば、現在の試験又は試験シーケンスに関連する推定電力消費に基づいて、自動試験機器によって予測することができる。
例えば、ハンドラは、第１のトリガパルスに応答して基準温度測定を行ってもよく、次いで、連続的に（又は反復的に）更なる温度測定を行ってもよい。例えば、ハンドラは、較正目的で基準温度測定値を使用して、例えば、被試験デバイス上の温度測定構造の特性の影響を更なる温度測定値から除去してもよい。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、被試験デバイスのデジタルデータストリーム（又はアナログデータストリーム）から測定値又はパラメータ、例えば接合部温度情報を抽出するように構成され、リアルタイムハンドラインターフェースは、例えば定期的に、例えば少なくとも５００Ｈｚ又は少なくとも１ｋＨｚ又は少なくとも１０ｋＨｚ又は少なくとも５ｋＨｚのサンプルレートで、当該測定値又はパラメータを、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラに伝送して、例えばハンドラによって実行される温度調節をサポートするように構成され、例えば当該値又はパラメータは、動的に又はリアルタイムで調節に影響を与えるか、又は調節に流入することができる。
デジタルデータストリームに基づいて（又はアナログデータストリームに基づいて）、自動試験機器は、被試験デバイスの情報、例えばステータスを分析又は判定又は評価するように構成することができる。結果は、デバイスに関する特性情報を含み得るデバイスのパラメータであり得る。自動試験機器によってハンドラに伝送されたパラメータ又は測定値に基づいて、ハンドラは温度調節戦略を適合させることができる。更に、自動試験機器は、パラメータ又は測定値に基づいて試験フロー又は試験サイクルを適合させることができる。情報伝送のためのサンプルレートは、被試験デバイスの内部プロセスの速度及び／又は計算時間に従って選択することができる。サンプルレートは、ハンドラ及び／又はテスタが、望ましくないイベント、例えば温度ホットスポット（又は更には熱暴走）を防止するために十分に短い時間スパンで反応することができるように選択することができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、例えば定期的に、例えば少なくとも５００Ｈｚ又は少なくとも１０ｋＨｚ又は少なくとも５ｋＨｚのサンプルレートで、自動試験機器の計器によって測定された値又はパラメータ、例えばアナログ値又はパラメータ、例えば被試験デバイスによって消費される電力を表す電力消費値、又は被試験デバイスに流れ込む電流を表す電流値を、例えばハンドラによって実行される温度調節をサポートするために、例えばリアルタイムで、ハンドラインターフェースを介してハンドラに伝送するように構成され、例えば当該値又はパラメータは、動的に又はリアルタイムで調節に影響を与えるか、又は調節に流入する。
前述したように、サンプルレートは、被試験デバイスの特性、例えば、通常の電力消費と重大な過熱との間の推定時間スパンに従って選択することができる。任意の適切な情報、例えばパラメータ又は値が、試験を改善するためにハンドラに伝送され得るので、自動試験機器は、例えば計器を介して、かかる値又はパラメータを測定するように構成することができる。自動試験機器による追加の測定は、被試験デバイスの試験及び監視を最適化するためのより多くのパラメータを提供することを可能にし得る。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、１ｍｓ未満のレイテンシで、又は１００マイクロ秒未満のレイテンシで、又は１０マイクロ秒未満のレイテンシで、又は１マイクロ秒未満のレイテンシで、例えば１μｓ～１ｍｓのレイテンシで、当該追加のシグナリング及び／又はトリガシグナリングを提供するように構成される。
前述したように、リアルタイムで、例えば実行時に伝送を実行するために、リアルタイムハンドラインターフェースは、それに応じて設計又は構成することができる。これは、例えば、ハンドラ及び／又は自動試験機器が過熱を防止することを可能にするために、高速データ伝送を可能にし得る。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、リアルタイムハンドラインターフェースによって提供される当該追加のシグナリング及び／又は当該トリガシグナリングのレイテンシが温度制御機能の制御ループの時定数よりも低くなるように、帯域幅を提供するように構成される。
これは、温度制御の迅速な適合を可能にし、より少ない制御障害を可能にし得る。インターフェースが制御ループの時定数よりも速い場合、制御は、例えば、開始温度ホットスポット（又は更には熱暴走）の影響が試験を妨害し得る前に適合され得る。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、温度制御機能は、ハンドラインターフェースを含む制御ループを含み、温度制御機能は、例えば制御ループ信号又は制御ループ情報がハンドラインターフェース及びテスタインターフェースを介して伝送されるように、例えば制御ループ信号又は制御ループ情報がハンドラと自動試験機器との間で直接、例えばポイントツーポイントで伝送されるように、ハンドラインターフェースを介して伝送されるリアルタイム情報、例えばトリガ及び／又は追加のシグナリングを考慮するように構成される。
自動試験機器とハンドラとの間で伝送される追加情報にもかかわらず、リアルタイムハンドラインターフェースは、その伝送速度のために、リアルタイムでの温度調節を可能にすることができる。したがって、温度制御は、効率的かつ正確かつ高速となり得る。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、制御ループは、自動試験機器を含み、自動試験機器は、ハンドラと組み合わせて、統合された調節、例えば、温度制御（調節）機能の一部、例えば、不可欠な部分であるように構成される。
自動試験機器は、例えば、温度制御のフィードフォワード制御要素であってもよい。自動試験機器の操作変数は、例えば、被試験デバイスの電源であってもよい。ハンドラによる冷却／加熱の変更及び／又は自動試験機器による電源の変更は、正確な温度制御を可能にすることができる。代替として、又は加えて、自動試験機器は、被試験デバイスのパラメータ又は測定値を決定し、当該パラメータ又は値を制御ループの残りの部分、例えば制御要素に提供してもよい。更に、自動試験機器は、例えば、ハンドラなどの調節ループの制御入力を計算してもよい。したがって、温度制御は、良好な安定特性及び短い応答時間を含むことができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、温度制御機能によるリアルタイム考慮のために、当該トリガ及び／又は追加のシグナリングを提供するように構成される。制御アルゴリズムの設計は、リアルタイム要求のためのリアルタイムハンドラインターフェースと同様に、温度制御機能が被試験デバイスの温度を効率的に制御することを可能にし得る。高速調節ループは、制御誤差の高速調整を可能にし得る。したがって、望ましいデバイス温度を維持することができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムハンドラインターフェースは、温度調節ループの一部である。前述したように、ハンドラインターフェースがリアルタイムインターフェースである場合、ハンドラインターフェースは、制御アルゴリズムを遅くすることなく制御ループの一部とすることができ、それにより、高速制御又は調節ループを可能にする。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、統合された調節を実装するように構成され、調節機能は、自動試験機器とハンドラとの間で分散され、調節データは、ハンドラインターフェースを介して伝送される。ハンドラは、制御ループの制御要素又は補正要素であってもよい。ハンドラは、例えば被試験デバイスを冷却又は加熱することによって、操作変数を実装するように構成されてもよい。加えて、ハンドラは、例えば、被試験デバイスの温度の測定値を提供することによって、例えば、制御ループのフィードバックループの一部であってもよい。
前述したように、自動試験機器は、例えば、温度制御のフィードフォワード制御要素であってもよい。例えば、自動試験機器の第２の操作変数は、例えば、被試験デバイスの電源又は試験シーケンスであってもよい（試験シーケンスは、例えば、被試験デバイスのどのブロックがアクティブであるかを定義することによって、又は被試験デバイスのクロックレートに影響を与えることによって、例えば、被試験デバイスの「ストレス」を定義してもよい）。ハンドラによる冷却／加熱の変更及び／又は自動試験機器による電源の変更は、正確な温度制御を可能にすることができる。
更に、ハンドラは温度制御機能を提供することができ、ハンドラインターフェースは温度制御のための追加情報を提供することができる。追加情報は、例えば、電力供給の増加、又は自動試験機器によって決定された他のパラメータ及び値のために、次の温度ピークに関する情報を含むことができる。
したがって、温度制御は、良好な安定特性及び短い応答時間を含むことができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、自動試験機器は、自動試験機器のパターン生成器によって提供されるパターンを使用して、調節機能、例えば自動試験機器及びハンドラによって共同で提供される統合された調節機能に影響を与えるように構成され、パターンは、例えばハンドラインターフェースによってリアルタイムで伝送されてもよい。
以下では、本発明の第５の態様に係る更なる実施形態を更に詳細に説明する。しかしながら、自動試験機器に関連して説明した利点及び例は、対応するハンドラについても同様に理解されるべきである。したがって、自動試験機器に関して前述した特徴、機能、及び詳細のいずれも、対応するハンドラに使用することができ、又は対応するハンドラに組み込むことができ、又は対応するハンドラに適合させることができる。一例として、シグナリングを提供するように構成された自動試験機器は、当該シグナリングを受信するように構成された対応するハンドラによって置き換えられてもよく、又はその逆であってもよい。別の例として、自動試験機器によってタスクを実行するためにハンドラにシグナリングを提供することは、シグナリングを受信し、対応するハンドラのために当該タスクを実行するように構成されることによって置き換えられてもよい。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、例えば実行時に、温度制御プロファイル又は温度調節プロファイルを決定するように構成され、ハンドラは、例えば実行時に、例えば試験サイトごとに、温度制御プロファイル又は温度調節プロファイルの決定のための冷却振幅及び／又は持続時間及び／又は冷却強度を決定するように構成される。
ハンドラの測定値、及び所望により、自動試験機器からの更なる情報、例えば追加のシグナリングに基づいて、ハンドラは、デバイス温度の正確な予測を決定することが可能であり得る。したがって、温度制御プロファイル又は温度調節プロファイルは、例えば実行時に、ハンドラによって決定されてもよい。所望のデバイス温度を維持するために、ハンドラは、対応する冷却及び／又は加熱の振幅、並びにその持続時間及び強度を決定することができる。したがって、所望のデバイス温度は、小さい公差帯域及び高速制御誤差補償を用いて達成することができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、温度制御機能は、テスタインターフェースを含む制御ループを含み、温度制御機能は、例えば制御ループ信号又は制御ループ情報がハンドラインターフェース及びテスタインターフェースを介して送信されるように、例えば制御ループ信号又は制御ループ情報がハンドラと自動試験機器との間で直接、例えばポイントツーポイントで伝送されるように、例えば信号レイテンシが温度制御機能の時定数又は温度制御機能の計算時間と比較して重要でないように、テスタインターフェースを介して伝送されるリアルタイム情報、例えばトリガ及び／又は追加のシグナリングを考慮するように構成される。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、制御ループはハンドラを含み、ハンドラは、自動試験機器と組み合わせて、統合調節器、例えば、温度制御（調節）機能の一部、例えば、一体部分であるように構成される。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムテスタインターフェースは、温度制御機能におけるリアルタイム考慮のために、当該トリガ及び／又は追加のシグナリングを提供するように構成される。制御アルゴリズムの設計は、リアルタイム要求のためのリアルタイムテスタインターフェースと同様に、温度制御機能が被試験デバイスの温度を効率的に制御することを可能にし得る。高速調節ループは、制御誤差の高速調整を可能にし得る。したがって、望ましいデバイス温度を維持することができる。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、ハンドラは、温度制御機能を含む。
前述したように、ハンドラは、制御ループの制御要素又は補正要素であってもよい。ハンドラは、例えば被試験デバイスを冷却又は加熱することによって、操作変数を実装するように構成されてもよい。加えて、ハンドラは、例えば、被試験デバイスの温度の測定値を提供することによって、例えば、制御ループのフィードバックループの一部であってもよい。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、リアルタイムテスタインターフェースは、温度調節ループの一部である。前述したように、テスタインターフェースがリアルタイムインターフェースである場合、テスタインターフェースは、制御アルゴリズムを遅くすることなく制御ループの一部とすることができ、それにより、高速制御又は調節ループを可能にする。
本発明の第５の態様に係る更なる実施形態によれば、例えば、ハンドラは、統合された調節を実装するように構成され、調節機能は、自動試験機器とハンドラとの間で分散され、所望により、調節データは、テスタインターフェースを介して伝送される。
図面は、必ずしも縮尺通りではなく、代わりに、概して、本発明の原理を図示することに重点が置かれている。以下の説明では、本発明の種々の実施形態が、以下の図面を参照して説明される。
同一又は同等の要素、あるいは同一又は同等の機能を有する要素は、異なる図に現れる場合であっても、以下の説明において同一又は同等の参照番号によって示される。
以下の説明では、本発明の実施形態のより完全な説明を提供するために、複数の詳細が記載される。しかしながら、本発明の実施形態がこれらの具体的な詳細なしに実施され得ることは、当業者には明らかであろう。他の例では、本発明の実施形態を不明瞭にすることを回避するために、周知の構造及びデバイスは、詳細にではなくブロック図の形態で示される。加えて、本明細書で後に説明される異なる実施形態の特徴は、特に別段の記載がない限り、互いに組み合わせることができる。
図１は、本発明の第１の態様に係る自動試験機器及びハンドラの実施形態の概略上面図を示している。図１は、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース１２０を含む自動試験機器１１０と、双方向専用リアルタイムテスタインターフェース１４０を含むハンドラ１３０とを示している。更に、図１は、一例として、ハンドラ１３０上に配置された被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を示している。
インターフェース１２０、１４０は、専用インターフェースであり、例えば、ハンドラインターフェース１２０は、テスタインターフェース１４０と通信するように構成され、インターフェースは双方向であるため、その逆も同様である。更に、インターフェース１２０、１４０は、リアルタイムインターフェースである。したがって、インターフェース間のデータ伝送時間、例えば、一方のインターフェースにおけるメッセージの送信プロセスの開始と他方のインターフェースにおけるメッセージの到着の終了との間のタイムスパンは、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度制御の時定数がより大きくなるようなスケール又は寸法であってもよい。したがって、自動試験機器１１０とハンドラ１３０との間で交換される情報は、リアルタイムでの温度制御のために、又は他の目的、例えば、先に説明したように、例えば、試験適合又は試験評価のために使用されてもよい。
リアルタイムハンドラインターフェース１２０は、温度制御機能をトリガするために、ハンドラ１３０にトリガシグナリング１２２を提供するように構成される。逆に、ハンドラ１３０は、テスタインターフェース１４０を介して自動試験機器１１０からトリガシグナリング１２２を受信するように構成され、ハンドラ１３０は、受信したシグナリング１２２に応答して温度制御機能をトリガするように構成される。
ハンドラ１３０は、例えば、過熱を防止するために、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を冷却及び／又は加熱するように構成されてもよい。トリガシグナリング１２２は、ハンドラが被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の熱ホットスポット（又は更には熱暴走）を打ち消すことができるように、被試験デバイスの次の温度ピークに関する情報を含むことができる。
更に、ハンドラ１３０は、テスタインターフェース１４０を介して自動試験機器１１０にシグナリング１４２を提供するように構成され、リアルタイムハンドラインターフェース１２０は、ハンドラ１３０からシグナリング１４２を受信するように構成される。自動試験機器１１０は、ハンドラから受信したシグナリング１４２を考慮するように構成されている。
ハンドラは、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度情報をリアルタイムで自動試験機器１１０に伝送することができる。自動試験機器１１０は、例えば被試験デバイスの過熱を防止するために、例えば試験プロセスを適合させることによって、この情報を考慮することができる。試験フローは、例えば、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の冷却時間が２つのサブ試験の間で増加され得るように適合されてもよい。加えて、トリガシグナリング１２２は、例えばハンドラ１３０に温度管理戦略を適合させるように命令するために、受信したシグナリング１４２に基づいて適合されてもよい。
所望により、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース１２０は、同期シグナリングをハンドラ１３０に提供するように構成することができる。ハンドラ１３０は、双方向専用リアルタイムテスタインターフェース１４０を介して同期シグナリングを受信するように構成することができる。同期シグナリングに基づいて、ハンドラ１３０は、温度制御機能のトリガを超える機能を自動試験機器１１０と同期させることができる。同期は、測定、例えば、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度測定を実行するために、ハンドラ１３０によって特定の時間に、又は例えば、自動試験機器１１０による被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の刺激に対して特定の時間差で実行されてもよい。シグナリング１２２は、例えば、同期シグナリングを含むことができ、又は同期シグナリングは、別個のシグナリングとすることができる。
所望により、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース１２０は、試験サイト固有のシグナリングをハンドラ１３０に提供するように構成することができる。ハンドラは、双方向専用リアルタイムテスタインターフェース１４０を介して自動試験機器１１０から試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成することができる。ハンドラは、試験サイト固有のシグナリングに基づいて、又はそれに応答して、温度制御機能を制御することができ、例えば、特定の被試験デバイス１５２の冷却を実行することができる。
所望により、ハンドラ１３０から自動試験機器１１０へのシグナリング１４２は、試験サイト固有のシグナリング、例えば、それぞれ特定の試験サイト又は被試験デバイス１５２の温度測定値であってもよい。
所望により、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェース１２０は、トリガシグナリング１２２に加えて、追加のシグナリングを提供するように構成される。ハンドラ１３０は、リアルタイムテスタインターフェース１４０を介して、トリガシグナリング１２２に加えて、追加のシグナリングを受信するように構成することができる。追加のシグナリングは、ハンドラ１３０による温度制御プロファイル若しくは温度調節の決定若しくは修正のための制御情報、自動試験機器１１０によって決定された１又は複数の測定値に関する情報、１又は複数の試験状態パラメータ、及び／又はアラーム情報のうちの少なくとも１つを含むことができる。ハンドラ１３０は、１又は複数の被試験デバイスサイト又は被試験デバイスそれぞれ１５２、１５４、１５６、１５８の温度を制御するために、追加のシグナリングを使用するように構成することができる。追加のシグナリングは、被試験デバイスの試験を改善するのに適した任意の情報を含むことができる。
試験状態パラメータは、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の次の電源変更に関するタイミング情報を含むことができる。これに基づいて、ハンドラ１３０は、その冷却戦略をデバイスに適合させることができる。更に、ハンドラは、温度管理をどのように適合させるかを判定するために、かかる情報を評価するように構成することができる。しかしながら、追加のシグナリングは、直接的な温度管理戦略であってもよく、例えば、前述のタイミング情報に基づいて処理された情報であってもよく、一例として制御情報の形態で、冷却すべき時間及び場所をハンドラに通知するだけである。例えば、被試験デバイスの誤動作の場合、アラーム情報は、損傷又は試験中止を防止するために、ハンドラ１３０に被試験デバイスを直ちに冷却させてよい。
所望により、自動試験機器１１０は、ハンドラからのシグナリング１４２に反応して試験フローを適合させるように構成することができる。ハンドラは、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８に関する情報、例えば温度情報を提供することができる。かかる情報は、有益な試験適合を示し得る。例えば、被試験デバイスの温度が上昇する場合、自動試験機器１１０は、臨界温度に達する前にデバイスを冷却することを可能にするために、当該デバイスの２つの試験の間の遅延を延長することができる。
所望により、自動試験機器１１０は、ハンドラからのシグナリング１４２に反応して試験を中断するように構成することができる。したがって、ハンドラによって提供されるシグナリング１４２は、中断シグナリングであり得る。自動試験機器１１０は、シグナリング１４２、例えば中断シグナリング、例えばハンドラによるハンドラの温度測定の評価に基づくシグナリング、又は例えばハンドラ１３０によって提供される過温度若しくはアラーム情報に応答して、又は反応して試験を中断することができる。別の所望による特徴として、ハンドラ１３０は、テスタインターフェースを介して自動試験機器に試験サイト固有の中断シグナリングを提供するように構成することができ、例えば、特定の被試験デバイスに対して個別の試験中断を可能にする。したがって、他の被試験デバイスの試験を継続することができる。したがって、所望により、自動試験機器は、ハンドラからの試験サイト固有のシグナリングの受信に応答して、試験サイト固有に試験を中断するように構成することができる。
所望により、ハンドラ１３０によって提供されるシグナリング１４２は、例えば、１又は複数の被試験デバイスの電源を停止するための停止シグナリングであり得る。例えば、一部の場合では、ハンドラ１３０は、例えば誤動作の場合に、被試験デバイスの過熱を防止することができない場合がある。したがって、ハンドラは、測定データを評価することができ、被試験デバイスの電力供給を停止するために、自動試験機器１１０に停止シグナリングを送信することができる。概して、ハンドラは、誤動作、例えば被試験デバイスの誤動作、又は例えば温度制御機能の誤動作を検出するように構成されてもよく、かかる情報を、例えば停止シグナリングの形態で、シグナリング１４２を介して自動試験機器１１０に提供してもよい。したがって、所望により、自動試験機器は、ハンドラからのシグナリングの受信に応答して、１又は複数の被試験デバイスの電源を停止するように構成することができる。
所望により、例えばシャットダウンを防止するために、ハンドラ１３０は、テスタインターフェース１４０を介して自動試験機器１１０に温度警告シグナリングを提供するように構成することができる。自動試験機器は、温度警告シグナリングを受信するように構成することができる。これに基づいて、自動試験機器は、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の過熱を防止するために、試験を適合させることができる。したがって、ハンドラ１３０は、被試験デバイスの挙動又は温度測定値を評価するように構成されてもよい。
所望により、自動試験機器１１０は、ハンドラ１３０から試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成することができる。ハンドラは、テスタインターフェース１４０を介して自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供するように構成されてもよい。その結果、前述した任意の特徴、例えば冷却戦略の個々の適合、電力シャットダウン、遅延時間適合を、それぞれ特定の被試験デバイス又は試験サイトに対して個々に実行することができる。
所望により、ハンドラ１３０は、リアルタイムテスタインターフェース１４０を介した自動試験機器１１０へのシグナリング１４２を使用して、被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように構成することができる。自動試験機器１１０は、ハンドラ１３０からのシグナリング１４２の受信に応答して、被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように構成することができる。ハンドラは、データレコードの開始又は終了をトリガすることができる。例えば、あるイベント、例えば誤動作が検出された場合、そのイベントのデータを故障解析のために記録することができる。一方、データ記録は、誤動作又は過熱の場合、例えば、当該デバイスへの電力供給がシャットダウンされたときに停止されてもよく、その後、いかなる測定データも役に立たなくなる。
所望により、ハンドラ１３０は、自動試験機器１１０によるロギングのために、テスタインターフェース１４０を介して自動試験機器１１０にシグナリングを提供するように構成することができる。自動試験機器１１０は、ハンドラ１３０から受信したシグナリングを記録するように構成することができる。シグナリングは、自動試験機器によって記憶されるべき測定データ、例えば温度情報を含むことができる。かかるデータに基づいて、試験評価を行うことができる。
所望により、ハンドラ１３０は、提供された信号に応答して自動試験機器１１０のリアルタイムの反応を可能にするために、テスタインターフェースを介して自動試験１１０機器にリアルタイムでシグナリングを提供するように構成される。例えば、シグナリング１４２はリアルタイムで提供されてもよい。一例として、自動試験機器１１０は、例えばハンドラ１３０によって受信したシグナリングに応答して、リアルタイムで反応するように構成されてもよい。ハンドラ情報をリアルタイムで提供し、リアルタイムで反応することにより、例えば、リアルタイム試験適合及び試験評価のために、リアルタイム信号の利用可能性に基づいて可能であり得る効率的な試験が可能になる。
図１に示す要素は、本発明の実施形態に係る自動試験機器１１０及びハンドラ１３０を含む試験セル又は試験システムであってもよいことに留意されたい。しかし、自動試験機器１１０及びハンドラ１３０は、本発明に従って個別に使用されてもよい。
追加の注釈として、シグナリング１２２、１４２は、例えば、共通のワイヤを介して、又は別個のワイヤを介して行われ得ることに留意されたい。
図２は、本発明の第２の態様に係る自動試験機器及びハンドラの実施形態の概略上面図を示している。図２は、リアルタイムハンドラインターフェース２２０を含む自動試験機器２１０と、リアルタイムテスタインターフェース２４０を含むハンドラ２３０とを示している。更に、図２は、一例として、ハンドラ２３０上に配置された被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を示している。
インターフェース２２０、２４０はリアルタイムインターフェースである。したがって、インターフェース間のデータ伝送時間、例えば、ハンドラインターフェース２２０におけるメッセージの送信プロセスの開始と、テスタインターフェース２４０におけるメッセージの到着の終了との間の時間間隔は、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度制御の時定数がより大きくなるようなスケール又は寸法であってもよい。したがって、自動試験機器２１０からハンドラ２３０に送信された情報は、リアルタイムで温度制御に使用することができる。
リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、温度制御機能をトリガするために、ハンドラ２３０にトリガシグナリング１２２を提供するように構成される。逆に、ハンドラ２３０は、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０からトリガシグナリング１２２を受信するように構成され、ハンドラ２３０は、受信したシグナリング１２２に応答して温度制御機能をトリガするように構成される。
ハンドラ２３０は、例えば、過熱を防止するために、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を冷却及び／又は加熱するように構成されてもよい。トリガシグナリング１２２は、ハンドラが被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の熱ホットスポット（又は更には熱暴走）を打ち消すことができるように、被試験デバイスの次の温度ピークに関する情報を含むことができる。
更に、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、温度制御機能のトリガを超えるハンドラ２３０の機能を同期させるために、ハンドラ２３０に同期シグナリング２２２を提供するように構成される。ハンドラ２３０は、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０から同期シグナリング２２２を受信するように構成され、受信した同期シグナリング２２２に応答して温度制御機能のトリガを超える機能を自動試験機器２１０と同期させるように構成される。
一部の用途、例えば、熱ダイオード較正は、正確な時点で温度を測定するために、ハンドラ２３０と自動試験機器２１０との間の高速かつ正確な同期タイミングを必要とし得る。同期シグナリング２２２は、ハンドラ２３０に、例えば正確にいつ測定すべきかを通知するために使用され得る。これにより、例えば、自動試験機器２１０による被試験デバイスの刺激などのイベントの正確な割り当て、かつハンドラ２３０の対応する測定のために、正確な試験が可能となり得る。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、ハンドラへの同期シグナリング２２２に基づいて、ハンドラとのアクティブな同期を可能にするように構成することができる。アクティブな同期は、待機時間挿入のない同期であってもよい。ハンドラ２３０は、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０から、自動試験機器２１０とのアクティブな同期のためのシグナリング、例えば同期シグナリング２２２を受信するように構成することができる。更に、ハンドラは、同期シグナリングに基づいて自動試験機器とのアクティブな同期を実行するように構成することができる。これにより、前述したように、ハンドラ２３０と自動試験機器２１０とを同期させることができるが、かかる同期を達成するために待機ステートメントを実行する必要がないので、高速で正確な試験が可能になる。これにより、試験時間を短縮することができる。リアルタイムインターフェースにより、非常に限られた遅延で同期を実行することが可能となり得る。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、ハンドラ２３０の較正のタイミングを決定するために、較正タイミング情報をハンドラ２３０に伝送するように構成することができる。ハンドラ２３０は、較正タイミングを決定するために、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０から、例えば同期シグナリング２２２として、較正タイミング情報を受信するように構成することができる。更に、ハンドラ２３０は、較正タイミング情報に基づいて、較正タイミングを決定するように構成することができる。較正は、誤差を補償するために実行することができる。例えば、第１の測定は、後続の測定のオフセットを補償するために、被試験デバイスの第１の状態で実行されてもよい。これにより、測定及び／又は試験の精度を高めることができる。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、例えば同期シグナリング２２２として、被試験デバイスが所定の方法で電力供給され、バイアスされ、又は初期化されることを示すシグナリングを伝送するように構成することができる。ハンドラ２３０は、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０から、被試験デバイスが所定の方法で調整又は電力供給又はバイアス又は初期化されたことを示すシグナリングを受信するように構成することができる。前述したように、所定の方法で電力供給され、バイアスされ、又は初期化されている被試験デバイスの情報は、例えば後続の測定を較正するために使用することができる。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、異なるデバイス又は試験条件に達したときにシグナリングを伝送するように構成することができる。ハンドラは、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０からシグナリングを受信するように構成することができる。これは、自動試験機器２１０とハンドラ２３０とを同期させるために実行されてもよい。したがって、かかる情報は、同期シグナリング２２２の一部であってもよい。しかしながら、かかる情報は、例えば、別個に伝送されてもよい。
所望により、自動試験機器２１０は、ハンドラ２３０による１又は複数の温度読み取りをトリガするために、同期シグナリング２２２を提供するように構成することができる。ハンドラ２３０は、テスタインターフェース２４０を介して自動試験機器２１０からシグナリング、例えば同期シグナリング２２２を受信するように構成されてもよく、同期シグナリングに基づいて、例えば温度測定の較正のために、１又は複数の温度測定を実行するように構成されてもよい。自動試験機器は、試験ルーチンを実行することができ、被試験デバイスに刺激を与えることができる。試験のために、デバイスが所定の状態にあるときに、デバイスの温度が測定されなければならない場合がある。試験ルーチン及び電流刺激に基づいて、自動試験機器は、例えば、同期シグナリング２２２を介してハンドラ２３０に測定を実行するように命令することによって同期を開始することができる。インターフェースはリアルタイムインターフェースであるので、かかる命令は、同期測定を実行するために十分に速く伝送されてもよく、例えば、それぞれのデバイスが、試験ルーチンによって命令されるようなその所定の状態にあるときに測定が実行されてもよい。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェースは、ハンドラ２３０への同期シグナリングに基づいて熱ダイオード較正を可能にするように構成することができる。熱ダイオード較正は、デルタ温度測定を含むことができ、リアルタイムハンドラインターフェース２２０は、熱ダイオード較正のためにハンドラ２３０にリアルタイム測定タイミング情報を伝送するように構成することができる。
ハンドラ２３０は、例えば、テスタインターフェース２４０を介して自動試験２１０機器から受信した同期シグナリング２２２に基づいて、熱ダイオード較正を実行するように構成されてもよい。熱ダイオード較正は、デルタ温度測定を含むことができ、ハンドラ２３０は、デルタ温度測定を実行するように構成することができる。更に、ハンドラは、熱ダイオード較正のためにリアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器からリアルタイム測定タイミング情報を受信するように構成されてもよい。
所望により、同期シグナリング２２２は、ハンドラ２３０の測定のための、例えば試験サイト固有の時間情報を含むことができる。所望により、同期シグナリングは、例えば、試験サイト固有の試験状態情報又はデバイス状態情報を含む。自動試験機器２１０は、ハンドラ２３０によって実行される測定を必要とし得る次のイベントについてハンドラ２１０に通知することができる。
図２に示す要素は、本発明の実施形態に係る自動試験機器２１０及びハンドラ２３０を含む試験セル又は試験システムであってもよいことに留意されたい。しかし、自動試験機器２１０及びハンドラ２３０は、本発明に従って個別に使用されてもよい。
追加の注釈として、シグナリング１２２、２２２は、例えば、共通のワイヤを介して、又は別個のワイヤを介して行われ得ることに留意されたい。
図３は、本発明の第３の態様に係る自動試験機器及びハンドラの実施形態の概略上面図を示している。図３は、リアルタイムハンドラインターフェース３２０を含む自動試験機器３１０と、リアルタイムテスタインターフェース３４０を含むハンドラ３３０とを示している。更に、図３は、一例として、ハンドラ３３０上に配置された被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を示している。
インターフェース３２０、３４０はリアルタイムインターフェースである。したがって、インターフェース間のデータ伝送時間、例えば、ハンドラインターフェース３２０におけるメッセージの送信プロセスの開始と、テスタインターフェース３４０におけるメッセージの到着の終了との間の時間間隔は、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度制御の時定数がより大きくなるようなスケール又は寸法であってもよい。したがって、自動試験機器３１０からハンドラ３３０に送信された情報は、リアルタイムで温度制御に使用することができる。
リアルタイムハンドラインターフェース３２０は、温度制御機能を制御するために、ハンドラ３３０に試験サイト固有のシグナリング３２２を提供するように構成される。逆に、ハンドラ３３０は、テスタインターフェース３４０を介して自動試験機器３１０からシグナリング３２２を受信するように構成され、ハンドラ３３０は、受信した試験サイト固有シグナリング３２２に応答して温度制御機能を制御するように構成される。
被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８は、試験中に異なる挙動、例えば、異なる温度傾向を示すことがある。したがって、自動試験機器３１０は、被試験デバイスの温度調節を適合させるための試験サイト固有の情報を提供することができる。ハンドラは、例えば、当該情報に従って、例えばデバイス又は試験サイトの冷却の順序及び大きさをそれぞれ適合させることができる。したがって、試験効率を増加させるために、個別試験適合が実行され得る。
一例として、シグナリング３２２は、ハンドラがデバイスの熱ホットスポット（又は更には熱暴走）を打ち消すことができるように、特定の被試験デバイスの次の温度ピークに関する情報を含むことができる。
所望により、試験サイト固有のシグナリング３２２は、以下の情報、すなわち、試験サイト固有アラーム、試験サイト固有トリガ識別情報、試験サイト固有温度調整情報、試験サイト固有セットアップ情報、試験サイト固有放熱情報、及び／又は試験サイト固有タイミング情報のうちの１又は複数を含み得る。試験の効率及び精度を改善するのに適した任意の情報を伝送することができる。例えば、自動試験機器３１０が温度ホットスポット（又は熱暴走）又はデバイス誤動作を判定した場合に、ハンドラにアラームが送信されてもよい。試験サイト固有のセットアップ情報に基づいて、ハンドラ３３０は、そのセットアップに従って各被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８をそのセットアップに従って最適に冷却するために、冷却動作をスケジューリングすることができる。同様に、放熱及びタイミング情報は、スケジュールされた試験又は試験刺激に従って、デバイスが放散し得る推定又は予想される熱についての情報を含むことができ、例えば、かかる熱が放散されるとき、又はハンドラがあるデバイスを冷却しなければならないときに放散することができる。これにより、試験効率及び試験中の熱管理を改善することができる。
所望により、試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と調節情報との組み合わせを含み、試験サイト識別情報は、調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成される。したがって、温度管理戦略は、各試験サイト又は被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８それぞれに対して個別に実装することができる。これにより、試験効率を改善することができる。
所望により、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含んでもよく、かつ／又は試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング上に変調されてもよい。特定の試験サイト又は被試験デバイスをそれぞれ識別するために、試験サイトＩＤを伝送することができる。試験サイトＩＤの変調により、単一の伝送線、例えば単一のトリガラインの使用を可能にし、配線を削減することができる。ＩＤを介して、ハンドラ３３０に、どの試験サイトがトリガシグナリング又はシグナリング３２２に作用すべきかを通知することができる。
所望により、調節情報は、タイミング情報及び／又は制御振幅情報を含むことができる。これに基づいて、ハンドラ３３０は、被試験デバイスを所望の温度間隔内に維持することができるように、適切な冷却／加熱を実行することができる。
所望により、自動試験機器３１０は、複数の試験サイトに対する単一のトリガシグナリングと、トリガイベントと異なる試験サイトに対して実行される熱的前処理動作の開始との間の遅延を記述する異なるサイト固有の遅延情報とを提供するように構成することができる。ハンドラ３３０は、テスタインターフェース３２０を介して自動試験機器３１０から単一トリガシグナリングを受信するように構成することができる。したがって、シグナリング労力が低減され、より高速なシグナリング伝送を可能にすることができる。自動試験機器３１０は、複数の被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の次の温度傾向を評価又は予測することができ、それに基づいて、どの被試験デバイスも熱暴走することがないように適切な遅延、例えば冷却遅延を決定することができる。これは、次の試験動作又はトリガイベントの開始を遅延させること、例えば、電力供給の増加及び熱プレコンディショニング動作によって達成することができる。デバイスは、例えば、試験と試験の間に望ましい温度まで冷却するのに十分な時間を与えられてもよい。
所望により、自動試験機器３１０は、対応する状態が異なる試験フローにおいて異なる時間に到達されるように、異なるサイトの試験フローを実行するように構成することができる。更に、自動試験機器３１０は、それぞれの試験フローの所定の状態に到達することに応答して、サイト固有のシグナリングを提供するように構成することができる。したがって、ハンドラ３３０は、各被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の現在の状態を十分に認識することができ、例えば、それに基づいて、適切な冷却動作をスケジュールすることができる。更に、ハンドラは、例えば、予想される次の温度上昇に関する情報を含むトリガシグナリングに基づいて、例えば、試験シーケンスにおける現在の又は次の所定の試験状態に関する情報に基づいて、温度上昇に先立って被試験デバイスの冷却を開始するように構成されてもよい。加えて、過熱を防止するために、より頻繁な温度測定のために、大量の電力を受け取る被試験デバイスが選択されてもよい。
図３に示す要素は、本発明の実施形態に係る自動試験機器３１０及びハンドラ３３０を含む試験セル又は試験システムであってもよいことに留意されたい。しかし、自動試験機器３１０及びハンドラ３３０は、本発明に従って個別に使用されてもよい。
図４は、本発明の第４の態様に係る自動試験機器及びハンドラの実施形態の概略上面図を示している。図４は、リアルタイムハンドラインターフェース４２０を含む自動試験機器４１０と、リアルタイムテスタインターフェース４４０を含むハンドラ４３０とを示している。更に、図４は、一例として、ハンドラ４３０上に配置された被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を示している。
インターフェース４２０、４４０はリアルタイムインターフェースである。したがって、インターフェース間のデータ伝送時間、例えば、テスタインターフェース４４０におけるメッセージの送信プロセスの開始とハンドラインターフェース４２０におけるメッセージの到着の終了との間の時間間隔は、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度制御の時定数がより大きくなるようなスケール又は寸法であってもよい。したがって、ハンドラ４３０から自動試験機器４１０に送られる情報は、リアルタイムで温度制御のために使用されてもよい。
リアルタイムテスタインターフェース４４０は、試験サイト固有のシグナリング４４２を自動試験機器４１０に提供するように構成される。逆に、自動試験機器４１０は、ハンドラインターフェース４２０を介してハンドラ４３０からシグナリング４４２を受信するように構成される。
被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８は、試験中に異なる挙動、例えば、異なる温度傾向を示すことがある。したがって、ハンドラ４３０は、被試験デバイスの温度調節又は試験スケジュールを適合させるための試験サイト固有の情報を提供することができる。ハンドラは、例えば、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の個々の温度を自動試験機器４１０に提供することができる。自動試験機器４１０は、例えば、当該情報に従って、デバイス又は試験サイトそれぞれの異なる試験間の遅延を適合させることができる。したがって、試験効率を増加させるために、個別試験適合が実行され得る。
所望により、ハンドラ４３０は、温度誤動作を検出するように構成することができる。これは、例えば、温度勾配が特定の勾配を超えたときに検出することができる。更に、試験サイト固有のシグナリングは、例えば、試験サイト固有のアラームであってもよい。所望により、ハンドラ４３０は、試験サイト固有のアラーム処理及び／又は試験サイト固有のシャットダウンを可能にするように構成することができる。自動試験機器４１０は、所望により、試験サイト固有のアラームを処理し、かつ／又は試験サイト固有のアラームに基づいて試験サイト固有のシャットダウンを実行するように構成することができる。一例として、ハンドラは、被試験デバイス１５２の測定値間の大きな温度差を検出することができる。この差は、閾値を超えてもよく、ハンドラは、デバイス１５２又はそれぞれその試験側のためのアラームを生成又は宣言してもよい。かかる試験サイト固有のアラームは、シグナリング４４２を介して自動試験機器４１０に伝送されてもよい。自動試験機器４１０は、デバイスの損傷を回避し、残りの被試験デバイス１５４、１５６、１５８の試験を進めることができるように、デバイス１５２を含む特定の試験サイトをシャットダウンすることができる。
所望により、ハンドラ４３０は、リアルタイムテスタインターフェース４４０を介した自動試験機器４１０へのシグナリング４４２を使用して、被試験デバイスのデータ処理、例えばビニング及びデータロギングに影響を与えるように構成することができる。自動試験機器４１０は、ハンドラ４３０からの例えば試験サイト固有のシグナリングの受信に応答して、被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように構成することができる。一例として、ハンドラ４３０は、上述で説明したように被試験デバイスの誤動作を検出することができ、したがって、デバイスのデータが誤っている可能性があるため、デバイスのデータのロギングを停止するように自動試験機器に命令することができる。
所望により、試験サイト固有のシグナリング４４２は、試験サイト識別情報と調節情報との組み合わせを含んでもよく、試験サイト識別情報は、調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成されてもよい。一例として、シグナリング４４２は、特定の試験サイト又は被試験デバイスをそれぞれ識別するシンタックス要素と、それに関連付けられた、実行されるべき熱管理についての情報（例えば、冷却振幅及びタイミング情報）とを含むことができ、この情報は、どれだけ長く冷却すべきか及びいつ冷却すべきかについての情報を含む。したがって、被試験デバイスごとに所望の温度コースで試験を行うことができる。
所望により、試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含んでもよく、かつ／又は試験サイトＩＤは、試験サイト固有のシグナリング４４２上に変調されてもよい。試験サイトＩＤの変調により、単一のトリガラインを可能にし、特に複数の試験サイトに対する配線労力を低減することができる。
所望により、調節情報は、タイミング情報、例えば、いつ冷却又は加熱するか、又は遅延、及び／又は制御振幅情報を含む。これにより、被試験デバイスの熱管理を改善することができる。
図４に示す要素は、本発明の実施形態に係る自動試験機器４１０及びハンドラ４３０を含む試験セル又は試験システムであってもよいことに留意されたい。しかし、自動試験機器４１０及びハンドラ４３０は、本発明に従って個別に使用されてもよい。
図５は、本発明の第５の態様に係る自動試験機器及びハンドラの実施形態の概略上面図を示している。図５は、リアルタイムハンドラインターフェース５２０を含む自動試験機器５１０と、リアルタイムテスタインターフェース５４０を含むハンドラ５３０とを示している更に、図５は、一例として、ハンドラ５３０上に配置された被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を示している。
インターフェース５２０、５４０はリアルタイムインターフェースである。したがって、インターフェース間のデータ伝送時間、例えば、ハンドラインターフェース５２０におけるメッセージの送信プロセスの開始と、テスタインターフェース５４０におけるメッセージの到着の終了との間の時間間隔は、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の温度制御の時定数がより大きくなるようなスケール又は寸法であってもよい。したがって、自動試験機器５１０からハンドラ５３０に送信された情報は、リアルタイムで温度制御に使用することができる。
リアルタイムハンドラインターフェース５２０は、温度制御機能をトリガするために、ハンドラ５３０にトリガシグナリング１２２を提供するように構成される。逆に、ハンドラ５３０は、テスタインターフェース５４０を介して自動試験機器５１０からトリガシグナリング１２２を受信するように構成され、ハンドラ５３０は、受信したシグナリング１２２に応答して温度制御機能をトリガするように構成される。
ハンドラ５３０は、例えば、過熱を防止するために、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を冷却及び／又は加熱するように構成されてもよい。トリガシグナリング１２２は、ハンドラが被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８の熱ホットスポット（又は更には熱暴走）を打ち消すことができるように、被試験デバイスの次の温度ピークに関する情報を含むことができる。
更に、リアルタイムハンドラインターフェース５２０は、トリガシグナリング１２２に加えて、追加のシグナリング５２２を提供するように構成される。ハンドラ５３０は、リアルタイムテスタインターフェース５４０を介して、トリガシグナリング１２２を受信し、トリガシグナリングに加えて、追加のシグナリング５２２を受信するように構成することができる。追加のシグナリングは、ハンドラによる温度制御プロファイル若しくは温度調節の決定若しくは修正のための制御情報、自動試験機器によって決定された、若しくは自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された１又は複数の測定値に関する情報、１又は複数の試験状態パラメータ、及び／又はアラーム情報のうちの少なくとも１つを含むことができる。
実行される試験に基づいて、自動試験機器５１０は、ハンドラ５３０と被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８との相互作用を適合させるために、追加のシグナリング５２２を決定、予測、又は評価することができる。自動試験機器５１０は、例えば、供給される電力の予定された増加のために、例えば、被試験デバイスの温度の上昇を予測することができ、したがって、当該被試験デバイスの温度の望ましくないレベルへの上昇に対抗するために、ハンドラの制御情報を決定することができる。これは、例えば、冷却振幅及び／又は冷却持続時間の適合を含むことができる。更に、自動試験機器５１０は、例えば、１又は複数の測定された変数及び／又は１又は複数の試験状態パラメータに関する情報を決定することができる。自動試験機器５１０は、例えば、被試験デバイスの現在の又は予測された挙動を決定又は評価し、ハンドラが試験のために望ましい方法で被試験デバイスを操作することを可能にし得る情報をハンドラ５３０に提供してもよい。例えば、自動試験機器５１０のデータ評価が、被試験デバイスの危機的状態、例えば過温度を判定する場合、ハンドラがそのデバイス管理、例えば熱管理を適合させることを可能にするために、アラーム情報がハンドラ５３０に提供されてもよい。
所望により、ハンドラ５３０は、温度制御プロファイル又は温度調節プロファイルを決定するように構成することができ、ハンドラ５３０は、温度制御プロファイル又は温度調節プロファイルの決定のための冷却振幅及び／又は持続時間及び／又は冷却強度を決定するように構成することができる。ハンドラは、前述の温度管理特性を決定するために、例えばトリガシグナリング１２２又は追加のシグナリング５２２の形態で、自動試験機器５１０によって提供される情報を評価することができる。あるいは、かかる情報は、自動試験機器によって評価され、例えばハンドラが情報を決定する必要なしに、直接伝送されてもよい。
所望により、自動試験機器は、被試験デバイスのデジタルデータストリームから測定値又はパラメータを抽出するように構成されてもよく、リアルタイムハンドラインターフェースは、リアルタイムハンドラインターフェースを介して当該測定値又はパラメータをハンドラに伝送するように構成される。所望により、自動試験機器は、自動試験機器の計器によって測定された値又はパラメータを、ハンドラインターフェースを介してハンドラに伝送するように構成することができる。前述したように、ハンドラ５３０は、当該測定値に基づいて、被試験デバイスの状態、又は冷却振幅及び／又は冷却強度を評価することができる。これにより、試験中の熱管理を改善することができる。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース５２０は、１ｍｓ未満のレイテンシで、又は１００マイクロ秒未満のレイテンシで、又は１０マイクロ秒未満のレイテンシで、又は１マイクロ秒未満のレイテンシで、当該追加のシグナリング５２２及び／又はトリガシグナリング１２２を提供するように構成することができる。例えば、試験ルーチンの高速適合を可能にするために、例えば、ハンドラの熱管理を適合させるために、インターフェースは、低レイテンシを有してもよい。したがって、データは、被試験デバイスの起こり得る望ましくないイベント、例えば過熱に対抗するために、到着時に十分に新しいものであり得る。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース５２０は、リアルタイムハンドラインターフェースによって提供される当該追加のシグナリング及び／又は当該トリガシグナリングのレイテンシが温度制御機能の制御ループの時定数よりも低くなるように、帯域幅を提供するように構成することができる。データ伝送又はシグナリング伝送が制御ループの時定数よりも速い場合、伝送された情報は、温度調節を改善又は適合させるために使用することができる。
所望により、温度制御機能は、ハンドラインターフェース５２０及び／又はテスタインターフェース５４０を含む制御ループを含むことができる。加えて、温度制御機能は、ハンドラインターフェース５２０を介して伝送される、及び／又はテスタインターフェース５４０を介して受信され得るリアルタイム情報を考慮するように構成することができる。例えば、堅牢で高速な温度制御を提供するために、制御ループに複数の情報を提供してもよい。したがって、ハンドラインターフェース５２０及び／又はテスタインターフェース５４０は、制御に有益であり得る測定データ及び／又は評価されたパラメータを提供する制御ループの一部であり得る。したがって、被試験デバイスの状態を計算することができ、それに基づいて、被試験デバイスの温度を空間状態モデルに基づいて調節することができる。このモデルは、任意の種類の制御に使用することができる。大量の情報を用いて、例えば、被試験デバイスの温度に関連付けられたエンティティに類似する推定された状態に基づいて、予測制御概念が実装されてもよい。これにより、堅牢で正確な温度制御が可能になる。
所望により、制御ループは、自動試験機器５１０を含むことができ、自動試験機器５１０は、ハンドラと組み合わせて統合された調節の一部であるように構成することができる。別の所望による特徴として、制御ループは、ハンドラを含むことができ、ハンドラは、自動試験機器と組み合わせた統合調節器の一部であるように構成することができる。前述したように、温度制御概念は、利用可能な全ての情報チャネル、例えばハンドラの測定データ、例えばテスタに記憶された試験サイクルの次の試験、及びそれに基づいて評価される被試験デバイスの任意の種類のパラメータ又はステータスのデータ融合を実行するために、全ての要素、例えば自動試験機器及び／又はハンドラ、並びに所望によりそれぞれのインターフェースを含むことができる。したがって、試験効率を改善し、熱管理を改善することができる。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェース５２０及び／又はリアルタイムテスタインターフェース５４０は、温度制御機能によるリアルタイムの考慮のために、当該トリガ１２２及び／又は追加のシグナリング５２２を提供するように構成することができる。例えば、インターフェース５２０、５４０が双方向である場合、両方がシグナリング１２２、５２２を提供するように構成されてもよい。情報の流れは、特定のアプリケーションの任意の制約に従って選択することができる。
所望により、ハンドラ５３０は、温度制御機能を含むことができる。ハンドラは、被試験デバイス１５２、１５４、１５６、１５８を冷却及び／又は加熱するように構成することができる。したがって、ハンドラは、制御ループの制御要素であってもよく、又はそれを含んでもよい。加えて、自動試験機器５１０からハンドラ５３０にトリガシグナリング１２２及びトリガシグナリング５２２を介して伝送される情報を用いて、コントローラ、例えば温度コントローラのための入力変数の決定を、ハンドラにおいて決定することができる。
所望により、リアルタイムハンドラインターフェースは温度調節ループの一部であり、及び／又はリアルタイムテスタインターフェースは温度調節ループの一部である。
所望により、自動試験機器５１０及び／又はハンドラ５３０は、統合された調節を実装するように構成されてもよく、調節機能は、自動試験機器とハンドラとの間で分散される。調節器の入力変数の計算及び／又は温度制御入力のスケジューリングは、自動試験機器及び／又はハンドラによって実行されてもよい。したがって、調節機能は、例えば、計算のために必要なデータが利用可能であるそれぞれの要素、例えば自動試験機器又はハンドラにおいて計算が実行され得るように、２つの間で分散されてもよい。換言すれば、調節データの計算は、時間効率の良い方法で分散されてもよく、例えば、自動試験機器とハンドラとの間のデータ伝送を最小限にして、例えば、最終結果のみ若しくはほとんど最終結果が伝送される必要があるか、又は結果がそれぞれの他の要素によって要求されるようにする。
所望により、自動試験機器５１０は、自動試験機器のパターン生成器によって提供されるパターンを使用して、調節機能に影響を与えるように構成されてもよい。
図５に示す要素は、本発明の実施形態に係る自動試験機器５１０及びハンドラ５３０を含む試験セル又は試験システムであってもよいことに留意されたい。しかし、自動試験機器５１０及びハンドラ５３０は、本発明に従って個別に使用されてもよい。
追加の注釈として、シグナリング１２２、５２２は、例えば、共通のワイヤを介して、又は別個のワイヤを介して行われ得ることに留意されたい。
図６は、本発明の第１の態様の実施形態に係る第１の方法６００の概略ブロック図を示している。方法６００は、温度制御機能をトリガするために双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラにトリガシグナリングを提供（６１０）することと、双方向専用リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラからシグナリングを受信（６２０）することと、ハンドラから受信したシグナリングを考慮（６３０）することとを含む。
図７は、本発明の第１の態様の実施形態に係る第２の方法７００の概略ブロック図を示している。方法７００は、双方向専用リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器からトリガシグナリングを受信（７１０）することと、受信したシグナリングに応答して温度制御機能をトリガ（７２０）することと、テスタインターフェースを介して自動試験機器にシグナリングを提供（７３０）することとを含む。
図８は、本発明の第２の態様の実施形態に係る第１の方法８００の概略ブロック図を示している。方法８００は、リアルタイムハンドラインターフェースを介して温度制御機能をトリガするためにハンドラにトリガシグナリングを提供（８１０）することと、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラに同期シグナリングを提供（８２０）することと、温度制御機能のトリガを超えるハンドラの機能を同期（８３０）させることとを含む。
図９は、本発明の第２の態様の実施形態に係る第２の方法９００の概略ブロック図を示している。方法９００は、リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器からトリガシグナリングを受信（９１０）することと、受信したトリガシグナリングに応答して温度制御機能をトリガ（９２０）することと、テスタインターフェースを介して自動試験機器から同期シグナリングを受信（９３０）することと、受信した同期シグナリングに応答して温度制御機能のトリガを超える機能を自動試験機器と同期（９４０）させることとを含む。
図１０は、本発明の第３の態様の実施形態に係る第１の方法１０００の概略ブロック図を示している。方法１０００は、温度制御機能を制御するために、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラに試験サイト固有のシグナリングを提供（１０１０）することを含む。
図１１は、本発明の第３の態様の実施形態に係る第２の方法１１００の概略ブロック図を示している。方法１１００は、テスタインターフェースを介して自動試験機器から試験サイト固有のシグナリングを受信（１１１０）することと、受信した試験サイト固有のシグナリングに応答して温度制御機能を制御（１１２０）することとを含む。
図１２は、本発明の第４の態様の実施形態に係る第１の方法１２００の概略ブロック図を示している。方法１２００は、リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供（１２１０）することを含む。
図１３は、本発明の第４の態様の実施形態に係る第２の方法１３００の概略ブロック図を示している。方法１３００は、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラから試験サイト固有のシグナリングを受信（１３１０）することを含む。
図１４は、本発明の第５の態様の実施形態に係る第１の方法１４００の概略ブロック図を示している。方法１４００は、温度制御機能をトリガするために、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラにトリガシグナリングを提供（１４１０）することと、リアルタイムハンドラインターフェースを介したトリガシグナリングに加えて、追加のシグナリングを提供（１４２０）することとを含み、追加のシグナリングは、ハンドラによる温度制御プロファイル若しくは温度調節の決定若しくは修正のための制御情報、及び／又は自動試験機器によって決定された、若しくは自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された１又は複数の測定値に関する情報、及び／又は１又は複数の試験状態パラメータ、及び／又はアラーム情報を含む。
図１５は、本発明の第５の態様の実施形態に係る第２の方法１５００のブロック概略図を示している。方法１５００は、リアルタイムテスタインターフェースを介して、トリガシグナリングと、トリガシグナリングに加えて、ハンドラによる温度制御プロファイル若しくは温度調節の決定若しくは修正のための制御情報、及び／又は自動試験機器によって決定された、若しくは自動試験機器によって被試験デバイスデータストリームから抽出された１又は複数の測定値に関する情報、及び／又はアラーム情報、及び／又は１又は複数の試験状態パラメータを含む追加のシグナリングとを受信（１５１０）することと、１又は複数の被試験デバイスサイトの温度を制御するために追加のシグナリングを使用（１５２０）することとを含む。
以下では、更に異なる本発明の実施形態及び態様について説明する。また、更なる実施形態は、添付の特許請求の範囲によって定義される。請求項によって定義されるような任意の実施形態は、本明細書に説明される詳細（特徴及び機能）のうちのいずれかによって補完されることができることに留意されたい。また、本明細書に記載される実施形態は、個々に使用することができ、特許請求の範囲に含まれる特徴のいずれかによって補完することもできる。
また、本明細書に記載される個々の態様は、個別に又は組み合わせて使用することができることに留意されたい。したがって、当該態様の別の１つに詳細を追加することなく、当該個々の態様の各々に詳細を追加することができる。
本開示は、自動試験システム又は試験セルにおいて使用可能な特徴を明示的又は暗示的に説明することにも留意されたい。したがって、本明細書で説明される特徴のうちのいずれかは、１又は複数の被試験デバイスを試験するための自動試験機器の文脈において、又はハンドラにおいて、又は自動試験システムにおいて、又は１又は複数の被試験デバイスを試験するための試験セルにおいて（例えば、同時に、又は異なるサイトで時間的に重複する方法で）使用されることができる。
更に、方法に関して本明細書で開示される特徴及び機能は、（かかる機能を実行するように構成された）装置においても使用され得る。更に、装置に関して本明細書で開示される任意の特徴及び機能は、対応する方法においても使用され得る。換言すれば、本明細書に開示される方法は、装置に関して説明される特徴及び機能のうちのいずれかによって所望により随意に補完されることができる。
また、本明細書で説明される特徴及び機能のいずれも、「実装代替形態」の節で説明されるように、ハードウェア若しくはソフトウェアで、又はハードウェアとソフトウェアの組み合わせを使用して実装され得る。
代替的な実装形態
一部の態様が装置の文脈で説明され、更なる態様が説明されるが、これらの態様はまた、ブロック又はデバイスが方法工程又は方法工程の特徴に対応する、対応する方法の説明を表すことは明らかである。同様に、方法工程の文脈で説明される態様はまた、対応する装置の対応するブロック又は項目又は特徴の説明を表す。方法工程の一部又は全部は、例えばマイクロプロセッサ、プログラマブルコンピュータ又は電子回路のようなハードウェア装置によって（又はそれを使用して）実行されてもよい。一部の実施形態では、最も重要な方法工程のうちの１又は複数は、かかる装置によって実行されてもよい。
一部の態様が装置の文脈で説明され、更なる態様が説明されるが、これらの態様はまた、ブロック又はデバイスが方法工程又は方法工程の特徴に対応する、対応する方法の説明を表すことは明らかである。同様に、方法工程の文脈で説明される態様はまた、対応する装置の対応するブロック又は項目又は特徴の説明を表す。方法工程の一部又は全部は、例えばマイクロプロセッサ、プログラマブルコンピュータ又は電子回路のようなハードウェア装置によって（又はそれを使用して）実行されてもよい。一部の実施形態では、最も重要な方法工程のうちの１又は複数は、かかる装置によって実行されてもよい。
特定の実装形態の要件に応じて、本発明の実施形態は、ハードウェア又はソフトウェアで実装され得る。この実装形態は、それぞれの方法が実行されるようにプログラム可能なコンピュータシステムと協働する（又は協働し得る）電子的に読み取り可能な制御信号を記憶したデジタル記憶媒体、例えばフロッピー（登録商標）ディスク、ＤＶＤ、ブルーレイ、ＣＤ、ＲＯＭ、ＰＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ又はフラッシュメモリを使用して実行されてもよい。したがって、デジタル記憶媒体はコンピュータ可読であってもよい。
本発明に係る一部の実施形態は、電子可読制御信号を有するデータキャリアを含み、電子可読制御信号は、本明細書で説明される方法のうちの１つが実行されるように、プログラム可能なコンピュータシステムと協働することが可能である。
概して、本発明の実施形態は、プログラムコードを有するコンピュータプログラム製品として実装することができ、プログラムコードは、コンピュータプログラム製品がコンピュータ上で実行されるときに方法のうちの１つを実行するように動作可能である。プログラムコードは、例えば、機械可読キャリアに記憶されてもよい。
他の実施形態は、機械可読キャリア上に記憶された、本明細書で説明される方法のうちの１つを実行するためのコンピュータプログラムを含む。
したがって、換言すれば、本発明の方法の一実施形態は、コンピュータプログラムがコンピュータ上で実行されるときに、本明細書に記載の方法のうちの１つを実行するためのプログラムコードを有するコンピュータプログラムである。
したがって、本発明の方法の更なる実施形態は、本明細書に記載の方法のうちの１つを実行するためのコンピュータプログラムを記録したデータキャリア（又はデジタル記憶媒体、又はコンピュータ可読媒体）である。データキャリア、デジタル記憶媒体又は記録された媒体は、典型的には有形及び／又は非移行的である。
したがって、本発明の方法の更なる実施形態は、本明細書に記載された方法の１つを実行するためのコンピュータプログラムを表すデータストリーム又は信号のシーケンスである。例えば、データストリーム又は信号のシーケンスは、例えば、インターネットを介して、データ通信接続を介して転送されるように構成され得る。
更なる実施形態は、本明細書に記載の方法の１つを実行するように構成又は適合された処理手段、例えばコンピュータ又はプログラム可能な論理デバイスを含む。
更なる実施形態は、本明細書に記載の方法のうちの１つを実行するためのコンピュータプログラムがインストールされたコンピュータを含む。
本発明に係る更なる実施形態は、本明細書に記載の方法のうちの１つを実行するためのコンピュータプログラムを（例えば、電子的又は光学的に）受信機に転送するように構成された装置又はシステムを含む。受信機は、例えば、コンピュータ、モバイルデバイス、メモリデバイスなどであってもよい。装置又はシステムは、例えば、コンピュータプログラムを受信機に転送するためのファイルサーバを含むことができる。
一部の実施形態では、プログラマブルロジックデバイス（例えば、フィールドプログラマブルゲートアレイ）を使用して、本明細書に記載の方法の機能の一部又は全てを実行することができる。一部の実施形態では、フィールドプログラマブルゲートアレイは、本明細書に説明される方法のうちの１つを行うために、マイクロプロセッサと協働してもよい。概して、方法は、任意のハードウェア装置によって実行されることが好ましい。
本明細書で説明される装置は、ハードウェア装置を使用して、又はコンピュータを使用して、又はハードウェア装置とコンピュータとの組み合わせを使用して実装され得る。
本明細書で説明される装置、又は本明細書で説明される装置の任意の構成要素は、少なくとも部分的にハードウェア及び／又はソフトウェアで実装され得る。
本明細書で説明される方法は、ハードウェア装置を使用して、又はコンピュータを使用して、又はハードウェア装置とコンピュータとの組み合わせを使用して実行され得る。
本明細書で説明される方法、又は本明細書で説明される装置の任意の構成要素は、ハードウェア及び／又はソフトウェアによって少なくとも部分的に実行され得る。
本明細書に記載された実施形態は、本発明の原理を単に例示するものである。本明細書に記載された構成及び詳細の変更及び変形が他の当業者に明らかであることが理解される。したがって、添付の特許請求の範囲によってのみ限定され、本明細書の実施形態の記述及び説明によって提示される特定の詳細によって限定されないことが意図される。
以下に、以下の補足説明の内容をまとめる。
－高速同期及びデータ交換を伴う能動的温度制御
－背景
－状況
－値の位置付け
－高速低レイテンシ通信チャネル又はトリガ拡張、例えば、ＰＲＥ－ＴＲＩＧＧＥＲ拡張：高速低レイテンシ通信チャネル（本発明の一態様による）
－トリガ拡張、例えばプレトリガ拡張：高速かつ正確な自動試験機器、例えばテスタ－ハンドラ－自動試験機器同期（本発明の一態様による）
－より正確な温度制御を保証するためのＡＴＣ機能の拡張（本発明の一態様による）
－本発明の観点及び態様
－高速同期及びデータ交換を伴う能動的温度制御
－背景
－状況
－値の位置付け
－高速低レイテンシ通信チャネル又はトリガ拡張、例えば、ＰＲＥ－ＴＲＩＧＧＥＲ拡張：高速低レイテンシ通信チャネル（本発明の一態様による）
－トリガ拡張、例えばプレトリガ拡張：高速かつ正確な自動試験機器、例えばテスタ－ハンドラ－自動試験機器同期（本発明の一態様による）
－より正確な温度制御を保証するためのＡＴＣ機能の拡張（本発明の一態様による）
－本発明の観点及び態様
背景
接続画像
以下では、本発明に係る実施形態において所望により使用することができる試験装置（又は試験システム）の一例について説明する。しかし、本発明に係る実施形態は、自動試験機器のみ、又はハンドラのみ、又は自動試験機器とハンドラの組み合わせを含み得ることに留意されたい。また、「背景技術」の節で開示された特徴、機能、及び詳細は、所望により、実施形態のいずれかにおいて、個々に、かつ組み合わせての両方で使用され得ることに留意されたい。また、本明細書に開示される特徴、機能、及び詳細のうちの一部は、所望により、このセクションに示される自動試験機器及び／又はハンドラに、個別に及び組み合わせて導入されてもよい。
接続画像
以下では、本発明に係る実施形態において所望により使用することができる試験装置（又は試験システム）の一例について説明する。しかし、本発明に係る実施形態は、自動試験機器のみ、又はハンドラのみ、又は自動試験機器とハンドラの組み合わせを含み得ることに留意されたい。また、「背景技術」の節で開示された特徴、機能、及び詳細は、所望により、実施形態のいずれかにおいて、個々に、かつ組み合わせての両方で使用され得ることに留意されたい。また、本明細書に開示される特徴、機能、及び詳細のうちの一部は、所望により、このセクションに示される自動試験機器及び／又はハンドラに、個別に及び組み合わせて導入されてもよい。
ＡＴＣとは
ＡＴＣ（例えば、能動的温度制御）は、例えば、ハードウェア及びソフトウェアである。例えば、温度を測定するためのハードウェア及び温度を制御するためのソフトウェアである。ＡＴＣは、例えば、ハンドラから自動試験機器又はテスタに、そしてデバイスに戻る制御ループである（又はそれを含む）。これにより、例えば、ハンドラがデバイスのダイ温度をデバイス内で直接測定することが可能となる。
ＡＴＣ（例えば、能動的温度制御）は、例えば、ハードウェア及びソフトウェアである。例えば、温度を測定するためのハードウェア及び温度を制御するためのソフトウェアである。ＡＴＣは、例えば、ハンドラから自動試験機器又はテスタに、そしてデバイスに戻る制御ループである（又はそれを含む）。これにより、例えば、ハンドラがデバイスのダイ温度をデバイス内で直接測定することが可能となる。
概して、ハンドラは、例えば、デバイスの外側の温度を測定することができる。しかし、ＡＴＣは、例えば、ＤＵＴ（例えば、被試験デバイス）内の熱ダイオードによってテンプレート（又は温度）を測定する。ＡＴＣは、例えばフィードフォワード制御又はフィードバック制御である。
図１６に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図１６は、本発明の実施形態に係る自動試験機器及びハンドラの概略的な例を示している。図１６は、メインフレーム１６１２と、試験ヘッド１６１４とを所望により備える自動試験機器１６１０と、ハンドラ１６３０とを示している。自動試験機器１６１０及びハンドラ１６３０は、所望により、第１の接続１６６０、例えばイーサネット（登録商標）接続、及び第２の接続１６７０、例えばＧＰＩＢ接続で接続される。図１６は、自動試験機器１６１０又は試験ヘッド１６１４のそれぞれとハンドラ１６３０との間に、所望により熱ダイオードを含む被試験デバイス１６５０を示している。更に、ハンドラ１６３０及び自動試験機器１６１０又は試験ヘッド１６１４はそれぞれ、トリガ信号線１６８０、例えばプレトリガ信号線に結合される。それぞれのインターフェース、例えばテスタインターフェース及びハンドラインターフェースは、明示的に示されていない。トリガ信号線１６８０は、自動試験機器１６１０とハンドラ１６３０との間の一方向又は双方向のデータ交換を可能にするように構成することができる。トリガ信号線１６８０は、トリガシグナリング、及び／又はハンドラから自動試験機器へのシグナリング、及び／又は同期シグナリング、及び／又は試験サイト固有のシグナリングのいずれか、及び／又は追加のシグナリングを、例えばリアルタイムで提供及び／又は受信するように構成され得る。
状況及び態様
以下では、本発明に係る実施形態のいずれかに所望により導入することができる状況及び態様を、個別にも組み合わせても説明する。
以下では、本発明に係る実施形態のいずれかに所望により導入することができる状況及び態様を、個別にも組み合わせても説明する。
例えば、ＭＰＵ（例えば、マイクロプロセッサ）、ＧＰＵ（例えば、グラフィックス処理ユニット）、及びＭＣＵ（例えば、マイクロコントローラ）などの複雑なデジタルデバイス（例えば、被試験デバイス（ＤＵＴ）として機能し得る）は、多くの電力を消費する可能性がある。電力消費及びデバイス温度プロファイルは、例えば、試験全体を通して変化する場合があり、例えば、試験サイトに依存する場合さえある。一部の場合では、例えば、「平坦な」及び／又は予測可能な温度プロファイルを有するこれらのデバイスを試験するために、正確な温度制御が重要であり得るか、又は必須でさえあり得る。これを達成するために、例えば、試験セル（例えば、テスタ及びハンドラ）は、例えば、異なるタイプのソースデータをリアルタイムで分析し、組み合わせることができる。ハンドラが試験チャンバ温度を測定することのみによって温度を制御する従来の試験とは対照的に、能動的熱制御（ＡＴＣ）は、例えば、ハンドラに追加のデバイス及び／又はテスタ情報を提供して、例えば、潜在的な温度「ホットスポット」を正確に制御及び／又は予測することができる。
図１７に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図１７は、温度制御、例えば、本発明の実施形態に係るデバイス温度制御の概略例を示している。図１７は、デバイス１７５０、例えば被試験デバイス、自動試験機器１７１０、及びハンドラ１７３０を示している。自動試験機器１７１０は、例えば、被試験デバイス１７５０から、又はそれに基づいて、情報１７６０、例えば、試験パラメータ、例えば、制御情報及び／又は試験状態パラメータを受信及び／又は決定及び／又は評価してもよい。かかる情報は、更に処理され、ハンドラ１７３０に提供されてもよい。自動試験機器１７１０によってハンドラ１７３０に提供される情報は、試験及び／又は熱調節効率を改善するために適切な任意の情報、例えばデバイス状態又はデバイスステータス、例えば試験サイクルに基づくデバイス１７５０の予測される温度推移、例えば前述の任意の情報であり得る。次に、ハンドラは、例えば自動試験機器によって提供された情報と、例えば当該デバイス１７５０に対して実行されたハンドラ１７３０の温度測定とに基づいて、デバイス１７５０の温度を制御（１７７０）することができる。
代替として、又は加えて、デバイスの熱ダイオードの温度較正は、一部の場合では、例えば、試験中に例えばデバイスごとにシリコン製造の依存性を打ち消すのに有利であるか、又は必要でさえあり得る。
代替として、又は加えて、一部の場合では、ハンドラが例えば温度暴走を検出した場合に、自動試験機器又はテスタに警告するために、サイト固有のアラーム処理及びシャットダウンが有利であるか、又は必要でさえあり得る。
これは、一部の場合では、例えば、リアルタイムでデータを交換することができるように、例えば、ハンドラと、デバイスと、自動試験機器又はテスタとの間の高速の、例えば、リアルタイムの同期を必要とし得る。現在の１つの制限は、例えば、低速ＧＰＩＢ通信に主に依存する低速通信インターフェースである。
一態様によれば、この提案の意図は、例えば能動的熱制御（ＡＴＣ）制御ループのためにＡｄｖａｎｔｅｓｔによって導入されたトリガ機能、例えばプレトリガ機能を拡張することである。一態様によれば、例えば、トリガ、例えばプレトリガ（ｐｒｅ－ｔｒｉｇｇｅｒ）は、例えばプレトリガ（ｐｒｅｔｒｉｇｇｅｒ）は、ハンドラ内の加熱及び冷却サイクルを制御するための技術であり得るだけでなく、テスタ（例えば、自動試験機器）とハンドラとの間及び／又はその逆の正確で高速な同期及び／又はデータ交換を可能にするように拡張されてもよい。ＡＴＣ制御は、将来、より重要になる可能性があるので、顧客は、例えば、機器を同期させるために単純で低レイテンシのインターフェースを使用することによって、例えば、貴重な試験時間を節約することから利益を得るであろう。
例えば、本発明の実施形態の態様の値の位置付け
以下では、例えば、本発明に係る実施形態及び態様を使用して達成することができる一部の利点について説明する。
以下では、例えば、本発明に係る実施形態及び態様を使用して達成することができる一部の利点について説明する。
多くの従来のテスタ又は自動試験機器の製造者は、現在、トリガ、例えばプレトリガインターフェースを有していない。例えば、較正を実行するためのハンドラと自動試験機器（例えば、テスタ）との間の同期は、ＷＡＩＴステートメントを用いて達成することができるが、これは、信頼できない解決策である可能性があり、ある程度のリスクを被る可能性がある。一部の場合では、ハンドラとテスタ機器との間でデータを交換し、機器をリアルタイムで同期させるための解決策が、例えば、有利であるか、又は必須でさえあり得る。代替的に、又は更に、サイト数は、これらの用途のために近い将来に３２サイトに拡大する可能性がある。これは、一部の場合では、例えばサイトごとの双方向同期を達成するために、ハードウェアインターフェース配線の削減を必要とすることがある。
１．トリガ拡張、例えば、ＰＲＥ－ＴＲＩＧＧＥＲ拡張：高速低レイテンシ通信チャネル（例；所望による機能；任意の詳細はオプションである）
・トリガ拡張、例えば、プレトリガ拡張は、例えば、Ａｄｖａｎｔｅｓｔトリガ、例えば、プレトリガ技術を使用して、例えば、自動試験機器、例えば、テスタとハンドラとの間の高速、例えば、低レイテンシ、例えば、リアルタイム及び／又は双方向通信を可能にすることができる。トリガライン又はワイヤ、例えばプレトリガライン又はワイヤは、例えば、自動試験機器、例えばテスタとハンドラとの間、及び例えば逆に、データを変調及び／又は伝送するために使用することができる。例えば、「サイトごとのアラーム」、「サイトごとの電源シャットダウン」、「サイト固有のプレトリガＩＤ」（例えば、試験フロー分岐に必要とされる）、及び／又は「サイト依存の冷却情報」などのデータ又は情報は、例えば、機器間でリアルタイムで送信することができる。この高速インターフェース、例えば、トリガインターフェース又はプレトリガインターフェースは、例えば、サイトごとのプレトリガ及び／又はアラーム処理インターフェースに必要とされる量のハードウェアを、例えば、既存の単一ライン又はワイヤのトリガ、例えば、プレトリガインターフェースに低減することができる。
・トリガ拡張、例えば、プレトリガ拡張は、例えば、Ａｄｖａｎｔｅｓｔトリガ、例えば、プレトリガ技術を使用して、例えば、自動試験機器、例えば、テスタとハンドラとの間の高速、例えば、低レイテンシ、例えば、リアルタイム及び／又は双方向通信を可能にすることができる。トリガライン又はワイヤ、例えばプレトリガライン又はワイヤは、例えば、自動試験機器、例えばテスタとハンドラとの間、及び例えば逆に、データを変調及び／又は伝送するために使用することができる。例えば、「サイトごとのアラーム」、「サイトごとの電源シャットダウン」、「サイト固有のプレトリガＩＤ」（例えば、試験フロー分岐に必要とされる）、及び／又は「サイト依存の冷却情報」などのデータ又は情報は、例えば、機器間でリアルタイムで送信することができる。この高速インターフェース、例えば、トリガインターフェース又はプレトリガインターフェースは、例えば、サイトごとのプレトリガ及び／又はアラーム処理インターフェースに必要とされる量のハードウェアを、例えば、既存の単一ライン又はワイヤのトリガ、例えば、プレトリガインターフェースに低減することができる。
オプション：「サイトごとの電力シャットダウン」
ハンドラがデバイスをもはや冷却することができないか、又はデバイスの熱ダイオードから温度を取得することができないとき、一部の場合では、被試験デバイスを電源から切断することが有利であるか、又は必須でさえあり得る。そうでなければ、試験セットアップを破壊する可能性がある。一部のデバイスは５００Ｗ～８００Ｗになる場合がある。
ハンドラがデバイスをもはや冷却することができないか、又はデバイスの熱ダイオードから温度を取得することができないとき、一部の場合では、被試験デバイスを電源から切断することが有利であるか、又は必須でさえあり得る。そうでなければ、試験セットアップを破壊する可能性がある。一部のデバイスは５００Ｗ～８００Ｗになる場合がある。
・本発明に係る実施形態、例えば実施例（個別に又は組み合わせて使用することができる）：
ａ）サイト依存ＡＴＣ（能動的熱制御）：
一部の場合では、アプリケーションは、例えば試験サイト固有の情報を、例えばリアルタイムでハンドラに送信することを必要とする。例えば、一部のデバイス（例えば、デバイスの試験サイト、又はサイト）は、異なる試験セットアップ（例えば、ＶＤＤ電圧）を有し、これは、例えば、より多くの放熱をもたらし得る。一部の場合では、ハンドラがトリガポイント、例えばプレトリガポイントにおいて、過冷却／過熱が発生しないことを可能にするために、又は例えば保証するために、どのサイトを後で冷却する必要があるかを知らされることが有利であるか、又は必要でさえあり得る。
ａ）サイト依存ＡＴＣ（能動的熱制御）：
一部の場合では、アプリケーションは、例えば試験サイト固有の情報を、例えばリアルタイムでハンドラに送信することを必要とする。例えば、一部のデバイス（例えば、デバイスの試験サイト、又はサイト）は、異なる試験セットアップ（例えば、ＶＤＤ電圧）を有し、これは、例えば、より多くの放熱をもたらし得る。一部の場合では、ハンドラがトリガポイント、例えばプレトリガポイントにおいて、過冷却／過熱が発生しないことを可能にするために、又は例えば保証するために、どのサイトを後で冷却する必要があるかを知らされることが有利であるか、又は必要でさえあり得る。
図１８に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図１８は、本発明の実施形態に係る試験サイト依存温度制御の概略的な例を示している。図１８は、２つの試験サイト、第１の試験サイト１８１０、サイト１、及び第２の試験サイト１８２０、サイトＮを示している。例えば、試験ルーチンの一部として、試験スイートバースト１８３０が試験サイトに適用される。所望により、試験サイト１８１０及び１８２０は、例えば、トリガシグナリング１８４０、例えば共通トリガ、例えばプレトリガ、又はトリガＡ、又はトリガポイントＡを受信してもよい。各試験サイト１８１０、１８２０について、ダイ温度の経時的な温度図の一例が示されている。開始時間、例えば０秒において、第１のサイト１８１０は、第２のサイト１８２０よりも低いダイ温度を含むことができる。概して、所望により、実施形態は、サイト依存温度を考慮に入れるように構成されてもよい。前述したように、一例として、ハンドラ、又は例えばハンドラ内の温度制御は、例えば０秒の時間に近いトリガシグナリング１８４０によって示されるように、トリガポイントにおいて、サイト特性、例えば第２のサイト１８２０がより高温であることを通知されてもよい。したがって、第２のより高温のサイト１８２０に対する遅延は、より長い「冷却」時間を可能にするために、より少なく又はより短くすることができる。それによれば、図１８に示されるように、第１のより低温の（０秒における）サイト１８１０は、より短い遅延時間、例えば１００ｍｓを受け取るより高温の（０秒における）第２のサイト１８２０よりも長い遅延時間、例えば１２０ｍｓを受け取ることができる。簡単に言えば、図１８に示されるような状況に関する一例として、ハンドラは、次の刺激の前に、より長い冷却時間を可能にするために、より高温の試験サイトの場合に、より短い期間にわたって冷却を遅らせてもよい。このようにして、全ての被試験デバイスを所望の温度間隔に保つために、例えば、被試験デバイスの冷却をスケジュールすることができる。
例えば、トリガシグナリングに加えて、追加のサイト固有情報（例えば、変調されたデータ）があり得る。
ｂ）サイト固有の試験フロー分岐
試験中、一部の試験サイトは、異なるブランチで実行され得る。一部の場合では、これは、例えば、ハードウェアトリガライン、例えば、１６又は３２サイト試験設定のために行うことが複雑であり得る、試験サイトごとのプレトリガラインのいずれかを要求し得る。
試験中、一部の試験サイトは、異なるブランチで実行され得る。一部の場合では、これは、例えば、ハードウェアトリガライン、例えば、１６又は３２サイト試験設定のために行うことが複雑であり得る、試験サイトごとのプレトリガラインのいずれかを要求し得る。
あるいは、例えば、変調された試験サイトＩＤ（識別）情報を用いてトリガ（例えば、プレトリガ）を識別することによって、単一のトリガライン（例えば、プレトリガライン）を使用することができる。ＩＤを介して、ハンドラには、どの試験サイト又は短い「サイト」がトリガ信号、例えばプレトリガ信号に作用すべきかを通知することができる。他の試験サイトは、トリガ、例えばプレトリガを無視してもよい。図１９において、試験サイト１はトリガ、例えばプレトリガ＃２を無視する。
図１９に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図１９は、本発明の実施形態に係る試験サイト固有の試験フロー分岐の概略的な例を示している。図１９は、所望による試験フローの例、例えば試験スイートを有する試験フローを示している。図１９は、第１のトリガシグナリング１９１０、例えばトリガ、例えばプレトリガ＃１を示している。第１のトリガシグナリング１９１０は、第１及び第２の試験サイト１９２０、例えば試験サイト１及び２に影響を与えることができ、又はこれらを考慮に入れることができる。一例として、第２のトリガシグナリング１９３０、例えばトリガ、例えばプレトリガ＃２は、第２の試験サイト１９４０のみに影響を与えてもよく、又は第２の試験サイト１９４０のみによって考慮されてもよい。第３のトリガシグナリング１９５０、例えばトリガ、例えばプレトリガ＃３は、第１及び第２の試験サイト１９２０に影響を与えてもよく、又は第１及び第２の試験サイト１９２０によって考慮されてもよい。結論として、一例として、試験サイト、例えば試験サイト１は、トリガ、例えばプレトリガ１、３を取得し、試験サイト、例えばサイト２は、トリガ、例えばプレトリガ１、２及び３を取得する。
ｃ）アラーム処理
一部の場合では、例えば、試験セットアップを保護するために、ハンドラは、いわゆる「温度暴走」を検出するように構成される必要がある場合がある。これは、例えば、ＡＴＣループにおける温度読み取りが、例えば、欠陥のある熱ダイオード又はケーブルによって中断された場合に起こる。この場合、ハンドラは、例えば特定の試験サイトを例えば直ちにシャットダウンする必要がある場合があり、例えば試験プログラムを実行している間に、デバイスのデータ処理又はビニング及び／又はデータロギングに影響を与える場合がある。例えば試験サイトごとにＡＬＡＲＭワイヤを有するハードウェアインターフェースを使用する代わりに、高速の、例えば低レイテンシのインターフェースが、例えばサイト情報をこの、例えば既存のトリガ信号、例えばプレトリガ信号に変調することによって、このタスクを実行することができる。この情報は、自動試験機器側又はテスタ側で復号化することができ、例えば、サイト固有の電源をシャットダウンすることができる。
一部の場合では、例えば、試験セットアップを保護するために、ハンドラは、いわゆる「温度暴走」を検出するように構成される必要がある場合がある。これは、例えば、ＡＴＣループにおける温度読み取りが、例えば、欠陥のある熱ダイオード又はケーブルによって中断された場合に起こる。この場合、ハンドラは、例えば特定の試験サイトを例えば直ちにシャットダウンする必要がある場合があり、例えば試験プログラムを実行している間に、デバイスのデータ処理又はビニング及び／又はデータロギングに影響を与える場合がある。例えば試験サイトごとにＡＬＡＲＭワイヤを有するハードウェアインターフェースを使用する代わりに、高速の、例えば低レイテンシのインターフェースが、例えばサイト情報をこの、例えば既存のトリガ信号、例えばプレトリガ信号に変調することによって、このタスクを実行することができる。この情報は、自動試験機器側又はテスタ側で復号化することができ、例えば、サイト固有の電源をシャットダウンすることができる。
かかるアラーム処理は、現在のインターフェース（例えばＧＰＩＢ）では、少なくとも妥当な反応時間内では不可能であることに留意されたい。
一例を図２０に示している。図２０に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図２０は、本発明の実施形態に係るアラーム処理の概略例を示し、図２０は、デバイス１７５０、自動試験機器１７１０、例えば、テスタ、及びハンドラ１７３０を示している。図２０は、単独で又は組み合わせて発生し得、本発明の実施形態によって対処され得る、異なる誤動作を示している。例えば、デバイス１７５０は、熱誤動作などの誤動作２０１０を受けることがあり、又は欠陥のあるデバイスであり得る。この場合、自動試験機器１７１０は、矢印２０２０で示すように、誤動作を検出することができ、又はデバイスからそれ以上データを受信せず、したがって被試験デバイスの誤動作を判定することができる。別の例として、自動試験機器１１０とハンドラとの間のシグナリング２０３０が妨害され、誤動作２０４０を被る場合がある。一例として、ワイヤが断線することがある。別の例として、デバイス温度が「暴走」（２０５０）することがあり、又はハンドラが温度「暴走」を検出（２０６０）することがある。前述したように、例えば誤動作２０１０又は２０５０の場合、自動試験機器及び／又はハンドラは、例えば温度測定に基づいて、かかる誤動作を検出することができる。ハンドラは、かかるデバイスを冷却することができ、又は自動試験機器は、対応する試験サイトをシャットダウンすることができる。例えば、適切な対策を調整するために、ハンドラは、アラームをトリガするように構成されてもよい。ハンドラ１７３０は、一部の場合では、リアルタイムでデバイスシャットダウンをトリガしてもよく、又はトリガする必要があってもよい。かかるシグナリングは、矢印２０７０によって示される。
２．トリガ拡張、例えば、プレトリガ拡張：高速かつ正確な自動試験機器、例えば、テスタ－ハンドラ－自動試験機器同期（例；所望による機能；任意の詳細はオプションである）
トリガ、例えばプレトリガの概念は、正確な機器同期を可能にすることができる。一例は、一部の場合では、例えば、必要な熱ダイオード較正である。熱ダイオードの温度特性は、プロセスに大きく依存し得る（例えば、ダイオードの逆電流）。これは、例えば、デルタ温度測定による試験で排除することができる。しかしながら、これは、一部の場合では、ハンドラと自動試験機器又はテスタとの間の高速かつ正確な同期タイミングを必要とし、正しい点、例えば、被試験デバイスの時点及び／又は点で温度を測定し得る。例えば、この較正工程中に温度測定に影響を与え得る、例えば、漏れ電流又はデバイスターンオン漏れ電流又は加熱効果を補償するために、例えば、非給電及び給電モードなどの異なるデバイス又は試験条件で測定を行うことができる。
Ａｄｖａｎｔｅｓｔのトリガ、例えばプレトリガ信号は、ハンドラに、例えばこの較正ベースライン（例えば以下のＰ１）をいつ測定すべきかを、例えば正確に知らせるために使用することができる。ベースラインは、例えば、誤差を補償するために、例えば、基準として次の温度測定に使用することができる。代替的に、又は更に、アクティブな同期は、例えば、大幅な試験時間の短縮を達成するのに役立ち得る。一部の場合では、それは、（他の解決策によって提案されるような）ＷＡＩＴ挿入の排除又は低減を可能にし、かつ／又は誤った試験条件で測定する不確実性を低減又は排除し得、したがって、例えば、誤った試験結果、又は例えば、遡ることが困難であり得る誤った温度計算による部品出荷を排除又は低減することができる。
注：この概念は、例えば、ＷＡＩＴ時間を使用する他のアプローチと比較して、大きな貢献を有し得る。待機時間がないことにより、試験時間を大幅に短縮することができる。これは、重要な経済的利点であり得る。
一例を図２１に示している。図２１に関する以下の説明は、実施形態の所望による特徴を参照する。図２１は、本発明の実施形態に係る較正の概略的な例を示している。図２１は、所望によるデバイスステータス２１１０の一例、試験実行２１２０の一例、及びトリガシグナリング２１３０、例えばトリガ、例えばプレトリガの一例についてのタイミング情報を示している。例えば、デバイスを挿入することができ、所望により、ハンドラは、ハンドラ情報２１４０、例えばハンドラＳｔａｒｔＯｆＴｅｓｔ、例えばデバイスがその場所、例えば所定の試験サイトにあり、試験を開始することができるというデバイスステータス２１１０を提供することができる。したがって、試験実行の試験前段階２１５０において、例えばトリガシグナリング２１３０、例えばトリガＰ１によってトリガされた試験前温度２１６０を基準として測定することができる。高速でリアルタイムのインターフェースを用いると、待機ステートメントを回避することができ、例えば、被試験デバイスが例えばトリガＰ１を介して較正測定の準備ができていることをハンドラにリアルタイムで通知することができることに留意されたい。較正に続いて、試験、例えば、試験実行２１２０の能動デバイス試験２１７０が実行されてもよく、試験中の更なる予想される温度上昇が、トリガシグナリング２１３０を介して提供される更なるトリガシグナリング又はトリガパルス（Ｐ２、Ｐ３、Ｐｎ）を使用してシグナリングされる。
一態様によれば、第１のトリガシグナリング又はトリガパルスＰ１は、被試験デバイスが基準測定の準備ができていることをシグナリングすることができる。換言すれば、試験の開始後の第１のトリガシグナリング又は第１のトリガパルスＰ１は、被試験デバイスが基準温度測定の準備ができていることを示すことができ、例えば、ハンドラによって、（例えば、被試験デバイス上の温度測定ダイオードによって提供される信号の評価に基づき得る）かかる基準温度測定をトリガするように解釈され得る。換言すれば、試験開始後の第１のトリガシグナリング又は第１のトリガパルスは、被試験デバイスが試験位置に挿入され、（所望により）ハンドラによる（例えば、被試験デバイス上の温度測定構造を使用した）基準温度測定を可能にするように適切にバイアスされていることを示すことができる。
更なるトリガシグナリング又はトリガパルス（例えば、試験又は試験シーケンス内の第１のトリガシグナリング又はトリガパルスの後）は、予想される次の温度上昇をシグナリングするプレトリガ情報であってもよい。したがって、更なるトリガシグナリング又はトリガパルスは、ハンドラによって、例えば温度上昇に先立って冷却を起動するためのプレトリガ信号として解釈されてもよい。
所望により、第２のトリガパルス（Ｐ２）は、デバイスがアクティブである（例えば、完全に電力供給されている）ことを示してもよい。しかしながら、（第１のトリガパルスに続く）第２のトリガパルスは、例えば、既にプレトリガシグナリングであってもよい。
例えば、ハンドラは、第１のトリガパルスに応答して基準温度測定を行ってもよく、次いで、連続的に（又は反復的に）更なる温度測定を行ってもよい。例えば、ハンドラは、較正目的で基準温度測定値を使用して、例えば、被試験デバイス上の温度測定構造の特性の影響を更なる温度測定値から除去してもよい。
３．より正確な温度制御を確実にするためのＡＴＣ機能の拡張（例；所望による機能；任意の詳細はオプションである）
例えば熱ダイオード情報以外の他の試験パラメータは、例えばデバイス温度ホットスポットのはるかに良好な予測及び調節挙動に寄与し得る。自動試験機器、例えばテスタ又はハンドラ又はその両方における特別なアルゴリズムは、このデータ、例えばパラメータを使用して、例えば各試験サイトの冷却振幅、持続時間、強度の例えば早期又は予測的決定を行うことができる。高速トリガ、例えばプレトリガ、及びハンドラと自動試験機器、例えばテスタとの間の通信チャネルは、一部の場合では、このデータ、例えばパラメータデータ又は制御パラメータを移送するために必要又は有利であり得る。
例えば熱ダイオード情報以外の他の試験パラメータは、例えばデバイス温度ホットスポットのはるかに良好な予測及び調節挙動に寄与し得る。自動試験機器、例えばテスタ又はハンドラ又はその両方における特別なアルゴリズムは、このデータ、例えばパラメータを使用して、例えば各試験サイトの冷却振幅、持続時間、強度の例えば早期又は予測的決定を行うことができる。高速トリガ、例えばプレトリガ、及びハンドラと自動試験機器、例えばテスタとの間の通信チャネルは、一部の場合では、このデータ、例えばパラメータデータ又は制御パラメータを移送するために必要又は有利であり得る。
パラメータデータ例：（限定されないが）（１又は複数又は全てのパラメータを使用することができる）
ａ．ＰＭＯＮ：リアルタイムＤＵＴ電力消費の監視
ｂ．Ｔｊ：実際のＤＵＴ接合温度
ｃ．ＳＰＴ：次の電力ホットスポットを警告する同期トリガ、例えばプレトリガ信号
ｄ．ＳＩＴＥ：サイト固有制御データ
ｅ．ＤＵＴ：ＤＵＴ固有制御データ
ｆ．ＴＥＳＴ：試験固有の応答データ
ｇ．ＦＬＯＷ：サブフロー特有の制御データを試験する
パラメータの制御
ｈ．次の温度ホットスポットの情報
ｉ．ホットスポットの持続時間
ｊ．ホットスポットの振幅
ｋ．サイト及びデバイス固有の温度制御データ。
ａ．ＰＭＯＮ：リアルタイムＤＵＴ電力消費の監視
ｂ．Ｔｊ：実際のＤＵＴ接合温度
ｃ．ＳＰＴ：次の電力ホットスポットを警告する同期トリガ、例えばプレトリガ信号
ｄ．ＳＩＴＥ：サイト固有制御データ
ｅ．ＤＵＴ：ＤＵＴ固有制御データ
ｆ．ＴＥＳＴ：試験固有の応答データ
ｇ．ＦＬＯＷ：サブフロー特有の制御データを試験する
パラメータの制御
ｈ．次の温度ホットスポットの情報
ｉ．ホットスポットの持続時間
ｊ．ホットスポットの振幅
ｋ．サイト及びデバイス固有の温度制御データ。
本発明の観点及び態様
以下では、本発明の観点及び態様が説明され、これらは、個別に又は組み合わせて使用されてもよく、本発明に係る実施形態の一部であってもよい。
以下では、本発明の観点及び態様が説明され、これらは、個別に又は組み合わせて使用されてもよく、本発明に係る実施形態の一部であってもよい。
１．トリガ、例えばプレトリガ機能を使用することによる、ＡＴＣを超えた自動試験機器又はテスタとハンドラとの間の正確かつ高速な同期。
２．例えば既存のトリガ（例えばプレトリガ）ハードウェアを変調することによって、自動試験機器又はテスタとハンドラとの間で、また例えばその逆にデータを伝送するための、例えば埋め込みプロトコルを有する、高速（例えばリアルタイム）通信チャネル（例えばトリガライン又は追加のシグナリング）。これは、サイト依存トリガ、例えば、プレトリガ及び／又はアラーム処理のための多くの試験サイトをサポートするための複雑なハードウェアインターフェースを更に低減し得る。
３．例えばより正確な温度調節を可能にし得る他のパラメータ、例えばパラメータデータ又は制御パラメータへの能動的熱制御（ＡＴＣ）の拡張。
２．例えば既存のトリガ（例えばプレトリガ）ハードウェアを変調することによって、自動試験機器又はテスタとハンドラとの間で、また例えばその逆にデータを伝送するための、例えば埋め込みプロトコルを有する、高速（例えばリアルタイム）通信チャネル（例えばトリガライン又は追加のシグナリング）。これは、サイト依存トリガ、例えば、プレトリガ及び／又はアラーム処理のための多くの試験サイトをサポートするための複雑なハードウェアインターフェースを更に低減し得る。
３．例えばより正確な温度調節を可能にし得る他のパラメータ、例えばパラメータデータ又は制御パラメータへの能動的熱制御（ＡＴＣ）の拡張。
最終的な見解
本発明の実施例及び実施形態は、本発明の態様に編成されて説明されているが、本発明の任意の態様の任意の実施形態は、本発明の任意の他の態様に組み込まれ、それに追加され、又はそれとともに実施され得ることに留意されたい。当業者に本発明のより良い理解を提供するために、特徴及び態様を強調するために、態様に分割された構成及び説明が選択される。
本発明の実施例及び実施形態は、本発明の態様に編成されて説明されているが、本発明の任意の態様の任意の実施形態は、本発明の任意の他の態様に組み込まれ、それに追加され、又はそれとともに実施され得ることに留意されたい。当業者に本発明のより良い理解を提供するために、特徴及び態様を強調するために、態様に分割された構成及び説明が選択される。
しかしながら、一例として、任意のインターフェース、例えばテスタインターフェース及び／又はハンドラインターフェースは、双方向及び／又は専用のリアルタイムインターフェースであってもよい。情報伝送の方向（例えば、一方向のみ又は両方向）は、特定の用途に応じて選択することができる。更に、提供される信号及び情報のいずれかは、自動試験機器からハンドラへの、又はその逆の、試験サイト固有の情報であってもよい。シグナリングは、テスタ及びハンドラインターフェースの任意の構成で提供又は受信されてもよい。更に、シグナリングは、複数の情報、例えば、トリガ情報、同期情報及び／又は追加情報を含んでもよい。しかしながら、この情報は、別個のシグナリング、例えば特定の情報に対する１つのシグナリングとして提供又は受信されてもよい。更に、シグナリングのいずれか又はそれらの組み合わせは、例えば、単一のチャネルを介して伝送されてもよい。
Claims (17)
- 被試験デバイスを試験するための自動試験機器とともに使用するためのハンドラであって、前記ハンドラは、
リアルタイムテスタインターフェースを含み、
前記リアルタイムテスタインターフェースは、試験サイト固有のシグナリングを自動試験機器に提供するように構成されている、
ハンドラ。 - 前記ハンドラは、温度誤動作を検出するように構成され、
前記試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト固有アラームであり、
前記ハンドラは、試験サイト固有のアラーム処理及び／又は試験サイト固有のシャットダウンを可能にするように構成されている、
請求項１に記載のハンドラ。 - 前記ハンドラは、前記自動試験機器への前記リアルタイムテスタインターフェースを介した前記シグナリングを使用して、前記被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように構成されている、
請求項１又は２に記載のハンドラ。 - 前記試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と調節情報との組み合わせを含み、
前記試験サイト識別情報は、前記調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成されている、
請求項１から３のいずれか一項に記載のハンドラ。 - 前記試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、かつ／又は
前記試験サイトＩＤは、前記試験サイト固有のシグナリング上に変調される、
請求項４に記載のハンドラ。 - 前記調節情報は、タイミング情報及び／又は制御振幅情報及び／又は制御持続時間情報を含む、
請求項４又は５に記載のハンドラ。 - 被試験デバイスを試験するための自動試験機器であって、
リアルタイムハンドラインターフェースを含み、
前記自動試験機器は、ハンドラから前記ハンドラインターフェースを介して試験サイト固有のシグナリングを受信するように構成されている、
自動試験機器。 - 前記試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト固有のアラームであり、
前記自動試験機器は、前記試験サイト固有のアラームを処理し、かつ／又は前記試験サイト固有のアラームに基づいて試験サイト固有のシャットダウンを実行するように構成されている、
請求項７に記載の自動試験機器。 - 前記自動試験機器は、前記ハンドラからのシグナリングの受信に応答して、前記被試験デバイスのデータ処理に影響を与えるように構成されている、
請求項７又は８に記載の自動試験機器。 - 前記試験サイト固有のシグナリングは、試験サイト識別情報と調節情報との組み合わせを含み、
前記試験サイト識別情報は、前記調節情報の試験サイト固有の関連付けを可能にするように構成されている、
請求項７から９のいずれか一項に記載の自動試験機器。 - 前記試験サイト識別情報は、試験サイトＩＤを含み、かつ／又は
前記試験サイトＩＤは、前記試験サイト固有のシグナリング上に変調される、
請求項１０に記載の自動試験機器。 - 前記調節情報は、タイミング情報及び／又は制御振幅情報及び／又は制御持続時間情報を含む、
請求項１０又は１１に記載の自動試験機器。 - 本明細書で定義される自動試験機器と、本明細書で定義されるハンドラと、を含む、
試験システム。 - 被試験デバイスを試験するための方法であって、
前記方法は、リアルタイムテスタインターフェースを介して自動試験機器に試験サイト固有のシグナリングを提供することを含む、
方法。 - 被試験デバイスを試験するための方法であって、
前記方法は、リアルタイムハンドラインターフェースを介してハンドラから試験サイト固有のシグナリングを受信することを含む、
方法。 - コンピュータ上で実行されるときに請求項１４又は１５に記載の方法を実行するためのコンピュータプログラム。
- 先行請求項のいずれか一項に記載のハンドラと、先行請求項のいずれか一項に記載の自動試験機器と、を含み、前記自動試験機器の前記ハンドラインターフェースと、前記ハンドラの前記テスタインターフェースとは、結合されている、
試験セル。
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