KR20230006566A - 양방향 전용 실시간 인터페이스를 사용하여 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비, 핸들러 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 실시예는 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(handler interface)를 포함하는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비를 포함하며, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링(trigger signaling)을 제공하도록 구성되고, 실시간 핸들러 인터페이스는 핸들러로부터 시그널링을 수신하도록 구성되고, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 수신된 시그널링을 고려하도록 구성된다.
따라서, 실시예는 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비와 핸들러를 위한 방법을 포함한다.
따라서, 실시예는 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비와 핸들러를 위한 방법을 포함한다.
Description
본 발명에 따른 실시예는 양방향 전용 실시간 인터페이스(interface)를 사용하여 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비, 핸들러(handler) 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 추가 실시예는 예를 들어 트리거(trigger)(예를 들어, 사전 트리거(pre-trigger)) 신호를 사용하는 고속 동기화 및 데이터 교환을 갖는 능동 온도 제어에 관한 것이다. 본 발명에 따른 추가 실시예는 고속 동기화 및 데이터 교환을 갖는 능동 온도 제어에 관한 것이다.
예를 들어, MPU(예를 들어, 마이크로프로세서), GPU(예를 들어, 그래픽 처리 장치) 및 MCU(예를 들어, 마이크로컨트롤러)와 같은 복잡한 디지털 디바이스(예를 들어, 피시험 디바이스(DUT: device under test)의 역할을 할 수 있음)는 많은 전력을 소비할 수 있다. 전력 소비 및 디바이스 온도 프로파일(profile)은 예를 들어 테스트 전반에 걸쳐(예를 들어, 자동 테스트 장비(ATE: automated test equipment)를 사용한 테스트 전반에 걸쳐) 달라질 수 있으며, 예를 들어 테스트 사이트(test-site)에 따라 달라질 수도 있다. 정밀한 온도 제어는 예를 들어 "평평한" 및/또는 예측 가능한 온도 프로파일을 갖는 이러한 디바이스를 테스트하는 데 중요하거나 필수적인 경우도 있다.
또한, 적은 시간 노력과 우수한 정밀도로 테스트를 수행할 수 있는 테스트 장비를 제공하는 것이 중요할 수 있다. 예를 들어 배선과 관련한 복잡도 및 수고로움의 정도가 제한되는 것이 이로울 수 있다.
따라서, 온도 제어 효율성, 테스트 정밀도 및 테스트 장비의 복잡성 사이에서 더 나은 절충안을 이루는 개념을 얻는 것이 요망된다.
이는 본 출원의 독립항의 발명의 대상에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 추가 실시예는 본 출원의 종속항의 발명의 대상에 의해 정의된다.
제1 양태에 따른 본 발명의 요약
본 발명의 제1 양태에 따른 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터(tester)")를 포함하며, 이 자동 테스트 장비는, 예컨대 별도의 시그널링 라인(signaling line) 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드(test head) 상에 배열되는, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트(endpoint) 인터페이스"를 포함한다.
핸들러 인터페이스는, 예를 들어 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 양방향 전용 인터페이스, 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스(application specific interface)이다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시(low latency), 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임(runtime) 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 실시간 핸들러 인터페이스는, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 트리거하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하도록 구성된다.
핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스 보드(board) 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드(load) 및 언로드(unload)하도록 구성될 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어하도록 구성될 수 있다. 더욱이, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 (핸들러를 제어하는) 제어 동작에 영향을 미치기 위한 시그널링을 핸들러에 추가로 제공하도록 구성될 수 있으며, 이 시그널링은 예를 들어 핸들러의 제어 동작을 결정하는 데 고려된다. 더욱이, 실시간 핸들러 인터페이스는, 예를 들어 실시간 테스터 인터페이스를 통해, 핸들러로부터 시그널링을 수신하도록 구성된다. 또한, 자동 테스트 장비는, 예를 들어 핸들러로부터 수신된 시그널링에 응답하여 테스트 흐름을 조정하기 위해, 예를 들어 테스트를 수행할 때 또는 테스트 데이터로부터 최종 테스트 결과를 도출할 때, 핸들러로부터 수신된 시그널링을 고려하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비와 함께 사용하기 위한 핸들러를 포함하며, 이 핸들러는 양방향 전용의 실시간 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 (버스 인터페이스가 아닌) "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
테스터 인터페이스는, 예를 들어 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 양방향 전용 인터페이스, 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스이다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스 보드(board) 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드(load) 및 언로드(unload)하도록 구성될 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 시그널링에 대한 응답으로, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 트리거하도록 구성된다. 또한, 핸들러는, 예를 들어 자동 테스트 장비에 의해 고려되기 위한, 시그널링을 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예는, 예를 들어 자동 테스트 장비(예를 들어 "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 트리거하기 위해 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하는 단계(예를 들어, 트리거 시그널링을 제공하여 온도 제어 기능을 트리거하는 단계)를 포함한다.
핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스 보드(board) 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드(load) 및 언로드(unload)하도록 구성될 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어하도록 구성될 수 있다. 더욱이, 트리거 시그널링은 핸들러의 제어 동작에 영향을 미치기 위한 핸들러에 보내는 시그널링을 포함할 수 있으며, 이 시그널링은 예를 들어 핸들러의 제어 동작을 결정하는 데 고려된다.
핸들러 인터페이스는, 예를 들어 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 양방향 전용 인터페이스, 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스이다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
핸들러 인터페이스는, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드 상에 배열되는, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"일 수 있다.
또한, 방법은 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러로부터 (예를 들어, 실시간 테스터 인터페이스를 통한) 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 방법은, 예를 들어 핸들러로부터 수신된 시그널링에 응답하여 테스트 흐름을 조정하기 위해, 예를 들어 테스트를 수행할 때 또는 테스트 데이터로부터 최종 테스트 결과를 도출할 때, 핸들러로부터 수신된 시그널링을, 예컨대 자동 테스트 장비에서, 고려하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예는 예를 들어 핸들러와 함께 사용되고/되거나 자동 테스트 장비와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 이 방법은 수신된 시그널링에 대한 응답으로, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 트리거하는 단계를 포함한다.
테스터 인터페이스 및/또는 핸들러 인터페이스는, 예를 들어 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 양방향 전용 인터페이스, 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스이다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다. 또한, 방법은, 예를 들어 자동 테스트 장비에 의해 고려되기 위한, 시그널링을 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하는 단계를 포함한다.
제1 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제1 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제1 양태에 따른 추가 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 실시예에 따른 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
제1 양태에 따른 추가 실시예는 실시예에 따른 핸들러 및 실시예에 따른 자동 테스트 장비를 포함하는 테스트 셀(test cell)을 포함하며, 여기서 자동 테스트 장비의 핸들러 인터페이스와 핸들러의 테스터 인터페이스는 결합된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 실시예는 양방향 전용 실시간 인터페이스를 제공하기 위한 발상에 기초하며, 실시간 핸들러 인터페이스는 자동 테스트 장비를 포함하는 실시예에서 (예를 들어, 자동 테스트 장비 측에서) 사용되고/되거나, 실시간 테스터 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러를 포함하는 실시예에서 (예를 들어, 핸들러 측에서) 사용된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 실시예의 개념은 아래에서 자동 테스트 장비의 맥락에서 설명될 것이다. 그 기본 개념은 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러와 함께 사용되는 방법에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 본 명세서에서 논의되는 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 핸들러, 테스트 시스템, 테스트 셀, 및/또는 자동 테스트 장비용, 핸들러용, 테스트 시스템용 또는 테스트 셀용 방법 각각 또는 이들의 조합에 선택적으로 (예를 들어, 동일하거나 유사한 방식으로) 사용될 수 있다.
실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스를 포함하고, 이 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하도록 구성된다.
인터페이스가 실시간 인터페이스이기 때문에, 특정 사양(예를 들어, 온도 제한)에 따른 즉각적인 반응이 가능하도록 온도 제어를 위한 정보가 전송될 수 있다. 즉, 런타임에 데이터 교환이 가능할 수 있다. 이러한 시그널링의 레이턴시는 특정 시간 제한 미만, 예를 들어 1ms 미만일 수 있다. 결과적으로, 정보 전송 속도가 빨라져 보다 정밀하게 온도 제어가 수행될 수 있다. 이러한 실시간 기능을 제공하기 위해 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있는 추가 인터페이스일 수 있다. 본 발명자들은 다른(예를 들어, 종래의) 인터페이스보다 더 빠를 수 있는 이러한 인터페이스가 예를 들어 런타임에 실시간 테스트 조정을 허용한다는 것을 인식했다. 이는 정확성과 효율성이 향상된 테스트를 제공할 수 있다. 피시험 디바이스의 열 핫스팟(hot spot) (또는 심지어 열 폭주)이 더 빨리 인식될 수 있으므로 이러한 실시간 인터페이스가 없는 경우보다 조기에 대응 방안을 수행할 수 있다.
또한, 인터페이스는 전용 핸들러 인터페이스이다. 예를 들어, 정보 전송에 필요한 속도를 제공하기 위해 인터페이스는 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성될 수 있다. 선택적으로, 인터페이스는 예를 들어 범용 인터페이스와 대조적으로 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다. 결과적으로, 인터페이스에 의해 사용되는 통신 프로토콜은 예를 들어 실시간 시그널링을 제공하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따르면, 인터페이스는 또한 양방향 인터페이스이다. 인터페이스의 양방향성은 양방향 통신을 가능하게 하므로 광범위한 테스트 조정의 가능성이 있다. 예를 들어, 테스터는 예를 들어 테스트 프로그램에 의해 야기되는 피시험 디바이스의 곧 있을 예상 열 피크(peak)를 핸들러에 알릴 수 있다. 이에 대한 응답으로 핸들러는 테스터에 디바이스의 현재 온도를 알릴 수 있고, 핸들러는 예를 들어 이전 냉각 시간을 연장하여 피시험 디바이스의 열 핫스팟(또는 열 폭주)을 방지하기 위해 테스트 프로그램을 조정하기 위해 이 온도를 고려할 수 있다.
이러한 본 발명의 실시간 양방향 전용 인터페이스는 예를 들어 테스터와 핸들러 사이의 임박하고(예를 들어, 직접적이고) 빠른 통신 경로를 가능하게 한다. 또한, 이러한 인터페이스는 예를 들어 피시험 디바이스의 테스트 주기에 유용할 수 있는 다른 시간 임계 정보를 제공 및/또는 수신하기 위해 사용될 수 있다는 점에 유의해야 한다.
본 발명자들은 실시간 양방향 전용 인터페이스가 핸들러의 태스크에 대한 테스터의 처리 성능의 사용을 허용한다는 것을 인식했다. 제어 루프, 예를 들어 온도 제어 루프는 피시험 디바이스, 핸들러 및 자동 테스트 장비를 포함하여 구현될 수 있다. 실시간 인터페이스를 통해 테스터는, 예를 들어 런타임 시 핸들러의 온도 제어 정보에 대한 입력 정보를 사용하여, 피시험 디바이스의 온도 제어에 참여할 수 있다. 그 반대로, 핸들러는 테스터가 예를 들어 냉각 진폭 및/또는 냉각 지속 시간 및/또는 냉각 시간을 포함하는 이러한 온도 제어 정보를 계산할 수 있도록 실시간으로 측정 데이터를 제공할 수 있다.
따라서, 양방향 전용 실시간 인터페이스인 인터페이스는 시너지 효과를 허용하며, 예를 들어, 이전에 설명된 바와 같이 테스터, 핸들러 및 디바이스 사이의 실시간 제어 루프를 허용한다. 또한, 이러한 루프는 전송된 정보(예를 들어, 핸들러에 의해 제공되는 측정 데이터) 및 자동 테스트 장비에 의해 결정되고 제공되는 조정 정보에 기초하여 런타임에 테스트 흐름을 조정하기 위해 사용될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 핸들러의 기능을 동기화하기 위한 동기화 시그널링을 핸들러에 제공하도록 구성된다.
피시험 디바이스의 사전 결정된 특정 조건에서 측정을 트리거하기 위해 동기화가 수행될 수 있다. 대기문(wait statement)을 구현하는 것과 대조적으로 실시간 인터페이스를 통한 동기화는 더 빠르고/빠르거나 정확할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능을 제어하기 위해 핸들러에 테스트 사이트 특정 시그널링(test-site specific signaling)을 제공하도록 구성된다.
예를 들어, 일부 디바이스(예를 들어, 디바이스의 테스트 사이트, 또는 사이트)는 상이한 테스트 셋업(test setup)(예를 들어, VDD 전압)을 가지며, 이는 예를 들어 더 많은 방열(heat dissipation)로 이어질 수 있다. 어떤 경우에는, 과소 냉각/과열이 발생하지 않도록 하기 위해(또는, 예를 들어, 보장하기 위해) 어느 사이트가 나중에 냉각되어야 하는지를 트리거 포인트(trigger point)(예를 들어, 사전 트리거 포인트)에서 핸들러에 알리는 것이 유리하거나 필요할 수도 있다. 테스트 사이트 특정 정보를 통해 테스트 루틴의 유연성을 높일 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러로부터 수신된 시그널링은 테스트 사이트 특정 시그널링이다. 서로 다른 테스트 사이트에 있는 복수의 피시험 디바이스의 경우, 예를 들어 피시험 디바이스의 특정 온도에 대한 개별 정보가 전송될 수 있다. 따라서 각각의 피시험 디바이스는 개별적으로 제어될 수 있다. 결과적으로, 하나의 디바이스의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)이 검출될 수 있으며 다른 디바이스에 대한 테스트 루틴을 방해하지 않고 해당 디바이스가 셧다운(shut down)될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 자동 테스트 장비 또는 핸들러는 우수한 테스트 속도 및 우수한 테스트 유연성을 제공할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스는 트리거 시그널링 외에 추가 시그널링을 제공하도록 구성되며, 이 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터), 및/또는 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정된 하나 이상의 측정 값(예를 들어, PMON, TJ) 및/또는 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW)에 대한 정보, 예를 들어, 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 경보(alarm) 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적(test-site specific) 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다. 추가 시그널링을 제공함으로써 앞서 언급된 인터페이스의 양방향 기능 및 실시간 기능의 이점과 함께 시너지 효과를 내며 복수의 기능을 사용할 수 있다. 데이터 전송 및 그에 따른 테스트 조정, 테스트 평가 및 테스트 문제에 대한 대응은, 예를 들어 반응 시간이 단축되고 다른 한편으로는 사이트 특정 조정으로 인해 보다 빠르고 정밀하게 수행될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는, 시그널링(예를 들어, 핸들러로부터의 시그널링)에 반응하여, 예를 들어 테스트를 중단시킴으로써 및/또는 전원을 비활성화함으로써, 및/또는 다른 테스트를 선택함으로써 및/또는 클록(clock) 주파수, 공급 전압 등과 같은 하나 이상의 테스트 매개변수를 변경함으로써, 테스트 흐름을 조정하도록 구성될 수 있다.
반응은 예를 들어 실시간으로 수행될 수 있다. 예를 들어, 피시험 디바이스의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)은 그 전원을 비활성화함으로써 중단될 수 있다. 또한, 테스트 주기는 핸들러로부터의 시그널링에 따라 조정될 수 있다. 상이한 거동으로 테스트 자극에 응답하는 디바이스는 상이한 품질 범주로 분류될 수 있으며, 예를 들어 상이한 방식으로 추가 테스트될 수 있다. 테스트 흐름의 조정은 테스트 절차의 효율성과 유연성을 증가시킬 수 있다. 따라서, 테스트 비용도 절감될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터의 시그널링에 반응하여 예를 들어 전원을 비활성화함으로써 테스트를 중단시키도록 구성된다. 테스트 중단은 예를 들어 복수의 디바이스 중 특정 디바이스에 대해 또는 복수의 디바이스의 일 테스트에 대해 개별적으로 수행될 수 있다. 테스트 중단은 디바이스 손상을 방지하고, 나머지 디바이스에 대한 테스트 절차를 재개하기 위해 오작동하는 디바이스를 신속하게 처리할 수 있다. 이러한 방식으로 오작동에도 불구하고 테스트 시간이 단축되고 우수한 테스트 유연성이 제공될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 비활성화 시그널링을 수신하도록 구성되고, 이 비활성화 시그널링은 예를 들어 핸들러의 비정상 상태 또는 오류 상태 또는 온도 제어가 안정적이지 못한 상태 또는 과온(예를 들어, 초과 온도 조건) 또는 부족 온도(미달 온도 조건) 또는 예를 들어 하나 이상의 테스트 사이트를 "셧다운"시키는 "온도 폭주" 조건을 나타낸다.
핸들러는 피시험 디바이스의 상태를 평가하고 해당 상태를 자동 테스트 장비에 전송하도록 구성될 수 있다. 피시험 디바이스에 오작동이 발생하는 경우 자동 테스트 장비에 비활성화 시그널링이 제공될 수 있다. 비활성화는 피시험 디바이스가 파괴되기 전에 수행될 수 있으므로 다른 피시험 디바이스에 대한 테스트를 계속 진행할 수 있고, 이로 인해 오작동이 발생하더라도 보다 빠른 테스트를 수행할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 예를 들어 과온(예를 들어, 초과 온도 조건) 또는 부족 온도(미달 온도 조건)를 나타내는 온도 경고 시그널링을 수신하도록 구성된다. 이로 인해 예를 들어 자동 테스트 장비가 피시험 디바이스의 상태에 따라 테스트 프로세스를 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 실시예는 디바이스 고장에 대처할 수 있는 가능성을 제공할 뿐만 아니라 고장을 방지하거나 디바이스 고장을 예측하는 것이 가능할 수도 있다. 이를 통해 테스트를 빠르고 효율적으로 조정할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 수신된 시그널링에 응답하여 테스트를 중단시키도록 구성된다. 결과적으로 디바이스 손상을 방지할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성된다. 전술한 바와 같이, 디바이스의 테스트 주기는 개별적으로 조정될 수 있다. 또한, 테스트 사이트 특정 시그널링에 따라 디바이스의 범주화 및 분류가 수행될 수 있다. 결과적으로 고도의 유연성으로 테스트를 수행할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신한 것에 응답하여 테스트 사이트 특정적으로(test-site specifically) 테스트를 중단시키도록 구성된다. 다른 피시험 디바이스의 테스트 주기가 중단 없이 계속 진행되도록 하나의 디바이스가 중단될 수 있다. 이를 통해 전체 테스트를 신속하게 수행할 수 있고 따라서 디바이스 배치(batch)의 테스트 비용을 줄일 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 시그널링을 수신한 것에 대한 응답으로, 예를 들어 과온(예컨대, 피시험 디바이스 또는 피시험 디바이스 사이트(예컨대, 테스트 사이트)의 초과 온도 조건)을 나타내는 선택적으로 테스트 사이트 특정적인 시그널링에 대한 응답으로, (예를 들어, 테스트 사이트 특정 방식으로) 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하도록(예를 들어, 사이트 특정 전원을 차단하도록) 구성된다.
특정 디바이스의 전원 차단은 하나 또는 소수의 피시험 디바이스만이 과온과 같은 문제를 겪을 때 복수의 디바이스로 구성된 테스트 셋업의 고장을 방지한다. 따라서, 디바이스 손상이 방지되고 오작동이 없는 디바이스에 대한 테스트가 계속 수행될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 (예를 들어, 테스트 사이트 특정) 시그널링을 수신한 것에 대한 응답으로 피시험 디바이스의 데이터 처리에 영향을 미치도록(예를 들어, 비닝(binning)을 조정하도록) 구성된다. 예를 들어, 피시험 디바이스의 과온 또는 피시험 디바이스의 오작동이 발생한 경우, 디바이스의 측정 및 응답이 더 이상 기록되지 않도록 해당 디바이스의 데이터 처리가 영향을 받을 수 있다. 이는 실시간 인터페이스를 통해 실시간으로 수행될 수 있어, 예를 들어 피시험 디바이스 배치(batch)의 전체 평가에 영향을 미치지 않고, 잘못된 데이터가 즉시 폐기될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는, 예를 들어 테스트 결과를 제공하기 위해 또는 피시험 디바이스의 특성에 대한 정보를 제공하기 위해 또는 테스트 결과의 신뢰성에 대한 정보를 제공하기 위해, 핸들러로부터 수신된 시그널링을 로그(log)하도록 구성된다. 실시간 인터페이스를 통해 이는 핸들러 데이터와 테스트 루틴의 더 나은 동기화(예를 들어, 테스터로부터의 테스트 자극과 핸들러로부터의 온도 데이터의 동기화된 할당)를 허용할 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 실시간으로 반응하도록 구성되어, 예를 들어 자동 테스트 장비의 반응이 피시험 디바이스의 내부 열 변화 또는 제어 루프(예를 들어, 온도 제어 기능의 제어 루프)의 시간 상수보다 빠르다. 이러한 빠른 반응으로 과열된 피시험 디바이스의 파괴를 방지할 수 있다. 또한, 애초에 피시험 디바이스의 과열을 방지하도록 테스트 매개변수가 조정될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예가 아래에서 더 상세하게 설명된다. 그러나, 자동 테스트 장비와 관련하여 설명된 이점 및 예는 대응하는 핸들러에 대해서도 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 전술한 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 대응하는 핸들러에 대해 사용되거나 이에 통합되거나 조정될 수 있다. 예를 들어, 시그널링을 제공하도록 구성된 자동 테스트 장비는 해당 시그널링을 수신하도록 구성된 대응하는 핸들러로 대체될 수 있으며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다. 다른 예로서, 태스크를 수행하기 위해 자동 테스트 장비가 핸들러에 시그널링을 제공하는 것은 대응하는 핸들러가 시그널링을 수신하고 해당 태스크를 수행하도록 구성되는 것으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 동기화 시그널링을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 동기화 시그널링에 응답하여, 온도 제어 기능을 트리거하는 것(예를 들어, 사전 트리거하는 것)에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비와 동기화하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 대한 응답으로 온도 제어 기능을 제어하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로 보내는 시그널링은 테스트 사이트 특정 시그널링이다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 실시간 테스터 인터페이스를 통해 트리거 시그널링을 수신하고, 트리거 시그널링 외에 추가 시그널링을 수신하도록 구성되며, 이 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터), 및/또는 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정된 하나 이상의 측정 값(예를 들어, PMON, TJ) 및/또는 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW)에 대한 정보, 예를 들어, 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다. 대안적 또는 추가적으로, 시그널링은 경보 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다.
또한, 핸들러는 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트의 온도를 제어하기 위해(예를 들어, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절을 결정하거나 변경하기 위해) 추가 시그널링을 사용하도록 구성된다.
추가 시그널링을 사용하는 핸들러로 정확한 온도 조절이 가능하다. 정보는 실시간 인터페이스를 통해 실시간으로 전송되어 고속 온도 조절을 위한 최신 데이터를 제공할 수 있다. 또한, 온도 조절기는 시그널링에 의해 전송되는 복수의 매개변수를 고려할 수 있다. 온도 핫스팟과 같은 곧 있을 이벤트에 대한 정보를 사용하여 예측 온도 제어가 구현될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 흐름의 조정을 위한(예를 들어, 테스트의 중단 및/또는 전원의 비활성화를 위한 및/또는 상이한 테스트의 선택을 위한 및/또는 클록 주파수, 공급 전압 등과 같은 하나 이상의 테스트 매개변수의 변경을 위한) 시그널링을 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 비활성화 시그널링을 제공하여 예를 들어 하나 이상의 테스트 사이트의 "셧다운"을 야기하도록 구성된다. 따라서, 핸들러는 과온 시 디바이스 손상을 방지할 수 있다. 양방향 실시간 인터페이스로 인해 핸들러로부터 즉각적인 피드백이 가능할 수 있으며, 이는 디바이스에서 핸들러, 자동 테스트 장비로의 제어 루프를 가능하게 한다. 이를 통해 정확하고 빠르고 안전한 온도 제어가 가능하다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예컨대 열적이고, 예컨대 테스트 사이트 특정적인, 오작동(예를 들어, 온도 제어가 안정적이지 못한 상태 또는 과온 조건 또는 부족 온도 조건 또는 "온도 폭주" 조건, 또는 핸들러의 비정상 상태 또는 오류 상태)을 검출하도록 구성된다. 또한, 핸들러는, 예를 들어 피시험 디바이스에 전원을 공급하는 자동 테스트 장비의 디바이스 전원을 비활성화하기 위해, 오작동의 검출에 응답하여 자동 테스트 장비에 비활성화 시그널링 또는 오작동 시그널링과 같은 시그널링을 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예를 들어 과온(예를 들어, 초과 온도 조건) 또는 부족 온도(미달 온도 조건)를 나타내기 위한, 온도 경고 시그널링을 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예를 들어 테스트를 중단시키기 위해 또는 특정 피시험 디바이스 또는 피시험 디바이스 사이트에 대한 테스트를 중단시키기 위해, 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 중단 시그널링을 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예를 들어 테스트를 중단시키기 위해 또는 특정 피시험 디바이스 또는 피시험 디바이스 사이트에 대한 테스트를 중단시키기 위해, 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 중단 시그널링을 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예컨대 테스트 사이트 특정 방식으로 예컨대 테스트 사이트 특정 전원을 차단시키기 위해, 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하기 위한 비활성화 시그널링을 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로 보내는 시그널링을 사용하여 피시험 디바이스의 데이터 처리(예를 들어, 비닝(binning) 및 데이터 로깅(datalogging))에 영향을 미치도록 구성된다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 자동 테스트 장비에 의한 로그를 위한 시그널링을 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성된다. 핸들러는 피시험 디바이스의 특수 이벤트 또는 거동을 검출할 수 있다. 자동 테스트 장비가 추가 분석을 위해 예컨대 이러한 디바이스의 테스트 데이터를 로그하도록 실시간 인터페이스를 통해 신호가 제공될 수 있다. 따라서, 유연하고 조정 가능한 테스트가 제공될 수 있다.
본 발명의 제1 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 제공된 신호에 대한 응답으로 자동 테스트 장비의 실시간 반응을 가능하게 하기 위한 시그널링을, 실시간으로(예를 들어, 무혼잡 및/또는 무차단 테스터 인터페이스를 통한, 예컨대 저 레이턴시(예를 들어, 1ms 미만이거나 심지어 1마이크로초 미만의 레이턴시)로) 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성된다.
제2 양태에 따른 발명의 요약
본 발명의 제2 양태에 따른 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")를 포함하며, 이 자동 테스트 장비는, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드 상에 배열되는, 실시간 핸들러 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 실시간 핸들러 인터페이스는, (예를 들어, 능동적인) 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 디바이스의 예상되는 온도 변화 또는 디바이스의 예상되는 전력 손실 변화에 선행하는 온도 제어 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 또는 예열 기능을 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하기 위해, 핸들러(예를 들어, 피시험 디바이스 보드 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드 및 언로드할 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어할 수 있음)에 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링을 제공하도록 구성된다.
또한, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하는 것(예를 들어, 사전 트리거하는 것)에 국한되지 않는 핸들러의 기능을 동기화하기 위한 동기화 시그널링을 핸들러에 제공하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비와 함께 사용되는 핸들러를 포함하며, 핸들러는 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 핸들러(예를 들어, 피시험 디바이스 보드 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드 및 언로드할 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어할 수 있음)는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거 시그널링을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 트리거 시그널링에 대한 응답으로 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능을 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하도록 구성된다.
또한, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 동기화 시그널링을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 동기화 시그널링에 대한 응답으로, 온도 제어 기능을 트리거하는 것(예를 들어, 사전 트리거하는 것)에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비와 동기화하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예는 예컨대 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 디바이스의 예상되는 온도 변화 또는 디바이스의 예상되는 전력 손실 변화에 선행하는 온도 제어 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 또는 예열 기능을 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하기 위해, 핸들러(예를 들어, 피시험 디바이스 보드 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드 및 언로드할 수 있고, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같은 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를 제어할 수 있음)에 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링을 제공하는 단계를 포함한다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 핸들러 인터페이스는 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"일 수 있고, 예컨대 별도의(예를 들어, 개별, 전용) 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 테스트 헤드 상에 배열될 수 있다. 즉, 예를 들어, 트리거 및 통신 둘 모두에 사용되는 하나의 통신 채널이 존재한다. 대안적으로, 다수의 통신 채널이 존재할 수도 있으며, 트리거는 통신 채널 중 하나를 통해 수행되며, 이 통신 채널은 (트리거 기능에 추가하여) 통신용으로도 사용된다. 더욱이, 방법은 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 동기화 시그널링을 제공하는 단계를 포함하고, 방법은 온도 제어 기능을 트리거하는 것(예를 들어, 사전 트리거하는 것)에 국한되지 않는 핸들러의 기능을 동기화하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예는 예를 들어 핸들러와 함께 사용되고/되거나 자동 테스트 장비와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 이 방법은 수신된 트리거 시그널링에 대한 응답으로 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능을 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하는 단계를 포함한다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 이 방법은 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 동기화 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 이 방법은 수신된 동기화 시그널링에 응답하여, 온도 제어 기능을 트리거하는 것(예를 들어, 사전 트리거하는 것)에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비와 동기화하는 단계를 포함한다.
제2 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제2 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제2 양태에 따른 추가 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 실시예에 따른 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
제2 양태에 따른 추가 실시예는 실시예에 따른 핸들러 및 실시예에 따른 자동 테스트 장비를 포함하는 테스트 셀을 포함하며, 자동 테스트 장비의 핸들러 인터페이스와 핸들러의 테스터 인터페이스는 결합된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 실시예는 자동 테스트 장비와 핸들러의 동기화를 수행하기 위한 발상에 기초하며, 실시간 핸들러 인터페이스는 자동 테스트 장비를 포함하는 실시예에서 (예를 들어, 자동 테스트 장비 측에서) 사용되고/되거나, 실시간 테스터 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러를 포함하는 실시예에서 (예를 들어, 핸들러 측에서) 사용된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 실시예의 개념은 아래에서 자동 테스트 장비의 맥락에서 설명될 것이다. 그 기본 개념은 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러와 함께 사용되는 방법에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 본 명세서에서 논의되는 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 핸들러, 테스트 시스템, 테스트 셀, 및/또는 자동 테스트 장비용, 핸들러용, 테스트 시스템용 또는 테스트 셀용 방법 각각 또는 이들의 조합에 선택적으로 (예를 들어, 동일하거나 유사한 방식으로) 사용될 수 있다.
실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 실시간 핸들러 인터페이스를 포함하고, 이 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하도록 구성된다. 그러나, 또한, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 핸들러의 기능을 동기화하기 위한 동기화 시그널링을 핸들러에 제공하도록 구성된다. 실시간 인터페이스를 이용하여 테스터와 핸들러는 복수의 정보를 교환할 수 있다. 이 정보는 피시험 디바이스에 관한 온도 정보, 디바이스 상태, 또는 상태, 또는 디바이스의 테스트와 관련될 수 있는 기타 다른 정보를 포함할 수 있다. 피시험 디바이스를 테스트하는 것은 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터)와 핸들러의 상호 작용일 수 있다. 테스터는 피시험 디바이스에 대한 자극을 제공할 수 있고, 핸들러는 디바이스를 감독(예를 들어, 디바이스의 온도 또는 디바이스의 기타 환경 조건을 모니터링)할 수 있다. 동기화 시그널링은 테스터와 핸들러 간의 동기화를 가능하게 한다. 이는 테스터 데이터를 핸들러 데이터에 할당하기 위해 유용하거나 경우에 따라 필요할 수도 있다. 원인과 결과, 또는 자극과 측정의 정확한 정보(예를 들어, 정확한 타이밍 정보)가 없으면 테스트 결과나 평가가 덜 정확할 수 있다. 실시간 인터페이스는 테스터와 핸들러 간의 고속 동기화를 가능하게 한다. 대기문(wait statement)이 필요하지 않으며, 테스터와 핸들러 간에 매우 정확한 동기화를 제공할 수 있다. 따라서, 피시험 디바이스의 향상된 테스트를 수행할 수 있다.
또한 테스터와 핸들러 간의 동기화를 통해 이 둘의 더 나은 협력이 가능하다. 피시험 디바이스에 대한 테스터의 자극은 핸들러의 최근 정보와 관련하여 조정될 수 있다. 테스터와 핸들러가 동기화되지 않은 경우, 핸들러에 의해 검출된 피시험 디바이스의 과온과 같은 이벤트에 대해 적절한 시간 내에 반응하기 어려울 수 있다. 실시간 인터페이스를 사용하면 예를 들어 테스터와 핸들러의 동기화를 위한 대기문을 따를 필요가 없기 때문에 예를 들어 디바이스 손상을 방지할 수 있다.
조정뿐만 아니라, 간단한 측정도 동기화된 테스터와 핸들러를 사용하여 유리하게 수행될 수 있다. 핸들러는 예를 들어 특정 조건에서(예를 들어, 자극 후 일정 시간 후에) 피시험 디바이스를 측정하도록 지시를 받을 수 있다. 이러한 측정은 테스터와 핸들러가 동기화되면 쉽게 수행될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 실시예는 피시험 디바이스의 매우 유연하고 조정 가능한 테스트를 허용한다. 본 발명자들은, 실시간 핸들러 인터페이스가 앞서 언급된 동기화 시그널링을 (예를 들어, 온도 제어 기능을 단순히 트리거하는 것에 국한되지 않는) 추가 기능을 제공하는 시그널링으로서 제공할 수 있다는 것을 인식했다. 따라서, 자동 테스트 장비에 의해 동기 측정을 위한 명령과 같은 추가 명령 또는 지시가 핸들러에 제공될 수 있다. 예를 들어, 테스트의 시작 또는 테스트 시퀀스의 시작을 동기화하기 위해 교정 명령이 핸들러에 전송될 수 있다. 정보의 실시간(예를 들어, 즉각적인) 전송은 테스터와 결합하여 핸들러의 교정 및 확장된 측정 루틴을 허용할 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 핸들러에 보내는 동기화 시그널링에 기초하여 핸들러와의 능동 동기화를 가능하게 하도록 구성되고, 능동 동기화는 대기 삽입(wait insertion)이 없는 동기화이다.
실시간 인터페이스는 (예를 들어, 대기 삽입 형태의) 지연 없이 동기화를 가능하게 한다. 자동 테스트 장비는 정확히 언제 측정할지를 핸들러에 알릴 수 있다. 또한, 실시간 인터페이스를 사용하면 측정을 자극이나 디바이스의 상태와 정확하게 동기화하는 것이 가능할 수 있으며, 이는 디바이스의 상태 및 정확한 측정 시기에 대한 불확실성을 초래할 수 있는 종래의 대기 삽입에 비해 이점을 제공한다. 또한, 능동 동기화를 통해 테스트 시간을 크게 줄일 수 있다.
또한, 예를 들어 양방향 인터페이스의 경우, 능동 동기화는 자극-응답 방식으로 수행될 수 있다. 자동 테스트 장비는 핸들러에 자극을 보낼 수 있고 핸들러는 온도와 같은 디바이스 특성의 측정으로 응답할 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는, 예컨대 동기화 시그널링으로서, 교정 타이밍 정보를 핸들러에 전송하여 핸들러의 교정(예를 들어, 자가 교정) 타이밍을 결정하도록 구성될 수 있으며, 예컨대 이 교정은 예컨대 테스트 흐름의 사전 결정된 단계에서 테스트 흐름과 동기화되어 수행된다.
이를 통해, 측정을 위한 정확한 교정 및 타이밍 정보로 인해 테스트 자극과 측정 데이터(예를 들어, 핸들러의 측정 데이터)간의 할당이 개선될 수 있으며, 이로 인해 테스트 시간이 훨씬 더 개선될 수 있다(더 짧아질 수 있음). 예를 들어, 타이밍 동기화를 사용하면 불필요한 대기 시간을 피할 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는, 피시험 디바이스가 사전 결정된 방식으로(예를 들어, 핸들러 또는 조절 루프의 교정(또는 자가 교정)에 적합한 방식으로) 전원을 공급받거나 바이어스되거나(biased) 초기화되는 것을 나타내는 시그널링을, 예컨대 동기화 시그널링으로서, 전송하도록 구성된다. 이는, 예를 들어 기준 신호(예를 들어, 기준 온도)를 제공하도록 피시험 디바이스를 조작할 수 있는 피시험 디바이스에 대한 시그널링(예를 들어, 전원 조건)을 자동 테스트 장비가 조정한 후에, 핸들러의 즉각적인 교정을 허용할 수 있다. 기준 신호를 사용하여 추가 핸들러 측정이 교정될 수 있다. 실시간 인터페이스는 핸들러의 즉각적인(예컨대 빠른, 예컨대 실시간의) 반응을 허용할 수 있으므로, 교정이 최소한의 지연으로 그리고 교정에 유리한 (피시험 디바이스가 사전 결정된 상태에 있는) 특정 시점에서 수행될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 상이한 디바이스 또는 테스트 조건에 도달할 때, 예를 들어 피시험 디바이스의 상이한 전원 상태 또는 발열 상태 또는 바이어스 상태 또는 초기화 상태에 도달할 때 시그널링을 전송하도록 구성된다. 이러한 상태는 예를 들어 핸들러에 의한 둘 이상의 상이한 교정 측정에 적합할 수 있다. 또한, 상태는 예를 들어 핸들러의 교정에 적합한 상이한 현재 피시험 디바이스 온도(예를 들어, 상이한 피시험 디바이스 온도)를 초래할 것으로 예상될 수 있다.
자동 테스트 장비와 핸들러의 동기화는 상기 시그널링을 전송함으로써 유리하게 사용될 수 있다. 정확한 측정을 위해서는 측정 시기와 측정 조건을 잘 아는 것이 도움이 될 수 있다. 실시간 인터페이스를 사용하여, 이러한 정보는 예를 들어 핸들러에 도착했을 때 그 유효성이 만료되지 않게 전송될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러에 의한 하나 이상의 온도 판독, 예를 들어 피시험 디바이스의 바이어스 이후와 능동 디바이스 테스트의 시작 이전의(예를 들어, 디바이스가 바이어스되었지만 아직 하나 이상의 테스트 패턴으로 자극되지 않은 사전 테스트 단계에서) 제1 온도 판독 및 테스트 시작 이후의 제2 온도 판독을 트리거하기 위해 동기화 시그널링을 제공하도록 구성된다.
동기화 시그널링은 교정 시그널링으로서 사용될 수 있다. 동기화 신호가 핸들러 인터페이스를 통해 ATE에서 핸들러로 전송된 후, 피시험 디바이스는 자동 테스트 장비에 의해 교정 상태로 설정될 수 있다. 핸들러는 사전 결정된 교정 상태에서 교정을 위한 제1 온도 판독 또는 측정을 수행한 후 다른 측정을 수행할 수 있다. 실시간 인터페이스를 통해, 핸들러 측정은 디바이스가 ATE에 의해 사전 결정된 신호(예를 들어, 특정 양의 전력)를 제공받는 정확한 시점에 수행될 수 있다. 이를 통해 정확하고 빠른 측정이 가능하다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 핸들러로 보내는 동기화 시그널링에 기초하여 열 다이오드 교정을 가능하게 하도록 구성된다. 또한, 열 다이오드 교정은 델타 온도 측정을 포함하고, 실시간 핸들러 인터페이스는 열 다이오드 교정을 위한 실시간 측정 타이밍 정보를 핸들러에 전송하도록 구성된다.
열 다이오드 온도 특성은 프로세스에 따라 크게 달라질 수 있다. 예를 들어, 이는 델타 온도 측정에 의해 테스트에서 제거될 수 있다. 정확한 지점(예를 들어, 시점) 및/또는 피시험 디바이스의 지점에서 온도를 측정하기 위해 핸들러와 ATE 간의 빠르고 정확한 동기화가 유리하게 사용될 수 있다. 측정은 상이한 디바이스 또는 테스트 조건(예를 들어, 무전원 모드 또는 전원 모드)에서 수행되어 예를 들어 이 교정 단계 동안 온도 측정에 영향을 미칠 수 있는 누설 전류 또는 디바이스 턴 온(turn on) 누설 전류 또는 발열 효과를 보상할 수 있다. 결과적으로, 정확하고 빠른 열 다이오드 교정이 수행될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 동기화 시그널링은 핸들러의 측정을 위한 (예를 들어, 테스트 사이트 특정) 시간 정보를 포함한다.
테스트 사이트 특정 시간 정보를 사용하면 앞서 설명한 바와 같이 복수의 피시험 디바이스에 대해 정확하고 빠른 측정이 수행될 수 있다. 동기화는 각 피시험 디바이스에 대해 개별적으로 수행되어 디바이스 자극 및 측정 데이터의 정확한 할당을 제공할 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 동기화 시그널링은 예를 들어 테스트 흐름에 대해 핸들러에 알리고/알리거나 핸들러의 측정을 스케줄링(schedule)하고/하거나 예측 온도 제어(예를 들어, "P1" 또는 "P2")를 트리거하기 위해, (예를 들어, 테스트 사이트 특정) 테스트 상태 정보 또는 디바이스 상태 정보를 포함한다.
테스트 사이트 특정 테스트 상태 정보를 사용하여 핸들러는 예를 들어 많은 양의 전력을 수신하기 때문에 과열될 가능성이 있는 디바이스에 초점을 맞추기 위해 온도 측정 스케줄을 조정할 수 있다. 이를 통해 테스트 속도가 빨라지고 피시험 디바이스가 더 잘 보호될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예가 아래에서 더 상세히 설명된다. 그러나, 자동 테스트 장비와 관련하여 설명된 이점 및 예는 대응하는 핸들러에 대해서도 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 전술한 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 대응하는 핸들러에 대해 사용되거나 이에 통합되거나 조정될 수 있다. 예를 들어, 시그널링을 제공하도록 구성된 자동 테스트 장비는 해당 시그널링을 수신하도록 구성된 대응하는 핸들러로 대체될 수 있으며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다. 다른 예로서, 태스크를 수행하기 위해 자동 테스트 장비가 핸들러에 시그널링을 제공하는 것은 대응하는 핸들러가 시그널링을 수신하고 해당 태스크를 수행하도록 구성되는 것으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 자동 테스트 장비와의 능동 동기화를 위한 시그널링을 수신하도록 구성된다. 또한, 핸들러는 동기화 시그널링에 기초하여 자동 테스트 장비와 능동 동기화를 수행하도록 구성되며, 능동 동기화는 대기 삽입이 없는 동기화이다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 교정(예를 들어, 자가 교정) 타이밍을 결정하기 위해, 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터, 예컨대 동기화 시그널링으로서, 교정 타이밍 정보를 수신하도록 구성되며, 예컨대 이 교정은 예컨대 테스트 흐름의 사전 결정된 단계에서 테스트 흐름과 동기화되어 수행될 수 있다. 또한, 핸들러는 교정 타이밍 정보에 기초하여 교정 타이밍을 결정하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 피시험 디바이스가 사전 결정된 방식으로(예를 들어, 핸들러의 교정(또는 자가 교정)에 적합한 방식으로) 조절되거나 전원을 공급받거나 바이어스되거나(biased) 초기화되는 것을 나타내는 시그널링을, 예컨대 동기화 시그널링으로서, 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 수신하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 상이한 디바이스 또는 테스트 조건에 도달할 때, 예를 들어 피시험 디바이스의 상이한 전원 상태 또는 발열 상태 또는 바이어스 상태 또는 초기화 상태에 도달할 때, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 시그널링을 수신하도록 구성된다. 이러한 상태는 예를 들어 핸들러에 의한 둘 이상의 상이한 교정 측정에 적합할 수 있다. 또한, 이러한 상태는 예를 들어 핸들러의 교정에 적합한 상이한 현재 피시험 디바이스 온도(예를 들어, 상이한 피시험 디바이스 온도)를 초래할 것으로 예상될 수 있다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 하나 이상의 온도 판독을 트리거하기 위한 시그널링을 수신하도록 구성된다. 또한, 핸들러는 동기화 시그널링에 기초하여, (예를 들어, 온도 측정의 교정을 위한) 하나 이상의 온도 판독, 예를 들어 피시험 디바이스의 바이어스 이후와 능동 디바이스 테스트의 시작 이전의(예를 들어, 디바이스가 바이어스되었지만 아직 하나 이상의 테스트 패턴으로 자극되지 않은 사전 테스트 단계에서) 제1 온도 판독 및 테스트 시작 이후의 제2 온도 판독을 수행하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 수신된 동기화 시그널링에 기초하여 열 다이오드 교정을 수행하도록 구성된다. 또한, 열 다이오드 교정은 델타 온도 측정을 포함하며, 핸들러는 예를 들어 동기화 시그널링에 의해 결정된 타이밍을 사용하여 델타 온도 측정을 수행하도록 구성된다. 또한, 핸들러는 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 열 다이오드 교정을 위한 실시간 측정 타이밍 정보를 수신하도록 구성된다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 동기화 시그널링은 핸들러의 측정을 위한 (예를 들어, 테스트 사이트 특정) 시간 정보를 포함한다.
본 발명의 제2 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 동기화 시그널링은 예를 들어 테스트 흐름에 대해 핸들러에 알리고/알리거나 핸들러의 측정을 스케줄링(schedule)하고/하거나 예측 온도 제어(예를 들어, "P1" 또는 "P2")를 트리거하기 위해, (예를 들어, 테스트 사이트 특정) 테스트 상태 정보 또는 디바이스 상태 정보를 포함한다.
제3 양태에 따른 발명의 요약
본 발명의 제3 양태에 따른 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")를 포함하며, 이 자동 테스트 장비는, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드 상에 배열되는, 실시간 핸들러 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 실시간 핸들러 인터페이스는, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 디바이스의 예상되는 온도 변화 또는 디바이스의 예상되는 전력 손실 변화에 선행하는 온도 제어 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 또는 예열 기능을 제어(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)하기 위해, 예컨대 복수의 상이한 테스트 사이트에 대한 테스트 사이트 특정 시그널링(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)을 핸들러에 제공하도록 구성된다.
핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스 보드(board) 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드(load) 및 언로드(unload)하도록 구성될 수 있고, 예컨대 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같거나 예컨대 사이트 ID를 포함하는 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를, 예컨대 공유 신호 라인 또는 공유 광 링크와 같은 공유 신호를 통해, 제어하도록 구성될 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비와 함께 사용되는 핸들러를 포함하며, 핸들러는 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
또한, 핸들러는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 테스트 사이트 특정 시그널링(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)을 수신하도록 구성되고, 핸들러는 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 대한 응답으로, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 제어하도록 구성된다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예는, 예를 들어 자동 테스트 장비(예를 들어 "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 디바이스의 예상되는 온도 변화 또는 디바이스의 예상되는 전력 손실 변화에 선행하는 온도 제어 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 또는 예열 기능을 제어(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)하기 위해, 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 예컨대 복수의 상이한 테스트 사이트에 대한 테스트 사이트 특정 시그널링(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)을 제공하는 단계(예를 들어, 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하여 온도 제어 기능을 제어하는 단계)를 포함한다.
핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스 보드(board) 또는 피시험 디바이스 인터페이스 상에 칩을 로드(load) 및 언로드(unload)하도록 구성될 수 있으며, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스가 테스트되는 온도와 같거나 예컨대 사이트 ID를 포함하는 하나 이상의 (예를 들어, 물리적, 비전기적) 매개변수를, 예컨대 공유 신호 라인 또는 공유 광 링크와 같은 공유 신호를 통해, 제어하도록 구성될 수 있다.
핸들러 인터페이스는, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 테스트 헤드 상에 배열된, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"일 수 있다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예는, 예를 들어 핸들러와 함께 사용되고/되거나 자동 테스트 장비와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 통해 자동 테스트 장비로부터 테스트 사이트 특정 시그널링(예를 들어, 트리거 또는 사전 트리거)를 수신하는 단계를 포함한다. 또한, 방법은 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여, 예컨대 능동적인, 온도 제어(예를 들어, 조절) 기능, 예를 들어 능동 온도 제어의 예냉 기능을 제어하는 단계를 포함한다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
제3 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제3 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제3 양태에 따른 추가 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 실시예에 따른 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
제3 양태에 따른 추가 실시예는 실시예에 따른 핸들러 및 실시예에 따른 자동 테스트 장비를 포함하는 테스트 셀을 포함하며, 자동 테스트 장비의 핸들러 인터페이스와 핸들러의 테스터 인터페이스는 결합된다.
본 발명의 제3 양태에 따른 실시예의 개념은 아래에서 자동 테스트 장비의 맥락에서 설명될 것이다. 그 기본 개념은 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러와 함께 사용되는 방법에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 본 명세서에서 논의되는 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 핸들러, 테스트 시스템, 테스트 셀, 및/또는 자동 테스트 장비용, 핸들러용, 테스트 시스템용 또는 테스트 셀용 방법 각각 또는 이들의 조합에 선택적으로 (예를 들어, 동일하거나 유사한 방식으로) 사용될 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 실시예는 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 핸들러로 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하기 위한 발상에 기초한다.
실시간 핸들러 인터페이스는 자동 테스트 장비로 하여금 예를 들어 충분히 짧을 수 있는 시간 범위 내에서 핸들러를 위한 관련 데이터를 제공하게 하여 핸들러가 제공된 데이터에 기초하여 반응을 수행할 수 있도록 한다. 또한 이 정보는 테스트 사이트 특정적일 수 있다. 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 실시간 상호작용을 가능하게 하는 것 외에도, 핸들러에는 복수의 피시험 디바이스에 대한 고유한 정보가 제공될 수 있다.
결과적으로 테스트 루틴은 특정 피시험 디바이스에 대해 실시간으로 조정될 수 있다. 핸들러는 예를 들어 온도 측정을 스케줄링하기 위해 그리고 온도 측정을 수행하기 위해 특정 피시험 디바이스에 대한 곧 있을 이벤트(예를 들어, 공급 전력의 증가)에 대해 통지를 받을 수 있다. 또한, 온도 제어는 예를 들어 곧 있을 온도 상승에 대한 정보에 기초하여 핸들러에 의해 수행될 수 있다. 예를 들어, 예측 냉각은 트리거 시그널링(예를 들어, 사전 트리거 시그널링)을 통해 트리거될 수 있다. 또한, 테스트 사이트 특정 정보는 특정 피시험 디바이스에 대한 냉각을 준비하거나 특정 피시험 디바이스를 셧다운하기 위해 사용될 수 있어, 손상을 방지하고 예를 들어 나머지 피시험 디바이스에 대한 테스트를 계속 진행할 수 있다.
본 발명자들은 실시간 인터페이스의 사용이 테스트 유연성을 증가시킬 수 있다는 것을 인식했다. 정보는 그 유효성이 만료되기 전에 송수신될 수 있기 때문에, 테스트는 복수의 피시험 디바이스의 각 피시험 디바이스에 대해 정확하게 조정될 수 있다.
또한, 본 발명자들은 복수의 피시험 디바이스의 디바이스가 자극에 응답하여 상이하게 동작하거나 반응할 수 있음을 인식했다. 디바이스는 제조 과정에서의 변화를 겪을 수 있으므로, 서로 유사하거나 동일한 복수의 피시험 디바이스(예를 들어, 사양이 동일함)는 동일한 입력 신호가 제공되는 경우에도 상이한 출력 신호를 제공할 수 있다. 또한, 일부 디바이스는 비결정적일 수 있다. 시스템은, 예를 들어 시스템 온 칩(SoC: System on a Chip) 형태의 피시험 디바이스와 같이, 테스트 시간 또는 방열을 예측하는 것이 어렵거나 불가능할 수도 있는 높은 복잡성을 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 실시예는 예를 들어 비균질 피시험 디바이스 거동에 대처하기 위해 테스트의 테스트 사이트 특정 조정을 허용한다. 테스트, 또는 예를 들어 냉각 및 가열은, (예를 들어, 각각의) 피시험 디바이스의 개별 특성과 관련하여 조정될 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 상기 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성되며, 이 테스트 사이트 특정 시그널링은, 테스트 사이트 특정 경보, 테스트 사이트 특정 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 식별 정보(예를 들어, ID), 테스트 사이트 특정 온도 조정(예를 들어, 냉각) 정보, 테스트 사이트 특정 셋업 정보(예를 들어, VDD 전압 정보), 테스트 사이트 특정 (예컨대, 예상) 방열 정보, 테스트 사이트 특정 타이밍 정보(예를 들어, 온도 제어 타이밍 정보) 중 하나 이상의 정보를 포함한다.
시그널링은 피시험 디바이스의 테스트를 최적화하기 위해 사용될 수 있는 복수의 매개변수를 전송하기 위해 사용될 수 있다. 결과적으로 개별 피시험 디바이스의 열 관리가 향상될 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보(예를 들어, 타이밍 정보, 제어 진폭 정보, 제어 지속 시간 정보)의 조합을 포함한다. 또한, 테스트 사이트 식별 정보는 (예를 들어, 핸들러에서) 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관(test-site specific association)을 가능하게 하도록 구성된다.
특정 테스트 사이트 및 예를 들어 그에 따른 특정 피시험 디바이스는 예를 들어 특정 조절 정보 세트와 연관 또는 연결되거나 관련될 수 있다. 이 정보 세트는 예를 들어 핸들러에 저장되고 정기적으로 또는 필요할 때마다(예를 들어, 피시험 디바이스 또는 테스트 사이트의 조절 정보가 자동 테스트 장비에 의해 업데이트될 때) 업데이트될 수 있다. 조절 정보 및 테스트 사이트 식별 정보에 기초하여 핸들러는 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 상호 작용(예를 들어, 온도 관리)을 스케줄링 및/또는 최적화할 수 있다. 따라서, 예컨대 각 피시험 디바이스에 대해 테스트가 조정될 수 있으므로, 더 높은 효율성으로 테스트를 수행할 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함하고/하거나, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링으로 변조된다. 테스트 사이트 ID의 사용은 특정 테스트 측면(test side) 또는 피시험 디바이스 각각을 식별하기 위한 용이하게 구현되는 방법을 제공할 수 있다. 테스트 측면 ID의 변조는 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 우수한 데이터 전송 효율을 제공할 수 있고 고속 데이터 전송을 허용할 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 조절 정보는 타이밍 정보(예를 들어, 냉각 또는 가열 시기, 또는 지연), 및/또는 제어 진폭 정보(예를 들어, 냉각 진폭), 및/또는 제어 지속 시간 정보(예를 들어, 냉각 지속 시간)를 포함한다. 타이밍 정보에 대한 액세스로 인해 핸들러는 자동 테스트 장비 또는 예를 들어 테스트 주기와 동기화할 수 있다. 따라서, 적절한 냉각 또는 가열이 수행될 수 있다. 또한, 측정을 위한 특정 시점은 예를 들어 피시험 디바이스의 조절을 위한 (예를 들어, 온도) 정보를 제공하기 위해 전송될 수 있다. 이는 테스트 효율성을 향상시키고 피시험 디바이스의 온도 오작동을 방지할 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 복수의 테스트 사이트에 대한 단일 (예컨대, 공통) 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링, 및 트리거 이벤트(예를 들어, 단일 공통 트리거 시그널링에 의해 정의됨)와 상이한 테스트 사이트에 대해 수행되는 열 전처리 동작의 시작 사이의 지연을 나타내는 상이한 사이트 특정 지연 정보를 제공하도록 구성된다.
데이터 전송 효율은 베이스 신호와 테스트 사이트 종속 조정 신호, 또는 베이스 정보와 테스트 사이트 종속 정보를 전송함으로써 향상될 수 있다. 공통 트리거, 예컨대 복수의 피시험 디바이스에 공급 전압이 제공되는 예컨대 테스트 또는 테스트 시퀀스의 시작에 대한 정보가 전송될 수 있다. 예컨대 전력 피크의 타이밍 정보에 관한 더 자세한 정보 또는 디바이스의 자극이 사이트 특정 지연 정보를 통해 핸들러에 제공되어, 예컨대 핸들러는 온도 측정 시기 또는 특정 피시험 디바이스를 냉각하거나 가열하는 시기에 관한 정보를 제공받을 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 대응하는 상태가 상이한 테스트 흐름에서 상이한 시간에 도달되는 방식으로 상이한 사이트의 테스트 흐름을 실행하도록 구성되고, 자동 테스트 장비는 각 테스트 흐름의 사전 결정된 상태에 도달하는 것에 응답하여 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성된다. 이를 통해 각 피시험 디바이스에 대해 고도로 개별화된 테스트를 수행할 수 있다. 또한, 핸들러에 사이트 특정 시그널링을 제공하여 정확한 테스트 결과를 얻을 수 있다. 그 결과, 핸들러는 각각의 사전 결정된 상태에 따른 피시험 디바이스 조작(예를 들어, 가열 또는 냉각) 또는 측정을 스케줄링할 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예가 아래에서 더 상세히 설명된다. 그러나, 자동 테스트 장비와 관련하여 설명된 이점 및 예는 대응하는 핸들러에 대해서도 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 전술한 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 대응하는 핸들러에 대해 사용되거나 이에 통합되거나 조정될 수 있다. 예를 들어, 시그널링을 제공하도록 구성된 자동 테스트 장비는 해당 시그널링을 수신하도록 구성된 대응하는 핸들러로 대체될 수 있으며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다. 다른 예로서, 태스크를 수행하기 위해 자동 테스트 장비가 핸들러에 시그널링을 제공하는 것은 대응하는 핸들러가 시그널링을 수신하고 해당 태스크를 수행하도록 구성되는 것으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 테스터 인터페이스는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 상기 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성되며, 이 테스트 사이트 특정 시그널링은, 테스트 사이트 특정 경보, 테스트 사이트 특정 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 식별 정보(예를 들어, ID), 테스트 사이트 특정 온도 조정(예를 들어, 냉각) 정보, 테스트 사이트 특정 셋업 정보(예를 들어, VDD 전압 정보), 테스트 사이트 특정 (예컨대, 예상) 방열 정보, 테스트 사이트 특정 타이밍 정보(예를 들어, 온도 제어 타이밍 정보) 중 하나 이상의 정보를 포함한다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보(예를 들어, 타이밍 정보, 제어 진폭 정보, 제어 지속 시간 정보)의 조합을 포함하고, 테스트 사이트 식별 정보는 (예를 들어, 핸들러에서) 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관을 가능하게 하도록 구성된다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함하고, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링으로 변조된다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 조절 정보는 타이밍 정보(예를 들어, 냉각 또는 가열 시기, 또는 지연), 및/또는 제어 진폭 정보(예를 들어, 냉각 진폭), 및/또는 제어 지속 시간 정보(예를 들어, 냉각 지속 시간)를 포함한다.
본 발명의 제3 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 복수의 테스트 사이트에 대한 단일 (예컨대, 공통) 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링, 및 트리거 이벤트(예를 들어, 단일 공통 트리거 시그널링에 의해 정의됨)와 상이한 테스트 사이트에 대해 수행되는 열 전처리 동작의 시작 사이의 지연을 나타내는 상이한 사이트 특정 지연 정보를 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 수신하도록 구성된다.
제4 양태에 따른 발명의 요약
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비와 함께 사용되는 핸들러를 포함하며, 핸들러는 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
또한, 실시간 테스터 인터페이스는 예를 들어 온도 제어 기능을 제어하기 위해 또는 테스트 흐름에 영향을 미치거나 이를 조정하기 위해(예를 들어, 테스트 사이트 특정 셧다운) 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성된다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")를 포함하며, 이 자동 테스트 장비는, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드 상에 배열되는, 실시간의 핸들러 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 포함한다.
또한, 자동 테스트 장비는 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성된다. 또한, 자동 테스트 장비는 예를 들어 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능(예를 들어, 사이트 특정 셧다운)을 제어하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 고려하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 로그하거나 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 테스트 흐름을 조정하도록 구성될 수 있다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예는 예를 들어 핸들러와 함께 사용되고/되거나 자동 테스트 장비와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 예컨대 온도 제어 기능을 제어하기 위해 또는 테스트 흐름에 영향을 미치거나 이를 조정하기 위해(예를 들어, 테스트 특정 셧다운), 실시간의 테스터 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 통해 자동 테스트 장비로 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하는 단계를 포함한다.
테스터 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 테스터 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 테스터 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예는 예컨대 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은, 예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 테스트 헤드 상에 배열되는 실시간 핸들러 인터페이스, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스"를 통해 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하는 단계를 포함한다. 선택적으로, 자동 테스트 장비는 예를 들어 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능(예를 들어, 사이트 특정 셧다운)을 제어하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 고려하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 로그하거나 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 테스트 흐름을 조정하도록 구성될 수 있다.
핸들러 인터페이스는 예컨대 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성된, 예컨대 선택적으로 양방향의 전용 인터페이스일 수 있다. 예를 들어, 핸들러 인터페이스는 예를 들어 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
더욱이, 핸들러 인터페이스는 실시간 인터페이스, 예를 들어 점대점(point-to-point), 종단간(end-to-end), 비버스(non-bus), 비표준 및/또는 애플리케이션 특정 인터페이스이다. 더욱이, 인터페이스는 버스 이외에 추가로 구현될 수 있으며, 예를 들어 버스보다 빠를 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 저 레이턴시, 예를 들어 실시간 가능 및/또는 고속 인터페이스일 수 있다. 인터페이스는 예를 들어 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접 배열될 수 있다. 실시간 인터페이스로서 인터페이스는 예를 들어 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예를 들어 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예를 들어 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예를 들어 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스는 예컨대 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스일 수 있다.
제4 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제4 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제4 양태에 따른 추가 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 실시예에 따른 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
제4 양태에 따른 추가 실시예는 실시예에 따른 핸들러 및 실시예에 따른 자동 테스트 장비를 포함하는 테스트 셀을 포함하며, 자동 테스트 장비의 핸들러 인터페이스와 핸들러의 테스터 인터페이스는 결합된다.
본 발명의 제4 양태에 따른 실시예의 개념은 아래에서 핸들러의 맥락에서 설명될 것이다. 그 기본 개념은 대응하는 자동 테스트 장비, 및 이러한 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러와 함께 사용되는 방법에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 핸들러와 관련하여 본 명세서에서 논의되는 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 자동 테스트 시스템, 테스트 시스템, 테스트 셀, 및/또는 자동 테스트 장비, 핸들러, 테스트 시스템 또는 테스트 셀과 함께 사용되는 방법 각각 또는 이들의 조합에 선택적으로 (예를 들어, 동일하거나 유사한 방식으로) 사용될 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 실시예는 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하기 위한 발상에 기초한다. 핸들러는 피시험 디바이스의 온도를 개별적으로 측정하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 오작동의 경우 하나의 피시험 디바이스가 온도 폭주를 겪을 수 있다. 예를 들어, 피시험 디바이스에 높은 전원을 공급하는 테스트 주기에서 이는 피시험 디바이스의 즉각적인 파괴를 초래할 수 있다. 실시간 테스터 인터페이스는 이러한 디바이스 파괴를 방지할 수 있다. 온도 상승에 대한 정보는 핸들러에서 자동 테스트 장비로 실시간으로(예를 들어, 피시험 디바이스의 내부 프로세스의 시간 상수보다 짧은 시간 범위에서) 전송될 수 있다. 자동 테스트 장비는 디바이스의 파괴를 방지하기 위해 오작동 피시험 디바이스를 셧다운할 수 있다. 이를 통해 다른 피시험 디바이스의 테스트를 계속 진행할 수 있다. 결과적으로 테스트 시간을 단축하고 디바이스 손상을 방지할 수 있다.
오작동과는 별도로, 온도와 같은 핸들러 정보 또는 예컨대 핸들러에 의해 결정된 디바이스의 상태와 같은 기타 정보는 테스트 루틴을 조정하기 위해 자동 테스트 장비에 의해 사용될 수 있다. 테스트 결과에 따라 실시간으로 디바이스를 품질별로 분류할 수 있으며, 디바이스의 분류에 따라 테스트를 조정할 수 있다.
더욱이, 복수의 피시험 디바이스의 개별 온도 정보는 예를 들어 냉각 시간을 조정하거나 새로운 자극이 디바이스에 전송되기 전의 짧은 지연을 조정함으로써 테스트를 조정하기 위해 사용될 수 있다. 이는 피시험 디바이스의 과열을 방지할 수 있으므로 테스트 효율성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 온도 오작동(예를 들어, 온도 폭주), 또는 (예를 들어, 온도 신호의) 끊어진 연결, 또는 (예를 들어, 피시험 디바이스의) [핸들러가 더 이상 디바이스를 냉각할 수 없음]을 검출하도록 구성된다. 또한, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 특정 경보이고, 핸들러는 테스트 사이트 특정 경보 처리 및/또는 테스트 사이트 특정 셧다운(예를 들어, 테스트 사이트 특정 전원 차단)을 가능하게 하도록 구성된다.
실시간 인터페이스는 온도 폭주 시 전원 차단과 같은 빠른 대응을 허용할 수 있다. 따라서, 핸들러는 모든 피시험 디바이스(예를 들어, 테스트 사이트 특정)에 대해 이러한 온도 오작동을 검출하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 디바이스의 파괴를 방지하기 위해(예를 들어, 다음 자극 전에 추가 지연으로 디바이스의 냉각을 허용하기 위해) 자동 테스트 장비에 시그널링을 제공할 수 있다. 따라서, 테스트 효율성이 향상될 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로 보내는 시그널링을 사용하여 피시험 디바이스의 데이터 처리(예를 들어, 비닝(binning) 및 데이터 로깅(datalogging))에 영향을 미치도록 구성된다. 핸들러는 예를 들어 피시험 디바이스의 비정상적 거동을 검출하도록 구성될 수 있고, 따라서 이벤트의 분석을 허용하기 위해 (예를 들어, 자동 테스트 장비 또는 피시험 디바이스에서) 데이터 로깅을 시작할 수 있다. 다른 한편으로, 피시험 디바이스의 오작동은 핸들러에 의해 검출될 수 있고, 따라서 예컨대 디바이스 배치(batch)에 대한 통계 데이터에 오류가 생기지 않도록 하기 위해 데이터 로깅이 중지될 수 있다. 따라서 테스트 정확도와 데이터 수집이 향상될 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보(예를 들어, 타이밍 정보, 제어 진폭 정보, 제어 지속 시간 정보)의 조합을 포함한다. 또한, 테스트 사이트 식별 정보는 (예를 들어, 핸들러에서) 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관을 가능하게 하도록 구성된다.
특정 테스트 사이트 및 예를 들어 그에 따른 특정 피시험 디바이스는 예를 들어 특정 조절 정보 세트와 연관 또는 연결되거나 관련될 수 있다. 이 정보 세트는 예를 들어 핸들러에 저장되고 정기적으로 또는 필요할 때마다(예를 들어, 피시험 디바이스 또는 테스트 사이트의 조절 정보가 핸들러에 의해 업데이트될 때) 업데이트될 수 있다. 조절 정보 및 테스트 사이트 식별 정보에 기초하여 자동 테스트 장비는 특정 피시험 디바이스에 대한 테스트를 조정할 수 있다. 따라서, 예컨대 각 피시험 디바이스에 대해 테스트가 조정될 수 있으므로, 더 높은 효율성으로 테스트를 수행할 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함하고/하거나, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링으로 변조된다. 테스트 사이트 ID의 사용은 특정 테스트 측면 또는 피시험 디바이스 각각을 식별하기 위한 용이하게 구현되는 방법을 제공할 수 있다. 테스트 측면 ID의 변조는 핸들러와 자동 테스트 장비간의 우수한 데이터 전송 효율을 제공할 수 있고, 고속 데이터 전송을 허용할 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 조절 정보는 타이밍 정보(예를 들어, 냉각 또는 가열 시기, 또는 지연), 및/또는 제어 진폭 정보(예를 들어, 냉각 진폭), 및/또는 제어 지속 시간 정보(예를 들어, 냉각 지속 시간)를 포함한다.
타이밍 정보에 대한 액세스로 인해 자동 테스트 장비는 핸들러와 동기화할 수 있다. 따라서, 적절한 냉각 또는 가열이 수행될 수 있다. 이는 테스트 효율성을 향상시키고 피시험 디바이스의 온도 오작동을 방지할 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예가 아래에서 더 상세히 설명된다. 그러나, 핸들러와 관련하여 설명된 이점 및 예는 대응하는 자동 테스트 장비에 대해서도 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 핸들러와 관련하여 전술한 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 대응하는 자동 테스트 장비에 대해 사용되거나 이에 통합되거나 조정될 수 있다. 예를 들어, 시그널링을 제공하도록 구성된 핸들러는 해당 시그널링을 수신하도록 구성된 대응하는 자동 테스트 장비로 대체될 수 있다. 다른 예로서, 태스크를 수행하기 위해 핸들러가 자동 테스트 장비에 시그널링을 제공하는 것은 대응하는 자동 테스트 장비가 시그널링을 수신하고 해당 태스크를 수행하도록 구성되는 것으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 특정 경보이고, 자동 테스트 장비는 테스트 사이트 특정 경보를 처리하고/하거나, 테스트 사이트 특정 경보에 기초하여 테스트 사이트 특정 셧다운(예를 들어, 피시험 디바이스에 전원을 공급하는 디바이스 전원의 테스트 사이트 특정 비활성화)을 수행하도록 구성된다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 (예를 들어, 테스트 사이트 특정의) 시그널링을 수신한 것에 대한 응답으로 피시험 디바이스의 데이터 처리(예를 들어, 비닝(binning) 및 데이터 로깅(datalogging))에 영향을 미치도록 구성된다. 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 비정상적 거동을 검출하도록 구성될 수 있고, 따라서 이벤트의 분석을 허용하기 위해 데이터 로깅을 시작할 수 있다. 다른 한편으로, 피시험 디바이스의 오작동은 자동 테스트 장비에 의해 결정될 수 있고, 따라서 예컨대 디바이스 배치(batch)에 대한 통계 데이터에 오류가 생기지 않도록 하기 위해 데이터 로깅이 중지될 수 있다. 따라서, 테스트 정확도와 데이터 수집이 향상될 수 있다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보(예를 들어, 타이밍 정보, 제어 진폭 정보, 제어 지속 시간 정보)의 조합을 포함하고, 테스트 사이트 식별 정보는 (예를 들어, 핸들러에서) 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관을 가능하게 하도록 구성된다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함하고/하거나, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링으로 변조된다.
본 발명의 제4 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 조절 정보는 타이밍 정보(예를 들어, 냉각 또는 가열 시기, 또는 지연), 및/또는 제어 진폭 정보(예를 들어, 냉각 진폭), 및/또는 제어 지속 시간 정보(예를 들어, 냉각 지속 시간)를 포함한다.
본 발명의 추가 실시예는, 예를 들어 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은 (예를 들어, 양방향 전용(예를 들어, 자동 테스트 장비와 핸들러 간의 통신을 위해 특별히 구성됨); 예를 들어, 통신 프로토콜이 실시간 시그널링을 위해 구성된 애플리케이션 특정 인터페이스) 실시간(예를 들어, 점대점, 종단간, 비버스, 비표준, 애플리케이션 특정; 버스 이외에 추가됨, 버스보다 빠름, 저 레이턴시, 실시간 가능, 고속; 예를 들어, 테스트 헤드와 핸들러 사이에 직접; 예를 들어, 존재하는 추가 통신 인터페이스보다 빨라, 예컨대 런타임 시 데이터 교환이 가능하고, 예컨대 (예를 들어, 런타임 시) 데이터 교환이 실시간 테스트 조정을 가능하게 하고, 예컨대 인터페이스에 의해 제공되거나 수신된 시그널링의 레이턴시가 1ms 미만 또는 심지어 100마이크로초 미만 또는 심지어 10마이크로초 미만 또는 심지어 1마이크로초 미만이 됨) 핸들러 인터페이스(예컨대 별도의 시그널링 라인 없이 예컨대 통신 태스크에 적합한 다수의 라인(예를 들어, 통신 채널)을 포함하는 예컨대 테스트 헤드 상에 배열되는, 예컨대 트리거 기능을 갖는 인터페이스, 예컨대 "고정 엔드포인트 인터페이스")를 통해 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 예를 들어, 자동 테스트 장비는 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능(예를 들어, 사이트 특정 셧다운)을 제어하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 고려하거나 테스트 사이트 특정 시그널링을 로그하거나 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 테스트 흐름을 조정하도록 구성된다.
제5 양태에 따른 발명의 요약
본 발명의 제5 양태에 따른 실시예는 (예를 들어, 전용의) 실시간(예를 들어, "고속") 핸들러 인터페이스를 포함하는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")를 포함하고, (예를 들어, 전용의) 실시간 핸들러 인터페이스(예를 들어, 핸들러와 테스터 사이의 고속 사전 트리거 및 통신 채널)는 온도 조절 기능을 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링(예를 들어, 사전 트리거 시그널링)을 제공하도록 구성된다. 또한, (예를 들어, 전용의) 실시간 핸들러 인터페이스는 트리거 시그널링 외에 추가 시그널링을 제공하도록 구성되며, 이 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 제어 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터)를 포함하고/하거나, 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 및/또는 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나(예를 들어, PMON, TJ) 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW), 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 경보 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예는 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비와 함께 사용되는 핸들러를 포함하며, 핸들러는 (예를 들어, 양방향의) 실시간 테스터 인터페이스를 포함하고, 예를 들어 핸들러는 (예를 들어, 양방향의) 실시간 테스터 인터페이스를 통해, 트리거 시그널링 및 트리거 시그널링에 더해 추가 시그널링을 수신하도록 구성되며, 이 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 제어 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터), 및/또는 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 및/또는 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나(예를 들어, PMON, TJ) 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW), 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 경보 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다.
또한, 핸들러는 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트의 온도를 제어(예를 들어, 조절)하기 위해(예를 들어, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절을 결정하거나 변경하기 위해) 추가 시그널링을 사용하도록 구성된다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예는 자동 테스트 장비(예를 들어, "테스터")와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하고, 이 방법은 온도 제어 기능을 트리거(예를 들어, 사전 트리거)하기 위해 (예를 들어, 전용의) 실시간 핸들러 인터페이스(예를 들어, 핸들러와 테스터 사이의 고속 사전 트리거 및 통신 채널)를 통해 트리거 시그널링(예를 들어, 사전 트리거 시그널링)을 핸들러에 제공하는 단계(예를 들어, 트리거 시그널링을 제공하여 온도 제어 기능을 트리거하는 단계)를 포함한다.
또한, 방법은 (예를 들어, 전용의) 실시간 핸들러 인터페이스를 통해, 트리거 시그널링 이외에 추가 시그널링을 제공하는 단계를 포함하며, 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 제어 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터), 및/또는 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 및/또는 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나(예를 들어, PMON, TJ) 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW), 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 경보 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예는 예를 들어 핸들러와 함께 사용되고/되거나 자동 테스트 장비와 함께 사용되는, 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 방법을 포함하며, 이 방법은 (예를 들어, 양방향의) 실시간 테스터 인터페이스를 통해 트리거 시그널링 및 트리거 시그널링 이외에 추가 시그널링을 수신하는 단계를 포함하고, 이 추가 시그널링은, (예를 들어, 런타임 시) 핸들러에 의한(또는 예를 들어 핸들러 단독에 의한) 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 (예를 들어, 자율적인) 결정(예를 들어, 계산) 또는 (예를 들어, 자율적인) 변경에 대한 (예를 들어, 실시간의) 제어 정보를 포함한다. 제어 정보는 예를 들어 PMON(예를 들어, 실시간 DUT 전력 소비 모니터링을 위한 매개변수), TJ(예를 들어, 실제 DUT 접합 온도), SITE(예를 들어, 사이트 특정 제어 데이터), DUT(예를 들어, DUT 특정 제어 데이터), TEST(예를 들어, 테스트 특정 응답 데이터), FLOW(예를 들어, 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터), 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 및/또는 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나(예를 들어, PMON, TJ) 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 하나 이상의 테스트 상태 매개변수(예를 들어, SITE, DUT, TEST, FLOW), 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보, 핫스팟의 지속 시간, 핫스팟의 진폭, 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터를 포함한다.
대안적 또는 추가적으로, 추가 시그널링은 경보 정보, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스에 대한 테스트 사이트 특정적 초과 또는 미달 온도 경보 정보를 포함한다.
또한, 방법은, 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트의 온도를 제어(예를 들어, 조절)하기 위해(예를 들어, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절을 결정하거나 변경하기 위해) 추가 시그널링을 사용하는 단계(예를 들어, 추가 시그널링을 사용하여 피시험 디바이스 사이트의 온도를 제어하는 단계)를 포함한다.
제5 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제5 양태에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비 및 본 명세서에 정의된 바와 같은 핸들러를 포함하는 테스트 시스템을 포함한다.
제5 양태에 따른 추가 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 실시예에 따른 방법을 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
제5 양태에 따른 추가 실시예는 실시예에 따른 핸들러 및 실시예에 따른 자동 테스트 장비를 포함하는 테스트 셀을 포함하며, 자동 테스트 장비의 핸들러 인터페이스와 핸들러의 테스터 인터페이스는 결합된다.
본 발명의 제5 양태에 따른 실시예의 개념은 아래에서 자동 테스트 장비의 맥락에서 설명될 것이다. 그 기본 개념은 대응하는 핸들러, 및 이러한 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러와 함께 사용되는 방법에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 본 명세서에서 논의되는 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 핸들러, 테스트 시스템, 테스트 셀, 및/또는 자동 테스트 장비용, 핸들러용, 테스트 시스템용 또는 테스트 셀용 방법 각각 또는 이들의 조합에 선택적으로 (예를 들어, 동일하거나 유사한 방식으로) 사용될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 실시예는 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 핸들러로 트리거 시그널링 이외에 추가 시그널링을 제공하기 위한 발상에 기초하며, 추가 시그널링은, 핸들러에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출되는 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 하나 이상의 테스트 상태 매개변수 및 경보 정보 중 적어도 하나를 포함한다.
본 발명자들은, 실시간 인터페이스가 온도 제어 기능에 대한 트리거 시그널링 외에 복수의 정보를 실시간으로(예를 들어, 피시험 디바이스의 내부 프로세스보다 더 짧은 시간 범위에서) 제공하기 위해 사용될 수 있음을 인식했다. 이러한 정보를 실시간으로 제공하는 기능은 실시간 테스트 조정 및 테스트 평가를 허용하여 테스트 효율성과 테스트 정확도를 향상시킨다.
이러한 정보에 기초하여 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 온도 핫스팟을 예측하고 조절하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터) 또는 핸들러 또는 이 둘 모두의 특수 알고리즘은 이 데이터(예를 들어, 매개변수)를 사용하여 (예를 들어, 각 테스트 사이트의) 냉각 진폭, 지속 시간, 강도의 (예를 들어, 조기 또는 예측) 결정을 수행할 수 있다.
예를 들어, 추가 정보는 트리거 시그널링, 예를 들어 피시험 디바이스가 특정 상태(예를 들어, 테스트 준비 상태)에 있음을 나타내는 시그널링을 사용하여 전송될 수 있다. 예를 들어, (예를 들어, 상기 추가 정보를 포함하는) 이러한 시그널링에 기초하여, 교정 측정 또는 기준 측정이 수행될 수 있다. 따라서, 예를 들어, 피시험 디바이스는 핸들러에 의한 기준 온도 측정을 허용하기 위해, 예를 들어 자동 테스트 장비에 의해, 적절하게 바이어스될 수 있다.
따라서, 핸들러는 각각의 테스트 또는 테스트 시퀀스의 과정 동안 온도 측정을 수행하기 시작할 수 있다. 추가의 추가 정보는 예를 들어 추가 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 시그널링을 사용하여 전송될 수 있다. 추가 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스는, 예를 들어 온도 상승에 앞서 냉각을 활성화하기 위해, 핸들러에 의해 사전 트리거 신호로서 해석될 수 있다. 온도 상승은 예를 들어 현재 테스트 또는 테스트 시퀀스와 연관된 추정 전력 소비에 기초하여 자동 테스트 장비에 의해 예측될 수 있다.
예를 들어, 핸들러는 제1 트리거 펄스에 응답하여 기준 온도 측정을 수행한 다음 계속해서(또는 반복적으로) 추가 온도 측정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 핸들러는 기준 온도 측정을 교정 목적(예를 들어, 피시험 디바이스에 대한 온도 측정 구조의 특성 영향을 추가 온도 측정으로부터 제거하기 위해)으로 사용할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 디지털 데이터 스트림(또는 아날로그 데이터 스트림)으로부터 측정 값 또는 매개변수(예를 들어, 접합 온도 정보)를 추출하도록 구성되며, 실시간 핸들러 인터페이스는, 예를 들어 핸들러에 의해 수행되는 온도 조절을 지원하기 위해, 상기 측정 값 또는 매개변수를 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에, 예컨대 정기적으로(예를 들어, 최소 500Hz 또는 최소 1kHz 또는 최소 10kHz 또는 최소 5kHz의 샘플율로), 전송하도록 구성되며, 여기서, 예를 들어, 상기 값 또는 매개변수는 동적으로 또는 실시간으로 조절에 영향을 미치거나 조절에 도입될 수 있다.
디지털 데이터 스트림에 기초하여(또는 아날로그 데이터 스트림에 기초하여), 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 정보(예를 들어, 상태)를 분석하거나 결정하거나 평가하도록 구성될 수 있다. 결과는 디바이스에 대한 특성 정보를 포함할 수 있는 디바이스의 매개변수일 수 있다. 자동 테스트 장비가 핸들러로 전송한 매개변수 또는 측정 값에 기초하여, 핸들러는 온도 조절 전략을 조정할 수 있다. 또한, 자동 테스트 장비는 매개변수 또는 측정 값에 기초하여 테스트 흐름 또는 테스트 주기를 조정할 수 있다. 정보 전송에 대한 샘플율은 피시험 디바이스의 내부 프로세스 속도 및/또는 처리 시간에 따라 선택될 수 있다. 온도 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)과 같은 바람직하지 않은 이벤트를 방지하기 위해 핸들러 및/또는 테스터가 충분히 짧은 시간 범위 내에서 반응할 수 있도록 샘플율이 선택될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는 예를 들어 핸들러에 의해 수행되는 온도 조절을 지원하기 위해, 자동 테스트 장비의 계기에 의해 측정되는 값 또는 매개변수(예를 들어, 아날로그 값 또는 매개변수), 예를 들어 피시험 디바이스가 소비하는 전력을 나타내는 전력 소비 값 또는 피시험 디바이스로 흐르는 전류를 나타내는 전류 값을, 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러로 (예를 들어, 실시간으로), 예컨대 정기적으로(예를 들어, 최소 500Hz 또는 최소 10kHz 또는 최소 5kHz의 샘플율로), 전송하도록 구성되며, 여기서, 예를 들어, 상기 값 또는 매개변수는 동적으로 또는 실시간으로 조절에 영향을 미치거나 조절에 도입된다.
전술한 바와 같이, 샘플율은 피시험 디바이스의 특성, 예를 들어 일반 전력 소비와 임계 과열 사이의 추정 시간 범위에 따라 선택될 수 있다. 임의의 적절한 정보(예를 들어, 매개변수 또는 값)가 테스트를 개선하기 위해 핸들러에 전송될 수 있기 때문에 자동 테스트 장비는, 예를 들어 계기를 통해, 이러한 값 또는 매개변수를 측정하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비에 의한 추가 측정을 통해 피시험 디바이스의 테스트 및 감독을 최적화하기 위한 더 많은 매개변수를 제공할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 1ms 미만의 레이턴시 또는 100마이크로초 미만의 레이턴시 또는 10마이크로초 미만의 레이턴시 또는 1마이크로초 미만의 레이턴시(예를 들어, 1μs에서 1ms 사이의 레이턴시)로 상기 추가 시그널링 및/또는 트리거 시그널링을 제공하도록 구성된다.
전술한 바와 같이, (예를 들어, 런타임 시) 실시간으로 전송을 수행하기 위해, 실시간 핸들러 인터페이스가 그에 맞춰 설계되거나 구성될 수 있다. 이는 고속 데이터 전송을 허용하여, 예를 들어 핸들러 및/또는 자동 테스트 장비로 하여금 과열을 방지할 수 있도록 한다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는, 실시간 핸들러 인터페이스에 의해 제공되는 상기 추가 시그널링 및/또는 상기 트리거 시그널링의 레이턴시가 온도 조절 기능의 제어 루프의 시간 상수보다 더 낮도록 대역폭을 제공하도록 구성된다.
이를 통해 온도 제어를 신속하게 조정할 수 있어 제어 오류를 줄일 수 있다. 인터페이스가 제어 루프의 시간 상수보다 빠른 경우, 예를 들어 시작되는 온도 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)의 영향이 테스트를 방해하기 전에 제어를 조정할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 온도 제어 기능은 핸들러 인터페이스를 포함하는 제어 루프를 포함하며, 온도 제어 기능은 핸들러 인터페이스를 통해 전송되는 실시간 정보(예를 들어, 트리거 및/또는 추가 시그널링)를 고려하도록 구성되어, 예를 들어 제어 루프 신호 또는 제어 루프 정보가 핸들러 인터페이스 및 테스터 인터페이스를 통해 전송되고, 그에 따라 예를 들어 제어 루프 신호 또는 제어 루프 정보가 핸들러와 자동 테스트 장비 사이에서 직접(예를 들어, 점대점으로) 전송된다.
자동 테스트 장비와 핸들러 사이에서 전송되는 추가 정보에도 불구하고 실시간 핸들러 인터페이스는 그 전송 속도 때문에 실시간 온도 조절을 가능하게 할 수 있다. 따라서, 온도 제어는 효율적이고 정밀하며 신속할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 제어 루프는 자동 테스트 장비를 포함하고, 자동 테스트 장비는 핸들러와 결합하여 통합 조절(예를 들어, 온도 제어(조절) 기능)의 일부(예를 들어, 필수 부분)가 되도록 구성된다.
자동 테스트 장비는 예를 들어 온도 제어의 피드포워드(feedforward) 제어 요소일 수 있다. 자동 테스트 장비의 조작 변수는 예를 들어 피시험 디바이스의 전원일 수 있다. 핸들러에 의한 냉각/가열의 변경 및/또는 자동 테스트 장비에 의한 전원의 변경은 정밀한 온도 제어를 가능하게 할 수 있다. 대안적 또는 추가적으로, 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 값을 측정하거나 매개변수를 결정하고 상기 값 또는 매개변수를 제어 루프의 나머지 부분(예를 들어, 제어 요소)에 제공할 수 있다. 더욱이, 자동 테스트 장비는 예를 들어 조절 루프에 대한(예를 들어, 핸들러에 대한) 제어 입력을 계산할 수 있다. 따라서, 온도 제어는 우수한 안정 특성과 짧은 응답 시간을 포함할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 제어 기능에 의한 실시간 고려를 위해 상기 트리거 및/또는 추가 시그널링을 제공하도록 구성된다. 제어 알고리즘의 설계 및 실시간 요구에 대한 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 온도 제어 기능이 피시험 디바이스의 온도를 효율적으로 제어할 수 있다. 고속 조절 루프는 제어 오류를 신속하게 조정할 수 있다. 따라서, 바람직한 디바이스 온도가 유지될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 조절 루프의 일부이다. 전술한 바와 같이, 핸들러 인터페이스가 실시간 인터페이스이기 때문에, 핸들러 인터페이스는 제어 알고리즘의 속도를 늦추지 않고 제어 루프의 일부일 수 있고, 따라서 고속 제어 또는 조절 루프를 가능하게 할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는, 조절 기능이 자동 테스트 장비와 핸들러 사이에 분산되고 조절 데이터가 핸들러 인터페이스를 통해 전송되는 통합 조절을 구현하도록 구성된다. 핸들러는 제어 루프의 제어 요소 또는 교정 요소일 수 있다. 핸들러는, 예를 들어 피시험 디바이스를 냉각 또는 가열하여, 조작 변수를 구현하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러는 예를 들어 (예를 들어, 피시험 디바이스의 온도의) 측정을 제공함으로써 제어 루프의 피드백 루프의 일부일 수 있다.
전술한 바와 같이, 자동 테스트 장비는 예를 들어 온도 제어의 피드포워드 제어 요소일 수 있다. 자동 테스트 장비의 (예를 들어, 제2의) 조작 변수는 예를 들어 피시험 디바이스의 전원 또는 테스트 시퀀스일 수도 있다(테스트 시퀀스는, 예를 들어 피시험 디바이스의 어느 블록이 활성인지 정의함으로써 또는 피시험 디바이스의 클럭(clock) 속도에 영향을 줌으로써, 예를 들어 피시험 디바이스의 "스트레스"를 정의할 수 있음). 핸들러에 의한 냉각/가열의 변경 및/또는 자동 테스트 장비에 의한 전원의 변경은 정밀한 온도 제어를 허용할 수 있다.
또한, 핸들러는 온도 제어 기능을 제공할 수 있고, 핸들러 인터페이스는 온도 제어를 위한 추가 정보를 제공할 수 있다. 추가 정보는 (예를 들어, 전력 공급의 증가로 인한) 곧 있을 온도 피크에 대한 정보, 또는 자동 테스트 장비에 의해 결정된 다른 매개변수 및 값을 포함할 수 있다.
따라서, 온도 제어는 우수한 안정 특성과 짧은 응답 시간을 포함할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 자동 테스트 장비는, 예를 들어 핸들러 인터페이스에 의해 실시간으로 전송될 수 있는, 자동 테스트 장비의 패턴 생성기에 의해 제공되는 패턴을 사용하여, 조절 기능(예를 들어, 자동 테스트 장비와 핸들러에 의해 공동으로 제공되는 통합 조절 기능)에 영향을 미치도록 구성된다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예가 아래에서 더 상세히 설명된다. 그러나, 자동 테스트 장비와 관련하여 설명된 이점 및 예는 대응하는 핸들러에 대해 유사한 방식으로 이해되어야 한다. 따라서, 자동 테스트 장비와 관련하여 전술한 모든 특징, 기능 및 세부 사항은 대응하는 핸들러에 사용되거나 이에 통합되거나 조정될 수 있다. 예를 들어, 시그널링을 제공하도록 구성된 자동 테스트 장비는 해당 시그널링을 수신하도록 구성된 대응하는 핸들러로 대체될 수 있으며, 그 반대의 경우도 마찬가지이다. 다른 예로서, 태스크를 수행하기 위해 자동 테스트 장비가 핸들러에 시그널링을 제공하는 것은 대응하는 핸들러가 시그널링을 수신하고 해당 태스크를 수행하도록 구성되는 것으로 대체될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 예를 들어 런타임 시, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절 프로파일을 결정하도록 구성되고, 핸들러는, 예컨대 런타임 시, 예컨대 각 테스트 사이트에 대한, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절 프로파일의 결정을 위한 냉각 진폭 및/또는 지속 시간 및/또는 냉각 강도를 결정하도록 구성된다.
핸들러의 측정, 그리고 선택적으로 자동 테스트 장비로부터의 추가 정보(예를 들어, 추가 시그널링)에 기초하여, 핸들러는 디바이스 온도의 정밀한 예측을 결정할 수 있다. 따라서, 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절 프로파일은, 예를 들어 런타임에, 핸들러에 의해 결정될 수 있다. 원하는 디바이스 온도를 유지하기 위해 핸들러는 대응하는 냉각 및/또는 가열 진폭뿐만 아니라 그 지속 시간 및 강도를 결정할 수 있다. 따라서, 작은 허용 오차 대역과 빠른 제어 오류 보상으로 원하는 디바이스 온도를 얻을 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 온도 제어 기능은 테스터 인터페이스를 포함하는 제어 루프를 포함하며, 온도 제어 기능은 테스터 인터페이스를 통해 수신되는 실시간 정보(예를 들어, 트리거 및/또는 추가 시그널링)을 고려하도록 구성되어, 예를 들어 제어 루프 신호 또는 제어 루프 정보가 핸들러 인터페이스 및 테스터 인터페이스를 통해 전송되고, 그에 따라 예를 들어 제어 루프 신호 또는 제어 루프 정보가 핸들러와 자동 테스트 장비 사이에서 직접(예를 들어, 점대점으로) 전송되고, 예를 들어 온도 제어 기능의 시간 상수 또는 온도 제어 기능의 계산 시간과 비교하여 신호 레이턴시가 무의미하다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 제어 루프는 핸들러를 포함하고, 핸들러는 자동 테스트 장비와 결합하여 통합 조절기(예를 들어, 온도 제어(조절) 기능)의 일부(예를 들어, 필수 부분)가 되도록 구성된다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 테스터 인터페이스는 온도 제어 기능에서의 실시간 고려를 위해 상기 트리거 및/또는 추가 시그널링을 제공하도록 구성된다. 제어 알고리즘의 설계 및 실시간 요구에 대한 실시간 테스터 인터페이스를 통해 온도 제어 기능이 피시험 디바이스의 온도를 효율적으로 제어할 수 있다. 고속 조절 루프는 제어 오류를 신속하게 조정할 수 있다. 따라서, 바람직한 디바이스 온도가 유지될 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는 온도 제어 기능을 포함한다.
전술한 바와 같이, 핸들러는 제어 루프의 제어 요소이거나 교정 요소일 수 있다. 핸들러는, 예를 들어 피시험 디바이스를 냉각 또는 가열하여, 조작 변수를 구현하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러는 예를 들어 (예를 들어, 피시험 디바이스의 온도의) 측정을 제공함으로써 제어 루프의 피드백 루프의 일부일 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 실시간 테스터 인터페이스는 온도 조절 루프의 일부이다. 전술한 바와 같이, 테스터 인터페이스가 실시간 인터페이스이기 때문에, 테스터 인터페이스는 제어 알고리즘의 속도를 늦추지 않고 제어 루프의 일부일 수 있고, 따라서 고속 제어 또는 조절 루프를 가능하게 할 수 있다.
본 발명의 제5 양태에 따른 추가 실시예에 따르면, 핸들러는, 조절 기능이 자동 테스트 장비와 핸들러 사이에 분산되고 선택적으로 조절 데이터가 테스터 인터페이스를 통해 전송되는 통합 조절을 구현하도록 구성된다.
도면은 반드시 축척에 맞춰진 것이 아니며, 대신 일반적으로 본 발명의 원리를 설명하는 데 중점을 둔다. 다음 설명에서, 본 발명의 다양한 실시예는 다음 도면을 참조하여 설명된다.
도 1은 본 발명의 제1 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 제2 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 제3 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 제4 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 제5 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 7은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 8은 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 9는 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 10은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 11은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 12는 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 13은 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 14는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 15는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 개략적인 예를 도시한다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 온도 제어, 예를 들어 디바이스 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 종속 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 특정 테스트 흐름 분기(branching)의 개략적인 예를 도시한다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 경보 처리의 개략적인 예를 도시한다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 교정의 개략적인 예를 도시한다.
도 1은 본 발명의 제1 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 2는 본 발명의 제2 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 3은 본 발명의 제3 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 4는 본 발명의 제4 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 5는 본 발명의 제5 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 7은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 8은 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 9는 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 10은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 11은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 12는 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 13은 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 14는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 15는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법의 개략적인 블록도를 도시한다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 개략적인 예를 도시한다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 온도 제어, 예를 들어 디바이스 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 종속 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 특정 테스트 흐름 분기(branching)의 개략적인 예를 도시한다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 경보 처리의 개략적인 예를 도시한다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 교정의 개략적인 예를 도시한다.
동일하거나 동등한 구성요소 또는 동일하거나 동등한 기능을 갖는 구성요소는 상이한 도면에 도시되더라도 동일하거나 동등한 참조 부호로 다음 설명에서 표시된다.
다음 설명에서, 본 발명의 실시예의 보다 완전한 설명을 제공하기 위해 복수의 세부 사항이 제공된다. 그러나, 본 발명의 실시예가 이러한 특정 세부 사항 없이 실시될 수 있음은 당업자에게 명백할 것이다. 다른 경우에 있어서, 잘 알려진 구조 및 디바이스는 본 발명의 실시예를 모호하게 하는 것을 피하기 위해 상세하게 도시되기보다는 블록도 형태로 도시된다. 또한, 이하에서 설명되는 상이한 실시예의 특징은 특별히 달리 언급되지 않는 한 서로 결합될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 1은, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120)를 포함하는 자동 테스트 장비(110) 및 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(140)를 포함하는 핸들러(130)를 도시한다. 또한, 도 1은 예로서 핸들러(130) 상에 배열된 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 도시한다.
인터페이스(120, 140)는, 예를 들어 핸들러 인터페이스(120)가 테스터 인터페이스(140)와 통신하도록 구성되고 테스터 인터페이스(140)가 핸들러 인터페이스(120)와 통신하도록 구성되도록(인터페이스가 양방향이기도 하기 때문임) 전용 인터페이스이다. 또한, 인터페이스(120, 140)는 실시간 인터페이스이다. 따라서, 인터페이스 간의 데이터 전송 시간(예를 들어, 하나의 인터페이스에서의 메시지 전송 프로세스의 시작과 다른 인터페이스에서의 메시지 도착의 종료 사이의 시간 범위)은 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 제어의 시간 상수가 더 클 수 있도록 하는 규모 또는 크기일 수 있다. 따라서, 자동 테스트 장비(110)와 핸들러(130) 사이에서 교환되는 정보는 실시간 온도 제어를 위해 또는 다른 목적(예를 들어, 이전에 설명된 바와 같이, 테스트 조정 또는 테스트 평가용)으로 사용될 수 있다.
실시간 핸들러 인터페이스(120)는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러(130)에 트리거 시그널링(122)을 제공하도록 구성된다. 그 반대로, 핸들러(130)는 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)로부터 트리거 시그널링(122)을 수신하도록 구성되고, 핸들러(130)는 수신된 시그널링(122)에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하도록 구성된다.
핸들러(130)는 예를 들어 과열을 방지하기 위해 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 냉각 및/또는 가열하도록 구성될 수 있다. 핸들러가 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)에 대응할 수 있도록 트리거 시그널링(122)에는 곧 있을 피시험 디바이스의 온도 피크에 대한 정보가 포함될 수 있다.
또한, 핸들러(130)는 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)에 시그널링(142)을 제공하도록 구성되고, 실시간 핸들러 인터페이스(120)는 핸들러(130)로부터 시그널링(142)을 수신하도록 구성된다. 자동 테스트 장비(110)는 핸들러로부터 수신된 시그널링(142)을 고려하도록 구성된다.
핸들러는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 정보를 실시간으로 자동 테스트 장비(110)에 전송할 수 있다. 자동 테스트 장비(110)는, 예를 들어 피시험 디바이스의 과열을 방지하기 위해, 예를 들어 테스트 프로세스를 조정함으로써, 이 정보를 고려할 수 있다. 테스트 흐름은 예를 들어 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)에 대한 냉각 시간이 2개의 하위 테스트 사이에서 증가될 수 있도록 조정될 수 있다. 또한, 트리거 시그널링(122)은, 예를 들어 온도 관리 전략을 조정하도록 핸들러(130)에 지시하기 위해, 수신된 시그널링(142)에 기초하여 조정될 수 있다.
선택적으로, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120)는 동기화 시그널링을 핸들러(130)에 제공하도록 구성될 수 있다. 핸들러(130)는 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(140)를 통해 동기화 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 동기화 시그널링에 기초하여, 핸들러(130)는 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비(110)와 동기화할 수 있다. 특정 시간에(또는, 예를 들어, 자동 테스트 장비(110)에 의한 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 자극에 대해 특정 시간 차이로) 핸들러(130)에 의한 측정(예를 들어, 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 측정)을 수행하기 위해 동기화를 수행할 수 있다. 시그널링(122)은 예를 들어 동기화 시그널링을 포함할 수 있거나, 동기화 시그널링은 별도의 시그널링일 수 있다.
선택적으로, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120)는 핸들러(130)에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 테스트 사이트 특정 시그널링에 기초하거나 이에 응답하여 온도 제어 기능을 제어할 수 있다(예를 들어, 특정 피시험 디바이스(152)의 냉각을 수행함).
선택적으로, 핸들러(130)에서 자동 테스트 장비(110)로 보내는 시그널링(142)은 테스트 사이트 특정 시그널링, 예를 들어 특정 테스트 사이트 또는 피시험 디바이스(152) 각각의 온도 측정일 수 있다.
선택적으로, 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120)는 트리거 시그널링(122) 이외에 추가 시그널링을 제공하도록 구성된다. 핸들러(130)는 실시간 테스터 인터페이스(140)를 통해 트리거 시그널링(122) 이외에 추가 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 추가 시그널링은, 핸들러(130)에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 자동 테스트 장비(110)에 의해 결정된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 하나 이상의 테스트 상태 매개변수 및/또는 경보 정보 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 핸들러(130)는 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트 또는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158) 각각의 온도를 제어하기 위해 추가 시그널링을 사용하도록 구성될 수 있다. 추가 시그널링은 피시험 디바이스의 테스트를 개선하기 위해 적절한 어떠한 정보도 포함할 수 있다.
테스트 상태 매개변수는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)에 대한 곧 있을 전력 공급 변화에 대한 타이밍 정보를 포함할 수 있다. 이에 기초하여, 핸들러(130)는 디바이스에 대한 냉각 전략을 조정할 수 있다. 또한, 핸들러는 온도 관리를 조정하는 방법을 결정하기 위해 이러한 정보를 평가하도록 구성될 수 있다. 그러나, 추가 시그널링은 직접적인 온도 관리 전략(예를 들어, 앞서 언급된 타이밍 정보에 기초한 처리된 정보)일 수 있어, 예를 들어 제어 정보의 형태로, 냉각 시기 및 위치만을 핸들러에 알릴 수 있다. 예를 들어, 피시험 디바이스의 오작동이 발생한 경우, 손상 또는 테스트 중단을 방지하기 위해 경보 정보는 핸들러(130)로 하여금 피시험 디바이스를 즉시 냉각시키게 할 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(110)는 핸들러로부터의 시그널링(142)에 반응하여 테스트 흐름을 조정하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)에 대한 정보(예를 들어, 온도 정보)를 제공할 수 있다. 이러한 정보는 유익한 테스트 조정을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 피시험 디바이스의 온도가 상승하는 경우, 자동 테스트 장비(110)는 해당 디바이스에 대한 두 테스트 사이의 지연을 연장하여 디바이스가 임계 온도에 도달하기 전에 냉각되도록 할 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(110)는 핸들러로부터의 시그널링(142)에 반응하여 테스트를 중단시키도록 구성될 수 있다. 따라서, 핸들러에 의해 제공되는 시그널링(142)은 중단 시그널링일 수 있다. 자동 테스트 장비(110)는 시그널링(142)(예를 들어, 중단 시그널링), 예를 들어 핸들러에 의한 핸들러의 온도 측정의 평가에 기초한 시그널링, 또는 예를 들어 핸들러(130)에 의해 제공되는 과열 또는 경보 정보에 응답 또는 반응하여 테스트를 중단시킬 수 있다. 또 다른 선택적인 특징으로서, 핸들러(130)는 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 중단 시그널링을 제공하도록 구성되어, 예를 들어 특정 피시험 디바이스에 대한 개별적인 테스트 중단을 가능하게 할 수 있다. 따라서, 다른 피시험 디바이스에 대한 테스트는 계속 진행될 수 있다. 따라서, 선택적으로, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신한 것에 대한 응답으로 테스트 사이트 특정적으로 테스트를 중단시키도록 구성될 수 있다.
선택적으로, 핸들러(130)에 의해 제공되는 시그널링(142)은, 예를 들어 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하기 위한, 비활성화 시그널링일 수 있다. 예를 들어, 경우에 따라, 핸들러(130)는, 예를 들어 오작동이 발생한 경우, 피시험 디바이스의 과열을 방지하지 못할 수 있다. 따라서, 핸들러는 측정 데이터를 평가할 수 있고, 피시험 디바이스의 전원 공급을 중지시키기 위해 자동 테스트 장비(110)에 비활성화 시그널링을 보낼 수 있다. 일반적으로, 핸들러는 오작동, 예를 들어 피시험 디바이스의 오작동, 또는 예를 들어 온도 제어 기능의 오작동을 검출하도록 구성될 수 있고, (예를 들어, 비활성화 시그널링 형태의) 시그널링(142)을 통해 자동 테스트 장비(110)에 이러한 정보를 제공할 수 있다. 따라서, 선택적으로, 자동 테스트 장비는 핸들러로부터 시그널링을 수신한 것에 대한 응답으로 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하도록 구성될 수 있다.
선택적으로, 예를 들어 셧다운을 방지하기 위해, 핸들러(130)는 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)에 온도 경고 시그널링을 제공하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비는 온도 경고 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 이에 기초하여, 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 과열을 방지하기 위해 테스트를 조정할 수 있다. 따라서, 핸들러(130)는 피시험 디바이스의 거동 또는 온도 측정치를 평가하도록 구성될 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(110)는 핸들러(130)로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 테스터 인터페이스(140)를 통해 테스트 사이트 특정 시그널링을 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성될 수 있다. 따라서, 전술한 모든 특징은 특정 피시험 디바이스 또는 테스트 사이트 각각에 대해 개별적으로 수행될 수 있다(예를 들어, 냉각 전략의 개별 조정, 전원 차단, 지연 시간 조정).
선택적으로, 핸들러(130)는, 실시간 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)로 보내는 시그널링(142)을 사용하여 피시험 디바이스의 데이터 처리에 영향을 미치도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비(110)는 핸들러(130)로부터 시그널링(142)을 수신한 것에 응답하여 피시험 디바이스의 데이터 처리에 영향을 미치도록 구성될 수 있다. 핸들러는 데이터 기록의 시작 또는 끝을 트리거할 수 있다. 예를 들어, 오작동과 같은 이벤트가 검출된 경우, 해당 이벤트의 데이터는 고장 분석을 위해 기록될 수 있다. 다른 한편으로, 오작동 또는 과열의 경우(예를 들어, 해당 디바이스에 대한 전원 공급이 차단되어 그 이후의 측정 데이터를 쓸모없게 만드는 경우) 데이터 기록은 중지되는 것이 나을 수도 있다.
선택적으로, 핸들러(130)는 자동 테스트 장비(110)에 의한 로그를 위한 시그널링을 테스터 인터페이스(140)를 통해 자동 테스트 장비(110)에 제공하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비(110)는 핸들러(130)로부터 수신된 시그널링을 로그하도록 구성될 수 있다. 시그널링은 자동 테스트 장비에 의해 저장될 측정 데이터(예를 들어, 온도 정보)를 포함할 수 있다. 이러한 데이터를 기반으로 테스트 평가가 수행될 수 있다.
선택적으로, 핸들러(130)는 제공된 신호에 응답하여 자동 테스트 장비(110)의 실시간 반응을 가능하게 하기 위한 시그널링을 실시간으로 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비(110)에 제공하도록 구성된다. 예를 들어, 시그널링(142)은 실시간으로 제공될 수 있다. 예를 들어, 자동 테스트 장비(110)는, 예를 들어 핸들러(130)에 의해 수신된 시그널링에 응답하여, 실시간으로 반응하도록 구성될 수 있다. 실시간으로 핸들러 정보를 제공하고 실시간으로 반응하는 것은 효율적인 테스트를 가능하게 하는데, 이는 예를 들어 실시간 신호의 가용성에 기초하여 가능할 수 있는 실시간 테스트 조정 및 테스트 평가로 인한 것이다.
도 1에 도시된 구성요소는 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비(110) 및 핸들러(130)를 포함하는 테스트 셀 또는 테스트 시스템일 수 있음을 주목해야 한다. 그러나, 자동 테스트 장비(110) 및 핸들러(130)는 본 발명에 따라 개별적으로 사용될 수 있다.
부가적인 언급으로서, 시그널링(122, 142)은 예를 들어 공통 배선을 통해 또는 별도의 배선을 통해 이루어질 수 있다는 점에 유의해야 한다.
도 2는 본 발명의 제2 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 2는 실시간 핸들러 인터페이스(220)를 포함하는 자동 테스트 장비(210) 및 실시간 테스터 인터페이스(240)를 포함하는 핸들러(230)를 도시한다. 또한, 도 2는 예로서 핸들러(230) 상에 배열된 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 도시한다.
인터페이스(220, 240)는 실시간 인터페이스이다. 따라서, 인터페이스 간의 데이터 전송 시간(예를 들어, 핸들러 인터페이스(220)에서의 메시지 전송 프로세스의 시작과 테스터 인터페이스(240)에서의 메시지 도착의 종료 사이의 시간 범위)은 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 제어의 시간 상수가 더 클 수 있도록 하는 규모 또는 크기일 수 있다. 따라서, 자동 테스트 장비(210)에서 핸들러(230)로 전송되는 정보는 실시간 온도 제어를 위해 사용될 수 있다.
실시간 핸들러 인터페이스(220)는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러(230)에 트리거 시그널링(122)을 제공하도록 구성된다. 그 반대로, 핸들러(230)는 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 트리거 시그널링(122)을 수신하도록 구성되고, 핸들러(230)는 수신된 시그널링(122)에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하도록 구성된다.
핸들러(230)는 예를 들어 과열을 방지하기 위해 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 냉각 및/또는 가열하도록 구성될 수 있다. 핸들러가 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)에 대응할 수 있도록 트리거 시그널링(122)에는 곧 있을 피시험 디바이스의 온도 피크에 대한 정보가 포함될 수 있다.
또한, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 핸들러(230)의 기능을 동기화하기 위한 동기화 시그널링(222)을 핸들러(230)에 제공하도록 구성된다. 핸들러(230)는 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 동기화 시그널링(222)을 수신하도록 구성되고, 수신된 동기화 시그널링(222)에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비(210)와 동기화하도록 구성된다.
열 다이오드 교정과 같은 일부 애플리케이션은 정확한 시점에서 온도를 측정하기 위해 핸들러(230)와 자동 테스트 장비(210) 사이의 빠르고 정확한 동기화 타이밍을 요구할 수 있다. 동기화 시그널링(222)은 핸들러(230)에 예를 들어 정확한 측정 시기를 알려주기 위해 사용될 수 있다. 이는, 예를 들어 이벤트(예를 들어, 자동 테스트 장비(210)에 의한 피시험 디바이스의 자극 및 그에 대응하는 핸들러(230)의 측정)의 정확한 할당으로 인해, 정확한 테스트를 가능하게 할 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는 핸들러로 보내는 동기화 시그널링(222)에 기초하여 핸들러와의 능동 동기화를 가능하게 하도록 구성될 수 있다. 능동 동기화는 대기 삽입이 없는 동기화일 수 있다. 핸들러(230)는 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 자동 테스트 장비(210)와의 능동 동기화를 위한 동기화 시그널링(222)과 같은 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러는 동기화 시그널링에 기초하여 자동 테스트 장비와의 능동 동기화를 수행하도록 구성될 수 있다. 이는 빠르고 정확한 테스트를 가능하게 할 수 있는데, 전술한 바와 같이 핸들러(230)와 자동 테스트 장비(210)가 동기화될 수 있고 이러한 동기화를 달성하기 위해 대기문을 수행할 필요가 없기 때문이다. 이를 통해 테스트 시간이 단축될 수 있다. 실시간 인터페이스는 매우 제한된 지연으로 동기화를 수행할 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는 핸들러(230)의 교정 타이밍을 결정하기 위해 핸들러(230)에 교정 타이밍 정보를 전송하도록 구성될 수 있다. 핸들러(230)는 교정 타이밍을 결정하기 위해 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터, 예를 들어 동기화 시그널링(222)으로서, 교정 타이밍 정보를 수신하도록 구성될 수 있다. 또한, 핸들러(230)는 교정 타이밍 정보에 기초하여 교정 타이밍을 결정하도록 구성될 수 있다. 교정은 오류를 보상하기 위해 수행될 수 있다. 예를 들어, 후속 측정의 오프셋을 보상하기 위해 피시험 디바이스의 제1 상태에서 제1 측정이 수행될 수 있다. 이는 측정 및/또는 테스트 정확도를 높일 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는, 피시험 디바이스가 사전 결정된 방식으로 전원을 공급받거나 바이어스되거나 초기화되는 것을 나타내는 시그널링을, 예를 들어 동기화 시그널링(222)으로서, 전송하도록 구성될 수 있다. 핸들러(230)는 피시험 디바이스가 사전 결정된 방식으로 조절되거나 전원을 공급받거나 바이어스되거나 초기화되는 것을 나타내는 시그널링을 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 수신하도록 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 피시험 디바이스가 사전 결정된 방식으로 전원을 공급받거나 바이어스되거나 초기화되는 것에 관한 정보는 (예를 들어, 후속) 측정을 교정하기 위해 사용될 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는 상이한 디바이스 또는 테스트 조건에 도달할 때 시그널링을 전송하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 해당 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 이는 자동 테스트 장비(210)와 핸들러(230)를 동기화하기 위해 수행될 수 있다. 따라서, 이러한 정보는 동기화 시그널링(222)의 일부일 수 있다. 그러나, 이러한 정보는 예를 들어 별도로 전송될 수도 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(210)는 핸들러(230)에 의한 하나 이상의 온도 판독을 트리거하기 위해 동기화 시그널링(222)을 제공하도록 구성될 수 있다. 핸들러(230)는 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 동기화 시그널링(222)과 같은 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있고, 동기화 시그널링에 기초하여, 예를 들어 온도 측정의 교정을 위한, 하나 이상의 온도 측정을 수행하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비는 테스트 루틴을 실행할 수 있으며 피시험 디바이스에 자극을 제공할 수 있다. 테스트를 위해 디바이스가 사전 결정된 상태에 있을 때 디바이스의 온도를 측정해야 할 수 있다. 테스트 루틴 및 전류 자극에 기초하여, 자동 테스트 장비는 예를 들어 동기화 시그널링(222)을 통해 측정을 수행하도록 핸들러(230)에 지시함으로써 동기화를 시작할 수 있다. 인터페이스가 실시간 인터페이스이기 때문에, 이러한 지시는 동기 측정을 수행하기 위해 충분히 빠르게 전송될 수 있으며, 예를 들어 테스트 루틴에 의해 지시된 바와 같이 각각의 디바이스가 사전 결정된 상태에 있을 때 측정이 수행될 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스는 핸들러(230)로 보내는 동기화 시그널링에 기초하여 열 다이오드 교정을 가능하게 하도록 구성될 수 있다. 열 다이오드 교정은 델타 온도 측정을 포함할 수 있고, 실시간 핸들러 인터페이스(220)는 열 다이오드 교정을 위한 실시간 측정 타이밍 정보를 핸들러(230)에 전송하도록 구성될 수 있다.
핸들러(230)는 예를 들어 테스터 인터페이스(240)를 통해 자동 테스트 장비(210)로부터 수신된 동기화 시그널링(222)에 기초하여 열 다이오드 교정을 수행하도록 구성될 수 있다. 열 다이오드 교정은 델타 온도 측정을 포함할 수 있고, 핸들러(230)는 델타 온도 측정을 수행하도록 구성될 수 있다. 더욱이, 핸들러는 열 다이오드 교정을 위한 실시간 측정 타이밍 정보를 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 수신하도록 구성될 수 있다.
선택적으로, 동기화 시그널링(222)은 핸들러(230)의 측정을 위한 (예를 들어, 테스트 사이트 특정의) 시간 정보를 포함할 수 있다. 선택적으로, 동기화 시그널링은 (예를 들어, 테스트 사이트 특정의) 테스트 상태 정보 또는 디바이스 상태 정보를 포함한다. 자동 테스트 장비(210)는 핸들러(210)에 의한 측정을 필요로 할 수 있는 곧 있을 이벤트에 대해 핸들러(230)에 알릴 수 있다.
도 2에 도시된 구성요소는 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비(210) 및 핸들러(230)를 포함하는 테스트 셀 또는 테스트 시스템일 수 있음을 주목해야 한다. 그러나, 자동 테스트 장비(210) 및 핸들러(230)는 본 발명에 따라 개별적으로 사용될 수 있다.
부가적인 언급으로서, 시그널링(122, 222)은 예를 들어 공통 배선을 통해 또는 별도의 배선을 통해 이루어질 수 있다는 점에 유의해야 한다.
도 3은 본 발명의 제3 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 3은 실시간 핸들러 인터페이스(320)를 포함하는 자동 테스트 장비(310) 및 실시간 테스터 인터페이스(340)를 포함하는 핸들러(330)를 도시한다. 또한, 도 3은 예로서 핸들러(330) 상에 배열된 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 도시한다.
인터페이스(320, 340)는 실시간 인터페이스이다. 따라서, 인터페이스 간의 데이터 전송 시간(예를 들어, 핸들러 인터페이스(320)에서의 메시지 전송 프로세스의 시작과 테스터 인터페이스(340)에서의 메시지 도착의 종료 사이의 시간 범위)은 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 제어의 시간 상수가 더 클 수 있도록 하는 규모 또는 크기일 수 있다. 따라서, 자동 테스트 장비(310)에서 핸들러(330)로 전송되는 정보는 실시간 온도 제어를 위해 사용될 수 있다.
실시간 핸들러 인터페이스(320)는 온도 제어 기능을 제어하기 위해 핸들러(330)에 테스트 사이트 특정 시그널링(322)을 제공하도록 구성된다. 그 반대로, 핸들러(330)는 테스터 인터페이스(340)를 통해 자동 테스트 장비(310)로부터 시그널링(322)을 수신하도록 구성되고, 핸들러(330)는 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링(322)에 응답하여 온도 제어 기능을 제어하도록 구성된다.
피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)는 테스트하는 동안 상이한 온도 추이와 같은 상이한 거동을 보일 수 있다. 결과적으로, 자동 테스트 장비(310)는 피시험 디바이스의 온도 조절을 조정하기 위한 테스트 사이트 특정 정보를 제공할 수 있다. 핸들러는 예를 들어 상기 정보에 따라 디바이스 또는 테스트 사이트 각각의 예컨대 냉각의 순서 및 정도를 조정할 수 있다. 따라서, 테스트 효율성을 높이기 위해 개별 테스트 조정을 수행할 수 있다.
예를 들어, 시그널링(322)에는 곧 있을 특정 피시험 디바이스의 온도 피크에 대한 정보가 포함되어 있어 핸들러가 디바이스의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)에 대응할 수 있도록 할 수 있다.
선택적으로, 테스트 사이트 특정 시그널링(322)은, 테스트 사이트 특정 경보, 테스트 사이트 특정 트리거 식별 정보, 테스트 사이트 특정 온도 조정 정보, 테스트 사이트 특정 셋업 정보, 테스트 사이트 특정 방열 정보 및/또는 테스트 사이트 특정 타이밍 정보 중 하나 이상의 정보를 포함할 수 있다. 테스트 효율성과 정확성을 향상시키는 데 적합한 어떠한 정보도 전송될 수 있다. 예를 들어, 자동 테스트 장비(310)가 온도 핫스팟(또는 심지어 열 폭주) 또는 디바이스 오작동을 결정하는 경우, 경보가 핸들러에 전송될 수 있다. 테스트 사이트 특정 셋업 정보에 기초하여, 핸들러(330)는 각 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 그 셋업에 따라 최적으로 냉각시키기 위해 냉각 동작을 스케줄링할 수 있다. 유사하게, 방열 및 타이밍 정보는, 스케줄링된 테스트 또는 테스트 자극에 따라 디바이스가 발산할 수 있는 열의 예상치 또는 예측치, 및 예를 들어, 이러한 열이 발산되는 시기, 또는 핸들러가 특정 디바이스를 냉각해야 하는 시기에 대한 정보를 포함할 수 있다. 이렇게 함으로써, 테스트 효율성과 테스트 중 열 관리가 향상될 수 있다.
선택적으로, 테스트 사이트 특정 시그널링은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보의 조합을 포함하며, 테스트 사이트 식별 정보는 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관을 가능하게 하도록 구성된다. 따라서, 온도 관리 전략은 각각의 테스트 사이트 또는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)에 대해 개별적으로 구현될 수 있다. 이는 테스트 효율성을 향상시킬 수 있다.
선택적으로, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함할 수 있고/있거나, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링으로 변조될 수 있다. 특정 테스트 사이트 또는 피시험 디바이스를 각각 식별하기 위해 테스트 사이트 ID가 전송될 수 있다. 테스트 사이트 ID의 변조는 단일 전송 라인(예를 들어, 단일 트리거 라인)의 사용을 허용하고 배선을 줄일 수 있다. ID를 통해 핸들러(330)는 어느 테스트 사이트가 트리거 신호 또는 시그널링(322)에 따라야 하는지를 통지받을 수 있다.
선택적으로, 조절 정보는 타이밍 정보 및/또는 제어 진폭 정보를 포함할 수 있다. 이에 기초하여, 핸들러(330)는 적절한 냉각/가열을 수행하여 피시험 디바이스가 바람직한 온도 간격 내에 유지되도록 할 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(310)는 복수의 테스트 사이트에 대한 단일 트리거 시그널링, 및 트리거 이벤트와 상이한 테스트 사이트에 대해 수행되는 열 전처리 동작의 시작 사이의 지연을 나타내는 상이한 사이트 특정 지연 정보를 제공하도록 구성될 수 있다. 핸들러(330)는 테스터 인터페이스(320)를 통해 자동 테스트 장비(310)로부터 단일 트리거 시그널링을 수신하도록 구성될 수 있다. 따라서, 시그널링 노력이 감소되어 보다 빠른 시그널링 전송을 허용할 수 있다. 자동 테스트 장비(310)는 복수의 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)에 대한 곧 있을 온도 추이를 평가하거나 예측할 수 있으며, 이에 기초하여, 어떤 피시험 디바이스도 열 폭주를 겪지 않도록 적절한 지연(예를 들어, 냉각 지연)을 결정할 수 있다. 이는 후속 테스트 동작 또는 트리거 이벤트(예를 들어, 전력 공급 증가 및 열 전처리 동작)의 시작을 지연시킴으로써 달성될 수 있다. 테스트들 사이에서 디바이스가 바람직한 온도로 냉각될 수 있도록 충분한 시간이 디바이스에 주어질 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(310)는 대응하는 상태가 상이한 테스트 흐름에서 상이한 시간에 도달되는 방식으로 상이한 사이트의 테스트 흐름을 실행하도록 구성될 수 있다. 또한, 자동 테스트 장비(310)는 각 테스트 흐름의 사전 결정된 상태에 도달하는 것에 응답하여 사이트 특정 시그널링을 제공하도록 구성될 수 있다. 따라서, 핸들러(330)는 각 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 현재 상태를 잘 알고 있을 수 있고, 예를 들어 이에 기초하여, 적절한 냉각 동작을 스케줄링할 수 있다. 더욱이, 핸들러는, 예를 들어 곧 있을 예상되는 온도 상승에 대한 정보를 포함하는 트리거 시그널링에 기초하여, 예를 들어 테스트 시퀀스에서 현재 또는 곧 있을 사전 결정된 테스트 상태에 대한 정보에 기초하여, 온도 상승 전에 미리 피시험 디바이스의 냉각을 시작하도록 구성될 수 있다. 또한, 과열을 방지하기 위해, 많은 양의 전력을 받는 피시험 디바이스가 더 잦은 온도 측정을 위해 선택될 수 있다.
도 3에 도시된 구성요소는 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비(310) 및 핸들러(330)를 포함하는 테스트 셀 또는 테스트 시스템일 수 있음을 주목해야 한다. 그러나, 자동 테스트 장비(310)와 핸들러(330)는 본 발명에 따라 개별적으로 사용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 제4 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 4는 실시간 핸들러 인터페이스(420)를 포함하는 자동 테스트 장비(410) 및 실시간 테스터 인터페이스(440)를 포함하는 핸들러(430)를 도시한다. 또한, 도 4는 예로서 핸들러(430) 상에 배열된 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 도시한다.
인터페이스(420, 440)는 실시간 인터페이스이다. 따라서, 인터페이스 간의 데이터 전송 시간(예를 들어, 테스터 인터페이스(440)에서의 메시지 전송 프로세스의 시작과 핸들러 인터페이스(420)에서의 메시지 도착의 종료 사이의 시간 범위)은 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 제어의 시간 상수가 더 클 수 있도록 하는 규모 또는 크기일 수 있다. 따라서, 핸들러(430)에서 자동 테스트 장비(410)로 전송되는 정보는 실시간 온도 제어를 위해 사용될 수 있다.
실시간 테스터 인터페이스(440)는 자동 테스트 장비(410)에 테스트 사이트 특정 시그널링(442)을 제공하도록 구성된다. 반대로, 자동 테스트 장비(410)는 핸들러 인터페이스(420)를 통해 핸들러(430)로부터 시그널링(442)을 수신하도록 구성된다.
피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)는 테스트하는 동안 상이한 온도 추이와 같은 상이한 거동을 보일 수 있다. 결과적으로, 핸들러(430)는 피시험 디바이스의 온도 조절 또는 테스트 스케줄을 조정하기 위한 테스트 사이트 특정 정보를 제공할 수 있다. 핸들러는 예를 들어 자동 테스트 장비(410)를 위한 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 개별 온도를 제공할 수 있다. 자동 테스트 장비(410)는 예를 들어 상기 정보에 따라 디바이스 또는 테스트 사이트 각각에 대한 서로 다른 테스트들 간의 지연을 조정할 수 있다. 따라서, 테스트 효율성을 높이기 위해 개별 테스트 조정을 수행할 수 있다.
선택적으로, 핸들러(430)는 온도 오작동을 검출하도록 구성될 수 있다. 이는 예를 들어 온도 구배가 특정 구배를 초과할 때 검출될 수 있다. 또한, 테스트 사이트 특정 시그널링은 예를 들어 테스트 사이트 특정 경보일 수 있다. 선택적으로, 핸들러(430)는 테스트 사이트 특정 경보 처리 및/또는 테스트 사이트 특정 셧다운을 가능하게 하도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비(410)는 선택적으로, 테스트 사이트 특정 경보를 처리하고/하거나, 테스트 사이트 특정 경보에 기초하여 테스트 사이트 특정 셧다운을 수행하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 핸들러는 피시험 디바이스(152)의 측정치들 사이의 큰 온도 차이를 검출할 수 있다. 차이는 임계값을 초과할 수 있으며, 핸들러는 디바이스(152) 또는 각각의 그 테스트 측면(test-side)에 대한 경보를 생성하거나 선언할 수 있다. 이러한 테스트 사이트 특정 경보는 시그널링(442)을 통해 자동 테스트 장비(410)로 전송될 수 있다. 자동 테스트 장비(410)는 디바이스(152)를 포함하는 특정 테스트 사이트를 셧다운하여 해당 디바이스의 손상을 방지하고 나머지 피시험 디바이스(154, 156, 158)의 테스트를 진행할 수 있다.
선택적으로, 핸들러(430)는, 실시간 테스터 인터페이스(440)를 통해 자동 테스트 장비(410)로 보내는 시그널링(442)을 사용하여 피시험 디바이스의 데이터 처리(예를 들어, 비닝(binning) 및 데이터 로깅(datalogging))에 영향을 미치도록 구성될 수 있다. 자동 테스트 장비(410)는 핸들러(430)로부터 (예를 들어, 테스트 사이트 특정의) 시그널링을 수신한 것에 응답하여 피시험 디바이스의 데이터 처리에 영향을 미치도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 핸들러(430)는 전술한 바와 같이 피시험 디바이스의 오작동을 검출할 수 있으며, 그에 따라, 디바이스의 데이터에 오류가 있을 수 있으므로 자동 테스트 장비에 디바이스의 데이터의 로그를 중지하도록 지시할 수 있다.
선택적으로, 테스트 사이트 특정 시그널링(442)은 테스트 사이트 식별 정보와 조절 정보의 조합을 포함할 수 있으며, 테스트 사이트 식별 정보는 조절 정보의 테스트 사이트 특정 연관을 가능하게 하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 시그널링(442)은 특정 테스트 사이트 또는 피시험 디바이스를 각각 식별하는 구문 요소, 및 그와 연관된, 냉각 지속 시간 및 냉각 시기에 관한 정보를 포함하는 수행할 열 관리에 대한 정보(예를 들어, 냉각 진폭 및 타이밍 정보)를 포함할 수 있다. 따라서, 각 피시험 디바이스에 대해 바람직한 온도 경로로 테스트를 수행할 수 있다.
선택적으로, 테스트 사이트 식별 정보는 테스트 사이트 ID를 포함할 수 있고/있거나, 테스트 사이트 ID는 테스트 사이트 특정 시그널링(442)으로 변조될 수 있다. 테스트 사이트 ID의 변조는 단일 트리거 라인을 허용하여 특히 복수의 테스트 사이트에 대한 배선 노력을 줄일 수 있다.
선택적으로, 조절 정보는 타이밍 정보(예를 들어 냉각 또는 가열 시기, 또는 지연), 및/또는 제어 진폭 정보를 포함한다. 이는 피시험 디바이스의 향상된 열 관리를 허용할 수 있다.
도 4에 도시된 구성요소는 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비 (410) 및 핸들러(430)를 포함하는 테스트 셀 또는 테스트 시스템일 수 있음을 주목해야 한다. 그러나, 자동 테스트 장비(410) 및 핸들러(430)는 본 발명에 따라 개별적으로 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제5 양태에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 실시예의 개략적인 평면도를 도시한다. 도 5는 실시간 핸들러 인터페이스(520)를 포함하는 자동 테스트 장비(510) 및 실시간 테스터 인터페이스(540)를 포함하는 핸들러(530)를 도시한다. 또한, 도 5는 예로서 핸들러(530) 상에 배열된 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 도시한다.
인터페이스(520, 540)는 실시간 인터페이스이다. 따라서, 인터페이스 간의 데이터 전송 시간(예를 들어, 핸들러 인터페이스(520)에서의 메시지 전송 프로세스의 시작과 테스터 인터페이스(540)에서의 메시지 도착의 종료 사이의 시간 범위)은 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 온도 제어의 시간 상수가 더 클 수 있도록 하는 규모 또는 크기일 수 있다. 따라서, 자동 테스트 장비(510)에서 핸들러(530)로 전송되는 정보는 실시간 온도 제어를 위해 사용될 수 있다.
실시간 핸들러 인터페이스(520)는 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러(530)에 트리거 시그널링(122)을 제공하도록 구성된다. 그 반대로, 핸들러(530)는 테스터 인터페이스(540)를 통해 자동 테스트 장비(510)로부터 트리거 시그널링(122)을 수신하도록 구성되고, 핸들러(530)는 수신된 시그널링(122)에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하도록 구성된다.
핸들러(530)는 예를 들어 과열을 방지하기 위해 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 냉각 및/또는 가열하도록 구성될 수 있다. 핸들러가 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)의 열 핫스팟(또는 심지어 열 폭주)에 대응할 수 있도록 트리거 시그널링(122)에는 곧 있을 피시험 디바이스의 온도 피크에 대한 정보가 포함될 수 있다.
또한, 실시간 핸들러 인터페이스(520)는 트리거 시그널링(122) 이외에 추가 시그널링(522)을 제공하도록 구성된다. 핸들러(530)는 실시간 테스터 인터페이스(540)를 통해 트리거 시그널링(122), 및 트리거 시그널링(122) 이외에 추가 시그널링(522)을 수신하도록 구성될 수 있다. 추가 시그널링은, 핸들러에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출되는 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 하나 이상의 테스트 상태 매개변수 및/또는 경보 정보 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
수행될 테스트에 기초하여 자동 테스트 장비(510)는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)와 핸들러(530)의 상호작용을 조정하기 위해 추가 시그널링(522)을 결정하거나 예측하거나 평가할 수 있다. 자동 테스트 장비(510)는, 예를 들어 공급 전력의 스케줄링된 증가로 인해, 예를 들어 피시험 디바이스 온도의 상승을 예측할 수 있으며, 따라서 해당 피시험 디바이스의 온도가 바람직하지 않은 수준으로 상승하는 것에 대응하기 위해 핸들러에 대한 제어 정보를 결정할 수 있다. 이는 예를 들어 냉각 진폭 및/또는 냉각 지속 시간의 조정을 포함할 수 있다. 또한, 자동 테스트 장비(510)는 예를 들어 하나 이상의 측정된 변수 및/또는 하나 이상의 테스트 상태 매개변수에 대한 정보를 결정할 수 있다. 자동 테스트 장비(510)는 예를 들어 피시험 디바이스의 현재 또는 예상 거동을 결정하거나 평가하고, 핸들러가 테스트를 위해 바람직한 방식으로 피시험 디바이스를 조작하도록 허용할 수 있는 정보를 핸들러(530)에 제공할 수 있다. 예를 들어, 자동 테스트 장비(510)의 데이터 평가가 피시험 디바이스의 임계 상태(예를 들어, 과온)를 결정하는 경우, 핸들러(530)가 자신의 디바이스 관리(예를 들어, 열 관리)를 조정할 수 있도록 핸들러에 경보 정보가 제공될 수 있다.
선택적으로, 핸들러(530)는 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절 프로파일을 결정하도록 구성될 수 있고, 핸들러(530)는 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절 프로파일의 결정을 위한 냉각 진폭 및/또는 지속 시간 및/또는 냉각 강도를 결정하도록 구성될 수 있다. 핸들러는 앞서 언급된 온도 관리 특성을 결정하기 위해 (예를 들어, 트리거 시그널링(122) 또는 추가 시그널링(522)의 형태로) 자동 테스트 장비(510)에 의해 제공되는 정보를 평가할 수 있다. 대안적으로, 그러한 정보는 (예를 들어, 핸들러가 정보를 결정할 필요 없이) 자동 테스트 장비에 의해 평가되고 직접 전송될 수 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비는 피시험 디바이스의 디지털 데이터 스트림에서 측정 값 또는 매개변수를 추출하도록 구성될 수 있고, 실시간 핸들러 인터페이스는 해당 측정 값 또는 매개변수를 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 전송하도록 구성된다. 선택적으로, 자동 테스트 장비는 자동 테스트 장비의 계기에 의해 측정된 값 또는 매개변수를 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 전송하도록 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 핸들러(530)는 상기 측정 값에 기초하여 피시험 디바이스의 상태, 또는 냉각 진폭 및/또는 냉각 강도를 평가할 수 있다. 이는 테스트 중 열 관리를 개선할 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(520)는 상기 추가 시그널링(522) 및/또는 트리거 시그널링(122)을 1ms 미만의 레이턴시 또는 100마이크로초 미만의 레이턴시, 또는 10마이크로초 미만의 레이턴시, 또는 1마이크로초 미만의 레이턴시로 제공하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 테스트 루틴의 빠른 조정을 허용하기 위해(예를 들어, 핸들러의 열 관리를 조정하기 위해) 인터페이스는 낮은 레이턴시를 가질 수 있다. 따라서, 발생할 수 있는 피시험 디바이스의 바람직하지 않은 이벤트(예를 들어, 과열)에 대응하기 위해 데이터는 도착 시 충분히 최신의 것일 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(520)는, 실시간 핸들러 인터페이스에 의해 제공되는 상기 추가 시그널링 및/또는 상기 트리거 시그널링의 레이턴시가 온도 조절 기능의 제어 루프의 시간 상수보다 더 낮도록 대역폭을 제공하도록 구성될 수 있다. 데이터 또는 시그널링 전송이 제어 루프의 시간 상수보다 빠르기 때문에 전송된 정보는 온도 조절을 개선하거나 조정하기 위해 사용될 수 있다.
선택적으로, 온도 제어 기능은 핸들러 인터페이스(520) 및/또는 테스터 인터페이스(540)를 포함하는 제어 루프를 포함할 수 있다. 또한, 온도 제어 기능은 핸들러 인터페이스(520)를 통해 전송되고/되거나 테스터 인터페이스(540)를 통해 수신될 수 있는 실시간 시간 정보를 고려하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 강건하고 빠른 온도 제어를 제공하기 위해 제어 루프에 복수의 정보가 제공될 수 있다. 따라서, 핸들러 인터페이스(520) 및/또는 테스터 인터페이스(540)는 제어에 유리할 수 있는, 측정 데이터 및/또는 평가된 매개변수를 제공하는 제어 루프의 일부일 수 있다. 결과적으로, 피시험 디바이스의 상태가 계산될 수 있고, 이에 기초하여 피시험 디바이스의 온도가 공간 상태 모델에 기초하여 조절될 수 있다. 이 모델은 모든 종류의 제어에 사용될 수 있다. 많은 양의 정보로 (예를 들어, 피시험 디바이스의 온도와 연관된 개체와 유사한 추정된 상태를 기반으로) 예측 제어 개념이 구현될 수 있다. 이는 강건하고 정확한 온도 제어를 허용할 수 있다.
선택적으로, 제어 루프는 자동 테스트 장비(510)를 포함할 수 있고, 자동 테스트 장비(510)는 핸들러와 결합하여 통합 조절의 일부가 되도록 구성될 수 있다. 다른 선택적인 특징으로서, 제어 루프는 핸들러를 포함할 수 있고, 핸들러는 자동 테스트 장비와 결합하여 통합 조절기의 일부가 되도록 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 온도 제어 개념은 사용 가능한 모든 정보 채널(예를 들어, 핸들러의 측정 데이터, (예컨대, 테스터에 저장된) 테스트 주기 중 곧 있을 테스트, 및 그에 기반하여 평가된 모든 종류의 매개변수 또는 피시험 디바이스의 상태)의 데이터 융합을 수행하기 위해 모든 구성요소(예를 들어, 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러, 및 각 인터페이스(선택 사항임))를 포함할 수 있다. 따라서, 테스트 효율성이 향상되고 열 관리가 개선될 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스(520) 및/또는 실시간 테스터 인터페이스(540)는 온도 제어 기능에 의한 실시간 고려를 위해 상기 트리거(122) 및/또는 추가 시그널링(522)을 제공하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 인터페이스(520, 540)가 양방향인 경우, 두 인터페이스 모두 시그널링(122, 522)을 제공하도록 구성될 수 있다. 정보의 흐름은 특정 애플리케이션의 임의의 제약에 따라 선택될 수 있다.
선택적으로, 핸들러(530)는 온도 제어 기능을 포함할 수 있다. 핸들러는 피시험 디바이스(152, 154, 156, 158)를 냉각 및/또는 가열하도록 구성될 수 있다. 따라서, 핸들러는 제어 루프의 제어 요소이거나 이를 포함할 수 있다. 또한, 정보가 트리거 시그널링(122) 및 추가 시그널링(522)을 통해 자동 테스트 장비(510)에서 핸들러(530)로 전송됨에 따라, 제어기(예를 들어, 온도 제어기)에 대한 입력 변수의 결정이 핸들러에서 결정될 수 있다.
선택적으로, 실시간 핸들러 인터페이스는 온도 조절 루프의 일부이고/이거나 실시간 테스터 인터페이스는 온도 조절 루프의 일부이다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(510) 및/또는 핸들러(530)는, 조절 기능이 자동 테스트 장비와 핸들러 사이에 분산되는 통합 조절을 구현하도록 구성될 수 있다. 조절기에 대한 입력 변수의 계산 및/또는 온도 제어 입력의 스케줄링은 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러에 의해 수행될 수 있다. 따라서, 조절 기능은 (예를 들어, 어느 정도는) 이 둘 사이에 분산되어, 계산에 필요한 데이터가 이용 가능한 각각의 구성요소(예를 들어, 자동 테스트 장비 또는 핸들러)에서 계산이 수행될 수 있다. 다시 말해, 조절 데이터의 계산은 (예를 들어, 자동 테스트 장비와 핸들러 사이의 데이터 전송을 최소화시키는) 시간 효율적인 방식으로 분산될 수 있어, 예를 들어 최종 결과만이 또는 대부분 최종 결과만이 전송될 필요가 있거나 각각의 다른 구성요소에서 요구되는 결과만이 전송될 필요가 있다.
선택적으로, 자동 테스트 장비(510)는 자동 테스트 장비의 패턴 생성기에 의해 제공되는 패턴을 사용하여 조절 기능에 영향을 미치도록 구성될 수 있다.
도 5에 도시된 구성요소는 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비(510) 및 핸들러(530)를 포함하는 테스트 셀 또는 테스트 시스템일 수 있음을 주목해야 한다. 그러나, 자동 테스트 장비(510) 및 핸들러(530)는 본 발명에 따라 개별적으로 사용될 수 있다.
부가적인 언급으로서, 시그널링(122, 522)은 예를 들어 공통 배선을 통해 또는 별도의 배선을 통해 이루어질 수 있다는 점에 유의해야 한다.
도 6은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법(600)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(600)은 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하는 단계(610), 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러로부터 시그널링을 수신하는 단계(620) 및 핸들러로부터 수신된 시그널링을 고려하는 단계(630)를 포함한다.
도 7은 본 발명의 제1 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법(700)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(700)은 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거 시그널링을 수신하는 단계(710), 수신된 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하는 단계(720) 및 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 시그널링을 제공하는 단계(730)를 포함한다.
도 8은 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법(800)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(800)은 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하는 단계(810), 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 동기화 시그널링을 제공하는 단계(820), 및 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 핸들러의 기능을 동기화하는 단계(830)를 포함한다.
도 9는 본 발명의 제2 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법(900)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(900)은 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 트리거 시그널링을 수신하는 단계(910), 수신된 트리거 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하는 단계(920), 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 동기화 시그널링을 수신하는 단계(930), 및 수신된 동기화 시그널링에 대한 응답으로, 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 기능을 자동 테스트 장비와 동기화하는 단계(940)를 포함한다.
도 10은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법(1000)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1000)은 온도 제어 기능을 제어하기 위해 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하는 단계(1010)를 포함한다.
도 11은 본 발명의 제3 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법(1100)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1100)은 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하는 단계(1110), 및 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능을 제어하는 단계(1120)를 포함한다.
도 12는 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법(1200)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1200)은 실시간 테스터 인터페이스를 통해 자동 테스트 장비에 테스트 사이트 특정 시그널링을 제공하는 단계(1210)를 포함한다.
도 13은 본 발명의 제4 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법(1300)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1300)은 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신하는 단계(1310)를 포함한다.
도 14는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제1 방법(1400)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1400)은 온도 제어 기능을 트리거하기 위해 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 핸들러에 트리거 시그널링을 제공하는 단계(1410), 및 실시간 핸들러 인터페이스를 통해 트리거 시그널링 이외에 추가 시그널링을 제공하는 단계(1420)를 포함하며, 추가 시그널링은, 핸들러에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 및/또는 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출되는 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 및/또는 하나 이상의 테스트 상태 매개변수, 및/또는 경보 정보를 포함한다.
도 15는 본 발명의 제5 양태에 따른 실시예에 따른 제2 방법(1500)의 개략적인 블록도를 도시한다. 방법(1500)은 실시간 테스터 인터페이스를 통해 트리거 시그널링 및, 트리거 시그널링 이외에 추가 시그널링을 수신하는 단계(1510) ― 추가 시그널링은, 핸들러에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보 및/또는 자동 테스트 장비에 의해 결정되거나 자동 테스트 장비에 의해 피시험 디바이스 데이터 스트림으로부터 추출되는 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 및/또는 경보 정보 및/또는 하나 이상의 테스트 상태 매개변수를 포함함 ―, 및 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트의 온도를 제어하기 위해 추가 시그널링을 사용하는 단계(1520)를 포함한다.
아래에서는 본 발명의 추가의 상이한 실시예 및 양태가 설명된다. 또한, 추가 실시예는 첨부된 청구범위에 의해 정의된다. 청구범위에 의해 정의된 바와 같은 임의의 실시예는 본 명세서에 기재된 임의의 세부 사항(특징 및 기능)에 의해 보완될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에 기재된 실시예들은 개별적으로 사용될 수 있으며, 청구범위에 포함된 임의의 특징에 의해 보완될 수도 있다.
또한, 본 명세서에 기재된 개별 양태는 개별적으로 또는 조합하여 사용될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 따라서, 상기 개별 양태들 각각에 세부 사항을 추가하는 동시에, 상기 양태들 중 다른 하나에는 세부 사항을 추가하지 않을 수 있다.
또한 본 개시 내용은 자동 테스트 시스템 또는 테스트 셀에서 사용 가능한 특징을 명시적 또는 암시적으로 설명한다는 점에 유의해야 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 모든 특징은 하나 이상의 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비의 맥락에서 또는 핸들러에서 또는 자동 테스트 시스템에서 또는 하나 이상의 피시험 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 셀에서 (예를 들어, 동시에 또는 다른 사이트에서 시간적으로 중첩되는 방식으로) 사용될 수 있다.
더욱이, 방법과 관련하여 본 명세서에 개시된 특징 및 기능은 또한 (이러한 기능을 수행하도록 구성된) 장치에서 사용될 수 있다. 또한, 장치와 관련하여 본 명세서에 개시된 모든 특징 및 기능은 또한 대응하는 방법에서 사용될 수 있다. 다시 말해서, 본 명세서에 개시된 방법은 장치와 관련하여 설명된 모든 특징 및 기능에 의해 선택적으로 보완될 수 있다.
또한, 본 명세서에 기재된 모든 특징 및 기능은, "대안적 구현" 섹션에서 설명되는 바와 같이, 하드웨어 또는 소프트웨어로, 또는 하드웨어와 소프트웨어의 조합을 사용하여 구현될 수 있다.
대안적 구현
일부 양태가 장치의 맥락에서 설명되었고 추가의 양태가 장치의 맥락에서 설명될 것이지만, 이러한 양태는 또한 대응하는 방법의 설명을 나타낸다는 사실이 명백하며, 여기서 블록 또는 디바이스는 방법 단계 또는 방법 단계의 특징에 대응한다. 유사하게, 방법 단계의 맥락에서 설명된 양태는 또한 대응하는 장치의 대응하는 블록 또는 항목 또는 특징의 설명을 나타낸다. 방법 단계의 일부 또는 전부는 예를 들어 마이크로프로세서, 프로그래밍 가능한 컴퓨터 또는 전자 회로와 같은 하드웨어 장치에 의해(또는 이를 사용하여) 실행될 수 있다. 일부 실시예에서, 가장 중요한 방법 단계 중 하나 이상이 이러한 장치에 의해 실행될 수 있다.
특정 구현 요건에 따라, 본 발명의 실시예는 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현될 수 있다. 구현은, 전기적으로 판독 가능한 제어 신호가 저장된 디지털 저장 매체, 예를 들어, 플로피 디스크, DVD, Blue-Ray, CD, ROM, PROM, EPROM, EEPROM 또는 플래시 메모리를 사용하여 수행될 수 있는데, 이는 각각의 방법이 수행되도록 프로그래밍 가능한 컴퓨터 시스템과 협력한다(또는 협력 가능함). 따라서, 디지털 저장 매체는 컴퓨터 판독 가능할 수 있다.
본 발명에 따른 일부 실시예는 전기적으로 판독 가능한 제어 신호를 갖는 데이터 캐리어(data carrier)를 포함하며, 이는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나가 수행되도록 프로그래밍 가능한 컴퓨터 시스템과 협력할 수 있다.
일반적으로, 본 발명의 실시예는 프로그램 코드를 갖는 컴퓨터 프로그램 제품으로서 구현될 수 있고, 프로그램 코드는 컴퓨터 프로그램 제품이 컴퓨터 상에서 실행될 때 방법 중 하나를 수행하기 위해 동작한다. 예를 들어, 프로그램 코드는 기계 판독 가능 캐리어에 저장될 수 있다.
다른 실시예는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위한, 기계 판독 가능 캐리어에 저장된 컴퓨터 프로그램을 포함한다.
즉, 따라서 본 발명의 실시예는 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터 상에서 실행될 때, 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위한 프로그램 코드를 갖는 컴퓨터 프로그램이다.
따라서, 본 방법 발명의 추가 실시예는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램이 기록된 데이터 캐리어(또는 디지털 저장 매체, 또는 컴퓨터 판독가능 매체)이다. 데이터 캐리어, 디지털 저장 매체 또는 기록 매체는 일반적으로 유형(tangible)이고/이거나 비일시적이다.
따라서, 본 방법 발명의 추가 실시예는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 나타내는 데이터 스트림 또는 신호의 시퀀스이다. 데이터 스트림 또는 신호의 시퀀스는 예를 들어 데이터 통신 연결을 통해(예를 들어, 인터넷을 통해) 전송되도록 구성될 수 있다.
추가 실시예는 본 명세서에 기술된 방법 중 하나를 수행하도록 구성되거나 적응된 처리 수단, 예를 들어 컴퓨터 또는 프로그램 가능 논리 디바이스를 포함한다.
추가 실시예는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램이 설치된 컴퓨터를 포함한다.
본 발명에 따른 추가 실시예는 본 명세서에 기술된 방법 중 하나를 수행하기 위한 컴퓨터 프로그램을 수신기에 (예를 들어, 전자적으로 또는 광학적으로) 전송하도록 구성된 장치 또는 시스템을 포함한다. 수신기는 예를 들어 컴퓨터, 모바일 디바이스, 메모리 디바이스 등일 수 있다. 장치 또는 시스템은 예를 들어 컴퓨터 프로그램을 수신기로 전송하기 위한 파일 서버를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 프로그램 가능 논리 디바이스(예를 들어, 필드 프로그램 가능 게이트 어레이)는 본 명세서에서 설명된 방법의 기능 중 일부 또는 전부를 수행하는 데 사용될 수 있다. 일부 실시예에서, 필드 프로그램 가능 게이트 어레이는 본 명세서에서 설명된 방법 중 하나를 수행하기 위해 마이크로프로세서와 협력할 수 있다. 일반적으로, 방법은 바람직하게는 임의의 하드웨어 장치에 의해 수행된다.
본 명세서에 설명된 장치는 하드웨어 장치 또는 컴퓨터, 또는 하드웨어 장치와 컴퓨터의 조합을 사용하여 구현될 수 있다.
본 명세서에 설명된 장치, 또는 본 명세서에 설명된 장치의 임의의 구성요소는 하드웨어 및/또는 소프트웨어로 적어도 부분적으로 구현될 수 있다.
본 명세서에 설명된 방법은 하드웨어 장치 또는 컴퓨터, 또는 하드웨어 장치와 컴퓨터의 조합을 사용하여 수행될 수 있다.
본 명세서에 설명된 방법, 또는 본 명세서에 설명된 장치의 임의의 구성요소는 하드웨어 및/또는 소프트웨어에 의해 적어도 부분적으로 수행될 수 있다.
본 명세서에서 설명된 실시예는 본 발명의 원리를 설명하기 위한 것일 뿐이다. 본 명세서에 설명된 배열 및 세부 사항의 수정 및 변경이 당업자에게 명백할 것임을 이해해야 한다. 따라서, 본 명세서의 실시예의 서술 및 설명을 통해 제시된 세부 사항이 아니라 특허 청구범위의 범위에 의해서만 제한되도록 의도된다.
후술하는 추가 설명의 내용이 아래와 같이 요약된다.
- 고속 동기화 및 데이터 교환을 갖는 능동 온도 제어
- 배경
- 상황
- 가치 포지셔닝(value positioning)
- 고속의 저 레이턴시 통신 채널 또는 트리거 확장(trigger extension)(예를 들어, 사전 트리거 확장): (본 발명의 양태에 따른) 고속의 저 레이턴시 통신 채널
- 트리거 확장(예를 들어, 사전 트리거 확장): (본 발명의 양태에 따른) 고속 정밀 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터-핸들러-자동 테스트 장비)동기화
- (본 발명의 양태에 따른) 보다 정밀한 온도 제어를 보장하기 위한 ATC 기능의 확장
- 본 발명의 관점 및 양태
배경
연결의 이미지
아래에서는 본 발명에 따른 실시예에서 선택적으로 사용될 수 있는 테스트 장치(또는 테스트 시스템)의 예가 설명된다. 그러나, 본 발명에 따른 실시예는 자동 테스트 장비만을 포함하거나, 핸들러만을 포함하거나, 자동 테스트 장비와 핸들러의 조합을 포함할 수 있음에 유의해야 한다. 또한, "배경" 섹션에 개시된 특징, 기능 및 세부 사항은 개별적으로 또는 조합하여 임의의 실시예에서 선택적으로 사용될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에 개시된 모든 특징, 기능 및 세부 사항은, 선택적으로, 이 섹션에 제시된 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러에 개별적으로 또는 조합하여 도입될 수 있다.
ATC 란 무엇인가?
ATC(예를 들어, 능동 온도 제어)는 예를 들어 하드웨어 및 소프트웨어이다. 예를 들어, 온도를 측정하는 하드웨어와 온도를 제어하는 소프트웨어이다. ATC는 예를 들어 핸들러에서 자동 테스트 장비 또는 테스터, 디바이스로 이동하여 되돌아오는 제어 루프이다(또는 이를 포함함). 이는 예를 들어 핸들러로 하여금 디바이스에서 직접 디바이스 DIE 온도를 측정할 수 있게 한다.
일반적으로, 핸들러는 예를 들어 디바이스 외부 상의 온도를 측정할 수 있다. 그러나, ATC는 예를 들어 DUT(예를 들어, 피시험 디바이스)의 열 다이오드에 의해 템플릿(또는 온도)을 측정한다. ATC는 예를 들어 피드포워드 제어 또는 피드백 제어이다.
도 16에 관한 다음의 설명은 실시예의 선택적 특징을 나타낸다. 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 자동 테스트 장비 및 핸들러의 개략적인 예를 도시한다. 도 16은 메인 프레임(main frame)(1612)과 테스트 헤드(1614)를 선택적으로 포함하는 자동 테스트 장비(1610) 및 핸들러(1630)를 도시한다. 자동 테스트 장비(1610) 및 핸들러(1630)는 선택적으로 제1 연결(1660)(예를 들어, 이더넷 연결) 및 제2 연결(1670)(예를 들어, GPIB 연결)로 연결된다. 도 16은 자동 테스트 장비(1610) 또는 테스트 헤드(1614) 각각과 핸들러(1630) 사이에 있는, 선택적으로 열 다이오드를 포함하는 피시험 디바이스(1650)를 도시한다. 또한, 핸들러(1630)와, 자동 테스트 장비(1610) 또는 테스트 헤드(1614) 각각은 트리거 신호 라인(1680)(예를 들어, 사전 트리거 신호 라인)으로 결합된다. 테스터 인터페이스 및 핸들러 인터페이스와 같은 각 인터페이스는 명시적으로 도시되지 않는다. 트리거 신호 라인(1680)은 자동 테스트 장비(1610)와 핸들러(1630) 사이의 일방향 또는 양방향 데이터 교환을 허용하도록 구성될 수 있다. 트리거 신호 라인(1680)은, 전술한 바와 같이, 트리거 시그널링 및/또는 핸들러에서 자동 테스트 장비로 보내는 시그널링 및/또는 동기화 시그널링 및/또는 테스트 사이트 특정 시그널링 중 임의의 것 및/또는 추가 시그널링을, 예를 들어 실시간으로, 제공 및/또는 수신하도록 구성될 수 있다.
상황 및 양태
아래에서는, 개별적으로 또는 조합하여 본 발명에 따른 임의의 실시예에 선택적으로 도입될 수 있는 상황 및 양태가 설명된다.
예를 들어 MPU(예를 들어, 마이크로프로세서), GPU(예를 들어, 그래픽 처리 유닛) 및 MCU(예를 들어, 마이크로컨트롤러)와 같은 복잡한 디지털 디바이스(예를 들어, 피시험 디바이스(DUT)의 역할을 할 수 있음)는 많은 전력을 소비할 수 있다. 전력 소비 및 디바이스 온도 프로파일은 예를 들어 테스트 전반에 걸쳐 달라질 수 있으며, 예를 들어 테스트 사이트에 따라 달라질 수도 있다. 정밀한 온도 제어는 예를 들어 "평평한" 및/또는 예측 가능한 온도 프로파일을 갖는 이러한 디바이스를 테스트하는 데 중요하거나 필수적인 경우도 있다. 이를 달성하기 위해, 예를 들어, 테스트 셀(예를 들어, 테스터 및 핸들러)은 예를 들어 서로 다른 유형의 소스 데이터를 실시간으로 분석하고 결합할 수 있다. 핸들러가 테스트 챔버(chamber) 온도만 측정하여 온도를 제어하는 종래의 테스트와 달리, 능동 열 제어(ATC: Active Thermal Control)는 예를 들어 핸들러에 추가 디바이스 및/또는 테스터 정보를 제공하여 예를 들어 잠재적인 온도 "핫스팟"을 정밀하게 제어 및/또는 예측할 수 있다.
도 17에 관한 다음 설명은 실시예의 선택적 특징을 나타낸다. 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 온도 제어, 예를 들어 디바이스 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다. 도 17은 디바이스(1750)(예를 들어, 피시험 디바이스), 자동 테스트 장비(1710) 및 핸들러(1730)를 도시한다. 자동 테스트 장비(1710)는 예를 들어 피시험 디바이스로부터 또는 이에 기초하여 정보(1760), 예를 들어 테스트 매개변수(예를 들어, 제어 정보) 및/또는 테스트 상태 매개변수를 수신 및/또는 결정 및/또는 평가할 수 있다. 이러한 정보는 추가로 처리되어 핸들러(1730)에 제공될 수 있다. 자동 테스트 장비(1710)에 의해 핸들러(1730)로 제공되는 정보는 테스트 및/또는 열 조절 효율을 개선하기 위해 적합한 임의의 정보, 예를 들어 디바이스 상태 또는 디바이스 상황, (예를 들어, 테스트 주기에 기초한) 디바이스(1750)의 예측 온도 경로, 예를 들어 이전에 설명된 바와 같은 임의의 정보일 수 있다. 그런 다음 핸들러는, 예를 들어 자동 테스트 장비에 의해 제공된 정보 및 예를 들어 상기 디바이스(1750)에 대해 수행된 핸들러(1730)의 온도 측정에 기초하여, 상기 디바이스(1750)의 온도를 제어(1770)할 수 있다.
대안적 또는 추가적으로, 디바이스의 열 다이오드에 대한 온도 교정은 경우에 따라 예를 들어 (예를 들어, 테스트 동안) (예를 들어, 디바이스별) 실리콘 제조 종속성을 제거하는 데 유리하거나 필요할 수도 있다.
대안적 또는 추가적으로, 핸들러가 예를 들어 온도 폭주를 검출하는 경우, 사이트 특정 경보 처리 및 셧다운은 경우에 따라 자동 테스트 장비 또는 테스터에 경고하는 데 유리하거나 필요할 수도 있다.
이는 경우에 따라 예를 들어 데이터를 실시간으로 교환할 수 있도록 예를 들어 핸들러, 디바이스 및 자동 테스트 장비 또는 테스터 간의 빠른(예를 들어, 실시간의) 동기화를 요구할 수 있다. 오늘날 한 가지 한계점은 예를 들어 주로 느린 GPIB 통신에 의존하는 느린 통신 인터페이스이다.
일 양태에 따르면, 이 제안의 의도는, 예를 들어 능동 열 제어(ATC) 제어 루프를 위해 Advantest에 의해 도입된, 트리거 기능(예를 들어, 사전 트리거 기능)을 확장하는 것이다. 일 양태에 따르면, 예를 들어, 트리거(예를 들어, 사전 트리거)는 핸들러에서 가열 및 냉각 주기를 제어하기 위한 기법일 수 있을 뿐만 아니라 테스터(예를 들어, 자동 테스트 장비)와 핸들러 및/또는 핸들러와 테스터간의 정밀하고 빠른 동기화 및/또는 데이터 교환을 허용하기 위해 확장될 수 있다. ATC 제어가 미래에 더욱 중요해질 수 있음에 따라, 고객은 예를 들어 장비를 동기화하기 위해 단순한 저 레이턴시의 인터페이스를 사용함으로써, 예를 들어 귀중한 테스트 시간을 절약할 수 있다.
(예를 들어, 본 발명의 실시예들의 양태들의) 가치 포지셔닝(value positioning)
아래에서는, 예를 들어 본 발명에 따른 실시예 및 양태를 사용하여 달성될 수 있는 몇몇 이점이 설명된다.
오늘날, 종래의 많은 테스터 또는 자동 테스트 장비 제조사는 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 인터페이스를 갖지 않는다. 예를 들어, 교정을 수행하기 위한 핸들러와 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터) 간의 동기화는 대기문으로 달성될 수 있는데, 이러한 대기문은 신뢰할 수 없는 솔루션이 될 수 있고 몇몇 위험을 드러낼 수 있다. 경우에 따라, 핸들러와 테스터 장비 간의 데이터 교환을 위한 솔루션 및 장비의 실시간 동기화는 예를 들어 유리하거나 필수일 수도 있다. 대안적 또는 추가적으로, 가까운 장래에 이러한 애플리케이션에 대해 사이트 수가 32개 사이트로 확장될 수 있다. 이는 경우에 따라 예를 들어 (예를 들어, 사이트당) 양방향 동기화를 달성하기 위해 하드웨어 인터페이스 배선의 감소를 요구할 수 있다.
1. 트리거 확장(예를 들어, 사전 트리거 확장): 고속의 저 레이턴시 통신 채널(예, 선택적 기능, 모든 세부 사항은 선택 사항임)
― 트리거 확장(예를 들어, 사전 트리거 확장)은 예를 들어 Advantest 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 기술을 사용하여, 예를 들어 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터)와 핸들러 간의, 고속(예를 들어, 실시간과 같은 저 레이턴시) 및/또는 양방향 통신을 가능하게 할 수 있다. 트리거 라인 또는 배선(예를 들어, 사전 트리거 라인 또는 배선)은 예를 들어 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터)와 핸들러 사이에서(그리고, 예를 들어 핸들러와 자동 테스트 장비 사이에서) 데이터를 변조 및/또는 전송하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어 "사이트별 경보", "사이트별 전원 차단", "사이트 특정 사전 트리거 ID"(예를 들어, 테스트 흐름 분기(branching)에 필요) 및/또는 "사이트 종속 냉각 정보"와 같은 데이터 또는 정보가 예를 들어 장비 간에 실시간으로 전송될 수 있다. 이 고속 인터페이스(예를 들어, 트리거 인터페이스 또는 사전 트리거 인터페이스)는 예를 들어 사이트별 사전 트리거 및/또는 경보 처리 인터페이스에 대해 필요한 하드웨어의 양을 예를 들어 기존의 단일 라인(또는 배선) 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 인터페이스로 줄일 수 있다.
선택 사항: "사이트별 전원 차단":
핸들러가 더 이상 디바이스를 냉각할 수 없거나 디바이스 열 다이오드로부터 온도를 얻지 못하면, 경우에 따라 피시험 디바이스를 전원으로부터 분리하는 것이 유리하거나 필요할 수도 있다. 그렇지 않으면 테스트 셋업이 손상될 수 있다. 일부 디바이스는 500W 내지 800W까지 갈 수 있다.
― 본 발명에 따른 실시예, 예를 들어, (개별적으로 또는 조합하여 사용될 수 있는) 예시:
a) 사이트 종속 ATC(능동 열 제어):
경우에 따라, 애플리케이션은 예를 들어 실시간으로 핸들러에 예를 들어 테스트 사이트 특정 정보를 보낼 것을 요구한다. 예를 들어, 일부 디바이스(예를 들어, 디바이스의 테스트 사이트 또는 사이트)는 상이한 테스트 셋업(예를 들어, VDD 전압)을 가지며, 이는 예를 들어 더 많은 방열로 이어질 수 있다. 경우에 따라, 과소 냉각/과열이 발생하지 않도록 하기 위해(또는, 예를 들어, 보장하기 위해) 어느 사이트가 나중에 냉각되어야 하는지를 트리거 포인트(예를 들어, 사전 트리거 포인트)에서 핸들러에 알리는 것이 유리하거나 필요할 수도 있다.
도 18에 관한 다음의 설명은 실시예의 선택적 특징을 나타낸다. 도 18은 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 종속 온도 제어의 개략적인 예를 도시한다. 도 18은 2개의 테스트 사이트, 즉, 제1 테스트 사이트(1810)인 사이트 1과 제2 테스트 사이트(1820)인 사이트 N을 도시한다. 예를 들어, 테스트 루틴의 일부로서, 테스트 스위트 버스트(testsuite burst)(1830)가 테스트 사이트에 적용된다. 선택적으로, 테스트 사이트(1810, 1820)는 예를 들어 트리거 시그널링(1840), 예를 들어 공통 트리거(예를 들어, 사전 트리거), 또는 트리거 A, 또는 트리거 포인트 A를 수신할 수 있다. 각 테스트 사이트(1810, 1820)에 대해, DIE 온도에 대한 시간의 경과에 따른 온도 다이어그램의 예가 도시된다. 시작 시간(예를 들어, 0초)에 제1 사이트(1810)는 제2 사이트(1820)보다 더 낮은 DIE 온도를 포함할 수 있다. 일반적으로, 선택적으로, 실시예는 사이트 종속 온도를 고려하도록 구성될 수 있다. 전술한 바와 같이, 예를 들어, 핸들러 또는 (예를 들어, 핸들러 내의) 온도 제어는 0초에 가까운 트리거 포인트(예를 들어, 트리거 시그널링(1840)으로 도시된 바와 같음)에서 사이트 특성(예를 들어, 제2 사이트(1820)가 더 뜨거움)을 통지받을 수 있다. 따라서, 더 뜨거운 제2 사이트(1820)에 대한 지연은 더 긴 "냉각" 시간을 허용하기 위해 더 적거나 더 짧을 수 있다. 그에 따르면, 도 18에 도시된 바와 같이, 더 차가운(0초에서) 제1 사이트(1810)는 더 짧은 지연 시간(예를 들어, 100ms)을 수신하는 더 뜨거운(0초에서) 제2 사이트(1820)보다 더 긴 지연 시간(예를 들어, 120ms)을 수신할 수 있다. 간단히 말해서 그리고 도 18에 도시된 바와 같은 상황과 관련한 예로서, 더 뜨거운 테스트 사이트의 경우, 핸들러는 다음 자극 전 더 긴 냉각 시간을 허용하기 위해 더 짧은 시간 동안 냉각을 지연할 수 있다. 이러한 방식으로, 피시험 디바이스의 냉각은 예를 들어 모든 피시험 디바이스를 바람직한 온도 간격 내로 유지하도록 스케줄링될 수 있다.
예를 들어, 트리거 시그널링 외에도 추가적인 사이트 특정 정보(예를 들어, 변조된 데이터)가 존재할 수 있다.
b) 사이트 특정 테스트 흐름 분기(branching)
테스트 도중 일부 테스트 사이트는 다른 분기에서 실행될 수 있다. 경우에 따라, 이는 예를 들어 테스트 사이트당 하드웨어 트리거 라인(예를 들어, 사전 트리거 라인)을 필요로 할 수 있으며, 이는 16개 또는 32개 사이트 테스트 셋업의 경우 수행하기 복잡할 수 있다.
대안적으로, 예를 들어 변조된 테스트 사이트 ID(식별) 정보로 트리거(예를 들어, 사전 트리거)를 식별함으로써 단일 트리거 라인(예를 들어, 사전 트리거 라인)이 사용될 수 있다. ID를 통해 핸들러는 어느 테스트 사이트(또는 간략하게, "사이트")가 트리거 신호(예를 들어, 사전 트리거 신호)에 따라 작동해야 하는지 통지받을 수 있다. 다른 테스트 사이트는 트리거(예를 들어, 사전 트리거)를 무시할 수 있다. 도 19에서 테스트 사이트 1은 트리거(예를 들어, 사전 트리거 #2)를 무시한다.
도 19에 관한 다음의 설명은 실시예의 선택적 특징을 나타낸다. 도 19는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 사이트 특정 테스트 흐름 분기의 개략적인 예를 도시한다. 도 19는 선택적인 테스트 흐름 예(예를 들어, 테스트 스위트(testsuites)가 있는 테스트 흐름)를 도시한다. 도 19는 제1 트리거 시그널링(1910)(예를 들어, 사전 트리거 #1과 같은 트리거)을 도시한다. 제1 트리거 시그널링(1910)은 제1 및 제2 테스트 사이트(1920)(예를 들어, 테스트 사이트 1 및 2)에 영향을 미칠 수 있거나 제1 및 제2 테스트 사이트(1920)에 의해 고려될 수 있다. 예를 들어, 제2 트리거 시그널링(1930)(예를 들어, 사전 트리거 #2와 같은 트리거)은 제2 테스트 사이트(1940)에만 영향을 미칠 수 있거나 제2 테스트 사이트(1940)에 의해서만 고려될 수 있다. 제3 트리거 시그널링(1950)(예를 들어, 사전 트리거 #3와 같은 트리거)은 제1 및 제2 테스트 사이트(1920)에 영향을 미칠 수 있거나 제1 및 제2 테스트 사이트(1920)에 의해 고려될 수 있다. 결론적으로, 예를 들어, 테스트 사이트 1과 같은 테스트 사이트는 사전 트리거 1 및 3과 같은 트리거를 받고, 테스트 사이트 2와 같은 테스트 사이트는 사전 트리거 1, 2 및 3과 같은 트리거를 받는다.
c) 경보 처리
경우에 따라, 예를 들어 테스트 셋업을 보호하기 위해, 핸들러는 소위 "온도 폭주"를 검출하도록 구성되어야 할 수도 있다. 이는, 예를 들어 결함이 있는 열 다이오드 또는 케이블에 의해, 예를 들어 ATC 루프의 온도 판독이 손상된 경우에 발생한다. 이 경우, 핸들러는 예컨대 특정 테스트 사이트를 예컨대 즉시, 셧다운해야 할 수 있으며, 예컨대 테스트 프로그램을 실행하는 동안, 데이터 처리, 또는 디바이스의 비닝(binning) 및/또는 데이터 로깅에 영향을 미칠 수 있다. (예를 들어, 테스트 사이트별) 경보 배선을 갖는 하드웨어 인터페이스를 사용하는 대신, 예를 들어 사이트 정보를 이(예를 들어, 기존의) 트리거 신호(예를 들어, 사전 트리거 신호)로 변조함으로써, 고속(예를 들어, 저 레이턴시) 인터페이스가 이러한 태스크를 수행할 수 있다. 이 정보는 자동 테스트 장비 측 또는 테스터 측에서 디코딩될 수 있으며 예를 들어 사이트 특정 전원을 차단할 수 있다.
오늘날의 인터페이스(예를 들어, GPIB)로는 이러한 경보 처리가 적어도 적정한 반응 시간 내에 불가능하다는 점에 유의해야 한다.
예가 도 20에 도시된다. 도 20에 관한 다음의 설명은 실시예의 선택적 특징을 나타낸다. 도 20은 본 발명의 실시예에 따른 경보 처리의 개략적인 예를 도시하며, 도 20은 디바이스(1750), 자동 테스트 장비(1710)(예를 들어, 테스터) 및 핸들러(1730)를 도시한다. 도 20은, 단독으로 또는 조합하여 발생할 수 있고 본 발명의 실시예에 의해 다루어질 수 있는 상이한 오작동을 도시한다. 예를 들어, 디바이스(1750)는 열 오작동과 같은 오작동(2010)을 겪거나 결함이 있는 디바이스일 수 있다. 이 경우, 자동 테스트 장비(1710)는, 화살표(2020)로 표시된 바와 같이, 오작동을 검출할 수 있거나 디바이스로부터 더 이상 데이터를 수신하지 않아 피시험 디바이스의 오작동을 결정할 수 있다. 다른 예로서, 테스트 장비(110)와 핸들러 사이의 시그널링(2030)이 교란되어 오작동(2040)을 겪을 수 있다. 예를 들어, 배선이 끊어질 수 있다. 다른 예로서, 디바이스 온도가 "폭주"(2050)할 수 있거나, 핸들러가 온도 "폭주"를 검출(2060)할 수 있다. 전술한 바와 같이, 예를 들어 오작동(2010 또는 2050)의 경우, 자동 테스트 장비 및/또는 핸들러는 예를 들어 온도 측정 값에 기초하여 이러한 오작동을 검출할 수 있다. 핸들러가 이러한 디바이스를 냉각시키거나 자동 테스트 장비가 해당 테스트 사이트를 셧다운할 수 있다. 예를 들어, 적절한 대응을 조정하기 위해 핸들러는 경보를 트리거하도록 구성될 수 있다. 경우에 따라, 핸들러(1730)는 실시간으로 디바이스 셧다운을 트리거할 수 있거나 트리거해야 할 수도 있다. 이러한 시그널링은 화살표(2070)로 표시된다.
2. 트리거 확장(예를 들어, 사전 트리거 확장): 고속 정밀 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터-핸들러-자동 테스트 장비) 동기화 (예, 선택적 기능, 모든 세부 사항은 선택 사항임)
트리거(예를 들어, 사전 트리거) 개념은 정밀한 장비 동기화를 허용할 수 있다. 경우에 따라 예를 들어 필요한 열 다이오드 교정이 그 예이다. 열 다이오드 온도 특성은 프로세스에 따라 크게 좌우될 수 있다(예를 들어, 다이오드 역전류). 예를 들어, 이는 델타 온도 측정에 의해 테스트에서 제거될 수 있다. 그러나, 이는 경우에 따라, 정확한 지점(예를 들어, 시점) 및/또는 피시험 디바이스의 지점에서 온도를 측정하기 위해 핸들러와 자동 테스트 장치 또는 테스터 간의 빠르고 정밀한 동기화 타이밍을 요구할 수 있다. 측정은 상이한 디바이스 또는 테스트 조건(예를 들어, 무전원 모드 또는 전원 모드)에서 수행되어 예를 들어 이 교정 단계 동안 온도 측정에 영향을 미칠 수 있는 누설 전류 또는 디바이스 턴 온(turn on) 누설 전류 또는 발열 효과를 보상할 수 있다.
Advantest 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 신호는 예컨대 이 교정 기준선(예를 들어, 아래 P1)을 예컨대 정확히 언제 측정할 지를 핸들러에 알리는 데 사용될 수 있다. 기준선은 예컨대 오류를 보상하기 위해 예컨대 후속 온도 측정을 위해 기준으로서 사용될 수 있다. 대안적 또는 추가적으로, 능동 동기화는 (예를 들어, 상당한) 테스트 시간 감소를 달성하는 데 도움이 될 수 있다. 경우에 따라, 이는 (다른 솔루션에 의해 제안된 바와 같은) 대기 삽입의 제거 또는 감소를 가능하게 할 수 있고/있거나, 잘못된 테스트 조건에서 측정하는 불확실성을 줄이거나 제거할 수 있고, 따라서 예를 들어 잘못된 테스트 결과 또는 예컨대 추적하기 어려울 수 있는 잘못된 온도 계산으로 인한 부분 적송을 제거하거나 줄일 수 있다.
참고: 이 개념은 예를 들어 대기 시간(wait time)을 사용하는 다른 접근법에 비해 (예를 들어, 상당한) 기여를 할 수 있다. 대기 시간이 없으므로 테스트 시간이 크게 단축될 수 있다. 이는 상당한 경제적 이점이 될 수 있다.
예가 도 21에 도시된다. 도 21에 관한 다음의 설명은 실시예의 선택적인 특징을 나타낸다. 도 21은 본 발명의 실시예에 따른 교정의 개략적인 예를 도시한다. 도 21은 선택적 디바이스 상태(2110)의 예, 테스트 실행(2120)의 예 및 트리거 시그널링(2130)(예를 들어, 사전 트리거와 같은 트리거)의 예에 대한 타이밍 정보를 도시한다. 예를 들어, 디바이스가 삽입될 수 있고, 선택적으로 핸들러는 핸들러 정보(2140), 예를 들어 Handler StartOfTest(예를 들어, 디바이스가 사전 결정된 테스트 사이트와 같은 제위치에 있는 디바이스 상태(2110))를 제공할 수 있고 테스트가 시작될 수 있다. 따라서, 테스트 실행의 사전 테스트 단계(2150)에서, 예를 들어 트리거 P1과 같은 트리거 시그널링(2130)에 의해 트리거되는, 사전 테스트 온도(2160)가 기준으로서 측정될 수 있다. 고속 실시간 인터페이스를 사용하면 대기문이 방지될 수 있어, 예를 들어 핸들러는 피시험 디바이스가 교정 측정을 위해 준비된 상태임을 (예를 들어, 트리거 P1을 통해) 실시간으로 통지받을 수 있다는 점에 유의해야 한다. 교정 후, 테스트 실행(2120)의 능동 디바이스 테스트(2170)와 같은 테스트가 수행될 수 있으며, 여기서 테스트 동안 추가로 예상되는 온도 상승은 트리거 시그널링(2130)을 통해 제공되는 추가 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스(P2, P3, Pn)를 사용하여 시그널링된다.
일 양태에 따르면, 제 1 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스 P1은 피시험 디바이스가 기준 측정을 위해 준비된 상태임을 시그널링할 수 있다. 다시 말해서, 테스트 시작 후 제1 트리거 시그널링 또는 제1 트리거 펄스 P1은 피시험 디바이스가 기준 온도 측정을 위해 준비된 상태임을 나타낼 수 있으며, 예를 들어 이러한 기준 온도 측정(예를 들어, 피시험 디바이스 상의 온도 측정 다이오드에 의해 제공되는 신호의 평가를 기반으로 할 수 있음)을 트리거하는 것으로 핸들러에 의해 해석될 수 있다. 다시 말해, 테스트 시작 후 제1 트리거 시그널링 또는 제1 트리거 펄스는 피시험 디바이스가 테스트 위치에 삽입되고 (선택적으로) 핸들러에 의한 기준 온도 측정(예를 들어, 피시험 디바이스 상의 온도 측정 구조를 사용함)을 허용하기 위해 적절하게 바이어스되는 것을 나타낼 수 있다.
추가 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스(예를 들어, 테스트 또는 테스트 시퀀스 내의 제1 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스 이후)는 곧 있을 예상 온도 상승을 시그널링하는 사전 트리거 정보일 수 있다. 따라서, 추가 트리거 시그널링 또는 트리거 펄스는, 예를 들어 온도 상승에 앞서 냉각을 활성화하기 위해, 핸들러에 의해 사전 트리거 신호로서 해석될 수 있다.
선택적으로, 제2 트리거 펄스(P2)는 디바이스가 활성 상태(예를 들어, 완전히 전원이 공급됨)임을 나타낼 수 있다. 그러나, (제1 트리거 펄스에 후속하는) 제2 트리거 펄스는 예를 들어 이미 사전 트리거 시그널링일 수 있다.
예를 들어, 핸들러는 제1 트리거 펄스에 응답하여 기준 온도 측정을 수행한 다음 계속해서(또는 반복적으로) 추가 온도 측정을 수행할 수 있다. 예를 들어, 핸들러는 기준 온도 측정을 교정 목적(예를 들어, 피시험 디바이스에 대한 온도 측정 구조의 특성 영향을 추가 온도 측정으로부터 제거하기 위해)으로 사용할 수 있다.
3. 보다 정밀한 온도 제어를 위해 ATC 기능을 확장(예, 선택적 기능, 모든 세부 사항은 선택 사항임)
(예를 들어, 열 다이오드 정보 외의) 다른 테스트 매개변수는 디바이스 온도 핫스팟의 (예를 들어, 훨씬 더 나은) 예측 및 조절 거동에 기여할 수 있다. 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터) 또는 핸들러 또는 이 둘 모두의 특수 알고리즘은 이 데이터(예를 들어, 매개변수)를 사용하여 (예를 들어, 각 테스트 사이트의) 냉각 진폭, 지속 시간, 강도의 (예를 들어, 조기 또는 예측) 결정을 수행할 수 있다. 핸들러와 자동 테스트 장비(예를 들어, 테스터) 간의 고속 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 및 통신 채널은 경우에 따라 이 데이터(예를 들어, 매개변수 데이터 또는 제어 매개변수)를 전송하는 데 필요하거나 유리할 수 있다.
매개변수 데이터 예: (이에 국한되지는 않음) (하나 이상의 매개변수 또는 모든 매개변수를 사용할 수 있음):
a. PMON: 실시간 DUT 전력 소비 모니터링
b. TJ: 실제 DUT 접합 온도
c. SPT: 곧 있을 전력 핫스팟을 경고하는 동기 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 신호
d. SITE: 사이트 특정 제어 데이터
e. DUT: DUT 특정 제어 데이터
f. TEST: 테스트 특정 응답 데이터
g. FLOW: 테스트 하위 흐름 특정 제어 데이터
제어 매개변수
h. 곧 있을 온도 핫스팟에 대한 정보
i. 핫스팟의 지속 시간
j. 핫스팟의 진폭
k. 사이트 및 디바이스 특정 온도 제어 데이터
본 발명의 관점 및 양태
개별적으로 또는 조합하여 사용될 수 있고 본 발명에 따른 실시예의 일부일 수 있는 본 발명의 관점 및 양태가 아래에서 설명된다.
1. 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 기능을 사용함으로써 ATC에 국한되지 않는 자동 테스트 장비 또는 테스터와 핸들러 간의 정밀 고속 동기화)
2. 예를 들어 기존 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 하드웨어를 변조함으로써, 예를 들어 자동 테스트 장비 또는 테스터와 핸들러 사이에서(및, 예를 들어, 핸들러와 자동 테스트 장비 또는 테스터 사이에서) 데이터를 전송하기 위한 임베디드(embedded) 프로토콜을 갖는, 고속(예를 들어, 실시간) 통신 채널(예를 들어, 트리거 라인 또는 추가 시그널링). 이는 사이트 종속 트리거(예를 들어, 사전 트리거) 및/또는 경보 처리를 위해 많은 테스트 사이트를 지원하기 위한 복잡한 하드웨어 인터페이스를 더욱 줄일 수 있다.
3. (예를 들어, 보다 정밀한) 온도 조절을 허용할 수 있는, 능동 열 제어(ATC)의 다른 매개변수(예를 들어, 매개변수 데이터 또는 제어 매개변수)로의 확장
맺음말
본 발명의 예 및 실시예가 본 발명의 양태들로 조직화되어 설명되었지만, 본 발명의 임의의 양태의 임의의 실시예는 본 발명의 임의의 다른 양태에 포함되거나, 추가되거나, 그와 함께 수행될 수 있다는 점에 유의해야 한다. 양태로 나누어진 구성 및 설명은 특징 및 양태를 강조하기 위해 선택되며, 이는 당업자에게 본 발명에 대한 더 나은 이해를 제공하기 위함이다.
그러나, 예를 들어, 임의의 인터페이스(예를 들어, 테스터 인터페이스 및/또는 핸들러 인터페이스)는 양방향 및/또는 전용의 실시간 인터페이스일 수 있다. 정보 전송의 방향(예를 들어, 일방향 또는 양방향으로만)은 특정 애플리케이션에 따라 선택될 수 있다. 또한, 제공된 모든 신호 및 정보는 자동 테스트 장비에서 핸들러로 보내거나 핸들러에서 자동 테스트 장비로 보내는 테스트 사이트 특정 정보일 수 있다. 시그널링은 테스터 및 핸들러 인터페이스의 모든 구성에서 제공되거나 수신될 수 있다. 또한, 시그널링은 예를 들어 트리거 정보, 동기화 정보 및/또는 추가 정보와 같은 복수의 정보를 포함할 수 있다. 그러나, 이 정보는 별개의 시그널링(예를 들어, 특정 정보에 대한 하나의 시그널링)으로서 제공되거나 수신되는 것이 낫다. 또한, 임의의 시그널링 또는 이들의 조합은 예를 들어 단일 채널을 통해 전송될 수 있다.
Claims (37)
- 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로서,
양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(handler interface)(120, 220, 320, 420, 520)를 포함하되,
상기 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)는 온도 제어 기능을 트리거(trigger)하기 위해 트리거 시그널링(signaling)(122)을 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)에 제공하도록 구성되고,
상기 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 시그널링(142)을 수신하도록 구성되고,
상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 수신된 상기 시그널링(142)을 고려하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항에 있어서,
상기 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)는, 상기 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)의 기능을 동기화하기 위한 동기화 시그널링(222)을 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)에 제공하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420 ,520)는 상기 온도 제어 기능을 제어하기 위해 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)에 테스트 사이트 특정 시그널링(test-site specific signaling)(322)을 제공하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 수신되는 상기 시그널링(142)은 테스트 사이트 특정 시그널링(442)인,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)는 상기 트리거 시그널링 외에 추가 시그널링(522)을 제공하도록 구성되며, 상기 추가 시그널링(522)은,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 및/또는
상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 의해 결정된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 및/또는
하나 이상의 테스트 상태 매개변수, 및/또는
경보(alarm) 정보를 포함하는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터의 시그널링(142)에 반응하여 테스트 흐름을 조정하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터의 시그널링(142)에 반응하여 테스트를 중단시키도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 비활성화 시그널링을 수신하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 온도 경고 시그널링을 수신하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 수신된 상기 시그널링(142)에 응답하여 테스트를 중단시키도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 테스트 사이트 특정 시그널링(442)을 수신하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 테스트 사이트 특정 시그널링을 수신한 것에 응답하여 테스트 사이트 특정적으로(test-site specifically) 테스트를 중단시키도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 시그널링을 수신한 것에 응답하여 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 시그널링(142)을 수신한 것에 응답하여 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)의 데이터 처리에 영향을 미치도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 수신된 시그널링(142)을 로그(log)하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 자동 테스트 장비는 실시간으로 반응하도록 구성되는,
자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710). - 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)를 테스트하기 위한 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)와 함께 사용하기 위한 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(tester interface)(140, 240, 340, 440, 540)를 포함하되,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로부터 트리거 시그널링(trigger signaling)을 수신하도록 구성되고, 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 수신된 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하도록 구성되고,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 시그널링(142)을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항에 있어서,
상기 핸들러는 상기 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로부터 동기화 시그널링(222)을 수신하도록 구성되고,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 수신된 동기화 시그널링(222)에 응답하여, 상기 온도 제어 기능을 트리거하는 것에 국한되지 않는 기능을 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)와 동기화하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 또는 제18항에 있어서,
상기 핸들러는 상기 양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로부터 테스트 사이트 특정 시그널링(test-site specific signaling)(322)을 수신하도록 구성되고, 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 수신된 테스트 사이트 특정 시그널링(322)에 응답하여 상기 온도 제어 기능을 제어하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로 보내는 상기 시그널링(142)은 테스트 사이트 특정 시그널링(442)인,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제20항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러는 상기 실시간 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 트리거 시그널링(122)을 수신하고, 상기 트리거 시그널링(122) 외에 추가 시그널링(522)을 수신하도록 구성되고,
상기 추가 시그널링(522)은,
상기 핸들러에 의한 온도 제어 프로파일 또는 온도 조절의 결정 또는 변경을 위한 제어 정보, 및/또는
상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 의해 결정된 하나 이상의 측정 값에 대한 정보, 및/또는
하나 이상의 테스트 상태 매개변수, 및/또는
경보(alarm) 정보를 포함하고,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 하나 이상의 피시험 디바이스 사이트(site)의 온도를 제어하기 위해 상기 추가 시그널링(522)을 사용하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스트 흐름의 조정을 위해 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 상기 시그널링(142)을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 비활성화 시그널링을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 오작동을 검출하고, 오작동의 검출에 응답하여 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 상기 시그널링(142)을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 온도 경고 시그널링을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 중단 시그널링을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제26항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 테스트 사이트 특정 중단 시그널링을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 테스트 사이트 특정 시그널링(442)을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 하나 이상의 피시험 디바이스의 전원을 비활성화하기 위한 비활성화 시그널링을 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제29항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 실시간 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로 보내는 상기 시그널링(142)을 사용하여 상기 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)의 데이터 처리에 영향을 미치도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제30항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 의한 로그(log)를 위한 시그널링을 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 제17항 내지 제31항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)는, 제공된 신호에 대한 응답으로 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)의 실시간 반응이 가능하도록 하기 위한 시그널링을 실시간으로 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비에 제공하도록 구성되는,
핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730). - 테스트 시스템으로서,
제1항 내지 제16항에 정의된 바와 같은 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710), 및 제17항 내지 제32항에 정의된 바와 같은 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)를 포함하는,
테스트 시스템. - 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)를 테스트하기 위한 방법(600)으로서,
온도 제어 기능을 트리거(trigger)하기 위해 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(handler interface)(120, 220, 320, 420, 520)를 통해 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)에 트리거 시그널링(122)을 제공하는 단계(610)와,
상기 양방향 전용 실시간 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)를 통해 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 시그널링을 수신하는 단계(620)와,
상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)로부터 수신된 상기 시그널링을 고려하는 단계(630)를 포함하는,
방법. - 피시험 디바이스(150, 152, 154, 156, 158, 1650, 1750)를 테스트하기 위한 방법(700)으로서,
양방향 전용 실시간 테스터 인터페이스(tester interface)(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)로부터 트리거 시그널링(trigger signaling)을 수신하는 단계(710)와,
상기 수신된 시그널링에 응답하여 온도 제어 기능을 트리거하는 단계(720)와,
상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)를 통해 상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)에 시그널링을 제공하는 단계(730)를 포함하는,
방법. - 컴퓨터 프로그램으로서,
상기 컴퓨터 프로그램은 상기 컴퓨터 프로그램이 컴퓨터에서 실행될 때 제34항 또는 제35항에 따른 방법을 수행하기 위한 것인,
컴퓨터 프로그램. - 테스트 셀(test cell)로서,
제17항 내지 제32항 중 어느 한 항에 따른 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730) 및 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 따른 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)를 포함하고,
상기 자동 테스트 장비(110, 210, 310, 410, 510, 1610, 1710)의 상기 핸들러 인터페이스(120, 220, 320, 420, 520)와 상기 핸들러(130, 230, 330, 430, 530, 1630, 1730)의 상기 테스터 인터페이스(140, 240, 340, 440, 540)는 결합되는,
테스트 셀.
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