TWI803928B

TWI803928B - 使用同步信號來測試被測元件的自動化測試設備、處理器和方法

Info

Publication number: TWI803928B
Application number: TW110128637A
Authority: TW
Inventors: 馬蒂亞斯維爾納; 馬丁費舍爾
Original assignee: 日商愛德萬測試股份有限公司
Priority date: 2020-08-04
Filing date: 2021-08-04
Publication date: 2023-06-01
Also published as: US20230228805A1; US20230184823A1; US20230184822A1; JP2023536608A; TW202223423A; TWI797702B; US20230280394A1; TWI817171B; TW202223424A; TW202229908A; JP2023536607A; CN115667952A; JP2023536606A; TW202210856A; CN115667953A; CN115698735A; KR20230009477A; CN115698734A; WO2022029203A1; WO2022029206A1

Abstract

根據本發明的實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備，包括實時處理器界面，其中實時處理器界面被配置為向處理器提供觸發信號，以觸發溫度控制功能，並且其中實時處理器界面被配置為向處理器提供同步信號，用於同步處理器的功能，其優於觸發溫度控制功能的功能。因此，實施例包括用於此類自動化測試設備和處理器的對應處理器和方法。

Description

使用同步信號來測試被測元件的自動化測試設備、處理器和方法

根據本發明的實施例涉及用於使用同步信號測試被測元件的自動化測試設備、處理器和方法。

根據本發明的其他實施例涉及具有快速同步和數據交換的主動溫度控制，例如使用觸發如預觸發信號。根據本發明的其他實施例涉及具有快速同步和數據交換的主動溫度控制。

複雜的數位設備(可以例如用作被測元件(DUT))，例如MPU(如微處理器)、GPU(如圖形處理單元)和MCU(如微控制器)可能會消耗大量功率。功耗和設備溫度曲線可以例如在整個測試過程中變化，例如在使用自動化測試設備(ATE)的整個測試過程中變化，並且可以例如甚至取決於測試站點。在某些情況下，精確的溫度控制對於測試這些設備可能很重要，甚至必不可少，例如，使用“平坦"和/或可預測的溫度曲線。

此外，提供能夠以良好的精度和省時的工作量執行測試的測試設備可能很重要。例如，關於佈線的有限複雜性和努力可能是有益的。

因此，希望得到一種在溫度控制效率、測試精度和測試設備複雜度之間做出更好折衷的概念。

這是通過本申請的獨立請求項的主題來實現的。

由本申請的從屬請求項的主題來定義根據本發明的其他實施例。

根據第一方面的發明概述

根據本發明的第一方面的實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，包括雙向專用實時處理器界面，如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

處理器界面為雙向專用界面，例如特定用於自動化測試設備與處理器之間的通信；如應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準和/或應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，實時處理器界面被配置為向處理器提供觸發信號，以便觸發例如主動的溫度控制如調節的功能如主動溫度控制的預冷卻功能。

處理器可以例如被配置為在被測元件板或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如被配置為控制一個或多個(如物理、非電)參數，就像溫度，在這個溫度下測試一個或多個被測元件。此外，處理器界面可以例如被配置為額外向處理器提供用於影響控制操作(其控制處理器)的信號，其中例如考慮該信號來確定處理器的控制操作。此外，實時處理器界面被配置為例如經由實時測試器界面從處理器接收信號。此外，自動化測試設備被配置為考慮從處理器所接收到的信號，例如在執行測試或從測試數據導出最終測試結果時，如以響應從處理器所接收到的信號來調整測試流程。

根據本發明的第一方面的其他實施例包括與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用的處理器，該處理器包括雙向專用的實時測試器界面，如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”(而不是總線界面)。

測試器界面為雙向專用界面，例如特定適用於自動化測試設備與處理器之間的通信；如應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定。

此外，測試器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準和/或應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器可以例如在被測元件板或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如控制一個或多個(如物理、非電)參數，就像溫度，在這個溫度下測試一個或多個被測元件。處理器被配置為通過測試器界面接收從自動化測試設備發出觸發如預觸發信號，並且處理器被配置為觸發例如主動的溫度控制例如調節的功能例如主動溫度控制的預冷卻功能，以響應接收到的信號。此外，處理器被配置為提供信號如供自動化測試設備考慮，以通過測試器界面到自動化測試設備。

根據本發明第一方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”一起使用，其中該方法包括經由雙向專用實時處理器界面向處理器提供觸發信號，以便觸發如從而觸發如主動的溫度控制如調節的功能如主動溫度控制的預冷卻功能。

處理器可以例如被配置為在被測元件板上或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如控制一個或多個(例如物理的、非電的)參數，例如溫度，在此溫度下測試一個或多個被測元件。此外，觸發信號可以包括用於影響處理器的控制操作的信號到處理器，其中例如考慮該信號來確定處理器的控制操作。

處理器界面為雙向專用界面，例如專門用於自動化測試設備與處理器之間的通信；如應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準和/或應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定。

處理器界面可以例如具有觸發功能的界面如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

此外，該方法包括接收來自處理器的信號，如經由實時測試器界面，經由雙向專用實時處理器界面，並且該方法包括例如在自動化測試設備中考慮從處理器所接收的信號，例如在執行測試或從測試數據導出最終測試結果時，如以響應從處理器所接收到的信號來調整測試流程。

根據本發明第一方面的其他實施例包括一種方法，例如與用於測試被測元件的處理器一起使用和/或與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用，其中該方法包括接收從自動化測試設備的觸發例如預觸發信號，通過雙向專用實時測試器界面如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，並且其中該方法包括觸發如主動的溫度控制如調節的功能如主動溫度控制的預冷卻功能，以響應於接收到的信號。

測試器界面和/或處理器界面為雙向專用界面，例如專門用於自動化測試設備和處理器之間的通信；如應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定。

此外，測試器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準和/或應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。此外，該方法包括經由測試器界面向自動化測試設備提供信號，如供自動化測試設備考慮。

根據第一方面的其他實施例包括測試系統，其包括如本文所定義的自動化測試設備和如本文所定義的處理器。

根據第一方面的其他實施例包括用於當計算機程序在計算機上運行時執行根據實施例的方法的計算機程序。

根據第一方面的其他的實施例包括測試單元，該測試單元包括根據實施例的處理器和根據實施例的自動化測試設備，其中自動化測試設備的處理器界面和處理器的測試器界面耦合。

根據本發明的第一方面的實施例基於提供雙向專用實時界面的思想，其中在包括自動化測試設備(如在自動化測試設備的一側)的實施例中使用實時處理器界面，和/或其中在包括處理器(如在處理器的一側)的實施例中使用實時測試器界面，以便觸發溫度控制功能。

下面將在自動化測試設備的上下文中解釋根據本發明第一方面的實施例的概念。基本思想應類似地理解為用於與此類自動化測試設備和/或處理器一起使用的相應處理器和方法。因此，這裡討論的關於自動化測試設備的任何特徵、功能和細節可以可選地用於(如以相同或類似的方式)在處理器、測試系統、測試單元和/或用於自動化測試設備、用於處理器、測試系統或測試單元的方法，以單獨和組合使用。

根據實施例，自動化測試設備包括雙向專用實時處理器界面，其中所述界面被配置為向處理器提供觸發信號以觸發溫度控制功能。

由於界面是實時界面，因此可以傳輸用於溫度控制的信息，從而根據特定規範(例如溫度限制)的即時反應是可能的。換句話說，運行時的數據交換是可能的。這種信號的延遲時間可以低於某個時間限制，例如低於1ms。因此，由於提高了信息傳輸速度，可以更高精度地執行溫度控制。為了提供這樣的實時能力，界面可以是附加界面，例如可以直接佈置在測試頭和處理器之間。發明人認識到，這種界面可能比其他界面(例如常規界面)更快，允許實時測試適配，例如在運行時。這可以提供具有提高準確性和效率的測試。被測元件的熱點(甚至熱失控)可以更快地識別，因此，與沒有這種實時界面的情況相比，可以更早地執行對策。

此外，該界面是專用處理器界面。例如，為了提供必要的信息傳輸速度，該界面可以特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信。可選地，該界面可以是應用程序特定界面，例如與通用界面相反。因此，界面所使用的通信協定可以被適配，例如以提供實時信號。

根據本發明的第一方面，該界面另外是雙向界面。界面的雙向性實現了雙向通信，從而實現了廣泛的測試適應可能性。例如，測試器可以例如將例如由測試程序引起的被測元件的即將到來的預期熱峰值通知給處理器。響應於此，處理器可以將設備的當前溫度通知給測試器，並且處理器可以考慮該溫度以適應測試程序，以防止測試元件的熱點(甚至熱失控)，例如通過延長先前的冷卻時間。

這種創造性的實時雙向專用界面實現了測試器和處理器之間的迫在眉睫的，例如直接的和快速的通信路徑。此外，要注意的是，例如可以使用這樣的界面來提供和/或接收可能對被測元件的測試週期有用的其他時間關鍵信息。

發明人認識到實時雙向專用界面允許將測試器的計算性能用於處理器的任務。控制迴路如可以實現溫度控制迴路可包括被測元件、處理器和自動化測試設備。實時界面可以允許測試器參與被測元件的溫度控制，如帶有運行時處理器溫度控制信息的輸入信息。反之亦然，處理器可以實時提供測量數據以允許測試器計算這樣的溫度控制信息，如包括冷卻幅度和/或冷卻持續時間和/或冷卻時間。

因此，作為雙向專用實時界面的界面允許協同效應，如前所述允許測試器，處理器和設備之間的實時控制循環。此外，可以使用這樣的循環以便在運行時基於傳輸的信息，如由處理器提供的測量數據，以及由自動化測試設備確定和提供的適配信息來調整測試流程。

根據本發明第一方面的其他實施例，雙向專用實時處理器界面被配置為向處理器提供同步信號以同步處理器的功能，這優於觸發溫度控制功能的功能。

同步可以執行以便在被測元件的某個預定條件下觸發測量。與實現等待狀態相比，通過實時界面進行同步可能更快和/或更準確。

根據本發明第一方面的其他實施例，雙向專用實時處理器界面被配置為向處理器提供測試站點特定的信號，以便控制溫度控制功能。

例如，某些設備(例如設備的測試站點或位置)具有不同的測試設置(如VDD電壓)，這可能會導致例如更多的散熱。在某些情況下，在觸發點通知處理器可能是有利的甚至是必要的，如哪些站點需要稍後冷卻以啟用或例如確保冷卻不足/過熱不會發生的預觸發點。利用測試站點特定信息可以增加測試程序的靈活性。

根據本發明第一方面的其他實施例，從處理器接收的信號是測試站點特定信號。在不同測試站點的多個被測元件的情況下，可以傳輸各別信息，例如關於被測元件的特定溫度。因此，每個被測元件都可以單獨控制。這樣的結果，可以檢測到單個設備的熱點(或甚至熱失控)並且可以關閉所述設備，而不會中斷其他設備的測試例程。因此，根據本發明的自動化測試設備或處理器可以提供良好的測試速度和良好的測試靈活性。

根據本發明第一方面的其他實施例，雙向專用實時處理器界面被配置為除了觸發信號之外提供附加信號，附加信號包括例如實時的控制信息以用於例如自主的判定如計算，或如自主地由處理器或例如僅由處理器(如在運行時)對溫度控制曲線或溫度調節的修改。例如，該信息可以包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、流量(如測試子f)和/或關於即將到來的溫度熱點、熱點持續時間、熱點幅度、站點和設備特定溫度控制數據的信息。

替代地或另外地，附加信號包括關於由自動化測試設備確定的一個或多個測量值的信息，如PMON、TJ.和/或一個或多個測試狀態參數，如SITE、DUT、TEST、FLOW，例如關於即將到來的溫度熱點、熱點持續時間、熱點幅度、站點和設備特定溫度控制數據的信息。

替代地或另外地，附加信號包括警報信息，如一個或多個被測元件的測試站點特定的溫度過高或不足報警信息。提供附加信號能夠使用與界面的雙向性和實時能力的前述優點協同作用的多個功能。數據傳輸以及因此測試適配、測試評估和測試問題的對策可以更快地並且以更高的精度執行，例如一方面因為減少的反應時間，另一方面因為特定站點的適配。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為調整測試流程，例如通過中斷測試和/或通過停用電源，和/或通過選擇不同的測試和/或通過修改一個或多個測試參數，如時鐘頻率、電源電壓等，以響應信號如來自處理器的信號。

反應可以例如實時進行。例如，被測元件的熱點(甚至熱失控)可以通過停用其電源來停止。此外，可以根據來自處理器的信號來調整測試週期。對具有不同行為的測試刺激做出響應的設備可以被分類到不同的質量類別中，並且可以例如以不同的方式進一步測試。測試流程的調整可以提高測試程序的效率和靈活性。因此，也可以降低測試成本。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為中斷測試，如通過停用電源，以響應信號，如來自處理器的信號。測試中斷可以例如針對特定設備單獨執行或對多個設備進行測試時執行。測試中斷可以防止設備損壞並且可以允許快速處理故障設備，以便重新啟動剩餘設備的測試程序。以這種方式，儘管故障減少了測試時間但是可以提供良好的測試靈活性。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為接收停用信號如指示處理器的異常狀態或錯誤狀態，或溫度控制不可靠或溫度過高的狀態如溫度過高或溫度過低如處理器的溫度條件不足或“溫度失控”條件；如導致處理器“關閉”一個或多個測試站點。

處理器可以被配置為評估被測元件的狀態並將該狀態傳輸到自動化測試設備。在被測元件出現故障的情況下，可以向自動化測試設備提供停用信號。可以在被測元件損壞之前執行停用，因此可以繼續對其他被測元件進行測試，從而即使在發生故障時也可以進行更快的測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為接收來自處理器的溫度警告信號，如指示溫度過高，如溫度過高或溫度過低，如溫度條件不足。這可以例如允許自動化測試設備根據被測元件的狀態調整測試過程。因此，根據本發明的實施例不僅提供了應對設備故障的可能性，甚至可以防止故障或預測設備故障。這允許快速有效地適應測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為響應於從處理器接收到的信號而中斷測試。這樣的結果，可以防止設備損壞。

根據本發明的第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為從處理器接收測試站點特定的信號。如前所述，設備的測試週期可以單獨調整。另外，可以根據測試站點特定信號執行設備的分類和排序。這樣的結果，可以執行具有高靈活性的測試。

根據本發明的第一方面的其他的實施例，自動化測試設備被配置為響應於從處理器接收到測試站點特定的信號以測試站點特定中斷一測試。單個設備可能會被中斷，以便在不中斷的情況下繼續其他被測元件的測試週期。這可以實現快速的整體測試並且因此可以降低批量設備的測試成本。

根據本發明的第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為停用一個或多個被測元件的電源，如關閉站點特定電源如以測試站點特定的方式，以響應從處理器接收到的信號如響應於指示過熱如被測元件或測試站點如站點的設備溫度條件過高的可選的測試站點特定信號。

當只有一個或幾個被測元件出現問題(例如過熱)時，特定設備的電源關閉可防止包括多個設備的測試設置出現故障。因此，可以避免設備損壞並且可以繼續對沒有故障的設備進行測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為影響被測元件的數據處理如調整分檔，以響應於接收如站點特定的信號如來自處理程序的信號。例如，在被測元件過熱或被測元件故障的情況下，可能影響所述設備的數據處理，使得不再記錄設備的測量和響應。通過實時界面，這可以實時執行，從而可以立即丟棄錯誤數據，例如不會影響對一批被測元件的整體評估。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為記錄從處理器接收到的信號，如從處理器接收到的信號，如為了提供測試結果或者為了提供關於被測元件的特性的信息或者為了提供關於測試結果的可靠性的信息。通過實時界面，這可以允許更好地同步處理器數據和測試例程，例如來自測試器的測試刺激和來自處理器的溫度數據的同步分配。

根據本發明第一方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為實時反應，如使得自動化測試設備的反應比被測元件的內部熱變化或控制迴路如溫度控制功能的控制迴路的時間常數更快。通過如此快速的反應，可以避免被測元件過熱的損壞。此外，可以調整測試參數以首先防止被測元件過熱。

在下面進一步詳細解釋根據本發明第一方面的其他實施例。然而，在自動化測試設備的上下文中解釋的優點和示例對於相應的處理器應可類似地理解。因此，以上關於自動化測試設備討論的任何特徵、功能和細節可以用於、結合到或適配於相應的處理器。作為示例，被配置為提供信號的自動化測試設備可以被配置為接收所述信號的對應的處理器代替，或者反之亦然。作為另一示例，向處理器提供信號以便由自動化測試設備執行任務可以通過接收信號並被配置為相應的處理器執行所述任務來代替。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為通過雙向專用實時測試器界面從自動化測試設備接收同步信號，並且其中處理器被配置為與自動化測試設備同步功能，以響應於接收到的同步信號，這優於了觸發如預觸發溫度控制功能的功能。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為通過雙向專用實時測試器界面從自動化測試設備接收測試站點特定信號，並且其中處理器被配置為控制溫度控制功能以響應接收到的測試站點特定信號。

根據本發明第一方面的其他實施例，經由測試器界面到自動化測試設備的信號是測試站點特定信號。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由實時測試器界面接收觸發信號，並且除了觸發信號之外還接收附加信號，該附加信號包括例如實時的控制信息以用於例如自主的判定如計算，或如自主地由處理器或例如僅由處理器(如在運行時)對溫度控制曲線或溫度調節的修改。例如，該信息可以包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、流量(如測試子f)和/或關於即將到來的溫度熱點、熱點持續時間、熱點幅度、站點和設備特定溫度控制數據的信息。

替代地或另外地，信號包括關於由自動化測試設備確定的一個或多個測量值的信息，例如PMON、TJ和/或一個或多個測試狀態參數，例如SITE、DUT、TEST、FLOW，例如關於即將到來的溫度熱點、熱點持續時間、熱點幅度、站點和設備特定溫度控制數據的信息。替代地或另外地，該信號包括警報信息，如一個或多個被測元件的測試站點特定的溫度過高或不足報警信息。

此外，處理器被配置為使用額外的信號來控制一個或多個測試站點下設備的溫度，如以確定或修改溫度控制曲線或溫度調節。

使用附加信號的處理器可以實現精確的溫度控制。信息可以通過實時界面實時傳輸，為快速溫度調節提供最新數據。此外，溫度調節器可以考慮通過信號傳輸的多個參數。利用即將發生的事件的信息，例如溫度熱點，可以實現預測溫度控制。

根據本發明的第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供信號以適應測試流程，如用於中斷測試和/或停用電源，和/或用於選擇不同的測試和/或用於修改一個或多個測試參數，例如時鐘頻率、電源電壓等。

根據本發明的第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供停用信號，如導致一個或多個測試站點“關閉”。因此，在過熱的情況下，處理器可以避免設備損壞。由於雙向實時界面，來自處理器的即時反饋是可能的，從而實現從設備到處理器再到自動化測試設備的控制循環。這允許精確、快速和安全的溫度控制。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為檢測如熱如測試站點特定的故障如溫度控制不可靠或溫度過高或溫度過低或“溫度失控”的狀態，或處理器的異常狀態或錯誤狀態。此外，處理器被配置為提供信號，如響應於故障的檢測，向自動化測試設備發送停用信號或故障信號，如為了停用為被測元件供電的自動化測試設備的設備電源。

根據本發明的第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供溫度警告信號如用於指示過熱如溫度過高條件或溫度過低，如溫度不足條件。

根據本發明的第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供中斷信號，如為了中斷測試，或中斷特定被測元件或測試站點的設備的測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供測試站點特定的中斷信號，如為了中斷測試，或中斷特定被測元件或測試站點的設備的測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供測試站點特定信號。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供停用信號，用於停用一個或多個被測元件的電源，例如以便關閉測試站點特定的電源，如以測試站點特定方式。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為影響數據處理，如使用通過實時測試器界面到自動化測試設備的信號，對被測元件進行分檔和數據記錄。

根據本發明的第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面向自動化測試設備提供信號以供自動化測試設備記錄。處理器可以檢測被測元件的特殊事件或行為。經由實時界面，可以為自動化測試設備提供信號以記錄例如這種設備的測試數據以供進一步分析。因此，可以提供靈活和自適應的測試。

根據本發明第一方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面實時地向自動化測試設備提供信號，如以低延遲如延遲小於1ms甚至小於1微秒，如通過無擁塞和/或無阻塞的測試器界面，使自動化測試設備能夠對提供的信號做出實時反應。

根據第二方面的發明概述

根據本發明的第二方面的實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，包括實時處理器界面，例如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

處理器界面可以例如是可選的雙向專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，實時處理器界面被配置為向處理器提供觸發信號，其可例如在被測元件板或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如控制一個或多個(如物理、非電)參數，就像溫度，在這個溫度下測試一個或多個被測元件，以為了觸發如預觸發如主動的溫度控制如調節的功能如在設備溫度的預期變化或設備功率耗散的預期變化之前的溫度控制功能，如主動溫度控制的預冷或預熱功能。

此外，實時處理器界面被配置為向處理器提供同步信號，用於同步處理器的功能，這優於觸發如預觸發溫度控制功能的功能。

根據本發明的第二方面的其它的實施例包括與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用的處理器，該處理器包括實時的測試器界面如具有觸發功能的界面，例如“固定端點界面”。

測試器界面可以例如是可選的雙向專用界面，例如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，測試器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準、應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器可以例如在被測元件板或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如控制一個或多個(如物理、非電)參數，就像溫度，在這個溫度下測試一個或多個被測元件，並被配置為通過測試器界面接收從自動化測試設備發出觸發信號，以及處理器被配置為觸發如預觸發溫度控制如調節的功能以響應接收到的觸發信號。

此外，處理器被配置為經由測試器界面從自動化測試設備接收同步信號，並且處理器被配置為與自動化測試設備同步功能以響應於接收到的同步信號，這優於觸發如預觸發溫度控制功能的功能。

根據本發明第二方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”一起使用，其中該方法包括提供觸發如預觸發給處理器，該處理器可以例如在被測元件板上或被測元件界面上加載和卸載芯片，並且可以例如控制一個或多個(例如物理的、非電氣的)參數，如溫度，在該溫度下測試一個或多個被測元件，以便通過實時處理器界面觸發如預觸發如主動的溫度控制如調節的功能如在設備溫度的預期變化或設備功率耗散的預期變化之前的溫度控制功能，如主動溫度控制的預冷或預熱功能。

此外，處理器界面是一個實時界面，如點對點、端到端、非總線、非標準、應用程序專用界面。此外，界面除了總線之外還可以被實現，並且可以例如比總線更快。該界面可以例如是低延遲的，如實時能力和/或快速界面。界面可以例如直接佈置在測試頭和處理器之間。作為實時界面，該界面可以例如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒。該界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器界面可以例如具有觸發功能的界面如“固定端點界面”，也可以例如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。換句話說，例如，存在一個通信通道，它既用於觸發又用於通信。替代地，也可以存在多個通信通道，其中通過也用於通信(除了觸發功能之外)的通信通道之一來執行觸發。此外，該方法包括經由實時處理器界面向處理器提供同步信號，並且該方法包括同步處理器的功能，這優於溫度控制功能的觸發如預觸發功能。

根據本發明第二方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的處理器一起使用和/或與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用，其中該方法包括通過實時測試器界面如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”接收從自動化測試設備的觸發信號，並且其中該方法包括觸發如預觸發溫度控制如調節的功能以響應於接收到的觸發信號。

例如，測試器界面可以是可選的雙向專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，該方法包括經由測試器界面從自動化測試設備接收同步信號，並且該方法包括與自動化測試設備同步功能以響應於接收到的同步信號，這將優於觸發如預觸發溫度控制功能的功能。

根據第二方面的其他實施例包括測試系統，其包括如本文所定義的自動化測試設備和如本文所定義的處理器。

根據第二方面的其他實施例包括用於當計算機程序在計算機上運行時執行根據實施例的方法的計算機程序。

根據第二方面的其他的實施例包括測試單元，該測試單元包括根據實施例的處理器和根據實施例的自動化測試設備，其中自動化測試設備的處理器界面和處理器的測試器界面耦合。

根據本發明的第二方面的實施例基於自動化測試設備與處理器同步的思想，其中實時處理器界面使用在包括自動化測試設備(如在自動化測試設備的一側)的實施例中，和/或其中實時測試器界面使用於包括處理器(如在處理器的一側)的實施例中。

下面將在自動化測試設備的上下文中解釋根據本發明第二方面的實施例的概念。基本思想應類似地理解為用於與此類自動化測試設備和/或處理器一起使用的相應處理器和方法。因此，這裡討論的關於自動化測試設備的任何特徵、功能和細節可以可選地用於(如以相同或類似的方式)在處理器、測試系統、測試單元和/或用於自動化測試設備、用於處理器、用於測試系統或用於測試單元的方法，以單獨和組合使用。

根據實施例，自動化測試設備包括實時處理器界面，其中所述界面被配置為向處理器提供觸發信號以觸發溫度控制功能。然而，此外，實時處理器界面被配置為向處理器提供同步信號，用於同步處理器的功能，這優於觸發溫度控制功能的功能。使用實時界面，測試器和處理器可以交換多個信息。該信息可以包括關於被測元件的溫度信息、設備狀態、或可能與設備的測試相關的狀態或任何其他信息。測試被測元件可能是自動化測試設備(例如測試器和處理器)的相互作用。測試器可以為被測元件提供刺激，而處理器可以監控設備(如監測設備的溫度，或設備的任何其他環境條件)。同步信號致能測試器和處理器之間的同步。這是有益的，或者在某些情況下甚至可能是必要的，以便將測試器數據分配給處理器數據。沒有確切的信息如精確的時間信息、因果關係、或刺激和測量，測試結果或評估可能不太準確。實時界面允許測試器和處理器之間的快速同步。可能不需要等待狀態，從而在測試器和處理器之間提供非常準確的同步。因此，可以對被測元件進行改進的測試。

此外，測試器和處理器之間的同步允許兩者更好地合作。測試器對被測元件的刺激可以相對於處理器的最近信息進行調整。如果測試器和處理器不同步，則可能難以在足夠的時間內對處理器檢測到的事件做出反應，例如被測元件過熱。例如，使用實時介面可以避免設備損壞，因為可能不必考慮用於同步測試器和處理器的等待狀態。

除了適應之外，即使是簡單的測量也可以通過同步的測試器和處理器進行有益的測量。處理器可以例如被命令在特定條件下測量被測元件，如在刺激之後的特定時間之後。當測試器和處理器同步時，可以很容易地執行這樣的測量。

根據本發明第二方面的實施例允許對被測元件進行高度靈活和自適應的測試。發明人認識到，真實處理器時間界面允許提供前述同步信號，作為提供附加功能的信號，例如優於僅觸發溫度控制功能的功能。因此，額外的命令、或指示或指令可以由自動化測試設備提供給處理器，如同步測量指示。例如，校準指示可以被傳輸到處理器，以同步測試的開始或測試序列的開始。信息的實時(例如立即)傳輸可以允許與測試器相結合的處理器的校準和擴展的測量例程。

根據本發明的第二方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為基於到處理器的同步信號致能與處理器的主動同步，並且主動同步是沒有等待插入的同步。

實時介面可以允許無延遲如以等待插入的形式的同步。自動化測試設備可以準確地通知處理器何時進行測量。此外，通過使用實時界面，可以將測量與刺激或設備狀態準確地同步，以提供優於傳統等待插入的優勢，這可能導致有關設備狀態和測量的準確時間的不確定性。此外，主動同步可能會顯著減少測試時間。

此外，例如在雙向界面的情況下，可以以刺激-響應方式執行主動同步。自動化測試設備可以向處理器發送刺激，並且處理器可以用設備特性如溫度的測量值來響應。

根據本發明第二方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為發送如作為同步信號，向處理器提供校准定時信息，以確定校準的定時，如處理器的自校準，例如與測試流程同步執行，如在測試流程的預定階段。

由於用於測量的精確校準和定時信息，這可以允許測試刺激和測量數據(例如處理器的測量數據)之間的改進分配，並且這可以有助於更好(更短)的測試時間。例如，通過使用定時同步可以避免不必要的等待時間。

根據本發明第二方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為發送如作為同步信號，指示被測元件以預定方式供電或偏壓或初始化的信號，如以適合於處理器或調節迴路的校準(或自校準)的方式。這可以允許處理器的立即校準，例如在自動化測試設備調整用於被測元件的信號之後，例如電源條件，其可以操縱被測元件以提供參考信號如參考溫度。利用參考信號，可以進一步校准處理器的測量。實時介面可以允許處理器的立即如快如快速如實時反應，使得校準可以在被測元件處於預定狀態的時間點以很小的延遲進行，以有利於校準。

根據本發明第二方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為當達到不同的設備或測試條件時發送信號，如當達到被測元件的不同供電狀態或加熱狀態或偏壓狀態或初始化狀態時。這樣的狀態可以例如適用由處理器進行兩個或更多個不同的校準測量。此外，例如可以預期這些狀態會導致不同的當前被測元件的溫度，如不同的被測元件溫度適合於處理器的校準。

通過傳輸所述信號可以有利地使用自動化測試設備和處理器的同步。對於精確測量，了解測量時間和測量條件可能是有益的。使用實時界面，這樣的信息可以在被傳輸到達例如在處理器處時已過時。

根據本發明的第二方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為提供同步信號以觸發處理器的一個或多個溫度讀數，如在被測元件偏置之後和主動設備測試開始之前的第一個溫度讀數(如在預測試階段，其中例如，設備被偏置但尚未用一個或多個測試模型進行刺激)和測試開始後的第二個溫度讀數。

同步信號可以用作校准信號。在經由處理器界面從ATE到處理器的同步信號之後，被測元件可以由自動化測試設備設置為校準狀態。處理器可以在預定校準狀態下執行第一溫度讀數或測量以進行校準，然後是其他測量。經由實時界面，可以在正確的時間點執行處理器測量，同時設備被ATE提供預定信號，例如一定量的功率。這可以允許精確且快速的測量。

根據本發明的第二方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為基於到處理器的同步信號致能熱二極管校準。此外，熱二極管校準包括增量溫度測量和實時處理器界面被配置為向處理器傳輸實時測量定時信息以用於熱二極管校準。

熱二極管的溫度特性可能高度依賴於工藝。這可以例如通過增量溫度測量在測試中消除。為了在正確的點測量溫度，例如時間點和/或被測元件的點，可以有利地使用處理器和ATE之間的快速和精確同步。可以在不同的設備或測試條件下進行測量，例如無電和有電模式，以補償可能會在此校準步驟中影響溫度測量的如漏電流或設備開啟漏電流或熱效應。因此，可以執行精確且快速的熱二極管校準。

根據本發明第二方面的進一步實施例，同步信號包括用於處理器測量的如測試站點特定的時間信息。

如上所述，利用測試站點特定時間信息，可以對多個被測元件執行精確且快速的測量。可以為每個被測元件單獨執行同步，以提供設備刺激和測量數據的精確分配。

根據本發明第二方面的其他實施例，同步信號包括如測試站點特定的測試狀態信息或設備狀態信息，例如以便通知處理器有關測試流程和/或安排處理器的測量，和/或觸發預測溫度控制，如“P1”或“P2”。

使用測試站點特定的測試狀態信息，處理器可以調整溫度測量計劃，以便關注可能過熱的設備，例如因為它們接收大量功率。這可以允許更快的測試，並更好地保護被測元件。

在下面更詳細地解釋根據本發明的第二方面的其他的實施例。然而，在自動化測試設備的上下文中解釋的優點和示例對於相應的處理器應該類似地理解。因此，以上關於自動化測試設備討論的任何特徵、功能和細節可以用於、結合到或適配於相應的處理器。作為示例，被配置為提供信號的自動化測試設備可以被配置為接收所述信號的對應的處理器代替，反之亦然。作為另一示例，向處理器提供信號以便由自動化測試設備執行任務可以通過接收信號並被配置為相應的處理器執行所述任務來代替。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為經由測試器界面從自動化測試設備接收用於與自動化測試設備主動同步的信號。此外，處理器被配置為基於同步信號與自動化測試設備執行主動同步，並且主動同步是沒有等待插入的同步。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為通過測試器界面接收來自自動化測試設備的校准定時信息如作為同步信號，以確定校準時間如自校準，如這可以與測試流程同步執行，如此外在測試流程的預定階段中，處理器被配置為基於校准定時信息確定校准定時。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為通過測試器界面接收來自自動化測試設備的信號如作為同步信號，以指示被測元件以預定方式被調節或供電或偏置或初始化，如以適合於處理器的校準(或自校準)的方式。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為當達到不同的設備或測試條件時如當達到被測元件的不同供電狀態或加熱狀態或偏壓狀態或初始化狀態時，經由測試器界面從自動化測試設備接收信號。這種狀態可以例如適用於處理器進行兩個或更多個不同的校準測量。此外，例如可以預期這樣的狀態會導致不同的當前被測元件溫度，例如不同的被測元件溫度適合於處理器的校準。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為通過測試器界面從自動化測試設備接收用於觸發一個或多個溫度讀數的信號。此外，處理器被配置為執行一個或多個溫度測量，如用於校準溫度測量，基於同步信號，如在被測元件偏置之後和主動設備測試開始之前的第一個溫度讀數(如在預測試階段，例如在該階段，設備被偏置但尚未通過一個或多個測試模型進行刺激)和測試開始後的第二個溫度讀數。

根據本發明第二方面的其他實施例，處理器被配置為基於經由測試器界面從自動化測試設備接收的同步信號來執行熱二極管校準。此外，熱二極管校準包括增量溫度測量；並且處理器被配置為執行增量溫度測量，如使用由同步信號確定的定時。此外，處理器被配置為經由用於熱二極管校準的實時測試器界面從自動化測試設備接收實時測量定時信息。

根據本發明第二方面的進一步實施例，同步信號包括如用於處理器測量的測試站點特定時間信息。

根據本發明第二方面的進一步實施例，同步信號包括如測試站點特定的測試狀態信息或設備狀態信息，如為了通知處理器有關測試流程和/或安排處理器的測量，和/或觸發預測溫度控制，如“P1”或“P2”。

根據第三方面的發明概述

根據本發明的第三方面的實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，包括實時處理器界面，例如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

處理器界面可以例如是可選的雙向專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信。處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，實時處理器界面被配置為提供測試站點特定的信號如觸發或預觸發，如用於多個不同的測試站點，到處理器，為了控制如觸發或預觸發，例如主動的溫度控制如調節的功能如在設備溫度的預期變化或設備功率耗散的預期變化之前的溫度控制功能，如主動溫度控制的預冷或預熱功能。

處理器可以例如被配置為在被測元件板或被測元件界面上裝載和卸載芯片，並且可以例如被配置為控制一個或多個(例如物理、非電)參數，像溫度，在該溫度下測試一個或多個被測元件，或如包含站點ID；如通過共享信號，如共享信號線或共享光鏈路。

根據本發明的第三方面的其他的實施例包括與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用的處理器，該處理器包括實時的測試器界面，如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”。

測試器界面可以例如是可選的雙向的專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面例如可以是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

此外，處理器被配置為接收通過測試器界面從自動化測試設備來的測試站點特定的信號如觸發或預觸發，並且處理器被配置為控制例如主動溫度控制如調節的功能如主動溫度控制的預冷卻功能，以響應接收到的測試站點特定信號。

根據本發明第三方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”一起使用，其中該方法包括提供測試站點特定信號如觸發或預觸發，如對於多個不同的測試站點，通過實時的處理器界面到處理器，以便控制如從而控制如觸發或預觸發例如主動的溫度控制如調節的功能如在設備溫度的預期變化或設備功率耗散的預期變化之前的溫度控制功能，如主動溫度控制的預冷或預熱功能。

處理器界面可以例如是具有觸發功能的界面，如“固定端點接口”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

處理器界面可以例如是可選的雙向的專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信。處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

根據本發明第三方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的處理器一起使用和/或與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用，其中該方法包括從自動化測試設備來的通過實時的測試器界面如具有觸發功能的接口，如“固定端點接口”接收測試站點特定的信號如觸發或預觸發。此外，該方法包括控制例如主動溫度控制如調節的功能如主動溫度控制的預冷卻功能，以響應接收到的測試站點特定信號。

根據第三方面的進一步實施例包括測試系統，其包括如本文所定義的自動化測試設備和如本文所定義的處理器。

根據第三方面的進一步實施例包括測試系統，其包括如本文定義的自動化測試設備和如本文定義的處理器。

根據第三方面的進一步實施例包括用於當計算機程序在計算機上運行時執行根據實施例的方法的計算機程序。

根據第三方面的另外的實施例包括測試單元，該測試單元包括根據實施例的處理器和根據實施例的自動化測試設備，其中自動化測試設備的處理器界面和處理器的測試器界面耦合。

下面將在自動化測試設備的上下文中解釋根據本發明第三方面的實施例的思想。基本思想應類似地理解為用於與此類自動化測試設備和/或處理器一起使用的相應處理器和方法。因此，這裡討論的關於自動化測試設備的任何特徵、功能和細節可以可選地用於(例如，以相同或類似的方式)在處理器、測試系統、測試單元和/或用於自動化測試設備、用於處理器、用於測試系統或用於測試單元的方法，以單獨和組合使用。

根據本發明的第三方面的實施例基於以下概念：經由實時處理器界面提供從自動化測試設備到處理器的測試站點特定信號。

實時處理器界面使自動化測試設備能夠在例如足夠短的時間跨度內為處理器提供相關數據，使得處理器能夠基於所提供的數據執行反應。此外，該信息可能是測試站點特定的。除了能夠在自動化測試設備和處理器之間進行實時交互之外，還可以為處理器提供多個被測元件的不同信息。

因此，可以針對特定的被測元件實時調整測試例程。例如，可以通知處理器關於特定被測元件的即將發生的事件如供應功率的增加，以便安排和執行溫度測量。此外，溫度控制可以例如由處理器基於關於即將到來的溫度升高的信息來執行。例如，預測性冷卻可以通過觸發信號如預觸發信號觸發。此外，可以使用測試站點特定信息來為特定的被測元件準備冷卻，甚至關閉特定的被測元件，以防止損壞並能夠繼續測試，例如對於剩餘的被測元件。

發明人認識到實時介面的使用可以允許增加的測試靈活性。由於可以在過時之前發送和接收信息，因此可以針對多個被測元件中的每個被測元件精確地適配測試。

此外，發明人已經認識到，多個被測元件中的設備可以響應於刺激而表現或反應不同。設備可能會受到製造變化的影響，以致於即使是多個類似或相同的被測元件，如即使是相同的規格，在提供相同的輸入信號時，也可以提供不同的輸出信號。此外，某些設備可能是不確定的。系統可能包括高複雜性，使得可能難以或甚至不可能預測測試時間或散熱，例如芯片上系統(SoC)形式的被測元件。

因此，根據本發明的實施例允許測試的測試站點特定適配，例如，以便處理不均勻的被測元件行為。測試，或例如冷卻和加熱，可以根據例如每個被測元件的個體特性進行調整。

根據本發明第三方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為向所述測試站點特定信號提供以下信息中的一個或多個：測試站點特定警報、測試站點特定觸發如預觸發、識別信息如ID，測試站點特定溫度調整如冷卻的信息、測試站點特定設置信息如VDD電壓信息，測試站點特定如預期散熱信息；測試站點特定時間信息如溫度控制時間信息。

信號可以使用來傳輸多個參數，這些參數可以用於優化被測元件的測試。因此，可以改進單個被測元件的熱管理。

根據本發明的第三方面的其他實施例，測試站點特定信號包括測試站點識別信息和調節信息如定時信息、控制幅度信息、控制持續時間信息的組合。此外，測試站點識別信息被配置為致能如在處理器中測試站點特定關聯的調節信息。

特定的測試站點以及例如特定的被測元件可以例如關聯或鏈接，或與一組特定的調節信息相關。這組信息可以例如存儲在處理器中並定期或在必要時更新，如當自動化測試設備更新被測元件或測試站點的調節信息時。基於調節信息和測試站點識別信息，處理器可以安排和/或優化其交互，如一個或多個被測元件的溫度管理。因此，可以以更高的效率執行測試，如因為測試可能適用於每個被測元件。

根據本發明第三方面的其他實施例，測試站點識別信息包括測試站點ID；和/或測試站點ID被調製到測試站點特定的信號上。測試站點ID 的使用可以提供一種易於實施的方法來分別識別特定的測試側或被測元件。測試側ID的調製可以在自動化測試設備和處理器之間提供良好的數據傳輸效率，並且可以允許快速的數據傳輸。

根據本發明第三方面的其他實施例，調節信息包括定時信息，如何時冷卻或加熱，或延遲，和/或控制幅度信息如冷卻幅度和/或控制持續時間信息如冷卻持續時間。對定時信息的存取可以允許處理器與自動化測試設備或例如測試週期同步。因此，可以進行充分的冷卻或加熱。此外，可以傳輸測量的特定時間點，以便提供例如溫度、用於調節被測元件的信息。這可以提高測試效率並且可以防止被測元件的溫度故障。

根據本發明第三方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為提供單個如公共的的觸發如預觸發的多個測試站點以及描述如由單個公共觸發信號定義的觸發事件之間延遲的不同站點特定延遲信息的信號，以及為不同測試站點執行的熱預處理操作的開始。

數據傳輸效率可以通過傳輸基本信號和測試站點相關適配信號，或者基本信息和測試站點相關信息來提高。公共觸發如有關測試或測試序列開始的信息可以傳輸，如其中多個被測元件被提供有電源電壓。更詳細的信息，如關於功率峰值的定時信息或設備的激勵可以經由特定站點的延遲信息提供給處理器，如以便為處理器提供何時測量溫度或何時冷卻或加熱特定被測元件的信息。

根據本發明第三方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為執行不同站點的測試流程，使得在不同測試流程中的不同時間達到對應狀態，並且其中自動化測試設備是被配置為響應於達到相應測試流程的預定狀態而提供站點特定信號。這可以允許對每個被測元件進行高度個別化的測試。此外，通過向處理器提供特定站點信號，可以獲得精確的測試結果。如此，處理器可以調度被測元件的操作如加熱或冷卻，或根據各自的預定狀態進行測量。

在下面更詳細地解釋根據本發明的第三方面的其他的實施例。然而，在自動化測試設備的上下文中解釋的優點和示例對於相應的處理器應該類似地理解。因此，以上關於自動化測試設備討論的任何特徵、功能和細節可以用於、結合到或適配於相應的處理器。作為示例，被配置為提供信號的自動化測試設備可以被配置為接收所述信號的對應的處理器代替，反之亦然。作為另一示例，向處理器提供信號以便由自動化測試設備執行任務可以通過接收信號並被配置為相應的處理器執行所述任務來代替。

根據本發明第三方面的其他實施例，實時測試器界面被配置為通過測試器界面從自動化測試設備接收具有以下信息中的一個或多個的所述測試站點特定信號：測試站點特定警報，測試站點特定觸發如預觸發、識別信息如ID，測試站點特定的溫度調整如冷卻信息、測試站點特定的設置信息如VDD電壓信息，測試站點特定如預期的散熱信息；測試站點特定的時間信息如溫度控制時間信息。

根據本發明的第三方面的其他實施例，測試站點特定信號包括測試站點識別信息和調節信息如定時信息、控制幅度信息、控制持續時間信息的組合，以及測試站點識別信息被配置為致能如在處理器中測試站點特定關聯的調節信息。

根據本發明第三方面的其他實施例，測試站點識別信息包括測試站點ID；並且測試站點ID被調製到測試站點特定信號上。

根據本發明第三方面的其他實施例，調節信息包括定時信息如何時冷卻或加熱，或延遲，和/或控制幅度信息如冷卻幅度，和/或控制持續時間信息如冷卻持續時間。

根據本發明第三方面的其他實施例，處理器被配置為接收單個如公共的觸發如預觸發的多個測試站點以及描述如由單個公共觸發信號定義的觸發事件之間延遲的不同站點特定延遲信息的信號，以及通過測試器介面從自動化測試設備為不同測試站點執行的熱預處理操作的開始。

根據第四方面的發明概述

根據本發明的第四方面的實施例包括與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用的處理器，該處理器包括實時測試器界面，如具有觸發功能的界面，“固定端點界面”。

此外，實時測試器界面被配置為向自動化測試設備提供測試站點特定的信號，如為了控制溫度控制功能或為了影響或調整測試流程，如測試站點特定關閉。

測試器界面可以例如是可選的雙向的專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

根據本發明第四方面的其他實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，包括實時處理器界面，如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。

此外，自動化測試設備被配置為經由處理器界面從處理器接收測試站點特定信號。此外，自動化測試設備可以例如被配置為控制溫度控制功能如站點特定關閉，以響應測試站點特定接收的信號，或考慮測試站點特定信號，或記錄測試站點特定信號，或調整測試流程，以響應測試站點特定信號。

處理器界面可以例如是可選的雙向的專用界面，如特別適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；處理器界面可以例如是應用程序特定界面，其中例如適用於實時信號的通信協定。

根據本發明第四方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的處理器一起使用和/或與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用，其中該方法包括向自動化測試設備提供測試站點特定信號，如為了控制溫度控制功能或為了影響或調整測試流程，如測試站點特定關閉，其通過實時測試器界面，如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”。

根據本發明第四方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，其中該方法包括經由實時處理器界面從處理器接收測試站點特定信號，如經由具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線。可選地，自動化測試設備可以例如被配置為控制溫度控制功能，如站點特定關閉，以響應測試站點特定接收的信號，或考慮測試站點特定信號，或記錄測試站點特定信號，或調整測試流程，以響應測試站點特定信號。

根據第四方面的進一步實施例包括測試系統，其包括如本文所定義的自動化測試設備和如本文所定義的處理器。

根據第四方面的其他實施例包括用於當計算機程序在計算機上運行時執行根據實施例的方法的計算機程序。

根據第四方面的另外的實施例包括測試單元，該測試單元包括根據實施例的處理器和根據實施例的自動化測試設備，其中自動化測試設備的處理器界面和處理器的測試器界面耦合。

下面將在處理器的上下文中解釋根據本發明第四方面的實施例的思想。基本思想應類似地理解為用於與此類自動化測試設備和/或處理器一起使用的相應自動化測試設備和方法。因此，這裡討論的關於處理器的任何特徵、功能和細節可以可選地用於(如以相同或類似的方式)在自動化測試系統、測試系統、測試單元和/或用於與自動化測試設備、處理器、測試系統或測試單元一起使用的方法，以單獨和組合使用。

根據本發明第四方面的實施例是基於通過實時測試器界面向自動化測試設備提供測試站點特定信號的思想。處理器可以被配置為單獨測量被測元件的溫度。例如，萬一出現故障，一被測元件可能會出現溫度失控。例如，在為被測元件提供高功率的測試循環中，這可能會導致被測元件即將損壞。實時測試器界面可以允許防止這種設備損壞。例如，可以在比被測元件的內部過程的時間常數更短的時間跨度內，實時地將關於溫度升高的信息從處理器傳輸到自動化測試設備。自動化測試設備可以關閉故障的被測元件以防止設備損壞。這可以允許繼續對其他被測元件進行測試。因此，可以減少測試時間並且可以防止設備損壞。

除了故障之外，自動化測試設備可以使用由處理器定義的諸如溫度或諸如設備狀態的其他信息的處理器信息，以適應測試程序。可以根據測試結果實時按質量對設備進行分類，並且可以根據設備的分類來調整測試。

此外，可以使用多個被測元件的單獨溫度信息以適應測試，例如通過調整冷卻時間或在將新刺激發送到設備之前的短延遲。這可以提高測試效率，因為可以防止被測元件過熱。

根據本發明第四方面的其他實施例，處理器被配置為檢測溫度故障如溫度失控或如溫度信號連接斷開，或者處理器無法再冷卻設備如被測元件。此外，測試站點特定信號是測試站點特定警報並且處理器被配置為啟用測試站點特定警報處理和/或測試站點特定關閉如測試現場特定的電源關閉。

實時界面可以允許快速決策，例如在溫度失控的情況下關閉電源。因此，處理器可以被配置為檢測任何如測試站點特定的被測元件的這種溫度故障。處理器可以向自動化測試設備提供信號以防止設備損壞，如為了允許設備的冷卻，如在下一個刺激之前有一個額外的延遲。因此，可以提高測試效率。

根據本發明第四方面的其他實施例，處理器被配置為影響數據處理，如使用通過實時測試器界面到自動化測試設備的信號，對被測元件進行分檔和數據記錄。例如，處理器可以被配置為檢測被測元件的異常行為，因此可以啟動數據記錄(例如在自動化測試設備中，或在被測元件中)以允許分析事件。另一方面，被測元件的故障可能會被處理器檢測到，因此，數據記錄可能會停止，如以免破壞一批設備的統計數據。因此，可以提高測試精度和數據採集。

根據本發明的第四方面的其他實施例，測試站點特定信號包括測試站點識別信息和調節信息如定時信息、控制幅度信息、控制持續時間信息的組合。此外，測試站點識別信息被配置為致能如在處理器中測試站點特定關聯的調節信息。

特定的測試站點以及例如特定的被測元件可以例如與特定的調節信息集相關聯或鏈接或相關。例如，這組信息可以存儲在自動化測試設備中並定期更新，或在必要時更新如當處理器更新被測元件或測試站點的調節信息時。自動化測試設備可以根據調節信息和測試站點識別信息，對特定的被測元件進行適配測試。因此，可以以更高的效率執行測試，如因為測試可能適用於每個被測元件。

根據本發明第四方面的其他實施例，測試站點識別信息包括測試站點ID；和/或測試站點ID被調製到測試站點特定的信號上。測試站點ID的使用可以提供一種易於實施的方法來分別識別特定的測試側或被測元件。測試側ID的調製可以在處理器和自動化測試設備之間提供良好的數據傳輸效率，並且可以允許快速的數據傳輸。

根據本發明第四方面的其他實施例，調節信息包括定時信息如何時冷卻或加熱，或延遲，和/或控制幅度信息如冷卻幅度和/或控制持續時間信息如冷卻持續時間。

存取定時信息允許自動化測試設備與處理器同步。因此，可以進行充分的冷卻或加熱。這可以提高測試效率並且可以防止被測元件的溫度故障。

在下面更詳細地解釋根據本發明的第四方面的其他的實施例。然而，在處理器的上下文中解釋的優點和示例中類似地理解對於相應的自動化測試設備。因此，以上關於自動化測試設備討論的任何特徵、功能和細節可以用於、結合到或適配於相應的處理器。例如，被配置為提供信號的處理器可以被配置為接收所述信號的相應自動化測試設備代替。作為另一示例，向自動化測試設備提供信號以便由處理器執行任務可以通過接收信號並被配置為相應的自動化測試設備執行所述任務來代替。

根據本發明第四方面的其他實施例，測試站點特定信號是測試站點特定警報；並且自動化測試設備被配置為處理測試站點特定警報和/或執行測試站點特定關閉，如基於測試站點特定警報，為被測元件供電的設備電源的測試站點特定停用。

根據本發明第四方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為影響數據處理，如響應於接收到來自處理器的例如測試站點特定的信號，對被測元件進行分檔和數據記錄。自動化測試設備可以被配置為檢測被測元件的異常行為，並且因此可以開始數據記錄以便允許對事件進行分析。另一方面，被測元件的故障可能由自動化測試設備確定，因此數據記錄可能會停止，如以免破壞一批設備的統計數據。因此，可以提高測試精度和數據採集。

根據本發明第四方面的其他實施例，測試站點識別信息包括測試站點ID和/或測試站點ID被調製到測試站點特定的信號上。

本發明的另一個實施例包括一種方法，例如與用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”一起使用一種(如雙向專用，如專門適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；如應用程序特定界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定)實時(如點對點、端到端、非總線、非標準、應用程序專用、除了總線之外、比總線更快、低延遲的、實時能力、快速；如直接佈置在測試頭和處理器之間；如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒)處理器界面(如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線)，其中該方法包括經由(如雙向專用的，如專門適用於自動化測試設備和處理器之間的通信；如應用程序專用界面，其中例如，適用於實時信號的通信協定)實時(如點對點、端到端、非總線、非標準、應用程序專用、除了總線之外、比總線更快、低延遲的、實時能力、快速；如直接佈置在測試頭和處理器之間；如比存在的額外通信界面更快；如這樣就可以在運行時進行數據交換；如這樣數據交換就可以實現實時測試適應(如在運行時)，如使得界面提供或接收的信號的延遲低於1毫秒或甚至低於100微秒或甚至低於10微秒或甚至低於1微秒)處理器界面(如具有觸發功能的界面，如“固定端點界面”，如佈置在測試頭上，如包括許多線，如適應通信任務的通信通道；如非單獨的信號線，例如其中自動化測試設備被配置為控制溫度控制功能，如站點特定關閉，以響應測試站點特定接收的信號，或考慮測試站點特定信號，或記錄測試站點特定信號，或調整測試流程以響應測試站點特定信號)接收來自處理器的測試站點特定信號。

根據第五方面的發明概述

根據本發明第五方面的實施例包括用於測試被測元件的自動化測試設備如“測試器”，包括如專用的實時如“快速”的處理器界面，其中如專用的實時的處理器界面，如處理器和測試器之間的快速預觸發和通信通道，被配置為提供觸發信號如預觸發信號給處理器以便觸發如預觸發一種溫度控制功能。此外，如專用的實時的處理器界面被配置為除了觸發信號之外提供附加信號，附加信號包括如實時的控制信息，用以如自主的決定如計算，或如自主地由處理器或者例如僅由處理器如在運行時對溫度控制曲線修改或溫度調節。控制信息可以例如包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、FLOW(如測試子f)和/或可以包括關於即將到來的溫度熱點、熱點的持續時間、熱點的幅度和/或站點和設備的信息具體的溫度控制數據。

替代地或另外地，附加信號包括關於由自動化測試設備確定的一個或多個測量值的信息，如PMON、TJ或由自動化測試設備從被測元件中提取的數據流。

替代地或另外地，附加信號包括一個或多個測試狀態參數，如SITE、DUT、TEST、FLOW、即將到來的溫度熱點信息、熱點持續時間、熱點幅度、站點和設備特定的溫度控制數據。

替代地或另外地，附加信號包括警報信息，如測試站點特定的一個或多個被測元件的溫度過高或不足報警信息。

根據本發明第五方面的其他實施例包括與用於測試被測元件的自動化測試設備一起使用的處理器，該處理器包括如雙向的實時測試器界面，其中如處理器被配置為接收通過如雙向實時測試器界面的觸發信號，以及除了觸發信號之外的附加信號，其包括如實時的控制信息，用以如自主的決定如計算，或如自主地由處理器或者例如僅由處理器如在運行時對溫度控制曲線修改或溫度調節。控制信息可以例如包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、FLOW(如測試子f)和/或可以包括關於即將到來的溫度熱點、熱點的持續時間、熱點的幅度和/或站點和設備的信息具體的溫度控制數據。

此外，處理器被配置為使用附加信號以便控制如調節一個或多個測試站點下設備的溫度，如以確定或修改溫度控制曲線或溫度調節。

根據本發明第五方面的其他實施例包括一種方法，如與用於測試被測元件自動測試設備如“測試器”一起使用，其中該方法包括提供觸發信號如預觸發信號，通過如專用的實時處理器界面如處理器和測試器之間的快速預觸發和通信通道到處理器，以便觸發如從而觸發如預觸發一種溫度控制功能。

此外，該方法包括除了觸發信令之外提供附加信號，經由如專用實時處理器界面，附加信號包括如實時的控制信息，用以如自主的決定如計算，或如自主地由處理器或者例如僅由處理器如在運行時對溫度控制曲線修改或溫度調節。控制信息可以例如包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、FLOW(如測試子f)和/或可以包括關於即將到來的溫度熱點、熱點的持續時間、熱點的幅度和/或站點和設備的信息具體的溫度控制數據。

根據本發明第五方面的其他實施例包括一種方法，如用於與處理器和/或用於自動化測試設備一起使用，以用於測試被測元件，其中該方法包括經由如雙向的、實時測試器界面接收觸發信號以及除了觸發信令之外的附加信號，附加信號包括如實時的控制信息，用以如自主的決定如計算，或如自主地由處理器或者例如僅由處理器如在運行時對溫度控制曲線修改或溫度調節。控制信息可以例如包括PMON(如用於監控實時DUT功耗的參數)、TJ(如實際DUT界面溫度)、SITE(如站點特定控制數據)、DUT(如DUT特定控制數據)、TEST(如測試特定響應數據)、FLOW(如測試子f)和/或可以包括關於即將到來的溫度熱點、熱點的持續時間、熱點的幅度和/或站點和設備的信息具體的溫度控制數據。

此外，該方法包括使用附加信號以便控制如調節、如從而控制一個或多個測試站點下設備的溫度，如以確定或修改溫度控制曲線或溫度調節。

根據第五方面的進一步實施例包括測試系統，其包括如本文所定義的自動化測試設備和如本文所定義的處理器。

根據本發明第五方面的其他實施例包括用於當計算機程序在計算機上運行時執行根據實施例的方法的計算機程序。

根據本發明第五方面的另外的實施例包括測試單元，包括根據實施例的處理器和根據實施例的自動化測試設備，其中自動測試設備的處理器界面和處理器的測試器界面耦合。

下面將在自動化測試設備的上下文中解釋根據本發明第五方面的實施例的概念。基本思想應類似地理解為用於與此類自動化測試設備和/或處理器一起使用的相應處理器和方法。因此，這裡討論的關於自動化測試設備的任何特徵、功能和細節可以可選地用於(如以相同或類似的方式)在處理器、測試系統、測試單元和/或用於自動化測試設備，用於處理器、用於測試系統或用於測試單元測試的方法中，以單獨和組合使用。

根據本發明的第五方面的實施例是基於以下思想：除了觸發信號之外，經由實時處理器界面從自動化測試設備到處理器提供附加信號，其中附加信號至少包括用於由處理器確定或修改溫度控制曲線或溫度調節的控制信息之一，由自動化測試設備確定的或由自動化測試設備從被測元件數據流中提取的一個或多個測量值的信息、一個或多個測試狀態參數和警報信息。

發明人認識到可以使用實時界面以便實時提供多個信息，如除了用於溫度控制功能的觸發信號之外，在比被測元件的內部過程更短的時間跨度內。實時提供此類信息的能力允許實時進行測試適應和測試評估，從而提高測試效率和測試準確性。

基於這樣的信息，自動化測試設備可以被配置為預測和調節被測元件的溫度熱點。自動化測試設備中的特殊算法，如測試器或處理器或兩者都可以使用此數據如參數以執行如早期或預測性確定例如每個測試地點的冷卻幅度、持續時間、強度。

作為示例，可以使用觸發信號來發送附加信息，例如指示被測元件處於特定狀態如測試就緒狀態的信號。例如，基於這樣的信號，如包括所述附加信息，可以執行校準測量或參考測量。因此，被測元件可以例如被適當地偏置，如通過自動化測試設備，以允許處理器進行參考溫度測量。

因此，處理器可以在相應的測試或測試序列的過程中開始執行溫度測量。可以傳輸更多附加信息，如使用其他的觸發如預觸發信號。其他的觸發信號或觸發脈衝可以被處理器解釋為預觸發信號，如在溫度升高之前啟用冷卻。例如，自動化測試設備可以基於與當前測試或測試序列相關聯的估計功耗來預測溫度升高。

例如，處理器可以響應於第一觸發脈衝進行參考溫度測量，然後可以連續(或重複)進行進一步的溫度測量。例如，處理器可以將參考溫度測量用於校準目的，如從其他的溫度測量中去除溫度測量結構的特性對被測元件的影響。

根據本發明第五方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為提取測量值或參數如界面溫度信息，來自被測元件的數位數據流(或類比數據流)；並且實時處理器界面被配置為傳輸如定期如以至少500Hz或至少1kHz或至少10kHz或至少5kHz的採樣率的所述測量值或參數通過實時處理器界面給處理器，如以支持由處理器執行的溫度調節，其中例如，所述數值或參數動態地或實時地可以影響調節或流入調節。

基於數位數據流(或基於類比數據流)，自動化測試設備可以被配置為分析或確定或評估信息如被測元件的狀態。結果可以是設備的一參數，該參數可以包括關於設備的特性信息。基於自動化測試設備傳送給處理器的參數或測量值，處理器可以調整溫度調節策略。此外，自動化測試設備可以基於參數或測量值調整測試流程或測試週期。信息傳輸的採樣率可以根據被測元件的內部處理速度和/或計算時間來選擇。可以選擇採樣率，使得處理器和/或測試器能夠在足夠短的時間跨度內作出反應，以防止不希望的事件如溫度熱點(甚至是熱失控)。

根據本發明第五方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為如定期如具有至少500Hz或至少10kHz或至少5kHz的採樣率傳輸一個值或參數如由自動測試設備的儀器測量的類比數值或參數，如描述被測元件消耗的功率的功耗值，或描述流入被測元件的電流的電流值，如實時的通過處理器界面到達處理器，如以為了支持由處理器執行的溫度調節，其中如所述數值或參數動態地或實時地影響調節或流入調節。

如前所述，可以根據被測元件的特性來選擇採樣率，如正常功耗和嚴重過熱之間的估計時間跨度。由於任何足夠的信息如參數或數值可以被傳輸到處理器以改進測試，自動化測試設備可以被配置為如通過儀器測量例如數值或參數。自動化測試設備的額外測量可以允許提供更多參數以優化對被測元件的測試和監督。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為以低於1毫秒的延遲時間或以低於100微秒的延遲時間、或以低於10微秒的延遲時間或低於1微秒的延遲時間，如延遲介於在1μs和1ms之間提供所述附加信號和/或觸發信號。

為了實時執行傳輸如在運行時，如上所述，可以相應地設計或配置實時處理器界面。這可以允許快速的數據傳輸，例如以允許處理器和/或自動化測試設備防止過熱。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為提供帶寬，使得由實時處理器界面提供的所述附加信號和/或所述觸發信號的延遲低於溫度控制功能的控制迴路的時間常數。

這可以允許快速適應溫度控制，從而實現更少的控制故障。如果界面比控制迴路的時間常數快，則可以例如在開始溫度熱點(或甚至熱失控)的影響可能干擾測試之前調整控制。

根據本發明第五方面的其他實施例，溫度控制功能包括控制迴路，該控制迴路包括處理器界面；並且溫度控制功能被配置為考慮實時信息如觸發和/或附加信號，即通過處理器介面傳輸，如使得控制迴路信號或控制迴路信息通過處理器界面和測試器界面傳輸，如使得控制迴路信號或控制迴路信息在處理器和自動化測試設備之間如點對點直接傳輸。

儘管在自動化測試設備和處理器之間傳輸了額外的信息，但實時處理器界面由於其傳輸速度可以允許實時溫度調節。因此，溫度控制可以是高效、準確和快速的。

根據本發明的第五方面的其他實施例，控制迴路包括自動化測試設備並且自動化測試設備被配置為集成調節如溫度控制(調節)功能的一部分如一組成部分，並與處理器相結合。

自動化測試設備可以例如是溫度控制的前饋控制元件。自動化測試設備的操縱變量可以例如是被測元件的電源。由處理器改變冷卻/加熱和/或由自動化測試設備改變電源可以允許精確的溫度控制。替代地或另外地，自動化測試設備可以確定被測元件的參數或測量值並且將所述參數或數值提供給控制迴路的其餘部分如控制元件。此外，自動化測試設備可以例如計算調節迴路的控制輸入，如用於處理器。因此，溫度控制可包括良好的穩定性特性和短的響應時間。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時處理器界面被配置為提供所述觸發和/或附加信號以供溫度控制功能實時考慮。控制算法的設計以及針對實時需求的實時處理器介面可以允許溫度控制功能有效地控制被測元件的溫度。快速調節迴路可以允許快速調節控制誤差。因此，可以保持期望的設備溫度。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時處理器界面是溫度調節迴路的一部分。如上所述，在處理器界面是實時界面的情況下，處理器界面可以是控制迴路的一部分而不減慢控制算法，因此實現快速控制或調節迴路。

根據本發明第五方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為實現集成調節，其中調節功能分佈在自動化測試設備和處理器之間，並且其中調節數據經由處理器界面傳輸。處理器可以是控制迴路的控制元件或校正元件。處理器可以被配置為實現操縱變量，如通過冷卻或加熱被測元件。此外，通過提供例如對被測元件的溫度的測量，處理器可以例如是控制迴路的反饋迴路的一部分。

如上所述，自動化測試設備可以例如是溫度控制的前饋控制元件。如自動化測試設備的第二操作變量可以例如是被測元件的電源或測試序列(其中測試序列可以例如定義被測元件的“壓力”，如通過定義被測元件的哪些方塊是活動的或對被測元件的時鐘速率產生影響)。由處理器改變冷卻/加熱和/或由自動化測試設備改變電源可以允許精確的溫度控制。

此外，處理器可以提供溫度控制功能並且處理器界面可以提供用於溫度控制的附加信息。附加信息可以包括關於即將到來的溫度峰值的信息，如由於電源的增加，或由自動化測試設備確定的其他參數和數值。

因此，溫度控制可包括良好的穩定性特性和短的響應時間。

根據本發明第五方面的其他實施例，自動化測試設備被配置為影響調節功能如由自動化測試設備和處理器聯合提供的集成調節功能，使用由自動化測試設備的模型生成器提供的模型，該模型可以例如由處理器界面實時傳輸。

在下面更詳細地解釋根據本發明的第五方面的其他的實施例。然而，在自動化測試設備的上下文中解釋的優點和示例對於相應的處理器應該類似地理解。因此，以上關於自動化測試設備討論的任何特徵、功能和細節可以用於、結合到或適配於相應的處理器。作為示例，被配置為提供信號的自動化測試設備可以被配置為接收所述信號的對應的處理器代替，反之亦然。作為另一示例，向處理器提供信號以便由自動化測試設備執行任務可以通過接收信號並被配置為相應的處理器執行所述任務來代替。

根據本發明第五方面的其他實施例，處理器被配置為如在運行時確定溫度控制曲線或溫度調節曲線；並且處理器被配置為如在運行時如對於每個測試站點，確定冷卻幅度和/或持續時間和/或冷卻強度，用於確定溫度控制曲線或溫度調節曲線。

基於處理器的測量值，以及可選的來自自動化測試設備的更多信息，如附加信號，處理器可能能夠確定對設備溫度的準確預測。因此，溫度控制曲線或溫度調節曲線可以例如在運行時由處理器確定。為了保持期望的設備溫度，處理器可以確定相應的冷卻和/或加熱幅度以及其持續時間和強度。因此，可以通過小的容差帶和快速的控制誤差補償來實現期望的設備溫度。

根據本發明第五方面的其他實施例，溫度控制功能包括控制迴路，該控制迴路包括測試器界面，並且溫度控制功能被配置為考慮實時信息如通過測試器界面接收的觸發和/或附加信號，如使得控制迴路信號或控制迴路信息通過處理器界面和測試器界面傳輸，如使得控制迴路信號或控制迴路信息在處理器與自動化測試設備之間如點對點直接傳輸，如即信號延遲與溫度控制功能的時間常數或溫度控制功能的計算時間相比是微不足道的。

根據本發明第五方面的其他實施例，控制迴路包括處理器並且處理器被配置為集成調節如溫度控制(調節)功能的一部分如一組成部分，並與自動化測試設備相結合。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時測試器界面被配置為提供所述觸發和/或附加信號以用於溫度控制功能中的實時考慮。控制算法的設計以及針對實時需求的實時測試器界面可以允許溫度控制功能有效地控制被測元件的溫度。快速調節迴路可以允許快速調節控制誤差。因此，可以保持期望的設備溫度。

根據本發明第五方面的其他實施例，處理器包括溫度控制功能。

如前所述，處理器可以是控制迴路的控制元件或校正元件。處理器可以被配置為如通過冷卻或加熱被測元件來實現操縱變量。此外，通過提供例如對被測元件的溫度的測量，處理器可以例如是控制迴路的反饋迴路的一部分。

根據本發明第五方面的其他實施例，實時測試器界面是溫度調節迴路的一部分。如上所述，在測試器界面是實時界面的情況下，測試器界面可以是控制迴路的一部分而不減慢控制算法，因此實現快速控制或調節迴路。

根據本發明第五方面的其他實施例，如處理器被配置為實現集成調節，其中調節功能分佈在自動化測試設備和處理器之間，並且其中可選地調節數據經由測試器界面傳輸。

110:自動化測試設備

120:界面

122:信號

130:處理器

140:界面

142:信號

152:被測元件

154:被測元件

156:被測元件

158:被測元件

210:自動化測試設備

220:界面

222:信號

230:處理器

240:界面

310:自動化測試設備

320:界面

322:信號

330:處理器

340:界面

410:自動化測試設備

420:界面

430:處理器

440:界面

442:信號

510:自動化測試設備

520:界面

522:信號

530:處理器

540:界面

610,620,630,710,720,730,810,820,830,910,920,930,940,1010,1110,1120,1210,1310,1410,1420,1510,1520:步驟

1610:自動化測試設備

1612:如主機架

1614:如測試頭

1630:處理器

1650:被測元件

1660:連接

1670:連接

1680:觸發信號線如預觸發信號線

1710:自動化測試設備如測試器

1730:處理器

1750:裝置

1760:信息

1770:裝置溫度控制

1810:測試站點

1820:測試站點

1830:如測試套件突發

1840:觸發信號

1910:觸發如預觸發#1

1920:站點：1,2

1930:觸發如預觸發#2

1940:站點：2

1950:觸發如預觸發#3

2010:故障

2020:箭頭

2030:信號

2040:故障

2050:故障

2060:檢測

2070:箭頭

2110:裝置狀態

2120:測試執行

2130:觸發信號

2140:處理器信息

2150:預測試

2160:預測試溫度

2170:主動裝置測試

2180:測試期間的溫度讀數

附圖並非按比例繪製，而重點通常是放在說明本發明的原理上。在以下描述中，參考以下附圖以描述本發明的各種實施例，其中：圖1顯示根據本發明第一方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖；圖2顯示根據本發明第二方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖；圖3顯示根據本發明第三方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖；圖4顯示根據本發明第四方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖；圖5顯示根據本發明第五方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖；圖6顯示根據本發明第一方面的實施例的第一方法的示意方塊圖；圖7顯示根據本發明第一方面的實施例的第二方法的示意方塊圖；圖8顯示根據本發明第二方面的實施例的第一方法的示意方塊圖；圖9顯示根據本發明第二方面的實施例的第二方法的示意方塊圖；圖10顯示根據本發明第三方面的實施例的第一方法的示意方塊圖；圖11顯示根據本發明第三方面的實施例的第二方法的示意方塊圖；圖12顯示根據本發明第四方面的實施例的第一方法的示意方塊圖；圖13顯示根據本發明第四方面的實施例的第二方法的示意方塊圖；圖14顯示根據本發明第五方面的實施例的第一方法的示意方塊圖；圖15顯示根據本發明第五方面的實施例的第二方法的示意方塊圖；圖16顯示根據本發明實施例的自動化測試設備和處理器的示意性示例；圖17顯示溫度控制如根據本發明的實施例的設備溫度控制的示意性示例；圖18顯示根據本發明實施例的測試站點相關溫度控制的示意性示例；圖19顯示根據本發明實施例的測試站點特定測試流程分支的示意性示例；圖20顯示根據本發明實施例的警報處理的示意性示例；以及圖21顯示根據本發明實施例的校準的示意性示例。

即使出現在不同的圖中，相同或等效的元件或具有相同或等效功能的元件在以下描述中也由相同或等效的附圖標記表示。

在以下描述中，闡述了多個細節以提供對本發明實施例的更全面的解釋。然而，對於本領域技術人員顯而易見的是，可以在沒有這些具體細節的情況下實踐本發明的實施例。在其他情況下，眾所周知的結構和設備以框圖形式而不是詳細示出以避免混淆本發明的實施例。此外，除非另有特別說明，下文描述的不同實施例的特徵可以相互組合。

圖1顯示根據本發明第一方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖。圖1顯示包括雙向專用實時處理器界面120的自動化測試設備110以及包括雙向專用實時測試器界面140的處理器130。此外，圖1顯示被測元件152、154、156、158例如佈置在處理器130上。

界面120、140是專用界面，例如使得處理器界面120被配置為與測試器界面140通信，反之亦然，因為界面也是雙向的。此外，界面120、140是實時界面。因此，界面之間的數據傳輸時間，如消息在一個界面的發送過程開始和消息到達另一個界面的結束之間的時間跨度，可以是一個尺度或維度，使得被測元件152、154、156、158溫度控制的時間常數可能更大。因此，自動化測試設備110和處理器130之間交換的信息可用於實時溫度控制，或用於其他目的，如測試適應或測試評估，如前所述。

實時處理器界面120被配置為向處理器130提供觸發信號122，以便觸發溫度控制功能。反之亦然，處理器130被配置為通過測試器界面140從自動化測試設備110接收觸發信號122，並且處理器130被配置為響應於接收到的信號122觸發溫度控制功能。

處理器130可以例如被配置為冷卻和/或加熱被測元件152、154、156、158以防止過熱。觸發信號122可以包括關於被測元件的即將到來的溫度峰值的信息，使得處理器可以抵消被測元件152、154、156、158的熱點(或甚至熱失控)。

此外，處理器130被配置為經由測試器界面140向自動化測試設備110提供信號142，並且實時處理器界面120被配置為從處理器130接收信號142。自動化測試設備110被配置為考慮從處理器接收的信號142。

處理器可以將被測元件152、154、156、158的溫度信息實時傳輸到自動化測試設備110。自動化測試設備110可以考慮該信息如通過調整測試過程，例如為了防止被測元件過熱。例如，可以調整測試流程，使得可以在兩個子測試之間增加被測元件152、154、156、158的冷卻時間。此外，觸發信號122可以基於接收到的信號142而被適配，如以便指示處理器130適應溫度管理策略。

可選地，雙向專用實時處理器界面120可以被配置為向處理器130提供同步信號。處理器130可以被配置為通過雙向專用實時測試器界面140接收同步信號。基於同步信號，處理器130可以與自動化測試設備110同步功能，這優於觸發溫度控制功能的功能。可以執行同步以便由處理器130在特定時間執行測量如被測元件152、154、156、158的溫度測量，或例如自動測試設備110對被測元件152、154、156、158的刺激具有一定的時間差。信號122可以例如包括同步信號，或者同步信號可以是單獨的信號。

可選地，雙向專用實時處理器界面120可以被配置為向處理器130提供測試站點特定信號。處理器可以被配置為通過雙向專用實時處理器界面140從自動化測試設備110接收測試站點特定信號。處理器可以基於或響應於測試站點特定信號來控制溫度控制功能，例如執行特定被測元件152的冷卻。

可選地，從處理器130到自動化測試設備110的信號142可以是測試站點特定信號，如分別對特定測試站點或被測元件152的溫度測量。

可選地，除了觸發信號122之外，雙向專用實時處理器界面120被配置為提供附加信號。除了觸發信號122之外，處理器130可以被配置為通過實時測試器界面140接收附加信號。附加信號可以包括以下中的至少一個：用於由處理器130確定或修改溫度控制曲線或溫度調節的控制信息、關於由自動化測試設備110確定的一個或多個測量值的信息、一個或多個測試狀態參數和/或報警信息。處理器130可以被配置為使用附加信號以控制一個或多個被測元件站點或個別被測元件152、154、156、158的溫度。附加信號可以包括任何適合於改進被測元件的測試的信息。

測試狀態參數可以包括關於被測元件152、154、156、158的即將到來的電源變化的定時信息。基於此，處理器130可以調整其用於設備的冷卻策略。此外，處理器可以被配置為評估這樣的信息以便決定如何適應溫度管理。然而，附加信號可以是直接的溫度管理策略，如根據上述定時信息處理後的信息，僅以控制信息的形式通知處理器何時何地冷卻。例如，在被測元件發生故障的情況下，警報信息可以使處理器130立即冷卻被測元件以防止損壞或測試中止。

可選地，自動化測試設備110可以被配置為響應於來自處理器的信號142而調整測試流程。處理器可以提供信息，如關於被測元件152、154、156、158的溫度信息。這樣的信息可以指示有益的測試適應。例如，在被測元件的溫度升高的情況下，自動化測試設備110可以延長所述設備的兩次測試之間的延遲以允許設備在達到臨界溫度之前冷卻。

可選地，自動化測試設備110可以被配置為響應於來自處理器的信號142而中斷測試。因此，處理器提供的信號142可以是中斷信號。自動化測試設備110可以響應於或回應於信號142如中斷信號，例如基於處理器的溫度測量的評估的信號，或者例如由處理器130提供的過熱或警報信息，來中斷測試。作為另一個可選特徵，處理器130可以被配置為通過測試器界面向自動化測試設備提供測試站點特定中斷信號，如允許對特定被測元件進行單獨的測試中斷。因此，可以繼續對其他被測元件進行測試。因此，可選地，自動化測試設備可以被配置為響應於從處理器來的測試站點特定信號的接收，以測試站點特定地中斷一測試。

可選地，由處理器130提供的信號142可以是停用信號，例如用於停用一個或多個被測元件的電源。例如，在一些情況下，處理器130可能無法防止被測元件過熱，如發生故障時。因此，處理器可以評估測量數據，並且可以向自動化測試設備110發送停用信號以停止被測元件的供電。通常，處理器可以被配置為檢測故障，如被測元件的故障，或者例如溫度控制功能的故障，並且可以通過信號142如以停用信號的形式向自動化測試設備110提供這樣的信息。因此，可選地，自動化測試設備可以被配置為響應於來自處理器的信號的接收而停用一個或多個被測元件的電源。

可選，如為了防止關機，處理器130可以被配置為通過測試器界面140向自動化測試設備110提供溫度警告信號。自動化測試設備可以被配置為接收溫度警告信號。基於此，自動化測試設備可以調整測試，以防止被測元件152、154、156、158過熱。因此，處理器130可以被配置為評估被測元件的行為或溫度測量。

可選地，自動化測試設備110可以被配置為從處理器130接收測試站點特定信號。處理器可以被配置為經由測試器界面140向自動化測試設備提供測試站點特定信號。因此，任何之前解釋的功能可以單獨執行，分別針對特定的被測元件或測試站點，例如冷卻策略的個別適應、斷電、延遲時間適應。

可選地，處理器130可以被配置為使用經由實時測試器界面140到自動化測試設備110的信號142影響被測元件的數據處理。自動化測試設備110可以被配置為影響被測元件的數據處理以響應於從處理器130接收到信號142。處理器可以觸發數據記錄的開始或結束。例如，萬一發生事件，如檢測到故障，則可以記錄該事件的數據以進行故障分析。另一方面，在出現故障或過熱的情況下，也可以停止數據記錄，如當所述設備的電源關閉時，此後任何測量數據都將無用。

可選地，處理器130可以被配置為經由測試器界面140向自動化測試設備110提供信號以供自動化測試設備110記錄。自動化測試設備110可以被配置為記錄從處理器130接收的信號。信號可以包括測量數據如溫度信息，係由自動化測試設備存儲。基於這樣的數據，可以執行測試評估。

可選地，處理器130被配置為通過測試器界面實時地向自動化測試設備110提供信號，以響應於所提供的信號使能自動化測試設備110的實時反應。例如，可以實時提供信號142。例如，自動化測試設備110可以被配置為實時反應，如以響應於由處理器130接收到的信號。實時提供處理器信息並實時反應允許有效的測試，如由於實時測試適應和測試評估，基於實時信號的可用性是可能的。

需要注意的是，圖1顯示的元件可以是測試單元或測試系統，包括根據本發明實施例的自動化測試設備110和處理器130。然而，根據本發明可以單獨使用自動化測試設備110和處理器130。

作為附加說明，應當注意，信號122、142可以例如經由公共線或經由單獨的線製成。

圖2顯示根據本發明第二方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖。圖2顯示包括實時處理器界面220的自動化測試設備210 以及包括實時測試器界面240的處理器230。此外，作為示例，圖2顯示被測元件152、154、156、158佈置在處理器230上。

界面220、240是實時界面。因此，界面之間的數據傳輸時間如在處理器界面220處的消息發送過程的開始和消息到達測試器界面240的結束之間的時間跨度，可以是一個尺度或維度，使得被測元件152、154、156、158溫度控制的時間常數可能更大。因此，從自動化測試設備210發送到處理器230的信息可用於實時溫度控制。

實時處理器界面220被配置為向處理器230提供觸發信號122，以便觸發溫度控制功能。反之亦然，處理器230被配置為通過測試器界面240從自動化測試設備210接收觸發信號122，並且處理器230被配置為響應於接收到的信號122觸發溫度控制功能。

處理器230可以例如被配置為冷卻和/或加熱被測元件152、154、156、158以防止過熱。觸發信號122可以包括關於被測元件的即將到來的溫度峰值的信息，使得處理器可以抵消被測元件152、154、156、158的熱點(或甚至熱失控)。

此外，實時處理器界面220被配置為向處理器230提供同步信號222，用於同步處理器230的功能，其優於觸發溫度控制功能的功能。處理器230被配置為經由測試器界面240從自動化測試設備210接收同步信號222，並且被配置為與自動化測試設備210同步功能，以響應接收的同步信號222，該功能優於觸發溫度控制功能的功能。

一些應用程序，如熱二極管校準可能需要處理器230和自動化測試設備210之間的快速和精確的同步定時以在正確的時間點測量溫度。同步信號222可用於通知處理器230如測量時精確地。例如因為事件的準確分配如自動化測試設備210對被測元件的刺激和處理器230的相應測量，這可以允許精確測試。

可選地，實時處理器界面220可以被配置為基於到處理器的同步信號222致能與處理器的主動同步。主動同步可以是沒有等待插入的同步。處理器230可以被配置為接收信號，如經由測試器界面240從自動化測試設備210發送用於與自動化測試設備210主動同步的同步信號222。此外，處理器可以被配置為基於同步信號執行與自動化測試設備的主動同步。這可以允許快速和準確的測試，因為處理器230和自動化測試設備210可以同步，如上所述，但不必執行等待狀態來實現這種同步。這可以減少測試時間。實時界面可以允許以非常有限的延遲執行同步。

可選地，實時處理器界面220可以被配置為向處理器230發送校準定時信息，以確定處理器230的校準定時。處理器230可以被配置為經由測試器界面240從自動化測試設備210接收校準定時信息如當作同步信號222，以確定校準定時。此外，處理器230可以被配置為基於校準定時信息來確定校準定時。可以執行校準以補償錯誤。例如，可以在被測元件的第一狀態下執行第一測量，以補償後續測量的偏移。這可以提高測量和/或測試的準確性。

可選地，實時處理器界面220可以被配置為發送指示被測元件以預定方式被供電或偏置或初始化的信號如作為同步信號222。處理器230可以被配置為經由測試器界面240從自動化測試設備210接收指示被測元件以預定方式被調節或通電或偏置或初始化的信號。如前所述，可以使用以預定方式被供電或偏置或初始化的被測元件的信息以校準如下面的測量。

可選地，實時處理器界面220可以被配置為當達到不同的裝置或測試條件時發送信號。處理器可以被配置為經由測試器界面240從自動化測試設備210接收信號。這可以被執行以便同步自動化測試設備210和處理器230。因此這樣的信息可以是同步信號222的一部分。然而，例如這樣的信息也可以分開發送。

可選地，自動化測試設備210可以被配置為提供同步信號222以觸發處理器230的一個或多個溫度讀數。處理器230可以被配置為經由測試器接口240從自動化測試設備210接收信號例如同步信號222，並且可以被配置為執行一個或多個溫度測量，如用於基於同步信號的溫度測量的校準。自動化測試設備可以執行測試例程，並且可以向被測元件提供刺激。對於測試，當裝置處於預定狀態時，可能必須測量裝置的溫度。基於測試例程和當前刺激，自動化測試設備可以例如通過經由同步信號222指示處理器230執行測量來開始同步。由於界面是實時界面，因此可以足夠快地傳輸這樣的指令以便執行同步測量，如從而當相應裝置處於其預定狀態時可以執行測量，如測試例程所指示的。

可選地，實時處理器界面可以被配置為基於到處理器230的同步信號致能熱二極管校準。熱二極管校準可以包括增量溫度測量並且實時處理器界面220可以被配置為發送實時測量定時信息給處理器230以用於熱二極管校準。

處理器230可以例如被配置為基於經由測試器界面240從自動化測試設備210接收的同步信號222來執行熱二極管校準。熱二極管校準可以包括增量溫度測量並且處理器230可以被配置為執行增量溫度測量。此外，處理器可以被配置為經由實時測試器界面從自動化測試設備接收用於熱二極管校準的實時測量定時信息。

可選地，同步信號222可以包括如用於處理器230的測量的測試站點特定時間信息。可選地，同步信號包括如測試站點特定測試狀態信息或設備狀態信息。自動化測試設備210可以將即將發生的事件，其可能需要處理器210執行的測量，通知給處理器230。

需要注意的是，圖2顯示的元件可以是測試單元或測試系統，包括根據本發明實施例的自動化測試設備210和處理器230。然而，根據本發明可以單獨使用自動化測試設備210和處理器230。

作為附加說明，應當注意，信號122、222可以例如通過公共線或通過單獨的線製成。

圖3顯示根據本發明第三方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖。圖3顯示包括實時處理器界面320的自動化測試設備310和包括實時測試器界面340的處理器330。此外，作為示例，圖3顯示被測元件152、154、156、158佈置在處理器330上。

界面320、340是實時界面。因此，界面之間的數據傳輸時間，如在處理器界面320的消息發送過程開始和消息到達測試器界面340結束之間的時間跨度，可以是一個尺度或維度，使得被測元件152、154、156、158的溫度控制的時間常數可能更大。因此，從自動化測試設備310發送到處理機330的信息可用於實時溫度控制。

實時處理器界面320被配置為向處理器330提供測試站點特定信號322，以便控制溫度控制功能。反之亦然，處理器330被配置為經由測試器界面340從自動化測試設備310接收信號322，並且處理器330被配置為響應於接收到的測試站點特定信號322來控制溫度控制功能。

被測元件152、154、156、158可能會表現出不同的行為，如測試時不同的溫度趨勢。因此，自動化測試設備310可以提供用於適應被測元件的溫度調節的測試站點特定信息。處理器可以例如根據所述信息分別調整例如裝置或測試站點的冷卻的順序和量級。因此，可以執行單獨的測試適配以提高測試效率。

作為示例，信號322可以包括關於特定被測元件的即將到來的溫度峰值的信息，使得處理器可以抵消裝置的熱點(或甚至熱失控)。

可選地，測試站點特定信號322可以包括以下信息中的一種或多種：測試站點特定警報、測試站點特定觸發識別信息、測試站點特定溫度調節信息、測試站點特定設置信息、測試站點特定散熱信息和/或測試站點特定定時信息。可以傳輸任何適合提高測試效率和準確性的信息。可以向處理器發送警報，如在自動化測試設備310確定溫度熱點(或甚至熱失控)或裝置故障的情況下。基於測試站點特定設置信息，處理器330可以調度冷卻操作，以便根據其設置來最佳地冷卻每個被測元件152、154、156、158。類似地，散熱和定時信息可以包括關於估計或預期的熱量的信息，裝置可以散熱，根據排程的測試或測試刺激，並且例如，當這種熱量消散時，或者當處理器必須冷卻某個裝置。這可以提高測試效率和測試時的熱管理。

可選地，測試站點特定信號包括測試站點識別信息和調節信息的組合，並且測試站點識別信息用於致能測試站點特定關聯的調節信息。因此，可以分別為每個測試站點或被測元件152、154、156、158單獨實施溫度管理策略。這可以提高測試效率。

可選的，測試站點識別信息可以包括測試站點ID；和/或測試站點ID可以被調製到測試站點特定信號上。為了分別識別特定測試站點或被測元件，可以傳輸測試站點ID。測試站點ID的調製可以允許使用單個傳輸線，如單條觸發線，和可以減少接線。經由ID，可以通知處理器330哪個測試站點應該對觸發信號或信號322起作用。

可選地，調節信息可以包括定時信息和/或控制幅度信息。基於此，處理器330可以執行足夠的冷卻/加熱，使得被測元件可以保持在期望的溫度區間內。

可選地，自動化測試設備310可以被配置為提供用於多個測試站點的單個觸發信號，和描述觸發事件和針對不同測試站點執行的熱預處理操作的開始之間的延遲的不同站點特定延遲信息。處理器330可以被配置為經由測試器界面320從自動化測試設備310接收單個觸發信號。因此，可以減少信號消耗以允許更快的信號傳輸。自動化測試設備310可以評估或預測多個被測元件152、154、156、158的即將到來的溫度趨勢，並且可以基於此確定適當的延遲如冷卻延遲，因此被測元件不會遭受熱失控。這可以通過延遲後續測試操作或觸發事件的開始來實現，如增加電源和熱預處理操作。例如，可以給予裝置足夠的時間以在兩次測試之間冷卻至所需溫度。

可選地，自動化測試設備310可以被配置為執行不同站點的測試流程，使得在不同的測試流程中的不同時間達到相應的狀態，此外，自動化測試設備310可以被配置為提供站點特定信號以響應達到各個測試流程的預定狀態。因此，處理器330可以清楚地知道每個被測元件152、154、156、158的當前狀態，並且可以例如基於這些來安排適當的冷卻操作。此外，處理器可以被配置為在溫度升高之前開始對被測元件進行冷卻，如基於包括關於預期即將到來的溫度升高的信息的觸發信號，如基於有關測試序列中當前或即將到來的預定測試狀態的信息。此外，可以選擇接收大量功率的被測元件進行更頻繁的溫度測量，以防止過熱。

需要注意的是，圖3顯示的元件可以是測試單元或測試系統，包括根據本發明實施例的自動化測試設備310和處理器330。然而，根據本發明可以單獨使用自動化測試設備310和處理器330。

圖4顯示根據本發明第四方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖。圖4顯示包括實時處理器界面420的自動化測試設備410以及包括實時測試器界面440的處理器430。此外，圖4顯示作為示例的被測元件152、154、156、158佈置在處理器430上。

界面420、440是實時界面。因此，界面之間的數據傳輸時間，如在測試器界面440處開始消息發送過程和消息到達處理器界面420結束之間的時間跨度，可以是一個尺度或維度，使得被測元件152、154、156、158的溫度控制的時間常數可能更大。因此，從處理器430發送到自動化測試設備410的信息可用於實時溫度控制。

實時測試器界面440被配置為向自動化測試設備410提供測試站點特定信號442。反之亦然，自動化測試設備410被配置為經由處理器界面420從處理器430接收信號442。

被測元件152、154、156、158可能會表現出不同的行為，如測試時不同的溫度趨勢。因此，處理器430可以提供用於調整被測元件的溫度調節或測試排程的測試地點特定信息。處理器可以例如為自動化測試設備410提供被測元件152、154、156、158的單獨溫度。自動化測試設備410可以例如根據上述信息分別調整設備或測試站點的不同測試之間的延遲。因此，可以執行單獨的測試適配以提高測試效率。

可選地，處理器430可以被配置為檢測溫度故障。這可以例如在溫度梯度超過特定梯度時被檢測到。此外，測試站點特定信號可以例如是測試站點特定警報。可選地，處理器430可以被配置為致能測試站點特定警報處理和/或測試站點特定關閉。自動化測試設備410可以可選地被配置為處理測試站點特定警報和/或基於測試站點特定警報以執行測試站點特定關閉。作為示例，處理器可以檢測到被測元件152的測量之間的大溫差。該溫差可能超過閾值，並且處理器可以為被測元件152或其測試側分別產生或發布警報。這樣的測試站點特定警報可以經由信號442傳輸到自動化測試設備410。自動化測試設備410可以關閉包括被測元件152的特定測試站點以避免裝置的損壞並且為了能夠繼續測試其餘的被測元件154、156、158。

可選地，處理器430可以被配置為影響數據處理，如使用經由實時測試器界面440到自動化測試設備410的信號442對被測元件進行分檔和數據記錄。自動化測試設備410可以被配置為響應於來自處理器430的如測試站點特定的信號的接收而影響被測元件的數據處理。作為示例，處理器430可以檢測如上所述的被測元件的故障並且因此可以指示自動化測試設備停止記錄設備的數據，因為它們可能是錯誤的。

可選地，測試站點特定信號442可以包括測試站點識別信息和調節信息的組合，並且測試站點識別信息可以被配置為致能測試站點特定關聯的調節信息。作為示例，信號442可以包括分別識別特定測試站點或被測元件並且與其相關聯的關於要執行的熱管理的信息的語法元素，如包括關於冷卻多長時間和何時冷卻的信息的冷卻幅度和定時信息。因此，可以針對每個被測元件以期望的溫度過程進行測試。

可選的，測試站點識別信息可以包括測試站點ID；和/或測試站點ID可以被調製到測試站點特定信號442上。測試站點ID的調製可以允許單個觸發線，減少佈線工作，尤其是對於多個測試站點。

可選地，調節信息包括定時信息，如何時冷卻或加熱，或延遲，和/或控制幅度信息。這可以允許對被測元件進行改進的熱管理。

需要注意的是，圖4顯示的元件可以是測試單元或測試系統，包括根據本發明實施例的自動化測試設備410和處理器430。然而，根據本發明可以單獨使用自動化測試設備410和處理器430。

圖5顯示了根據本發明第五方面的自動化測試設備和處理器的實施例的示意性俯視圖。圖5顯示包括實時處理器界面520的自動化測試設備510以及包括實時測試器界面540的處理器530。此外，作為示例，圖5顯示被測元件152、154、156、158佈置在處理器530上。

界面520、540是實時界面。因此，界面之間的數據傳輸時間，如在處理器界面520處的消息發送過程的開始和消息到達測試器界面540的結束之間的時間跨度，可以是一個尺度或維度，使得被測設備152、154、156、158的溫度控制的時間常數可能更大。因此，從自動化測試設備510發送到處理器530的信息可用於實時溫度控制。

實時處理器界面520被配置為向處理器530提供觸發信號122，以便觸發溫度控制功能。反之亦然，處理器530被配置為通過測試器界面540從自動化測試設備510接收觸發信號122，並且處理器530被配置為響應於接收到的信號122觸發溫度控制功能。

處理器530可以例如被配置為冷卻和/或加熱被測元件152、154、156、158以防止過熱。觸發信號122可以包括關於被測元件的即將到來的溫度峰值的信息，使得處理器可以抵消被測元件152、154、156、158的熱點(或甚至熱失控)。

此外，實時處理器界面520被配置為提供除了觸發信號122之外的附加信號522。處理器530可以被配置為經由實時測試器界面540接收觸發信號122，以及除了觸發信號122之外的附加信號522。附加信號可以包括以下中的至少一個：用於由處理器確定或修改溫度控制曲線或溫度調節的控制信息、關於由自動化測試設備確定的或由自動化測試設備從被測元件數據流中提取的一個或多個測量值的信息、一個或多個測試狀態參數和/或警報信息。

基於要執行的測試，自動化測試設備510可以確定或預測或評估附加信號522，以適應處理器530與被測元件152、154、156、158的交互。自動化測試設備510可以例如預測被測元件的溫度上升，如由於提供的功率的預定增加，和因此可以確定用於處理器的控制信息，以抵消所述被測元件的溫度增加到不希望的水平。例如，這可以包括冷卻幅度和/或冷卻持續時間的適配。此外，自動化測試設備510可以例如確定關於一個或多個測量變量和/或一個或多個測試狀態參數的信息。自動化測試設備510可以例如確定或評估被測元件的當前或預測行為並且向處理器530提供信息，該信息可以允許處理器以期望的方式操縱被測元件以進行測試。例如，在自動化測試設備510的數據評估確定被測元件的臨界狀態如溫度過高的情況下，可以向處理器530提供警報信息，以允許處理器調整其裝置管理如調整熱管理。

可選地，處理器530可以被配置為確定溫度控制曲線或溫度調節曲線，並且處理器530可以被配置為確定冷卻幅度和/或持續時間和/或冷卻強度以用於確定溫度控制曲線或溫度調節曲線。處理器可以評估由自動化測試設備510提供的信息，如以觸發信號122或附加信號522的形式，以確定前述溫度管理特性。或者，此類信息可由自動化測試設備評估並直接傳輸，如無需處理器來確定信息。

可選地，自動化測試設備可以被配置為從被測元件的數位數據流中提取測量值或參數，並且實時處理器界面被配置為通過實時處理器界面將所述測量值或參數傳輸到處理器。可選地，自動化測試設備可以被配置為將自動化測試設備的儀器測量的數值或參數經由處理器界面傳輸到處理器。如前所述，處理器530可以基於所述測量值來評估被測元件的狀態，或者冷卻幅度和/或冷卻強度。這可以改進測試期間的熱管理。

可選地，實時處理器界面520可以被配置為提供具有低於1ms的延遲或具有低於100微秒的延遲、或具有低於10微秒的延遲、或具有低於1微秒的所述附加信號522和/或觸發信號122。例如，為了允許快速調整測試程序，如為了適應處理器的熱管理，介面可以具有低延遲。因此，數據在到達時可能足夠新，以抵消被測元件可能發生的不良事件如過熱。

可選地，實時處理器界面520可以被配置為提供帶寬，使得由實時處理器界面提供的所述附加信號/或所述觸發信號的延遲低於溫度控制功能的控制迴路的時間常數。由於數據或信號傳輸比控制迴路的時間常數快，因此可以使用傳輸的信息來改進或適應溫度調節。

可選地，溫度控制功能可以包括控制迴路，該控制迴路包括處理器界面520和/或測試器界面540。此外，溫度控制功能可以被配置為考慮經由處理器界面520發送和/或可以經由測試器界面540接收的實時信息。例如，為了提供穩健且快速的溫度控制，可以向控制迴路提供多個信息。因此，處理器界面520和/或測試器界面540可以是提供測量數據和/或評估參數的控制迴路的一部分，這對控制可能是有益的。因此，可以計算被測元件的狀態並且基於此可以基於空間狀態模型來調節被測元件的溫度。該模型可用於任何類型的控制。使用大量信息可以實現預測控制概念，如基於與被測元件的溫度相關聯的實體的估計狀態。這可以允許穩健和精確的溫度控制。

可選地，控制迴路可以包括自動化測試設備510，並且自動化測試設備510可以被配置為與處理器結合的集成調節的一部分。作為另一個可選特徵，控制迴路可以包括處理器並且處理器可以被配置為與自動化測試設備結合的集成調節器的一部分。如前所述，溫度控制概念可以包括所有元件，如自動化測試設備和/或處理器，以及可選的相應界面，以執行所有可用信息通道的數據融合如處理程序的測量數據、測試週期即將進行的測試如存儲在測試器中的數據以及被測元件的任何類型的參數或狀態，並以此為基礎進行評估。因此，可以提高測試效率並改善熱管理。

可選地，實時處理器界面520和/或實時測試器界面540可以被配置為提供所述觸發信號122和/或附加信號522以供溫度控制功能實時考慮。例如，在介面520、540是雙向的情況下，兩者都可以被配置為提供信號122、522。可以根據特定應用的任何約束來選擇信息流。

可選地，處理器530可以包括溫度控制功能。處理器可以被配置為冷卻和/或加熱被測元件152、154、156、158。因此，處理器可以是或可以包括控制迴路的控制元件。此外，隨著信息經由觸發信號122和附加信號522從自動化測試設備510傳輸到處理器530，控制器的輸入變量的確定如溫度控制器可以在處理器中確定。

可選地，實時處理器界面是溫度調節迴路的一部分和/或實時測試器界面是溫度調節迴路的一部分。

可選地，自動化測試設備510和/或處理器530可以被配置為實現集成調節，其中調節功能分佈在自動化測試設備和處理器之間。調節器的輸入變量的計算和/或溫度控制輸入的調度可以由自動化測試設備和/或處理器執行。因此，調節功能可以分佈在兩者之間，如以某種方式，使得計算可以在相應的元件中執行，如自動化測試設備或處理器，其中用於計算的所需數據是可用的。換言之，調節數據的計算可以時間有效的方式分佈，如最小化自動化測試設備和處理器之間的數據傳輸，如這樣只需要或大部分需要傳輸最終結果或是相應其他元素所需的結果。

可選地，自動化測試設備510可以被配置為使用由自動化測試設備的模型生成器提供的模型來影響調節功能。

需要注意的是，圖5顯示的元件可以是測試單元或測試系統，包括根據本發明實施例的自動化測試設備510和處理器530。然而，根據本發明可以單獨使用自動化測試設備510和處理器530。

作為附加說明，應當注意，信號122、522可以例如通過公共線或通過單獨的線製成。

圖6顯示根據本發明第一方面的實施例的第一方法600的示意方塊圖。方法600包括經由雙向專用實時處理器界面向處理器提供610觸發信號以觸發溫度控制功能，經由雙向專用實時處理器界面從處理器接收620信號並且考慮630從處理器接收的信號。

圖7顯示根據本發明第一方面的實施例的第二方法700的示意方塊圖。方法700包括經由雙向專用實時測試器界面從自動化測試設備接收710觸發信號、響應於接收到的信號以觸發720溫度控制功能以及經由測試器界面向自動化測試設備提供730信號。

圖8顯示根據本發明第二方面的實施例的第一方法800的示意方塊圖。方法800包括向處理器提供810觸發信號以便經由實時處理器界面觸發溫度控制功能，經由實時處理器界面向處理器提供820同步信號以及同步830處理器的功能，其優於觸發溫度控制功能的功能。

圖9顯示根據本發明第二方面的實施例的第二方法900的示意方塊圖。方法900包括經由實時測試器界面從自動化測試設備接收910觸發信號，響應於接收到的觸發信號以觸發920溫度控制功能，經由測試器界面從自動化測試設備接收930同步信號並與自動化測試設備同步940功能以響應於接收到的同步信號，其優於觸發溫度控制功能的功能。

圖10顯示根據本發明第三方面的實施例的第一方法1000的示意方塊圖。方法1000包括經由實時處理器界面向處理器提供1010測試站點特定信號，以便控制溫度控制功能。

圖11顯示根據本發明第三方面的實施例的第二方法1100的示意方塊圖。方法1100包括經由測試器界面從自動化測試設備接收1110測試站點特定信號並且響應於接收的測試站點特定信號以控制1120溫度控制功能。

圖12顯示根據本發明第四方面的實施例的第一方法1200的示意方塊圖。方法1200包括經由實時測試器界面向自動化測試設備提供1210測試站點特定信號。

圖13顯示根據本發明第四方面的實施例的第二方法1300的示意方塊圖。方法1300包括經由實時處理器界面從處理器接收1310測試站點特定信號。

圖14顯示根據本發明第五方面的實施例的第一方法1400的示意方塊圖。方法1400包括經由實時處理器界面向處理器提供1410觸發信號，以便觸發溫度控制功能，並且除了觸發信號之外經由實時處理器界面提供1420附加信號，附加信號包括用於由處理器確定或修改溫度控制曲線或溫度調節的控制信息，和/或關於由自動化測試設備確定或由自動化測試設備從被測元件數據流中提取的一個或多個測量值的信息，和/或一個或多個測試狀態參數；和/或報警信息。

圖15顯示根據本發明第五方面的實施例的第二方法1500的示意方塊圖。方法1500包括經由實時測試器界面接收1510觸發信號，以及除了觸發信號之外的附加信號，該附加信號包括用於確定或修改由處理器進行溫度控制曲線或溫度調節的控制信息，和/或關於由自動化測試設備確定或由自動化測試設備從被測元件數據流中提取的一個或多個測量值的信息，和/ 或警報信息和/或一個或多個測試狀態參數，並使用1520附加信號以控制測試站點下的一個或多個裝置的溫度。

在下文中，將描述其他不同的發明實施例和方面。此外，其他的實施例將由所附請求項限定。應當注意，由請求項限定的任何實施例可以由這裡描述的任何細節(特徵和功能)來補充。此外，這裡描述的實施例可以單獨使用，並且還可以由請求項中包括的任何特徵來補充。

此外，應當注意，這裡描述的各個方面可以單獨使用或組合使用。因此，可以將細節添加到每個所述單獨方面，而無需向所述方面中的另一個添加細節。

還應注意，本公開明確或隱含地描述了可在自動化測試系統或測試單元中使用的特徵。因此，本文描述的任何特徵可以在用於測試一個或多個被測元件的自動化測試設備的上下文中或在處理器中或在自動化測試系統中或在用於測試一個或多個被測元件的測試單元中使用(如在不同站點同時或以時間重疊的方式)。

此外，本文公開的與方法相關的特徵和功能也可以用在設備中(被配置為執行這樣的功能)。此外，本文公開的關於設備的任何特徵和功能也可以用於相應的方法中。換句話說，本文公開的方法可以可選地由關於設備描述的任何特徵和功能來補充。

此外，如將在“實施替代方案”的部分中描述，本文描述的任何特徵和功能可以以硬件或軟件、或使用硬件和軟件的組合來實現。

實施替代方案：

儘管已經在設備的上下文中描述了一些方面，並且將在其他方面進行描述，但很明顯，這些方面也代表了相應方法的描述，其中方塊或狀對應於方法步驟或方法步驟的特徵。類似地，在方法步驟的上下文中描述的方面也表示相應設備的相應方塊或項目或特徵的描述。一些或所有方法步驟可以通過(或使用)硬件設備來執行，例如微處理器、可編程計算機或電子電路。在一些實施例中，一個或多個最重要的方法步驟可以由這樣的設備執行。

根據某些實施要求，本發明的實施例可以以硬件或軟件來實施。該實現可以使用具有存儲的電子可讀控制信號在其上的數位存儲介質來執行，例如軟碟、DVD、藍光、CD、ROM、PROM、EPROM、EEPROM或閃存，它們與可編程計算機系統協作(或能夠協作)從而執行相應的方法。因此，數位存儲介質可以是計算機可讀的。

根據本發明的一些實施例包括具有電子可讀控制信號的數據載體，其能夠與可編程計算機系統協作，從而執行本文所述的方法之一。

通常，本發明的實施例可以被實現為具有程序代碼的計算機程序產品，當計算機程序產品在計算機上運行時，該程序代碼可操作用於執行該方法之一。程序代碼可以例如存儲在機器可讀載體上。

其他實施例包括存儲在機器可讀載體上的用於執行本文描述的方法之一的計算機程序。

換句話說，本發明方法的實施例因此是具有程序代碼的計算機程序，當該計算機程序在計算機上運行時，該程序代碼用於執行這裡描述的方法之一。

因此，本發明方法的另一實施例是數據載體(或數位存儲介質，或計算機可讀介質)，其上記錄有用於執行本文所述方法之一的計算機程序。數據載體、數位存儲介質或記錄介質通常是有形的和/或非過渡性的。

因此，本發明方法的另一實施例是數據流或信號序列，其表示用於執行這裡描述的方法之一的計算機程序。數據流或信號序列可以例如被配置為經由數據通信連接、例如經由因特網(Internet)來傳輸。

其他實施例包括處理工具，例如計算機或可編程邏輯裝置，其被配置為或適合於執行這裡描述的方法之一。

其他實施例包括其上安裝有用於執行本文所述方法之一的計算機程序的計算機。

根據本發明的其他實施例包括被配置為向接收器傳送(例如，電子地或光學地)用於執行本文描述的方法之一的計算機程序的設備或系統。接收器可以例如是計算機、移動裝置、存儲裝置等。該設備或系統可以例如包括用於將計算機程序傳送到接收器的文件服務器。

在一些實施例中，可編程邏輯裝置(例如現場可編程邏輯閘陣列(FPGA))可用於執行本文描述的方法的一些或全部功能。在一些實施例中，現場可編程邏輯閘陣列可與微處理器協作以執行本文所述的方法之一。通常，這些方法優選地由任何硬件設備執行。

這裡描述的設備可以通過硬件設備實現，也可以通過計算機實現，也可以通過硬件設備和計算機的組合實現。

在此描述的設備或在此描述的設備的任何組件可以至少部分地以硬件和/或軟件來實現。

在此描述的方法可以使用硬件設備、或者使用計算機、或者使用硬件設備和計算機的組合來執行。

在此描述的方法或在此描述的設備的任何組件可以至少部分地由硬件和/或軟件來執行。

本文描述的實施例僅用於說明本發明的原理。應當理解，對本領域技術人員而言，這裡描述的佈置和細節的修改和變化將是顯而易見的。因此，其意圖是僅受限於即將到來的請求項要求的範圍，而不是受限於通過本文實施例的描述和解釋呈現的具體細節。

下面將總結以下補充說明的內容：

-具有快速同步和數據交換的主動溫度控制。

-背景

-情況

-價值定位

-快速、低延遲的通信通道或觸發擴展，如預觸發擴展：快速、低延遲的通信通道(根據本發明的一個方面)

-觸發擴展，如預觸發擴展：快速精確的自動化測試設備，如測試器-處理器-自動化測試設備同步(根據本發明的一個方面)

-擴展ATC能力以確保更精確的溫度控制(根據本發明的一個方面)

-本發明的觀點和方面

背景

影像的連接

在下文中，將描述測試佈置(或測試系統)的示例，其可以可選地用於根據本發明的實施例中。然而，應當注意，根據本發明的實施例可以包括單獨的自動化測試設備，或者單獨的處理器，或者自動化測試設備和處理器的組合。此外，應當注意，在“背景”部分中公開的特徵、功能和細節可以可選地單獨地和組合地用於任何實施例中。此外，本文件中公開的特徵、功能和細節可以任選地單獨地和組合地引入自動化測試設備中和/或引入到本節中所示的處理器中。

什麼是ATC

ATC(如主動溫度控制)是例如硬件和軟件。例如，測量溫度的硬件和控制溫度的軟件。ATC是(或包括)，例如，從處理器到自動化測試設備或從測試器到裝置並返回的控制迴路。它允許例如處理器直接在裝置中測量裝置DIE的溫度。

通常，處理器可以例如測量裝置外部的溫度。但是ATC可以通過DUT(如被測元件)中的熱二極管來測量模板(或溫度)。ATC例如是前饋控制或反饋控制。

以下關於圖16的解釋涉及實施例的可選特徵。圖16顯示根據本發明實施例的自動化測試設備和處理器的示意性示例。圖16顯示自動化測試設備1610，可選地包括主機架1612和測試頭1614以及處理器1630。自動化測試設備1610和處理器1630可選地與第一連接1660連接例如以太網連接以及第二連接1670例如GPIB連接。圖16顯示在自動化測試設備1610或測試頭1614個別與處理器1630之間的被測元件1650，可選地包括熱二極管。另外，處理器1630和自動化測試設備1610或測試頭1614個別與觸發信號線1680如預觸發信號線耦合。各自的界面如測試器界面和處理器界面沒有明確顯示。觸發信號線1680可以被配置為允許自動化測試設備1610和處理器1630之間的單向或雙向數據交換。觸發信號線1680可以被配置為提供和/或接收觸發信號和/或來自處理器到自動化測試設備的信號和/或同步信號和/或任何測試站點特定信號和/或附加信號，例如實時地，如前所述。

情況和方面

在下文中，將描述可以單獨地和組合地被可選地引入到根據本發明的任何實施例中的情況和方面。

複雜的數位設備(例如可以用作被測元件、DUT)，例如MPU(如微處理器)、GPU(如圖形處理單元)和MCU(如微控制器)可能會消耗大量功率。功耗和設備溫度曲線可能例如會在整個測試過程中發生變化，以及甚至可能例如取決於測試站點。在某些情況下，精確的溫度控制對於測試這些設備可能很重要，甚至必不可少，例如，使用“平坦”和/或可預測的溫度曲線。為了實現這一點，例如，測試單元(如測試器和處理器)可以例如實時分析和組合不同類型的源數據。與處理器僅通過測量測試室溫度來控制溫度的傳統測試相比，主動熱控制(ATC)可以例如為處理器提供額外的裝置和/或測試器信息，例如，以精確控制和/或預測潛在的溫度“熱點”。

以下關於圖17的解釋涉及實施例的可選特徵。圖17顯示溫度控制的示意性示例，如。根據本發明的實施例的設備溫度控制。圖17顯示裝置1750如被測元件、自動化測試設備1710和處理器1730。自動化測試設備1710可以例如從或基於被測元件1750接收和/或確定和/或評估信息1760如測試參數，例如控制信息和/或測試狀態參數。這樣的信息可以是進一步的處理並且被提供給處理器1730。由自動化測試設備1710提供給處理器1730的信息可以是適合於提高測試和/或熱調節效率的任何信息，如裝置狀態或裝置現狀，裝置1750的預測溫度過程，如基於測試週期的，例如之前解釋的任何信息。處理器然後可以控制1770裝置1750的溫度，如基於由自動化測試設備提供的信息以及例如處理器1730對所述裝置1750執行的溫度測量。

替代地或另外地，在某些情況下，裝置的熱二極管的溫度校準可能是有利的，甚至是必要的，例如，消除矽製造依賴性，如在每個裝置上，如在測試期間中。

替代地或另外地，在某些情況下，站點特定警報處理和關閉可能是有利的，或甚至可能需要警告自動測試設備或測試器，如果處理器如檢測到溫度失控時。

在某些情況下，這可能需要例如處理器、裝置和自動測試設備或測試器之間的快速例如實時同步，以便能夠實時交換數據。例如，今天的一個限制是主要依賴於慢速GPIB通信的慢速通信界面。

根據一方面，該提議的意圖是擴展觸發能力，如例如由Advantest為主動熱控制(ATC)控制迴路引入了預觸發功能。根據一個方面，例如觸發如預觸發，如預觸發不僅可以是一種用於控制處理器中加熱和冷卻循環的技術，而且可以擴展到允許在測試器(如自動化測試設備)和處理器之間進行精確、快速的同步和/或數據交換，和/或反之亦然。由於ATC控制在未來可能變得越來越重要，客戶將例如受益於節省寶貴的測試時間，例如通過使用簡單、低延遲的界面來同步設備。

價值定位，如本發明的實施例的方面的

在下文中，將描述例如可以使用根據本發明的實施例和方面來實現的一些優點。

如今，許多傳統測試器或自動化測試設備生產商都沒有觸發如預觸發界面。例如，處理器和自動化測試設備之間的同步，如使用WAIT狀態可以實現測試器執行校準，這可能是一個不可靠的解決方案，並且可能會帶來一些風險。在某些情況下，在處理器和測試器設備之間交換數據以及實時同步設備的解決方案可能例如是有利的，甚至是強制性的。或者，在不久的將來，這些應用程序的站點數量可能會擴展到32個站點。在某些情況下，這可能需要減少硬件界面佈線以實現例如雙向同步，如在每個站點上。

1.觸發擴展，例如預觸發(PRE-TRIGGER)擴展：快速、低延遲的通信通道(示例；可選功能；任何細節都是可選的)

●觸發擴展，例如預觸發擴展可以例如致能快速如低延遲，例如實時和/或雙向通信，例如在自動測試設備如測試器與處理器之間，使用Advantest觸發的如預觸發技術。觸發線或導線如預觸發線或導線例如可用於在自動測試設備如測試器和處理器之間調製和/或傳輸數據，以及例如反之亦然。可以如在設備之間實時發送數據或信息，例如“每個站點警報”、“每個站點電源關閉”、“站點特定預觸發ID”(如測試流分支所需)和/或“站點相關冷卻信息”。這個快速的界面如觸發界面或預觸發界面可以例如減少每個站點預觸發和/或警報處理界面所需的硬件數量，例如減少到現有的單線，或導線，觸發如預觸發的界面。可選的：“每個站點電源關閉”：當處理器無法再冷卻裝置或無法從裝置熱敏二極管獲得溫度時，在某些情況下，將被測元件與電源斷開連接可能是有利的，或甚至需要這樣做。否則，它可能會破壞測試設置。有些裝置可以達到500-800W。

●根據本發明的實施例如示例(可以單獨使用或組合使用)：

a)站點相關ATC(主動熱控制)：在某些情況下，應用程序需要發送如測試站點特定信息，例如實時發送給處理器。例如，某些裝置(如裝置的測試站點或站點)具有不同的測試設置(如VDD電壓)，這可能會導致例如更多的散熱。在某些情況下，在觸發點通知處理器可能是有利的甚至是必要的，如哪些站點需要稍後冷卻以致能或例如確保不會發生冷卻不足/過熱的預觸發點。

以下關於圖18的解釋涉及實施例的可選特徵。圖18顯示根據本發明實施例的測試站點相關溫度控制的示意性示例。圖18顯示兩個測試站點，第一測試站點1810，站點1和第二測試站點1820，站點N。例如，作為測試例程的一部分，測試套件突發1830被應用於測試站點。可選地，測試站點1810和1820可以例如接收觸發信號1840，例如公共觸發如預觸發、或觸發A、或觸發點A。對於每個測試站點1810、1820，顯示出了DIE溫度的溫度隨時間變化圖的示例。在開始時間如0s，第一站點1810可以包括比第二站點1820更低的DIE溫度。通常，可選地，實施例可以被配置為考慮站點相關溫度。如上所述，作為一個例子，處理器或如在處理器中的溫度控制可以在觸發點被通知，如觸發信號1840所示，其接近0s時間的站點特徵，如第二個站點1820更熱。因此，第二個更熱的站點1820的延遲可能更少或更短，以允許更長的“冷卻”時間。據此，如圖18所示，第一個較冷(在0s)站點1810比較熱的(在0s處)第二個站點1820接收更短的延遲時間如100毫秒，可以接收更長的延遲時間如120ms。簡單來說，作為圖18顯示情況的一個例子，在較熱的測試站點的情況下，處理器可以將冷卻延遲更短的時間，以便在下一個刺激之前允許更長的冷卻時間。以這種方式，例如可以安排對被測元件的冷卻，以便將所有被測元件保持在期望的溫度區間中。

例如，除了觸發信號之外，可能還有附加的站點特定信息(例如調製數據)。

b)站點特定的測試流程分支

在測試過程中，一些測試站點可能會在不同的分支中執行。在某些情況下，這可能需要硬件觸發線如每個測試站點的預觸發線，其對於16或32站點測試設置可能很複雜。

可替代地，單個觸發線如可以使用預觸發線，例如通過帶有調製的測試站點ID(識別)信息的識別觸發如預觸發。通過ID，處理器可以被通知哪個測試站點或簡稱“站點”應該在觸發信號如預觸發信號上動作。其他測試站點可能會忽略觸發如預觸發。在圖19中，測試站點1忽略觸發如預觸發#2。

以下關於圖19的解釋涉及實施例的可選特徵。圖19顯示根據本發明實施例的測試站點特定測試流分支的示意性示例。圖19顯示了一個可選的測試流程示例如帶有測試套件的測試流程。圖19顯示了第一觸發信號1910如觸發如預觸發#1。第一觸發信號1910可以影響第一和第二測試站點1920如測試站點1和2，或者可以被第一和第二測試站點1920如測試站點1和2考慮。例如，第二個觸發信號1930如觸發如預觸發#2可以影響，或者可以僅被第二測試站點1940考慮。第三觸發信令1950如觸發如預觸發#3可以影響第一和第二測試站點1920，或者可以被第一和第二測試站點1920考慮。總結一下，作為一個例子，測試站點如站點1被觸發如預觸發：1、3，和測試站點如站點2被觸發如預觸發1,2和3。

c)報警處理

在某些情況下，例如，為了保護測試設置，可能需要將處理器配置為檢測所謂的“溫度失控”。這發生在如ATC迴路中的溫度讀數被破壞，例如由有缺陷的熱敏二極管或電纜造成。在這種情況下，處理器可能需要例如立即關閉如一個特定的測試站點，以及例如在執行測試程序時，可能會影響數據處理，或裝置的分檔和/或數據記錄。而不是使用具有報警線的硬件界面如在每個測試站點。一個快速的例如低延遲的界面可以執行這個任務，例如通過將站點信息調製到這個如退出的觸發信號如預觸發信號上。該信息可以在自動化測試設備端或測試器端解碼，並且可以關閉例如站點特定電源。

應該注意的是，使用當今的界面(例如GPIB)，這種警報處理是不可能的，至少在合理的反應時間內是不可能的。

圖20中顯示出一個示例。關於圖20的以下解釋涉及實施例的可選特徵。圖20顯示根據本發明實施例的警報處理的示意性示例。圖20顯示裝置1750、自動化測試設備1710如測試器和處理器1730。圖20顯示不同的故障，這些故障可以單獨發生或組合發生，並且可以由本發明的實施例解決。例如，裝置1750可能遭受故障2010如熱故障或可能是有缺陷的裝置。在這種情況下，如箭頭2020所示，自動化測試設備1710可能會檢測到故障或不再從裝置接收任何數據，因此確定被測元件的故障。作為另一個示例，自動化測試設備110和處理器之間的信號2030可能被干擾並且遭受故障2040。作為示例，電線可能被破壞。作為另一個示例，裝置溫度可能“失控”2050，或者處理器可以檢測2060溫度“失控”。如前所述，例如在故障2010或2050的情況下，自動化測試設備和/或處理器可以檢測到這種故障，如基於溫度測量。處理器可以冷卻這樣的裝置，或者自動化測試設備可以關閉相應的測試站點。例如，為了協調足夠的對策，處理器可以被配置為觸發警報。在一些情況下，處理器1730可以觸發，或者甚至可能需要實時觸發裝置關閉。由箭頭2070顯示這種信號。

2.觸發擴展如預觸發擴展：快速精確的自動化測試設備如測試器-處理器-自動化測試設備同步(示例；可選功能；任何細節都是可選的)

觸發如預觸發的概念可以允許精確的設備同步。一個例子是在某些情況下，例如必要的熱二極管校準。熱二極管溫度特性可能高度依賴於工藝(如二極管反向電流)。這可以例如通過增量溫度測量在測試中消除。然而，在某些情況下，這可能需要在處理器和自動測試設備或測試器之間進行快速和精確的同步定時，以在正確的點測量溫度，例如時間點和/或被測元件的點。測量可以在不同的裝置或測試條件下進行，例如無電和有電模式，例如以補償如洩漏電流或裝置開啟洩漏電流或熱效應，這可能會在此校準步驟中影響溫度測量。

Advantest的觸發如預觸發信號可用於通知處理器，如何時精確測量，例如此校準基線(如下面的P1)。基線例如可用於跟隨作為參考的溫度測量，例如用於補償誤差。可替代地，或者此外，主動同步可以幫助實現如顯著減少測試時間。在某些情況下，它可能會消除或減少等待(WAIT)插入(如其他解決方案所提議的那樣)和/或可能會減少或消除在錯誤測試條件下測量的不確定性，因此例如消除或減少錯誤的測試結果或如部分出貨，由於可能難以追溯的錯誤溫度計算。

注意：這個概念可能有一個如與使用等待(WAIT)時間的其他方法相比，有顯著的貢獻。由於沒有等待時間，測試時間可能會顯著減少。這可能是一個顯著的經濟優勢。

圖21中顯示一個示例。關於圖21的以下解釋涉及實施例的可選特徵。圖21顯示根據本發明實施例的校準的示意性示例。圖21顯示出了可選裝置狀態2110的示例、測試執行2120的示例和觸發信號2130如觸發如預觸發的示例的定時信息。例如，裝置可以可選地被插入，處理器可以提供處理器信息2140如處理器StartOfTest，如裝置處於其位置的裝置狀態2110，如一個預定的測試站點以及測試可以開始。因此，在測試執行的預測試階段2150中，預測試溫度2160例如由觸發信號2130觸發如觸發P1，可以被測量以作為參考。需要注意的是，使用快速的實時的界面，可以避免等待狀態，例如以便可以實時通知處理器，被測元件已準備好進行校準測量如通過觸發P1。在校準之後，可以執行測試如測試執行2120的主動裝置測試2170，其中使用經由觸發信號2130提供的其他觸發信號或觸發脈衝(P2、P3、Pn)來用信號通知測試期間進一步的預期溫度升高。

根據一方面，第一觸發信號或觸發脈衝P1可以用信號表示被測元件準備好進行參考測量。換句話說，測試開始後的第一觸發信號或第一觸發脈衝P1可以指示被測元件準備好進行參考溫度測量，並且可以例如由處理器解釋以觸發這樣的參考溫度測量(例如可以基於對被測元件上的溫度測量二極管提供的信號評估)。換句話說，測試開始後的第一觸發信號或第一觸發脈衝可以指示被測元件插入測試位置並且(可選地)適當地偏置以允許由處理器進行參考溫度測量(如在被測元件上使用溫度測量結構)。

其他的觸發信號或觸發脈衝(如在測試或測試序列內的第一觸發信號或觸發脈衝之後)可以是預觸發信息信號，指示預期即將到來的溫度升高。因此，其他的觸發信號或觸發脈衝可以被處理器解釋為預觸發信號，如在溫度升高之前激活冷卻。

可選地，第二觸發脈衝(P2)可以指示裝置處於活動狀態(如完全被供電運作)。然而，第二觸發脈衝(在第一觸發脈衝之後)可以例如已經是預觸發信號。

例如，處理器可以響應於第一觸發脈衝進行參考溫度測量，然後可以連續(或重複)進行其他的溫度測量。例如，處理器可以將參考溫度測量用於校準目的，如從其他的溫度測量中去除溫度測量結構的特性對被測元件的影響。

3.擴展ATC功能以確保更精確的溫度控制(示例；可選功能；任何細節都是可選的)

其他測試參數，例如除了熱二極管信息之外，可能有助於如更好地預測和調節設備溫度熱點的行為。自動化測試設備如測試器或處理器或兩者中的特殊算法都可以使用此數據如執行如早期或預測性確定例如每個測試站點的冷卻幅度、持續時間、強度的參數。處理器和自動化測試設備之間的快速觸發如預觸發以及通信通道，如在某些情況下，測試器可能需要或有利於傳輸此數據如參數數據或控制參數。

參數數據示例：(但不限於)(可以使用一個或多個或所有參數)：a. PMON：實時監控DUT功耗；b. Tj：實際DUT界面溫度；c. SPT：同步觸發如預觸發，警告即將到來的電源熱點的信號；d. SITE：站點特定控制數據；e. DUT：DUT特定控制數據；f. TEST：測試特定響應數據；g. FLOW：測試子流特定控制數據；控制參數：h.即將到來的溫度熱點信息；i.熱點持續時間；j.熱點幅度；k.站點和設備特定的溫度控制數據。

本發明的觀點和方面

在下面描述了本發明的觀點和方面，它們可以單獨使用或組合使用並且可以是根據本發明的實施例的一部分。

1.自動化測試設備或測試器與ATC以外的處理器之間通過使用觸發如預觸發能力來進行精確和快速的同步。

2.快速如實時通信通道，如觸發線或附加信號，例如利用嵌入式協定在自動化測試設備或測試器與處理器之間傳輸數據，以及例如反之亦然，如通過調製現有觸發如預觸發的硬件。這可以進一步減少複雜的硬件界面以支持許多測試站點的站點相關觸發如預觸發和/或警報處理。

3.將主動熱控制(ATC)擴展到其他參數，如參數數據或控制參數可能允許如更精確的溫度調節。

結語

雖然本發明的示例和實施例已經被描述為組織成本發明的方面，但是應當注意，本發明的任何方面的任何實施例可以被併入、添加到本發明的任何其他方面中或與本發明的任何其他方面一起執行。選擇分成多個方面的組織和描述以突出特徵和方面，以便為本領域技術人員提供對本發明的更好理解。

但是，例如，任何界面，例如測試器界面和/或處理器界面可以是雙向的和/或專用的實時界面。信息傳輸的方向如僅在一個方向或兩個方向可根據具體應用選擇。此外，所提供的任何信號和信息都可以是測試站點特定信息，從自動化測試設備到處理器，反之亦然。可以在測試器和處理器界面的任何配置中提供或接收信號。此外，信號可以包括多個信息如觸發信息、同步信息和/或附加信息。然而，該信息也可以作為不同的信號來提供或接收，例如用於特定信息的一種信號。此外，任何信號或其組合可以例如經由單個通道傳輸。