TW201514523A - 用以測試受測裝置的自動化測試設備及用以測試受測裝置的方法 - Google Patents

Abstract

一種用於測試一受測裝置之自動化測試設備包含一控制單元及多個測試器子單元。該控制單元經組配以取決於對該等測試資源之一當前需求而將該等測試器子單元置於一較低活動狀態下。

Description

用以測試受測裝置的自動化測試設備及用以測試受測裝置的方法 發明領域

本發明之實施例係關於一種用於測試受測裝置之自動化測試設備。本發明之其他實施例係關於一種用於測試受測裝置之方法。

發明背景

測試成本為半導體製造商及半導體測試公司(測試室)的關鍵經濟方面，且因此為自動化測試設備(ATE)之關鍵競爭性價值。電能成本正變成總測試成本的日益重要之部分，此係因為積體半導體裝置(IC)之速度、電晶體計數及系統複雜性隨著現代半導體技術之持續成果而增加。結果為在速度、準確度及與對用於在ATE上測試此等IC的較大靈活性及較廣泛應用涵蓋範圍之需求組合的並行性方面的類似增長之需求。此需求當前以用於操作ATE及其相關基礎架構之電力消耗之顯著增加為代價來得到滿足。

含有許多ATE之測試場地的競爭性操作僅在設備可快速適應於裝置及應用的大量組合時有可能。因此，ATE要求許多可組配測試器子單元之靈活集區之存在。關於生產之時間關鍵管理，測試場地之ATE在功能性及準確度方面的穩定性為必需的。在過去，穩定性藉由以下操作來確保：使ATE始終保持其所有資源被供電且使基礎架構完全在作用中，從而導致供應至ATE之電能的成本增長。此外，由於ATE之熱管理系統亦展示增加之熱輸出能量以維持用於精準操作之穩定溫度條件。此能量又需要被輸送出生產建築物，從而花費額外能量。因此，對於測試場地建築物之空氣調節及生產工廠之全域冷卻單元之熱交換器，觀察到增長之能量消耗量。此能量亦促成持續增長之測試成本。

又，在主要進行半導體之批量生產的彼等國家中，對經濟保護之增加的意識正在顯現，特別是在遍佈世界之全球變暖論述存在的情況下。因此，可觀察到，關於使用/購買何生產設備之決策愈來愈多地受旨在向更環保轉變的政府規劃及本地法規影響，而且受生產電能之更昂貴方式以及受較高能量稅影響。此情形意謂，甚至在亞洲生產現場中，所謂的「綠色」能量之愈來愈不可避免的使用將為較高測試成本之額外驅動因素。半導體行業之反應因此相較於在過去吾人所瞭解之情況而更強烈地聚焦於製造設備之低能量消耗。

更關注消耗之電力控制進一步藉由在生產環境 之供電網路中頻繁地發生穩定性問題來判斷。供電網路之能量容量常常接近限值，且在設備持續維持其全電力需求時，過載情形不可被快速地解決。

因此，需要自動化測試設備之電力消耗之減少，其將有助於避免過載情形或自過載情形恢復，且因此將有助於使生產穩定且增加自動化測試設備之MTBF(平均無故障時間)。

發明概要

本發明之一目標為提供允許受測裝置之電力上更有效之測試的概念。

此目標係藉由獨立技術方案之標的來解決。

本發明之其他有利修改係附屬技術方案之主題。

本發明之一實施例提供一種用於測試一受測裝置之自動化測試設備。該自動化測試設備包含一控制單元及多個測試器子單元。該控制單元經組配以取決於對該等測試器子單元之一當前需求而將該等多個測試器子單元置於一較低活動狀態下(相較於一較高活動狀態)。

發明者已發現，當用於測試一受測裝置之自動化測試設備包含經組配以將當前不需要之資源(當前不存在對資源之需求)置於較低活動狀態下(當相較於在習知系統中即使當前不存在對此測試器子單元之需求，此測試器子單元通常仍操作於之較高活動狀態時)的控制單元時，可提供用於測試此受測裝置的電力上更有效之概念。因此，發 明者已發現，將當前不需要之測試器子單元置於較低活動狀態下為有利的，此等測試器子單元在該較低活動狀態下相比於在較高活動狀態下通常消耗較少電流。藉由將當前未使用或不需要之測試器子單元(例如，用於對受測裝置執行某測試)置於較低活動狀態下，此等測試器子單元之電流消耗可在不損失自動化測試設備之任何功能性的情況下急劇減少。

根據本發明之其他實施例，該控制單元經組配以(例如)在當前需要當前處於較低活動狀態下之測試器子單元(例如)以用於執行測試程式時將此等測試器子單元置於較高活動狀態下。為了概述，根據本發明之實施例，可達成如下情形：僅當前所需要之此等測試器子單元(當前存在對此等測試器子單元之需求)或因為安全原因或規範原因而不可置於較低活動狀態下之此等測試器子單元處於較高活動狀態下(其中該等測試器子單元相較於在較低活動狀態下消耗較多電力或電流)。

根據本發明之其他實施例，該控制單元經組配以執行測試程式，且基於該測試程式而控制該等多個測試器子單元。此外，該控制單元經組配以基於該測試程式中對該等多個測試器子單元之當前利用而導出對測試器子單元之當前需求。因此，該控制單元經組配以自動地(不需要測試程式或測試程式碼中之任何指令)判定對測試器子單元之利用，且基於此所判定之利用而導出是否存在對某測試器子單元之當前需求，且在當前不存在對此某測試器子單 元之需求時將此測試器子單元置於其較低活動狀態下。換言之，根據本發明之實施例，測試器子單元之電力消耗可在無任何手動使用者輸入或使用者控制之情況下藉由自動化測試設備自動地控制。然而，根據其他實施例，該控制單元亦可經組配以接收使用者輸入信號，該控制單元基於該使用者輸入信號而將該等多個測試器子單元中之一或多者置於較低活動狀態下。

藉由具有對測試器子單元之利用的自動化偵測且藉由自動地將測試器子單元置於較低活動狀態或較高活動狀態下(例如，在當前需要測試器子單元時)，測試程式可不含指示控制單元以將多個測試器子單元中之一或多者置於較低活動狀態下的任何指令。因此，建立測試程式之有責任使用者不必藉由手動地將不需要之測試器子單元置於較低活動狀態下來實現測試器子單元之電力消耗之減少，此係因為此操作已藉由自動化測試設備之控制單元在執行測試程式的同時自動地執行。此外，針對習知自動測試設備而規劃之現有測試程式不必改變以受益於新自動測試設備，此係因為控制單元可自測試程式自動地導出對測試器子單元之利用，且將當前不需要或未使用之測試器子單元置於較低活動狀態下。

較低活動狀態可為(例如)在相較於較高活動狀態(例如，其中測試器子單元對受測裝置執行測試)時，測試器子單元消耗較少電力，但測試器子單元仍被啟動之狀態。此外，較低活動狀態亦可為測試器子單元經完全撤銷 啟動(且根本不消耗電流)之狀態。

發明者已發現，當測試器資源或測試器子單元被置於較低活動狀態下時(低電力狀態或當其經撤銷啟動時)，因為當前不存在對將電力供應至測試器子單元之需要，所以該測試器子單元在接通之後(在將測試器子單元置於較高活動狀態下之後)根據某些規範執行(在給定規範限值內執行)的能力可受到影響。因此，該控制單元可經組配以處理自測試器子單元接收且與測試器子單元之準確度有關的特定產生之狀態資訊。此狀態資訊可自多個感測器及由作業系統供應或儲存於硬體中之參數產生。取決於使用者輸入及/或工廠供應資訊，該控制單元可使測試器子單元保持於供應有最少電力之規範中狀態下(在規範限值內)，或控制單元確保測試器子單元在經啟動以用於操作之後(在置於較高活動狀態下之後)在給定時間量內達到規範中狀態。根據其他實施例，該控制單元可經組配以延遲測試程式之開始，直至所有所要求測試器子單元用信號通知控制單元其在其規範限值內操作(其處於所謂的規範中狀態下)。

此外，該控制單元可經組配以取決於測試器子單元之類型而將多個測試器子單元中之至少一些置於不同的較低活動狀態下。此外，不同的較低活動狀態中之至少一者可為如下狀態：測試器子單元在置於該狀態下時保持於其規範限值內。另一較低活動狀態可為測試器子單元超出其規範限值外，但能夠在置回於較高活動狀態下之後返回其規範限值內的狀態。對於測試器子單元超出其規範限值 外之狀況，在控制單元於此測試器子單元上執行測試程式之指令之前，控制單元可等待，直至在將此測試器子單元置於較高活動狀態下之後，此測試器子單元處於其規範限值內。因此，確保在測試器子單元再次在其規範限值內之前，測試程式不在此測試器子單元上開始或繼續。

根據其他實施例，確保僅測試器子單元用於對待測裝置執行測試之另一方式為，控制單元經組配以掃描測試程式，從而查看即將來臨之測試器子單元利用，且在需要處於較低活動狀態下時超出其規範限值外的測試器子單元以用於執行測試程式之指令之前，將此測試器子單元置於較高活動狀態下，使得當指令之後被執行時，此測試器子單元已返回其規範限值內。換言之，該控制單元可經組配以預先掃描測試程式，從而查看即將來臨之資源利用，且可在需要某時間量來返回其規範限值內的測試器子單元被需要之前已將該等測試器子單元置於較高活動狀態下，使得當測試器子單元之後被需要時，其已處於其規範限值內。此情形具有如下優點：控制單元不必暫停測試程式且等待直至處於較低活動狀態下之測試器子單元返回其規範限值內。

因此，本發明之一些實施例係關於一種具有特定性質之自動化積體電路測試器，該特定性質為具有特定電力控制系統以減低或最小化操作期間及閒置狀態下之電力消耗。

此外，本發明之其他實施例亦係關於一種允許電 力消耗之手動使用者控制或使電力消耗藉由自動測試系統(例如)根據使用者導則自動地控制的方法。本發明之其他實施例亦係關於一種產生特定資訊以關於測試器資源(或測試器子單元)之準確度規範而指示測試器資源(或測試器子單元)之狀態，該等準確度規範(例如)可藉由自動測試設備之製造商給出。此資源狀態偵測(若測試器子單元在其規範限值內，則前述情形可理解為偵測)可遠遠超出僅藉由簡單地量測溫度來保護測試器子單元以免受到損壞。

本發明之其他實施例係關於一種用於測試受測裝置之方法及電腦程式。

100‧‧‧自動化測試設備/IC測試器

101‧‧‧受測裝置

103‧‧‧控制單元

105a、105b、105c、105d‧‧‧測試器子單元

200‧‧‧晶片測試器/自動化測試設備/IC測試器

205a至205n‧‧‧測試器資源/測試器子單元

207‧‧‧殼體

209‧‧‧外部殼體

215a至215m‧‧‧基礎架構單元/測試器子單元

225‧‧‧外部基礎架構單元/冷卻泵/測試器子單元

300‧‧‧方法

將使用隨附圖式來更詳細地描述本發明之實施例，其中；圖1展示根據本發明之實施例的自動化測試設備之示意性方塊圖；圖2展示具有電力消耗控制的根據本發明之實施例的晶片測試器或自動化測試設備的結構；圖3展示根據本發明之實施例的用於測試受測裝置之方法的流程圖；以及圖4展示本發明之概念的例示性實施之綜述。

較佳實施例之詳細說明

在詳細地描述本發明之實施例之前，指出向相同或功能性等同之元件提供相同參考數字，且省略具有相同 參考數字之元件的重複描述。因此，具有相同參考數字之元件的所提供描述可彼此互換。

圖1展示根據本發明之實施例的用於測試受測裝置101之自動化測試設備100(ATE 100)的示意性方塊圖。

自動化測試設備100包含控制單元103及多個測試器子單元105a至105d。儘管在圖1中所展示之實例中，自動化測試設備100包含四個測試器子單元105a至105d，但測試器子單元之此數目可為任意的，且可取決於自動化測試設備100的目的。此外，儘管在圖1中所展示之實例中，自動化測試設備100通常僅耦接至一個受測裝置101，但此自動化測試設備100可經組配以測試多個受測裝置101(甚至同時地)。

自動化測試設備100之控制單元103經組配以取決於對測試器子單元105a至105d之當前需求而將測試器子單元105a至105d置於較低活動狀態下。作為一實例且如在本申請案之引言部分中已描述，控制單元103可經組配以在多個測試器子單元105a至105d中之一測試器子單元當前未用於或未被需要用於測試受測裝置101時，將此測試器子單元105a至105d置於較低活動狀態下。藉由使控制單元103與測試器子單元105a至105d及將測試器子單元105a至105d彼此個別地置於較低活動狀態下的能力相結合，當前不需要之測試器子單元105a至105d(當前不存在對測試器子單元105a至105d之需求)的電流消耗在相較於當前未使用之測試器子單元保持於其較高活動狀態下之系統時可急劇減 少。此外，控制單元103經組配以在當前需要或將需要當前處於較低活動狀態下之測試器子單元105a至105d以用於對受測裝置101執行測試時，將測試器子單元105a至105d置於較高活動狀態下。

如自圖1可見，並非所有測試器子單元105a至105d必需連接至受測裝置101或用以對裝置101執行測試。作為一實例，測試器子單元105d可為外部基礎架構單元(諸如，自動化測試設備100之用於冷卻或加熱其他測試器子單元105a至105c之冷卻泵)。此冷卻泵可(例如)取決於自動化測試設備100之某些測試器子單元105a至105c之溫度或通常取決於自動化測試設備100之溫度而藉由控制單元103啟動(置於較高活動狀態下)及撤銷啟動(置於較低活動狀態下)。其他測試器子單元(諸如，測試器子單元105a至105c)可為對受測裝置執行某些測試之測試器子單元，例如，可為自動化測試設備100之測試頭之部分，此測試器子單元可形成自動化測試設備100之測試資源。此外，可不僅啟動或撤銷啟動冷卻泵，而且可連續地減少或增加其冷卻功率。作為一實例，對於大量測試器子單元處於作用中(例如，對受測裝置100執行測試)之狀況，相較於僅少數測試器子單元處於作用中但冷卻泵仍處於作用中的狀況，冷卻泵可處於具有增加之冷卻功率的狀態。換言之，控制單元103經組配以取決於對自動化測試設備100之剩餘測試器子單元的當前需求而連續地調整冷卻泵之冷卻功率。

換言之，多個測試器子單元105a至105d中之一測 試器子單元可為測試器或自動化測試設備100之中央單元(諸如，自動化測試裝備100之冷卻單元)，或可為主測試(器)資源(諸如，電子卡、通道板或受測裝置電源供應器)。藉由控制單元103減低測試器100之此等中央單元的活動或在需要時(或換言之，取決於對此等測試器子單元105a至105d之需求)控制主測試資源(諸如，所提及之電子裝置)之活動來使整個自動化測試設備100之電力消耗變化。對控制單元103之電力消耗的控制可包含測試器子單元105a至105d中之一者的完全啟動或撤銷啟動，以及至低電力狀態之轉變。換言之，較低活動狀態可為測試器子單元105a至105d經完全撤銷啟動或在相較於較高活動狀態時測試器子單元105a至105d之電力消耗減少的狀態。指出控制單元103可經組配以取決於測試器子單元105a至105d之類型而將多個測試器子單元105a至105d中之至少一些置於不同的較低活動狀態下(諸如，測試器子單元之完全撤銷啟動，或僅電力消耗之減少)。

作為一實例，控制單元103經組配以使得僅切斷或撤銷啟動測試器子單元105a至105d，且當測試器子單元105a至105d置於較低活動狀態下時，其並未超出其規範限值外或能夠在不需要任何額外校準之情況下返回其規範限值內。對於在經撤銷啟動或切斷時將超出或甚至可僅超出其規範限值外而無自動地返回規範限值內之能力的測試器子單元105a至105d，控制單元103將使此等測試器子單元105a至105d置於較低活動狀態下，其中對應測試器子單元 105a至105d之電力消耗減少，但測試器子單元仍保持於其規範限值內。

換言之，不同的較低活動狀態中之至少一者為如下狀態：測試器子單元(例如，第一測試器子單元105a)在置於該狀態下時保持於其規範限值內，或測試器子單元超出其規範限值外，但能夠在藉由控制單元103置回較高活動狀態下之後返回其規範限值內(而無可僅由自動化測試設備100之製造商執行的外部校準之任何需要)。換言之，此測試器子單元能夠在置回較高活動狀態下之後自動地返回其規範限值內。

此外，不同的較低活動狀態中之至少一者可為如下狀態：測試器子單元(例如，第一測試器子單元105a)在置於該狀態下時經撤銷啟動。

對測試器子單元105a至105d之控制可藉由全域集中式控制及/或藉由功能測試器單元或與用於交換各別電力控制信號之系統組合的測試器資源中之分散式智慧來達成。換言之，控制單元103可為自動測試設備100之集中式元件，但可進一步被分離成多個分散式單元及一集中式主單元，該等單元與測試器子單元105a至105d交換電力控制信號，以用於控制測試器子單元105a至105d之活動等級或活動狀態。

此外，控制單元103經組配以執行測試程式，且基於測試程式(例如，基於測試程式中之指令)控制多個測試器子單元105a至105d。此外，控制單元103經組配以基於測 試程式中對多個測試器子單元之當前利用而(自動地)導出對(每一個別)測試器子單元之當前需求。換言之，控制單元103能夠針對多個測試器子單元105a至105d中之每一測試器子單元判定當前或近期在測試程式(例如，用於對受測裝置101執行測試)中是否需要該測試器子單元，且能夠取決於此判定而控制測試器子單元105a至105d之活動狀態。因此，使用者不需要顯式地指示控制單元103以將某測試器子單元105a至105d置於較低活動狀態或較高活動狀態下，此係因為控制單元103能夠自動地判定是否需要測試器子單元105a至105d。然而，控制單元103可另外給予提供使用者可手動地決定測試器子單元105至105d應進入較低活動狀態抑或較高活動狀態之功能性的手動使用者輸入之可能性。換言之，為了控制電力消耗以達成減少能量成本之目的，控制單元103經組配以評估手動使用者輸入或(在受到請求時)自在測試程式中找到之組態自動地提取資訊。關於本質上且最少要求哪些測試器子單元(哪些功能單元及哪些測試器資源)且某基礎架構單元需要達到哪一活動等級以可靠地執行測試程式而解譯使用者輸入及藉由控制單元103自動地提取之資訊。控制單元103(或換言之，ATE 100之電力控制系統)根據此概念而啟動及撤銷啟動對於執行特定測試程式不需要之測試器子單元，及/或亦類似於集中式基礎架構單元(諸如，冷卻泵)而適當地調整測試器子單元之活動等級。

此外，發明者已發現，若測試器子單元置於低電 力狀態下或在測試器子單元因為當前不需要供應電力而撤銷啟動時(或一般而言，在測試器子單元置於較低活動狀態下時)，測試器子單元的在接通之後(在測試器子單元置於其較高活動狀態下之後)根據規範執行的能力可受到影響。因此，控制單元103可經組配而以特定方式處理來自測試器子單元105a至105d的與測試器子單元105a至105d之準確度相關的所產生狀態資訊。此狀態資訊可自多個感測器及由作業系統供應或儲存於硬體中(例如，測試器子單元105a至105d中之每一者中)之參數產生。根據使用者輸入及/或工廠供應資訊，控制單元103將測試器子單元保持於供應有最少量電力之「規範中」狀態(在其規範限值內)，或控制單元確保測試器子單元105a至105d在經啟動以用於操作之後在給定時間量內達到「規範中」狀態。根據此接通程序之其他實施例，控制單元103可經組配以延遲測試程式之開始或延遲測試程式之繼續，直至所有所要求測試器子單元已將「規範中」狀態用信號通知控制單元103。

換言之，控制單元103可經組配以當測試器子單元(例如，第一測試器子單元105a)在處於較低活動狀態下時超出其規範限值外時，在控制單元103於第一測試器子單元105a上執行測試程式之指令之前等待，直至在將第一測試器子單元105a置於較高活動狀態下之後第一測試器子單元105a返回其規範限值內。藉由此概念，可確保在測試器子單元上之指令僅在對應測試器子單元當前處於其規範限值內時得以執行。根據用於在執行測試程式期間消除任何等 待時間之其他實施例，控制單元103可經進一步組配以掃描測試程式，從而查看即將來臨之測試器子單元利用，且在需要測試器子單元(例如，第二測試器子單元105b)以用於執行測試程式之指令之前，將第二測試器子單元105b置於較高活動狀態下，該第二測試器子單元105b在處於較低活動狀態下時超出其規範限值外。因此可達成如下情形：當將執行需要第二測試器子單元105b之指令時，第二測試器子單元105b已返回其規範限值內。

換言之，控制單元103經組配以預先掃描測試程式，從而查看對測試器子單元105a至105d之利用的即將來臨之改變，且緊接在需要第二測試器子單元105b以執行測試程式中之指令之前「喚醒」第二測試器子單元105b，使得當需要第二測試器子單元105b以執行測試程式之指令時，第二測試器子單元105b已返回其規範限值內。因此，控制單元103並不需要隨測試程式之繼續或開始而等待直至第二測試器子單元105b返回其規範限值內，此係因為藉由測試程式之此預先掃描，可確保在需要第二測試器子單元105b之時刻，第二測試器子單元105b已返回其規範限值內。

如已指出，測試器子單元可經組配以用信號通知(例如，藉由將對應信號提供至控制單元103)其超出其規範限值外或處於其規範限值內。作為一實例，第一測試器子單元105a至105d可各自經組配以將用信號通知測試器子單元105a至105d當前是否在其規範限值內之規範中信號提供 至控制單元103。換言之，測試器子單元105a至105d經組配以產生特定資訊，從而指示測試器子單元105a至105d之狀態(例如，關於其由ATE 100之製造商給出的準確度規範)。由測試器子單元105a至105d執行之此測試器子單元狀態偵測可遠遠超出僅藉由簡單地量測溫度來保護測試器子單元以免受到損壞。

換言之，測試器子單元可經組配以用信號通知此測試器子單元超出其規範限值外，例如： 當此測試器子單元或此測試器子單元之冷卻水的溫度超出校準測試器子單元所依據之溫度範圍外時； 當測試器子單元內之某時脈頻率超出其校準值時；及/或當此測試器子單元之回送測試或板參考測試未通過時。

當測試器子單元具有刺激通道及回應通道時，回送測試可得以執行。在此回送測試中，刺激通道及回應通道連接至彼此。此外，將刺激施加至刺激通道，且藉由回應通道量測該刺激。當所量測之刺激不符合所施加刺激之預期回應時，回送測試未通過。當所量測之刺激符合所施加刺激之預期回應時，回送測試成功。

對於板參考測試，板參考(諸如，能帶隙電路處之電壓)可藉由測試器子單元之某量測單元來量測，且當量測結果符合此板參考之預期結果時，板參考測試成功，否則板參考測試未通過。

為了概述以上內容，本發明之實施例係關於一種具有特定性質之自動化測試設備(諸如，自動化IC測試器)， 該特定性質為具有特定電力控制系統(控制單元103)以減低或最小化自動化測試設備100之操作及閒置狀態期間的電力消耗。此外，本發明之實施例係關於一種允許對電力消耗之手動使用者控制或使電力消耗由自動化測試設備100(例如根據使用者導則)自動地控制的方法及概念。此外，本發明之實施例係關於一種產生特定資訊以關於測試器子單元的藉由自動測試設備100之製造商給出的準確度規範而指示測試器子單元之狀態的方法及概念。此資源狀態偵測遠遠超出僅藉由簡單地量測溫度來保護測試器子單元以免受損壞。

藉由控制單元103(在啟動時)執行之電力控制方法的另一要素為在未使用測試器歷時某時間量或發佈有時間相關信號時之全域電力消耗減少。在此狀況下，測試器將電力消耗最小化至如藉由使用者關於其需要再次斜坡上升以用於操作之方式所指定的位準。此情形確保以考量使用者需要以及自動化測試設備100之穩定性及可靠性的方式執行斜坡上升及斜坡下降。

圖2展示根據本發明之實施例的晶片測試器200之結構，該晶片測試器200為圖1中所展示之自動化測試設備100的可能實施。

自動化測試設備200包含多個測試器子單元205a至205n、215a至215m、225。如自圖2之實例可見，可將該等測試器子單元分類成基礎架構單元215a至215m、225及測試器資源205a至205n。然而，針對圖1中所展示之自動化測 試設備100中之測試器子單元105a至105d所提供的描述亦適用於測試器資源205a至205n、(內部)基礎架構單元215a至215m及(外部)基礎架構單元225。如自圖2可見，內部基礎架構215a至215m可配置於自動化測試設備200的與測試器資源205a至205n相同之殼體207內。可將外部基礎架構單元225(諸如，冷卻泵)置放於外部殼體209內。此外，控制單元103(例如，全域電力控制單元103)可與內部基礎架構單元215a至215m及測試器資源205a至205n一起配置於外殼207中。此外，如自圖2可見，控制單元103連接至測試器子單元之完整集區(包含測試器資源205a至205n、內部基礎架構單元215a至215m及外部基礎架構單元225)，從而(例如)借助於電力消耗特定通訊來控制不同測試器子單元之活動狀態。

此外，對測試器子單元205a至205n、215a至215m、225之活動狀態的控制可以集中方式或甚至分散方式發生。因此，測試器子單元中之每一者可包含自身的相關聯分散式電力控制單元，該電力控制單元為全域電力控制單元103之部分且經組配以控制其相關聯測試器子單元205a至205n、215a至215m、225之活動狀態。

根據圖2中所展示之實例，自動化測試設備200僅包含一個單一外部基礎架構單元225，根據其他實施例，此自動化測試設備200當然可包含其他外部基礎架構單元。

圖3展示根據本發明之實施例的用於測試受測裝置之方法的流程圖。方法300包含取決於對測試器子單元之 當前需求而將測試器子單元置於較低活動狀態下的步驟。

換言之，圖3展示用於藉由取決於對測試器子單元之當前需求而將測試器子單元置於較低活動狀態下來動態或手動地減少用於測試受測裝置之測試器或自動化測試設備之電力消耗的方法300。

圖4展示根據本發明之實施例的可實施於自動化測試設備100及200或方法300中的本發明之其他態樣。

作為一實例，控制單元103可經組配以取決於用於自動化控制之手動活動指令或設定檔指令而將測試器子單元置於較低活動狀態下。

此外，使用者可能夠指示控制單元103以調整測試器資源205a至205n之活動等級(例如，撤銷啟動測試器資源205a至205n)。此外，使用者可能夠指示控制單元103以調整基礎架構單元215a至215m、225之活動等級(例如，將基礎架構單元215a至215m、225之負載減少至僅一半負載)。此外，使用者可能夠指示控制單元103以控制完整自動化測試設備200之全域活動等級。

此外，控制單元103可經組配以基於某些設定檔指令(諸如，某些電力設定檔)而使測試器子單元脫離處於不同的較低活動狀態發生變化。作為一實例，閒置電力設定檔可導致自動化測試設備100、200之所有測試器子單元被置於較低活動狀態下的狀況。

此外，使用者可能夠(例如)藉由指示控制單元103以使用某電力設定檔或啟用或停用閒置設定檔來指定 自動化控制。

在自動化控制模式中，控制單元103能夠處理自該自動化測試設備之不同測試器子單元接收到的安全狀態資訊，以處理手動輸入且此外根據使用者設定檔、工廠參數及內部演算法執行電力控制任務。

為了概述，本發明之實施例提供IC測試器，諸如自動化測試設備。此外，本發明之其他實施例提供一種用於動態或手動地減少此IC測試器之電力消耗的方法。本發明之其他實施例提供一種用於組配來自可用測試器子單元(諸如，可用測試器資源或可用基礎架構單元)之集區之所要求作用中資源的裝備。本發明之實施例改良自動化測試設備之電力穩定性，且此外減少自動化測試設備之能量成本。

此外，本發明之實施例具有如下優點：當測試器子單元在測試執行期間未使用時，測試器子單元被停用、處於低電力模式或至少活動被減少。此情形減少電力消耗，且因此減少能量成本且又減少受測裝置之整個測試成本。

為了概述，自動化測試設備之電力消耗的自動化減少有助於避免過載情形或自過載情形恢復，且因此有助於不僅使生產穩定，而且增加自動化測試設備之平均無故障時間。

此外，本發明之實施例提供一種IC測試器100、200、用於手動或動態地減少電力消耗之方法300，及用於組配來自可用測試器子單元(基礎架構單元及測試器資源) 之集區的作用中資源的裝備(控制單元103)。

可藉由本文中關於裝備所描述之特徵及功能性中的任一者來補充方法300，且可使用裝備之硬體組件來實施該方法。

儘管已在裝備之情形下描述一些態樣，但清楚的是，此等態樣亦表示對應方法之描述，其中區塊或裝置對應於方法步驟或方法步驟之特徵。類似地，在方法步驟之情形下描述之態樣亦表示對應裝備之對應區塊或項目或特徵的描述。可藉由(或使用)硬體裝備(類似於(例如)微處理器、可規劃電腦或電子電路)來執行方法步驟中之一些或全部。在一些實施例中，多數重要方法步驟中的某一或多者可由此裝備執行。

取決於某些實施要求，本發明之實施例可以硬體或以軟體來實施。可使用儲存有電子可讀控制信號之數位儲存媒體(例如，軟性磁碟、DVD、藍光、CD、ROM、PROM、EPROM、EEPROM或快閃記憶體)來執行該實施，該等控制信號與可規劃電腦系統協作(或能夠與可規劃電腦系統協作)，使得各別方法被執行。因此，數位儲存媒體可為電腦可讀的。

根據本發明之一些實施例包含具有電子可讀控制信號之資料載體，該等控制信號能夠與可規劃電腦系統協作，使得本文中所描述之方法中之一者被執行。

通常，本發明之實施例可實施為具有程式碼之電腦程式產品，當電腦程式產品在電腦上執行時，該程式碼 操作以用於執行方法中之一者。程式碼可(例如)儲存於機器可讀載體上。

其他實施例包含儲存於機器可讀載體上的用於執行本文中所描述之方法中之一者的電腦程式。

換言之，本發明方法之實施例因此為具有程式碼之電腦程式，當該電腦程式在電腦上執行時，該程式碼用於執行本文中所描述之方法中之一者。

本發明方法之另一實施例因此為資料載體(或數位儲存媒體或電腦可讀媒體)，該資料載體包含記錄於其上的用於執行本文中所描述之方法中之一者的電腦程式。資料載體、數位儲存媒體或記錄媒體通常為有形及/或非暫時性的。

本發明方法之另一實施例因此為表示用於執行本文中所描述之方法中之一者的電腦程式的資料串流或信號序列。該資料串流或信號序列可(例如)經組配以經由資料通訊連接(例如，經由網際網路)傳送。

另一實施例包含經組配或調適以執行本文中所描述之方法中之一者的處理構件，例如，電腦或可規劃邏輯裝置。

另一實施例包含電腦，該電腦具有安裝於其上的用於執行本文中所描述之方法中之一者的電腦程式。

根據本發明之另一實施例包含裝備或系統，其經組配以將用於執行本文中所描述之方法中之一者的電腦程式傳送(例如，以電子或光學方式)至接收器。接收器可(例 如)為電腦、行動裝置、記憶體裝置或其類似者。該裝備或系統可(例如)包含用於將電腦程式傳送至接收器之檔案伺服器。

在一些實施例中，可規劃邏輯裝置(例如，場可規劃閘陣列)可用以執行本文中所描述之方法之功能性中的一些或全部。在一些實施例中，場可規劃閘陣列可與微處理器協作，以便執行本文中所描述之方法中的一者。通常，方法較佳由任何硬體裝備來執行。

上文所描述之實施例僅說明本發明之原理。應理解，本文中所描述之配置及細節的修改及變化對於熟習此項技術者將係顯而易見的。因此，意欲僅受即將來臨之專利申請專利範圍的範疇限制，且不受藉由本文中之實施例之描述及解釋呈現的特定細節限制。

100‧‧‧自動化測試設備/IC測試器

101‧‧‧受測裝置

103‧‧‧控制單元

105a、105b、105c、105d‧‧‧測試器子單元

Claims (17)

1. 一種用於測試一受測裝置之自動化測試設備，其包含：一控制單元；以及多個測試器子單元；其中該控制單元經組配以取決於對該等測試器子單元之一當前需求而將該等測試器子單元置於一較低活動狀態下。
2. 如請求項1之自動化測試設備，其中該控制單元經組配以執行一測試程式且基於該測試程式而控制該等多個測試器子單元；且其中該控制單元經組配以基於該測試程式中對該等多個測試器子單元之一當前利用而導出對該等測試器子單元之一當前需求。
3. 如請求項2之自動化測試設備，其中該測試程式不含指示該控制單元以將該等多個測試器子單元中之一測試器子單元置於該較低活動狀態下的一指令。
4. 如請求項1至3之自動化測試設備，其中該等多個測試器子單元中之至少一者為經組配以對該受測裝置執行一測試之一測試器資源，且至少另一測試器子單元為經組配以確保該測試器資源在對該受測裝置執行該測試期間保持於其規範限值內之一基礎架構單元。
5. 如請求項1至4中任一項之自動化測試設備，其中該控制單元經組配以取決於該等測試器子單元之類型而將該等測試器子單元中之至少一些置於不同的較低活動狀態下。
6. 如請求項5之自動化測試設備，其中該等不同的較低活動狀態中之至少一者為一如下狀態：一測試器子單元在置於此狀態下時保持於其規範限值內，或超出其規範限值外，但在由該控制單元置回一較高活動狀態下之後能夠自動地返回其規範限值內。
7. 如請求項5或6之自動化測試設備，其中該等不同的較低活動狀態中之至少一者為一如下狀態：一測試器子單元在置於此較低活動狀態下時經撤銷啟動。
8. 如請求項1至7中任一項之自動化測試設備，其中該控制單元經組配以執行一測試程式，且在需要當前處於一較低活動狀態下之一測試器子單元以用於執行該測試程式之一指令時將該測試器子單元置於一較高活動狀態下。
9. 如請求項8之自動化測試設備，其中該控制單元經組配以在需要一第一測試器子單元以用於執行該測試程式之一指令時，在該控制單元令該第一測試器子單元執行該測試程式之該指令之前，將該第一測試器子單元置於該較高活動狀態下且等 待直至該第一測試器子單元返回其規範內，該第一測試器子單元在處於該較低活動狀態下時超出其規範限值外。
10. 如請求項8或9之自動化測試設備，其中該控制器經組配以掃描該測試程式，從而查看一即將來臨之測試器子單元利用，且在需要一第二測試器子單元以用於執行該測試程式之一指令之前，將該第二測試器子單元置於該較高活動狀態下，使得在該測試程式之該指令經執行時，該第二測試器子單元已返回其規範限值內，該第二測試器子單元在處於該較低活動狀態下時超出其規範限值外。
11. 如請求項1至10中任一項之自動化測試設備，其中該等多個測試器子單元之該等測試器子單元中的至少一者經組配以將一規範中信號提供至該控制單元，該規範中信號用信號通知該對應測試器子單元當前是否在其規範限值內。
12. 如請求項11之自動化測試設備，其中該至少一個測試器子單元經組配以用信號通知其是否超出其規範限值外：當該測試器子單元或此測試器子單元之冷卻水的溫度超出校準該測試器子單元所依據之一範圍時；當該測試器子單元內之某一時脈頻率超出其校準值時；或當此測試器子單元之一回送測試或一板參考測試 未通過時。
13. 如請求項1至12中任一項之自動化測試設備，其中該等測試器子單元中之至少一者為用於冷卻或加熱該等多個測試器子單元中之至少另一者的一冷卻泵。
14. 如請求項13之自動化測試設備其中該控制單元經組配以取決於對該等測試器子單元中之剩餘者的一當前需求而連續地調整該冷卻泵之一冷卻功率。
15. 如請求項1至14中任一項之自動化測試設備，其中該等測試器子單元中之至少一者為用於連接至該受測裝置之一測試頭。
16. 一種用於測試一受測裝置之方法，該方法包含：取決於對用於測試一受測裝置之一自動化測試設備之一測試器子單元的一當前需求而將該測試器子單元置於一較低活動狀態下。
17. 一種電腦程式，其具有用於在執行於一電腦上時執行如請求項16之方法的一程式碼。