JP2023136764A - 被着体処理方法および被着体処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体の不処理領域に極力所定の処理が及ばないようにすることができる被着体処理方法および被着体処理装置を提供すること。
【解決手段】被着体ＷＫに所定の処理を施す被着体処理装置ＥＡにおいて、被着体ＷＫにおける所定の領域を不処理領域ＷＫ１とし、所定の処理が及ばないように当該不処理領域ＷＫ１に接着シートＡＳを貼付するシート貼付手段１０と、被着体ＷＫに所定の処理を施す処理手段３０とを備え、接着シートＡＳは、所定のエネルギーＨＡによって変形可能とされ、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに所定のエネルギーＨＡを付与し、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように接着シートＡＳを変形させるエネルギー付与手段２０をさらに備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、被着体処理方法および被着体処理装置に関する。

被着体の所定の領域を不処理領域とし、当該不処理領域に所定の処理が及ばないように接着シートを貼付して、当該被着体に所定の処理を施す被着体処理補法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６－１１５８６８号公報

特許文献１に記載された半導体装置の製造方法（被着体処理方法）では、半導体基板１０１０（被着体）における外周部を不処理領域とし、めっき処理（所定の処理）が及ばないように当該不処理領域にフィルム１１００（接着シート）を貼付する場合、不処理領域の平面形状や凹凸形状等に合わせて接着シートを強制的に変形させて貼付すると、当該接着シートの外縁部に浮き上がり部ができ易くなり、この浮き上がり部によって不処理領域に所定の処理が及んでしまうという不都合を発生する。

本発明の目的は、被着体の不処理領域に極力所定の処理が及ばないようにすることができる被着体処理方法および被着体処理装置を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを用い、不処理領域の面形状に倣うように当該接着シートを変形させるので、接着シートの外縁部に浮き上がり部が形成されることが抑制され、被着体の不処理領域に極力所定の処理が及ばないようにすることができる。

本発明の一実施形態に係る被着体処理装置の説明図および同装置の動作説明図。 被着体処理装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＤＲ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の被着体処理装置ＥＡは、被着体ＷＫに所定の処理としてのめっき処理を施す装置であって、被着体ＷＫにおける所定の領域としての外縁部を不処理領域ＷＫ１とし、めっき処理が及ばないように当該不処理領域ＷＫ１に接着シートＡＳを貼付するシート貼付工程を実施するシート貼付手段１０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての熱（熱気ＨＡ）を付与し、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように接着シートＡＳを変形させるエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段２０と、被着体ＷＫにめっき処理を施す処理工程を実施する処理手段３０と、めっき処理が行われた被着体ＷＫに分離ラインとしての切込ＣＵ（図２（Ａ）参照）を形成し、不処理領域ＷＫ１を含む第１被着体部分ＷＫＡ（図２（Ｂ）参照）および当該第１被着体部分ＷＫＡ以外の第２被着体部分ＷＫＢに被着体ＷＫを区分する区分工程を実施する区分手段４０と、被着体ＷＫから第１被着体部分ＷＫＡを除去する不処理領域除去工程を実施する不処理領域除去手段５０とを備え、被着体ＷＫを搬送する搬送工程を実施する搬送手段６０の近傍に配置されている。
なお、接着シートＡＳは、接着シート用意工程において所定のエネルギーとしての熱（熱気ＨＡ）によって変形可能なものが用意される。
また、本実施形態の被着体ＷＫは、図１（Ａ）中付番ＡＡを付した図に示すように、一方の面ＷＫ２と他方の面ＷＫ３とを備え、基準位置ＷＫＲを中心とする円形形状となっており、他方の面ＷＫ３には、環状の凸部ＣＶが設けられ、当該環状の凸部ＣＶが設けられた外縁部が不処理領域ＷＫ１とされる。
さらに、本実施形態の被着体ＷＫは、環状の凸部ＣＶを含む他方の面ＷＫ３側にカバーシートＣＳが貼付されている。

シート貼付手段１０は、当該シート貼付手段１０を構成する構成物を直接的または間接的に支持するベースプレート１１と、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１２と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１３と、剥離縁１４Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１４と、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ１５と、駆動機器としての回動モータ１６Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１６Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１６と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、被着体処理装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１６Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１７と、接着シートＡＳを被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２および他方の面ＷＫ３に押圧する再押圧手段としての上下一対の再押圧ローラ１８とを備えている。

エネルギー付与手段２０は、駆動機器としての直動モータ２１と、その出力軸２１Ａに支持され、大気やガス等の気体を加熱して熱気ＨＡを生成するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱機器２２と、加熱機器２２で生成した熱気ＨＡを排気口２３Ａから送風する送風機器２３とを備え、凸部ＣＶを含む不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように接着シートＡＳを変形させるようになっている。

処理手段３０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム３１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な変位手段である駆動機器としての所謂多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａが接続可能な第１支持部材３２Ａが設けられた搬送アーム３２と、搬送アーム３２に支持され、ゴムや樹脂等の弾性材料で構成された当接部材３３と、搬送アーム３２に支持された駆動機器としての回動モータ３４（保持手段）と、その出力軸３４Ａに支持されたチャック爪３５と、駆動機器としてのリニアモータ３６のスライダ３６Ａに支持され、被着体ＷＫを収容可能な収容部材３７と、めっき用水溶液３８Ａを貯蔵するめっき槽３８とを備えている。リニアモータ３６は、めっき槽３８に貯蔵されためっき用水溶液３８Ａの上方である初期位置に配置された収容部材３７を下降させ、当該収容部材３７で収容しているものをめっき用水溶液３８Ａに浸漬させる構成となっている。

区分手段４０は、処理手段３０と共有する変位手段である駆動機器としての多関節ロボット３１と、先端アーム３１Ａが接続可能な第２支持部材４１Ａが設けられた切断アーム４１と、切断アーム４１に支持され、被着体ＷＫに切込ＣＵを形成可能な切断手段としての切断刃４２と、上面４３Ａにチャック爪３５の逃げ溝４３Ｂが形成された基台４３と、上面４３Ａに形成され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面４４Ａを有し、当該保持面４４Ａに環状の凹溝４４Ｂが形成された円形の載置台４４とを備えている。
なお、本実施形態では、区分手段４０は、第２被着体部分ＷＫＢに接着シートＡＳの一部が貼付された状態となるように切込ＣＵを形成するようになっている。

不処理領域除去手段５０は、処理手段３０および区分手段４０と共有する変位手段である駆動機器としての多関節ロボット３１と、処理手段３０と共有する搬送アーム３２と、当接部材３３と、回動モータ３４と、チャック爪３５とを備えている。

搬送手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１と、そのスライダ６１Ａに支持された駆動機器としての回動モータ６２と、その出力軸６２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面６３Ａを有する支持テーブル６３とを備えている。支持テーブル６３は、回動モータ６２の回転中心６２Ｒを中心として当該回動モータ６２によって回転する構成となっている。

以上の被着体処理装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された被着体処理装置ＥＡに対し、当該被着体処理装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中実線で示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１６Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＷＫＲが回動モータ６２の回転中心６２Ｒと重なるように、被着体ＷＫを保持面６３Ａ上に載置すると、搬送手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面６３Ａでの吸着保持を開始する。

その後、搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、図１（Ａ）中符号ＣＣを付した位置に被着体ＷＫが到達すると、リニアモータ６１の駆動を停止する。この際、被着体ＷＫは、後側の外縁が押圧ローラ１５の外縁に当接するとともに、前側の外縁部が、図１（Ｂ）に示すように、一対の再押圧ローラ１８で挟み込まれた状態となる。次に、エネルギー付与手段２０が直動モータ２１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、送風機器２３を被着体ＷＫの外縁に接近させた後、加熱機器２２および送風機器２３を駆動し、排気口２３Ａからの熱気ＨＡの送風を開始する。

そして、搬送手段６０が回動モータ６２を駆動し、支持テーブル６２を反時計回転方向ＲＤに回転させるとともに、シート貼付手段１０が回動モータ１６Ａを駆動し、被着体ＷＫの外縁の回転速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ１５によって被着体ＷＫの外縁に押圧され、図１（Ｂ）に示すように、はみ出し領域ＡＳＨが形成された状態で当該被着体ＷＫの外縁に貼付されていく。次いで、被着体ＷＫの外縁に貼付された接着シートＡＳが排気口２３Ａの前方を通過すると、当該接着シートＡＳは、熱気ＨＡによって加熱され、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、はみ出し領域ＡＳＨが変形を起こし、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように変形して被着体ＷＫに接着していく。その後、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように変形したはみ出し領域ＡＳＨが再押圧ローラ１８間を通過すると、当該はみ出し領域ＡＳＨは、再押圧ローラ１８によって押圧され、当該不処理領域ＷＫ１に圧着されていく。

次に、被着体ＷＫの反時計回転方向ＲＤの回転が１回転を超え、先頭の接着シートＡＳの繰出方向後端部が同接着シートＡＳの繰出方向前端部に重なるように貼付された後、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が、剥離板１４の剥離縁１４Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段１０が回動モータ１６Ａの駆動を停止する。そして、接着シートＡＳの繰出方向後端部が排気口２３Ａの前方を通過し、当該繰出方向後端部が同接着シートＡＳの繰出方向前端部に倣うように変形して一体物ＵＰが形成されると、エネルギー付与手段２０が加熱機器２２および送風機器２３の駆動を停止した後、直動モータ２１を駆動し、送風機器２３を初期位置に復帰させる。次いで、接着シートＡＳの繰出方向後端部が再押圧ローラ１８間を通過すると、搬送手段６０が回動モータ６２の駆動を停止する。

その後、搬送手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、図１（Ａ）中符号ＤＤを付した位置に一体物ＵＰが到達すると、リニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面６３Ａでの吸着保持を解除する。次に、処理手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａを第１支持部材３２Ａに接続して搬送アーム３２を支持し、当接部材３３を一体物ＵＰの上面に当接させた後、回動モータ３４を駆動し、チャック爪３５と当接部材３３とで一体物ＵＰを把持する（図２（Ｂ）参照）。そして、処理手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、一体物ＵＰを収容部材３７内に収容すると、回動モータ３４を駆動し、チャック爪３５と当接部材３３とでの一体物ＵＰの把持を解除した後、多関節ロボット３１を駆動し、搬送アーム３２を収容部材３７から退避させる。次いで、処理手段３０がリニアモータ３６を駆動し、収容部材３７を下降させて一体物ＵＰをめっき用水溶液３８Ａに浸漬させ、当該一体物ＵＰにめっきを施す。

一体物ＵＰへのめっきが完了すると、処理手段３０がリニアモータ３６を駆動し、収容部材３７を初期位置に復帰させた後、当該処理手段３０が上記と同様の動作でチャック爪３５と当接部材３３とで一体物ＵＰを把持する。その後、処理手段３０が多関節ロボット３１を駆動し、基準位置ＷＫＲが載置台４４の中心４４Ｒと重なるように、一体物ＵＰを保持面４４Ａ上に載置すると（図２（Ｂ）参照）、区分手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面４４Ａでの吸着保持を開始する。次に、処理手段３０が回動モータ３４を駆動し、チャック爪３５と当接部材３３とでの一体物ＵＰの把持を解除した後、多関節ロボット３１を駆動し、搬送アーム３２を初期位置に復帰させる。

そして、区分手段４０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａを第２支持部材４１Ａに接続して切断アーム４１を支持し、図２（Ａ）に示すように、接着シートＡＳ越しに切断刃４２を一体物ＵＰに突き刺して、その先端部を凹溝４４Ｂ内に入り込ませる。次いで、区分手段４０が多関節ロボット３１を駆動し、載置台４４の中心４４Ｒを中心に切断刃４２を１回転以上回転させて円環状の切込ＣＵを形成し、接着シートＡＳが貼付された不処理領域ＷＫ１を含む第１被着体部分ＷＫＡと、外縁部に接着シートＡＳの一部が貼付された第２被着体部分ＷＫＢとに一体物を区分した後、切断アーム４１を初期位置に復帰させる。なお、このように外縁部に接着シートＡＳの一部が貼付された第２被着体部分ＷＫＢとすることで、例えば、被着体ＷＫが脆弱な材質のものであった場合でも、切込ＣＵが形成される際に、当該第２被着体部分ＷＫＢの外縁部や第１被着体部分ＷＫＡの内縁部が損傷することを防止することができる上、例え第２被着体部分ＷＫＢの外縁部や第１被着体部分ＷＫＡの内縁部が、切込ＣＵが形成される際に損傷したとしても、損傷によって形成された破片が周囲に散乱することを防止することもできる。

その後、不処理領域除去手段５０が多関節ロボット３１を駆動し、先端アーム３１Ａを第１支持部材３２Ａに接続して搬送アーム３２を支持し、図２（Ｂ）に示すように、当接部材３３を第１被着体部分ＷＫＡの上面に当接させた後、回動モータ３４を駆動し、チャック爪３５と当接部材３３とで第１被着体部分ＷＫＡを把持する。次に、不処理領域除去手段５０が多関節ロボット３１を駆動し、第１被着体部分ＷＫＡを図示しない回収領域に搬送した後、搬送アーム３２および多関節ロボット３１の各アームを初期位置に復帰させる。そして、区分手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面４４Ａでの吸着保持を解除すると、使用者または図示しない搬送手段が第２被着体部分ＷＫＢを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、熱気ＨＡによって変形可能な接着シートＡＳを用い、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように当該接着シートＡＳを変形させるので、接着シートＡＳの外縁部に浮き上がり部が形成されることが抑制され、被着体ＷＫの不処理領域ＷＫ１に極力めっき処理が及ばないようにすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、処理手段は、被着体に所定の処理を施すことができるものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

シート貼付手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出し、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離して貼付してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出し、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離して貼付してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出し、当該帯状の接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離して貼付してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出し、当該接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、押圧ローラ１５の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートＡＳを保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよいし、不処理領域ＷＫ１が一方の面ＷＫ２側のみ、または、他方の面ＷＫ３側のみとされた場合、はみ出し領域ＡＳＨが一方の面ＷＫ２側のみまたは、他方の面ＷＫ３側のみにはみ出るように接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよいし、被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付してもよいし、真空を含む減圧雰囲気を形成する減圧手段を備え、当該減圧雰囲気内で不処理領域ＷＫ１に接着シートＡＳを貼付する構成としてもよいし、接着シートＡＳを一方の面ＷＫ２側のみに押圧する再押圧手段や、他方の面ＷＫ３側のみに押圧する再押圧手段が採用されてもよいし、再押圧手段が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
上記の実施形態では、不処理領域ＷＫ１の形状（被着体ＷＫの外縁の形状）となるように接着シートＡＳを変形させ、当該接着シートＡＳを不処理領域ＷＫ１に貼付するシート貼付手段１０を例示したが、シート貼付手段１０は、予め不処理領域の形状（例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２側の外縁部の形状や、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ３側の中央部の形状等）とされた接着シートＡＳを不処理領域に貼付するものでもよい。

エネルギー付与手段２０は、接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や冷風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該接着シートＡＳを変形可能なエネルギーであれば何でもよいし、同じエネルギーを所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーを１または複数で付与するものでもよいし、異なるエネルギーを所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーを１または複数で付与するものでもよいし、被着体ＷＫに離間接近しなくてもよいし、支持テーブル６３の内部に配置されていてもよいし、接着シートＡＳの上方、下方または斜方から当該接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを移動させずにまたは移動させつつ、自らが移動して当該接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与してもよいし、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに一括で所定のエネルギーを付与してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨが不処理領域ＷＫ１方向に変形するように誘導するガイドシャフトやローラ等の誘導手段を備えていてもよいし、真空を含む減圧雰囲気を形成する減圧手段を備え、当該減圧雰囲気内で被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳに所定のエネルギーを付与し、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように接着シートＡＳを変形させる構成としてもよい。

処理手段３０は、被着体ＷＫに電解めっきを施すものや無電解めっきを施すものの他、被着体ＷＫにサンドブラスト、塗装、エッチング、彫刻、切断、穴あけ、部品取り付け、加熱、冷却等を施すもの等、どのような処理機器が採用されてもよいし、変位手段を区分手段４０および不処理領域除去手段５０のうち少なくとも一方と共有することなく、他の部材で上記と同等の動作が可能な変位手段を採用してもよいし、搬送アーム３２、当接部材３３、回動モータ３４およびチャック爪３５を不処理領域除去手段５０と共有することなく、他の部材で上記と同等の動作が可能なものを採用してもよいし、一体物ＵＰを１体だけまたは複数収容可能な収容部材３７が採用されてもよいし、一体物ＵＰを１体だけまたは複数同時にめっき可能（処理可能）なめっき槽３８（処理機器）が採用されてもよい。

区分手段４０は、変位手段を処理手段３０および不処理領域除去手段５０のうち少なくとも一方と共有することなく、他の部材で上記と同等の動作が可能な変位手段を採用してもよいし、切断手段を移動させずにまたは移動させつつ被着体ＷＫを移動させ、当該被着体ＷＫに切込ＣＵを形成してもよいし、第２被着体部分ＷＫＢにおける一方の面ＷＫ２側のみに接着シートＡＳの一部が貼付された状態となるように切込ＣＵを形成してもよいし、第２被着体部分ＷＫＢにおける他方の面ＷＫ３側のみに接着シートＡＳの一部が貼付された状態となるように切込ＣＵを形成してもよいし、第２被着体部分ＷＫＢに接着シートＡＳの一部が貼付されていない状態となるように切込ＣＵを形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁に沿うように切込ＣＵを形成してもよいし、被着体ＷＫの外縁に沿わないように切込ＣＵを形成してもよいし、本発明の被着体処理装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
本発明における分離ラインとは、被着体ＷＫや接着シートＡＳ等の被切断物を貫通する切込が連続的に続くことで、当該被切断物が完全に分離した完全な分離ラインの他、例えば、被切断物を貫通する切込が断続的に続くことで当該被切断物が部分的に繋がった状態の不完全な分離ライン、被切断物を貫通することのない切込が連続的または断続的に続く不完全な分離ライン、被切断物にレーザ、電磁波、熱、薬品、化学物質等を付与して当該被切断物の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更して脆弱化させた脆弱部が連続的または断続的に続く不完全な分離ラインおよび、被切断物を貫通する切込と当該被切断物を貫通することのない切込と脆弱部との少なくとも２つが規則的または不規則的に続く不完全な分離ライン等を含むものとする。なお、上記のような不完全な分離ラインは、振動、張力、光、熱、薬品等が付与されることで完全な分離ラインとなるので、本発明の被着体処理方法および被着体処理装置ＥＡでは、上記のような不完全な分離ラインを完全な分離ラインとする振動、張力、光、熱、薬品等を付与する完全分離工程および完全分離装置を採用することができる。

不処理領域除去手段５０は、変位手段を処理手段３０および区分手段４０のうち少なくとも一方と共有することなく、他の部材で上記と同等の動作が可能な変位手段を採用してもよいし、搬送アーム３２、当接部材３３、回動モータ３４およびチャック爪３５を処理手段３０と共有することなく、他の部材で上記と同等の動作が可能なものを採用してもよいし、第２被着体部分ＷＫＢが次工程に搬送された後に、第１被着体部分ＷＫＡを載置台４４上から除去してもよいし、本発明の被着体処理装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

搬送手段６０は、支持テーブル６３を移動させることなくまたは移動させつつ、シート貼付手段１０を移動させ、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、本発明の被着体処理装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

本発明の被着体処理方法および被着体処理装置ＥＡは、被着体ＷＫに電解めっきや無電解めっきを施すめっき処理方法およびめっき処理装置の他、サンドブラスト方法およびサンドブラスト装置、塗装方法および塗装装置、エッチング方法およびエッチング装置、彫刻方法および彫刻装置、切断方法および切断装置、穴あけ方法および穴あけ装置、部品取り付け方法および部品取り付け装置、加熱方法および加熱装置、冷却方法および冷却装置等、どのような処理方法および処理装置でもよい。

接着シート用意工程では、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や冷風等の所定のエネルギーによって変形可能な接着シートＡＳが用意されてもよいし、接着シートＡＳを構成する基材のみが所定のエネルギーによって変形するものが用意されてもよいし、接着シートＡＳを構成する接着剤層のみが所定のエネルギーによって変形するものが用意されてもよいし、接着シートＡＳを構成する基材と接着剤層との両方が所定のエネルギーによって変形するものが用意されてもよいし、接着剤層上に積層された基材上に所定のエネルギーによって変形するものが積層された接着シートＡＳが用意されてもよいし、接着剤層上に基材が積層されたベース材をシート貼付手段１０で繰り出し、このベース材の繰り出しの途中で、当該基材上に所定のエネルギーによって変形するものを積層することで、所定のエネルギーによって変形化可能な接着シートＡＳを用意してもよいし、所定のエネルギーによって収縮を伴って変形したり、膨張を伴って変形したり、収縮も膨張も伴うことなく変形したりする接着シートＡＳが用意されてもよいし、所定のエネルギーとしての異なるエネルギーそれぞれによって、異なる変形を起こす接着シートＡＳが用意されてもよく、この場合、エネルギー付与手段は、第１のエネルギーを付与する第１のエネルギー付与工程を実施する第１のエネルギー付与手段と、第２のエネルギーを付与する第２のエネルギー付与工程を実施する第２のエネルギー付与手段とを備え、不処理領域ＷＫ１の面形状に倣うように接着シートＡＳを変形させる構成とすることができる。
被着体ＷＫは、外縁部に環状の凸部ＣＶが設けられていなくてもよいし、環状の凸部ＣＶを含まない他方の面ＷＫ３にカバーシートＣＳが貼付されていてもよいし、一方の面ＷＫ２および他方の面ＷＫ３の少なくとも一方にカバーシートＣＳが貼付されていてもよいし、一方の面ＷＫ２および他方の面ＷＫ３の両方にカバーシートＣＳが貼付されていなくてもよい。
不処理領域ＷＫ１は、被着体ＷＫの外縁部やその他領域でもよいし、被着体ＷＫの外縁部やその他領域のうちの一部の領域でもよく、例えば、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２側の外縁部のみや、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ３側の外縁部のみや、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２側の中央部のみや、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ３側の中央部のみ等、どこでもよいし、凹部を含む領域でもよいし、凸部ＣＶや凹部等の凹凸を含まない領域でもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２側や他方の面ＷＫ３側の外縁部や中央部を含む任意の位置でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、カバーシートＣＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、カバーシートＣＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳやカバーシートＣＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳやカバーシートＣＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳやカバーシートＣＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳやカバーシートＣＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳやカバーシートＣＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…被着体処理装置
１０…シート貼付手段
２０…エネルギー付与手段
３０…処理手段
４０…区分手段
ＡＳ…接着シート
ＣＵ…切込（分離ライン）
ＣＶ…凸部
ＨＡ…熱気（所定のエネルギー）
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…不処理領域
ＷＫＡ…第１被着体部分
ＷＫＢ…第２被着体部分

Claims (5)

1. 被着体に所定の処理を施す被着体処理方法において、
   前記被着体における所定の領域を不処理領域とし、前記所定の処理が及ばないように当該不処理領域に接着シートを貼付するシート貼付工程と、
   前記被着体に前記所定の処理を施す処理工程とを実施し、
   前記接着シートとして、所定のエネルギーによって変形可能なものを用意する接着シート用意工程と、
   前記処理工程の前段で、前記被着体に貼付された前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与し、前記不処理領域の面形状に倣うように前記接着シートを変形させるエネルギー付与工程とをさらに実施することを特徴とする被着体処理方法。
2. 前記所定の処理が行われた前記被着体に分離ラインを形成し、前記不処理領域を含む第１被着体部分および当該第１被着体部分以外の第２被着体部分に前記被着体を区分する区分工程を実施することを特徴とする請求項１に記載の被着体処理方法。
3. 前記被着体は、環状の凸部が設けられた外縁部が前記不処理領域とされ、
   前記エネルギー付与工程では、前記凸部を含む前記不処理領域の面形状に倣うように前記接着シートを変形させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被着体処理方法。
4. 前記区分工程では、前記第２被着体部分に前記接着シートの一部が貼付された状態となるように前記分離ラインを形成することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の被着体処理方法。
5. 被着体に所定の処理を施す被着体処理装置において、
   前記被着体における所定の領域を不処理領域とし、前記所定の処理が及ばないように当該不処理領域に接着シートを貼付するシート貼付手段と、
   前記被着体に所定の処理を施す処理手段とを備え、
   前記接着シートは、所定のエネルギーによって変形可能とされ、
   前記被着体に貼付された前記接着シートに前記所定のエネルギーを付与し、前記不処理領域の面形状に倣うように前記接着シートを変形させるエネルギー付与手段をさらに備えていることを特徴とする被着体処理装置。