DE102022213134A1

DE102022213134A1 - Werkstückbehandlungsverfahren und Werkstückbehandlungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102022213134A1
Application number: DE102022213134.7A
Authority: DE
Inventors: Tadatomo Yamada
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2022-03-17
Filing date: 2022-12-06
Publication date: 2023-09-21
Also published as: CN116798906A; TW202338949A; JP2023136764A

Abstract

[Aufgabe] Bereitstellung eines Werkstückbehandlungsverfahrens und einer Werkstückbehandlungsvorrichtung, durch die erreicht wird, dass eine bestimmte Behandlung in einem Nichtbehandlungsbereich eines Werkstücks nach Möglichkeit nicht erfolgt.
[Lösung] Werkstückbehandlungsvorrichtung EA zum Ausführen einer bestimmten Behandlung bei einem Werkstück WK, umfassend ein Folienaufklebemittel 10, durch das unter der Vorgabe eines bestimmten Bereichs bei einem Werkstück WK als einem Nichtbehandlungsbereich WK1 eine Klebefolie AS auf den Nichtbehandlungsbereich WK1 aufgeklebt wird, sodass sich die bestimmte Behandlung nicht hierauf erstreckt, und ein Behandlungsmittel 30 zum Ausführen einer bestimmten Behandlung bei dem Werkstück WK, wobei die Klebefolie AS durch eine bestimmte Energie HA verformbar ist, und außerdem ein Energiezuführmittel 20 umfasst ist, durch das der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wurde, eine bestimmte Energie HA erteilt wird, und die Klebefolie AS die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmend verformt wird

Description

[Technisches Gebiet]
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Werkstückbehandlungsverfahren und eine Werkstückbehandlungsvorrichtung.
[Hintergrundtechnologie]
Ein Verfahren zur Behandlung eines Werkstücks, bei dem ein Werkstück einer bestimmten Behandlung unterzogen wird, wobei ein bestimmter Bereich des Werkstücks als Nichtbehandlungsbereich angesehen wird, und der Nichtbehandlungsbereich mit einer Klebefolie beklebt wird, damit sich die bestimmte Behandlung nicht hierauf erstreckt, ist bekannt (vgl. beispielsweise Patentdokument 1).
[Dokumente des Standes der Technik]
[Patentdokumente]
[Patentdokument 1] Patentveröffentlichung Nr. JP 2016-115868 A
[Zusammenfassung der Erfindung]
[Durch die Erfindung zu lösende Aufgabe]
Bei dem im Patentdokument 1 angegebenen Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung (Werkstückbehandlungsverfahren) wird, wenn der Außenumfang bei einem Halbleitersubstrat 1010 (Werkstück) als Nichtbehandlungsbereich angesehen wird, und der Nichtbehandlungsbereich mit einer Folie 1100 (Klebefolie) beklebt wird, damit sich eine Plattierung (bestimmte Behandlung) nicht hierauf erstreckt, die Klebefolie durch ein zwangsweises Verformen an die ebene Form oder Unebenheiten des Nichtbehandlungsbereichs angepasst aufgeklebt, sodass sich am Außenrand der Klebefolie leicht ein hochstehender Abschnitt bilden kann, und sich der Nachteil ergibt, dass sich aufgrund des hochstehenden Abschnitts die bestimmte Behandlung auch auf den Nichtbehandlungsbereich erstreckt.
Durch die vorliegende Erfindung wird beabsichtigt, ein Werkstückbehandlungsverfahren und eine Werkstückbehandlungsvorrichtung bereitzustellen, durch die erreicht wird, dass eine bestimmte Behandlung in einem Nichtbehandlungsbereich eines Werkstücks nach Möglichkeit nicht erfolgt.
[Mittel zum Lösen der Aufgabe]
Die vorliegende Erfindung verwendet in den Ansprüchen angegebene Strukturen.
[Effekte der Erfindung]
Der vorliegenden Erfindung zufolge wird eine Klebefolie verwendet, die durch eine bestimmte Energie verformbar ist, wobei die Klebefolie die Oberflächenform eines Nichtbehandlungsbereichs nachahmend verformt wird, sodass die Bildung eines hochstehenden Abschnitts am Außenrand der Klebefolie unterdrückt und dafür gesorgt werden kann, dass eine bestimmte Behandlung im Nichtbehandlungsbereich eines Werkstücks nach Möglichkeit nicht erfolgt.
[Kurze Erläuterung der Figuren]

[1] 1 sind erläuternde Ansichten einer Werkstückbehandlungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und erläuternde Ansichten des Betriebs dieser Vorrichtung.
[2] 2 sind erläuternde Ansichten des Betriebs der Werkstückbehandlungsvorrichtung.

[Formen zur Ausführung der Erfindung]
Im Folgenden wird anhand der Zeichnungen eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert.
Bei der vorliegenden Ausführungsform befinden sich die X-Achse, Y-Achse und Z-Achse jeweils in einer orthogonalen Beziehung zueinander, wobei vorgegeben ist, dass die X-Achse und die Y-Achse in einer bestimmten Ebene liegen, und die Z-Achse eine zu der bestimmten Ebene orthogonale Achse ist. Ferner handelt es sich bei der vorliegenden Ausführungsform, wenn eine Richtung ohne Hinweis auf eine Zeichnung basierend auf einer Betrachtung aus einer zur Y-Achse parallelen Pfeilrichtung DR angezeigt wird, bei „oben“ um die Pfeilrichtung der Z-Achse, bei „unten“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „links“ um die Pfeilrichtung der X-Achse, bei „rechts“ um deren entgegengesetzte Richtung, bei „vorne“ um die zur Y-Achse parallele vordere Richtung in 1 und bei „hinten“ um deren entgegengesetzte Richtung.
Eine Werkstückbehandlungsvorrichtung EA der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung, durch die bei einem Werkstück WK eine Plattierung als eine bestimmte Behandlung ausgeführt wird, wobei diese ein Folienaufklebemittel 10, durch das unter der Vorgabe eines Außenrandes als einem Nichtbehandlungsbereich WK1 eines bestimmten Bereichs des Werkstücks WK ein Folienaufklebeschritt ausgeführt wird, in welchem eine Klebefolie AS auf den Nichtbehandlungsbereich WK1 aufgeklebt wird, sodass sich die Plattierung nicht hierauf erstreckt, ein Energiezuführmittel 20, das einen Energiezuführschritt ausführt, in dem Wärme (Heißluft HA) als eine bestimmte Energie der auf das Werkstück WK aufgeklebten Klebefolie AS zugeführt wird, und die Klebefolie AS die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmend verformt wird, ein Behandlungsmittel 30, das einen Behandlungsschritt ausführt, in dem das Werkstück WK einer Plattierung unterzogen wird, ein Unterteilungsmittel 40, durch das ein Unterteilungsschritt ausgeführt wird, in dem ein Einschnitt CU (vgl. 2A) als Trennlinie in dem Werkstück WK gebildet wird, das der Plattierung unterzogen wurde, und das Werkstück WK in einen den Nichtbehandlungsbereich WK1 umfassenden ersten Werkstückabschnitt WKA (vgl. 2B) und einen zweiten Werkstückabschnitt WKB ohne den ersten Werkstückabschnitt WKA unterteilt wird, und ein Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50, das einen Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsschritt ausführt, in dem der erste Werkstückabschnitt WKA von dem Werkstück WK beseitigt wird, umfasst, und in der Nähe eines Transportmittels 60 angeordnet ist, das einen Transportschritt ausführt, in dem das Werkstück WK transportiert wird.
In einem Klebefolien-Vorbereitungsschritt wird eine Klebefolie AS vorbereitet, die durch Wärme (Heißluft HA) als eine bestimmte Energie verformbar ist.
Wie in 1A durch AA gekennzeichnet dargestellt, umfasst das Werkstück WK der vorliegenden Ausführungsform eine erste Fläche WK2 und eine zweite Fläche WK3, wobei sich eine Kreisform mit einer Referenzposition WKR im Zentrum ergibt, in der zweiten Fläche WK3 ringförmige Vorsprünge CV vorgesehen sind, und der Außenrand, an dem die ringförmigen Vorsprünge CV vorgesehen sind, als Nichtbehandlungsbereiche WK1 angesehen werden.
Bei dem Werkstück WK der vorliegenden Ausführungsform ist auf der Seite der zweiten Fläche WK3, welche die ringförmigen Vorsprünge CV umfasst, eine Abdeckfolie CS aufgeklebt.
Das Folienaufklebemittel 10 umfasst eine Basisplatte 11, welche die Komponenten, aus denen das Folienaufklebemittel 10 besteht, direkt oder indirekt trägt, eine Trägerrolle 12, die eine Rohfolie RS trägt, bei der die Klebefolie AS vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, eine die Rohfolie RS führende Führungsrolle 13, eine Abziehplatte 14 als Abziehmittel, durch welches die Abziehfolie RL an einem Abziehrand 14A umgeschlagen und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen wird, eine Andrückrolle 15, die als Andrückmittel die Klebefolie AS an das Werkstück WK andrückt und auf dieses aufklebt, eine Antriebsrolle 16, die an einer nicht dargestellten Abtriebswelle eines Drehmotors 16A als Antriebsgerät getragen wird und mittels einer Klemmrolle 16B die Abziehfolie RL einklemmt, eine Einsammelrolle 17 als Einsammelmittel, die an der Abtriebswelle eines nicht dargestellten Antriebsgeräts getragen wird und während der Durchführung eines automatischen Betriebs der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA der sich zwischen der Klemmrolle 16B befindenden Abziehfolie RL stets eine bestimmte Spannung erteilt und die Abziehfolie RL einsammelt, und oben und unten ein Paar Wiederandrückrollen 18 als Wiederandrückmittel, durch das die Klebefolie AS an die erste Fläche WK2 und die zweite Fläche WK3 des Werkstücks WK angedrückt wird.
Das Energiezuführmittel 20 umfasst einen Gleichstrommotor 21 als Antriebsgerät, ein an deren Abtriebswelle 21 A getragenes Heizgerät 22 wie die Heizseite einer Heizspirale oder eines Heizrohrs usw., das eine gasförmige Materie wie Luft, Gas usw. erwärmt und Heißluft HA erzeugt, und ein Heißluftgebläse 23, das die durch das Heizgerät 22 erzeugte Heißluft HA aus einer Ausstoßöffnung 23A ausbläst, wodurch dafür gesorgt wird, dass die Klebefolie AS die Oberflächenform des den Vorsprung CV umfassenden Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmend verformt wird.
Das Behandlungsmittel 30 umfasst einen aus einer Mehrzahl von Armen bestehenden so genannten mehrgelenkigen Roboter 31 als Antriebsgerät, bei dem es sich um ein Verschiebungsmittel handelt, das in dessen Arbeitsbereich einen Gegenstand, der durch einen Vorderendarm 31 A als Arbeitsabschnitt getragen wird, an eine beliebige Position und in einem beliebigen Winkel verschieben kann, einen Transportarm 32, an dem eine erste Trägerkomponente 32A vorgesehen ist, die mit dem Vorderendarm 31 A verbindbar ist, eine Kontaktkomponente 33, die von dem Transportarm 32 getragen wird und aus einem elastischen Material wie Kautschuk, Harz usw. besteht, einen Drehmotor 34 (Haltemittel) als Antriebsmittel, das von dem Transportarm 32 getragen wird, eine an deren Abtriebswelle 34A getragene Spannfutterbacke 35, eine an einem Schieber 36A eines Linearmotors 36 als Antriebsgerät getragene Aufnahmekomponente 37, in die das Werkstück WK aufgenommen werden kann, und eine Plattierungswanne 38 zum Lagern einer wässrigen Plattierungslösung 38A. Der Linearmotor 36 ist derart aufgebaut, dass er die Aufnahmekomponente 37, die an einer Anfangsposition oberhalb der in der Plattierungswanne 38 gelagerten wässrigen Plattierungslösung 38A positioniert ist, absenkt, sodass der in der Aufnahmekomponente 37 aufgenommene Gegenstand in die wässrige Plattierungslösung 38A eingetaucht wird.
Das Unterteilungsmittel 40 umfasst den mehrgelenkigen Roboter 31 als Antriebsgerät in Form eines mit dem Behandlungsmittel 30 gemeinsam verwendeten Verschiebungsmittels, einen Schneidearm 41, der an einer zweite Trägerkomponente 41 A vorgesehen ist, die mit dem Vorderendarm 31 A verbindbar ist, eine an dem Schneidearm 41 getragene Schneideklinge 42 als Schneidemittel, durch das der Einschnitt CU in dem Werkstück WK bildbar ist, einen Sockel 43, in dessen Oberfläche 43A ein Freistich 43B der Spannfutterbacke 35 gebildet ist, und einen auf der Oberfläche 43A gebildeten kreisförmigen Aufsetzsockel 44, die eine Haltefläche 44A aufweist, bei der durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe, einen Vakuum-Ejektor usw. ein Ansaugen und Halten möglich ist, wobei eine ringförmige Vertiefungsrille 44B in der Haltefläche 44A gebildet ist.
Bei der vorliegenden Ausführungsform wird durch das Unterteilungsmittel 40 der Einschnitt CU gebildet, sodass ein Teil der Klebefolie AS in einen auf den zweiten Werkstückabschnitt WKB aufgeklebten Zustand gelangt.
Das Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 umfasst den mehrgelenkigen Roboter 31 als Antriebsgerät in Form eines mit dem Behandlungsmittel 30 und dem Unterteilungsmittel 40 gemeinsam verwendeten Verschiebungsmittels, den Transportarm 32, die Kontaktkomponente 33, den Drehmotor 34 und die Spannfutterbacke 35, die mit dem Behandlungsmittel 30 gemeinsam verwendet werden.
Das Transportmittel 60 umfasst einen Linearmotor 61 als Antriebsgerät, einen an dessen Schieber 61A getragenen Drehmotor 62 als Antriebsgerät und einen an dessen Abtriebswelle 62A getragenen Trägertisch 63, der eine Haltefläche 63A aufweist, bei der durch ein nicht dargestelltes Druckminderungsmittel (Haltemittel) wie eine Druckminderungspumpe, einen Vakuum-Ejektor usw. ein Ansaugen und Halten möglich ist. Der Trägertisch 63 ist derart aufgebaut, dass er sich mittels des Drehmotors 62 um einen Drehmittelpunkt 62R des Drehmotors 62 dreht.
Der Betrieb der vorstehenden Werkstückbehandlungsvorrichtung EA wird erläutert. Zunächst wird an die Werkstückbehandlungsvorrichtung EA, deren jeweilige Komponenten an einer in 1A mittels einer durchgezogenen Linie gezeigten Anfangsposition angeordnet sind, nachdem ein Bediener der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA (im Folgenden einfach als „Bediener“ bezeichnet) eine Rohfolie RS wie in dieser Zeichnung dargestellt eingesetzt hat, ein Signal für den Beginn des Automatikbetriebs über ein nicht dargestelltes Bedienungsmittel wie ein Bedienfeld oder ein Personal Computer eingegeben. Dann wird bei dem Folienaufklebemittel 10 der Drehmotor 16A angetrieben, die Rohfolie RS abgerollt und wenn, wie in 1A mit einer durchgezogenen Linie gezeigt, ein vorderer Endabschnitt an der Spitze der Klebefolie AS in der Abrollrichtung durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen wurde, wird der Antrieb des Drehmotors 16A unterbrochen. Wird dann durch einen Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel wie einen mehrgelenkigen Roboter, ein Transportband usw., wie in 1A gezeigt, das Werkstück WK derart auf die Haltefläche 63A aufgesetzt, dass die Referenzposition WKR einen Drehmittelpunkt 62R des Drehmotors 62 überlagert, treibt das Transportmittel 60 das nicht dargestellte Druckminderungsmittel an, und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 63A beginnt.
Anschließend wird bei dem Transportmittel 60 der Linearmotor 61 angetrieben und der Trägertisch 63 nach links bewegt, und der Antrieb des Linearmotors 61 gestoppt, wenn das Werkstück WK eine in 1A mit dem Bezugszeichen CC gekennzeichnete Position erreicht hat. Dabei kommt es zu einem Zustand, in dem der rückseitige Außenrand des Werkstücks WK am Außenrand der Andrückrolle 15 anliegt und der vorderseitige Außenrand, wie in 1 B gezeigt, von dem Paar Wiederandrückrollen 18 eingeklemmt ist. Dann wird durch das Energiezuführmittel 20 der Gleichstrommotor 21 angetrieben, und wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie dargestellt, erfolgt nach einem Annähern des Heißluftgebläses 23 an den Außenrand des Werkstücks WK ein Antrieb des Heizgeräts 22 und des Heißluftgebläses 23, und das Ausblasen der Heißluft HA aus der Ausstoßöffnung 23A beginnt.
Dann wird bei dem Transportmittel 60 der Drehmotor 62 angetrieben, sodass der Trägertisch 63 in eine Gegenuhrzeigersinnrichtung RD gedreht wird, und bei dem Folienaufklebemittel 10 wird der Drehmotor 16A angetrieben, sodass die Rohfolie RS angepasst an die Drehgeschwindigkeit des Außenrandes des Werkstücks WK abgerollt wird. Dadurch wird die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abgezogen, und die von der Abziehfolie RL abgezogene Klebefolie AS wird, wie die Strich-Zweipunktlinie in 1A zeigt, durch die Andrückrolle 15 an den Außenrand des Werkstücks WK angedrückt und derart auf den Außenrand des Werkstücks WK aufgeklebt, dass sich wie in 1B gezeigt, ein Überstandsbereich ASH bildet. Wird dann die Klebefolie AS, die auf den Außenrand des Werkstücks WK aufgeklebt wurde, vor der Ausstoßöffnung 23A vorbeigeführt, erwärmt sich die Klebefolie AS durch die Heißluft HA, wodurch eine Verformung des Überstandsbereichs ASH, wie in 1B durch die Strich-Zweipunktlinie gezeigt, verursacht wird und in einer die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmenden Verformung auf das Werkstück WK aufgeklebt wird. Anschließend wird der Überstandsbereich ASH, der sich die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmend verformt hat, zwischen den Wiederandrückrollen 18 durchgeführt, wodurch der Überstandsbereich ASH durch die Wiederandrückrollen 18 angedrückt und auf den Nichtbehandlungsbereich WK1 aufgedrückt wird.
Wird dann, wenn nach einer Rotation des Werkstücks WK in die Gegenuhrzeigerrichtung RD von mehr als einer Umdrehung der hintere Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS an der Spitze mit dem vorderen Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS überlappend aufgeklebt wurde, ein sich an die Klebefolie AS an der Spitze anschließender nächster vorderer Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS durch den Abziehrand 14A der Abziehplatte 14 in einer bestimmten Länge abgezogen, wird der Antrieb des Drehmotors 16A durch das Folienaufklebemittel 10 unterbrochen. Wurden der hintere Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS vor der Ausstoßöffnung 23A vorbeigeführt, der hintere Endabschnitt in der Abrollrichtung den vorderen Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS nachahmend verformt und ein Einheitskörper UP gebildet, werden der Antrieb des Heizgeräts 22 und des Heißluftgebläses 23 durch das Energiezuführungsmittel 20 unterbrochen, und anschließend wird der Gleichstrommotor 21 angetrieben und das Heißluftgebläse 23 kehrt an seine Anfangsposition zurück. Dann wird der hintere Endabschnitt in der Abrollrichtung der Klebefolie AS durch die Wiederandrückrollen 18 durchgeführt und der Antrieb des Drehmotors 62 durch das Transportmittel 60 wird unterbrochen.
Danach wird bei dem Transportmittel 60 der Linearmotor 61 angetrieben und der Trägertisch 63 nach links bewegt, und der Antrieb des Linearmotors 61 gestoppt, wenn der Einheitskörper UP eine in 1A mit dem Bezugszeichen DD gekennzeichnete Position erreicht hat, und anschließend wird der Betrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 63A aufgehoben. Dann wird bei dem Behandlungsmittel 30 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben, und nachdem der Vorderendarm 31A mit der ersten Trägerkomponente 32A verbunden ist, der Transportarm 32 getragen wird, und die Kontaktkomponente 33 mit der Oberfläche des Einheitskörpers UP in Kontakt gekommen ist, wird der Drehmotor 34 angetrieben und der Einheitskörper UP mittels der Spannfutterbacken 35 und der Kontaktkomponenten 33 ergriffen (vgl. 2B). Wird dann bei dem Behandlungsmittel 30 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben und der Einheitskörper UP, wie in 1A mit einer Strich-Zweipunktlinie gezeigt, in der Aufnahmekomponente 37 aufgenommen, wird der Drehmotor 34 angetrieben und das Ergreifen des Einheitskörpers UP durch die Spannfutterbacke 35 und die Kontaktkomponente 33 aufgehoben, und anschließend wird der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben und der Transportarm 32 aus der Aufnahmekomponente 37 zurückgezogen. Dann werden bei dem Behandlungsmittel 30 der Linearmotor 36 betrieben, die Aufnahmekomponente 37 abgesenkt, der Einheitskörper UP in die wässrige Plattierungslösung 38A eingetaucht und der Einheitskörper UP plattiert.
Ist die Plattierung des Einheitskörpers UP beendet, wird bei dem Behandlungsmittel 30 der Linearmotor 36 angetrieben, sodass die Aufnahmekomponente 37 an ihre Anfangsposition zurückkehrt, und anschließend wird der Einheitskörper UP durch den gleichen Betrieb des Behandlungsmittels 30 wie vorstehend angegeben, mittels der Spannfutterbacke 35 und der Kontaktkomponente 33 ergriffen. Dann wird bei dem Behandlungsmittel 30 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben und der Einheitskörper UP derart auf die Haltefläche 44A aufgesetzt, dass die Referenzposition WKR einen Mittelpunkt 44R des Aufsetzsockels 44 überlagert (vgl. 2B), bei dem Unterteilungsmittel 40 wird das nicht dargestellte Druckminderungsmittel angetrieben, und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 44A beginnt. Dann wird bei dem Behandlungsmittel 30 der Drehmotor 34 angetrieben und das Ergreifen des Einheitskörpers UP durch die Spannfutterbacke 35 und die Kontaktkomponente 33 aufgehoben, und anschließend wird der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben, sodass der Transportarm 32 an seine Anfangsposition zurückkehrt.
Dann wird bei dem Unterteilungsmittel 40 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben, der Vorderendarm 31A wird mit der zweiten Trägerkomponente 41A verbunden und trägt den Schneidearm 41, und wie in 2A gezeigt, wird die Schneideklinge 42 über die Klebefolie AS hinweg in den Einheitskörper UP eingestochen, sodass deren vorderer Endabschnitt in die Vertiefungsrille 44B eindringt. Dann wird bei dem Unterteilungsmittel 40 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben und durch eine mindestens einmalige Umdrehung der Schneideklinge 42 um den Mittelpunkt 44R des Aufsetzsockels 44 werden ringförmige Einschnitte CU gebildet, und nachdem der Einheitskörper UP in erste Werkstückabschnitte WKA einschließlich der Nichtbehandlungsbereiche WK1, auf welche die Klebefolie AS aufgeklebt wurde, und den zweiten Werkstückabschnitt WKB, auf dessen Außenrand ein Teil der Klebefolie AS aufgeklebt wurde, unterteilt worden ist, kehrt der Schneidearm 41 an seine Anfangsposition zurück. Durch das Vorsehen des zweiten Werkstückabschnitts WKB, auf dessen Außenrand ein Teil der Klebefolie AS aufgeklebt wurde, kann selbst wenn es sich z. B. um ein Werkstück WK aus einem zerbrechlichen Material handelt, verhindert werden, dass beim Bilden der Einschnitte CU der Außenrand des zweiten Werkstückabschnitts WKB oder der Innenrand der ersten Werkstückabschnitte WKA beschädigt wird, und außerdem kann selbst wenn beim Bilden der Einschnitte CU z. B. der Außenrand des zweiten Werkstückabschnitts WKB oder der Innenrand der ersten Werkstückabschnitte WKA beschädigt wurde, verhindert werden, dass durch die Beschädigung gebildete Bruchstücke in der Umgebung verstreut werden.
Anschließend wird bei dem Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben, und nachdem der Vorderendarm 31A mit der ersten Trägerkomponente 32A verbunden ist, der Transportarm 32 getragen wird, und wie in 2B gezeigt die Kontaktkomponenten 33 mit der Oberfläche der ersten Werkstückabschnitte WKA in Kontakt gekommen ist, wird der Drehmotor 34 angetrieben und die ersten Werkstückabschnitte WKA werden mittels der Spannfutterbacken 35 und der Kontaktkomponenten 33 ergriffen. Dann wird bei dem Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 der mehrgelenkige Roboter 31 angetrieben und nachdem die ersten Werkstückabschnitte WKA zu einem nicht dargestellten Sammelbereich transportiert wurden, kehren der Transportarm 32 und die jeweiligen Arme des mehrgelenkigen Roboters 31 an ihre Anfangsposition zurück. Dann wird, nachdem bei dem Unterteilungsmittel 40 der Antrieb des nicht dargestellten Druckminderungsmittels unterbrochen und das Ansaugen und Halten durch die Haltefläche 44A aufgehoben wurde, durch einen Bediener oder ein nicht dargestelltes Transportmittel der zweite Werkstückabschnitt WKB zum nächsten Schritt transportiert und ab dann der vorstehende Betrieb wiederholt.
Der vorstehenden Ausführungsform zufolge wird eine Klebefolie AS verwendet, die durch Heißluft HA verformbar ist, wobei die Klebefolie AS die Oberflächenform der Nichtbehandlungsbereiche WK1 nachahmend verformt wird, sodass die Bildung eines hochstehenden Abschnitts am Außenrand der Klebefolie AS unterdrückt und dafür gesorgt werden kann, dass eine Plattierung in den Nichtbehandlungsbereichen WK1 des Werkstücks WK nach Möglichkeit nicht erfolgt.
Die Mittel und Schritte bei der vorliegenden Erfindung unterliegen keinerlei Beschränkung, solange der Betrieb, die Funktionen oder die Schritte, die bezüglich dieser Mittel und Schritte erläutert wurden, erreicht werden können, und noch viel weniger besteht irgendeine Beschränkung auf die Strukturen oder Schritte der lediglich einen Ausführungsform, die durch die vorstehende Ausführungsform dargestellt wurde. Beispielsweise kann es sich bei dem Behandlungsmittel um ein beliebiges Mittel handeln, solange die Ausführung einer bestimmten Behandlung bei einem Werkstück möglich ist, und es besteht diesbezüglich keinerlei Beschränkung, solange es sich beim Vergleich mit dem technischen Allgemeinwissen zum Zeitpunkt dieser Anmeldung um ein solches innerhalb dieses technischen Bereichs handelt (dies gilt auch für andere Mittel und Schritte).
Das Folienaufklebemittel 10 kann auch dadurch, dass in einem bandförmigen Klebefolien-Basismaterial, das vorübergehend auf eine bandförmige Abziehfolie RL aufgeklebt wurde, ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, eine Rohfolie RS abrollen, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abziehen und aufkleben, es kann auch eine bandförmige Klebefolien-Rohfolie verwenden, bei der auf eine bandförmige Abziehfolie RL ein bandförmiges Klebefolien-Basismaterial vorübergehend aufgeklebt wurde, und inmitten des Abrollens der bandförmigen Klebefolien-Rohfolie durch eine Schneideklinge als Schneidemittel in dem Klebefolien-Basismaterial ein Einschnitt in Form eines geschlossenen Kreises oder in der gesamten Kurzbreitenrichtung gebildet wird, und eine Rohfolie RS abwickeln, bei der ein durch diesen Einschnitt unterteilter bestimmter Bereich zur Klebefolie AS wurde, und die Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abziehen und aufkleben, es kann eine Rohfolie RS abwickeln, bei der eine bandförmige Klebefolie AS auf eine bandförmige Abziehfolie RL vorübergehend aufgeklebt wurde, die bandförmige Klebefolie AS von der Abziehfolie RL abziehen und aufkleben, oder eine nicht aufgewickelte sondern z. B. zickzackgefaltete Rohfolie RS abrollen, es kann ein Sammelmittel verwenden, bei dem die Abziehfolie RL dadurch eingesammelt wird, dass sie nicht aufgewickelt sondern z. B. zickzackgefaltet, durch einen Schredder usw. kleingeschnitten und einfach aufgehäuft wird, oder kein Sammelmittel verwenden, es kann eine nicht vorübergehend auf eine Abziehfolie RL aufgeklebte Klebefolie AS wiederholt abwickeln und die Klebefolie AS auf ein Werkstück WK aufkleben, es kann derart aufgebaut sein, dass es sich anstelle der Andrückrolle 15 um ein Antriebsgerät handelt, das als Antriebsmittel an der Abtriebswelle eines Gleichstrommotors getragen wird, durch eine Haltekomponente, bei der mittels eines nicht dargestellten Druckminderungsmittels (Haltemittels) wie einer Druckminderungspumpe, einem Vakuum-Ejektor usw. ein Ansaugen und Halten möglich ist, die Klebefolie AS gehalten wird, und die durch die Haltekomponente gehaltene Klebefolie AS an das Werkstück WK angedrückt und auf dieses aufgeklebt wird, es kann für den Fall, dass nur die Seite der ersten Fläche WK2 oder nur die Seite der zweiten Fläche WK3 als Nichtbehandlungsbereich angesehen wird, die Klebefolie AS derart auf das Werkstück WK aufkleben, dass nur auf der Seite der ersten Fläche WK2 oder nur auf der Seite der zweiten Fläche WK3 ein Überstandsbereich ASH übersteht, es kann auch eine Mehrzahl von Klebefolien AS auf das Werkstück WK aufkleben, es kann derart aufgebaut sein, dass es ein Druckminderungsmittel zum Bilden einer Dekompressionsatmosphäre einschließlich eines Vakuums umfasst, und in der Dekompressionsatmosphäre die Klebefolie AS auf den Nichtbehandlungsbereich WK1 aufklebt, es kann ein Wiederandrückmittel zum Andrücken der Klebefolie AS nur auf der Seite der ersten Fläche WK2 und ein Wiederandrückmittel zum Andrücken der Klebefolie nur auf der zweiten Fläche WK3 verwenden, und es kann ein Wiederandrückmittel verwenden oder auch nicht verwenden. Bei der vorstehenden Ausführungsform wurde das Beispiel eines Folienaufklebemittels 10 angeführt, das die Klebefolie AS derart verformt, dass sie die Form des Nichtbehandlungsbereichs WK1 (Form des Außenrandes des Werkstücks WK) annimmt, und diese Klebefolie AS auf den Nichtbehandlungsbereich WK1 aufklebt, das Folienaufklebemittel 10 kann allerdings auch eine Klebefolie AS, die vorab in die Form des Nichtbehandlungsbereichs gebracht wurde (z. B. die Form des Außenrandes der Seite der ersten Fläche WK2 des Werkstücks WK, die Form des mittleren Abschnitts der zweiten Fläche WK3 des Werkstücks WK usw.) auf den Nichtbehandlungsbereich aufkleben.
Bei dem Energiezuführmittel 20, kann es sich bei der bestimmten Energie, die der Klebefolie AS erteilt wird, um die Erteilung von elektromagnetischen Wellen wie UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen, sowie von Wärmeenergie wie heißes Wasser oder Kaltluft handeln, wobei es sich um eine beliebige Energie handeln kann, sofern es sich unter Berücksichtigung der Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung und Struktur der Klebefolie AS um eine die Klebefolie AS verformende Energie handelt, wobei es sich bei der gleichen Energie als der bestimmten Energie um eine einfache oder mehrfache Erteilung der bestimmten Energie handeln kann, und es sich bei unterschiedlichen Energien als der bestimmten Energie um eine einfache oder mehrfache Erteilung der bestimmten Energie handeln kann, wobei ein Beabstanden von und Annähern an das Werkstück WK nicht unbedingt erforderlich ist, wobei auch eine Anordnung im Inneren des Trägertisches 63 möglich ist, wobei die bestimmte Energie der Klebefolie AS auch von oberhalb, unterhalb oder schräg zur Klebefolie AS erteilt werden kann, wobei ohne ein Bewegen der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wurde, oder während diese bewegt wird, durch das eigene Bewegen die bestimmte Energie der Klebefolie AS erteilt werden kann, wobei der Klebefolie AS, die auf das Werkstück WK aufgeklebt wurde, die bestimmte Energie auf einmal erteilt werden kann, wobei ein Lenkmittel wie eine Lenkwelle, eine Rolle usw. umfasst sein kann, das den Überstandsbereich ASH derart lenkt, dass er in Richtung des Nichtbehandlungsbereichs WK1 verformt wird, und wobei auch ein Aufbau möglich ist, der ein Druckminderungsmittel zum Bilden einer Dekompressionsatmosphäre einschließlich eines Vakuums umfasst, der Klebefolie AS, die in einer Dekompressionsatmosphäre auf das Werkstück WK aufgeklebt wurde, die bestimmte Energie erteilt wird, und die Klebefolie AS die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs WK1 nachahmend verformt wird.
Bei dem Behandlungsmittel 30 kann abgesehen von einem solchen zum Elektroplattieren oder stromlosen Plattieren des Werkstücks WK auch ein beliebiges Behandlungsgerät, wie ein solches zum Sandstrahlen, Lackieren, Ätzen, Gravieren, Schneiden, Lochbohren, Befestigen von Bauteilen, Erwärmen, Kühlen usw. verwendet werden, es kann auch ohne eine gemeinsame Verwendung des Verschiebungsmittels mit zumindest entweder dem Unterteilungsmittel 40 oder dem Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 ein Verschiebungsmittel verwendet werden, bei dem durch eine andere Komponente derselbe Betrieb möglich ist, es können auch ohne eine gemeinsame Verwendung des Transportarms 32, der Kontaktkomponente 33, des Drehmotors 34 und der Spannfutterbacke 35 mit dem Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 andere Komponenten, durch die derselbe Betrieb möglich ist, verwendet werden, es kann eine Aufnahmekomponente 37 verwendet werden, die nur einen Einheitskörper UP oder eine Mehrzahl hiervon aufnehmen kann, und es kann eine Plattierungswanne 38 (Behandlungsgerät) verwendet werden, durch die nur ein Einheitskörper UP oder eine Mehrzahl hiervon gleichzeitig plattiert werden können.
Das Unterteilungsmittel 40 kann auch ohne eine gemeinsame Verwendung des Verschiebungsmittels mit zumindest entweder dem Behandlungsmittel 30 oder dem Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 ein Verschiebungsmittel verwenden, bei dem durch eine andere Komponente derselbe Betrieb möglich ist, der Einschnitt CU kann in dem Werkstück WK auch ohne ein Bewegen des Schneidmittels oder während dieses bewegt wird, durch ein Bewegen des Werkstücks WK gebildet werden, der Einschnitt CU kann auch derart gebildet werden, dass sich ein Zustand ergibt, in dem nur auf der Seite der ersten Fläche WK2 in den zweiten Werkstückabschnitten WKB ein Teil der Klebefolie AS aufgeklebt ist, der Einschnitt CU kann auch derart gebildet werden, dass sich ein Zustand ergibt, in dem nur auf der Seite der zweiten Fläche WK3 in den zweiten Werkstückabschnitten WKB ein Teil der Klebefolie AS aufgeklebt ist, der Einschnitt CU kann auch derart gebildet werden, dass sich ein Zustand ergibt, in dem kein Teil der Klebefolie AS auf dem zweiten Werkstückabschnitt WKB aufgeklebt ist, der Einschnitt CU kann auch entlang des Außenrandes des Werkstücks WK gebildet werden, der Einschnitt CU kann auch nicht entlang des Außenrandes des Werkstücks WK gebildet werden, und es kann von der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA umfasst oder auch nicht umfasst sein.
Die Trennlinie bei der vorliegenden Erfindung umfasst abgesehen von einer vollständigen Trennlinie, durch die das Werkstück dadurch vollständig getrennt wird, dass sich ein Einschnitt, der durch die zu trennenden Objekte wie das Werkstück WK, die Klebefolie AS usw. durchführt, kontinuierlich fortsetzt, z. B. eine nicht vollständige Trennlinie, bei der die zu trennenden Objekte dadurch teilweise miteinander verbunden sind, dass sich der Einschnitt, der durch die zu trennenden Objekte durchführt, diskontinuierlich fortsetzt, eine nicht vollständige Trennlinie, bei der sich ein nicht durch die zu trennenden Objekte durchführender Einschnitt kontinuierlich oder diskontinuierlich fortsetzt, eine nicht vollständige Trennlinie, bei der sich durch ein Lasern, elektromagnetische Wellen, Wärme, Chemikalien, chemische Substanzen usw., die den zu trennenden Objekten zugeführt werden, Kenngrößen, Eigenschaften, Qualität, Materialqualität, Zusammensetzung, Struktur, Abmessungen usw. der zu trennenden Objekte verändern und sich dadurch geschwächte Schwachstellen kontinuierlich oder diskontinuierlich fortsetzen, und eine nicht vollständige Trennlinie, bei der sich zumindest zwei von einem durch die zu trennenden Objekte durchführenden Einschnitt, einem die zu trennenden Objekte nicht passierenden Einschnitt und einer Schwachstelle regelmäßig oder unregelmäßig fortsetzen. Da eine derartige unvollständige Trennlinie durch das Erteilen von Schwingungen, Spannkraft, Licht, Wärme, Chemikalien usw. zu einer vollständigen Trennlinie wird, können bei dem Verfahren zur Behandlung eines Werkstücks und der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA der vorliegenden Erfindung ein Schritt zur vollständigen Trennung und eine Vorrichtung zur vollständigen Trennung verwendet werden, wobei durch das Erteilen von Schwingungen, Spannkraft, Licht, Wärme, Chemikalien usw. aus einer unvollständigen Trennlinie eine vollständige Trennlinie wird.
Das Nichtbehandlungsbereich-Beseitigungsmittel 50 kann auch ohne eine gemeinsame Verwendung des Verschiebungsmittels mit zumindest entweder dem Behandlungsmittel 30 oder dem Unterteilungsmittel 40 ein Verschiebungsmittel verwenden, bei dem durch eine andere Komponente derselbe Betrieb möglich ist, es kann auch ohne eine gemeinsame Verwendung des Transportarms 32, der Kontaktkomponente 33, des Drehmotors 34 und der Spannfutterbacke 35 mit dem Behandlungsmittel 30 andere Komponenten, durch die derselbe Betrieb möglich ist, verwenden, es kann auch, nachdem der zweite Werkstückabschnitt WKB zum nächsten Schritt transportiert wurde, die ersten Werkstückabschnitte WKA von dem Aufsetzsockel 44 entfernen, und es kann von der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA umfasst oder auch nicht umfasst sein.
Ohne dass das Transportmittel 60 den Trägertisch 63 bewegt oder während es diesen bewegt, kann das Folienaufklebemittel 10 bewegt werden, und die Klebefolie AS auf das Werkstück WK aufgeklebt werden, sodass es von der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA der vorliegenden Erfindung umfasst oder auch nicht umfasst sein kann.
Bei dem Werkstückbehandlungsverfahren und der Werkstückbehandlungsvorrichtung EA der vorliegenden Erfindung kann es sich abgesehen von dem Plattierungsverfahren und der Plattierungsvorrichtung für ein Elektroplattieren oder stromloses Plattieren des Werkstücks WK auch um ein beliebiges Behandlungsverfahren und eine beliebige Behandlungsvorrichtung wie ein Sandstrahlverfahren und eine Sandstrahlvorrichtung, ein Lackierverfahren und eine Lackiervorrichtung, ein Ätzverfahren und eine Ätzvorrichtung, ein Gravierverfahren und eine Graviervorrichtung, ein Schneideverfahren und eine Schneidevorrichtung, ein Lochbohrverfahren und eine Lochbohrvorrichtung, ein Bauteilbefestigungsverfahren und eine Bauteilbefestigungsvorrichtung, ein Erwärmungsverfahren und eine Erwärmungsvorrichtung, ein Kühlverfahren und eine Kühlvorrichtung usw. handeln.
Im Klebefolien-Vorbereitungsschritt kann eine Klebefolie AS vorbereitet werden, die durch eine bestimmte Energie wie elektromagnetische Wellen beispielsweise UV-Strahlen, Infrarotstrahlen, sichtbares Licht, Schallwellen, Röntgenstrahlen oder Gammastrahlen sowie Wärmeenergie beispielsweise heißes Wasser oder Kaltluft verformbar ist, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, bei der nur das Basismaterial, aus dem die Klebefolie AS besteht, durch eine bestimmte Energie verformbar ist, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, bei der nur die Klebstoffschicht, aus der die Klebefolie AS besteht, durch eine bestimmte Energie verformbar ist, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, bei der sowohl das Basismaterial als auch die Klebstoffschicht, aus der die Klebefolie AS besteht, durch eine bestimmte Energie verformbar sind, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, bei der auf dem Basismaterial, das auf eine Klebstoffschicht aufgeschichtet wurde, ein Material aufgeschichtet ist, das durch eine bestimmte Energie verformbar ist, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, die dadurch durch eine bestimmte Energie verformbar ist, dass eine Basiskomponente, bei der auf eine Klebstoffschicht ein Basismaterial aufgeschichtet wurde, durch das Folienaufklebemittel 10 abgerollt wird, und während des Abrollens dieser Basiskomponente auf das Basismaterial ein Material aufgeschichtet wird, das durch eine bestimmte Energie verformbar ist, es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, die sich durch eine bestimmte Energie infolge einer Kontraktion verformt, infolge einer Expansion verformt oder sich weder infolge einer Kontraktion noch einer Expansion verformt, und es kann auch eine Klebefolie AS vorbereitet werden, bei der durch unterschiedliche Arten von Energie als der bestimmten Energie jeweils unterschiedliche Verformungen hervorgerufen werden, wobei es sich in diesem Fall um einen Aufbau handelt, in dem das Energiezuführmittel ein erstes Energiezuführmittel zum Ausführen eines ersten Energiezuführschritts, in dem eine erste Energie zugeführt wird, und ein zweites Energiezuführmittel zum Ausführen eines zweiten Energiezuführschritts, in dem eine zweite Energie zugeführt wird, umfasst und die Klebefolie AS die Oberflächenform der Nichtbehandlungsbereiche WK1 nachahmend verformt wird.
Bei dem Werkstück WK kann auch kein ringförmiger Vorsprung CV am Außenrand vorgesehen sein, die Abdeckfolie CS kann auch auf die zweite Fläche WK3, die den ringförmigen Vorsprung CV nicht umfasst, aufgeklebt werden, die Abdeckfolie CS kann auch zumindest entweder auf die erste Fläche WK2 oder die zweite Fläche WK3 aufgeklebt werden, oder die Abdeckfolie CS kann auch weder auf die erste Fläche WK2 noch die zweite Fläche WK3 aufgeklebt werden.
Bei den Nichtbehandlungsbereichen WK1 kann es sich auch um den Außenrand und einen anderen Bereich des Werkstücks WK handeln, es kann sich auch um den Außenrand und einen Teilbereich eines anderen Bereichs des Werkstücks WK handeln, wobei dieser beliebig ist, und es sich z. B. nur um den Außenrand der Seite der ersten Fläche WK2 des Werkstück WK, nur um den Außenrand der Seite der zweiten Fläche WK3 des Werkstücks WK, nur um die Mitte der Seite der ersten Fläche WK2 des Werkstücks WK, oder nur um die Mitte der Seite der zweiten Fläche WK3 des Werkstücks WK handeln kann, oder es sich um einen Bereich einschließlich einer Vertiefung, oder um einen Bereich ohne Unebenheiten wie den Vorsprung CV, eine Vertiefung usw. handeln kann, und es sich um eine beliebige Stelle einschließlich des Außenrandes und der Mitte der Seite der ersten Fläche WK2 und der Seite der zweiten Fläche WK3 des Werkstücks WK handeln kann.
Die Materialqualität, Art, Form usw. der Klebefolie AS, der Abdeckfolie CS und des Werkstücks WK bei der vorliegenden Erfindung unterliegt keiner besonderen Beschränkung. Beispielsweise können die Klebefolie AS, die Abdeckfolie CS und das Werkstück WK kreisförmig, oval, polygon wie ein Dreieck, Viereck usw. sein oder eine andere Form haben, und bei der Klebefolie AS und der Abdeckfolie CS kann es sich um eine Adhäsionsform wie eine druckempfindliche Adhäsion, wärmedruckempfindliche Adhäsion usw. handeln, wobei bei der Verwendung einer Klebefolie AS und einer Abdeckfolie CS mit einer wärmedruckempfindlichen Adhäsion, das Aufkleben durch ein angemessenes Verfahren erfolgen kann, z. B. durch die Vorsehung eines zum Erwärmen der Klebefolie AS und der Abdeckfolie CS geeigneten Erwärmungsmittels wie der Heizseite einer Heizspirale, eines Heizrohrs usw. Ferner kann es sich um eine beliebige Klebefolie AS und Abdeckfolie CS handeln, wie um eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige Klebefolie, eine aus einem Basismaterial und einer Klebstoffschicht aufgeschichtete zweischichtige Klebefolie, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der zwischen dem Basismaterial und der Klebstoffschicht eine oder eine Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet sind, eine drei- oder mehr als dreischichtige Klebefolie, bei der auf der Oberseite des Basismaterials eine oder eine Mehrzahl von Deckschichten aufgeschichtet sind, eine Klebefolie, bei der das Basismaterial, eine Zwischenschicht oder eine Deckschicht abziehbar vorgesehen sind, eine nur aus einer Klebstoffschicht bestehende einschichtige doppelseitige Klebefolie, eine doppelseitige Klebefolie, bei der eine Klebstoffschicht auf beiden äußersten Flächen einer oder einer Mehrzahl von Zwischenschichten aufgeschichtet ist, usw. Außerdem kann es sich bei dem Werkstück WK z. B. um ein Lebensmittel, einen Kunststoffbehälter, einen Halbleiterwafer wie einen Silikon-Halbleiterwafer, einen Verbindungshalbleiterwafer usw., ein Datenspeichersubstrat wie eine Leiterplatte, eine optische Speicherplatte usw., um einen Einzelkörper aus einer Glasplatte, einem Stahlblech, einer Keramik, einer Holzplatte oder einem Harz usw. oder um einen zusammengesetzten Körper aus zwei oder mehr als zwei von diesen handeln, und auch Komponenten, Artikel usw. einer optionalen Form können Gegenstand sein. Bei der Klebefolie AS und der Abdeckfolie CS ist als Ersatz durch eine funktionelle oder zweckmäßige Angabe auch optional die Bezeichnung Folie, Film, Tape usw. wie Datenträgeretikett, Dekorationsetikett, Schutzfolie, Dicing-Tape, Die-Attach-Film, Die-Bonding-Tape, Aufzeichnungsschicht bildender Harzfilm usw. möglich.
Abgesehen davon, dass als Antriebsgerät bei der vorliegenden Ausführungsform ein elektrisches Gerät wie ein Drehmotor, ein Gleichstrommotor, ein Linearmotor, ein einachsiger Roboter, ein mehrgelenkiger Roboter, der zwei, drei oder mehr als dreiachsige Gelenke umfasst, oder Aktoren wie ein Luftzylinder, Hydraulikzylinder, kolbenstangenloser Zylinder, Drehzylinder usw. verwendet werden können, ist auch die Verwendung eines solchen möglich, bei dem diese direkt oder indirekt kombiniert sind. Wird bei der vorstehenden Ausführungsform eine Drehkomponente wie eine Rolle usw. verwendet, kann ein die Drehkomponente drehend antreibendes Antriebsgerät umfasst sein, wobei die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aus einem verformbaren Material wie Kautschuk oder Harz bestehen kann, die Oberfläche der Drehkomponente oder die Drehkomponente selbst aber auch aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, und anstelle einer Rolle auch eine sich drehende oder nicht drehende andere Komponente wie eine Achse, ein Blatt usw. verwendet werden kann, wenn als Gegenstand zum Drücken eines zu drückenden Gegenstands ein Andrückmittel oder eine Druckkomponente wie eine Andrückrolle, ein Druckkopf usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen, abgesehen von einer Rolle, einem Rundstab, einem Blattmaterial und einer bürstenförmigen Komponente auch ein auf einem Besprühen mit Luft, Gas usw. beruhender Gegenstand verwendet werden, als Struktur zum Drücken kann es sich um eine solche aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz, Schaumstoff usw., oder um eine Struktur aus einem nicht verformbaren Material wie Metall, Harz usw. handeln, wenn als Gegenstand zum Abziehen eines abzuziehenden Gegenstands ein Abziehmittel oder eine Abziehkomponente wie eine Abziehplatte, eine Abziehrolle usw. verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen auch eine Komponente wie eine plattenförmige Komponente, ein Rundstab oder eine Rolle verwendet werden, wobei der abziehende Gegenstand aus einem verformbaren Material wie Kautschuk, Harz usw. oder aus einem nicht verformbaren Material bestehen kann, wenn ein Gegenstand zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente (zu haltenden Komponente) wie ein Trägermittel- (Haltemittel, eine Trägerkomponente (Haltekomponente) usw. verwendet wird, kann ein Greifmittel wie ein mechanisches Spannfutter, ein Spannfutterzylinder usw., oder eine Struktur zum Tragen (Halten) einer zu tragenden Komponente durch Coulombsche Kraft, Klebstoff (Klebefolie, Klebeband), Haftmittel (Haftfolie, Haftband), Magnetkraft, Bernoulli-Adsorption, Ansaugen-Festsaugen, ein Antriebsgerät usw. verwendet werden, wenn ein Gegenstand wie ein Schneidmittel oder eine Schneidkomponente zum Schneiden einer zu schneidenden Komponente oder um in einer zu schneidenden Komponente einen Einschnitt oder eine Trennlinie zu bilden, verwendet wird, kann anstelle der vorstehenden Beispiele oder zusammen mit diesen ein solches zum Schneiden mittels einer Schneideklinge, einem Laserschneidegerät, einem lonenstrahl, Wärmekraft, Wärme, Wasserdruck, einem Heizdraht, Besprühen mit einer Flüssigkeit, Gas usw. verwendet werden, wobei durch eine Kombination mit einem geeigneten Antriebsgerät das Schneiden durch ein Bewegen des schneidenden Gegenstand erfolgt.
[Erläuterung der Bezugszeichen]

EA: Werkstückbehandlungsvorrichtung
10: Folienaufklebemittel
20: Energiezuführmittel
30: Behandlungsmittel
40: Unterteilungsmittel
AS: Klebefolie
CU: Einschnitt (Trennlinie)
CV: Vorsprung
HA: Heißluft (bestimmte Energie)
WK: Werkstück
WK1: Nichtbehandlungsbereich
WKA: Erster Werkstückabschnitt
WKB: Zweiter Werkstückabschnitt

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2016115868 A [0003]

Claims

Werkstückbehandlungsverfahren zum Ausführen einer bestimmten Behandlung bei einem Werkstück, gekennzeichnet durch das Ausführen eines Folienaufklebeschritts, in dem unter der Vorgabe eines bestimmten Bereichs bei dem Werkstück als einem Nichtbehandlungsbereich eine Klebefolie auf den Nichtbehandlungsbereich aufgeklebt wird, sodass sich die bestimmte Behandlung nicht hierauf erstreckt, und eines Behandlungsschritts, in dem die bestimmte Behandlung bei dem Werkstück ausgeführt wird, wobei außerdem ein Klebefolienvorbereitungsschritt, in dem als Klebefolie eine solche vorbereitet wird, die durch eine bestimmte Energie verformbar ist, und ein Energiezuführschritt ausgeführt werden, in dem in einer Vorstufe zu dem Behandlungsschritt der Klebefolie, die auf das Werkstück aufgeklebt wurde, eine bestimmte Energie erteilt wird, und die Klebefolie die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs nachahmend verformt wird.
Werkstückbehandlungsverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Unterteilungsschritt ausgeführt wird, in welchem in dem Werkstück, bei dem die bestimmte Behandlung durchgeführt wurde, eine Trennlinie gebildet wird, durch die das Werkstück in einen den Nichtbehandlungsbereich umfassenden ersten Werkstückabschnitt und einen zweiten Werkstückabschnitt ohne den ersten Werkstückabschnitt unterteilt wird.
Werkstückbehandlungsverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Werkstück ein Außenrand, an dem ein ringförmiger Vorsprung vorgesehen ist, als Nichtbehandlungsbereich angesehen wird, und in dem Energiezuführschritt die Klebefolie die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs einschließlich dieses Vorsprungs nachahmend verformt wird.
Werkstückbehandlungsverfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Werkstück ein Außenrand, an dem ein ringförmiger Vorsprung vorgesehen ist, als Nichtbehandlungsbereich angesehen wird, und in dem Energiezuführschritt die Klebefolie die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs einschließlich dieses Vorsprungs nachahmend verformt wird.
Werkstückbehandlungsverfahren nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Unterteilungsschritt die Trennlinie derart gebildet wird, dass ein Teil der Klebefolie in einen auf den zweiten Werkstückabschnitt aufgeklebten Zustand gelangt.
Werkstückbehandlungsvorrichtung zum Ausführen einer bestimmten Behandlung bei einem Werkstück, gekennzeichnet durch ein Folienaufklebemittel, durch das unter der Vorgabe eines bestimmten Bereichs bei dem Werkstück als einem Nichtbehandlungsbereich eine Klebefolie auf den Nichtbehandlungsbereich aufgeklebt wird, sodass sich die bestimmte Behandlung nicht hierauf erstreckt, und ein Behandlungsmittel zum Ausführen einer bestimmten Behandlung bei dem Werkstück, wobei die Klebefolie durch eine bestimmte Energie verformbar ist, und außerdem ein Energiezuführmittel umfasst ist, durch das der Klebefolie, die auf das Werkstück aufgeklebt wurde, eine bestimmte Energie erteilt wird, und die Klebefolie die Oberflächenform des Nichtbehandlungsbereichs nachahmend verformt wird.