JP2023060574A - 切削ブレードケース - Google Patents

Abstract

【課題】作業者が切削ブレードに触れることなく切削手段の装着機構に装着することができる切削ブレードケースを提供する。【解決手段】切削ブレードケース３０は、ケース本体３１と、ケース本体３１の中央に形成され切削ブレード８３の開口部８３ａに嵌合して切削ブレード８３を固定する固定部３２と、固定部３２の中央に形成された貫通口３３と、切削ブレードケース３０に収容された切削ブレード８３を固定部３２の反対側から押圧して固定部３２から離脱させる離脱部３４と、固定部３２に固定された切削ブレード８３の外周側面の一部を支持して脱落を防止する外周側面支持部３５と、を含む。【選択図】図４

Description

本発明は、中央に開口部を備えた切削ブレードを収容する切削ブレードケースに関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画された表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、を含み構成され、ウエーハを高精度に個々のデバイスチップに分割できる。

切削手段は、スピンドルの先端に形成された固定フランジと、該固定フランジの中央から突出したボス部と、該ボス部に係合して切削ブレードを該固定フランジと協働して挟持する着脱フランジと、該ボス部の先端に形成された雄ねじに螺合して該着脱フランジを締結するナットから構成される装着機構を備えている。

そして、上記の装着機構に切削ブレードを装着する際には、切削ブレードケースに収容された切削ブレードを、該切削ブレードケースから取り出して、該装着機構に装着する（例えば特許文献１を参照）。

特開２００６－０８２８１７号公報

ところで、上記した切削ブレードケースに収容された切削ブレードは、厚みが薄く（例えば５０μｍ以下）、切削ブレードケースから切削ブレードを取り出す際に、切削ブレードを落下させたり、指で力強く摘み過ぎたりすることにより、損傷させてしまうという問題がある。

特に、基台の外周に切り刃を一体的に形成したハブブレードと称される切削ブレードに比べ、該基台を有しない厚みが３０～５０μｍ程度のハブレスブレードと称される切削ブレードにおいては、深刻な問題である。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、作業者が切削ブレードに触れることなく切削手段の装着機構に装着することができる切削ブレードケースを提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、中央に開口部を備えた切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、該切削ブレードケースは、ケース本体と、該ケース本体の中央に形成され切削ブレードの該開口部に嵌合して切削ブレードを固定する固定部と、該固定部の中央に形成された貫通口と、該切削ブレードケースに収容された切削ブレードを該固定部の反対側から押圧して該固定部から離脱させる離脱部と、該固定部に固定された切削ブレードの外周側面の一部を支持して脱落を防止する外周側面支持部と、を含む切削ブレードケースが提供される。

該切削ブレードケースに収容される切削ブレードは、スピンドルの先端に形成された固定フランジと、該固定フランジの中央から突出したボス部と、該ボス部に係合して該固定フランジと協働して切削ブレードを挟持する着脱フランジと、該ボス部の先端に形成された雄ねじに螺合して該着脱フランジを締結するナットと、を備え、該固定フランジには、切削ブレードの該開口部の内径に対応する外径を有し該開口部に嵌合して支持する支持部が形成された切削ブレードの装着機構に装着される切削ブレードであって、該切削ブレードケースの固定部は、該支持部と同径の外径を有し、該貫通口は該ボス部の通過を許容して係合するものであることが好ましい。

また、該外周側面支持部は、該固定フランジの外径よりも大きく切削ブレードの外径よりも小さい内径の切削ブレード露出部を有し、切削ブレードを該固定部から該支持部に移動させる際に、切削ブレードの外周側面から離脱可能に構成されていることが好ましい。さらに、切削ブレードは、基台を有しないハブレスブレードであることが好ましい。

本発明の切削ブレードケースは、中央に開口部を備えた切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、該切削ブレードケースは、ケース本体と、該ケース本体の中央に形成され切削ブレードの該開口部に嵌合して切削ブレードを固定する固定部と、該固定部の中央に形成された貫通口と、該切削ブレードケースに収容された切削ブレードを該固定部の反対側から押圧して該固定部から離脱させる離脱部と、該固定部に固定された切削ブレードの外周側面の一部を支持して脱落を防止する外周側面支持部と、を含んでいることから、作業者が切削ブレードに直接触れることなく、確実に切削ブレードケースから装着機構の固定フランジに切削ブレードを装着することができ、該装着の際に切削ブレードを落下させたり、作業者の手で強く掴み過ぎて切削ブレードを損傷したりするという問題が解消する。

ダイシング装置の全体斜視図である。 図１に示すダイシング装置に配設された切削手段の一部を拡大して示す斜視図である。 （ａ）図２に示す切削手段のブレードカバーを除いた斜視図、（ｂ）（ａ）に示す切削手段の分解斜視図である。 （ａ）切削ブレードケースのケース本体に切削ブレードが収容される態様を示す斜視図、（ｂ）（ａ）のケース本体に蓋体が装着される態様を示す斜視図、（ｃ）蓋体とケース本体が一体とされた切削ブレードケースの斜視図である。 （ａ）ケース本体を裏面から見た分解斜視図、（ｂ）（ａ）に示す押圧部材とケース本体とを一体とした状態を示す斜視図である。 （ａ）切削ブレードケースから切削手段の装着機構に切削ブレードを装着すべく、ケース本体を固定フランジに装着する態様を示す斜視図、（ｂ）（ａ）に示すケース本体を固定フランジに係合した状態を示す斜視図である。 図６（ｂ）に示した状態で切削ブレードを固定フランジに移動させる状態を示す側方図である。 固定フランジに対して着脱フランジを固定する態様を示す斜視図である。 本発明の切削ブレードケースの変形例の分解斜視図である。

以下、本発明に基づいて構成される切削ブレードケースに係る実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

図１には、ダイシング装置１の全体斜視図が示されている。本実施形態のダイシング装置１によって加工される被加工物は、半導体のウエーハＷであり、複数のデバイスが分割予定ラインによって区画された表面に形成されたものであって、環状のフレームＦに粘着テープＴを介して支持されている。

ダイシング装置１は、略直方体形状のハウジング２を備え、ハウジング２のカセットテーブル４ａに載置されるカセット４と、カセット４からフレームＦに支持されたウエーハＷを仮置きテーブル５に搬出する搬出入手段３と、仮置きテーブル５に搬出されたウエーハＷを保持手段２０のチャックテーブル２２に搬送する旋回アームを有する搬送手段６と、チャックテーブル２２に保持されたウエーハＷに切削加工を施す切削手段８と、上記したチャックテーブル２２上に保持されたウエーハＷを撮像し、切削手段８よって切削すべき領域を検出するためのアライメント手段１０と、図１においてチャックテーブル２２が位置付けられた搬出入位置からウエーハＷを洗浄装置１２（詳細については省略されている）に搬送する洗浄搬出手段１４と、が配設されている。さらに、ダイシング装置１には、図示を省略する制御手段、及び表示手段等が配設される。

図２には、図１に示すダイシング装置１に配設された切削手段８の主要部を拡大して示している。切削手段８は、スピンドルハウジング８１と、スピンドルハウジング８１に回転自在に保持されたスピンドル８２と、スピンドル８２の先端部に固定された切削ブレード８３と、切削ブレード８３を保護する複数の部材により構成されたブレードカバー８４とを備えている。ブレードカバー８４には、切削ブレード８３を挟み隣接するように一対の切削水供給手段８５（反対側は見えていない）が配設されており、ブレードカバー８４を介して導入される切削水を切削位置に向けて供給する。スピンドルハウジング８１の他端側には図示を省略するモータ等の回転駆動源が収容されており、該回転駆動源はスピンドル８２を回転させることで切削ブレード８３を回転させる。切削手段８は、後述する切削ブレード８３が装着される装着機構を含むものであり、該装着機構については追って説明する。

図３（ａ）には、説明の都合上、上記した切削手段８のブレードカバー８４を除いた状態の切削手段８の斜視図を示している。また、図３（ｂ）には、図３（ａ）に示す切削手段８をさらに分解し、切削ブレード８３が装着される装着機構９０をより具体的に示している。

図３（ｂ）から理解されるように、本実施形態の切削ブレード８３は、中央に開口部８３ａを備え、基台（ハブ）を有しない所謂ハブレスブレードであって、例えば、ダイヤモンド砥粒を電鋳タイプのボンド材で固めた直径５５ｍｍの切削ブレードである。

本実施形態の切削ブレード８３の装着機構９０は、スピンドル８２の先端８２ａ側に形成された固定フランジ８６と、固定フランジ８６の中央から軸方向に突出したボス部８６ａと、ボス部８６ａに係合して固定フランジ８６と協働して切削ブレード８３を挟持する着脱フランジ８７と、ボス部８６ａの側面に形成された雄ねじ８６ｂに螺合して着脱フランジ８７を締結するナット８８と、を備え、固定フランジ８６には、切削ブレード８３の開口部８３ａの内径に対応する外径を有し該開口部８３ａに嵌合して支持する段差をもって軸方向に凸となる形状で形成された支持部８６ｃを備えている。なお、図示の実施形態では、スピンドル８２の先端８２ａ側に一体成形により固定フランジ８６を形成した例を示すが、スピンドル８２の先端８２ａに固定フランジ８６を形成する方法はこれに限定されず、例えば、固定フランジ８６をスピンドル８２とは別の部材で形成しナット等を使用してスピンドル８２の先端側に固定したり、固定フランジ８６を構成する部材をスピンドル８２の先端に圧入して固定したりしてもよい。

ダイシング装置１において、ウエーハＷに対する切削加工が繰り返し実施されることにより、上記の切削ブレード８３は摩耗し、また、場合によっては破損することがある。したがって、図３（ｂ）に示すように切削手段８を分解し、適宜のタイミングで切削ブレード８３を交換する。図４を参照しながら、本実施形態の切削ブレードケース３０について、より具体的に説明する。

図４（ａ）に示すように、切削ブレードケース３０は、ケース本体３１と、ケース本体３１の中央に形成され切削ブレード８３の開口部８３ａに嵌合して切削ブレード８３を固定する固定部３２と、固定部３２の中央に形成された貫通口３３と、切削ブレード８３を固定部３２の反対側から押圧して固定部３２から離脱させる離脱部３４と、固定部３２に固定される切削ブレード８３の外周側面の一部を支持して脱落を防止する外周側面支持部３５とを備えている。固定部３２は、切削ブレード８３の開口部８３ａに嵌合するものであることから、上記の装着機構９０の支持部８６ｃの直径と同径の外径を有している。

本実施形態における離脱部３４は、切削ブレード８３が支持されるケース本体３１のブレード支持面３１ａにおいて、固定部３２を囲繞するように形成された４つの舌状部３４ａを備えている。該舌状部３４ａは、図４（ａ）から理解されるように、ブレード支持面３１ａにおいて、基端部３４ｂがブレード支持面３１ａに支持されていると共に、該舌状部３４ａの該基端部３４ｂを除く外周に裏面側に貫通する貫通溝部３４ｃが形成されている。この構成により、該舌状部３４ａは、基端部３４ｂを起点とし撓むことが可能に構成され、裏面側から押圧することにより、先端部３４ｄ側を、ブレード支持面３１ａから切削ブレード８３を離脱させる外方側（図中手前側）に突出させることができる。該離脱部３４の構成及び機能については、追って詳述する。

外周側面支持部３５は、ケース本体３１の下端側の両端に位置付けられる軸支部３５ａによってケース本体３１に係合され、開閉可能に支持されている。図４（ａ）に示すように、ケース本体３１の側面において対向する位置に一対の爪部３６、３６が形成されている。該爪部３６、３６は、ブレード支持面３１ａに至る切込みを備えており、矢印Ｒ１で示す方向に該爪部３６、３６を撓ませることができる。切削ブレード８３を固定部３２に固定した状態で、図４（ｂ）に示すように外周側面支持部３５を矢印Ｒ２で示す方向に閉じることで、外周側面支持部３５に形成された一対の段差部３５ｃ、３５ｃ（図４（ａ）を参照）が、上記した爪部３６、３６によって挟持され、外周側面支持部３５がブレード支持面３１ａ側に閉じた状態で支持される。上記したように、外周側面支持部３５には、切削ブレード８３よりも小さい内径の円弧状の切削ブレード露出部３５ｂが配設されており、切削ブレード８３の外周側面の一部を該円弧状に沿って支持するため、ケース本体３１の固定部３２から切削ブレード８３が落下することが防止される。

本実施形態の切削ブレードケース３０は、図４（ｂ）に示すように、蓋体３７を備えている。該蓋体３７は、上記したケース本体３１に収容された切削ブレード８３の露出部を保護するためのものであって、板状の部材である。蓋体３７は、上記の外周側面支持部３５によって覆われない領域をカバーする形状となっており、外周側面支持部３５の円弧形状に対応する形状を備えている。蓋体３７の表面３７ａに対して反対側の裏面３７ｂには、ケース本体３１に形成された貫通口３３に嵌合される円柱又は円筒状の凸部材３７ｃ（破線で示す）が形成されている。この蓋体３７をケース本体３１に一体にする際には、該凸部３７ｃをケース本体３１の貫通口３３に嵌め込む。これにより、該蓋体３７に対する位置合わせが正確に行われ、図４（ｃ）に示すように、ケース本体３１と蓋体３７とが一体となって、切削ブレード８３が内部に収容され固定される。更に、蓋体３７の裏面３７ｂには、ケース本体３１の固定部３２を受け入れ可能な凹部３７ｄ（破線で示す）が形成されている。上記した固定部３２は、切削ブレード８３の厚みよりも高く形成されており、切削ブレード８３を該固定部３２に固定した状態では、蓋体３７側に該固定部３２が突出する形状となるため、該固定部３２を蓋体３７の裏面３７ｂに形成した凹部３７ｄに収容させる。これにより、該蓋体３７をケース本体３１に対してより効果的に密着させることができる。

上記したケース本体３１の離脱部３４について、図５（ａ）を参照しながら、さらに詳細に説明する。図５（ａ）は、ケース本体３１を、上記のブレード支持面３１ａの反対側の裏面３１ｂ側から見た斜視図であり、説明の都合上、後述する環状の押圧リング３８を、ケース本体３１から分離して示している。ケース本体３１の裏面３１ｂには、上記した貫通口３３を形成する円筒部材３３ａが立設されている。押圧リング３８は略環状であり、中央には、円形の開口部３９が形成されている。ケース本体３１の離脱部３４を構成する４つの舌状部３４ａの先端部３４ｄの裏面側には、突起部３４ｅが形成されている。該押圧リング３８の４つの固定部３８ａと該４つの突起部３４ｅとを接着、溶着等により一体とすることで、図５（ｂ）に示すように、押圧リング３８とケース本体３１の裏面３１ｂとの間に空間が形成されると共に、押圧リング３８によって、各突起部３４ｅが連結される。押圧リング３８の開口部３９は、上記の円筒部材３３ａよりも大きい寸法で形成されており、円筒部材３３ａは、押圧リング３８の開口部３９の内側に位置付けられる。押圧リング３８を、ケース本体３１の裏面側から、図５（ｂ）の矢印Ｒ３で示す方向に押圧することで、上記の舌状部３４ａの先端部３４ｄを、ブレード支持面３１ａ側に同時に突出させることができる。なお、上記した実施形態では、離脱部３４を構成する舌状部３４ａを４つ配設したが、本発明は、該４つの舌状部３４ａに限定されない。好ましくは、２つ以上であり、固定部３２を囲繞するように、均等な間隔で配設されることが好ましい。また、上記の実施形態では、１つの押圧リング３８によって、全ての舌状部３４ａを連結し、該押圧リング３８を押圧することにより舌状部３４ａの先端部３４ｄをブレード支持面３１ａ側に突出させるようにしたが、本発明はこれに限定されず、例えば、２つの舌状部３４ａを一つの押圧片によって連結するように構成し、二つの押圧片によって、上記した舌状部３４ａを２つずつ連結するようにして、作業者が該二つの押圧片を押圧することにより、上記の４つの舌状部３４ａの先端部３４ｄを、ブレード支持面３１ａ側に突出させるようにしてもよい。

図６、７を参照しながら、上記した切削ブレードケース３０に収容された切削ブレード８３を、装着機構９０の固定フランジ８６に装着する実施形態について説明する。

図６（ａ）に示すように、切削ブレード８３が収容され蓋体３７が外された切削ブレードケース３０のケース本体３１を用意し、ブレード支持面３１ａ側を、切削ブレードが装着されていない固定フランジ８６に対面させる。このとき、外周側面支持部３５は閉じられており、切削ブレード８３が上記の固定部３２から落下しないように支持されている。図６（ａ）に示すように、ケース本体３１のブレード支持面３１ａを固定フランジ８６に対面させ、ケース本体３１に形成された貫通口３３を矢印Ｒ４で示す方向に移して、固定フランジ８６のボス部８６ａを該貫通口３３に挿入し（図６（ｂ）を参照）、上記したケース本体３１の固定部３２の端面と、固定フランジ８６の支持部８６ｃの端面とを密着させる。ケース本体３１の貫通口３３は、固定フランジ８６のボス部８６ａの通過を許容し、内径が該ボス部８６ａよりも僅かに大きい程度に設定されていることにより、該貫通口３３の中心と、固定フランジ８６の支持部８６ｃの中心とを略正確に一致させて係合させることができる。

上記したように、ケース本体３１の固定部３２の端面と、固定フランジ８６の支持部８６ｃの端面とを密着させたならば、作業者によって、矢印Ｒ５で示す方向にケース本体３１の爪部３６、３６を広げる。上記したように、外周側面支持部３５には、固定フランジ８６の外径より大きく形成された円弧状の切削ブレード露出部３５ｂが形成されており、切削ブレード８３を支持していた外周側面支持部３５が、固定フランジ８６に当たることなく、自重の作用で、矢印Ｒ６で示す方向に開き、外周側面支持部３５による切削ブレード８３の支持が解除される。このとき、切削ブレードケース３０の固定部３２の端面と、固定フランジ８６の支持部８６ｃの端面とが密着していることから、切削ブレード８３が落下することはない。

上記したように、切削ブレードケース３０の固定部３２の端面と、固定フランジ８６の支持部８６ｃの端面とを密着させ、外周側面支持部３５を開いたならば、押圧リング３８を、固定フランジ８６の反対側から、矢印Ｒ３で示す方向に押圧する。図７には、押圧リング３８を固定フランジ８６の反対側から押圧した状態の側方図を示す。なお、図７では、説明の都合上、ケース本体３１の手前側の一部を切り欠いて、ケース本体３１の内部を開示している。図７から理解されるように、押圧リング３８を裏面３１ｂ側から固定フランジ８６側に押圧することにより、ケース本体３１の離脱部３４が押されて撓み、離脱部３４の先端部３４ｄがケース本体３１のブレード支持面３１ａ側（図中右側）に突出する。これにより、ケース本体３１の固定部３２に固定されていた切削ブレード８３が、該固定部３２から離脱し、矢印Ｒ７で示す方向に移動して、固定フランジ８６の支持部８６ｃに支持される。このように、切削ブレード８３をケース本体３１から固定フランジ８６の支持部８６ｃに移動して装着したならば、切削ブレードケース３０のケース本体３１を固定フランジ８６から外す。

上記したように、固定フランジ８６の支持部８６ｃに切削ブレード８３を装着させたならば、図８に示すように、着脱フランジ８７をボス部８６ａに係合して、着脱フランジ８７と固定フランジ８６とが協働することによって切削ブレード８３を挟持し、上記したようにナット８８によって着脱フランジ８７を締結することにより、該装着機行為９０に対する切削ブレード８３の装着が完了し、図３（ａ）に示した状態となる。

本実施形態の切削ブレードケース３０を使用することにより、作業者が切削ブレード８３に直接触れることなく、確実に切削ブレードケース３０から固定フランジ８６に切削ブレード８３を装着させることができ、該装着の際に切削ブレード８３を落下させたり、作業者の手で強く掴み過ぎて切削ブレード８３を損傷したりするという問題が解消する。

なお、本発明の切削ブレードケースは、上記した実施形態の切削ブレードケース３０の形態に限定されない。例えば、図９に示す変形例の切削ブレードケース４０であってもよい。切削ブレードケース４０は、ケース本体４１と、外周側面支持部４５と、蓋体４７とを備えている。ケース本体４１には、ブレード支持面４１ａに切削ブレード８３を固定するための固定部４２と、固定部４２の中心に形成される貫通口４３と、離脱部４４と、爪部４６とを備えている。外周側面支持部４５には、円弧状の切削ブレード露出部４５ｂと、段差部４５ｃが形成されている。図示は省略するが、ケース本体４１の裏面側には、離脱部４４を裏面側から押圧する押圧リングが配設されており、該押圧リングを押圧することにより、該離脱部４４を、ブレード支持面４１ａ側に突出させることが可能である。ケース本体４１及び外周側面支持部４５は、上記した切削ブレードケース３０のケース本体３１及び外周側面支持部３５と略同一の機能を有するものであり、ブレード支持面４１ａ、固定部４２、貫通口４３、離脱部４４、爪部４６は、上記した切削ブレードケース３０のケース本体３１に配設されたブレード支持面３１ａ、固定部３２、貫通口３３、離脱部３４、及び爪部３６に対応し、外周側面支持部４５の切削ブレード露出部４５ｂ、段差部４５ｃは、上記の外周側面支持部３５の切削ブレード露出部３５ｂ、段差部３５ｃに対応して、同様の機能を奏するものであることから、詳細な説明は省略する。本変形例の蓋体４７は、上記の蓋体３７と異なり、ケース本体４１のブレード支持面４１ａ側全体を覆うように形成されており、収容された切削ブレード８３に汚れ等が付着することを、より確実に防ぐように構成されている。なお、本変形例として示す切削ブレードケース４０の外周側面支持部４５は、該爪４６、４６によって挟持された状態において、該爪４６、４６を、矢印Ｒ８で示す方向に開くことにより脱落するように構成されている。しかし、上記の外周側面支持部３５と同様に、ケース本体４１に対して軸支するか、又はケース本体４１の下辺４１ｃと、外周側面支持部４５の下辺４５ｄとを連結して、開閉可能に構成してもよい。

上記した実施形態では、切削ブレードケースに収容される切削ブレードが、ハブレスブレードである場合について説明したが、本発明の切削ブレードケースは、必ずしもハブレスブレードを収容する切削ブレードケースに限定されない。基台（ハブ）を有するハブブレードであっても、基台部分の寸法が小さいタイプの切削ブレードの場合も、同様の問題が発生する可能性があり、そのようなハブブレードにも本発明は効果を奏する。

１：ダイシング装置
２：ハウジング
４：カセット
４ａ：カセットテーブル
５：仮置きテーブル
６：搬送手段
８：切削手段
８１：スピンドルハウジング
８２：スピンドル
８３：切削ブレード
８３ａ：開口部
８４：ブレードカバー
８５：切削水供給手段
８６：固定フランジ
８６ａ：ボス部
８６ｂ：雄ねじ
８６ｃ：支持部
８７：着脱フランジ
８８：ナット
１０：アライメント手段
１２：洗浄装置
１４：洗浄搬送手段
２０：保持手段
２２：チャックテーブル
３０：切削ブレードケース
３１：ケース本体
３１ａ：ブレード支持面
３１ｂ：裏面
３２：固定部
３３：貫通口
３３ａ：円筒部材
３４：離脱部
３４ａ：舌状部
３４ｂ：基端部
３４ｃ：貫通溝部
３４ｄ：先端部
３５：外周側面支持部
３５ａ：軸支部
３５ｂ：切削ブレード露出部
３５ｃ：段差部
３６：爪部
３７：蓋体
３７ａ：表面
３７ｂ：裏面
３７ｃ：凸部
３７ｄ：凹部
３８：押圧リング
４０：切削ブレードケース
４１：ケース本体
４１ａ：ブレード支持面
４２：固定部
４３：貫通口
４４：離脱部
４５：外周側面支持部
４５ｂ：切削ブレード露出部
４５ｃ：段差部
４６：爪部
４７：蓋体

Claims (4)

1. 中央に開口部を備えた切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、
   該切削ブレードケースは、ケース本体と、該ケース本体の中央に形成され切削ブレードの該開口部に嵌合して切削ブレードを固定する固定部と、該固定部の中央に形成された貫通口と、該切削ブレードケースに収容された切削ブレードを該固定部の反対側から押圧して該固定部から離脱させる離脱部と、該固定部に固定された切削ブレードの外周側面の一部を支持して脱落を防止する外周側面支持部と、を含む切削ブレードケース。
2. 該切削ブレードケースに収容される切削ブレードは、
   スピンドルの先端に形成された固定フランジと、該固定フランジの中央から突出したボス部と、該ボス部に係合して該固定フランジと協働して切削ブレードを挟持する着脱フランジと、該ボス部の先端に形成された雄ねじに螺合して該着脱フランジを締結するナットと、を備え、該固定フランジには、切削ブレードの該開口部の内径に対応する外径を有し該開口部に嵌合して支持する支持部が形成された切削ブレードの装着機構に装着される切削ブレードであって、
   該切削ブレードケースの固定部は、該支持部と同径の外径を有し、該貫通口は該ボス部の通過を許容して係合する請求項１に記載された切削ブレードケース。
3. 該外周側面支持部は、該固定フランジの外径よりも大きく切削ブレードの外径よりも小さい内径の切削ブレード露出部を有し、切削ブレードを該固定部から該支持部に移動させる際に、切削ブレードの外周側面から離脱可能に構成された請求項２に記載された切削ブレードケース。
4. 切削ブレードは、基台を有しないハブレスブレードである請求項１から３のいずれかに記載された切削ブレードケース。

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