JP2023043550A - 電流検出装置 - Google Patents
電流検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023043550A JP2023043550A JP2021151242A JP2021151242A JP2023043550A JP 2023043550 A JP2023043550 A JP 2023043550A JP 2021151242 A JP2021151242 A JP 2021151242A JP 2021151242 A JP2021151242 A JP 2021151242A JP 2023043550 A JP2023043550 A JP 2023043550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- region
- conductor
- field detection
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 82
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
- G01R15/202—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using Hall-effect devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
- G01R15/207—Constructional details independent of the type of device used
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/0092—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring current only
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Abstract
【課題】帯域特性とCMRR特性を両立させることができ、かつ、感度も向上させることができる電流検出装置を提供する。
【解決手段】実施形態の電流検出装置は、導体と、第1の磁界検出素子と、第2の磁界検出素子と、導電性フィルムと、を有する。導体は、第1領域と、第2領域と、第1領域の端と第2領域の端との間を接続している第3領域と、を有する。第1の磁界検出素子は、第1領域と第2領域との間に配置されている。第2の磁界検出素子は、第1の磁界検出素子と第3領域をはさんで対向配置されている。導電性フィルムは、第1及び第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅のスリットを有する、導体と第1及び第2の磁界検出素子との間に設けられた導体層に、スリットを覆うように接着されている。
【選択図】図2
【解決手段】実施形態の電流検出装置は、導体と、第1の磁界検出素子と、第2の磁界検出素子と、導電性フィルムと、を有する。導体は、第1領域と、第2領域と、第1領域の端と第2領域の端との間を接続している第3領域と、を有する。第1の磁界検出素子は、第1領域と第2領域との間に配置されている。第2の磁界検出素子は、第1の磁界検出素子と第3領域をはさんで対向配置されている。導電性フィルムは、第1及び第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅のスリットを有する、導体と第1及び第2の磁界検出素子との間に設けられた導体層に、スリットを覆うように接着されている。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、電流検出装置に関する。
電流検出装置は、検出すべき電流をコイル等の導体に流し、その導体から発生した磁界を検出することによって電流を検出する。発生した磁界は、例えばホール素子等の磁界センサにより検出される。電流検出装置を高性能かつ安定的に動作させるために、導体と磁界センサとの間にシールド層(シールドシート)を設ける構造は一般的に知られている。
しかしながら、従来の構造の電流検出装置は、帯域特性とCMRR(Common Mode Rejection Ratio)特性を両立させることが難しく、高感度の設計も困難であった。
そこで、実施形態は、帯域特性とCMRR特性を両立させることができ、かつ、感度も向上させることができる電流検出装置を提供することを目的とする。
実施形態の電流検出装置は、導体と、第1の磁界検出素子と、第2の磁界検出素子と、導電性フィルムと、を有する。導体は、第1領域と、第2領域と、第1領域の端と第2領域の端との間を接続している第3領域と、を有する。第1の磁界検出素子は、第1領域と第2領域との間に配置されている。第2の磁界検出素子は、第1の磁界検出素子と第3領域をはさんで対向配置されている。導電性フィルムは、第1及び第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅のスリットを有する導体と第1及び第2の磁界検出素子との間に設けられた導体層に、スリットを覆うように接着されている。
以下、図面を参照して実施形態について詳細に説明する。
なお、実施形態に基づく図面は、模式的であり、各部分の厚さと幅との関係、各々の部分の厚さの比率および相対角度などは現実のものとは異なる。図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。また、一部の構成要素の図示および符号の付与を省略する。
なお、実施形態に基づく図面は、模式的であり、各部分の厚さと幅との関係、各々の部分の厚さの比率および相対角度などは現実のものとは異なる。図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。また、一部の構成要素の図示および符号の付与を省略する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る電流検出装置の全体構成図である。図2は、図1のII-II線に沿った電流検出装置の断面図である。図3は、導体30の構成を説明するための図である。図4は、導体層45と蒸着フィルム40の構成を説明するための図である。図5は、磁界センサの透視斜視図である。図6は、導体30と導体層45と磁界センサ10A及び10Bの配置関係を説明するための図である。
図1は、第1の実施形態に係る電流検出装置の全体構成図である。図2は、図1のII-II線に沿った電流検出装置の断面図である。図3は、導体30の構成を説明するための図である。図4は、導体層45と蒸着フィルム40の構成を説明するための図である。図5は、磁界センサの透視斜視図である。図6は、導体30と導体層45と磁界センサ10A及び10Bの配置関係を説明するための図である。
電流検出装置1は、複数の導体層(例えば、41、43、44、45、46)と複数の絶縁層(例えば、42)とを有する多層配線板60により構成されている。多層配線板60には、導体30に電流を供給するコネクタ70が接続されている。なお、多層配線板60は、1枚の基板に積層された配線板でもよいし、複数の基板を貼り合わせた配線板でもよい。また、多層配線板60は、矩形の形状を有しているが、矩形の形状に限定されることなく、例えば、円形の形状等、他の形状であってもよい。
電流検出装置1は、導体30に流れる電流を検出する。検出する電流は、直流又は交流である。本実施形態の電流検出装置1は、高周波スイッチング電源、AC/DCアダプタ、汎用インバータやモーター可変速機器での制御装置、パワーモジュールの過電流保護等に用いられる。
導体層41には、少なくとも1つの電子部品50、例えば、ICチップが表面実装されている。電子部品50は、例えば第1の磁界センサ10A及び/又は第2の磁界センサ10Bにより検出された磁界に応じた電圧信号を増幅するアンプ回路等を含む。なお、電子部品50は、多層配線板60に内蔵されてもよい。また、以下の説明では、第1の磁界センサ10A及び第2の磁界センサ10Bの両方を示す場合、単に磁界センサ10と呼ぶ。
導体層43は、グランド層であり、コンタクトホールを介して導体層41及び導体層44に接続されている。
導体層46の一部は、コネクタ70を介して電流が印加される導体30により構成される。導体30は、図3に示すように、U字の形状を有しており、第1領域30Aと、第2領域30Bと、第1領域30Aの端と第2領域30Bの端との間を接続している第3領域30Cと、を含む。ともに略矩形の第1領域30Aおよび第2領域30Bのそれぞれの端部には、電流が流入するコネクタ70が、それぞれ配設されている。第1領域30Aと第2領域30BとはギャップGをはさんで対向配置されている。ギャップGの間隔WGが、第3領域30Cの電流流路の長さである。
導体層45はグランド層であり、図4に示すように、スリットSLを有する。スリットSLは、Y方向に十分な長さを有している。具体的には、図6に示すように、スリットSLのY方向の長さは、ギャップGのY方向の長さよりも長くなっている。また、スリットSLは、磁界センサ10の感磁部11の直径より大きい幅を有し、かつ、磁界センサ10の感磁部11をはさんだ2つの外部電極12同士の距離より小さい幅を有する。スリットSLのY方向の長さを長くすることで、帯域特性の高周波ゲインを下げることができ、渦電流の発生を抑制および磁界センサ10の電圧の出力を安定させることができる。
また、導体層45には蒸着フィルム40が接着されている。蒸着フィルム40は導電性フィルムを構成する。すなわち、第1の磁界センサ10Aおよび第2の磁界センサ10Bが実装されている導体層44と、導体30を構成する導体層46との間の導体層45には、第1の磁界センサ10A及び/又は第2の磁界センサ10B、あるいは、第1の磁界センサ10A及び/又は第2の磁界センサ10Bへの静電ノイズが入ることを遮蔽するための蒸着フィルム40がスリットSLを覆うように接着されている。蒸着フィルム40は、ノイズ低減のために必須であるが、高周波で渦電流が生じるため、極めて薄く構成する必要があり、例えば、数十nmの厚さで構成されている。
蒸着フィルム40は、導体層45と接触している全面がはんだを用いて接着されている。すなわち、蒸着フィルム40とグランド層である導体層45との接触面積を大きくすることで、蒸着フィルム40と導体層45との間の接触抵抗を小さくしている。なお、蒸着フィルム40は、はんだを用いて導体層45に接着されることに限定されるものではなく、例えば圧着することで導体層45に接着されていてもよい。蒸着フィルム40の材料はアルミニウムである。なお、蒸着フィルム40の材料はアルミニウムに限定されず、例えば銅などの導電性を有する材料であればよい。
蒸着フィルム40のX方向及びY方向の長さは、導体層45のスリットSLのX方向及びY方向の長さよりも十分長くなっている。これにより、蒸着フィルム40と導体層45とが接着される面積を大きくし、蒸着フィルム40がシールドの役割を十分に果たすようにしている。
導体層44には第1及び第2の磁界センサ10A及び10Bが実装されている。第1の磁界検出素子及び第2の磁界検出素子を構成する第1及び第2の磁界センサ10A及び10Bは、導体30に流れる電流を検出するホール素子である。図5に示すように、磁界センサ10は4つの外部電極12を有する下面10SBと下面10SBの反対側の上面10SAとを有する。4つの外部電極12のうちの、2つの外部電極12には検出のための電流が入力され、別の2つの外部電極12から出力信号(ホール電圧)が出力される。
第1及び第2の磁界センサ10A及び10Bは、導体層44の導体30に近い面(図2では下面)に実装されている。このため、第1及び第2の磁界センサ10A及び10Bには、導体層44の上面に実装されている場合よりも、強い磁界が印加される。
感磁部(感磁領域)11は、発生した磁束を検知できるセンサである。図6に示すように、第1の磁界センサ10Aの感磁部11は、第1領域30Aと第2領域30Bとの間のギャップGの上に配置されている。第2の磁界センサ10Bの感磁部11は、第3領域30Cの外周に配置されている。すなわち、導体30と第1の磁界センサ10Aとの積層方向、または、導体30と第2の磁界センサ10Bとの積層方向に対して平行な方向から見たときに、磁界センサ10(10A、10B)の感磁部11は、導体30と重畳していない。
このような配置の場合、第2の磁界センサ10Bで検出される磁界は、第1の磁界センサ10Aで検出される磁界よりも小さくなる。そのため、第2の磁界センサ10Bで検出された磁界に応じた電圧信号は、電子部品50に含まれるアンプ回路によって増幅される。
また、第1の磁界センサ10Aが、より高感度に磁界を検出するために、第1領域30Aと第2領域30Bとの間隔WGは、感磁部11の大きさ(外径)と略同じであることが好ましい。例えば、間隔WGは、感磁部11の大きさの90%以上120%以下であることが好ましい。
以上の構成のように、電流検出装置1は、第1及び第2の磁界センサ10A及び10Bが実装されている導体層44と、導体30を構成する導体層46との間のグランド層である導体層45にスリットSLを設け、スリットSLを覆うようにノイズ低減用の極薄の蒸着フィルム40を導体層45に接着するようにしている。これにより、電流検出装置1は、帯域特性とCMRR特性を両立させ、感度も向上させている。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について説明する。
第1の実施形態は、磁界センサ10Aおよび10Bが多層配線板60の内部に実装されている構成であるが、第2の実施形態は、磁界センサ10Aおよび10Bが多層配線板60の表面に実装されている。
次に、第2の実施形態について説明する。
第1の実施形態は、磁界センサ10Aおよび10Bが多層配線板60の内部に実装されている構成であるが、第2の実施形態は、磁界センサ10Aおよび10Bが多層配線板60の表面に実装されている。
図7は、第2の実施形態に係る電流検出装置の断面図である。図7に示すように、電流検出装置1Aは、第1の磁界センサ10Aが導体層41に表面実装され、第2の磁界センサ10Bが導体層46に表面実装されている。また、導体30は、導体層44の一部を構成する。すなわち、第1の磁界センサ10Aと第2の磁界センサ10Bとの間に導体30が配設されている。
導体層43は、磁界センサ10の感磁部11の直径より大きい幅を有し、かつ、磁界センサ10の感磁部11をはさんだ2つの外部電極12同士の距離より小さい幅を有する第1のスリットSLAを有する。
導体層45は、磁界センサ10の感磁部11の直径より大きい幅を有し、かつ、磁界センサ10の感磁部11をはさんだ2つの外部電極12同士の距離より小さい幅を有する第2のスリットSLBを有する。
第1の磁界センサ10Aが実装されている導体層41と、導体30を構成する導体層44との間の導体層43には、第1の磁界センサ10Aへの静電ノイズが入ることを遮蔽するための第1の蒸着フィルム40Aが第1のスリットSLAを覆うように接着されている。第1の蒸着フィルム40Aは第1の導電性フィルムを構成する。
また、第2の磁界センサ10B実装されている導体層46と、導体30を構成する導体層44との間の導体層45には、第2の磁界センサ10Bへの静電ノイズが入ることを遮蔽するための第2の蒸着フィルム40Bが第2のスリットSLBを覆うように接着されている。第2の蒸着フィルム40Bは第2の導電性フィルムを構成する。
第1の磁界センサ10Aと第2の磁界センサ10Bは、導体30をはさんで対向配置されている。第1の磁界センサ10Aの感磁部11は、第1領域30Aと第2領域30Bとの間のギャップGの上に配置されている。第1の磁界センサ10Aと第2の磁界センサ10Bとが導体30をはさんで対向配置されているため、第2の磁界センサ10Bの感磁部11も、第1領域30Aと第2領域30Bとの間のギャップGの上に配置されている。
このような構成により、第1の磁界センサ10Aと第2の磁界センサ10Bは、導体30に電流が流れることによって発生する磁界(磁束密度)を同等に検知することができる。よって、電流検出装置1Aは、第1の磁界センサ10A及び/又は第2の磁界センサ10Bで検知された磁界(磁束密度)に応じた電圧をアンプ回路で調整する必要がない。
この結果、第2の実施形態の電流検出装置1Aは、第1の実施形態の電流検出装置1に対して、電子部品50に含まれるアンプ回路を削減することが可能となり、第1の実施形態の電流検出装置1よりも製造コストを低減させることができる。
発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1,1A…電流検出装置、10A…第1の磁界センサ、10B…第2の磁界センサ、11…感磁部、12…外部電極、30…導体、40,40A,40B…蒸着フィルム、41,43,44,45,46…導体層、42…絶縁層、50…電子部品、60…多層配線板、70…コネクタ。
Claims (6)
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域の端と前記第2領域の端との間を接続している第3領域と、を有する導体と、
前記第1領域と前記第2領域との間に配置された第1の磁界検出素子と、
前記第1の磁界検出素子と前記第3領域をはさんで対向配置された第2の磁界検出素子と、
前記第1及び前記第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅のスリットを有する前記導体と前記第1及び前記第2の磁界検出素子との間に設けられた導体層に、前記スリットを覆うように接着された導電性フィルムと、
を有する電流検出装置。 - 前記スリットは、前記第1及び前記第2の磁界検出素子の感磁部の直径より大きい幅、かつ、前記第1及び前記第2の磁界検出素子の感磁部をはさんだ2つの外部電極同士の距離より小さい幅を有する請求項1に記載の電流検出装置。
- 前記導電性フィルムは、前記導体層と接触している全面がはんだによる接着、又は、圧着により接続される請求項1又は2に記載の電流検出装置。
- 前記導電性フィルムは、前記第1及び前記第2の磁界検出素子へ入る静電ノイズを遮蔽する請求項1から3のいずれか1つに記載の電流検出装置。
- 前記第1及び/又は前記第2の磁界検出素子により検出された電圧信号を増幅する増幅回路を有する請求項1から4のいずれか1つに記載の電流検出装置。
- 第1領域と、第2領域と、前記第1領域の端と前記第2領域の端との間を接続している第3領域と、を有する導体と、
前記第1領域と前記第2領域との間に配置された第1の磁界検出素子と、
前記第1の磁界検出素子と前記導体をはさんで対向配置された第2の磁界検出素子と、
前記第1及び前記第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅の第1のスリットを有する、前記導体と前記第1の磁界検出素子との間に設けられた第1の導体層に、前記第1のスリットを覆うように接着された第1の導電性フィルムと、
前記第1及び前記第2の磁界検出素子の感磁部の幅よりも広い幅の第2のスリットを有する、前記導体と前記第2の磁界検出素子との間に設けられた第2の導体層に、前記第2のスリットを覆うように接着された第2の導電性フィルムと、
を有する電流検出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021151242A JP2023043550A (ja) | 2021-09-16 | 2021-09-16 | 電流検出装置 |
CN202210128258.4A CN115825520A (zh) | 2021-09-16 | 2022-02-11 | 电流检测装置 |
US17/652,321 US11852659B2 (en) | 2021-09-16 | 2022-02-24 | Current detection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021151242A JP2023043550A (ja) | 2021-09-16 | 2021-09-16 | 電流検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023043550A true JP2023043550A (ja) | 2023-03-29 |
Family
ID=85479887
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021151242A Pending JP2023043550A (ja) | 2021-09-16 | 2021-09-16 | 電流検出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11852659B2 (ja) |
JP (1) | JP2023043550A (ja) |
CN (1) | CN115825520A (ja) |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3094635B2 (ja) | 1992-03-30 | 2000-10-03 | 富士通株式会社 | 電流センサ |
JPH09318672A (ja) | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 電流検出器 |
JP2001339109A (ja) | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Sanken Electric Co Ltd | ホ−ル素子を備えた電流検出装置 |
JP4164626B2 (ja) * | 2001-06-15 | 2008-10-15 | サンケン電気株式会社 | ホ−ル素子を備えた電流検出装置 |
US7414396B2 (en) * | 2005-07-29 | 2008-08-19 | Freescale Semiconductor, Inc. | Sensor with magnetic tunnel junction and moveable magnetic field source |
JP2013142623A (ja) | 2012-01-11 | 2013-07-22 | Toyota Industries Corp | 電流センサ |
JP2014066623A (ja) | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Alps Green Devices Co Ltd | 電流センサ |
US9746500B2 (en) * | 2013-12-11 | 2017-08-29 | Eaton Corporation | Electrical current sensing apparatus |
JP6533101B2 (ja) | 2015-06-04 | 2019-06-19 | アルプスアルパイン株式会社 | 電流センサ |
CN107533089B (zh) * | 2015-07-10 | 2020-04-10 | 株式会社村田制作所 | 电流传感器 |
US9958482B1 (en) * | 2016-12-20 | 2018-05-01 | Allegro Microsystems, Llc | Systems and methods for a high isolation current sensor |
JP2020118448A (ja) * | 2017-04-04 | 2020-08-06 | 株式会社村田製作所 | 電流センサ |
JP7204453B2 (ja) | 2018-11-30 | 2023-01-16 | 株式会社東芝 | 電流検出装置 |
JP7289782B2 (ja) | 2019-12-19 | 2023-06-12 | 株式会社東芝 | 電流検出装置 |
EP3974845A1 (en) * | 2020-09-24 | 2022-03-30 | Melexis Technologies SA | Current sensor system |
US11366141B1 (en) * | 2021-01-28 | 2022-06-21 | Allegro Microsystems, Llc | Multipath wide bandwidth current sensor |
-
2021
- 2021-09-16 JP JP2021151242A patent/JP2023043550A/ja active Pending
-
2022
- 2022-02-11 CN CN202210128258.4A patent/CN115825520A/zh active Pending
- 2022-02-24 US US17/652,321 patent/US11852659B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN115825520A (zh) | 2023-03-21 |
US11852659B2 (en) | 2023-12-26 |
US20230078354A1 (en) | 2023-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9176170B2 (en) | Current sensor | |
JP2001230467A (ja) | ホール素子を備えた電流検出装置 | |
US11162982B2 (en) | Current detection device | |
EP3779490A1 (en) | Magnetic sensor | |
US11879951B2 (en) | Magnetic field sensor apparatus | |
US11181554B2 (en) | Current detection apparatus | |
WO2018212131A1 (ja) | 磁気センサ | |
JP2015052471A (ja) | センサ装置 | |
US11320463B2 (en) | Current detection device | |
JP2023043550A (ja) | 電流検出装置 | |
CN111693752B (zh) | 电流检测装置 | |
JP2003215171A (ja) | ホール素子を備えた電流検出装置 | |
JP2019138847A (ja) | ロゴスキーコイル内蔵基板 | |
WO2017163471A1 (ja) | 磁気センサ | |
US11747367B2 (en) | Current sensor | |
JP7500523B2 (ja) | センサ | |
CN107144716B (zh) | 传感器装置和半导体装置 | |
JPH06222082A (ja) | 電流検出装置 | |
US11604214B2 (en) | Current detection device | |
JP2018025569A (ja) | センサ装置 | |
JP2010169568A (ja) | 静電誘導検出器用の電圧センサおよびクリップ | |
JP6805962B2 (ja) | 磁気センサ | |
JP6952471B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2017083280A (ja) | 半導体装置及び磁気センサ装置 | |
JP2015200546A (ja) | センサ構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230907 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20240424 |