JP2023020450A - タッチパネルセンサー、及び、タッチパネルセンサーの製造方法 - Google Patents

タッチパネルセンサー、及び、タッチパネルセンサーの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化が少なく、ロール搬送などの取り扱い時に輝点が生じにくい、タッチパネルセンサー、および、タッチパネルセンサーの製造方法の提供。【解決手段】 基材及び基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜とを有するタッチパネルセンサーであって、保護膜の導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上であり、所定の試験を行って得られる直径Ｘが３ｍｍ以下である、タッチパネルセンサー。【選択図】なし

Description

本発明は、タッチパネルセンサー、及び、タッチパネルセンサーの製造方法に関する。
静電容量型入力装置等のタッチパネルを備えた表示装置（表示装置としては、具体的には、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置及び液晶表示装置等）では、視認部のセンサーに相当するセンサー電極パターン、周辺配線部分、及び取り出し配線部分の配線等の導電パターンがタッチパネル内部に設けられている。
この導電パターン上には、通常、金属の腐食、電極と駆動用回路間の電気抵抗の増加、及び、断線といった不具合の防止を目的として、樹脂を素材とするパターンが保護膜（永久膜）として配置されている場合がある。
一般的に、パターンの形成には感光性組成物が使用されており、とりわけ、必要とするパターン形状を得るための工程数が少ないといったことから、仮支持体と、感光性組成物を用いて形成された感光性組成物層と、を有する転写フィルムを用いた方法が広く使用されている。
転写フィルムを用いてパターンを形成する方法としては、転写フィルムから任意の基材上に転写された感光性組成物層に対し、所定のパターン形状を有するマスクを介して露光及び現像を実施する方法が挙げられる。例えば、感光性組成物層がネガ型感光性組成物層である場合、露光された領域が硬化することで未露光領域との間に溶解コントラストが生じ得る。この結果として、現像処理の際に未露光領域のみが除去されることでパターンを形成できる。
感光性組成物及び転写フィルムとして、例えば、特許文献１では、「基材上に、酸価が７５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有するバインダーポリマーと、光重合性化合物と、光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物」及び「支持フィルムと、上記支持フィルム上に設けられた上記感光性樹脂組成物からなる感光層と、を備えた感光性エレメント」が開示されている。
国際公開第２０１３／０８４８８６号
本発明者らは、特許文献１に開示された感光性エレメント（転写フィルム）を用いてタッチパネルセンサーを製造し、屈曲した後のセンサー電極の抵抗値を測定したところ、屈曲前と屈曲後とでは、抵抗値の変化が大きいことを知見した。
更に、上記転写フィルムを用いて製造したタッチパネルセンサーをロール搬送などして取り扱った際に、輝点が生じることがあった。
また、本発明者らの検討の結果、上記抵抗値の変化と、輝点の発生の抑制とを両立することが困難であった。
上記抵抗値の変化及び輝点の発生は、それぞれ、センサーの性能が変化すること及び視認性の点から望ましくなかった。
そこで本発明は、屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化が少なく、ロール搬送などの取り扱い時に輝点が生じにくい、タッチパネルセンサーの提供を課題とする。
また、本発明は、タッチパネルセンサーの製造方法の提供も課題とする。
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明を完成させるに至った。すなわち、以下の構成により上記課題が解決されることを見出した。
〔１〕 基材及び上記基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、
上記センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜とを有するタッチパネルセンサーであって、
上記保護膜の上記導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上であり、
以下のマンドレル試験を行って得られる直径Ｘが３ｍｍ以下である、タッチパネルセンサー。
マンドレル試験：上記タッチパネルセンサーをマンドレルに巻き付けて元に戻す操作を１０回繰り返した後、上記タッチパネルセンサーの上記保護膜を、１０倍の倍率において光学顕微鏡で観察して上記保護膜のクラックの有無を確認する操作を、マンドレルの直径を小さくしながら繰り返し行い、上記保護膜にクラックが生じるマンドレルの直径を直径Ｘとする。
〔２〕 上記保護膜が、感光性組成物を用いて形成された膜であって、
上記感光性組成物が、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーを含む、〔１〕に記載のタッチパネルセンサー。
〔３〕 上記感光性組成物が、２つのエチレン性不飽和基を有する第１重合性化合物と、５つ以上のエチレン性不飽和基を有する第２重合性化合物を更に含む、〔２〕に記載のタッチパネルセンサー。
〔４〕 上記第１重合性化合物の含有量に対する、上記第２重合性化合物の含有量の質量比が、０．４～１．３である、〔３〕に記載のタッチパネルセンサー。
〔５〕 基材及び上記基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、上記導電性基材上に配置され、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和基を有する化合物と、光重合開始剤とを含む感光性組成物層とを有する感光性組成物層付き基材を準備する準備工程と、
上記感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
露光された上記感光性組成物層を現像して、樹脂層パターンを形成する現像工程と、
上記樹脂層パターンが５０～１２０℃の条件下にて、上記樹脂層パターンを露光して、上記センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜を形成する硬化工程とを有する、タッチパネルセンサーの製造方法。
〔６〕 上記硬化工程における露光量が、２００～１５００ｍＪ／ｃｍ２である、〔５〕に記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
〔７〕 上記硬化工程における露光量が、２００ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２未満である、〔５〕又は〔６〕に記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
〔８〕 上記感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ１とし、上記保護膜に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ２としたとき、下記式（１）で計算される反応率が７０％以上である、〔５〕～〔７〕のいずれか１つに記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
式（１） 反応率［％］＝｛１－（Ｙ２／Ｙ１）｝×１００
本発明によれば、屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化が少なく、ロール搬送などの取り扱い時に輝点が生じにくい、タッチパネルセンサーが提供できる。
また、本発明によれば、タッチパネルセンサーの製造方法が提供できる。
実施例の抵抗変化評価におけるタッチパネルセンサーの変形方法を示す概略断面図である。
以下、本発明について詳細に説明する。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。
以下、本明細書における各記載の意味を表す。
本明細書において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本明細書において、「工程」の用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば本用語に含まれる。
本明細書において、「透明」とは、波長４００～７００ｎｍの可視光の平均透過率が、８０％以上であることを意味し、９０％以上であることが好ましい。
本明細書において、透過率は、分光光度計を用いて測定される値であり、例えば、日立製作所（株）製の分光光度計Ｕ－３３１０を用いて測定できる。
本明細書において、特段の断りのない限り、重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、カラムとして、ＴＳＫｇｅｌ ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ Ｇ４０００ＨｘＬ、若しくは、ＴＳＫｇｅｌ Ｇ２０００ＨｘＬ（いずれも東ソー（株）製の商品名）、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、検出器として示差屈折計、及び、標準物質としてポリスチレンを使用し、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により測定した標準物質のポリスチレンを用いて換算した値である。
本明細書において、特段の断りがない限り、高分子の構成単位の比は質量比である。
本明細書において、特段の断りがない限り、分子量分布がある化合物の分子量は、重量平均分子量（Ｍｗ）である。
本明細書において、特段の断りがない限り、金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ：Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）分光分析装置を用いて測定した値である。
本明細書において、特段の断りがない限り、屈折率は、波長５５０ｎｍでエリプソメーターを用いて測定した値である。
本明細書において、特段の断りがない限り、色相は、色差計（ＣＲ－２２１、ミノルタ（株）製）を用いて測定した値である。
本明細書において、「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの両方を包含する概念であり、「（メタ）アクリロキシ基」は、アクリロキシ基及びメタアクリロキシ基の両方を包含する概念である。
なお、本明細書において、「アルカリ可溶性」とは、２２℃において炭酸ナトリウムの１質量％水溶液１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。
本明細書において「水溶性」とは、液温が２２℃であるｐＨ７．０の水１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。従って、例えば、水溶性樹脂とは、上述の溶解度条件を満たす樹脂を意図する。
本明細書において、組成物の「固形分」とは、組成物を用いて形成される組成物層を形成する成分を意味し、組成物が溶剤（有機溶剤、水等）を含む場合、溶剤を除いたすべての成分を意味する。また、組成物層を形成する成分であれば、液体状の成分も固形分とみなす。
＜タッチパネルセンサー＞
本発明のタッチパネルセンサーは、基材と基材上に配置されたセンサー電極とを含む導電性基材と、センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜とを有する。本発明のタッチパネルセンサーの特徴点としては、保護膜の導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上であり、後段で詳述するマンドレル試験を行って得られる直径Ｘが３ｍｍ以下である点が挙げられる。
上記特徴点を有するタッチパネルセンサーが、屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化が少なく、輝点が生じにくい機序は、必ずしも詳細には明らかでないが、本発明者らは以下のように推測している。
本発明のタッチパネルセンサーが、マンドレル試験を得られる直径Ｘが３ｍｍ以下であることにより、タッチパネルセンサーの製造時等にタッチパネルセンサーが屈曲されても、保護膜にクラックが生じないことにより、保護膜の下部に配置されたセンサー電極に対して局所的な応力が作用してセンサー電極にクラック等が生じす、結果としてセンサー電極の抵抗値の変化が少ないと考えられる。
また、本発明のタッチパネルセンサーが、保護膜の導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上であることにより、タッチパネルセンサーの取り扱い時（例えばロール搬送時等）に他の物体が接触しても、保護膜の表面に傷又は変形が生じず、結果として製造されるタッチパネルセンサーに輝点が生じにくいと考えられる。
以下、本発明のタッチパネルセンサーについて説明する。また、本発明のタッチパネルセンサーの製造方法は後段で説明する。
なお、以下、屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化がより少ないこと、及び、タッチパネルセンサーに輝点がより生じにくいことの少なくとも一方を満たす場合、「本発明の効果がより優れる」ともいう。
［導電性基材］
本発明のタッチパネルセンサーは、基材と基材上に配置されたセンサー電極とを含む導電性基材を有する。
以下、基材及びセンサー電極について説明する。
（基材）
基材としては、例えば、樹脂基材、ガラス基材、及び、半導体基材が挙げられる。
基材の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４０］に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。樹脂基材の材料としては、シクロオレフィンポリマー又はポリイミドが好ましい。
樹脂基材の厚みは５～２００μｍが好ましく、１０～１００μｍがより好ましい。
また、基材は、透明層を有していてもよい。透明層としては、後段で説明する転写フィルムが有していてもよい屈折率調整層が挙げられる。
（センサー電極）
センサー電極は、上記基材上に形成されるパターン状の電極をいう。センサー電極は、本発明のタッチパネルセンサーを含むタッチパネルが形成された際に、センサー部として機能する電極である。
センサー電極のパターン形状は、特に制限されず、公知のものであってよい。センサー電極は、基材の全面に配置されていてもよく、基材の一部に配置されていてもよい。また、センサー電極は、基材の両面に配置されていてもよい。
センサー電極は、少なくとも１層の導電層を含むことが好ましい。
導電層としては、細線形成性及び導電性の点から、金属層、導電性金属酸化物層、グラフェン層、カーボンナノチューブ層、及び、導電ポリマー層からなる群から選択される少なくとも１種の層であることが好ましい。
また、基材上にはセンサー電極として導電層を１層のみ配置してもよいし、２層以上配置してもよい。導電層を２層以上配置する場合は、異なる材質の導電層を有することが好ましい。
導電層の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４１］に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。
センサー電極は、透明電極であることも好ましい。透明電極は、タッチパネル用電極として好適に機能し得る。透明電極は、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、及び、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）等の金属酸化膜、並びに、金属メッシュ、及び、金属ナノワイヤ等の金属細線により構成されることが好ましい。
金属細線としては、銀、銅等の細線が挙げられる。なかでも、銀メッシュ、銀ナノワイヤ等の銀導電性材料が好ましい。
（引き回し配線）
導電性基材は、引き回し配線を有していてもよい。引き回り配線は、上述したセンサー電極に電気的に導通している。導電性基材が透明電極と引き回し配線を有している場合、導電性基材は、タッチパネル用基材として好適に使用できる。
引き回し配線の材質としては、金属が好ましい。
引き回し配線の材質である金属としては、金、銀、銅、モリブデン、アルミニウム、チタン、クロム、亜鉛、及び、マンガン、並びに、これらの金属元素の２種以上からなる合金が挙げられる。引き回し配線の材質としては、銅、モリブデン、アルミニウム、又は、チタンが好ましく、銅が特に好ましい。
［保護膜］
保護膜は、上記センサー電極の少なくとも一部を覆うように導電性基材上に配置される。
保護膜は、上記特徴点を有していれば特に制限されないが、上記樹脂を含むことが好ましく、感光性組成物を用いて形成されることがより好ましい。更に、感光性組成物は、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーを含むことがより好ましい。
保護膜は、後段で説明する、感光性組成物層を含む転写フィルムを用いて形成されることが好ましい。好ましい感光性組成物層は、転写フィルムの部分で詳述する。また、好ましい保護膜の形成方法は、タッチパネルセンサーの製造方法の部分で詳述する。
＜タッチパネルセンサー及び保護膜の物性＞
本発明のタッチパネルセンサーは、上述した特徴点に示す物性を満たす。
以下、各物性について説明する。
（表面硬度）
本発明のタッチパネルセンサーが有する保護膜は、保護膜の導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上である。
上記表面硬度は、本明細書において、以下の手順で測定したものをいう。
まず、基材と基材上に配置されたセンサー電極とを含む導電性基材と、少なくともセンサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜とを有するタッチパネルセンサーを準備する。タッチパネルセンサーを２ｃｍ角に裁断してサンプルとする。
スライドガラス（厚さ：０．７ｍｍ）上に、瞬間接着剤アロンアルファ（登録商標）２０１を直径１ｃｍとなるように塗布し、直ちにスライドガラスの瞬間接着剤塗布面と、サンプルの保護膜とは反対側の面とを貼合する。貼合の際は、サンプルを指で押さえてスライドガラスとサンプルとの間に隙間が生じないようにする。貼合した後、２３℃、湿度５０％の環境で静置する。上記手順で測定サンプルを得る。
得られた測定サンプルを用いて、以下の条件で微小硬度計を用いて保護膜の表面硬度を測定する。
・装置名：微小硬度計（型番：ＨＭ２０００、フィッシャー・インストルメンツ社製）
・圧子：Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ圧子
・最大荷重：１ｍＮ
・負荷時間：１０秒 （圧子が硬化物の表面を検出してから最大荷重になるまでの時間）
・保持時間：５秒 （最大荷重を保持する時間）
・除荷時間：１０秒 （荷重をゼロにするまでの時間）
押し込み深さから、押し込まれた圧子の接触投影面積を算出し、最大荷重＝１ｍＮをその面積で割って、表面硬度（Ｎ／ｍｍ２）を求める。測定する場所を、測定済みの場所から０．３ｍｍ以上離れるように変更しながら１０回測定し、１０回の測定で得られた表面硬度を算術平均して測定サンプルの表面硬度とする。
保護膜の表面硬度は、１８５Ｎ／ｍｍ２以上であり、１９０Ｎ／ｍｍ２以上が好ましく、２００Ｎ／ｍｍ２以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、３００Ｎ／ｍｍ２以下が好ましく、２５０Ｎ／ｍｍ２以下がより好ましく、２２０Ｎ／ｍｍ２以下が更に好ましい。
保護膜の表面硬度を上記好ましい範囲とすることで、ロール搬送などの取り扱い時にタッチパネルセンサーに輝点をより生じにくくすることができる。
上記表面硬度は、後述する感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和化合物の種類、含有量、及び、含有量比、並びに、バインダーポリマーの種類等によって調整できる。また、表面硬度は、後述するタッチパネルセンサーの製造方法の製造条件によっても調整できる。
（マンドレル試験）
本発明のタッチパネルセンサーは、マンドレル試験を行って得られる直径Ｘが３ｍｍ以下である。
マンドレル試験を行って得られる直径Ｘとは、本明細書において、以下の手順で測定したものをいう。
ＪＩＳ Ｋ－５６００－５－１（１９９９）に準じた方法で、タイプ２の試験装置を用いて、すなわち円筒形マンドレル法にて、曲げ性を評価する。なお、上記方法中、マンドレルの直径が１ｍｍ、２ｍｍ、３ｍｍ、４ｍｍ、及び、５ｍｍのマンドレルを用い、折り曲げ回数は１０回とする。折り曲げ後、タッチパネルセンサーの保護膜の表面を、１０倍の倍率において光学顕微鏡で観察して、保護膜のクラックの有無を確認する。保護膜のクラックが確認できない場合、用いたマンドレルよりも直径の小さいマンドレルを用いて同様の試験を行う。
上記試験を繰り返し、保護膜に初めてクラックが生じたマンドレルの直径を直径Ｘとする。なお、１ｍｍのマンドレルでもクラックが生じなかった場合は、直径Ｘは１ｍｍとする。
上記直径Ｘは、３ｍｍ以下であり、２ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍがより好ましい。
直径Ｘを上記好ましい範囲とすることで、センサー電極の抵抗値の変化をより少なくすることができる。
上記直径Ｘは、後述する感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和化合物の種類、含有量、及び、含有量比、並びに、バインダーポリマーの種類等によって調整できる。また、表面硬度は、後述するタッチパネルセンサーの製造方法の製造条件によっても調整できる。
＜転写フィルム＞
本発明のタッチパネルセンサーの保護膜の形成に好ましく用いられる転写フィルムについて説明する。
転写フィルムは、仮支持体と、仮支持体上に配置された組成物層と、を有し、上記組成物層は、感光性組成物層を含む。
上記組成物層は、感光性組成物層を含めば特に制限されない。
上記感光性組成物層は、ネガ型感光性組成物層が好ましい。
また、上記組成物層は、単層構成であってもよいし、２層以上の構成であってもよい。上記組成物層が感光性組成物層以外の他の組成物層を含む場合、他の組成物層としては、熱可塑性樹脂層、中間層、屈折率調整層等が挙げられる。
また、転写フィルムは、組成物層上に保護フィルムを有する構成であってもよい。
転写フィルムの態様の一例を以下に示すが、これに制限されない。
（１）「仮支持体／感光性組成物層／屈折率調整層／保護フィルム」
（２）「仮支持体／感光性組成物層／保護フィルム」
（３）「仮支持体／中間層／感光性組成物層／保護フィルム」
（４）「仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／感光性組成物層／保護フィルム」
なお、上記各構成において、感光性組成物層は、ネガ型感光性組成物層であることが好ましい。また、感光性組成物層が着色樹脂層であることも好ましい。
転写フィルムの構成としては、例えば、上述した（１）又は（２）の構成であることが好ましい。
転写フィルムの組成物層において、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側に他の組成物層を更に有する構成の場合、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側に配置されるその他の層の合計厚みは、感光性組成物層の厚みに対して、０．１～３０％であることが好ましく、０．１～２０％であることがより好ましい。
後述する貼合工程における気泡発生抑止の観点から、転写フィルムのうねりの最大幅は、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下がより好ましく、６０μｍ以下が更に好ましい。なお、うねりの最大幅の下限値としては、０μｍ以上であり、０．１μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましい。
転写フィルムのうねりの最大幅は、以下の手順により測定される値である。
まず、転写フィルムを縦２０ｃｍ×横２０ｃｍのサイズとなるように主面に垂直な方向に裁断し、試験サンプルを作製する。なお、転写フィルムが保護フィルムを有する場合には、保護フィルムを剥離する。次いで、表面が平滑で且つ水平なステージ上に、上記試験サンプルを仮支持体の表面がステージに対向するように静置する。静置後、試験サンプルの中心１０ｃｍ角の範囲について、試験サンプルの表面をレーザー顕微鏡（例えば、（株）キーエンス社製 ＶＫ－９７００ＳＰ）で走査して３次元表面画像を取得し、得られた３次元表面画像で観察される最大凸高さから最低凹高さを引き算する。上記操作を１０個の試験サンプルについて行い、その算術平均値を「転写フィルムのうねり最大幅」とする。
以下において、具体的な実施形態の一例を挙げて、転写フィルムについて説明する。
［仮支持体］
転写フィルムは、仮支持体を有する。
仮支持体は、組成物層を支持する部材であり、最終的には剥離処理により除去される。
仮支持体は、単層構造であっても、複層構造であってもよい。
仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮、又は、伸びを生じないフィルムが好ましい。
上記フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム（例えば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム）、ポリメチルメタクリレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。
なかでも、仮支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
また、仮支持体として使用するフィルムには、シワ等の変形、及び、傷等がないことが好ましい。
仮支持体は、仮支持体を介してパターン露光できるという点から、透明性が高いことが好ましく、３６５ｎｍの透過率は６０％以上が好ましく、７０％以上がより好ましい。
仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体のヘイズは小さい方が好ましい。具体的には、仮支持体のヘイズ値が、２％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．１％以下が更に好ましい。
仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物、及び、欠陥の数は少ない方が好ましい。仮支持体中における直径１μｍ以上の微粒子、異物、及び、欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ２以下が好ましく、１０個／１０ｍｍ２以下がより好ましく、３個／１０ｍｍ２以下が更に好ましく、０個／１０ｍｍ２が特に好ましい。
仮支持体の厚みは特に制限されないが、５～２００μｍが好ましく、取り扱いやすさ及び汎用性の点から、５～１５０μｍがより好ましく、５～５０μｍが更に好ましく、５～２５μｍが最も好ましい。
仮支持体の厚みは、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡：Ｓｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。
また、仮支持体と組成物層との密着性を向上させるために、仮支持体の組成物層と接する側がＵＶ照射、コロナ放電、プラズマ等により表面改質されていても良い。
ＵＶ照射により表面改質される場合、露光量は１０～２０００ｍＪ／ｃｍ２であることが好ましく、５０～１０００ｍＪ／ｃｍ２であることがより好ましい。
ＵＶ照射のための光源としては、１５０～４５０ｎｍ波長帯域の光を発する低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカルランプ、無電極放電ランプ、発光ダイオード（ＬＥＤ）等を挙げることができる。光照射量がこの範囲にできる限り、ランプ出力や照度は特に制限はない。
仮支持体としては、例えば、膜厚１６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、膜厚１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、膜厚９μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。
仮支持体の好ましい形態としては、例えば、特開２０１４－０８５６４３号公報の段落［００１７］～［００１８］、特開２０１６－０２７３６３号公報の段落［００１９］～［００２６］、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落［００４１］～［００５７］、及び、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落［００２９］～［００４０］に記載が挙げられ、これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。
ハンドリング性を付与する点で、仮支持体の表面に、微小な粒子を含む層（滑剤層）を設けてもよい。滑剤層は仮支持体の片面に設けてもよいし、両面に設けてもよい。滑剤層に含まれる粒子の直径は、０．０５～０．８μｍが好ましい。
また、滑剤層の膜厚は、０．０５～１．０μｍが好ましい。仮支持体の市販品としては、ルミラー１６ＫＳ４０、ルミラー１６ＦＢ４０（以上、東レ（株）製）、コスモシャインＡ４１００、コスモシャインＡ４３００、コスモシャインＡ８３００（以上、東洋紡（株）製）を挙げることができる。
［感光性組成物層］
転写フィルムは、感光性組成物層を有する。
感光性組成物層を被転写体上に転写した後、露光及び現像を行うことにより、被転写体上にパターンを形成できる。
感光性組成物層としては、ネガ型が好ましい。なお、ネガ型感光性組成物層とは、露光により露光部が現像液に対する溶解性が低下する感光性組成物層である。感光性組成物層がネガ型感光性組成物層である場合、形成されるパターンは硬化層に該当する。
以下、感光性組成物層に含まれ得る成分について詳述する。
（バインダーポリマー）
感光性組成物層は、バインダーポリマーを含んでいてもよい。
バインダーポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、及び、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。
バインダーポリマーの好適態様の一つとして、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂が挙げられる。
なお、本明細書において、（メタ）アクリル樹脂とは、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位を有する樹脂を意味する。（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位のみで構成されていてもよく、（メタ）アクリル化合物以外の重合性単量体に由来する構成単位を有していてもよい。すなわち、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量の上限は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１００質量％以下である。
（メタ）アクリル化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド、及び、（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。
（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、及び、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートが挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミドが挙げられる。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基としては、直鎖状でも分岐を有していても良い。具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、及び、（メタ）アクリル酸ドデシル等の炭素数が１～１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。 （メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。
（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位以外の構成単位を有していてもよい。
上記構成単位を形成する重合性単量体としては、（メタ）アクリル化合物と共重合可能な（メタ）アクリル化合物以外の化合物であれば特に制限されず、例えば、スチレン、ビニルトルエン、及び、α－メチルスチレン等のα位又は芳香族環に置換基を有してもよいスチレン化合物、アクリロニトリル及びビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールエステル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、及び、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、並びに、クロトン酸が挙げられる。
これらの重合性単量体は、１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。
また、（メタ）アクリル樹脂は、アルカリ現像性をより良好にする点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及び、ホスホン酸基が挙げられる。
なかでも、（メタ）アクリル樹脂は、カルボキシ基を有する構成単位を有することがより好ましく、上記の（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有することが更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂における酸基を有する構成単位（好ましくは（メタ）アクリル酸に由来する構成単位）の含有量は、現像性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂の全質量に対して、１０質量％以上が好ましい。また、上限値は特に制限されないが、アルカリ耐性に優れる点で、５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂は、上述した（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有することがより好ましい。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有する場合、（メタ）アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１～９０質量％が好ましく、１～５０質量％がより好ましく、１～３０質量％が更に好ましい。
（メタ）アクリル樹脂としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有する樹脂が好ましく、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位のみで構成されている樹脂がより好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂としては、メタクリル酸に由来する構成単位、メタクリル酸メチルに由来する構成単位、及び、アクリル酸エチルに由来する構成単位を有するアクリル樹脂も好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種を有することが好ましく、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有することが好ましい。
（メタ）アクリル樹脂におけるメタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、本発明の効果がより優れる点から、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、４０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％以下であってもよく、８０質量％以下が好ましい。
また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種と、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種とを有することも好ましい。
本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量に対して、質量比で６０／４０～８０／２０が好ましい。
（メタ）アクリル樹脂は、転写後の感光性組成物層の現像性に優れる点で、末端にエステル基を有することが好ましい。
なお、（メタ）アクリル樹脂の末端部は、合成に用いた重合開始剤に由来する部位により構成される。末端にエステル基を有する（メタ）アクリル樹脂は、エステル基を有するラジカルを発生する重合開始剤を用いることにより合成できる。
また、バインダーポリマーの別の好適態様としては、アルカリ可溶性樹脂が挙げられる。
バインダーポリマーは、例えば、現像性の点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のバインダーポリマーであることが好ましい。
また、バインダーポリマーは、例えば、加熱により架橋成分と熱架橋し、強固な膜を形成しやすいという点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有樹脂）であることがより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂）であることが更に好ましい。
バインダーポリマーがカルボキシ基を有する樹脂であると、例えば、ブロックイソシアネート化合物等の熱架橋性化合物を添加して熱架橋することで、３次元架橋密度を高めることができる。また、カルボキシ基を有する樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化すると、湿熱耐性が改善し得る。
酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂としては、上記酸価の条件を満たす限りにおいて、特に制限はなく、公知の（メタ）アクリル樹脂から適宜選択できる。
例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落［００２５］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落［００３３］～［００５２］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等を好ましく使用できる。
バインダーポリマーの他の好適態様としてはスチレン－アクリル共重合体が挙げられる。
なお、本明細書において、スチレン－アクリル共重合体とは、スチレン化合物に由来する構成単位と、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位とを有する樹脂を指し、上記スチレン化合物に由来する構成単位、及び、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の合計含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
また、スチレン化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、５～８０質量％が更に好ましい。
また、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、２０～９５質量％が更に好ましい。
バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、芳香環構造を有していることが好ましく、芳香環構造を有する構成単位を有することがより好ましい。
芳香環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、アラルキル基を有するモノマー、スチレン、及び重合可能なスチレン誘導体（例えば、メチルスチレン、ビニルトルエン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、４－ビニル安息香酸、スチレンダイマー、及びスチレントリマー等）が挙げられる。なかでも、アラルキル基を有するモノマー、又はスチレンが好ましい。アラルキル基としては、置換又は非置換のフェニルアルキル基（ベンジル基を除く）、及び置換又は非置換のベンジル基等が挙げられ、置換又は非置換のベンジル基が好ましい。
フェニルアルキル基を有する単量体としては、フェニルエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
ベンジル基を有する単量体としては、ベンジル基を有する（メタ）アクリレート、例えば、ベンジル（メタ）アクリレート、及びクロロベンジル（メタ）アクリレート等；ベンジル基を有するビニルモノマー、例えば、ビニルベンジルクロライド、及びビニルベンジルアルコール等が挙げられる。なかでも、ベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。
また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｓ）で表される構成単位（スチレンに由来する構成単位）を有することがより好ましい。
Figure 2023020450000001
バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましく、２０～６０質量％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましい。
更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましく、２０～５０モル％が特に好ましい。
なお、本明細書において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本明細書において、上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。
バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、脂肪族炭化水素環構造を有することが好ましい。つまり、バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有することが好ましい。脂肪族炭化水素環構造としては単環でも多環でもよい。なかでも、バインダーポリマーは、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有することがより好ましい。
脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位における脂肪族炭化水素環構造を構成する環としては、トリシクロデカン環、シクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボルナン環、及び、イソボロン環が挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環が好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環（トリシクロ［５．２．１．０２，６］デカン環）がより好ましい。
脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましく、上記式（Ｓ）で表される構成単位、及び、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましい。
Figure 2023020450000002
式（Ｃｙ）中、ＲＭは水素原子又はメチル基を表し、ＲＣｙは脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基を表す。
式（Ｃｙ）におけるＲＭは、メチル基であることが好ましい。
式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、本発明の効果がより優れる点から、炭素数５～２０の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが好ましく、炭素数６～１６の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることがより好ましく、炭素数８～１４の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが更に好ましい。
また、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造、ノルボルナン環構造、又は、イソボロン環構造であることが好ましく、シクロヘキサン環構造、又は、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることがより好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることが更に好ましい。
更に、式（Ｃｙ）のＲＣｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることが好ましく、２～４環の脂肪族炭化水素環が縮環した環であることがより好ましい。
更に、式（Ｃｙ）におけるＲＣｙは、本発明の効果がより優れる点から、式（Ｃｙ）における－Ｃ（＝Ｏ）Ｏ－の酸素原子と脂肪族炭化水素環構造とが直接結合する基、すなわち、脂肪族炭化水素環基であることが好ましく、シクロヘキシル基、又は、ジシクロペンタニル基であることがより好ましく、ジシクロペンタニル基であることが更に好ましい。
バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
バインダーポリマーが脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～８０質量％がより好ましく、２０～７０質量％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。
更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。
バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、４０～７５質量％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位及び上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位のモル量ｎＳと上記式（Ｃｙ）で表される構成単位のモル量ｎＣｙは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（ＳＣｙ）に示す関係を満たすことが好ましく、下記式（ＳＣｙ－１）を満たすことがより好ましく、下記式（ＳＣｙ－２）を満たすことが更に好ましい。
０．２≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．８ 式（ＳＣｙ）
０．３０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７５ 式（ＳＣｙ－１）
０．４０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７０ 式（ＳＣｙ－２）
バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。
上記酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、ホスホン酸基、及び、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
上記酸基を有する構成単位としては、下記に示す、（メタ）アクリル酸由来の構成単位が好ましく、メタクリル酸由来の構成単位がより好ましい。
Figure 2023020450000003
バインダーポリマーは、酸基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
バインダーポリマーが酸基を有する構成単位を有する場合、酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～５０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、１０～３０質量％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。
更に、バインダーポリマーにおける（メタ）アクリル酸由来の構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。
バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、反応性基を有することが好ましく、反応性基を有する構成単位を有することがより好ましい。
反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、バインダーポリマーがエチレン性不飽和基を有している場合、バインダーポリマーは、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。つまり、バインダーポリマーとしては、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーが好ましい。
本明細書において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
エチレン性不飽和基としては、アリル基又は（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。
反応性基を有する構成単位の一例としては、下記に示すものが挙げられるが、これらに限定されない。
Figure 2023020450000004
バインダーポリマーは、反応性基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
バインダーポリマーが反応性基を有する構成単位を有する場合、反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０質量％が好ましく、１０～５０質量％がより好ましく、２０～４０質量％が更に好ましい。
また、バインダーポリマーにおける反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。
反応性基をバインダーポリマーに導入する手段としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、第一級アミノ基、第二級アミノ基、アセトアセチル基、及び、スルホ基等の官能基に、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート化合物、イソシアネート化合物、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、及び、カルボン酸無水物等の化合物を反応させる方法が挙げられる。
反応性基をバインダーポリマーに導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するポリマーを重合反応により合成した後、高分子反応により、得られたポリマーのカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させて、（メタ）アクリロキシ基をポリマーに導入する手段が挙げられる。この手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するバインダーポリマーを得ることができる。
上記重合反応は、７０～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬（株）製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。上記高分子反応は、８０～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記高分子反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。
バインダーポリマーとしては、以下に示すポリマーであってもよい。なお、以下に示す各構成単位の含有比率（ａ～ｄ）及び重量平均分子量Ｍｗ等は目的に応じて適宜変更できる。
Figure 2023020450000005
なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：２０～６０ｗｔ％、ｂ：１０～５０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。
Figure 2023020450000006
なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：２０～６０ｗｔ％、ｂ：１０～５０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。
Figure 2023020450000007
なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：３０～６５ｗｔ％、ｂ：１．０～２０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。
Figure 2023020450000008
なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：１．０～２０ｗｔ％、ｂ：２０～６０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。
また、バインダーポリマーは、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を有する重合体（以下、「重合体Ｘ」ともいう。）を含んでいてもよい。
カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び、環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
環状カルボン酸無水物構造の環としては、５～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。
カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を２つ除いた２価の基を主鎖中に含む構成単位、又は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を１つ除いた１価の基が主鎖に対して直接又は２価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。
Figure 2023020450000009
式Ｐ－１中、ＲＡ１ａは、置換基を表し、ｎ１ａ個のＲＡ１ａは、同一でも異なっていてもよく、Ｚ１ａは、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－を含む環を形成する２価の基を表し、ｎ１ａは、０以上の整数を表す。
ＲＡ１ａで表される置換基としては、例えば、アルキル基が挙げられる。
Ｚ１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。
ｎ１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。
ｎ１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲＡ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲＡ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。
カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位が好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位がより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位が更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位が特に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位が最も好ましい。
以下、カルボン酸無水物構造を有する構成単位の具体例を挙げるが、カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、これらの具体例に限定されるものではない。下記の構成単位中、Ｒｘは、水素原子、メチル基、ＣＨ２ＯＨ基、又は、ＣＦ３基を表し、Ｍｅは、メチル基を表す。
Figure 2023020450000010
Figure 2023020450000011
重合体Ｘにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。
カルボン酸無水物構造を有する構成単位の総含有量は、重合体Ｘの全構成単位に対して、０～６０モル％が好ましく、５～４０モル％がより好ましく、１０～３５モル％が更に好ましい。
感光性組成物層は、重合体Ｘを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
感光性組成物層が重合体Ｘを含む場合、本発明の効果がより優れる点から、重合体Ｘの含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．１～３０質量％が好ましく、０．２～２０質量％がより好ましく、０．５～２０質量％が更に好ましく、１～２０質量％が更に好ましい。
バインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、本発明の効果がより優れる点から、５，０００以上が好ましく、１０，０００以上がより好ましく、１０，０００～５０，０００が更に好ましく、１５，０００～３０，０００が特に好ましい。
バインダーポリマーの酸価は、１０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、６０ｍｇ～２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましく、７０～１３０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。
なお、バインダーポリマーの酸価は、ＪＩＳ Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。バインダーポリマーの分散度は、現像性の観点から、１．０～６．０が好ましく、１．０～５．０がより好ましく、１．０～４．０が更に好ましく、１．０～３．０が特に好ましい。
感光性組成物層は、バインダーポリマーを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
バインダーポリマーの含有量は、本発明の効果がより優れる点から、感光性組成物層全質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、３０～７０質量％が更に好ましい。
（エチレン性不飽和基を有する化合物）
感光性組成物層は、エチレン性不飽和基を有する化合物（以下、単に「エチレン性不飽和化合物」ともいう。）を含んでいてもよい。
エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロキシ基が好ましい。
なお、本明細書におけるエチレン性不飽和化合物は、上記バインダーポリマー以外の化合物であり、分子量５，０００未満であることが好ましい。
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、下記式（Ｍ）で表される化合物（単に、「化合物Ｍ」ともいう。）が挙げられる。
Ｑ２－Ｒ１－Ｑ１ 式（Ｍ）
式（Ｍ）中、Ｑ１及びＱ２はそれぞれ独立に、（メタ）アクリロイルオキシ基を表し、Ｒ１は鎖状構造を有する二価の連結基を表す。
式（Ｍ）におけるＱ１及びＱ２は、合成容易性の点から、Ｑ１及びＱ２は同じ基であることが好ましい。
また、式（Ｍ）におけるＱ１及びＱ２は、反応性の点から、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。
式（Ｍ）におけるＲ１としては、本発明の効果がより優れる点から、アルキレン基、アルキレンオキシアルキレン基（－Ｌ１－Ｏ－Ｌ１－）、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基（－（Ｌ１－Ｏ）ｐ－Ｌ１－）が好ましく、炭素数２～２０の炭化水素基、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基がより好ましく、炭素数４～２０のアルキレン基が更に好ましく、炭素数６～１８の直鎖アルキレン基が特に好ましい。
上記炭化水素基は、少なくとも一部に鎖状構造を有していればよく、上記鎖状構造以外の部分としては、特に制限はなく、例えば、分岐鎖状、環状、又は、炭素数１～５の直鎖アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、及び、それらの組み合わせのいずれであってもよく、アルキレン基、又は、２以上のアルキレン基と１以上のアリーレン基とを組み合わせた基が好ましく、アルキレン基がより好ましく、直鎖アルキレン基が更に好ましい。
なお、上記Ｌ１は、それぞれ独立に、アルキレン基を表し、エチレン基、プロピレン基、又は、ブチレン基が好ましく、エチレン基又は１，２－プロピレン基がより好ましい。ｐは２以上の整数を表し、２～１０の整数であることが好ましい。
また、化合物ＭにおけるＱ１とＱ２との間を連結する最短の連結鎖の原子数は、本発明の効果がより優れる点から、３～５０個が好ましく、４～４０個がより好ましく、６～２０個が更に好ましく、８～１２個が特に好ましい。
本明細書において、「Ｑ１とＱ２の間を連結する最短の連結鎖の原子数」とは、Ｑ１に連結するＲ１における原子からＱ２に連結するＲ１における原子までを連結する最短の原子数である。
化合物Ｍの具体例としては、１，３－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，７－ヘプタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，８－オクタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡのジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦのジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレンレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール／プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、及び、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。上記エステルモノマーは混合物としても使用できる。
上記化合物のなかでも、本発明の効果がより優れる点から、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが好ましく、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることがより好ましく、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが更に好ましい。
また、エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、２官能以上のエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
本明細書において、「２官能以上のエチレン性不飽和化合物」とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。
エチレン性不飽和化合物におけるエチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。
２官能のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
上記化合物Ｍ以外の２官能のエチレン性不飽和化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ジオキサングリコールジ（メタ）アクリレート、及び、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
２官能のエチレン性不飽和化合物の市販品としては、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、トリシクロデカンジメナノールジメタクリレート（商品名：ＮＫエステル ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、１，９－ノナンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、ジオキサングリコールジアクリレート（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－６０４）が挙げられる。
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸（メタ）アクリレート、及び、グリセリントリ（メタ）アクリレート骨格の（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
ここで、「（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレート、及び、ヘキサ（メタ）アクリレートを包含する概念であり、「（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート及びテトラ（メタ）アクリレートを包含する概念である。
エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物のカプロラクトン変性化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標） ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業（株）製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、（メタ）アクリレート化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標） ＲＰ－１０４０、新中村化学工業（株）製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社のＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標） １３５等）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業（株）製ＮＫエステル Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）も挙げられる。
エチレン性不飽和化合物としては、ウレタン（メタ）アクリレート化合物も挙げられる。
ウレタン（メタ）アクリレートとしては、ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられ、例えば、プロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、並びに、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイド変性ウレタンジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
また、ウレタン（メタ）アクリレートとしては、３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートも挙げられる。官能基数の下限としては、６官能以上がより好ましく、８官能以上が更に好ましい。なお、官能基数の上限としては、２０官能以下が好ましい。３官能以上のウレタン（メタ）アクリレートとしては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）製）、ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業（株）製）、Ｕ－１５ＨＡ（新中村化学工業（株）製）、ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業（株）製）、共栄社化学（株）製のＡＨ－６００（商品名）、並びに、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＵＡ－５１０Ｈ、及びＵＸ－５０００（いずれも日本化薬（株）製）等が挙げられる。
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとして、酸基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
酸基としては、リン酸基、スルホ基、及び、カルボキシ基が挙げられる。
これらのなかでも、酸基としては、カルボキシ基が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、酸基を有する３～４官能のエチレン性不飽和化合物〔ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（ＰＥＴＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの（酸価：８０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕、酸基を有する５～６官能のエチレン性不飽和化合物（ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの〔酸価：２５～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕等が挙げられる。
これら酸基を有する３官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する２官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物が、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種であると、現像性及び膜強度がより高まる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５２０（東亞合成（株）製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５１０（東亞合成（株）製）が挙げられる。
酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落［００２５］～［００３０］に記載の酸基を有するエチレン性不飽和化合物が好ましく、この公報に記載の内容は、本明細書に組み込まれる。
エチレン性不飽和化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ－クロロ－β－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート、β－ヒドロキシエチル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート、及び、β－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート等のフタル酸系化合物、並びに、（メタ）アクリル酸アルキルエステルも挙げられる。
これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、及び、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、エチレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド基の数が２～１４であり、かつ、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、並びに、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。
なかでも、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
エチレン性不飽和化合物としては、エチレン性不飽和化合物のカプロラクトン変性化合物（例えば、日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業（株）製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、エチレン性不飽和化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（例えば、日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ ＲＰ－１０４０、新中村化学工業（株）製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社製ＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）１３５等）、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業（株）製Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）等も挙げられる。
エチレン性不飽和化合物としては、転写後の感光性組成物層の現像性に優れる点で、なかでも、エステル結合を含むものも好ましい。
エステル結合を含むエチレン性不飽和化合物としては、分子内にエステル結合を含むものであれば特に制限されないが、本発明の効果が優れる点で、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
信頼性付与の点からは、エチレン性不飽和化合物としては、炭素数６～２０の脂肪族基を有するエチレン性不飽和化合物と、上記のテトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物と、を含むことが好ましい。
炭素数６以上の脂肪族構造を有するエチレン性不飽和化合物としては、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。
エチレン性不飽和化合物の好適態様の一つとしては、脂肪族炭化水素環構造を有するエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能エチレン性不飽和化合物）が挙げられる。
上記エチレン性不飽和化合物としては、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造（好ましくは、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造からなる群から選択される構造）を有するエチレン性不飽和化合物が好ましく、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物がより好ましく、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが更に好ましい。
上記脂肪族炭化水素環構造としては、本発明の効果がより優れる点から、シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、トリシクロデカン構造、トリシクロデセン構造、ノルボルナン構造、又は、イソボロン構造が好ましい。
エチレン性不飽和化合物の分子量は、２００～３，０００が好ましく、２５０～２，６００がより好ましく、２８０～２，２００が更に好ましく、３００～２，２００が特に好ましい。
感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和化合物のうち、分子量３００以下のエチレン性不飽和化合物の含有量の割合は、感光性組成物層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の含有量に対して、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。
感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、３官能又は４官能のエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物と、脂肪族炭化水素環を有する構成単位を有するバインダーポリマーとを含むことが好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物とを含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物とを含むことがより好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸変性体とを含むことが更に好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述する熱架橋性化合物とを含むことが好ましく、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述するブロックイソシアネート化合物とを含むことがより好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、２官能のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能の（メタ）アクリレート化合物）と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物）と、を含むこと好ましい。
２官能のエチレン性不飽和化合物と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量の質量比は１０：９０～９０：１０が好ましく、３０：７０～７０：３０がより好ましい。
全てのエチレン性不飽和化合物の合計量に対する、２官能のエチレン性不飽和化合物の含有量は、２０～８０質量％が好ましく、３０～７０質量％がより好ましい。
感光性組成物層における２官能のエチレン性不飽和化合物は、１０～６０質量％が好ましく、１５～４０質量％がより好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、基材密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタン（メタ）アクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、感光性組成物層は、基材密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、１，９－ノナンジオールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、及び、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタンアクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
感光性組成物層は、エチレン性不飽和化合物として、単官能エチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。
上記エチレン性不飽和化合物における２官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の総含有量に対し、６０～１００質量％が好ましく、８０～１００質量％がより好ましく、９０～１００質量％が更に好ましい。
エチレン性不飽和化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、感光性組成物層は、２つのエチレン性不飽和基を有する第１重合性化合物と、５つ以上のエチレン性不飽和基を有する第２重合性化合物を含むことが好ましい。
感光性組成物層におけるエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１～７０質量％が好ましく、５～７０質量％がより好ましく、５～６０質量％が更に好ましく、５～５０質量％が特に好ましい。
また、感光性組成物層が第１重合性化合物及び第２重合性化合物を含む場合、本発明の効果がより優れる点で、第１重合性化合物の含有量に対する、第２重合性化合物の含有量の質量比は、０．２～１．８が好ましく、０．４～１．３がより好ましく、０．５～１．３が更に好ましい。
（光重合開始剤）
感光性組成物層は、光重合開始剤を含んでいてもよい。
光重合開始剤としては特に制限はなく、公知の光重合開始剤を使用できる。
光重合開始剤としては、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤（以下、「オキシム系光重合開始剤」ともいう。）、α－アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤」ともいう。）、α－ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう。）、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤（以下、「アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤」ともいう。）、及び、Ｎ－フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤（以下、「Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤」ともいう。）等が挙げられる。
光重合開始剤は、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤、及び、Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、及び、Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましい。
また、光重合開始剤としては、例えば、特開２０１１－９５７１６号公報の段落［００３１］～［００４２］、及び、特開２０１５－０１４７８３号公報の段落［００６４］～［００８１］に記載された重合開始剤を用いてもよい。
光重合開始剤の市販品としては、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－１，２－オクタンジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標） ＯＸＥ－０１、ＢＡＳＦ社製〕、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標） ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社製〕、ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）ＯＸＥ０３（ＢＡＳＦ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）ＯＸＥ０４（ＢＡＳＦ社製）、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）３７９ＥＧ、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）９０７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）１２７、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタノン－１〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）３６９、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）１１７３、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）１８４、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン〔商品名：Ｏｍｎｉｒａｄ（登録商標）６５１、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ社製〕等、オキシムエステル系の〔商品名：Ｌｕｎａｒ（登録商標） ６、ＤＫＳＨジャパン（株）製〕、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－３－シクロペンチルプロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３０５、常州強力電子新材料社製）、１，２－プロパンジオン，３－シクロヘキシル－１－［９－エチル－６－（２－フラニルカルボニル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－，２－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３２６、常州強力電子新材料社製）、３－シクロヘキシル－１－（６－（２－（ベンゾイルオキシイミノ）ヘキサノイル）－９－エチル－９Ｈ－カルバゾール－３－イル）－プロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３９１、常州強力電子新材料社製）、ＡＰｉ－３０７（１－（ビフェニル－４－イル）－２－メチル－２－モルホリノプロパン－１－オン、Ｓｈｅｎｚｈｅｎ ＵＶ－ＣｈｅｍＴｅｃｈ Ｌｔｄ．製）等が挙げられる。
光重合開始剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を使用することもできる。２種以上を使用する場合は、オキシム系光重合開始剤と、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤及びα－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤から選ばれる少なくとも１種と、を使用することが好ましい。
感光性組成物層が光重合開始剤を含む場合、光重合開始剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．１質量％以上であることが好ましく、０．５質量％以上であることがより好ましく、１．０質量％以上であることが更に好ましい。また、その上限値としては、感光性組成物層全質量に対して、１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であるのより好ましい。
（複素環化合物）
感光性組成物層は、複素環化合物を含んでいてもよい。
複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子からなる群より選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。
複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、及び、ピリミジン化合物が挙げられる。
上記のなかでも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物がより好ましい。
複素環化合物の好ましい具体例を以下に示す。トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000012
Figure 2023020450000013
テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000014
Figure 2023020450000015
チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000016
トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000017
ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000018
チアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000019
ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000020
ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000021
Figure 2023020450000022
ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。
Figure 2023020450000023
複素環化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～２０．０質量％が好ましく、０．１０～１０．０質量％がより好ましく、０．３０～８．０質量％が更に好ましく、０．５０～５．０質量％が特に好ましい。
（脂肪族チオール化合物）
感光性組成物層は、脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。
脂肪族チオール化合物としては、単官能の脂肪族チオール化合物、又は、多官能の脂肪族チオール化合物（すなわち、２官能以上の脂肪族チオール化合物）が好ましい。
上記のなかでも、脂肪族チオール化合物としては、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物が好ましい。
本明細書において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。
多官能の脂肪族チオール化合物としては、分子量が１００以上の低分子化合物が好ましい。具体的には、多官能の脂肪族チオール化合物の分子量は、１００～１，５００がより好ましく、１５０～１，０００が更に好ましい。
多官能の脂肪族チオール化合物の官能基数としては、例えば、形成されるパターンの密着性の点から、２～１０官能が好ましく、２～８官能がより好ましく、２～６官能が更に好ましい。
多官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリス［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオプロピオネート、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，２－エタンジチオール、１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサメチレンジチオール、２，２’－（エチレンジチオ）ジエタンチオール、ｍｅｓｏ－２，３－ジメルカプトコハク酸、及び、ジ（メルカプトエチル）エーテルが挙げられる。
上記のなかでも、多官能の脂肪族チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、及び、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンからなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。
単官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、１－オクタンチオール、１－ドデカンチオール、β－メルカプトプロピオン酸、メチル－３－メルカプトプロピオネート、２－エチルヘキシル－３－メルカプトプロピオネート、ｎ－オクチル－３－メルカプトプロピオネート、メトキシブチル－３－メルカプトプロピオネート、及び、ステアリル－３－メルカプトプロピオネートが挙げられる。
感光性組成物層は、１種単独の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよく、２種以上の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５～５０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましく、８～２０質量％が特に好ましい。
（熱架橋性化合物）
感光性組成物層は、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、熱架橋性化合物を含むことが好ましい。なお、本明細書においては、後述するエチレン性不飽和基を有する熱架橋性化合物は、エチレン性不飽和化合物としては扱わず、熱架橋性化合物として扱うものとする。
熱架橋性化合物としては、エポキシ化合物、オキセタン化合物、メチロール化合物、及び、ブロックイソシアネート化合物が挙げられる。なかでも、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、ブロックイソシアネート化合物が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、ヒドロキシ基及びカルボキシ基と反応するため、例えば、バインダーポリマー及びエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物の少なくとも一方が、ヒドロキシ基及びカルボキシ基の少なくとも一方を有する場合には、形成される膜の親水性が下がり、保護膜としての機能が強化される傾向がある。
なお、ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。
ブロックイソシアネート化合物の解離温度は、特に制限されないが、９０～１６０℃が好ましく、１００～１５０℃がより好ましい。
ブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」を意味する。
示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ（株）製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に使用できる。但し、示差走査熱量計は、これに限定されない。
解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、活性メチレン化合物〔マロン酸ジエステル（マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジｎ－ブチル、マロン酸ジ２－エチルヘキシル等）〕、オキシム化合物（ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、及び、シクロヘキサノンオキシム等の分子内に－Ｃ（＝Ｎ－ＯＨ）－で表される構造を有する化合物）が挙げられる。
これらのなかでも、解離温度が９０～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の点から、オキシム化合物、ピラゾール化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、例えば、膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の点から、イソシアヌレート構造を有することが好ましい。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。
イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物のなかでも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、かつ、現像残渣を少なくしやすいという点から好ましい。
ブロックイソシアネート化合物は、重合性基を有していてもよい。
重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、ラジカル重合性基が好ましい。
重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、及び、スチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。
なかでも、重合性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましく、アクリロキシ基が更に好ましい。
ブロックイソシアネート化合物としては、市販品を使用できる。
ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、カレンズ（登録商標） ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標） ＭＯＩ－ＢＰ等（以上、昭和電工（株）製）、ブロック型のデュラネートシリーズ（例えば、デュラネート（登録商標） ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、デュラネート（登録商標）ＳＢＮ－７０Ｄ、デュラネート（登録商標） ＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ等、旭化成ケミカルズ（株）製）が挙げられる。
ブロックイソシアネート化合物としては、ＮＣＯ価は、４．５ｍｍｏｌ／ｇ以上のブロックイソシアネート化合物を含有すること（以後、第１ブロックイソシアネート化合物ということがある）が、本発明の効果がより優れる点から好ましい。第１ブロックイソシアネート化合物ＮＣＯ価は、５．０ｍｍｏｌ／ｇ以上が好ましく、５．３ｍｍｏｌ／ｇ以上がより好ましい。
第１ブロックイソシアネート化合物のＮＣＯ価の上限値は、本発明の効果がより優れる点から、８．０ｍｍｏｌ／ｇ以下が好ましく、６．０ｍｍｏｌ／ｇ以下がより好ましく、５．８ｍｍｏｌ／ｇ未満が更に好ましく、５．７ｍｍｏｌ／ｇ以下が特に好ましい。
本発明におけるブロックイソシアネート化合物のＮＣＯ価は、ブロックイソシアネート化合物１ｇ当たりに含まれるイソシアネート基のモル数を意味し、ブロックイソシアネート化合物の構造式から計算される値である。
第１ブロックイソシアネート化合物は、本発明の効果がより優れる点から、環構造を有することが好ましい。環構造としては、脂肪族炭化水素環、芳香族炭化水素環及び複素環が挙げられ、本発明の効果がより優れる点から、脂肪族炭化水素環及び芳香族炭化水素環が好ましく、脂肪族炭化水素環がより好ましい。
脂肪族炭化水素環の具体例としては、シクロペンタン環、シクロヘキサン環が挙げられ、中でも、シクロヘキサン環が好ましい。
芳香族炭化水素環の具体例としては、ベンゼン環、ナフタレン環が挙げられ、中でも、ベンゼン環が好ましい。
複素環の具体例としては、イソシアヌレート環が挙げられる。
第１ブロックイソシアネート化合物が環構造を有する場合、環の個数は、本発明の効果がより優れる点から、１～２が好ましく、１がより好ましい。なお、第１ブロックイソシアネート化合物が縮合環を含む場合には、縮合環を構成する環の個数を数え、例えば、ナフタレン環における環の個数は２として数える。
第１ブロックイソシアネート化合物が有するブロックイソシアネート基の個数は、形成されるパターンの強度が優れる点、及び、本発明の効果がより優れる点から、２～５が好ましく、２～３がより好ましく、２が更に好ましい。
第１ブロックイソシアネート化合物は、本発明の効果がより優れる点から、式Ｑで表されるブロックイソシアネート化合物であることが好ましい。
Ｂ１－Ａ１－Ｌ１－Ａ２－Ｂ２ 式Ｑ
式Ｑ中、Ｂ１及びＢ２はそれぞれ独立に、ブロックイソシアネート基を表す。
ブロックイソシアネート基としては、特に限定されないが、本発明の効果がより優れる点から、イソシアネート基がオキシム化合物でブロックされた基が好ましく、イソシアネート基がメチルエチルケトオキシムでブロックされた基（具体的には、＊－ＮＨ－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｎ＝Ｃ（ＣＨ３）－Ｃ２Ｈ５で表される基。＊は、Ａ１又はＡ２との結合位置を表す。）がより好ましい。
Ｂ１及びＢ２は、同一の基であることが好ましい。
式Ｑ中、Ａ１及びＡ２はそれぞれ独立に、単結合又は炭素数１～１０のアルキレン基を表し、炭素数１～１０のアルキレン基が好ましい。
アルキレン基は、直鎖状、分岐鎖状又は環状であってもよいが、直鎖状であることが好ましい。
アルキレン基の炭素数は、１～１０であるが、本発明の効果がより優れる点から、１～５が好ましく、１～３がより好ましく、１が更に好ましい。
Ａ１及びＡ２は、同一の基であることが好ましい。
式Ｑ中、Ｌ１は、２価の連結基を表す。
２価の連結基の具体例としては、２価の炭化水素基が挙げられる。
２価の炭化水素基の具体例としては、２価の飽和炭化水素基、２価の芳香族炭化水素基、及び、これらの基が２つ以上連結されて形成される基が挙げられる。
２価の飽和炭化水素基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状であってもよく、本発明の効果がより優れる点から、環状であることが好ましい。２価の飽和炭化水素基の炭素数は、本発明の効果がより優れる点から、４～１５が好ましく、５～１０がより好ましく、５～８が更に好ましい。
２価の芳香族炭化水素基としては、炭素数５～２０であることが好ましく、例えば、フェニレン基が挙げられる。２価の芳香族炭化水素基は、置換基（例えば、アルキル基）を有していてもよい。
中でも、２価の連結基としては、炭素数５～１０の直鎖状、分岐鎖状若しくは環状の２価の飽和炭化水素基、炭素数５～１０の環状の飽和炭化水素基と炭素数１～３の直鎖状のアルキレン基とが連結した基、置換基を有していてもよい２価の芳香族炭化水素基、又は、２価の芳香族炭化水素基と炭素数１～３の直鎖状のアルキレン基とが連結した基が好ましく、炭素数５～１０の環状の２価の飽和炭化水素基、又は、置換基を有していてもよいフェニレン基がより好ましく、シクロヘキシレン基又は置換基を有していてもよいフェニレン基が更に好ましく、シクロヘキシレン基が特に好ましい。
式Ｑで表されるブロックイソシアネート化合物は、本発明の効果がより優れる点から、式ＱＡで表されるブロックイソシアネート化合物であることが特に好ましい。
Ｂ１ａ－Ａ１ａ－Ｌ１ａ－Ａ２ａ－Ｂ２ａ 式ＱＡ
式ＱＡ中、Ｂ１ａ及びＢ２ａはそれぞれ独立に、ブロックイソシアネート基を表す。Ｂ１ａ及びＢ２ａの好適態様は、式Ｑ中のＢ１及びＢ２と同様である。
式ＱＡ中、Ａ１ａ及びＡ２ａはそれぞれ独立に、２価の連結基を表す。Ａ１ａ及びＡ２ａにおける２価の連結基の好適態様は、式Ｑ中のＡ１及びＡ２と同様である。
式ＱＡ中、Ｌ１ａは、環状の２価の飽和炭化水素基、又は、２価の芳香族炭化水素基を表す。
Ｌ１ａにおける環状の２価の飽和炭化水素基の炭素数は、５～１０が好ましく、５～８がより好ましく、５～６が更に好ましく、６が特に好ましい。
Ｌ１ａにおける２価の芳香族炭化水素基の好適態様は、式Ｑ中のＬ１と同様である。
中でも、Ｌ１ａは、環状の２価の飽和炭化水素基が好ましく、炭素数５～１０の環状の２価の飽和炭化水素基がより好ましく、炭素数５～１０の環状の２価の飽和炭化水素基が更に好ましく、炭素数５～６の環状の２価の飽和炭化水素基が特に好ましく、シクロへキシレン基が最も好ましい。
Ｌ１ａがシクロへキシレン基である場合、式ＱＡで表されるブロックイソシアネート化合物は、ｃｉｓ体とｔｒａｎｓ体との異性体混合物（以下、「ｃｉｓ－ｔｒａｎｓ異性体混合物」ともいう。）であってもよい。
ｃｉｓ体とｔｒａｎｓ体との質量比は、ｃｉｓ体／ｔｒａｎｓ体＝１０／９０～９０／１０が好ましく、ｃｉｓ体／ｔｒａｎｓ体＝４０／６０～６０／４０がより好ましい。
第１ブロックイソシアネート化合物の具体例を以下に示すが、第１ブロックイソシアネート化合物はこれに限定されるわけではない。
Figure 2023020450000024
熱架橋性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１～５０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましい。
（界面活性剤）
感光性組成物層は、界面活性剤を含んでいてもよい。
界面活性剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１７］、及び、特開２００９－２３７３６２号公報の段落［００６０］～［００７１］に記載の界面活性剤が挙げられる。
界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が好ましい。
フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７９、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８６、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８７、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラード ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント ７１０ＦＬ、７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ、２５１、２１２Ｍ、２５０、２０９Ｆ、２２２Ｆ、２０８Ｇ、７１０ＬＡ、７１０ＦＳ、７３０ＬＭ、６５０ＡＣ、６８１、６８３（以上、（株）ＮＥＯＳ製）等が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック ＤＳ－２１が挙げられる。
また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基又はフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
また、フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーも使用できる。
また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく使用できる。
また、フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体も使用できる。メガファック ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ（株）製）等が挙げられる。
フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の観点から、パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）及びパーフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）等の炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤であることが好ましい。
ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニック（登録商標） Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（以上、ＢＡＳＦ社製）、テトロニック ３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース ２００００（以上、日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニン Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業（株）製）等が挙げられる。
シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。
シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＤＯＷＳＩＬ ８０３２ ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越シリコーン（株）製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。
界面活性剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～３．０質量％が好ましく、０．０１～１．０質量％がより好ましく、０．０５～０．８０質量％が更に好ましい。
（重合禁止剤）
感光性組成物層は、重合禁止剤を含んでいてもよい。
重合禁止剤とは、重合反応を遅延又は禁止させる機能を有する化合物を意味する。重合禁止剤としては、例えば、重合禁止剤として用いられる公知の化合物を使用できる。
重合禁止剤としては、例えば、フェノチアジン、ビス－（１－ジメチルベンジル）フェノチアジン、及び、３，７－ジオクチルフェノチアジン等のフェノチアジン化合物；ビス［３－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）プロピオン酸］［エチレンビス（オキシエチレン）］２，４－ビス〔（ラウリルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジル）、１，３，５－トリス（４－ｔ－ブチル－３－ヒドロキシ－２，６－ジメチルベンジル）、２，４－ビス－（ｎ－オクチルチオ）－６－（４－ヒドロキシ－３，５－ジ－ｔ－ブチルアニリノ）－１，３，５－トリアジン、及び、ペンタエリスリトールテトラキス３－（３，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート等のヒンダードフェノール化合物；４－ニトロソフェノール、Ｎ－ニトロソジフェニルアミン、Ｎ－ニトロソシクロヘキシルヒドロキシルアミン、及び、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミン等のニトロソ化合物又はその塩；メチルハイドロキノン、ｔ－ブチルハイドロキノン、２，５－ジ－ｔ－ブチルハイドロキノン、及び、４－ベンゾキノン等のキノン化合物；４－メトキシフェノール、４－メトキシ－１－ナフトール、及び、ｔ－ブチルカテコール等のフェノール化合物；ジブチルジチオカルバミン酸銅、ジエチルジチオカルバミン酸銅、ジエチルジチオカルバミン酸マンガン、及び、ジフェニルジチオカルバミン酸マンガン等の金属塩化合物が挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、重合禁止剤としては、フェノチアジン化合物、ニトロソ化合物又はその塩、及び、ヒンダードフェノール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましく、フェノチアジン、ビス［３－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）プロピオン酸］、［エチレンビス（オキシエチレン）］２，４－ビス〔（ラウリルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジル）、ｐ－メトキシフェノール、及び、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩がより好ましい。
重合禁止剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物層が重合禁止剤を含む場合、重合禁止剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．００１～５．０質量％が好ましく、０．０１～３．０質量％がより好ましく、０．０２～２．０質量％が更に好ましい。重合禁止剤の含有量は、エチレン性不飽和化合物全質量に対しては、０．００５～５．０質量％が好ましく、０．０１～３．０質量％がより好ましく、０．０１～１．０質量％が更に好ましい。
＜水素供与性化合物＞
感光性組成物層は、水素供与性化合物を含んでいてもよい。
水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、及び、酸素によるエチレン性不飽和化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
水素供与性化合物としては、例えば、アミン類、及び、アミノ酸化合物が挙げられる。
アミン類としては、例えば、Ｍ．Ｒ．Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４－０２０１８９号公報、特開昭５１－０８２１０２号公報、特開昭５２－１３４６９２号公報、特開昭５９－１３８２０５号公報、特開昭６０－０８４３０５号公報、特開昭６２－０１８５３７号公報、特開昭６４－０３３１０４号公報、及び、Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ ３３８２５号等に記載の化合物が挙げられる。より具体的には、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタン（別名：ロイコクリスタルバイオレット）、トリエタノールアミン、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ－ホルミルジメチルアニリン、及び、ｐ－メチルチオジメチルアニリンが挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、アミン類としては、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタンからなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましい。
アミノ酸化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－エチル－Ｎ－フェニルグリシンが挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、アミノ酸化合物としては、Ｎ－フェニルグリシンが好ましい。
また、水素供与性化合物としては、例えば、特公昭４８－０４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５－０３４４１４号公報に記載の水素供与体、及び、特開平６－３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（トリチアン等）も挙げられる。
水素供与性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～１０．０質量％が好ましく、０．０１～８．０質量％がより好ましく、０．０３～５．０質量％が更に好ましい。
（不純物等）
感光性組成物層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン及びこれらのイオンが挙げられる。なかでも、ハロゲン化物イオン（塩化物イオン、臭化物イオン、ヨウ化物イオン）、ナトリウムイオン、及び、カリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。
感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、８０ｐｐｍ以下が好ましく、１０ｐｐｍ以下がより好ましく、２ｐｐｍ以下が更に好ましい。感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、１ｐｐｂ以上又は０．１ｐｐｍ以上とすることができる。感光性組成物層における不純物の含有量の具体例としては、上記の全ての不純物が質量基準で、０．６ｐｐｍである態様を挙げることができる。
不純物を上記範囲にする方法としては、感光性組成物層の原料として不純物の含有量が少ないものを選択すること、及び、感光性組成物層の形成時に不純物の混入を防ぐこと、洗浄して除去することが挙げられる。このような方法により、不純物量を上記範囲内とすることができる。
不純物は、例えば、ＩＣＰ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ）発光分光分析法、原子吸光分光法、及び、イオンクロマトグラフィー法等の公知の方法で定量できる。
感光性組成物層における、ベンゼン、ホルムアルデヒド、トリクロロエチレン、１，３－ブタジエン、四塩化炭素、クロロホルム、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及び、ヘキサン等の化合物の含有量は、少ないことが好ましい。これら化合物の感光性組成物層中における含有量としては、質量基準で、１００ｐｐｍ以下が好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましく、４ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は質量基準で、１０ｐｐｂ以上とすることができ、１００ｐｐｂ以上とすることができる。これら化合物は、上記の金属の不純物と同様の方法で含有量を抑制できる。また、公知の測定法により定量できる。
感光性組成物層における水の含有量は、信頼性及びラミネート性を向上させる点から、０．０１～１．０質量％が好ましく、０．０５～０．５質量％がより好ましい。
（残存モノマー）
感光性組成物層は、上述したアルカリ可溶性樹脂の各構成単位の残存モノマーを含む場合がある。
残存モノマーの含有量は、パターニング性、及び、信頼性の点から、アルカリ可溶性樹脂全質量に対して、５，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、２，０００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１０質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の各構成単位の残存モノマーは、パターニング性、及び、信頼性の点から、感光性組成物層全質量に対して、３，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、６００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
高分子反応でアルカリ可溶性樹脂を合成する際のモノマーの残存モノマー量も、上記範囲とすることが好ましい。例えば、カルボン酸側鎖にアクリル酸グリシジルを反応させてアルカリ可溶性樹脂を合成する場合には、アクリル酸グリシジルの含有量を上記範囲にすることが好ましい。
残存モノマーの量は、液体クロマトグラフィー、及び、ガスクロマトグラフィー等の公知の方法で測定できる。
（他の成分）
感光性組成物層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、着色剤、酸化防止剤、及び、粒子（例えば、金属酸化物粒子）が挙げられる。また、他の成分としては、特開２０００－３１０７０６号公報の段落［００５８］～［００７１］に記載のその他の添加剤も挙げられる。
－粒子－
粒子としては、金属酸化物粒子が好ましい。
金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
粒子の平均一次粒子径は、例えば、保護膜の透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
感光性組成物層が粒子を含む場合、金属種、及び、大きさ等の異なる粒子を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
感光性組成物層は、粒子を含まないか、或いは、感光性組成物層が粒子を含む場合には、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して、０質量％超３５質量％以下が好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物全質量に対して、０質量％超１０質量％以下がより好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して０質量％超５質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して０質量％超１質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないことが特に好ましい。
－着色剤－
感光性組成物層は、微量の着色剤（顔料、染料等）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
感光性組成物層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。
－酸化防止剤－
酸化防止剤としては、例えば、１－フェニル－３－ピラゾリドン（別名：フェニドン）、１－フェニル－４，４－ジメチル－３－ピラゾリドン、及び、１－フェニル－４－メチル－４－ヒドロキシメチル－３－ピラゾリドン等の３－ピラゾリドン類；ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、及び、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類；パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、及び、パラフェニレンジアミンが挙げられる。
なかでも、本発明の効果がより優れる点で、酸化防止剤としては、３－ピラゾリドン類が好ましく、１－フェニル－３－ピラゾリドンがより好ましい。
感光性組成物層が酸化防止剤を含む場合、酸化防止剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．００１質量％以上が好ましく、０．００５質量％以上がより好ましく、０．０１質量％以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、１質量％以下が好ましい。
（感光性組成物層の厚み）
感光性組成物層の厚みは、特に制限されないが３０μｍ以下の場合が多く、本発明の効果がより優れる点で、２０μｍ以下が好ましく、１５μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以下が更に好ましく、５．０μｍ以下が特に好ましい。下限としては、感光性組成物層を硬化して得られる膜の強度が優れる点で、０．６０μｍ以上が好ましく、１．５μｍ以上がより好ましい。
感光性組成物層の厚みは、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出できる。
（感光性組成物層の屈折率）
感光性組成物層の屈折率は、１．４１～１．５９が好ましく、１．４７～１．５６がより好ましい。
（感光性組成物層の色）
感光性組成物層は無彩色であることが好ましい。具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、Ｌ＊値は１０～９０であることが好ましく、ａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、ｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
なお、感光性組成物層を硬化して得られるパターン（感光性組成物層の硬化膜）は、無彩色であることが好ましい。
具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、パターンのＬ＊値は１０～９０であることが好ましく、パターンのａ＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。
（感光性組成物層の透過率）
感光性組成物層の膜厚１．０μｍあたりの可視光透過率は８０％以上が好ましく、９０％以上がより好ましく、９５％以上が最も好ましい。可視光の透過率としては、波長４００ｎｍ～８００ｎｍの平均透過率、波長４００ｎｍ～８００ｎｍの透過率の最小値、波長４００ｎｍｍの透過率、いずれもが上記を満たすことが好ましい。透過率の好ましい値としては、例えば、８７％、９２％、９８％等を挙げることができる。感光性組成物層の硬化膜の膜厚１μｍあたりの透過率も同様である。
（感光性組成物層の透湿度）
感光性組成物層を硬化して得られるパターン（感光性組成物層の硬化膜）の膜厚４０μｍでの透湿度は、電極又は配線の防錆性の観点、及びデバイスの信頼性の観点から、５００ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以下であることが好ましく、３００ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以下であることがより好ましく、１００ｇ／ｍ２／２４ｈｒ以下であることが更に好ましい。
透湿度は、感光性組成物層を、ｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ２にて露光した後、１４５℃、３０分間のポストベークを行うことにより、感光性組成物層を硬化させた硬化膜で測定する。透湿度の測定は、ＪＩＳ Ｚ０２０８のカップ法に準じて行う。温度４０℃／湿度９０％、温度６５℃／湿度９０％、及び温度８０℃／湿度９５％のいずれの試験条件においても、上記の透湿度であることが好ましい。具体的な好ましい数値としては、例えば、８０ｇ／ｍ２／２４ｈｒ、１５０ｇ／ｍ２／２４ｈｒ、２２０ｇ／ｍ２／２４ｈｒ、等を挙げることができる。
（感光性組成物層の溶解速度）
感光性組成物層の炭酸ナトリウム１．０％水溶液に対する溶解速度は、現像時の残渣抑制の観点から、０．０１μｍ／秒以上が好ましく、０．１０μｍ／秒以上がより好ましく、０．２０μｍ／秒以上がより好ましい。パターンのエッジ形状の観点から、５．０μｍ／秒以下が好ましく、４．０μｍ／秒以下がより好ましく、３．０μｍ／秒以下が更に好ましい。具体的な好ましい数値としては、例えば、１．８μｍ／秒、１．０μｍ／秒、０．７μｍ／秒等を挙げることができる。１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する感光性組成物層の単位時間あたりの溶解速度は、以下のように測定するものとする。
ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性組成物層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて２５℃で、感光性組成物層が溶け切るまでシャワー現像を行う（但し、最長で２分までとする）。 感光性組成物層の膜厚を、感光性組成物層が溶け切るまでに要した時間で割り算することで求める。なお、２分で溶け切らない場合は、それまでの膜厚変化量から同様に計算する。
感光性組成物層の硬化膜（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）の炭酸ナトリウム１．０％水溶液に対する溶解速度は、３．０μｍ／秒以下が好ましく、２．０μｍ／秒以下がより好ましく、１．０μｍ／秒以下が更に好ましく、０．２μｍ／秒以下が最も好ましい。感光性組成物層の硬化膜は、感光性組成物層をｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ２にて露光して得られる膜である。具体的な好ましい数値としては、例えば、０．８μｍ／秒、０．２μｍ／秒、０．００１μｍ／秒等を挙げることができる。現像は、（株）いけうち製１／４ＭＩＮＪＪＸ０３０ＰＰのシャワーノズルを使用し、シャワーのスプレー圧は０．０８ＭＰａとする。上記条件の時、単位時間当たりのシャワー流量は１，８００ｍＬ／ｍｉｎとする。
（感光性組成物層の膨潤率）
露光後の感光性組成物層の１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する膨潤率は、パターン形成性向上の観点から、１００％以下が好ましく、５０％以下がより好ましく、３０％以下が更に好ましい。露光後の感光性樹脂層の膨潤率１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する膨潤率は、以下のように測定するものとする。
ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性樹脂層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、超高圧水銀灯で５００ｍｊ／ｃｍ２（ｉ線測定）で露光する。２５℃でガラス基板ごと、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、３０秒経過時点での膜厚を測定する。そして、浸漬後の膜厚が浸漬前の膜厚に対して増加した割合を計算する。具体的な好ましい数値としては、例えば、４％、１３％、２５％等を挙げることができる。
（感光性組成物層中の異物）
パターン形成性の観点から、感光性組成物層中の直径１．０μｍ以上の異物の数は、１０個／ｍｍ２以下であることが好ましく、５個／ｍｍ２以下であることがより好ましい。異物個数は以下のように測定するものとする。感光性組成物層の表面の法線方向から、感光性組成物層の面上の任意の５か所の領域（１ｍｍ×１ｍｍ）を、光学顕微鏡を用いて目視にて観察して、各領域中の直径１．０μｍ以上の異物の数を測定して、それらを算術平均して異物の数として算出する。具体的な好ましい数値としては、例えば、０個／ｍｍ２、１個／ｍｍ２、４個／ｍｍ２、８個／ｍｍ２等を挙げることができる。
（感光性組成物層中の溶解物のヘイズ）
現像時での凝集物発生抑止の観点から、１．０質量％炭酸ナトリウムの３０℃水溶液１．０リットルに１．０ｃｍ３の感光樹脂層を溶解させて得られる溶液のヘイズは６０％以下であることが好ましく、３０％以下であることがより好ましく、１０％以下であることが更に好ましく、１％以下であることが最も好ましい。ヘイズは以下のように測定するものとする。まず、１．０質量％の炭酸ナトリウム水溶液を準備し、液温を３０℃に調整する。炭酸ナトリウム水溶液１．０Ｌに１．０ｃｍ３の感光樹脂層を入れる。気泡を混入しないように注意しながら、３０℃で４時間撹拌する。撹拌後、感光性樹脂層が溶解した溶液のヘイズを測定する。ヘイズは、ヘイズメーター（製品名「ＮＤＨ４０００」、日本電色工業社製）を用い、液体測定用ユニット及び光路長２０ｍｍの液体測定専用セルを用いて測定される。具体的な好ましい数値としては、例えば、０．４％、１．０％、９％、２４％等を挙げることができる。
［保護フィルム］
転写フィルムは、保護フィルムを有していてもよい。
保護フィルムとしては、耐熱性及び耐溶剤性を有する樹脂フィルムを用いることができ、例えば、ポリプロピレンフィルム及びポリエチレンフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、並びに、ポリスチレンフィルムが挙げられる。
また、保護フィルムとして上述の仮支持体と同じ材料で構成された樹脂フィルムを用いてもよい。
なかでも、保護フィルムとしては、ポリオレフィンフィルムが好ましく、ポリプロピレンフィルム又はポリエチレンフィルムがより好ましく、ポリエチレンフィルムが更に好ましい。
保護フィルムの厚みは、１～１００μｍが好ましく、５～５０μｍがより好ましく、５～４０μｍが更に好ましく、１５～３０μｍが特に好ましい。
保護フィルムの厚みは、機械的強度に優れる点で、１μｍ以上が好ましく、比較的安価となる点で、１００μｍ以下が好ましい。
また、保護フィルムにおいては、保護フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が、５個／ｍ２以下であることが好ましい。
なお、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、２軸延伸及びキャスティング法等の方法によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、及び、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。
保護フィルムに含まれる直径３μｍ以上の粒子の数は、３０個／ｍｍ２以下が好ましく、１０個／ｍｍ２以下がより好ましく、５個／ｍｍ２以下が更に好ましい。
これにより、保護フィルムに含まれる粒子に起因する凹凸が感光性組成物層又は導電層に転写されることにより生じる欠陥を抑制することができる。
巻き取り性を付与する点から、保護フィルムの組成物層と接する面とは反対側の表面の算術平均粗さＲａは、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０２μｍ以上がより好ましく、０．０３μｍ以上が更に好ましい。一方で、０．５０μｍ未満が好ましく、０．４０μｍ以下がより好ましく、０．３０μｍ以下が更に好ましい。
保護フィルムは、転写時の欠陥抑制の点から、組成物層と接する面の表面粗さＲａ、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０２μｍ以上がより好ましく、０．０３μｍ以上が更に好ましい。一方で、０．５０μｍ未満が好ましく、０．４０μｍ以下がより好ましく、０．３０μｍ以下が更に好ましい。
［仮支持体、感光性組成物層及び保護フィルムの関係］
感光性組成物層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びが１５％以上であり、
仮支持体の感光性組成物層側の表面の算術平均粗さＲａが５０ｎｍ以下であり、
保護フィルムの感光性組成物層側の表面の算術平均粗さＲａが１５０ｎｍ以下であることが好ましい。
下記式（１）を満たすことが好ましい。
Ｘ×Ｙ＜１５００ 式（１）
ここで、式（１）中、Ｘは、感光性組成物層を硬化した硬化膜の１２０℃における破断伸びの値（％）を表し、Ｙは、仮支持体の感光性組成物層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。上記Ｘ×Ｙは、７５０以下がより好ましい。上記Ｘの具体的な数値としては、１８％、２５％、３０％、３５％等を挙げることができる。上記Ｘ×Ｙの具体的な数値としては、４ｎｍ、８ｎｍ、１５ｎｍ、３０ｎｍ等を挙げることができる。上記Ｘ×Ｙの具体的な数値としては、１５０、２００、３００、３６０、９００等を挙げることができる。
感光性組成物層を硬化して得られた硬化膜の２３℃での破断伸びに対し、１２０℃での破断伸びが２倍以上大きい、ことが好ましい。
破断伸びは、厚み２０μｍの感光性組成物層を超高圧水銀ランプで１２０ｍＪ／ｃｍ２露光して硬化した後、高圧水銀ランプで４００ｍＪ／ｃｍ２で更に追加露光し、１４５℃で３０分間加熱した後の硬化膜について、引っ張り試験によって測定する。
下記式（２）を満たすことが好ましい。
Ｙ≦Ｚ 式（２）
ここで、式（２）中、Ｙは、仮支持体の感光性組成物層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表し、Ｚは、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の算術平均粗さＲａの値（ｎｍ）を表す。
［屈折率調整層］
転写フィルムは、屈折率調整層を有していることが好ましい。
屈折率調整層としては、公知の屈折率調整層を適用できる。屈折率調整層に含まれる材料としては、例えば、バインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、金属塩、及び、粒子が挙げられる。
屈折率調整層の屈折率を制御する方法は、特に制限されず、例えば、所定の屈折率の樹脂を単独で用いる方法、樹脂と粒子とを用いる方法、及び、金属塩と樹脂との複合体を用いる方法が挙げられる。
バインダーポリマー及びエチレン性不飽和化合物としては、例えば、上記「感光性組成物層」の項において説明したバインダーポリマー及びエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
粒子としては、例えば、金属酸化物粒子、及び、金属粒子が挙げられる。
金属酸化物粒子の種類は特に制限はなく、公知の金属酸化物粒子が挙げられる。金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。
粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。
金属酸化物粒子としては、具体的には、酸化ジルコニウム粒子（ＺｒＯ２粒子）、Ｎｂ２Ｏ５粒子、酸化チタン粒子（ＴｉＯ２粒子）、二酸化珪素粒子（ＳｉＯ２粒子）、及び、これらの複合粒子からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
これらのなかでも、金属酸化物粒子としては、例えば、屈折率を調整しやすいという点から、酸化ジルコニウム粒子及び酸化チタン粒子からなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。
金属酸化物粒子の市販品としては、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック（株）製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ０４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック（株）製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック（株）製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７５）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック（株）製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７６）、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｍ、日産化学工業（株）製）、及び、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｋ、日産化学工業（株）製）が挙げられる。
粒子は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
屈折率調整層における粒子の含有量は、屈折率調整層全質量に対し、１～９５質量％が好ましく、２０～９０質量％がより好ましく、４０～８５質量％が更に好ましい。
金属酸化物粒子として酸化チタンを用いる場合、酸化チタン粒子の含有量は、屈折率調整層全質量に対して、１～９５質量％が好ましく、２０～９０質量％がより好ましく、４０～８５質量％が更に好ましい。
屈折率調整層の屈折率は、感光性組成物層の屈折率よりも高いことが好ましい。
屈折率調整層の屈折率は、１．５０以上が好ましく、１．５５以上がより好ましく、１．６０以上が更に好ましく、１．６５以上が特に好ましい。屈折率調整層の屈折率の上限は、２．１０以下が好ましく、１．８５以下がより好ましく、１．７８以下が更に好ましい。
屈折率調整層の厚みは、５０～５００ｎｍが好ましく、５５～１１０ｎｍがより好ましく、６０～１００ｎｍが更に好ましい。
屈折率調整層の厚みは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。
＜転写フィルムの製造方法＞
第１実施形態の転写フィルムの製造方法は特に制限されず、公知の方法を使用できる。
上記の転写フィルムの製造方法としては、例えば、仮支持体の表面に感光性組成物を塗布して塗膜を形成し、更にこの塗膜を乾燥して感光性組成物層を形成する工程と、感光性組成物層の表面に屈折率調整層形成用組成物を塗布して塗膜を形成し、更にこの塗膜を乾燥して屈折率調整層を形成する工程と、を含む方法が挙げられる。
第１実施形態の転写フィルムの製造方法としては、屈折率調整層の仮支持体を有する側とは反対側の面に接するように保護フィルムを設ける工程を含むことにより、仮支持体、感光性組成物層、屈折率調整層、及び保護フィルムを備える転写フィルムを製造することが好ましい。
上記の製造方法により転写フィルムを製造した後、転写フィルムを巻き取ることにより、ロール形態の転写フィルムを作製及び保管してもよい。ロール形態の転写フィルムは、後述するロールツーロール方式での基材との貼合工程にそのままの形態で提供できる。
また、上記の転写フィルムの製造方法としては、保護フィルム上に、屈折率調整層を形成した後、屈折率調整層の表面に感光性樹脂層を形成する方法であってもよい。
また、上記の転写フィルムの製造方法としては、仮支持体上に感光性組成物層を形成し、別途、保護フィルム上に屈折率調整層を形成し、感光性組成物層とに屈折率調整層とを貼り合わせて形成する方法であってもよい。
［感光性組成物及び感光性組成物層の形成方法］
生産性に優れる点で、転写フィルム中の感光性組成物層は、上述した感光性組成物層を構成する成分（例えば、バインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、及び、光重合開始剤等）、及び、溶剤を含む感光性組成物を使用して塗布法により形成されることが望ましい。第１実施形態の転写フィルムの製造方法としては、具体的には、仮支持体上に感光性組成物を塗布して塗膜を形成し、この塗膜に所定温度にて乾燥処理を施して感光性組成物層を形成する方法であることが好ましい。
感光性組成物に含まれ得る溶剤としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（別名：１－メトキシ－２－プロピルアセテート）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、ｎ－プロパノール、及び、２－プロパノールが挙げられる。
また、溶剤としては、必要に応じ、沸点が１８０～２５０℃である有機溶剤（高沸点溶剤）を用いることもできる。
溶剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
感光性組成物の全固形分量は、感光性組成物の全質量に対して、５～８０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましい。
つまり、感光性組成物中の溶剤の含有量としては、感光性組成物の全質量に対して、２０～９５質量％が好ましく、６０～９５質量％がより好ましく、７０～９５質量％が更に好ましい。
感光性組成物の２５℃における粘度は、例えば、塗布性の点から、１～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、２～４０ｍＰａ・ｓがより好ましく、３～３０ｍＰａ・ｓが更に好ましい。粘度は、粘度計を用いて測定する。粘度計としては、例えば、東機産業（株）製の粘度計（商品名：ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ ＴＶ－２２）を好適に使用できる。ただし、粘度計は、上記した粘度計に制限されない。
感光性組成物の２５℃における表面張力は、例えば、塗布性の点から、５～１００ｍＮ／ｍが好ましく、１０～８０ｍＮ／ｍがより好ましく、１５～４０ｍＮ／ｍが更に好ましい。表面張力は、表面張力計を用いて測定する。表面張力計としては、例えば、協和界面科学（株）製の表面張力計（商品名：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｔｅｎｓｉｏｍｅｔｅｒ ＣＢＶＰ－Ｚ）を好適に使用できる。ただし、表面張力計は、上記した表面張力計に制限されない。
感光性組成物の塗布方法としては、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、及び、ダイコート法（すなわち、スリットコート法）が挙げられる。
感光性組成物の塗膜の乾燥方法としては、加熱乾燥及び減圧乾燥が好ましい。なお、本明細書において、「乾燥」とは、組成物に含まれる溶剤の少なくとも一部を除去することを意味する。乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥、及び、減圧乾燥が挙げられる。上記した方法を単独で又は複数組み合わせて適用することができる。
乾燥温度としては、８０℃以上が好ましく、９０℃以上がより好ましい。また、その上限値としては１３０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましい。温度を連続的に変化させて乾燥させることもできる。
また、乾燥時間としては、２０秒以上が好ましく、４０秒以上がより好ましく、６０秒以上が更に好ましい。また、その上限値としては特に制限されないが、６００秒以下が好ましく、３００秒以下がより好ましい。
［屈折率調整層形成用組成物及び屈折率調整層の形成方法］
屈折率調整層形成用組成物としては、上述した屈折率調整層を形成する各種成分と溶剤とを含むことが好ましい。なお、屈折率調整層形成用組成物において、組成物の全固形分に対する各成分の含有量の好適範囲は、上述した屈折率調整層の全質量に対する各成分の含有量の好適範囲と同じである。
溶剤としては、屈折率調整層に含まれる成分を溶解又は分散可能であれば特に制限されず、水及び水混和性の有機溶剤からなる群より選択される少なくとも１種が好ましく、水又は水と水混和性の有機溶剤との混合溶剤がより好ましい。
水混和性の有機溶剤としては、例えば、炭素数１～３のアルコール、アセトン、エチレングリコール、及びグリセリンが挙げられ、炭素数１～３のアルコールが好ましく、メタノール又はエタノールがより好ましい。
溶剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上使用してもよい。
溶剤の含有量は、組成物の全固形分１００質量部に対して、５０～２，５００質量部が好ましく、５０～１，９００質量部がより好ましく、１００～９００質量部が更に好ましい。
屈折率調整層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば特に制限されず、例えば、公知の塗布方法（スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布、及びインクジェット塗布等）が挙げられる。
また、保護フィルムを屈折率調整層に貼り合わせることにより、第１実施形態の転写フィルムを製造できる。
保護フィルムを屈折率調整層に貼り合わせる方法は特に制限されず、公知の方法が挙げられる。
保護フィルムを屈折率調整層に貼り合わせる装置としては、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターが挙げられる。
ラミネーターはゴムローラー等の任意の加熱可能なローラーを備え、加圧及び加熱ができるものであることが好ましい。
＜タッチパネルセンサーの製造方法＞
本発明のタッチパネルセンサーの製造方法は、上記特徴を具備するタッチパネルセンサーを製造することができれば特に制限されないが、上記特徴を具備するタッチパネルセンサーを製造しやすい点で、上記転写フィルムを用いて製造することが好ましい。
なかでも、タッチパネルセンサー基材及び基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、導電性基材上に配置され、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和基を有する化合物と、光重合開始剤とを含む感光性組成物層とを有する感光性組成物層付き基材を準備する準備工程と、
感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
パターン露光された感光性組成物層を現像して、樹脂層パターンを形成する現像工程と、
樹脂層パターンが５０～１２０℃の条件下にて、樹脂層パターンを露光して、センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜を形成する硬化工程とを有する、タッチパネルセンサーの製造方法がより好ましい。
上記製造方法によれば、屈曲させた後のタッチパネルセンサーのセンサー電極の抵抗値の変化が少なく、ロール搬送などの取り扱い時にタッチパネルセンサーに輝点が生じにくい、タッチパネルセンサーを製造できる。特に、上記硬化工程を実施することにより、上記特徴を有するタッチパネルセンサーを製造しやすい。
以下、上記より好ましい工程の手順について詳述する。
［準備工程］
準備工程では、タッチパネルセンサー基材及び基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、導電性基材上に配置され、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和基を有する化合物と、光重合開始剤とを含む感光性組成物層とを有する感光性組成物層付き基材を準備する。
導電性基材は、好ましい態様を含めて上述したとおりである。
感光性組成物層は、上記転写フィルムを用いて導電性基材上に配置されることが好ましく、導電性基材と転写フィルムとを貼合して感光性組成物層を形成する貼合工程によって配置されることがより好ましい。
貼合工程は、転写フィルムが有する仮支持体とは反対側の表面を、導電性基材に接触させて貼り合わせ、導電性基材、センサー電極、感光性組成物層、及び、仮支持体をこの順に有する組成物層付き基材を得る工程である。なお、転写フィルムが保護フィルムを有する構成である場合、保護フィルムを剥がしてから貼合工程を実施する。
上記貼合においては、センサー電極と上記組成物層の表面とが接触するように圧着させる。
上記圧着の方法としては特に制限はなく、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を使用できる。なかでも、組成物層の表面を、センサー電極を有する導電性基材に重ね、ロール等による加圧及び加熱が行われることが好ましい。
貼り合せには、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用できる。
ラミネート温度としては特に制限されないが、例えば、７０～１３０℃であるのが好ましい。
本発明の転写フィルム中の感光性組成物層を用いて形成された保護膜は、センサー電極を保護する目的で、センサー電極の少なくとも一部を直接又は他の層を介して覆うように設けられることが好ましい。
［露光工程］
露光工程は、感光性組成物層をパターン露光する工程である。
なお、ここで、「パターン露光」とは、パターン状に露光する形態、すなわち、露光部と非露光部とが存在する形態の露光を指す。
パターン露光における露光領域と未露光領域との位置関係は特に制限されず、適宜調整される。
露光の際には、感光性組成物層の基材とは反対側から露光してもよく、組成物層の基材側から露光してもよい。
パターン露光の光源としては、少なくとも感光性組成物層を硬化し得る波長域の光（例えば、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍ）を照射できるものであれば適宜選定して使用できる。なかでも、パターン露光の露光光の主波長は、３６５ｎｍが好ましい。なお、主波長とは、最も強度が高い波長である。
光源としては、例えば、各種レーザー、発光ダイオード（ＬＥＤ）、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、及び、メタルハライドランプが挙げられる。
露光量は、５～２００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０～２００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましい。
露光に使用する光源、露光量及び露光方法の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４６］～［０１４７］に記載があり、これらの内容は本明細書に組み込まれる。
露光工程、及び、後述する現像工程を行うことで、導電性基材上のセンサー電極上に、少なくともセンサー電極を覆う樹脂層パターンが形成される。
［剥離工程］
上記製造方法は、準備工程と露光工程との間、又は、露光工程と後述する現像工程との間に、感光性組成物層付き基材から仮支持体を剥離する剥離工程を有していることが好ましい。
剥離方法は特に制限されず、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構と同様の機構を使用できる。
［現像工程］
現像工程は、露光された感光性組成物層を現像して、樹脂層パターンを形成する工程である。
上記感光性組成物層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
現像液として、アルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液に含まれ得るアルカリ性化合物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及び、コリン（２－ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド）が挙げられる。
現像の方式としては、例えば、パドル現像、シャワー現像、スピン現像、及び、ディップ現像等の方式が挙げられる。
本明細書において好適に用いられる現像液としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９４］に記載の現像液が挙げられ、好適に用いられる現像方式としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９５］に記載の現像方式が挙げられる。
［硬化工程］
硬化工程は、樹脂層パターンが５０～１２０℃の条件下にて、樹脂層パターンを露光して、センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜を形成する工程である。すなわち、硬化工程は、樹脂層パターンを加熱しながら露光を行う。
硬化工程の温度は、樹脂層パターン表面の温度を放射温度計（ＩＴ－５４０ ＨＯＲＩＢＡ社製）で測定したものをいう。
ここで、「樹脂層パターンが５０～１２０℃の条件下にて、樹脂層パターンを露光して」とは、硬化工程において露光する樹脂層パターンの表面のうち、少なくとも１つの測定箇所の温度が５０～１２０℃であることをいう。露光する樹脂層パターンの表面のうち、樹脂層パターンが５０～１２０℃である面積の割合は、樹脂層パターンの全面積に対して、１０％以上が好ましく、３０％以上がより好ましく、５０％以上が更に好ましく、７０％以上が特に好ましい。上限は、１００％以下が挙げられる。樹脂層パターンが５０～１２０℃である面積の割合は、測定箇所を変えて樹脂層パターンの温度を測定することで算出できる。
硬化工程での樹脂層パターンの温度は、上記では５０～１２０℃であるが、７０～１００℃が好ましく、８０～９５℃がより好ましく、８５～９０℃が更に好ましい。さらに、露光する樹脂層パターンの表面のうち、上記好ましい温度範囲である面積の割合が、樹脂層パターンの全面積に対して、上記好ましい割合の範囲であることも好ましい。
硬化工程の露光量は、２００～１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、２００ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２未満より好ましい。硬化工程の露光量を上記範囲とすることで、上記特徴を有するタッチパネルセンサーを製造しやすい。
［ポストベーク工程］
上記製造方法は、上記硬化工程で得られた保護膜を加熱する工程（ポストベーク工程）を有していてもよい。
ポストベークの温度は、８０℃～２５０℃が好ましく、９０℃～１６０℃がより好ましい。ポストベークの時間は、１分～１８０分が好ましく、１０分～６０分がより好ましい。
［反応率］
上記製造方法は、感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ１とし、保護膜に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ２としたとき、下記式（１）で計算される反応率が７０％以上であることも好ましい。上限は特に制限されないが、１００％以下が挙げられ、９０％以下が好ましく、８５％以下がより好ましい。
式（１） 反応率［％］＝｛１－Ｙ２／Ｙ１）｝×１００
上記反応率を上記範囲とすることで、上記特徴を有するタッチパネルセンサーを製造しやすい。
なお、上記Ｙ１は、以下の手順で測定したものをいう。
上記準備工程で得られた感光性組成物層付き基材の表面の仮支持体を剥離し、感光性組成物層の表面を露出させる。
感光性組成物層の表面について、フルオート顕微ＦＴ－ＩＲシステムＬＵＭＯＳ（Ｂｒｕｋｅｒ Ｏｐｔｉｃｓ社製）を用いて、ＡＴＲ－ＩＲ（検出器：ＭＣＴ、結晶：Ｇｅ、波数分解能：４ｃｍ－１、積算：３２回）により赤外吸収スペクトルを取得する。
得られた赤外吸収スペクトルから、エチレン性不飽和基に該当する二重結合のピークに相当する８１０ｃｍ－１のピーク面積を算出し、面積値をＹ１とする。
また、上記Ｙ２は、上記硬化工程で得られた保護膜について、上記Ｙ１の測定と同様にしてＹ２を得る。
＜タッチパネルセンサーの用途＞
本発明のタッチパネルセンサーは、種々の装置に適用することができる。上記タッチパネルセンサーを備えた装置としては、例えば、表示装置、半導体パッケージ入力装置等が挙げられ、タッチパネルであることが好ましく、静電容量型タッチパネルであることがより好ましい。
より具体的には、本発明のタッチパネルセンサーは、タッチパネルモジュールの製造に好適に使用できる。なお、タッチパネルモジュールとは、タッチパネルセンサーと、カバーガラス及び周辺配線とを有する。
また、本発明のタッチパネルセンサーは、タッチパネルの製造に好適に使用できる。なお、タッチパネルとは、タッチパネルモジュールと、表示装置とを有する。
上記表示装置としては、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、及び、液晶表示装置等の表示装置に適用することができる。
以下に実施例に基づいて本発明を更に詳細に説明する。
以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更できる。従って、本発明の範囲は以下に示す実施例により限定的に解釈されるべきではない。
＜転写フィルムに用いる材料の準備＞
［バインダーポリマー］
（重合体Ｐ－１の合成）
下記化学式によって表される重合体Ｐ－１を含む溶液Ｐ－１を製造した。
なお、下記化学式中の構成単位の組成比は、モル比である。Ｐ－１溶液は、以下の方法により製造した。
Figure 2023020450000025
プロピレングリコールモノメチルエーテル（８２．４ｇ）をフラスコに仕込み、窒素気流下で９０℃に加熱した。フラスコに対し、スチレン（３８．４ｇ）、ジシクロペンタニルメタクリレート（３０．１ｇ）及びメタクリル酸（３４．０ｇ）をプロピレングリコールモノメチルエーテル２０ｇに溶解させた溶液、並びに、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬（株）製、５．４ｇ）をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（４３．６ｇ）に溶解させた溶液を、同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきにＶ－６０１（０．７５ｇ）を３回添加し、更に３時間反応させた。
反応液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（５８．４ｇ）及びプロピレングリコールモノメチルエーテル（１１．７ｇ）で希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド（０．５３ｇ）及びｐ－メトキシフェノール（０．２６ｇ）を添加した。得られた混合物に、グリシジルメタクリレート（日油（株）製ブレンマーＧＨ、２５．５ｇ）を２０分かけて滴下した。得られた混合物を１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－１を含む溶液Ｐ－１を得た。
溶液Ｐ－１を含む溶液の固形分濃度は３６．５質量％であった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量は、いずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－１の固形分に対し０．１質量％未満であった。
重合体Ｐ－１の性質は次のとおりであった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定された標準ポリスチレン換算の分子量である。
・重量平均分子量（Ｍｗ）：１７，０００
・数平均分子量（Ｍｎ）：７，４００
・分散度：２．３
・酸価：９５ｍｇＫＯＨ／ｇ
（重合体Ｐ－２の合成）
下記化学式によって表される重合体Ｐ－２を含む溶液Ｐ－２を製造した。
なお、下記化学式中の構成単位の組成比は、モル比である。Ｐ－２溶液は、以下の方法により製造した。
Figure 2023020450000026
プロピレングリコールモノメチルエーテル（１１３．５ｇ）をフラスコに仕込み窒素気流下９０℃に加熱した。フラスコに対し、スチレン（１７２ｇ）、メタクリル酸メチル（４．７ｇ）及びメタクリル酸（１１２．１ｇ）をプロピレングリコールモノメチルエーテル（３０ｇ）に溶解させた溶液、並びに、重合開始剤Ｖ－６０１（富士フイルム和光純薬（株）製、２７．６ｇ）をプロピレングリコールモノメチルエーテル（５７．７ｇ）に溶解させた溶液を、同時に３時間かけて滴下した。滴下終了後、１時間おきに３回、Ｖ－６０１（２．５ｇ）を添加した。その後更に３時間反応させた。
反応液を、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（１６０．７ｇ）及びプロピレングリコールモノメチルエーテル（２３３．３ｇ）で希釈した。空気気流下、反応液を１００℃に昇温し、テトラエチルアンモニウムブロミド（１．８ｇ）及びｐ－メトキシフェノール（０．８６ｇ）を添加した後、グリシジルメタクリレート（日油（株）製ブレンマーＧ、７１．９ｇ）を２０分かけて滴下した。得られた混合物を１００℃で７時間反応させ、重合体Ｐ－２を含む溶液Ｐ－２を得た。
溶液Ｐ－２の固形分濃度は、３６．２質量％であった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量は、いずれのモノマーにおいてもポリマー固形分に対し０．１質量％未満であった。
重合体Ｐ－２の性質は次のとおりであった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定された標準ポリスチレン換算の分子量である。
・重量平均分子量（Ｍｗ）：１８，０００
・数平均分子量（Ｍｎ）：７，８００
・分散度：２．３
・酸価：１２４ｍｇＫＯＨ／ｇ
（重合体Ｐ－３の合成）
重合体Ｐ－１の合成において、グリシジルメタクリレートを滴下する工程を行わなかった以外は、重合体Ｐ－１の合成と同様の方法で重合体Ｐ－３を合成し、溶液Ｐ－３を得た。
溶液Ｐ－３の固形分濃度は、３６．５質量％であった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量は、いずれのモノマーにおいても重合体Ｐ－３の固形分に対し０．１質量％未満であった。
重合体Ｐ－３の性質は次のとおりであった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定された標準ポリスチレン換算の分子量である。
・重量平均分子量（Ｍｗ）：１８，０００
・数平均分子量（Ｍｎ）：７，８００
・分散度：２．３
・酸価：１７４ｍｇＫＯＨ／ｇ
（重合体Ｐ－４の合成）
下記化学式によって表される重合体Ｐ－４を含む溶液Ｐ－４を製造した。
なお、下記化学式中の構成単位の組成比は、モル比である。Ｐ－４溶液は、以下の方法により製造した。
Figure 2023020450000027
２０００ｍＬのフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（三和化学産業製、商品名ＰＧＭ－Ａｃ）（６０ｇ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（三和化学産業製、商品名ＰＧＭ）（２４０ｇ）を導入した。得られた液体を撹拌しつつ９０℃に昇温した。
滴下液（１）の調製として、メタクリル酸（三菱レイヨン製、商品名アクリエステルＭ）１０７．１ｇ、メタクリル酸メチル（三菱ガス化学製、商品名ＭＭＡ）（５．４６ｇ）、及び、シクロヘキシルメタクリレート（三菱ガス化学製、商品名ＣＨＭＡ）（２３１．４２ｇ）を混合し、ＰＧＭ－Ａｃ（６０ｇ）で希釈することにより、滴下液（１）を得た。
滴下液（２）の調製として、ジメチル２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）（和光純薬工業製、商品名Ｖ－６０１）（９．６３７ｇ）をＰＧＭ－Ａｃ（１３６．５６ｇ）で溶解させることにより、滴下液（２）を得た。
滴下液（１）と滴下液（２）とを同時に３時間かけて、上述した２０００ｍＬのフラスコ（詳細には、９０℃に昇温された液体が入った２０００ｍＬのフラスコ）に滴下した。
次に、滴下液（１）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（１２ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。次に、滴下液（２）の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を上記２０００ｍＬのフラスコに滴下した。これらの滴下中、上記２０００ｍＬのフラスコ内の反応液を９０℃に保ち、撹拌した。更に、後反応として、反応液を９０℃で１時間撹拌した。
後反応後の反応液に、開始剤の追加添加１回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後、９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加２回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更にＶ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で１時間撹拌した。
次に、開始剤の追加添加３回目として、Ｖ－６０１（２．４０１ｇ）を反応液に添加した。更に、Ｖ－６０１の容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。その後９０℃で３時間撹拌した。
得られた反応液を９０℃で３時間撹拌後、ＰＧＭ－Ａｃ（１７８．６６ｇ）を反応液へ導入した。次に、テトラエチルアンモニウムブロミド（和光純薬工業社製）（１．８ｇ）とハイドロキノンモノメチルエーテル（和光純薬工業社製）（０．８ｇ）とを反応液に添加した。更にそれぞれの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液へ導入した。その後、反応液の温度を１００℃まで昇温させた。
次に、グリシジルメタクリレート（日油社製、商品名ブレンマーＧ）（７６．０３ｇ）を１時間かけて反応液に滴下した。ブレンマーＧの容器をＰＧＭ－Ａｃ（６ｇ）で洗浄し、洗浄液を反応液に導入した。この後、付加反応として、１００℃で６時間撹拌し、重合体Ｐ－４を含む溶液Ｐ－４を得た。
溶液Ｐ－４の固形分濃度は、３６．３質量％であった。ガスクロマトグラフィーを用いて測定した残存モノマー量は、いずれのモノマーにおいてもポリマー固形分に対し０．１質量％未満であった。
重合体Ｐ－４の性質は次のとおりであった。重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲル浸透クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によって測定された標準ポリスチレン換算の分子量である。
・重量平均分子量（Ｍｗ）：２７，０００
・数平均分子量（Ｍｎ）：１５，０００
・分散度：１．８
・酸価：９５ｍｇＫＯＨ／ｇ
［熱架橋剤］
（ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１の合成）
窒素気流下、ブタノンオキシム（出光興産（株）製）４５３ｇをメチルエチルケトン７００ｇに溶解させた。得られた混合物に、氷冷下で１，３－ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン（ｃｉｓ－ｔｒａｎｓ異性体の混合物、三井化学（株）製、タケネート６００）５００ｇを１時間かけて滴下した後、更に１時間反応させた。その後４０℃に昇温して１時間反応させた。
１Ｈ－ＮＭＲ（核磁気共鳴）及びＨＰＬＣ（高速液体クロマトグラフィー）にて反応が完結したことを確認し、ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１のメチルエチルケトン溶液を得た。ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１は、以下の化学式によって表される。
Figure 2023020450000028
（ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２の準備）
ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２として、「デュラネート ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ」（旭化成（株）製）を準備した。
＜実施例１＞
以下、実施例１の手順について説明する。
［感光性組成物Ａ－１の調製］
下記に示す成分（１）～（５）と、メチルエチルケトンと、１－メトキシ－２－プロピルアセテートとを混合して感光性組成物Ａ－１を調製した。下記に示す成分（１）～（５）の含有量の単位は、固形分換算の質量部である。
メチルエチルケトン及び１－メトキシ－２－プロピルアセテートの添加量は、感光性組成物Ａ－１の固形分濃度が２５質量％となるように調整した。メチルエチルケトンの添加量は、感光性組成物Ａ－１における溶剤に占めるメチルエチルケトンの割合が６０質量％となるように調整した。
（１）バインダーポリマー
・Ｐ－１溶液：重合体の固形分量が５２．６７質量部となる量
（２）重合性化合物
（２－１）エチレン性不飽和結合を２つ有するモノマー：
・トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）：１７．９０質量部
・アクリルモノマー（Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）：２．７３質量部
（２－２）エチレン性不飽和結合を５つ以上有するモノマー
・カルボキシ基を有するモノマー（アロニックスＴＯ２３４９、東亞合成（株）製）：２．９８質量部
・アクリルモノマー（Ａ－ＤＰＨ、新中村化学工業（株）製）：７．９９質量部
（３）熱架橋性化合物
・ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２：１２．５０質量部
（４）重合開始剤
・１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム） （ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社製）：０．３６質量部
・１－（ｂｉｐｈｅｎｙｌ－４－ｙｌ）－２－ｍｅｔｈｙｌ－２－ｍｏｒｐｈｏｌｉｎｏｐｒｏｐａｎ－１－ｏｎｅ （ＡＰｉ－３０７、Ｓｈｅｎｚｈｅｎ ＵＶ－ＣｈｅｍＴｅｃｈ社製）：０．７３質量部
（５）添加剤
・Ｎ－フェニルグリシン（東京化成工業（株）製）：０．１０質量部
・ベンゾイミダゾール（東京化成工業（株）製）：０．５２質量部
・イソニコチンアミド（東京化成工業（株）製）：０．１３質量部
・ＸＩＲＡＮ ＥＦ－４０（川原油化（株）製）：１．２０質量部
・メガファックＦ５５１Ａ（ＤＩＣ（株）製）：０．１９質量部
［転写フィルムの作製］
仮支持体として、１６μｍ厚みのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を準備した。仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて感光性組成物Ａ－１を塗布し、１００℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることで、膜厚５．５μｍの感光性組成物層を形成した。感光性組成物層に保護フィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を圧着し、転写フィルムを作製した。
［タッチパネルセンサーの作製］
以下に示す工程により、タッチパネルセンサーを作製した。なお、以下に示す各工程は、ロールツーロールプロセスで行った。
（準備工程）
－導電性基材の作製－
以下の手順により、基材と、透明膜と、透明電極パターン（電極センサー）とをこの順に含む基板を得た。
基材として、シクロオレフィンポリマーフィルム（厚さ：３８μｍ、屈折率：１．５３）のを準備した。高周波発振機を用いて、以下の条件で基材に対してコロナ放電処理を行った。
出力電圧：１００％
出力：２５０Ｗ
電極：直径１．２ｍｍのワイヤー電極
電極長：２４０ｍｍ
ワーク電極間の距離：１．５ｍｍ
処理時間：３秒間
次に、表１に示される成分を含む組成物（表１中の各成分の数値は含有量（質量部）である。）を、スリット状ノズルを用いて、基材の上に塗布した後、紫外線照射（積算光量：３００ｍＪ／ｃｍ２）し、約１１０℃で乾燥することにより、透明膜（屈折率：１．６０、厚さ：８０ｎｍ）を形成した。
Figure 2023020450000029
Figure 2023020450000030
透明膜の上に、ＤＣマグネトロンスパッタリングにより、厚みが４０ｎｍであり屈折率が１．８２であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）膜を形成し、形成されたＩＴＯ膜をフォトエッチングによってパターニングすることにより、透明膜の上に、透明電極パターン（電極センサー）を形成した。ＩＴＯ膜の形成及びＩＴＯ膜のパターニングは、特開２０１４－１０８１４号公報の段落［０１１９］～［０１２２］に記載された方法によって行った。
－貼合工程－
転写フィルムの保護フィルムを剥離した後、感光性組成物層が透明膜及び電極センサーを覆うように、基板に対して転写フィルムをラミネートした。
ラミネートは、ＭＣＫ社製真空ラミネーターを用いて、基材（すなわち、シクロオレフィンポリマーフィルム）の温度が４０℃、ゴムローラー温度が１００℃、線圧が３Ｎ／ｃｍ、搬送速度が４ｍ／分の条件で行った。
上記手順により、感光性組成物層付き基材を得た。
（露光工程）
次に、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を用いて、露光マスク（オーバーコート形成用パターンを有する石英露光マスク）と仮支持体とを密着させ、仮支持体を介して１５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で感光性組成物層をパターン露光した。なお、上記露光量はｉ線で測定したものである。
（現像工程）
露光された樹脂層を、２３℃、相対湿度５５％ＲＨの環境下で２４時間静置した後、仮支持体を剥離し、１．０質量％の炭酸ナトリウム水溶液（液温：２５℃）を用いて２５秒間現像処理した。現像処理後の試料に対して、超高圧洗浄ノズルから２１℃の純水を２５秒間噴射して水洗処理し、空気を吹きかけて試料に付着した水分を除去した。
上記手順により、導電性基材上に樹脂層パターンを形成した。
（硬化工程）
上記工程で得られた樹脂層パターンを、ホットプレートで加熱しながら、高圧水銀灯を有するポスト露光機（ウシオ電機（株）製）を用いて、５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で樹脂層パターンを露光した。
より具体的には、ポスト露光機のランプ直下にホットプレートを設置し、樹脂層パターンの表面の温度が９０℃になるようにホットプレートの温度を調整した。なお、樹脂層パターンの表面の温度は、放射温度計（ＩＴ－５４０ ＨＯＲＩＢＡ社製）で測定した。
また、露光量は、５００ｍＪ／ｃｍ２の露光量になる照射時間をあらかじめ確認し、その照射時間で露光を行った。なお、上記露光量はｉ線で測定したものである。
上記工程により、センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜を形成した。
（ポストベーク工程）
１４５℃で３０分間熱処理を行い、基材と、透明膜と、電極センサーと、保護膜とをこの順に有する実施例１に用いたタッチパネルセンサーを得た。保護膜は、感光性組成物Ａ－１の硬化物である。
＜実施例２～９、１２～１４及び１７～１９＞
後段に示す表４のとおりに感光性組成物を変更したこと、及び、硬化工程における露光条件を表４のとおりに変更したこと以外は、実施例１の手順と同様にして、実施例２～９、１２～１４及び１７～１９に用いたタッチパネルセンサーを得た。なお、各実施例に用いた感光性組成物において、実施例１の感光性組成物Ａ－１の調製に用いた添加剤及びその分量は、Ａ－１と同様にした。
＜実施例１０及び１１＞
実施例１の転写フィルムの作製において、屈折率調整層を感光性組成物層の仮支持体とは反対側の表面に設けたこと、及び、後段に示す表４のとおりに感光性組成物層を変更したこと、及び、硬化工程における露光条件を表４のとおりに変更したこと以外は、実施例１の手順に従って、実施例１０及び１１に用いたタッチパネルセンサーを得た。なお、各実施例に用いた感光性組成物において、実施例１の感光性組成物Ａ－１の調製に用いた添加剤及びその分量は、Ａ－１と同様にした。
以下、屈折率調整層の作製方法を示す。
［屈折率調整層の形成］
仮支持体として、１６μｍ厚みのポリエチレンテレフタレートフィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を準備した。仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて感光性組成物Ａ－１を塗布し、１００℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることで、膜厚５．５μｍの感光性組成物層を形成した。
その後、感光性組成物層上に、スリット状ノズルを用いて表２に示される成分を含む組成物（表２中の各成分の数値は含有量（質量部）である。）を塗布した後、１１０℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることで、屈折率調整層（屈折率：１．６８、厚さ：７３ｎｍ）を形成した。
屈折率調整層に保護フィルム（ルミラー１６ＫＳ４０、東レ（株）製）を圧着し、転写フィルムを作製した。
Figure 2023020450000031
＜実施例１５及び１６＞
後段に示す表３のとおりに感光性組成物を変更したこと、及び、硬化工程における露光条件を表４のとおりに変更したこと以外は、実施例１の手順と同様にして、実施例１５及び１６に用いたタッチパネルセンサーを得た。
Figure 2023020450000032
なお、上記表３中、化合物の各表記は以下のとおりである。
（１）バインダーポリマー
・Ｐ－２：上記Ｐ－２溶液
・Ｐ－４：上記Ｐ－４溶液
なお、表中の質量部は、各溶液の固形分量を表す。
（２）重合性化合物
（２－１）エチレン性不飽和結合を２つ有するモノマー：
・ＫＡＹＡＲＡＤ Ｒ－６０４：アクリルモノマー、日本化薬（株）製
・Ａ－ＮＯＤ－Ｎ：アクリルモノマー、新中村化学工業（株）製
（２－２）エチレン性不飽和結合を５つ以上有するモノマー
・ＴＯ２３４９：カルボキシ基を有するモノマー、アロニックスＴＯ２３４９、東亞合成（株）製
・Ａ－ＤＰＨ：アクリルモノマー、新中村化学工業（株）製
（３）熱架橋性化合物
・ＳＢＮ－７０Ｄ：デュラネートＳＢＮ－７０Ｄ、旭化成（株）製
（４）重合開始剤
・ＡＰｉ－３０７：１－（ｂｉｐｈｅｎｙｌ－４－ｙｌ）－２－ｍｅｔｈｙｌ－２－ｍｏｒｐｈｏｌｉｎｏｐｒｏｐａｎ－１－ｏｎｅ、Ｓｈｅｎｚｈｅｎ ＵＶ－ＣｈｅｍＴｅｃｈ社製
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ３７９ＥＧ：２－（ジメチルアミノ）－２－（４－メチルベンジル）－１－（４－モルホリノフェニル）ブタン－１－オン、ＢＡＳＦ社製
（５）添加剤
・ベンゾイミダゾール（東京化成工業（株）製）
・イソニコチンアミド（東京化成工業（株）製）
・ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８：メガファックＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８、ＤＩＣ（株）製
＜比較例１及び２＞
後段に示す表４のとおりに、硬化工程における保護膜の表面の温度を３０℃に変更したこと、及び、硬化工程における露光量を表４のとおりに変更したこと以外は、実施例１の手順と同様にして、比較例１及び２に用いたタッチパネルセンサーを得た。
＜測定＞
［表面硬度］
各実施例及び各比較例のタッチパネルセンサーの表面硬度は、上記で説明した方法で測定した。得られた表面硬度を後段の表４に示す。
［マンドレル試験］
各実施例及び各比較例のタッチパネルセンサーのマンドレル試験を、上記で説明した方法で行った。得られた直径Ｘを後段の表４に示す。
［反応率］
各実施例及び各比較例のタッチパネルセンサーの製造工程における反応率を、上記で説明した方法で測定した。得られた反応率を後段の表４に示す。
＜評価＞
［輝点評価］
上記で作製したタッチパネルセンサーのウェブサンプルについて、搬送ロールが備わったウェブハンドリング装置を用いて搬送した。搬送したタッチパネルセンサーについて、保護膜の表面を目視及び光学顕微鏡（双眼実体顕微鏡、倍率：１０倍）で観察した。
目視での観察は、蛍光灯照明下で保護膜側から行った。また、光学顕微鏡による観察は、保護膜側から行った。
観察時において、反射光が強く見える輝点の状況により、下記評価基準に基づいて輝点評価を行った。
なお、Ａ～Ｃが実用上問題ない評価である。
（評価基準）
Ａ：顕微鏡観察及び目視観察の両方で、全く輝点が見えない。
Ｂ：顕微鏡観察で、僅かに輝点は見える。目視観察では全く輝点が見えない。
Ｃ：目視観察で僅かに輝点が見える。
Ｄ：目視観察で輝点が見える。
［抵抗変化評価］
タッチパネルセンサーをＳ字に変形させた状態でタッチパネルセンサーを静置し、静置前後のセンサー電極の抵抗値の変化を測定した。
より具体的には、タッチパネルセンサーの変形の状態１０を示す断面図（図１）に示すように、直径３ｍｍの円柱のロッド１４に沿って、タッチパネルセンサー１２をＳ字に変形させ、荷重１６を１０ｇ／ｃｍとなるように作用させた。この状態で、５００時間、６０℃９０％の環境下において、タッチパネルセンサーを静置した。
その後、静置前後のセンサー電極（ＩＴＯ電極）の抵抗値の変化から、下記評価基準に基づいて抵抗変化評価を行った。なお、抵抗値の変化（％）は、｛（静置後の抵抗値－静置前の抵抗値）／静置前の抵抗値｝×１００によって算出した。
なお、Ａ～Ｃが実用上問題ない抵抗変化である。
（評価基準）
Ａ：抵抗値変化が、０．１％未満
Ｂ：抵抗値変化が、０．１％以上、１．０％未満
Ｃ：抵抗値変化が、１．０％以上、５．０％未満
Ｄ：抵抗値変化が、５．０％以上
＜結果＞
表４に、各実施例及び各比較例の上記評価結果を示す。
なお、表４中、転写フィルムの各化合物の表記は下記のとおりである。
（１）バインダーポリマー
・Ｐ－１：上記Ｐ－１溶液
・Ｐ－２：上記Ｐ－２溶液
・Ｐ－３：上記Ｐ－３溶液
なお、表中の質量部は、各溶液の固形分量を表す。
（２）重合性化合物
（２－１）エチレン性不飽和結合を２つ有するモノマー：
・Ａ－ＤＣＰ：トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、新中村化学工業（株）製
・Ａ－ＮＯＤ－Ｎ：アクリルモノマー、新中村化学工業（株）製
（２－２）エチレン性不飽和結合を５つ以上有するモノマー
・ＴＯ２３４９：カルボキシ基を有するモノマー、アロニックスＴＯ２３４９、東亞合成（株）製
・Ａ－ＤＰＨ：アクリルモノマー、新中村化学工業（株）製
・８ＵＸ－０１５Ａ：ウレタンアクリレートモノマー、大成ファインケミカル（株）製
（３）熱架橋性化合物
・Ｑ－１：上記ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１
・Ｑ－２：上記ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２
（４）重合開始剤
・ＯＸＥ－０２：１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）、ＢＡＳＦ社製
・Ｉｒｇａｃｕｒｅ９０７：２－メチル－４’－メチルチオ－２－モルホリノプロピオフェノン、ＢＡＳＦ社製
・ＡＰｉ－３０７：１－（ｂｉｐｈｅｎｙｌ－４－ｙｌ）－２－ｍｅｔｈｙｌ－２－ｍｏｒｐｈｏｌｉｎｏｐｒｏｐａｎ－１－ｏｎｅ、Ｓｈｅｎｚｈｅｎ ＵＶ－ＣｈｅｍＴｅｃｈ社製
Figure 2023020450000033
表４の結果から、本発明のタッチパネルセンサーは、所望の効果を奏することが確認された。
実施例７と他の実施例との比較から、感光性組成物が、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーを含む場合、本発明の効果がより優れることが確認された。
実施例８及び９と他の実施例との比較から、感光性組成物が、２つのエチレン性不飽和基を有する第１重合性化合物と、５つ以上のエチレン性不飽和基を有する第２重合性化合物を含む場合、本発明の効果がより優れることが確認された。
実施例３及び１８と他の実施例の比較から、感光性組成物が、第１重合性化合物と第２重合性化合物とを含み、第１重合性化合物の含有量に対する、第２重合性化合物の含有量の質量比が、０．４～１．３である場合、本発明の効果がより優れることが確認された。
各比較例と各実施例の比較から、上記より好ましいタッチパネルセンサーの製造方法によれば、本発明のタッチパネルセンサーを製造できることが確認された。
実施例６と他の実施例の比較から、硬化工程における露光量が、２００ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２未満である場合、本発明の効果がより優れるタッチパネルセンサーが製造されることが確認された。
１０ タッチパネルセンサーの変形の状態
１２ タッチパネルセンサー
１４ 円柱ロッド
１６ 荷重

Claims (8)

  1. 基材及び前記基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、
    前記センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜とを有するタッチパネルセンサーであって、
    前記保護膜の前記導電性基材と反対側の表面硬度が１８５ｍＮ／ｍｍ２以上であり、
    以下のマンドレル試験を行って得られる直径Ｘが３ｍｍ以下である、タッチパネルセンサー。
    マンドレル試験：前記タッチパネルセンサーをマンドレルに巻き付けて元に戻す操作を１０回繰り返した後、前記タッチパネルセンサーの前記保護膜を、１０倍の倍率において光学顕微鏡で観察して前記保護膜のクラックの有無を確認する操作を、マンドレルの直径を小さくしながら繰り返し行い、前記保護膜にクラックが生じるマンドレルの直径を直径Ｘとする。
  2. 前記保護膜が、感光性組成物を用いて形成された膜であって、
    前記感光性組成物が、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーを含む、請求項１に記載のタッチパネルセンサー。
  3. 前記感光性組成物が、２つのエチレン性不飽和基を有する第１重合性化合物と、５つ以上のエチレン性不飽和基を有する第２重合性化合物を更に含む、請求項２に記載のタッチパネルセンサー。
  4. 前記第１重合性化合物の含有量に対する、前記第２重合性化合物の含有量の質量比が、０．４～１．３である、請求項３に記載のタッチパネルセンサー。
  5. 基材及び前記基材上に配置されたセンサー電極を含む導電性基材と、前記導電性基材上に配置され、バインダーポリマーと、エチレン性不飽和基を有する化合物と、光重合開始剤とを含む感光性組成物層とを有する感光性組成物層付き基材を準備する準備工程と、
    前記感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
    露光された前記感光性組成物層を現像して、樹脂層パターンを形成する現像工程と、
    前記樹脂層パターンが５０～１２０℃の条件下にて、前記樹脂層パターンを露光して、前記センサー電極の少なくとも一部を覆う保護膜を形成する硬化工程とを有する、タッチパネルセンサーの製造方法。
  6. 前記硬化工程における露光量が、２００～１５００ｍＪ／ｃｍ２である、請求項５に記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
  7. 前記硬化工程における露光量が、２００ｍＪ／ｃｍ２以上１０００ｍＪ／ｃｍ２未満である、請求項５又は６に記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
  8. 前記感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ１とし、前記保護膜に含まれるエチレン性不飽和基に由来する赤外吸収ピークの強度をＹ２としたとき、下記式（１）で計算される反応率が７０％以上である、請求項５～７のいずれか１項に記載のタッチパネルセンサーの製造方法。
    式（１） 反応率［％］＝｛１－（Ｙ２／Ｙ１）｝×１００
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