WO2021241636A1

WO2021241636A1 - 転写フィルム、積層体の製造方法

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Publication number: WO2021241636A1
Application number: PCT/JP2021/020005
Authority: WO
Inventors: 裕之米澤
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2020-05-27
Filing date: 2021-05-26
Publication date: 2021-12-02
Also published as: JPWO2021241636A1; CN115698856A

Abstract

本発明は、保護フィルム剥離不良、及び、転写不良の発生が抑制された、転写フィルム、並びに、上記転写フィルムを用いた積層体の製造方法を提供する。本発明の転写フィルムは、仮支持体と、感光性組成物層と、保護フィルムと、を有し、仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、感光性組成物層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ３、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ４とした場合に、式（１Ａ）及び式（２Ａ）の関係を満たす。　式（１Ａ）　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２　式（２Ａ）　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２

Description

転写フィルム、積層体の製造方法

　本発明は、転写フィルム、及び、積層体の製造方法に関する。

　所定のパターンを得るための工程数が少ないことから、転写フィルムを用いて任意の基板上に感光性組成物層を配置して、この感光性組成物層に対してマスクを介して露光した後に現像する方法が広く使用されている。

　例えば、特許文献１では、仮支持体と、仮支持体上に配置された所定の成分を含む感光性透明樹脂層とを有する転写フィルムが開示されている。

特開２０１７－０４４９６５号公報

　通常、転写フィルムには、感光性組成物層上に保護フィルムが配置されており、転写フィルムを使用前に保護フィルムを剥離して、感光性組成物層を露出させる。保護フィルムを剥離する際には、感光性組成物層が仮支持体上に残るように保護フィルムが剥離されることが望ましい。言い換えれば、保護フィルムを剥離する際に、感光性組成物層の一部が保護フィルムと共に、仮支持体上から剥離されることが抑制されるのが望ましい。以下、このように保護フィルムと共に感光性組成物層の少なくとも一部が剥離してしまうことを、保護フィルム剥離不良ともいう。特に、転写フィルムからは複数のサンプルが切り出され、各サンプルにおいて保護フィルムの剥離が実施されるために、転写フィルムのいずれの箇所においても保護フィルムの剥離の際に、上記保護フィルム剥離不良が生じないことが望ましい。
　なお、転写フィルムが感光性組成物層と保護フィルムとの間に、両者に接する屈折率調整層を有する場合においては、保護フィルム剥離不良とは、保護フィルムと共に屈折率調整層の少なくとも一部が剥離してしまうことを意味する。

　また、保護フィルムが剥離された、仮支持体と感光性組成物層とを有する転写フィルムは、通常、その感光性組成物層を被転写体に貼り合わせて転写を行う。転写フィルムを被転写体に貼り合わせた後、光照射処理を実施する前又は後に、仮支持体を剥離する。この仮支持体を剥離する際に、露光前又は露光後の感光性組成物層が被転写体上に残るように仮支持体が剥離されることが望ましい。言い換えれば、仮支持体を剥離する際に、露光前又は露光後の感光性組成物層の一部が仮支持体と共に、被転写体上から剥離されることが抑制されるのが望ましい。以下、このように仮支持体と共に露光前又は露光後の感光性組成物層の少なくとも一部が剥離してしまうことを、転写不良ともいう。特に、転写フィルムからは複数のサンプルが切り出され、各サンプルを被転写体に貼合した後、仮支持体の剥離が実施されるために、転写フィルムのいずれの箇所においても仮支持体の剥離の際に、上記転写不良が生じないことが望ましい。

　本発明は、上記実情に鑑みて、保護フィルム剥離不良、及び、転写不良の発生が抑制された、転写フィルムを提供することを課題とする。
　また、本発明は、上記転写フィルムを用いた積層体の製造方法を提供することも課題とする。

　本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。

（１）　仮支持体と、
　仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、
　感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、感光性組成物層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ３、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ４とした場合に、後述する式（１Ａ）及び後述する式（２Ａ）の関係を満たす、転写フィルム。
（２）　後述する式（１Ｂ）の関係を満たす、（１）に記載の転写フィルム。
（３）　後述する式（１Ｃ）の関係を満たす、（１）又は（２）に記載の転写フィルム。
（４）　後述する式（１Ｄ）の関係を満たす、（１）～（３）のいずれかに記載の転写フィルム。
（５）　仮支持体と、
　仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、
　感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、
　屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、感光性組成物層の屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ５、屈折率調整層の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ６、屈折率調整層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ７、保護フィルムの屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ８とした場合に、後述する式（３Ａ）、後述する式（２Ａ）、後述する式（４）、及び、後述する式（５）の関係を満たす、転写フィルム。
（６）　後述する式（２Ｂ）の関係を満たす、（１）～（５）のいずれかに記載の転写フィルム。
（７）　後述する式（２Ｃ）の関係を満たす、（１）～（６）のいずれかに記載の転写フィルム。
（８）　後述する式（２Ｄ）の関係を満たす、（１）～（７）のいずれかに記載の転写フィルム。
（９）　感光性組成物層が、シリコーン系界面活性剤を含む、（１）～（８）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１０）　感光性組成物層が、バインダーポリマー、重合性化合物、及び、重合開始剤を含む、（１）～（９）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１１）　バインダーポリマー及び重合性化合物の少なくとも一方が、芳香族環構造及び２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造からなる群から選択される構造を有する、（１０）に記載の転写フィルム。
（１２）　バインダーポリマーが、スチレン化合物に由来する構成単位を有する、（１１）に記載の転写フィルム。
（１３）　重合性化合物が、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造からなる群から選択される構造を有する、（１１）に記載の転写フィルム。
（１４）　仮支持体の曲げ弾性率が、保護フィルムの曲げ弾性率よりも大きい、（１）～（１３）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１５）　仮支持体が、ポリエチレンテレフタレートフィルムである、（１）～（１４）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１６）　後述する式（６）の関係を満たす、（１）～（４）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１７）　感光性組成物層が、タッチパネル用電極保護膜形成に用いられる、（１）～（１６）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１８）　仮支持体と、
　仮支持体の表面に接して配置された転写層と、
　転写層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　仮支持体の転写層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ１、転写層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ２、転写層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ３、保護フィルムの転写層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ４とした場合に、後述する式（Ｘ）及び後述する式（Ｙ）の関係を満たす、転写フィルム。
（１９）　（１）～（１７）のいずれかに記載の転写フィルムから保護フィルムを剥離して露出した表面を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、基板、導電層、感光性組成物層、及び、仮支持体をこの順に有する感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、
　感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
　露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、
　更に、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する、積層体の製造方法。
（２０）　導電層を有する基板が、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方を有する基板である、（１９）に記載の積層体の製造方法。

　本発明によれば、保護フィルム剥離不良、及び、転写不良の発生が抑制された、転写フィルムを提供できる。
　また、本発明によれば、上記転写フィルムを用いた積層体の製造方法を提供できる。

　以下、本発明について詳細に説明する。
　本明細書において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
　本明細書において、段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。

　本明細書において、「工程」の用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば本用語に含まれる。

　本明細書において、「透明」とは、波長４００～７００ｎｍの可視光の平均透過率が、８０％以上であることを意味し、９０％以上であることが好ましい。
　本明細書において、可視光の平均透過率は、分光光度計を用いて測定される値であり、例えば、日立製作所株式会社製の分光光度計Ｕ－３３１０を用いて測定できる。

　本明細書において、特段の断りのない限り、重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、カラムとして、ＴＳＫｇｅｌ　ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ４０００ＨｘＬ、若しくは、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ２０００ＨｘＬ（いずれも東ソー株式会社製の商品名）、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、検出器として示差屈折計、及び、標準物質としてポリスチレンを使用し、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により測定した標準物質のポリスチレンを用いて換算した値である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、分子量分布がある化合物の分子量は、重量平均分子量（Ｍｗ）である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、金属元素の含有量は、誘導結合プラズマ（ＩＣＰ：Inductively Coupled Plasma）分光分析装置を用いて測定した値である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、屈折率は、波長５５０ｎｍでエリプソメーターを用いて測定した値である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、色相は、色差計（ＣＲ－２２１、ミノルタ株式会社製）を用いて測定した値である。

　本明細書において、「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの両方を包含する概念であり、「（メタ）アクリロキシ基」は、アクリロキシ基及びメタアクリロキシ基の両方を包含する概念である。

　本発明の転写フィルムの特徴点としては、各層間の表面エネルギーの極性部分の関係を調整している点が挙げられる。
　後述する本発明の転写フィルムの第１実施形態においては、仮支持体と感光性組成物層との間の表面エネルギーの極性成分の差、及び、感光性組成物層と保護フィルムとの間の表面エネルギーの極性成分の差を、所定の関係を満たすように調整することにより、所望の効果が得られることを知見している。
　また、後述する本発明の転写フィルムの第２実施形態においては、仮支持体と感光性組成物層との間の表面エネルギーの極性成分の差、感光性組成物層と屈折率調整層との間の表面エネルギーの極性成分の差、及び、屈折率調整層と保護フィルムとの間の表面エネルギーの極性成分の差を、所定の関係を満たすように調整することにより、所望の効果が得られることを知見している。
　また、後述する本発明の転写フィルムの第３実施形態においては、仮支持体と転写層との間の表面エネルギーの極性成分の差、及び、転写層と保護フィルムとの間の表面エネルギーの極性成分の差を、所定の関係を満たすように調整することにより、所望の効果が得られることを知見している。
　なお、各部材間の表面エネルギーの極性成分の差の調整方法は特に制限されず、使用される部材の種類、及び、使用される組成物中の材料の種類を適宜変更して調整できる。

　本発明の転写フィルムの第１実施形態は、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する。
　転写フィルムの第１実施形態に含まれる各部材については、後段で詳述する。

　上記転写フィルムの第１実施形態においては、仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、感光性組成物層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ３、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ４とした場合に、式（１Ａ）及び式（２Ａ）の関係を満たす。
　式（１Ａ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ａ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２

　なかでも、保護フィルム剥離不良の発生がより抑制される点で、式（１Ｂ）の関係を満たすことが好ましく、式（１Ｃ）の関係を満たすことがより好ましく、式（１Ｄ）の関係を満たすことが更に好ましい。
　式（１Ｂ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（１Ｃ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧４．０ｍＪ／ｍ^２
　式（１Ｄ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧５．０ｍＪ／ｍ^２
　また、転写不良の発生がより抑制される点で、式（２Ｂ）の関係を満たすことが好ましく、式（２Ｃ）の関係を満たすことがより好ましく、式（２Ｄ）の関係を満たすことが更に好ましい。
　式（２Ｂ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧４．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ｃ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧５．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ｄ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧６．０ｍＪ／ｍ^２

　また、感光性組成物層内から保護フィルム側の表面への成分の偏在（いわゆる、泣き出し）の発生がより抑制される点で、本発明の転写フィルムの第１実施形態は、式（６）の関係を満たすことが好ましい。
　式（６）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜≦１４ｍＪ／ｍ^２

　γ^ｈ１は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～１６．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１４．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ２は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、６．０～２４．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、８．０～２２．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ３は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～２０．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１８．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ４は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、０．１～６．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、０．３～４．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。

　上記表面エネルギーの極性成分は、以下の方法により算出される。
　本発明に記載の表面エネルギーの極性成分は、Ｄ.Ｋ.Ｏｗｅｎｓ：Ｊ.Ａｐｐｌ.Ｐｏｌｙｍ.Ｓｃｉ.,１３,１７４１（１９６９）を参考にして実測した純水Ｈ_２Ｏとヨウ化メチレンＣＨ_２Ｉ_２とのそれぞれの接触角θ_Ｈ２Ｏ及びθ_{ＣＨ２Ｉ２}から、以下の連立方程式（Ａ）及び（Ｂ）により求められる。
〔連立方程式〕
（Ａ）：１＋ｃｏｓθ_Ｈ２Ｏ＝２（γｓ^ｄ）^１／２（γ_Ｈ２Ｏ ^ｄ）^１／２／γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ＋２（γｓ^ｈ）^１／２（γ_Ｈ２Ｏ ^ｈ）^１／２／γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ
（Ｂ）：１＋ｃｏｓθ_{ＣＨ２Ｉ２}＝２（γｓ^ｄ）^１／２（γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｄ）^１／２／γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ＋２（γｓ^ｈ）^１／２（γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｈ）^１／２／γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ
γ_Ｈ２Ｏ ^ｄ＝２１．８、γ_Ｈ２Ｏ ^ｈ＝５１．０、γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ＝７２．８、
γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｄ＝４９．５、γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｈ＝１．３、γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ＝５０．８
　ただし、上記連立方程式中、γｓ^ｄは表面エネルギーの分散力成分に、γｓ^ｈは表面エネルギーの極性成分に、それぞれ相当し、それらの和で表される値γｓ^ｖ（＝γｓ^ｄ＋γｓ^ｈ）を表面エネルギーと定義する。
　上記接触角（静的接触角）の測定は、接触角計（協和界面科学社製、ＤＲＯＰＭＡＳＴＥＲ－５０１）を用いて、２５℃、相対湿度５５％の条件下で、サンプルの測定面に精製水又はヨウ化メチレン２μＬを着滴してから７秒後の接触角を液滴法にて測定する。

　例えば、仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分は、仮支持体の感光性組成物層と接する側の表面の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ１を算出できる。
　また、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分は、保護フィルムの感光性組成物層と接する側の表面の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ４を算出できる。
　感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ２に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層とからなる積層体を用意する。次に、この積層体から感光性組成物層を粘着テープで強制的に剥離して、露出した感光性組成物層の表面（仮支持体側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ２を算出できる。
　また、感光性組成物層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ３に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意する。次に、この転写フィルムから保護フィルムを剥離して、露出した感光性組成物層の表面（保護フィルム側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ３を算出できる。

　本発明の転写フィルムの第２実施形態は、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する。
　転写フィルムの第２実施形態に含まれる各部材については、後段で詳述する。

　上記転写フィルムの第２実施形態においては、仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、感光性組成物層の屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ５、屈折率調整層の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ６、屈折率調整層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ７、保護フィルムの屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ８とした場合に、式（３Ａ）、式（２Ａ）、式（４）、及び、式（５）の関係を満たす。
　式（３Ａ）　　｜γ^ｈ７－γ^ｈ８｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ａ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（４）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜＜｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜
　式（５）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜＜｜γ^ｈ７－γ^ｈ８｜

　なかでも、保護フィルム剥離不良の発生がより抑制される点で、式（３Ｂ）の関係を満たすことが好ましく、式（３Ｃ）の関係を満たすことがより好ましく、式（３Ｄ）の関係を満たすことが更に好ましい。
　式（３Ｂ）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（３Ｃ）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧４．０ｍＪ／ｍ^２
　式（３Ｄ）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧５．０ｍＪ／ｍ^２
　また、転写不良の発生がより抑制される点で、上記式（２Ｂ）の関係を満たすことが好ましく、上記式（２Ｃ）の関係を満たすことがより好ましく、上記式（２Ｄ）の関係を満たすことが更に好ましい。

　γ^ｈ１及びγ^ｈ２の好適範囲は、第１実施形態で説明した通りである。
　γ^ｈ５は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～１４．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１２．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ６は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～１４．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１２．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ７は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～１４．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１２．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｈ８は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、０．１～６．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、０．３～４．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。

　各部材の表面の表面エネルギーの極性成分の測定方法としては、第１実施形態で説明した方法が挙げられる。
　なお、感光性組成物層の屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ５及び屈折率調整層の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ６に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意する。次に、この転写フィルムから仮支持体及び保護フィルムを剥離する。その後、感光性組成物層の屈折率調整層側とは反対側の表面に粘着テープを貼合し、更に、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に粘着テープを貼合して、感光性組成物層と屈折率調整層との間で剥離が生じるように、両者を強制的に剥離する。露出した感光性組成物層の表面（屈折率調整層側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ５を算出できる。また、露出した屈折率調整層の表面（感光性組成物層側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ６を算出できる。
　また、屈折率調整層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ７に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意する。次に、この転写フィルムから保護フィルムを剥離して、露出した屈折率調整層の表面（保護フィルム側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ７を算出できる。
　また、保護フィルムの屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分は、保護フィルムの屈折率調整層と接する側の表面の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ８を算出できる。

　本発明の転写フィルムの第３実施形態は、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された転写層と、転写層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する。

　上記転写フィルムの第３実施形態においては、仮支持体の転写層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ１、転写層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ２、転写層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ３、保護フィルムの感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ４とした場合に、式（Ｘ）及び式（Ｙ）の関係を満たす。
　式（Ｘ）　　｜γ^ｘ３－γ^ｘ４｜－｜γ^ｘ１－γ^ｘ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（Ｙ）　　｜γ^ｘ１－γ^ｘ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２

　γ^ｘ１は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～１６．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１４．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｘ２は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、６．０～２４．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、８．０～２２．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｘ３は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、４．０～２０．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、６．０～１８．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　γ^ｘ４は上記関係を満たしていれば、その範囲は特に制限されないが、０．１～６．０ｍＪ／ｍ^２が好ましく、０．３～４．０ｍＪ／ｍ^２がより好ましい。
　各部材の表面の表面エネルギーの極性成分の測定方法としては、第１実施形態で説明した方法が挙げられる。

　第３実施形態において、転写層とは仮支持体から転写される層を意味する。
　転写層としては、例えば、以下の形態１～４が挙げられる。なお、転写層が形態１の場合には、転写フィルムは上述した第１実施形態に該当し、転写層が形態２の場合、転写フィルムは上述した第２実施形態に該当する。なお、感光性組成物層は、着色樹脂層であることも好ましい。
形態１：感光性組成物層
形態２：感光性組成物及び屈折率調整層の積層体
形態３：中間層及び感光性組成物の積層体
形態４：熱可塑性樹脂層、水溶性樹脂層及び感光性組成物層の積層体

　以下、転写フィルムを構成する各部材について詳述する。

＜仮支持体＞
　転写フィルムは、仮支持体を有する。
　仮支持体は、後述する感光性組成物層を支持する部材であり、最終的には剥離処理により除去される。

　仮支持体は、単層構造であっても、複層構造であってもよい。
　仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮、又は、伸びを生じないフィルムが好ましい。
　上記フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム（例えば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム）、ポリメチルメタクリレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。
　なかでも、仮支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
　また、仮支持体として使用するフィルムには、シワ等の変形、及び、傷等がないことが好ましい。

　仮支持体は、仮支持体を介してパターン露光できるという点から、透明性が高いことが好ましく、３６５ｎｍの透過率は６０％以上が好ましく、７０％以上がより好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体のヘイズは小さい方が好ましい。具体的には、仮支持体のヘイズ値が、２％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．１％以下が更に好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物、及び、欠陥の数は少ない方が好ましい。仮支持体中における直径１μｍ以上の微粒子、異物、及び、欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ^２以下が好ましく、１０個／１０ｍｍ^２以下がより好ましく、３個／１０ｍｍ^２以下が更に好ましく、０個／１０ｍｍ^２が特に好ましい。

　仮支持体の厚さは特に制限されないが、５～２００μｍが好ましく、取り扱いやすさ及び汎用性の点から、１０～１５０μｍがより好ましく、１０～５０μｍが更に好ましい。
　仮支持体の厚みは、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡：Scanning Electron Microscope）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。

　仮支持体としては、例えば、膜厚１６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、膜厚１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、膜厚９μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。

　仮支持体の好ましい形態としては、例えば、特開２０１４－０８５６４３号公報の段落［００１７］～［００１８］、特開２０１６－０２７３６３号公報の段落［００１９］～［００２６］、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落［００４１］～［００５７］、及び、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落［００２９］～［００４０］に記載が挙げられ、これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。

　ハンドリング性を付与する点で、仮支持体の表面に、微小な粒子を含む層（滑剤層）を設けてもよい。滑剤層は仮支持体の片面に設けてもよいし、両面に設けてもよい。滑剤層に含まれる粒子の直径は、０．０５～０．８μｍが好ましい。
　また、滑剤層の膜厚は、０．０５～１．０μｍが好ましい。

　仮支持体の曲げ弾性率は特に制限されないが、保護フィルム剥離不良及び転写不良の少なくとも一方の発生がより抑制される点（以下、単に「本発明の効果がより優れる点」ともいう。）から、仮支持体の曲げ弾性率が、後述する保護フィルムの曲げ弾性率よりも大きいことが好ましい。
　曲げ弾性率の測定方法としては、ＡＳＴＭ　Ｄ７９０に準拠した測定方法が挙げられる。
　仮支持体の市販品としては、ルミラー１６ＫＳ４０、ルミラー１６ＦＢ４０(以上、東レ株式会社製)、コスモシャインＡ４１００、コスモシャインＡ４３００、コスモシャインＡ８３００（以上、東洋紡株式会社製）が挙げられる。

＜感光性組成物層＞
　転写フィルムは、感光性組成物層を有する。
　感光性組成物層を被転写体上に転写した後、露光及び現像を行うことにより、被転写体上にパターンを形成できる。
　感光性組成物層としては、公知の感光性組成物層を用いることができ、ネガ型が好ましい。なお、ネガ型感光性組成物層とは、露光により露光部が現像液に対する溶解性が低下する感光性組成物層である。感光性組成物層がネガ型感光性組成物層である場合、形成されるパターンは硬化層に該当する。

　以下、感光性組成物層（特に、ネガ型感光性組成物層）に含まれる成分について詳述する。

［バインダーポリマー］
　感光性組成物層は、バインダーポリマーを含んでいてもよい。
　バインダーポリマーとしては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、スチレン樹脂、エポキシ樹脂、アミド樹脂、アミドエポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、エステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応で得られるエポキシアクリレート樹脂、及び、エポキシアクリレート樹脂と酸無水物との反応で得られる酸変性エポキシアクリレート樹脂が挙げられる。

　バインダーポリマーの好適態様の一つとして、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂が挙げられる。
　なお、本明細書において、（メタ）アクリル樹脂とは、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位を有する樹脂を意味する。（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。
　（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位のみで構成されていてもよく、（メタ）アクリル化合物以外の重合性単量体に由来する構成単位を有していてもよい。すなわち、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量の上限は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１００質量％以下である。

　（メタ）アクリル化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド、及び、（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。
　（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、及び、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートが挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
　（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミドが挙げられる。

　（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基は、直鎖状でも、分岐鎖状でもよい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、及び、（メタ）アクリル酸ドデシル等の炭素数が１～１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。
　（メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位以外の構成単位を有していてもよい。
　上記構成単位を形成する重合性単量体としては、（メタ）アクリル化合物と共重合可能な（メタ）アクリル化合物以外の化合物であれば特に制限されず、例えば、スチレン、ビニルトルエン及びα－メチルスチレン等のα位又は芳香族環に置換基を有してもよいスチレン化合物、アクリロニトリル及びビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールエステル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル及びマレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、並びに、クロトン酸が挙げられる。
　これらの重合性単量体は、１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、アルカリ現像性をより良好にする点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及び、ホスホン酸基が挙げられる。
　なかでも、（メタ）アクリル樹脂は、カルボキシ基を有する構成単位を有することがより好ましく、上記の（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有することが更に好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂における酸基を有する構成単位（好ましくは（メタ）アクリル酸に由来する構成単位）の含有量は、現像性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂の全質量に対して、１０質量％以上が好ましい。また、上限値は特に制限されないが、アルカリ耐性に優れる点で、５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、上述した（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有することがより好ましい。
　（メタ）アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０～９０質量％が好ましく、６０～９０質量％がより好ましく、６５～９０質量％が更に好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有する樹脂が好ましく、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位のみで構成されている樹脂がより好ましい。
　また、（メタ）アクリル樹脂としては、メタクリル酸に由来する構成単位、メタクリル酸メチルに由来する構成単位、及び、アクリル酸エチルに由来する構成単位を有するアクリル樹脂も好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種を有することが好ましく、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有することが好ましい。
　（メタ）アクリル樹脂におけるメタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、本発明の効果がより優れる点から、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、４０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％以下であってもよく、８０質量％以下が好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種と、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種とを有することも好ましい。
　本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量に対して、質量比で６０／４０～８０／２０が好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂は、転写後の感光性組成物層の現像性に優れる点で、末端にエステル基を有することが好ましい。
　なお、（メタ）アクリル樹脂の末端部は、合成に用いた重合開始剤に由来する部位により構成される。末端にエステル基を有する（メタ）アクリル樹脂は、エステル基を有するラジカルを発生する重合開始剤を用いることにより合成できる。

　また、バインダーポリマーの別の好適態様としては、アルカリ可溶性樹脂が挙げられる。
　なお、本開示において、「アルカリ可溶性」とは、２２℃において炭酸ナトリウムの１質量％水溶液１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。
　バインダーポリマーは、例えば、現像性の点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のバインダーポリマーであることが好ましい。
　また、バインダーポリマーは、例えば、加熱により架橋成分と熱架橋し、強固な膜を形成しやすいという点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有樹脂）であることがより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂）であることが更に好ましい。
　バインダーポリマーがカルボキシ基を有する樹脂であると、例えば、ブロックイソシアネート化合物等の熱架橋性化合物を添加して熱架橋することで、３次元架橋密度を高めることができる。また、カルボキシ基を有する樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化すると、湿熱耐性が改善し得る。

　酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂としては、上記酸価の条件を満たす限りにおいて、特に制限はなく、公知の（メタ）アクリル樹脂から適宜選択できる。
　例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落［００２５］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落［００３３］～［００５２］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等を好ましく用いることができる。

　バインダーポリマーの他の好適態様としてはスチレン－アクリル共重合体が挙げられる。
　なお、本開示において、スチレン－アクリル共重合体とは、スチレン化合物に由来する構成単位と、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位とを有する樹脂を指し、上記スチレン化合物に由来する構成単位、及び、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の合計含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
　また、スチレン化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、５～８０質量％が更に好ましい。
　また、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、２０～９５質量％が更に好ましい。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、芳香環構造を有することが好ましく、芳香環構造を有する構成単位を有することがより好ましい。
　芳香環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、スチレン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、メチルスチレン、及び、α－メチルスチレン等のスチレン化合物、並びに、ベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
　中でも、スチレン化合物が好ましく、スチレンがより好ましい。
　また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｓ）で表される構成単位（スチレンに由来する構成単位）を有することがより好ましい。

　バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～７０質量％より好ましく、２０～６０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましい。
　なお、本開示において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本開示において、上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、脂肪族炭化水素環構造を有することが好ましい。つまり、バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有することが好ましい。脂肪族炭化水素環構造は単環でも多環でもよく、中でも、バインダーポリマーは、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有することがより好ましい。

　脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位における脂肪族炭化水素環構造を構成する環としては、トリシクロデカン環、シクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボルナン環、及び、イソボロン環が挙げられる。
　中でも、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環が好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環（トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン環）がより好ましい。
　脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。
　また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましく、上記式（Ｓ）で表される構成単位、及び、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましい。

　式（Ｃｙ）中、Ｒ^Ｍは水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^Ｃｙは脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基を表す。

　式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｍは、メチル基であることが好ましい。
　式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｃｙは、本発明の効果がより優れる点から、炭素数５～２０の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが好ましく、炭素数６～１６の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることがより好ましく、炭素数８～１４の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが更に好ましい。
　また、式（Ｃｙ）のＲ^Ｃｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造、ノルボルナン環構造、又は、イソボロン環構造であることが好ましく、シクロヘキサン環構造、又は、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることがより好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることが更に好ましい。
　更に、式（Ｃｙ）のＲ^Ｃｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることが好ましく、２～４環の脂肪族炭化水素環が縮環した環であることがより好ましい。
　更に、式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｃｙは、本発明の効果がより優れる点から、式（Ｃｙ）における－Ｃ（＝Ｏ）Ｏ－の酸素原子と脂肪族炭化水素環構造とが直接結合する基、すなわち、脂肪族炭化水素環基であることが好ましく、シクロヘキシル基、又は、ジシクロペンタニル基であることがより好ましく、ジシクロペンタニル基であることが更に好ましい。

　バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～８０質量％がより好ましく、２０～７０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。

　バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、４０～７５質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位及び上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位のモル量ｎＳと上記式（Ｃｙ）で表される構成単位のモル量ｎＣｙは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（ＳＣｙ）に示す関係を満たすことが好ましく、下記式（ＳＣｙ－１）を満たすことがより好ましく、下記式（ＳＣｙ－２）を満たすことが更に好ましい。
　　０．２≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．８　　　式（ＳＣｙ）
　　０．３０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７５　　　式（ＳＣｙ－１）
　　０．４０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７０　　　式（ＳＣｙ－２）

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。
　上記酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、ホスホン酸基、及び、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
　上記酸基を有する構成単位としては、下記に示す、（メタ）アクリル酸由来の構成単位が好ましく、メタクリル酸由来の構成単位がより好ましい。

　バインダーポリマーは、酸基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが酸基を有する構成単位を有する場合、酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～５０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、１０～３０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける（メタ）アクリル酸由来の構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、反応性基を有することが好ましく、反応性基を有する構成単位を有することがより好ましい。
　反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、バインダーポリマーがエチレン性不飽和基を有している場合、バインダーポリマーは、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。
　本開示において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
　エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリル基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。
　反応性基を有する構成単位の一例としては、下記に示すものが挙げられるが、これらに限定されない。

　バインダーポリマーは、反応性基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが反応性基を有する構成単位を有する場合、反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０質量％が好ましく、１０～５０質量％がより好ましく、２０～４０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。

　反応性基をバインダーポリマーに導入する手段としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、第一級アミノ基、第二級アミノ基、アセトアセチル基、及び、スルホ基等の官能基に、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート化合物、イソシアネート化合物、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、及び、カルボン酸無水物等の化合物を反応させる方法が挙げられる。
　反応性基をバインダーポリマーに導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するポリマーを重合反応により合成した後、高分子反応により、得られたポリマーのカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させて、（メタ）アクリロキシ基をポリマーに導入する手段が挙げられる。この手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するバインダーポリマーを得ることができる。
　上記重合反応は、７０～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬（株）製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。上記高分子反応は、８０～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記高分子反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。

　バインダーポリマーとしては、本発明の効果がより優れる点から、以下に示すポリマーが好ましい。なお、以下に示す各構成単位の含有比率（ａ～ｄ）及び重量平均分子量Ｍｗ等は目的に応じて適宜変更できる。

　上記式中、ａは２０～６０質量％、ｂは１０～５０質量、ｃは５～２５質量％、ｄは１０～５０質量％が好ましい。

　上記式中、ａは２０～６０質量％、ｂは１～２０質量、ｃは５～２５質量％、ｄは１０～５０質量％が好ましい。

　上記式中、ａは１～２０質量％、ｂは２０～６０質量、ｃは５～２５質量％、ｄは１０～５０質量％が好ましい。

　上記式中、ａは１０～６０質量％、ｂは１０～４０質量、ｃは５～４０質量％、ｄは０～３０質量％が好ましい。

　また、バインダーポリマーは、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を有する重合体（以下、「重合体Ｘ」ともいう。）を含んでいてもよい。
　カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
　環状カルボン酸無水物構造の環としては、５～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を２つ除いた２価の基を主鎖中に含む構成単位、又は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を１つ除いた１価の基が主鎖に対して直接又は２価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。

　式Ｐ－１中、Ｒ^Ａ１ａは、置換基を表し、ｎ^１ａ個のＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよく、Ｚ^１ａは、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－を含む環を形成する２価の基を表し、ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。

　Ｒ^Ａ１ａで表される置換基としては、例えば、アルキル基が挙げられる。
　Ｚ^１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。
　ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ^１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ^１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。
　ｎ^１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲ^Ａ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位が好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位がより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位が更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位が特に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位が最も好ましい。

　以下、カルボン酸無水物構造を有する構成単位の具体例を挙げるが、カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、これらの具体例に限定されるものではない。下記の構成単位中、Ｒｘは、水素原子、メチル基、ＣＨ_２ＯＨ基、又はＣＦ_３基を表し、Ｍｅは、メチル基を表す。

　重合体Ｘにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位の総含有量は、重合体Ｘの全構成単位に対して、０～６０モル％が好ましく、５～４０モル％がより好ましく、１０～３５モル％が更に好ましい。

　感光性組成物層は、重合体Ｘを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
　感光性組成物層が重合体Ｘを含む場合、本発明の効果がより優れる点から、重合体Ｘの含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．１～３０質量％が好ましく、０．２～２０質量％がより好ましく、０．５～２０質量％が更に好ましく、１～２０質量％が更に好ましい。

　バインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、本発明の効果がより優れる点から、５，０００以上が好ましく、１０，０００以上がより好ましく、１０，０００～５０，０００が更に好ましく、２０，０００～３０，０００が特に好ましい。

　バインダーポリマーの酸価は、１０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、６０ｍｇ～２００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇが更に好ましく、６０～１１０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。
　バインダーポリマーの酸価は、ＪＩＳ　Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。

　感光性組成物層は、バインダーポリマーを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
　バインダーポリマーの含有量は、本発明の効果がより優れる点から、感光性組成物層全質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、３０～７０質量％が更に好ましい。
　バインダーポリマーの分散度は、現像性の点から、１．０～６．０が好ましく、１．０～５．０がより好ましく、１．０～４．０が更に好ましく、１．０～３．０が特に好ましい。

［重合性化合物］
　感光性組成物層は、重合性化合物を含んでいてもよい。
　重合性化合物は、重合性基を有する化合物である。重合性基としては、例えば、ラジカル重合性基、及び、カチオン重合性基が挙げられ、ラジカル重合性基が好ましい。

　重合性化合物は、エチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物（以下、単に「エチレン性不飽和化合物」ともいう。）を含むことが好ましい。
　エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロキシ基が好ましい。
　なお、本開示におけるエチレン性不飽和化合物は、上記バインダーポリマー以外の化合物であり、分子量５，０００未満であることが好ましい。

　重合性化合物の好適態様の一つとして、下記式（Ｍ）で表される化合物（単に、「化合物Ｍ」ともいう。）が挙げられる。
　　Ｑ^２－Ｒ^１－Ｑ^１　　　式（Ｍ）
　式（Ｍ）中、Ｑ^１及びＱ^２はそれぞれ独立に、（メタ）アクリロイルオキシ基を表し、Ｒ^１は鎖状構造を有する二価の連結基を表す。

　式（Ｍ）におけるＱ^１及びＱ^２は、合成容易性の点から、Ｑ^１及びＱ^２は同じ基であることが好ましい。
　また、式（Ｍ）におけるＱ^１及びＱ^２は、反応性の点から、アクリロイルオキシ基であることが好ましい。
　式（Ｍ）におけるＲ^１としては、本発明の効果がより優れる点から、アルキレン基、アルキレンオキシアルキレン基（－Ｌ^１－Ｏ－Ｌ^１－）、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基（－（Ｌ^１－Ｏ）_ｐ－Ｌ^１－）が好ましく、炭素数２～２０の炭化水素基、又は、ポリアルキレンオキシアルキレン基がより好ましく、炭素数４～２０のアルキレン基が更に好ましく、炭素数６～１８の直鎖アルキレン基が特に好ましい。
　上記炭化水素基は、少なくとも一部に鎖状構造を有していればよく、上記鎖状構造以外の部分としては、特に制限はなく、例えば、分岐鎖状、環状又は炭素数１～５の直鎖状アルキレン基、アリーレン基、エーテル結合、及び、それらの組み合わせのいずれであってもよく、アルキレン基、又は、２以上のアルキレン基と１以上のアリーレン基とを組み合わせた基が好ましく、アルキレン基がより好ましく、直鎖アルキレン基が更に好ましい。
　なお、上記Ｌ^１は、それぞれ独立に、アルキレン基を表し、エチレン基、プロピレン基、又は、ブチレン基が好ましく、エチレン基、又は、１，２－プロピレン基がより好ましい。ｐは２以上の整数を表し、２～１０の整数であることが好ましい。

　また、化合物ＭにおけるＱ^１とＱ^２との間を連結する最短の連結鎖の原子数は、本発明の効果がより優れる点から、３～５０個が好ましく、４～４０個がより好ましく、６～２０個が更に好ましく、８～１２個が特に好ましい。
　本開示において、「Ｑ^１とＱ^２の間を連結する最短の連結鎖の原子数」とは、Ｑ^１に連結するＲ^１における原子からＱ^２に連結するＲ^１における原子までを連結する最短の原子数である。

　化合物Ｍの具体例としては、１，３－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、テトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，７－ヘプタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，８－オクタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＡのジ（メタ）アクリレート、水添ビスフェノールＦのジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレンレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール／プロピレングリコール）ジ（メタ）アクリレート、及び、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。上記エステルモノマーは混合物としても使用できる。
　上記化合物の中でも、本発明の効果がより優れる点から、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが好ましく、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることがより好ましく、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物であることが更に好ましい。

　また、重合性化合物の好適態様の一つとして、２官能以上のエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
　本開示において、「２官能以上のエチレン性不飽和化合物」とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。
　エチレン性不飽和化合物におけるエチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロイル基が好ましい。
　エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。

　２官能のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
　上記化合物Ｍ以外の２官能のエチレン性不飽和化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、及び、トリシクロデカンジメナノールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。

　２官能のエチレン性不飽和化合物の市販品としては、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、トリシクロデカンジメナノールジメタクリレート（商品名：ＮＫエステル　ＤＣＰ、新中村化学工業（株）製）、１，９－ノナンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、及び、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業（株）製）、ジオキサングリコールジアクリレート（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ　Ｒ－６０４）等が挙げられる。

　３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、特に制限はなく、公知の化合物の中から適宜選択できる。
　３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸（メタ）アクリレート、及び、グリセリントリ（メタ）アクリレート骨格の（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。

　ここで、「（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレート、及びヘキサ（メタ）アクリレートを包含する概念であり、「（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート及びテトラ（メタ）アクリレートを包含する概念である。

　重合性化合物としては、（メタ）アクリレート化合物のカプロラクトン変性化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）　ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業（株）製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、（メタ）アクリレート化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）　ＲＰ－１０４０、新中村化学工業（株）製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社のＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）　１３５等）、及び、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業（株）製ＮＫエステル　Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）も挙げられる。

　重合性化合物としては、ウレタン（メタ）アクリレート化合物〔好ましくは３官能以上のウレタン（メタ）アクリレート化合物〕も挙げられる。
　３官能以上のウレタン（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）製）、ＮＫエステル　ＵＡ－３２Ｐ（新中村化学工業（株）製）、及び、ＮＫエステル　ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業（株）製）等が挙げられる。

　重合性化合物の好適態様の一つとして、酸基を有するエチレン性不飽和化合物が挙げられる。
　酸基としては、リン酸基、スルホ基、及び、カルボキシ基が挙げられる。
　これらの中でも、酸基としては、カルボキシ基が好ましい。
　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、酸基を有する３～４官能のエチレン性不飽和化合物〔ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（ＰＥＴＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの（酸価：８０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕、及び、酸基を有する５～６官能のエチレン性不飽和化合物（ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）骨格にカルボキシ基を導入したもの〔酸価：２５～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕等が挙げられる。
　これら酸基を有する３官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する２官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。

　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
　酸基を有するエチレン性不飽和化合物が、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物及びそのカルボン酸無水物からなる群から選ばれる少なくとも１種であると、現像性及び膜強度がより高まる。
　カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物は、特に制限されず、公知の化合物の中から適宜選択できる。
　カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、アロニックス（登録商標）ＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、アロニックス（登録商標）Ｍ－５２０（東亞合成（株）製）、及び、アロニックス（登録商標）Ｍ－５１０（東亞合成（株）製）が挙げられる。

　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落［００２５］～［００３０］に記載の酸基を有する重合性化合物が好ましく、この公報に記載の内容は、本開示に組み込まれる。

　重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、γ－クロロ－β－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート、β－ヒドロキシエチル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート及びβ－ヒドロキシプロピル－β’－（メタ）アクリロイルオキシエチル－ｏ－フタレート等のフタル酸系化合物、並びに、（メタ）アクリル酸アルキルエステルも挙げられる。
　これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

　多価アルコールにα，β－不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、及び２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、エチレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド基の数が２～１４であり、かつ、プロピレンオキサイド基の数が２～１４であるポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、並びに、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートが挙げられる。
　なかでも、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。

　重合性化合物としては、エチレン性不飽和化合物のカプロラクトン変性化合物（例えば、日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業（株）製Ａ－９３００－１ＣＬ等）、エチレン性不飽和化合物のアルキレンオキサイド変性化合物（例えば、日本化薬（株）製ＫＡＹＡＲＡＤＲＰ－１０４０、新中村化学工業（株）製ＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社製ＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）１３５等）、及び、エトキシル化グリセリントリアクリレート（新中村化学工業（株）製Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等）等も挙げられる。

　重合性化合物（特に、エチレン性不飽和化合物）としては、転写後の感光性組成物層の現像性に優れる点で、なかでも、エステル結合を含むものも好ましい。
　エステル結合を含むエチレン性不飽和化合物としては、分子内にエステル結合を含むものであれば特に制限されないが、本発明の効果が優れる点で、テトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物が好ましく、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、又は、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレートがより好ましい。
　信頼性付与の点からは、エチレン性不飽和化合物としては、炭素数６～２０の脂肪族基を有するエチレン性不飽和化合物と、上記のテトラメチロールメタン構造又はトリメチロールプロパン構造を有するエチレン不飽和化合物と、を含むことが好ましい。
　炭素数６以上の脂肪族構造を有するエチレン性不飽和化合物としては、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。

　重合性化合物の好適態様の一つとしては、脂肪族炭化水素環構造を有する重合性化合物（好ましくは、２官能エチレン性不飽和化合物）が挙げられる。
　上記重合性化合物としては、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造（好ましくは、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造からなる群から選択される構造）を有する重合性化合物が好ましく、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物がより好ましく、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレートが更に好ましい。
　上記脂肪族炭化水素環構造としては、本発明の効果がより優れる点から、シクロペンタン構造、シクロヘキサン構造、トリシクロデカン構造、トリシクロデセン構造、ノルボルナン構造、又は、イソボロン構造が好ましい。

　重合性化合物の分子量は、２００～３，０００が好ましく、２５０～２，６００がより好ましく、２８０～２，２００が更に好ましく、３００～２，２００が特に好ましい。
　感光性組成物層に含まれる重合性化合物のうち、分子量３００以下の重合性化合物の含有量の割合は、感光性組成物層に含まれる全ての重合性化合物の含有量に対して、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。

　感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むのが好ましく、３官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むのがより好ましく、３官能又は４官能のエチレン性不飽和化合物を含むのが更に好ましい。

　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物と、脂肪族炭化水素環を有する構成単位を有するバインダーポリマーとを含むことが好ましい。

　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物とを含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物とを含むことがより好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレートと、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートと、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのコハク酸変性体とを含むことが更に好ましい。

　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述する熱架橋性化合物とを含むことが好ましく、式（Ｍ）で表される化合物と、酸基を有するエチレン性不飽和化合物と、後述するブロックイソシアネート化合物とを含むことがより好ましい。

　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、２官能のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能の（メタ）アクリレート化合物）と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物）と、を含むこと好ましい。

　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。
　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、化合物Ｍ、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことがより好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、化合物Ｍ、脂肪族炭化水素環構造を有する２官能エチレン性不飽和化合物、３官能以上のエチレン性不飽和化合物、酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタン（メタ）アクリレート化合物を含むことが特に好ましい。
　また、感光性組成物層の好適態様の一つとして、感光性組成物層は、感光性組成物層は、基板密着性、現像残渣抑制性、及び、防錆性の点から、１，９－ノナンジオールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、及び、カルボン酸基を有する多官能エチレン性不飽和化合物を含むことが好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、及び、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが更に好ましく、１，９－ノナンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、カルボン酸基を有するエチレン性不飽和化合物、及び、ウレタンアクリレート化合物を含むことが特に好ましい。

　感光性組成物層は、エチレン性不飽和化合物として、単官能エチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。
　上記エチレン性不飽和化合物における２官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の総含有量に対し、６０～１００質量％が好ましく、８０～１００質量％がより好ましく、９０～１００質量％が更に好ましい。

　重合性化合物（特に、エチレン性不飽和化合物）は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層における重合性化合物（特に、エチレン性不飽和化合物）の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１～７０質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましく、２０～６０質量％が更に好ましく、２０～５０質量％が特に好ましい。

［重合開始剤］
　感光性組成物層は、重合開始剤を含んでいてもよい。
　重合開始剤としては、光重合開始剤（好ましくは、光ラジカル重合開始剤）が好ましい。
　光重合開始剤としては特に制限はなく、公知の光重合開始剤が挙げられる。
　光重合開始剤（好ましくは、光ラジカル重合開始剤）としては、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤（以下、「オキシム系光重合開始剤」ともいう。）、α－アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤」ともいう。）、α－ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう。）、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤（以下、「アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤」ともいう。）、及び、Ｎ－フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤（以下、「Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤」ともいう。）が挙げられる。

　光重合開始剤は、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤、及び、Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、及びＮ－フェニルグリシン系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましい。
　また、光重合開始剤は、本発明の効果がより優れる点から、２種以上を併用することが好ましく、オキシム系光重合開始剤及びα－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤を含むことがより好ましく、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）及び２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オンを含むことがより好ましい。

　また、光重合開始剤としては、例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落［００３１］～［００４２］、及び、特開２０１５－０１４７８３号公報の段落［００６４］～［００８１］に記載された重合開始剤を用いてもよい。

　光重合開始剤の市販品としては、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－１，２－オクタンジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０１、ＢＡＳＦ社製〕、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社製〕、［８－［５－（２，４，６－トリメチルフェニル）－１１－（２－エチルヘキシル）－１１Ｈ－ベンゾ［ａ］カルバゾイル］［２－（２，２，３，３－テトラフルオロプロポキシ）フェニル］メタノン－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０３、ＢＡＳＦ社製〕、１－［４－［４－（２－ベンゾフラニルカルボニル）フェニル］チオ］フェニル］－４－メチルペンタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０４、ＢＡＳＦ社製〕、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　３７９ＥＧ、ＢＡＳＦ社製〕、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　９０７、ＢＡＳＦ社製〕、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチルプロピオニル）ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１２７、ＢＡＳＦ社製〕、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタノン－１〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　３６９、ＢＡＳＦ社製〕、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１１７３、ＢＡＳＦ社製〕、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１８４、ＢＡＳＦ社製〕、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　６５１、ＢＡＳＦ社製〕等、オキシムエステル系の〔商品名：Ｌｕｎａｒ（登録商標）　６、ＤＫＳＨジャパン（株）製〕、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－３－シクロペンチルプロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３０５、常州強力電子新材料社製）、１，２－プロパンジオン，３－シクロヘキシル－１－［９－エチル－６－（２－フラニルカルボニル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－，２－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３２６、常州強力電子新材料社製）、３－シクロヘキシル－１－（６－（２－（ベンゾイルオキシイミノ）ヘキサノイル）－９－エチル－９Ｈ－カルバゾール－３－イル）－プロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３９１、常州強力電子新材料社製）、ＡＰｉ－３０７（１－（ビフェニル－４－イル）－２－メチル－２－モルホリノプロパン－１－オン、ＳｈｅｎｚｈｅｎＵＶ-ＣｈｅｍＴｅｃｈＬｔｄ．製）等が挙げられる。

　重合開始剤としては、透明性、及び１０μｍ以下でのパターン形成能がより優れる点で、オキシムエステル化合物、又は、アシルフォスフィンオキサイド系化合物が好ましく、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン－１、１，２－オクタンジオン－１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）、又は、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニル－フォスフィンオキサイドがより好ましい。

　重合開始剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層における重合開始剤の含有量は特に制限されないが、感光性組成物層全質量に対して、０．１質量％以上が好ましく、０．５質量％以上がより好ましく、１．０質量％以上が更に好ましい。
　また、感光性組成物層における重合開始剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。

［複素環化合物］
　感光性組成物層は、複素環化合物を含んでいてもよい。
　複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
　複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子からなる群より選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。

　複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、及び、ピリミジン化合物が挙げられる。
　上記の中でも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物がより好ましい。

　複素環化合物の好ましい具体例を以下に示す。トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　複素環化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～２０．０質量％が好ましく、０．１０～１０．０質量％がより好ましく、０．３０～８．０質量％が更に好ましく、０．５０～５．０質量％が特に好ましい。

［脂肪族チオール化合物］
　感光性組成物層は、脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
　感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。

　脂肪族チオール化合物としては、単官能の脂肪族チオール化合物、又は、多官能の脂肪族チオール化合物（すなわち、２官能以上の脂肪族チオール化合物）が好ましい。

　上記の中でも、脂肪族チオール化合物としては、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物が好ましい。

　本明細書において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、分子量が１００以上の低分子化合物が好ましい。具体的には、多官能の脂肪族チオール化合物の分子量は、１００～１，５００がより好ましく、１５０～１，０００が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物の官能基数としては、例えば、形成されるパターンの密着性の点から、２～１０官能が好ましく、２～８官能がより好ましく、２～６官能が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリス［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオプロピオネート、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，２－エタンジチオール、１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサメチレンジチオール、２，２’－（エチレンジチオ）ジエタンチオール、ｍｅｓｏ－２，３－ジメルカプトコハク酸、及び、ジ（メルカプトエチル）エーテルが挙げられる。

　上記の中でも、多官能の脂肪族チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、及び、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンからなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。

　単官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、１－オクタンチオール、１－ドデカンチオール、β－メルカプトプロピオン酸、メチル－３－メルカプトプロピオネート、２－エチルヘキシル－３－メルカプトプロピオネート、ｎ－オクチル－３－メルカプトプロピオネート、メトキシブチル－３－メルカプトプロピオネート、及び、ステアリル－３－メルカプトプロピオネートが挙げられる。

　感光性組成物層は、１種単独の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよく、２種以上の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５～５０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましく、８～２０質量％が特に好ましい。

＜熱架橋性化合物＞
　感光性組成物層は、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、熱架橋性化合物を含むことが好ましい。なお、本開示においては、後述するエチレン性不飽和基を有する熱架橋性化合物は、エチレン性不飽和化合物としては扱わず、熱架橋性化合物として扱うものとする。
　熱架橋性化合物としては、エポキシ化合物、オキセタン化合物、メチロール化合物、及び、ブロックイソシアネート化合物が挙げられる。中でも、得られる硬化膜の強度、及び、得られる未硬化膜の粘着性の点から、ブロックイソシアネート化合物が好ましい。
　ブロックイソシアネート化合物は、ヒドロキシ基及びカルボキシ基と反応するため、例えば、バインダーポリマー及びエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物の少なくとも一方が、ヒドロキシ基及びカルボキシ基の少なくとも一方を有する場合には、形成される膜の親水性が下がり、保護膜としての機能が強化される傾向がある。
　なお、ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。

　ブロックイソシアネート化合物の解離温度は、特に制限されないが、１００～１６０℃が好ましく、１３０～１５０℃がより好ましい。
　ブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｓｃａｎｎｉｎｇ　ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」を意味する。
　示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ（株）製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に用いることができる。但し、示差走査熱量計は、これに限定されない。

　解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、活性メチレン化合物〔マロン酸ジエステル（マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジｎ－ブチル、マロン酸ジ２－エチルヘキシル等）〕、オキシム化合物（ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、及び、シクロヘキサノンオキシム等の分子内に－Ｃ（＝Ｎ－ＯＨ）－で表される構造を有する化合物）が挙げられる。
　これらの中でも、解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の点から、オキシム化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、例えば、膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の点から、イソシアヌレート構造を有することが好ましい。
　イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。
　イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物の中でも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、かつ、現像残渣を少なくしやすいという点から好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、重合性基を有していてもよい。
　重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、ラジカル重合性基が好ましい。
　重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、及び、スチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。
　中でも、重合性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましく、アクリロキシ基が更に好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物としては、市販品を用いることができる。
　ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、カレンズ（登録商標）　ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＰ等（以上、昭和電工（株）製）、ブロック型のデュラネートシリーズ（例えば、デュラネート（登録商標）　ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、デュラネート（登録商標）　ＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ等、旭化成ケミカルズ（株）製）が挙げられる。

　熱架橋性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層が熱架橋性化合物を含む場合、熱架橋性化合物の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１～５０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましい。

［界面活性剤］
　感光性組成物層は、界面活性剤を含んでいてもよい。
　界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が挙げられる。
　界面活性剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１７］、及び特開２００９－２３７３６２号公報の段落［００６０］～［００７１］に記載の界面活性剤が挙げられる。

　界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が好ましく、シリコーン系界面活性剤がより好ましい。
　フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック　Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７９、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８６、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８７、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ株式会社製）、フロラード　ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ　ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント　７１０ＦＬ、７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ、２５１、２１２Ｍ、２５０、２０９Ｆ、２２２Ｆ、２０８Ｇ、７１０ＬＡ、７１０ＦＳ、７３０ＬＭ、６５０ＡＣ、６８１、６８３（以上、（株）ＮＥＯＳ製）等が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を含む官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含む官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック　ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック　ＤＳ－２１が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
　また、フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーも使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体も使用できる。メガファック　ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の点から、パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）及びパーフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）等の炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤であることが好ましい。
　ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニック（登録商標）　Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（以上、ＢＡＳＦ社製）、テトロニック　３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース　２００００（以上、日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニン　Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業（株）製）等が挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＤＯＷＳＩＬ　８０３２　ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

　界面活性剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～３．０質量％が好ましく、０．０５～１．０質量％がより好ましく、０．１０～０．８０質量％が更に好ましい。

［リン酸エステル化合物］
　感光性組成物層は、基板又は導電層に対する感光性組成物層の密着性をより向上させる点で、リン酸エステル化合物を含むことが好ましい。
　リン酸エステル化合物としては、リン酸（Ｏ＝Ｐ（ＯＨ）_３）における３つの水素の少なくとも１つ以上が有機基で置換されたものであれば特に制限されず、ユニケミカル株式会社製のＰｈｏｓｍｅｒシリーズ（Ｐｈｏｓｍｅｒ－Ｍ、Ｐｈｏｓｍｅｒ－ＣＬ、Ｐｈｏｓｍｅｒ－ＰＥ、Ｐｈｏｓｍｅｒ－ＭＨ、Ｐｈｏｓｍｅｒ－ＰＰ）、日本化薬株式会社製のＫＡＹＡＭＥＲシリーズ（ＫＡＹＡＭＥＲ　ＰＭ－２１、ＫＡＹＡＭＥＲ　ＰＭ－２）、及び、共栄社化学株式会社製のライトエステルシリーズ（ライトエステルＰ－２Ｍ（商品名））が挙げられる。

　リン酸エステル化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　リン酸エステル化合物の含有量は特に制限されないが、感光性組成物層全質量に対して、０．０５～３．０質量％が好ましく、０．１～２．０質量％がより好ましく、０．２～１．０質量％が更に好ましい。
　感光性組成物層がリン酸エステル化合物を含む場合、リン酸エステル化合物の含有量は特に制限されないが、基板又は導電層に対する感光性組成物層の密着性をより向上させる点で、バインダーポリマー及び重合性化合物の合計１００質量部に対して１０質量部以下であるのが好ましく、３質量部以下であるのがより好ましい。また、０．０１質量部以上であるのが好ましく、０．１質量部以上であるのがより好ましい。

［重合禁止剤］
　感光性組成物層は、重合禁止剤を含んでいてもよい。
　重合禁止剤とは、重合反応を遅延又は禁止させる機能を有する化合物を意味する。重合禁止剤としては、例えば、重合禁止剤として用いられる公知の化合物を用いることができる。

　重合禁止剤としては、例えば、フェノチアジン、ビス－（１－ジメチルベンジル）フェノチアジン、及び、３，７－ジオクチルフェノチアジン等のフェノチアジン化合物；ビス［３－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）プロピオン酸］［エチレンビス（オキシエチレン）］２，４－ビス〔（ラウリルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジル）、１，３，５－トリス（４－ｔ－ブチル－３－ヒドロキシ－２，６－ジメチルベンジル）、２，４－ビス－（ｎ－オクチルチオ）－６－（４－ヒドロキシ－３，５－ジ－ｔ－ブチルアニリノ）－１，３，５－トリアジン、及び、ペンタエリスリトールテトラキス３－（３，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシフェニル）プロピオネート等のヒンダードフェノール化合物；４－ニトロソフェノール、Ｎ－ニトロソジフェニルアミン、Ｎ－ニトロソシクロヘキシルヒドロキシルアミン、及び、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミン等のニトロソ化合物又はその塩；メチルハイドロキノン、ｔ－ブチルハイドロキノン、２，５－ジ－ｔ－ブチルハイドロキノン、及び、４－ベンゾキノン等のキノン化合物；４－メトキシフェノール、４－メトキシ－１－ナフトール、及び、ｔ－ブチルカテコール等のフェノール化合物；ジブチルジチオカルバミン酸銅、ジエチルジチオカルバミン酸銅、ジエチルジチオカルバミン酸マンガン、及び、ジフェニルジチオカルバミン酸マンガン等の金属塩化合物が挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、重合禁止剤としては、フェノチアジン化合物、ニトロソ化合物又はその塩、及び、ヒンダードフェノール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましく、フェノチアジン、ビス［３－（３－ｔｅｒｔ－ブチル－４－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）プロピオン酸］［エチレンビス（オキシエチレン）］２，４－ビス〔（ラウリルチオ）メチル〕－ｏ－クレゾール、１，３，５－トリス（３，５－ジ－ｔ－ブチル－４－ヒドロキシベンジル）、及び、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシルアミンアルミニウム塩がより好ましい。

　重合禁止剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層が重合禁止剤を含む場合、重合禁止剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～１０．０質量％が好ましく、０．０５～５．０質量％がより好ましく、０．１０～３．０質量％が更に好ましい。

［水素供与性化合物］
　感光性組成物層は、水素供与性化合物を含んでいてもよい。
　水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、及び、酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。

　水素供与性化合物としては、例えば、アミン類、及び、アミノ酸化合物が挙げられる。

　アミン類としては、例えば、Ｍ．Ｒ．Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４－０２０１８９号公報、特開昭５１－０８２１０２号公報、特開昭５２－１３４６９２号公報、特開昭５９－１３８２０５号公報、特開昭６０－０８４３０５号公報、特開昭６２－０１８５３７号公報、特開昭６４－０３３１０４号公報、及び、Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　３３８２５号等に記載の化合物が挙げられる。より具体的には、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタン（別名：ロイコクリスタルバイオレット）、トリエタノールアミン、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ－ホルミルジメチルアニリン、及び、ｐ－メチルチオジメチルアニリンが挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、アミン類としては、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び、トリス（４－ジメチルアミノフェニル）メタンからなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましい。

　アミノ酸化合物としては、例えば、Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－メチル－Ｎ－フェニルグリシン、Ｎ－エチル－Ｎ－フェニルグリシンが挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、アミノ酸化合物としては、Ｎ－フェニルグリシンが好ましい。

　また、水素供与性化合物としては、例えば、特公昭４８－０４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５－０３４４１４号公報に記載の水素供与体、及び、特開平６－３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（トリチアン等）も挙げられる。

　水素供与性化合物は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、感光性組成物層全質量に対して、０．０１～１０．０質量％が好ましく、０．０３～８．０質量％がより好ましく、０．１０～５．０質量％が更に好ましい。

［不純物等］
　感光性組成物層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
　不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン及びこれらのイオンが挙げられる。中でも、ハロゲン化物イオン、ナトリウムイオン、及び、カリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。

　感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、８０ｐｐｍ以下が好ましく、１０ｐｐｍ以下がより好ましく、２ｐｐｍ以下が更に好ましい。感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、１ｐｐｂ以上又は０．１ｐｐｍ以上とすることができる。感光性組成物層における不純物の含有量の具体例としては、上記の全ての不純物が質量基準で、０．６ｐｐｍである態様が挙げられる。

　不純物を上記範囲にする方法としては、感光性組成物層の原料として不純物の含有量が少ないものを選択すること、及び、感光性組成物層の形成時に不純物の混入を防ぐこと、洗浄して除去することが挙げられる。このような方法により、不純物量を上記範囲内とすることができる。

　不純物は、例えば、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析法、原子吸光分光法、及び、イオンクロマトグラフィー法等の公知の方法で定量できる。

　感光性組成物層における、ベンゼン、ホルムアルデヒド、トリクロロエチレン、１，３－ブタジエン、四塩化炭素、クロロホルム、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及び、ヘキサン等の化合物の含有量は、少ないことが好ましい。これら化合物の感光性組成物層中における含有量としては、質量基準で、１００ｐｐｍ以下が好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましく、４ｐｐｍ以下が更に好ましい。
下限は質量基準で、１０ｐｐｂ以上とすることができ、１００ｐｐｂ以上とすることができる。これら化合物は、上記の金属の不純物と同様の方法で含有量を抑制できる。また、公知の測定法により定量できる。

　感光性組成物層における水の含有量は、信頼性及びラミネート性を向上させる点から、０．０１～１．０質量％が好ましく、０．０５～０．５質量％がより好ましい。

［残存モノマー］
　感光性組成物層は、上述したバインダーポリマー（例えば、アルカリ可溶性樹脂）の各構成単位の残存モノマーを含む場合がある。
　残存モノマーの含有量は、パターニング性、及び、信頼性の点から、バインダーポリマー（例えば、アルカリ可溶性樹脂）全質量に対して、５，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、２，０００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、５００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１０質量ｐｐｍ以上がより好ましい。
　バインダーポリマー（例えば、アルカリ可溶性樹脂）の各構成単位の残存モノマーは、パターニング性、及び、信頼性の点から、感光性組成物層全質量に対して、３，０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、６００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。

　高分子反応でバインダーポリマー（例えば、アルカリ可溶性樹脂）を合成する際のモノマーの残存モノマー量も、上記範囲とすることが好ましい。例えば、カルボン酸側鎖にアクリル酸グリシジルを反応させてバインダーポリマー（例えば、アルカリ可溶性樹脂）を合成する場合には、アクリル酸グリシジルの含有量を上記範囲にすることが好ましい。
　残存モノマーの量は、液体クロマトグラフィー、及び、ガスクロマトグラフィー等の公知の方法で測定できる。

［他の成分］
　感光性組成物層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、着色剤、酸化防止剤、及び、粒子（例えば、金属酸化物粒子）が挙げられる。また、他の成分としては、特開２０００－３１０７０６号公報の段落［００５８］～［００７１］に記載のその他の添加剤も挙げられる。

－粒子－
　粒子としては、金属酸化物粒子が好ましい。
　金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。
　粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。
　粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。

　感光性組成物層が粒子を含む場合、金属種、及び、大きさ等の異なる粒子を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
　感光性組成物層は、粒子を含まないか、或いは、感光性組成物層が粒子を含む場合には、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して、０質量％超３５質量％以下が好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物全質量に対して、０質量％超１０質量％以下がより好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して０質量％超５質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないか、或いは、粒子の含有量が感光性組成物層全質量に対して０質量％超１質量％以下が更に好ましく、粒子を含まないことが特に好ましい。

－着色剤－
　感光性組成物は、微量の着色剤（顔料、染料等）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
　感光性組成物層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。

－酸化防止剤－
　酸化防止剤としては、例えば、１－フェニル－３－ピラゾリドン（別名：フェニドン）、１－フェニル－４，４－ジメチル－３－ピラゾリドン、及び、１－フェニル－４－メチル－４－ヒドロキシメチル－３－ピラゾリドン等の３－ピラゾリドン類；ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、メチルハイドロキノン、及び、クロルハイドロキノン等のポリヒドロキシベンゼン類；パラメチルアミノフェノール、パラアミノフェノール、パラヒドロキシフェニルグリシン、及び、パラフェニレンジアミンが挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点で、酸化防止剤としては、３－ピラゾリドン類が好ましく、１－フェニル－３－ピラゾリドンがより好ましい。

　感光性組成物層が酸化防止剤を含む場合、酸化防止剤の含有量は、感光性組成物層全質量に対して、０．００１質量％以上が好ましく、０．００５質量％以上がより好ましく、０．０１質量％以上が更に好ましい。上限は特に制限されないが、１質量％以下が好ましい。

［感光性組成物層の厚み］
　感光性組成物層の厚みは、特に制限されないが３０μｍ以下の場合が多く、本発明の効果がより優れる点で、２０μｍ以下が好ましく、１５μｍ以下がより好ましく、１０μｍ以下が更に好ましく、５μｍ以下が特に好ましい。下限は特に制限されないが、０．０５μｍ以上が好ましい。
　感光性組成物層の厚みは、例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出できる。

［感光性組成物層の屈折率］
　感光性組成物層の屈折率は、１．４７～１．５６が好ましく、１．４９～１．５４がより好ましい。

［感光性組成物層の色］
　感光性組成物層は無彩色であることが好ましい。具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、Ｌ^＊値は１０～９０であることが好ましく、ａ^＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、ｂ^＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。

　なお、感光性組成物層を硬化して得られるパターン（感光性組成物層の硬化膜）は、無彩色であることが好ましい。
　具体的には、全反射（入射角８°、光源：Ｄ－６５（２°視野））が、ＣＩＥ１９７６（Ｌ＊，ａ＊，ｂ＊）色空間において、パターンのＬ^＊値は１０～９０であることが好ましく、パターンのａ^＊値は－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ^＊値は－１．０～１．０であることが好ましい。

［感光性組成物層の透過率］
　感光性組成物層の膜厚１．０μｍあたりの可視光透過率は、８０％以上が好ましく、９０％以上がより好ましく、９５％以上が更に好ましい。
　可視光の透過率としては、波長４００ｎｍ～８００ｎｍの平均透過率、波長４００ｎｍ～８００ｎｍの透過率の最小値、波長４００ｎｍｍの透過率、いずれもが上記を満たすことが好ましい。
　透過率の好ましい値としては、例えば、８７％、９２％、９８％等が挙げられる。感光性組成物層の硬化膜の膜厚１．０μｍあたりの透過率も同様である。

［感光性組成物層の透湿度］
　感光性組成物層を硬化して得られるパターン（感光性組成物層の硬化膜）の膜厚４０μｍでの透湿度は、電極又は配線の防錆性の点、及び、デバイスの信頼性の点から、５００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下が好ましく、３００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下がより好ましく、１００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下が更に好ましい。
　透湿度は、感光性組成物層を、ｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ^２にて露光した後、１４５℃、３０分間のポストベークを行うことにより、感光性組成物層を硬化させた硬化膜で測定する。
　透湿度の測定は、ＪＩＳＺ０２０８のカップ法に準じて行う。温度４０℃／湿度９０％、温度６５℃／湿度９０％、及び、温度８０℃／湿度９５％のいずれの試験条件においても、上記の透湿度であることが好ましい。
　具体的な好ましい数値としては、例えば、８０ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ、１５０ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ、２２０ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ等が挙げられる。

［感光性組成物層の溶解速度］
　感光性組成物層の炭酸ナトリウム１．０％水溶液に対する溶解速度は、現像時の残渣抑制の点から、０．０１μｍ／秒以上が好ましく、０．１０μｍ／秒以上がより好ましく、０．２０μｍ／秒以上が更に好ましい。
　パターンのエッジ形状の点から、５．０μｍ／秒以下が好ましく、４．０μｍ／秒以下がより好ましく、３．０μｍ／秒以下が更に好ましい。
　具体的な好ましい数値としては、例えば、１．８μｍ／秒、１．０μｍ／秒、０．７μｍ／秒等が挙げられる。
　１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する感光性組成物層の単位時間あたりの溶解速度は、以下のように測定するものとする。
　ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性組成物層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて２５℃で、感光性組成物層が溶け切るまでシャワー現像を行う（但し、最長で２分までとする）。上記感光性組成物層の単位時間あたりの溶解速度は、感光性組成物層の膜厚を、感光性組成物層が溶け切るまでに要した時間で割り算することで求める。なお、２分で溶け切らない場合は、それまでの膜厚変化量から同様に計算する。

　感光性組成物層の硬化膜（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）の炭酸ナトリウム１．０％水溶液に対する溶解速度は、３．０μｍ／秒以下が好ましく、２．０μｍ／秒以下がより好ましく、１．０μｍ／秒以下が更に好ましく、０．２μｍ／秒以下が特に好ましい。上記感光性組成物層の硬化膜は、感光性組成物層をｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ^２にて露光して得られる膜である。
　具体的な好ましい数値としては、例えば、０．８μｍ／秒、０．２μｍ／秒、０．００１μｍ／秒等が挙げられる。

　現像は、（株）いけうち製１／４ＭＩＮＪＪＸ０３０ＰＰのシャワーノズルを使用し、シャワーのスプレー圧は０．０８ＭＰａとする。上記条件の時、単位時間当たりのシャワー流量は１，８００ｍＬ／ｍｉｎとする。

［感光性組成物層の膨潤率］
　露光後の感光性組成物層の１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する膨潤率は、パターン形成性向上の点から、１００％以下が好ましく、５０％以下がより好ましく、３０％以下が更に好ましい。
　露光後の感光性組成物層の膨潤率１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に対する膨潤率は、以下のように測定するものとする。
　ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性組成物層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、超高圧水銀灯で５００ｍｊ／ｃｍ^２（ｉ線測定）で露光する。２５℃でガラス基板ごと、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、３０秒経過時点での膜厚を測定する。そして、浸漬後の膜厚が浸漬前の膜厚に対して増加した割合を計算する。
具体的な好ましい数値としては、例えば、４％、１３％、２５％等が挙げられる。

［感光性組成物層中の異物］
　パターン形成性の点から、感光性組成物層中の直径１．０μｍ以上の異物の数は、１０個／ｍｍ^２以下が好ましく、５個／ｍｍ^２以下がより好ましい。
　異物個数は以下のように測定するものとする。
　感光性組成物層の表面の法線方向から、感光性組成物層の面上の任意の５か所の領域（１ｍｍ×１ｍｍ）を、光学顕微鏡を用いて目視にて観察して、各領域中の直径１．０μｍ以上の異物の数を測定して、それらを算術平均して異物の数として算出する。
　具体的な好ましい数値としては、例えば、０個／ｍｍ^２、１個／ｍｍ^２、４個／ｍｍ^２、８個／ｍｍ^２等が挙げられる。

［感光性組成物層中の溶解物のヘイズ］
　現像時での凝集物発生抑止の点から、１．０質量％炭酸ナトリウムの３０℃水溶液１．０リットルに１．０ｃｍ^３の感光性組成物層を溶解させて得られる溶液のヘイズは、６０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましく、１０％以下が更に好ましく、１％以下が特に好ましい。
　ヘイズは以下のように測定するものとする。
　まず、１．０質量％の炭酸ナトリウム水溶液を準備し、液温を３０℃に調整する。炭酸ナトリウム水溶液１．０Ｌに１．０ｃｍ^３の感光性組成物層を入れる。気泡を混入しないように注意しながら、３０℃で４時間撹拌する。撹拌後、感光性組成物層が溶解した溶液のヘイズを測定する。ヘイズは、ヘイズメーター（製品名「ＮＤＨ４０００」、日本電色工業社製）を用い、液体測定用ユニット及び光路長２０ｍｍの液体測定専用セルを用いて測定される。
　具体的な好ましい数値としては、例えば、０．４％、１．０％、９％、２４％等が挙げられる。

＜保護フィルム＞
　転写フィルムは、保護フィルムを有する。
　保護フィルムとしては、耐熱性及び耐溶剤性を有する樹脂フィルムを用いることができ、例えば、ポリプロピレンフィルム、及び、ポリエチレンフィルム等のポリオレフィンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステルフィルム、ポリカーボネートフィルム、並びに、ポリスチレンフィルムが挙げられる。
　また、保護フィルムとして上述の仮支持体と同じ材料で構成された樹脂フィルムを用いてもよい。
　中でも、保護フィルムとしては、ポリオレフィンフィルムが好ましく、ポリプロピレンフィルム又はポリエチレンフィルムがより好ましく、ポリエチレンフィルムが更に好ましい。

　保護フィルムの厚さは、１～１００μｍが好ましく、５～５０μｍがより好ましく、５～４０μｍが更に好ましく、１５～３０μｍが特に好ましい。
　保護フィルムの厚さは、機械的強度に優れる点で、１μｍ以上が好ましく、比較的安価となる点で、１００μｍ以下が好ましい。

　また、保護フィルムにおいては、保護フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が、５個／ｍ^２以下であることが好ましい。
　なお、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、２軸延伸及びキャスティング法等の方法によりフィルムを製造する際に、材料の異物、未溶解物、及び、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものである。

　保護フィルムに含まれる直径３μｍ以上の粒子の数は、３０個／ｍｍ^２以下が好ましく、１０個／ｍｍ^２以下がより好ましく、５個／ｍｍ^２以下が更に好ましい。
　これにより、保護フィルムに含まれる粒子に起因する凹凸が感光性組成物層又は導電層に転写されることにより生じる欠陥を抑制することができる。

　巻き取り性を付与する点から、保護フィルムの感光性組成物層又は屈折率調整層と接する面とは反対側の表面の算術平均粗さＲａは、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０２μｍ以上がより好ましく、０．０３μｍ以上が更に好ましい。一方で、０．５０μｍ未満でが好ましく、０．４０μｍ以下がより好ましく、０．３０μｍ以下が更に好ましい。
　保護フィルムは、転写時の欠陥抑制の点から、感光性組成物層又は屈折率調整層と接する面の表面粗さＲａ、０．０１μｍ以上が好ましく、０．０２μｍ以上がより好ましく、０．０３μｍ以上が更に好ましい。一方で、０．５０μｍ未満が好ましく、０．４０μｍ以下がより好ましく、０．３０μｍ以下が更に好ましい。

＜屈折率調整層＞
　転写フィルムの第２実施形態は、屈折率調整層を有する。
　屈折率調整層としては、公知の屈折率調整層を適用できる。屈折率調整層に含まれる材料としては、例えば、バインダーポリマー、重合性化合物、金属塩、及び、粒子が挙げられる。
　屈折率調整層の屈折率を制御する方法は、特に制限されず、例えば、所定の屈折率の樹脂を単独で用いる方法、樹脂と粒子とを用いる方法、及び、金属塩と樹脂との複合体を用いる方法が挙げられる。

　バインダーポリマー及び重合性化合物としては、例えば、上記「感光性組成物層」の項において説明したバインダーポリマー及び重合性化合物が挙げられる。

　粒子としては、例えば、金属酸化物粒子、及び、金属粒子が挙げられる。
　金属酸化物粒子の種類は特に制限はなく、公知の金属酸化物粒子が挙げられる。金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。

　粒子の平均一次粒子径は、例えば、硬化膜の透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。
　粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。

　金属酸化物粒子としては、具体的には、酸化ジルコニウム粒子（ＺｒＯ_２粒子）、Ｎｂ_２Ｏ_５粒子、酸化チタン粒子（ＴｉＯ_２粒子）、二酸化珪素粒子（ＳｉＯ_２粒子）、及び、これらの複合粒子からなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。
　これらの中でも、金属酸化物粒子としては、例えば、屈折率を調整しやすいという点から、酸化ジルコニウム粒子及び酸化チタン粒子からなる群から選ばれる少なくとも１種がより好ましい。

　金属酸化物粒子の市販品としては、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ０４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７４）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７５）、焼成酸化ジルコニウム粒子（ＣＩＫナノテック株式会社製、製品名：ＺＲＰＧＭ１５ＷＴ％－Ｆ７６）、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｍ、日産化学工業（株）製）、及び、酸化ジルコニウム粒子（ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｋ、日産化学工業（株）製）が挙げられる。

　粒子は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　屈折率調整層における粒子の含有量は、屈折率調整層全質量に対し、１～９５質量％が好ましく、２０～９０質量％がより好ましく、４０～８５質量％が更に好ましい。
　金属酸化物粒子として酸化チタンを用いる場合、酸化チタン粒子の含有量は、屈折率調整層全質量に対して、１～９５質量％が好ましく、２０～９０質量％がより好ましく、４０～８５質量％が更に好ましい。

　屈折率調整層の屈折率は、感光性組成物層の屈折率よりも高いことが好ましい。
　屈折率調整層の屈折率は、１．５０以上が好ましく、１．５５以上がより好ましく、１．６０以上が更に好ましく、１．６５以上が特に好ましい。屈折率調整層の屈折率の上限は、２．１０以下が好ましく、１．８５以下がより好ましく、１．７８以下が更に好ましく、１．７４以下が特に好ましい。

　屈折率調整層の厚みは、５０～５００ｎｍが好ましく、５５～１１０ｎｍがより好ましく、６０～１００ｎｍが更に好ましい。
　屈折率調整層の厚みは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。

＜中間層＞
　中間層は、アルカリ可溶性樹脂及び重合性化合物を含むことが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、既述した感光性組成物層の成分であるアルカリ可溶性樹脂及び後述する熱可塑性樹脂層の成分であるアルカリ可溶性樹脂が挙げられる。重合性化合物としては、例えば、既述した感光性組成物層の成分である重合性化合物が挙げられる。

　中間層がアルカリ可溶性樹脂及び重合性化合物を含む場合、中間層におけるアルカリ可溶性樹脂の質量に対する重合性化合物の質量の比は、０．５以上が好ましく、０．６～１．１がより好ましく、０．６～０．９が更に好ましい。
　中間層におけるアルカリ可溶性樹脂の質量に対する重合性化合物の質量の比は、中間層の貯蔵弾性率に影響を与える。例えば、中間層におけるアルカリ可溶性樹脂の質量に対する重合性化合物の質量の比が大きくなると、中間層の貯蔵弾性率は小さくなる。中間層の貯蔵弾性率が小さくなると、対象物（例えば、基板）への転写層の転写において転写層と対象物との密着性が向上し、解像性も向上する。一方、中間層におけるアルカリ可溶性樹脂の質量に対する重合性化合物の質量の比が小さくなると、中間層の貯蔵弾性率は大きくなる。中間層の貯蔵弾性率が大きくなると、剥離された仮支持体又は保護フィルムの表面への転写層の付着が抑制され、解像性の低下も抑制される。

　隣接する層との密着性の点から、中間層の厚さは、１μｍ以上が好ましく、２μｍ以上がより好ましい。現像性及び解像性の点から、中間層の厚さは、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下が更に好ましい。

　中間層は、単層構造又は多層構造を有してもよい。好ましい中間層としては、例えば、熱可塑性樹脂層及び水溶性樹脂層が挙げられる。中間層は、熱可塑性樹脂層、水溶性樹脂層、又は、熱可塑性樹脂層及び水溶性樹脂層の両方を含んでもよい。中間層は、熱可塑性樹脂層及び水溶性樹脂層を含むことが好ましい。中間層が熱可塑性樹脂層及び水溶性樹脂層を含む場合、転写フィルムは、仮支持体と、熱可塑性樹脂層と、水溶性樹脂層と、感光性組成物層と、保護フィルムと、をこの順に含むことが好ましい。また、中間層としては、例えば、特開平５－０７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断層も挙げられる。中間層が酸素遮断層であると、露光時の感度が向上し、露光機の時間負荷が低減し、生産性が向上する。

（中間層の構成要素：熱可塑性樹脂層）
　熱可塑性樹脂層は、例えば、転写フィルムと基板との貼り合わせにおける基板への追従性を向上させ、基板と転写フィルムとの間の気泡の混入を抑制し、基板と転写フィルムとの密着性を向上させる。

（熱可塑性樹脂層の成分：アルカリ可溶性樹脂）
　熱可塑性樹脂層は、熱可塑性樹脂として、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレン－アクリル共重合体、ポリウレタン樹脂、ポリビニルアルコール、ポリビニルホルマール、ポリアミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリヒドロキシスチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミン、及び、ポリアルキレングリコールが挙げられる。

　アルカリ可溶性樹脂としては、現像性及び隣接する層との密着性の点から、アクリル樹脂が好ましい。ここで、アクリル樹脂は、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位、及び、（メタ）アクリル酸アミドに由来する構成単位よりなる群から選ばれた少なくとも１種の構成単位を有する樹脂を意味する。アクリル樹脂としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位、（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位、及び、（メタ）アクリル酸アミドに由来する構成単位の合計含有量が、アクリル樹脂の全質量に対して５０質量％以上であることが好ましい。中でも、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位の合計含有量が、アクリル樹脂の全質量に対して、３０～１００質量％が好ましく、５０～１００質量％がより好ましい。

　また、アルカリ可溶性樹脂は、酸基を有する重合体であることが好ましい。酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及び、ホスホン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂は、現像性の点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のアルカリ可溶性樹脂がより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂が更に好ましい。アルカリ可溶性樹脂の酸価の上限は、特に制限されないが、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。

　酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂としては、特に制限されず、公知の樹脂から適宜選択して用いることができる。例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落００２５に記載のポリマーのうち酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂であるアルカリ可溶性樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落００３３～００５２に記載のポリマーのうちの酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、及び、特開２０１６－２２４１６２号公報の段落００５３～００６８に記載のアルカリ可溶性樹脂のうちの酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂が挙げられる。上記カルボキシ基含有アクリル樹脂におけるカルボキシ基を有する構成単位の共重合比は、アクリル樹脂の全質量に対して、５～５０質量％が好ましく、１０～４０質量％がより好ましく、１２～３０質量％が更に好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、現像性及び隣接する層との密着性の点から、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有するアクリル樹脂が特に好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂は、反応性基を有していてもよい。反応性基としては、重合可能な基、例えば、付加重合、重縮合又は重付加が可能な基であればよく、エチレン性不飽和基；ヒドロキシ基及びカルボキシ基等の重縮合性基；エポキシ基、（ブロック）イソシアネート基等の重付加反応性基が挙げられる。

　アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１，０００以上が好ましく、１万～１０万がより好ましく、２万～５万が更に好ましい。

　熱可塑性樹脂層は、アルカリ可溶性樹脂を１種単独で含んでいてもよく、２種以上を含んでいてもよい。

　アルカリ可溶性樹脂の含有量は、現像性及び隣接する層との密着性の点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、１０～９９質量％が好ましく、２０～９０質量％がより好ましく、４０～８０質量％が更に好ましく、５０～７０質量％が特に好ましい。

（熱可塑性樹脂層の成分：色素）
　熱可塑性樹脂層は、発色時の波長範囲４００～７８０ｎｍにおける極大吸収波長が４５０ｎｍ以上であり、酸、塩基、又はラジカルにより極大吸収波長が変化する色素（単に「色素Ｂ」ともいう。）を含むことが好ましい。色素Ｂの好ましい態様は、後述する点以外は、色素Ｎの好ましい態様と同様である。

　色素Ｂとしては、露光部及び非露光部の視認性並びに解像性の点から、酸又はラジカルにより極大吸収波長が変化する色素が好ましく、酸により極大吸収波長が変化する色素がより好ましい。熱可塑性樹脂層は、露光部及び非露光部の視認性並びに解像性の点から、色素Ｂとしての酸により極大吸収波長が変化する色素、及び、後述する光により酸を発生する化合物の両者を含むことが好ましい。

　色素Ｂは、１種単独で使用しても、２種以上を使用してもよい。

　色素Ｂの含有量は、露光部及び非露光部の視認性の点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．２質量％以上が好ましく、０．２～６質量％がより好ましく、０．２～５質量％が更に好ましく、０．２５～３．０質量％が特に好ましい。

　ここで、色素Ｂの含有量は、熱可塑性樹脂層に含まれる色素Ｂの全てを発色状態にした場合の色素の含有量を意味する。以下に、ラジカルにより発色する色素を例に、色素Ｂの含有量の定量方法を説明する。メチルエチルケトン１００ｍＬに、色素０．００１ｇ又は０．０１ｇを溶かした２種類の溶液を調製する。得られた各溶液に、光ラジカル重合開始剤Ｉｒｇａｃｕｒｅ　ＯＸＥ０１（商品名、ＢＡＳＦ社製）を加え、３６５ｎｍの光を照射することによりラジカルを発生させ、全ての色素を発色状態にする。その後、大気雰囲気下で、分光光度計（ＵＶ３１００、株式会社島津製作所製）を用いて、液温が２５℃である各溶液の吸光度を測定し、検量線を作成する。次に、色素に代えて熱可塑性樹脂層０．１ｇをメチルエチルケトンに溶かすこと以外は上記と同様の方法で、色素を全て発色させた溶液の吸光度を測定する。得られた熱可塑性樹脂層を含む溶液の吸光度から、検量線に基づいて熱可塑性樹脂層に含まれる色素の量を算出する。

（熱可塑性樹脂層の成分：光により酸、塩基又はラジカルを発生する化合物）
　熱可塑性樹脂層は、光により酸、塩基又はラジカルを発生する化合物（単に「化合物Ｃ」ともいう。）を含んでいてもよい。化合物Ｃとしては、紫外線及び可視光線等の活性光線を受けて、酸、塩基、又はラジカルを発生する化合物が好ましい。化合物Ｃとしては、公知の、光酸発生剤、光塩基発生剤、及び、光ラジカル重合開始剤（光ラジカル発生剤）を用いることができる。中でも、光酸発生剤が好ましい。

　熱可塑性樹脂層は、解像性の点から、光酸発生剤を含むことが好ましい。光酸発生剤としては、上述した感光性組成物層が含んでいてもよい光カチオン重合開始剤が挙げられ、後述する点以外は好ましい態様も同じである。

　光酸発生剤としては、感度及び解像性の点から、オニウム塩化合物、及び、オキシムスルホネート化合物よりなる群から選ばれた少なくとも１種の化合物を含むことが好ましく、感度、解像性及び密着性の点から、オキシムスルホネート化合物を含むことがより好ましい。また、光酸発生剤としては、以下の構造を有する光酸発生剤も好ましい。

　熱可塑性樹脂層は、光ラジカル重合開始剤（光ラジカル重合開始剤）を含んでいてもよい。光ラジカル重合開始剤としては、上述した感光性組成物層が含んでいてもよい光ラジカル重合開始剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。

　熱可塑性樹脂層は、光塩基発生剤を含んでいてもよい。光塩基発生剤としては、公知の光塩基発生剤であれば特に制限されず、例えば、２－ニトロベンジルシクロヘキシルカルバメート、トリフェニルメタノール、Ｏ－カルバモイルヒドロキシルアミド、Ｏ－カルバモイルオキシム、｛［（２，６－ジニトロベンジル）オキシ］カルボニル｝シクロヘキシルアミン、ビス｛［（２－ニトロベンジル）オキシ］カルボニル｝ヘキサン－１，６－ジアミン、４－（メチルチオベンゾイル）－１－メチル－１－モルホリノエタン、（４－モルホリノベンゾイル）－１－ベンジル－１－ジメチルアミノプロパン、Ｎ－（２－ニトロベンジルオキシカルボニル）ピロリジン、ヘキサアンミンコバルト（III）トリス（トリフェニルメチルボレート）、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）ブタノン、２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２－ニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジン、及び、２，６－ジメチル－３，５－ジアセチル－４－（２，４－ジニトロフェニル）－１，４－ジヒドロピリジンが挙げられる。

　熱可塑性樹脂層は、化合物Ｃを、１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。

　化合物Ｃの含有量は、露光部及び非露光部の視認性並びに解像性の点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．１～１０質量％が好ましく、０．５～５質量％がより好ましい。

（熱可塑性樹脂層の成分：可塑剤）
　熱可塑性樹脂層は、解像性、隣接する層との密着性及び現像性の点から、可塑剤を含むことが好ましい。

　可塑剤は、アルカリ可溶性樹脂よりも分子量（オリゴマー又はポリマーである場合は重量平均分子量（Ｍｗ））が小さいことが好ましい。可塑剤の分子量（重量平均分子量（Ｍｗ））は、２００～２，０００が好ましい。

　可塑剤は、アルカリ可溶性樹脂と相溶して可塑性を発現する化合物であれば特に制限されないが、可塑性付与の点から、可塑剤は、分子中にアルキレンオキシ基を有することが好ましく、ポリアルキレングリコール化合物がより好ましい。可塑剤に含まれるアルキレンオキシ基は、ポリエチレンオキシ構造又はポリプロピレンオキシ構造を有することがより好ましい。

　また、可塑剤は、解像性及び保存安定性の点から、（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましい。相溶性、解像性及び隣接する層との密着性の点から、アルカリ可溶性樹脂がアクリル樹脂であり、かつ、可塑剤が（メタ）アクリレート化合物を含むことがより好ましい。可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物としては、上述した感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和化合物として記載した（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。

　転写フィルムにおいて、熱可塑性樹脂層と感光性組成物層とが直接接触して積層される場合、熱可塑性樹脂層及び感光性組成物層がいずれも同じ（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましい。同じ（メタ）アクリレート化合物を熱可塑性樹脂層及び感光性組成物層がそれぞれ含むことで、層間の成分拡散が抑制され、保存安定性が向上するためである。

　熱可塑性樹脂層が可塑剤として（メタ）アクリレート化合物を含む場合、隣接する層との密着性の点から、露光後の露光部においても（メタ）アクリレート化合物が重合しないことが好ましい。

　また、可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物としては、解像性、隣接する層との密着性及び現像性の点から、一分子中に２つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能（メタ）アクリレート化合物が好ましい。

　更に、可塑剤として用いられる（メタ）アクリレート化合物としては、酸基を有する（メタ）アクリレート化合物、又は、ウレタン（メタ）アクリレート化合物も好ましい。

　熱可塑性樹脂層は、可塑剤を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。

　可塑剤の含有量は、解像性、隣接する層との密着性及び現像性の点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、１～７０質量％が好ましく、１０～６０質量％がより好ましく、２０～５０質量％が更に好ましい。

（熱可塑性樹脂層の成分：界面活性剤）
　熱可塑性樹脂層は、厚さ均一性の点から、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤としては、上述した感光性組成物層が含んでいてもよい界面活性剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。

　熱可塑性樹脂層は、界面活性剤を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。

　界面活性剤の含有量は、熱可塑性樹脂層の全質量に対し、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～３質量％がより好ましい。

（熱可塑性樹脂層の成分：増感剤）
　熱可塑性樹脂層は、増感剤を含んでいてもよい。増感剤としては、特に制限されず、上述した感光性組成物層が含んでいてもよい増感剤が挙げられる。

　熱可塑性樹脂層は、増感剤を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。

　増感剤の含有量は、目的により適宜選択できるが、光源に対する感度の向上、及び、露光部及び非露光部の視認性の点から、熱可塑性樹脂層の全質量に対して、０．０１～５質量％の範囲が好ましく、０．０５～１質量％の範囲がより好ましい。

（熱可塑性樹脂層の成分：添加剤等）
　熱可塑性樹脂層は、上記成分以外に、必要に応じて公知の添加剤を含んでいてもよい。また、熱可塑性樹脂層については、特開２０１４－０８５６４３号公報の段落０１８９～０１９３に記載されており、この公報に記載の内容は本明細書に組み込まれる。

（熱可塑性樹脂層の物性等）
　熱可塑性樹脂層の層厚は、特に制限されないが、隣接する層との密着性の点から、１μｍ以上が好ましく、２μｍ以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、現像性及び解像性の点から、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下が更に好ましい。

（熱可塑性樹脂層の形成方法）
　熱可塑性樹脂層の形成方法は、上記の成分を含む層を形成可能な方法であれば特に制限されない。熱可塑性樹脂層の形成方法としては、例えば、上記の成分と溶剤とを含む熱可塑性樹脂組成物を調製し、仮支持体等の表面に熱可塑性樹脂組成物を塗布し、熱可塑性樹脂組成物の塗膜を乾燥することにより形成する方法が挙げられる。
　熱可塑性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂組成物の粘度を調節し、熱可塑性樹脂層の形成を容易にするため、溶剤を含むことが好ましい。

　熱可塑性樹脂組成物に含まれる溶剤としては、熱可塑性樹脂層に含まれる上記成分を溶解又は分散可能であれば特に制限されない。
　熱可塑性樹脂組成物に含まれる溶剤としては、上述した感光性組成物が含んでいてもよい溶剤が挙げられ、好ましい態様も同じである。

　熱可塑性樹脂組成物に含まれる溶剤は、１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。
　熱可塑性樹脂組成物を塗布する際における溶剤の含有量は、熱可塑性樹脂組成物中の全固形分１００質量部に対し、５０～１，９００質量部が好ましく、１００～９００質量部がより好ましい。

　熱可塑性樹脂組成物の調製及び熱可塑性樹脂層の形成は、上述した感光性組成物の調製方法及び感光性組成物層の形成方法に準じて行えばよい。
　例えば、熱可塑性樹脂層に含まれる各成分を上記溶剤に溶解させた溶液を予め調製し、得られた溶液を所定の割合で混合することにより、熱可塑性樹脂組成物が調製した後、得られた熱可塑性樹脂組成物を仮支持体の表面に塗布し、熱可塑性樹脂組成物の塗膜を乾燥させることにより、熱可塑性樹脂層が形成される。
　また、後述する保護フィルム上に、感光性組成物層及び中間層を形成した後、中間層の表面に熱可塑性樹脂層を形成してもよい。

（転写層の構成要素：水溶性樹脂層）
　水溶性樹脂層は、水溶性樹脂を含むことが好ましい。水溶性樹脂としては、例えば、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリビニルピロリドン系樹脂、セルロース系樹脂、アクリルアミド系樹脂、ポリエチレンオキサイド系樹脂、ゼラチン、ビニルエーテル系樹脂、ポリアミド樹脂、及び、これらの共重合体等の樹脂が挙げられる。水溶性樹脂層に含まれる樹脂は、複数層間の成分の混合を抑制する点から、感光性組成物層に含まれる重合体Ａ、及び、熱可塑性樹脂層に含まれる熱可塑性樹脂（例えば、アルカリ可溶性樹脂）のいずれとも異なる樹脂であることが好ましい。

　水溶性樹脂層は、酸素遮断性、並びに、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制する点から、ポリビニルアルコールを含むことが好ましく、ポリビニルアルコール及びポリビニルピロリドンの両者を含むことがより好ましい。

　水溶性樹脂層は、水溶性樹脂を１種単独で含んでいてもよいし、２種以上を含んでいてもよい。

　水溶性樹脂層における水溶性樹脂の含有量は、特に制限されないが、酸素遮断性、並びに、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制する点から、水溶性樹脂層の全質量に対し、５０～１００質量％が好ましく、７０～１００質量％がより好ましく、８０～１００質量％が更に好ましく、９０～１００質量％が特に好ましい。

　また、水溶性樹脂層は、必要に応じて界面活性剤等の添加剤を含んでいてもよい。

　水溶性樹脂層の層厚は、特に制限されないが、０．１～５μｍが好ましく、０．５～３μｍがより好ましい。
　水溶性樹脂層の厚みが上記の範囲内であると、酸素遮断性を低下させることがなく、複数層を塗布する際及び塗布後の保存の際における成分の混合を抑制でき、また、現像時の水溶性樹脂層除去時間の増大を抑制できる。

　水溶性樹脂層の形成方法は、特に制限されず、例えば、上記樹脂及び任意の添加剤をf組む水溶性樹脂組成物を調製し、熱可塑性樹脂層又は感光性組成物層の表面に塗布し、水溶性樹脂組成物の塗膜を乾燥することにより、水溶性樹脂層を形成する方法が挙げられる。水溶性樹脂組成物は、水溶性樹脂組成物の粘度を調節し、水溶性樹脂層の形成を容易にするため、溶剤を含むことが好ましい。

　水溶性樹脂組成物に含まれる溶剤としては、上記樹脂を溶解又は分散可能であれば特に制限されず、水及び水混和性の有機溶剤よりなる群から選択される少なくとも１種が好ましく、水又は水と水混和性の有機溶剤との混合溶剤がより好ましい。
　水混和性の有機溶剤としては、例えば、炭素数１～３のアルコール、アセトン、エチレングリコール及びグリセリンが挙げられ、炭素数１～３のアルコールが好ましく、メタノール又はエタノールがより好ましい。

＜転写フィルムの製造方法＞
　本発明の転写フィルムの製造方法は特に制限されず、公知の方法を用いることができる。
　なかでも、生産性に優れる点で、仮支持体上に感光性組成物を塗布し、必要に応じて乾燥処理を施し、感光性組成物層を形成し、得られた感光性組成物層上に保護フィルムを積層する方法（以下、この方法を「塗布方法」ともいう。）が好ましい。

　塗布方法で使用される感光性組成物は、上述した感光性組成物層を構成する成分（例えば、バインダーポリマー、重合性化合物、及び、重合開始剤等）、及び、溶剤を含むことが好ましい。
　溶剤としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（別名：１－メトキシ－２－プロピルアセテート）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、ｎ－プロパノール、及び、２－プロパノールが挙げられる。

　また、溶剤としては、必要に応じ、沸点が１８０～２５０℃である有機溶剤（高沸点溶剤）を用いることもできる。

　溶剤は、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用することもできる。
　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の全固形分量は、感光性組成物の全質量に対して、５～８０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましい。
　なお、固形分とは、溶剤以外の感光性組成物層を構成する成分を意味する。なお、上記感光性組成物層を構成する成分の性状が液状であっても、固形分として計算する。

　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の２５℃における粘度は、例えば、塗布性の点から、１～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、２～４０ｍＰａ・ｓがより好ましく、３～３０ｍＰａ・ｓが更に好ましい。粘度は、粘度計を用いて測定する。粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製の粘度計（商品名：ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ　ＴＶ－２２）を好適に用いることができる。ただし、粘度計は、上記した粘度計に制限されない。

　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の２５℃における表面張力は、例えば、塗布性の点から、５～１００ｍＮ／ｍが好ましく、１０～８０ｍＮ／ｍがより好ましく、１５～４０ｍＮ／ｍが更に好ましい。表面張力は、表面張力計を用いて測定する。表面張力計としては、例えば、協和界面科学株式会社製の表面張力計（商品名：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｔｅｎｓｉｏｍｅｔｅｒ　ＣＢＶＰ－Ｚ）を好適に用いることができる。ただし、表面張力計は、上記した表面張力計に制限されない。

　感光性組成物の塗布方法としては、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、及び、ダイコート法（すなわち、スリットコート法）が挙げられる。

　乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥、及び、減圧乾燥が挙げられる。上記した方法を単独で又は複数組み合わせて適用することができる。
　本開示において、「乾燥」とは、組成物に含まれる溶剤の少なくとも一部を除去することを意味する。

　また、保護フィルムを感光性組成物層に貼り合わせることにより、転写フィルムを製造できる。
　保護フィルムを感光性組成物層に貼り合わせる方法は特に制限されず、公知の方法が挙げられる。
　保護フィルムを感光性組成物層に貼り合わせる装置としては、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターが挙げられる。
　ラミネーターはゴムローラー等の任意の加熱可能なローラーを備え、加圧及び加熱ができるものであることが好ましい。

　また、転写フィルムが感光性組成物層上に屈折率調整層を有する場合、例えば、感光性組成物層上に屈折率調整層形成用組成物を塗布し、そして、必要に応じて乾燥させることにより屈折率調整層を形成できる。

＜用途＞
　本発明の転写フィルムは、種々の用途に適用できる。
　例えば、電極保護膜、絶縁膜、平坦化膜、オーバーコート膜、ハードコート膜、パッシベーション膜、隔壁、スペーサ、マイクロレンズ、光学フィルター、反射防止膜、エッチングレジスト、及び、めっき部材などに適用できる。より具体的な例として、タッチパネル電極の保護膜又は絶縁膜、プリント配線板の保護膜又は絶縁膜、ＴＦＴ基板の保護膜又は絶縁膜、カラーフィルター、カラーフィルター用オーバーコート膜、配線形成のためのエッチングレジスト、及び、めっきの際の犠牲層等が挙げられる。

　なお、後述する貼合工程における気泡発生抑止の点から、転写フィルムのうねりの最大幅は、３００μｍ以下が好ましく、２００μｍ以下がより好ましく、６０μｍ以下が更に好ましい。なお、うねりの最大幅の下限値としては、０μｍ以上であり、０．１μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましい。
　転写フィルムのうねりの最大幅は、以下の手順により測定される値である。
　まず、転写フィルムを縦２０ｃｍ×横２０ｃｍのサイズとなるように主面に垂直な方向に裁断し、試験サンプルを作製する。次いで、表面が平滑で且つ水平なステージ上に、上記試験サンプルを仮支持体の表面がステージに対向するように静置する。静置後、試験サンプルの中心１０ｃｍ角の範囲について、試料サンプルの表面をレーザー顕微鏡（例えば、（株）キーエンス社製　ＶＫ－９７００ＳＰ）で走査して３次元表面画像を取得し、得られた３次元表面画像で観察される最大凸高さから最低凹高さを引き算する。上記操作を１０個の試験サンプルについて行い、その算術平均値を「転写フィルムのうねり最大幅」とする。

＜積層体の製造方法＞
　上述した転写フィルムを用いることにより、被転写体へ感光性組成物層を転写することができる。
　なかでも、本発明の転写フィルムは、タッチパネルの製造に用いられることが好ましい。
　なかでも、本発明の積層体の製造方法は、転写フィルムからから保護フィルムを剥離して露出した表面を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、基板、導電層、感光性組成物層、及び、仮支持体をこの順に有する感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、
　感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
　露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、
　更に、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する、積層体の製造方法（以下「製造方法Ａ」ともいう）が好ましい。
　以下、上記工程の手順について詳述する。

［貼合工程］
　貼合工程は、転写フィルムから保護フィルムを剥離して露出した表面を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、基板、導電層、感光性組成物層、及び、仮支持体をこの順に有する感光性組成物層付き基板を得る工程である。

　転写フィルムとして第１実施態様の転写フィルムを用いた場合、保護フィルムが剥離された後、仮支持体上の露出した感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせる。この貼合によって、導電層を有する基板上に、感光性組成物層及び仮支持体が配置される。
　なお、転写フィルムとして第２実施態様の転写フィルムを用いた場合、保護フィルムが剥離された後、露出した屈折率調整層を導電層を有する基板に接触させて貼り合わせる。この貼合によって、導電層を有する基板上に、屈折率調整層、感光性組成物層、及び仮支持体が配置される。
　つまり、転写フィルムから保護フィルムを剥離して、得られた積層体の仮支持体側とは反対側の表面を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせる。第１実施態様の転写フィルム及び第２実施態様の転写フィルムのいずれを使用した場合も、貼合により得られた積層体は、少なくとも、導電層を有する基板上に、感光性組成物層、及び仮支持体を有する。

　上記貼合においては、上記導電層と上記感光性組成物層の表面と、が接触するように圧着させる。上記態様であると、露光及び現像後に得られるパターンを、導電層をエッチングする際のエッチングレジストとして好適に用いることができる。
　上記圧着の方法としては特に制限はなく、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を用いることができる。なかでも、感光性組成物層の表面を、導電層を有する基板に重ね、ロール等による加圧及び加熱することに行われることが好ましい。
　貼り合せには、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用できる。

　導電層を有する基板は、基板上に導電層を有し、必要により任意の層が形成されてもよい。つまり、導電層を有する基板は、基板と、基板上に配置される導電層とを少なくとも有する導電性基板である。

　基板としては、例えば、樹脂基板、ガラス基板、及び、半導体基板が挙げられる。
　基板の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４０］に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。

　導電層としては、導電性及び細線形成性の点から、金属層、導電性金属酸化物層、グラフェン層、カーボンナノチューブ層、及び、導電ポリマー層からなる群から選択される少なくとも１種の層が好ましい。
　また、基板上には導電層を１層のみ配置してもよいし、２層以上配置してもよい。導電層を２層以上配置する場合は、異なる材質の導電層を有することが好ましい。
　導電層の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４１］に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。

　導電層を有する基板としては、透明電極及び引き回り配線の少なくとも一方を有する基板が好ましい。上記のような基板は、タッチパネル用基板として好適に用いることができる。
　透明電極は、タッチパネル用電極として好適に機能し得る。透明電極は、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）、及び、ＩＺＯ（酸化インジウム亜鉛）等の金属酸化膜、並びに、金属メッシュ、及び、銀ナノワイヤー等の金属細線により構成されることが好ましい。
　金属細線としては、銀、銅等の細線が挙げられる。中でも、銀メッシュ、銀ナノワイヤー等の銀導電性材料が好ましい。

　引き回し配線の材質としては、金属が好ましい。
　引き回し配線の材質である金属としては、金、銀、銅、モリブデン、アルミニウム、チタン、クロム、亜鉛及びマンガン、並びに、これらの金属元素の２種以上からなる合金が挙げられる。引き回し配線の材質としては、銅、モリブデン、アルミニウム又はチタンが好ましく、銅が特に好ましい。

　本発明の転写フィルム中の感光性組成物層を用いて形成されたタッチパネル用電極保護膜は、電極等（すなわち、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方）を保護する目的で、電極等を直接又は他の層を介して覆うように設けられることが好ましい。

［露光工程］
　露光工程は、感光性組成物層をパターン露光する工程である。
　なお、ここで、「パターン露光」とは、パターン状に露光する形態、すなわち、露光部と非露光部とが存在する形態の露光を指す。
　パターン露光における露光領域と未露光領域との位置関係は特に制限されず、適宜調整される。

　パターン露光の光源としては、少なくとも感光性組成物層を硬化し得る波長域の光（例えば、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍ）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。なかでも、パターン露光の露光光の主波長は、３６５ｎｍが好ましい。なお、主波長とは、最も強度が高い波長である。

　光源としては、例えば、各種レーザー、発光ダイオード（ＬＥＤ）、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、及び、メタルハライドランプが挙げられる。
　露光量は、５～２００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０～２００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。

　露光に使用する光源、露光量及び露光方法の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４６］～［０１４７］に記載があり、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

［剥離工程］
　剥離工程は、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と後述する現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する工程である。
　剥離方法は特に制限されず、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構と同様の機構を用いることができる。

［現像工程］
　現像工程は、露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する工程である。
　上記感光性組成物層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
　現像液として、アルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液に含まれ得るアルカリ性化合物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及び、コリン（２－ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド）が挙げられる。

　現像の方式としては、例えば、パドル現像、シャワー現像、スピン現像、及び、ディップ現像等の方式が挙げられる。

　本開示において好適に用いられる現像液としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９４］に記載の現像液が挙げられ、好適に用いられる現像方式としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９５］に記載の現像方式が挙げられる。

［ポスト露光工程、及び、ポストベーク工程］
　上記積層体の製造方法は、上記現像工程によって得られたパターンを、露光する工程（ポスト露光工程）及び／又は加熱する工程（ポストベーク工程）を有していてもよい。
　ポスト露光工程及びポストベーク工程の両方を含む場合、ポスト露光の後、ポストベークを実施することが好ましい。

［エッチング工程］
　上記積層体の製造方法は、得られた積層体中のパターンが配置されていない領域にある導電層をエッチング処理するエッチング工程を有していてもよい。
　上記エッチング工程では、上記現像工程により上記感光性組成物層から形成されたパターンを、エッチングレジストとして使用し、上記導電層のエッチング処理を行う。
　エッチング処理の方法としては、特開２０１７－１２０４３５号公報の段落［０２０９］～［０２１０］に記載の方法、特開２０１０－１５２１５５号公報の段落［００４８］～［００５４］等に記載の方法、公知のプラズマエッチング等のドライエッチングによる方法等、公知の方法を適用することができる。

［除去工程］
　上記積層体の製造方法は、パターンを除去する除去工程を有していてもよい。
　除去工程は、必要に応じて行うことができるが、エッチング工程の後に行うことが好ましい。
　パターンを除去する方法としては特に制限はないが、薬品処理により除去する方法が挙げられ、除去液を用いることが好ましい。
　パターンの除去方法としては、好ましくは３０～８０℃、より好ましくは５０～８０℃にて撹拌中の除去液にパターンを有する積層体を１～３０分間浸漬する方法が挙げられる。

　除去液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ成分、又は、第１級アミン化合物、第２級アミン化合物、第３級アミン化合物、第４級アンモニウム塩化合物等の有機アルカリ成分を、水、ジメチルスルホキシド、Ｎ－メチルピロリドン又はこれらの混合溶液に溶解させた除去液が挙げられる。
　また、除去液を使用し、スプレー法、シャワー法、パドル法等により除去してもよい。

［その他の工程］
　本発明の積層体の製造方法は、上述した以外の任意の工程（その他の工程）を含んでもよい。
　例えば、国際公開第２０１９／０２２０８９号の段落［０１７２］に記載の可視光線反射率を低下させる工程、国際公開第２０１９／０２２０８９号の段落［０１７２］に記載の絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程等が挙げられるが、これらの工程に制限されない。

　本発明の積層体の製造方法により製造される積層体は、種々の装置に適用することができる。上記積層体を備えた装置としては、例えば、入力装置等が挙げられ、タッチパネルであることが好ましく、静電容量型タッチパネルであることがより好ましい。また、上記入力装置は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、液晶表示装置等の表示装置に適用することができる。
　積層体がタッチパネルに適用される場合、感光性組成物層から形成されるパターンは、タッチパネル用電極の保護膜として用いられることが好ましい。つまり、転写フィルムに含まれる感光性組成物層は、タッチパネル用電極保護膜の形成に用いられることが好ましい。

　以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本開示の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特段の断りのない限り、「部」及び「％」は質量基準である。また、ポリマー中の組成比は特段の断りのない限りモル比である。

＜重合体Ａ１の合成＞
　３つ口フラスコにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（昭和電工株式会社製）（１００部）を入れ、窒素雰囲気下において９０℃に昇温した。スチレン（富士フイルム和光純薬株式会社製）（５５部）、メタクリル酸（富士フイルム和光純薬株式会社製）（１５部）、メタクリル酸エチル（富士フイルム和光純薬株式会社製）（３０部）、ジメチル－２，２’－アゾビス（２－メチルプロピオネート）（富士フイルム和光純薬株式会社製）（２部）、及び、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（昭和電工株式会社製）（１３１部）を加えた溶液を、９０℃±２℃に維持した３つ口フラスコ溶液中に２時間掛けて滴下した。滴下終了後、９０℃±２℃にて２時間撹拌することで、表１に示す重合体Ａ１（固形分濃度３０．０％）を合成した。
　なお、表１中、各モノマーに由来する構成単位の含有量は、重合体の全構成単位に対する、質量％で表される。

　表１中、各記載は以下を表す。
　Ｓｔ：スチレン（富士フイルム和光純薬株式会社製）
　ＭＡＡ：メタクリル酸（富士フイルム和光純薬株式会社製）
　ＥｔＭＡ：メタクリル酸エチル（富士フイルム和光純薬株式会社製）
　ＨＥＭＡ：ヒドロキシエチルメタクリレート（富士フイルム和光純薬株式会社製）

＜重合体Ａ２～Ａ５の合成＞
　表１に従って各成分を混合して、上記合成法と同様の手順で、重合体Ａ２～Ａ５を合成した。

＜感光性組成物１の調製＞
　表２に従って、各成分を混合して、感光性組成物（ＯＣ－１～ＯＣ－１３）を調製した。

　表中の各記号は、以下の化合物を表す。
　Ｂ１：Ａ－ＤＣＰ（新中村化学工業社製）
　Ｂ２：ＴＭＰＴＡ（大阪有機工業社製、ビスコート＃２９５）
　Ｂ３：ＮＫオリゴＡ－６００（新中村化学工業社製）
　Ｃ１：Ｉｒｇａｃｕｒｅ－ＯＸＥ－０１（ＢＡＳＦ社製）
　Ｗ１：オクタメチルシクロテトラシロキサン（東京化成社製）
　Ｗ２：メガファックＦ５５１（ＤＩＣ社製）
　ＭＥＫ：メチルエチルケトン

　特開２０１６－１８１０８３号公報の実施例欄に記載される材料Ｂ－２を屈折率調整層形成用組成物ＩＭ－１として用いた。

＜実施例１＞
　仮支持体である厚み１６μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上に、スリット状ノズルを用いて感光性組成物ＯＣ－１を塗布し、８０℃の乾燥ゾーンを４０秒間掛けて通過させて、厚み５μｍの感光性組成物層を形成した。
　次いで、上記感光性組成物層の上に、保護フィルムとして厚み１６μｍのＰＰフィルムをラミネートして実施例１の転写フィルムを得た。

＜実施例２～１６、比較例１～５＞
　表３に従って感光性組成物の種類、並びに、仮支持体及び保護フィルムの種類を変更した以外は、実施例１と同様の手順で、実施例２～１６の転写フィルム、及び、比較例１～５の転写フィルムを得た。
　なお、実施例９に関しては、感光性組成物層上に屈折率調整層形成用組成物を塗布して、屈折率調整層を形成した後、屈折率調整層上に保護フィルムを配置して、転写フィルムを得た。

＜評価＞
（表面エネルギーの極性成分の測定）
　仮支持体の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分は、仮支持体の感光性組成物層と接する側の表面の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上述した連立方程式を解くことにより、γ^ｈ１を算出した。
　保護フィルムの感光性組成物層側又は屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分は、保護フィルムの感光性組成物層又は屈折率調整層と接する側の表面の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ４又はγ^ｈ８を算出した。
　感光性組成物層の仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ２に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層とからなる積層体を用意した。次に、この積層体から感光性組成物層を粘着テープで強制的に剥離して、露出した感光性組成物層の表面（仮支持体側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上述した連立方程式を解くことにより、γ^ｈ２を算出した。
　また、感光性組成物層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ３に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意した。次に、この転写フィルムから保護フィルムを剥離して、露出した感光性組成物層の表面（保護フィルム側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上述した連立方程式を解くことにより、γ^ｈ３を算出した。
　また、屈折率調整層の保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ７に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意した。次に、この転写フィルムから保護フィルムを剥離して、露出した屈折率調整層の表面（保護フィルム側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上述した連立方程式を解くことにより、γ^ｈ７を算出した。
　また、感光性組成物層の屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ５及び屈折率調整層の感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分であるγ^ｈ６に関しては、まず、仮支持体と、仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、感光性組成物層の仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有する転写フィルムを用意した。次に、この転写フィルムから仮支持体及び保護フィルムを剥離した。その後、感光性組成物層の屈折率調整層側とは反対側の表面に粘着テープを貼合し、更に、屈折率調整層の感光性組成物層側とは反対側の表面に粘着テープを貼合して、感光性組成物層と屈折率調整層との間で剥離が生じるように、両者を強制的に剥離した。露出した感光性組成物層の表面（屈折率調整層側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ５を算出した。また、露出した屈折率調整層の表面（感光性組成物層側に位置していた表面）の水及びヨウ化メチレンの静的接触角をそれぞれ測定し、上記連立方程式を解くことにより、γ^ｈ６を算出した。

（保護フィルム剥離評価）
　上述した手順に従って、幅５００ｍｍの転写フィルムのロールを用意した。この転写フィルムのロールから、９．７インチサイズ（縦２４０ｍｍ、横１７０ｍｍ）の測定サンプルを１０００枚切り出した。次に、切り出した１０００枚の測定サンプルをそれぞれ用いて、測定サンプル中の保護フィルムを剥離角度９０度、剥離速度４ｍ／ｍｉｎで剥離した。それぞれの測定サンプルにおいて保護フィルムを剥離した後の保護フィルム及び感光性組成物層を目視にて観察して、１０００枚のサンプル中、保護フィルム剥離不良（保護フィルムと共に感光性組成物層の少なくとも一部が剥離する不良）が発生していない良品の割合（（良品の数／１０００）×１００）を算出した。８０％以上であれば実用上問題なく、１００％に近いことが好ましい。
　なお、実施例９においては、保護フィルムと共に屈折率調整層の少なくとも一部が剥離する不良が発生していない良品の割合を算出した。

（転写評価）
　上記保護フィルム剥離評価で、保護フィルムが良好に剥離された状態の仮支持体と感光性組成物層とを含むフィルムを、１０００枚用意した。
　次に、得られたフィルムの感光性組成物層（又は、屈折率調整層）とＩＴＯ膜とが接するように、厚み５０ｎｍのＩＴＯ膜が形成されたＣＯＰ基材上に、温度１００℃、速度４ｍ/ｍｉｎで上記フィルムを熱ラミネートした。さらに、仮支持体側から、超高圧水銀灯を光源として、１００ｍＪ／ｃｍ^２の光を全面に照射した。
　その後、得られたサンプルから仮支持体を、剥離角度９０度、剥離速度４ｍ/ｍｉｎで剥離した。それぞれのサンプルにおいて仮支持体を剥離した後の仮支持体及び感光性組成物層を目視にて観察して、１０００枚のサンプル中、転写不良（仮支持体と共に感光性組成物層の少なくとも一部が剥離する不良）が発生していない良品の割合（（良品の数／１０００）×１００）を算出した。８０％以上であれば実用上問題なく、１００％に近いことが好ましい。

（泣き出し評価）
　転写フィルムから１０ｃｍ四方に切り出したサンプルを、遮光袋に入れた状態で、温度５０℃、湿度５０％の環境で１週間保管した。保管した後のサンプルの保護フィルムを剥離し、保護フィルム側に感光性組成物層の素材が付着していないかを目視及び触診で確認した。付着がない場合を「ＯＫ」、付着がある場合を「ＮＧ」とした。

　表中の各記号は、以下を表す。
　ＰＥＴ：ポリエチレンテレフタレートフィルム（曲げ弾性率：３０ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　ＰＭＭＡ：ポリメチルメタクリレートフィルム（曲げ弾性率：３３ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　ＰＣ：ポリカーボネートフィルム（曲げ弾性率：３２ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　ＰＰ：ポリプロピレンフィルム（曲げ弾性率：１６ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　ＰＥ：ポリエチレンフィルム（曲げ弾性率：４ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　ＰＳ：ポリスチレンフィルム（曲げ弾性率：２８ｋｇｆ／ｃｍ^２）
　表中、「式（１Ａ）又は式（３Ａ）」欄は、実施例１～８、１０～１６、及び、比較例１～５に関しては、式（１Ａ）の左辺に該当する｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜の値を表し、実施例９に関しては、式（３Ａ）の左辺に該当する｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜の値を表す。
　「式（２Ａ）」欄は、式（２Ａ）の左辺に該当する｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜の値を表す。
　「式（６）」欄は、式（６）の左辺に該当する｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜の値を表す。

　表３に示すように、本発明の転写フィルムを用いると所望の効果が得られることが確認された。
　実施例１～４の比較より、式（２Ｂ）を満たす場合（好ましくは式（２Ｃ）を満たす場合、より好ましくは式（２Ｄ）を満たす場合）、より優れた効果が得られることが確認された。
　実施例１、５～７の比較より、式（１Ｂ）を満たす場合（好ましくは式（１Ｃ）を満たす場合、より好ましくは式（１Ｄ）を満たす場合）、より優れた効果が得られることが確認された。
　実施例８と１０との比較より、界面活性剤としてシリコーン系界面活性剤を用いる場合、より優れた効果が得られることが確認された。
　実施例８と１１との比較より、モノマーが２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有する場合、より優れた効果が得られることが確認された。
　実施例８と１２との比較より、仮支持体の曲げ弾性率が、保護フィルムの曲げ弾性率よりも大きい場合、より優れた効果が得られることが確認された。
　実施例１３より、式（６）を満たす場合、より優れた効果が得られることが確認された。

Claims

　仮支持体と、
　前記仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、
　前記感光性組成物層の前記仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　前記仮支持体の前記感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、前記感光性組成物層の前記仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、前記感光性組成物層の前記保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ３、前記保護フィルムの前記感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ４とした場合に、式（１Ａ）及び式（２Ａ）の関係を満たす、転写フィルム。
　式（１Ａ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ａ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（１Ｂ）の関係を満たす、請求項１に記載の転写フィルム。
　式（１Ｂ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（１Ｃ）の関係を満たす、請求項１又は２に記載の転写フィルム。
　式（１Ｃ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧４．０ｍＪ／ｍ^２
　式（１Ｄ）の関係を満たす、請求項１～３のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（１Ｄ）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧５．０ｍＪ／ｍ^２
　仮支持体と、
　前記仮支持体の表面に接して配置された感光性組成物層と、
　前記感光性組成物層の前記仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された屈折率調整層と、
　前記屈折率調整層の前記感光性組成物層側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　前記仮支持体の前記感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ１、前記感光性組成物層の前記仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ２、前記感光性組成物層の前記屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ５、前記屈折率調整層の前記感光性組成物層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ６、前記屈折率調整層の前記保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ７、前記保護フィルムの前記屈折率調整層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｈ８とした場合に、式（３Ａ）、式（２Ａ）、式（４）、及び、式（５）の関係を満たす、転写フィルム。
　式（３Ａ）　　｜γ^ｈ７－γ^ｈ８｜－｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ａ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　式（４）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜＜｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜
　式（５）　　｜γ^ｈ５－γ^ｈ６｜＜｜γ^ｈ７－γ^ｈ８｜
　式（２Ｂ）の関係を満たす、請求項１～５のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（２Ｂ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧４．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ｃ）の関係を満たす、請求項１～６のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（２Ｃ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧５．０ｍＪ／ｍ^２
　式（２Ｄ）の関係を満たす、請求項１～７のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（２Ｄ）　　｜γ^ｈ１－γ^ｈ２｜≧６．０ｍＪ／ｍ^２
　前記感光性組成物層が、シリコーン系界面活性剤を含む、請求項１～８のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記感光性組成物層が、バインダーポリマー、重合性化合物、及び、重合開始剤を含む、請求項１～９のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記バインダーポリマー及び前記重合性化合物の少なくとも一方が、芳香族環構造及び２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造からなる群から選択される構造を有する、請求項１０に記載の転写フィルム。
　前記バインダーポリマーが、スチレン化合物に由来する構成単位を有する、請求項１１に記載の転写フィルム。
　前記重合性化合物が、トリシクロデカン構造及びトリシクロデセン構造からなる群から選択される構造を有する、請求項１１に記載の転写フィルム。
　前記仮支持体の曲げ弾性率が、前記保護フィルムの曲げ弾性率よりも大きい、請求項１～１３のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記仮支持体が、ポリエチレンテレフタレートフィルムである、請求項１～１４のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（６）の関係を満たす、請求項１～４のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（６）　　｜γ^ｈ３－γ^ｈ４｜≦１４ｍＪ／ｍ^２
　前記感光性組成物層が、タッチパネル用電極保護膜形成に用いられる、請求項１～１６のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　仮支持体と、
　前記仮支持体の表面に接して配置された転写層と、
　前記転写層の前記仮支持体側とは反対側の表面に接して配置された保護フィルムと、を有し、
　前記仮支持体の前記転写層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ１、前記転写層の前記仮支持体側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ２、前記転写層の前記保護フィルム側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ３、前記保護フィルムの前記転写層側の表面の表面エネルギーの極性成分をγ^ｘ４とした場合に、式（Ｘ）及び式（Ｙ）の関係を満たす、転写フィルム。
　式（Ｘ）　　｜γ^ｘ３－γ^ｘ４｜－｜γ^ｘ１－γ^ｘ２｜≧２．０ｍＪ／ｍ^２
　式（Ｙ）　　｜γ^ｘ１－γ^ｘ２｜≧３．０ｍＪ／ｍ^２
　請求項１～１７のいずれか１項に記載の転写フィルムから前記保護フィルムを剥離して露出した表面を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、前記基板、前記導電層、前記感光性組成物層、及び、前記仮支持体をこの順に有する感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、
　前記感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
　露光された前記感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、
　更に、前記貼合工程と前記露光工程との間、又は、前記露光工程と前記現像工程との間に、前記感光性組成物層付き基板から前記仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する、積層体の製造方法。
　前記導電層を有する基板が、タッチパネル用電極及びタッチパネル用配線の少なくとも一方を有する基板である、請求項１９に記載の積層体の製造方法。