WO2021125079A1

WO2021125079A1 - 転写フィルム、積層体の製造方法

Info

Publication number: WO2021125079A1
Application number: PCT/JP2020/046259
Authority: WO
Inventors: 啓吾植木; 泰雄江夏; 悠樹豊嶋; 福重　裕一; 豊岡　健太郎
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2019-12-20
Filing date: 2020-12-11
Publication date: 2021-06-24
Also published as: JPWO2021125079A1; TW202126487A; CN114846407A

Abstract

本発明は、カバーフィルムの剥離性に優れる転写フィルム、及び、積層体の製造方法を提供する。本発明の転写フィルムは、仮支持体と、感光性組成物層と、カバーフィルムとをこの順に有し、カバーフィルムは、感光性組成物層側から、剥離性樹脂層と、基材とをこの順に有し、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分が４．０ｍＮ／ｍ以下である。

Description

転写フィルム、積層体の製造方法

　本発明は、転写フィルム、及び、積層体の製造方法に関する。

　所定のパターンを得るための工程数が少ないといったことから、転写フィルムを用いて任意の基板上に設けた感光性組成物層に対して、マスクを介して露光した後に現像する方法が広く使用されている。

　例えば、特許文献１では、支持体と、感光性組成物層と、カバーフィルムとを有する転写フィルムであって、感光性組成物層とカバーフィルムとの間に中間層を設ける態様が開示されている。なお、中間層にはポリビニルアルコール等が含まれている。

特開２００７－２９３００６号公報

　一方、近年、カバーフィルムの剥離性のより一層の向上が求められている。より具体的には、カバーフィルムを剥離する際に、カバーフィルムの面上に感光性組成物層が付着しないように、カバーフィルムを剥離できることが望まれている。なお、以後、転写フィルム中の感光性組成物層上から剥離されるカバーフィルムに感光性組成物層の付着が少ないことを、カバーフィルムの剥離性に優れる、ともいう。
　本発明者らは、特許文献１に具体的に記載されている転写フィルムに関して、検討を行ったところ、感光性組成物層と中間層との間の剥離性が十分でなく、剥離される中間層上に感光性組成物層が付着してしまい、更なる改良が必要であることを知見した。

　本発明は、カバーフィルムの剥離性に優れる転写フィルムを提供することを課題とする。
　また、本発明は、上記転写フィルムを用いた積層体の製造方法を提供することも課題とする。

　本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。

（１）　仮支持体と、感光性組成物層と、カバーフィルムとをこの順に有し、
　カバーフィルムは、感光性組成物層側から、剥離性樹脂層と、基材とをこの順に有し、
　剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分が４．０ｍＮ／ｍ以下である、転写フィルム。
（２）　剥離性樹脂層の厚みが１０～５００ｎｍである、（１）に記載の転写フィルム。
（３）　剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面表さＲａが５０ｎｍ以下である、（１）又は（２）に記載の転写フィルム。
（４）　剥離性樹脂層が、樹脂及び界面活性剤を含む、（１）～（３）のいずれかに記載の転写フィルム。
（５）　樹脂が、オレフィン系樹脂を含む、（４）に記載の転写フィルム。
（６）　基材がポリエステル樹脂を含む、（１）～（５）のいずれかに記載の転写フィルム。
（７）　剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分と分散力成分とが後述する式（１）の関係を満たす、（１）～（６）のいずれかに記載の転写フィルム。
（８）　感光性組成物層が、重合性化合物、アルカリ可溶性樹脂、及び、重合開始剤を含む、（１）～（７）のいずれかに記載の転写フィルム。
（９）　感光性組成物層が、タッチパネル電極保護膜形成に用いられる、（１）～（８）のいずれかに記載の転写フィルム。
（１０）　（１）～（９）のいずれかに記載の転写フィルムからカバーフィルムを剥離して仮支持体上の感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、
　感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
　露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、
　更に、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する、積層体の製造方法。

　本発明によれば、カバーフィルムの剥離性に優れる転写フィルムを提供できる。
　また、本発明によれば、上記転写フィルムを用いた積層体の製造方法を提供できる。

実施形態に係る転写フィルムの層構成の一例を示す概略図である。

　以下、本発明について詳細に説明する。
　なお、本明細書において「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
　また、本明細書に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。

　また、本明細書中の「工程」の用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば本用語に含まれる。

　本明細書において、「透明」とは、波長４００～７００ｎｍの可視光の平均透過率が、８０％以上であることを意味し、９０％以上であることが好ましい。
　また、可視光の平均透過率は、分光光度計を用いて測定される値であり、例えば、日立製作所株式会社製の分光光度計Ｕ－３３１０を用いて測定できる。

　本明細書において、特に断わりの無い限り、ポリマーの各構成単位の含有比率はモル比である。
　また、本開示における重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、特に断りのない限り、ＴＳＫｇｅｌ　ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ４０００ＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ２０００ＨｘＬ（いずれも東ソー（株）製の商品名）のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
　本開示において、特段の断りが無い限り、分子量分布が有る化合物の分子量は、重量平均分子量である。
　また、本明細書において、屈折率は、特に断りがない限り、波長５５０ｎｍでエリプソメーターによって測定される値である。

　本明細書において、「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの両方を包含する概念であり、「（メタ）アクリレート」は、アクリレート及びメタクリレートの両方を包含する概念であり、「（メタ）アクリロキシ基」は、アクリロキシ基及びメタアクリロキシ基の両方を包含する概念である。

　本発明の転写フィルムの特徴点としては、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分を調整している点が挙げられる。
　特許文献１に記載に転写フィルムにおいて、中間層と感光性組成物層との剥離性が十分でない原因について検討したところ、中間層中のポリビニルアルコール等の成分と感光性組成物層中の成分との間で相互作用（特に、水素結合）が生じしてしまい、結果として剥離性が十分でないことを知見した。本発明においては感光性組成物層と接触する剥離性樹脂層の表面自由エネルギーの水素結合成分を調整することにより、上記のような相互作用の生じさせずに、カバーフィルムの剥離性が向上することを知見している。

　本発明の転写フィルムは、仮支持体と、感光性組成物層と、カバーフィルムとをこの順に有し、カバーフィルムは、感光性組成物層側から、剥離性樹脂層と、基材とをこの順に有し、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分が４．０ｍＮ／ｍ以下である。
　より具体的には、図１に示すように、転写フィルム１０は、仮支持体１２と、感光性組成物層１４と、カバーフィルム１６とをこの順に有し、カバーフィルム１６は、感光性組成物層１４側から、剥離性樹脂層１８と、基材２０とをこの順に有する。つまり、転写フィルム１０は、仮支持体１２、感光性組成物層１４、剥離性樹脂層１８、及び、基材２０をこの順に有する。図１に示すように、感光性組成物層１４と剥離性樹脂層１８とは、接触している。
　なお、剥離性樹脂層１８の感光性組成物層１４側の表面１８ａの表面自由エネルギーの水素結合成分が４．０ｍＮ／ｍ以下である。
　なお、転写フィルムの構成は図１の構成には限定されず、後述するように、他の層を有していてもよい。

　また、後段で詳述するように、本発明の転写フィルムにおいては、カバーフィルムの剥離処理を実施すると、カバーフィルムと感光性組成物層との間で剥離が生じる。つまり、カバーフィルムは、感光性組成物層上に剥離可能に配置される。
　よって、通常、仮支持体と感光性組成物層との間の剥離強度、及び、剥離性樹脂層と基材との剥離強度は、感光性組成物層とカバーフィルムとの間の剥離強度よりも大きいことが好ましい。上記剥離強度の関係を満たすと、転写フィルム中のカバーフィルムを、感光性組成物層上からより容易に剥離できる。

　以下、転写フィルムを構成する各部材について詳述する。

＜仮支持体＞
　転写フィルムは、仮支持体を有する。仮支持体は、後述する感光性組成物層等を支持する部材であり、最終的には剥離処理により除去される。
　仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮、又は伸びを生じないフィルムを用いることができる。
　このようなフィルムとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム（例えば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム）、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。
　これらの中でも、仮支持体としては、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
　また、仮支持体として使用するフィルムには、シワ等の変形、及び、傷等がないことが好ましい。

　仮支持体は、仮支持体を介してパターン露光できるという点から、透明性が高いことが好ましく、３６５ｎｍの透過率は６０％以上が好ましく、３６５ｎｍの透過率は７０％以上がより好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体のヘイズは小さい方が好ましい。具体的には、仮支持体のヘイズ値が、２％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．１％以下が更に好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物及び欠陥の数は少ない方が好ましい。直径１μｍ以上の微粒子、異物及び欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ^２以下が好ましく、１０個／１０ｍｍ^２以下がより好ましく、３個／１０ｍｍ^２以下が更に好ましく、０個／１０ｍｍ^２が特に好ましい。

　仮支持体の厚みは特に制限されないが、５～２００μｍが好ましく、取り扱いやすさ及び汎用性の点から、１０～１５０μｍがより好ましく、１０～５０μｍが更に好ましい。

　仮支持体の表面に、ハンドリング性を付与する点で、微小な粒子を含有する層（滑剤層）を設けてもよい。滑剤層は仮支持体の片面に設けてもよいし、両面に設けてもよい。滑剤層に含まれる粒子の直径は、０．０５～０．８μｍとすることができる。また、滑剤層の膜厚は０．０５～１．０μｍとすることができる。

　仮支持体としては、例えば、膜厚１６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、膜厚１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、膜厚９μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。

　仮支持体の好ましい形態としては、例えば、特開２０１４－０８５６４３号公報の段落［００１７］～［００１８］、特開２０１６－０２７３６３号公報の段落［００１９］～［００２６］、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落［００４１］～［００５７］、及び、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落［００２９］～［００４０］に記載があり、これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。

＜感光性組成物層＞
　転写フィルムは、感光性組成物層を有する。感光性組成物層を被転写物上に転写した後、露光及び現像を行うことにより、被転写物上にパターンを形成できる。
　感光性組成物層としては、公知の感光性組成物層を用いることができ、ポジ型であっても、ネガ型であってもよい。
　なお、ポジ型感光性組成物層とは、露光により露光部が現像液に対する溶解性が高くなる感光性組成物層であり、ネガ型感光性組成物層とは、露光により露光部が現像液に対する溶解性が低下する感光性組成物層である。
　なかでも、ネガ型感光性組成物層を用いることが好ましい。感光性組成物層がネガ型感光性組成物層である場合、形成されるパターンは硬化層に該当する。
　以下、ネガ型感光性組成物層に含まれる成分について詳述する。

［重合性化合物］
　感光性組成物層は、重合性化合物を含んでいてもよい。
　重合性化合物は、重合性基を有する化合物である。重合性基としては、ラジカル重合性基及びカチオン重合性基が挙げられ、ラジカル重合性基が好ましい。

　重合性化合物は、エチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物（以下、単に「エチレン性不飽和化合物」ともいう。）を含むことが好ましい。
　エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリロキシ基が好ましい。

　エチレン性不飽和化合物は、２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。ここで、「２官能以上のエチレン性不飽和化合物」とは、一分子中にエチレン性不飽和基を２つ以上有する化合物を意味する。

　エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物が好ましい。
　エチレン性不飽和化合物としては、例えば、硬化後の膜強度の点から、２官能のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、２官能の（メタ）アクリレート化合物）と、３官能以上のエチレン性不飽和化合物（好ましくは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物）とを含むことが好ましい。

　２官能のエチレン性不飽和化合物としては、例えば、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、及び、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレートが挙げられる。

　２官能のエチレン性不飽和化合物の市販品としては、例えば、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート〔商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社〕、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート〔商品名：ＮＫエステル　ＤＣＰ、新中村化学工業株式会社〕、１，９－ノナンジオールジアクリレート〔商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＮＯＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社〕、１，１０－デカンジオールジアクリレート〔商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＤＯＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社〕、及び、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート〔商品名：ＮＫエステル　Ａ－ＨＤ－Ｎ、新中村化学工業株式会社〕が挙げられる。

　３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、例えば、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸（メタ）アクリレート、及び、グリセリントリ（メタ）アクリレートが挙げられる。

　ここで、「（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート、テトラ（メタ）アクリレート、ペンタ（メタ）アクリレート、及び、ヘキサ（メタ）アクリレートを包含する概念である。また、「（トリ／テトラ）（メタ）アクリレート」は、トリ（メタ）アクリレート及びテトラ（メタ）アクリレートを包含する概念である。
　３官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、官能基数の上限に特に制限はないが、例えば、２０官能以下とすることができ、１５官能以下とすることもできる。

　３官能以上のエチレン性不飽和化合物の市販品としては、例えば、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〔商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ、新中村化学工業株式会社〕が挙げられる。

　エチレン性不飽和化合物は、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート又は１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレートと、ジペンタエリスリトール（トリ／テトラ／ペンタ／ヘキサ）（メタ）アクリレートとを含むことがより好ましい。

　エチレン性不飽和化合物としては、（メタ）アクリレート化合物のカプロラクトン変性化合物〔日本化薬株式会社のＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）　ＤＰＣＡ－２０、新中村化学工業株式会社のＡ－９３００－１ＣＬ等〕、（メタ）アクリレート化合物のアルキレンオキサイド変性化合物〔日本化薬株式会社のＫＡＹＡＲＡＤ（登録商標）　ＲＰ－１０４０、新中村化学工業株式会社のＡＴＭ－３５Ｅ、Ａ－９３００、ダイセル・オルネクス社のＥＢＥＣＲＹＬ（登録商標）　１３５等〕、及び、エトキシル化グリセリントリアクリレート〔新中村化学工業株式会社のＮＫエステル　Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ等〕も挙げられる。

　エチレン性不飽和化合物としては、ウレタン（メタ）アクリレート化合物も挙げられる。ウレタン（メタ）アクリレート化合物としては、３官能以上のウレタン（メタ）アクリレート化合物が好ましい。３官能以上のウレタン（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、８ＵＸ－０１５Ａ〔大成ファインケミカル株式会社〕、ＮＫエステル　ＵＡ－３２Ｐ〔新中村化学工業株式会社〕、及び、ＮＫエステル　ＵＡ－１１００Ｈ〔新中村化学工業株式会社〕が挙げられる。

　エチレン性不飽和化合物は、現像性向上の点から、酸基を有するエチレン性不飽和化合物を含むことが好ましい。

　酸基としては、例えば、リン酸基、スルホン酸基、及び、カルボキシ基が挙げられる。上記の中でも、酸基としては、カルボキシ基が好ましい。

　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、酸基を有する３～４官能のエチレン性不飽和化合物〔ペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（ＰＥＴＡ）骨格にカルボキシ基を導入した化合物（酸価：８０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕、及び、酸基を有する５～６官能のエチレン性不飽和化合物（ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（ＤＰＨＡ）骨格にカルボキシ基を導入した化合物〔酸価：２５～７０ｍｇＫＯＨ／ｇ）〕が挙げられる。酸基を有する３官能以上のエチレン性不飽和化合物は、必要に応じ、酸基を有する２官能のエチレン性不飽和化合物と併用してもよい。

　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、そのカルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。酸基を有するエチレン性不飽和化合物が、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物、及び、そのカルボン酸無水物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物であると、現像性及び膜強度がより高まる。

　カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物としては、アロニックス（登録商標）　ＴＯ－２３４９〔東亞合成株式会社〕、アロニックス（登録商標）　Ｍ－５２０〔東亞合成株式会社〕、及び、アロニックス（登録商標）　Ｍ－５１０〔東亞合成株式会社〕が挙げられる。

　酸基を有するエチレン性不飽和化合物としては、特開２００４－２３９９４２号公報の段落［００２５］～［００３０］に記載の酸基を有する重合性化合物を好ましく用いることができ、この公報に記載の内容は参照により本明細書に組み込まれる。

　エチレン性不飽和化合物の分子量は、２００～３，０００が好ましく、２５０～２，６００がより好ましく、２８０～２，２００が更に好ましく、３００～２，２００が特に好ましい。

　エチレン性不飽和化合物のうち、分子量３００以下のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の含有量に対して、３０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。

　感光性組成物層は、１種単独のエチレン性不飽和化合物を含んでいてもよく、２種以上のエチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。

　エチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、１～７０質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましく、２０～６０質量％が更に好ましく、２０～５０質量％が特に好ましい。

　感光性組成物層が２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含む場合、更に単官能エチレン性不飽和化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含む場合、２官能以上のエチレン性不飽和化合物は、感光性組成物層に含まれるエチレン性不飽和化合物において主成分であることが好ましい。

　感光性組成物層が２官能以上のエチレン性不飽和化合物を含む場合、２官能以上のエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層に含まれる全てのエチレン性不飽和化合物の含有量に対して、６０～１００質量％が好ましく、８０～１００質量％がより好ましく、９０～１００質量％が更に好ましい。

　感光性組成物層が酸基を有するエチレン性不飽和化合物（好ましくは、カルボキシ基を有する２官能以上のエチレン性不飽和化合物又はそのカルボン酸無水物）を含む場合、酸基を有するエチレン性不飽和化合物の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、１～５０質量％が好ましく、１～２０質量％がより好ましく、１～１０質量％が更に好ましい。

［重合開始剤］
　感光性組成物層は、重合開始剤を含んでいてもよい。
　重合開始剤としては、光重合開始剤が好ましい。
　光重合開始剤としては、例えば、オキシムエステル構造を有する光重合開始剤（以下、「オキシム系光重合開始剤」ともいう。）、α－アミノアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤」ともいう。）、α－ヒドロキシアルキルフェノン構造を有する光重合開始剤（以下、「α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤」ともいう。）、アシルフォスフィンオキサイド構造を有する光重合開始剤（以下、「アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤」ともいう。）、及び、Ｎ－フェニルグリシン構造を有する光重合開始剤（以下、「Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤」ともいう。）が挙げられる。

　光重合開始剤は、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、α－ヒドロキシアルキルフェノン系重合開始剤、及び、Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤からなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、オキシム系光重合開始剤、α－アミノアルキルフェノン系光重合開始剤、及び、Ｎ－フェニルグリシン系光重合開始剤からなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましい。

　また、光重合開始剤としては、例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落［００３１］～［００４２］、及び、特開２０１５－０１４７８３号公報の段落［００６４］～［００８１］に記載された重合開始剤を用いてもよい。

　光重合開始剤の市販品としては、例えば、１－［４－（フェニルチオ）］フェニル－１，２－オクタンジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０１、ＢＡＳＦ社製〕、１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］エタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０２、ＢＡＳＦ社製〕、８－［５－（２，４，６－トリメチルフェニル）－１１－（２－エチルヘキシル）－１１Ｈ－ベンゾ［ａ］カルバゾイル］［２－（２，２，３，３－テトラフルオロプロポキシ）フェニル］メタノン－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０３、ＢＡＳＦ社製〕、１－［４－［４－（２－ベンゾフラニルカルボニル）フェニル］チオ］フェニル］－４－メチル－１－ペンタノン－１－（Ｏ－アセチルオキシム）〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　ＯＸＥ－０４、ＢＡＳＦ社製〕、２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　３７９ＥＧ、ＢＡＳＦ社製〕、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　９０７、ＢＡＳＦ社製〕、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）ベンジル］フェニル｝－２－メチルプロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１２７、ＢＡＳＦ社製〕、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタノン－１〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　３６９、ＢＡＳＦ社製〕、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニル－プロパン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１１７３、ＢＡＳＦ社製〕、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ（登録商標）　１８４、ＢＡＳＦ社製〕、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン〔商品名：ＩＲＧＡＣＵＲＥ　６５１、ＢＡＳＦ社製〕、及び、オキシムエステル系の化合物〔商品名：Ｌｕｎａｒ（登録商標）　６、ＤＫＳＨジャパン株式会社製〕、１－［４－（フェニルチオ）フェニル］－３－シクロペンチルプロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３０５、常州強力電子新材料社製）、１，２－プロパンジオン，３－シクロヘキシル－１－［９－エチル－６－（２－フラニルカルボニル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－，２－（Ｏ－アセチルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３２６、常州強力電子新材料社製）、３－シクロヘキシル－１－（６－（２－（ベンゾイルオキシイミノ）ヘキサノイル）－９－エチル－９Ｈ－カルバゾール－３－イル）－プロパン－１，２－ジオン－２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）（商品名：ＴＲ－ＰＢＧ－３９１、常州強力電子新材料社製）、ＡＰｉ－３０７（１－（ビフェニル－４－イル）－２－メチル－２－モルホリノプロパン－１－オン、ＳｈｅｎｚｈｅｎＵＶ-ＣｈｅｍＴｅｃｈＬｔｄ．製）等が挙げられる。

　感光性組成物層は、１種単独の光重合開始剤を含んでいてもよく、２種以上の光重合開始剤を含んでいてもよい。

　光重合開始剤の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、０．１質量％以上が好ましく、０．５質量％以上がより好ましい。また、光重合開始剤の含有量の上限は、感光性組成物層の全質量に対して、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましい。

［アルカリ可溶性樹脂］
　感光性組成物層は、アルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。
　感光性組成物層がアルカリ可溶性樹脂を含むことで、現像液への感光性組成物層（非露光部）の溶解性が向上する。
　アルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ可溶性アクリル樹脂が好ましい。
　以下、アルカリ可溶性アクリル樹脂について詳述する。

　本開示において、「アルカリ可溶性」とは、以下の方法によって求められる溶解速度が０．０１μｍ／秒以上であることをいう。
　対象化合物（例えば、樹脂）の濃度が２５質量％であるプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液をガラス基板上に塗布し、次に、１００℃のオーブンで３分間加熱することによって上記対象化合物の塗膜（厚み２．０μｍ）を形成する。上記塗膜を炭酸ナトリウム１質量％水溶液（液温３０℃）に浸漬させることにより、上記塗膜の溶解速度（μｍ／秒）を求める。
　なお、対象化合物がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートに溶解しない場合は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート以外の沸点２００℃未満の有機溶剤（例えば、テトラヒドロフラン、トルエン、又は、エタノール）に対象化合物を溶解させる。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂としては、上記において説明したアルカリ可溶性を有するアクリル樹脂であれば制限されない。ここで、「アクリル樹脂」とは、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位の少なくとも一方を含む樹脂を意味する。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸エステルに由来する構成単位の合計割合は、３０モル％以上が好ましく、５０モル％以上がより好ましい。

　本開示において、「構成単位」の含有量をモル分率（モル割合）で規定する場合、特に断りのない限り、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本開示において、樹脂又は重合体が２種以上の特定の構成単位を有する場合、特に断りのない限り、上記特定の構成単位の含有量は、上記２種以上の特定の構成単位の総含有量を表すものとする。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、現像性の点から、カルボキシ基を有することが好ましい。アルカリ可溶性アクリル樹脂へのカルボキシ基の導入方法としては、例えば、カルボキシ基を有するモノマーを用いてアルカリ可溶性アクリル樹脂を合成する方法が挙げられる。上記方法により、カルボキシ基を有するモノマーは、カルボキシ基を有する構成単位としてアルカリ可溶性アクリル樹脂に導入される。カルボキシ基を有するモノマーとしては、例えば、アクリル酸、及び、メタクリル酸が挙げられる。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、１つのカルボキシ基を有していてもよく、２つ以上のカルボキシ基を有していてもよい。また、アルカリ可溶性アクリル樹脂におけるカルボキシ基を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　カルボキシ基を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性アクリル樹脂の全量に対して、５～５０モル％が好ましく、５～４０モル％がより好ましく、１０～３０モル％が更に好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、硬化後の透湿度及び強度の点から、芳香環を有する構成単位を有することが好ましい。芳香環を有する構成単位としては、スチレン化合物由来の構成単位であることが好ましい。
　芳香環を有する構成単位を形成するモノマーとしては、例えば、スチレン化合物由来の構成単位を形成するモノマー、及び、ベンジル（メタ）アクリレートが挙げられる。

　上記スチレン化合物由来の構成単位を形成するモノマーとしては、例えば、スチレン、ｐ－メチルスチレン、α－メチルスチレン、α，ｐ－ジメチルスチレン、ｐ－エチルスチレン、ｐ－ｔ－ブチルスチレン、ｔ－ブトキシスチレン、及び、１，１－ジフェニルエチレンが挙げられ、スチレン又はα－メチルスチレンが好ましく、スチレンがより好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂における芳香環を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。
　アルカリ可溶性アクリル樹脂が芳香環を有する構成単位を有する場合、芳香環を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性アクリル樹脂の全量に対して、５～９０モル％が好ましく、１０～８０モル％がより好ましく、１５～７０モル％が更に好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、タック性、及び、硬化後の強度の点から、脂肪族環式骨格を有する構成単位を含むことが好ましい。脂肪族環式骨格は、単環でも多環でもよい。

　脂肪族環式骨格における脂肪族環としては、例えば、ジシクロペンタン環、シクロヘキサン環、イソボロン環、及び、トリシクロデカン環が挙げられる。上記の中でも、脂肪族環式骨格における脂肪族環としては、トリシクロデカン環が好ましい。

　脂肪族環式骨格を有する構成単位を形成するモノマーとしては、例えば、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂における脂肪族環式骨格を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂が脂肪族環式骨格を有する構成単位を有する場合、脂肪族環式骨格を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性アクリル樹脂の全量に対して、５～９０モル％が好ましく、１０～８０モル％がより好ましく、１０～６０モル％が更に好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、タック性、及び、硬化後の強度の点から、反応性基を有していることが好ましい。

　反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、アルカリ可溶性アクリル樹脂がエチレン性不飽和基を有する場合、アルカリ可溶性アクリル樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。

　本開示において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。

　エチレン性不飽和基としては、（メタ）アクリル基、又は、（メタ）アクリロキシ基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂におけるエチレン性不飽和基を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂がエチレン性不飽和基を有する構成単位を有する場合、エチレン性不飽和基を有する構成単位の含有量は、アルカリ可溶性アクリル樹脂の全量に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、１５～４０モル％が更に好ましい。

　反応性基をアルカリ可溶性アクリル樹脂に導入する手段としては、水酸基、カルボキシ基、第１級アミノ基、第２級アミノ基、アセトアセチル基、及び、スルホン酸等に、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート化合物、イソシアネート化合物、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、及び、カルボン酸無水物等を反応させる方法が挙げられる。

　反応性基をアルカリ可溶性アクリル樹脂に導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するアルカリ可溶性アクリル樹脂を重合反応により合成した後、ポリマー反応により、アルカリ可溶性アクリル樹脂のカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させることで、（メタ）アクリロキシ基をアルカリ可溶性アクリル樹脂に導入する手段が挙げられる。上記手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するアルカリ可溶性アクリル樹脂を得ることができる。

　上記重合反応は、７０～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬株式会社製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。また、上記ポリマー反応は、８０～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記ポリマー反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂は、直鎖又は分岐の鎖状構造を有する構成単位を含むことが好ましい。
　鎖状構造としては、炭素数１～２０の直鎖又は分岐のアルキル基を挙げることができ、その炭素数は１～４であることが好ましい。

　鎖状構造を有する構成単位を形成するためのモノマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられ、アルキル基としては、炭素数１～２０のアルキル基が挙げられる。具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、及び、（メタ）アクリル酸ドデシル等が挙げられる。
　（メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。
　アルカリ可溶性アクリル樹脂が鎖状構造を有する構成単位を有する場合、鎖状構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、アルカリ可溶性アクリル樹脂の全構成単位に対して、１～９０モルが好ましく、１０～７０モル％より好ましく、２０～６０モル％が更に好ましい。　

　アルカリ可溶性アクリル樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０，０００以上が好ましく、１０，０００～１００，０００がより好ましく、１５，０００～５０，０００が更に好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂の酸価は、現像性の点から、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、７０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましい。本開示において、アルカリ可溶性アクリル樹脂の酸価は、ＪＩＳ　Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って測定される値である。
　アルカリ可溶性アクリル樹脂の酸価の上限は、現像液へ溶解することを抑止する点から、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。

　感光性組成物層中におけるアルカリ可溶性樹脂の各構成単位の残存モノマーの含有量は、パターニング性及び信頼性の点から、アルカリ可溶性樹脂全質量に対して、１０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、５００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されず、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。

　アルカリ可溶性アクリル樹脂の具体例を以下に示す。なお、下記アルカリ可溶性アクリル樹脂における各構成単位の含有比率（モル比）は、目的に応じて適宜設定することができる。

　感光性組成物層は、１種単独のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよく、２種以上のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。

　アルカリ可溶性樹脂の含有量は、現像性の点から、感光性組成物層の全質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、２５～７０質量％が更に好ましい。

［カルボン酸無水物構造を有する構成単位を含む重合体］
　感光性組成物層は、バインダーとして、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を含む重合体（以下、「重合体Ｂ」ともいう。）を更に含んでいてもよい。感光性組成物層が重合体Ｂを含むことで、現像性及び硬化後の強度を向上できる。

　カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び、環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造が好ましい。
　環状カルボン酸無水物構造の環としては、５～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を２つ除いた２価の基を主鎖中に含む構成単位、又は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を１つ除いた１価の基が主鎖に対して直接又は２価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。

　式Ｐ－１中、Ｒ^Ａ１ａは、置換基を表し、ｎ^１ａ個のＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよく、Ｚ^１ａは、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－を含む環を形成する２価の基を表し、ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。

　Ｒ^Ａ１ａで表される置換基としては、例えば、アルキル基が挙げられる。

　Ｚ^１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。

　ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ^１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ^１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。

　ｎ^１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲ^Ａ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位が好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位がより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位が更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位が特に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位が最も好ましい。

　重合体Ｂにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位の含有量は、重合体Ｂの全量に対して、０～６０モル％が好ましく、５～４０モル％がより好ましく、１０～３５モル％が更に好ましい。
　感光性組成物層は、１種単独の重合体Ｂを含んでいてもよく、２種以上の重合体Ｂを含んでいてもよい。

　感光性組成物層中における重合体Ｂの各構成単位の残存モノマーの含有量は、パターニング性及び信頼性の点から、重合体Ｂ全質量に対して、１０００質量ｐｐｍ以下が好ましく、５００質量ｐｐｍ以下がより好ましく、１００質量ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．１質量ｐｐｍ以上が好ましく、１質量ｐｐｍ以上がより好ましい。

　感光性組成物層が重合体Ｂを含む場合、重合体Ｂの含有量は、現像性及び硬化後の強度の点から、感光性組成物層の全質量に対して、０．１～３０質量％が好ましく、０．２～２０質量％がより好ましく、０．５～２０質量％が更に好ましく、１～２０質量％が特に好ましい。

［複素環化合物］
　感光性組成物層は、複素環化合物を含むことが好ましい。
　複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
　複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子からなる群より選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。

　複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、及び、ピリミジン化合物が挙げられる。
　上記の中でも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選択される少なくとも１種の化合物がより好ましい。

　複素環化合物の好ましい具体例を以下に示す。トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　感光性組成物層は、１種単独の複素環化合物を含んでいてもよく、２種以上の複素環化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．１～１０質量％がより好ましく、０．３～８質量％が更に好ましく、０．５～５質量％が特に好ましい。

［脂肪族チオール化合物］
　感光性組成物層は、脂肪族チオール化合物を含むことが好ましい。
　感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。

　脂肪族チオール化合物としては、単官能の脂肪族チオール化合物、又は、多官能の脂肪族チオール化合物（すなわち、２官能以上の脂肪族チオール化合物）が好ましい。

　上記の中でも、脂肪族チオール化合物としては、例えば、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物が好ましい。

　本開示において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、分子量が１００以上の低分子化合物が好ましい。具体的には、多官能の脂肪族チオール化合物の分子量は、１００～１，５００がより好ましく、１５０～１，０００が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物の官能基数としては、例えば、形成されるパターンの密着性の点から、２～１０官能が好ましく、２～８官能がより好ましく、２～６官能が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリス［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオプロピオネート、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，２－エタンジチオール、１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサメチレンジチオール、２，２’－（エチレンジチオ）ジエタンチオール、ｍｅｓｏ－２，３－ジメルカプトコハク酸、及び、ジ（メルカプトエチル）エーテルが挙げられる。

　上記の中でも、多官能の脂肪族チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、及び、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンからなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。

　単官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、１－オクタンチオール、１－ドデカンチオール、β－メルカプトプロピオン酸、メチル－３－メルカプトプロピオネート、２－エチルヘキシル－３－メルカプトプロピオネート、ｎ－オクチル－３－メルカプトプロピオネート、メトキシブチル－３－メルカプトプロピオネート、及び、ステアリル－３－メルカプトプロピオネートが挙げられる。

　感光性組成物層は、１種単独の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよく、２種以上の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５～５０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましく、８～２０質量％が特に好ましい。

［ブロックイソシアネート化合物］
　感光性組成物層は、ブロックイソシアネート化合物を含むことが好ましい。ブロックイソシアネート化合物は、形成されるパターンの強度の向上に寄与する。
　ブロックイソシアネート化合物は、水酸基及びカルボキシ基と反応するため、例えば、バインダーポリマー及びエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物の少なくとも一方が、水酸基及びカルボキシ基の少なくとも一方を有する場合には、形成される膜の親水性が下がり、保護膜としての機能が強化される傾向がある。なお、ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。

　ブロックイソシアネート化合物の解離温度としては、１００～１６０℃が好ましく、１１０～１５０℃がより好ましい。

　本開示において、「ブロックイソシアネート化合物の解離温度」とは、示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｓｃａｎｎｉｎｇ　ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネート化合物の脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度を意味する。示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ株式会社製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に用いることができる。ただし、示差走査熱量計は、上記した示差走査熱量計に制限されない。

　解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、活性メチレン化合物〔（マロン酸ジエステル（マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジｎ－ブチル、マロン酸ジ２－エチルヘキシル等））等〕、及び、オキシム化合物（ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、シクロヘキサノンオキシム等の分子内に－Ｃ（＝Ｎ－ＯＨ）－で表される構造を有する化合物）が挙げられる。上記の中でも、解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の点から、オキシム化合物が好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の点から、イソシアヌレート構造を有することが好ましい。イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。

　イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物の中でも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、かつ、現像残渣を少なくしやすいという点から好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、形成されるパターンの強度の点から、重合性基を有することが好ましく、ラジカル重合性基を有することがより好ましい。

　重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、及び、スチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。上記の中でも、重合性基としては、得られるパターンにおける表面の面状、現像速度、及び、反応性の点から、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物としては、市販品を用いることができる。ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、例えば、カレンズ（登録商標）　ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＡＯＩ－ＢＰ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＰ等〔以上、昭和電工株式会社製〕、及び、ブロック型のデュラネートシリーズ〔例えば、デュラネート（登録商標）　ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、旭化成ケミカルズ株式会社製〕が挙げられる。

　感光性組成物層は、１種単独のブロックイソシアネート化合物を含んでいてもよく、２種以上のブロックイソシアネート化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層がブロックイソシアネート化合物を含む場合、ブロックイソシアネート化合物の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、１～５０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましい。

［界面活性剤］
　感光性組成物層は、界面活性剤を含むことが好ましい。
　界面活性剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１７］、及び特開２００９－２３７３６２号公報の段落［００６０］～［００７１］に記載の界面活性剤が挙げられる。

　界面活性剤としては、ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤又はシリコーン系界面活性剤が好ましい。
　フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック　Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ株式会社製）、フロラード　ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ　ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント　７１０ＦＬ、７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ、２５１、２１２Ｍ、２５０、２０９Ｆ、２２２Ｆ、２０８Ｇ、７１０ＬＡ、７１０ＦＳ、７３０ＬＭ、６５０ＡＣ、６８１、６８３（以上、（株）ＮＥＯＳ製）等が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック　ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えば、メガファック　ＤＳ－２１が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
　また、フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーも使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体も使用できる。メガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の観点から、パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）及びパーフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）等の炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤であることが好ましい。

　ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニック　Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（以上、ＢＡＳＦ社製）、テトロニック　３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース　２００００（以上、日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニン　Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業（株）製）等が挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。
　界面活性剤の具体例としては、ＤＯＷＳＩＬ　８０３２　ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＰ－３４１、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。　

　感光性組成物層は、１種単独の界面活性剤を含んでいてもよく、２種以上の界面活性剤を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、０．０１～３質量％が好ましく、０．０５～１質量％がより好ましく、０．１～０．８質量％が更に好ましい。

［水素供与性化合物］
　感光性組成物層は、水素供与性化合物を含むことが好ましい。水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。

　水素供与性化合物としては、アミン類、例えば、Ｍ．Ｒ．Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４－０２０１８９号公報、特開昭５１－０８２１０２号公報、特開昭５２－１３４６９２号公報、特開昭５９－１３８２０５号公報、特開昭６０－０８４３０５号公報、特開昭６２－０１８５３７号公報、特開昭６４－０３３１０４号公報、及び、Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　３３８２５号等に記載の化合物が挙げられる。

　水素供与性化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ－ホルミルジメチルアニリン、及び、ｐ－メチルチオジメチルアニリンが挙げられる。

　また、水素供与性化合物としては、アミノ酸化合物（Ｎ－フェニルグリシン等）、特公昭４８－０４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５－０３４４１４号公報に記載の水素供与体、及び、特開平６－３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（トリチアン等）も挙げられる。

　感光性組成物層は、１種単独の水素供与性化合物を含んでいてもよく、２種以上の水素供与性化合物を含んでいてもよい。

　感光性組成物層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、感光性組成物層の全質量に対して、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０３～５質量％がより好ましく、０．０５～３質量％が更に好ましい。

［他の成分］
　感光性組成物層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、粒子（例えば、金属酸化物粒子）、及び、着色剤が挙げられる。ただし、感光性組成物は、カバーフィルムの剥離性の点から、着色剤は含まないことが好ましい。
　また、他の成分としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１８］に記載の熱重合防止剤、及び、特開２０００－３１０７０６号公報の段落［００５８］～［００７１］に記載のその他の添加剤も挙げられる。

　感光性組成物層は、屈折率、光透過性等の調節を目的として、粒子を含んでいてもよい。粒子としては、例えば、金属酸化物粒子が挙げられる。
　金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。

　粒子の平均一次粒子径としては、例えば、パターンの透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。

　感光性組成物層は、１種単独の粒子を含んでいてもよく、２種以上の粒子を含んでいてもよい。また、感光性組成物層が粒子を含む場合、金属種、大きさ等の異なる粒子を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。

　感光性組成物層は、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が感光性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて３５質量％以下であることが好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が感光性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて１０質量％以下であることがより好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が感光性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて５質量％以下であることが更に好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が感光性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて１質量％以下であることが特に好ましく、粒子を含まないことが最も好ましい。

　感光性組成物層は、微量の着色剤（例えば、顔料、及び染料）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
　感光性組成物層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、感光性組成物層の全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。

［不純物等］
　感光性組成物層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
　不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン、及び、これらのイオンが挙げられる。中でも、ハロゲン化物イオン、ナトリウムイオン、及び、カリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。

　感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、８０ｐｐｍ以下が好ましく、１０ｐｐｍ以下がより好ましく、２ｐｐｍ以下が更に好ましい。感光性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、１ｐｐｂ以上とすることができ、０．１ｐｐｍ以上とすることができる。

　不純物を上記範囲にする方法としては、感光性組成物層の原料として不純物の含有量が少ないものを選択すること、及び、感光性組成物層の形成時に不純物の混入を防ぐこと、洗浄して除去することが挙げられる。このような方法により、不純物量を上記範囲内とすることができる。

　不純物は、例えば、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析法、原子吸光分光法、及び、イオンクロマトグラフィー法等の公知の方法で定量できる。

　感光性組成物層における、ベンゼン、ホルムアルデヒド、トリクロロエチレン、１，３－ブタジエン、四塩化炭素、クロロホルム、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及び、ヘキサン等の化合物の含有量は、少ないことが好ましい。これら化合物の感光性組成物層中における含有量としては、質量基準で、１００ｐｐｍ以下が好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましく、４ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は質量基準で、１０ｐｐｂ以上とすることができ、１００ｐｐｂ以上とすることができる。これら化合物は、上記の金属の不純物と同様の方法で含有量を抑制できる。また、公知の測定法により定量できる。

　感光性組成物層における水の含有量は、信頼性及びラミネート性を向上させる点から、０．０１～１．０質量％が好ましく、０．０５～０．５質量％がより好ましい。

［感光性組成物層の厚み］
　感光性組成物層の厚みは特に制限されないが、１０．０μｍ以下が好ましく、８．０μｍ以下がより好ましい。
　感光性組成物層の厚みの下限は、制限されない。感光性組成物層の厚みが小さいほど、耐屈曲性を向上できる。感光性組成物層の厚みの下限は、製造適性の点から、０．０５μｍ以上が好ましい。感光性組成物層の厚みの下限は、透明導電部の保護性向上の点からは、０．５μｍ以上が好ましく、１．１μｍ以上がより好ましい。
　感光性組成物層の厚みは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。

［感光性組成物層の屈折率］
　感光性組成物層の屈折率は、１．４７～１．５６が好ましく、１．４９～１．５４がより好ましい。

［感光性組成物層の色］
　感光性組成物層は無彩色であることが好ましい。感光性組成物層のａ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましく、感光性組成物層のｂ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましい。

［感光性組成物層中の異物］
　パターン形成性の観点から、感光性組成物層中の直径１．０μｍ以上の異物の数は、１０個／ｍｍ^２以下が好ましく、５個／ｍｍ^２以下がより好ましい。
　異物個数は以下のように測定するものとする。
　感光性組成物層の表面の法線方向から、感光性組成物層の面上の任意の５か所の領域（１ｍｍ×１ｍｍ）を、光学顕微鏡を用いて目視にて観察して、各領域中の直径１．０μｍ以上の異物の数を測定して、それらを算術平均して異物の数として算出する。具体的な好ましい数値としては、例えば、０個／ｍｍ^２、１個／ｍｍ^２、４個／ｍｍ^２、及び、８個／ｍｍ^２等が挙げられる。

［感光性組成物層中の溶解物のヘイズ］
　現像時での凝集物発生抑止の観点から、３０℃の炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）１．０Ｌに１．０ｃｍ^３の感光性組成物層を溶解させて得られる溶液のヘイズは６０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましく、１０％以下が更に好ましく、１％以下が特に好ましい。
　ヘイズは以下のように測定するものとする。
　まず、炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）を準備し、液温を３０℃に調整する。炭酸ナトリウム水溶液１．０Ｌに１．０ｃｍ^３の感光性組成物層を入れる。気泡を混入しないように注意しながら、３０℃で４時間撹拌する。撹拌後、感光性組成物層が溶解した溶液のヘイズを測定する。ヘイズは、ヘイズメーター（製品名「ＮＤＨ４０００」、日本電色工業社製）を用い、液体測定用ユニット及び光路長２０ｍｍの液体測定専用セルを用いて測定される。具体的な好ましい数値としては、例えば、０．４％、１．０％、９％、及び、２４％等が挙げられる。　

［感光性組成物層の溶解速度］
　炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）に対する感光性組成物層の溶解速度は、現像時の残渣抑制の観点から、０．０１μｍ／秒以上が好ましく、０．１０μｍ／秒以上がより好ましく、０．２０μｍ／秒以上が更に好ましい。パターンのエッジ形状の観点から、５．０μｍ／秒以下が好ましく、４．０μｍ／秒以下がより好ましく、３．０μｍ／秒以下が更に好ましい。具体的な好ましい数値としては、１．８μｍ／秒、１．０μｍ／秒、及び、０．７μｍ／秒等が挙げられる。
　炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）に対する感光性組成物層の単位時間あたりの溶解速度は、以下のように測定するものとする。
　ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性組成物層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）を用いて２５℃で、感光性組成物層が溶け切るまでシャワー現像を行う（但し、最長で２分までとする）。感光性組成物層の膜厚を、感光性組成物層が溶け切るまでに要した時間で割り算することで求める。なお、２分で溶け切らない場合は、それまでの膜厚変化量から同様に計算する。
　現像は、（株）いけうち製１／４ＭＩＮＪＪＸ０３０ＰＰのシャワーノズルを使用し、シャワーのスプレー圧は０．０８ＭＰａとする。上記条件の時、単位時間当たりのシャワー流量は１，８００ｍＬ／ｍｉｎとする。　

[感光性組成物層の透過率]
　感光性組成物層の膜厚１．０μｍあたりの可視光透過率は８０％以上が好ましく、９０％以上がより好ましく、９５％以上が最も好ましい。
　可視光透過率としては、波長４００～８００ｎｍの平均透過率、波長４００～８００ｎｍの透過率の最小値、および、波長４００ｎｍの透過率、いずれもが上記を満たすことが好ましい。透過率の好ましい値としては、例えば、８７％、９２％、９８％等が挙げられる。
　硬化層の可視光透過率の好ましい範囲も同様である。　

＜カバーフィルム＞
　転写フィルムは、カバーフィルムを有する。カバーフィルムは、感光性組成物層上に配置され、感光性組成物層を保護する保護フィルムである。
　カバーフィルムは、基材と、基材上に配置された剥離性樹脂層とを有する。

［基材］
　基材としては、樹脂基材、及び、紙等が挙げられ、強度及び可撓性等の点から、樹脂基材が特に好ましい。
　基材としては、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。中でも、基材は、ポリエステル樹脂を含むことが好ましく、ポリエチレンテレフタレートフィルムがより好ましい。
　基材の厚みは、特に制限されず、１μｍ～２ｍｍが好ましく、５～５０μｍがより好ましい。
　なお、基材として、ポリエチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルムを用いると、転写フィルムの耐傷性がより優れる。そのため、転写フィルムをロール搬送する場合等において、転写フィルムに傷がつきにくく、好ましい。

［剥離性樹脂層］
　転写フィルムは、剥離性樹脂層を有する。剥離性樹脂層は、感光性組成物層と接触して設けられる層である。
　剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分は、４．０ｍＮ／ｍ以下である。なかでも、カバーフィルムの剥離性がより優れる点（以下、単に「本発明の効果がより優れる点」ともいう。）で、上記水素結合成分は、３．０ｍＮ／ｍ以下が好ましく、２．０ｍＮ／ｍ以下がより好ましく、１．０ｍＮ／ｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０ｍＮ／ｍが挙げられ、０．１ｍＮ／ｍ以上の場合が多い。
　また、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの分散力成分は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、４０ｍＮ／ｍ以下が好ましく、３０ｍＮ／ｍ以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、１０ｍＮ／ｍ以上が挙げられ、２０ｍＮ／ｍ以上の場合が多い。

　本発明に記載の表面自由エネルギーは、以下の方法により算出される。
　本発明に記載の表面自由エネルギーは、Ｄ.Ｋ.Ｏｗｅｎｓ：Ｊ.Ａｐｐｌ.Ｐｏｌｙｍ.Ｓｃｉ.,１３,１７４１（１９６９）を参考にして実測した純水Ｈ_２Ｏとヨウ化メチレンＣＨ_２Ｉ_２とのそれぞれの接触角θ_Ｈ２Ｏ及びθ_{ＣＨ２Ｉ２}から、以下の連立方程式（Ａ）及び（Ｂ）により求められる。
〔連立方程式〕
（Ａ）：１＋ｃｏｓθ_Ｈ２Ｏ＝２√γｓ^ｄ（√γ_Ｈ２Ｏ ^ｄ／γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ）＋２√γｓ^ｈ（√γ_Ｈ２Ｏ ^ｈ／γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ）
（Ｂ）：１＋ｃｏｓθ_{ＣＨ２Ｉ２}＝２√γｓ^ｄ（√γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｄ／γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ）＋２√γｓ^ｈ（√γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｈ／γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ）
γ_Ｈ２Ｏ ^ｄ＝２１．８、γ_Ｈ２Ｏ ^ｈ＝５１．０、γ_Ｈ２Ｏ ^ｖ＝７２．８、
γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｄ＝４９．５、γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｈ＝１．３、γ_{ＣＨ２Ｉ２} ^ｖ＝５０．８
　ただし、上記連立方程式中、γｓ^ｄは表面自由エネルギーの分散力成分に、γｓ^ｈは表面自由エネルギーの水素結合成分に、それぞれ相当し、それらの和で表される値γｓ^ｖ（＝γｓ^ｄ＋γｓ^ｈ）を表面自由エネルギーと定義する。
　上記接触角の測定は、接触角計（協和界面科学社製、ＤＲＯＰＭＡＳＴＥＲ－５０１）を用いて、２５℃、相対湿度５５％の条件下で、サンプルの測定面に精製水又はヨウ化メチレン２μＬを着滴してから７秒後の接触角を液滴法にて測定する。

　なかでも、転写フィルムを所定期間放置した後のカバーフィルムの剥離性がより優れる点で、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分と分散力成分とが式（１）の関係を満たすことが好ましい。
　式（１）　　γ^ｄ＋１０×γ^ｈ≦４２．０ｍＮ/ｍ
　γ^ｄは表面自由エネルギーの分散力成分を表し、γ^ｈは表面自由エネルギーの水素結合成分を表す。
　中でも、転写フィルムを所定期間放置した後のカバーフィルムの剥離性がより優れる点で、式（２）の関係を満たすことがより好ましい。
　式（２）　　γ^ｄ＋１０×γ^ｈ≦３０．０ｍＮ/ｍ

　剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面表さＲａは特に制限されないが、感光性組成物層とカバーフィルムとの間に気泡の混入を低減できる点で、表面表さＲａは５０ｎｍ以下が好ましく、２０ｎｍ以下がより好ましい。気泡の混入を低減できると、感光性組成物層を転写した後に欠陥等が視認されづらく、好ましい。
　上記表面粗さＲａの測定方法は、以下の通りである。
　３次元光学プロファイラー（Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００、Ｚｙｇｏ社製）を用いて、以下の条件にて、カバーフィルムの剥離性樹脂層側の表面プロファイルを得る。なお、測定・解析ソフトにはＭｅｔｒｏＰｒｏ　ｖｅｒ８．３．２のＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎを用いる。次に、上記解析ソフト（ＭｅｔｒｏＰｒｏ　ｖｅｒ８．３．２－Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ）にてＳｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面を表示し、Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面中でヒストグラムデータを得る。得られたヒストグラムデータから、算術平均粗さを算出し、表面粗さＲａ値とする。
［測定条件］
　対物レンズ：５０倍
　Ｚｏｏｍ：０．５倍
　測定領域：１．００ｍｍ×１．００ｍｍ
［解析条件］
　Ｒｅｍｏｖｅｄ：ｐｌａｎｅ
　Ｆｉｌｔｅｒ：ｏｆｆ
　ＦｉｌｔｅｒＴｙｐｅ：ａｖｅｒａｇｅ
　Ｒｅｍｏｖｅ　ｓｐｉｋｅｓ：ｏｎ
　Ｓｐｉｋｅ　Ｈｅｉｇｈｔ（ｘＲＭＳ）：７．５
　なお、剥離性樹脂層の表面粗さを測定する際には、カバーフィルムを作製した直後に、剥離性樹脂層の表面表さを測定してもよいし、転写フィルムからカバーフィルムを剥離して、露出した剥離性樹脂層の表面の表面粗さを測定してもよい。

　剥離性樹脂層を構成する材料は、上記表面自由エネルギーの水素結合成分を示す層であれば特に制限されないが、通常、樹脂を含む。
　樹脂の種類は特に制限されず、ポリオレフィン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアセタール樹脂、（メタ）アクリル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリウレタン樹脂、及び、ポリエステル樹脂が挙げられる。なかでも、本発明の効果がより優れる点で、ポリオレフィン樹脂が好ましい。

　上記ポリオレフィン樹脂は、置換基を有していてもよい。置換基の種類は特に制限されないが、酸性基（例えば、カルボキシ基、無水マレイン酸基）が挙げられる。
　また、本発明の効果がより優れる点で、ポリオレフィン樹脂は長鎖アルキル基を有することが好ましい。長鎖アルキル基とは、炭素数が１０以上のアルキル基を意味する。
　上記樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、レゼムＴ－７３８（中京油脂株式会社）、ザイクセンＮＣ（住友精化株式会社）、ハイテック３１２１（東邦化学工業株式会社）、及び、ＭＧＰ－０５５（丸邦化成品株式会社）が挙げられる。

　なお、本発明の効果がより優れる点で、剥離性樹脂層中には、ポリビニルアルコールなどの水酸基を有する樹脂は実質的に含まれないことが好ましい。実質的に含まれないとは、剥離性樹脂層中に含まれる樹脂全質量に対して、ポリビニルアルコールなどの水酸基を有する樹脂の含有量が、１質量％以下であることを意味し、０質量％であることが好ましい。

　剥離性樹脂層中における樹脂の含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、剥離性樹脂層全質量に対して、７０質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、９９質量％以下の場合が多い。
　また、樹脂としてポリオレフィン系樹脂を使用する場合、剥離性樹脂層中の樹脂全質量に対する、ポリオレフィン系樹脂の含有量は、９０質量％以上が好ましく、９５質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、１００質量％が挙げられる。

　剥離性樹脂層は、界面活性剤を含むことが好ましい。
　界面活性剤の種類は特に制限されず、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、及び、フッ素系界面活性剤が挙げられる。界面活性剤は、１種単独を用いてもよく、２種以上を含んでいてもよい。界面活性剤が２種以上含まれる場合、その組み合わせは特に制限されないが、ノニオン系界面活性剤とアニオン系活性剤との組み合わせが表面粗さの低減の点で好ましい。
　上記界面活性剤としては、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、ラピゾールＡ－９０（日油株式会社）、ナロアクティーＣＬ－９５（三洋化成株式会社）、及び、セロゾール５２４（中京油脂株式会社）が挙げられる。

　剥離性樹脂層中における界面活性剤の含有量は特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、剥離性樹脂層全質量に対して、０．１質量％以上が好ましく、１．０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、１０質量％以下の場合が多い。

　剥離性樹脂層は、上記樹脂及び界面活性剤以外の他の材料を含んでいてもよい。

　剥離性樹脂層の厚みは特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、１０～５００ｎｍが好ましく、１０～１００ｎｍがより好ましく、１０～７０ｎｍが更に好ましく、２０～７０ｎｍが特に好ましく、４０～６０ｎｍが最も好ましい。
　なお、剥離性樹脂層の厚みは平均値であり、剥離性樹脂層の任意の１０点の厚みを測定して、それらを算術平均して求める。

（カバーフィルムの製造方法）
　上記カバーフィルムの製造方法は特に制限されず、公知の方法が挙げられる。
　例えば、基材上に剥離性樹脂層形成用組成物を塗布して、必要に応じて乾燥処理を施す方法が挙げられる。
　剥離性樹脂層形成用組成物には、剥離性樹脂層を形成する成分（例えば、樹脂及び界面活性剤）、及び、溶剤が含まれる。
　剥離性樹脂層形成用組成物の塗布方法は特に限定されず、スリット塗布、スピン塗布、カーテン塗布、及び、インクジェット塗布が挙げられる。

　また、基材と剥離性樹脂層との密着力を向上させる点から、基材が延伸フィルムである場合、上記剥離性樹脂層形成用組成物の塗布を、基材の延伸前に行うことも好ましい。
　基材が二軸延伸フィルムである場合、例えば、縦延伸（フィルムの搬送方向の延伸）の後に、剥離性樹脂層形成用組成物の塗布を行い、続けて横延伸（フィルムの面上においてフィルムの搬送方向と垂直な方向の延伸）を行うことにより、基材に対する密着力に優れた剥離性樹脂層が形成される。

＜その他の層＞
　転写フィルムは、上述した仮支持体、感光性組成物層、及び、カバーフィルム以外の他の部材を有していてもよい。
　他の部材としては、帯電防止層が挙げられる。転写フィルムが帯電防止層を有することで、帯電防止層上に配置されたフィルム等を剥離する際における静電気の発生を抑制でき、また、設備又は他のフィルム等との擦れによる静電気の発生も抑制できるため、例えば、電子機器における不具合の発生を抑止できる。
　帯電防止層は、仮支持体と感光性組成物層との間に配置することが好ましい。

　帯電防止層は、帯電防止性を有する層であり、帯電防止剤を少なくとも含む。帯電防止剤としては特に制限されず、公知の帯電防止剤を適用できる。

＜転写フィルムの製造方法＞
　本発明の転写フィルムの製造方法は特に制限されず、公知の方法を用いることができる。
　なかでも、生産性に優れる点で、仮支持体上に感光性組成物層を形成する工程（工程Ｘ）と、剥離性樹脂層が感光性組成物層に接するように、カバーフィルムを感光性組成物層上に貼り合わせる工程（工程Ｙ）とを有する方法が好ましい。
　以下、工程Ｘ及び工程Ｙを有する方法の手順について詳述する。

［工程Ｘ］
　仮支持体上に感光性組成物層を形成する方法としては、仮支持体上に感光性組成物を塗布し、必要に応じて乾燥処理を施す方法が挙げられる。
　なお、感光性組成物は、上述した感光性組成物層を構成する成分（例えば、重合性化合物、アルカリ可溶性樹脂、及び、重合開始剤等）、及び、溶剤を含むことが好ましい。

　溶剤としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（別名：１－メトキシ－２－プロピルアセテート）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、ｎ－プロパノール、及び、２－プロパノールが挙げられる。溶剤としては、メチルエチルケトンとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤、又は、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤が好ましい。

　また、溶剤としては、必要に応じ、沸点が１８０～２５０℃である有機溶剤（高沸点溶剤）を用いることもできる。
　感光性組成物は、１種単独の溶剤を含んでいてもよく、２種以上の溶剤を含んでいてもよい。

　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の全固形分量は、感光性組成物の全質量に対して、５～８０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましい。

　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の２５℃における粘度は、例えば、塗布性の点から、１～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、２～４０ｍＰａ・ｓがより好ましく、３～３０ｍＰａ・ｓが更に好ましい。粘度は、粘度計を用いて測定する。粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製の粘度計（商品名：ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ　ＴＶ－２２）を好適に用いることができる。但し、粘度計は、上記した粘度計に制限されない。

　感光性組成物が溶剤を含む場合、感光性組成物の２５℃における表面張力は、例えば、塗布性の観点から、５～１００ｍＮ／ｍが好ましく、１０～８０ｍＮ／ｍがより好ましく、１５～４０ｍＮ／ｍが更に好ましい。表面張力は、表面張力計を用いて測定する。表面張力計としては、例えば、協和界面科学株式会社製の表面張力計（商品名：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｔｅｎｓｉｏｍｅｔｅｒ　ＣＢＶＰ－Ｚ）を好適に用いることができる。ただし、表面張力計は、上記した表面張力計に制限されない。

　感光性組成物の塗布方法としては、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、及び、ダイコート法（すなわち、スリットコート法）が挙げられる。

　乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥、及び、減圧乾燥が挙げられる。上記した方法を単独で又は複数組み合わせて適用することができる。
　本開示において、「乾燥」とは、組成物に含まれる溶剤の少なくとも一部を除去することを意味する。

［工程Ｙ］
　保護フィルムを感光性組成物層に貼り合わせる方法は特に制限されず、公知の方法が挙げられる。なお、本工程Ｙにおいては、カバーフィルムの剥離性樹脂層が感光性組成物層に接触するように、カバーフィルムを感光性組成物層と貼り合わせる。

　カバーフィルムを感光性組成物層に貼り合わせる装置としては、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターが挙げられる。
　ラミネーターはゴムローラー等の任意の加熱可能なローラーを備え、加圧及び加熱ができるものであることが好ましい。

＜積層体の製造方法＞
　上述した転写フィルムを用いることにより、被転写物へ感光性組成物層を転写することができる。
　なかでも、転写フィルムからカバーフィルムを剥離して仮支持体上の感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、更に、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する積層体の製造方法が好ましい。
　上記手順によって得られる積層体においては、導電層を有する基板上に、パターンが配置されている。
　以下、積層体の各工程の手順について詳述する。

［貼合工程］
　貼合工程は、転写フィルムからカバーフィルムを剥離して仮支持体上の感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、感光性組成物層付き基板を得る工程である。
　転写フィルムからカバーフィルムを剥離する方法は特に制限されず、公知の方法を採用できる。例えば、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構を用いることができる。

　転写フィルムからカバーフィルムを剥離した後、仮支持体上の露出した感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせる。この貼合によって、導電層を有する基板上に、感光性組成物層及び仮支持体が配置される。
　上記貼合においては、上記導電層と上記感光性組成物層の表面と、が接触するように圧着させることが好ましい。上記態様であると、露光及び現像後に得られるパターンを、導電層をエッチングする際のエッチングレジストとして好適に用いることができる。
　上記圧着の方法としては特に制限はなく、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を用いることができる。中でも、感光性組成物層の表面を、導電層を有する基板に重ね、ロール等による加圧及び加熱することに行われることが好ましい。
　貼り合せには、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用できる。

　導電層を有する基板は、基板上に導電層を有し、必要により任意の層が形成されてもよい。つまり、導電層を有する基板は、基板と、基板上に配置される導電層とを少なくとも有する導電性基板である。
　基板としては、例えば、樹脂基板、ガラス基板、及び、半導体基板が挙げられる。
　基板の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落０１４０に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。

　導電層としては、導電性及び細線形成性の点から、金属層、導電性金属酸化物層、グラフェン層、カーボンナノチューブ層、及び、導電ポリマー層からなる群から選択される少なくとも１種の層が好ましい。
　また、基板上には導電層を１層のみ配置してもよいし、２層以上配置してもよい。導電層を２層以上配置する場合は、異なる材質の導電層を有することが好ましい。
　導電層の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４１］に記載があり、この内容は本明細書に組み込まれる。

［露光工程］
　露光工程は、感光性組成物層をパターン露光する工程である。
　なお、ここで、「パターン露光」とは、パターン状に露光する形態、すなわち、露光部と非露光部とが存在する形態の露光を指す。
　パターン露光におけるパターンの詳細な配置及び具体的サイズは、特に制限されない。なお、後述する現像工程によって形成されるパターンは、幅が２０μｍ以下である細線を含むことが好ましく、幅が１０μｍ以下の細線を含むことがより好ましい。

　パターン露光の光源としては、少なくとも感光性組成物層を硬化し得る波長域の光（例えば、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍ）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。なかでも、パターン露光の露光光の主波長は、３６５ｎｍであることが好ましい。
　なお、主波長とは、最も強度が高い波長である。

　光源としては、例えば、各種レーザー、発光ダイオード（ＬＥＤ）、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、及び、メタルハライドランプが挙げられる。
　露光量は、５～２００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０～２００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。

　露光に使用する光源、露光量及び露光方法の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４６］～［０１４７］に記載があり、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

［剥離工程］
　剥離工程は、貼合工程と露光工程との間、又は、露光工程と後述する現像工程との間に、感光性組成物層付き基板から仮支持体を剥離する工程である。
　剥離方法は特に制限されず、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構と同様の機構を用いることができる。

［現像工程］
　現像工程は、露光された感光性組成物層を現像して、パターンを形成する工程である。
　上記感光性組成物層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
　現像液として、アルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液に含まれ得るアルカリ性化合物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及び、コリン（２－ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド）が挙げられる。

　現像の方式としては、例えば、パドル現像、シャワー現像、スピン現像、及び、ディップ現像等の方式が挙げられる。

　本開示において好適に用いられる現像液としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９４］に記載の現像液が挙げられ、好適に用いられる現像方式としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９５］に記載の現像方式が挙げられる。

　上記手順によって形成されるパターン（感光性組成物層の硬化膜）は無彩色であることが好ましい。具体的には、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系において、パターンのａ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましい。

　パターン（硬化層）の炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）に対する膨潤率は、パターン形成性向上の観点から、１００％以下が好ましく、５０％以下がより好ましく、３０％以下が更に好ましい。
　ここで、膨潤率は、以下のように測定するものとする。　ガラス基板に形成した、溶媒を十分に除去した感光性樹脂層（膜厚１．０～１０μｍの範囲内）に対し、超高圧水銀灯で５００ｍｊ／ｃｍ^２（ｉ線測定）で露光する。２５℃でガラス基板ごと、炭酸ナトリウム水溶液（炭酸ナトリウム濃度：１．０質量％）に浸漬し、３０秒経過時点での膜厚を測定する。そして、浸漬後の膜厚が浸漬前の膜厚に対して増加した割合を計算する。具体的な好ましい数値としては、４％、１３％、及び、２５％等が挙げられる。

　パターン（硬化層）の膜厚４０μｍでの透湿度は、デバイスの信頼性の観点から、５００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下が好ましく、３００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下がより好ましく、１００ｇ／ｍ^２／２４ｈｒ以下が更に好ましい。
　ここで、透湿度は、感光性組成物層を、ｉ線によって露光量３００ｍＪ／ｃｍ^２にて露光した後、１４５℃、３０分間のポストベークを行うことにより、感光性組成物層を硬化させた硬化膜で測定する。
　透湿度の測定は、ＪＩＳＺ０２０８のカップ法に準じて行う。温度４０℃／湿度９０％、温度６５℃／湿度９０％、及び温度８０℃／湿度９５％のいずれの試験条件においても、上記の透湿度であることが好ましい。　

［ポスト露光工程、及び、ポストベーク工程］
　上記積層体の製造方法は、上記現像工程によって得られたパターンを、露光する工程（ポスト露光工程）及び／又は加熱する工程（ポストベーク工程）を有していてもよい。
　ポスト露光工程及びポストベーク工程の両方を含む場合、ポスト露光の後、ポストベークを実施することが好ましい。

［エッチング工程］
　上記積層体の製造方法は、得られた積層体中のパターンが配置されていない領域にある導電層をエッチング処理するエッチング工程を有していてもよい。
　上記エッチング工程では、上記現像工程により上記感光性組成物層から形成されたパターンを、エッチングレジストとして使用し、上記導電層のエッチング処理を行う。
　エッチング処理の方法としては、特開２０１７－１２０４３５号公報の段落［０２０９］～［０２１０］に記載の方法、特開２０１０－１５２１５５号公報の段落［００４８］～［００５４］等に記載の方法、公知のプラズマエッチング等のドライエッチングによる方法等、公知の方法を適用することができる。

［除去工程］
　上記積層体の製造方法は、パターンを除去する除去工程を有していてもよい。
　除去工程は、必要に応じて行うことができるが、エッチング工程の後に行うことが好ましい。
　パターンを除去する方法としては特に制限はないが、薬品処理により除去する方法が挙げられ、除去液を用いることが好ましい。
　パターンの除去方法としては、好ましくは３０～８０℃、より好ましくは５０～８０℃にて撹拌中の除去液にパターンを有する積層体を１～３０分間浸漬する方法が挙げられる。

　除去液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ成分、又は、第１級アミン化合物、第２級アミン化合物、第３級アミン化合物、第４級アンモニウム塩化合物等の有機アルカリ成分を、水、ジメチルスルホキシド、Ｎ－メチルピロリドン又はこれらの混合溶液に溶解させた除去液が挙げられる。
　また、除去液を使用し、スプレー法、シャワー法、パドル法等により除去してもよい。

［その他の工程］
　本発明の積層体の製造方法は、上述した以外の任意の工程（その他の工程）を含んでもよい。
　例えば、国際公開第２０１９／０２２０８９号の段落［０１７２］に記載の可視光線反射率を低下させる工程、国際公開第２０１９／０２２０８９号の段落［０１７２］に記載の絶縁膜上に新たな導電層を形成する工程等が挙げられるが、これらの工程に制限されない。

　本発明の積層体の製造方法により製造される積層体は、種々の装置に適用することができる。上記積層体を備えた装置としては、例えば、入力装置等が挙げられ、タッチパネルであることが好ましく、静電容量型タッチパネルであることがより好ましい。また、上記入力装置は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置、液晶表示装置等の表示装置に適用することができる。
　積層体がタッチパネルに適用される場合、感光性組成物層から形成されるパターンは、タッチパネル電極の保護膜として用いられることが好ましい。つまり、転写フィルムに含まれる感光性組成物層は、タッチパネル電極保護膜の形成に用いられることが好ましい。

　以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本開示の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は質量基準である。
　なお、ポリマー中の組成比は特に断りのない限りモル比である。

＜剥離性樹脂層形成用組成物の調製＞
　下記表１に示す組成の剥離性樹脂層形成用組成物Ａ－１～Ａ－１０をそれぞれ調製した。なお、表１における各成分欄の数値は、質量比率を表す。
　得られた剥離性樹脂層形成用組成物は、６μｍフィルター（Ｆ２０、マーレフィルターシステムズ（株）製）で、ろ過及び膜脱気（２ｘ６ラジアルフロースーパーフォビック、ポリポア（株）製）を実施した。

＜製造例１＞
　以下の手順に従って、基材として用いるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）の一方の面に、上記で調製した剥離性樹脂層形成用組成物Ａ－１を塗布した後、延伸することによって製造例１のカバーフィルムを得た。

［ＰＥＴペレットの作製］
　以下に示すように、テレフタル酸及びエチレングリコールを直接反応させて水を留去し、エステル化した後、減圧下で重縮合を行なう直接エステル化法を用いて、連続式の重合装置によりＰＥＴペレットを得た。

（１）エステル化反応
　高純度テレフタル酸４．７トンとエチレングリコール１．８トンを９０分間かけて混合してスラリー形成させ、３８００ｋｇ／ｈの流量で連続的に第一エステル化反応槽に供給した。更に、クエン酸がＴｉ金属に配位したクエン酸キレートチタン錯体（ＶＥＲＴＥＣＡＣ－４２０、ジョンソン・マッセイ社製）のエチレングリコール溶液を連続的に第一エステル化反応槽に供給し、反応槽内温度２５１℃、撹拌下にて平均滞留時間約４．３時間で反応を行なった。このとき、クエン酸キレートチタン錯体は、Ｔｉ添加量が元素換算値で９質量ｐｐｍとなるように連続的に添加した。このとき、得られたオリゴマーの酸価は５００ｅｑ／トンであった。

　得られた生成物を第二エステル化反応槽に移送し、撹拌下、反応槽内温度２５０℃で、平均滞留時間１．２時間で反応させ、酸価が１９０ｅｑ／トンのオリゴマーを得た。第二エステル化反応槽は内部が３ゾーンに仕切られており、第２ゾーンから酢酸マグネシウムのエチレングリコール溶液を、Ｍｇ添加量が元素換算値で７５質量ｐｐｍになるように連続的に供給し、続いて第３ゾーンから、リン酸トリメチルのエチレングリコール溶液を、Ｐ添加量が元素換算値で６５質量ｐｐｍになるように連続的に供給した。

（２）重縮合反応
　上記で得られたエステル化反応生成物を連続的に第一重縮合反応槽に供給し、撹拌下、反応温度２７０℃、反応槽内圧力２０ｔｏｒｒ（２．６７×１０^－３ＭＰａ）で、平均滞留時間約１．８時間で重縮合させた。

　更に、得られた生成物を第二重縮合反応槽に移送し、この反応槽において撹拌下、反応槽内温度２７６℃、反応槽内圧力３．０ｔｏｒｒ（３．９９×１０^－４ＭＰａ）で滞留時間約１．２時間の条件で反応（重縮合）させた。

　次いで、得られた生成物を更に第三重縮合反応槽に移送し、この反応槽では、反応槽内温度２７８℃、反応槽内圧力１．０ｔｏｒｒ（１．３３×１０^－４ＭＰａ）で、滞留時間１．５時間の条件で反応（重縮合）させ、ＰＥＴを得た。

　次に、得られた反応物を、冷水にストランド状に吐出し、直ちにカッティングしてＰＥＴのペレット＜断面：長径約４ｍｍ、短径約２ｍｍ、長さ：約３ｍｍ＞を作製した。

［押出成形］
　上記で作製したＰＥＴのペレットを、含水率５０ｐｐｍ以下に乾燥させた後、直径３０ｍｍの１軸混練押出し機のホッパーに投入し、２８０℃で溶融して押出した。この溶融体（メルト）を、濾過器（孔径３μｍ）を通した後、ダイから２５℃の冷却ロールに押出し、未延伸フィルムを得た。なお、押出されたメルトは、静電印加法を用い冷却ロールに密着させた。

［延伸、塗布］
　上記方法で冷却ロール上に押出し、固化した未延伸フィルムに対し、以下の方法（ａ）～（ｃ）で逐次２軸延伸を施し、厚み１６μｍの基材（ポリエステルフィルム）と、厚み５０ｎｍの剥離性樹脂層と、を有するカバーフィルムを得た。

（ａ）縦延伸
　未延伸フィルムを周速の異なる２対のニップロールの間に通し、縦方向（すなわち、搬送方向）に延伸した。なお、予熱温度を７５℃、延伸温度を９０℃、延伸倍率を３．４倍、延伸速度を１３００％／秒として延伸を実施した。

（ｂ）塗布
　縦延伸したフィルムの一方の面に剥離性樹脂層形成用組成物Ａ－１を、製膜後の厚みが５０ｎｍとなるようにバーコーターで塗布した。

（ｃ）横延伸
　縦延伸と塗布を行ったフィルムに対し、テンターを用いて下記条件にて横延伸した。
－条件－
予熱温度：１１０℃
延伸温度：１２０℃
延伸倍率：４．２倍
延伸速度：５０％／秒

［熱固定、熱緩和］
　続いて、縦延伸及び横延伸を終えた後の延伸フィルムを下記条件で熱固定した。更に、熱固定した後、テンター幅を縮め下記条件で熱緩和した。
－熱工程条件－
熱固定温度：２２７℃
熱固定時間：６秒
－熱緩和条件－
熱緩和温度：１９０℃
熱緩和率：４％

［巻き取り］
　熱固定及び熱緩和の後、両端をトリミングし、端部に幅１０ｍｍで押出し加工（ナーリング）を行なった後、張力４０ｋｇ／ｍで巻き取った。なお、幅は１．５ｍ、巻長は６３００ｍであった。得られたフィルムロールを、製造例１のカバーフィルムとした。
　得られたカバーフィルムの基材は、ヘイズ：０．２であり、１５０℃で３０分加熱した場合の熱収縮率は、ＭＤ（Ｍａｃｈｉｎｅ　Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）：１．０％、ＴＤ（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ　Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）:０．２％であった。断面ＴＥＭ（Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）写真から測定した剥離性樹脂層の膜厚は、５０ｎｍであった。

＜製造例２～７、９～１０、１２～１４＞
　剥離性樹脂層形成用組成物を表３の記載に従って変更した点、及び、塗布時のバーを調整して剥離性樹脂層の製膜後の厚みを表３の記載に従って変更した点以外は、製造例１と同様にして製造例２～７、９～１０、１２～１４のカバーフィルムを得た。

　押し出し時の厚みを調整して、基材（ポリエステルフィルム）の厚みを１２μｍにした以外は、製造例６と同様にして製造例８のカバーフィルムを得た。

＜製造例１１＞
　塗布工程において、縦延伸したフィルムの、剥離性樹脂層形成用組成物Ａ－６を塗布した面とは反対側の面に、製膜後の厚みが６０ｎｍとなるように下記の上塗り層形成用塗布液を更に塗布した点以外は、製造例６と同様にして製造例１１のカバーフィルムを得た。
［上塗り層形成用組成物］
・アクリルポリマー（ＡＳ－５６３Ａ、ダイセルファインケム（株）製、固形分２７．５質量％）：１６．７部
・ノニオン系界面活性剤（ナロアクティーＣＬ９５、三洋化成工業（株）製、固形分１００質量％）：０．０７部
・アニオン系界面活性剤（ラピゾールＡ－９０、日油（株）製、固形分１質量％水希釈）：１１．４４部
・カルナバワックス分散物（セロゾール５２４、中京油脂（株）製、固形分３０質量％）０．７部
・カルボジイミド化合物（カルボジライトＶ－０２－Ｌ２、日清紡（株）製、固形分１０質量％水希釈）：２．０９部
・マット剤（スノーテックスＸＬ、日産化学（株）製、固形分４０質量％）：０．２８部
・水：６９．０部

＜組成物の調製＞
　下記表２の記載に従って、感光性組成物Ｂ－１及び帯電防止層形成用組成物Ｃ－１をそれぞれ調製した。なお、表２における各成分欄の数値は、質量比率を表す。

　表２に記載した略称の詳細を以下に示す。
化合物Ｐ－１：スチレン／メタクリル酸／ジシクロペンタジエニルメタクリレート／メタクリル酸－グリシジルメタクリレート付加物＝４１／２４／１５／２０（モル比）、重量平均分子量１．９万

　帯電防止剤ＡＳ－１は以下のように調製して得た。
　１０００ｍＬのイオン交換水に２０６ｇのスチレンスルホン酸ナトリウムを溶解し、次に、得られた溶液を８０℃にて撹拌しながら、予め１０ｍＬの水に溶解した１．１４ｇの過硫酸アンモニウム酸化剤水溶液を上記溶液に２０分間滴下した後、得られた溶液を１２時間撹拌した。
　得られたポリスチレンスルホン酸ナトリウム含有水溶液に、１０質量％に希釈した硫酸を１０００ｍＬ添加した後、限外ろ過法を用いてポリスチレンスルホン酸含有水溶液の１０００ｍＬ溶液を除去した。残液に２０００ｍＬのイオン交換水を加えた後、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬの溶液を除去した。上記の限外ろ過操作を３回繰り返した。
　更に、得られたろ液に約２０００ｍＬのイオン交換水を添加した後、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬの溶液を除去した。この限外ろ過操作を３回繰り返した。
　得られた溶液中の水を減圧除去して、無色の固形物を得た。得られたポリスチレンスルホン酸についてＧＰＣ（ゲル濾過クロマトグラフィー）カラムを用いたＨＰＬＣ（高速液体クロマトグラフィー）システムを用いて、昭和電工株式会社製プルランを標準物質として重量平均分子量を測定した結果、分子量は３０万であった。
　１４．２ｇの３，４－エチレンジオキシチオフェンと、上記で得られたポリスチレンスルホン酸３６．７ｇを２０００ｍＬのイオン交換水に溶かした溶液と、を２０℃で混合した。これにより得られた混合溶液を２０℃に保ち撹拌を行いながら、２００ｍＬのイオン交換水に溶かした２９．６４ｇの過硫酸アンモニウムと８．０ｇの硫酸第二鉄の酸化触媒溶液とをゆっくりと添加し、３時間撹拌して反応させた。
　得られた反応液に２０００ｍＬのイオン交換水を添加した後、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬ溶液を除去した。この操作を３回繰り返した。
　次に、得られた溶液に、２００ｍＬの１０質量％硫酸水溶液と２０００ｍＬのイオン交換水とを加え、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬの溶液を除去した。残液に２０００ｍＬのイオン交換水を加えた後、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬの溶液を除去した。この操作を３回繰り返した。
　更に、得られた溶液に２０００ｍＬのイオン交換水を加えた後、限外ろ過法を用いて約２０００ｍＬの溶液を除去した。この操作を５回繰り返し、１．２質量％の青色のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの水溶液を得た。
　上記で得たＰＥＤＯＴ（ポリ（３，４－エチレンジオキシチオフェン））／ＰＳＳ（ポリスチレンスルホン酸）の水溶液１００ｇと、１００ｇのメタノールとを混合し、得られた混合液を５０℃で撹拌しながら、２００ｇのメタノールと１２．５ｇのＣ１２、Ｃ１３混合高級アルコールグリシジルエーテルとの混合液を６０分間滴下して、紺色の析出物を得た。この析出物を濾過回収した後、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）に分散させ、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳの１質量％のＭＥＫ分散液（ＡＳ－１）を得た。

＜実施例１～１０、１２、及び比較例１～３＞
　仮支持体であるルミラー１６ＫＳ４０（厚み１６μｍ、東レ株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルム）に、スリット状ノズルを用いて、感光性組成物Ｂ－１を塗布し、次に、１２０℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることにより、仮支持体上に感光性組成物層を形成した。感光性組成物の塗布量は、表３に記載された感光性組成物層の厚みになるように調節した。次に、上記感光性組成物層上に、上記で作製した製造例１～１４のカバーフィルムを圧着した。
　以上の手順により、実施例１～１０、１２、及び、比較例１～３の転写フィルムをそれぞれ作製した。上記転写フィルムは、仮支持体、感光性組成物層、及び、カバーフィルムをこの順に有していた。

＜実施例１１＞
　仮支持体であるルミラー１６ＫＳ４０（厚み１６μｍ、東レ株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルム）に、帯電防止層形成用組成物Ｃ－１をスリット状ノズルを用いて乾燥後の厚みが０．２μｍとなるように塗布し、次に、８０℃で２分間乾燥することにより、帯電防止層を形成した。
　上記帯電防止層の上に、感光性組成物Ｂ－１をスリット状ノズルを用いて乾燥後の厚みが８．０μｍとなるように塗布し、次に、１２０℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることにより、感光性組成物層を作製した。更に、上記感光性組成物層の上に、上記で作製した製造例７のカバーフィルムを圧着することにより、実施例１１の転写フィルムを作製した。上記転写フィルムは、仮支持体、帯電防止層、感光性層、及び、カバーフィルムをこの順に有していた。

＜表面自由エネルギーの測定＞
　下記の剥離条件にて実施例１～１２及び比較例１～３の転写フィルムからカバーフィルムを剥離し、カバーフィルム中の露出した剥離性樹脂層側を測定面として水及びヨウ化メチレンの接触角を測定した。なお、比較例のようにカバーフィルムに感光性組成物層が付着して剥離性樹脂層が露出しない場合は、カバーフィルムに付着した感光性組成物層を更にガラス（Ｅａｇｌｅ　ＸＧ、厚み０．７ｍｍ、コーニング社製）にラミネートして、カバーフィルム、剥離性樹脂層、付着した感光性組成物層、及び、ガラスからなる積層体を形成した後、カバーフィルムを再度剥離して剥離性樹脂層を露出させ、測定した。
　具体的には、接触角計（協和界面科学社製、ＤＲＯＰＭＡＳＴＥＲ－５０１）を用い、２５℃、相対湿度５５％の温湿度条件下で、測定面に精製水又はヨウ化メチレン２μＬを着滴してから７秒後の接触角を液滴法にて測定した。
　得られた水及びヨウ化メチレンの接触角を元に、上述したＯｗｅｎｓの方法を用いて連立方程式を解き、表面自由エネルギーの分散力成分（γ^ｄ）と水素結合成分（γ^ｈ）を評価した。

＜表面粗さＲａの測定＞
　下記の剥離条件にて実施例１～１２及び比較例１～３の転写フィルムからカバーフィルムを剥離し、露出した剥離性樹脂層側を測定面として表面粗さＲａを測定した。なお、比較例のようにカバーフィルムに感光性組成物層が付着して剥離性樹脂層が露出しない場合は、カバーフィルムに付着した感光性組成物層を更にガラス（Ｅａｇｌｅ　ＸＧ、厚み０．７ｍｍ、コーニング社製）にラミネートして、カバーフィルム、剥離性樹脂層、付着した感光性組成物層、及び、ガラスからなる積層体を形成した後、カバーフィルムを再度剥離して剥離性樹脂層を露出させ、測定した。
　具体的には、３次元光学プロファイラー（Ｎｅｗ　Ｖｉｅｗ７３００、Ｚｙｇｏ社製）を用いて、以下の条件にて、カバーフィルムの剥離性樹脂層側の表面プロファイルを得た。なお、測定・解析ソフトにはＭｅｔｒｏＰｒｏ　ｖｅｒ８．３．２のＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎを用いた。次に、上記解析ソフト（ＭｅｔｒｏＰｒｏ　ｖｅｒ８．３．２－Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ）にてＳｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面を表示し、Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｍａｐ画面中でヒストグラムデータを得た。得られたヒストグラムデータから、算術平均粗さを算出し、表面粗さＲａ値とした。
［測定条件］
　対物レンズ：５０倍
　Ｚｏｏｍ：０．５倍
　測定領域：１．００ｍｍ×１．００ｍｍ
［解析条件］
　Ｒｅｍｏｖｅｄ：ｐｌａｎｅ
　Ｆｉｌｔｅｒ：ｏｆｆ
　ＦｉｌｔｅｒＴｙｐｅ：ａｖｅｒａｇｅ
　Ｒｅｍｏｖｅ　ｓｐｉｋｅｓ：ｏｎ
　Ｓｐｉｋｅ　Ｈｅｉｇｈｔ（ｘＲＭＳ）：７．５

＜初期剥離性（カバーフィルムの初期剥離性評価）＞
　実施例及び比較例の各転写フィルムについて、後述する［剥離条件］にて、カバーフィルムを剥離した後、下記基準に従って、カバーフィルムの剥離性について評価した。評価結果を表２に示す。なお、Ｄまでが実用範囲である。

［基準］
　Ａ：剥離したカバーフィルムの全面に感光性組成物層が付着しない。
　Ｂ：剥離したカバーフィルムの面積の３０％以下に感光性組成物層が付着する。
　Ｃ：剥離したカバーフィルムの面積の３０％を超えて５０％以下に感光性組成物層が付着する。
　Ｄ：剥離したカバーフィルムの面積の５０％を超えて８０％以下に感光性組成物層が付着する。
　Ｅ：剥離したカバーフィルムの面積の８０％を超えて感光性組成物層が付着する。

［剥離条件］
　転写フィルムを、幅４．５ｃｍ×長さ９ｃｍに切り抜き、仮支持体をガラス板上に両面粘着テープで貼り合わせた。貼り合わされた転写フィルムに、幅４．５ｃｍ×長さ１５ｃｍに切りぬいた粘着テープを、粘着テープの幅方向と転写フィルムの幅方向を合わせ、幅方向には粘着テープがはみ出さず、長さ方向に前後３ｃｍずつ粘着テープがはみ出すように、転写フィルムのカバーフィルム側に貼り合せた。テープの一方の端部を把持し、引張試験機を用いて５００ｍｍ／ｍｉｎの剥離速度で１８０°剥離を行った。ここで、粘着テープ及び両面粘着テープは、ＪＩＳ　Ｚ　０１０９：２０１５に記載のものを使用し、引張試験機は、ＪＩＳ　Ｂ　７７２１：２００９に規定する引張試験機（試験機の等級１：相対指示誤差±１．０％）又はこれと同等の引張試験機を使用した。

＜耐久後剥離性（カバーフィルムの耐久剥離性評価）＞
　実施例及び比較例の各転写フィルムについて、温度５０℃、湿度１０％ＲＨの環境下にて７日間保管した後、上記［剥離条件］にて、カバーフィルムを剥離した。下記基準に従って、カバーフィルムの剥離性について評価した。評価結果を表３に示す。なお、Ｄまでが実用範囲である。

＜透明導電フィルムの作製＞
［銀ナノワイヤーの直径及び長軸長さの測定］
　透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ；日本電子（株）製、ＪＥＭ－２０００ＦＸ）を用い、３００個の銀ナノワイヤーを観察して、各銀ナノワイヤーの直径及び長軸長さを測定した。３００個の測定値を算術平均することで、銀ナノワイヤーの直径及び長軸長さを算出した。

［銀ナノワイヤー層形成用塗布液の調製］
（添加液Ａの調製）
　硝酸銀粉末０．５１ｇを純水５０ｍＬに溶解した。得られた溶液に、１ｍｏｌ／Ｌのアンモニア水を液が透明になるまで添加した。その後、得られた溶液に、溶液の全量が１００ｍＬになるように純水を添加して、添加液Ａを調製した。

（添加液Ｇの調製）
　グルコース粉末０．５ｇを１４０ｍＬの純水で溶解して、添加液Ｇを調製した。

（添加液Ｈの調製）
　ＨＴＡＢ（ヘキサデシル－トリメチルアンモニウムブロミド）粉末０．５ｇを２７．５ｍＬの純水で溶解して、添加液Ｈを調製した。

（銀ナノワイヤー層形成用塗布液の調製）
　三口フラスコ内に純水（４１０ｍＬ）を添加した後、２０℃にて撹拌しながら、添加液Ｈ（８２．５ｍＬ）、及び、添加液Ｇ（２０６ｍＬ）をロートにて添加した。得られた溶液に、添加液Ａ（２０６ｍＬ）を、流量２．０ｍＬ／分、撹拌回転数８００ｒｐｍ（ｒｅｖｏｌｕｔｉｏｎｓ　ｐｅｒ　ｍｉｎｕｔｅ。以下同じ。）で添加した。１０分後、得られた溶液に、添加液Ｈを８２．５ｍＬ添加した。その後、得られた溶液を、３℃／分で内温７５℃まで昇温した。その後、撹拌回転数を２００ｒｐｍに落とし、５時間加熱した。得られた溶液を冷却した後、ステンレスカップに入れ、限外濾過モジュールＳＩＰ１０１３（旭化成（株）製、分画分子量６，０００）、マグネットポンプ、及び、ステンレスカップをシリコンチューブで接続した限外濾過装置を用いて限外濾過を行った。モジュールからの濾液が５０ｍＬになった時点で、ステンレスカップに９５０ｍＬの蒸留水を加え、洗浄を行った。上記の洗浄を１０回繰り返した後、液の量が５０ｍＬになるまで濃縮を行った。なお、添加液Ａ、添加液Ｇ、及び、添加液Ｈについて、上記の方法で繰り返し作製し、銀ナノワイヤー層形成用塗布液の調製に用いた。
　得られた濃縮液を、純水及びメタノール（純水及びメタノールの体積比率：６０／４０）で希釈することによって、銀ナノワイヤー層形成用塗布液を得た。

　次に、銀ナノワイヤー層形成用塗布液を、シクロオレフィンポリマーフィルムに塗布して、透明導電フィルムを作製した。銀ナノワイヤー層形成用塗布液の塗布量は、ウェット膜厚が２０μｍとなる量とした。乾燥後の銀ナノワイヤー層の層厚は３０ｎｍであり、銀ナノワイヤーを含む層のシート抵抗は、６０Ω／□であった。シート抵抗の測定には、非接触式の渦電流方式の抵抗測定器ＥＣ－８０Ｐ（ナプソン（株）製）を用いた。また、銀ナノワイヤーの直径は１７ｎｍ、長軸長さは３５μｍであった。

＜感光性組成物層のパターニング性の評価＞
　実施例の各転写フィルムについて、上記剥離条件にてカバーフィルムを剥離した後、露出した感光性組成物層の表面をＩＴＯ基材（ＩＴＯ層を有する基板）に貼り合わせることにより、仮支持体／感光性組成物層／ＩＴＯ基材の積層構造を有する構造体をそれぞれ得た。ラミネート条件は、ロール温度：１１０℃、線圧：０．６ＭＰａ、線速度（ラミネート速度）：２．０ｍ／分とした。上記各構造体に対して、仮支持体を剥離せずに、Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターンを有するマスクを介して、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）を用い、露光量６０ｍＪ／ｃｍ^２（ｉ線）で露光した。露光後、１時間放置してから、上記各構造体の仮支持体を剥離した後、炭酸ナトリウム１質量％水溶液（液温３０℃）を用いて４５秒間現像することにより、非露光部における感光性組成物層を現像除去した。更に、エアを吹きかけて水分を除去した。
　同様に、作製した銀ナノワイヤー層を有する透明導電フィルムの銀ナノワイヤー層側に感光性組成物層をラミネートし、パターニング性を評価した。
　上記現像後の全ての実施例において、ＩＴＯ基材と銀ナノワイヤー層を有する透明導電フィルムのいずれの基材でも、Ｌ／Ｓ＝１００μｍ／１００μｍのパターンが形成できることを確認した。

＜気泡＞
　実施例及び比較例の各転写フィルムについて、カバーフィルムを剥離せず、蛍光灯の照明下で目視観察し、直径１００μｍ以上の泡を抽出した。転写フィルムの１ｍ^２の面積を３回観察し、平均して転写フィルムの１ｍ^２当たりの気泡の数を算出し、下記の基準で評価した。評価結果を表３に示す。気泡はＢ以上であることが好ましく、Ａであることがより好ましい。

Ａ：１．０個／ｍ^２未満
Ｂ：１．０個／ｍ^２以上、１０．０個／ｍ^２未満
Ｃ：１０．０個／ｍ^２以上

　表３中、「剥離性樹脂層の表面自由エネルギー（ｍＮ／ｍ）」欄中の「合計」は、剥離性樹脂層の表面自由エネルギー（ｍＮ／ｍ）を表す。
　表３中、「剥離性樹脂層の表面自由エネルギー（ｍＮ／ｍ）」欄中の「γ^ｄ＋γ^ｈ×１０」は、上述した式（１）の左辺（γ^ｄ＋γ^ｈ×１０）を表す。
　表３中、「表面粗さ」欄は、剥離性樹脂層の感光性組成物層側の表面の表面粗さを表す。

　表３に示すように、本発明の転写フィルムであれば、所望の効果が得られることが確認された。
　なかでも、実施例１～５の比較からわかるように、式（１）の関係を満たす場合（好ましくは、式（２）の関係を満たす場合）、耐久後剥離性がより向上することが確認された。
　また、実施例１～３との比較より、水素結合成分が３．０ｍＮ／ｍ以下の場合（好ましくは、２．０ｍＮ／ｍ以下の場合）、初期剥離性がより優れることが確認された。
　また、実施例７、９及び１０の比較より、剥離性樹脂層の厚みが２０ｎｍ以上の場合、初期剥離性がより優れることが確認された。

　　１０　　転写フィルム
　　１２　　仮支持体
　　１４　　感光性組成物層
　　１６　　カバーフィルム
　　１８　　剥離性樹脂層
　　２０　　基材

Claims

　仮支持体と、感光性組成物層と、カバーフィルムとをこの順に有し、
　前記カバーフィルムは、前記感光性組成物層側から、剥離性樹脂層と、基材とをこの順に有し、
　前記剥離性樹脂層の前記感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分が４．０ｍＮ／ｍ以下である、転写フィルム。
　前記剥離性樹脂層の厚みが１０～５００ｎｍである、請求項１に記載の転写フィルム。
　前記剥離性樹脂層の前記感光性組成物層側の表面の表面表さＲａが５０ｎｍ以下である、請求項１又は２に記載の転写フィルム。
　前記剥離性樹脂層が、樹脂及び界面活性剤を含む、請求項１～３のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記樹脂が、オレフィン系樹脂を含む、請求項４に記載の転写フィルム。
　前記基材がポリエステル樹脂を含む、請求項１～５のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記剥離性樹脂層の前記感光性組成物層側の表面の表面自由エネルギーの水素結合成分と分散力成分とが式（１）の関係を満たす、請求項１～６のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　式（１）　　γ^ｄ＋１０×γ^ｈ≦４２．０ｍＮ/ｍ
　γ^ｄは前記表面自由エネルギーの分散力成分を表し、γ^ｈは前記表面自由エネルギーの水素結合成分を表す。
　前記感光性組成物層が、重合性化合物、アルカリ可溶性樹脂、及び、重合開始剤を含む、請求項１～７のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　前記感光性組成物層が、タッチパネル電極保護膜形成に用いられる、請求項１～８のいずれか１項に記載の転写フィルム。
　請求項１～９のいずれか１項に記載の転写フィルムから前記カバーフィルムを剥離して前記仮支持体上の前記感光性組成物層を、導電層を有する基板に接触させて貼り合わせ、感光性組成物層付き基板を得る貼合工程と、
　前記感光性組成物層をパターン露光する露光工程と、
　露光された前記感光性組成物層を現像して、パターンを形成する現像工程と、を有し、
　更に、前記貼合工程と前記露光工程との間、又は、前記露光工程と前記現像工程との間に、前記感光性組成物層付き基板から前記仮支持体を剥離する剥離工程と、を有する、積層体の製造方法。