WO2023042737A1

WO2023042737A1 - 積層体、積層体の製造方法

Info

Publication number: WO2023042737A1
Application number: PCT/JP2022/033671
Authority: WO
Inventors: 慎一漢那; 啓吾植木
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2021-09-16
Filing date: 2022-09-08
Publication date: 2023-03-23
Also published as: US20240230952A1; JPWO2023042737A1; CN117916082A

Abstract

本発明は、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンの腐食を抑制できる積層体、及び、積層体の製造方法を提供する。本発明の積層体は、誘電体フィルムと、誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる、金属パターンと、金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜と、を有する。

Description

積層体、積層体の製造方法

　本発明は、積層体、及び、積層体の製造方法に関する。

　メタマテリアルは、電磁波の波長よりも小さな微細構造体の集合体を人工的に配列させ、それらの微細構造体の集合体が示す特徴的な光学応答を利用することにより、実効的な屈折率変化を誘起できる。このようなメタマテリアルを、ミクロンオーダーの厚みのフィルム上で構成できれば、テラヘルツ波（周波数が０．１～１０ＴＨｚ（波長が３０～３０００μｍ）の電磁波）用の光学素子に適用できる。

　特許文献１においては、フィルム状の誘電体基板と、誘電体基板の一面に形成された金属製の第１カットワイヤーから構成された第１ワイヤーアレーと、誘電体基板の他面に形成された金属製の第２カットワイヤーから構成された第２ワイヤーアレーとを含むシート型メタマテリアルが提案されている。

特開２０１７－１５７９７５号公報

　本発明者らは、特許文献１に記載のシート型メタマテリアルの特性について検討したところ、誘電体基板上に配置されたワイヤーアレーを構成する金属製のカットワイヤーにおいて腐食が生じやすいことを知見した。このような腐食が生じると、実効的な屈折率に変化が生じ、結果として、メタマテリアルとしての機能が劣化する場合があった。

　本発明は、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンの腐食を抑制できる、積層体を提供することを課題とする。
　また、本発明は、積層体の製造方法を提供することも課題とする。

　本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。

（１）　誘電体フィルムと、
　誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる、金属パターンと、
　金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜と、を有する、積層体。
（２）　有機膜が、複素環化合物を含む、（１）に記載の積層体。
（３）　有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、（１）又は（２）に記載の積層体。
（４）　有機膜が硬化性組成物を用いて形成され、
　硬化性組成物がブロックイソシアネートを含む、（１）～（３）のいずれかに記載の積層体。
（５）　誘電体フィルムと、
　誘電体フィルムの一方の表面側に配置された、複数の第１金属構造体から構成された第１金属パターンと、
　第１金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である第１有機膜と、
　誘電体フィルムの他方の表面側に配置された、複数の第２金属構造体から構成された第２金属パターンと、
　第２金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である第２有機膜と、を有し、
　第１金属パターンと第２金属パターンとが、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する、積層体。
（６）　積層体を平面視した際に、第１金属パターンに含まれる第１金属構造体と、第２金属パターンに含まれる第２金属構造体とが、少なくとも一部重複するように配置されている、（５）に記載の積層体。
（７）　第１有機膜及び第２有機膜が、複素環化合物を含む、（５）又は（６）に記載の積層体。
（８）　第１有機膜及び第２有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、（５）～（７）のいずれかに記載の積層体。
（９）　第１有機膜及び第２有機膜が硬化性組成物を用いて形成され、
　硬化性組成物がブロックイソシアネートを含む、（５）～（８）のいずれかに記載の積層体。
（１０）　（１）～（９）のいずれかに記載の積層体を含む、光学素子。
（１１）　誘電体フィルム、及び、誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンを含む金属パターン付きフィルムと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、誘電体フィルム、金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ａと、
　硬化性組成物層に硬化処理を施して、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜を得る工程２Ａと、を、有し、
　工程１Ａと工程２Ａとの間、又は、工程２Ａの後に、仮支持体を剥離する工程を更に有する、積層体の製造方法。
（１２）　有機膜が、複素環化合物を含む、（１１）に記載の積層体の製造方法。
（１３）　有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、（１１）又は（１２）に記載の積層体の製造方法。
（１４）　硬化性組成物層がブロックイソシアネートを含む、（１１）～（１３）のいずれかに記載の積層体の製造方法。
（１５）　誘電体フィルムと、誘電体フィルムの一方の表面側に配置された、複数の第１金属構造体から構成された第１金属パターンと、誘電体フィルムの他方の表面側に配置された、複数の第２金属構造体から構成された第２金属パターンとを含み、第１金属パターンと第２金属パターンとがテラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する金属パターン付きフィルムと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、仮支持体、硬化性組成物層、第１金属パターン、誘電体フィルム、第２金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ｂと、
　硬化性組成物層に硬化処理を施して、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜を得る工程２Ｂと、を、有し、
　工程１Ｂと工程２Ｂとの間、又は、工程２Ｂの後に、仮支持体を剥離する工程３Ｂを更に有する、積層体の製造方法。
（１６）　金属パターン付きフィルムを平面視した際に、第１金属パターンに含まれる第１金属構造体と、第２金属パターンに含まれる第２金属構造体とが、少なくとも一部重複するように配置されている、（１５）に記載の積層体の製造方法。
（１７）　有機膜が、複素環化合物を含む、（１５）又は（１６）に記載の積層体の製造方法。
（１８）　有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、（１５）～（１７）のいずれかに記載の積層体の製造方法。
（１９）　硬化性組成物層がブロックイソシアネートを含む、（１５）～（１８）のいずれかに記載の積層体の製造方法。

　本発明によれば、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンの腐食を抑制できる、積層体を提供することを課題とする。
　また、本発明によれば、積層体の製造方法を提供することも課題とする。

本発明の積層体の第１実施態様の層構成の一例を示す概略図である。金属構造体の一例を示す概略図である。本発明の積層体の第２実施態様の層構成の一例を示す概略図である。実施例で用いるフォトマスクを示す概略図である。

　以下、本発明について詳細に説明する。
　以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされる場合があるが、本発明はそのような実施態様に制限されない。

　以下、本明細書における各記載の意味を表す。
　本明細書において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
　本明細書において、段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。

　本明細書において、「工程」の用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば本用語に含まれる。

　本明細書において、特段の断りのない限り、重量平均分子量（Ｍｗ）及び数平均分子量（Ｍｎ）は、カラムとして、ＴＳＫｇｅｌ　ＧＭＨｘＬ、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ４０００ＨｘＬ、又は、ＴＳＫｇｅｌ　Ｇ２０００ＨｘＬ（いずれも東ソー株式会社製の商品名）、溶離液としてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、検出器として示差屈折計、及び、標準物質としてポリスチレンを使用し、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）分析装置により測定した標準物質のポリスチレンを用いて換算した値である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、分子量分布がある化合物の分子量は、重量平均分子量（Ｍｗ）である。
　本明細書において、特段の断りがない限り、色相は、色差計（ＣＲ－２２１、ミノルタ株式会社製）を用いて測定した値である。

　本明細書において、「（メタ）アクリル」は、アクリル及びメタクリルの両方を包含する概念であり、「（メタ）アクリロキシ基」は、アクリロキシ基及びメタアクリロキシ基の両方を包含する概念である。

　なお、本明細書において、「アルカリ可溶性」とは、２２℃において炭酸ナトリウムの１質量％水溶液１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。

　本明細書において「水溶性」とは、液温が２２℃であるｐＨ７．０の水１００ｇへの溶解度が０．１ｇ以上であることを意味する。従って、例えば、水溶性樹脂とは、上述の溶解度条件を満たす樹脂を意図する。

　本明細書において、組成物の「固形分」とは、組成物を用いて形成される組成物層を形成する成分を意味し、組成物が溶剤（有機溶剤、水等）を含む場合、溶剤を除いたすべての成分を意味する。また、組成物層を形成する成分であれば、液体状の成分も固形分とみなす。

　本発明の積層体の特徴点としては、所定の透湿度を示す有機膜を使用している点が挙げられる。
　本発明者らは、メタマテリアルとしての機能を生じさせる複数の金属構造体からなる金属パターンの腐食が生じることを初めて見出し、その腐食を抑制するために所定の透湿度の有機膜を用いることにより、金属パターンの腐食を抑制できることを見出している。

＜＜第１実施態様＞＞
　本発明の積層体の第１実施態様について図面を用いて説明する。
　図１に示す積層体１０Ａは、誘電体フィルム１２と、金属パターン１４と、有機膜１６とをこの順で有する。なお、図１においては、金属パターン１４は、複数の金属構造体１８から構成される。
　後段で詳述するように、金属パターン１４を構成する複数の金属構造体１８は、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器として機能し得る。
　以下、積層体を構成する各部材について詳述する。

＜誘電体フィルム＞
　誘電体フィルムとしては、公知の誘電体フィルムを用いることができる。
　誘電体フィルムとしては、直流電圧に対して電気を通さない絶縁体であることが好ましい。
　誘電体フィルムを構成する材料は特に制限されないが、取り扱い性等の点から、樹脂が好ましい。つまり、誘電体フィルムとしては、誘電体樹脂フィルムが好ましい。
　誘電体樹脂フィルムを構成する樹脂としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）及びポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル類、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）及びシクロオレフィンコポリマー（ＣＯＣ）等のポリオレフィン類、ビニル系樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、並びに、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が挙げられる。なかでも、シクロオレフィンポリマー、又は、シクロオレフィンコポリマーが好ましい。

　シクロオレフィンポリマーとしては、特許第４９９１１７０号の段落００５２～００７１に記載のシクロオレフィンポリマーが挙げられる。

　誘電体フィルムの厚みは特に制限されないが、５～１００μｍが好ましく、１０～８０μｍがより好ましく、１５～５０μｍが更に好ましい。
　誘電体フィルムの厚みが５μｍ以上であると取り扱い性に優れ、１００μｍ以下であると金属パターンのメタマテリアルとしての機能がより発揮されやすい。
　また、誘電体フィルムの厚みの面内方向のバラツキは、１μｍ以内であることが好ましい。

　誘電体フィルムのテラヘルツ波に対する透過率は特に制限されないが、７５％以上が好ましく、８５％以上がより好ましく、９５％以上が更に好ましい。

　誘電体フィルムは、単層構造であっても、複層構造であってもよい。

＜金属パターン＞
　金属パターンは、テラヘルツ帯の電磁波（周波数が０．１～１０ＴＨｚ（波長が３０～３０００μｍ）の電磁波）に対して共振器となる。より具体的には、金属パターンは複数の金属構造体からなり、金属構造体がテラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる。
　金属構造体の形状やサイズは特に制限されないが、積層体にテラヘルツ帯の電磁波が入射すると、入射した電磁波の電界や磁界との相互作用によって、金属構造体内又は隣接する金属構造体間において電荷の偏りや電流が発生し、誘電的又は磁性的な応答変化を誘起するような形状で、入射する電磁波の波長のサイズ以下であることが好ましい。このような金属パターンは、いわゆるメタマテリアルとして機能し得る。

　金属構造体の形状は特に制限されず、Ｃ型、Ｕ型、２重リング型、Ｖ型、Ｌ型、格子型、螺旋型、方形状、円形状、十字形状等の形状が挙げられる。より具体的には、例えば、図２においては、誘電体フィルム１２上に、Ｃ型の金属構造体１８Ａが複数配置された態様が例示される。

　金属構造体を構成する金属の種類は特に制限されず、金、銀、プラチナ、銅、アルミニウム、又は、これらのひとつ以上を含む合金が好ましく、銀又は銅がより好ましい。

　金属構造体の大きさは、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振すれば特に制限されないが、金属構造体の最大長さは、１～３０００μｍが好ましく、５～１０００μｍがより好ましい。
　上記金属構造体の最大長さとは、金属構造体の一端から他端まで直線を引いた際に最も長くなる長さである。

　誘電体フィルム上における金属構造体の配置位置は特に制限されず、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振する配置であれば特に制限されない。
　また、積層体をテラヘルツ帯の電磁波に対するシート型コリメートレンズとして適用する際には、誘電体フィルムの面内方向において、テラヘルツ帯の電磁波に対して、２倍以上の屈折率差が生じるような屈折率分布が生じるように、金属構造体を配置することが好ましい。
　また、積層体の中心から外側の領域にいくに従って、テラヘルツ帯の電磁波の位相シフト量が連続的に増大又は減少するような周期構造を形成するように、金属構造体を誘電体フィルム上に配置してもよい。このように金属構造体を配置する際には、積層体の中心から同心円状に配列された３つ以上の領域に分けて、金属構造体を配置してもよい。その際、各同心円状の直径の変化幅は、１０～２００μｍであることが好ましい。

　図１においては、誘電体フィルムの一方の表面側のみに金属パターンが配置された態様を示したが、本発明はこの態様に限定されず、誘電体フィルムの両面に金属パターンが配置されていてもよい。

＜有機膜＞
　有機膜は、上述した金属パターンの腐食を防止するための役割を有する。有機膜は、金属パターンを覆うように、金属パターン上に配置される。
　有機膜は、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度（水蒸気透過率）が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である膜である。
　上記透湿度は、金属パターンの腐食がより抑制される点（以下、単に「本発明の効果がより優れる点」ともいう。）で、２０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下が好ましく、１０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、１５０ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以上の場合が多く、２５０ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以上の場合がより多い。
　上記透湿度の測定方法は、以下の通りである。
　有機膜を５層積層させた測定サンプルを用意し、測定条件：温度４０℃、相対湿度９０％にて、測定サンプルを２４時間静置した後、その測定条件にてＪＩＳ　Ｚ　０２０８記載の方法により、透湿度の測定を行う。得られた測定値を５倍にして、１層あたりの透湿度を算出する。
　上記操作を５つの測定サンプルに対して実施して、５つの１層あたりの透湿度の値を求め、これらの数値を算術平均して、本発明の透湿度とする。
　なお、上記有機膜を５層積層させた測定サンプルの作製方法としては、例えば、後述する実施例にて記載するように、有機膜となり得る硬化性組成物層を含む転写フィルムを用いて、硬化性組成物層を５回ラミネートして、得られた積層体に対して硬化処理を施して、有機膜が５層積層された測定サンプルを作製する方法が挙げられる。

　有機膜の厚みは特に制限されず、電磁波の透過特性を損なわない点で、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下が更に好ましい。下限は特に制限されないが、０．５μｍ以上の場合が多い。

　有機膜に含まれる材料は特に制限されないが、ポリマーを含むことが好ましい。
　ポリマーとしては、例えば、飽和又は不飽和のポリエステル樹脂、（メタ）アクリル樹脂、アクリルウレタン樹脂、ポリエステルアクリレート樹脂、ポリウレタンアクリレート樹脂、エポキシアクリレート樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ポリカーボネート樹脂、セルロース樹脂、アセタール樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、及び、シリコーン樹脂が挙げられる。

　有機膜に含まれていてもよいポリマーとしては、後述する硬化性組成物層に含まれていてもよいバインダーポリマー、及び、後段で詳述する重合性化合物の重合体も挙げられ、詳細は後段で記載する。
　なお、有機膜が後述する硬化性組成物層を用いて形成される際に、硬化性組成物層に含まれるポリマーが反応性基を含む場合、ポリマーの反応物が有機膜に含まれることになる。

　有機膜に含まれるポリマーは酸基を有していてもいなくてもよいが、ポリマーが酸基を有する場合、ポリマーの酸価は特に制限されず、１０００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましい。ポリマーが酸基を有する場合、下限は特に制限されない、０ｍｇＫＯＨ／ｇ超の場合が多い。
　なお、ポリマーの酸価は、ＪＩＳ　Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。

　有機膜がポリマーを含む場合、ポリマーの含有量は、有機膜の全質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、３０～７０質量％が更に好ましい。

　有機膜は、複素環化合物を含むことが好ましい。有機膜が複素環化合物を含むことにより、金属パターンの腐食がより防止される。
　有機膜に含まれていてもよい複素環化合物としては、後述する硬化性組成物層に含まれていてもよい複素環化合物が挙げられ、詳細は後段で記載する。
　有機膜は、１種単独の複素環化合物を含んでいてもよく、２種以上の複素環化合物を含んでいてもよい。

　有機膜が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、有機膜の全質量に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．１～１０質量％がより好ましい。

　有機膜は、上述したポリマー及び複素環化合物以外の他の成分（例えば、界面活性剤等）を含んでいてもよい。

（他の層）
　上記積層体は、誘電体フィルム、金属パターン、及び、有機膜以外の他の構成を含んでいてもよい。
　また、有機膜上には、更に金属パターン及び有機膜が繰り返し積層されていてもよい。

＜積層体の製造方法＞
　上述した積層体の製造方法は特に制限されず、公知の方法により製造できる。
　例えば、誘電体フィルム、及び、誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンを含む金属パターン付きフィルム（以下、単に「金属パターン付きフィルムＡ」ともいう。）の金属パターン上に所定の有機膜を貼合する方法、金属パターン付きフィルムＡ上に硬化性組成物を塗布して、必要に応じて硬化処理を実施して、有機膜を形成する方法、並びに、仮支持体及び所定の成分を含む硬化性組成物層を含む転写フィルムを用いる方法が挙げられる。
　転写フィルムを用いる方法としては、金属パターン付きフィルムＡと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、誘電体フィルム、金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ａと、硬化性組成物層に硬化処理を施して、上述した有機膜を得る工程２Ａとを有し、工程１Ａと工程２Ａとの間、又は、工程２Ａの後に、仮支持体を剥離する工程３Ａを更に有する方法が好ましい。
　以下、転写フィルムを用いる方法について詳述する。なお、転写フィルムの構成自体に関しては、後段で詳述する。

（金属パターン付きフィルムＡ）
　転写フィルムを用いる方法においては、誘電体フィルム、及び、誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンを含む金属パターン付きフィルムＡが用いられる。
　金属パターン付きフィルムＡに含まれる金属パターンの構成は、上述した積層体中の金属パターンの構成と同様である。
　上記金属パターン付きフィルムＡの製造方法は特に制限されず、誘電体フィルム上に金属層を形成して、金属層上に所定のレジストパターンを配置して、レジストパターンで覆われていない金属層をエッチング除去し、レジストパターンを剥離することにより、金属パターン付きフィルムを製造できる。

（工程１Ａ）
　工程１Ａは、金属パターン付きフィルムＡと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、誘電体フィルム、金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程である。

　本工程では、転写フィルムの仮支持体上の露出した硬化性組成物層を、金属パターン付きフィルムＡに接触させて貼り合わせる。この貼合によって、金属パターン付きフィルムＡ上に、硬化性組成物層及び仮支持体が配置される。
　上記貼合においては、上記金属パターンと上記硬化性組成物層の表面と、が接触するように圧着させることが好ましい。
　上記圧着の方法としては特に制限はなく、公知の転写方法、及び、ラミネート方法を用いることができる。なかでも、硬化性組成物層の表面を、金属パターンを有する誘電体フィルムに重ね、ロール等による加圧及び加熱することに行われることが好ましい。
　貼り合せには、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターを使用できる。

（工程２Ａ）
　工程２Ａは、硬化性組成物層に硬化処理を施して、有機膜を得る工程である。
　硬化処理としては、使用される硬化性組成物に応じて適宜選択され、硬化性組成物が熱硬化性組成物である場合には加熱処理が選択され、硬化性組成物が光硬化性組成物である場合には露光処理が挙げられる。また、露光処理と加熱処理とを順次又は同時に実施してもよい。
　加熱処理の条件は特に制限されず、加熱温度としては１００～２００℃が好ましく、１１０～１８０℃がより好ましく、１２０～１７０℃が更に好ましい。加熱時間としては、０．０５～５時間が好ましく、０．０８～３時間がより好ましく、０．１～１時間が更に好ましい。

　露光処理は、パターン状に露光する形態であってもよい。パターン露光を行う場合、必要に応じて、現像処理を実施してもよい。
　露光の光源としては、少なくとも硬化性組成物を硬化し得る波長域の光（例えば、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍ）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。なかでも、露光の露光光の主波長は、３６５ｎｍが好ましい。なお、主波長とは、最も強度が高い波長である。

　光源としては、例えば、各種レーザー、発光ダイオード（ＬＥＤ）、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、及び、メタルハライドランプが挙げられる。
　露光量は、５～２００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、１０～２００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。

　露光に使用する光源、露光量及び露光方法の好ましい態様としては、例えば、国際公開第２０１８／１５５１９３号の段落［０１４６］～［０１４７］に記載があり、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

（工程３Ａ）
　工程３Ａは、工程１Ａと工程２Ａとの間、又は、工程２Ａの後に、仮支持体を剥離する工程である。
　剥離方法は特に制限されず、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構と同様の機構を用いることができる。

（その他の工程）
　硬化工程においてパターン露光がなされた際に、必要に応じて、現像工程を実施してもよい。現像工程は、露光された硬化性組成物層を現像して、パターンを形成する工程である。
　上記硬化性組成物層の現像は、現像液を用いて行うことができる。
　現像液として、アルカリ性水溶液が好ましい。アルカリ性水溶液に含まれ得るアルカリ性化合物としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、及び、コリン（２－ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド）が挙げられる。

　現像の方式としては、例えば、パドル現像、シャワー現像、スピン現像、及び、ディップ現像等の方式が挙げられる。

　本開示において好適に用いられる現像液としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９４］に記載の現像液が挙げられ、好適に用いられる現像方式としては、例えば、国際公開第２０１５／０９３２７１号の段落［０１９５］に記載の現像方式が挙げられる。

　上記手順によって形成されるパターン（硬化性組成物層の硬化膜）は無彩色であることが好ましい。具体的には、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系において、パターンのａ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましく、パターンのｂ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましい。

　上記現像工程によって得られたパターンを、露光する工程（ポスト露光工程）及び／又は加熱する工程（ポストベーク工程）を有していてもよい。
　ポスト露光工程及びポストベーク工程の両方を含む場合、ポスト露光の後、ポストベークを実施することが好ましい。

（転写フィルム）
　転写フィルムは、仮支持体と、仮支持体上に配置された硬化性組成物層とを有する。この硬化性組成物層を硬化させることにより、上述した有機膜が形成される。
　以下では、まず、転写フィルムの構成について詳述する。

（仮支持体）
　仮支持体は、後述する硬化性組成物層を支持する部材であり、最終的には剥離処理により除去される。
　仮支持体は、フィルムであることが好ましく、樹脂フィルムであることがより好ましい。仮支持体としては、可撓性を有し、かつ、加圧下、又は、加圧及び加熱下において、著しい変形、収縮、又は伸びを生じないフィルムを用いることができる。
　このようなフィルムとして、ポリエチレンテレフタレートフィルム（例えば、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム）、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリイミドフィルム、及び、ポリカーボネートフィルムが挙げられる。
　これらの中でも、仮支持体としては、２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。
　また、仮支持体として使用するフィルムには、シワ等の変形、及び、傷等がないことが好ましい。

　仮支持体は、仮支持体を介して露光できるという点から、透明性が高いことが好ましく、３６５ｎｍの透過率は６０％以上が好ましく、７０％以上がより好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体のヘイズは小さい方が好ましい。具体的には、仮支持体のヘイズ値が、２％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．１％以下が更に好ましい。
　仮支持体を介するパターン露光時のパターン形成性、及び、仮支持体の透明性の点から、仮支持体に含まれる微粒子、異物及び欠陥の数は少ない方が好ましい。直径１μｍ以上の微粒子、異物及び欠陥の数は、５０個／１０ｍｍ^２以下が好ましく、１０個／１０ｍｍ^２以下がより好ましく、３個／１０ｍｍ^２以下が更に好ましく、０個／１０ｍｍ^２が特に好ましい。

　仮支持体の厚みは特に制限されないが、５～２００μｍが好ましく、取り扱いやすさ及び汎用性の点から、１０～１５０μｍがより好ましく、１０～５０μｍが更に好ましい。

　仮支持体の表面に、ハンドリング性を付与する点で、微小な粒子を含有する層（滑剤層）を設けてもよい。滑剤層は仮支持体の片面に設けてもよいし、両面に設けてもよい。滑剤層に含まれる粒子の直径は、０．０５～０．８μｍとすることができる。また、滑剤層の膜厚は０．０５～１．０μｍとすることができる。

　仮支持体としては、例えば、膜厚１６μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、膜厚１２μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、及び、膜厚９μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが挙げられる。

　仮支持体の好ましい形態としては、例えば、特開２０１４－０８５６４３号公報の段落［００１７］～［００１８］、特開２０１６－０２７３６３号公報の段落［００１９］～［００２６］、国際公開第２０１２／０８１６８０号の段落［００４１］～［００５７］、及び、国際公開第２０１８／１７９３７０号の段落［００２９］～［００４０］に記載があり、これらの公報の内容は本明細書に組み込まれる。

（硬化性組成物層）
　転写フィルムは、硬化性組成物層を有する。硬化性組成物層を金属パターン上に転写した後、硬化処理を行うことにより、上述した有機膜を形成できる。
　硬化性組成物層は、熱硬化性組成物層であってもよいし、光硬化性組成物層であってもよい。
　以下、硬化性組成物層に含まれる成分について詳述する。

［バインダーポリマー］
　硬化性組成物層は、バインダーポリマーを含んでいてもよい。
　バインダーポリマーの好適態様の一つとして、アルカリ現像性及びフィルム形成性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂が挙げられる。
　なお、本明細書において、（メタ）アクリル樹脂とは、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位を有する樹脂を意味する。（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、５０質量％以上が好ましく、７０質量％以上がより好ましく、９０質量％以上が更に好ましい。
　（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位のみで構成されていてもよく、（メタ）アクリル化合物以外の重合性単量体に由来する構成単位を有していてもよい。すなわち、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量の上限は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１００質量％以下である。

　（メタ）アクリル化合物としては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリルアミド、及び、（メタ）アクリロニトリルが挙げられる。
　（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、２，２，２－トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、及び、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレートが挙げられ、（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。
　（メタ）アクリルアミドとしては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミドが挙げられる。

　（メタ）アクリル酸アルキルエステルのアルキル基としては、直鎖状でも分岐鎖状でもよい。具体例としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸－２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、及び、（メタ）アクリル酸ドデシル等の炭素数が１～１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。
　（メタ）アクリル酸エステルとしては、炭素数１～４のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル又は（メタ）アクリル酸エチルがより好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂は、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位以外の構成単位を有していてもよい。
　上記構成単位を形成する重合性単量体としては、（メタ）アクリル化合物と共重合可能な（メタ）アクリル化合物以外の化合物であれば特に制限されず、例えば、スチレン、ビニルトルエン、及び、α－メチルスチレン等のα位又は芳香族環に置換基を有してもよいスチレン化合物、アクリロニトリル及びビニル－ｎ－ブチルエーテル等のビニルアルコールエステル、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、及び、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノエステル、フマール酸、ケイ皮酸、α－シアノケイ皮酸、イタコン酸、並びに、クロトン酸が挙げられる。
　これらの重合性単量体は、１種又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、アルカリ現像性をより良好にする点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。酸基としては、例えば、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、及び、ホスホン酸基が挙げられる。
　なかでも、（メタ）アクリル樹脂は、カルボキシ基を有する構成単位を有することがより好ましく、上記の（メタ）アクリル酸に由来する構成単位を有することが更に好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂における酸基を有する構成単位（好ましくは（メタ）アクリル酸に由来する構成単位）の含有量は、現像性に優れる点で、（メタ）アクリル樹脂の全質量に対して、１０質量％以上が好ましい。また、上限値は特に制限されないが、アルカリ耐性に優れる点で、５０質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、上述した（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有することがより好ましい。
　（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を有する場合、（メタ）アクリル樹脂における（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の含有量は、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、１～９０質量％が好ましく、１～５０質量％がより好ましく、１～３０質量％が更に好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂としては、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有する樹脂が好ましく、（メタ）アクリル酸に由来する構成単位及び（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位のみで構成されている樹脂がより好ましい。
　また、（メタ）アクリル樹脂としては、メタクリル酸に由来する構成単位、メタクリル酸メチルに由来する構成単位、及び、アクリル酸エチルに由来する構成単位を有するアクリル樹脂も好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種を有することが好ましく、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の両者を有することが好ましい。
　（メタ）アクリル樹脂におけるメタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、本発明の効果がより優れる点から、（メタ）アクリル樹脂の全構成単位に対して、４０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されず、１００質量％以下であってもよく、８０質量％以下が好ましい。

　また、（メタ）アクリル樹脂は、本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種と、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位からなる群より選択される少なくとも１種とを有することも好ましい。
　本発明の効果がより優れる点から、メタクリル酸に由来する構成単位及びメタクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量は、アクリル酸に由来する構成単位及びアクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位の合計含有量に対して、質量比で６０／４０～８０／２０が好ましい。

　（メタ）アクリル樹脂は、転写後の硬化性組成物層の現像性に優れる点で、末端にエステル基を有することが好ましい。
　なお、（メタ）アクリル樹脂の末端部は、合成に用いた重合開始剤に由来する部位により構成される。末端にエステル基を有する（メタ）アクリル樹脂は、エステル基を有するラジカルを発生する重合開始剤を用いることにより合成できる。

　また、バインダーポリマーの別の好適態様としては、アルカリ可溶性樹脂が挙げられる。
　バインダーポリマーは、例えば、現像性の点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のバインダーポリマーであることも好ましい。
　また、バインダーポリマーは、例えば、加熱により架橋成分と熱架橋し、強固な膜を形成しやすいという点から、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有樹脂）であることがより好ましく、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基を有する（メタ）アクリル樹脂（いわゆる、カルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂）であることが更に好ましい。
　バインダーポリマーがカルボキシ基を有する樹脂であると、例えば、ブロックイソシアネート化合物等の熱架橋性化合物を添加して熱架橋することで、３次元架橋密度を高めることができる。また、カルボキシ基を有する樹脂のカルボキシ基が無水化され、疎水化すると、湿熱耐性が改善し得る。

　酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有（メタ）アクリル樹脂としては、上記酸価の条件を満たす限りにおいて、特に制限はなく、公知の（メタ）アクリル樹脂から適宜選択できる。
　例えば、特開２０１１－０９５７１６号公報の段落［００２５］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂、特開２０１０－２３７５８９号公報の段落［００３３］～［００５２］に記載のポリマーのうち、酸価６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のカルボキシ基含有アクリル樹脂等を好ましく使用できる。

　バインダーポリマーの他の好適態様としてはスチレン－アクリル共重合体が挙げられる。
　なお、本明細書において、スチレン－アクリル共重合体とは、スチレン化合物に由来する構成単位と、（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位とを有する樹脂を指し、上記スチレン化合物に由来する構成単位、及び、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の合計含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、３０質量％以上が好ましく、５０質量％以上がより好ましい。
　また、スチレン化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、５～８０質量％が更に好ましい。
　また、上記（メタ）アクリル化合物に由来する構成単位の含有量は、上記共重合体の全構成単位に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、２０～９５質量％が更に好ましい。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、芳香環構造を有していることが好ましく、芳香環構造を有する構成単位を有することがより好ましい。
　芳香環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、アラルキル基を有するモノマー、スチレン、及び重合可能なスチレン誘導体（例えば、メチルスチレン、ビニルトルエン、ｔｅｒｔ－ブトキシスチレン、アセトキシスチレン、４－ビニル安息香酸、スチレンダイマー、及びスチレントリマー等）が挙げられる。なかでも、アラルキル基を有するモノマー、又はスチレンが好ましい。アラルキル基としては、置換又は非置換のフェニルアルキル基（ベンジル基を除く）、及び置換又は非置換のベンジル基等が挙げられ、置換又は非置換のベンジル基が好ましい。

　フェニルアルキル基を有する単量体としては、フェニルエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

　ベンジル基を有する単量体としては、ベンジル基を有する（メタ）アクリレート、例えば、ベンジル（メタ）アクリレート、及びクロロベンジル（メタ）アクリレート等；ベンジル基を有するビニルモノマー、例えば、ビニルベンジルクロライド、及びビニルベンジルアルコール等が挙げられる。なかでも、ベンジル（メタ）アクリレートが好ましい。

　また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｓ）で表される構成単位（スチレンに由来する構成単位）を有することがより好ましい。

　バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～７０質量％がより好ましく、２０～６０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～６０モル％が更に好ましく、２０～５０モル％が特に好ましい。
　なお、本明細書において、「構成単位」の含有量をモル比で規定する場合、上記「構成単位」は「モノマー単位」と同義であるものとする。また、本明細書において、上記「モノマー単位」は、高分子反応等により重合後に修飾されていてもよい。以下においても同様である。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、脂肪族炭化水素環構造を有することが好ましい。つまり、バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有することが好ましい。脂肪族炭化水素環構造としては単環でも多環でもよい。なかでも、バインダーポリマーは、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造を有することがより好ましい。

　脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位における脂肪族炭化水素環構造を構成する環としては、トリシクロデカン環、シクロヘキサン環、シクロペンタン環、ノルボルナン環、及び、イソボロン環が挙げられる。
　なかでも、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環が好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環（トリシクロ［５．２．１．０^２，６］デカン環）がより好ましい。
　脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を形成するモノマーとしては、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、及び、イソボルニル（メタ）アクリレートが挙げられる。
　また、バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することが好ましく、上記式（Ｓ）で表される構成単位、及び、下記式（Ｃｙ）で表される構成単位を有することがより好ましい。

　式（Ｃｙ）中、Ｒ^Ｍは水素原子又はメチル基を表し、Ｒ^Ｃｙは脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基を表す。

　式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｍは、メチル基であることが好ましい。
　式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｃｙは、本発明の効果がより優れる点から、炭素数５～２０の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが好ましく、炭素数６～１６の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることがより好ましく、炭素数８～１４の脂肪族炭化水素環構造を有する一価の基であることが更に好ましい。
　また、式（Ｃｙ）のＲ^Ｃｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、シクロペンタン環構造、シクロヘキサン環構造、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造、ノルボルナン環構造、又は、イソボロン環構造であることが好ましく、シクロヘキサン環構造、又は、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることがより好ましく、テトラヒドロジシクロペンタジエン環構造であることが更に好ましい。
　更に、式（Ｃｙ）のＲ^Ｃｙにおける脂肪族炭化水素環構造は、本発明の効果がより優れる点から、２環以上の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることが好ましく、２～４環の脂肪族炭化水素環が縮環した環構造であることがより好ましい。
　更に、式（Ｃｙ）におけるＲ^Ｃｙは、本発明の効果がより優れる点から、式（Ｃｙ）における－Ｃ（＝Ｏ）Ｏ－の酸素原子と脂肪族炭化水素環構造とが直接結合する基、すなわち、脂肪族炭化水素環基であることが好ましく、シクロヘキシル基、又は、ジシクロペンタニル基であることがより好ましく、ジシクロペンタニル基であることが更に好ましい。

　バインダーポリマーは、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～９０質量％が好ましく、１０～８０質量％がより好ましく、２０～７０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。

　バインダーポリマーが芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位を有する場合、芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、４０～７５質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける芳香環構造を有する構成単位及び脂肪族炭化水素環構造を有する構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位及び上記式（Ｃｙ）で表される構成単位の総含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、１０～８０モル％が好ましく、２０～７０モル％がより好ましく、４０～６０モル％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける上記式（Ｓ）で表される構成単位のモル量ｎＳと上記式（Ｃｙ）で表される構成単位のモル量ｎＣｙは、本発明の効果がより優れる点から、下記式（ＳＣｙ）に示す関係を満たすことが好ましく、下記式（ＳＣｙ－１）を満たすことがより好ましく、下記式（ＳＣｙ－２）を満たすことが更に好ましい。
　　０．２≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．８　　　式（ＳＣｙ）
　　０．３０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７５　　　式（ＳＣｙ－１）
　　０．４０≦ｎＳ／（ｎＳ＋ｎＣｙ）≦０．７０　　　式（ＳＣｙ－２）

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、酸基を有する構成単位を有することが好ましい。
　上記酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、ホスホン酸基、及び、リン酸基が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。
　上記酸基を有する構成単位としては、下記に示す、（メタ）アクリル酸由来の構成単位が好ましく、メタクリル酸由来の構成単位がより好ましい。

　バインダーポリマーは、酸基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが酸基を有する構成単位を有する場合、酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～５０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、１０～３０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける酸基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。
　更に、バインダーポリマーにおける（メタ）アクリル酸由来の構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％が更に好ましい。

　バインダーポリマーは、本発明の効果がより優れる点から、反応性基を有することが好ましく、反応性基を有する構成単位を有することがより好ましい。
　反応性基としては、ラジカル重合性基が好ましく、エチレン性不飽和基がより好ましい。また、バインダーポリマーがエチレン性不飽和基を有している場合、バインダーポリマーは、側鎖にエチレン性不飽和基を有する構成単位を有することが好ましい。つまり、バインダーポリマーとしては、側鎖にエチレン性不飽和基を有するバインダーポリマーが好ましい。
　本明細書において、「主鎖」とは、樹脂を構成する高分子化合物の分子中で相対的に最も長い結合鎖を表し、「側鎖」とは、主鎖から枝分かれしている原子団を表す。
　エチレン性不飽和基としては、アリル基又は（メタ）アクリロキシ基がより好ましい。
　反応性基を有する構成単位の一例としては、下記に示すものが挙げられるが、これらに限定されない。

　バインダーポリマーは、反応性基を有する構成単位を１種単独で有していても、２種以上有していてもよい。
　バインダーポリマーが反応性基を有する構成単位を有する場合、反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０質量％が好ましく、１０～５０質量％がより好ましく、２０～４０質量％が更に好ましい。
　また、バインダーポリマーにおける反応性基を有する構成単位の含有量は、本発明の効果がより優れる点から、バインダーポリマーの全構成単位に対して、５～７０モル％が好ましく、１０～６０モル％がより好ましく、２０～５０モル％が更に好ましい。

　反応性基をバインダーポリマーに導入する手段としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、第一級アミノ基、第二級アミノ基、アセトアセチル基、及び、スルホ基等の官能基に、エポキシ化合物、ブロックイソシアネート化合物、イソシアネート化合物、ビニルスルホン化合物、アルデヒド化合物、メチロール化合物、及び、カルボン酸無水物等の化合物を反応させる方法が挙げられる。
　反応性基をバインダーポリマーに導入する手段の好ましい例としては、カルボキシ基を有するポリマーを重合反応により合成した後、高分子反応により、得られたポリマーのカルボキシ基の一部にグリシジル（メタ）アクリレートを反応させて、（メタ）アクリロキシ基をポリマーに導入する手段が挙げられる。この手段により、側鎖に（メタ）アクリロキシ基を有するバインダーポリマーを得ることができる。
　上記重合反応は、７０～１００℃の温度条件で行うことが好ましく、８０～９０℃の温度条件で行うことがより好ましい。上記重合反応に用いる重合開始剤としては、アゾ系開始剤が好ましく、例えば、富士フイルム和光純薬（株）製のＶ－６０１（商品名）又はＶ－６５（商品名）がより好ましい。上記高分子反応は、８０～１１０℃の温度条件で行うことが好ましい。上記高分子反応においては、アンモニウム塩等の触媒を用いることが好ましい。

　バインダーポリマーとしては、以下に示すポリマーであってもよい。なお、以下に示す各構成単位の含有比率（ａ～ｄ）及び重量平均分子量Ｍｗ等は目的に応じて適宜変更できる。

　なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：２０～６０ｗｔ％、ｂ：１０～５０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。

　なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：３０～６５ｗｔ％、ｂ：１．０～２０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。

　なお、上記バインダーポリマー中のａ～ｄはそれぞれ、ａ：１．０～２０ｗｔ％、ｂ：２０～６０ｗｔ％、ｃ：５．０～２５ｗｔ％、ｄ：１０～５０ｗｔ％が好ましい。

　また、バインダーポリマーは、カルボン酸無水物構造を有する構成単位を有する重合体（以下、「重合体Ｘ」ともいう。）を含んでいてもよい。
　カルボン酸無水物構造は、鎖状カルボン酸無水物構造、及び、環状カルボン酸無水物構造のいずれであってもよいが、環状カルボン酸無水物構造であることが好ましい。
　環状カルボン酸無水物構造の環としては、５～７員環が好ましく、５員環又は６員環がより好ましく、５員環が更に好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を２つ除いた２価の基を主鎖中に含む構成単位、又は、下記式Ｐ－１で表される化合物から水素原子を１つ除いた１価の基が主鎖に対して直接又は２価の連結基を介して結合している構成単位であることが好ましい。

　式Ｐ－１中、Ｒ^Ａ１ａは、置換基を表し、ｎ^１ａ個のＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよく、Ｚ^１ａは、－Ｃ（＝Ｏ）－Ｏ－Ｃ（＝Ｏ）－を含む環を形成する２価の基を表し、ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。

　Ｒ^Ａ１ａで表される置換基としては、例えば、アルキル基が挙げられる。
　Ｚ^１ａとしては、炭素数２～４のアルキレン基が好ましく、炭素数２又は３のアルキレン基がより好ましく、炭素数２のアルキレン基が更に好ましい。
　ｎ^１ａは、０以上の整数を表す。Ｚ^１ａが炭素数２～４のアルキレン基を表す場合、ｎ^１ａは、０～４の整数であることが好ましく、０～２の整数であることがより好ましく、０であることが更に好ましい。
　ｎ^１ａが２以上の整数を表す場合、複数存在するＲ^Ａ１ａは、同一でも異なっていてもよい。また、複数存在するＲ^Ａ１ａは、互いに結合して環を形成してもよいが、互いに結合して環を形成していないことが好ましい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位としては、不飽和カルボン酸無水物に由来する構成単位が好ましく、不飽和環式カルボン酸無水物に由来する構成単位がより好ましく、不飽和脂肪族環式カルボン酸無水物に由来する構成単位が更に好ましく、無水マレイン酸又は無水イタコン酸に由来する構成単位が特に好ましく、無水マレイン酸に由来する構成単位が最も好ましい。

　以下、カルボン酸無水物構造を有する構成単位の具体例を挙げるが、カルボン酸無水物構造を有する構成単位は、これらの具体例に限定されるものではない。下記の構成単位中、Ｒｘは、水素原子、メチル基、ＣＨ_２ＯＨ基、又は、ＣＦ_３基を表し、Ｍｅは、メチル基を表す。

　重合体Ｘにおけるカルボン酸無水物構造を有する構成単位は、１種単独であってもよく、２種以上であってもよい。

　カルボン酸無水物構造を有する構成単位の総含有量は、重合体Ｘの全構成単位に対して、０～６０モル％が好ましく、５～４０モル％がより好ましく、１０～３５モル％が更に好ましい。

　有機膜は、重合体Ｘを１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。
　有機膜が重合体Ｘを含む場合、重合体Ｘの含有量は、有機膜全質量に対して、０．１～３０質量％が好ましく、０．２～２０質量％がより好ましく、０．５～２０質量％が更に好ましく、１～２０質量％が更に好ましい。

　バインダーポリマーの好適態様の一つとして、シクロオレフィンポリマーが挙げられる。
　シクロオレフィンポリマーとしては、上述した誘電体フィルムに含まれていてもよいシクロオレフィンポリマーが挙げられる。

　バインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、本発明の効果がより優れる点から、５，０００以上が好ましく、１０，０００以上がより好ましく、１０，０００～５０，０００が更に好ましく、１５，０００～３０，０００が特に好ましい。
　バインダーポリマーの分散度は、現像性の点から、１．０～６．０が好ましく、１．０～５．０がより好ましく、１．０～４．０が更に好ましく、１．０～３．０が特に好ましい。

　バインダーポリマーは酸基を有していてもいなくてもよいが、バインダーポリマーが酸基を有する場合、バインダーポリマーの酸価は特に制限されず、１０００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましい。ポリマーが酸基を有する場合、下限は特に制限されない、０ｍｇＫＯＨ／ｇ超の場合が多い。
　なお、バインダーポリマーの酸価は、ＪＩＳ　Ｋ００７０：１９９２に記載の方法に従って、測定される値である。

　硬化性組成物層は、１種単独のバインダーポリマーを含んでいてもよく、２種以上のバインダーポリマーを含んでいてもよい。

　硬化性組成物層がバインダーポリマーを含む場合、バインダーポリマーの含有量は、硬化性組成物層全質量に対して、１０～９０質量％が好ましく、２０～８０質量％がより好ましく、３０～７０質量％が更に好ましい。

（硬化性化合物）
　また、硬化性組成物層は、硬化性化合物を含んでいてもよい。
　硬化性化合物としては、光又は熱で硬化する化合物が好ましい。
　光又は熱で硬化する化合物としては、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物、共役ジエン部位を有する化合物、マレイミド部位を有する化合物、エン－チオール反応により硬化するチオール化合物、エポキシ化合物、及び、酸の作用により架橋する基を有する化合物が挙げられる。硬化性の点から、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物が好ましい。硬化性の点、及び、アルカリ可溶性樹脂との相溶性の点から、硬化性化合物としては、分子内にアクリロイル基を有する化合物がより好ましい。

　エチレン性不飽和二重結合を有する化合物としては、例えば、ポリアルキレンオキシドの片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加した化合物、又は、片方の末端に（メタ）アクリル酸を付加し、他方の末端をアルキルエーテル若しくはアリルエーテル化したものが挙げられる。
　このような化合物としては、ポリエチレングリコールをフェニル基に付加した化合物の（メタ）アクリレートであるフェノキシヘキサエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、又は、平均２モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールと平均７モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物の（メタ）アクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシヘプタエチレングリコールジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、平均１モルのプロピレンオキサイドを付加したポリプロピレングリコールと平均５モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物の（メタ）アクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシペンタエチレングリコールモノプロピレングリコール（メタ）アクリレートが挙げられる。平均８モルのエチレンオキサイドを付加したポリエチレングリコールをノニルフェノールに付加した化合物のアクリレートである４－ノルマルノニルフェノキシオクタエチレングリコール（メタ）アクリレート（東亞合成（株）製、Ｍ－１１４）も挙げられる。

　エチレン性不飽和二重結合を有する化合物としては、例えば、アルキレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物、又は、エチレンオキシド鎖とプロピレンオキシド鎖とがランダムもしくはブロックで結合したアルキレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物も挙げられる。
　このような化合物としては、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘプタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、オクタエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ノナエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、デカエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、及び、１２モルのエチレンオキシド鎖の両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物が挙げられる。
　さらに、化合物中に少なくともエチレンオキシド基とプロピレンオキシド基とを含むポリアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート化合物が解像性、柔軟性、耐めっき性の点から好ましい。同様の点から、上記化合物の分子量は、６００～１５００が好ましく、９００～１３００がより好ましく、１０００～１２００が更に好ましい。
　化合物中に少なくともエチレンオキシド基とプロピレンオキシド基とを含むポリアルキレンオキシドジ（メタ）アクリレート化合物としては、例えば、平均１２モルのプロピレンオキシドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキシドをさらに両端にそれぞれ平均３モル付加したグリコールのジメタクリレート、及び、平均１８モルのプロピレンオキシドを付加したポリプロピレングリコールにエチレンオキシドをさらに両端にそれぞれ平均１５モル付加したグリコールのジメタクリレートが挙げられる。

　また、ビスフェノールＡをアルキレンオキシド変性し、両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物も好ましい。
　アルキレンオキシド変性としては、エチレンオキシド変性、プロピレンオキシド変性、ブチレンオキシド変性、ペンチレンオキシド変性、及び、へキシレンオキシド変性が挙げられる。上記化合物としては、ビスフェノールＡにエチレンオキシド変性し、両末端に（メタ）アクリロイル基を有する化合物が好ましい。このような化合物としては、例えば、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン（新中村化学工業（株）製ＮＫエステルＢＰＥ－２００）、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン（新中村化学工業（株）製ＮＫエステルＢＰＥ－５００）、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、及び、２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等の２，２－ビス（４－（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンが挙げられる。

　一分子中に２個を超える（メタ）アクリロイル基を有する化合物は、中心骨格として分子内にアルキレンオキシド基を付加させることができる基を３モル以上有し、これにエチレンオキシド基及びプロピレンオキシド又はブチレンオキシド等のアルキレンオキシド基を付加させ得られたアルコールを（メタ）アクリレートとすることで得られる。中心骨格になりうる化合物としては、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、及び、イソシアヌレート環が挙げられる。

　上記化合物以外にも以下に挙げる化合物等を適宜含むことができる。
　例えば、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４－シクロヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、２－ジ（ｐ－ヒドロキシフェニル）プロパンジ（メタ）アクリレート、２，２－ビス［（４－（メタ）アクリロキシポリプロピレンオキシ）フェニル］プロパン、２，２－ビス［（４－（メタ）アクリロキシポリブチレンオキシ）フェニル］プロパン、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、β－ヒドロキシプロピル－β’－（アクリロイルキシ）プロピルフタレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリブチレングリコール（メタ）アクリレート、及び、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレートが挙げられる。
　さらに以下のようなウレタン化合物も挙げられる。例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート又はジイソシアネート化合物（例えば、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート）と、一分子中にヒドロキシル基と（メタ）アクリル基を有する化合物、例えば、２－ヒドロキシプロピルアクリレート、オリゴプロピレングリコールモノメタクリレートとのウレタン化合物が挙げられる。具体的には、ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロピレングリコールモノメタクリレート（日本油脂（株）製、ブレンマーＰＰ１０００）との反応生成物がある。また、ポリプロピレングリコール又はポリカプロラクトンにより変性したイソシアヌル酸エステルのジ又はトリ（メタ）アクリレート等も挙げられる。また、例えばジイソシアネートとポリオールとの重付加物として得られるウレタン化合物の末端とエチレン性不飽和二重結合及びヒドロキシル基を有する化合物とを反応させて得られるウレタンオリゴマーも挙げられる。

　共役ジエン部位を有する化合物としては、ブタジエン及びイソプレン等に置換基を導入し不揮発性とした化合物、ポリアセチレン及びその誘導体、ポリフェニルアセチレンが挙げられる。
　マレイミド部位を有する化合物としては、側鎖にマレイミド基を有する高分子化合物、分子内にマレイミド基を２つ以上有する化合物、及び、（メタ）アクリロイル基とマレイミド基を分子内に有する化合物が挙げられる。
　エン－チオール反応により硬化するチオール化合物としては、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、及び、１，３，５－トリス（３－メルカブトブチルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン等の脂肪族チオール基を有する化合物が挙げられる。

　エポキシ化合物としては、ノボラック樹脂をエポキシ変性したもの、クレゾールノボラック樹脂をエポキシ変性したもの、ビスフェノールＡをエポキシ変性したもの、ビスフェノールＡをエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドで変性しさらにエポキシ変性したもの、ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂、及び、脂環式エポキシ化合物が挙げられる。なかでも、一分子中にグリシジルエーテル結合を少なくとも一つ以上とジシクロペンタジエニル基を少なくとも一つ以上を有している化合物が好ましい。
　環式エポキシ化合物は、少なくとも１つの脂環式エポキシ基を有する。ここで脂環式エポキシ基とは、エポキシ環と飽和炭化水素環との縮環を有する１価の置換基をいい、好ましくはエポキシ環とシクロアルカン環との縮環を有する１価の置換基である。
　脂環式エポキシ化合物として好適に使用できる市販品としては、ダイセル化学工業（株）のセロキサイド（登録商標）２０００、セロキサイド２０２１Ｐ、セロキサイド３０００、セロキサイド８０００、サイクロマー（登録商標）Ｍ１００、エポリードＧＴ３０１、エポリードＧＴ４０１、シグマアルドリッチ社製の４－ビニルシクロヘキセンジオキシド、日本テルペン化学（株）のＤ－リモネンオキサイド、新日本理化（株）のサンソサイザー（登録商標）Ｅ－ＰＳが挙げられる。
　これらは、１種単独で、又は２種以上組み合わせて用いることができる。

　酸の作用により架橋する基を有する化合物としては、アミノ化合物、例えば、メラミン樹脂、尿素樹脂、グアナミン樹脂、グリコールウリル－ホルムアルデヒド樹脂、スクシニルアミド－ホルムアルデヒド樹脂、及び、エチレン尿素－ホルムアルデヒド樹脂が挙げられ、特に、アルコキシメチル化メラミン樹脂及びアルコキシメチル化尿素樹脂等のアルコキシメチル化アミノ樹脂が好ましい。
　アルコキシメチル化アミノ樹脂は、例えば、沸騰水溶液中でメラミン又は尿素をホルマリンと反応させて得た縮合物を、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルアルコール、及び、イソプロピルアルコール等の低級アルコール類と反応させてエーテルを形成し、次いで反応液を冷却して析出させることで製造できる。
　アルコキシメチル化アミノ樹脂としては、具体的にメトキシメチル化メラミン樹脂、エトキシメチル化メラミン樹脂、プロポキシメチル化メラミン樹脂、ブトキシメチル化メラミン樹脂、メトキシメチル化尿素樹脂、エトキシメチル化尿素樹脂、プロポキシメチル化尿素樹脂、及び、ブトキシメチル化尿素樹脂が挙げられる。
　アルコキシメチル化アミノ樹脂は、単独又は２種以上を組み合わせて用いることができる。メトキシメチル化メラミン樹脂、エトキシメチル化メラミン樹脂、プロポキシメチル化メラミン樹脂又はブトキシメチル化メラミン樹脂が好適である。
　メラミン樹脂の具体例としては、メラミン、メチロールメラミン、エーテル化メチロールメラミン、ベンゾグアナミン、メチロールベンゾグアナミン、エーテル化メチロールベンゾグアナミン、及びそれらの縮合物が挙げられる。中でも、耐薬品性が良好であることから、エーテル化メチロールメラミンが好ましい。エーテル化メチロールメラミン及びその縮合物の混合物は、三和ケミカル（株）製のニカラックＭＷ－３０（商品名）として市販されている。

　また、多価イソシアネートとポリオールとの組み合わせを熱硬化性化合物として用いることができる。イソシアネート基とポリオールの水酸基との反応によりウレタン結合が形成され、バインダーとしてウレタンポリマーが生成される。
　多価イソシアネート（２官能以上のイソシアネート）としては、フェニレン－１，３－ジイソシアネート、フェニレン－１，４－ジイソシアネート、１－メトキシフェニレン－２，４－ジイソシアネート、１－メチルフェニレン－２，４－ジイソシアネート、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、１，３－キシリレンジイソシアネート、１，４－キシリレンジイソシアネート、ビフェニレン－４，４－ジイソシアネート、３，３－ジメトキシビフェニレン－４，４－ジイソシアネート、３，３－ジメチルビフェニレン－４，４－ジイソシアネート、ジフェニルメタン－２，４－ジイソシアネート、ジフェニルメタン－４，４－ジイソシアネート、３，３－ジメトキシジフェニルメタン－４，４－ジイソシアネート、３，３－ジメチルジフェニルメタン－４，４－ジイソシアネート、ナフチレン－１，５－ジイソシアネート、シクロブチレン－１，３－ジイソシアネート、シクロペンチレン－１，３－ジイソシアネート、シクロヘキシレン－１，３－ジイソシアネート、シクロヘキシレン－１，４－ジイソシアネート、１－メチルシクロヘキシレン－２，４－ジイソシアネート、１－メチルシクロヘキシレン－２，６－ジイソシアネート、１－イソシアネート－３，３，５－トリメチル－５－イソシアネートメチルシクロヘキサン、シクロヘキサン－１，３－ビス（メチルイソシアネート）、シクロヘキサン－１，４－ビス（メチルイソシアネート）、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－２，４－ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－４，４－ジイソシアネート、エチレンジイソシアネート、テトラメチレン－１，４－ジイソシアネート、ヘキサメチレン－１，６－ジイソシアネート、ドデカメチレン－１，１２－ジイソシアネート、又は、これらの有機ジイソシアネートの化学量論的過剰量と２官能性活性水素含有化合物との反応により得られる両末端イソシアネートプレポリマーが挙げられる。

　上記ジイソシアネートとともに、例えば、フェニル－１，３，５－トリイソシアネート、ジフェニルメタン－２，４，４－トリイソシアネート、ジフェニルメタン－２，５，４－トリイソシアネート、トリフェニルメタン－２，４，４”－トリイソシアネート、トリフェニルメタン－４，４，４”－トリイソシアネート、ジフェニルメタン－２，４，２，４－テトライソシアネート、ジフェニルメタン－２，５，２，５－テトライソシアネート、シクロヘキサン－１，３，５－トリイソシアネート、シクロヘキサン－１，３，５－トリス（メチルイソシアネート）、３，５－ジメチルシクロヘキサン－１，３，５－トリス（メチルイソシアネート）、１，３，５－トリメチルシクロヘキサン－１，３，５－トリス（メチルイソシアネート）、ジシクロヘキシルメタン－２，４，２－トリイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン－２，４，４－トリイソシアネート等の３官能以上の有機ポリイソシアネートや、これらの３官能以上の有機ポリイソシアネートの化学量論的過剰量と２官能以上の多官能性活性水素含有化合物との反応により得られる末端イソシアネートプレポリマー等を併用してもよい。

　ポリオール（２官能以上のアルコール性水酸基を有する化合物）としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、１，４－ブタンジオール、ポリテトラメチレングリコール、グリセリン、トリメチロールプロパン、及び、ペンタエリスリトールが挙げられる。

　また、多価イソシアネートとポリオールとの組み合わせとの組み合わせを熱硬化性化合物として含む態様において、バインダー前駆体に多価イソシアネートとポリオールとの熱硬化反応を促進する反応促進剤を含むことがより好ましい。反応促進剤を加えることにより、イソシアネートと水酸基の反応が加速され、低温でも良好なウレタンポリマーを生成することが可能になる。反応促進剤としては、テトラアルキルアンモニウム塩類、ジアザビシクロウンデセン（ＤＢＵ）やジアザビシクロノネン（ＤＢＮ）等の環状アミジン類及びその塩、１，４－ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（ＤＡＢＣＯ）等の環状アミン類、ピリジン類、イミダゾール類の窒素原子含有複素芳香族化合物及びその塩類、アルキル錫化合物及びその塩類、アルキル亜鉛化合物及びその塩類、ジルコニウム化合物、チタニウム化合物類、アルキルアルミニウム類、並びに、ホウ酸類が好ましい。

　また、ポリイミド前駆体樹脂、ポリアミドイミド前駆体樹脂、及び、ポリベンゾオキサゾール前駆体樹脂等の、塩基により環化して硬化する熱硬化性樹脂を用いることもできる。

　硬化性組成物層は、１種単独の硬化性化合物を含んでいてもよく、２種以上の硬化性化合物を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が硬化性化合物を含む場合、硬化性化合物の含有量は、硬化性組成物層全質量に対して、１０質量％以上が好ましく、２５質量％以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、７０質量%以下が好ましく、６０質量％以下がより好ましい。

［硬化剤］
　硬化性組成物層がエポキシ化合物を含む場合、硬化性組成物層はエポキシ硬化剤を含んでいてもよい。
　エポキシ硬化剤としては、酸無水物系硬化剤、ポリアミン系硬化剤、触媒型硬化剤、及び、ポリカルボン酸系硬化剤が好ましい。

　酸無水物系硬化剤としては、無水マレイン酸、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物、メチルヘキサヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロトリメリット酸無水物、無水フタル酸、トリメリット酸無水物、及び、スチレン－無水マレイン酸共重合体が挙げられる。
　ポリアミン系硬化剤としては、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ジシアンジアミド、ポリアミドアミン(ポリアミド樹脂)、ケチミン化合物、イソホロンジアミン、ｍ－キシレンジアミン、ｍ－フェニレンジアミン、１，３－ビス(アミノメチル)シクロヘキサン、Ｎ－アミノエチルピペラジン、４，４’－ジアミノジフェニルメタン、４，４’－ジアミノ－３，３’－ジエチルジフェニルメタン、及び、ジアミノジフェニルスルフォンが挙げられる。
　触媒型硬化剤としては、３級アミン化合物及びイミダゾール化合物が挙げられる。
　ポリカルボン酸系硬化剤としては、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、３，６－エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサクロルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、及び、メチル－３，６－エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸が挙げられる。

　硬化性組成物層が硬化剤を含む場合、硬化剤の含有量は、硬化性組成物層全質量に対して、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～５質量％がより好ましい。

［重合開始剤］
　硬化性組成物層は、重合開始剤を含んでいてもよい。
　重合開始剤として、硬化性化合物の種類に応じて好適な重合開始剤を用いることが好ましく、光又は熱重合開始剤がより好ましい。光重合開始剤は、露光により分解してラジカル、酸等の開始種を発生させることができる化合物であり、この開始種により重合性化合物の重合反応を開始、促進させることができる化合物である。

　重合形式は、ラジカル重合であってもよいし、カチオン重合であってもよいし、アニオン重合であってもよい。重合開始剤は、その成分の少なくとも一部、又は、不純物や分解物に求核性の高い物質が含まれると、蛍光体の表面に吸着してしまいエポキシドの反応速度を弱めたり、同時に蛍光体分散組成物に含まれる蛍光体の発光効率に影響を及ぼすことがある。従って、重合開始剤には、求核性の高い成分、特に、１級アミン及び２級アミン類の含有量が少なくなるようにすることが好ましい。

　光重合開始剤としては、キノン類、芳香族ケトン類、アセトフェノン類、アシルフォスフィンオキサイド類、ベンゾイン又はベンゾインエーテル類、ジアルキルケタール類、チオキサントン類、ジアルキルアミノ安息香酸エステル類、オキシムエステル類、アクリジン類、ヘキサアリールビイミダゾール、ピラゾリン誘導体、Ｎ－アリールアミノ酸又はそのエステル化合物、及びハロゲン化合物が挙げられる。

　キノン類としては、２－エチルアントラキノン、オクタエチルアントラキノン、１，２－ベンズアントラキノン、２，３－ベンズアントラキノン、２－フェニルアントラキノン、２，３－ジフェニルアントラキノン、１－クロロアントラキノン、２－クロロアントラキノン、２－メチルアントラキノン、１，４－ナフトキノン、９，１０－フェナントラキノン、２－メチル－１，４－ナフトキノン、９，１０－フェナントラキノン、２－メチル－１，４－ナフトキノン、２，３－ジメチルアントラキノン、及び、３－クロロ－２－メチルアントラキノンが挙げられる。
　芳香族ケトン類としては、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン［４，４’－ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン］、４，４’－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、及び、４－メトキシ－４’－ジメチルアミノベンゾフェノンが挙げられる。
　アセトフェノン類としては、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ドデシルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルホリノフェニル）－ブタノン－１、及び、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノ－プロパノン－１が挙げられる。市販品としては、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のイルガキュア－９０７、イルガキュア－３６９、イルガキュア－３７９が挙げられる。

　アシルフォスフィンオキサイド類としては、２，４，６－トリメチルベンジルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フォスフィンオキサイド、及び、ビス（２，６－ジメトキシベンゾイル）－２，４，４－トリメチル－ペンチルフォスフォンオキサイドが挙げられる。市販品としてはＢＡＳＦ社製のルシリンＴＰＯ、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のイルガキュア－８１９が挙げられる。
　ベンゾイン又はベンゾインエーテル類としては、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベンゾイン、及び、エチルベンゾインが挙げられる。
　ジアルキルケタール類としては、ベンジルジメチルケタール、及び、ベンジルジエチルケタールが挙げられる。
　チオキサントン類としては、２，４－ジエチルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン、及び、２－クロルチオキサントンが挙げられる。
　ジアルキルアミノ安息香酸エステル類としては、ジメチルアミノ安息香酸エチル、ジエチルアミノ安息香酸エチル、エチル－ｐ－ジメチルアミノベンゾエート、及び、２－エチルヘキシル－４－（ジメチルアミノ）ベンゾエートが挙げられる。

　オキシムエステル類としては、１－フェニル－１，２－プロパンジオン－２－Ｏ－ベンゾイルオキシム、及び、１－フェニル－１，２－プロパンジオン－２－（Ｏ－エトキシカルボニル）オキシムが挙げられる。市販品としては、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製のＣＧＩ－３２５、イルガキュアーＯＸＥ０１、イルガキュアーＯＸＥ０２が挙げられる。

　また、光重合開始剤として光カチオン重合開始剤を用いることもできる。光カチオン重合開始剤については、例えば、特許４６７５７１９号公報段落［００１９］～［００２４］を参照できる。
　好ましい光カチオン重合開始剤としては、ヨードニウム塩化合物、スルホニウム塩化合物、ピリジニウム塩化合物、及び、ホスホニウム塩化合物が挙げられる。中でも、熱安定性に優れる点から、ヨードニウム塩化合物、又は、スルホニウム塩化合物が好ましい。
　ヨードニウム塩化合物とは、構造中にＩ^＋を含むカチオン部と任意の構造のアニオン部とにより形成される塩であって、電子供与性基を３つ以上有し、これら電子供与性基の少なくとも１つがアルコキシ基であるジアリールヨードニウム塩が更に好ましい。このようにジアリールヨードニウム塩に電子供与性基であるアルコキシ基を導入することで、経時での水や求核剤による分解や、熱による電子移動が抑制することができること等により、安定性の向上が期待できる。

　使用可能な光カチオン重合開始剤として、例えば以下の市販品の一種又は二種以上の組み合わせが挙げられる：サンアプロ（株）製のＣＰＩ－１１０Ｐ（下記光カチオン重合開始剤Ｃ）、ＣＰＩ－１０１Ａ、ＣＰＩ－１１０Ｐ、ＣＰＩ－２００Ｋ、和光純薬工業（株）製のＷＰＩ－１１３、ＷＰＩ－１１６、ＷＰＩ－１２４、ＷＰＩ－１６９、ＷＰＩ－１７０、ローディア（株）製のＰＩ－２０７４、ＢＡＳＦ（株）製のイルガキュア（登録商標）－２５０、イルガキュア－２７０、イルガキュア－２９０（下記光カチオン重合開始剤Ｄ）。

　熱重合開始剤としては、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、及び、ホスホニウム塩等のオニウム塩化合物類、三フッ化ホウ素やルイス酸化合物（例えば、ハロゲン化亜鉛、ハロゲン化錫、ハロゲン化アルミニウム、及び、ハロゲン化鉄等）と３級アミン類や窒素原子含有複素芳香族類との錯塩類、上述したイミダゾール類、環状アミジン類、及び、それらと有機酸との塩が例示される。

　硬化性組成物層は、１種単独の重合開始剤を含んでいてもよく、２種以上の重合開始剤を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が重合開始剤を含む場合、重合開始剤の含有量は、硬化性組成物層全質量に対して、０．００１～１０質量％が好ましい、０．０１～５質量％がより好ましい。

［複素環化合物］
　硬化性組成物層は、複素環化合物を含んでいてもよい。
　複素環化合物が有する複素環は、単環及び多環のいずれの複素環でもよい。
　複素環化合物が有するヘテロ原子としては、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子が挙げられる。複素環化合物は、窒素原子、酸素原子、及び、硫黄原子からなる群より選ばれる少なくとも１種の原子を有することが好ましく、窒素原子を有することがより好ましい。

　複素環化合物としては、例えば、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、ベンゾオキサゾール化合物、及び、ピリミジン化合物（例えば、イソニコチンアミド）が挙げられる。
　上記の中でも、複素環化合物としては、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、トリアジン化合物、ローダニン化合物、チアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましく、トリアゾール化合物、ベンゾトリアゾール化合物、テトラゾール化合物、チアジアゾール化合物、チアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾイミダゾール化合物、及び、ベンゾオキサゾール化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物がより好ましい。

　複素環化合物の好ましい具体例を以下に示す。トリアゾール化合物及びベンゾトリアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　テトラゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアジアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　トリアジン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ローダニン化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　チアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾチアゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾイミダゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　ベンゾオキサゾール化合物としては、以下の化合物が例示できる。

　硬化性組成物層は、１種単独の複素環化合物を含んでいてもよく、２種以上の複素環化合物を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が複素環化合物を含む場合、複素環化合物の含有量は、硬化性組成物層全質量に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．１～１０質量％がより好ましい。

［ブロックイソシアネート］
　硬化性組成物層は、ブロックイソシアネートを含んでいてもよい。
　ブロックイソシアネート化合物とは、「イソシアネートのイソシアネート基をブロック剤で保護（いわゆる、マスク）した構造を有する化合物」を指す。

　ブロックイソシアネート化合物の解離温度は、特に制限されないが、１００～１６０℃が好ましく、１３０～１５０℃がより好ましい。
　ブロックイソシアネートの解離温度とは、「示差走査熱量計を用いて、ＤＳＣ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ　ｓｃａｎｎｉｎｇ　ｃａｌｏｒｉｍｅｔｒｙ）分析にて測定した場合における、ブロックイソシアネートの脱保護反応に伴う吸熱ピークの温度」を意味する。
　示差走査熱量計としては、例えば、セイコーインスツルメンツ社製の示差走査熱量計（型式：ＤＳＣ６２００）を好適に使用できる。但し、示差走査熱量計は、これに限定されない。

　解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、活性メチレン化合物〔マロン酸ジエステル（マロン酸ジメチル、マロン酸ジエチル、マロン酸ジｎ－ブチル、マロン酸ジ２－エチルヘキシル等）〕、オキシム化合物（ホルムアルドオキシム、アセトアルドオキシム、アセトオキシム、メチルエチルケトオキシム、及びシクロヘキサノンオキシム等の分子内に－Ｃ（＝Ｎ－ＯＨ）－で表される構造を有する化合物）が挙げられる。
　これらのなかでも、解離温度が１００～１６０℃であるブロック剤としては、例えば、保存安定性の点から、オキシム化合物から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、例えば、膜の脆性改良、被転写体との密着力向上等の点から、イソシアヌレート構造を有することが好ましい。
　イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物は、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネートをイソシアヌレート化して保護することにより得られる。
　イソシアヌレート構造を有するブロックイソシアネート化合物のなかでも、オキシム化合物をブロック剤として用いたオキシム構造を有する化合物が、オキシム構造を有さない化合物よりも解離温度を好ましい範囲にしやすく、且つ、現像残渣を少なくしやすいという点から好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物は、重合性基を有していてもよい。
　重合性基としては、特に制限はなく、公知の重合性基を用いることができ、ラジカル重合性基が好ましい。
　重合性基としては、（メタ）アクリロキシ基、（メタ）アクリルアミド基、及びスチリル基等のエチレン性不飽和基、並びに、グリシジル基等のエポキシ基を有する基が挙げられる。
　なかでも、重合性基としては、エチレン性不飽和基が好ましく、（メタ）アクリロキシ基がより好ましく、アクリロキシ基が更に好ましい。

　ブロックイソシアネート化合物としては、市販品を使用できる。
　ブロックイソシアネート化合物の市販品の例としては、カレンズ（登録商標）　ＡＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＭ、カレンズ（登録商標）　ＭＯＩ－ＢＰ等（以上、昭和電工社製）、ブロック型のデュラネートシリーズ（例えば、デュラネート（登録商標）　ＴＰＡ－Ｂ８０Ｅ、デュラネート（登録商標）　ＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ等、旭化成ケミカルズ社製）が挙げられる。
　また、ブロックイソシアネート化合物として、下記の構造の化合物を用いることもできる。

　硬化性組成物層は、１種単独のブロックイソシアネートを含んでいてもよく、２種以上のブロックイソシアネートを含んでいてもよい。

　硬化性組成物層がブロックイソシアネートを含む場合、硬化性組成物層中におけるブロックイソシアネートの含有量は、硬化性組成物層の全質量に対して、１～５０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましい。

［脂肪族チオール化合物］
　硬化性組成物層は、脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。
　硬化性組成物層が脂肪族チオール化合物を含むことで、脂肪族チオール化合物がエチレン性不飽和基を有するラジカル重合性化合物との間でエン－チオール反応することで、形成される膜の硬化収縮が抑えられ、応力が緩和される。

　脂肪族チオール化合物としては、単官能の脂肪族チオール化合物、又は、多官能の脂肪族チオール化合物（すなわち、２官能以上の脂肪族チオール化合物）が好ましい。

　上記の中でも、脂肪族チオール化合物としては、例えば、形成されるパターンの密着性（特に、露光後における密着性）の点から、多官能の脂肪族チオール化合物が好ましい。

　本開示において、「多官能の脂肪族チオール化合物」とは、チオール基（「メルカプト基」ともいう。）を分子内に２個以上有する脂肪族化合物を意味する。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、分子量が１００以上の低分子化合物が好ましい。具体的には、多官能の脂肪族チオール化合物の分子量は、１００～１，５００がより好ましく、１５０～１，０００が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物の官能基数としては、例えば、形成されるパターンの密着性の点から、２～１０官能が好ましく、２～８官能がより好ましく、２～６官能が更に好ましい。

　多官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン、トリメチロールエタントリス（３－メルカプトブチレート）、トリス［（３－メルカプトプロピオニルオキシ）エチル］イソシアヌレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、テトラエチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ジペンタエリスリトールヘキサキス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオプロピオネート、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、１，２－エタンジチオール、１，３－プロパンジチオール、１，６－ヘキサメチレンジチオール、２，２’－（エチレンジチオ）ジエタンチオール、ｍｅｓｏ－２，３－ジメルカプトコハク酸、及び、ジ（メルカプトエチル）エーテルが挙げられる。

　上記の中でも、多官能の脂肪族チオール化合物としては、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、１，４－ビス（３－メルカプトブチリルオキシ）ブタン、及び、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチリルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンからなる群より選ばれる少なくとも１種の化合物が好ましい。

　単官能の脂肪族チオール化合物としては、例えば、１－オクタンチオール、１－ドデカンチオール、β－メルカプトプロピオン酸、メチル－３－メルカプトプロピオネート、２－エチルヘキシル－３－メルカプトプロピオネート、ｎ－オクチル－３－メルカプトプロピオネート、メトキシブチル－３－メルカプトプロピオネート、及び、ステアリル－３－メルカプトプロピオネートが挙げられる。

　硬化性組成物層は、１種単独の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよく、２種以上の脂肪族チオール化合物を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が脂肪族チオール化合物を含む場合、脂肪族チオール化合物の含有量は、硬化性組成物層の全質量に対して、５質量％以上が好ましく、５～５０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましく、８～２０質量％が特に好ましい。

［界面活性剤］
　硬化性組成物層は、界面活性剤を含んでいてもよい。
　界面活性剤としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１７］、及び特開２００９－２３７３６２号公報の段落［００６０］～［００７１］に記載の界面活性剤が挙げられる。

　界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤又はケイ素系界面活性剤が好ましい。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファック　Ｆ－１７１、Ｆ－１７２、Ｆ－１７３、Ｆ－１７６、Ｆ－１７７、Ｆ－１４１、Ｆ－１４２、Ｆ－１４３、Ｆ－１４４、Ｆ－４３７、Ｆ－４７５、Ｆ－４７７、Ｆ－４７９、Ｆ－４８２、Ｆ－５５１－Ａ、Ｆ－５５２、Ｆ－５５４、Ｆ－５５５－Ａ、Ｆ－５５６、Ｆ－５５７、Ｆ－５５８、Ｆ－５５９、Ｆ－５６０、Ｆ－５６１、Ｆ－５６５、Ｆ－５６３、Ｆ－５６８、Ｆ－５７５、Ｆ－７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７８－２、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５７９、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８６、ＥＸＰ．ＭＦＳ－５８７、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６２８、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６３１、ＥＸＰ．ＭＦＳ－６０３、Ｒ－４１、Ｒ－４１－ＬＭ、Ｒ－０１、Ｒ－４０、Ｒ－４０－ＬＭ、ＲＳ－４３、ＴＦ－１９５６、ＲＳ－９０、Ｒ－９４、ＲＳ－７２－Ｋ、ＤＳ－２１（以上、ＤＩＣ株式会社製）、フロラード　ＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ　ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）、フタージェント　７１０ＦＬ、７１０ＦＭ、６１０ＦＭ、６０１ＡＤ、６０１ＡＤＨ２、６０２Ａ、２１５Ｍ、２４５Ｆ、２５１、２１２Ｍ、２５０、２０９Ｆ、２２２Ｆ、２０８Ｇ、７１０ＬＡ、７１０ＦＳ、７３０ＬＭ、６５０ＡＣ、６８１、６８３（以上、（株）ＮＥＯＳ製）、Ｕ－１２０Ｅ（ユニケム株式会社製）等が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造を有し、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファック　ＤＳシリーズ（化学工業日報（２０１６年２月２２日）、日経産業新聞（２０１６年２月２３日））、例えばメガファック　ＤＳ－２１が挙げられる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。
　また、フッ素系界面活性剤としては、ブロックポリマーも使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する構成単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく使用できる。
　また、フッ素系界面活性剤としては、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体も使用できる。メガファック　ＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ（以上、ＤＩＣ株式会社製）等が挙げられる。

　フッ素系界面活性剤としては、環境適性向上の点から、パーフルオロオクタン酸（ＰＦＯＡ）及びパーフルオロオクタンスルホン酸（ＰＦＯＳ）等の炭素数が７以上の直鎖状パーフルオロアルキル基を有する化合物の代替材料に由来する界面活性剤であることが好ましい。
　炭化水素系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレート及びプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、等が挙げられる。
　具体例としては、プルロニック　Ｌ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２、テトロニック　３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１、ＨＹＤＲＯＰＡＬＡＴ　ＷＥ　３３２３（以上、ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース　２００００（以上、日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（以上、富士フイルム和光純薬（株）製）、パイオニン　Ｄ－１１０５、Ｄ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（以上、竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（以上、日信化学工業（株）製）等が挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合からなる直鎖状ポリマー、及び、側鎖や末端に有機基を導入した変性シロキサンポリマーが挙げられる。

　シリコーン系界面活性剤の具体例としては、ＥＸＰ．Ｓ－３０９－２、ＥＸＰ．Ｓ－３１５、ＥＸＰ．Ｓ－５０３－２、ＥＸＰ．Ｓ－５０５－２（以上、ＤＩＣ株式会社製）、ＤＯＷＳＩＬ　８０３２　ＡＤＤＩＴＩＶＥ、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）並びに、Ｘ－２２－４９５２、Ｘ－２２－４２７２、Ｘ－２２－６２６６、ＫＦ－３５１Ａ、Ｋ３５４Ｌ、ＫＦ－３５５Ａ、ＫＦ－９４５、ＫＦ－６４０、ＫＦ－６４２、ＫＦ－６４３、Ｘ－２２－６１９１、Ｘ－２２－４５１５、ＫＦ－６００４、ＫＦ－６００１、ＫＦ－６００２、ＫＰ－１０１、ＫＰ－１０３、ＫＰ－１０４、ＫＰ－１０５、ＫＰ－１０６、ＫＰ－１０９、ＫＰ－１１２、ＫＰ－１２０、ＫＰ－１２１、ＫＰ－１２４、ＫＰ－１２５、ＫＰ－３０１、ＫＰ－３０６、ＫＰ－３１０、ＫＰ－３２２、ＫＰ－３２３、ＫＰ－３２７、ＫＰ－３４１、ＫＰ－３６８、ＫＰ－３６９、ＫＰ－６１１、ＫＰ－６２０、ＫＰ－６２１、ＫＰ－６２６、ＫＰ－６５２（以上、信越シリコーン株式会社製）、Ｆ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＢＹＫ３００、ＢＹＫ３０６、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３１０、ＢＹＫ３２０、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３２５、ＢＹＫ３３０、ＢＹＫ３１３、ＢＹＫ３１５Ｎ、ＢＹＫ３３１、ＢＹＫ３３３、ＢＹＫ３４５、ＢＹＫ３４７、ＢＹＫ３４８、ＢＹＫ３４９、ＢＹＫ３７０、ＢＹＫ３７７、ＢＹＫ３７８（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

　硬化性組成物層は、１種単独の界面活性剤を含んでいてもよく、２種以上の界面活性剤を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が界面活性剤を含む場合、界面活性剤の含有量は、硬化性組成物層の全質量に対して、０．０１～３質量％が好ましく、０．０５～１質量％がより好ましく、０．１～０．８質量％が更に好ましい。

［水素供与性化合物］
　硬化性組成物層は、水素供与性化合物を含んでいてもよい。
　水素供与性化合物は、光重合開始剤の活性光線に対する感度を一層向上させる、酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。

　水素供与性化合物としては、アミン類、例えば、Ｍ．Ｒ．Ｓａｎｄｅｒら著「Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｏｌｙｍｅｒ　Ｓｏｃｉｅｔｙ」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４－０２０１８９号公報、特開昭５１－０８２１０２号公報、特開昭５２－１３４６９２号公報、特開昭５９－１３８２０５号公報、特開昭６０－０８４３０５号公報、特開昭６２－０１８５３７号公報、特開昭６４－０３３１０４号公報、及び、Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　３３８２５号等に記載の化合物が挙げられる。

　水素供与性化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ－ホルミルジメチルアニリン、及び、ｐ－メチルチオジメチルアニリンが挙げられる。

　また、水素供与性化合物としては、アミノ酸化合物（Ｎ－フェニルグリシン等）、特公昭４８－０４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５－０３４４１４号公報に記載の水素供与体、及び、特開平６－３０８７２７号公報に記載のイオウ化合物（トリチアン等）も挙げられる。

　硬化性組成物層は、１種単独の水素供与性化合物を含んでいてもよく、２種以上の水素供与性化合物を含んでいてもよい。

　硬化性組成物層が水素供与性化合物を含む場合、水素供与性化合物の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスとによる硬化速度の向上の点から、硬化性組成物層の全質量に対して、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０３～５質量％がより好ましく、０．０５～３質量％が更に好ましい。

［他の成分］
　硬化性組成物層は、既述の成分以外の成分（以下、「他の成分」ともいう。）を含んでいてもよい。他の成分としては、例えば、粒子（例えば、金属酸化物粒子）、及び、着色剤が挙げられる。
　また、他の成分としては、例えば、特許第４５０２７８４号公報の段落［００１８］に記載の熱重合防止剤、及び、特開２０００－３１０７０６号公報の段落［００５８］～［００７１］に記載のその他の添加剤も挙げられる。

　硬化性組成物層は、屈折率、光透過性等の調節を目的として、粒子を含んでいてもよい。粒子としては、例えば、金属酸化物粒子が挙げられる。
　金属酸化物粒子における金属には、Ｂ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ａｓ、Ｓｂ、及び、Ｔｅ等の半金属も含まれる。

　粒子の平均一次粒子径としては、例えば、パターンの透明性の点から、１～２００ｎｍが好ましく、３～８０ｎｍがより好ましい。粒子の平均一次粒子径は、電子顕微鏡を用いて任意の粒子２００個の粒子径を測定し、測定結果を算術平均することにより算出される。なお、粒子の形状が球形でない場合には、最も長い辺を粒子径とする。

　硬化性組成物層は、１種単独の粒子を含んでいてもよく、２種以上の粒子を含んでいてもよい。また、硬化性組成物層が粒子を含む場合、金属種、大きさ等の異なる粒子を１種のみ含んでいてもよく、２種以上含んでいてもよい。

　硬化性組成物層は、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が硬化性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて３５質量％以下であることが好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が硬化性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて１０質量％以下であることがより好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が硬化性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて５質量％以下であることが更に好ましく、粒子を含まないか、又は、粒子の含有量が硬化性組成物層の全質量に対して０質量％を超えて１質量％以下であることが特に好ましく、粒子を含まないことが最も好ましい。

　硬化性組成物層は、微量の着色剤（例えば、顔料、及び染料）を含んでいてもよいが、例えば、透明性の点からは、着色剤を実質的に含まないことが好ましい。
　硬化性組成物層が着色剤を含む場合、着色剤の含有量は、硬化性組成物層の全質量に対して、１質量％未満が好ましく、０．１質量％未満がより好ましい。

［不純物等］
　硬化性組成物層は、所定量の不純物を含んでいてもよい。
　不純物の具体例としては、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、鉄、マンガン、銅、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、亜鉛、スズ、ハロゲン及びこれらのイオンが挙げられる。中でも、ハロゲン化物イオン、ナトリウムイオン、及び、カリウムイオンは不純物として混入し易いため、下記の含有量にすることが好ましい。

　硬化性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、８０ｐｐｍ以下が好ましく、１０ｐｐｍ以下がより好ましく、２ｐｐｍ以下が更に好ましい。硬化性組成物層における不純物の含有量は、質量基準で、１ｐｐｂ以上とすることができ、０．１ｐｐｍ以上とすることができる。

　不純物を上記範囲にする方法としては、硬化性組成物層の原料として不純物の含有量が少ないものを選択すること、及び、硬化性組成物層の形成時に不純物の混入を防ぐこと、洗浄して除去することが挙げられる。このような方法により、不純物量を上記範囲内とすることができる。

　不純物は、例えば、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析法、原子吸光分光法、及び、イオンクロマトグラフィー法等の公知の方法で定量できる。

　硬化性組成物層における、ベンゼン、ホルムアルデヒド、トリクロロエチレン、１，３－ブタジエン、四塩化炭素、クロロホルム、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、及び、ヘキサン等の化合物の含有量は、少ないことが好ましい。これら化合物の硬化性組成物層中における含有量としては、質量基準で、１００ｐｐｍ以下が好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましく、４ｐｐｍ以下が更に好ましい。下限は質量基準で、１０ｐｐｂ以上とすることができ、１００ｐｐｂ以上とすることができる。これら化合物は、上記の金属の不純物と同様の方法で含有量を抑制できる。また、公知の測定法により定量できる。

　硬化性組成物層における水の含有量は、信頼性及びラミネート性を向上させる点から、０．０１～１．０質量％が好ましく、０．０５～０．５質量％がより好ましい。

［硬化性組成物層の厚み］
　硬化性組成物層の厚みの上限値は、塗布性の点から、２０．０μｍ以下が好ましく、１５．０μｍ以下がより好ましく、１２．０μｍ以下が更に好ましい。
　硬化性組成物の厚みの下限値は、０．０５μｍ以上が好ましくい。
　硬化性組成物層の厚みは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による断面観察により測定した任意の５点の平均値として算出する。

［硬化性組成物層の色］
　硬化性組成物層は無彩色であることが好ましい。硬化性組成物層のａ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましく、硬化性組成物層のｂ^＊値は、－１．０～１．０であることが好ましい。
　硬化性組成物層の色相は、色差計（ＣＲ－２２１、ミノルタ株式会社製）を用いて測定できる。

［転写フィルムの製造方法］
　転写フィルムの製造方法は特に制限されず、公知の方法を用いることができる。
　なかでも、生産性に優れる点で、仮支持体上に硬化性組成物を塗布し、必要に応じて乾燥処理を施し、硬化性組成物層を形成する方法（以下、この方法を「塗布方法」ともいう。）が好ましい。

　塗布方法で使用される硬化性組成物は、上述した硬化性組成物層を構成する成分（例えば、重合性化合物、ポリマー、複素環化合物、重合開始剤、ブロックイソシアネート化合物等）、及び、溶剤を含むことが好ましい。
　溶剤としては、有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（別名：１－メトキシ－２－プロピルアセテート）、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム、ｎ－プロパノール、及び、２－プロパノールが挙げられる。溶剤としては、メチルエチルケトンと、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤、又は、ジエチレングリコールエチルメチルエーテルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合溶剤が好ましい。

　また、溶剤としては、必要に応じ、沸点が１８０～２５０℃である有機溶剤（高沸点溶剤）を用いることもできる。
　硬化性組成物は、１種単独の溶剤を含んでいてもよく、２種以上の溶剤を含んでいてもよい。

　硬化性組成物が溶剤を含む場合、硬化性組成物の全固形分量は、硬化性組成物の全質量に対して、５～８０質量％が好ましく、５～４０質量％がより好ましく、５～３０質量％が更に好ましい。

　硬化性組成物が溶剤を含む場合、硬化性組成物の２５℃における粘度は、例えば、塗布性の点から、１～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、２～４０ｍＰａ・ｓがより好ましく、３～３０ｍＰａ・ｓが更に好ましい。粘度は、粘度計を用いて測定する。粘度計としては、例えば、東機産業株式会社製の粘度計（商品名：ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ　ＴＶ－２２）を好適に用いることができる。ただし、粘度計は、上記した粘度計に制限されない。

　硬化性組成物が溶剤を含む場合、硬化性組成物の２５℃における表面張力は、例えば、塗布性の点から、５～１００ｍＮ／ｍが好ましく、１０～８０ｍＮ／ｍがより好ましく、１５～４０ｍＮ／ｍが更に好ましい。表面張力は、表面張力計を用いて測定する。表面張力計としては、例えば、協和界面科学株式会社製の表面張力計（商品名：Ａｕｔｏｍａｔｉｃ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｔｅｎｓｉｏｍｅｔｅｒ　ＣＢＶＰ－Ｚ）を好適に用いることができる。ただし、表面張力計は、上記した表面張力計に制限されない。

　硬化性組成物の塗布方法としては、例えば、印刷法、スプレー法、ロールコート法、バーコート法、カーテンコート法、スピンコート法、及び、ダイコート法（すなわち、スリットコート法）が挙げられる。

　乾燥方法としては、例えば、自然乾燥、加熱乾燥、及び、減圧乾燥が挙げられる。上記した方法を単独で又は複数組み合わせて適用することができる。
　本開示において、「乾燥」とは、組成物に含まれる溶剤の少なくとも一部を除去することを意味する。

　また、転写フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを硬化性組成物層に貼り合わせることにより、転写フィルムを製造できる。
　保護フィルムを硬化性組成物層に貼り合わせる方法は特に制限されず、公知の方法が挙げられる。
　保護フィルムを硬化性組成物層に貼り合わせる装置としては、真空ラミネーター、及び、オートカットラミネーター等の公知のラミネーターが挙げられる。
　ラミネーターはゴムローラー等の任意の加熱可能なローラーを備え、加圧及び加熱ができるものであることが好ましい。

＜＜第２実施態様＞＞
　本発明の積層体の第２実施態様について図面を用いて説明する。
　図３に示す積層体２０は、誘電体フィルム２２と、誘電体フィルム２２の一方の表面側に配置された第１金属パターン２４と、第１金属パターン２４上に配置された第１有機膜２６と、誘電体フィルム２２の他方の表面側に配置された第２金属パターン２８と、第１金属パターン２８上に配置された第１有機膜３０とを有する。
　図３に示すように、第１金属パターン２４は複数の第１金属構造体３２により構成され、第２金属パターン２８は複数の第２金属構造体３４により構成される。
　積層体２０においては、第１金属パターン２４と第２金属パターン２８とが、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する。より具体的には、第１金属パターン２４中の第１金属構造体３２及び第２金属パターン２８中の第２金属構造体３４の間で、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振が起こり、第１金属構造体３２及び第２金属構造体３４が１つの共振器として機能し得る。

　第２実施態様に含まれる誘電体フィルムと、第１実施態様に含まれる誘電体フィルムとは同じ部材であり、説明を省略する。
　また、第２実施態様に含まれる第１有機膜及び第２有機膜と、第１実施態様に含まれる有機膜とは同じ部材であり、説明を省略する。

　第２実施態様に含まれる第１金属パターンを構成する第１金属構造体及び第２金属パターンを構成する第２金属構造体の形状、大きさ、及び、材料等各種特性としては、第１実施態様に含まれる金属パターンを構成する金属構造体で説明した各種特性が挙げられる。
　なお、テラヘルツ帯の電磁波に対する共振の点からは、積層体を平面視した際に、第１金属パターンに含まれる第１金属構造体と、第２金属パターンに含まれる第２金属構造体とが、少なくとも一部重複するように配置されていることが好ましい。
　また、積層体を平面視した際に、第１金属パターンに含まれる第１金属構造体と、第２金属パターンに含まれる第２金属構造体とが、重複しないように配置されていてもよいが、そのズレは２０μｍ以下が好ましい。

＜積層体の製造方法＞
　積層体の第２実施態様の製造方法は特に制限されないが、誘電体フィルムと、誘電体フィルムの一方の表面側に配置された複数の第１金属構造体から構成された第１金属パターンと、誘電体フィルムの他方の表面側に配置された複数の第２金属構造体から構成された第２金属パターンを含み、第１金属パターンと第２金属パターンとがテラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する金属パターン付きフィルム（以下、単に「金属パターン付きフィルムＢ」ともいう。）と、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、仮支持体、硬化性組成物層、第１金属パターン、誘電体フィルム、第２金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ｂと、硬化性組成物層に硬化処理を施して、有機膜を得る工程２Ｂとを、有し、工程１Ｂと工程２Ｂとの間、又は、工程２Ｂの後に、仮支持体を剥離する工程３Ｂを有する方法が好ましい。
　以下、上記製造方法について詳述する。

（金属パターン付きフィルムＢ）
　上記方法においては、金属パターン付きフィルムＢが用いられる。
　金属パターン付きフィルムＢに含まれる金属パターンの構成は、上述した積層体中の金属パターンの構成と同様である。
　上記金属パターン付きフィルムＢの製造方法は特に制限されず、誘電体フィルムの両面上に金属層を形成して、金属層上に所定のレジストパターンを配置して、レジストパターンで覆われていない金属層をエッチング除去し、レジストパターンを剥離することにより、金属パターン付きフィルムＢを製造できる。

（工程１Ｂ）
　工程１Ｂは、金属パターン付きフィルムＢと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、仮支持体、硬化性組成物層、第１金属パターン、誘電体フィルム、第２金属パターン、硬化性組成物層、及び、仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程である。
　本工程は２枚の転写フィルムを用意して、金属パターン付きフィルムＢの両面に転写フィルムを貼合する。
　貼合方法は、上述した工程１Ａで述べた方法が挙げられる。

（工程２Ｂ）
　工程２Ｂは、硬化性組成物層に硬化処理を施して、有機膜を得る工程である。
　本工程を実施することにより、第１金属パターン上には第１有機膜が、第２金属パターン上には第２有機膜が形成される。
　硬化処理の方法は、上述した工程２Ａで述べた方法が挙げられる。

（工程３Ｂ）
　工程３Ｂは、工程１Ｂと工程２Ｂとの間、又は、工程２Ｂの後に、仮支持体を剥離する工程である。
　剥離方法は特に制限されず、特開２０１０－０７２５８９号公報の段落［０１６１］～［０１６２］に記載されたカバーフィルム剥離機構と同様の機構を用いることができる。

＜＜用途＞＞
　本発明の積層体は、種々の用途に適用できる。特に、本発明の積層体は、光学素子に含まれるシート型部材として用いることが好ましい。つまり、本発明の光学素子は、上述した積層体を含む。
　光学素子としては、平板レンズ、回折格子、波長フィルタ、偏光子、および、センサーが挙げられる。

　積層体の大きさは特に制限されず、使用する用途に応じて適宜最適な大きさが選択される。例えば、積層体の面積は、１ｃｍ^２以上が好ましく、５ｃｍ^２以上がより好ましい。

　以下に実施例と比較例を挙げて本発明の特徴を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更できる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例により制限的に解釈されるべきものではない。
　また、以下の実施例において、樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算で求めた重量平均分子量である。また、酸価は、理論酸価を用いた。

＜金属パターン付きフィルムの製造＞
（金属パターン付きフィルム１）
　特許第４９９１１７０号記載の方法で、ＣＯＰフィルムを作製した。ＣＯＰフィルムの厚みは、５０μｍであった。
　次に、ＣＯＰフィルムの表面を超音波洗浄（４５ｋＨｚ）した後、スパッタリング成膜装置内部に、１０ｃｍサイズに切り出したフィルムを載置し、装置内部を減圧した後にアルゴンガスを導入し、ターゲットにＣｕを用いてスパッタリングを実施した。片面ずつ順に、両面に厚さ５０ｎｍの銅層を形成した。

　次に、特開２０２０－２０４７５７号公報に示した感光性転写部材（ネガ型転写材料１）を巻き出し、感光性転写部材からカバーフィルムを剥離した。次いで、感光性転写部材と上記の銅層が配置されたＣＯＰフィルムとを、カバーフィルムの剥離により露出した感光性樹脂層と銅層とが互いに接触するように貼り合わせて、積層体を得た。この貼り合わせ工程は、ロール温度１００℃、線圧１．０ＭＰａ、及び、線速度４．０ｍ／ｍｉｎの条件で行った。

　得られた積層体の両面の仮支持体側から、図４に示すフォトマスクを介して超高圧水銀灯（露光主波長：３６５ｎｍ）を１００ｍＪ／ｃｍ^２照射して、感光性樹脂層を露光した。
　図４に示すフォトマスク４０は、長方形の開口部４２が幅方向及び長方向に等間隔に複数配置されている。開口部４２の長さＬは３１３μｍであり、幅Ｗは５４μｍである。開口部の長さ方向の開口部間の距離Ｄ１は９４μｍであり、開口部の幅方向の開口部間の距離Ｄ２は８６μｍであった。
　露光された積層体から両面の仮支持体を剥離した後、積層体に対して、液温２５℃の１．０％炭酸ナトリウム水溶液を用いて３０秒間のシャワー現像を行い、銅層上にレジストパターンを形成した。
　次いで得られた積層体に対して銅エッチング液（Ｃｕ－０２：関東化学（株）製）により２３℃で３０秒エッチングし、更に、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いてレジストパターンを剥離することで、銅パターンが表裏にパターンニングされた金属パターン付きフィルム１を得た。得られた金属パターン付きフィルム１の透過特性を、テラヘルツ時間領域分光法（ＴＨｚ－ＴＤＳ）を用いて測定した。試料をΦ１０ｍｍのアパーチャーに固定（ＮＡ～１/６）し、温度２５℃、湿度２０％環境下でテラヘルツビームを照射した。偏波方向とパターンの長軸方向を一致させた。３２０ＧＨｚ付近に透過率の急峻な谷（凹み）と位相反転が観測され、ＣＯＰフィルムの両面に配置された金属パターンの共振が生じていることが示唆された。

（金属パターン付きフィルム２）
　両面に銅層が配置されたＣＯＰフィルムの代わりに、両面に銀層が配置されたＣＯＰフィルムを用いた以外は、上記（金属パターン付きフィルム１）と同様の手順に従って、金属パターン付きフィルム２を製造した。得られた金属パターン付きフィルム２中のＣＯＰフィルムの両面に配置された金属パターンを、金属パターン付きフィルム１の場合と同様の方法で透過特性を測定し、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振が生じていることを確認した。
　なお、両面に銀層が配置されたＣＯＰフィルムは、以下の方法によって製造した。
　ＣＯＰフィルムの表面を超音波洗浄（４５ｋＨｚ）した後、株式会社Ｃ－ＩＮＫ社製導電性金属ナノインクＤｒｙＣｕｒｅＡｇ-Ｊ（銀ナノ粒子１０質量％水溶液）を、ＣＯＰフィルムの両面に塗布した後、１２０℃で６０分間加熱し、銀層を得た。

＜バインダーポリマー＞
　表１に示す各化合物由来の構成単位を含む樹脂Ｐ－１００及びＰ－１０１を用意した。
　表１に、合成した各樹脂の構成単位の量（質量％）、重量平均分子量（Ｍｗ）、分散度、及び、酸価を示す。
　表１中、各略称は以下の通りである。
　・Ｓｔ：スチレン
　・ＭＡＡ－ＧＭＡ：メタクリル酸由来の構成単位にグリシジルメタクリレートを付加してなる構成単位
　・ＭＡＡ：メタクリル酸
　・ＤＣＰＭＡ：メタクリル酸ジシクロペンタニル
　・ＭＭＡ：メタクリル酸メチル
　なお、上記ＧＭＡ－ＭＡＡで表される繰り返し単位は、以下の式で表される。

＜ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１の合成＞
　窒素気流下、ブタノンオキシム（出光興産社製）４５３ｇをメチルエチルケトン７００ｇに溶解させた。これに氷冷下、１，３－ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン（cis,trans異性体混合物、三井化学社製、タケネート６００）５００ｇを１時間かけて滴下し、滴下後更に１時間反応させた。その後４０℃に昇温して１時間反応させた。^１Ｈ－ＮＭＲ（Nuclear Magnetic Resonance）及びＨＰＬＣ（High Performance Liquid Chromatography）にて反応が完結したことを確認し、ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１（下記式参照）のメチルエチルケトン溶液を得た。

＜ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２～Ｑ－４の合成＞
　ブロックイソシアネート化合物Ｑ－１の合成方法を参考にして、ブロックイソシアネート化合物Ｑ－２～Ｑ－４（下記式参照）のメチルエチルケトン溶液を得た。

＜硬化性組成物の調製＞
　下記表３に示す組成の硬化性組成物Ａ－１～Ａ－６を調製した。表３中、各成分の数値は各成分の含有量（固形分質量）を表し、メチルエチルケトン及び１－メトキシ－２－プロピルアセテートを適宜加え、溶剤のうちメチルエチルケトンの含有量が６０質量％に、固形分濃度が２５質量％になるよう、硬化性組成物を調製した。

　下記表５に示す組成の硬化性組成物Ｂ－１を調製した。

　下記表５に示す組成の硬化性組成物Ｂ－２を調製した。
　なお、硬化性組成物Ｂ－２は、Ａ液とＢ液との２液セットであった。

＜実施例１～１０及び比較例１の転写フィルムの作製＞
　仮支持体であるルミラー１６ＫＳ４０（厚み１６μｍ、東レ株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルム）に、スリット状ノズルを用いて、硬化性組成物Ａ－１～Ａ－６及びＢ－１～Ｂ－２のいずれか１種を塗布し、次に、１００℃の乾燥ゾーンで溶剤を揮発させることにより、仮支持体上に硬化性組成物層を形成した。硬化性組成物の塗布量は、表６に記載された有機膜の厚みになるように調節した。次に、硬化性組成物層上に保護フィルム（ルミラー１６ＫＳ４０（東レ株式会社製））を圧着し、実施例１～１０及び比較例１で使用する各転写フィルムを作製した。

　実施例及び比較例の各転写フィルムの保護フィルムを剥離し、露出した硬化性組成物層の表面を、金属パターン付きフィルムの金属パターンに接触させて、硬化性組成物層が金属パターンを覆うようにラミネートして（貼り合わせて）、金属パターン付きフィルム上に硬化性組成物層及び仮支持体が配置された積層体を形成した。
　なお、上記ラミネートは、ＭＣＫ社製真空ラミネーターを用いて、誘電体フィルムの温度４０℃、ゴムローラー温度１００℃、線圧３Ｎ／ｃｍ、搬送速度２ｍ／分の条件で行った。

　その後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を用いて、仮支持体を介して露光量１２０ｍＪ／ｃｍ^２（ｉ線）で露光した。なお、照射の際の露光光は、波長３６５ｎｍの光が主波長であった。
　その後、１４５℃で３０分間のポストベーク処理を行って、積層体を形成した。
　ただし、組成物Ｂ－２を用いた際には、上記露光処理を実施せずに、１４５℃で３０分間の加熱処理のみを実施した。
　なお、比較例１では硬化性組成物層が形成されていないフィルムを用いて、上記処理を行っている。

＜評価＞
（透湿度）
　ＪＩＳ　Ｚ　０２０８記載の方法により、各実施例及び比較例の有機膜が５層積層された測定サンプルの透湿度の測定を行った（測定条件：温度４０℃、相対湿度９０％で、２４時間経過後）。
　より具体的には、以下の方法にて透湿度を算出した。
　まず、測定サンプルの作製は、以下の方法で行った。市販のテフロン（登録商標）メッシュ上に作製した各実施例及び比較例の転写フィルムを５回ラミネートした（透明フィルム基板の温度：４０℃、ゴムローラー温度１１０℃、線圧３Ｎ／ｃｍ、搬送速度２ｍ／分）。その後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング（株）製）を用いて、露光マスク面と仮支持体との間の距離を１２５μｍに設定し、仮支持体を介して露光量１００ｍＪ／ｃｍ^２（ｉ線）で全面露光し、さらに１５０℃６０分間の加熱（ポストベーク）処理を行ったものを測定サンプルとして用いた。
　得られた評価サンプルを温度４０℃、相対湿度９０％で、２４時間静置後、同条件（温度４０℃、相対湿度９０％）にてＪＩＳ　Ｚ　０２０８記載の方法にて透湿度を求めた。得られた透湿度の値を５倍にして、有機膜１層あたりの透湿度を求めた。
　上記操作を５つの測定サンプルに対して実施して、５つの１層あたりの透湿度の値を求め、これらの数値を算術平均して、本発明の透湿度（ＷＶＴＲ）とした。得られた透湿度（ＷＶＴＲ）を後段の評価基準に従って、評価した。
　なお、組成物Ｂ－２を用いた際には、上記露光処理を実施せずに、１４５℃３０分間の加熱処理のみを実施して、評価サンプルを作製した。
　Ａ：ＷＶＴＲが、１０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下
　Ｂ：ＷＶＴＲが、１０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）超２０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下
　Ｃ：ＷＶＴＲが、２０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）超３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下
　Ｄ：ＷＶＴＲが、３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）超

（腐食性）
　各実施例及び比較例で得られた積層体の有機膜側の表面に濃度５０ｇ／Ｌの塩水を５ｃｍ^３滴下し、５０ｃｍ^２に均一に広げた後、常温にて水分を揮発させ、ＨＡＳＴ試験装置ＥＨＳ－２２１ＭＤ（エスペック株式会社製）を用いて温度１１０℃、相対湿度８５％環境下で３２時間経過させた。その後、塩水をふき取って積層体中の金属パターンの表面状態を観察し、以下の評点にしたがって評価した。
　Ａ、Ｂ、Ｃであることが実用上必要なレベルである。
　Ａ：銅又は銀の変色や荒れが全くない。
　Ｂ：銅又は銀の一部にうすく変色や荒れが見られる。
　Ｃ：銅又は銀の全面にうすく変色や荒れが見られる。
　Ｄ：銅又は銀の全面に顕著に変色や荒れが見られる。

　表６中、「フィルム」欄は、金属パターン付きフィルムの種類を表し、「１」は金属パターン付きフィルム１を、「２」は金属パターン付きフィルム２を表す。
　表６中、「複素環化合物」欄は、有機膜に複素環化合物が含まれるか否かを表し、「有」は有機膜が複素環化合物を含むことを、「無」は有機膜が複素環化合物を含まないことを表す。
　表６中、「酸価」欄は、有機膜に含まれるポリマーの酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるかを表し、「Ａ」は２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることを表し、「Ｂ」は２０ｍｇＫＯＨ／ｇ超であることを表す。
　表６中、「厚み（μｍ）」欄は、有機膜の厚み（μｍ）を表す。

　表１に示すように、本発明の積層体は、所望の効果を示すことが確認された。
　実施例８と９との比較より、有機膜が複素環化合物を含む場合、より優れた効果が得られた。
　実施例８と１０との比較より、有機膜に含まれるポリマーの酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下の場合、より優れた効果が得られた。

　１０，２０　　積層体
　１２，２２　　誘電体フィルム
　１４　　金属パターン
　１６　　有機膜
　１８，１８Ａ　　金属構造体
　２４　　第１金属パターン
　２６　　第１有機膜
　２８　　第２金属パターン
　３０　　第２有機膜
　３２　　第１金属構造体
　３４　　第２金属構造体
　４０　　フォトマスク
　４２　　開口部

Claims

　誘電体フィルムと、
　前記誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる、金属パターンと、
　前記金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜と、を有する、積層体。
　前記有機膜が、複素環化合物を含む、請求項１に記載の積層体。
　前記有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、請求項１に記載の積層体。
　前記有機膜が硬化性組成物を用いて形成され、
　前記硬化性組成物がブロックイソシアネートを含む、請求項１に記載の積層体。
　誘電体フィルムと、
　前記誘電体フィルムの一方の表面側に配置された、複数の第１金属構造体から構成された第１金属パターンと、
　前記第１金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である第１有機膜と、
　前記誘電体フィルムの他方の表面側に配置された、複数の第２金属構造体から構成された第２金属パターンと、
　前記第２金属パターン上に配置された、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である第２有機膜と、を有し、
　前記第１金属パターンと前記第２金属パターンとが、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する、積層体。
　前記積層体を平面視した際に、前記第１金属パターンに含まれる前記第１金属構造体と、前記第２金属パターンに含まれる前記第２金属構造体とが、少なくとも一部重複するように配置されている、請求項５に記載の積層体。
　前記第１有機膜及び前記第２有機膜が、複素環化合物を含む、請求項５に記載の積層体。
　前記第１有機膜及び前記第２有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、請求項５に記載の積層体。
　前記第１有機膜及び前記第２有機膜が硬化性組成物を用いて形成され、
　前記硬化性組成物がブロックイソシアネートを含む、請求項５に記載の積層体。
　請求項１～９のいずれか１項に記載の積層体を含む、光学素子。
　誘電体フィルム、及び、前記誘電体フィルムの少なくとも一方の表面側に配置された、テラヘルツ帯の電磁波に対して共振器となる金属パターンを含む金属パターン付きフィルムと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、前記誘電体フィルム、前記金属パターン、前記硬化性組成物層、及び、前記仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ａと、
　前記硬化性組成物層に硬化処理を施して、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜を得る工程２Ａと、を、有し、
　前記工程１Ａと前記工程２Ａとの間、又は、前記工程２Ａの後に、前記仮支持体を剥離する工程を更に有する、積層体の製造方法。
　前記有機膜が、複素環化合物を含む、請求項１１に記載の積層体の製造方法。
　前記有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、請求項１１又は１２に記載の積層体の製造方法。
　前記硬化性組成物層がブロックイソシアネートを含む、請求項１１又は１２に記載の積層体の製造方法。
　誘電体フィルムと、前記誘電体フィルムの一方の表面側に配置された、複数の第１金属構造体から構成された第１金属パターンと、前記誘電体フィルムの他方の表面側に配置された、複数の第２金属構造体から構成された第２金属パターンとを含み、前記第１金属パターンと前記第２金属パターンとがテラヘルツ帯の電磁波に対して共振器を構成する金属パターン付きフィルムと、仮支持体及び硬化性組成物層を含む転写フィルムとを貼合して、前記仮支持体、前記硬化性組成物層、前記第１金属パターン、前記誘電体フィルム、前記第２金属パターン、前記硬化性組成物層、及び、前記仮支持体をこの順で有する前駆体フィルムを形成する工程１Ｂと、
　前記硬化性組成物層に硬化処理を施して、温度４０℃、相対湿度９０％の環境下における透湿度が３０００ｇ／（ｍ^２・２４ｈｒ）以下である有機膜を得る工程２Ｂと、を、有し、
　前記工程１Ｂと前記工程２Ｂとの間、又は、前記工程２Ｂの後に、前記仮支持体を剥離する工程３Ｂを更に有する、積層体の製造方法。
　前記金属パターン付きフィルムを平面視した際に、前記第１金属パターンに含まれる前記第１金属構造体と、前記第２金属パターンに含まれる前記第２金属構造体とが、少なくとも一部重複するように配置されている、請求項１５に記載の積層体の製造方法。
　前記有機膜が、複素環化合物を含む、請求項１５又は１６に記載の積層体の製造方法。
　前記有機膜が、酸価が２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であるポリマーを含む、請求項１５又は１６に記載の積層体の製造方法。
　前記硬化性組成物層がブロックイソシアネートを含む、請求項１５又は１６に記載の積層体の製造方法。