JP2022545046A - 検査プローブ及びその製造方法、並びにそれを支持する検査ソケット - Google Patents
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Abstract
Description
第1陥没部224の曲率は第1接触ラインセット222の下方延在方向に沿って減少する。
第2陥没部225の曲率は第2接触ラインセット223の下方延在方向に沿って減少する。
図9を参照すると、検査ソケット80は、第1プランジャー74を収容して支持する第1プランジャー支持体81、バレル72を収容して支持するバレル支持体82、及びバレル支持体82の下部に設けられ、第2プランジャー76を収容して支持する第2プランジャー支持体83を含むことができる。
本発明の検査プローブは、相互に離隔される複数の接触ラインがV状又はU状に2セットで延在して配置され、V形の凹溝に収容される被検査体と4個の地点で接触する。それによって、本発明の検査プローブは、反復的検査時に発生する異物の転移及び蓄積を防止でき、接触抵抗を減少され、その結果、検査の信頼性を向上させることができる。
12 被検査接点
20 ライン接触部
22 V形端部
221 V形接触部
222 第1接触ラインセット
223 第2接触ラインセット
224,225 第1及び第2陥没部
226 凹み部
30 プローブ
32 バレル
34 第1プランジャー
36 第2プランジャー
38 スプリング
40,70 検査プローブ
50,50,80 検査ソケット
Claims (8)
- 被検査体を検査するための検査プローブであって、
相互に離隔して線形に延在している2個の接触ラインをそれぞれ有する第1接触ラインセット及び第2接触ラインセットを含み、前記第1接触ラインセットと前記第2接触ラインセットとがV状又はU状に配置されるライン接触部を含む検査プローブ。 - 前記2個の接触ライン間の間隔には陥没部が設けられている、請求項1に記載の検査プローブ。
- 前記陥没部の曲率は、前記接触ラインの下方延在方向に沿って減少する、請求項2に記載の検査プローブ。
- 前記ライン接触部は、相互に離隔して線形に延在している2個の接触ラインを有する1以上の他の接触ラインセットを含む、請求項1に記載の検査プローブ。
- 検査プローブの製造方法であって、
円柱基材を準備する段階と、
前記基材の一端部に長さ方向に凹溝を形成する段階と、
前記一端部において前記基材の中心軸を含む所定の幅を残して平面カッティングする段階と、を含む、検査プローブの製造方法。 - 前記凹溝は、円錐又は半球形である、請求項5に記載の検査プローブの製造方法。
- 前記凹溝の頂点から長さ方向に孔を形成する段階をさらに含む、請求項5に記載の検査プローブの製造方法。
- 被検査体を検査する検査ソケットであって、
相互に離隔して線形に延在している2個の接触ラインをそれぞれ有する第1接触ラインセットと第2接触ラインセットとを含むライン接触部を含む検査プローブと、
前記検査プローブを支持するプローブ支持体と、を含み、
前記第1接触ラインセットと前記第2接触ラインセットとがV状又はU状に配置される検査ソケット。
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