JP2022162641A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021067538A JP7441195B2 (ja) | 2021-04-13 | 2021-04-13 | センサ及び電子装置 |
| EP22155839.8A EP4075096B1 (en) | 2021-04-13 | 2022-02-09 | Sensor and electronic device |
| US17/650,749 US11796319B2 (en) | 2021-04-13 | 2022-02-11 | Sensor and electronic device |
| CN202210137012.3A CN115265510B (zh) | 2021-04-13 | 2022-02-15 | 传感器及电子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021067538A JP7441195B2 (ja) | 2021-04-13 | 2021-04-13 | センサ及び電子装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022162641A JP2022162641A (ja) | 2022-10-25 |
| JP2022162641A5 true JP2022162641A5 (enExample) | 2023-05-10 |
| JP7441195B2 JP7441195B2 (ja) | 2024-02-29 |
Family
ID=80446239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021067538A Active JP7441195B2 (ja) | 2021-04-13 | 2021-04-13 | センサ及び電子装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11796319B2 (enExample) |
| EP (1) | EP4075096B1 (enExample) |
| JP (1) | JP7441195B2 (enExample) |
| CN (1) | CN115265510B (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7620533B2 (ja) | 2021-10-21 | 2025-01-23 | 株式会社東芝 | 位相同期回路及びセンシング装置 |
| JP7596252B2 (ja) | 2021-11-17 | 2024-12-09 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
| JP7746236B2 (ja) | 2022-08-16 | 2025-09-30 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
| JP2024122295A (ja) * | 2023-02-28 | 2024-09-09 | 株式会社東芝 | センサ |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2888029B2 (ja) * | 1992-05-08 | 1999-05-10 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
| JPH08159776A (ja) * | 1994-12-08 | 1996-06-21 | Nissan Motor Co Ltd | 角速度センサ |
| US7316161B2 (en) * | 2002-01-12 | 2008-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Rotation rate sensor |
| JP4310325B2 (ja) * | 2006-05-24 | 2009-08-05 | 日立金属株式会社 | 角速度センサ |
| JP4961877B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2012-06-27 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度・加速度検出センサ |
| JP5012085B2 (ja) * | 2007-02-23 | 2012-08-29 | 株式会社ニコン | ブレ補正装置及び光学装置 |
| FR2925669B1 (fr) * | 2007-12-21 | 2010-01-15 | Sagem Defense Securite | Mesure par systeme gyroscopique |
| US9417067B1 (en) * | 2012-01-11 | 2016-08-16 | The Boeing Company | Electronic bias compensation for a gyroscope |
| JP6176001B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-08-09 | 株式会社デンソー | ジャイロセンサ |
| JP6278604B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-02-14 | 三菱プレシジョン株式会社 | バイアス補正機能を備えた振動型ジャイロ |
| JP6211463B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2017-10-11 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
| CN104820113B (zh) * | 2015-04-30 | 2018-02-02 | 东南大学 | 一种集成温度敏感单元的石英双梁力频谐振器 |
| US10466068B2 (en) * | 2017-01-23 | 2019-11-05 | Georgia Tech Research Corporation | Systems and methods for operation of vibratory gyroscopes |
| US10520331B2 (en) * | 2017-02-27 | 2019-12-31 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Calibration system and method for whole angle gyroscope |
| JP6802125B2 (ja) * | 2017-08-24 | 2020-12-16 | 株式会社豊田中央研究所 | 振動ジャイロ |
| JP2019045405A (ja) * | 2017-09-06 | 2019-03-22 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器および移動体 |
| JP7196739B2 (ja) | 2019-04-04 | 2022-12-27 | マツダ株式会社 | エンジンの燃焼制御装置 |
| JP7204576B2 (ja) | 2019-05-15 | 2023-01-16 | 株式会社東芝 | センサ |
| JP7134931B2 (ja) * | 2019-08-28 | 2022-09-12 | 株式会社東芝 | センサ |
| JP2021192012A (ja) * | 2020-06-05 | 2021-12-16 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
-
2021
- 2021-04-13 JP JP2021067538A patent/JP7441195B2/ja active Active
-
2022
- 2022-02-09 EP EP22155839.8A patent/EP4075096B1/en active Active
- 2022-02-11 US US17/650,749 patent/US11796319B2/en active Active
- 2022-02-15 CN CN202210137012.3A patent/CN115265510B/zh active Active
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