JP2022061474A - 試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法 - Google Patents

試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法 Download PDF

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Abstract

【課題】試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を提供する。【解決手段】ホストシステム２００内の制御装置２５０が動作するときに、ホストシステム内の遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ２３０を介して、試料調製装置および／または試料分析装置１１０を備えるゲストシステム１００内の制御装置１５０を同期して動作させる【選択図】図１

Description

本出願は、２０２０年１０月６日に出願された台湾出願第１０９１３４５９５号の利益を主張し、その記載内容は参照により本明細書に組み込まれる。本発明は一般に、試料調製および／または試料分析の方法に関し、特に、試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法に関する。
試料調製および／または試料分析のための装置としては、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）などが挙げられる。これらは高価な精密材料分析機器であり、ハイエンドコンピュータ、特殊制御カード、および特殊キーボードを装備している。したがって、そのオペレータはこの種の精密試料調製および／または試料分析装置を操作するために専門的に訓練される必要があり、現場で操作しなければならない。試料が試料調製および／または試料分析装置に入れられた後、試料は、次の試料調製および画像分析に進む。しかしながら、この動作モードは、プラントまたは多国籍企業にまたがるサービスを提供するには向いていない。
したがって、上記の課題を回避することができる試料調製および／または試料分析の新規な方法が、半導体産業によって非常に期待されている。
本発明は、試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を提供する。同方法は以下を有する：ゲストシステムを提供するステップであって、前記ゲストシステムは、試料調製装置および／または試料分析装置、前記試料調製装置および／または試料分析装置と通信するゲストコンピュータ、ゲスト専用キーボードとゲスト汎用キーボードとゲストマウスを備え、前記ゲスト試料調製装置および／または試料分析装置の動作を制御するために前記ゲストコンピュータと通信するゲスト制御装置、を備える、ステップ；ホストシステムを提供するステップであって、前記ホストシステムは、遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ、ホスト専用キーボードとホスト汎用キーボードとホストマウスを備えたホスト制御装置であって、前記ホスト制御システムは前記ホストコンピュータと通信し、前記ホスト制御装置と前記ゲスト装置の構成および機能は同じである、ホスト制御装置、前記ホストコンピュータと通信するホストモニタ、を備える、ステップ；ブロードバンドネットワークを介して前記ホストシステムと前記ゲストシステムとを接続する通信を確立し、前記ホストシステムが前記遠隔制御ソフトウェアによってゲストシステムを制御することができるようにし、その後に前記ホストモニタおよび前記ゲストモニタを同期して表示する、ステップ；準備および／または分析される試料を提供し、処理および／または分析される試料を前記試料調製装置および／または試料分析装置に移動させるステップ；前記ホストコンピュータおよび前記遠隔制御ソフトウェアを介して前記ホストシステムの前記ホスト制御装置を動作させるときに前記ゲスト制御装置を同期して動作させ、前記試料調製装置および／または試料分析装置が、同期して動作する前記ゲスト制御装置を介して後続の試料調製および／または試料分析を進めることができるようにする、ステップ。
前記試料調製装置および／または試料分析装置は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）である、請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光計（ＳＥＭ／ＥＤＳ）、または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光計（ＴＥＭ／ＥＤＳ）である、請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）である、請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡(デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計(デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ)である、請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記ゲスト専用キーボードは、スキャンモード選択ボタンと、試料位置調整ボタンと、スキャン画像コントラスト調整ボタンと、画像明るさ調整ボタンと、画像倍率調整ボタンと、フォーカス調整ボタンと、収差調整ボタンと、画像位置調整ボタンとを備える、請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記ホスト専用キーボードは、スキャンモード選択ボタンと、試料位置調整ボタンと、スキャン画像コントラスト調整ボタンと、画像明るさ調整ボタンと、画像倍率調整ボタンと、フォーカス調整ボタンと、収差調整ボタンと、画像位置調整ボタンとを備える、請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記ゲストシステムはさらに、前記ゲストコンピュータと通信する補助コンピュータと、前記補助コンピュータと通信する補助入出力装置とを含むゲスト補助システムを備え、前記ゲスト補助システムは、前記ゲストコンピュータから取得した分析データを、前記ゲスト補助装置によってさらにバックアップ、処理、または転送することを可能にする、請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記補助入出力装置は、補助キーボード、および／または記憶装置、および／または補助マウスである、請求項８記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
前記遠隔制御ソフトウェアは、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋ、またはＷａｙｋ Ｎｏｗである、請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
［０００４］～［００１３］に記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法であって、前記ホストシステムには２つの遠隔制御ソフトウェアがインストールされ、前記遠隔制御ソフトウェアの一方は、前記ゲストシステムと前記ホストシステムとの間の通信が前記ブロードバンドネットワークを介して確立された後に、前記ゲスト制御装置の前記ゲスト専用キーボードを前記ホスト制御装置の前記ホスト専用キーボードによって制御することを可能にするために使用され、前記遠隔制御ソフトウェアの他方は、前記ゲストシステムと前記ホストシステムとの間の通信が前記ブロードバンドネットワークを介して確立された後に、前記ゲスト制御装置の前記ゲスト汎用キーボードおよび前記ゲストマウスを前記ホスト制御装置の前記ホスト汎用キーボードおよび前記ホストマウスによって制御することを可能にするために使用される、遠隔制御方法。
本発明の実施形態１による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
本発明の実施形態２による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
本発明の実施形態３による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
本発明の実施形態４による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
添付の図面に関連して以下に提供される詳細な説明は本実施例の説明として意図されており、本実施例が構築または利用され得る唯一の形態を表すことを意図していない。以下の説明は、実施例の機能と、実施例を構成し動作させるためのステップのシーケンスとを説明する。しかしながら、同じまたは同等の機能およびシーケンスは、異なる実施例によって実現することもできる。
以下の説明では、読者が以下の例を完全に理解できるように、多数の具体的な詳細部分が詳細に説明されている。しかし、本発明の実施形態は、そのような特定の詳細部分が存在しない場合であっても実施できる。他の場合においては、図面を簡略化するために、既知の装置構造は、概略的にのみ記載している。
実施形態
実施形態１および２は、ホストシステムにインストールされた１つの遠隔制御ソフトウェアを有することを特徴とする、試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を開示する；実施形態３および４は、ホストシステムにインストールされた２つの遠隔制御ソフトウェアを有することを特徴とする、試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を開示する。ただし、ホストシステムにインストールされているソフトウェアの数は、さまざまなニーズに基づいて調整できる。
実施形態１
図１は、本発明の実施形態１による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
図１に示すように、ゲストシステム１００は以下を備える：試料調製装置および／または試料分析装置１１０、試料調製装置および／または試料分析装置１３０と通信するゲストコンピュータ、ゲスト専用キーボード１５１とゲスト汎用キーボード１５３とゲストマウス１５５とを備え、ゲストコンピュータ１３０と通信して試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作を制御するゲスト制御装置１５０、ゲストコンピュータ１３０と通信し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作中に入力されたパラメータおよび分析後の結果を表示するゲストモニタ１７０。図１に示すように、ホストシステム２００は以下を備える：図示しない遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ２３０、ホスト専用キーボード２５１とホスト汎用キーボード２５３とホストマウス２５５とを備え、ホストコンピュータ２３０と通信し、ゲスト装置１５０と同じ構成および機能を備えた、ホスト制御装置２５０、ホストコンピュータ２３０と通信するホストモニタ２７０。図１に示すように、図示しないブロードバンドネットワークを介してホストシステム２００とゲストシステム１００とを接続する通信が確立された後、ホストシステム２００は図示しない遠隔制御ソフトウェアによってゲストシステム１００を制御し、その後ホストモニタ２７０とゲストモニタ１７０とを同期表示することが可能となった。次に、調製および／または分析する試料（図示せず）を用意し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０に移動させた。最後に、ホストシステム２００のホスト制御装置２５０がホストコンピュータ２３０および遠隔制御ソフトウェア（図示せず）を介して操作されたとき、ゲストシステム１００のゲスト制御装置１５０が同期して操作され、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、同期して管理されるゲスト制御装置１５０を介して、次の試料調製および／または試料分析を進めることが可能になった。
本発明の実施形態１による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）とすることができる。電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＳＥＭ／ＥＤＳ）、または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＴＥＭ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は例えば、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）とすることができるが、これに限定されない。デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は例えば、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡（デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計（デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。
上述した本発明の実施形態１に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ゲスト専用キーボード１５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
上述した本発明の実施形態１に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホスト専用キーボード２５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
本発明の上述の実施形態１による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は例えば、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋ、またはＷａｙｋ Ｎｏｗである。
実施形態２
図２は、本発明の実施形態２による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
図２に示すように、ゲストシステム１００は以下を備える：試料調製装置および／または試料分析装置１１０、試料調製装置および／または試料分析装置１３０と通信するゲストコンピュータ、ゲスト専用キーボード１５１とゲスト汎用キーボード１５３とゲストマウス１５５とを備え、ゲストコンピュータ１３０と通信して試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作を制御するゲスト制御装置１５０、ゲストコンピュータ１３０と通信し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作中に入力されたパラメータおよび分析後の結果を表示するために使用されるゲストモニタ１７０、ゲストコンピュータ１３０と通信する補助コンピュータ１９１と、補助コンピュータと通信する補助入出力装置１９３とを備えるゲスト補助装置１９０。ゲスト補助装置１９０により、ゲストコンピュータから取得された分析データをゲスト補助装置によってさらにバックアップ、処理、または転送することができる。図２に示すように、ホストシステム２００は以下を備える：図示しない遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ２３０、ホスト専用キーボード２５１とホスト汎用キーボード２５３とホストマウス２５５とを備え、ホストコンピュータ２３０と通信し、ゲスト装置１５０と同じ構成および機能を備える、ホスト制御装置２５０、ホストコンピュータ２３０と通信するホストモニタ２７０。図２に示すように、図示しないブロードバンドネットワークを介してホストシステム２００とゲストシステム１００とを接続する通信が確立された後、ホストシステム２００は図示しない遠隔制御ソフトウェアによってゲストシステム１００を制御し、その後ホストモニタ２７０とゲストモニタ１７０とを同期表示することが可能となった。次に、調製および／または分析する試料（図示せず）を用意し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０に移動させた。最後に、ホストシステム２００のホスト制御装置２５０がホストコンピュータ２３０および遠隔制御ソフトウェア（図示せず）を介して操作されたとき、ゲストシステム１００のゲスト制御装置１５０が同期して操作され、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、同期して操作されるゲスト制御装置１５０を介して次の試料調製および／または試料分析を進めることが可能になった。
本発明の実施形態２による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）とすることができる。電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＳＥＭ／ＥＤＳ）または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＴＥＭ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は例えば、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）とすることができるが、これに限定されない。デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は例えば、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡（デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計（デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。
上述した実施形態２の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、補助入出力装置１９３は例えば、補助キーボード、および／または記憶装置、および／または補助マウスとすることができるが、これらに限定されない。
上述した本発明の実施形態２に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ゲスト専用キーボード１５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
上述した本発明の実施形態２に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホスト専用キーボード２５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
本発明の上述の実施形態２による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は例えば、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋ、またはＷａｙｋ Ｎｏｗである。
実施形態３
図３は、本発明の実施形態３による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
図３に示すように、ゲストシステム１００は以下を備える：試料調製装置および／または試料分析装置１１０、試料調製装置および／または試料分析装置１３０と通信するゲストコンピュータ、ゲスト専用キーボード１５１とゲスト汎用キーボード１５３とゲストマウス１５５とを備え、ゲストコンピュータ１３０と通信して試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作を制御するゲスト制御装置１５０、ゲストコンピュータ１３０と通信し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作中に入力されたパラメータおよび分析後の結果を表示するために使用されるゲストモニタ１７０。図３に示すように、ホストシステム２００は以下を備える：図示しない遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ２３０、ホスト専用キーボード２５１とホスト汎用キーボード２５３とホストマウス２５５とを備え、ホストコンピュータ２３０と通信し、ゲスト装置１５０と同じ構成および機能を備える、ホスト制御装置２５０、ホストコンピュータ２３０と通信するホストモニタ２７０。図３に示すように、図示しないブロードバンドネットワークを介してホストシステム２００とゲストシステム１００とを接続する通信が確立された後、ホストシステム２００は図示しない遠隔制御ソフトウェアによってゲストシステム１００を制御し、その後ホストモニタ２７０とゲストモニタ１７０とを同期表示することが可能となった。次に、調製および／または分析する試料（図示せず）を用意し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０に移動させた。最後に、ホストシステム２００のホスト制御装置２５０がホストコンピュータ２３０および遠隔制御ソフトウェア（図示せず）を介して操作されたとき、ゲストシステム１００のゲスト制御装置１５０が同期して操作され、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、同期して操作されるゲスト制御装置１５０を介して次の試料調製および／または試料分析を進めることが可能になった。
本発明の実施形態３による試料調製および／または試料分析の上記遠隔制御方法において、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）とすることができる。電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＳＥＭ／ＥＤＳ）、または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＴＥＭ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は例えば、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）とすることができるが、これに限定されない。デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は例えば、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡（デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計（デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。
上述した本発明の実施形態３に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ゲスト専用キーボード１５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
上述した本発明の実施形態３に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホスト専用キーボード２５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
本発明の実施形態３による試料調製および／または試料分析の上述の遠隔制御方法において、遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は例えば、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋまたはＷａｙｋ Ｎｏｗである。
上述した本発明の実施形態３に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホストシステム２００には２つの遠隔制御ソフトウェア（図示せず）がインストールされ、一方の遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は、ゲストシステム１００とホストシステム２００との間の通信がブロードバンドネットワークを介して確立された後に、ゲスト制御装置１５０のゲスト専用キーボード１５１がホスト制御装置２５０のホスト専用キーボード２５１によって制御されることを可能にするために使用され、他方の遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は、ゲストシステム１００とホストシステム２００との間の通信がブロードバンドネットワークを介して確立された後に、ゲスト制御装置１５０のゲスト汎用キーボード１５３およびゲストマウス１５５がホスト制御装置２５０のホスト汎用キーボード２５３およびホストマウス２５５によって制御されることを可能にするために使用される。
実施形態４
図４は、本発明の実施形態４による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法を示す。
図４に示すように、ゲストシステム１００は以下を備える：試料調製装置および／または試料分析装置１１０、試料調製装置および／または試料分析装置１３０と通信するゲストコンピュータ、ゲスト専用キーボード１５１とゲスト汎用キーボード１５３とゲストマウス１５５とを備え、ゲストコンピュータ１３０と通信して試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作を制御するゲスト制御装置１５０、ゲストコンピュータ１３０と通信し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０の動作中に入力されたパラメータおよび分析後の結果を表示するために使用されるゲストモニタ１７０、ゲストコンピュータ１３０と通信する補助コンピュータ１９１と、補助コンピュータと通信する補助入出力装置１９３とを備えるゲスト補助装置１９０。ゲスト補助装置１９０により、ゲストコンピュータから取得した分析データをゲスト補助装置によってさらにバックアップし、処理し、または転送することができる。図４に示すように、ホストシステム２００は以下を備える：図示しない遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ２３０、ホスト専用キーボード２５１とホスト汎用キーボード２５３とホストマウス２５５とを備え、ホストコンピュータ２３０と通信し、ゲスト装置１５０と同じ構成および機能を備えるホスト制御装置２５０、ホストコンピュータ２３０と通信するホストモニタ２７０。図４に示すように、図示しないブロードバンドネットワークを介してホストシステム２００とゲストシステム１００とを接続する通信が確立された後、ホストシステム２００は図示しない遠隔制御ソフトウェアによってゲストシステム１００を制御し、その後ホストモニタ２７０とゲストモニタ１７０とを同期表示することが可能となった。次に、調製および／または分析する試料（図示せず）を用意し、試料調製装置および／または試料分析装置１１０に移動させた。最後に、ホストシステム２００のホスト制御装置２５０がホストコンピュータ２３０および遠隔制御ソフトウェア（図示せず）を介して操作されたとき、ゲストシステム１００のゲスト制御装置１５０が同期して操作され、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、同期して操作されるゲスト制御装置１５０を介して次の試料調製および／または試料分析を進めることが可能になった。
本発明の実施形態４による試料調製および／または試料分析の上記遠隔制御方法において、試料調製装置および／または試料分析装置１１０は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）とすることができる。電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は例えば、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＳＥＭ／ＥＤＳ）、または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光器（ＴＥＭ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は例えば、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）とすることができるが、これに限定されない。デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は例えば、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡（デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計（デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ）とすることができるが、これに限定されない。
実施形態４に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、補助入出力装置１９３は例えば、補助キーボード、および／または記憶装置、および／または補助マウスとすることができるが、これに限定されない。
上述した本発明の実施形態４に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ゲスト専用キーボード１５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
上述した本発明の実施形態４に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホスト専用キーボード２５１は例えば、スキャンモード選択ボタン（図示せず）、試料位置調整ボタン（図示せず）、スキャン画像コントラスト調整ボタン（図示せず）、画像明るさ調整ボタン（図示せず）、画像倍率調整ボタン（図示せず）、フォーカス調整ボタン（図示せず）、収差調整ボタン（図示せず）、および画像位置調整ボタン（図示せず）を備えるが、これらに限定されない。
本発明の上述の実施形態４による試料調製および／または試料分析の上述の遠隔制御方法において、遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は例えば、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋ、またはＷａｙｋ Ｎｏｗである。
上述した本発明の実施形態４に係る試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法において、ホストシステム２００は２つの遠隔制御ソフトウェア（図示せず）がインストールされており、一方の遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は、ゲストシステム１００とホストシステム２００との間の通信がブロードバンドネットワークを介して確立された後に、ゲスト制御装置１５０のゲスト専用キーボード１５１をホスト制御装置２５０のホスト専用キーボード２５１によって制御することを可能にするために使用され、他方の遠隔制御ソフトウェア（図示せず）は、ゲストシステム１００とホストシステム２００との間の通信がブロードバンドネットワークを介して確立された後に、ゲスト制御装置１５０のゲスト汎用キーボード１５３およびゲストマウス１５５をホスト制御装置２５０のホスト汎用キーボード２５３およびホストマウス２５５によって制御することを可能にするために使用される。
本発明の上記実施形態による試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法のように、試料調製および／または試料分析装置と訓練された専門家が異なる場所ＡおよびＢに位置する場合、場所Ｂに位置する訓練された専門家は場所Ａに位置する試料調製および／または試料分析装置を遠隔制御して、場所Ａに位置する試料調製および／または試料分析装置を訪れることなく、その後に続く試料調製および／または試料分析を実施することができる。この動作モードは、プラントをまたいで、あるいは多国籍企業をまたいでであっても、より便利なサービスを提供することができる。
特定の実施形態を示し、説明したが、上記の説明は本発明をこれらの実施形態に限定することを意図しないことを理解されたい。当業者は本発明の範囲から逸脱することなく、以下の特許請求の範囲によって文字通りかつ同等にカバーされるように、様々な変更および修正をできることを理解するであろう。

Claims (11)

  1. 試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法であって、
    ゲストシステムを提供するステップであって、前記ゲストシステムは、
    試料調製装置および／または試料分析装置；
    前記試料調製装置および／または試料分析装置と通信するゲストコンピュータ；
    ゲスト専用キーボード、ゲスト汎用キーボード、およびゲストマウスを備えるゲスト制御装置であって、前記ゲスト制御装置は、前記ゲストコンピュータと通信して、前記試料調製装置および／または試料分析装置の動作を制御する、ゲスト制御装置；
    を備える、ステップ；
    ホストシステムを提供するステップであって、前記ホストシステムは、
    遠隔制御ソフトウェアがインストールされたホストコンピュータ；
    ホスト専用キーボードと、ホスト汎用キーボードと、ホストマウスとを備えたホスト制御装置であって、前記ホスト制御システムは前記ホストコンピュータと通信し、前記ホスト制御装置と前記ゲスト制御装置の構成および機能は同一である、ホスト制御装置；
    前記ホストコンピュータと通信するホストモニタ；
    を備える、ステップ；
    前記ホストシステムと前記ゲストシステムをブロードバンドネットワーク経由で接続するための通信を確立し、前記ホストシステムが前記遠隔制御ソフトウェアによって前記ゲストシステムを制御できるようにし、その後前記ホストモニタと前記ゲストモニタを同期して表示する、ステップ；
    調製および／または分析される試料を提供し、処理および／または分析される試料を前記試料調製装置および／または試料分析装置に対して移動するステップ；
    前記ホストコンピュータおよび前記遠隔制御ソフトウェアを介して前記ホストシステムの前記ホスト制御装置を動作させるとき前記ゲスト制御装置を同期して動作させ、前記同期して動作する前記ゲスト制御装置を介して前記試料調製装置および／または試料分析装置がその後に続く試料調製および／または試料分析を進めることを可能にする、ステップ；
    を有する、
    試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  2. 前記試料調製装置および／または試料分析装置は、電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）、イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）、デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、質量分析計、エネルギー分散分光計（ＥＤＳ）、３Ｄレーザ共焦点プロファイラ、またはＸ線光電子分光計（ＸＰＳ）である、
    請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  3. 前記電子ビーム顕微鏡（ＥＢＭ）は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光計（ＳＥＭ／ＥＤＳ）、または透過型電子顕微鏡／エネルギー分散型分光計（ＴＥＭ／ＥＤＳ）である、
    請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  4. 前記イオンビーム顕微鏡（ＩＢＭ）は、集束イオンビーム顕微鏡（ＦＩＢ）またはプラズマ集束イオンビーム顕微鏡（ＰＦＩＢ）である、
    請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  5. 前記デュアル粒子ビーム顕微鏡（ＤＰＢＭ）は、デュアルビーム集束イオンビーム顕微鏡(デュアルビームＦＩＢ）またはデュアルビーム集束イオンビーム／エネルギー分散分光計(デュアルビームＦＩＢ／ＥＤＳ)である、
    請求項２記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  6. 前記ゲスト専用キーボードは、スキャンモード選択ボタンと、試料位置調整ボタンと、スキャン画像コントラスト調整ボタンと、画像明るさ調整ボタンと、画像倍率調整ボタンと、フォーカス調整ボタンと、収差調整ボタンと、画像位置調整ボタンとを備える、
    請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  7. 前記ホスト専用キーボードは、スキャンモード選択ボタンと、試料位置調整ボタンと、スキャン画像コントラスト調整ボタンと、画像明るさ調整ボタンと、画像倍率調整ボタンと、フォーカス調整ボタンと、収差調整ボタンと、画像位置調整ボタンとを備える、
    請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  8. 前記ゲストシステムはさらに、前記ゲストコンピュータと通信する補助コンピュータと、前記補助コンピュータと通信する補助入出力装置とを有するゲスト補助システムを備え、
    前記ゲスト補助システムは、前記ゲストコンピュータから取得した分析データを前記ゲスト補助装置によってさらにバックアップ、処理、または転送することを可能にする、
    請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  9. 前記補助入出力装置は、補助キーボード、および／または記憶装置、および／または補助マウスである、
    請求項８記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  10. 前記遠隔制御ソフトウェアは、ＴｅａｍＶｉｅｗｅｒ、Ｃｈｒｏｍｅ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、Ｓｐｌａｓｈｔｏｐ、Ｍｉｃｒｏｓｏｆｔ Ｒｅｍｏｔｅ Ｄｅｓｋｔｏｐ、ＴｉｇｈｔＶＮＣ、Ｒａｄｍｉｎ、ＵＳＢ Ｏｖｅｒ Ｅｔｈｅｒｎｅｔ、ＤＡＥＭＯＮ Ｔｏｏｌｓ ＵＳＢ、ＵＳＢ Ｎｅｔｗｏｒｋ Ｇａｔｅ、Ｍｉｋｏｇｏ、ＡｎｙＤｅｓｋまたはＷａｙｋ Ｎｏｗである、
    請求項１記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
  11. 前記ホストシステムには、遠隔制御ソフトウェアが２つインストールされており、
    前記遠隔制御ソフトウェアのうち一方は、前記ゲストシステムと前記ホストシステムとの間の通信が前記ブロードバンドネットワークを介して確立された後に、前記ホスト制御装置の前記ホスト専用キーボードにより前記ゲスト制御装置の前記ゲスト専用キーボードを制御可能とし、
    前記遠隔制御ソフトウェアのうち他方は、前記ブロードバンドネットワークを介して前記ゲストシステムと前記ホストシステムとの間の通信が確立された後に、前記ホスト制御装置の前記ホスト汎用キーボードおよび前記ホストマウスにより前記ゲスト制御装置の前記ゲスト汎用キーボードおよび前記ゲストマウスを制御可能とする、
    請求項１から１０のいずれか１項記載の試料調製および／または試料分析の遠隔制御方法。
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