JP2022052622A - 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
基板処理装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022052622A JP2022052622A JP2020159119A JP2020159119A JP2022052622A JP 2022052622 A JP2022052622 A JP 2022052622A JP 2020159119 A JP2020159119 A JP 2020159119A JP 2020159119 A JP2020159119 A JP 2020159119A JP 2022052622 A JP2022052622 A JP 2022052622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- raw material
- material gas
- gas
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
- C23C16/345—Silicon nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
- C23C14/543—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement on the vapor source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4485—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation without using carrier gas in contact with the source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45527—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the ALD cycle, e.g. different flows or temperatures during half-reactions, unusual pulsing sequence, use of precursor mixtures or auxiliary reactants or activations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45561—Gas plumbing upstream of the reaction chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45587—Mechanical means for changing the gas flow
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/0217—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon nitride not containing oxygen, e.g. SixNy or SixByNz
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/0228—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition deposition by cyclic CVD, e.g. ALD, ALE, pulsed CVD
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
図1、図2は、本開示が実施される処理装置の一例である基板処理装置に用いられる縦型の処理炉29を示すものである。先ず、図1により本開示が適用される基板処理装置の動作の概略を説明する。なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。
気化器91は、液体で供給された原料を加熱して気化し原料ガスを生成する。原料としては、例えば、モノクロロシラン(SiH3Cl、略称:MCS)ガス、ジクロロシラン(SiH2Cl2、略称:DCS)ガス、トリクロロシラン(SiHCl3、略称:TCS)ガス、テトラクロロシラン(SiCl4、略称:STC)ガス、ヘキサクロロジシランガス(Si2Cl6、略称:HCDS)ガス、オクタクロロトリシラン(Si3Cl8、略称:OCTS)ガス等のクロロシラン系ガスを用いることができる。また、原料ガスとしては、例えば、テトラフルオロシラン(SiF4)ガス、ジフルオロシラン(SiH2F2)ガス等のフルオロシラン系ガス、テトラブロモシラン(SiBr4)ガス、ジブロモシラン(SiH2Br2)ガス等のブロモシラン系ガス、テトラヨードシラン(SiI4)ガス、ジヨードシラン(SiH2I2)ガス等のヨードシラン系ガスを用いることもできる。また、原料ガスとしては、例えば、テトラキス(ジメチルアミノ)シラン(Si[N(CH3)2]4、略称:4DMAS)ガス、トリス(ジメチルアミノ)シラン(Si[N(CH3)2]3H、略称:3DMAS)ガス、ビス(ジエチルアミノ)シラン(Si[N(C2H5)2]2H2、略称:BDEAS)ガス、ビス(ターシャリーブチルアミノ)シラン(SiH2[NH(C4H9)]2、略称:BTBAS)ガス等のアミノシラン系ガスを用いることもできる。また、原料ガスとしては、例えば、テトラエトキシシラン(Si(OC2H5)4、略称:TEOS)ガス等の有機系シラン原料ガスを用いることもできる。原料ガスとしては、これらのうち1以上を用いることができる。つまり、加圧や冷却によって液体で貯蔵される原料も含まれうる。また、本実施形態では、気化器91は、第1タンク95A及び第2タンク95Bに対し、キャリアガスを供給することなく、原料ガスのみを供給する。
第1タンク95A及び第2タンク95Bは、気化器91から取り出された原料ガスを蓄積する。本実施形態では、第1タンク95Aと第2タンク95Bとの2個のタンクが並列に設けられており、2個のタンクを交互に用いて原料ガスの蓄積及び放出が行われる。
第1弁93A,93B及び第2弁97A,97Bは、配管(供給管47a)に設けられ、配管の流路を開閉する。第1弁93A,93Bは、第1タンク95A及び第2タンク95Bの上流にそれぞれ設けられている。第1弁93A,93Bの開閉動作によって、第1タンク95A及び第2タンク95Bへの原料ガスの蓄積が制御される。また、第2弁97A,97Bは、第1タンク95A及び第2タンク95Bの下流にそれぞれ設けられている。第2弁97A,97Bの開閉動作によって、第1タンク95A及び第2タンク95Bで蓄積された原料ガスの処理室2への放出が制御される。
図4に示すように、第1MFC100は、プレフィルタ101と、制御弁102と、第1圧力センサ103と、温度センサ105と、オリフィス107と、第2圧力センサ109と、制御部111と、を有する。なお、図示を省略するが、第1MFC100は、制御弁102の後段に、配管の流路を開閉する開閉弁が設けられている。
次に、基板を処理する例について説明する。ここでは、半導体デバイスの製造工程の一例として、ソース(原料)とリアクタント(反応ガス)を交互に処理室に供給することで膜処理を行うサイクル処理を説明する。本実施形態においては、ソースの一例としてSi原料ガスを用い、リアクタントとして窒素含有ガスを用いて、基板上でシリコン窒化膜(Si3N4膜、以下、SiN膜ともいう)を形成する例を説明する。
成膜工程1では、図7に示すように、まず、原料ガスを瞬間的(比較的短時間)に放出するフラッシュ供給する動作を間欠的に行うことによって、ウエハ31の表面上に原料ガスを吸着させる。具体的には、第1ガス供給ラインにおいて、第1タンク95Aの上流側の第1弁93Aを開き、下流側の第2弁97Aを閉じた状態で、第1MFC100によって、気化器91で気化された原料ガスを第1タンク95Aへ供給する。このとき、第1タンク95Aに供給される原料ガス蓄積量が、図8中の0sec~1secの間に、実線の斜線で例示されている。なお、この間、第2タンク95Bの上流側の第1弁93Bは閉じられており、第2タンク95Bへの原料ガスの供給は停止している。
成膜工程2では、第1ガス供給管47の第2弁97A,97B及び第1キャリアガス供給管53のバルブ55を閉めて、原料ガスとキャリアガスの供給を止める。ガス排気管66のバルブ67は開いたままにし、真空ポンプ68により、処理炉29を20Pa以下に排気し、残留原料ガスを処理室2内から排除する。又、この時には不活性ガス、例えばキャリアガスとして使ったN2ガスを処理炉29に供給すると、更に残留原料ガスを排除する効果が高まる。
成膜工程3では、窒素含有ガスとキャリアガスを流す。まず第2ガス供給管48に設けたバルブ59、第2キャリアガス供給管61に設けたバルブ63を共に開けて、第2ガス供給管48から第3MFC58により流量調整された窒素含有ガスと、第2キャリアガス供給管61から第3MFC62により流量調整されたキャリアガスとを混合し、第2ノズル64の第2ガス供給孔65から処理室2内に供給しつつガス排気管66から排気する。窒素含有ガスの供給により、ウエハ31の下地膜上のSiを含む膜と窒素含有ガスとが反応して、ウエハ31上にSiN膜が形成される。
成膜工程4では、膜を形成後、バルブ59及びバルブ63を閉じ、真空ポンプ68により処理室2内を真空排気し、成膜に寄与した後に残留する窒素含有ガスを排除する。又、この時には不活性ガス、例えばキャリアガスとして使ったN2ガスを処理室2内に供給すると、更に残留する窒素含有ガスを処理室2から排除する効果が高まる。
本実施形態では、第1タンク95A及び第2タンク95Bへ蓄積される原料ガスの流量が第1MFC100によって所定値に制御されるので、第1タンク95A及び第2タンク95Bに正確な量の原料ガスを蓄積できる。このため、原料ガスが処理室へ繰り返し供給されても、それぞれの量の間にムラが生じ難く、それぞれの量を一定に保持し易い。このため、基板の表面上に形成される膜のステップカバレッジ及び再現性が向上するので、基板の面内膜厚均一性及び各基板間の膜厚均一性を高めることができる。特に、蒸気圧の低いガスであっても、フラッシュフローの流速を正確、かつ、高めて放出することが可能になる点で有利である。
以上、本開示の実施形態を具体的に説明したが、本開示は上述の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。
一態様によれば、
液体で供給された原料を気化し原料ガスを生成する気化器と、
前記気化器から取り出された前記原料ガスを蓄積するタンクと、
前記気化器と前記タンクとを接続する配管に設けられ、前記タンクへ供給される前記原料ガスの流量を制御するフロー制御器と、
前記配管に設けられ、前記配管の流路を開閉する第1弁と、
前記タンクの下流に設けられ前記タンクで蓄積された前記原料ガスを放出させる第2弁と、
前記第2弁の下流に設けられ、前記原料ガスが供給される処理室と、
前記原料ガスの前記気化器から前記タンクへの蓄積と前記タンクから前記処理室への放出とを交互に繰り返すよう前記第1弁と前記第2弁とを制御する制御部と、
を有する基板処理装置が提供される。
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記タンクは複数であり、
複数の前記タンクを交互に用いて前記原料ガスの蓄積及び放出を行う。
付記11又は2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記フロー制御器はマスフロー制御器であり、
前記原料ガスの前記タンクへの蓄積時間は、前記原料ガスが一定の流量で所定の蓄積量となるまで行うために必要な時間によって決定される。
付記1に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記処理室内に設けられ、前記第2弁から放出された前記原料ガスを、減圧された前記処理室内に吐出するノズルを更に備え、
前記ノズルによって、前記タンクに蓄積された前記原料ガスを、前記タンクへの蓄積時間よりも短い時間で前記処理室にフラッシュ供給する。
付記2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
1個の前記マスフロー制御器が、複数の前記タンクに対して共通して用いられる。
付記2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
複数の前記気化器と複数の前記マスフロー制御器とが並列配置され、
前記制御部は、複数の前記気化器と複数の前記マスフロー制御器との連動動作によって、1フラッシュに必要な前記原料ガスの量をフラッシュ周期内に前記タンクに蓄積するために必要な前記原料ガスの流量を確保する。
付記2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記気化器は、キャリアガスを使用することなく、前記原料ガスのみを前記タンクに供給する。
付記2に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記マスフロー制御器は、オリフィス内のチョーク流れを利用する圧力制御式であり、
前記気化器の圧力変動に対して前記タンクへの前記原料ガスの流量を一定に保つことが可能であるように構成される。
付記8に記載の基板処理装置であって、好ましくは、
前記タンク内の圧力が、前記マスフロー制御器内のオリフィス内のチョーク流れ条件を満たす圧力値を維持するように、前記タンクにおける前記原料ガスの蓄積時間とフラッシュ周期とが制御される。
他の態様によれば、
気化器にて液体で供給された原料を気化し原料ガスを生成する工程と、
前記気化器とタンクとを接続する配管に設けられた第1弁を開とすると共に、前記配管に設けられたフロー制御器によって、前記タンクへ供給される前記原料ガスの流量を制御して、前記タンクに前記原料ガスを蓄積する工程と、
前記タンクの下流に設けられた第2弁を開として、前記第2弁の下流に設けられた処理室に前記原料ガスを供給する工程と、
前記原料ガスの前記気化器から前記タンクへの蓄積と前記タンクから前記処理室への放出とを交互に繰り返すよう前記第1弁と前記第2弁とを制御する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
47a 配管
56 第1ノズル
91 気化器
95A 第1タンク
95B 第2タンク
93A,93B 第1弁
97A,97B 第2弁
100 マスフロー制御器
111 制御部
Claims (5)
- 液体で供給された原料を気化し原料ガスを生成する気化器と、
前記気化器から取り出された前記原料ガスを蓄積するタンクと、
前記気化器と前記タンクとを接続する配管に設けられ、前記タンクへ供給される前記原料ガスの流量を制御するフロー制御器と、
前記配管に設けられ、前記配管の流路を開閉する第1弁と、
前記タンクの下流に設けられ前記タンクで蓄積された前記原料ガスを放出させる第2弁と、
前記第2弁の下流に設けられ、前記原料ガスが供給される処理室と、
前記原料ガスの前記気化器から前記タンクへの蓄積と前記タンクから前記処理室への放出とを交互に繰り返すよう前記第1弁と前記第2弁とを制御する制御部と、
を有する基板処理装置。 - 前記タンクは複数であり、
複数の前記タンクを交互に用いて前記原料ガスの蓄積及び放出を行う、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記フロー制御器はマスフロー制御器であり、
前記原料ガスの前記タンクへの蓄積時間は、前記原料ガスが一定の流量で所定の蓄積量となるまで行うために必要な時間によって決定される、
請求項1又は2に記載の基板処理装置。 - 前記処理室内に設けられ、前記第2弁から放出された前記原料ガスを、減圧された前記処理室内に吐出するノズルを更に備え、
前記ノズルによって、前記タンクに蓄積された前記原料ガスを、前記タンクへの蓄積時間よりも短い時間で前記処理室にフラッシュ供給する、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 気化器にて液体で供給された原料を気化し原料ガスを生成する工程と、
前記気化器とタンクとを接続する配管に設けられた第1弁を開とすると共に、前記配管に設けられたフロー制御器によって、前記タンクへ供給される前記原料ガスの流量を制御して、前記タンクに前記原料ガスを蓄積する工程と、
前記タンクの下流に設けられた第2弁を開として、前記第2弁の下流に設けられた処理室に前記原料ガスを供給する工程と、
前記原料ガスの前記気化器から前記タンクへの蓄積と前記タンクから前記処理室への放出とを交互に繰り返すよう前記第1弁と前記第2弁とを制御する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020159119A JP7203070B2 (ja) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 |
KR1020210124469A KR20220040402A (ko) | 2020-09-23 | 2021-09-17 | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 |
US17/479,531 US20220090258A1 (en) | 2020-09-23 | 2021-09-20 | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory tangible medium |
CN202111113817.6A CN114250453A (zh) | 2020-09-23 | 2021-09-23 | 基板处理装置以及半导体装置的制造方法 |
TW110135271A TWI804993B (zh) | 2020-09-23 | 2021-09-23 | 基板處理裝置、半導體裝置的製造方法及程式 |
US18/351,783 US20230357920A1 (en) | 2020-09-23 | 2023-07-13 | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory tangible medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020159119A JP7203070B2 (ja) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022052622A true JP2022052622A (ja) | 2022-04-04 |
JP7203070B2 JP7203070B2 (ja) | 2023-01-12 |
Family
ID=80740028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020159119A Active JP7203070B2 (ja) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20220090258A1 (ja) |
JP (1) | JP7203070B2 (ja) |
KR (1) | KR20220040402A (ja) |
CN (1) | CN114250453A (ja) |
TW (1) | TWI804993B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023181242A1 (ja) * | 2022-03-24 | 2023-09-28 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置及びプログラム |
WO2024003997A1 (ja) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、基板処理方法、及び半導体装置の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060093754A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Christian Krueger | System and method for supplying precursor gases to an implantation tool |
WO2007114156A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. | 原子層成長装置 |
JP2013093551A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-16 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
JP2014082322A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | シリコン窒化物膜の成膜方法および成膜装置 |
JP2016072260A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2017179397A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、ガスの供給方法、基板処理方法及び成膜方法 |
JP2018168431A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理方法、基板処理装置、プログラム |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7004107B1 (en) * | 1997-12-01 | 2006-02-28 | Applied Materials Inc. | Method and apparatus for monitoring and adjusting chamber impedance |
US7192486B2 (en) * | 2002-08-15 | 2007-03-20 | Applied Materials, Inc. | Clog-resistant gas delivery system |
US7093375B2 (en) * | 2002-09-30 | 2006-08-22 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for utilizing a meniscus in substrate processing |
US7722737B2 (en) * | 2004-11-29 | 2010-05-25 | Applied Materials, Inc. | Gas distribution system for improved transient phase deposition |
JP5137366B2 (ja) * | 2006-01-24 | 2013-02-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム及び液体材料供給装置 |
JP5520552B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-06-11 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
JP5236755B2 (ja) * | 2011-01-14 | 2013-07-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
KR101845580B1 (ko) * | 2011-01-19 | 2018-04-04 | 시케이디 가부시키가이샤 | 액체 기화기 |
WO2014157210A1 (ja) * | 2013-03-26 | 2014-10-02 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び記録媒体 |
WO2017009997A1 (ja) * | 2015-07-16 | 2017-01-19 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び気化システム |
JP6457104B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2019-01-23 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
WO2017056244A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体 |
JP6487574B2 (ja) * | 2015-12-18 | 2019-03-20 | 株式会社Kokusai Electric | 貯留装置、気化器、基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
KR102248120B1 (ko) * | 2016-03-24 | 2021-05-04 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기화기, 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP6891018B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-06-18 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、気化システム及びミストフィルタ並びに半導体装置の製造方法 |
JP6602332B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2019-11-06 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP7137921B2 (ja) * | 2017-11-07 | 2022-09-15 | 株式会社堀場エステック | 気化システム及び気化システム用プログラム |
JP6774972B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2020-10-28 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
KR20200123480A (ko) * | 2018-03-20 | 2020-10-29 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 통합형 반도체 공정 모듈을 포함하는 자기 인식 및 보정 이종 플랫폼, 및 이를 사용하기 위한 방법 |
JP6752249B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2020-09-09 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP7254620B2 (ja) * | 2018-06-26 | 2023-04-10 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、部品の管理方法、基板処理装置及び基板処理プログラム |
JP6966402B2 (ja) * | 2018-09-11 | 2021-11-17 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板処理装置の電極 |
JP2020084290A (ja) * | 2018-11-29 | 2020-06-04 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム |
JP2021048233A (ja) * | 2019-09-18 | 2021-03-25 | 株式会社Kokusai Electric | 原料貯留システム、基板処理装置、クリーニング方法およびプログラム |
JP7000393B2 (ja) * | 2019-09-25 | 2022-01-19 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、ガスボックス及び半導体装置の製造方法 |
JP6937806B2 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-09-22 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、及び半導体の製造方法 |
JP7033622B2 (ja) * | 2020-03-19 | 2022-03-10 | 株式会社Kokusai Electric | 気化装置、基板処理装置、クリーニング方法および半導体装置の製造方法 |
KR20220043028A (ko) * | 2020-09-28 | 2022-04-05 | 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭 | 기화 시스템, 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
-
2020
- 2020-09-23 JP JP2020159119A patent/JP7203070B2/ja active Active
-
2021
- 2021-09-17 KR KR1020210124469A patent/KR20220040402A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-09-20 US US17/479,531 patent/US20220090258A1/en not_active Abandoned
- 2021-09-23 TW TW110135271A patent/TWI804993B/zh active
- 2021-09-23 CN CN202111113817.6A patent/CN114250453A/zh active Pending
-
2023
- 2023-07-13 US US18/351,783 patent/US20230357920A1/en active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20060093754A1 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-04 | Christian Krueger | System and method for supplying precursor gases to an implantation tool |
WO2007114156A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Mitsui Engineering & Shipbuilding Co., Ltd. | 原子層成長装置 |
JP2013093551A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-16 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
JP2014082322A (ja) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | シリコン窒化物膜の成膜方法および成膜装置 |
JP2016072260A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP2017179397A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、ガスの供給方法、基板処理方法及び成膜方法 |
JP2018168431A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理方法、基板処理装置、プログラム |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023181242A1 (ja) * | 2022-03-24 | 2023-09-28 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置及びプログラム |
WO2024003997A1 (ja) * | 2022-06-27 | 2024-01-04 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、基板処理方法、及び半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI804993B (zh) | 2023-06-11 |
TW202229624A (zh) | 2022-08-01 |
KR20220040402A (ko) | 2022-03-30 |
CN114250453A (zh) | 2022-03-29 |
JP7203070B2 (ja) | 2023-01-12 |
US20220090258A1 (en) | 2022-03-24 |
US20230357920A1 (en) | 2023-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101848562B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 프로그램 | |
US9177786B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, method of processing substrate, substrate processing apparatus, and recording medium | |
US11967501B2 (en) | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device | |
US20230357920A1 (en) | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and non-transitory tangible medium | |
US10774421B2 (en) | Semiconductor device manufacturing method, substrate processing apparatus and recording medium | |
WO2017047686A1 (ja) | ガス供給部、基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 | |
CN111066122A (zh) | 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及程序 | |
JP7016833B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | |
WO2022138599A1 (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
CN112640061A (zh) | 基板处理装置、半导体装置的制造方法及程序 | |
KR20220074787A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 방법, 프로그램 및 기판 처리 장치 | |
JP6867548B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
EP4239435A1 (en) | Fluid supply system, processing apparatus, and program | |
JP2023129259A (ja) | 流体供給システム、基板処理装置及び半導体装置の製造方法並びにプログラム | |
CN116695094A (zh) | 流体供给系统、基板处理装置、半导体器件的制造方法以及程序 | |
WO2023166771A1 (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラムおよび基板処理装置 | |
JP7342138B2 (ja) | 基板処理装置、プラズマ生成装置、半導体装置の製造方法、プラズマ生成方法およびプログラム | |
US11961715B2 (en) | Substrate processing apparatus, substrate retainer and method of manufacturing semiconductor device | |
US11542603B2 (en) | Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and substrate processing method | |
WO2022064600A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
WO2022054855A1 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP2022040906A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP2024072887A (ja) | 基板処理方法 | |
TW202413699A (zh) | 基板處理方法、半導體裝置之製造方法、程式及基板處理裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7203070 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |