JP2021500751A - ワイヤソー - Google Patents

Abstract

本発明は、切削ワイヤ（６）から形成される切削領域（５）を支持するためのワイヤガイドローラ（１３，１４）が配置される第１区画（１）と、切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール（１１）が配置される第２区画（２）と、ワイヤガイドローラの一つ（１３）から第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する第１切削ワイヤ経路（７）とを包含する、工作物から材料塊を切削するためのワイヤソー（１０）に関しており、第２区画（２）が、前記第１区画（１）の少なくとも部分的に下方に、好ましくは直接的な下方および／または完全に下方に配置される、および／または、前記第１切削ワイヤスプール（１１）が前記第１区画（１）の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、および／または、前記第１ワイヤスプール（１１）が前記切削領域（５）の少なくとも部分的に、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される。

Description

本発明は、請求項１の前文に記載のワイヤソーと、請求項１８の前文に記載のワイヤソーに関する。

特許文献１は、シリコンインゴットを薄片に切断するためのワイヤソーを開示している。このワイヤソーは、ワイヤウェブを支持するワイヤガイドローラと、切削ワイヤをワイヤウェブに供給するためと、切削ワイヤをワイヤウェブから巻き取るためのスプールとを包含する。ハウジングカセットは、シリコンウェハを収容するための溝を備える。

特許文献２は、切削ワイヤが多数巻きで懸架されるワイヤガイドローラを包含するワイヤソーを開示している。ワイヤウェブの供給側と巻き取り側とにボビンが設けられる。ワイヤガイドローラとボビンとの間での切削ワイヤの張力を測定するセンサが設けられる。

このようなワイヤソーの設置面積、ゆえに設置に必要なスペースが非常に大きいという事実のため、先行技術の短所が発生する。また、（ワイヤガイドローラとワイヤウェブとを包含する）切削エリアは、切削ワイヤを（一時的に）保管するためのプーリおよび／またはスプールが配置されるエリアから充分に分離されていない。切削液、汚れ、材料粒子は、スプールとその上のワイヤ、転向プーリ、張力手段に悪影響を及ぼす。ワイヤソーのクリーニングおよびメンテナンスは、時間を浪費する高費用の手順である。また、力測定システムとプーリベアリングとの損傷が発生しうる。

特許文献３は、ワイヤウェブの両側にあるワイヤガイドローラと、ワイヤウェブの片側の未使用ワイヤと反対側の使用後ワイヤのための保管スプールとを包含するワイヤソーを開示している。保管スプールは横向きハウジングに配置される。

このような解決法の短所は、ワイヤソーの外側からのワイヤガイドローラおよびプーリのような構成部品のアクセス性が非常に低いという事実に存する。加えてハウジングは非常に複雑である。

特開平０７‐１５３７２４号公報 国際公開第２０１３／０１８５５６号 欧州特許出願公開第２６５００７０号明細書

本発明の目的は、上述の目的を克服することと、切削領域の一部ではない切削ワイヤとともに、切削ワイヤを案内および／または保管するためのプーリおよび／またはスプールが、切削液、汚れ、材料粒子の悪影響から効率的に保護されるワイヤソーを提供することである。さらに、ワイヤソーは、ワイヤソーへの、特にワイヤウェブ（つまり切削領域）と保管スプールとの間に延在する切削ワイヤ経路への最適なアクセス性を可能にするべきである。

この目的は、切削ワイヤから形成される切削領域を支持するためのワイヤガイドローラが配置される第１区画を包含する、材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または工作物から複数のウェハを切削するためのワイヤソーによって達成され、ワイヤソーはさらに、
切削ワイヤを多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプールが配置される第２区画と、
ワイヤガイドローラの一つから第１切削ワイヤスプールまで延在する第１切削ワイヤ経路と、
を包含し、
第２区画が、第１区画の少なくとも部分的に下方に、好ましくは直接的な下方および／または完全に下方に配置される、
および／または、第１切削ワイヤスプールが第１区画の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
および／または、第１切削ワイヤスプールが切削領域の少なくとも部分的、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される。

このような配置は、設置面積が効果的に縮小された省スペース設計を可能にする。
「直接的な下方」は、「垂直方向下方」、つまり第２区画が第１区画の垂直方向下方に配置されることを意味する。

ワイヤガイドローラのすぐ近傍（つまり下方）での第１切削ワイヤスプールの配置により、ワイヤガイドローラと第１切削ワイヤスプールとの間に延在する切削ワイヤ経路が効果的に短縮されうる。「自由ワイヤ」が短くなるとシステムの振動を軽減する一方で、設置面積を縮小してメンテナンスを必要とする構成部品（スプールなど）へのアクセスを可能にする。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールは切削領域の垂直方向下方にほぼ配置される。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールは垂直方向に第１区画と完全に重複する。

さらに好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールは切削領域（ワイヤウェブ）と垂直方向に少なくとも部分的に、好ましくは完全に重複する。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる―第１切削ワイヤ経路の長さは、ワイヤガイドローラの長さの３倍未満、好ましくはワイヤガイドローラの長さの２倍未満である。ワイヤソーの設計により、ワイヤガイドローラと切削ワイヤスプールとの間での切削ワイヤ経路を短縮することが可能である。短いワイヤ移送経路を有すると非常に有利である。特に、メンテナンス、ワイヤの交換、および／またはクリーニングの時間および労力が効率的に削減される。加えて、ワイヤの振動が少ないと切溝が小さくなってより効率的な切削となるため、細い切削ワイヤが使用されうる。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる―第１切削ワイヤ経路の長さは、１．５メートルより短く、好ましくは１メートルより短い。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤ経路の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％がワイヤガイドローラの傍に、および／または、ワイヤガイドローラと平行に延在する。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路は―ワイヤガイドローラの軸方向において―ワイヤガイドローラを越えて延在しない。好ましくは、第２切削ワイヤ経路は―ワイヤガイドローラの軸方向において―ワイヤガイドローラを越えて延在しない。言い換えると、切削ワイヤ経路はワイヤガイドローラの「左右」に延在しないのである。またここで、特にワイヤガイドローラの軸方向においてワイヤソーの設置面積が効率的に縮小されうる。

好適な実施形態において、ワイヤソーは、切削ワイヤを多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプールが配置される第３区画と、ワイヤガイドローラの一つから第２切削ワイヤスプールまで延在する第２切削ワイヤ経路と、を包含し、第３区画は、第１区画の少なくとも部分的に下方に、好ましくは直接的な下方に配置される、および／または、第２切削ワイヤスプールは、第１区画の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される。

代替的に、第１および／または第２切削ワイヤスプールは、切削領域の少なくとも部分的に、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置されうる。

以下では、第２区画、第１切削ワイヤスプール、第１切削ワイヤ経路、第１開口部等によって実施形態が説明される。しかしながら、代替的実施形態では、同じ特徴が第３区画、第２切削ワイヤスプール、第２切削ワイヤ経路、第２開口部に移されうる。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールおよび／または第２切削ワイヤスプールは第１区画の垂直方向下方に配置される。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールおよび／または第２切削ワイヤスプールは切削領域の垂直方向下方に配置される。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールおよび／または第２切削ワイヤスプールは第１区画と垂直方向に完全に重複する。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールおよび／または第２切削ワイヤスプールは切削領域と（垂直方向において）完全に重複する。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第２切削ワイヤスプールで終わる―第２切削ワイヤ経路の長さは、ワイヤガイドローラの長さの３倍未満、好ましくはワイヤガイドローラの長さの２倍未満である。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第２切削ワイヤスプールで終わる―第２切削ワイヤ経路の長さが１．５メートルより短く、好ましくは１メートルより短い。

好適な実施形態において、第２切削ワイヤ経路の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％がワイヤガイドローラの傍に、および／または、ワイヤガイドローラに対して平行に延在する。

好ましくは、第１区画の底壁は第２区画の天井および／または第３区画の天井を形成する。底壁はワイヤソーの（負荷支承）フレームの一部であるかフレームに取り付けられうる。

好ましくは、第２区画と第３区画とは並んで配置されて好ましくは垂直の隔壁により互いに分離され、好ましくは、隔壁は第１区画の下方に、好ましくは中央下方に延在する。

好適な実施形態において、第２区画と第３区画とは互いに連通状態にある。この目的のため区画を互いに分離する隔壁が少なくとも一つの開口部を有しうる。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールは、好ましくは少なくとも一つのねじによって隔壁の第１側に回転可能に取り付けられ、第２切削ワイヤスプールは、好ましくは少なくとも一つのねじによって隔壁の第２側に回転可能に取り付けられ、第２側は第１側の反対にある。

好ましくは、ワイヤソーはワイヤガイドローラを支持するフレームを包含し、隔壁はフレームの負荷支承部分を形成する。ここで、負荷、特にワイヤガイドローラの負荷を支承することと、第２区画を第３区画から少なくとも部分的に分離することという二つの機能に隔壁が使用される。ワイヤソーの全重量が効率的に軽減される一方でフレームの剛性を維持し、これは正確な切削に必要である。

好ましくは、隔壁は第１区画の垂直方向下方に配置される少なくとも一つの脚部を有する。脚部は、効果的に、好ましくは対称的に力を地面へ伝達する。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールは第１駆動部、好ましくはモータを有するか第１駆動部に接続され、好ましくは第１駆動部が第２区画に配置される、および／または、第２切削ワイヤスプールは第２駆動部、好ましくはモータを有するか第２駆動部に接続され、好ましくは第２ドライブが第３区画に配置される。

好ましくは、切削領域を形成して第１切削ワイヤ経路に延在する切削ワイヤをワイヤソーが包含し、好ましくは切削ワイヤが固定研磨ワイヤ、より好ましくはダイヤモンドワイヤである。

好ましくは、ワイヤソーの重量は少なくとも４０００ｋｇに、好ましくは少なくとも５５００ｋｇに達する。
好ましくは、第１区画の垂直方向下方に配置される（隔壁の）脚部により支承される重量は、少なくとも１８００ｋｇに、好ましくは少なくとも２２００ｋｇに達する。

好ましくは、ワイヤガイドローラの少なくとも一つの直径は少なくとも１２ｃｍに、好ましくは少なくとも１５ｃｍに達する。

好ましくは、ワイヤガイドローラの少なくとも一つのワイヤ受容面は複数のワイヤ案内溝から形成される。

好ましくは、ワイヤ案内ローラの少なくとも一つは、少なくとも一つのボールベアリングおよび／または少なくとも一つのローラベアリングによってワイヤソーのフレームに回転可能に取り付けられる。

好ましくは、ワイヤ案内ローラおよび／または第１切削ワイヤスプールおよび／または第２切削ワイヤスプールのうち少なくとも一つは、金属、好ましくは鋼から、および／または、ポリマー、好ましくは強化ポリマーから少なくとも部分的に形成される。

好ましくは、ワイヤソーのフレームの水平断面はＴ形状である。Ｔ形状の中央脚部は隔壁により形成される。ここで、安定的な構成が達成される。
好ましくは、ワイヤソーのフレームの水平断面はＴ形状部分を包含し、好ましくはＴ形状部分が隔壁の少なくとも一部を形成する。

好ましくは、金属、好ましくは鋼から、および／またはミネラルキャストから隔壁が製作される。好ましくは、隔壁の厚さは少なくとも４ｃｍに、好ましくは少なくとも７ｃｍに達する。好ましくは、隔壁は中空プロフィールを有する。

好ましくは、隔壁と、第１区画を包囲する壁の少なくとも一部とがミネラルキャストから製作され、好ましくは隔壁と第１区画を包囲する壁の少なくとも一部とが、一つの大型部材を形成するように鋳造され、好ましくは一回で鋳造される。

好ましくは、第２区画および／または第３区画が、第１方向と、第１方向と異なる第２方向とでこれらの区画を画定する少なくとも一つのドアにより（それぞれ）画定され、好ましくは第１方向と第２方向との間の角度が少なくとも４５°に、より一層好ましくは本質的に９０°など少なくとも８０°に達する。

好ましくは、第２区画および／または第３区画は、略Ｌ形状を有する少なくとも一つのドアにより（それぞれ）画定され、「Ｌ」の各脚部が区画を画定する。

ハウジングと、切削ワイヤから形成される切削領域を支持するためのワイヤガイドローラが配置される第１区画と、を包含する、材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または、工作物から複数のウェハを切削するための、特に先行請求項の１項に記載のワイヤソーにより、―上記の発明および態様と無関係でも―目的が達成され、このワイヤソーは、切削ワイヤを多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプールが配置される第２区画と、ワイヤガイドローラの一つから第１切削ワイヤスプールまで延在する第１切削ワイヤ経路と、を包含し、第１切削ワイヤ経路の少なくとも一部分、好ましくは第１切削ワイヤ経路全体が、ワイヤソーのハウジングに形成される第１開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。

第２区画は第１区画から分離されている。切削ワイヤは第１区画から第２区画まで延在する。第１開口部によりアクセス性が非常に向上する。切削ワイヤ経路は、切削ワイヤを転向させるための転向プーリを含み、その周囲はクリーニングおよびメンテナンスが容易である。切削ワイヤの交換は、複雑ではなく時間を節約するものになる。

第１切削ワイヤ経路はワイヤガイドローラの一つから第１切削ワイヤスプールまで延在する、つまりワイヤガイドローラの一つから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる切削ワイヤ経路として第１切削ワイヤ経路が画定される。同じようにして、ワイヤガイドローラの一つから始まって第２切削ワイヤスプールで終わる切削ワイヤ経路として第２切削ワイヤ経路（以下参照）が画定される。

本出願において、「ワイヤソーの外側からアクセス可能」は、ワイヤソーの外側に立つオペレータによりアクセス可能であることを意味する。言い換えると、ワイヤソーの外側に立つオペレータは、対応の部品、つまり少なくとも第１切削ワイヤ経路の部分に延在する、および／または配置される部品、好ましくは第１切削ワイヤ経路のワイヤ全体、特に、例えば転向プーリおよび／または切削ワイヤスプールを案内するための切削ワイヤ自体および／または転向プーリおよび／または（線形）ガイドの取り扱い―つまりクリーニング、取り外し、交換、および／またはメンテナンスが可能である。オペレータがワイヤソーの外側から第１切削ワイヤ経路全体を視認することが可能であると好適である。

「ワイヤソーの外側から継続的にアクセス可能」は、切削ワイヤ経路に中断なく継続的にアクセスされることを意味する。切削ワイヤ経路全体が障害物により隠されない、および／または、孔を通して案内されない。特に、切削ワイヤまたは想像上のワイヤが切削ワイヤスプールからワイヤガイドローラへ引き出され、可能であればプーリを通過するが、孔を通して案内されることはなく、好ましくは（ワイヤソーの外側に立つ）オペレータの視点から見てフレーム部品の後方を通過させることはない。また、切削ワイヤの端部分は、オペレータにより、例えば把持具によって、または手で保持されて、これを離す（可能であれば別の把持具または手に渡される）ことなく切削ワイヤスプールからワイヤガイドローラへ送られ、切削のための位置に載置される。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路のアクセス可能部分は、開口平面（第１開口部が形成されるハウジングの平面）から後方に、および／または、（作動状態で）第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。ここで、オペレータは手と腕をワイヤソーに入れるだけでよい。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤ経路全体は、ワイヤソーのハウジングに形成される第１開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。

好適な実施形態において、ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる第１切削ワイヤ経路の各点は、第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される。

好適な実施形態において、ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる第１切削ワイヤ経路の各点は、第１開口部を通してワイヤソーの外側から、好ましくはワイヤソーの外側の一点から視認可能である。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤスプールまで延在する第１切削ワイヤ経路の始点であるワイヤガイドローラの表面部分は、第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される。

好適な実施形態において、第１ワイヤ経路の一部分はワイヤガイドローラから始まって、第１切削ワイヤ経路上でワイヤガイドローラに最も近いプーリである第１転向プーリで終わり、第１切削ワイヤ経路のこの部分は、第１開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、好ましくは、第１切削ワイヤ経路のこの部分の各点は、第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第２切削ワイヤスプールで終わる―第１切削ワイヤ経路の長さは、ワイヤガイドローラの長さの３倍未満、好ましくはワイヤガイドローラの長さの２倍未満である。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる―第１切削ワイヤ経路の長さは、１．５メートルより短い、好ましくは１メートルより短い。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤ経路の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％はワイヤガイドローラの傍に、および／または、ワイヤガイドローラと平行に延在する。

好適な実施形態において、ワイヤソーは、切削ワイヤを多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプールが配置される第３区画と、ワイヤガイドローラの一つから第２切削ワイヤスプールまで延在する第２切削ワイヤ経路と、を包含し、前記第２切削ワイヤ経路は、ワイヤソーのハウジングに形成される第２開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。

第２および第３区画のうち一方は（未使用）切削ワイヤをワイヤウェブへ供給するためのスプールを収容するのに対して、他方の区画は（使用後）切削ワイヤをワイヤウェブから受容するためのスプールを収容する。

好ましくは、第２切削ワイヤ経路のアクセス可能部分は、開口部平面（第２開口部が形成されるハウジングの平面）から後方に、および／または、（作動状態で）第２開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。ここで、オペレータは自分の手および腕をワイヤソーへ入れるだけでよい。

以下では、第２区画、第１切削ワイヤスプール、第１切削ワイヤ経路、第１開口部等によって実施形態が説明される。しかしながら、代替的実施形態では、同じ特徴が第３区画、第２切削ワイヤスプール、第２切削ワイヤ経路、第２開口部に移されうる。

好ましくは、ワイヤソーの第１側に第１開口部が形成されてワイヤソーの第２側に第２開口部が形成され、好ましくは、第２側は第１側と反対にあり、好ましくは第１側と第２側とはワイヤガイドローラの回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する。第１および第２切削ワイヤ経路は空間的に互いに分離される一方で、高いアクセス性と省スペース設計とが達成されうる。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤ経路は切削ワイヤを転向させるための回転可能な転向プールを、少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つ包含し、少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つの転向プーリが、第１開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能である。

好ましくは、少なくとも一つの転向プーリは、第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。このようにして、摩耗および汚染の傾向がある転向プーリが容易にクリーニング、交換、メンテナンスされうる。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路は、切削ワイヤを転向させるための回転可能な転向プーリを包含し、転向プーリの各々は第１開口部を通してワイヤソーの外側からオペレータによりアクセス可能であり、好ましくは、少なくとも三つの転向プーリが第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路の主要部分は、第１切削ワイヤ経路上でワイヤガイドローラの一つに最も近い第１転向プーリと、第１切削ワイヤ経路上で第１切削ワイヤスプールに最も近い第２転向プーリとの間に延在し、第１切削ワイヤ経路の主要部分は、第１開口部を通してワイヤソーの外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路の主要部分の各点は、第１開口部の平面から後方に、および／または、第１開口部を被覆する開閉カバーから後方に、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路は、第１切削ワイヤ経路上で第１転向プーリと第２転向プーリとの間に配置される第３転向プーリを包含し、好ましくは第３転向プーリが切削ワイヤに張力付与するための張力プーリである。

好ましくは、少なくとも一つの転向プーリの回転軸線は、切削ワイヤスプールの回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在する。このようにして、切削ワイヤ経路の行程は（切削領域の両側にある）ワイヤガイドローラの回転軸線に沿って配向されうるので、省スペース設計が達成されうる。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路の少なくとも一つの転向プーリ、好ましくはすべての転向プーリは第２区画に配置される。ここで、第１区画（つまり切削区画）から発生する泥、水分、粒子から転向プーリが最適な形で保護される。

好ましくは、第１切削ワイヤ経路の少なくとも２５％、好ましくは少なくとも５０％は、転向プーリ、好ましくは第２転向プーリの少なくとも一つの位置で、ワイヤガイドローラの回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する。この結果、ワイヤガイドローラの回転軸線に対して垂直なワイヤソーの寸法が著しく縮小されるので、省スペースの設計となる。

好ましくは、ワイヤソーの第１側に第１開口部が形成され、第１側はワイヤガイドローラの回転軸線に沿って、好ましくは平行に延在する。この態様は省スペース設計も最適化する。

好ましくは、ワイヤガイドローラの少なくとも一つは、第１開口部を通して好ましくは全長にわたってアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。ここで、第１開口部は、第２区画ばかりでなく第１区画へのアクセスを与える。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールは第１開口部を通して、好ましくは全長にわたってアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールは、ワイヤソーの第１側から全長にわたって、好ましくは第１開口部を通してアクセス可能であり、第１側は、ワイヤガイドローラの回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールの端面は、ワイヤソーの第３側から好ましくは第１開口部を通してアクセス可能であり、第３側は、ワイヤガイドローラの回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在する。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールはワイヤソーに着脱可能に取り付けられ、第１切削ワイヤスプールは軸移動のみによりワイヤソーから取り外されうる。必要なのは一方向の移動のみなので、これはスプールの交換を簡易化する。

好ましくは、第１切削ワイヤスプールの回転軸線はワイヤガイドローラの回転軸線に対して本質的に平行である。ここでも省スペース設計が達成されうる。

好ましくは、ハウジングは、閉止状態で第１開口部を少なくとも部分的に被覆する少なくとも一つの開閉カバーを包含する。カバーは、例としては摺動可能カバー、ヒンジ付きカバー（例はドアの形）、可撓性カバー、または（ローラ）シャッタでありうる。

好ましくは、ワイヤソーは、第１区画から第２区画へ切削ワイヤを案内するための切削ワイヤ貫通部を包含する。切削ワイヤ貫通部は、例としては開口部または管、好ましくは（直線）チューブとして形成されうる。

第１区画から分離されている第２区画により、切削ワイヤの一部分、好ましくは（転向および／または張力）プーリ、および／または、切削ワイヤを保管するためのスプールも収容できる。切削領域からの切削ワイヤは貫通部を通って、第２区画内に延びる、および／または、（一時的に）保管される。切削ワイヤ貫通部は、第１区画から第２区画へ通過する時に切削ワイヤを保護しうる。貫通部は、第２区画を第１区画から分離する（開閉）壁に設けられうる。

好ましくは、第１カバーの閉止状態で好ましくは可撓性シール部またはリップの形である好ましくは静止の第２エッジと対向するか対置されるとともに、第１カバーの開口状態で第２エッジから離間している可撓性シール部またはリップの形の第１（つまり閉止）エッジを有する第１開閉カバーをワイヤソーが包含し、切削ワイヤ貫通部は第１エッジと第２エッジとの間に延在する。ここで、第１カバーを開口する時に対応の切削ワイヤ部分への直接的なアクセスが得られる。こうして切削ワイヤの簡単な交換が可能になる。可撓性シール部またはリップは、切削液、汚れ、水分が第２区画へ侵入するのを防止する。

好ましくは、ハウジングは第１開閉カバーと第２開閉カバーとを包含し、第１カバーは第１区画を少なくとも部分的、好ましくは概ね被覆し、第２カバーは第２区画を少なくとも部分的、好ましくは概ね被覆する。カバーが互いに独立して開口されると好適である。好ましくは、カバーの閉止状態で第１カバーと第２カバーとが互いに隣接し、好ましくは互いに接触する。

本発明のさらなる実施形態は図および従属請求項に示される。参照符号のリストは開示の一部を成す。図面により本発明がこれから詳しく説明される。

本発明によるワイヤソーを示す 本発明のワイヤソーの好適な実施形態を示す。 ワイヤソーの部品を上面図で示す。 ワイヤソーの側面図を示す。 開閉カバーを備える第１および第２区画の間の切削ワイヤの移行エリアである。 切削ワイヤ経路へのアクセスを与える開口部の図である。 オペレータが開口部を通して把持を行うワイヤソーである。

図１は、（切削領域５のエリアに方形として記される）材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または工作物から複数のウェハを切削するためのワイヤソー１０を概略的に示す。ワイヤソー１０はハウジング４を包含する。ハウジング４において、第１区画１にはワイヤガイドローラ１３，１４が配置される。ワイヤガイドローラ１３，１４は、切削ワイヤ６から形成される切削領域５を支持する。

ワイヤソー１０は、切削ワイヤ６を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール１１（例としては未使用ワイヤのための保管スプールとも呼ばれる）が配置される第２区画２も包含する。第１切削ワイヤ経路７は、ワイヤガイドローラ１３の一つから第１切削ワイヤスプール１１まで延在する。

ワイヤソー１０は、切削ワイヤ６を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプール１２（例としては使用後ワイヤのための保管スプールとも呼ばれる）が配置される第３区画３も包含する。第２切削ワイヤ経路８は、ワイヤガイドローラ１４の一つから第２切削ワイヤスプール１２まで延在する。

第１およびまたは第２切削ワイヤスプール１１に装着される追加スプールを有することが可能であり、この追加スプールは、（現在使用中の）切削ワイヤを非重複ワイヤとして一時的に受容するのに使用されうる。

第１切削ワイヤスプール１１の回転軸線と第２切削ワイヤスプール１２の回転軸線とは、ワイヤガイドローラ１３，１４の回転軸線と本質的に平行である。

図１および３に見られるように、第１切削ワイヤ経路７の少なくとも一部分（ここでは第１切削ワイヤ経路７の全体）が、ハウジング４に形成される第１開口部１９を通してワイヤソー１０の外側からアクセス可能である。

図３の好適な実施形態では、第２切削ワイヤ経路８（ここでは第２切削ワイヤ経路８の全体）の少なくとも一部分が、ハウジング４に形成される第２開口部２０を通してアクセス可能である。

図のように、それぞれの切削ワイヤ経路は、それぞれの開口部１９，２０を通して完全にアクセスされうるように、何らかの障害物により隠されない、および／または、孔を通して案内されない。

第２切削ワイヤ経路８のアクセス可能部分が、それぞれの開口部２０の平面から後方へ、および／または、それぞれの開口部２０を被覆する開閉カバー１６（図１および４参照）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置されると好適である。

特に図３から分かるように、第１開口部１９はワイヤソー１０の第１側に形成されて第２開口部２０はワイヤソー１０の第２側に形成される。第２側は第１側と反対にある。第１側と第２側とは、ワイヤガイドローラ１３，１４の回転軸線に沿って（ここでは本質的に平行に）延在する。

図１から３に見られるように、第１切削ワイヤ経路７は、切削ワイヤ６を転向させるための三つの回転可能な転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃを包含する。転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃは、第１開口部１９を通してワイヤソー１０の外側からアクセス可能である。転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃが、第１開口部１９の平面から後方へ、および／または、第１開口部１９を被覆する開閉カバー１６から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍに配置されると好適である。

第１切削ワイヤ経路７の主要部分は、第１切削ワイヤ経路７上でワイヤガイドローラの一つ１３に最も近い第１転向プーリ９ａと、第１切削ワイヤ経路７上で第１切削ワイヤスプール１１に最も近い第２転向プーリ９ｃとの間に延在する。第１切削ワイヤ経路７の主要部分は、第１開口部１９を通してワイヤソー１０の外側からアクセス可能である。

第１切削ワイヤ経路７は、第１切削ワイヤ経路７上で第１転向プーリ９ａと第２転向プーリ９ｃとの間に配置される第３転向プーリ９ｂも包含する。第３転向プーリ９ｃは、切削ワイヤ６に張力付与するための張力プーリ（つまり調節可能または移動可能なプーリ）である。

転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃの回転軸線は、第１切削ワイヤスプール１１の回転軸に対して、および／または、ワイヤガイドローラ１３，１４の回転軸線に対して、横向きに、好ましくは垂直に延在する。

図１〜３から分かるように、第１切削ワイヤ経路７のすべての転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃは第２区画２に配置される。図３から分かるように、第１切削ワイヤ経路７の少なくとも５０％が、ワイヤガイドローラ１３，１４の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する。

図２から分かるように、ワイヤガイドローラの一つ１３は第１開口部１９を通して全長にわたってアクセス可能である。また、第１切削ワイヤスプール１１は第１開口部１９を通して全長にわたってアクセス可能である。

図２から分かるように、第１切削ワイヤスプール１１は、第１側からばかりでなく第３側から全長にわたって第１開口部１９を通してアクセス可能であり、第３側はワイヤガイドローラ１３，１４の回転軸線に対して横向きに、好ましくは垂直に延在する。

第１切削ワイヤスプール１１はワイヤソー１０に着脱可能に取り付けられる。第１切削ワイヤスプール１１が軸移動のみ（図２）によりワイヤソー１０から取り外し可能であると好適である。

本発明の好適な態様において、ハウジング４は、閉止状態において第１開口部１９を少なくとも部分的に被覆する少なくとも一つの開閉カバー１５，１６を包含する。カバーは図２および３には示されていないが、図１および４から明白である。

図５から分かるように、ワイヤソー１０は、切削ワイヤ６を第１区画１から第２区画２へ（または第３区画３へ）案内するための少なくとも一つの切削ワイヤ貫通部２１を包含する。図５の実施形態において、ワイヤソー１０は、第１カバー１５の閉止状態において好ましくは可撓性シール部またはリップの形でもある第２静止エッジ１８に対向するか対置される、好ましくは可撓性シール部またはリップの形の第１（閉止）エッジ１７を有する第１開閉カバー１５を包含する。切削ワイヤ貫通部２１は―ゆえに切削ワイヤ６も―第１エッジ１７と第２エッジ１８との間に延在する。第１カバー１５の開口状態（図５で破線）において、第１エッジ１７は第２エッジ１８から離間している。

図１および４の実施形態において、ハウジング４は第１開閉カバー１５と第２開閉カバー１６とを包含し、第１カバー１５は第１区画１を被覆して第２カバー１６は第２区画２を被覆する。カバー１５，１６の閉止状態において、第１カバー１５と第２カバー１６とは互いに隣接しており、好ましくは互いに接触しうる。

上記の実施形態と無関係に実現されうる本発明の好適な態様において、ワイヤソー１０は、切削ワイヤ６から形成される切削領域５を支持するためのワイヤガイドローラ１３，１４が配置される第１区画１と、切削ワイヤ６を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール１１が配置される第２区画２と、ワイヤガイドローラ１３，１４の一つから第１切削ワイヤスプール１１まで延在する第１切削ワイヤ経路７と、を包含する。第２区画２は、第１区画１の下方に、好ましくは直接的な下方（つまり垂直方向下方）に配置される。

第３区画３も第１区画１の下方に、好ましくは直接的な下方に配置されると好適である（図１および２参照）。ここで、第１切削ワイヤスプール１１と第２切削ワイヤスプール１２とは、第１区画１の垂直方向下方に配置される。第１区画１の底壁は第２区画２の天井および／または第３区画３の天井を形成しうる。

本発明の代替的な特徴では、第１切削ワイヤスプール１１、好ましくは第２切削ワイヤスプール１２も、第１区画１の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、および／または、切削領域５の部分的、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される。

特に図１および２に見られるように、第１切削ワイヤスプール１１と第２切削ワイヤスプール１２とは垂直方向に（つまり上から見て）第１区画１と完全に重複する。代替的に、第１切削ワイヤスプール１１および／または第２切削ワイヤスプール１２は垂直方向に切削領域５と少なくとも部分的に、好ましくは完全に重複しても好適であろう。

図２に見られるように、―ワイヤガイドローラから始まって第１切削ワイヤスプールで終わる―第１切削ワイヤ経路７の長さは、ワイヤガイドローラ１３の長さの３倍未満、好ましくはワイヤガイドローラ１３の長さの２倍未満である。同様に、―ワイヤガイドローラ１４から始まって第２切削ワイヤスプール１２で終わる―第２切削ワイヤ経路８の長さは、ワイヤガイドローラ１４の長さの３倍未満、好ましくはワイヤガイドローラ１４の長さの２倍未満でありうる。事実、この側では切削ワイヤは転向プーリ（不図示）の近くでワイヤガイドローラ１４から離れるので、長さははるかに短くてもよい。

好適な実施形態において、―ワイヤガイドローラ１３から始まって第１切削ワイヤスプール１１で終わる―第１切削ワイヤ経路７の長さは、１．５メートルより短く、好ましくは１メートルより短い。

好適な実施形態において、第１切削ワイヤ経路７の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％は、ワイヤガイドローラ１３の傍に、および／または、ワイヤガイドローラ１３と平行に延在する。

第２切削ワイヤ経路８にも同じことが当てはまる。

図１および２に見られるように、第２区画２と第３区画３とは並んで配置され、好ましくは垂直な隔壁２２により互いから分離されている。隔壁２２は第１区画１の下方に、好ましくは中央下方に延在する。

第１切削ワイヤスプール１１は（例としてはねじによって）隔壁２２の第１側に回転可能に取り付けられ、第２切削ワイヤスプール１２は（例としてはねじによって）隔壁２２の第２側に回転可能に取り付けられ、第２側は第１側と反対にある。

ワイヤガイドローラ１３，１４も支持するフレーム２３の負荷支承部分を隔壁２２が形成すると好適である。隔壁２２は、第１区画１の垂直方向下方に配置される少なくとも一つの脚部２４を有しうる。

以下では、さらに好適な実施形態が説明される。第１切削ワイヤスプール１１は第１駆動部、好ましくはモータを有するかこれに接続され、好ましくは第１駆動部が第２区画２に配置される。第２切削ワイヤスプール１２は第２駆動部、好ましくはモータを有するかこれに接続され、好ましくは第２駆動部が第３区画３に配置される。

ワイヤソー１０はもちろん（作動状態で）、切削領域５を形成して第１切削ワイヤ経路７に沿って延在する切削ワイヤ６を包含する。切削ワイヤ６は固定摩耗ワイヤ、好ましくはダイヤモンドワイヤでありうる。

好ましくは、ワイヤソーの重量は少なくとも４０００ｋｇに、好ましくは少なくとも５５００ｋｇに達する。好ましくは、第１区画の垂直方向下方に配置される（隔壁の）脚部に支承される重量は、少なくとも１８００ｋｇに、好ましくは少なくとも２２００ｋｇに達する。好ましくは、ワイヤガイドローラの少なくとも一つの直径は少なくとも１２ｃｍに、好ましくは少なくとも１５ｃｍに達する。

ワイヤガイドローラ１３，１４の少なくとも一つのワイヤ受容面は複数のワイヤガイド溝から形成される。ワイヤガイドローラ１３，１４の少なくとも一つは、少なくとも一つのボールベアリングおよび／または少なくとも一つのローラベアリングによってワイヤソー１０のフレーム２３に回転可能に取り付けられうる。

ワイヤガイドローラ１３，１４および／または第１切削ワイヤスプール１１および／または第２切削ワイヤスプール１２のうち少なくとも一つは、金属、好ましくは鋼、および／または、（強化）ポリマーから少なくとも部分的に形成される。

図２から分かるように、ワイヤソーのフレーム２３の水平断面はＴ形状でありうる。

隔壁２２は、金属、好ましくは鋼から、および／またはミネラルキャストから製作されうる。隔壁２２の厚さは少なくとも４ｃｍに、好ましくは少なくとも７ｃｍに達しうる。隔壁２２は中空プロフィールを有しうる。

第２切削ワイヤスプールと第２切削ワイヤ経路と第２開口部とを含む第３区画が、記載の個々の実施形態に従って形成されて、第１切削ワイヤスプールと第１切削ワイヤ経路と第１開口部とを含む第２区画について請求されることを記しておく。

図４は、第１開口部１９を閉止する第１カバー１５および第２カバー１６を備えるワイヤソー１０の側面図を示す。図４の破線は、第２カバー１６が第１カバー１５と（部分的に）重複しうることを示している。

図６は、切削ワイヤ経路７へのアクセスを与える開口部１９からの状態を（ワイヤソー１０の外側から）示す。オペレータがワイヤソー１０の外側に立っている状況が図７に見られる。これらの図から分かるように、オペレータは、切削ワイヤ６に加えて転向プーリ９ａ，９ｂ，９ｃを―好ましくは切削ワイヤスプール１１も―ワイヤソー１０の外側から扱いうるので、アクセス性が向上する。

本発明は、上に説明した実施形態に限定されない。他の変形例が当業者には自明であり、以下の請求項に明記されるように本発明の範囲内にあると考えられる。特に図に関して上記明細書のすべての部分に説明された個々の特徴は、これらの特徴が他の特徴に関して、または他の特徴との組み合わせで記載されている場合でも、互いに組み合わされると他の実施形態となりうる、および／または、必要な変更を加えて請求項の記載と説明の残りに適用されうる。

１ 第１区画
２ 第２区画
３ 第３区画
４ ハウジング
５ 切削領域
６ 切削ワイヤ
７ 第１切削ワイヤ経路
８ 第２切削ワイヤ経路
９ａ，９ｂ，９ｃ プーリ
１０ ワイヤソー
１１ 第１切削ワイヤスプール
１２ 第２切削ワイヤスプール
１３ ワイヤガイドローラ
１４ ワイヤガイドローラ
１５ 第１カバー
１６ 第２カバー
１７ 第１（閉止）エッジ
１８ 第２（静止）エッジ
１９ 第１開口部
２０ 第２開口部
２１ 切削ワイヤ貫通部
２２ 隔壁
２３ フレーム
２４ 脚部

Claims (47)

1. 切削ワイヤ（６）から形成される切削領域（５）を支持するためのワイヤガイドローラ（１３，１４）が配置される第１区画（１）、
   を包含する、材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または工作物から複数のウェハを切削するためのワイヤソー（１０）であって、
   切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール（１１）が配置される第２区画（２）と、
   前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の一つから前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する第１切削ワイヤ経路（７）と、
   を包含するワイヤソー（１０）であることを特徴とし、
   前記第２区画（２）が、前記第１区画（１）の少なくとも部分的に下方に、好ましくは直接的な下方および／または完全に下方に配置される、
   および／または、前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、前記第１区画（１）の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
   および／または、前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、前記切削領域（５）の少なくとも部分的に下方に、好ましくは完全に下方、好ましくは垂直方向下方に配置される、
   ワイヤソー（１０）。
2. 切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプール（１２）が配置される第３区画（３）と、
   前記ワイヤガイドローラの一つ（１４）から前記第２切削ワイヤスプール（１２）まで延在する第２切削ワイヤ経路（８）と、
   を包含するワイヤソー（１０）であって、
   前記第３区画（３）が、前記第１区画（１）の少なくとも部分的に下方に、好ましくは直接的な下方に配置される、
   および／または、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が、前記第１区画（１）の下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
   および／または、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が、前記切削領域（５）の少なくとも部分的、好ましくは完全に下方に、好ましくは垂直方向下方に配置される、
   請求項１に記載のワイヤソー。
3. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される、請求項１または２に記載のワイヤソー。
4. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が前記切削領域（５）の垂直方向下方にほぼ配置される、請求項１から３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
5. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が垂直方向において前記第１区画（１）と完全に重複する、請求項１から４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
6. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）が垂直方向において前記切削領域（５）と少なくとも部分的に、好ましくは完全に重複する、請求項１から５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
7. 前記第１区画（１）の底壁が前記第２区画（２）の天井および／または前記第３区画（３）の天井を形成する、請求項１から６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
8. 前記第２区画（２）と前記第３区画（３）とが並んで配置されて、好ましくは垂直の隔壁（２２）により互いに分離され、好ましくは前記隔壁（２２）が前記第１区画（１）の下方に、好ましくは中央下方に延在する、請求項１から７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
9. 前記第２区画（２）と前記第３区画（３）とが、好ましくは前記隔壁（２２）に形成される少なくとも一つの開口部を介して互いと連通する、請求項１から８のいずれか１項に記載のワイヤソー。
10. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）が好ましくは少なくとも一つのねじによって前記隔壁（２２）の第１側に回転可能に取り付けられ、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が好ましくは少なくとも一つのねじによって前記隔壁（２２）の第２側に回転可能に取り付けられ、第２側が第１側と反対にある、請求項８または９に記載のワイヤソー。
11. 前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を支持するフレーム（２３）を包含するワイヤソー（１０）であって、前記隔壁（２２）が前記フレーム（２３）の負荷支承部分を形成する、請求項８から１０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
12. 前記隔壁（２２）が、前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される少なくとも一つの脚部（２４）を有する、請求項８から１１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
13. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）が第１駆動部、好ましくはモータを有するか前記第１駆動部に接続され、好ましくは前記第１駆動部が前記第２区画（２）に配置される、
    および／または、前記第２切削ワイヤスプール（１２）が第２駆動部、好ましくはモータを有するか前記第２駆動部に接続され、好ましくは前記第２駆動部が前記第３区画（３）に配置される、
    請求項１から１２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
14. 前記切削領域（５）を形成して前記第１切削ワイヤ経路（７）に延在する切削ワイヤ（６）を包含するワイヤソー（１０）であって、好ましくは前記切削ワイヤ（６）が固定研磨ワイヤ、より好ましくはダイヤモンドワイヤである、請求項１から１３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
15. ワイヤソー（１０）の重量が少なくとも４０００ｋｇに、好ましくは少なくとも５５００ｋｇに達する、
    および／または、前記第１区画（１）の垂直方向下方に配置される前記脚部（２４）に支承される重量が少なくとも１８００ｋｇに、好ましくは少なくとも２２００ｋｇに達する、
    および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つの直径が少なくとも１２ｃｍに、好ましくは少なくとも１５ｃｍに達する、
    および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つのワイヤ受容面が複数のワイヤ案内溝から形成される、
    および／または、前記ワイヤ案内ローラ（１３，１４）の少なくとも一つが、少なくとも一つのボールベアリングおよび／または少なくとも一つのローラベアリングによってワイヤソー（１０）の前記フレーム（２３）に回転可能に取り付けられる、
    および／または、前記ワイヤ案内ローラ（１３，１４）および／または前記第１切削ワイヤスプール（１１）および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）のうち少なくとも一つが、金属、好ましくは鋼から、および／または、ポリマー、好ましくは強化ポリマーから少なくとも部分的に形成される、
    請求項１から１４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
16. ワイヤソーのフレームの水平断面がＴ形状部分を包含し、好ましくは前記Ｔ形状部分が前記隔壁（２２）の少なくとも一部を形成する、請求項１から１５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
17. 前記隔壁（２２）が金属、好ましくは鋼から、および／またはミネラルキャストから製作される、
    および／または、前記隔壁（２２）の厚さが少なくとも４ｃｍに、好ましくは少なくとも７ｃｍに達する、
    および／または、前記隔壁（２２）が中空プロフィールを有する、
    請求項１から１６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
18. ハウジング（４）と、
    切削ワイヤ（６）から形成される切削領域（５）を支持するためのワイヤガイドローラ（１３，１４）が配置される第１区画（１）と、
    を包含する、材料塊を切削するための、特に半導体材料塊を薄片、方形、および／またはれんが状に切断するための、および／または、工作物から複数のウェハを切削するための、特に請求項１から１７のいずれか１項に記載のワイヤソー（１０）であって、
    切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第１切削ワイヤスプール（１１）が配置される第２区画（２）と、
    前記ワイヤガイドローラの一つ（１３）から前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する第１切削ワイヤ経路（７）と、
    を包含するワイヤソー（１０）であることを特徴とし、
    前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも一部分が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
    好ましくは前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
    ワイヤソー（１０）。
19. 前記第１切削ワイヤ経路（７）全体が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、請求項１８に記載のワイヤソー。
20. 前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる前記第１切削ワイヤ経路（７）の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される、請求項１８または１９に記載のワイヤソー。
21. 前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる前記第１切削ワイヤ経路（７）の各点が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側から、好ましくはワイヤソー（１０）の外側の一点から視認可能である、請求項１８から２０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
22. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）まで延在する前記第１切削ワイヤ経路（７）の始点である前記ワイヤガイドローラ（１３）の表面部分が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満に配置される、請求項１８から２１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
23. 前記第１切削ワイヤ経路（７）の一部分が前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記ワイヤガイドローラ（１３）に最も近いプーリである第１転向プーリ（９ａ）で終わり、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、好ましくは、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記部分の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１８から２２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
24. ―前記ワイヤガイドローラ（１３）から始まって前記第１切削ワイヤスプール（１１）で終わる―前記第１切削ワイヤ経路（７）の長さが、前記ワイヤガイドローラ（１３）の長さの３倍未満、好ましくは前記ワイヤガイドローラ（１３）の長さの２倍未満である、
    および／または、―前記ワイヤガイドローラ（１４）から始まって前記第２切削ワイヤスプール（１２）で終わる―前記第２切削ワイヤ経路（８）の長さが、前記ワイヤガイドローラ（１４）の長さの３倍未満、好ましくは前記ワイヤガイドローラ（１４）の長さの２倍未満である、
    請求項１から２３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
25. 前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％が前記ワイヤガイドローラ（１３）の傍に、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３）と平行に延在する、
    および／または、前記第２切削ワイヤ経路（８）の少なくとも５０％、好ましくは少なくとも６０％が前記ワイヤガイドローラ（１４）の傍に、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１４）と平行に延在する、
    請求項１から２４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
26. 切削ワイヤ（６）を多数巻きで少なくとも一時的に保管するための第２切削ワイヤスプール（１２）が配置される第３区画（３）と、
    前記ワイヤガイドローラの一つ（１４）から前記第２切削ワイヤスプール（１２）まで延在する第２切削ワイヤ経路（８）と、
    を包含するワイヤソー（１０）であって、
    前記第２切削ワイヤ経路（８）の少なくとも一部分、好ましくは前記第２切削ワイヤ経路（８）全体が、ワイヤソー（１０）の前記ハウジング（４）に形成される第２開口部（２０）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
    好ましくは前記第２切削ワイヤ経路（８）の前記部分が、前記第２開口部（２０）の平面から後方へ、および／または前記第２開口部（２０）を被覆する開閉カバーから後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
    請求項１から２５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
27. 前記第１開口部（１９）がワイヤソー（１０）の第１側に形成されて前記第２開口部（２０）がワイヤソー（１０）の第２側に形成され、好ましくは前記第２側が前記第１側と反対であり、好ましくは前記第１側と前記第２側とが前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項２６に記載のワイヤソー。
28. 前記第１切削ワイヤ経路（７）が前記切削ワイヤ（６）を転向させるための回転可能な転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）を少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つ包含し、前記少なくとも一つ、好ましくは少なくとも二つ、より好適には少なくとも三つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からオペレータによりアクセス可能であり、好ましくは前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１８から２７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
29. 前記第１切削ワイヤ経路（７）が、前記切削ワイヤ（６）を転向させるための回転可能な転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）を包含し、前記転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）の各々が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からオペレータによりアクセス可能であり、好ましくは前記少なくとも三つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１５，１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、より好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、請求項１８から２８のいずれか１項に記載のワイヤソー。
30. 前記第１切削ワイヤ経路（７）の主要部分が、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記ワイヤガイドローラの一つ（１３）に最も近いプーリである第１転向プーリ（９ａ）と、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記第１切削ワイヤスプール（１１）に最も近いプーリである第２転向プーリ（９ｃ）との間に延在し、
    前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記主要部分が、前記第１開口部（１９）を通してワイヤソー（１０）の外側からアクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能であり、
    好ましくは、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記主要部分の各点が、前記第１開口部（１９）の平面から後方へ、および／または、前記第１開口部（１９）を被覆する開閉カバー（１６）から後方へ、４０ｃｍ未満、好ましくは３０ｃｍ未満、好ましくは２０ｃｍ未満に配置される、
    請求項１８から２９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
31. 前記第１切削ワイヤ経路（７）が、前記第１切削ワイヤ経路（７）上で前記第１転向プーリ（９ａ）と前記第２転向プーリ（９ｃ）との間に配置される第３転向プーリ（９ｂ）を包含し、好ましくは前記第３転向プーリ（９ｃ）が前記切削ワイヤ（６）に張力付与するための張力プーリである、請求項１８から３０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
32. 前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）の回転軸線が、前記第１切削ワイヤスプール（１１）の回転軸線に対して、および／または、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在する、および／または、前記第１切削ワイヤ経路（７）の前記少なくとも一つの転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）、好ましくはすべての転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）が前記第２区画（２）に配置される、請求項１８から３１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
33. 前記第１切削ワイヤ経路（７）の少なくとも２５％、好ましくは少なくとも５０％が、転向プーリ（９ａ，９ｂ，９ｃ）、好ましくは第２転向プーリ（９ｃ）の好ましくは少なくとも一つの位置で、前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項１８から３２のいずれか１項に記載のワイヤソー。
34. 前記第１開口部（１９）がワイヤソー（１０）の第１側に形成され、前記第１側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは平行に延在する、請求項１８から３３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
35. 前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の少なくとも一つが、前記第１開口部（１９）を通して、好ましくは全長にわたって、アクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、
    および／または、前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、前記第１開口部（１９）を通して、好ましくは全長にわたって、アクセス可能、好ましくは継続的にアクセス可能である、
    請求項１８から３４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
36. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）が、ワイヤソー（１０）の第１側から全長にわたって、好ましくは前記第１開口部（１９）を通してアクセス可能であり、前記第１側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に沿って、好ましくは本質的に平行に延在する、請求項１８から３５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
37. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）の端面が、ワイヤソー（１０）の第３側から好ましくは前記第１開口部（１９）を通してアクセス可能であり、前記第３側が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して横向き、好ましくは垂直に延在し、好ましくは前記第１切削ワイヤスプール（１１）がワイヤソー（１０）に着脱可能に取り付けられ、前記第１切削ワイヤスプール（１５）が軸移動のみによりワイヤソー（１０）から取り外される、請求項１８から３６のいずれか１項に記載のワイヤソー。
38. 前記第１切削ワイヤスプール（１１）の回転軸線および／または前記第２切削ワイヤスプール（１２）の回転軸線が前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の回転軸線に対して本質的に平行である、請求項１８から３７のいずれか１項に記載のワイヤソー。
39. 前記ハウジング（４）が、閉止状態で前記第１開口部（１９）を少なくとも部分的に被覆する少なくとも一つの開閉カバー（１５，１６）を包含する、請求項１８から３８のいずれか１項に記載のワイヤソー。
40. 前記切削ワイヤ（６）を前記第１区画（１）から前記第２区画（２）へ、または前記第３区画（３）へ案内するための少なくとも一つの切削ワイヤ貫通部（２１）を包含するワイヤソー（１０）である、請求項１８から３９のいずれか１項に記載のワイヤソー。
41. 好ましくは可撓性シール部またはリップの形の第１エッジ（１７）を有する第１開閉カバー（１５）を包含するワイヤソー（１０）であって、前記第１カバー（１５）が、閉止状態で好ましくは静止の第２エッジ（１８）と対向するか対置されるとともに、前記第１カバー（１５）の開口状態において前記第２エッジ（１８）から離間し、前記切削ワイヤ貫通部（２１）が前記第１エッジ（１７）と前記第２エッジ（１８）との間に延在する、請求項１８から４０のいずれか１項に記載のワイヤソー。
42. 前記ハウジング（４）が第１開閉カバー（１５）と第２開閉カバー（１６）とを包含し、前記第１カバー（１５）が前記第１区画（１）を少なくとも部分的に、好ましくは概ね被覆し、前記第２カバー（１６）が前記第２区画（２）を少なくとも部分的に、好ましくは概ね被覆する、請求項１８から４１のいずれか１項に記載のワイヤソー。
43. 前記カバー（１５，１６）の前記閉止状態において、前記第１カバー（１５）と前記第２カバー（１６）とが互いに隣接し、好ましくは互いに接触する、請求項４２に記載のワイヤソー。
44. 前記第１切削ワイヤ経路（７）が―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の軸方向において―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を越えて延出しない、および／または、前記第２切削ワイヤ経路（８）が―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）の軸方向において―前記ワイヤガイドローラ（１３，１４）を越えて延出しない、請求項１から４３のいずれか１項に記載のワイヤソー。
45. 前記隔壁（２２）と前記第１区画（１）を包囲する前記壁の少なくとも一部とがミネラルキャストから製作され、好ましくは前記隔壁（２２）と前記第１区画（１）を包囲する前記壁の少なくとも一部とが、一つの大型部材を形成するように鋳造され、好ましくは一回で鋳造される、請求項１から４４のいずれか１項に記載のワイヤソー。
46. 前記第２区画（２）および／または前記第３区画（３）が、第１方向と、前記第１方向と異なる第２方向とに前記区画（２，３）を画定する少なくとも一つのドアにより（それぞれ）画定され、好ましくは前記第１方向と前記第２方向との間の角度が少なくとも４５°、より一層好ましくは本質的に９０°など少なくとも８０°に達する、請求項１から４５のいずれか１項に記載のワイヤソー。
47. 略Ｌ形状を有する前記少なくとも一つのドアにより前記第２区画および／または第３区画（３）が（それぞれ）画定され、前記Ｌ形状ドアの両脚部が前記区画（２，３）を画定する、請求項１から４６のいずれか１項に記載のワイヤソー。

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