JP3167706U - ワイヤ式切断装置 - Google Patents

Abstract

【課題】カバーの開閉作業を単純化できるとともに省スペース化が可能なワイヤ式切断装置を提供する。【解決手段】本ワイヤ式切断装置１は、ワイヤ２が張設されるロール１１，１２を有するメインロール部１０と、該メインロール部１０に対して移動可能にワークが支持されるワーク走行部１３と、メインロール部１０及びワーク走行部１３が配される加工室４の前方に配される前壁と加工室４の側方に配される側壁を一体に有し、加工室４の前方及び側方を覆う第１の位置Ｐ１と、加工室４から退避して加工室４を開放する第２の位置Ｐ２との間で移動することで加工室４を開閉するカバー２０とを備える。【選択図】図１

Description

本考案は、ワイヤ式切断装置に関する。

ワイヤ式切断装置はワイヤソーとも呼ばれ、走行するワイヤにワークを押し付けることによってワークを切断するものである。ワイヤ式切断装置は、ワイヤが張設されるメインロール部、メインロール部に向かってワークを移動させるワーク送り装置、ワイヤを繰り出しメインロール部に供給する繰り出し機構、メインロール部からワイヤを巻き取り回収する巻取り機構、を備えている。ワイヤはメインロール部の複数の平行に配置された溝ロールに張設されて走行され、ワークを切断する。

メインロール部とワーク送り装置を含む加工室には、開閉可能なカバーが設けられている。例えば一般的なカバーは、加工室手前の前面カバーと、加工室左側方の側面カバーとが個別に設けられ、前面カバーと側面カバーをそれぞれ手動にて回動して開閉している。なお、加工室右側には機器が隣接配置されている。例えば前面カバーはその上端に幅方向に沿うヒンジ部を有し、このヒンジ部の幅方向に沿う軸を中心に回動して開閉される。左側面カバーはその後端に上下方向に沿うヒンジ部を有し、このヒンジ部の上下方向に沿う軸を中心に回動して開閉される。

上述したワイヤ式切断装置では、次のような問題がある。すなわち、別個に設けられた複数のカバーをそれぞれ手動にて開閉するため、開閉作業が煩雑となり、またカバーは軸を中心に回動して開閉する構成であるため、加工室の周辺にカバー回動のためのスペースを要するという問題がある。

本考案の一形態にかかるワイヤ式切断装置は、ワイヤが張設されるメインロール部と、前記メインロール部に対して移動可能に被切断材が支持される被切断材支持部と、前記メインロール部及び被切断材支持部が配される加工室の前方に配される前壁と前記加工室の側方に配される側壁を一体に有し、前記加工室の前方及び側方を覆う第１の位置と、前記加工室から退避して前記加工室を開放する第２の位置と、の間で移動することで前記加工室を開閉するカバーと、を備えたことを特徴とする。

本考案の一形態にかかるワイヤ式切断装置は、前記カバーは、前記前壁及び一対の前記側壁が一体となり平面視コ字状に形成され、上昇することにより前記加工室の上方に退避して前記加工室を開放し、下降することにより前記加工室の周囲３方面を囲むことで前記加工室を閉じることを特徴とする。

本考案によれば、カバーの開閉作業を単純化できるとともに省スペース化が可能なワイヤ式切断装置を提供できる。

ワイヤ式切断装置の動作の概要を示す説明図。 ワイヤ式切断装置の加工室のカバー開状態を示す斜視図。 ワイヤ式切断装置の加工室のカバー閉状態を示す斜視図。

以下、本考案の一実施形態について、図１乃至図３を参照して説明する。図１は本実施形態に係るワイヤ式切断装置１の動作の概要を示す説明図である。図２及び図３は、ワイヤ式切断装置１の斜視図であり、図２は加工室４のカバー２０を開いた状態、図３は加工室４のカバー２０を閉じた状態をそれぞれ示している。なお、説明のため、各図において適宜構成を省略して示している。また、図中矢印Ｘ，Ｙ，Ｚは互いに直交する３方向を示しており、例えば実施形態においてはＹは前方、Ｚは上方、Ｘは幅方向を指している。

ワイヤ式切断装置１は、走行するワイヤ２にワークＷ（被切断材）を押し付けることによってワークＷを切断するものである。例えば半導体材料、磁性材料、セラミックス、プリント配線基板等、いわゆる脆性材料をウェハ状その他の形状に切断するのに適している。

図１に示すように、ワイヤ式切断装置１は、ワイヤ２が張設されるメインロール部１０と、ワークＷを支持してメインロール部１０に対向して進退させるワーク送り装置１３（被切断材支持部）と、メインロール部１０及びワーク送り装置１３が配される加工室４を覆うカバー２０と、ワイヤ２を繰り出してメインロール部１０に供給する繰り出し機構３０と、メインロール部１０からワイヤ２を巻き取り回収する巻取り機構４０と、操作者が指示入力等を行う操作入力部５０と、操作入力部５０の入力内容に応じて上記各部の動作を制御する制御部６０を備えている。

図２及び図３に示すように、ワイヤ式切断装１の前部にメインロール部１０とワーク送り装置１３を含む加工室４が配置され、ワイヤ式切断装置１の後部のハウジング５の内部に巻取り機構３０及び繰り出し機構４０が内蔵されている。

メインロール部１０は、装置前部においてベース部３上に設置された例えば２つの溝ロール１１，１２を備えている。溝ロール１１，１２は、軸心がＹ方向に沿って互いに平行に回転可能に保持されている。２つの溝ロール１１，１２の周面には、その周方向に沿って形成されるとともに、軸方向に一定間隔で配置された溝１１ａ，１２ａが形成されている。この溝１１ａ，１２ａにワイヤ２が張設されている。なお、溝ロール１１、１２のうち一方を駆動ロールとしてもよいし，両方を従動ロールとしてもよい。

ワーク送り装置１３はメインロール部１０の上方に設けられている。ワーク送り装置１３は、ワーク支持部１４の先端にワークＷを保持するとともに、矢印で示すようにＺ方向に進退移動することにより、ワークＷをメインロール部１０に対して進退させる。

加工室４にはメインロール部１０とワーク支持部１４が上下に対向して配置され、その周囲３方面がカバー２０によって覆われるようになっている。なお加工室４の後方はハウジング５によって後壁１５が構成されている。カバー２０は、加工室４の前方を塞ぐ前壁２１と加工室４の幅方向（Ｘ軸）両側を塞ぐ第１及び第２の側壁２２，２３とが一体に構成され、平面視コ字状になっている。このカバー２０はＹ軸方向に延びるレール部２５に沿って昇降移動する。カバー２０は、図２に示すように加工室４の前方及び両側方を覆う第１の位置Ｐ１と、図３に示すように加工室４から退避して加工室４を開放する第２の位置Ｐ２との間でＺ軸方向に進退移動する。例えば操作入力部５０の入力指示に応じて駆動され、カバー２０が昇降移動する。なお、カバー２０の両側壁２２，２３の後端の縁部分２２ａ，２３ａはメインロール部１０の後方に形成された後壁部１５に沿ってＺ方向に延びている。カバー２０は移動した後第１の位置Ｐ１及び第２の位置Ｐ２でそれぞれロックされ固定される。例えばワークの設置時、メインロール交換時、機内清浄等の際にはカバー２０が第１の位置に上昇して加工室４の前面及び両側面の３方向を開放し、例えば切断加工中にはカバー２０が下降して加工室４の周囲を閉塞するように動作する。さらにカバー２０の前壁２１には、開閉式の小窓部２６が設けられている。この小窓部２６からカバー閉時に内部を観察することが可能となっている。

図１に示す繰出し機構３０と巻取り機構４０は同じ構造のもので、一方が繰出し側となったときには他方は巻取り側となり、一方が巻取り側となったときには他方が繰出し側となる。本実施形態では例えば機構３０が繰り出し機構、機構４０が巻取り機構となっている。これらの機構３０、４０は例えば操作入力部５０への入力に応じて制御部６０により制御されて回転駆動し、ボビン３０ａ，４０ａによりワイヤ２の繰り出し及び巻き取りを行う。ワイヤ２は、繰り出し機構３０のボビン３０ａから繰り出され、ガイドロール３１，３５を経てダンサロール３４に掛けられ，さらにガイドロール３６，３７，３８，３９を経てメインロール部１０に到達する。メインロール部１０では，ワイヤ２は溝ロール１１の溝に順次掛けられている。メインロール部１０から出たワイヤ２はガイドロール４９，４８，４７，４６を経て，ダンサ機構４２のダンサロール４４に掛けられ，さらにガイドロール４５，４１を経て，巻取り側の機構４０によってその巻取りボビン４０ａに巻取られる。

上記のように構成されたワイヤ式切断装置１では、ワイヤ２はメインロール部１０の複数の平行に配置された溝ロール１１，１２に張設されて走行される。一方、ワーク送り装置１３に保持されたワークＷは，ワーク送り装置１３の昇降移動によってメインロール部１０の方向に送られる。そしてワークＷが走行するワイヤ２に押し付けられることにより，ワークＷが切断される。

ワイヤ２の走行動作の一例としては、ワイヤを繰出し機構３０側から巻取り機構４０側に全部走行させたのち，反対に，巻取り機構４０側から繰出し機構３０側にワイヤ２を走行させる。他の一例としては、繰出し機構３０側から巻取り機構４０側にワイヤ２を一定長さ，または一定時間順方向走行させ，この後，ワイヤ２を適当な長さ戻し（逆方向走行させ），再び上記順方向走行を繰り返す構成でもよい。

上記のように構成されたワイヤ式切断装置１は、以下のような効果を有する。すなわち、加工室４の正面及び両側方の３方向の壁２１，２２，２３が一体に平面視コ字状に構成されるとともにスライドして昇降移動することで加工室４を開閉するため、加工室４の開閉動作が単純となるとともに、開閉のために必要なスペースを最小限にすることができる。また開閉時及び開いた状態においてカバー２０が作業の邪魔になることがないため作業性及び安全性を向上できる。

なお、上記した実施の形態は、例として提示したものであり、考案の範囲を限定することは意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、考案の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、考案の範囲や要旨に含まれるとともに、実用新案登録請求の範囲に記載された考案とその均等の範囲に含まれる。

Ｗ…ワーク（被切断材）、１…ワイヤ式切断装置、２…ワイヤ、４…加工室、１０…メインロール部、
１３…ワーク送り装置（被切断材支持部）、２０…カバー、２１…前壁、２２，２３…側壁、
２５…レール部、３０…繰り出し機構、４０…巻取り機構、５０…操作入力部、６０…制御部。

Claims (2)

1. ワイヤが張設されるロールを有するメインロール部と、
   前記メインロール部に対して移動可能に被切断材が支持される被切断材支持部と、
   前記メインロール部及び被切断材支持部が配される加工室の前方に配される前壁と前記加工室の側方に配される側壁を一体に有し、前記加工室の前方及び側方を覆う第１の位置と、前記加工室から退避して前記加工室を開放する第２の位置との間で移動することで前記加工室を開閉するカバーと、
   を備えたことを特徴とするワイヤ式切断装置。
2. 前記カバーは、前記前壁及び一対の前記側壁が一体となり平面視コ字状に形成され、上昇することにより前記加工室の上方に退避して前記加工室を開放し、下降することにより前記加工室の周囲３方面を囲むことで前記加工室を閉じることを特徴とする請求項１記載のワイヤ切断装置。

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