JP2000202756A - ワイヤソ― - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤをリール機構と切断機構との間の走行
経路に沿って、容易かつ短時間に掛け止めすることがで
きるワイヤソーのワイヤ掛け渡し装置を提供する。 【解決手段】 ワイヤソーにおけるワイヤ１８の走行経
路に沿ってガイドレール３６を延長配置する。ガイドレ
ール３６上には搬送体３７を支持する。搬送体３６は自
走移動する。搬送体３７にはワイヤ１８の端部を把持し
て、ワイヤ１８の走行経路中におけるワイヤ案内部材２
７に掛け止めするためのワイヤ把持部３８を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤを使用し
て、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よ
りなるワークに対し、切断加工等を施すようにしたワイ
ヤソーに係り、特に、そのワイヤソーにおけるワイヤの
走行経路に沿ってワイヤを掛け渡すようにしたワイヤソ
ーに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種のワイヤソーにおいては、
リール機構と切断機構との間のワイヤの走行経路に沿っ
てワイヤを掛け渡す場合、そのワイヤの掛け渡しを手作
業により行っている。すなわち、一方のリール機構側の
繰出しリールから繰り出されたワイヤの端部を、作業者
が把持して、ワイヤガイド機構、ワイヤ張力付与機構等
に掛け渡して切断機構に導く。さらに、ワイヤを同様に
作業者が把持して他方のリール機構側のワイヤガイド機
構、ワイヤ張力付与機構等に掛け渡し、他方のリール機
構に導いて、そのリール機構のリールに巻き付ける。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このため、従来のワイ
ヤソーにおいては、ワイヤをリール機構と切断機構との
間の走行経路に沿って掛け渡すのが面倒で時間がかかる
という問題があった。

【０００４】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、ワイヤをリール機構と切断機構との間の
走行経路に沿って、容易かつ短時間に掛け渡すことがで
きるワイヤソーを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載のワイヤソーの発明では、ワイヤ
の走行経路に対応するようにガイドレールを配置し、そ
のガイドレール上には搬送体を移動可能に支持し、その
搬送体にはワイヤの端部を把持する把持部を設け、搬送
体がワイヤの端部を把持した状態でガイドレール上を移
動することにより、リールと加工部との間の所要位置に
ワイヤにワイヤが掛け渡されるようにしたものである。

【０００６】従って、ワイヤ把持部にワイヤを把持した
状態で、搬送体がガイドレールに沿って移動されること
により、ワイヤをリール機構と切断機構との間の走行経
路に沿って、容易かつ短時間に掛け渡することができ
る。

【０００７】請求項２の発明においては、請求項１にお
いて、ガイドレールは、ワイヤ走行経路を覆うカバーの
内側面に設けられているものである。従って、ワイヤソ
ーの本体側にガイドレールを設ける必要がないため、ワ
イヤソー本体に対して構造変更や新たな機構の追加を行
うことなく、既存のワイヤソーであっても、搬送体によ
るワイヤの掛け渡し機能を得ることができる。

【０００８】請求項３の発明においては、請求項１また
は２において、ガイドレールは、ワイヤの走行経路に沿
って延長配置されている。従って、搬送体をワイヤの走
行経路に従うように移動させて、ワイヤの確実な掛け渡
しを行うことができる。

【０００９】請求項４の発明においては、請求項１また
は２において、ガイドレールは、一方向に延長された第
１ガイドレールと、その第１ガイドレール上に同レール
に沿って移動可能に支持され、第１ガイドレールとは異
なる方向に延長された第２ガイドレールとよりなり、搬
送体が第２ガイドレール上に支持されたものである。

【００１０】従って、第２ガイドレール及び搬送体の移
動速度及び移動のタイミングを適宜に制御すれば、搬送
体の走行軌跡を任意に設定でき、各種形状の走行経路に
自在に適応できる。

【００１１】請求項５の発明においては、請求項１〜４
のいずれかにおいて、ワイヤ走行経路の加工部側の端部
に、ワイヤを一時的に保持するための仮保持部を設けた
ものである。

【００１２】従って、ワイヤの端部が定められた固定位
置に配置される。このため、ワイヤを切断機構の加工用
ローラに巻回する場合に、そのワイヤの端部を確実に保
持して、ワイヤをワイヤソーの加工用ローラの環状溝に
巻回させることができる。

【００１３】請求項６の発明においては、請求項１〜５
のいずれかにおいて、搬送体は、ワイヤ走行経路の案内
ローラにワイヤを掛け渡すようになっている。従って、
案内ローラに対するワイヤの掛け渡しを搬送体により短
時間で容易に行うことができる。

【００１４】請求項７の発明においては、請求項１にお
いて、前記搬送体上にモータを搭載し、そのモータによ
り搬送体をガイドレールに沿って自走移動させるように
したものである。

【００１５】従って、搬送体に対して自走移動のための
駆動力を伝達するような機構が不要になり、構成が簡単
になる。請求項８の発明においては、請求項１〜３，５
〜７のいずれかにおいて、前記ガイドレールには長手方
向に延びる係合溝を形成し、搬送体にはガイドレールの
係合溝に係合可能な係合ローラを設けたものである。

【００１６】従って、ガイドレールの係合溝と搬送体上
の係合ローラとの係合により、搬送体をガイドレールに
沿って安定して移動させることができ、ワイヤの掛け渡
しを的確におこなうことができる。

【００１７】請求項９の発明においては、請求項８にお
いて、係合溝は複数備えられ、係合ローラは各係合溝に
係合するように複数備えられているものである。従っ
て、ガイドレールの係合溝と搬送体上の係合ローラとの
係合により、搬送体を一定の姿勢に維持した状態で、ガ
イドレールに沿って安定して移動させることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下に、この
発明の第１の実施形態を、図面に基づいて詳細に説明す
る。

【００１９】図１に示すように、この第１の実施形態の
ワイヤソーにおいては、ベース１１上にコラム１２が立
設されている。コラム１２の一側においてベース１１上
には切断機構１３が、支持フレーム１４を介して装設さ
れている。この切断機構１３は、間隔をおいて平行に配
設された複数の加工用ローラ１５，１６，１７を備え、
それらの加工用ローラ１５，１６，１７の外周には多数
の環状溝（図示しない）が形成されている。なお、加工
用ローラ１５，１６，１７は本実施形態のような３個の
他、２個または４個で構成してもよい。

【００２０】前記加工用ローラ１５，１６，１７間に
は、それらの環状溝に１本の線材よりなるワイヤ１８を
連続的に巻回することによって、平行に延びるワイヤ列
１８Ａが張設されている。そして、加工用ローラ１５，
１６，１７がワイヤ走行用モータ（図示しない）にて回
転されることにより、ワイヤ列１８Ａが走行される。

【００２１】前記切断機構１３の上方には、スラリ供給
機構を構成するスラリ供給ノズル１９が対向配置され、
このスラリ供給ノズル１９から加工用ローラ１５，１
６，１７間のワイヤ列１８Ａ上に、遊離砥粒を含む水性
または油性のスラリが供給される。スラリ供給ノズル１
９の上方において、コラム１２にはワーク支持機構２０
が上下移動可能に配設され、その下部には硬脆材料より
なるワーク２１が着脱可能に装着されている。

【００２２】そして、このワイヤソーの運転時には、ワ
イヤ列１８Ａが切断機構１３の加工用ローラ１５，１
６，１７間で走行されながら、ワーク支持機構２０が送
り用モータ（図示しない）により切断機構１３に向かっ
て下方に送り移動される。このとき、スラリ供給ノズル
１９からワイヤ列１８Ａ上に遊離砥粒を含むスラリが供
給されるとともに、そのワイヤ列１８Ａに対しワーク２
１が押し付け接触されて、ワーク２１がウエハ状に切断
加工される。

【００２３】図１及び図２に示すように、前記ベース１
１上には取付フレーム２２が立設され、その前後両側に
はリール機構２３、トラバース機構２４、ワイヤガイド
機構２５及びワイヤ張力付与機構２６がそれぞれ装設さ
れている（図面では一側のみ図示）。各ワイヤガイド機
構２５には複数のワイヤ案内部材としてのワイヤ案内ロ
ーラ２７が間隔をおいて配設され、それらの外周にはワ
イヤ案内溝２７ａが形成されている。なお、図２におい
ては、各ワイヤ案内ローラ２７にワイヤ案内溝２７ａが
２条ずつ形成されているが、常時は１条のみが使用さ
れ、それが摩耗した場合に残りのワイヤ案内溝２７ａが
使用される。後述する他のワイヤ案内ローラも同様であ
る。

【００２４】前記各ワイヤ張力付与機構２６にはダンサ
アーム２８が配設され、その端部にはワイヤ案内部材と
してのワイヤ案内ローラ２９が取り付けられている。そ
して、前記取付フレーム２２の前面側において、リール
機構２３の繰出しリール２３ａから繰り出されたワイヤ
１８がトラバース機構２４を通過した後、ワイヤガイド
機構２５及びワイヤ張力付与機構２６の各ワイヤ案内ロ
ーラ２７に掛け渡されて、切断機構１３の加工用ローラ
１５〜１７上に導かれる。また、取付フレーム２２の背
面側において、加工用ローラ１５〜１７上から導出され
たワイヤ１８が、ワイヤガイド機構２５及びワイヤ張力
付与機構２６の各ワイヤ案内ローラ２７に掛け渡された
後、トラバース機構２４を介してリール機構２３の巻取
りリール２３ｂに巻き取られるようになっている。

【００２５】図１に鎖線で示すように、前記ベース１１
上にはカバー３０が装着され、このカバー３０によりベ
ース１１上の諸機構が覆われている。カバー３０の前後
両側にはワイヤ掛装作業用の各２個の窓部３１Ａ，３１
Ｂが形成され、それらの窓部３１Ａ，３１Ｂには開閉扉
３２Ａ，３２Ｂが取り付けられている。

【００２６】図１〜図５に示すように、前記取付フレー
ム２２の前後両側において、各ワイヤガイド機構２５及
びワイヤ張力付与機構２６には、ワイヤ掛け渡し装置３
５がそれぞれ対向配置されている。すなわち、各ワイヤ
ガイド機構２５及びワイヤ張力付与機構２６におけるワ
イヤ１８の走行経路に沿って延びるように、カバー３０
の前後両側部の内側面には丸棒状のガイドレール３６が
脚３６ｂを介して延長配置され、その両側面には一対の
係合溝３６ａが長手方向に延長形成されている。

【００２７】前記ガイドレール３６上には搬送体３７が
自走移動可能に支持され、その側面にはワイヤ１８の端
部を把持するためのワイヤ把持部３８が突設されてい
る。このワイヤ把持部３８は、一対のワイヤ挿通孔３９
ａを有するケース３９と、そのケース３９内に移動可能
に収容され、ワイヤ挿通孔３９ａに合致可能なワイヤ把
持孔４０ａを有する把持体４０と、その把持体４０をワ
イヤ把持部３８の先端側に移動付勢するバネ４１とを備
えている。

【００２８】そして、ケース３９上に形成された操作孔
３９ｂから外方に突出する突起４０ｂを操作して、把持
体４０をバネ４１の付勢力に抗して押圧移動させ、ワイ
ヤ把持孔４０ａがワイヤ挿通孔３９ａに合致した状態
で、それらの孔３９ａ，４０ａにワイヤ１８の端部を挿
通する。この状態で、把持体４０に対する押圧操作を解
放すると、図２及び図３に示すように、把持体４０がバ
ネ４１の付勢力によりワイヤ把持部３８の基端側に移動
されて、ワイヤ挿通孔３９ａとワイヤ把持孔４０ａとの
周縁部間でワイヤ１８の端部が把持される。

【００２９】前記搬送体３７にはモータ４２が取付板４
３を介して搭載され、そのモータ軸にはガイドレール３
６の一側方の係合溝３６ａに係合可能な駆動用係合ロー
ラ４４が取り付けられている。そして、このモータ４２
にて駆動用係合ローラ４４が回転されることにより、搬
送体３７がガイドレール３６に沿って自走移動されるよ
うになっている。

【００３０】前記モータ４２と反対側において、搬送体
３７には一対のガイド用係合ローラ４５が回転可能及び
横移動可能に支持され、バネ４６の付勢力により押圧体
４７を介して、ガイドレール３６の他側方の係合溝３６
ａの底面に押圧係合されている。このように、一対のガ
イド用係合ローラ４５及び前記駆動用係合ローラ４４
が、ガイドレール３６の両側の係合溝３６ａに係合され
ることにより、図５に示すように、ガイドレール３６の
湾曲部においても、搬送体３７が所定の姿勢を維持して
移動されるようになっている。なお、前記両係合ローラ
４４，４５はスリップを防ぐために、摩擦係数の大きな
材質、例えばゴムにより構成されている。

【００３１】そして、前記搬送体３７がガイドレール３
６に沿って自走移動されることにより、図１に鎖線で示
すように、ワイヤ把持部３８に把持されたワイヤ１８の
端部が、ワイヤガイド機構２５及びワイヤ張力付与機構
２６の各ワイヤ案内ローラ２７，２９の外側の同心円周
上の軌跡、及びそれらの円周上軌跡を結ぶ接線上軌跡に
沿って導かれる。これにより、ワイヤ１８がワイヤ走行
経路に配置されている複数のワイヤ案内ローラ２７，２
９に、順に掛け渡されるようになっている。

【００３２】図１及び図６に示すように、前記各ワイヤ
掛け渡し装置３５の切断機構１３側の端部には、ワイヤ
保持機構４８がそれぞれ装設されている。すなわち、コ
ラム１２の前後両側には取付ブロック４９が取り付けら
れ、その外面にはワイヤ１８の端部を挟着保持するため
の一対の弾性板よりなるワイヤ保持片５０が突設されて
いる。そして、ワイヤ掛け渡し装置３５によりリール機
構２３側から導かれたワイヤ１８の端部が、ワイヤ把持
部３８から解放されるとともに、コラム１２の前面側の
ワイヤ保持機構４８に保持されるようになっている。

【００３３】前記切断機構１３の加工用ローラ１５〜１
７の周側には、図示しないワイヤ巻回装置が対向配置さ
れている。そして、コラム１２の前面側のワイヤ保持機
構４８に保持されたワイヤ１８の端部が、このワイヤ巻
回装置により加工用ローラ１５〜１７の環状溝に順に巻
回された後、コラム１２の背面側のワイヤ保持機構４８
に保持されるようになっている。

【００３４】次に、前記のように構成されたワイヤソー
のワイヤ掛け渡し装置について動作を説明する。さて、
このワイヤソーにおいて、両リール機構２３と切断機構
１３との間のワイヤ走行経路に沿ってワイヤ１８を掛け
渡す場合には、カバー３０の前後両側の各開閉扉３２
Ａ，３２Ｂを開放する。この状態で、取付フレーム２２
の前面側において、一方の窓部３１Ａ，３１Ｂを通し
て、一方のリール機構２３の繰出しリール２３ａからワ
イヤ１８の端部を繰り出し、トラバース機構２４に通
す。その後、ワイヤ１８の端部をワイヤ掛け渡し装置３
５のワイヤ把持部３８に把持させて、そのワイヤ掛け渡
し装置３５を駆動させると、モータ４２の回転により、
搬送体３７がガイドレール３６に沿って切断機構１３側
に自走移動される。これにより、ワイヤ１８の端部が正
面側のワイヤガイド機構２５及びワイヤ張力付与機構２
６の各ワイヤ案内ローラ２７，２９に対して順に掛け渡
される。

【００３５】そして、ワイヤ１８の掛け渡し動作が終了
すると、搬送体３７がガイドレール３６の切断機構１３
側の端部で停止される。この状態で、他方の窓部３１を
通して、ワイヤ把持部３８からワイヤ１８の端部を取り
外し、コラム１２の正面側に配設されたワイヤ保持機構
４８のワイヤ保持片５０間に挟着保持させる。その後、
図示しないワイヤ巻回装置により、ワイヤ１８の端部が
ワイヤ保持片５０から取り外されて、切断機構１３にお
ける加工用ローラ１５〜１７の環状溝に順に巻回され
る。そして、この巻回動作の終了後に、ワイヤ１８の端
部がコラム１２の背面側に配設されたワイヤ保持機構４
８のワイヤ保持片５０間に保持される。

【００３６】続いて、取付フレーム２２の背面側におい
て、窓部３１Ａ，３１Ｂを通して、ワイヤ１８の端部を
ワイヤ保持機構４８のワイヤ保持片５０間から取り外
し、背面側のワイヤ掛け渡し装置３５のワイヤ把持部３
８に把持させる。その後、ワイヤ掛け渡し装置３５を駆
動させると、モータ４２の回転により、搬送体３７がガ
イドレール３６に沿ってリール機構２３側に移動され
る。これにより、ワイヤ１８の端部が背面側のワイヤガ
イド機構２５及びワイヤ張力付与機構２６の各ワイヤ案
内ローラ２７，２９に対して順に掛け渡される。

【００３７】このように、ワイヤ１８の掛け渡し動作が
終了すると、搬送体３７がガイドレール３６のリール機
構２３側端部で停止される。この状態で、窓部３１Ａ，
３１Ｂを通して、ワイヤ１８の端部をワイヤ把持部３８
から取り外し、トラバース機構２４に通した後に、他方
のリール機構２３の巻取りリール２３ｂに巻き付ける。
これにより、ワイヤソーの諸機構に対するワイヤ１８の
掛け渡し作業を終了することができる。なお、トラバー
ス機構２４を一定の高さ位置においてワイヤ１８の掛け
渡しを行うようにすれば、ガイドレール３６を延長する
ことにより、トラバース機構２４に対しても搬送体３７
によって自動で巻き掛けることができる。

【００３８】前記の実施形態によって期待できる効果に
ついて、以下に記載する。 ・ この実施形態のワイヤソーにおいては、ワイヤソー
におけるワイヤ１８の走行経路に沿ってガイドレール３
６が延長配置されている。そして、ガイドレール３６上
には搬送体３７が移動可能に支持され、その搬送体３７
にはワイヤ１８の端部を把持して、ワイヤ１８の走行経
路中におけるワイヤ案内部材としてのワイヤ案内ローラ
２７，２９に掛け渡すためのワイヤ把持部３８が設けら
れている。

【００３９】このため、ワイヤ把持部３８にワイヤ１８
を把持した状態で、搬送体３７がガイドレール３６に沿
って移動されることにより、ワイヤ１８をリール機構２
３と切断機構１３との間の走行経路に沿って、容易かつ
短時間に掛け渡することができる。

【００４０】・ ガイドレール３６がワイヤソーを覆う
カバー３０の内側面に設けられているため、ワイヤソー
の本体に変更を加えたり、新たな機構を追加したりする
必要がなく、既設のワイヤソーであっても、ワイヤ１８
の掛け渡し機能を得ることができる。

【００４１】・ ワイヤ走行経路の端部に位置するコラ
ム１２上に、ワイヤ１８の端部を一時的に保持するため
の仮保持部としてのワイヤ保持機構４８が設けられてい
る。従って、ワイヤ１８を切断機構１３の加工用ローラ
１５〜１７に巻回する場合に、そのワイヤ１７の端部を
定められた固定位置に配置することができる。このた
め、ワイヤ１７の端部をワイヤ巻回装置に対して確実に
保持させて掛け渡しでき、続いて、ワイヤ１７を加工用
ローラ１５〜１７の環状溝に巻回させることができる。

【００４２】・ 搬送体３７上にモータ４２が搭載さ
れ、そのモータ４２により搬送体３７がガイドレール３
６に沿って自走移動されるようになっている。このた
め、搬送体３７を移動させる操作が不要になるととも
に、搬送体３７の自走移動のための駆動力を伝達するよ
うな機構が不要になり、構成が簡単である。

【００４３】・ ガイドレール３６に長手方向へ延びる
係合溝３６ａが形成され、搬送体３７にはガイドレール
３６の係合溝３６ａに係合可能な係合ローラ４４，４５
が設けられている。このため、ガイドレール３６の係合
溝３６ａと搬送体３７上の係合ローラ４４，４５との係
合により、搬送体３７をガイドレール３６に沿って安定
して移動させることができ、ワイヤ１８の掛け渡しを的
確におこなうことができる。しかも、係合溝３６ａ及び
係合ローラ４４，４５がそれぞれ複数であるため、搬送
体３７はその姿勢を一定に維持し、ワイヤ１８の掛け渡
しを確実に行うことができる。

【００４４】・ 搬送体３７の移動に伴ってワイヤ把持
部３８に把持されたワイヤ１８の端部が、各ワイヤ案内
ローラ２７，２９の外周よりも外側の同心円周上の軌
跡、及びそれらの円周上軌跡を結ぶ接線上軌跡に沿って
導かれるようになっている。このため、ワイヤ１８の走
行経路に配設された複数のワイヤ案内ローラ２７，２９
に対して、ワイヤ１８を順次確実に掛け渡すことができ
る。

【００４５】（第２の実施形態）次に、この発明の第２
の実施形態を図７に基づいて説明する。この第２の実施
形態においては、カバー３０の内側面に第１のガイドレ
ール５１が図７の左右水平方向、すなわち切断機構１３
とリール機構２３との間に延長されるように脚５１ａを
介して固定されている。その第１のガイドレール５１に
は移動体５２がレール延長方向に移動可能に支持され、
この移動体５２は、それに搭載したモータ５３により自
走移動する。

【００４６】移動体５２には第２のガイドレール５４が
垂直方向に延長されるように固定され、その第２のガイ
ドレール５４には搬送体５５がレール延長方向に移動可
能に支持されている。この搬送体５５は、それに搭載し
たモータ５６により自走移動する。搬送体５４には、前
記第１の実施形態と同様なワイヤ把持部３８が設けられ
ている。

【００４７】そして、ワイヤ１８が掛け渡される際に
は、移動体５２が第１ガイドレール５１上を自走移動さ
れるとともに、搬送体５５が第２ガイドレール５４上を
自走移動される。これらの移動により、結果として搬送
体５５がワイヤ走行経路に沿って移動されて、ワイヤ１
８の掛け渡しが行われる。

【００４８】従って、この第２の実施形態においては、
ＮＣプログラムによりモータ５３，５５の回転速度及び
回転・停止タイミングを適宜に制御すれば、搬送体５５
の走行軌跡を任意に設定でき、各種形状の走行経路に自
在に適応できる。このため、ワイヤ掛け渡し装置３５を
機種毎に設計したり、製作したりする必要がなく、汎用
性に優れたものとすることができる。その他の構成は前
記第１の実施形態と同様である。

【００４９】（別の実施形態）なお、この実施形態は、
次のように変更して具体化することも可能である。 ・ 前記第２の実施形態とは逆に、垂直方向に延長され
たレールを固定にし、そのレールに支持された移動体に
水平方向に延長されるレールを支持し、水平方向のレー
ルに搬送体を支持すること。

【００５０】・ 前記第１，第２の実施形態において、
固定のレール３６，５１をベース１１上にスタンドを介
して支持すること。このように構成しても、前述したワ
イヤソーの本体に変更等を加える必要がないという効果
を発揮することができる。

【００５１】・ 第２の実施形態において、移動体５２
の駆動モータを第１のガイドレール５１側に固定し、ボ
ールねじあるいはラックアンドピニオンで駆動力を伝達
すること。

【００５２】・ 同じく第２の実施形態において、搬送
体５５の駆動モータを第２のガイドレール５４側に固定
し、ボールねじあるいはラックアンドピニオンで駆動力
を伝達すること。

【００５３】

【発明の効果】以上、実施形態で例示したように、この
発明においては以下の効果を奏する。請求項１において
は、ワイヤの走行経路に対応するようにガイドレールを
配置し、そのガイドレール上には把持部を有する搬送体
を移動可能に支持したことにより、ワイヤをリール機構
と切断機構との間の走行経路に沿って容易かつ短時間に
掛け渡すことができる。

【００５４】請求項２においては、ガイドレールをカバ
ーの内側面に設けたことにより、ワイヤソーの本体に対
して構造変更や新たな機構の追加を行うことなく、ワイ
ヤの掛け渡し機能を得ることができる。

【００５５】請求項３においては、ガイドレールをワイ
ヤの走行経路に沿って延長配置したことにより、ワイヤ
をその走行経路に沿って確実に掛け渡すことができる。
請求項４においては、第１ガイドレールと、第２ガイド
レールとを設け、搬送体を移動可能な第２ガイドレール
上に支持したことにより、第２ガイドレール及び搬送体
の移動速度及び移動・停止のタイミングを適宜に制御す
れば、各種形状の走行経路に自在に適応できる。

【００５６】請求項５においては、ワイヤ走行経路の加
工部側の端部に、ワイヤを一時的に保持するための仮保
持部を設けたことにより、ワイヤを切断機構の加工用ロ
ーラに巻回する場合に、そのワイヤの端部を確実に保持
して、ワイヤを加工用ローラの環状溝に巻回させること
ができる。

【００５７】請求項６においては、ワイヤを搬送体によ
りワイヤ走行経路の案内ローラに掛け渡すようにしたこ
とにより、案内ローラに対するワイヤの掛け渡しを搬送
体により短時間で容易に行うことができる。

【００５８】請求項７においては、前記搬送体上に自走
用のモータを設けたことにより、搬送体を自走移動させ
ることができるとともに、搬送体に対して移動のための
駆動力を伝達するような機構が不要になり、構成が簡単
になる。

【００５９】請求項８においては、搬送体にガイドレー
ルの係合溝に係合可能な係合ローラを設けたことによ
り、搬送体をガイドレールに沿って安定して移動させる
ことができ、ワイヤの掛け渡しを的確におこなうことが
できる。

【００６０】請求項９においては、係合溝及び係合ロー
ラを複数備えたことにより、搬送体を一定の姿勢に維持
した状態で、ガイドレールに沿って安定して移動させる
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施形態を示す正面図。

【図２】 ワイヤ掛け止め装置を拡大して示す部分破断
平面図。

【図３】 図２の３−３線における部分拡大断面図。

【図４】 図３の４−４線における部分拡大断面図。

【図５】 ガイドレールの湾曲部を示す部分断面図。

【図６】 ワイヤ保持機構を示す部分断面図。

【図７】 第２の実施形態を示す正面図。

【符号の説明】

１３…切断機構、１５，１６，１７…加工用ローラ、１
８…ワイヤ、２０…ワーク支持機構、２１…ワーク、２
３…リール機構、２３ａ…繰出しリール、２３ｂ…巻取
りリール、２５…ワイヤガイド機構、２６…ワイヤ張力
付与機構、２７，２９…ワイヤ案内部材としてのワイヤ
案内ローラ、３５…ワイヤ掛け渡し装置、３６…ガイド
レール、３６ａ…係合溝、３７…搬送体、３８…ワイヤ
把持部、３９…ケース、３９ａ…ワイヤ挿通孔、４０…
把持体、４０ａ…ワイヤ把持孔、４２…モータ、４４…
駆動用係合ローラ、４５…ガイド用係合ローラ、４８…
ワイヤ保持機構。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤの走行経路に対応するようにガイ
   ドレールを配置し、そのガイドレール上には搬送体を移
   動可能に支持し、その搬送体にはワイヤの端部を把持す
   る把持部を設け、搬送体がワイヤの端部を把持した状態
   でガイドレール上を移動することにより、リールと加工
   部との間の所要位置にワイヤが掛け渡されるようにした
   ワイヤソー。
2. 【請求項２】 ガイドレールは、ワイヤ走行経路を覆う
   カバーの内側面に設けられている請求項１に記載のワイ
   ヤソー。
3. 【請求項３】 ガイドレールは、ワイヤの走行経路に沿
   って延長配置されている請求項１または２に記載のワイ
   ヤソー。
4. 【請求項４】 ガイドレールは、一方向に延長された第
   １ガイドレールと、その第１ガイドレール上に同レール
   に沿って移動可能に支持され、第１ガイドレールとは異
   なる方向に延長された第２ガイドレールとよりなり、搬
   送体が第２ガイドレール上に支持された請求項１または
   ２に記載のワイヤソー。
5. 【請求項５】 ワイヤ走行経路の加工部側の端部に、ワ
   イヤを一時的に保持するための仮保持部を設けた請求項
   １〜４のいずれかに記載のワイヤソー。
6. 【請求項６】 搬送体は、ワイヤ走行経路の案内ローラ
   にワイヤを掛け渡すようになっている請求項１〜５のい
   ずれかに記載のワイヤソー。
7. 【請求項７】 搬送体上にモータを搭載し、そのモータ
   により搬送体をガイドレールに沿って自走移動させるよ
   うにした請求項１〜６のいずれかに記載のワイヤソー。
8. 【請求項８】 前記ガイドレールには長手方向に延びる
   係合溝を形成し、搬送体にはガイドレールの係合溝に係
   合可能な係合ローラを設けた請求項１〜３，５〜７のい
   ずれかに記載のワイヤソー。
9. 【請求項９】 係合溝は複数備えられ、係合ローラは各
   係合溝に係合するように複数備えられている請求項８に
   記載のワイヤソー。