JP2021153126A - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態に係る被加工物10の加工方法について、図面に基づいて説明する。まず、実施形態の加工対象である被加工物10の構成について説明する。図1は、実施形態に係る被加工物10の一例を示す斜視図である。
図3は、図2に示す第1被覆ステップ1の一例を一部断面で示す側面図である。図4は、図3の第1被覆ステップ1後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。図3及び図4に示すように、第1被覆ステップ1は、被加工物10の表面12に水溶性保護膜20を被覆するステップである。
図5は、図2に示すレーザー加工ステップ2の一例を一部断面で示す側面図である。図6は、図5のレーザー加工ステップ2後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。レーザー加工ステップ2は、第1被覆ステップ1を実施した後に実施される。図5及び図6に示すように、レーザー加工ステップ2は、被加工物10に対して吸収性を有する波長のレーザー光線65を被加工物10の表面12から分割予定ライン13に沿って照射し、分割予定ライン13に沿ったレーザー加工溝21を被加工物10の表面12に形成するステップである。
図7は、図2に示す保護膜洗浄ステップ3の一例を一部断面で示す側面図である。図8は、図7の保護膜洗浄ステップ3後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。保護膜洗浄ステップ3は、レーザー加工ステップ2を実施した後に実施される。図7及び図8に示すように、保護膜洗浄ステップ3は、被加工物10の表面12を洗浄し、水溶性保護膜20とともにレーザー加工ステップ2で発生したデブリ22を除去するステップである。
図9は、図2に示す第2被覆ステップ4の一例を一部断面で示す側面図である。図10は、図9の第2被覆ステップ4後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。第2被覆ステップ4は、保護膜洗浄ステップ3を実施した後に実施される。図9及び図10に示すように、第2被覆ステップ4は、再度、被加工物10の表面12に水溶性保護膜20を被覆するステップである。
本発明の変形例に係る被加工物10の加工方法について、図面に基づいて説明する。図11は、変形例に係る被加工物10の加工方法の流れを示すフローチャートである。変形例の被加工物10の加工方法は、第1被覆ステップ1と、レーザー加工ステップ2と、保護膜洗浄ステップ3と、第2被覆ステップ4と、切削ステップ5と、追加洗浄ステップ6と、を含む。変形例において、第1被覆ステップ1、レーザー加工ステップ2、保護膜洗浄ステップ3、及び第2被覆ステップ4は、レーザー加工装置100を用いて連続して実施される。また、変形例において、切削ステップ5及び追加洗浄ステップ6は、切削装置200を用いて実施される。
第1被覆ステップ1、レーザー加工ステップ2、保護膜洗浄ステップ3、及び第2被覆ステップ4を実施するレーザー加工装置100の構成について説明する。図12は、図11に示す第1被覆ステップ1、レーザー加工ステップ2、保護膜洗浄ステップ3、及び第2被覆ステップ4を実施するレーザー加工装置100の構成例を示す斜視図である。以下の説明において、X軸方向は、水平面における一方向である。Y軸方向は、水平面において、X軸方向に直交する方向である。Z軸方向は、X軸方向及びY軸方向に直交する方向である。変形例のレーザー加工装置100は、加工送り方向がX軸方向であり、割り出し送り方向がY軸方向であり、集光点位置調整方向がZ軸方向である。
切削ステップ5及び追加洗浄ステップ6を実施する切削装置200の構成について説明する。図13は、図11に示す切削ステップ5及び追加洗浄ステップ6を実施する切削装置200の構成例を示す斜視図である。変形例の切削装置200は、加工送り方向がX軸方向であり、割り出し送り方向がY軸方向であり、切り込み送り方向がZ軸方向である。
図14は、図11に示す切削ステップ5の一例を一部断面で示す側面図である。図15は、図14の切削ステップ5後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。図14及び図15に示すように、切削ステップ5は、水溶性保護膜20が被覆された被加工物10の表面12に水227を供給しながら、レーザー加工溝21の中央に切削ブレード221で分割溝23を形成しつつ、水溶性保護膜20を水227で除去するステップである。切削ステップ5は、レーザー加工装置100から被加工物10を搬出した後、被加工物10に水227を供給しながら切削ブレード221で切削する切削装置200を用いて実施される。
図16は、図11に示す追加洗浄ステップ6の一例を一部断面で示す側面図である。図17は、図16の追加洗浄ステップ6後の一状態を示す被加工物10の要部の断面図である。追加洗浄ステップ6は、切削ステップ5を実施した後に実施される。図16及び図17に示すように、追加洗浄ステップ6は、切削装置200が備える洗浄ユニット250で被加工物10に水257を供給し、被加工物10の表面12を洗浄するステップである。
12 表面
13 分割予定ライン
14 デバイス
20 水溶性保護膜
21 レーザー加工溝
22 デブリ
23 分割溝
50 保護膜被覆ユニット
55 水溶性樹脂
60 レーザー加工ユニット
65 レーザー光線
70 洗浄ユニット
75 水
100 レーザー加工装置
110 レーザー加工ユニット
150 保護膜被覆及び洗浄ユニット
200 切削装置
220 切削ユニット
221 切削ブレード
225 切削水供給ユニット
250 洗浄ユニット
Claims (3)
- 表面の分割予定ラインに区画された領域にデバイスが形成された被加工物を加工する被加工物の加工方法であって、
被加工物の表面に水溶性保護膜を被覆する第1被覆ステップと、
該第1被覆ステップを実施した後、被加工物に対して吸収性を有する波長のレーザー光線を被加工物の表面から該分割予定ラインに沿って照射し、該分割予定ラインに沿ったレーザー加工溝を被加工物の表面に形成するレーザー加工ステップと、
該レーザー加工ステップを実施した後、被加工物の表面を洗浄し、該水溶性保護膜とともに該レーザー加工ステップで発生したデブリを除去する保護膜洗浄ステップと、
該保護膜洗浄ステップを実施した後、再度、被加工物の表面に該水溶性保護膜を被覆する第2被覆ステップと、
を備える被加工物の加工方法。 - 被加工物を加工するレーザー加工ユニットと、被加工物に該水溶性保護膜を被覆する保護膜被覆ユニットと、被加工物を水で洗浄する洗浄ユニットと、を備えるレーザー加工装置を用いて、
該第1被覆ステップ、該レーザー加工ステップ、該保護膜洗浄ステップ及び該第2被覆ステップを連続して実施した後、
該レーザー加工装置から被加工物を搬出し、被加工物に水を供給しながら切削ブレードで切削する切削装置を用いて
該水溶性保護膜が被覆された被加工物の表面に水を供給しながら、該レーザー加工溝の中央に該切削ブレードで分割溝を形成しつつ、該水溶性保護膜を該水で除去する切削ステップ
を備える請求項1に記載の被加工物の加工方法。 - 該切削ステップを実施した後、該切削装置が備える洗浄ユニットで被加工物に水を供給し、被加工物の表面を洗浄する追加洗浄ステップ
を備える請求項2に記載の被加工物の加工方法。
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