JP2021119592A - ワーク加工用シートおよび加工済みワークの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係るワーク加工用シートは、基材と、当該基材における片面側に積層された粘着剤層とを備える。
(1)基材
本実施形態における基材は、上述した貯蔵弾性率E’を示すとともに、上述したヤング率および破断伸度の少なくとも一方を示すものとなる限り、その組成は限定されない。これらの物性を達成し易いという観点からは、基材は、ポリブチレンテレフタレートおよび熱可塑性ポリエステル・エラストマーの少なくとも一種を材料とするものであることが好ましい。
本実施形態における粘着剤層を構成する粘着剤としては、被着体に対する十分な粘着力(特に、ワークの加工を行うために十分となるような対ワーク粘着力)を発揮することができる限り、特に限定されない。粘着剤層を構成する粘着剤の例としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリビニルエーテル系粘着剤等が挙げられる。これらの中でも、所望の粘着力を発揮し易いという観点から、アクリル系粘着剤を使用することが好ましい。
本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着剤層における基材とは反対側の面(以下、「粘着面」という場合がある。)をワークに貼付するまでの間、当該面を保護する目的で、当該面に剥離シートが積層されていてもよい。
本実施形態に係るワーク加工用シートでは、粘着剤層における基材とは反対側の面に接着剤層が積層されていてもよい。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シートは、例えばダイシング・ダイボンディングシートとして使用することができる。当該シートでは、接着剤層における粘着剤層とは反対側の面にワークを貼付し、当該ワークとともに接着剤層をダイシングすることで、個片化された接着剤層が積層されたチップを得ることができる。当該チップは、この個片化された接着剤層によって、当該チップが搭載される対象に対して容易に固定することが可能となる。上述した接着剤層を構成する材料としては、熱可塑性樹脂と低分子量の熱硬化性接着成分とを含有するものや、Bステージ(半硬化状)の熱硬化型接着成分を含有するもの等を用いることが好ましい。
本実施形態に係るワーク加工用シートの製造方法は特に限定されない。例えば、剥離シート上に粘着剤層を形成した後、当該粘着剤層における剥離シートとは反対側の面に基材の片面を積層することで、ワーク加工用シートを得ることが好ましい。
本実施形態に係るワーク加工用シートは、半導体ウエハ等のワークの加工のために使用することが好適である。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シートの粘着面をワークに貼付した後、ワーク加工用シート上にてワークの加工を行うことができる。当該加工に応じて、本実施形態に係るワーク加工用シートは、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシート、ピックアップシート等として使用することができる。ここで、ワークの例としては、半導体ウエハ、半導体パッケージ等の半導体部材、ガラス板等のガラス部材が挙げられる。
(1)粘着性組成物の調製
アクリル酸2−エチルヘキシル50質量部と、メタクリル酸40質量部と、アクリル酸10質量部とを、溶液重合法により重合させて、アクリル系重合体を得た。このアクリル系重合体の重量平均分子量(Mw)を後述する方法により測定したところ、60万であった。
上記工程(1)で得られた粘着性組成物の塗布液を、厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面がシリコーン系剥離剤により剥離処理された剥離シート(リンテック社製,製品名「SP−PET381031」)の剥離処理面に塗布し、得られた塗膜を100℃で1分間乾燥させた。これにより、剥離シートにおける剥離面上に、厚さ10μmの粘着剤層が形成されてなる積層体を得た。
基材としてのポリブチレンテレフタレートフィルム(オージーフィルム社製,製品名「PBT−SS80」,厚さ:80μm)の片面と、上記工程(2)で得られた積層体における粘着剤層側の面とを貼り合わせることで、ワーク加工用シートを得た。
<測定条件>
・測定装置:東ソー社製,HLC−8320
・GPCカラム(以下の順に通過):東ソー社製
TSK gel superH−H
TSK gel superHM−H
TSK gel superH2000
・測定溶媒:テトラヒドロフラン
・測定温度:40℃
基材として、ポリブチレンテレフタレートフィルム(オージーフィルム社製,製品名「BM−140」,厚さ:140μm)を使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
熱可塑性ポリエステル・エラストマー樹脂(東レ・デュポン社製,製品名「ハイトレル7247」)のペレットを厚さ100μmに製膜したフィルムを基材として使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
熱可塑性ポリエステル・エラストマー樹脂(東レ・デュポン社製,製品名「ハイトレル4767」)のペレットを厚さ100μmに製膜したフィルムを基材として使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
基材として、homoポリブチレンテレフタレートフィルム(オージーフィルム社製,製品名「PBT−50」,厚さ:50μm)を使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
基材として、エチレン−メタクリル酸共重合体フィルム(アキレス社製,製品名「EANU80―AL―ND」,厚さ:80μm)を使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
基材として、片面に易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡社製,製品名「コスモシャインA4100」,厚さ:100μm)を使用し、当該基材における易接着層側の面に粘着剤層を積層した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
基材として、ポリプロピレンフィルム(ダイヤプラスフィルム社製,製品名「PL108」,厚さ:80μm,)を使用した以外は、実施例1と同様にしてワーク加工用シートを得た。
実施例および比較例で作製・使用した基材を、15mm×150mmの試験片に裁断した。このとき、試験片の長辺(150mmの辺)が、基材のMD方向(基材の製造時の流れ方向)と平行となるように裁断した。
実施例および比較例で作製・使用した基材について、下記の条件で120℃における貯蔵弾性率E’(MPa)を測定した。ここで、当該測定は、基材のMD方向およびCD方向のそれぞれについて測定を行った。その測定結果を表1に示す。
測定装置:動的弾性率測定装置,オリエンテック社製,製品名「レオバイブロン DDV−II−FP」
試験開始温度:0℃
試験終了温度:120℃
昇温速度:10℃/分
周波数:11Hz
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面の周縁部に対して、マルチウエハマウンター(リンテック社製,製品名「Adwill RAD−2700F/12」)を用いて、ダイシング用リングフレーム(ディスコ社製,製品名「2−8−1」)を貼付した。
◎:5セット全てにおいて、マウントテーブルへのワーク加工用シートの融着が生じることなく、問題なく搬送できた。
〇:マウントテーブルへのワーク加工用シートの融着が生じることなく搬送できたセット数が、3または4セットであった。
×:マウントテーブルへのワーク加工用シートの融着が生じることなく搬送できたセット数が、2セット以下であった。
(1)ダイシング
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面に対して、マルチウエハマウンター(リンテック社製,製品名「Adwill RAD−2700F/12」)を用いて、シリコンウエハ(直径:8インチ,厚さ:350μm)を貼付した。その後、ワーク加工用シートにおける粘着剤層側の面の周縁部(シリコンウエハとは重ならない位置)に、ダイシング用リングフレーム(ディスコ社製,製品名「2−8−1」)を貼付した。
<ダイシング条件>
・ダイシング装置:DISCO社製,製品名「DFD−6362」
・ブレード:DISCO社製,製品名「NBC−ZH2050−27HECC」
・ブレード回転数:30000rpm
・切削速度:50mm/分
・切り込み深さ:基材における深さ20μmの位置に到達するまで
・ダイシングサイズ:3mm×3mm
続いて、得られたチップおよびリングフレームが積層された状態にて、ワーク加工用シートをオーブンにより120℃で4時間加熱した。
続いて、ワーク加工用シートをエキスパンド装置(三菱電機社製,製品名「MELSEC−G0T F930G0T」)を用いてエキスパンドした。このとき、リングフレームを3mm/sの速さで10mm引き落とすことによりエキスパンドを行った。そして、以下に基準に基づいて、ワーク加工用シートのエキスパンド性を評価した。結果を表1に示す。
○:ワーク加工用シートの破断や、リングフレームからのワーク加工用シートの剥がれが生じることなく、良好にエキスパンドできた。
×:ワーク加工用シートの破断、またはリングフレームからのワーク加工用シートの剥がれが生じ、エキスパンドを行うことができなかった。
Claims (7)
- 基材と、前記基材の片面側に積層された粘着剤層とを備えたワーク加工用シートであって、
120℃で4時間加熱した後における前記基材の23℃におけるヤング率が、2000MPa以下であり、
120℃における前記基材の貯蔵弾性率E’が、33MPa以上である
ことを特徴とするワーク加工用シート。 - 基材と、前記基材の片面側に積層された粘着剤層とを備えたワーク加工用シートであって、
120℃で4時間加熱した後における前記基材の23℃における破断伸度が、100%以上であり、
120℃における前記基材の貯蔵弾性率E’が、33MPa以上である
ことを特徴とするワーク加工用シート。 - 120℃で4時間加熱した後における前記基材の23℃におけるヤング率が、2000MPa以下であることと、
120℃で4時間加熱した後における前記基材の23℃における破断伸度が、100%以上であることと
をともに満たすことを特徴とする請求項1または2に記載のワーク加工用シート。 - 前記基材の厚さは、50μm以上、200μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
- 前記粘着剤層は、活性エネルギー線硬化性粘着剤からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
- 前記粘着剤層における前記基材とは反対の面側に、加工前または加工後のワークを積層した状態で、前記ワーク加工用シートを加熱する工程を備えるワーク加工方法に使用されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載のワーク加工用シートの、前記粘着剤層における前記基材とは反対側の面にワークを貼合する貼合工程と、
前記ワーク加工用シート上にて前記ワークをダイシングすることで、前記ワークが個片化してなる加工後のワークを得るダイシング工程と、
前記加工後のワークを、前記ワーク加工用シート上に貼合された状態で、加熱を伴う処理に供する加熱工程と、
前記加工後のワークを前記ワーク加工用シートからピックアップするピックアップ工程と
を備えることを特徴とする加工済みワークの製造方法。
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