JP2021034645A5 - - Google Patents
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Description
プリサイサ４１は、プリサイサ移動機構４１１に設けられている。プリサイサ移動機構４１１は、例えば、サーボモータによって駆動されるボールねじ機構である。載置装置４０は、プリサイサ移動機構４１１を駆動させることによって、プリサイサ４１を受け渡し位置Ｐ２を含む水平方向に移動させることができる。受け渡し位置Ｐ２において、プリサイサ４１の下方には、撮像部２６がある。プリサイサ４１の撮像部２６と対向する側、つまり、載置面とは反対側には光を透過する透過窓４１ａ（図１８）が設けられている。透過窓４１ａは、例えば透明なガラスからなる。撮像部２６は、受け渡し位置Ｐ２において、プリサイサ４１のノズル孔４１ｂ、及びボンディングヘッド３１を撮像するカメラである。また、本実施形態では、ノズル孔４１ｂの中心位置をプリサイサ４１の所定位置とする。なお、この所定位置はノズル孔４１ｂの中心に限らず、電子部品２を受け渡しできるのであれば中心からずれていてもよい。なお、本実施形態のプリサイサ移動機構４１１は、特許請求の範囲における第１の移動機構に対応している。この時、特許請求の範囲における第２の移動機構に対応するのは、ヘッド移動機構３２である。
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