JP4840862B2 - 実装装置のチップ供給方法、及びその実装装置 - Google Patents
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Description
チップをボンディングヘッドに吸着保持されたツールに供給し、前記チップを基板に実装する実装装置において、
前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークを撮像する認識手段とを備え、
前記チップのツールへの供給前に、前記ツールの認識マークを撮像するステップと、
前記ツールに吸着保持された前記チップの認識マークを撮像するステップと、
前記認識手段により撮像された前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークの位置を演算処理するステップと、
前記ツールの中心と、前記チップの中心のズレ量を計測するステップと、
前記ツールに対する前記チップの供給位置が、所定の許容値を外れた場合、チップの実装を行わない様、エラー警報を発信するステップと、
チップの実装前後で前記ツールの位置が変動したかを確認するステップと、
からなる実装装置のチップ供給方法である。
前記ツールの認識マークの撮像するステップを前記チップの実装毎に行うステップと、
前記ツールのボンディングヘッドからの位置ズレ量を計測するステップと、
前記ツールの前記位置ズレ量が、所定の許容値を超えた場合、チップの実装を行わない様、エラー警報を発信するステップとを備えるとを特徴とした実装装置のチップ供給方法である。
前記ピックアップ手段が、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量に応じてピックアップするチップの位置を補正することを特徴とした実装装置のチップ供給方法である。
前記チップ供給機構が、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量に応じてチップ供給位置を補正することを特徴とした実装装置のチップ供給方法である。
チップをボンディングヘッドに吸着保持されたツールに供給し、前記チップを基板に実装する実装装置において、
前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークを撮像する認識手段と、
前記チップの供給前に前記ツールの認識マークを撮像し、前記ツールに吸着保持された前記チップの認識マークを撮像し、前記認識手段により撮像された前記チップの認識マークと前記ツールの認識マークとの位置を演算処理し、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量を計測し、所定の許容値との比較を行う制御手段と、
前記ツールに対する前記チップの供給位置が、前記一定の許容値を外れた場合、チップ実装を行わない様、エラー警報を発信する警報手段と、
チップの実装前後で前記ツールの位置が変動したかを確認する手段と、
を備えたことを特徴とする実装装置である。
前記チップをチップトレイからチップ認識マークを認識してチップ供給ユニットにピックアップするピックアップ手段と、
前記ピックアップされたチップを前記ツールに搬送するチップ搬送手段と、
を備えたことを特徴とする実装装置である。
基板吸着ステージと基板ステージに連動するチップ供給機構と、
を備えたことを特徴とする実装装置である。
以下に、本発明の望ましい実施の形態1を、図面を参照して説明する。
次に、実施の形態2について説明する。実施の形態2は、基板保持ステージ6の形態が上記実施の形態1と異なるので、同じ構成部分は同一の符号を付すに留め異なる部分について具体的に説明する。
次に、実施の形態3について説明する。実施の形態3は、チップ10の厚みが実施の形態2に比べて薄く、チップトレイ20の側壁に押し当てることができないチップ10を用いた場合を説明する。実施の形態2と、同じ構成部分は同一の符号を付すに留め異なる部分について具体的に説明する。
次に実施の形態4について説明する。実施の形態4は、ツール4の位置ズレを検出して警報手段19により警報を発信する実装方法である。
2 ボンディングヘッド
3 加熱手段
4 ツール
4a ツール加圧面
5 吸引孔
6 基板保持ステージ
7 2視野の認識手段
7a 2視野の認識手段11の上光軸
7b 2視野の認識手段11の下光軸
8 CCDカメラ
9 チップ搬送手段
10 チップ
10a チップ10の実装面
10b チップ10の裏面
11 ツール認識マーク
12 バンプ
13 チップ認識マーク
14 基板
14a 基板14の実装面
14b 基板14の実装面下面
15 パッド
16 基板認識マーク
17 接着剤
18 制御手段
19 警報手段
20 チップトレイ
21 ピックアップ手段
22 反転手段
23 認識手段
24 チップ供給機構
25 吸着溝
26 ツール角部
27 凹部
28 側壁
29 チップ角部
Claims (7)
- チップをボンディングヘッドに吸着保持されたツールに供給し、前記チップを基板に実装する実装装置において、
前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークを撮像する認識手段とを備え、
前記チップのツールへの供給前に、前記ツールの認識マークを撮像するステップと、
前記ツールに吸着保持された前記チップの認識マークを撮像するステップと、
前記認識手段により撮像された前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークの位置を演算処理するステップと、
前記ツールの中心と、前記チップの中心のズレ量を計測するステップと、
前記ツールに対する前記チップの供給位置が、所定の許容値を外れた場合、チップの実装を行わない様、エラー警報を発信するステップと、
チップの実装前後で前記ツールの位置が変動したかを確認するステップと、
からなる実装装置のチップ供給方法。 - 請求項1に記載の実装装置のチップ供給方法において、
前記ツールの認識マークの撮像するステップを前記チップの実装毎に行うステップと、
前記ツールのボンディングヘッドからの位置ズレ量を計測するステップと、
前記ツールの前記位置ズレ量が、所定の許容値を超えた場合、チップの実装を行わない様、エラー警報を発信するステップとを備えるとを特徴とした実装装置のチップ供給方法。 - 請求項1または請求項2に記載した実装装置のチップ供給方法において、チップを基板に実装する実装装置が、前記チップをチップトレイからチップ認識マークを認識してチップ供給ユニットにピックアップするピックアップ手段と、前記ピックアップされたチップを前記ツールに搬送するチップ搬送手段とを備え、
前記ピックアップ手段が、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量に応じてピックアップするチップの位置を補正することを特徴とした実装装置のチップ供給方法。 - 請求項1または請求項2に記載した実装装置のチップ供給方法において、チップを基板に実装する部品実装装置が、基板吸着ステージと基板ステージに連動するチップ供給機構を備え、
前記チップ供給機構が、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量に応じてチップ供給位置を補正することを特徴とした実装装置のチップ供給方法。 - チップをボンディングヘッドに吸着保持されたツールに供給し、前記チップを基板に実装する実装装置において、
前記チップの認識マークと、前記ツールの認識マークを撮像する認識手段と、
前記チップの供給前に前記ツールの認識マークを撮像し、前記ツールに吸着保持された前記チップの認識マークを撮像し、前記認識手段により撮像された前記チップの認識マークと前記ツールの認識マークとの位置を演算処理し、前記ツールの中心と前記チップの中心のズレ量を計測し、所定の許容値との比較を行う制御手段と、
前記ツールに対する前記チップの供給位置が、前記一定の許容値を外れた場合、チップ実装を行わない様、エラー警報を発信する警報手段と、
チップの実装前後で前記ツールの位置が変動したかを確認する手段と、
を備えたことを特徴とする実装装置。 - 請求項5に記載の実装装置において、
前記チップをチップトレイからチップ認識マークを認識してチップ供給ユニットにピックアップするピックアップ手段と、
前記ピックアップされたチップを前記ツールに搬送するチップ搬送手段と、
を備えたことを特徴とする実装装置。 - 請求項5に記載の実装装置において、
基板吸着ステージと基板ステージに連動するチップ供給機構と、
を備えたことを特徴とする実装装置。
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