JP2021032841A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 互いに直交する３つの軸をＡ軸、Ｂ軸およびＣ軸としたとき、
   基部を含み、物理量を検出する振動素子と、
   前記振動素子を支持している支持基板と、
   を含み、
   前記支持基板は、
   前記Ｃ軸に沿ったＣ軸方向からの平面視で、
   枠部と、
   前記枠部の外側に配置されている基体固定部と、
   前記枠部の内側に配置され、前記振動素子が搭載されている素子搭載部と、
   前記素子搭載部から前記Ａ軸のプラス側及びマイナス側にそれぞれ延出し、前記素子搭載部と前記枠部とを接続している一対の第１梁部と、
   前記枠部から前記Ｂ軸のプラス側及びマイナス側にそれぞれ延出し、前記枠部と前記基体固定部とを接続している一対の第２梁部と、
   を含み、
   前記第１梁部の前記Ａ軸に沿ったＡ軸方向の長さをＬ１、
   前記第１梁部の前記Ｂ軸に沿ったＢ軸方向の幅をＷ１としたとき、
   Ｗ１^２／Ｌ１＜３０
   を満たしていることを特徴とする振動デバイス。
2. 請求項１において、
   Ｗ１^２／Ｌ１＜１２．５
   を満たしていることを特徴とする振動デバイス。
3. 請求項１または２において、
   前記平面視で、前記基体固定部は枠状であることを特徴とする振動デバイス。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、
   前記支持基板は、
   前記平面視で、
   前記枠部から前記Ａ軸のプラス側及びマイナス側にそれぞれ延出し、前記枠部と前記基体固定部とを接続している一対の第３梁部を含むことを特徴とする振動デバイス。
5. 請求項４において、
   前記平面視で、
   前記一対の第３梁部と前記一対の第１梁部とは、一直線上に配置されていることを特徴とする振動デバイス。
6. 請求項４または５において、
   前記第３梁部の前記Ｂ軸方向の幅をＷ２としたとき、
   Ｗ２≦Ｗ１
   を満たしていることを特徴とする振動デバイス。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項において、
   前記平面視で、
   前記素子搭載部と前記基部とが同じ形状であることを特徴とする振動デバイス。
8. 請求項１乃至７のいずれか一項において、
   基体を含み、
   前記基体固定部は、前記基体に固定されていることを特徴とする振動デバイス。
9. 請求項１乃至８のいずれか一項において、
   前記振動素子は、
   前記Ｂ軸方向に延出し、前記Ａ軸方向に屈曲振動する一対の検出腕を含むことを特徴とする振動デバイス。
10. 請求項９において、
    前記振動素子は、
    前記基部から前記Ａ軸のプラス側及びマイナス側にそれぞれ延出している一対の連結腕と、
    前記一対の連結腕の一方から前記Ｂ軸方向に延出している駆動腕と、
    前記一対の連結腕の他方から前記Ｂ軸方向に延出している駆動腕と、
    を含むことを特徴とする振動デバイス。
11. 請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の振動デバイスと、
    前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、
    を含むことを特徴とする電子機器。
12. 請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の振動デバイスと、
    前記振動デバイスの出力信号に基づいて信号処理を行う信号処理回路と、
    を含むことを特徴とする移動体。