JP2020528355A - 低圧圧延による金属基板の表面テクスチャリングを制御するシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2017年7月21日に出願された、「SYSTEMS AND METHODS FOR CONTROLLING SURFACE TEXTURING OF A METAL SUBSTRATE WITH LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/535,345号、2017年7月21日に出願された、「MICRO−TEXTURED SURFACES VIA LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/535,341号、2017年7月21日に出願された、「SYSTEMS AND METHODS FOR CONTROLLING FLATNESS OF A METAL SUBSTRATE WITH LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/535,349号、2017年8月29日に出願された、「SYSTEMS AND METHODS FOR CONTROLLING SURFACE TEXTURING OF A METAL SUBSTRATE WITH LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/551,296号、2017年8月29日に提出された、「MICRO−TEXTURED SURFACES VIA LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/551,292号、および、2017年8月29日に提出された、「SYSTEMS AND METHODS FOR CONTROLLING FLATNESS OF A METAL SUBSTRATE WITH LOW PRESSURE ROLLING」と題された米国仮出願第62/551,298号の利益を主張し、これらの全ては参照によりその全体が本出願に組み込まれる。
Claims (20)
- 基板にテクスチャを与える方法であって、
コイルツーコイルプロセスの作業台で基板にテクスチャを与えることであって、前記作業台が、上部作業ロールと、前記上部作業ロールと垂直方向に整列した下部作業ロールと、を備え、前記上部作業ロールと前記下部作業ロールのうちの少なくとも1つが、前記テクスチャを含み、前記テクスチャを与えることが、
前記上部作業ロールによって前記基板の上面に第1の作業ロール圧力を加えることと、
前記下部作業ロールによって前記基板の下面に第2の作業ロール圧力を加えることと、を含む、ことと、
センサを用いて、前記基板の幅にわたる前記第1の作業ロール圧力と前記第2の作業ロール圧力のうちの少なくとも1つの接触圧力分布を測定することと、
前記センサから処理デバイスでデータを受信することと、
前記作業台が前記基板の幅にわたる所望の接触圧力分布を提供し、前記テクスチャが与えられた後に前記基板の厚さが実質的に一定のままであるように、前記作業台の接触圧力パラメータを調整することと、を含む方法。 - 前記接触圧力パラメータを調整することが、前記基板上の前記テクスチャの少なくとも1つの特性を調整し、前記少なくとも1つの特性が、前記テクスチャの高さ、前記テクスチャの深さ、前記テクスチャの形状、前記テクスチャのサイズ、前記テクスチャの分布、前記テクスチャの粗さ、または前記テクスチャの濃度、のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記接触圧力パラメータを調整することが、25%未満の前記基板の前記幅にわたる接触圧力変動を有する前記所望の接触圧力分布を提供することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記接触圧力パラメータを調整することが、円筒度の変動が10μm未満になるように前記作業ロールの円筒度を調整することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記作業台が、前記上部作業ロールを支持する上部中間ロールをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記作業ロールが、作業ロール直径を有し、前記中間ロールが、中間ロール直径を有し、前記接触圧力パラメータを調整することが、前記作業ロール直径および前記中間ロール直径のうちの少なくとも1つを調整することを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記作業台が、前記上部中間ロールに沿った一組の上部ベアリングであって、前記上部中間ロールにより前記上部作業ロールが前記基板に前記第1の作業ロール圧力を加えるように、各上部ベアリングが、前記上部中間ロールにベアリング荷重を加える、一組の上部ベアリングをさらに備える、請求項5に記載の方法。
- 前記接触圧力パラメータを調整することが、隣接する上部ベアリング間の間隔を調整すること、前記一組の上部ベアリングのうちの少なくとも1つの上部ベアリングのベアリング寸法を調整すること、前記上部ベアリングのそれぞれのクラウン高さならびに面取り高さを低減させること、前記上部ベアリングの全てによって前記上部中間ロールに加えられる前記ベアリング荷重を増加させること、または前記上部ベアリングによって前記上部中間ロールに加えられる前記ベアリング荷重を調整して、前記ベアリング荷重の分布を調整すること、のうちの少なくとも1つを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記上部ベアリングのそれぞれが、前記上部中間ロールに対して個別に調整可能であり、前記接触圧力パラメータを調整することが、前記上部ベアリングのうちの少なくとも1つによって前記上部中間ロールに加えられる前記ベアリング荷重を増加させることを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記一組の上部ベアリングが、内側端部および外側端部を有する最外上部ベアリングを備え、前記接触圧力パラメータを調整することが、前記最外上部ベアリングを前記基板のエッジに対して調整することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記基板の幅にわたる厚さの変動が、前記テクスチャが与えられた後、2%未満である、請求項1に記載の方法。
- 前記作業台が、第1の作業台であり、前記上部作業ロールが、第1の上部作業ロールであり、前記テクスチャが、第1のテクスチャであり、前記下部作業ロールが、第1の下部作業ロールであり、前記方法が、
コイルツーコイルプロセスの第2の作業台で基板に第2のテクスチャを与えることであって、前記第2の作業台が、第2の上部作業ロールと、前記第2の上部作業ロールと垂直方向に整列した第2の下部作業ロールと、を備え、前記第2の上部作業ロールと前記第2の下部作業ロールのうちの少なくとも1つが、前記第2のテクスチャを含み、前記第2のテクスチャを与えることが、
前記第2の上部作業ロールにより、前記基板の前記上面に第3の作業ロール圧力を加えることと、
前記第2の下部作業ロールにより、前記基板の下面に第4の作業ロール圧力を加えることと、を含み、
前記第2のテクスチャが与えられた後に前記基板の厚さが実質的に一定のままである、第2のテクスチャを与えること、をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記基板の厚さが、テクスチャが与えられた後に、1%以下だけ減少する、請求項1に記載の方法。
- コイルツーコイルプロセスシステムであって、
基板の上面に第1の作業ロール圧力を加えるように構成された上部作業ロールと、
前記上部作業ロールと垂直方向に整列しかつ前記基板の下面に第2の作業ロール圧力を加えるように構成された下部作業ロールと、を備える作業台であって、
前記上部作業ロールと前記下部作業ロールのうちの少なくとも1つがテクスチャを含んで、前記上部作業ロールと前記下部作業ロールのうちの少なくとも1つが、前記第1の作業ロール圧力を加えることにより、または前記第2の作業ロール圧力を加えることにより、前記基板に前記テクスチャを与えるように構成されている、作業台と、
前記基板の幅にわたる前記第1の作業ロール圧力および前記第2の作業ロール圧力のうちの少なくとも1つの接触圧力分布を測定するように構成されたセンサと、
前記センサからデータを受信するように構成された処理デバイスと、
前記測定された接触圧力分布に基づいて、前記基板の前記幅にわたる所望の接触圧力分布を達成するように調整可能である接触圧力パラメータであって、前記テクスチャが与えられた後の前記基板の厚さが実質的に一定のままである、接触圧力パラメータと、を備えるコイルツーコイルプロセスシステム。 - 前記作業台が、
前記上部作業ロールを支持する上部中間ロールと、
前記上部中間ロールに沿った一組の上部ベアリングであって、前記上部中間ロールにより前記上部作業ロールが前記基板に前記第1の作業ロール圧力を加えるように、各上部ベアリングが、前記上部中間ロールにベアリング荷重を加えるように構成された、一組の上部ベアリングと、をさらに備える、請求項14に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。 - 前記接触圧力パラメータが、隣接する上部ベアリング間の間隔、前記一組の上部ベアリングのうちの少なくとも1つの上部ベアリングのベアリング寸法、ベアリング直径およびベアリング幅、または前記上部ベアリングもしくは前記下部ベアリングのそれぞれの、約50μm未満に低減されるクラウン高さまたは面取り高さ、のうちの少なくとも1つを含む、請求項15に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。
- 前記上部ベアリングのそれぞれが、前記上部中間ロールに対して個別に調整可能であり、前記接触圧力パラメータが、前記上部ベアリングのうちの少なくとも1つによって前記上部中間ロールに加えられる前記ベアリング荷重を含む、請求項15に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。
- 前記一組の上部ベアリングが、内側端部および外側端部を有する最外上部ベアリングを備え、前記接触圧力パラメータが、前記基板のエッジに対する前記最外上部ベアリングの位置を含む、請求項15に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。
- 前記上部作業ロールが、垂直方向に調整可能であり、前記下部作業ロールが前記上部作業ロールのみが作動可能であるように垂直方向に固定される、請求項14に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。
- 前記基板の前記幅にわたる厚さの変動が、前記テクスチャが与えられた後、2%未満であり、前記第1の作業ロール圧力および前記第2の作業ロール圧力が、前記基板の降伏強度未満である、請求項14に記載のコイルツーコイルプロセスシステム。
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