JP2020191637A5 - 薄膜バルク弾性共振器、電子機器モジュール、電子デバイス及び無線周波数フィルタ - Google Patents

Claims (24)

1. 薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）であって、
   起伏のある周縁を含む陥凹フレーム領域を含み、
   前記周縁の起伏は周期的である、ＦＢＡＲ。
2. 前記起伏のある周縁は前記陥凹フレーム領域の内側周縁である、請求項１のＦＢＡＲ。
3. 前記陥凹フレーム領域の外側周縁は起伏がない、請求項２のＦＢＡＲ。
4. 起伏のある周縁を含む隆起フレーム領域をさらに含む、請求項１のＦＢＡＲ。
5. 前記隆起フレーム領域は、起伏のある内側周縁を含む、請求項４のＦＢＡＲ。
6. 前記起伏のある周縁は前記陥凹フレーム領域の外側周縁である、請求項１のＦＢＡＲ。
7. 前記陥凹フレーム領域の内側周縁は起伏がない、請求項６のＦＢＡＲ。
8. 起伏のある周縁を含む隆起フレーム領域をさらに含む、請求項６のＦＢＡＲ。
9. 前記陥凹フレーム領域は、起伏のある内側周縁及び起伏のある外側周縁の双方を含む、請求項１のＦＢＡＲ。
10. 前記内側周縁の起伏は、前記外側周縁の起伏と同相である、請求項９のＦＢＡＲ。
11. 前記内側周縁の起伏は、前記外側周縁の起伏と位相がずれる、請求項９のＦＢＡＲ。
12. 起伏のある周縁を含む隆起フレーム領域をさらに含む、請求項１のＦＢＡＲ。
13. 前記隆起フレーム領域は、起伏のある内側周縁を含む、請求項１２のＦＢＡＲ。
14. 前記陥凹フレーム領域はアポダイズ状態である、請求項１のＦＢＡＲ。
15. 前記陥凹フレーム領域は非アポダイズ状態である、請求項１のＦＢＡＲ。
16. 薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）であって、
    アポダイズ状態の陥凹フレーム領域を含み、
    前記陥凹フレーム領域は起伏のある周縁を含む、ＦＢＡＲ。
17. 前記周縁の起伏は周期的である、請求項１６のＦＢＡＲ。
18. 前記周縁の起伏は非周期的である、請求項１６のＦＢＡＲ。
19. 電子機器モジュールであって、
    アポダイズ状態の陥凹フレーム領域を有する薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）を含む無線周波数フィルタを含み、
    前記陥凹フレーム領域は、起伏のある周縁を含む、電子機器モジュール。
20. 電子デバイスであって、
    薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）を有する無線周波数フィルタを含む電子機器モジュールを含み、
    前記ＦＢＡＲは、起伏のある外側周縁を含む陥凹フレーム領域と、起伏のある周縁を含む隆起フレーム領域とを有する、電子デバイス。
21. 薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）であって、
    起伏のある内側周縁を含む陥凹フレーム領域を含み、
    前記陥凹フレーム領域の外側周縁は起伏がない、ＦＢＡＲ。
22. 薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）であって、
    起伏のある外側周縁を含む陥凹フレーム領域を含み、
    前記陥凹フレーム領域の内側周縁は起伏がない、ＦＢＡＲ。
23. 薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）であって、
    起伏のある外側周縁を含む陥凹フレーム領域と、
    起伏のある周縁を含む隆起フレーム領域と
    を含む、ＦＢＡＲ。
24. 無線周波数フィルタであって、
    陥凹フレーム領域を有する薄膜バルク弾性波共振器（ＦＢＡＲ）を含み、
    前記陥凹フレーム領域は、起伏のある周縁を含む、無線周波数フィルタ。