KR20160068298A - 벌크 탄성파 필터 - Google Patents

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신제식
이문철
김철수
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삼성전기주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예는 벌크 탄성파 필터에 관한 것으로서, 신호 송수신을 위한 신호 포트와 안테나 포트에 접속된 노드와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함하는 제1공진기부; 및 신호 포트와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제2공진기부; 를 포함하고, 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF(quality Factor)값은 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값보다 작음으로써, 출력에 발생하는 리플을 줄이고 대역폭을 넓힐 수 있다.

Description

벌크 탄성파 필터{Bulk acoustic wave filter}
본 발명은 벌크 탄성파 필터에 관한 것이다.
최근 한정된 주파수 대역의 효율적인 사용을 위해, 사용 주파수 대역간의 주파수 간격(band gap)은 줄어들고 있다. 주파수 간격이 줄어듦에 따른 주파수 대역간 간섭을 줄이기 위하여, QF(Quality Factor)가 증가된 벌크 탄성파 필터가 많이 이용되고 있다.
또한 데이터 전송 량과 데이터 전송 속도를 증가시키기 위해, 벌크 탄성파 필터의 대역폭은 넓을 필요가 있다. 넓은 대역폭을 위해, 벌크 탄성파 필터의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값은 증가될 필요가 있다.
일반적으로 벌크 탄성파 필터의 QF와 kt2값은 서로 상충관계가 있을 수 있다. 예를 들어, 벌크 탄성파 필터의 QF가 증가될 경우, 벌크 탄성파 필터의 kt2값은 감소될 수 있다. 또한 벌크 탄성파 필터의 kt2값이 낮을수록, 벌크 탄성파 필터의 출력에 리플(ripple)이 발생될 수 있다. 따라서, 벌크 탄성파 필터의 출력에 발생하는 리플을 줄이고 대역폭을 넓힐 수 있는 기술이 요구된다.
하기의 특허문헌 1은 박막형 압전체 필터에 관한 것으로서, 벌크 탄성파 공진기에 관한 내용을 개시하지 못하고 있다.
미국 공개특허공보 2010-0013573호
본 발명의 일 실시예는 벌크 탄성파 필터를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터는, 신호 송수신을 위한 신호 포트와 안테나 포트에 접속된 노드와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함하는 제1공진기부; 및 상기 신호 포트와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제2공진기부; 를 포함하고, 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF(quality Factor)값은 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값보다 작을 수 있다.
여기서, 상기 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비가 좁아짐으로써, 상기 벌크 탄성파 공진기의 QF값은 줄어들거나 kt2값이 증가될 수 있다.
또한, 상기 벌크 탄성파 필터는, 제2공진기부와 신호 송수신을 위한 신호 포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제3공진기부; 및 제3공진기부와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제4공진기부; 를 더 포함할 수 있다.
여기서, 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나의 kt2값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값 및 상기 제4공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값보다 클 수 있다.
여기서, 상기 벌크 탄성파 필터는 격자형 필터(lattice type filter)일 수 있다.
본 발명의 일 실시예는, 벌크 탄성파 필터의 출력에 발생하는 리플을 줄이고 대역폭을 넓힐 수 있다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터를 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기를 나타낸 도면이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 스미스 차트로 나타낸 도면이다.
도 8 및 도 9은 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸 그래프이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 탄성파 필터의 주파수 특성을 나타낸 그래프이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 실시 예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 벌크 탄성파 필터를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터(100)는, 제1공진기부(110) 및 제2공진기부(120)를 포함할 수 있다.
벌크 탄성파 필터(100)는, 입력되는 신호의 이득을 주파수에 따라 다르게 감소시켜 출력시킬 수 있다. 즉, 상기 벌크 탄성파 필터(100)는 주파수에 따라 가변되는 임피던스를 가지는 복수의 벌크 탄성파 공진기(200)를 이용할 수 있다.
예를 들어, 시리즈(series)로 연결된 공진기의 임피던스가 션트(shunt)로 연결된 공진기의 임피던스보다 작으면, 상기 벌크 탄성파 필터(100)는 입력되는 신호의 이득을 적게 감소시켜 출력시킬 수 있다. 예를 들어, 시리즈(series)로 연결된 공진기의 임피던스가 션트(shunt)로 연결된 공진기의 임피던스보다 크면, 상기 벌크 탄성파 필터(100)는 입력되는 신호의 이득을 크게 감소시켜 출력시킬 수 있다.
여기서, 복수의 벌크 탄성파 공진기(200)는 특정 주파수에서 주파수의 변화에 따른 임피던스의 가변양이 급격한 특징을 가질 수 있다. 상기 벌크 탄성파 필터(100)는 공진기에서 임피던스의 가변양이 급격히 변하는 특징을 이용하여 신호를 날카롭게 필터링할 수 있다. 예를 들어, 벌크 탄성파 필터(100)는 날카로운 필터링이 활용될 수 있는 RF 장치에 포함될 수 있다.
제1공진기부(110)는, 신호 송수신을 위한 신호 포트와 안테나 포트에 접속된 노드와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1공진기부(110)는 시리즈(series)로 연결된 공진기를 포함할 수 있다.
제2공진기부(120)는, 상기 신호 포트와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제2공진기부(120)는 션트(shunt)로 연결된 공진기를 포함할 수 있다. 벌크 탄성파 필터(100)가 밴드 패스 필터(BPF)로 동작하기 위하여, 상기 제2공진기부(120)에 포함된 공진기의 공진주파수는 제1공진기부(120)에 포함된 공진기의 공진주파수보다 낮을 수 있다.
여기서, 제1공진기부(110)에 포함된 공진기의 QF(quality Factor)값은 제2공진기부(120)에 포함된 공진기의 QF값보다 작을 수 있다. 예를 들어, 벌크 탄성파 공진기의 QF값이 높을수록, 벌크 탄성파 공진기의 공진주파수보다 약간 낮은 주파수의 신호에 대한 응답특성은 불안정할 수 있다. 제1공진기부(110)에 포함된 공진기의 QF값이 높을 경우, 벌크 탄성파 필터(100)의 통과 대역에는 리플(ripple)이 발생될 수 있다. 따라서 제1공진기부(110)에 포함된 공진기의 QF값이 제2공진기부(120)에 포함된 공진기의 QF값보다 작을 경우, 벌크 탄성파 필터(100)의 QF의 감소 없이 통과 대역에서 발생되는 리플(ripple)을 줄일 수 있다. 이에 대한 구체적인 내용은 도 10 및 도 11을 참조하여 후술된다.
마찬가지로, 제1공진기부(110)에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값은 제2공진기부(120)에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값보다 클 수 있다. 이에 따라, 벌크 탄성파 필터(100)의 QF의 감소 없이 통과 대역에서 발생되는 리플(ripple)을 줄일 수 있다.
한편, 벌크 탄성파 필터(100)의 QF값을 감소시키거나 kt2값을 증가시키는 방법은 벌크 탄성파 공진기(200)에 대한 도면인 도 5를 참조하여 후술된다.
도 2를 참조하면, 제1공진기부(110) 및 제2공진기부(120) 중 적어도 하나는 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제1공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기는 서로 직렬로 연결될 수 있다. 여기서, 상기 제2공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기는 서로 병렬로 연결될 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터(100)는, 제3공진기부(130) 및 제4공진기부(140)를 포함할 수 있다.
제3공진기부(130)는, 제2공진기부(120)와 신호 송수신을 위한 신호 포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제3공진기부(130)는 시리즈(series)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 2의 제1공진기부(110)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
제4공진기부(140)는, 제3공진기부(130)와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제4공진기부(140)는 션트(shunt)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 2의 제2공진기부(120)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
여기서, 제1공진기부(110)에 포함된 공진기 및 제3공진기부(130)에 포함된 공진기 중 적어도 하나의 QF(quality Factor)값은 제2공진기부(120)에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값 및 제4공진기부(140)에 포함된 QF값보다 작을 수 있다. 즉, 모든 시리즈로 연결된 공진기의 QF값이 모든 션트로 연결된 공진기의 QF값보다 작아야 하는 것은 아니다. 이에 따라, 벌크 탄성파 필터(100)의 QF의 감소 없이 통과 대역에서 발생되는 리플(ripple)을 더욱 크게 줄일 수 있다.
마찬가지로, 제1공진기부(110)에 포함된 공진기 및 제3공진기부(130)에 포함된 공진기 중 적어도 하나의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값은 제2공진기부(120)에 포함된 공진기의 kt2값 및 제4공진기부(140)에 포함된 공진기의 kt2값보다 클 수 있다. 즉, 모든 시리즈로 연결된 공진기의 kt2값이 모든 션트로 연결된 공진기의 kt2값보다 커야 하는 것은 아니다. 이에 따라, 벌크 탄성파 필터(100)의 QF의 감소 없이 통과 대역에서 발생되는 리플(ripple)을 더욱 크게 줄일 수 있다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터(100)는 격자형 필터(lattice type filter)일 수 있다. 예를 들어, 션트(shunt)로 연결된 공진기들은 서로 교차할 수 있다.
제1공진기부(110)는 제1포트(PORT1)와 제2포트(PORT2)와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1공진기부(110)는 시리즈(series)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 2의 제1공진기부(110)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
제2공진기부(120)는 상기 제2포트(PORT2)와 제3포트(PORT3)와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2공진기부(120)는 션트(shunt)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 2의 제2공진기부(120)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
제3공진기부(130)는 상기 제3포트(PORT3)와 제4포트(PORT4)와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3공진기부(130)는 시리즈(series)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 3의 제3공진기부(130)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
제4공진기부(130)는 상기 제4포트(PORT4)와 상기 제1포트(PORT1)와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제4공진기부(140)는 션트(shunt)로 연결된 공진기를 포함할 수 있고, 도 3의 제4공진기부(140)와 유사한 기능을 수행할 수 있다.
도 5는 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기를 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면, 벌크 탄성파 공진기(200)는, 압전층(210), 전극(220) 및 프레임(230)을 포함할 수 있다.
벌크 탄성파 공진기(Bulk acoustic wave resonator)는, 압전층(210)의 상하에 위치한 복수의 전극(220)을 통해 동작할 수 있다. 상기 벌크 탄성파 공진기(200)는 복수의 전극(220)에 고주파 전위가 인가될 때 압전층(210)이 진동하면서 필터로서 동작할 수 있다. 예를 들어, 상기 벌크 탄성파 공진기(100)는 탄성파(Acoustic Wave)의 반사 특성을 향상시키기 위해 공기 공동(Air Cavity)통해 기판으로부터 공중 부양될 수 있다.
압전층(210)은, 내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함할 수 있다. 여기서, 압전성 물질은 역학적인 에너지를 전기적인 에너지로 변환시킬 수 있는 물질을 의미한다.
복수의 전극(220)은, 상기 압전층(210)의 양면에 배치될 수 있다.
프레임(230)은, 상기 압전층(210)의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극(220) 중 적어도 하나를 포위할 수 있다. 여기서, 상기 프레임(230)은 벌크 탄성파 공진기(200)에서 발생된 횡탄성파(lateral acoustic wave)를 내부로 반사시킴으로써, 공진기 내부의 탄성에너지(acoustic energy)를 잘 가둘(confine) 수 있다. 이에 따라, 벌크 탄성파 공진기(200)의 QF(Quality Factor)는 증가될 수 있다.
또한, 상기 프레임(230)은 너비(width)가 증가될수록 공진기 내부의 탄성에너지를 효과적으로 가둘 수 있다. 이에 따라, 벌크 탄성파 공진기(200)의 QF는 효과적으로 증가될 수 있다.
그러나, 상기 프레임(230)과 전극(220)의 사이에는 기생 캐패시턴스(parasitic capacitance)가 존재할 수 있다. 상기 기생 캐패시턴스는 벌크 탄성파 공진기(200)의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값을 감소시킬 수 있다. 또한, 상기 프레임(230)은 너비(width)가 증가될수록 발생되는 기생 캐패시턴스는 증가될 수 있다. 상기 벌크 탄성파 공진기(200)의 kt2값이 감소될 경우, 벌크 탄성파 필터(100)의 출력에 리플(ripple)이 발생될 수 있다.
따라서, 제1공진기부(110)에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기(200) 중 적어도 하나에 포함된 프레임(230)의 너비는 제2공진기부(120)에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기(200) 중 적어도 하나에 포함된 프레임(230)의 너비보다 좁을 수 있다. 이에 따라, 제1공진기부(110)에 포함된 공진기의 QF(quality Factor)값은 제2공진기부(120)에 포함된 공진기의 QF값보다 작을 수 있다.
도 6 및 도 7은 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 스미스 차트로 나타낸 도면이다.
도 6의 (a)그래프는 프레임(230)의 너비가 넓은 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 7의 (a)그래프는 프레임(230)의 너비가 좁은 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 6 및 도 7의 (b)그래프는 (a)그래프를 확대하여 나타낸다.
벌크 탄성파 공진기의 QF값이 높을수록, 스미스 차트상에서의 큰 원(주 공진)의 크기는 커질 수 있다. 또한 벌크 탄성파 공진기의 kt2값이 높을수록, 스퓨리어스 고조파 잡음(spurious harmonic noise)이 줄어들면서 스미스 차트상에서의 작은 원들(잔 공진)이 줄어들 수 있다.
도 7을 참조하면, 스미스 차트상에서의 큰 원의 크기가 줄어들어 QF값은 낮고, 스미스 차트상에서의 작은 원들의 크기가 줄어들어 kt2값이 높다는 것이 확인될 수 있다.
도 8 및 도 9은 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸 그래프이다.
도 8의 (a)그래프는 프레임(230)의 너비가 넓은 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 9의 (a)그래프는 프레임(230)의 너비가 좁은 벌크 탄성파 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 8 및 도 9의 (b)그래프는 (a)그래프를 확대하여 나타낸다.
벌크 탄성파 공진기의 QF값이 높을수록, 공진주파수에서의 이득의 변화율(rejection ratio)은 커질 수 있다. 또한 벌크 탄성파 공진기의 kt2값이 높을수록, 스퓨리어스 고조파 잡음(spurious harmonic noise)이 줄어들면서 리플이 줄어들 수 있다.
도 9를 참조하면, 공진주파수에서의 이득의 변화율이 줄어들어 QF값은 낮고, 리플이 줄어들어 kt2값이 높다는 것이 확인될 수 있다.
도 10 및 도 11은 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터의 주파수 특성을 나타낸 그래프이다.
도 10의 (a)그래프는 션트(shunt) 공진기 및 프레임(230)의 너비가 넓은 시리즈(series) 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 11의 (a)그래프는 션트(shunt) 공진기 및 프레임(230)의 너비가 좁은 시리즈(series) 공진기의 주파수 특성을 나타낸다. 도 10 및 도 11의 (b)그래프는 션트(shunt) 공진기와 시리즈(series) 공진기가 모두 포함된 벌크 탄성파 필터(100)의 주파수 특성을 나타낸다.
공진기에 포함된 프레임(230)의 너비가 넓을 경우, 공진주파수보다 약간 낮은 주파수에 대한 출력에 리플이 발생될 수 있다. 벌크 탄성파 필터(100)가 밴드 패스 필터(BPF)로 구현될 경우, 시리즈(series) 공진기의 공진주파수는 션트(shunt) 공진기의 공진주파수보다 약간 높게 설정될 수 있다. 이에 따라, 벌크 탄성파 필터(100)의 패스 밴드에서 리플이 발생될 수 있다. 따라서 시리즈(series) 공진기에 포함된 프레임(230)의 너비를 좁힘으로써, 벌크 탄성파 필터(100)의 패스 밴드에서 발생되는 리플을 줄일 수 있다.
일반적으로, 벌크 탄성파 필터의 QF증가와 리플 감소는 서로 상충관계일 수 있다. 그러나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 벌크 탄성파 필터(100)는 패스 밴드에서 발생되는 리플을 효과적으로 줄일 수 있어 QF의 희생 없이 리플을 줄일 수 있다. 예를 들어, 프레임의 너비가 좁은 시리즈(series) 공진기와 프레임의 너비가 넓은 션트(shunt) 공진기를 포함하는 벌크 탄성파 필터(100)는 QF의 희생 없이 리플을 줄일 수 있다. 이에 따라, 벌크 탄성파 필터(100)는 대역폭을 넓힐 수 있다.
이상에서는 본 발명을 실시 예로써 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.
100: 벌크 탄성파 필터 110: 제1공진기부
120: 제2공진기부 130: 제3공진기부
140: 제4공진기부 200: 벌크 탄성파 공진기
210: 압전층 220: 전극
230: 프레임 ANT: 안테나 포트
TxRx: 신호 포트 PORT1: 제1포트

Claims (14)

  1. 신호 송수신을 위한 신호 포트와 안테나 포트에 접속된 노드와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함하는 제1공진기부; 및
    상기 신호 포트와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제2공진기부; 를 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF(quality Factor)값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값보다 작은 벌크 탄성파 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1공진기부 및 제2공진기부 중 적어도 하나는 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기는 서로 직렬로 연결되고,
    상기 제2공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기는 서로 병렬로 연결되는 벌크 탄성파 필터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수의 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비는 상기 제2공진기부에 포함된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비는 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값보다 큰 벌크 탄성파 필터.
  6. 안테나 포트에 접속된 노드와 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함하는 제1공진기부;
    상기 제1공진기부와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제2공진기부;
    상기 제2공진기부와 신호 송수신을 위한 신호 포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제3공진기부; 및
    상기 제3공진기부와 접지와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제4공진기부; 를 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 상기 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나의 kt2(electro-mechanical coupling coefficient)값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값 및 상기 제4공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 kt2값보다 큰 벌크 탄성파 필터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1공진기부 및 제3공진기부 중 적어도 하나는 직렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함하고,
    상기 제2공진기부 및 제4공진기부 중 적어도 하나는 병렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 벌크 탄성파 필터.
  8. 제7항에 있어서, 상기 복수의 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 직렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비는 상기 병렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
  9. 제6항에 있어서, 상기 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 상기 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비는 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비 및 상기 제4공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비 보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 상기 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나의 QF(Quality Factor)값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값 및 상기 제4공진기부에 포함된 QF값보다 작은 벌크 탄성파 필터.
  11. 제1포트와 제2포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기(bulk acoustic resonator)를 포함하는 제1공진기부;
    상기 제2포트와 제3포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제2공진기부;
    상기 제3포트와 제4포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제3공진기부; 및
    상기 제4포트와 상기 제1포트와의 사이에 연결된 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 제4공진기부; 를 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 상기 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나의 QF(Quality Factor)값은 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값 및 상기 제4공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기의 QF값보다 큰 벌크 탄성파 필터.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제1공진기부 및 제3공진기부 중 적어도 하나는 직렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함하고,
    상기 제2공진기부 및 제4공진기부 중 적어도 하나는 병렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기를 포함하는 벌크 탄성파 필터.
  13. 제12항에 있어서, 상기 복수의 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 직렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비는 상기 병렬로 연결된 복수의 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
  14. 제11항에 있어서, 상기 벌크 탄성파 공진기는,
    내부에 압전성 물질(piezoelectric)을 포함하는 압전층;
    상기 압전층의 양면에 배치되는 복수의 전극; 및
    상기 압전층의 일면에 배치되고 상기 복수의 전극 중 적어도 하나를 포위하는 프레임; 을 포함하고,
    상기 제1공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 및 상기 제3공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기 중 적어도 하나에 포함된 프레임의 너비는 상기 제2공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비 및 상기 제4공진기부에 포함된 벌크 탄성파 공진기에 포함된 프레임의 너비 보다 좁은 벌크 탄성파 필터.
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