JP2020168744A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】第２共通流路に対するダンパ膜のサイズを大きくする。【解決手段】第１供給部３１及び第１帰還部４１は、当該圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する圧力室２０に対して第２方向の一方（互いに同じ側）に位置し、第２方向において第１帰還部４１と複数の圧力室２０との間に第１供給部３１が位置する。第２帰還部４２は、第１帰還部４１から第２方向の他方に（圧力室２０に近づくように）延び、供給流路３０Ａ，３０Ｂに対して下方（第３方向の一方）に位置する。第２帰還部４２における下方（第３方向の一方）に、ダンパ膜５１が設けられている。【選択図】図３

Description

本発明は、複数の圧力室と、それぞれ複数の圧力室に連通する第１共通流路及び第２共通流路とを備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１（図３）には、複数の圧力室と、複数の圧力室に連通する供給流路（第１共通流路）と、複数の圧力室に連通する循環流路（第２共通流路）とを備えた液体吐出ヘッドが示されている。供給流路及び循環流路は複数の圧力室に対して同じ側に配置され、循環流路と複数の圧力室との間に供給流路が位置する。供給流路と循環流路との間に、薄膜部が設けられている。

特開２０１７−７７６４３号公報

特許文献１（図３）では、供給流路と循環流路との間（即ち、循環流路のうち、供給流路と対向する部位のみ）に、薄膜部が設けられている。この場合、循環流路に対する薄膜部（ダンパ膜）のサイズが小さく、循環流路（第２共通流路）に対する減衰効果が十分に得られないという問題が生じ得る。

本発明の目的は、第２共通流路に対するダンパ膜のサイズを大きくすることが可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室と、前記第１方向に延び、複数の第１連通部を介して前記複数の圧力室のそれぞれに連通する第１共通流路と、前記第１方向に延び、複数の第２連通部を介して前記複数の圧力室のそれぞれに連通する第２共通流路と、を備え、前記第１共通流路は、前記複数の圧力室に対して前記第１方向と交差する第２方向の一方に位置する部分を有し、前記第２共通流路は、前記複数の圧力室に対して前記第２方向の一方に位置する第１部分であって、前記第２方向において前記複数の圧力室との間に前記第１共通流路の前記部分を挟む第１部分と、前記第１部分と前記複数の第２連通部とを連結する第２部分とを含み、前記第２部分は、前記第１部分から前記第２方向の他方に延び、前記第１共通流路に対して前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向の一方に位置し、前記第２部分における前記第３方向の一方に、ダンパ膜が設けられたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 プリンタ１００の電気的構成を示すブロック図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の図３に対応する断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図４参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方に対して直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配置されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図４参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２及び図３を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１１、アクチュエータ基板１２及び保護基板１３を有する。

流路基板１１には、図２に示すように、複数の圧力室２０、複数のノズル２１、供給流路３０Ａ，３０Ｂ、帰還流路４０Ａ，４０Ｂ等が形成されている。

複数の圧力室２０は、紙幅方向（第１方向）に千鳥状に配列され、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂを構成している。第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂは、搬送方向と平行な方向（第２方向）に並び、それぞれ第１方向に１列に等間隔で配列された複数の圧力室２０で構成されている。各圧力室２０は、鉛直方向（第３方向）と直交する平面において、第２方向に長尺な略矩形状である。なお、第３方向は、第１方向及び第２方向の双方と直交する。

各圧力室２０の第２方向の一端には、幅狭部２３が連結している。幅狭部２３は、図２に示すように、圧力室２０の幅（第１方向の長さ）よりも狭い幅を有し、第２方向に延びている。幅狭部２３の深さ（第３方向の長さ）は、図３に示すように、圧力室２０の深さと同じである。

幅狭部２３の下端（第３方向の一方の端部）には、供給連通部２４が連結している。供給連通部２４は、図２に示すように、幅狭部２３の幅（第１方向の長さ）よりも大きい直径を有する、第３方向に延びる円柱状の流路である。供給連通部２４は、図３に示すように、幅狭部２３及び圧力室２０に対して下方（第３方向の一方）に位置する。供給連通部２４は、幅狭部２３を介して、圧力室２０に連通している。

幅狭部２３は、図２に示すように、第２方向の一方の端部２３ａにおいて供給連通部２４に連通し、第２方向の他方の端部２３ｂにおいて圧力室２０に連通している。幅狭部２３における第２方向の一方の端部２３ａは、供給連通部２４と第３方向に重なっている。

幅狭部２３及び供給連通部２４は、圧力室２０毎に設けられている。

第１圧力室群２０Ａに対して設けられた幅狭部２３及び供給連通部２４は、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して、第２圧力室群２０Ｂと反対側に配置されている。第２圧力室群２０Ｂに対して設けられた幅狭部２３及び供給連通部２４は、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに対して、第１圧力室群２０Ａと反対側に配置されている。第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して設けられた幅狭部２３及び供給連通部２４と、第２圧力室群２０Ｂに対して設けられた幅狭部２３及び供給連通部２４との間に、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂが配置されている。

第１圧力室群２０Ａに対して、供給流路３０Ａ及び帰還流路４０Ａが設けられ、第２圧力室群２０Ｂに対して、供給流路３０Ｂ及び帰還流路４０Ｂが設けられている。即ち、供給流路３０Ａ及び帰還流路４０Ａは、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に連通し、供給流路３０Ｂ及び帰還流路４０Ｂは、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に連通している。供給流路３０Ａ，３０Ｂ及び帰還流路４０Ａ，４０Ｂは、第１方向に延び、第１方向において互いに同じ長さを有する。

供給流路３０Ａ及び帰還流路４０Ａは、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して、第２圧力室群２０Ｂと反対側に配置されている。供給流路３０Ｂ及び帰還流路４０Ｂは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに対して、第１圧力室群２０Ａと反対側に配置されている。第２方向において、供給流路３０Ａ及び帰還流路４０Ａと、供給流路３０Ｂ及び帰還流路４０Ｂとの間に、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂが配置されている。

各供給流路３０Ａ，３０Ｂは、第１供給部３１及び第２供給部３２を含む。第１供給部３１及び第２供給部３２は、共に第１方向に延びる流路であり、第１方向において互いに同じ長さを有する。

第１供給部３１は、図３に示すように、第２供給部３２よりも深さ（第３方向の長さ）が大きい。

第２供給部３２は、第１供給部３１の下端（第３方向の一方の端部）から第２方向に圧力室２０に近づくように延び、第１供給部３１と供給連通部２４とを連結している。第２供給部３２に対して上方（第３方向の他方）に、複数の供給連通部２４が設けられている。第２供給部３２は、複数の供給連通部２４を介して、複数の圧力室２０のそれぞれに連通している。

供給連通部２４が「第１連通部」、供給流路３０Ａ,３０Ｂが「第１共通流路」に該当する。

供給流路３０Ａの第１供給部３１の上端と、供給流路３０Ｂの第１供給部３１の上端とは、統合流路３３によって統合されている。統合流路３３は、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂに対して上方において、第２方向に延びている。統合流路３３は、図２に示すように、流路基板１１における第１方向の中央に位置している。

統合流路３３の上面には、開口３３ｘが設けられている。開口３３ｘは、第２方向において、統合流路３３の中央であって、第１圧力室群２０Ａと第２圧力室群２０Ｂとの間に位置する。

開口３３ｘは、サブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、メインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。サブタンク内のインクは、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐ（図４参照）が駆動されることで、開口３３ｘから統合流路３３に流入する。

開口３３ｘから統合流路３３に流入したインクは、図２及び図３に示すように、統合流路３３における第２方向の一端及び他端のそれぞれに向かって移動する。当該インクは、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの第１供給部３１の上端（第３方向の他方の端部）に設けられた供給口３０ｘから、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの第１供給部３１に流入する。第１供給部３１に流入したインクは、図２に示すように、第１供給部３１における第１方向の一端及び他端のそれぞれに向かって移動すると共に、図３に示すように、下方（第３方向の一方）に移動し、第２供給部３２に流入する。第２供給部３２に流入したインクは、圧力室２０毎に設けられた供給連通部２４及び幅狭部２３を通って、各圧力室２０に流入する。

各圧力室２０の第２方向の他端（幅狭部２３が連結した一端と反対側の端部）には、接続流路２２が連結している。接続流路２２は、圧力室２０から下方（第３方向の一方）に延び、圧力室２０とノズル２１とを接続している。ノズル２１は、接続流路２２の直下に位置する。圧力室２０は、接続流路２２を介して、ノズル２１に連通している。

接続流路２２の下端（第３方向の一方の端部）には、帰還連通部２５が連結している。帰還連通部２５は、図２では省略されているが、幅狭部２３と略同じ幅（第１方向の長さ）を有する幅の狭い流路であり、第２方向に延びている。

接続流路２２、ノズル２１及び帰還連通部２５は、圧力室２０毎に設けられている。

第１圧力室群２０Ａに対して設けられた接続流路２２及びノズル２１は、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して、第２圧力室群２０Ｂと同じ側に配置されている。第２圧力室群２０Ｂに対して設けられた接続流路２２及びノズル２１は、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに対して、第１圧力室群２０Ａと同じ側に配置されている。

第１圧力室群２０Ａに対して設けられた帰還連通部２５は、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂから離れるように延びている。第２圧力室群２０Ｂに対して設けられた帰還連通部２５は、第２方向において、第１圧力室群２０Ａから離れるように延びている。

各帰還流路４０Ａ，４０Ｂは、第１帰還部４１及び第２帰還部４２を含む。第１帰還部４１及び第２帰還部４２は、共に第１方向に延びる流路であり、第１方向において互いに同じ長さを有する。

第１帰還部４１は、図３に示すように、第２帰還部４２よりも深さ（第３方向の長さ）が大きい。

第１帰還部４１の幅（第２方向の長さ）Ｗ２は、第１供給部３１の幅Ｗ１よりも広い。換言すると、第１供給部３１の幅Ｗ１は、第１帰還部４１の幅Ｗ２よりも狭い。

第２帰還部４２は、第１帰還部４１の下端（第３方向の一方の端部）から、第２方向において圧力室２０に近づくように延び、第１帰還部４１と帰還連通部２５とを連結している。第２帰還部４２は、複数の帰還連通部２５を介して、複数の圧力室２０のそれぞれに連通している。

帰還連通部２５が「第２連通部」、帰還流路４０Ａ，４０Ｂが「第２共通流路」、第１帰還部４１が「第１部分」、第２帰還部４２が「第２部分」に該当する。

第２帰還部４２の上面には、帰還口４０ｘが設けられている。帰還口４０ｘは、第１方向において、第２帰還部４２の中央であって、開口３３ｘと同じ位置にある。帰還口４０ｘは、開口３３ｘと同様、サブタンク（図示略）に連通している。

各圧力室２０に流入したインクは、図３に示すように、接続流路２２を通って下方に移動し、一部がノズル２１から吐出され、残りは帰還連通部２５を通って第２帰還部４２に流入する。第２帰還部４２に流入したインクは、第２方向に移動し、第１帰還部４１の下端に流入する。第１帰還部４１の下端に流入したインクは、図３に示すように、上方（第３方向の他方）に移動すると共に、図２に示すように、第１帰還部４１における第１方向の中央に向かって移動し、帰還口４０ｘから流出する。帰還口４０ｘから流出したインクは、サブタンクに戻される。

このようにサブタンクと流路基板１１との間でインクを循環させることで、流路基板１１に形成された流路における気泡の除去やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

ここで、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれに対して設けられた第１供給部３１及び第１帰還部４１は、当該圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０に対して、第２方向の一方（互いに同じ側）に位置する。本実施形態では、第１圧力室群２０Ａに対して設けられた第１供給部３１及び第１帰還部４１は、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して、第２圧力室群２０Ｂと反対側に配置されている。第２圧力室群２０Ｂに対して設けられた第１供給部３１及び第１帰還部４１は、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに対して、第１圧力室群２０Ａと反対側に配置されている。

第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれにおいて、第２方向において、第１帰還部４１と複数の圧力室２０との間に、第１供給部３１が位置する。

第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれにおいて、第２帰還部４２は、図３に示すように、供給流路３０Ａ，３０Ｂに対して下方（第３方向の一方）に位置する。第２帰還部４２の下方（第３方向の一方）には、ダンパ膜５１が設けられている。ダンパ膜５１は、圧力室群２０Ａ，２０Ｂ毎に、個別に設けられており、互いに分離している。第１圧力室群２０Ａに対して設けられたダンパ膜５１が「第１ダンパ膜」、第２圧力室群２０Ｂに対して設けられたダンパ膜５１が「第２ダンパ膜」に該当する。

圧力室群２０Ａ，２０Ｂ毎に、ダンパ膜５１を下方（第３方向の一方）から覆うカバー部材６０が設けられている。カバー部材６０は、ダンパ膜５１との間に、ダンパ室５０を画定している。

ダンパ室５０は、第３方向と直交する平面において、第２帰還部４２よりも大きく、第２帰還部４２を包含している。具体的には、ダンパ室５０は、第１方向及び第２方向のそれぞれにおいて、帰還流路４０Ａ，４０Ｂよりも長く、帰還流路４０Ａ，４０Ｂよりも外側に（例えば１００μｍ程度）突出している。

ダンパ室５０は、例えば第１方向の両端において、大気に連通し、大気圧と同じ圧力であってよい。この場合、ダンパ室５０が密閉されている場合に比べ、ダンパ膜５１が変形し易く、減衰効果が高まる。或いは、ダンパ室５０は、第２帰還部４２の圧力よりも低い圧力となるよう、減圧されてよい。この場合、ルシャトリエの原理によりダンパ室５０にある異物（気泡等）がダンパ膜５１を通って第２帰還部４２に侵入し得る問題を抑制できる。

流路基板１１は、第３方向に積層された１０枚のプレート１１ａ〜１１ｊで構成されている。

プレート１１ａ〜１１ｊのうち、最下層のプレート１１ｊは、ノズル２１を構成する複数の貫通孔が形成されたノズルプレートである。プレート１１ｊは、複数のノズル２１が開口したノズル面２１ｘを有する。プレート１１ｊには、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂに対応する全てのノズル２１が形成されている。

プレート１１ｊは、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに対して設けられたカバー部材６０と、第２圧力室群２０Ｂに対して設けられたカバー部材６０との間に配置されている。プレート１１ｊのノズル面２１ｘは、カバー部材６０の下面（第３方向の一方の面）よりも、上方（第３方向の他方）に位置する。

プレート１１ｊの上面に接着されたプレート１１ｉは、プレート１１ｊよりも厚みが小さい。プレート１１ｉには、第１帰還部４１及び第２帰還部４２の下端を構成する貫通孔が形成されている。また、プレート１１ｉは、下面（第３方向の一方の面）においてプレート１１ｊ、ダンパ膜５１及びカバー部材６０を支持し、上面（第３方向の他方の面）において複数の帰還連通部２５を画定している。

プレート１１ｉが「閉塞プレート」に該当し、プレート１１ｉにおけるプレート１１ｊと各カバー部材６０との間の部分が閉塞部１１ｉｘに該当する。閉塞部１１ｉｘは、複数の帰還連通部２５に対して下方（第３方向の一方）に位置し、プレート１１ｊと各カバー部材６０との間の隙間を閉塞する。

また、統合流路３３の上方（第３方向の他方）に、別のダンパ膜５２が設けられている。ダンパ膜５２は、プレート１１ａ〜１１ｊのうち、最上層のプレート１１ａの上面に、統合流路３３全体を覆うように接着されている。ダンパ膜５２の下面は、統合流路３３を画定している。

開口３３ｘは、ダンパ膜５２に形成されている。ダンパ膜５２における開口３３ｘの周縁に、サブタンクに連通する管が取り付けられる。

ダンパ膜５１，５２は、例えば、樹脂（ポリイミド等）、金属（ＳＵＳ等）等からなってよい。また、ダンパ膜５１，５２は、互いに同じ材料からなってもよいし、互いに異なる材料からなってもよい。

圧力室２０及び幅狭部２３は、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成され、プレート１１ｃの上面に開口している。プレート１１ｃには、圧力室２０及び幅狭部２３を構成する貫通孔の他、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの第１供給部３１及び各帰還流路４０Ａ，４０Ｂの第１帰還部４１を構成する貫通孔も形成されている。

アクチュエータ基板１２は、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、プレート１１ｃのうち、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの第１供給部３１を構成する貫通孔の内側の領域における、上面に配置されており、プレート１１ｃに形成された全ての圧力室２０及び幅狭部２３を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２０毎に設けられており、各圧力室２０と第３方向に重なっている。

共通電極１２ｂ及び複数の個別電極１２ｄは、ドライバＩＣ１ｄ（図４参照）と電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２０とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２０に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２０の容積が変化し、圧力室２０内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。

保護基板１３は、振動板１２ａの上面に接着されている。保護基板１３の側面は、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの第１供給部３１の側面を画定している。保護基板１３の上面は、統合流路３３の下面を画定している。

保護基板１３の下面には、２つの凹部１３ｘが形成されている。２つの凹部１３ｘは、それぞれ第１方向に延び、一方は第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０と第３方向に重なり、他方は第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０と第３方向に重なっている。各凹部１３ｘ内に、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対応する複数のアクチュエータ１２ｘが収容されている。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれにおいて、第１供給部３１及び第１帰還部４１は、当該圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する圧力室２０に対して第２方向の一方（互いに同じ側）に位置し、第２方向において第１帰還部４１と複数の圧力室２０との間に第１供給部３１が位置する（図３参照）。第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれにおいて、第２帰還部４２は、第１帰還部４１から第２方向の他方に（圧力室２０に近づくように）延び、供給流路３０Ａ，３０Ｂに対して下方（第３方向の一方）に位置する。当該構成において、第２帰還部４２における下方（第３方向の一方）に、ダンパ膜５１が設けられている。つまり、ダンパ膜５１は、供給流路３０Ａ，３０Ｂと帰還流路４０Ａ，４０Ｂとの間ではなく、帰還流路４０Ａ，４０Ｂの第２帰還部４２における下方（第３方向の一方）に設けられている。第２帰還部４２は、第１帰還部４１から第２方向に延びる、第２方向に長い流路である。当該第２帰還部４２にダンパ膜５１を設けることで、帰還流路４０Ａ，４０Ｂに対するダンパ膜５１のサイズを大きくできる。

第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂのそれぞれに対し、供給流路３０Ａ，３０Ｂ及び帰還流路４０Ａ，４０Ｂが設けられている（図３参照）。この場合、高解像度を実現するため２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂを設けた構成において、本発明を適用できる。

ダンパ膜５１は、圧力室群２０Ａ，２０Ｂ毎に、個別に設けられており、互いに分離している（図３参照）。ダンパ膜５１を、第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂに対して共通に設ける場合、プレート１１ｊを囲むようにロの字状にする必要等が生じ得る。この場合、ダンパ膜５１のサイズが過度に大きくなることで、材料コストが増加し、さらに、位置合わせが困難になって歩留りが悪化し得る。これに対し、本構成によれば、ダンパ膜５１を、圧力室群２０Ａ，２０Ｂ毎に個別に設けることで、上記のような問題を抑制できる。

統合流路３３の上方（第３方向の他方）に、別のダンパ膜５２が設けられている（図３参照）。本構成によれば、第２方向に延び、第２方向に長い統合流路３３に対してダンパ膜５２を設けることで、ダンパ膜５２のサイズを大きくできる。

なお、供給流路３０Ａ，３０Ｂ及び帰還流路４０Ａ，４０Ｂを含む共通流路のコンプライアンスは、一般に、個々のアクチュエータ１２ｘのコンプライアンスの略２０倍である。また、供給流路３０Ａ，３０Ｂのコンプライアンスと帰還流路４０Ａ，４０Ｂのコンプライアンスとを、供給流路３０Ａ，３０Ｂと帰還流路４０Ａ，４０Ｂとの流量比に応じて設定し、ダンパ膜５１，５２のサイズを調整してよい。ダンパ膜５１のサイズがダンパ膜５２のサイズよりも小さい場合、ダンパ膜５１のヤング率をダンパ膜５２のヤング率よりも低くして、ダンパ膜５１を撓み易くしてよい。ヤング率を低くする手段としては、例えば、ダンパ膜５１の厚みをダンパ膜５２の厚みよりも小さくすることや、ダンパ膜５１を樹脂（ポリイミド等）で構成しかつダンパ膜５２を金属（ＳＵＳ等）で構成することが挙げられる。

第１供給部３１の幅Ｗ１は、第１帰還部４１の幅Ｗ２よりも狭い（図３参照）。第１供給部３１は統合流路３３によって統合されることで、圧力損失が小さくなるため、幅Ｗ１を広くし過ぎる必要がない。本構成によれば、第１供給部３１の幅Ｗ１を狭くしたことで、ヘッド１の第２方向の小型化を実現できる。

ダンパ膜５１を下方（第３方向の一方）から覆い、ダンパ膜５１との間にダンパ室５０を画定するカバー部材６０が設けられている（図３参照）。この場合、ダンパ膜５１が、外部に露出されない。ダンパ膜５１が外部に露出されていると、用紙９等との接触によりダンパ膜５１が破損し得る。これに対し、本構成では、ダンパ膜５１が外部に露出されないため、ダンパ膜５１の破損を抑制できる。

ダンパ室５０は、第３方向と直交する平面において、第２帰還部４２よりも大きく、第２帰還部４２を包含している（図３参照）。本構成によれば、ダンパ室５０が大きいことで、減衰効果が高まる。また、プレート１１ａ〜１１ｊの接着時に位置ズレが生じた場合でも、ダンパ室５０が第２帰還部４２と第３方向に重なることを実現し、減衰効果を確保できる。

ノズル面２１ｘは、カバー部材６０の下面（第３方向の一方の面）よりも、上方（第３方向の他方）に位置する（図３参照）。本構成によれば、ノズル面２１ｘが後退しているため、用紙９等との接触によるノズル面２１ｘの損傷を抑制できる。

帰還連通部２５は、接続流路２２の下端（第３方向の一方の端部）に連結している（図３参照）。本構成によれば、帰還連通部２５がノズル面２１ｘの近くに配置されることで、循環によるノズル２１近傍のインクの増粘防止効果やノズル２１近傍の気泡排出効果が高まる。

複数の帰還連通部２５に対して下方（第３方向の一方）に位置し、プレート１１ｊとカバー部材６０との間の隙間を閉塞する閉塞部１１ｉｘが設けられている（図３参照）。本構成によれば、閉塞部１１ｉｘにより帰還連通部２５からのインク漏れを抑制しつつ、帰還連通部２５をノズル面２１ｘの近くに配置できる。

下面（第３方向の一方の面）においてプレート１１ｊ、ダンパ膜５１及びカバー部材６０を支持し、上面（第３方向の他方の面）において複数の帰還連通部２５を画定するプレート１１ｉに、閉塞部１１ｉｘが設けられている（図３参照）。本構成によれば、プレート１１ｊを設けるという比較的簡単な手段により、インク漏れ防止効果を実現できる。

プレート１１ｉの厚みは、プレート１１ｊの厚みよりも小さい（図３参照）。本構成によれば、帰還連通部２５をノズル面２１ｘのより近くに配置できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図５を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。

第１実施形態では、プレート１１ｉの閉塞部１１ｉｘによってプレート１１ｊとカバー部材６０との間の隙間が閉塞されるが（図３参照）、本実施形態では、接着剤７０によってプレート１１ｊとカバー部材６０との間の隙間が閉塞される。即ち、本実施形態では、接着剤７０が「閉塞部」に該当する。

具体的には、本実施形態の流路基板２１１は、第１実施形態の流路基板１１においてプレート１１ｉを省略したものであり、第３方向に積層された９枚のプレート１１ａ〜１１ｈ，１１ｊで構成されている。プレート１１ｊ及びカバー部材６０は、プレート１１ｈの下面に接着されている。ダンパ膜５１は、カバー部材６０に固定されている。プレート１１ｊと各カバー部材６０との間に、接着剤７０が設けられている。プレート１１ｊの上面、接着剤７０の上面、及び、各カバー部材６０における第２方向の一端（ノズル２１に近い側の端部）の上面が、複数の帰還連通部２５を画定している。接着剤７０は、耐インク性を有するもの（例えば、ポリウレタン系、エポキシ系等の接着剤）が好ましい。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成に基づく効果に加え、以下の効果が得られる。

プレート１１ｉを用いずに、インク漏れ防止効果を実現できる。そのため、プレート１１ｉに係る材料コスト及びプレート１１ｉの接着作業が不要となる。さらに、プレート１１ｉを省略したことで、ヘッド２０１を第３方向に小型化できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

第２方向は、第１方向と交差すればよく、第１方向と直交することには限定されない。

統合流路における第３方向の他方に、別のダンパ膜を設けなくてもよい。

統合流路を省略してもよい。例えば、上述の実施形態において、各供給流路３０Ａ，３０Ｂの供給口３０ｘに、サブタンクに連通する管が取り付けられてもよい。この場合、圧力室群２０Ａ，２０Ｂ毎にサブタンクを設け、供給流路３０Ａの供給口３０ｘに取り付けられる管が連通するサブタンクと、供給流路３０Ａの供給口３０ｘに取り付けられる管が連通するサブタンクとで、貯留する液体の種類（色等）を異ならせてよい。

保護基板を省略してもよい。この場合、保護基板とは別の部材で統合流路を画定してよい。或いは、統合流路を省略し、第１共通流路の上面を圧力室の上面と同じ高さにして、保護基板を省略してもよい。

第１部分（上述の実施形態における第１帰還部４１）の幅は、第１共通流路（上述の実施形態における供給流路３０Ａ，３０Ｂ）における統合流路から第３方向の一方に延びる部分（上述の実施形態における第１供給部３１）の幅と同じであってもよいし、当該部分の幅より狭くてもよい。

供給口及び帰還口は、それぞれ、第１共通流路及び第２共通流路の上面に限定されず、第１共通流路及び第２共通流路の下面や側面に設けられてもよい。

上述の実施形態では、第１共通流路が供給流路、第２共通流路が帰還流路であるが、これに限定されない。例えば、第１共通流路が帰還流路、第２共通流路が供給流路であってもよい。或いは、第１共通流路及び第２共通流路が共に供給流路であってもよい。つまり、本発明において、第１共通流路及び第２共通流路における液体の流れ方向は特に限定されない。

各圧力室群は、上述の実施形態では１列に配列された複数の圧力室から構成されるが、複数列に配列された複数の圧力室から構成されてもよい。この場合、各圧力室群に属する、複数列に配列された複数の圧力室に対し、第１共通流路及び第２共通流路が設けられてよい。

上述の実施形態では、第１圧力室群に対して設けられた供給流路（第１共通流路）及び帰還流路（第２共通流路）が、第２方向において、第１圧力室群に対して第２圧力室群と反対側に配置され、第２圧力室群に対して設けられた供給流路（第１共通流路）及び帰還流路（第２共通流路）が、第２方向において、第２圧力室群に対して第１圧力室群と反対側に配置されているが、これに限定されない。例えば、第１圧力室群に対して設けられた第１共通流路及び第２共通流路と、第２圧力室群に対して設けられた第１共通流路及び第２共通流路とが、第２方向において、当該圧力室群に対して互いに同じ側に配置され、第１圧力室群と第２圧力室群との間に、第１圧力室群又は第２圧力室群に対して設けられた第１共通流路及び第２共通流路が位置してもよい。

液体吐出ヘッドは、１つの圧力室群と、当該１つの圧力室群に連通する第１共通流路、第２共通流路等のみを有してもよい。

供給連通部の幅を狭くし、幅狭部を省略してもよい。

ダンパ室は、第３方向と直交する平面において、第２部分と一致してもよいし、第２部分より小さくてもよい。

カバー部材は、ヘッド毎に設けられてもよいし、複数のヘッドに対して設けられてもよい（例えば、図１のヘッドユニット１ｘにおけるノズル２１の領域を除く部分を覆ってもよい）。カバー部材を省略してもよい。この場合、ダンパ室も省略される。また、この場合において、ノズル面を、ダンパ膜よりも後退させる（ダンパ膜における第３方向の一方の面よりも第３方向の他方に位置させる）ことで、用紙等との接触によるノズル面の損傷を抑制できる。

ノズル面は、カバー部材やダンパ膜における第３方向の一方の面（下面）よりも第３方向の他方（上方）に位置することに限定されず、第３方向において上記一方の面（下面）と同じ位置や、上記一方の面（下面）よりも第３方向の一方（下方）に位置してもよい。

ダンパ膜は、圧力室群毎に個別に設けられることに限定されず、第１圧力室群及び第２圧力室群に対して共通に設けられてもよい。

第２連通部は、接続流路における第３方向の一方の端部（下端）に連結することに限定されず、接続流路における第３方向の中央部や、接続流路における第３方向の他方の端部（上端）に連結してもよい。

１つの圧力室に連通するノズルの数は、上述の実施形態では１つであるが、２つ以上であってもよい。また、上述の実施形態では１つのノズルに対して１つの圧力室が設けられているが、１つのノズルに対して２つ以上の圧力室が設けられてもよい。

液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。

吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１；２０１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ｉ プレート（閉塞プレート）
１１ｉｘ 閉塞部
１１ｊ プレート（ノズルプレート）
２０ 圧力室
２０Ａ 第１圧力室群
２０Ｂ 第２圧力室群
２１ ノズル
２１ｘ ノズル面
２２ 接続流路
２４ 供給連通部（第１連通部）
２５ 帰還連通部（第２連通部）
３０Ａ，３０Ｂ 供給流路（第１共通流路）
３３ 統合流路
４０Ａ，４０Ｂ 帰還流路（第２共通流路）
４１ 第１帰還部（第１部分）
４２ 第２帰還部（第２部分）
５０ ダンパ室
５１ ダンパ膜
５２ ダンパ膜（別のダンパ膜）
６０ カバー部材
７０ 接着剤（閉塞部）
１００ プリンタ

Claims (13)

1. 第１方向に配列された複数の圧力室と、
   前記第１方向に延び、複数の第１連通部を介して前記複数の圧力室のそれぞれに連通する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、複数の第２連通部を介して前記複数の圧力室のそれぞれに連通する第２共通流路と、を備え、
   前記第１共通流路は、前記複数の圧力室に対して前記第１方向と交差する第２方向の一方に位置する部分を有し、
   前記第２共通流路は、前記複数の圧力室に対して前記第２方向の一方に位置する第１部分であって、前記第２方向において前記複数の圧力室との間に前記第１共通流路の前記部分を挟む第１部分と、前記第１部分と前記複数の第２連通部とを連結する第２部分とを含み、
   前記第２部分は、前記第１部分から前記第２方向の他方に延び、前記第１共通流路に対して前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向の一方に位置し、
   前記第２部分における前記第３方向の一方に、ダンパ膜が設けられたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. それぞれ前記第１方向に配列された前記複数の圧力室から構成され、前記第２方向に並ぶ第１圧力室群及び第２圧力室群を備え、
   前記第１圧力室群及び前記第２圧力室群のそれぞれに対し、前記第１共通流路及び前記第２共通流路が設けられたことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記ダンパ膜は、
   前記第１圧力室群に対して設けられた第１ダンパ膜と、
   前記第２圧力室群に対して設けられ、前記第１ダンパ膜から分離した第２ダンパ膜とを含むことを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１圧力室群に対して設けられた前記第１共通流路の前記第３方向の他方の端部と、前記第２圧力室群に対して設けられた前記第１共通流路の前記第３方向の他方の端部とを統合する統合流路であって、前記第１圧力室群及び前記第２圧力室群に対して前記第３方向の他方において、前記第２方向に延びる統合流路をさらに備え、
   前記統合流路における前記第３方向の他方に、別のダンパ膜が設けられたことを特徴とする、請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１共通流路における前記統合流路から前記第３方向の一方に延びる部分の前記第２方向の長さは、前記第１部分の前記第２方向の長さよりも短いことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記ダンパ膜を前記第３方向の一方から覆い、前記ダンパ膜との間にダンパ室を画定するカバー部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記ダンパ室は、前記第３方向と直交する平面において、前記第２部分よりも大きく、前記第２部分を包含していることを特徴とする、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記複数の圧力室のそれぞれに連通する複数のノズルが開口したノズル面を有するノズルプレートをさらに備え、
   前記ノズル面は、前記カバー部材の前記第３方向の一方の面よりも、前記第３方向の他方に位置することを特徴とする、請求項６又は７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記複数の圧力室のそれぞれから前記第３方向の一方に延び、前記複数の圧力室のそれぞれと前記複数のノズルのそれぞれとを接続する複数の接続流路をさらに備え、
   前記複数の第２連通部は、それぞれ、前記複数の接続流路のそれぞれにおける前記第３方向の一方の端部に連結していることを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記複数の第２連通部に対して前記第３方向の一方に位置し、前記ノズルプレートと前記カバー部材との間の隙間を閉塞する閉塞部をさらに備えたことを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記閉塞部が設けられた閉塞プレートをさらに備え、
    前記閉塞プレートは、前記第３方向の一方の面において前記ノズルプレート及び前記カバー部材を支持し、前記第３方向の他方の面において前記複数の第２連通部を画定することを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記閉塞プレートの厚みは、前記ノズルプレートの厚みよりも小さいことを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記閉塞部は、接着剤であることを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。

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