JP2018199292A - 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 - Google Patents
圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018199292A JP2018199292A JP2017105593A JP2017105593A JP2018199292A JP 2018199292 A JP2018199292 A JP 2018199292A JP 2017105593 A JP2017105593 A JP 2017105593A JP 2017105593 A JP2017105593 A JP 2017105593A JP 2018199292 A JP2018199292 A JP 2018199292A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure chamber
- rectangle
- piezoelectric element
- inner edge
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 64
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 158
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 41
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 98
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 25
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 40
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 29
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVLXVXJAKUJOMY-UHFFFAOYSA-N lanthanum;oxonickel Chemical compound [La].[Ni]=O RVLXVXJAKUJOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910002112 ferroelectric ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 1
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14274—Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/704—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
- H10N30/706—Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings characterised by the underlying bases, e.g. substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る液体吐出装置10を例示する構成図である。第1実施形態の液体吐出装置10は、液体の例示であるインクを媒体12に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体12は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の印刷対象が媒体12として利用され得る。図1に示すように、液体吐出装置10には、インクを貯留する液体容器14が固定される。例えば液体吐出装置10に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、またはインクを補充可能なインクタンクが液体容器14として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器14には貯留される。
図2は、任意の1個の液体吐出ヘッド26の分解斜視図であり、図3は、図2におけるIII−III断面図である。図2に示すように、液体吐出ヘッド26は、Y方向に配列された複数のノズルNを具備する。第1実施形態の複数のノズルNは、第1列L1と第2列L2とに区分される。第1列L1と第2列L2との間でノズルNのY方向の位置を相違させること(すなわち千鳥配置またはスタガ配置)も可能であるが、第1列L1と第2列L2とでノズルNのY方向の位置を一致させた構成が図3では便宜的に例示されている。図2に示すように液体吐出ヘッド26は、第1列L1の複数のノズルNに関連する要素と第2列L2の複数のノズルNに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。
図4は、圧電デバイス39を拡大した断面図および平面図である。図4の断面図(図4の上側の図)は、圧電デバイス39をX−Z平面で切断したものであり、図4の平面図(図4の下側の図)は、圧電デバイス39をZ方向から見たものである。図5は、図4に示す圧電デバイス39のV−V断面図である。図4および図5のW方向は、X方向から反時計回りに45度の角度をなす方向であり、軸Gw1に沿う方向である。図5は、軸Gw1に沿う方向で切断した圧電デバイス39の断面図である。
本発明の第2実施形態について説明する。以下に例示する各形態において作用や機能が第1実施形態と同様である要素については、第1実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。第1実施形態では、結晶面が(100)面の単結晶シリコン基材で振動板36を形成する場合を例示したが、第2実施形態では、結晶面が(110)面(結晶面に垂直な結晶面方位が[110])の単結晶シリコン基材で振動板36を形成する場合を例示する。
本発明の第3実施形態について説明する。第1実施形態と第2実施形態では、圧電素子37の外縁37Bが、内縁37Aの形状と相似形の場合を例示したが、第3実施形態では、圧電素子37の外縁37Bの形状が、内縁37Aの形状と相似形でない場合を例示する。
本発明の第4実施形態について説明する。第4実施形態では、第1実施形態に係る圧電デバイス39の圧電素子37についての具体的な構成例を説明する。図16および図17は、図4の圧電素子37の具体的な構成例である。図16は、第4実施形態に係る圧電デバイス39をZ方向から見た場合の平面図である。図17は、図16に示す圧電デバイス39のXVII−XVII断面図である。
以上に例示した態様および実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示や上述の態様から任意に選択された2以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
Claims (10)
- 圧力室と、
圧電素子と、
前記圧力室と前記圧電素子との間に配置される振動板と、を具備し、
前記振動板は、単結晶シリコン基材の結晶面{100}を有し、
前記圧電素子は、前記圧力室の内周に平面視で重なるように前記振動板に配置され、平面視において前記圧力室の内周を挟んで、前記圧力室の中心側に内縁を有し、
前記圧電素子の内縁の形状は、前記内縁を平面視で内包する最小の第1矩形において、前記第1矩形の各辺の中央部で前記内縁が前記辺よりも内側にあり、
前記圧力室の内周の形状は、前記内周を平面視で内包する最小の第2矩形において、前記第2矩形の各辺の中央部で前記内周が前記辺よりも内側にあり、
前記第1矩形と前記第2矩形のうちの一辺の方向は、前記結晶面内の結晶方位〈010〉に沿っている
圧電デバイス。 - 前記第1矩形の各辺の中央部において、第1方向に沿う前記圧電素子の内縁と前記第1矩形の辺との間の距離は、前記第1方向に直交する第2方向に沿う前記圧電素子の内縁と前記第1矩形の辺との間の距離に対して0.79倍以上1倍以下である
前記第2矩形の各辺の中央部において、前記第1方向に沿う前記圧力室の内周と前記第2矩形の辺との間の距離は、前記第2方向に沿う前記圧力室の内周と前記第2矩形の辺との間の距離に対して0.79倍以上1倍以下である
請求項1に記載の圧電デバイス。 - 圧力室と、
圧電素子と、
前記圧力室と前記圧電素子との間に配置される振動板と、を具備し、
前記振動板は、単結晶シリコン基材の結晶面{110}を有し、
前記圧電素子は、前記圧力室の内周に平面視で重なるように前記振動板に配置され、平面視において前記圧力室の内周を挟んで、前記圧力室の中心側に内縁を有し、
前記圧電素子の内縁の形状は、前記内縁を平面視で内包する最小の第1矩形において、前記第1矩形の各辺の中央部で前記内縁が前記辺よりも内側にあり、
前記圧力室の内周の形状は、前記内周を平面視で内包する最小の第2矩形において、前記第2矩形の各辺の中央部で前記内周が前記辺よりも内側にあり、
前記第1矩形と前記第2矩形のうちの一辺の方向が前記結晶面内の結晶方位〈−110〉に沿っている場合に結晶方位〈−111〉に沿う方向が、前記結晶方位〈−111〉に対して±25度の範囲にある
圧電デバイス。 - 前記第1矩形と前記第2矩形の一辺の方向が、前記結晶面内の結晶方位〈−110〉に沿っている場合には、前記第1矩形と前記第2矩形の長辺に対する短辺の比率が1より小さく、
前記第1矩形と前記第2矩形の一辺の方向と、前記結晶面内の結晶方位〈−110〉との角度が大きくなるほど、前記第1矩形と前記第2矩形の長辺に対する短辺の比率が1に近づく
請求項3に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電素子の内縁の形状は、前記内縁の四隅が前記第1矩形の四隅よりも内側にあり、
前記圧力室の内周の形状は、前記内周の四隅が前記第2矩形の四隅よりも内側にある
請求項1から請求項4の何れかに記載の圧電デバイス。 - 前記圧電素子の四隅と前記圧力室の四隅はそれぞれ曲線状である
請求項5に記載の圧電デバイス。 - 前記圧電素子の内縁の形状と前記圧力室の内周の形状とは、平面視で相似形である
請求項1から請求項6の何れかに記載の圧電デバイス。 - 圧力室と、
圧電素子と、
前記圧力室と前記圧電素子との間に配置される振動板と、を具備し、
前記圧電素子は、前記圧力室の内周に平面視で重なるように前記振動板に配置され、平面視において前記圧力室の内周を挟んで、前記圧力室の中心側に内縁を有し、
前記振動板は、結晶面内の方向によってヤング率が異なる異方性の単結晶シリコン基材の結晶面を有し、
前記圧電素子の内縁の形状は、前記内縁を平面視で内包する最小の第1矩形において、前記第1矩形の各辺の中央部で前記内縁が前記辺よりも内側にあり、
前記圧力室の中心と前記圧電素子の内縁との間の距離のうち所定の方位の距離をr1とすると共に任意の方位の距離をrとし、前記シリコン基材の前記所定の方位のヤング率をY1とすると共に前記任意の方位のヤング率をYとすると、前記距離rは、r=r1×(Y/Y1)の関係を有する
圧電デバイス。 - 請求項1から請求項8の何れかに記載の圧電デバイスを備え、
前記圧電素子によって前記振動板を振動させることで前記圧力室の圧力を変動することよって、前記圧力室に充填された前記液体をノズルから吐出する
液体吐出ヘッド。 - 請求項1から請求項8の何れかに記載の圧電デバイスを備え、
前記圧電素子によって前記振動板を振動させることで前記圧力室の圧力を変動することよって、前記圧力室に充填された前記液体をノズルから吐出する
液体吐出装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017105593A JP2018199292A (ja) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
CN201810338603.0A CN108928125B (zh) | 2017-05-29 | 2018-04-16 | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 |
US15/988,992 US10647117B2 (en) | 2017-05-29 | 2018-05-24 | Piezoelectric device, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017105593A JP2018199292A (ja) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018199292A true JP2018199292A (ja) | 2018-12-20 |
Family
ID=64400145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017105593A Pending JP2018199292A (ja) | 2017-05-29 | 2017-05-29 | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10647117B2 (ja) |
JP (1) | JP2018199292A (ja) |
CN (1) | CN108928125B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112056074A (zh) * | 2020-09-29 | 2020-12-11 | 湖南洪盛源油茶科技股份有限公司 | 一种用于油茶树育苗的壮苗剂喷洒装置 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1034769A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-10 | Oohata Seisakusho:Kk | 接着準備装置 |
JPH10296974A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2002067307A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-05 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド |
CN1515411A (zh) * | 2003-01-07 | 2004-07-28 | 飞赫科技股份有限公司 | 压电喷墨头墨水腔结构及其制作方法 |
US20050168536A1 (en) * | 2004-01-29 | 2005-08-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
JP2005238839A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-09-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
US20070126805A1 (en) * | 2005-12-01 | 2007-06-07 | Seiko Epson Corporation | Liquid drop discharge head and method of manufacturing the same |
US20080129799A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezo-electric type inkjet printhead |
US20090289998A1 (en) * | 2008-05-20 | 2009-11-26 | Ricoh Company, Ltd., | Piezoelectric actuator, liquid-drop ejecting head, and liquid-drop ejecting apparatus |
JP2009279775A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Ricoh Co Ltd | 変位アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP2010017915A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Ricoh Co Ltd | 圧電ヘッド、インク液吐出装置、インクジェット記録装置 |
JP2010208204A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Fujifilm Corp | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 |
JP2013078877A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Rohm Co Ltd | シリコン装置 |
JP2017069998A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
JP2017092097A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、超音波プローブ、超音波測定装置及び圧電素子の製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001253070A (ja) * | 2000-03-08 | 2001-09-18 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
US7585061B2 (en) * | 2004-08-27 | 2009-09-08 | Fujifilm Corporation | Ejection head and image forming apparatus |
US7837305B2 (en) * | 2007-01-30 | 2010-11-23 | Panasonic Corporation | Piezoelectric element, ink jet head, and ink jet recording device |
JP2009010559A (ja) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電部品及びその製造方法 |
JP5559975B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 |
JP2010221420A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Fujifilm Corp | 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 |
KR20120040239A (ko) | 2009-07-10 | 2012-04-26 | 후지필름 디마틱스, 인크. | 조밀 충진을 위한 마이크로일렉트로미케니칼 시스템 젯팅 구조 |
JP5458767B2 (ja) * | 2009-09-17 | 2014-04-02 | コニカミノルタ株式会社 | 電気機械変換機構、インクジェットヘッドおよび超音波プローブ |
JP5916676B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2016-05-11 | 株式会社東芝 | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
-
2017
- 2017-05-29 JP JP2017105593A patent/JP2018199292A/ja active Pending
-
2018
- 2018-04-16 CN CN201810338603.0A patent/CN108928125B/zh active Active
- 2018-05-24 US US15/988,992 patent/US10647117B2/en active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1034769A (ja) * | 1996-07-23 | 1998-02-10 | Oohata Seisakusho:Kk | 接着準備装置 |
JPH10296974A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-10 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2002067307A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-05 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出ヘッド |
CN1515411A (zh) * | 2003-01-07 | 2004-07-28 | 飞赫科技股份有限公司 | 压电喷墨头墨水腔结构及其制作方法 |
US20050168536A1 (en) * | 2004-01-29 | 2005-08-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
JP2005238839A (ja) * | 2004-01-29 | 2005-09-08 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド |
US20070126805A1 (en) * | 2005-12-01 | 2007-06-07 | Seiko Epson Corporation | Liquid drop discharge head and method of manufacturing the same |
JP2007152621A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法 |
US20080129799A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Piezo-electric type inkjet printhead |
US20090289998A1 (en) * | 2008-05-20 | 2009-11-26 | Ricoh Company, Ltd., | Piezoelectric actuator, liquid-drop ejecting head, and liquid-drop ejecting apparatus |
JP2009279775A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Ricoh Co Ltd | 変位アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP2010017915A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-01-28 | Ricoh Co Ltd | 圧電ヘッド、インク液吐出装置、インクジェット記録装置 |
JP2010208204A (ja) * | 2009-03-11 | 2010-09-24 | Fujifilm Corp | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 |
JP2013078877A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Rohm Co Ltd | シリコン装置 |
JP2017069998A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置およびその製造方法、モーター、ロボット、ならびにポンプ |
JP2017092097A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、超音波プローブ、超音波測定装置及び圧電素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180339516A1 (en) | 2018-11-29 |
CN108928125A (zh) | 2018-12-04 |
US10647117B2 (en) | 2020-05-12 |
CN108928125B (zh) | 2020-07-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE47749E1 (en) | Liquid-ejecting head and liquid-ejecting apparatus | |
US8919929B2 (en) | Liquid-ejecting head and liquid-ejecting apparatus | |
US10500853B2 (en) | Piezoelectric device, liquid ejecting head, and liquid ejecting apparatus | |
JP2008172126A (ja) | アクチュエータ装置及びそれを用いた液体噴射ヘッド | |
US10647117B2 (en) | Piezoelectric device, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus | |
US10562302B2 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric device | |
US10639893B2 (en) | Piezoelectric device, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus | |
JP7087408B2 (ja) | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 | |
CN108928122B (zh) | 压电器件、液体喷出头、液体喷出装置 | |
EP3409475B1 (en) | Piezoelectric device, liquid discharging head, and liquid discharging apparatus | |
US11260662B2 (en) | Liquid discharge head and liquid discharge apparatus | |
JP6981046B2 (ja) | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、液体吐出装置 | |
JP2022057159A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
US11104144B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP7342497B2 (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、および液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2022073090A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびアクチュエーター | |
JP2021049704A (ja) | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP2019155815A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200409 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210330 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210517 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211019 |