JP2019155815A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】環境温度が高温に変化した場合に、各部材間の剥離の抑制と各部材の変形の抑制との双方を両立する。【解決手段】液体を噴射するノズルが形成されたノズル板と、前記ノズルに連通する圧力室が形成された流路基板とを含む液体噴射ユニットと、前記流路基板を挟んで前記ノズル板とは反対側に位置し、前記液体噴射ユニットが固定された固定板とを具備する液体噴射ヘッドであって、第１樹脂材料で形成された第１部分と、第２樹脂材料で形成された第２部分とを平面視で異なる位置に含み、前記固定板の表面と液体噴射ユニットの側面とに接触する被覆部を有し、前記第２樹脂材料は、前記第１樹脂材料よりも硬度が低い液体噴射ヘッド。【選択図】図２

Description

本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。

インク等の液体を複数のノズルから噴射する液体噴射ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、インク噴射ユニットと、当該インク噴射ユニットが接合されるヘッドケースとを具備する液体噴射ヘッドが開示されている。インク噴射ユニットは、ノズルが形成されたノズルプレートと、圧力室が形成された流路形成基板と、振動板とを含む。ヘッドケースの下面に接合されたインク噴射ユニットの外周に沿って接着剤が塗布されている。

特開２０１２−１６１９７２号公報

特許文献１の技術のもとでは、接着剤に接触する各部材の線膨張係数が相違するため、例えば環境温度が高温に変化すると、各部材に影響が発生する。具体的には、接着剤が硬質である場合には、各部材の熱変形が接着剤により制限されることで各部材間に剥離が発生する。一方で、接着剤が軟質である場合には、各部材が接着剤により制限されることなく変形する。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズルが形成されたノズル板と、前記ノズルに連通する圧力室が形成された流路基板とを含む液体噴射ユニットと、前記流路基板を挟んで前記ノズル板とは反対側に位置し、前記液体噴射ユニットが固定された固定板とを具備する液体噴射ヘッドであって、第１樹脂材料で形成された第１部分と、第２樹脂材料で形成された第２部分とを平面視で異なる位置に含み、前記固定板の表面と液体噴射ユニットの側面とに接触する被覆部を有し、前記第２樹脂材料は、前記第１樹脂材料よりも硬度が低い。

本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置の構成を示すブロック図である。 液体噴射ヘッドの平面図である。 液体噴射ヘッドの断面図（図２におけるIII-III線の断面図）である。 対比例に係る液体噴射ヘッドの断面図である。 第２実施形態に係る液体噴射ヘッドの平面図である。 第３実施形態に係る液体噴射ヘッドの平面図である。 液体噴射ヘッドの断面図（図６におけるＶII-ＶII線の断面図）である。 変形例に係る液体噴射ヘッドの断面図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体噴射装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体噴射装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に噴射するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体噴射装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体噴射装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。

図１に例示される通り、液体噴射装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体噴射ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field
Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体噴射装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ方向に搬送する。

移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体噴射ヘッド２６をＸ方向に往復させる。Ｘ方向は、媒体１２が搬送されるＹ方向に交差（典型的には直交）する方向である。第１実施形態の移動機構２４は、液体噴射ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体２４２（キャリッジ）と、搬送体２４２が固定された搬送ベルト２４４とを具備する。なお、複数の液体噴射ヘッド２６を搬送体２４２に搭載した構成や、液体容器１４を液体噴射ヘッド２６とともに搬送体２４２に搭載した構成も採用され得る。

液体噴射ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズル（噴射孔）Ｎから媒体１２に噴射する。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体２４２の反復的な往復とに並行して液体噴射ヘッド２６が媒体１２にインクを噴射することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。なお、Ｘ-Ｙ平面（例えば媒体１２の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。液体噴射ヘッド２６によるインクの噴射方向（典型的には鉛直方向）がＺ方向に相当する。

図２は、Ｚ方向の正側（媒体１２側）からみた液体噴射ヘッド２６の平面図であり、図３は、図２におけるIII−III線の断面図である。図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、Ｙ方向に配列された複数のノズルＮを具備する。第１実施形態の複数のノズルＮは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並列された第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とに区分される。第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々は、Ｙ方向に直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。なお、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2との間で各ノズルＮのＹ方向の位置を相違させること（すなわち千鳥配置またはスタガ配置）も可能であるが、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とで各ノズルＮのＹ方向の位置を一致させた構成を以下では便宜的に例示する。図３から理解される通り、第１実施形態の液体噴射ヘッド２６は、第１列Ｌ1の各ノズルＮに関連する要素と第２列Ｌ2の各ノズルＮに関連する要素とが略線対称に配置された構造である。

図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、流路基板３０を具備する。流路基板３０は、複数のノズルＮにインクを供給するための流路を形成する構造体である。流路基板３０は、Ｙ方向に長尺な板状部材である。流路基板３０におけるＺ方向の負側の表面に、例えば接着剤により振動板４０が設置される。他方、流路基板３０におけるＺ方向の正側には、ノズル板５０が設置される。液体噴射ヘッド２６の各要素は、概略的には流路基板３０と同様にＹ方向に長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。

ノズル板５０は、複数のノズルＮが形成された板状部材である。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル板５０には、第１列Ｌ1を構成する複数のノズルＮと第２列Ｌ2を構成する複数のノズルＮとが形成される。例えば半導体製造技術（例えばドライエッチングやウェットエッチング等の加工技術）を利用して、ステンレス鋼（ＳＵＳ：Steel Special Use Stainless）の基板を加工することで、ノズル板５０が製造される。ただし、ノズル板５０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図３に例示される通り、流路基板３０には、液体貯留室Ｒaと供給流路３１と圧力室Ｃ（キャビティ）と連通流路３３とが、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について形成される。液体貯留室Ｒaは、複数のノズルＮにわたり連続する空間（共通液室）である。供給流路３１と圧力室Ｃと連通流路３３とは、ノズルＮ毎に個別に形成される。流路基板３０は、例えば半導体製造技術を利用してシリコン（Ｓi）の単結晶基板を加工することで製造される。ただし、流路基板３０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

液体貯留室Ｒaは、平面視で（すなわちＺ方向からみて）Ｙ方向に沿う長尺状に形成された開口であり、複数の圧力室Ｃに供給されるインクを貯留するリザーバとして機能する。圧力室Ｃは、流路基板３０のうち振動板４０側（Ｚ方向の負側）の表面に形成されて、平面視でＸ方向に沿う長尺状の空間である。液体貯留室Ｒaと圧力室Ｃとは、供給流路３１を介して相互に連通する。供給流路３１は、流路基板３０のうち振動板４０側（Ｚ方向の負側）の表面に形成されて、平面視でＸ方向に沿う長尺状の空間である。供給流路３１の流路幅（Ｙ方向およびＺ方向の寸法）は、圧力室Ｃの流路幅よりも小さい。

圧力室ＣとノズルＮとは、連通流路３３を介して相互に連通する。連通流路３３は、圧力室Ｃの底面から流路基板３０におけるノズル板５０側（Ｚ方向の正側）の表面まで形成されて、断面視で（すなわちＹ方向からみて）Ｚ方向に沿う長尺状の空間である。連通流路３３は、当該連通流路３３に対応する１個のノズルＮに平面視で重なる。以上の説明から理解される通り、圧力室Ｃは、連通流路３３を介してノズルＮに連通し、かつ、供給流路３１を介して液体貯留室Ｒaに連通する。

図３に例示される通り、流路基板３０においてノズル板５０とは反対側の表面に振動板４０が設置される。第１実施形態の振動板４０は、弾性的に振動可能な板状部材である。ノズル板５０と流路基板３０と振動板４０とを積層した要素は、液体噴射ユニット２００として機能する。ノズル板５０と流路基板３０と振動板４０とは、平面視で周縁が一致する。図２に例示される通り、液体噴射ユニット２００の平面形状は、Ｘ方向に沿う２つの短辺（第２辺の例示）と、Ｙ方向に沿う２つの長辺（第１辺の例示）とで画定される矩形Ｋである。前述の第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とは、矩形Ｋの短辺の方向（すなわちＸ方向）に間隔をあけて並列され、各列（Ｌ1，Ｌ2）に含まれる複数のノズルＮは、矩形Ｋの長辺の方向（すなわちＹ方向）に沿って配列される。

図３に例示される通り、振動板４０のうち圧力室Ｃとは反対側の面上には、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々について、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子４１が形成される。各圧電素子４１は、制御ユニット２０から供給される駆動信号により変形する受動素子である。第１実施形態の圧電素子４１は、Ｚ方向に沿う長尺状であり、Ｚ方向に伸縮する。

図３に例示される通り、液体噴射ユニット２００は固定板６０の表面に設置される。固定板６０は、液体噴射ユニット２００と圧電素子４１とを固定するための板状部材であり、流路基板３０を挟んでノズル板５０とは反対側に位置する。振動板４０のうち圧力室Ｃとは反対側の表面が固定板６０に固定される。固定板６０には、振動板４０に設置された圧電素子４１を収容するための空間Ｒbが形成される。圧電素子４１は、空間Ｒbの内部において支持部４３を介して固定板６０に固定される。圧電素子４１のうち支持部４３とは反対側の端部が振動板４０に当接する。なお、固定板６０は、前述のノズル板５０と同様に、例えば半導体製造技術を利用してステンレス鋼（ＳＵＳ）の基板を加工することで製造される。ただし、固定板６０の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２に例示される通り、固定板６０は、平面視で液体噴射ユニット２００（ノズル板５０）よりも大きい。平面視で液体噴射ユニット２００の周縁と固定板６０の周縁との間に液体噴射ユニット２００の全周にわたり間隔があくように、液体噴射ユニット２００と固定板６０とは接合される。図２および図３に例示される通り、固定板６０のうち液体噴射ユニット２００側の表面には、液体噴射ユニット２００の周縁に沿って被覆部８０が形成される。図２においては被覆部８０に便宜的に網掛が付加されている。第１実施形態の被覆部８０は、液体噴射ユニット２００の全周にわたる環状（具体的には矩形の枠状）に形成される。図３に例示される通り、被覆部８０は、固定板６０の表面からＺ方向の正側に向かって形成される。具体的には、固定板６０の表面から液体噴射ユニット２００（具体的にはノズル板５０）の側面にわたり被覆部８０が形成される。すなわち、被覆部８０は、固定板６０の表面と液体噴射ユニット２００の側面とに接触する。被覆部８０の高さ（最大値）は、液体噴射ユニット２００の高さ（Ｚ方向の寸法）を下回る。

図２に例示される通り、被覆部８０は、第１部分８１と第２部分８２とを平面視で異なる位置に含む。矩形Ｋにおける一方の対辺に沿って第１部分８１が形成され、他方の対辺に沿って第２部分８２が形成される。第１実施形態では、第１部分８１は、矩形Ｋの長辺に沿って形成され、第２部分８２は、矩形Ｋの短辺に沿って形成される。第１部分８１は、第１樹脂材料で形成される。第２部分８２は、第１樹脂材料よりも硬度が低い第２樹脂材料で形成される。第１樹脂材料は、例えばエポキシ系樹脂であり、第２樹脂材料は、例えばシリコン系樹脂である。樹脂材料の硬度は、当該樹脂材料の硬化後の硬さである。なお、矩形Ｋの各角部は、第１樹脂材料で形成してもよいし、第２樹脂材料で形成してもよい。

ノズル板５０と流路基板３０と固定板６０とは、線膨張係数が相違する。具体的には、ステンレス鋼で形成されたノズル板５０と固定板６０とは、シリコン単結晶で形成された流路基板３０よりも線膨張係数が大きい。なお、ノズル板５０と固定板６０との線膨張係数の異同は不問である。

図３に例示される通り、液体噴射ヘッド２６は、固定板６０および液体噴射ユニット２００を保護するためのカバー部材７０を具備する。図３に例示される通り、カバー部材７０は、平板部７１と側壁部７２とを具備する。平板部７１は、Ｘ方向に沿う平板状の部材であり、被覆部８０を挟んで固定板６０とは反対側に位置する。すなわち、平面視で平板部７１が固定板６０に重なる。平板部７１は、被覆部８０に接触する。第１実施形態の平板部７１は、ノズル板５０に対応する外形の開口部Ｏを有する。図２に例示される通り、ノズル板５０に形成された複数のノズルＮが開口部Ｏから露出する。開口部Ｏは、平面視でノズル板５０より大きく、ノズル板５０を全面にわたり露出させる。すなわち、平板部７１は、平面視でノズル板５０の外周を包囲するように環状に形成される。図３に例示される通り、平板部７１のうち固定板６０とは反対側の表面と、ノズル板５０のうち固定板６０とは反対側の表面とが同一平面内に位置する。被覆部８０は、平板部７１の内周と液体噴射ユニット２００と外周との間の空間まで充填される。第１実施形態の被覆部８０は、平板部７１に接触することでカバー部材７０の接着にも利用される。

図３に例示される通り、側壁部７２は、平板部７１からＺ方向の負側に延在する平板状の部分であり、液体噴射ユニット２００および固定板６０の側面に対向する。液体噴射ユニット２００および固定板６０の側面を包囲するように側壁部７２が形成される。

以下、第１実施形態の効果を説明する。図４は、対比例における液体噴射ヘッド２６の概略的な断面図である。対比例１と対比例２とについて、環境温度が高温（６０℃以上）に変化した場合の液体噴射ヘッド２６の状態が図示されている。なお、カバー部材７０や振動板４０の図示は便宜的に省略した。対比例１および対比例２は、被覆部８０が平面視において全体にわたり同一の樹脂材料で形成される構成である。対比例１においては、被覆部８０の全体が第２樹脂材料（シリコン系樹脂）で形成される。対比例２においては、被覆部８０の全体が第１樹脂材料（エポキシ系樹脂）で形成される。図４に例示される通り、固定板６０とノズル板５０とは流路基板３０を挟んで反対側に位置し、固定板６０とノズル板５０とは接着材１９により流路基板３０に固定される。

各部材は、環境温度が高温に変化すると線膨張係数に応じて変形（伸長）する。前述の通り、ノズル板５０と固定板６０とは、流路基板３０よりも線膨張係数が大きい。したがって、環境温度が変化すると、ノズル板５０および固定板６０は、流路基板３０よりも大きく伸長する。

対比例１においては、第２樹脂材料が第１樹脂材料よりも軟質であるため、被覆部８０により各部材（流路基板３０，ノズル板５０，固定板６０）の変形が抑制されない。したがって、各部材が伸長する。各部材（特にノズル板５０）が伸長すると、ノズルＮが変形してノズルＮ間で吐出特性（吐出量、吐出速度および吐出方向）に誤差が生じる。

それに対して、対比例２においては、第１樹脂材料は第２樹脂材料よりも硬質であるため、固定板６０およびノズル板５０の伸長を制限するように作用する。したがって、流路基板３０とノズル板５０との間に剥離が発生する。各部材間に剥離が発生すると、圧電素子４１の振動が流路基板３０に伝わらないという理由や、圧力室Ｃ内の圧力が不安定になるという理由から、ノズルＮ間で吐出特性に誤差が生じる。以上に説明した通り、対比例１および対比例２では、ノズルＮの吐出特性に誤差が発生するから、インクを正確に媒体１２に噴射することができず、印刷ムラが発生し得る。

ただし、第２樹脂材料を被覆部８０として利用する対比例１のもとでは、各部材の伸長は制限されないものの、各部材間において剥離は発生しない。また、第１樹脂材料を被覆部８０として利用する対比例２のもとでは、各部材間における剥離は発生するものの、各部材の変形は制限される。以上の傾向を踏まえて、第１実施形態では、第１樹脂で形成された第１部分８１と第２樹脂で形成された第２部分８２とを被覆部８０が含む構成を採用した。以上の構成によれば、第１部分８１により各部材の変形が抑制され、第２部分８２により剥離の発生が抑制される。したがって、対比例１および対比例２と比較して、被覆部８０に接触する各部材（流路基板３０，ノズル板５０，固定板６０）の線膨張係数が相違する場合でも、環境温度が高温に変化した場合に、各部材間の剥離の抑制と各部材の変形の抑制との双方を両立することが可能である。なお、第１部分８１と第２部分８２とを被覆部８０が含む構成は、ノズル板５０と固定板６０とが流路基板３０よりも線膨張係数が大きい場合に特に有効である。

第１実施形態では特に、液体噴射ユニット２００の外形（矩形Ｋ）の長辺に沿って第１部分８１が形成され、当該矩形Ｋの短辺に沿って第２部分８２が形成されるから、長辺の方向（すなわちＹ方向）における各部材（液体噴射ユニット２００，固定板６０）の変形を抑制できる。つまり、矩形Ｋの長辺の方向におけるノズルＮの変形を抑制できる。したがって、第１列Ｌ1および第２列Ｌ2のそれぞれについて列内のノズルＮ間における吐出特性の誤差を低減できる。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図５は、第２実施形態に係る液体噴射ヘッド２６の平面図である。図５に例示される通り、第２実施形態では、第１部分８１が矩形Ｋの短辺（第１辺の例示）に沿って形成され、第２部分８２が矩形Ｋの長辺（第２辺の例示）に沿って形成される。すなわち、第１部分８１と第２部分８２との位置関係が第１実施形態の被覆部８０とは逆である。液体噴射ヘッド２６における被覆部８０以外の構成は、第１実施形態と同様である。

第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、各部材間（流路基板３０，ノズル板５０，固定板６０）の剥離の抑制と各部材の変形の抑制との双方を両立することが可能である。第２実施形態では特に、矩形Ｋの短辺に沿って第１部分８１が形成され、矩形Ｋの長辺に沿って第２部分８２が形成されるから、短辺の方向（すなわちＸ方向）における各部材（液体噴射ユニット２００，固定板６０）の変形を抑制できる。したがって、例えば第１列Ｌ1と第２列Ｌ2との間におけるノズルＮの吐出特性の誤差を低減できる。

＜第３実施形態＞
図６は、第３実施形態に係る液体噴射ヘッド２６の平面図であり、図７は、図６におけるVII−VII線の断面図である。第３実施形態の液体噴射ヘッド２６は、第１実施形態の液体噴射ヘッド２６に壁部９０を追加した構成である。図７に例示される通り、固定板６０に壁部９０が設けられる。壁部９０は、固定板６０からカバー部材７０の平板部７１にわたり形成され、被覆部８０の外周に接触する。壁部９０の高さ（Ｚ方向の寸法）は、液体噴射ユニット２００の高さを下回る。図７に例示される通り、壁部９０は、固定板６０の表面において被覆部８０の外周に沿って設けられる。すなわち、液体噴射ユニット２００の側面と壁部９０との間に被覆部８０が形成される。第３実施形態では、被覆部８０の全周にわたり壁部９０が設けられる。つまり、壁部９０が環状（具体的には矩形の枠状）に形成される。例えばシリコン系樹脂またはエポキシ系樹脂等の樹脂材料を固定板６０に塗布することで壁部９０が形成される。なお、壁部９０を部分的に異なる樹脂材料により形成してもよい。

第３実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。また、第３実施形態では、液体噴射ユニット２００の側面と、固定板６０に設けられた壁部９０との間に被覆部８０が形成されるから、被覆部８０を形成するための樹脂材料が固定板６０の外に流出することを低減できる。なお、第２実施形態の構成に壁部９０を追加した場合にも、同様の効果が得られる。

＜変形例＞
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の各形態では、第１樹脂材料としてエポキシ系樹脂を例示し、第２樹脂材料としてシリコン系樹脂を例示したが、第１樹脂材料と第２樹脂材料とは以上の例示に限定されない。第２樹脂材料の硬度が第１樹脂材料の硬度よりも低ければ、第１樹脂材料と第２樹脂材料とは任意である。

（２）前述の各形態では、液体噴射ユニット２００の平面形状が矩形Ｋであったが、液体噴射ユニット２００の平面形状は以上の例示に限定されない。液体噴射ユニット２００の平面形状は、平面視で第１辺と第２辺とを含む複数の辺で画定される形状として包括的に表現される。第１辺に沿って第１部分８１が形成され、第２辺に沿って第２部分８２が形成される。なお、第１実施形態および第３実施形態では、液体噴射ユニット２００の外形である矩形Ｋの長辺を第１辺として例示し、矩形Ｋの短辺を第２辺として例示した。第２実施形態では、矩形Ｋの短辺を第１辺として例示し、矩形Ｋの長辺を第２辺として例示した。以上の構成では、液体噴射ユニット２００の平面形状が第１辺と第２辺とを含む複数の辺で画定され、第１部分８１が第１辺に沿って形成され、第２部分８２が第２辺に沿って形成されるから、例えば１つの辺に第１部分８１と第２部分８２とが混在する構成と比較して、第１部分８１と第２部分８２との形成が容易になるという利点がある。ただし、１つの辺に第１部分８１と第２部分８２とが混在する構成も、本願の発明に包含される。

（３）前述の各形態では、矩形Ｋの短辺と長辺とにわけて第１部分８１と第２部分８２とを形成したが、例えば一方の短辺と一方の長辺とに第１部分８１と形成し、他方の短辺と他方の長辺とに第２部分８２を形成してもよい。

（４）前述の各形態では、被覆部８０が液体噴射ユニット２００の全周にわたり形成される構成を例示したが、液体噴射ユニット２００の側面において周方向の一部に被覆部８０を形成してもよい。例えば、矩形Ｋの複数の辺のうち一部の辺に第１部分８１と第２部分８２とを形成してもよい。同様に、第３実施形態では、液体噴射ユニット２００の側面において周方向の一部に壁部９０を形成してもよい。

（５）前述の各形態において、流路基板３０の側面に凸部３５を設けてもよい。図８に例示される通り、凸部３５は、流路基板３０の側面から突出した部分である。例えば流路基板３０の全周にわたり凸部３５が設けられる。ただし、流路基板３０の側面における周方向の一部に凸部３５を設けてもよい。なお、流路基板３０をエッチングすると、シリコン単結晶の面方位を反映した傾斜面が側面に形成される。この傾斜面を凸部３５として利用してもよい。流路基板３０の側面に凸部３５を設ける構成によれば、被覆部８０を液体噴射ヘッド２６に強固に固定することが可能である。

（６）第３実施形態では、固定板６０に樹脂材料を塗布することで壁部９０を形成したが、固定板６０と一体に壁部９０を形成してもよい。すなわち、固定板６０の一部を壁部９０として利用してもよい。以上の構成によれば、固定板６０と一体に壁部９０が形成されるから、固定板６０と壁部９０とが別体の構成と比較して、壁部９０を固定板６０に接着する工程が不要になる。また、例えば射出成形により固定板６０とは別個に形成された壁部９０を固定板６０に接合してもよい。固定板６０と一体または別体で形成された壁部９０の上面に、例えば接着剤によりカバー部材７０が接合される。

（７）圧力室Ｃ内の液体（例えばインク）をノズルＮから噴射させる駆動素子は、前述の各形態で例示した圧電素子４１に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子を駆動素子として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、駆動素子は、圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから噴射させる要素（典型的には圧力室Ｃの内部に圧力を付与する要素）として包括的に表現され、動作方式（圧電方式／熱方式）や具体的な構成の如何は不問である。

（８）前述の各形態では、液体噴射ヘッド２６を搭載した搬送体２４２を往復させるシリアル方式の液体噴射装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体噴射装置にも本発明を適用することが可能である。

（９）前述の各形態で例示した液体噴射装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を噴射する液体噴射装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

１００…液体噴射装置、２００…液体噴射ユニット、１２…媒体、１４…液体容器、１９…接着材、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２４２…搬送体、２４４…搬送ベルト、２６…液体噴射ヘッド、３０…流路基板、３１…供給流路、３３…連通流路、３５…凸部、４０…振動板、４１…圧電素子、４３…支持部、５０…ノズル板、６０…固定板、７０…カバー部材、７１…平板部、７２…側壁部、８０…被覆部、８１…第部分、８２…第２部分８２、９０…壁部。

Claims (10)

1. 液体を噴射するノズルが形成されたノズル板と、前記ノズルに連通する圧力室が形成された流路基板とを含む液体噴射ユニットと、
   前記流路基板を挟んで前記ノズル板とは反対側に位置し、前記液体噴射ユニットが固定された固定板と
   を具備する液体噴射ヘッドであって、
   第１樹脂材料で形成された第１部分と、第２樹脂材料で形成された第２部分とを平面視で異なる位置に含み、前記固定板の表面と液体噴射ユニットの側面とに接触する被覆部を有し、
   前記第２樹脂材料は、前記第１樹脂材料よりも硬度が低い
   液体噴射ヘッド。
2. 前記ノズル板と前記固定板とは、前記流路基板よりも線膨張係数が大きい
   請求項１の液体噴射ヘッド。
3. 前記液体噴射ユニットの平面形状は、平面視で第１辺と第２辺とを含む複数の辺で画定され、
   前記第１部分は、前記第１辺に沿って形成され、前記第２部分は、前記第２辺に沿って形成される
   請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
4. 前記ノズル板には、前記第１辺に沿った複数のノズルを含む第１列と第２列とが、前記第２辺の方向に間隔をあけて並列に形成され、
   前記液体噴射ユニットの平面形状は、矩形であり、
   前記第１辺は、前記矩形の長辺であり、
   前記第２辺は、前記矩形の短辺である
   請求項３の液体噴射ヘッド。
5. 前記ノズル板には、前記第１辺に沿った複数のノズルを含む第１列と第２列とが、前記第２辺の方向に間隔をあけて並列に形成され、
   前記液体噴射ユニットの平面形状は、矩形であり、
   前記第１辺は、前記矩形の短辺であり、
   前記第２辺は、前記矩形の長辺である
   請求項３の液体噴射ヘッド。
6. 前記固定板に設けられた壁部を具備し、
   前記被覆部は、前記液体噴射ユニットの側面と前記壁部との間に形成される
   請求項１から請求項５の何れかの液体噴射ヘッド。
7. 前記ノズル板に対応する開口部を有し、平面視で前記固定板に重なる平板部を含むカバー部材を具備し、
   前記壁部は、前記固定板と前記平板部とにわたり形成される
   請求項６の液体噴射ヘッド。
8. 前記壁部は、前記固定板と一体に形成される
   請求項６または請求項７の液体噴射ヘッド。
9. 前記第１樹脂材料は、エポキシ系樹脂であり、
   前記第２樹脂材料は、シリコン系樹脂である
   請求項１から請求項８の何れかの液体噴射ヘッド。
10. 請求項１から請求項９の何れかの液体噴射ヘッドを具備する
    液体噴射装置。
    

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