JP2020166156A - ブラックレジスト用感光性樹脂組成物およびこれを硬化してなる遮光膜並びにカラーフィルター - Google Patents
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Abstract
Description
(A)成分である不飽和基含有感光性樹脂は、1分子中に重合性不飽和基と、アルカリ可溶性を発現するための酸性基を有していることが好ましく、重合性不飽和基とカルボキシ基との両方を含有していることがより好ましい。上記樹脂であれば、特に限定されることなく、広く使用することができる。
(B)成分における少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーの例には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、エチレン性二重結合を有する化合物として(メタ)アクリル基を有する樹枝状ポリマー等が含まれる。これらのモノマーの1種類のみを単独で使用してもよく、2種類以上を併用してもよい。また、当該少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーは、含有アルカリ可溶性樹脂の分子同士を架橋する役割を果たすことができるものであり、この機能を発揮させるためには光重合性基を3個以上有するものを用いることが好ましい。また、モノマーの分子量を1分子中の(メタ)アクリル基の数で除したアクリル当量が50〜300であることが好ましく、アクリル当量は80〜200であることがより好ましい。なお、(B)成分は遊離のカルボキシ基を有しない。
(C)光重合開始剤の例には、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2−(o−クロロフェニル)−4,5−フェニルビイミダゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)ビイミダゾール、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルビイミダゾール、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルビイミダゾール、2,4,5−トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール等のハロメチルチアゾール化合物類;2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(3,4,5−トリメトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メチルチオスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−1,3,5−トリアジン等のハロメチル−S−トリアジン系化合物類;1,2−オクタンジオン、1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−,2−(O−ベンゾイルオキシム)、1−(4−フェニルスルファニルフェニル)ブタン−1,2−ジオン−2−オキシム−O−ベンゾアート、1−(4−メチルスルファニルフェニル)ブタン−1,2−ジオン−2−オキシム−O−アセタート、1−(4−メチルスルファニルフェニル)ブタン−1−オンオキシム−O−アセタート、4−エトキシ−2−メチルフェニル−9−エチル−6−ニトロ−9H−カルバゾロ−3−イル−O−アセチルオキシム等のO−アシルオキシム系化合物類;ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2−クロロチオキサンソン、2,4−ジエチルチオキサンソン、2−メチルチオキサンソン、2−イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物;2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物;2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物、トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミン等が含まれる。これらの光重合開始剤は、その1種類のみを単独で使用してもよく、2種類以上を併用してもよい。
本発明で使用できる(D)成分の黒色顔料、混色有機顔料および遮光材等の遮光成分は、1〜1000nmの平均粒径(レーザー回折・散乱法粒径分布計または動的光散乱法粒径分布計測定された平均粒径)で分散されたものであれば、公知の遮光成分を特に制限なく使用することができる。
ピグメント・レッド2、3、4、5、9、12、14、22、23、31、38、112、122、144、146、147、149、166、168、170、175、176、177、178、179、184、185、187、188、202、207、208、209、210、213、214、220、221、242、247、253、254、255、256、257、262、264、266、272、279等
ピグメント・オレンジ5、13、16、34、36、38、43、61、62、64、67、68、71、72、73、74、81等
ピグメント・イエロー1、3、12、13、14、16、17、55、73、74、81、83、93、95、97、109、110、111、117、120、126、127、128、129、130、136、138、139、150、151、153、154、155、173、174、175、176、180、181、183、185、191、194、199、213、214等
ピグメント・グリーン7、36、58等
ピグメント・ブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60、80等ピグメント・バイオレット19、23、37等
(E)成分であるシリカ粒子は、気相反応または液相反応といった製造法や、形状(球状、非球状)は特に制限されない。
本発明の感光性樹脂組成物には、(A)〜(E)の成分の他に(F)成分である溶剤を使用することが好ましい。溶剤の例には、メタノール、エタノール、n−プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;α−もしくはβ−テルピネオール等のテルペン類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N−メチル−2−ピロリドン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の酢酸エステル類が含まれる。これらを単独または2種類以上を併用して溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔重量:W0(g)〕に含浸させて秤量し〔W1(g)〕、160℃にて2時間加熱した後の重量〔W2(g)〕から次式より求めた。
固形分濃度(重量%)=100×(W2−W0)/(W1−W0)
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置「COM−1600」(平沼産業株式会社製)を用いて1/10N−KOH水溶液で滴定して求めた。
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)「HLC−8220GPC」(東ソー株式会社製、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuper H−2000(2本)+TSKgelSuper H−3000(1本)+TSKgelSuper H−4000(1本)+TSKgelSuper H−5000(1本)(東ソー株式会社製)、温度:40℃、速度:0.6ml/min)にて測定し、標準ポリスチレン(東ソー株式会社製、PS−オリゴマーキット)換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
シリカ粒子の平均粒子径は、動的光散乱法の粒度分布計「粒径アナライザーFPAR−1000」(大塚電子株式会社製)を用い、キュムラント法により求めた。
上記シリカ粒子の屈折率は、アッベ屈折率計を用いて求めた。
なお、上記シリカ粒子の空隙率は、透過型電子顕微鏡を用いて求めた。
BPFE :9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンとクロロメチル
オキシランとの反応物。一般式(1)の化合物において、Xがフルオ
レン−9,9−ジイル、R1、R2が水素の化合物。
AA :アクリル酸
BPDA :3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
THPA :テトラヒドロ無水フタル酸
TEAB :臭化テトラエチルアンモニウム
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にBPFE(114.4g、0.23モル)、AA(33.2g、0.46モル)、PGMEA(157g)およびTEAB(0.48g)を仕込み、100〜105℃で20時間撹拌して反応させた。次いで、フラスコ内にBPDA(35.3g、0.12モル)、THPA(18.3g、0.12モル)を仕込み、120〜125℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂(A)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.1質量%、酸価(固形分換算)は103mgKOH/g、GPC分析によるMwは3600であった。
(A):上記合成例で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液(固形分濃度56.1質量%)
(B):ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペン
タアクリレートとの混合物(アロニックスM−405、東亜合成株式会社製、
「アロニックス」は同社の登録商標)
(C)−1:エタノン,1−[9−エチル−6−(2-メチルベンゾイル)−9H−カ
ルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)(Irgac
ure OXE−02、BASFジャパン社製、「Irgacure」
は同社の登録商標)
(C)−2:アデカアークルズNCI−831、株式会社ADEKA製、「アデカア
ークルズ」は同社の登録商標)
(D):カーボンブラック濃度25.0質量%、高分子分散剤濃度10.0質量%の
PGMEA分散液(固形分34.8質量%)
(E)−1:中空シリカイソプロパノール分散ゾル
(日揮触媒化成株式会社製、固形分20重量%、平均粒径 約50nm、
空隙率30体積%、屈折率1.30)
(E)−2:中空シリカイソプロパノール分散ゾル
(日揮触媒化成株式会社製、固形分20重量%、平均粒径 約60nm、
空隙率37体積%、屈折率1.25)
(E)−3:中空シリカイソプロパノール分散ゾル
(日揮触媒化成株式会社製、固形分20重量%、平均粒径 約75nm、
空隙率46体積%、屈折率1.21)
(E)−4:中空シリカPGMEA分散ゾル
(日揮触媒化成株式会社製、固形分20重量%、平均粒径 約75nm、
空隙率46体積%、屈折率1.25)
(E)−5:中実シリカイソプロパノール分散ゾル
(日産化学株式会社製、固形分30重量%、平均粒径 約80nm、空隙
率0体積%、屈折率1.46)
(F)−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
(F)−2:シクロヘキサノン(ANON)
表1に記載の配合量(数値は質量部)で実施例1〜5、比較例1、2の感光性樹脂組成物を調製した。表中で使用した配合成分は以下のとおりである。なお、(F)−1および(F)−2は、(A)、および(D)−4の溶剤と(E)中の溶剤を含まない量である。
実施例1〜5、比較例1、2のブラックレジスト用感光性樹脂組成物を用いて、以下の評価を行った。
表1に示した感光性樹脂組成物を、予め低圧水銀灯で波長254nmの照度1000mJ/cm2の紫外線を照射して表面を洗浄した、125mm×125mmのガラス基板「#1737」(コーニング社製)(以下「ガラス基板」という)上に、加熱硬化処理後の膜厚が1.2μmとなるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて90℃で1分間プリベークをして硬膜(遮光膜)を作製した。次いで、露光ギャップを100μmに調整し、乾燥遮光膜の上にライン/スペース=10μm/50μmのネガ型フォトマスクを被せ、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで50mJ/cm2の紫外線を照射して、感光部分の光硬化反応を行った。
(パターン線幅)
(評価方法)
本硬化(ポストベーク)後のパターン線幅を測長顕微鏡「XD−20」(株式会社ニコン製)を用いてマスク幅10μmのパターン線幅を測定した。なお、パターン線幅の評価は、BT+10秒の場合とBT+20秒の場合とで行った。
○:パターン線幅が10±2μmの範囲内である
×:パターン線幅が10±2μmの範囲外である
(評価方法)
本硬化(ポストベーク)の10μmマスクパターンを光学顕微鏡を用いて観察した。なお、パターン直線性の評価は、BT+10秒の場合とBT+20秒の場合とで行った。なお、△以上を合格とした。
○:パターンエッジ部分のギザつきが認められない
△:パターンエッジ部分のギザつきが一部に認められる
×:パターンエッジ部分のギザつきが全体にわたって認められる
表1、2に示した感光性樹脂組成物を、予め低圧水銀灯で波長254nmの照度1000mJ/cm2の紫外線を照射して表面を洗浄した、125mm×125mmのガラス基板「#1737」(コーニング社製)(以下「ガラス基板」という)上に、加熱硬化処理後の膜厚が1.1μmとなるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて90℃で1分間プリベークをして硬膜(遮光膜)を作製した。ネガ型フォトマスクを被せず、i線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで50mJ/cm2の紫外線を照射して、光硬化反応を行った。
(評価方法)
マクベス透過濃度計を用いて、作製した硬化膜(遮光膜)の光学濃度(OD)を評価した。また、基板に形成した硬化膜(遮光膜)の膜厚を測定し、光学濃度(OD)の値を膜厚で割った値をOD/μmとした。
光学濃度(OD)=−log10T(1)
(Tは透過率を示す)
(評価方法)
光学濃度(OD)評価用の硬化膜(遮光膜)と同様にして作製した硬化膜(遮光膜)付き基板に対して、紫外可視赤外分光光度「UH4150」(株式会社日立ハイテクサイエンス製)を用いて入射角2°で硬化膜(遮光膜)側と基板(ガラス基板)側の各々の反射率を測定した。
Claims (7)
- (A)不飽和基含有感光性樹脂と、
(B)少なくとも2個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーと、
(C)光重合開始剤と、
(D)黒色顔料、混色顔料および遮光材から選ばれる少なくとも1種の遮光成分と、
(E)シリカ粒子と、
を含む、ブラックレジスト用感光性樹脂組成物であって、
前記(E)成分であるシリカ粒子は、中空粒子である、
ブラックレジスト用感光性樹脂組成物。 - 前記(A)不飽和基含有感光性樹脂は、一般式(1)で表されるビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物をさらに多塩基カルボン酸またはその無水物と反応させて得られた不飽和基含有感光性樹脂である、請求項1に記載のブラックレジスト用感光性樹脂組成物。
- 前記(E)シリカ粒子の平均粒子径は、40〜100nmである、請求項1または請求項2に記載のブラックレジスト用感光性樹脂組成物。
- 前記(E)シリカ粒子の空隙率は、20体積%以上である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のブラックレジスト用感光性樹脂組成物。
- 前記(E)シリカ粒子の屈折率は、1.10〜1.41である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のブラックレジスト用感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載のブラックレジスト用感光性樹脂組成物を硬化してなる遮光膜。
- 請求項6に記載の遮光膜をブラックマトリックスとして有する、カラーフィルター。
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