JP2020139683A - オイル戻し装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オイル戻し装置の体格の増大を抑制しつつ、オイル戻し量の調整をすることができるオイル戻し装置を提供する。【解決手段】アキュムレータ１２には、圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路として、外側空間１１３、仕切壁孔１１５、内側空間１１２、底部連通孔１１０の順にオイルが流れる流路と、外側空間１１３、第２連通孔ＸＶ２、第１連通孔ＸＶ１、内側空間１１２の順にオイルが流れる流路とが形成されている。第２連通孔ＸＶ２、第１連通孔ＸＶ１との間にマイクロバルブＸ１が設けられている。【選択図】図３

Description

本発明は、冷凍サイクル装置の圧縮機へオイルを戻すオイル戻し装置に関するものである。

オイル戻し装置が用いられたものとして、冷凍サイクル装置の圧縮機の冷媒吸引側に接続されるアキュムレータや、圧縮機から吐出された冷媒に含まれるオイルを分離し、分離したオイルを圧縮機に戻すオイルセパレータ等がある（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１３−１０８７１０号公報

従来のアキュムレータ、オイルセパレータ等では、圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路の流路開度が固定されている。すなわち、オイル流路の流路断面積は変わらない。このため、圧縮機の摺動部に戻されるオイルの流量であるオイル戻し量を調整することができない。

この対策として、オイル流路を流れるオイルの流量を調整する弁機構を設置することが考えられる。弁機構としては、電磁弁が挙げられる。しかしながら、従来の電磁弁の体格は大きい。このため、オイル戻し装置に電磁弁を設けると、オイル戻し装置の体格が増大する。

本発明は上記点に鑑みて、オイル戻し装置の体格の増大を抑制しつつ、オイル戻し量の調整をすることができるオイル戻し装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明によれば、冷凍サイクル装置の圧縮機へオイルを戻すオイル戻し装置は、
オイルを貯える貯油室（１０１ａ、２０５）から圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路（１１０、１１２、１１３、１１５、ＸＶ１、ＸＶ２、２３４ｃ、２３４ｄ、２４１、２４２、２４３）を形成する流路形成部（１０３ａ、１０５ａ、１１１、２３４ａ、２３４ｂ、２４０、Ｘ２）と、
流路形成部に設けられ、オイル流路を流れるオイルの流量を調整する弁部品（Ｘ１）とを備える。

弁部品は、
オイルが流通するオイル室（Ｘ１９）、オイル室に連通する第１オイル孔（Ｘ１６）、およびオイル室に連通する第２オイル孔（Ｘ１７）が形成される基部（Ｘ１１、Ｘ１２１、Ｘ１３）と、
自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｘ１２３、Ｘ１２４、Ｘ１２５）と、
駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｘ１２６、Ｘ１２７）と、
増幅部によって増幅された変位が伝達されてオイル室内で動くことで、オイル室を介した第１オイル孔と第２オイル孔との間の連通、遮断を切り替える可動部（Ｘ１２８）と、を有し、
駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置（ＸＰ２）において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジ（ＸＰ０）を支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置（ＸＰ３）で増幅部が可動部を付勢し、
ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長い。

これによれば、オイル流路を流れるオイルの流量を調整する弁機構として、弁部品を用いている。弁部品は、従来の電磁弁と比べて容易に小型化できる。弁部品の増幅部は、梃子として機能するので、駆動部の温度変化に応じた変位量が、梃子によって増幅されて可動部に伝わる。駆動部の変位量が梃子を利用して増幅されることが、そのような梃子を利用しない従来の電磁弁と比べた小型化に寄与する。よって、オイル戻し装置の体格の増大を抑制しつつ、オイル戻し量の調整をすることができる。

なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

第１実施形態の冷凍サイクル装置の構成を示す模式図である。 第１実施形態のアキュムレータの断面図である。 図２中の領域IIの拡大図である。 第１実施形態のマイクロバルブの斜視図である。 第１実施形態のマイクロバルブの側面図である。 図５のVI−VI断面図である。 図５、図６のVII−VII断面図である。 図６に対応する通電時のマイクロバルブの断面図である。 図８のIX−IX断面図である。 第１実施形態におけるマイクロバルブの弁状態とオイルの流量との関係を示す図である。 第２実施形態におけるマイクロバルブの流路開度とオイルの流量との関係を示す図である。 第３実施形態の圧縮機の断面図である。 図１２中の領域XIIIの拡大図である。 第４実施形態の圧縮機の一部の断面図であり、図１３に対応する図である。 第５実施形態のマイクロバルブの断面図であって、図６に対応する図である。 図１５中の領域XVIの拡大図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

（第１実施形態）
図１に示すように、本実施形態の冷凍サイクル装置１０は、本発明のオイル戻し装置が適用されたアキュムレータ１２を備えている。冷凍サイクル装置１０は、車両に搭載されており、車両用空調装置に用いられている。冷凍サイクル装置１０は、冷媒流れを切り替えることによって、車室の内部の冷房と暖房とを切り替えて実施する。冷凍サイクル装置１０は、アキュムレータ１２の他に、圧縮機１４と、放熱器１６と、暖房用膨張弁１８と、室外熱交換器２０と、冷房用膨張弁２２と、蒸発器２４を備える。

圧縮機１４は、電動圧縮機である。圧縮機１４は、吸入した冷媒を圧縮して吐出する。冷媒には、圧縮機１４の摺動部の潤滑のためのオイルが含まれる。オイルは、液相の冷媒と非相溶性又は難溶性を有する冷凍機油である。

放熱器１６は、圧縮機１４から吐出された冷媒を放熱させる。放熱器１６は、空調ユニット３０のケース３２の内部に配置されている。放熱器１６は、車室に向かう空気と冷媒との熱交換によって、空気を加熱する加熱用熱交換器である。

暖房用膨張弁１８は、暖房時に放熱器１６から流出した冷媒を減圧膨張させる。室外熱交換器２０は、冷媒と車室の外部の空気とを熱交換させる。冷房用膨張弁２２は、冷房時に室外熱交換器２０から流出した冷媒を減圧膨張させる。

蒸発器２４は、冷房時に冷房用膨張弁２２から流出した冷媒を蒸発させる。蒸発器２４は、ケース３２の内部のうち放熱器１６の空気流れ上流側に配置されている。蒸発器２４は、車室の内部に向かう空気と冷媒との熱交換によって、空気を冷却する冷却用熱交換器である。

アキュムレータ１２は、圧縮機１４の冷媒吸引側に接続されている。すなわち、アキュムレータ１２は、圧縮機１４の冷媒吸引側と蒸発器２４の冷媒出口側との間に設置されている。アキュムレータ１２は、圧縮機１４に吸引される冷媒を気相冷媒と液相冷媒とに分離し、分離した気相冷媒を圧縮機１４に流入させるとともに、分離した液相冷媒を貯える。アキュムレータ１２の構造については、後述する。

冷凍サイクル装置１０は、第１迂回流路２５と、第１迂回流路２５を開閉する第１電磁弁２６とを備える。第１迂回流路２５は、室外熱交換器２０から流出した冷媒を、冷房用膨張弁２２および蒸発器２４を迂回させて、アキュムレータ１２に導く冷媒の流路である。第１電磁弁２６は、蒸発器２４を冷媒が流れる冷媒流れと、第１迂回流路２５を冷媒が流れる冷媒流れとを切り替える第１切替弁である。第１電磁弁２６の替わりに、三方弁が用いられてもよい。

冷凍サイクル装置１０は、第２迂回流路２７と、第２迂回流路２７を開閉する第２電磁弁２８とを備える。第２迂回流路２７は、放熱器１６から流出した冷媒を、暖房用膨張弁１８を迂回させて、室外熱交換器２０に導く冷媒の流路である。第２電磁弁２８は、暖房用膨張弁１８を冷媒が流れる冷媒流れと、第２迂回流路２７を冷媒が流れる冷媒流れとを切り替える第２切替弁である。

ケース３２の内部には、送風機３４と、エアミックスドア３６とが配置されている。送風機３４は、車室内に向かう空気流れを形成する。エアミックスドア３６は、放熱器１６を流れる空気と、放熱器１６を迂回して流れる空気との混合割合を調整する。

本実施形態の冷凍サイクル装置１０では、冷房時に、第１電磁弁２６が閉弁し、第２電磁弁２８が開弁する。エアミックスドア３６の位置は、実線で示す位置とされる。これにより、圧縮機１４から吐出された冷媒は、実線の矢印で示すように、放熱器１６、第２迂回流路２７、室外熱交換器２０、冷房用膨張弁２２、蒸発器２４、アキュムレータ１２の順に流れ、圧縮機１４に吸入される。送風機３４から送られた空気は、蒸発器２４を通過し、放熱器１６を通過しない。蒸発器２４で冷却された空気が車室内に向かうことで、冷房が行わる。

暖房時に、第１電磁弁２６が開弁し、第２電磁弁２８が閉弁する。エアミックスドア３６の位置は、破線で示す位置とされる。これにより、圧縮機１４から吐出された冷媒は、破線の矢印で示すように、放熱器１６、暖房用膨張弁１８、室外熱交換器２０、第１迂回流路２５、アキュムレータ１２の順に流れ、圧縮機１４に吸入される。送風機３４から送られた空気は、蒸発器２４、放熱器１６を通過して、車室内に向かう。放熱器１６で加熱された空気が車室内に向かうことで、暖房が行われる。

次に、アキュムレータ１２の構成について説明する。図２に示すように、アキュムレータ１２は、タンク１０１と、インナーパイプ１０２と、アウターパイプ１０３と、気液分離部材１０４とを備える。

タンク１０１の内部には、冷媒を気相冷媒と液相冷媒とに分離し、分離された液相冷媒と冷媒に含まれていたオイルとを貯える空間１０１ａが形成されている。本実施形態では、タンク１０１の内部の空間１０１ａが、オイルを貯える貯油室に対応する。

タンク１０１は、タンク本体部１０５と、タンク蓋部１０６とを有する。タンク本体部１０５とタンク蓋部１０６とは、いずれも、金属製である。タンク本体部１０５は、上端側が開口し、下端側が閉塞した筒状である。タンク蓋部１０６は、タンク本体部１０５の上端側に位置し、タンク本体部１０５の上端側を閉塞する。タンク蓋部１０６には、冷媒流入孔１０７と冷媒流出孔１０８とが形成されている。

インナーパイプ１０２は、タンク１０１の内部に配置されている。インナーパイプ１０２は、上下方向に延びる筒である。インナーパイプ１０２は、金属製である。インナーパイプ１０２は、合成樹脂製であってもよい。インナーパイプ１０２の上端側は、インナーパイプ１０２の内部空間が冷媒流出孔１０８と連通するように、タンク蓋部１０６に接続されている。インナーパイプ１０２の下端１０２ａは、開口しており、タンク本体部１０５の底部１０５ａよりも上側に位置する。

アウターパイプ１０３は、タンク１０１の内部に配置されている。アウターパイプ１０３は、上下方向に延びる筒である。アウターパイプ１０３は、金属製である。アウターパイプ１０３は、合成樹脂製であってもよい。アウターパイプ１０３は、インナーパイプ１０２とアウターパイプ１０３とが二重管をなすように、インナーパイプ１０２の外側に配置されている。アウターパイプ１０３の上端は、開口しており、タンク蓋部１０６よりも下側に位置する。アウターパイプ１０３は、底部１０３ａを有する。アウターパイプ１０３の底部１０３ａは、上下方向におけるタンク本体部１０５の底部１０５ａとインナーパイプ１０２の下端１０２ａとの間に位置する。

気液分離部材１０４は、タンク１０１の内部のうち上方側の部位に配置されている。気液分離部材１０４は、下側が開口したカップ状である。気液分離部材１０４の上部は、上下方向に対して交差する方向に広がっている。気液分離部材１０４の上部は、冷媒流入孔１０７と上下方向で対向している。アウターパイプ１０３の上端は、気液分離部材１０４の上部よりも下側に位置する。

図３に示すように、アウターパイプ１０３の底部１０３ａには、底部連通孔１１０が形成されている。底部連通孔１１０は、アウターパイプ１０３の内部空間と、アウターパイプ１０３の底部１０３ａとタンク本体部１０５の底部１０５ａとの間の空間とを連通させる。

アキュムレータ１２は、アウターパイプ１０３の底部１０３ａとタンク本体部１０５の底部１０５ａとの間に設けられた仕切壁１１１を有する。仕切壁１１１は、上下方向に延びている。仕切壁１１１の上端は、アウターパイプ１０３の底部１０３ａにつながっている。仕切壁１１１の下端は、タンク本体部１０５の底部１０５ａにつながっている。

仕切壁１１１は、アウターパイプ１０３の底部１０３ａとタンク本体部１０５の底部１０５ａとの間の空間を内側空間１１２と外側空間１１３とに仕切る。内側空間１１２は、仕切壁１１１よりも内側に位置し、底部連通孔１１０に連通する。外側空間１１３は、仕切壁１１１よりも外側に位置し、タンク本体部１０５の内側かつアウターパイプ１０３の外側の空間に連通する。外側空間１１３に、異物を除去するフィルタ１１４が配置されている。

仕切壁１１１には、仕切壁孔１１５が形成されている。仕切壁孔１１５は、内側空間１１２と外側空間１１３とを連通させる。タンク本体部１０５の内側かつアウターパイプ１０３の外側の空間は、外側空間１１３、仕切壁孔１１５、内側空間１１２および底部連通孔１１０を介して、アウターパイプ１０３の内部空間に連通している。

アキュムレータ１２は、バルブモジュールＸ０を有する。バルブモジュールＸ０は、タンク本体部１０５の底部１０５ａの外側に設けられている。

［バルブモジュールＸ０の構成］
ここで、バルブモジュールＸ０の構成を説明する。バルブモジュールＸ０は、マイクロバルブＸ１、バルブケーシングＸ２、封止部材Ｘ３、２つのＯリングＸ４、Ｘ５、２本の電気配線Ｘ６、Ｘ７を有している。

マイクロバルブＸ１は、板形状の弁部品であり、主として半導体チップによって構成されている。マイクロバルブＸ１は、半導体チップ以外の部品を有していてもいなくてもよい。したがって、マイクロバルブＸ１を小型に構成できる。マイクロバルブＸ１の厚さ方向の長さは例えば２ｍｍであり、厚さ方向に直交する長手方向の長さは例えば１０ｍｍであり、長手方向にも厚さ方向にも直交する短手方向の長さは例えば５ｍｍであるが、これに限定されない。

マイクロバルブＸ１は、開閉弁として機能する。マイクロバルブＸ１への通電、非通電が切り替わることで、開閉が切り替わる。具体的には、マイクロバルブＸ１は、通電時に開弁し、非通電時に閉弁する常閉弁である。

電気配線Ｘ６、Ｘ７は、マイクロバルブＸ１の表裏にある２つの板面のうち、バルブケーシングＸ２とは反対側の面から伸びて、封止部材Ｘ３、バルブケーシングＸ２内を通過して、バルブモジュールＸ０の外部にある電源に接続される。これにより、電気配線Ｘ６、Ｘ７を通して、電源からマイクロバルブＸ１に電力が供給される。

バルブケーシングＸ２は、マイクロバルブＸ１を収容する樹脂製のケーシングである。バルブケーシングＸ２は、ポリフェニレンサルファイドを主成分として樹脂成形によって形成されている。バルブケーシングＸ２は、一方側に底壁を有し、他方側が開放された箱体である。バルブケーシングＸ２の底壁は、マイクロバルブＸ１と底部１０５ａとが直接接しないように、底部１０５ａとマイクロバルブＸ１の間に介在する。そして、この底壁の一方側の面が底部１０５ａに接触して固定され、他方側の面がマイクロバルブＸ１の２つの板面のうち一方に接触して固定される。このようになっていることで、マイクロバルブＸ１とタンク本体部１０５の線膨張係数の違いをバルブケーシングＸ２が吸収できる。これは、バルブケーシングＸ２の線膨張係数が、マイクロバルブＸ１の線膨張係数とタンク本体部１０５の線膨張係数の間の値となっているからである。

また、バルブケーシングＸ２の底壁は、マイクロバルブＸ１に対向する板形状のベース部Ｘ２０と、マイクロバルブＸ１から離れる方向に当該ベース部Ｘ２０から突出する柱形状の第１突出部Ｘ２１、第２突出部Ｘ２２を有する。

第１突出部Ｘ２１は、底部１０５ａに形成された第１開口部１１６に嵌め込まれている。第１開口部１１６は、内側空間１１２に連通している。第１突出部Ｘ２１には、マイクロバルブＸ１側端から内側空間１１２側端まで貫通する第１連通孔ＸＶ１が形成されている。第１連通孔ＸＶ１は、内側空間１１２に連通している。

第２突出部Ｘ２２は、底部１０５ａに形成された第２開口部１１７に嵌め込まれている。第２開口部１１７は、外側空間１１３に連通している。第２突出部Ｘ２２には、マイクロバルブＸ１側端から外側空間１１３側端まで貫通する第２連通孔ＸＶ２が形成されている。第２連通孔ＸＶ２は、外側空間１１３に連通している。

封止部材Ｘ３は、バルブケーシングＸ２の開放された上記他方側を封止するエポキシ樹脂製の部材である。封止部材Ｘ３は、マイクロバルブＸ１の表裏にある２つの板面のうち、バルブケーシングＸ２の底壁側とは反対側の板面を、覆う。また、封止部材Ｘ３は、電気配線Ｘ６、Ｘ７を覆うことで、電気配線Ｘ６、Ｘ７の防水および絶縁を実現する。封止部材Ｘ３は、樹脂ポッティング等によって形成される。

ＯリングＸ４は、第１突出部Ｘ２１の外周に取り付けられ、底部１０５ａと第１突出部Ｘ２１の間を封止することで、タンク１０１の外部へのオイルの漏出を抑制する。ＯリングＸ５は、第２突出部Ｘ２２の外周に取り付けられ、底部１０５ａと第２突出部Ｘ２２の間を封止することで、タンク１０１の外部へのオイルの漏出を抑制する。

ここで、マイクロバルブＸ１の構成について更に説明する。マイクロバルブＸ１は、図４、図５に示すように、いずれも半導体である第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３を備えたＭＥＭＳである。ＭＥＭＳは、Micro Electro Mechanical Systemsの略称である。第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３は、それぞれが同じ外形を有する長方形の板形状の部材であり、第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の順に積層されている。すなわち、中間層Ｘ１２が、第１外層Ｘ１１と第２外層Ｘ１３に両側から挟まれている。第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３のうち、第２外層Ｘ１３が、バルブケーシングＸ２の底壁に最も近い側に配置される。後述する第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の構造は、化学的エッチング等の半導体製造プロセスによって形成される。

第１外層Ｘ１１は、表面に非導電性の酸化膜のある導電性の半導体部材である。第１外層Ｘ１１には、図４に示すように、表裏に貫通する２つの貫通孔Ｘ１４、Ｘ１５が形成されている。この貫通孔Ｘ１４、Ｘ１５に、それぞれ、電気配線Ｘ６、Ｘ７のマイクロバルブＸ１側端が挿入される。

第２外層Ｘ１３は、表面に非導電性の酸化膜のある導電性の半導体部材である。第２外層Ｘ１３には、図４、図６、図７に示すように、表裏に貫通する第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７が形成されている。図７に示すように、第１オイル孔Ｘ１６はバルブケーシングＸ２の第１連通孔ＸＶ１に連通し、第２オイル孔Ｘ１７はバルブケーシングＸ２の第２連通孔ＸＶ２に連通する。第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７の各々の水力直径は、例えば０．１ｍｍ以上かつ３ｍｍ以下であるが、これに限定されない。

中間層Ｘ１２は、導電性の半導体部材である。中間層Ｘ１２は、第１外層Ｘ１１の酸化膜と第２外層Ｘ１３の酸化膜とに接触するので、第１外層Ｘ１１と第２外層Ｘ１３とも電気的に非導通である。中間層Ｘ１２は、図６に示すように、第１固定部Ｘ１２１、第２固定部Ｘ１２２、複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８を有している。

第１固定部Ｘ１２１は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定された部材である。第１固定部Ｘ１２１は、第２固定部Ｘ１２２、第１リブＸ１２３、第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８を同じ１つのオイル室Ｘ１９内に囲むように形成されている。オイル室Ｘ１９は、第１固定部Ｘ１２１、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３によって囲まれた室である。第１固定部Ｘ１２１、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３は、全体として基部に対応する。なお、電気配線Ｘ６、Ｘ７は複数の第１リブＸ１２３および複数の第２リブＸ１２４の温度を変化させて変位させるための電気配線である。

第１固定部Ｘ１２１の第１外層Ｘ１１および第２外層Ｘ１３に対する固定は、オイルがこのオイル室Ｘ１９から第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７以外を通ってマイクロバルブＸ１から漏出することを抑制するような形態で、行われている。

第２固定部Ｘ１２２は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定される。第２固定部Ｘ１２２は、第１固定部Ｘ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｘ１２１から離れて配置される。

複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５、アームＸ１２６、梁Ｘ１２７、可動部Ｘ１２８は、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して固定されておらず、第１外層Ｘ１１、第２外層Ｘ１３に対して変位可能である。

スパインＸ１２５は、中間層Ｘ１２の矩形形状の短手方向に伸びる細長い棒形状を有している。スパインＸ１２５の長手方向の一端は、梁Ｘ１２７に接続されている。

複数本の第１リブＸ１２３は、スパインＸ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＸ１２５の一方側に配置される。そして、複数本の第１リブＸ１２３は、スパインＸ１２５の長手方向に並んでいる。各第１リブＸ１２３は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

各第１リブＸ１２３は、その長手方向の一端で第１固定部Ｘ１２１に接続され、他端でスパインＸ１２５に接続される。そして、各第１リブＸ１２３は、第１固定部Ｘ１２１側からスパインＸ１２５側に近付くほど、スパインＸ１２５の長手方向の梁Ｘ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＸ１２５に対して斜行している。そして、複数の第１リブＸ１２３は、互いに対して平行に伸びている。

複数本の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＸ１２５の他方側に配置される。そして、複数本の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５の長手方向に並んでいる。各第２リブＸ１２４は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

各第２リブＸ１２４は、その長手方向の一端で第２固定部Ｘ１２２に接続され、他端でスパインＸ１２５に接続される。そして、各第２リブＸ１２４は、第２固定部Ｘ１２２側からスパインＸ１２５側に近付くほど、スパインＸ１２５の長手方向の梁Ｘ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＸ１２５に対して斜行している。そして、複数の第２リブＸ１２４は、互いに対して平行に伸びている。

複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４、スパインＸ１２５は、全体として、駆動部に対応する。

アームＸ１２６は、スパインＸ１２５と非直交かつ平行に伸びる細長い棒形状を有している。アームＸ１２６の長手方向の一端は梁Ｘ１２７に接続されており、他端は第１固定部Ｘ１２１に接続されている。

梁Ｘ１２７は、スパインＸ１２５およびアームＸ１２６に対して約９０°で交差する方向に伸びる細長い棒形状を有している。梁Ｘ１２７の一端は、可動部Ｘ１２８に接続されている。アームＸ１２６と梁Ｘ１２７は、全体として、増幅部に対応する。

アームＸ１２６と梁Ｘ１２７の接続位置ＸＰ１、スパインＸ１２５と梁Ｘ１２７の接続位置ＸＰ２、梁Ｘ１２７と可動部Ｘ１２８の接続位置ＸＰ３は、梁Ｘ１２７の長手方向に沿って、この順に並んでいる。そして、第１固定部Ｘ１２１とアームＸ１２６との接続点をヒンジＸＰ０とすると、中間層Ｘ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ３までの直線距離の方が、長い。

可動部Ｘ１２８は、その外形が、梁Ｘ１２７の長手方向に対して概ね９０°の方向に伸びる矩形形状を有している。この可動部Ｘ１２８は、オイル室Ｘ１９内において梁Ｘ１２７と一体に動くことができる。そして、可動部Ｘ１２８は、そのように動くことで、ある位置にいるときには第１オイル孔Ｘ１６と第２オイル孔Ｘ１７とをオイル室Ｘ１９を介して連通させ、また別の位置にいるときには第１オイル孔Ｘ１６と第２オイル孔Ｘ１７とをオイル室Ｘ１９内において遮断する。可動部Ｘ１２８は、中間層Ｘ１２の表裏に貫通する貫通孔Ｘ１２０を囲む枠形状となっている。したがって、貫通孔Ｘ１２０も、可動部Ｘ１２８と一体的に移動する。貫通孔Ｘ１２０は、オイル室Ｘ１９の一部である。

また、第１固定部Ｘ１２１のうち、複数の第１リブＸ１２３と接続する部分の近傍の第１印加点Ｘ１２９には、図４に示した第１外層Ｘ１１の貫通孔Ｘ１４を通った電気配線Ｘ６のマイクロバルブＸ１側端が接続される。また、第２固定部Ｘ１２２の第２印加点Ｘ１３０には、図４に示した第１外層Ｘ１１の貫通孔Ｘ１５を通った電気配線Ｘ７のマイクロバルブＸ１側端が接続される。

［バルブモジュールＸ０の作動］
ここで、バルブモジュールＸ０の作動について説明する。マイクロバルブＸ１への通電時は、電気配線Ｘ６、Ｘ７から第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０に電圧が印加される。すると、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４を電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４が発熱してそれらの温度が上昇する。その結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

このような、温度上昇に伴う熱的な膨張の結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５を接続位置ＸＰ２側に付勢する。付勢されたスパインＸ１２５は、接続位置ＸＰ２において、梁Ｘ１２７を押す。このように、接続位置ＸＰ２は付勢位置に対応する。その結果、梁Ｘ１２７とアームＸ１２６から成る部材は、ヒンジＸＰ０を支点として、接続位置ＸＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｘ１２７のアームＸ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｘ１２８も、その長手方向の、スパインＸ１２５が梁Ｘ１２７を押す側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｘ１２８は、図８、図９に示すように、移動方向の先端が第１固定部Ｘ１２１に当接する位置に到達する。以下、可動部Ｘ１２８のこの位置を通電時位置という。

このように、梁Ｘ１２７およびアームＸ１２６は、ヒンジＸＰ０を支点とし、接続位置ＸＰ２を力点とし、接続位置ＸＰ３を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｘ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＸＰ０から接続位置ＸＰ３までの直線距離の方が、長い。したがって、力点である接続位置ＸＰ２の移動量よりも、作用点である接続位置ＸＰ３の移動量の方が大きくなる。したがって、熱的な膨張による変位量が、梃子によって増幅されて可動部Ｘ１２８に伝わる。

図８、図９に示すように、可動部Ｘ１２８が通電時位置にある場合、貫通孔Ｘ１２０が中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７と重なる。その場合、第１オイル孔Ｘ１６と第２オイル孔Ｘ１７とがオイル室Ｘ１９の一部である貫通孔Ｘ１２０を介して連通する。この結果、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２との間で、第１オイル孔Ｘ１６、貫通孔Ｘ１２０、第２オイル孔Ｘ１７を介した、オイルの流通が可能となる。つまり、マイクロバルブＸ１が開弁する。

このときの、マイクロバルブＸ１におけるオイルの流路は、Ｕターン構造を有している。具体的には、オイルは、マイクロバルブＸ１の一方側の面からマイクロバルブＸ１内に流入し、マイクロバルブＸ１内を通って、マイクロバルブＸ１の同じ側の面からマイクロバルブＸ１外に流出する。そして、同様にバルブモジュールＸ０におけるオイルの流路も、Ｕターン構造を有している。具体的には、オイルは、バルブモジュールＸ０の一方側の面からバルブモジュールＸ０内に流入し、バルブモジュールＸ０内を通って、バルブモジュールＸ０の同じ側の面からバルブモジュールＸ０外に流出する。なお、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向は、第１外層Ｘ１１、中間層Ｘ１２、第２外層Ｘ１３の積層方向である。

また、マイクロバルブＸ１への非通電時は、電気配線Ｘ６、Ｘ７から第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。

このような、温度低下に伴う熱的な収縮の結果、複数の第１リブＸ１２３、複数の第２リブＸ１２４は、スパインＸ１２５を接続位置ＸＰ２とは反対側に付勢する。付勢されたスパインＸ１２５は、接続位置ＸＰ２において、梁Ｘ１２７を引っ張る。その結果、梁Ｘ１２７とアームＸ１２６から成る部材は、ヒンジＸＰ０を支点として、接続位置ＸＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｘ１２７のアームＸ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｘ１２８も、その長手方向の、スパインＸ１２５が梁Ｘ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｘ１２８は、図６、図７に示すように、第１固定部Ｘ１２１に当接しない位置に到達する。以下、可動部Ｘ１２８のこの位置を非通電時位置という。

図６、図７に示すように、可動部Ｘ１２８が非通電時位置にある場合、貫通孔Ｘ１２０は、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に第１オイル孔Ｘ１６と重なるが、当該方向に第２オイル孔Ｘ１７とは重ならない。第２オイル孔Ｘ１７は、中間層Ｘ１２の板面に直交する方向に可動部Ｘ１２８と重なる。つまり、第２オイル孔Ｘ１７は、可動部Ｘ１２８によって塞がれる。この場合、第１オイル孔Ｘ１６と第２オイル孔Ｘ１７とがオイル室Ｘ１９内において遮断される。この結果、第１連通孔ＸＶ１と第２連通孔ＸＶ２との間で、第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７を介したオイルの流通は阻害される。つまり、マイクロバルブＸ１が閉弁する。

次に、アキュムレータ１２の作動について説明する。

図２中の矢印Ｒ０のように、冷媒は、冷媒流入孔１０７からタンク１０１の内部に流入した後、気液分離部材１０４に衝突して液相冷媒と気相冷媒とに分離される。分離された液相冷媒および冷媒中に含まれていたオイルは、矢印Ｒ１のように、そのまま直進下降してタンク１０１の内部に貯留される。その後、液相冷媒とオイルとの分離が進む。図２に示すように、液相冷媒Ｒ１ａの下方にオイルＲ１ｂが溜まる。すなわち、オイルは、タンク１０１の底部側に部分に溜まる。

一方、分離された気相冷媒は、図２中の矢印Ｒ２のように、タンク１０１の内部を流れる。すなわち、気相冷媒は、アウターパイプ１０３の上端からアウターパイプ１０３の内部に流入する。気相冷媒は、アウターパイプ１０３の内周面とインナーパイプ１０２の外周面との間を下降する。下降した気相冷媒は、インナーパイプ１０２の下端１０２ａからインナーパイプ１０２の内部に流入し、インナーパイプ１０２の内部を上昇する。上昇した気相冷媒は、冷媒流出孔１０８から流出し、圧縮機１４に吸入される。

タンク１０１の底部側に溜まったオイルは、図３中の矢印Ｏ１のように、外側空間１１３、仕切壁孔１１５、内側空間１１２を通過して、底部連通孔１１０からアウターパイプ１０３の内部に吸引される。このオイルの流れは、図２中の矢印Ｒ２に示される気相冷媒の流れによって形成される。したがって、底部連通孔１１０は、気相冷媒の流れによってオイルが吸引されるオイル吸引部に対応する。このとき、フィルタ１１４によって異物のアウターパイプ１０３の内部への侵入が阻止される。オイルは、気相冷媒とともに、冷媒流出孔１０８から流出し、圧縮機１４に戻される。

マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、図３中の矢印Ｏ１のオイル流れに加えて、図３中の矢印Ｏ２のオイル流れが形成される。すなわち、オイルは、外側空間１１３、第２連通孔ＸＶ２、マイクロバルブＸ１、第１連通孔ＸＶ１、内側空間１１２を順に流れる。マイクロバルブＸ１を通過したオイルは、内側空間１１２で、仕切壁孔１１５を通過したオイルに合流する。一方、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、図３中の矢印Ｏ２のオイル流れは、形成されない。

本実施形態では、マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、矢印Ｏ１、矢印Ｏ２のようにオイルが流れる。このため、外側空間１１３、仕切壁孔１１５、内側空間１１２、底部連通孔１１０、第２連通孔ＸＶ２および第１連通孔ＸＶ１が、全体として、貯油室から圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路に対応する。また、アウターパイプ１０３の底部１０３ａ、タンク本体部１０５の底部１０５ａおよび仕切壁１１１は、内側空間１１２、外側空間１１３を形成する。アウターパイプ１０３の底部１０３ａは、底部連通孔１１０を形成する。仕切壁１１１は、仕切壁孔１１５を形成する。バルブケーシングＸ２は、第１連通孔ＸＶ１、第２連通孔ＸＶ２を形成する。このため、アウターパイプ１０３の底部１０３ａ、タンク本体部１０５の底部１０５ａ、仕切壁１１１およびバルブケーシングＸ２が、全体として、オイル流路を形成する流路形成部に対応する。

また、マイクロバルブＸ１は、バルブケーシングＸ２に設けられている。このため、弁部品は、オイル流路を形成する流路形成部に設けられている。マイクロバルブＸ１の第１オイル孔Ｘ１６は、バルブケーシングＸ２の第１連通孔ＸＶ１に連通している。このため、第１オイル孔Ｘ１６は、オイル流路の一部に連通している。マイクロバルブＸ１の第２オイル孔Ｘ１７は、バルブケーシングＸ２の第２連通孔ＸＶ２に連通している。このため、第２オイル孔Ｘ１７は、オイル流路の他の一部に連通している。

次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態によれば、弁機構として、マイクロバルブＸ１が用いられている。マイクロバルブＸ１は、従来の電磁弁と比べて容易に小型化できる。その理由の１つは、マイクロバルブＸ１が上述の通り半導体チップにより形成されているということである。また、上述の通り、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅されることも、そのような梃子を利用しない電磁弁と比べた小型化に寄与する。

また、本実施形態と異なり、アキュムレータ１２がマイクロバルブＸ１を備えていない場合、オイルは、オイル戻し孔である仕切壁孔１１５を通過して、アウターパイプ１０３の内部に吸引される。このとき、仕切壁孔１１５の大きさは固定されている。このとき、仕切壁孔１１５を通過するオイルの流量は、アウターパイプ１０３およびインナーパイプ１０２を流れる気相冷媒の流速によって決まる。したがって、サイクル全体を流れる冷媒の流量が少なく、気相冷媒の流速が遅い場合、仕切壁孔１１５を通過するオイルの流量は少ない。圧縮機１４の摺動部に戻されるオイルの流量であるオイル戻し量は、少ない。オイル戻し量が少ない状態が続くと、圧縮機１４が故障する。

これに対して、本実施形態では、アキュムレータ１２は、マイクロバルブＸ１を備えている。上述の通り、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、オイルは仕切壁孔１１５を通過し、マイクロバルブＸ１を通過しない。マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、オイルは仕切壁孔１１５とマイクロバルブＸ１との両方を通過する。このため、図１０に示すように、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、アウターパイプ１０３の内部に流入するオイルの流量は、０よりも多い第１流量Ａ１である。マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、アウターパイプ１０３の内部に流入するオイルの流量は、第１流量Ａ１よりも多い第２流量Ａ２である。このように、マイクロバルブＸ１の開閉が切り替わることで、オイルの流量を第１流量Ａ１と第２流量Ａ２との二段階で調整することができる。

そこで、サイクル中の冷媒の流量が所定量よりも多い場合、マイクロバルブＸ１は閉弁する。サイクル中の冷媒の流量が所定量よりも多い場合とは、例えば、圧縮機１４の回転数が所定の回転数よりも大きい場合である。サイクル中の冷媒の流量が所定量よりも少ない場合、マイクロバルブＸ１は開弁する。サイクル中の冷媒の流量が所定量よりも少ない場合とは、例えば、圧縮機１４の回転数が所定の回転数よりも小さい場合である。マイクロバルブＸ１が開弁することで、閉弁時と比較して、オイル戻し量を増大させることができる。これにより、圧縮機１４の故障を回避することができる。

このように、本実施形態によれば、アキュムレータ１２の体格の増大を抑制しつつ、オイル戻し量の調整をすることができる。

（第２実施形態）
本実施形態では、マイクロバルブＸ１の流路開度が任意の大きさに変更可能となっている。それ以外のアキュムレータ１２およびそれを含む冷凍サイクル装置１０の構成は、第１実施形態と同じである。

具体的には、本実施形態では、図８中の第１印加点Ｘ１２９、第２印加点Ｘ１３０に印加される電圧がＰＷＭ制御される。ＰＷＭ制御は、通電と非通電とを繰り返し切り替える制御である。このとき、Duty比が大きいほど、供給される電力が大きい。Duty比は、ある期間に占める通電時間の割合である。電力が大きいほど、温度が高くなり、熱膨張量が大きくなる。このため、Duty比が大きいほど、非通電時に対する通電時の移動量が大きくなる。よって、ＰＷＭ制御により、可動部Ｘ１２８の位置を全閉位置から全開位置の間で連続的に変更することができる。

このため、マイクロバルブＸ１は、Duty比を０％から１００％までの間で連続的に変更することで、図１１に示すように、流路の開度を０％から１００％までの間で直線的に変更することができる。流路の開度が０％よりも大きいときの流路断面積は、冷媒を減圧させる大きさである。マイクロバルブＸ１の流路開度を任意の大きさに変更することで、アウターパイプ１０３に流入するオイルの流量を、第１流量Ａ１と第２流量Ａ２との間の任意の大きさに調整することができる。

ここで、本実施形態と異なり、アキュムレータ１２がマイクロバルブＸ１を備えていない場合、オイルは、仕切壁孔１１５を通過して、アウターパイプ１０３の内部に吸引される。このとき、仕切壁孔１１５の大きさは固定されている。このため、オイル戻し量を所望の量に調整することができない。このため、圧縮機１４の回転数が変動すると、圧縮機１４の効率を高くするための最適なオイルレートに維持することができない。オイルレートは、冷媒全体に対するオイルの割合である。

これに対して、本実施形態によれば、上述の通り、マイクロバルブＸ１の開度を変更することで、オイル戻し量を第１流量Ａ１と第２流量Ａ２との間の任意の大きさに調整することができる。このため、圧縮機の回転数に応じた最適なオイル戻り量となるように、圧縮機の回転数に基づいて、マイクロバルブＸ１の開度が制御される。この最適なオイル戻り量は、圧縮機の回転数に応じた最適なオイルレートとなるように、設定されるオイル戻し量である。これにより、圧縮機の回転数が変動しても、最適な量でオイルを戻すことができ、最適なオイルレートを維持することができる。

なお、本実施形態では、仕切壁１１１に仕切壁孔１１５が形成されている。しかし、仕切壁１１１に仕切壁孔１１５が形成されていなくてもよい。この場合、マイクロバルブＸ１の開度を変更することで、オイル戻し量をゼロと最大値との間で任意の大きさに調整することができる。

（第３実施形態）
図１２に示すように、本実施形態では、本発明のオイル戻し装置がオイルセパレータ１５に適用されている。オイルセパレータ１５は、圧縮機１４から吐出された冷媒に含まれるオイルを分離し、分離したオイルを圧縮機１４の摺動部に戻す。本実施形態では、オイルセパレータ１５は、圧縮機１４と一体のものとして構成されている。

圧縮機１４は、ハウジング２０１と、電動機部２０２と、圧縮機構部２０３とを備える。ハウジング２０１は、密閉容器である。ハウジング２０１は、電動機部２０２と、圧縮機構部２０３とを収容する。ハウジング２０１の内部には、吐出室２０４と、貯油室２０５とが形成されている。電動機部２０２は、圧縮機構部２０３の回転軸２０６を回転させる。圧縮機構部２０３は、回転軸２０６の回転によって冷媒を圧縮し、圧縮した冷媒を吐出室２０４に吐出する。本実施形態の圧縮機構部２０３は、スクロール式であるが、斜板式等の他の種類であってもよい。

ハウジング２０１は、円筒状の第１ハウジング２１１と、第１ハウジング２１１の一端側に接合された有底円筒状の第２ハウジング２１２と、第１ハウジング２１１の他端側に接合された有底円筒状の第３ハウジング２１３と、第３ハウジング２１３の端部の内周面に接合された第４ハウジング２１４とを含む。第１ハウジング２１１と、第２ハウジング２１２と、第３ハウジング２１３とによって囲まれた空間が、電動機部２０２および圧縮機構部２０３を収容する収容室である。第３ハウジング２１３と第４ハウジング２１４とによって囲まれた空間が貯油室２０５である。

圧縮機構部２０３は、可動スクロール２２１と、固定スクロール２２２と、回転軸２０６とを含む。可動スクロール２２１は、ハウジング２０１に対して固定されていない。可動スクロール２２１は、クランク機構を介して、回転軸２０６と連結されている。固定スクロール２２２は、ハウジング２０１に対して固定されている。固定スクロール２２２は、回転軸２０６の軸方向で可動スクロール２２１に対向して配置されている。回転軸２０６は、ハウジング２０１に固定された主軸受２２４と副軸受２２５とによって支持されている。

可動スクロール２２１は、回転軸２０６が回転すると、クランク機構によって公転する。可動スクロール２２１と固定スクロール２２２とは、それぞれ、渦巻き状の溝を有している。これらの溝の噛み合いによって形成される複数の作動室２２６が体積を縮小させる。これにより、作動室２２６に供給された冷媒が圧縮される。

固定スクロール２２２に対して可動スクロール２２１側の反対側に、吐出室２０４が形成されている。吐出室２０４は、吐出口２２７を介して、作動室２２６に連通している。作動室２２６で圧縮された冷媒は、吐出室２０４に吐出される。

また、固定スクロール２２２には、オイル戻し通路２２８が形成されている。オイル戻し通路２２８は、可動スクロール２２１と固定スクロール２２２との摺動界面に連通している。可動スクロール２２１には、オイル供給通路２２９が形成されている。回転軸２０６の内部には、オイル供給通路２３０が形成されている。オイル供給通路２２９、２３０は、オイル戻し通路２２８に連通している。

圧縮機１４は、第１筒体２３１と、第２筒体２３２と、冷媒吐出管２３３と、オイル輸送管２３４と、流量調整部２３５とをさらに備える。本実施形態では、第１筒体２３１と、第２筒体２３２と、冷媒吐出管２３３と、オイル輸送管２３４と、流量調整部２３５と、第３ハウジング２１３と、第４ハウジング２１４とが、オイルセパレータ１５を構成している。

第１筒体２３１は、上端が開口し下端に底を有する円筒形状である。第２筒体２３２は、上端と下端とが開口する円筒形状である。第２筒体２３２は、外径が大きい大径部と、大径部よりも外径が小さい小径部とを有する。小径部は、大径部の下側に位置する。第２筒体２３２は、第１筒体２３１の内部に、第１筒体２３１に対して同心状に配置されている。第２筒体２３２の大径部は、第１筒体２３１の上端部に固定されている。第１筒体２３１の周壁部２３１ａのうち第２筒体２３２の小径部に対向する位置に、冷媒流入口２３１ｂが形成されている。第２筒体２３２の上端には、図１に示す放熱器１６の冷媒流入口側が接続されている。

冷媒吐出管２３３の一端側は、吐出室２０４に接続されている。冷媒吐出管２３３の他端側は、冷媒流入口２３１ｂに接続されている。冷媒吐出管２３３を介して、吐出室２０４から冷媒流入口２３１ｂへ冷媒が流れる。

第１筒体２３１の下端側の部分は、第３ハウジング２１３の上部を貫通し、貯油室２０５に位置している。第１筒体２３１の周壁部２３１ａのうち貯油室２０５に位置する部分に、オイル出口２３１ｃが形成されている。

貯油室２０５は、オイル出口２３１ｃから流出したオイルを貯える。すなわち、貯油室２０５は、冷媒から分離されたオイルを貯える。貯油室２０５には、磁石２３６が配置されている。磁石２３６は、オイル出口２３１ｃから磁石２３６へオイルが落下する位置に配置されている。磁石２３６は、第３ハウジング２１３に固定された取付金具２３７に取り付けられている。

オイル輸送管２３４は、貯油室２０５から圧縮機１４の摺動部に向けてオイルが流れる流路を内部に形成する。オイル輸送管２３４の一端側は、第３ハウジング２１３の底部に設けられたオイル輸送口２１３ａに接続されている。オイル輸送管２３４の他端側は、第１ハウジング２１１に設けられたオイル戻し口２１１ａに接続されている。オイル戻し口２１１ａは、オイル戻し通路２２８に連通している。オイル輸送管２３４を介して、貯油室２０５とオイル戻し通路２２８とが連通している。

流量調整部２３５は、オイル輸送管２３４の途中に設けられている。流量調整部２３５は、オイル輸送管２３４の内部の流路を流れるオイルの流量を調整する。

図１３に示すように、流量調整部２３５は、バルブモジュールＸ０と、ブロック体２４０とを有する。バルブモジュールＸ０は、ブロック体２４０に接続されている。バルブモジュールＸ０の構成は、第１実施形態と同じである。オイル輸送管２３４は、第１配管２３４ａと、第２配管２３４ｂとを含む。第１配管２３４ａの内部の流路２３４ｃは、貯油室２０５に連通している。第２配管２３４ｂの内部の流路２３４ｄは、オイル戻し通路２２８に連通している。

ブロック体２４０は、バルブモジュールＸ０と、第１配管２３４ａと、第２配管２３４ｂとを接続する接続部材である。ブロック体２４０の内部には、第１流路２４１と第２流路２４２と第３流路２４３とが形成されている。ブロック体２４０の内部では、第３流路２４３を介して、第１流路２４１と第２流路２４２とが連通している。第３流路２４３は、第１流路２４１と第２流路２４２とのそれぞれよりも流路断面積が小さな流路である。第１流路２４１に第１配管２３４ａが接続されている。第２流路２４２に第２配管２３４ｂが接続されている。

ブロック体２４０には、第１流路２４１に連通する第１開口部２４１ａと、第２流路２４２に連通する第２開口部２４２ａとが形成されている。第２開口部２４２ａは、第１開口部２４１ａの隣りに配置されている。第１開口部２４１ａ、第２開口部２４２ａのそれぞれに、バルブモジュールＸ０の第１突出部Ｘ２１、第２突出部Ｘ２２が挿入されている。これにより、第１配管２３４ａの内部の流路２３４ｃは、第１連通孔ＸＶ１と連通している。第２配管２３４ｂの内部の流路２３４ｄは、第２連通孔ＸＶ２と連通している。

次に、圧縮機１４およびオイルセパレータ１５の作動について説明する。

作動室２２６で圧縮された冷媒は、吐出口２２７を介して、吐出室２０４に流入する。吐出室２０４に流入した冷媒は、冷媒吐出管２３３を流れ、冷媒流入口２３１ｂから第１筒体２３１の内部に流入する。流入した冷媒は、第１筒体２３１の内周面と第２筒体の２３２の外周面との間の空間に、旋回流を形成する。旋回流の遠心力によって冷媒に混入しているオイルおよび異物が分離される。したがって、第１筒体２３１、第２筒体２３２および冷媒流入口２３１ｂは、全体として、冷媒からオイル部を分離する分離部に対応する。オイルが分離された冷媒は、第２筒体２３２から流出し、放熱器１６へ向かって流れる。

分離されたオイルおよび異物は、第１筒体２３１の内壁を伝って流下する。オイルおよび異物は、オイル出口２３１ｃから落下して、貯油室２０５に流入する。このとき、オイルおよび異物は、磁石２３６に上面に落下する。これにより、オイルに含まれている金属の異物が磁石２３６に吸着される。金属の異物が除去されたオイルは、貯油室２０５に貯えられる。

貯油室２０５に貯えられたオイルは、オイル輸送管２３４および流量調整部２３５を介して、オイル戻し通路２２８に流入する。具体的には、図１３に示すように、流量調整部２３５の内部では、図１３中の矢印Ｏ３のオイル流れが形成される。すなわち、貯油室２０５に貯えられたオイルは、第１配管２３４ａの内部の流路２３４ｃ、第１流路２４１、第３流路２４３、第２流路２４２、第２配管２３４ｂの内部の流路２３４ｄの順に流れる。

マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、図１３中の矢印Ｏ３のオイル流れに加えて、図１３中の矢印Ｏ４のオイル流れが形成される。すなわち、オイルは、第１流路２４１、第１連通孔ＸＶ１、マイクロバルブＸ１、第２連通孔ＸＶ２、第２流路２４２を順に流れる。換言すると、オイルは、第３流路２４３を迂回して流れる。マイクロバルブＸ１を通過したオイルは、第３流路２４３を通過したオイルに合流する。一方、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、図１３中の矢印Ｏ４のオイル流れは形成されない。なお、貯油室２０５からオイル戻し通路２２８に向かうオイルの流れは、貯油室２０５とハウジング２０１の収容室との間の圧力差によって形成される。

オイル戻し通路２２８を流れるオイルは、可動スクロール２２１と固定スクロール２２２との摺動界面に供給される。さらに、オイル戻し通路２２８から流出したオイルは、オイル供給通路２２９、２３０を流れる。これにより、主軸受２２４、副軸受２２５等にオイルが供給される。

このように、圧縮機１４から吐出された冷媒に含まれるオイルは、オイルセパレータ１５で分離される。分離されたオイルは、可動スクロール２２１と固定スクロール２２２との摺動界面、主軸受２２４、副軸受２２５等の圧縮機構部２０３の摺動部に戻される。

本実施形態では、マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、矢印Ｏ３、矢印Ｏ４のようにオイルが流れる。このため、第１配管２３４ａの内部の流路２３４ｃ、第１流路２４１、第３流路２４３、第２流路２４２、第２配管２３４ｂの内部の流路２３４ｄ、第１連通孔ＸＶ１および第２連通孔ＸＶ２が、全体として、貯油室から圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路に対応する。また、第１配管２３４ａは、流路２３４ｃを形成する。第２配管２３４ｂは、流路２３４ｄを形成する。ブロック体２４０は、第１流路２４１、第３流路２４３、第２流路２４２を形成する。バルブケーシングＸ２は、第１連通孔ＸＶ１、第２連通孔ＸＶ２を形成する。このため、第１配管２３４ａ、第２配管２３４ｂ、ブロック体２４０およびバルブケーシングＸ２は、全体として、オイル流路を形成する流路形成部に対応する。また、マイクロバルブＸ１は、バルブケーシングＸ２に設けられている。このため、弁部品は、オイル流路を形成する流路形成部に設けられている。

次に、本実施形態の特徴について説明する。本実施形態では、オイルの流量を調整する弁機構として、第１実施形態と同様に、マイクロバルブＸ１が用いられている。第１実施形態での説明の通り、従来の電磁弁と比べてマイクロバルブＸ１の小型化が可能である。

また、本実施形態と異なり、オイルセパレータ１５がマイクロバルブＸ１を備えていない場合、オイルは、第３流路２４３を通過して、アウターパイプ１０３の内部に吸引される。第３流路２４３の大きさは固定されている。このため、第３流路２４３を通過するオイルの流量は、一定である。圧縮機１４の回転数が高く、圧縮機１４から吐出される冷媒の流量が多いとき、貯油室２０５から圧縮機１４の内部へのオイル戻しが間に合わず、貯油室２０５からオイルがあふれることがある。あふれたオイルは、冷媒とともに放熱器１６等に流入する。このため、圧縮機１４の内部のオイルが不足する。

これに対して、本実施形態では、オイルセパレータ１５は、マイクロバルブＸ１を含む流量調整部２３５を備えている。上述の通り、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、オイルは第３流路２４３を通過し、マイクロバルブＸ１を通過しない。マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、オイルは第３流路２４３とマイクロバルブＸ１との両方を通過する。このため、図１０に示すように、マイクロバルブＸ１が閉弁しているとき、流量調整部２３５から流出するオイルの流量は、第１流量Ａ１である。マイクロバルブＸ１が開弁しているとき、流量調整部２３５から流出するオイルの流量は、第２流量Ａ２である。このように、マイクロバルブＸ１の開閉が切り替わることで、オイルの流量を第１流量Ａ１と第２流量Ａ２との二段階で調整することができる。

そこで、本実施形態では、圧縮機１４の回転数が所定値よりも低い場合、マイクロバルブＸ１は閉弁する。圧縮機１４の回転数が所定値よりも高い場合、マイクロバルブＸ１は開弁する。これにより、貯油室２０５に溜まっているオイルがあふれることを回避できる。

（第４実施形態）
第３実施形態では、流量調整部２３５のブロック体２４０に、第３流路２４３が形成されている。本実施形態では、第３実施形態と異なり、図１４に示すように、ブロック体２４０に、第３流路２４３が形成されていない。第１流路２４１と第２流路２４２とのそれぞれは、マイクロバルブＸ１の流路に連通している。

さらに、本実施形態では、第３実施形態と異なり、マイクロバルブＸ１の流路開度が任意の大きさに変更可能となっている。マイクロバルブＸ１の流路開度を任意の大きさに変更する方法は、第２実施形態と同じである。これら以外のオイルセパレータ１５の構成は、第３実施形態と同じである。

ここで、本実施形態と異なり、オイルセパレータ１５が流量調整部２３５を備えていない場合、オイル戻し量を所望の量に調整することができない。このため、圧縮機１４の回転数の変動したときに、最適なオイルレートに維持することができない。

これに対して、本実施形態によれば、マイクロバルブＸ１の開度を変更することで、第２実施形態と同様に、図１１に示すように、オイル戻し量を第１流量Ａ１と第２流量Ａ２との間の任意の大きさに調整することができる。このため、圧縮機１４の回転数に応じた最適なオイル戻り量となるように、圧縮機１４の回転数に基づいて、マイクロバルブＸ１の開度が制御される。これにより、圧縮機１４の回転数が変動しても、最適な量でオイルを戻すことができ、最適なオイルレートを維持することができる。

（第５実施形態）
本実施形態は、第１実施形態のマイクロバルブＸ１が、故障検知機能を有するよう変更されている。具体的には、マイクロバルブＸ１は、第１実施形態と同じ構成に加え、図１５、図１６に示すように、故障検知部Ｘ５０を備えている。

故障検知部Ｘ５０は、中間層Ｘ１２のアームＸ１２６に形成されたブリッジ回路を含む。ブリッジ回路は、図１６のように接続された４つのゲージ抵抗を含んでいる。つまり、故障検知部Ｘ５０は、ダイヤフラムに相当するアームＸ１２６の歪みに応じて抵抗が変化するブリッジ回路である。つまり、故障検知部Ｘ５０は半導体ピエゾ抵抗式の歪みセンサである。故障検知部Ｘ５０は、電気的絶縁膜を介して、アームＸ１２６と導通しないように、アームＸ１２６に接続されていてもよい。

このブリッジ回路の対角にある２つの入力端子に配線Ｘ５１、Ｘ５２が接続される。そして、配線Ｘ５１、Ｘ５２から当該入力端子に、定電流発生用の電圧が印加される。この配線Ｘ５１、Ｘ５２は、電気配線Ｘ６、Ｘ７を介してマイクロバルブＸ１に印加される電圧（すなわち、マイクロバルブ駆動電圧）から分岐して上記２つの入力端子まで伸びている。

また、このブリッジ回路の別の対角にある２つの出力端子に、配線Ｘ５３、Ｘ５４が接続される。そして、アームＸ１２６の歪み量に応じたレベルの電圧信号が配線Ｘ５３、Ｘ５４から出力される。この電圧信号は、後述する通り、マイクロバルブＸ１が正常に作動しているか否かを判別するための情報として使用される。配線Ｘ５３、Ｘ５４から出力される電圧信号は、マイクロバルブＸ１の外部にある制御装置Ｘ５５に入力される。

この制御装置Ｘ５５は、例えば、車両用空調装置において圧縮機、送風機、エアミックスドア、内外気切替ドア等の作動を制御するエアコンＥＣＵであってもよい。あるいは、この制御装置Ｘ５５は、車両において、車速、燃料残量、電池残量等を表示するメータＥＣＵであってもよい。

アームＸ１２６の歪み量に応じた電圧信号を制御装置Ｘ５５が配線Ｘ５３、Ｘ５４を介して取得すると、制御装置Ｘ５５は、当該電圧信号に応じて、マイクロバルブＸ１の故障の有無を検知する。検知対象の故障としては、例えば、アームＸ１２６が折れる故障、可動部Ｘ１２８と第１外層Ｘ１１または第２外層Ｘ１３との間に微小な異物が挟まって可動部Ｘ１２８が動かなくなる故障、等がある。

複数本の第１リブＸ１２３および複数本の第２リブＸ１２４の伸縮に応じて、梁Ｘ１２７および可動部Ｘ１２８が変位する際、アームＸ１２６の歪み量が変化する。したがって、アームＸ１２６の歪み量に応じた電圧信号から、可動部Ｘ１２８の位置を推定できる。一方、マイクロバルブＸ１が正常であれば、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電量と可動部Ｘ１２８の位置との間にも相関関係がある。この通電量は、マイクロバルブＸ１を制御するための制御量である。

制御装置Ｘ５５は、このことを利用して、マイクロバルブＸ１の故障の有無を検知する。つまり、制御装置Ｘ５５は、配線Ｘ５３、Ｘ５４からの電圧信号から、あらかじめ定められた第１マップに基づいて、可動部Ｘ１２８の位置を算出する。そして、あらかじめ定められた第２マップに基づいて、可動部Ｘ１２８の位置から、正常時において当該位置を実現するために必要な電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への供給電力を算出する。これら第１マップ、第２マップは、制御装置Ｘ５５の不揮発性メモリに記録されている。不揮発性メモリは、非遷移的実体的記憶媒体である。第１マップにおける電圧信号のレベルと位置との対応関係は、あらかじめ実験等によって定められてもよい。また、第２マップにおける位置と供給電力との対応関係も、あらかじめ実験等によって定められてもよい。

そして、制御装置Ｘ５５は、算出された電力と、実際に電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１へ供給されている電力とを比較する。そして、制御装置Ｘ５５は、前者の電力と後者の電力の差の絶対値が許容値を超えていれば、マイクロバルブＸ１が故障していると判定し、許容値を超えていなければ、マイクロバルブＸ１が正常であると判定する。そして、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１が故障していると判定した場合に、所定の故障報知制御を行う。

制御装置Ｘ５５は、この故障報知制御においては、車内の人に報知を行う報知装置Ｘ５６を作動させる。例えば、制御装置Ｘ５５は、警告ランプを点灯させてもよい。また、制御装置Ｘ５５は、画像表示装置に、マイクロバルブＸ１に故障が発生したことを示す画像を表示させてもよい。これによって、車両の乗員は、マイクロバルブＸ１の故障に気付くことができる。

また、制御装置Ｘ５５は、この故障報知制御においては、車両内の記憶装置に、マイクロバルブＸ１に故障が発生したことを示す情報を記録してもよい。この記憶装置は、非遷移的実体的記憶媒体である。これにより、マイクロバルブＸ１の故障を記録に残すことができる。

また、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１が故障していると判定した場合は、通電停止制御を行う。通電停止制御では、制御装置Ｘ５５は、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電を停止させる。このように、マイクロバルブＸ１の故障時にマイクロバルブＸ１への通電を停止することで、マイクロバルブＸ１の故障時の安全性を高めることができる。

以上のように、故障検知部Ｘ５０が、マイクロバルブＸ１が正常に作動しているか否かを判別するための電圧信号を出力することで、制御装置Ｘ５５は、マイクロバルブＸ１の故障の有無を容易に判別することができる。

また、この電圧信号は、アームＸ１２６の歪み量に応じた信号である。したがって、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電量とこの電圧信号との関係に基づいて、マイクロバルブＸ１の故障の有無を容易に判別することができる。

なお、本実施形態では、ブリッジ回路を構成する抵抗の変化に基づいてマイクロバルブＸ１が故障しているか否かが判定されている。しかし、他の方法として、静電容量の変化に基づいてマイクロバルブＸ１が故障しているか否かが判定されてもよい。この場合、ブリッジ回路の代わりに容量成分を形成する複数の電極がアームＸ１２６に形成される。アームＸ１２６の歪み量と複数の電極間の静電容量の間は相関関係がある。したがって、制御装置は、この複数の電極間の静電容量の変化に基づいて、マイクロバルブＸ１が故障しているか否かを判定できる。

（他の実施形態）
（１）第１、第２実施形態では、オイルを貯える貯油室から圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路は、タンク１０１の内部に形成されている。しかし、オイル流路は、タンク１０１の外部に形成されていてもよい。

（２）第３、第４実施形態では、貯油室２０５は、第１筒体２３１等によって構成される分離部とは別に形成されている。しかし、貯油室２０５は、分離部の一部として形成されていてもよい。

（３）第３、第４実施形態では、オイル流路は、ハウジング２０１の外側に接続されたオイル輸送管２３４に形成されている。しかし、オイル流路はハウジング２０１の内部に形成されていてもよい。

（４）第３、第４実施形態では、オイルセパレータ１５は、圧縮機１４と一体のものとして構成されている。しかし、オイルセパレータ１５は、圧縮機１４に対して別体として構成されていてもよい。

（５）上記各実施形態では、複数本の第１リブＸ１２３、複数本の第２リブＸ１２４は、半導体材料で構成されている。しかし、これらの部材は、通電されることで発熱し、その発熱によって自らの温度が上昇することで膨張する金属材料等の他の材料から構成されていてもよい。また、これらの部材は、温度が変化すると、変形する形状記憶材料から構成されていてもよい。この場合、駆動部は、その熱的な変形によって変位する。

（６）第１実施形態等では、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電が停止したとき、マイクロバルブＸ１は閉弁状態となる。しかし、必ずしもこのようになっておらずともよい。例えば、電気配線Ｘ６、Ｘ７からマイクロバルブＸ１への通電が停止したとき、マイクロバルブＸ１は開弁状態となってもよい。

（７）マイクロバルブＸ１の形状やサイズは、上記実施形態で示したものに限られない。マイクロバルブＸ１は、極微少流量制御可能で、かつ、流路内に存在する微小ゴミを詰まらせないような水力直径の第１オイル孔Ｘ１６、第２オイル孔Ｘ１７を有していればよい。

（８）本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能であり、様々な変形例や均等範囲内の変形をも包含する。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の材質、形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の材質、形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その材質、形状、位置関係等に限定されるものではない。

（まとめ）
上記各実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、冷凍サイクル装置の圧縮機へオイルを戻すオイル戻し装置は、オイルを貯える貯油室から圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路を形成する流路形成部と、流路形成部に設けられ、オイル流路を流れるオイルの流量を調整する弁部品とを備える。弁部品は、オイルが流通するオイル室、オイル室に連通する第１オイル孔、およびオイル室に連通する第２オイル孔が形成される基部と、自らの温度が変化すると変位する駆動部と、駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部と、増幅部によって増幅された変位が伝達されてオイル室内で動くことで、オイル室を介した第１オイル孔と第２オイル孔との間の連通、遮断を切り替える可動部と、を有する。駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置で増幅部が可動部を付勢する。ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長い。

また、第２の観点によれば、オイル戻し装置は、冷凍サイクル装置の蒸発器と圧縮機の冷媒吸引側との間に設置され、圧縮機に吸引される冷媒を液相冷媒と気相冷媒とに分離するアキュムレータに適用される。第２の観点のように、第１の観点のオイル戻し装置をアキュムレータに適用することができる。

また、第３の観点によれば、オイル戻し装置は、圧縮機から吐出される冷媒に含まれるオイルを分離し、分離したオイルを圧縮機に戻すオイルセパレータに適用される。第３の観点のように、第１の観点のオイル戻し装置を、オイルセパレータに適用することができる。

また、第４の観点によれば、弁部品は、当該弁部品が正常に作動しているか故障しているかを判別するための信号を出力する故障検知部を備えている。弁部品がこのような信号を出力することで、弁部品の故障の有無を容易に判別できる。

また、第５の観点によれば、信号は、増幅部の歪み量に応じた信号である。このようになっていることで、この信号と弁部品を制御するための制御量との関係に基づいて、弁装置の故障の有無を判別することができる。

また、第６の観点によれば、駆動部は、通電されることで発熱する。故障検知部は、弁部品が故障している場合に弁部品に対する通電を停止する装置に、信号を出力する。このように、弁部品の故障時に通電を停止することで、故障時の安全性を高めることができる。

また、第７の観点によれば、故障検知部は、弁部品が故障している場合に、人に報知を行う報知装置を作動させる装置に、信号を出力する。これにより、人は、弁部品の故障を知ることができる。

また、第８の観点によれば、弁部品は、半導体チップによって構成されている。したがって、弁部品を小型に構成することができる。

１２ アキュムレータ
１０１ａ タンクの内部の空間
１０３ａ アウターパイプの底部
１０５ａ タンク本体部の底部
１１１ 仕切壁
Ｘ１ マイクロバルブ

Claims (8)

1. 冷凍サイクル装置の圧縮機へオイルを戻すオイル戻し装置であって、
   オイルを貯える貯油室（１０１ａ、２０５）から前記圧縮機の摺動部に向かってオイルが流れるオイル流路（１１０、１１２、１１３、１１５、ＸＶ１、ＸＶ２、２３４ｃ、２３４ｄ、２４１、２４２、２４３）を形成する流路形成部（１０３ａ、１０５ａ、１１１、２３４ａ、２３４ｂ、２４０、Ｘ２）と、
   前記流路形成部に設けられ、前記オイル流路を流れるオイルの流量を調整する弁部品（Ｘ１）とを備え、
   前記弁部品は、
   オイルが流通するオイル室（Ｘ１９）、前記オイル室に連通する第１オイル孔（Ｘ１６）、および前記オイル室に連通する第２オイル孔（Ｘ１７）が形成される基部（Ｘ１１、Ｘ１２１、Ｘ１３）と、
   自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｘ１２３、Ｘ１２４、Ｘ１２５）と、
   前記駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｘ１２６、Ｘ１２７）と、
   前記増幅部によって増幅された変位が伝達されて前記オイル室内で動くことで、前記オイル室を介した前記第１オイル孔と前記第２オイル孔との間の連通、遮断を切り替える可動部（Ｘ１２８）と、を有し、
   前記駆動部が温度の変化によって変位したときに、前記駆動部が付勢位置（ＸＰ２）において前記増幅部を付勢することで、前記増幅部がヒンジ（ＸＰ０）を支点として変位するとともに、前記増幅部と前記可動部の接続位置（ＸＰ３）で前記増幅部が前記可動部を付勢し、
   前記ヒンジから前記付勢位置までの距離よりも、前記ヒンジから前記接続位置までの距離の方が長い、オイル戻し装置。
2. 前記オイル戻し装置は、前記冷凍サイクル装置の蒸発器と前記圧縮機の冷媒吸引側との間に設置され、前記圧縮機に吸引される冷媒を液相冷媒と気相冷媒とに分離するアキュムレータ（１２）に適用される、請求項１に記載のオイル戻し装置。
3. 前記オイル戻し装置は、前記圧縮機から吐出される冷媒に含まれるオイルを分離し、分離したオイルを前記圧縮機に戻すオイルセパレータ（１５）に適用される、請求項１に記載のオイル戻し装置。
4. 前記弁部品は、当該弁部品が正常に作動しているか故障しているかを判別するための信号を出力する故障検知部（Ｘ５０）を備えている、請求項１ないし３のいずれか１つに記載のオイル戻し装置。
5. 前記信号は、前記増幅部の歪み量に応じた信号である請求項４に記載のオイル戻し装置。
6. 前記駆動部は、通電されることで発熱し、
   前記故障検知部は、前記弁部品が故障している場合に前記弁部品に対する通電を停止する装置（Ｘ５５）に、前記信号を出力する、請求項４または５に記載のオイル戻し装置。
7. 前記故障検知部は、前記弁部品が故障している場合に、人に報知を行う報知装置（Ｘ５６）を作動させる装置（Ｘ５５）に、前記信号を出力する、請求項４または５に記載のオイル戻し装置。
8. 前記弁部品は、半導体チップによって構成されている請求項１ないし７のいずれか１つに記載のオイル戻し装置。

Images