WO2021131498A1

WO2021131498A1 - 弁装置

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Publication number: WO2021131498A1
Application number: PCT/JP2020/044314
Authority: WO
Inventors: 陽平長野; 陽一郎河本; 安浩水野
Original assignee: 株式会社デンソー
Priority date: 2019-12-24
Filing date: 2020-11-27
Publication date: 2021-07-01
Also published as: WO2021131497A1

Abstract

弁装置（３３、３５、３９、ＶＤ）は、制御流体の圧力を調整する圧力調整部（３３７、３５７、３９７）と、制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁（３３２、３５２、３９２）と、を備える。圧力調整部および主弁は、弁軸方向に直交する方向において異なる位置に配置されている。

Description

弁装置

関連出願への相互参照

　本出願は、２０１９年１２月２４日に出願された日本特許出願番号２０１９－２３３０７１号と、２０２０年６月９日に出願された日本特許出願番号２０２０－１０００２８号とに基づくもので、ここにその記載内容が参照により組み入れられる。

　本開示は、弁装置に関する。

　従来、制御流体の圧力を調整する圧力調整部、制御流体の圧力に応じて変位する主弁を備える弁装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に開示された弁装置は、圧力調整部を構成するマイクロバルブアセンブリおよび主弁を構成するスプールが、スプールが変位する方向（すなわち、弁軸方向）に沿って直列に並んで配置されている。

米国特許出願公開２０１７／０２１９２５９号明細書

　しかしながら、従来技術の弁装置は、依然として改善の余地がある。例えば、従来技術の如く、弁装置において比較的大きい部品である圧力調整部と主弁とが弁軸方向に並んで配置されていると、弁装置と弁装置の弁軸方向に隣接する位置に配置される他の部品とが干渉し易くなる。このように、弁装置において比較的大きい部品である圧力調整部と主弁とが弁軸方向に並んで配置されていると、弁装置や他の部品のレイアウトが制限される。これは、設計の自由度の低下を招く要因となることから好ましくない。これらのことは、本発明者らの鋭意検討の末に見い出された。
　本開示は、設計の自由度の向上を図ることが可能な弁装置を提供することを１つの目的とする。

　本開示の１つの観点によれば、
　弁装置は、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、
　制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁と、を備え、
　圧力調整部および主弁は、弁軸方向に直交する方向において異なる位置に配置されている。

　このように、圧力調整部と主弁とが弁軸方向に重ならないレイアウトになっていれば、弁装置と弁装置の弁軸方向に隣接する位置に配置される他の部品とが干渉し難くなり、弁装置および他の部品のレイアウトの自由度が高まる。したがって、本開示の弁装置によれば、設計の自由度の向上を図ることができる。

　本開示の別の観点によれば、
　弁装置は、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部および制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁を一組とする複数の弁ユニットを備え、
　複数の弁ユニットのうち、少なくとも１つの弁ユニットに含まれる圧力調整部は、弁軸方向において主弁と重ならないように、主弁が配置される位置に対して弁軸方向に直交する方向にずれた位置に配置されている。

　これによれば、弁装置と弁装置の弁軸方向に隣接する位置に配置される他の部品とが干渉し難くなり、弁装置および他の部品のレイアウトの自由度が高まる。したがって、本開示の弁装置によれば、設計の自由度の向上を図ることができる。

　なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

第１実施形態の冷凍サイクル装置の概略構成図である。第１実施形態の冷凍サイクル装置の電子制御部を示すブロック図である。第１実施形態の冷凍サイクル装置の運転モードと各膨張弁等の状態との関係を説明するための説明図である。第１実施形態に係る各膨張弁の模式的な断面図である。制御圧力と各膨張弁の絞り開度との関係を説明するための説明図である。第１実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な断面図である。圧力調整部に用いられるマイクロバルブの模式的な分解図である。圧力調整部に用いられるマイクロバルブの模式的な側面図である。図８のＩＸ－ＩＸ断面を示すものであって、マイクロバルブへの非通電状態を示す断面図である。図９のＸ－Ｘ断面を示す断面図である。図８のＩＸ－ＩＸ断面を示すものであって、マイクロバルブへの通電状態を示す断面図である。図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ断面を示す断面図である。制御圧力の調整方法を説明するための説明図である。第２実施形態に係る各膨張弁の模式的な斜視図である。第２実施形態に係る各膨張弁の主弁モジュールの模式的な斜視図である。第２実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な斜視図である。第２実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な分解斜視図である。第２実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な側面図である。第２実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な断面図である。第２実施形態に係る各膨張弁の圧力調整部の模式的な下面図である。第３実施形態の冷凍サイクル装置の概略構成図である。第３実施形態の冷凍サイクル装置の電子制御部を示すブロック図である。第３実施形態の冷凍サイクル装置の運転モードと各膨張弁等の状態との関係を説明するための説明図である。第３実施形態に係る統合弁の模式的な分解斜視図である。第３実施形態に係る統合弁の模式的な正面図である。図２５のＸＸＶＩ－ＸＸＶＩ断面図である。図２６のＸＸＶＩＩ－ＸＸＶＩＩ断面図である。

　以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態において、先行する実施形態で説明した事項と同一もしくは均等である部分には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する場合がある。また、実施形態において、構成要素の一部だけを説明している場合、構成要素の他の部分に関しては、先行する実施形態において説明した構成要素を適用することができる。以下の実施形態は、特に組み合わせに支障が生じない範囲であれば、特に明示していない場合であっても、各実施形態同士を部分的に組み合わせることができる。

　（第１実施形態）
　本実施形態について、図１～図１３を参照して説明する。本実施形態では、本開示の弁装置を自動車に搭載される冷凍サイクル装置３０に適用した例について説明する。

　図１に示すように、冷凍サイクル装置３０は、圧縮機３１、凝縮器３２、第１膨張弁３３、室外熱交換器３４、第２膨張弁３５、冷房用蒸発器３６、バイパス弁３７を備えている。これらの各構成機器同士は、冷媒配管によって接続されている。また、冷凍サイクル装置３０は、各構成機器の動作を制御する制御装置３００を備えている。

　冷凍サイクル装置３０は、冷媒として、ＨＦＣ系冷媒（具体的には、Ｒ１３４ａ）が採用されている。冷媒には圧縮機３１を潤滑するための冷凍機油が混入されており、冷凍機油の一部は冷媒とともにサイクルを循環している。なお、冷媒としては、ＨＦＯ系冷媒（例えば、Ｒ１２３４ｙｆ）や自然冷媒（例えば、Ｒ７４４）等が採用されていてもよい。

　圧縮機３１は、冷凍サイクル装置３０において、冷媒を吸入し、圧縮して吐出するものである。圧縮機３１は、吐出容量が固定された固定容量型の圧縮機構を電動モータにて駆動する電動圧縮機で構成されている。圧縮機３１は、車両のボンネットの内側に配置される。なお、圧縮機３１を構成する電動モータは、後述の制御装置３００から出力される制御信号によって、その作動（例えば、回転数）が制御される。

　圧縮機３１の冷媒吐出側には、凝縮器３２の冷媒入口側が接続されている。凝縮器３２は、圧縮機３１から吐出された冷媒を放熱して凝縮させる熱交換器である。具体的には、凝縮器３２は、冷媒が流通する冷媒流路部３２１とヒータ回路ＨＣの熱媒体が流通する熱媒体流路部３２２を備え、冷媒とヒータ回路ＨＣを流れる熱媒体とを熱交換させて、熱媒体を加熱する加熱用熱交換器を構成している。

　ヒータ回路ＨＣは、圧縮機３１から吐出された冷媒を車室内へ送風する送風空気の加熱、バッテリの暖機等を行うための熱源として利用するための回路である。図示しないが、ヒータ回路ＨＣには、熱媒体を車室内への送風空気に放熱させるためのヒータコア、熱媒体をバッテリに放熱させるための放熱器等が設けられている。なお、ヒータコアは、後述の冷房用蒸発器３６とともに空調ケースＣの内側に配置されている。

　凝縮器３２の冷媒出口側には、凝縮器３２を通過した冷媒を減圧させる第１膨張弁３３が接続されている。第１膨張弁３３は、車室内の暖房時および除湿暖房時に、凝縮器３２を通過した冷媒を減圧する暖房用膨張弁である。第１膨張弁３３は、絞り開度が最大となる全開状態において、冷媒の減圧機能が発揮されない構造になっている。本実施形態では、第１膨張弁３３が本開示の弁装置の一部を構成している。なお、第１膨張弁３３の詳細は後述する。

　第１膨張弁３３の冷媒出口側には、室外熱交換器３４の冷媒入口側が接続されている。室外熱交換器３４は、第１膨張弁３３を通過した冷媒を室外ファン３４１から送風される外気と熱交換させる熱交換器である。室外熱交換器３４は、冷房時に外気に放熱させる放熱器として機能し、暖房時に外気から吸熱する吸熱器として機能する。なお、室外ファン３４１は、室外熱交換器３４を通過する気流を発生させる送風機である。

　室外熱交換器３４の冷媒出口側には、室外熱交換器３４を通過した冷媒を減圧させる第２膨張弁３５が接続されている。第２膨張弁３５は、車室内の冷房時および除湿暖房時に、室外熱交換器３４を通過した冷媒を減圧する冷房用膨張弁である。第２膨張弁３５は、絞り開度が最小となる全閉状態において、冷媒の流れが遮断される構造になっている。本実施形態では、第２膨張弁３５が第１膨張弁３３と同様に本開示の弁装置の一部を構成している。なお、第２膨張弁３５の詳細は後述する。

　第２膨張弁３５の冷媒出口側には、冷房用蒸発器３６の冷媒入口側が接続されている。冷房用蒸発器３６は、第２膨張弁３５を通過した冷媒を蒸発させる蒸発器である。冷房用蒸発器３６は、空調ケースＣの内側に配置され、冷媒と室内ファン３６１から送風される空気とを熱交換させて冷媒を蒸発させる。換言すると、冷房用蒸発器３６は、室内ファン３６１からの送風空気を冷媒と熱交換させて冷却する空気冷却器である。冷房用蒸発器３６は、空調ケースＣにおいてヒータコアよりも空気流れ上流側に配置されている。なお、室内ファン３６１は、冷房用蒸発器３６で冷却された空気を車室内へ送風する送風機である。

　ここで、冷凍サイクル装置３０は、室外熱交換器３４の冷媒出口側に、第２膨張弁３５および冷房用蒸発器３６を迂回して圧縮機３１の冷媒吸入側に導くバイパス配管３８が接続されている。バイパス配管３８は、暖房時に室外熱交換器３４を通過した冷媒を第２膨張弁３５および冷房用蒸発器３６を迂回して圧縮機３１の冷媒吸入側に導く。バイパス配管３８は、一端側が室外熱交換器３４の冷媒出口から第２膨張弁３５の冷媒入口に至る冷媒流路に接続され、他端側が冷房用蒸発器３６の冷媒出口から圧縮機３１の冷媒吸入口に至る冷媒流路に接続されている。

　バイパス配管３８には、バイパス弁３７が設けられている。バイパス弁３７は、バイパス配管３８の内側に形成される冷媒流路を開閉する開閉弁である。バイパス弁３７は、ソレノイドの電磁吸引力により弁体を駆動する電磁弁で構成されている。バイパス弁３７は、後述の制御装置３００から出力される制御信号によって、開閉作動が制御される。なお、バイパス弁３７は、ステッピングモータ等により弁体が駆動される構造になっていてもよい。

　次に、冷凍サイクル装置３０の電子制御部を構成する制御装置３００について図２を参照して説明する。図２に示すように、制御装置３００は、プロセッサ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリを含むマイクロコンピュータとその周辺回路で構成されている。なお、制御装置３００のメモリは、非遷移的実体的記憶媒体で構成される。

　制御装置３００の入力側には、空調用センサ群３０１および操作パネル３０２が接続されている。空調用センサ群３０１は、冷房処理の制御に用いられる複数種類のセンサによって構成されている。

空調用センサ群３０１は、例えば、サイクルの低圧側における冷媒温度を検出する温度センサ（蒸発器温度センサ等）、サイクルの高圧側の冷媒圧力を検出する高圧センサ、高圧冷媒の温度を検出する温度センサを含んでいる。操作パネル３０２の各種操作スイッチには、オートスイッチ、運転モード切替スイッチ、風量設定スイッチ、温度設定スイッチ、吹出モード切替スイッチ等が含まれている。

　制御装置３００は、空調用センサ群３０１および操作パル３０２から取得した各種情報、およびメモリに記憶された制御プログラムに基づいて各種演算処理を行い、出力側に接続された各構成機器の作動を制御する。

　制御装置３００の出力側には、圧縮機３１、第１膨張弁３３、室外ファン３４１、第２膨張弁３５、室内ファン３６１、バイパス弁３７が接続されている。制御装置３００は、圧縮機３１による冷媒吐出性能（例えば、冷媒圧力）、各膨張弁３３、３５の絞り開度、各ファン３４１、３６１の送風性能、バイパス弁３７の開閉状態を状況に応じて変更することができる。すなわち、冷凍サイクル装置３０は、制御装置３００が、圧縮機３１、各膨張弁３３、３５、各ファン３４１、３６１、バイパス弁３７それぞれの動作を制御することで、車室内に供給する空気を所望の温度に調整することができる。

　冷凍サイクル装置３０は、空調用センサ群３０１および操作パネル３０２による入力を受け付けることで、冷凍サイクル装置３０の運転モードを適宜切り替える。具体的には、制御装置３００は、各膨張弁３３、３５およびバイパス弁３７等を制御して冷凍サイクル装置３０における冷媒の流れ方を変更することで、冷凍サイクル装置３０の運転モードを切り替える。

　以下、冷凍サイクル装置３０の作動について説明する。冷凍サイクル装置３０は、室内冷房、室内暖房、除湿暖房といった３つの運転モードに設定可能になっている。

　［室内冷房］
　室内冷房は、冷房用蒸発器３６で所望の温度に冷却した空気を車室内へ吹き出す運転モードである。室内冷房は、例えば、運転モード切替スイッチによって運転モードが冷房モードに設定されると冷凍サイクル装置３０によって実行される。この室内冷房時には、ヒータ回路ＨＣにおける熱媒体の流れが停止される。

　制御装置３００は、室内冷房時における各種機器の作動状態を空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。例えば、制御装置３００は、図３に示すように、第１膨張弁３３が全開状態となり、第２膨張弁３５が絞り状態となるように各膨張弁３３、３５を制御する。また、制御装置３００は、バイパス弁３７を閉状態に制御する。制御装置３００は、圧縮機３１、各ファン３４１、３６１等の他の機器に対する制御信号について、空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。

　冷凍サイクル装置３０は、室内冷房時に、圧縮機３１から吐出された高圧冷媒が凝縮器３２に流入する。室内冷房時には、ヒータ回路ＨＣに熱媒体が流れていないので、凝縮器３２に流入した冷媒は、殆ど放熱することなく第１膨張弁３３に流入する。

　室内冷房時には、第１膨張弁３３が全開状態になっているので、第１膨張弁３３に流入した冷媒は、殆ど減圧されることなく室外熱交換器３４に流入する。室外熱交換器３４に流入した冷媒は、外気に放熱して凝縮する。室外熱交換器３４を通過した冷媒は、第２膨張弁３５に流入し、第２膨張弁３５にて所望の圧力となるまで減圧される。なお、室内冷房時は、バイパス弁３７が閉状態になっているので、冷媒がバイパス配管３８に流入せず、冷媒の全量が第２膨張弁３５にて減圧される。

　第２膨張弁３５で減圧された冷媒は、冷房用蒸発器３６に流入する。冷房用蒸発器３６に流入した冷媒は、室内ファン３６１からの送風空気から吸熱して蒸発する。車室内には、冷房用蒸発器３６で所望の温度に冷却された空気が吹き出される。冷房用蒸発器３６を通過した冷媒は、圧縮機３１に吸入される。圧縮機３１に吸入された冷媒は、圧縮機３１にて再び高圧冷媒となるまで圧縮される。

　以上の如く、室内冷房時には、冷房用蒸発器３６で冷却された空気が車室内に吹き出されることによって、室内の冷房が実現される。

　［室内暖房］
　室内暖房は、ヒータコアで所望の温度に加熱した空気を車室内へ吹き出す運転モードである。室内暖房は、例えば、運転モード切替スイッチによって運転モードが暖房モードに設定されると冷凍サイクル装置３０によって実行される。この室内暖房時には、ヒータ回路ＨＣがヒータコアに対して熱媒体が流れる経路に設定される。

　制御装置３００は、室内暖房時における各種機器の作動状態を空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。例えば、制御装置３００は、図３に示すように、第１膨張弁３３が絞り状態となり、第２膨張弁３５が全閉状態となるように各膨張弁３３、３５を制御する。また、制御装置３００は、バイパス弁３７を開状態に制御する。制御装置３００は、圧縮機３１、各ファン３４１、３６１等の他の機器に対する制御信号について、空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。

　冷凍サイクル装置３０は、室内暖房時に、圧縮機３１から吐出された高圧冷媒が凝縮器３２に流入する。室内暖房時には、ヒータ回路ＨＣを流れる熱媒体がヒータコアに流れるので、凝縮器３２に流入した冷媒は、ヒータコアを介して車室内へ吹き出す空気に放熱する。これにより、車室内には、ヒータコアで所望の温度に加熱された空気が吹き出される。

　凝縮器３２を通過した冷媒は、第１膨張弁３３に流入し、第１膨張弁３３にて所望の圧力となるまで減圧される。第１膨張弁３３で減圧された冷媒は、室外熱交換器３４に流入する。

　室外熱交換器３４に流入した冷媒は、室外ファン３４１からの送風空気から吸熱して蒸発する。室内暖房時には、バイパス弁３７が開状態になっているので、室外熱交換器３４を通過した冷媒は、バイパス配管３８を介して圧縮機３１に吸入される。圧縮機３１に吸入された冷媒は、圧縮機３１にて再び高圧冷媒となるまで圧縮される。なお、室内暖房時は、第２膨張弁３５が全閉状態となっているので、冷媒が冷房用蒸発器３６に流入せず、冷媒の全量がバイパス配管３８を介して圧縮機３１に吸入される。

　以上の如く、室内暖房時には、ヒータコアで加熱された空気が車室内に吹き出されることによって、室内の暖房が実現される。

　［除湿暖房］
　除湿暖房は、冷房用蒸発器３６で露点温度よりも低い温度まで空気を冷却した後、ヒータコアで所望の温度まで昇温させて車室内へ吹き出す運転モードである。除湿暖房は、例えば、運転モード切替スイッチによって運転モードが除湿暖房モードに設定されると冷凍サイクル装置３０によって実行される。この除湿暖房時には、ヒータ回路ＨＣがヒータコアに対して熱媒体が流れる経路に設定される。

　制御装置３００は、除湿暖房時における各種機器の作動状態を空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。例えば、制御装置３００は、図３に示すように、第１膨張弁３３および第２膨張弁３５それぞれを絞り状態に制御する。また、制御装置３００は、バイパス弁３７を閉状態に制御する。制御装置３００は、圧縮機３１、各ファン３４１、３６１等の他の機器に対する制御信号について、空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。

　冷凍サイクル装置３０は、除湿暖房時に、圧縮機３１から吐出された高圧冷媒が凝縮器３２に流入する。除湿暖房時には、ヒータ回路ＨＣを流れる熱媒体がヒータコアに流れるので、凝縮器３２に流入した冷媒は、ヒータコアを介して車室内へ吹き出す空気に放熱する。これにより、車室内には、ヒータコアで所望の温度に加熱された空気が吹き出される。

　凝縮器３２を通過した冷媒は、第１膨張弁３３に流入し、第１膨張弁３３に流入した冷媒にて所望の圧力となるまで減圧される。第１膨張弁３３で減圧された冷媒は、室外熱交換器３４に流入する。室外熱交換器３４に流入した冷媒は、外気と熱交換する。室外熱交換器３４に流入した冷媒は、外気よりも冷媒の温度が低いと外気から吸熱し、外気よりも冷媒の温度が高いと外気に放熱する。

　室外熱交換器３４を通過した冷媒は、第２膨張弁３５に流入し、第２膨張弁３５にて所望の圧力となるまで減圧される。なお、除湿暖房時は、バイパス弁３７が閉状態になっているので、冷媒がバイパス配管３８に流入せず、冷媒の全量が第２膨張弁３５にて減圧される。

　第２膨張弁３５で減圧された冷媒は、冷房用蒸発器３６に流入する。冷房用蒸発器３６に流入した冷媒は、室内ファン３６１からの送風空気から吸熱して蒸発する。これにより、室内ファン３６１からの送風空気は、冷房用蒸発器３６で冷却されて除湿される。冷房用蒸発器３６で除湿された空気は、ヒータコアで所望の温度まで加熱された後、車室内へ吹き出される。冷房用蒸発器３６を通過した冷媒は、圧縮機３１に吸入される。圧縮機３１に吸入された冷媒は、圧縮機３１にて再び高圧冷媒となるまで圧縮される。

　以上の如く、除湿暖房時には、冷房用蒸発器３６で除湿された空気がヒータコアで加熱された後に車室内に吹き出されることによって、室内の除湿暖房が実現される。

　［膨張弁の詳細］
　次に、本実施形態の第１膨張弁３３および第２膨張弁３５の詳細について図４を参照して説明する。図４に示す上下を示す矢印は、第１膨張弁３３および第２膨張弁３５を車両に取り付けた状態での上下方向ＤＲｇを示している。

　第１膨張弁３３および第２膨張弁３５は、制御態様は異なるものの、基本構造は同様に構成されている。このため、図４では、第１膨張弁３３の構成要素を示す参照符号および第２膨張弁３５の構成要素を示す参照符号を併記している。なお、図４では、各膨張弁３３、３５の構成要素を区別するために、第１膨張弁３３の構成要素の一部を示す符号の上二桁を「３３」とし、第２膨張弁３５の構成要素の一部を示す符号の上二桁を「３５」としている。

　各膨張弁３３、３５は、図４に示すように、ボデー部３３０、３５０、主弁３３２、３５２、圧力調整部３３７、３５７、回路基板３３８、３５８を備える。各膨張弁３３、３５は、ボデー部３３０、３５０の内側に形成された内部流路３３１、３５１の絞り開度を変化させて、各膨張弁３３、３５を通過する冷媒の圧力を所望の圧力に調整するものである。

　ボデー部３３０、３５０は、各膨張弁３３、３５の外殻を形成するものである。ボデー部３３０、３５０は、例えば、アルミニウム合金製の金属ブロックに孔開け加工等が施されたものである。ボデー部３３０、３５０には、冷媒が流れる内部流路３３１、３５１、弁室３３３、３５３、圧力室３３４、３５４等が形成されている。

　内部流路３３１、３５１は、ボデー部３３０、３５０の側面に開口する入口部３３０ａ、３５０ａおよび出口部３３０ｂ、３５０ｂに連なっている。内部流路３３１、３５１の途中には、弁室３３３、３５３が形成されている。弁室３３３、３５３は、主弁３３２、３５２の一部が収容されている。

　弁室３３３、３５３は、入口部３３０ａ、３５０ａおよび出口部３３０ｂ、３５０ｂそれぞれに連通している。弁室３３３、３５３には、冷媒が流れる流路が細く絞られた絞り部３３３ａ、３５３ａが設けられている。絞り部３３３ａ、３５３ａは、入口部３３０ａ、３５０ａから弁室３３３、３５３に流入した冷媒を減圧膨張させながら出口部３３０ｂ、３５０ｂに導く流路である。絞り部３３３ａ、３５３ａの冷媒入口側には、主弁３３２、３５２の弁体３３２ａ、３５２ａが接離する弁座３３３ｂ、３５３ｂが形成されている。

　ここで、本実施形態では、内部流路３３１、３５１における絞り部３３３ａ、３５３ａを通過する前の冷媒が流れる流路が入口流路３３１ａ、３５１ａを構成する。また、内部流路３３１、３５１における絞り部３３３ａ、３５３ａから流出した冷媒が流れる流路が出口流路３３１ｂ、３５１ｂを構成している。

　主弁３３２、３５２は、弁体３３２ａ、３５２ａ、支持部３３２ｂ、３５２ｂ、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃ、第２バネ３３２ｄ、３５２ｄ、調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅ、作動棒３３２ｆ、３５２ｆ、キャップ３３２ｉ、３５２ｉを有している。

　弁体３３２ａ、３５２ａは、主弁３３２、３５２の軸心ＣＬに沿って変位することで、絞り部３３３ａ、３５３ａの通路面積を調整するものである。本開示では、軸心ＣＬに沿って延びる方向を弁軸方向ＤＲａｘとする。本実施形態の各膨張弁３３、３５は、弁軸方向ＤＲａｘが上下方向ＤＲｇと一致する姿勢で主弁３３２、３５２が配置される。弁体３３２ａ、３５２ａは、主弁３３２、３５２において弁軸方向ＤＲａｘに変位する弁部分である。

　弁体３３２ａ、３５２ａは、球状の弁体で構成されている。各膨張弁３３、３５は、弁体３３２ａ、３５２ａが弁座３３３ｂ、３５３ｂに対して交差する方向（例えば、直交方向）に変位して内部流路３３１、３５１の絞り開度が変化するポペット式の弁構造になっている。

　弁体３３２ａ、３５２ａは、支持部３３２ｂ、３５２ｂおよび第１バネ３３２ｃ、３５２ｃとともに弁室３３３、３５３に配置されている。支持部３３２ｂ、３５２ｂは、弁体３３２ａ、３５２ａの軸方向の他方側に固定されている。第１バネ３３２ｃ、３５２ｃは、支持部３３２ｂ、３５２ｂを介して弁体３３２ａ、３５２ａを閉弁方向に付勢する付勢部材である。

　第１バネ３３２ｃ、３５２ｃが弁体３３２ａ、３５２ａに対して付勢する荷重は、ボデー部３３０、３５０に設けられた調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅによって調整可能になっている。調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅは、ボデー部３３０、３５０のうち、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃと対向する部位に開口するネジ孔に螺合されている。調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅを回転させ、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃの取付長さを変更することで、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃが弁体３３２ａ、３５２ａに対して付勢する荷重を調整することができる。

　弁体３３２ａ、３５２ａのうち弁軸方向ＤＲａｘの一方側には、作動棒３３２ｆ、３５２ｆが配置されている。作動棒３３２ｆ、３５２ｆは、略円柱形状の金属棒である。作動棒３３２ｆ、３５２ｆは、弁軸方向ＤＲａｘに沿って延びた姿勢で絞り部３３３ａ、３５３ａの内側に配置されている。

　作動棒３３２ｆ、３５２ｆのうち弁軸方向ＤＲａｘの一方側には、ストッパ３３２ｇ、３５２ｇが固定されている。ストッパ３３２ｇ、３５２ｇは、作動棒３３２ｆ、３５２ｆの軸方向の変位を制限するものである。

　作動棒３３２ｆ、３５２ｆのうち弁軸方向ＤＲａｘの一方側の端部には、仕切部３３２ｈ、３５２ｈが設けられている。この仕切部３３２ｈ、３５２ｈは、ボデー部３３０、３５０のうち絞り部３３３ａ、３５３ａよりも弁軸方向ＤＲａｘの一方側にある内部空間を圧力室３３４、３５４と低圧空間３３５、３５５に仕切るものである。

　圧力室３３４、３５４には、圧力調整部３３７、３５７によって圧力調整された冷媒が、弁体３３２ａ、３５２ａを開弁側または閉弁側に押圧する制御流体として導入される。仕切部３３２ｈ、３５２ｈは、圧力室３３４、３５４に導入される制御流体の圧力を受ける。

　圧力室３３４、３５４には、第２バネ３３２ｄ、３５２ｄが配置されている。第２バネ３３２ｄ、３５２ｄは、仕切部３３２ｈ、３５２ｈ、ストッパ３３２ｇ、３５２ｇ、作動棒３３２ｆ、３５２ｆを介して弁体３３２ａ、３５２ａを開弁方向に付勢する付勢部材である。

　キャップ３３２ｉ、３５２ｉは、圧力室３３４、３５４の上方側にある開口を閉塞する閉塞部材である。キャップ３３２ｉ、３５２ｉの底面と仕切部３３２ｈ、３５２ｈとの間に第２バネ３３２ｄ、３５２ｄが配置されている。

　ボデー部３３０、３５０には、圧力室３３４、３５４の側方部位に、第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄ、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅが形成されている。

　ボデー部３３０、３５０には、圧力室３３４、３５４に隣接する側方部位に、第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄ、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅが形成されている。

　第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄ、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅは、後述するバルブモジュールＹ０の第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３が嵌め合わされる凹部である。

　第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄ、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅは、上方から下方に向けて第３凹部３３０ｅ、３５０ｅ、第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄの順に直線状に並ぶように配置されている。

　第１凹部３３０ｃ、３５０ｃの底部には、第１凹部３３０ｃ、３５０ｃと圧力室３３４、３５４とを連通させる第１貫通孔３３０ｆ、３５０ｆが形成されている。第２凹部３３０ｄ、３５０ｄの底部には、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄと入口流路３３１ａ、３５１ａとを連通させる第２貫通孔３３０ｇ、３５０ｇが形成されている。第３凹部３３０ｅ、３５０ｅの底部には、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅと出口流路３３１ｂ、３５１ｂとを連通させる第３貫通孔３３０ｈ、３５０ｈが形成されている。

　このように構成される各膨張弁３３、３５は、内部流路３３１、３５１の流路面積（すなわち、絞り開度）が弁体３３２ａ、３５２ａの位置によって変化する。そして、弁体３３２ａ、３５２ａの位置は、弁体３３２ａ、３５２ａに作用する力によって決定される。

　具体的には、弁体３３２ａ、３５２ａの位置は、圧力室３３４、３５４内の制御流体の圧力による荷重Ｆｍ、各バネ３３２ｃ、３５２ｃ、３３２ｄ、３５２ｄｃからの荷重Ｆｓ１、Ｆｓ２、弁室３３３、３５３での冷媒圧力による荷重Ｆｃ等によって決定される。以下では、圧力室３３４、３５４内の制御流体の圧力を制御圧力Ｐｍと呼ぶことがある。

　各膨張弁３３、３５は、制御圧力Ｐｍが絞り部３３３ａ、３５３ａの下流側の冷媒圧力（すなわち、低圧圧力Ｐｌ）と同等の圧力となる場合、絞り部３３３ａ、３５３ａの上流側の圧力（すなわち、高圧圧力Ｐｈ）と制御圧力Ｐｍとの圧力差が最大となる。この場合、弁体３３２ａ、３５２ａは、絞り開度が最小となる位置に変位する。

　この状態から制御圧力Ｐｍが低圧圧力Ｐｌよりも高くなると、高圧圧力Ｐｈと制御圧力Ｐｍとの圧力差が小さくなることで、弁体３３２ａ、３５２ａが絞り開度が大きくなる位置に変位する。そして、制御圧力Ｐｍが高圧圧力Ｐｈと同等の圧力となると、弁体３３２ａ、３５２ａが絞り開度が最大となる位置に変位する。

　これにより、各膨張弁３３、３５は、図５に示すように、制御圧力Ｐｍが小さくなると内部流路３３１、３５１の絞り開度が小さくなり、制御圧力Ｐｍが大きくなると絞り開度が大きくなる構造になっている。

　本実施形態の各膨張弁３３、３５は、制御圧力Ｐｍが圧力調整部３３７、３５７によって調整される。圧力調整部３３７、３５７は、ボデー部３３０、３５０に対して取り付けられている。そして、圧力調整部３３７、３５７で圧力調整された制御流体は、第１貫通孔３３０ｆ、３５０ｆを介して圧力室３３４、３５４に導入される。圧力調整部３３７、３５７は、主弁３３２、３５２を駆動するパイロット弁として機能するマイクロバルブＹ１を含んでいる。

　圧力調整部３３７、３５７は、回路基板３３８、３５８に実装された駆動回路によって駆動される。回路基板３３８、３５８は、圧力調整部３３７、３５７のうち、ボデー部３３０、３５０に対して取り付けられる部位の反対側に固定されている。図示しないが、回路基板３３８、３５８は、圧力調整部３３７、３５７の接続端子が接続されている。圧力調整部３３７、３５７は、回路基板３３８、３５８を介して電力が供給される。具体的には、回路基板３３８、３５８には、接続端子を介してバルブモジュールＹ０の電気配線Ｙ６、Ｙ７に接続されている。

　ここで、各膨張弁３３、３５では、主弁３３２、３５２および圧力調整部３３７、３５７が他に比べて大型である。このため、従来技術の如く、主弁３３２、３５２および圧力調整部３３７、３５７が弁軸方向ＤＲａｘに並んで配置されていると、各膨張弁３３、３５とその周囲に配置される他の部品とが干渉し易くなり、各膨張弁３３、３５や他の部品のレイアウトが制限される。これは、各膨張弁３３、３５の設計の自由度が低くなる要因となることから好ましくない。

　これらを考慮し、第１膨張弁３３は、主弁３３２および圧力調整部３３７が弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置されている。同様に、第２膨張弁３５は、主弁３５２および圧力調整部３５７が弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置されている。換言すれば、圧力調整部３３７、３５７は、主弁３３２、３５２に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にオフセットして配置されている。本実施形態では、弁軸方向ＤＲａｘが上下方向ＤＲｇに一致する。このため、主弁３３２、３５２および圧力調整部３３７、３５７は、水平方向において異なる位置に配置されている。

　本実施形態の圧力調整部３３７、３５７は、少なくとも一部が、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において主弁３３２、３５２と重なり合うように配置されている。具体的には、圧力調整部３３７、３５７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において、主弁３３２、３５２のうち、圧力室３３４、３５４に配置される第２バネ３３２ｄ、３５２ｄおよびキャップ３３２ｉ、３５２ｉの一部と重なり合っている。

　この場合、圧力調整部３３７、３５７と圧力室３３４、３５４とが隣接して配置される構造となる。このため、圧力調整部３３７、３５７からの制御流体を圧力室３３４、３５４に導く第１貫通孔３３０ｆ、３５０ｆを、曲り部がなく、且つ、長さが小さい孔形状で構成することができる。このような孔形状を有することで、第１貫通孔３３０ｆ、３５０ｆは、制御流体が流通する際の圧力損失が低くなっている。

　具体的には、圧力調整部３３７、３５７は、上下方向ＤＲｇにおいて、ボデー部３３０、３５０における入口部３３０ａ、３５０ａよりも出口部３３０ｂ、３５０ｂに近い部位に取り付けられている。

　回路基板３３８、３５８は、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に対して交差する姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されている。具体的には、回路基板３３８、３５８は、その板面３３８ａ、３５８ａが上下方向ＤＲｇに並行に延びる姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されている。

　また、回路基板３３８、３５８は、ボデー部３３０、３５０の上端よりも上方に突き出ないように、回路基板３３８、３５８の全体が水平方向においてボデー部３３０、３５０と重なり合うように配置されている。

　圧力調整部３３７、３５７は、バルブモジュールＹ０によって構成されている。以下、圧力調整部３３７、３５７を構成するバルブモジュールＹ０の詳細について図６～図１３を参照しつつ説明する。

　［バルブモジュールＹ０の構成］
　図６に示すように、バルブモジュールＹ０は、マイクロバルブＹ１、バルブケーシングＹ２、封止部材Ｙ３、３つのＯリングＹ４、Ｙ５ａ、Ｙ５ｂ、２本の電気配線Ｙ６、Ｙ７、変換プレートＹ８を有している。

　マイクロバルブＹ１は、圧力室３３４、３５４に導入する制御流体（本例では冷媒）の圧力を調整するための流体室Ｙ１９を有する弁部品である。マイクロバルブＹ１は、板形状であり、その全体が半導体チップによって構成されている。

　マイクロバルブＹ１の厚さ方向の長さは例えば２ｍｍであり、厚さ方向に直交する長手方向の長さは例えば１０ｍｍであり、長手方向にも厚さ方向にも直交する短手方向の長さは例えば５ｍｍであるが、これに限定されない。マイクロバルブＹ１への供給電力が変動することで、マイクロバルブＹ１の流路構成が変化する。

　電気配線Ｙ６、Ｙ７は、マイクロバルブＹ１の２つの板面のうち、バルブケーシングＹ２とは反対側の面から伸びて、封止部材Ｙ３、バルブケーシングＹ２内を通過して、バルブモジュールＹ０の外部にある電源に接続される。これにより、電気配線Ｙ６、Ｙ７を通して、電源からマイクロバルブＹ１に電力が供給される。

　変換プレートＹ８は、マイクロバルブＹ１とバルブケーシングＹ２の間に配置される板形状の部材である。変換プレートＹ８は、ガラス基板である。変換プレートＹ８の２つの板面の一方側は、マイクロバルブＹ１に対して接着剤で固定され、他方側はバルブケーシングＹ２に対して接着剤で固定されている。変換プレートＹ８には、マイクロバルブＹ１の後述する３つの冷媒孔とバルブケーシングＹ２の３つの連通孔とを繋げるための流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３が形成されている。これら流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３は、一列に並ぶ上記３つの冷媒孔のピッチと一列に並ぶ上記３つの連通孔のピッチの違いを吸収するための部材である。流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３は、変換プレートＹ８の２つの板面の一方から他方に貫通している。

　バルブケーシングＹ２は、マイクロバルブＹ１および変換プレートＹ８を収容する樹脂製のケーシングである。バルブケーシングＹ２は、ポリフェニレンサルファイドを主成分として樹脂成形によって形成されている。バルブケーシングＹ２は、線膨張係数が、マイクロバルブＹ１の線膨張係数とボデー部３３０、３５０の線膨張係数の間の値となるように構成されている。なお、バルブケーシングＹ２は、マイクロバルブＹ１をボデー部３３０、３５０に対して取り付けるための部品取付部を構成している。バルブケーシングＹ２は、一方側に底壁を有し、他方側が開放された箱体である。バルブケーシングＹ２の底壁は、マイクロバルブＹ１および変換プレートＹ８がボデー部３３０、３５０に直に接しないように、ボデー部３３０、３５０とマイクロバルブＹ１の間に介在する。そして、この底壁の一方側の面がボデー部３３０、３５０に接触して固定され、他方側の面が変換プレートＹ８に接触して固定される。

　このようになっていることで、マイクロバルブＹ１とボデー部３３０、３５０の線膨張係数の違いをバルブケーシングＹ２が吸収できる。これは、バルブケーシングＹ２の線膨張係数が、マイクロバルブＹ１の線膨張係数とボデー部３３０、３５０の線膨張係数の間の値となっているからである。なお、変換プレートＹ８の線膨張係数は、マイクロバルブＹ１の線膨張係数とバルブケーシングＹ２の線膨張係数の間の値となっている。

　また、バルブケーシングＹ２の底壁は、マイクロバルブＹ１に対向する板形状のベース部Ｙ２０と、マイクロバルブＹ１から離れる方向に当該ベース部Ｙ２０から突出する柱形状の第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３を有する。

　第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３は、ボデー部３３０、３５０に形成された第１凹部３３０ｃ、３５０ｃ、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄ、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅに嵌め込まれている。第１突出部Ｙ２１には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第１連通孔ＹＶ１が形成されている。第２突出部Ｙ２２には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第２連通孔ＹＶ２が形成されている。第３突出部Ｙ２３には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第３連通孔ＹＶ３が形成されている。第１連通孔ＹＶ１、第２連通孔ＹＶ２、第３連通孔ＹＶ３は一列に並んでおり、第２連通孔ＹＶ２と第３連通孔ＹＶ３の間に第１連通孔ＹＶ１が位置する。

　第１連通孔ＹＶ１のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８１のバルブケーシングＹ２側端に連通している。第２連通孔ＹＶ２のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８２のバルブケーシングＹ２側端に連通している。第３連通孔ＹＶ３のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８３のバルブケーシングＹ２側端に連通している。

　封止部材Ｙ３は、バルブケーシングＹ２の開放された上記他方側を封止するエポキシ樹脂製の部材である。封止部材Ｙ３は、マイクロバルブＹ１の表裏の２つの板面のうち、変換プレートＹ８側とは反対側の板面の全体を覆う。また、封止部材Ｙ３は、変換プレートＹ８の２つの板面のうち、バルブケーシングＹ２の底壁側とは反対側の板面の一部を覆う。また、封止部材Ｙ３は、電気配線Ｙ６、Ｙ７を覆うことで、電気配線Ｙ６、Ｙ７の防水および絶縁を実現する。封止部材Ｙ３は樹脂ポッティング成形等によって形成される。

　ＯリングＹ４は、第１突出部Ｙ２１の外周に取り付けられ、ボデー部３３０、３５０と第１突出部Ｙ２１の間を封止することで、外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。ＯリングＹ５ａは、第２突出部Ｙ２２の外周に取り付けられ、ボデー部３３０、３５０と第２突出部Ｙ２２の間を封止することで、外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。ＯリングＹ５ｂは、第３突出部Ｙ２３の外周に取り付けられ、ボデー部３３０、３５０と第３突出部Ｙ２３の間を封止することで、外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。

　［マイクロバルブＹ１の構成］
　ここで、マイクロバルブＹ１の構成について更に説明する。マイクロバルブＹ１は、図７、図８に示すように、いずれも半導体である第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３を備えたＭＥＭＳである。なお、「ＭＥＭＳ」は、Micro Electro Mechanical Systemsの略称である。

　第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３は、それぞれが同じ外形を有する長方形の板形状の部材であり、第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の順に積層されている。第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３のうち、第２外層Ｙ１３が、バルブケーシングＹ２の底壁に最も近い側に配置される。後述する第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の構造は、化学的エッチング等の半導体製造プロセスによって形成される。

　第１外層Ｙ１１は、半導体部材である。第１外層Ｙ１１には、図７に示すように、表裏に貫通する２つの貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５が形成されている。この貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５に、それぞれ、電気配線Ｙ６、Ｙ７のマイクロバルブＹ１側端が挿入される。

　第２外層Ｙ１３は、半導体部材である。第２外層Ｙ１３には、図７、図９、図１０に示すように、表裏に貫通する第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８が形成されている。第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、それぞれ、第１流体孔、第２流体孔、第３流体孔に対応する。

　図１０に示すように、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、それぞれ、変換プレートＹ８の流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３に連通する。第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、一列に並んでいる。第２冷媒孔Ｙ１７と第３冷媒孔Ｙ１８の間に第１冷媒孔Ｙ１６が配置される。

　中間層Ｙ１２は、導電性の半導体部材であり、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３に挟まれている。中間層Ｙ１２は、図９に示すように、第１固定部Ｙ１２１、第２固定部Ｙ１２２、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８を有している。

　第１固定部Ｙ１２１は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定された部材である。第１固定部Ｙ１２１は、第２固定部Ｙ１２２、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８を同じ１つの流体室Ｙ１９内に囲むように形成されている。流体室Ｙ１９は、第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３によって囲まれた室である。流体室Ｙ１９は、第１圧力室ＰＣ１に導入する冷媒が流通する。第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３は、全体として基部に対応する。なお、電気配線Ｙ６、Ｙ７は複数の第１リブＹ１２３および複数の第２リブＹ１２４の温度を変化させて変位させるための電気配線である。

　第１固定部Ｙ１２１の第１外層Ｙ１１および第２外層Ｙ１３に対する固定は、冷媒が流体室Ｙ１９から第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８以外を通ってマイクロバルブＹ１から漏出することを抑制するような形態で、行われている。

　第２固定部Ｙ１２２は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定される。第２固定部Ｙ１２２は、第１固定部Ｙ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｙ１２１から離れて配置される。

　複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定されておらず、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して変位可能である。

　スパインＹ１２５は、中間層Ｙ１２の矩形形状の短手方向に伸びる細長い棒形状を有している。スパインＹ１２５の長手方向の一端は、梁Ｙ１２７に接続されている。

　複数本の第１リブＹ１２３は、スパインＹ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＹ１２５の一方側に配置される。そして、複数本の第１リブＹ１２３は、スパインＹ１２５の長手方向に並んでいる。各第１リブＹ１２３は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

　各第１リブＹ１２３は、その長手方向の一端で第１固定部Ｙ１２１に接続され、他端でスパインＹ１２５に接続される。そして、各第１リブＹ１２３は、第１固定部Ｙ１２１側からスパインＹ１２５側に近付くほど、スパインＹ１２５の長手方向の梁Ｙ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＹ１２５に対して斜行している。そして、複数の第１リブＹ１２３は、互いに対して平行に伸びている。

　複数本の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＹ１２５の他方側に配置される。そして、複数本の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５の長手方向に並んでいる。各第２リブＹ１２４は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

　各第２リブＹ１２４は、その長手方向の一端で第２固定部Ｙ１２２に接続され、他端でスパインＹ１２５に接続される。そして、各第２リブＹ１２４は、第２固定部Ｙ１２２側からスパインＹ１２５側に近付くほど、スパインＹ１２５の長手方向の梁Ｙ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＹ１２５に対して斜行している。そして、複数の第２リブＹ１２４は、互いに対して平行に伸びている。

　複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５は、全体として、駆動部に対応する。

　アームＹ１２６は、スパインＹ１２５と非直交かつ平行に伸びる細長い棒形状を有している。アームＹ１２６の長手方向の一端は梁Ｙ１２７に接続されており、他端は第１固定部Ｙ１２１に接続されている。

　梁Ｙ１２７は、スパインＹ１２５およびアームＹ１２６に対して約９０°で交差する方向に伸びる細長い棒形状を有している。梁Ｙ１２７の一端は、可動部Ｙ１２８に接続されている。アームＹ１２６と梁Ｙ１２７は、全体として、増幅部に対応する。

　アームＹ１２６と梁Ｙ１２７の接続位置ＹＰ１、スパインＹ１２５と梁Ｙ１２７の接続位置ＹＰ２、梁Ｙ１２７と可動部Ｙ１２８の接続位置ＹＰ３は、梁Ｙ１２７の長手方向に沿って、この順に並んでいる。そして、第１固定部Ｙ１２１とアームＹ１２６との接続点をヒンジＹＰ０とすると、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ３までの直線距離の方が、長い。例えば、前者の直線距離を後者の直線距離で除算した値は、１／５以下であってもよいし、１／１０以下であってもよい。

　可動部Ｙ１２８は、流体室Ｙ１９を流れる冷媒の圧力を調整するものである。可動部Ｙ１２８は、その外形が、梁Ｙ１２７の長手方向に対して概ね９０°の方向に伸びる矩形形状を有している。この可動部Ｙ１２８は、流体室Ｙ１９内において梁Ｙ１２７と一体に動くことができる。そして、可動部Ｙ１２８は、中間層Ｙ１２の表裏に貫通する貫通孔Ｙ１２０を囲む枠形状となっている。したがって、貫通孔Ｙ１２０も、可動部Ｙ１２８と一体的に移動する。貫通孔Ｙ１２０は、流体室Ｙ１９の一部である。

　可動部Ｙ１２８は、上記のように動くことで、第２冷媒孔Ｙ１７の貫通孔Ｙ１２０に対する開度および第３冷媒孔Ｙ１８の貫通孔Ｙ１２０に対する開度を変更する。第１冷媒孔Ｙ１６は、貫通孔Ｙ１２０に対して常に全開で連通している。

　また、第１固定部Ｙ１２１のうち、複数の第１リブＹ１２３と接続する部分の近傍の第１印加点Ｙ１２９には、図７に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１４を通った電気配線Ｙ６のマイクロバルブＹ１側端が接続される。また、第２固定部Ｙ１２２の第２印加点Ｙ１３０には、図７に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１５を通った電気配線Ｙ７のマイクロバルブＹ１側端が接続される。

　［バルブモジュールＹ０の作動］
　ここで、バルブモジュールＹ０の作動について説明する。マイクロバルブＹ１への通電が開始されると、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０の間に電圧が印加される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が発熱する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

　このような熱的な膨張の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５を接続位置ＹＰ２側に付勢する。付勢されたスパインＹ１２５は、接続位置ＹＰ２において、梁Ｙ１２７を押す。このように、接続位置ＹＰ２は付勢位置および調圧用付勢位置に対応する。

　そして、梁Ｙ１２７とアームＹ１２６から成る部材は、ヒンジＹＰ０を支点として、接続位置ＹＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｙ１２７のアームＹ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｙ１２８も、その長手方向の、スパインＹ１２５が梁Ｙ１２７を押す側に、移動する。

　また、マイクロバルブＹ１への通電が停止されたときは、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。

　このような熱的な収縮の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５を接続位置ＹＰ２とは反対側に付勢する。付勢されたスパインＹ１２５は、接続位置ＹＰ２において、梁Ｙ１２７を引っ張る。その結果、梁Ｙ１２７とアームＹ１２６から成る部材は、ヒンジＹＰ０を支点として、接続位置ＹＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｙ１２７のアームＹ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｙ１２８も、その長手方向の、スパインＹ１２５が梁Ｙ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｙ１２８は、所定の非通電時位置で停止する。

　このようなマイクロバルブＹ１への通電時、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０を介してマイクロバルブＹ１に供給される電力が大きいほど、非通電時位置に対する可動部Ｙ１２８の移動量も大きくなる。これは、マイクロバルブＹ１に供給される電力が高いほど、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４の温度が高くなり、膨張度合いが大きいからである。

　例えば電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０へ印加される電圧がＰＷＭ制御される場合、デューティ比が大きいほど非通電時に対する可動部Ｙ１２８の移動量も大きくなる。

　図９、図１０に示すように、可動部Ｙ１２８が非通電時位置にある場合、貫通孔Ｙ１２０は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｙ１６、第３冷媒孔Ｙ１８と重なるが、当該方向に第２冷媒孔Ｙ１７とは重ならない。第２冷媒孔Ｙ１７は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に可動部Ｙ１２８と重なる。つまりこのとき、貫通孔Ｙ１２０に対して第１冷媒孔Ｙ１６、第３冷媒孔Ｙ１８は全開になり、第２冷媒孔Ｙ１７は全閉になる。したがってこの場合、第１冷媒孔Ｙ１６が第３冷媒孔Ｙ１８に可動部Ｙ１２８を介して連通し、第２冷媒孔Ｙ１７は第１冷媒孔Ｙ１６とも第３冷媒孔Ｙ１８とも遮断される。この結果、第１連通孔ＹＶ１と第３連通孔ＹＶ３との間で、流路Ｙ８１、第１冷媒孔Ｙ１６、貫通孔Ｙ１２０、第３冷媒孔Ｙ１８、流路Ｙ８３を介した、冷媒の流通が可能となる。

　また、図１１、図１２に示すように、マイクロバルブＹ１への通電によって可動部Ｙ１２８が非通電時位置から最も遠ざかった位置にある場合、そのときの可動部Ｙ１２８の位置を最大通電時位置という。可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合は、マイクロバルブＹ１へ供給される電力が制御範囲内の最大となる。例えば、可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、上述のＰＷＭ制御においてデューティ比が制御範囲内の最大値（例えば１００％）となる。

　可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、貫通孔Ｙ１２０は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７と重なるが、当該方向に第３冷媒孔Ｙ１８とは重ならない。第３冷媒孔Ｙ１８は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に可動部Ｙ１２８と重なる。つまりこのとき、貫通孔Ｙ１２０に対して第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７は全開になり、第３冷媒孔Ｙ１８は全閉になる。したがってこの場合、第１冷媒孔Ｙ１６が第２冷媒孔Ｙ１７に可動部Ｙ１２８を介して連通し、第３冷媒孔Ｙ１８は第１冷媒孔Ｙ１６とも第２冷媒孔Ｙ１７とも遮断される。この結果、第１連通孔ＹＶ１と第２連通孔ＹＶ２との間で、流路Ｙ８１、第１冷媒孔Ｙ１６、貫通孔Ｙ１２０、第２冷媒孔Ｙ１７、流路Ｙ８３を介した、冷媒の流通が可能となる。

　また、マイクロバルブＹ１に供給される電力を、例えばＰＷＭ制御で調整することで、可動部Ｙ１２８を、非通電時位置と最大通電時位置の間のどの中間位置にでも、停止させることができる。例えば、最大通電時位置と非通電時位置からも等距離の位置（すなわち、中央位置）で可動部Ｙ１２８を停止させるには、マイクロバルブＹ１に供給される電力が、制御範囲内の最大値の半分であればいい。例えば、ＰＷＭ制御のデューティ比が５０％であればいい。

　可動部Ｙ１２８が中間位置に停止している場合、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、いずれも貫通孔Ｙ１２０に連通している。しかし、第２冷媒孔Ｙ１７および第３冷媒孔Ｙ１８は、貫通孔Ｙ１２０に対して全開状態ではなく、１００％未満かつ０％よりも大きい開度となっている。可動部Ｙ１２８が中間位置において最大通電時位置に近づくほど、貫通孔Ｙ１２０に対する第３冷媒孔Ｙ１８の開度が減少し、第２冷媒孔Ｙ１７の開度が増大する。

　マイクロバルブＹ１は、梁Ｙ１２７およびアームＹ１２６が、ヒンジＹＰ０を支点とし、接続位置ＹＰ２を力点とし、接続位置ＹＰ３を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ３までの直線距離の方が、長い。したがって、力点である接続位置ＹＰ２の移動量よりも、作用点である接続位置ＹＰ３の移動量の方が大きくなる。したがって、熱的な膨張による変位量が、梃子によって増幅されて可動部Ｙ１２８に伝わる。

　また、マイクロバルブＹ１における冷媒の流路は、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、マイクロバルブＹ１の一方側の面からマイクロバルブＹ１内に流入し、マイクロバルブＹ１内を通って、マイクロバルブＹ１の同じ側の面からマイクロバルブＹ１外に流出する。そして同様にバルブモジュールＹ０における冷媒の流路も、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、バルブモジュールＹ０の一方側の面からバルブモジュールＹ０内に流入し、バルブモジュールＹ０内を通って、バルブモジュールＹ０の同じ側の面からバルブモジュールＹ０外に流出する。なお、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向は、第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の積層方向である。

　ここで、バルブモジュールＹ０は、第１冷媒孔Ｙ１６が、第１連通孔ＹＶ１、第１凹部３３０ｃ、３５０ｃの第１貫通孔３３０ｆ、３５０ｆを介して圧力室３３４、３５４に連通している。また、第２冷媒孔Ｙ１７が、第２連通孔ＹＶ２、第２凹部３３０ｄ、３５０ｄの第２貫通孔３３０ｇ、３５０ｇを介して入口流路３３１ａ、３５１ａに連通している。そして、第３冷媒孔Ｙ１８が、第３連通孔ＹＶ３、第３凹部３３０ｅ、３５０ｅの第３貫通孔３３０ｈ、３５０ｈを介して出口流路３３１ｂ、３５１ｂに連通している。

　このため、例えば、マイクロバルブＹ１の可動部Ｙ１２８が非通電時位置にある場合、第１冷媒孔Ｙ１６と第３冷媒孔Ｙ１８とが連通し、圧力室３３４、３５４が内部流路３３１、３５１における出口流路３３１ｂ、３５１ｂに連通する。これにより、圧力室３３４、３５４の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が内部流路３３１、３５１における出口流路３３１ｂ、３５１ｂと同等の低圧圧力Ｐｌに低下する。

　この状態からマイクロバルブＹ１への通電によって、可動部Ｙ１２８が非通電時位置から最大通電時位置に近づくと、各冷媒孔Ｙ１６、Ｙ１７、Ｙ１８が連通し、圧力室３３４、３５４が入口流路３３１ａ、３５１ａおよび出口流路３３１ｂ、３５４ｂと連通する。これにより、圧力室３３４、３５４の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が低圧圧力Ｐｌよりも大きく高圧圧力Ｐｈよりも小さい中間圧力となる。

　また、マイクロバルブＹ１への通電によって、可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、第１冷媒孔Ｙ１６と第２冷媒孔Ｙ１７が連通し、圧力室３３４、３５４が入口流路３３１ａ、３５１ａと連通する。これにより、圧力室３３４、３５４の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が第１絞り部３３３ａ、３５３ａの上流側と同等の高圧圧力Ｐｈとなる。

　これらを加味して、本実施形態の冷凍サイクル装置３０では、マイクロバルブＹ１に印加される電圧をＰＷＭ制御によって変更することで、制御圧力Ｐｍを変化させる。冷凍サイクル装置３０は、例えば、図１３に示すように、ＰＷＭ制御のデューティ比を大きくすることで制御圧力Ｐｍを大きくし、ＰＷＭ制御のデューティ比を小さくすることで制御圧力Ｐｍを小さくする。

　具体的には、制御装置３００は、室内冷房時に、第１膨張弁３３のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を最大値にすることで、第１膨張弁３３を全開状態に制御する。また、制御装置３００は、室内冷房時に、第２膨張弁３５のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を中間値にすることで、第２膨張弁３５を絞り状態に制御する。

　制御装置３００は、室内暖房時に、第１膨張弁３３のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を中間値にすることで、第１膨張弁３３を絞り状態に制御する。また、制御装置３００は、室内暖房時に、第２膨張弁３５のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を最小値にすることで、第２膨張弁３５を全閉状態に制御する。

　制御装置３００は、除湿暖房時に、第１膨張弁３３のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を中間値にすることで、第１膨張弁３３を絞り状態に制御する。また、制御装置３００は、除湿暖房時に、第２膨張弁３５のマイクロバルブＹ１に対するＰＷＭ制御のデューティ比を中間値にすることで、第２膨張弁３５を絞り状態に制御する。

　以上説明した各膨張弁３３、３５は、主弁３３２、３５２と圧力調整部３３７、３５７とが弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置されている。このように、圧力調整部３３７、３５７と主弁３３２、３５２とが弁軸方向ＤＲａｘに重ならないレイアウトになっていれば、各膨張弁３３、３５と各膨張弁３３、３５の周囲に配置される他の部品とが干渉し難くなる。これにより、各膨張弁３３、３５および他の部品のレイアウトの自由度が高まるので、設計の自由度の向上を図ることができる。なお、各膨張弁３３、３５の周囲に配置される他の部品は、冷媒の流れ方向の前後に位置する凝縮器３２、室外熱交換器３４、冷房用蒸発器３６等が挙げられる。

　ここで、各膨張弁３３、３５には、弁軸方向ＤＲａｘにおいて主弁３３２、３５２を変位させる空間が必要となる。このため、圧力調整部３３７、３５７と主弁３３２、３５２とが弁軸方向ＤＲａｘにおいて重なり合っていると、各膨張弁３３、３５の弁軸方向ＤＲａｘにおける体格の大型化が避けられない。

　これに対して、本実施形態の圧力調整部３３７、３５７は、少なくとも一部が主弁３３２、３５２と弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向に重なり合うレイアウトになっている。このように、圧力調整部３３７、３５７の少なくとも一部と主弁３３２、３５２とが弁軸方向ＤＲａｘに直行する方向に重なり合うレイアウトになっていれば、各膨張弁３３、３５の弁軸方向ＤＲａｘにおける体格の大型化を抑制することができる。

　また、本実施形態の各膨張弁３３、３５の回路基板３３８、３５８は、その板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に対して交差する姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されている。

　回路基板３３８、３５８の周囲には、回路基板３３８、３５８に実装される駆動回路の発熱に伴って自然対流が生ずる。回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に対して交差する姿勢になっていると、自然対流によって板面３３８ａ、３５８ａに沿って上方に向かう気流が生ずる。このため、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に対して交差する姿勢で配置されていれば、自然対流によって回路基板３３８、３５８を冷却することができる。

　圧力調整部３３７、３５７は、冷凍サイクル装置３０のうち異なる箇所を流れる冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整可能になっている。このように、冷凍サイクル装置３０における冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整する構造とすれば、冷凍サイクル装置３０の構成要素とは異なる別の要素によって制御流体の圧力を調整するものに比べて、各膨張弁３３、３５の簡素化を図ることができる。

　また、圧力調整部３３７、３５７は、バルブモジュールＹ０で構成されている。バルブモジュールＹ０は、マイクロバルブＹ１による圧力室３３４、３５４の圧力調整によって、弁体３３２ａ、３５２ａを開弁側または閉弁側に変位させる構成になっているので、電磁弁や電動弁よりも小型に構成することができる。その理由の１つは、マイクロバルブＹ１が上述の通り半導体チップにより形成されているということである。また、上述の通り、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅されることも、そのような梃子を利用しない電磁弁や電動弁と比べて小型に構成することが可能となる。圧力調整部３３７、３５７を小型に構成できると、各膨張弁３３、３５における圧力調整部３３７、３５７が占める割合が小さくなり、圧力調整部３３７、３５７以外の部品の設定をより広い範囲で検討することが可能となる。したがって、各膨張弁３３、３５の設計の自由度を充分に高めることができる。

　具体的には、マイクロバルブＹ１は、可動部Ｙ１２８によって第２冷媒孔Ｙ１７および第３冷媒孔Ｙ１８の開度を調整して圧力室３３４、３５４の圧力を変化させる構成になっている。これによれば、マイクロバルブＹ１による圧力室３３４、３５４の圧力調整によって、弁体３３２ａ、３５２ａを閉弁側および開弁側に変位させることができる。

　また、マイクロバルブＹ１およびバルブモジュールＹ０はＵターンの構造の冷媒流路を有しているので、ボデー部３３０、３５０の掘り込みを少なくすることができる。つまり、バルブモジュールＹ０を配置するためにボデー部３３０、３５０に形成された凹みの深さを抑えることができる。その理由は以下の通りである。

　例えば、バルブモジュールＹ０がＵターンの構造の冷媒流路を有しておらず、バルブモジュールＹ０のボデー部３３０、３５０側の面に冷媒入口があり、バルブモジュールＹ０の反対側の面に冷媒出口があったとする。その場合、バルブモジュールＹ０の両面に、冷媒流路を形成する必要がある。したがって、バルブモジュールＹ０の両面の冷媒流路までボデー部３３０、３５０に収容しようとすると、バルブモジュールＹ０を配置するためにボデー部３３０、３５０に形成しなければならない凹みが深くなってしまう。また、マイクロバルブＹ１自体が小型であるので、ボデー部３３０、３５０の掘り込みを更に低減することができる。

　また、マイクロバルブＹ１の両面のうち、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７が形成される面とは反対側の面に電気配線Ｙ６、Ｙ７を配置した場合、電気配線Ｙ６、Ｙ７を大気雰囲気により近い側に置くことができる。したがって、電気配線Ｙ６、Ｙ７への冷媒雰囲気の影響を低減するためのハーメチック等のシール構造が不要となる。その結果、マイクロバルブＹ１の小型化が実現できる。

　また、マイクロバルブＹ１が軽量であることから、各膨張弁３３、３５が軽量化される。マイクロバルブＹ１の消費電力が小さいので、各膨張弁３３、３５が省電力化される。

　（第１実施形態の変形例）
　第１実施形態では、各膨張弁３３、３５として、基本構造が同様に構成されているものを例示したが、各膨張弁３３、３５は、これに限定されない。各膨張弁３３、３５は、異なる構造になっていてもよい。例えば、第１膨張弁３３および第２膨張弁３５は、一方の膨張弁が第１実施形態で説明したものと同様に構成され、他方の膨張弁がソレノイドや電動モータを含む電気式膨張弁で構成されていてもよい。なお、第２膨張弁３５は、全閉機能が付いていないものであってもよい。

　第１実施形態では、各膨張弁３３、３５として、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが上下方向ＤＲｇに並行となる姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されているものを例示したが、各膨張弁３３、３５は、これに限定されない。各膨張弁３３、３５は、例えば、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが上下方向ＤＲｇおよび水平方向それぞれに交差する姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されていてもよい。これによっても、自然対流によって回路基板３３８、３５８を冷却することができる。

　第１実施形態では、各膨張弁３３、３５が実質的に同じもので構成されているものを例示したが、各膨張弁３３、３５はこれに限定されない。各膨張弁３３、３５は、少なくとも一部が異なる構造になっていてもよい。このことは、第１実施形態と異なる実施形態においても同様である。なお、「実質的に同じ」とは、本件の出願時点での製造技術において制作可能な程度に同一であることを意味するものである。このため、本件の出願時点での製造技術において生じ得る誤差等により生ずる差は同一として解釈することができる。

　（第２実施形態）
　本実施形態について、図１４～図２０を参照して説明する。本実施形態の冷凍サイクル装置３０は、各膨張弁３３、３５の一部が第１実施形態で説明したものと異なっている。本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について主に説明する。

　図１４に示すように、各膨張弁３３、３５は、直方体形状のボデー部３３０、３５０を備える。ボデー部３３０、３５０には、上面から下面まで貫通する貫通孔３３０ｊ、３５０ｊ、上面から下方に向かう有底孔３３０ｋ、３５０ｋが形成されている。貫通孔３３０ｊ、３５０ｊと有底孔３３０ｋ、３５０ｋとは、ボデー部３３０、３５０において、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に形成されている。

　各膨張弁３３、３５は、貫通孔３３０ｊ、３５０ｊに主弁３３２、３５２が配置され、有底孔３３０ｋ、３５０ｋに圧力調整部３３７、３５７が配置されている。これにより、主弁３３２、３５２および圧力調整部３３７、３５７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置される。換言すれば、圧力調整部３３７、３５７は、主弁３３２、３５２に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にオフセットして配置される。

　圧力調整部３３７、３５７は、少なくとも一部が、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において主弁３３２、３５２と重なり合うように配置されている。これにより、圧力調整部３３７、３５７と圧力室３３４、３５４とが隣接して配置される構造になっている。

　図１５に示すように、主弁３３２、３５２は、弁体３３２ａ、３５２ａ、支持部３３２ｂ、３５２ｂ、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃ、第２バネ３３２ｄ、３５２ｄ、調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅ、作動棒３３２ｆ、３５２ｆ、キャップ３３２ｉ、３５２ｉを有する。

　キャップ３３２ｉ、３５２ｉ、第２バネ３３２ｄ、３５２ｄ、作動棒３３２ｆ、３５２ｆ、弁体３３２ａ、３５２ａ、支持部３３２ｂ、３５２ｂ、第１バネ３３２ｃ、３５２ｃ、調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅは、この順序で弁軸方向ＤＲａｘに並んで配置されている。

　本実施形態の主弁３３２、３５２は、ストッパ３３２ｇ、３５２ｇが仕切部３３２ｈ、３５２ｈを介して作動棒３３２ｆ、３５２ｆの端部に固定されている。すなわち、主弁３３２、３５２は、ストッパ３３２ｇ、３５２ｇ、仕切部３３２ｈ、３５２ｈ、作動棒３３２ｆ、３５２ｆが、この順序で弁軸方向ＤＲａｘに並んでいる。仕切部３３２ｈ、３５２ｈの外周には、シール部材としてのＯリングＳ１が設けられている。また、キャップ３３２ｉ、３５２ｉの外周および調整ネジ３３２ｅ、３５２ｅの外周にもシール部材としてのＯリングＳ２、Ｓ３、Ｓ４が設けられている。

　ボデー部３３０、３５０には、第１連接管３３９ａ、３５９ａ、第２連接管３３９ｂ、３５９ｂ、第３連接管３３９ｃ、３５９ｃが接続されている。第１連接管３３９ａ、３５９ａ、第２連接管３３９ｂ、３５９ｂ、第３連接管３３９ｃ、３５９ｃは、キャピラリチューブ等の細管によって構成されている。第１連接管３３９ａ、３５９ａは、後述の第２流路Ｚ２３と圧力室３３４、３５４とを連通させる管である。第２連接管３３９ｂ、３５９ｂは、後述の第１流路Ｚ２２と入口流路３３１ａ、３５１ａとを連通させる管である。第３連接管３３９ｃ、３５９ｃは、後述の第３流路Ｚ２４と出口流路３３１ｂ、３５１ｂとを連通させる管である。

　圧力調整部３３７、３５７は、図１６および図１７に示すバルブモジュールＺ０で構成されている。バルブモジュールＺ０は、有底孔３３０ｋ、３５０ｋに嵌め込むことが可能なように、有底孔３３０ｋ、３５０ｋに対応する外形状を有している。

　本実施形態のバルブモジュールＺ０は、マイクロバルブＺ１、バルブケーシングＺ２、３つのＯリングＺ４、Ｚ５ａ、Ｚ５ｂ、２本のターミナルＺ６、Ｚ７、リッドＺ８を有している。

　図１８および図１９に示すように、バルブケーシングＺ２は、略円柱形状になっている。バルブケーシングＺ２は、底部を構成する下端部に、上端部に向かって窪んだ凹部Ｚ２１が形成されている。図１９に示すように、バルブケーシングＺ２には、第１流路Ｚ２２、第２流路Ｚ２３、第３流路Ｚ２４が形成されている。

　第１流路Ｚ２２は、バルブケーシングＺ２の凹部Ｚ２１の内側の空間によって形成されている。第１流路Ｚ２２は、第２連接管３３９ｂ、３５９ｂを介して入口流路３３１ａ、３５１ａに連通している。

　第２流路Ｚ２３は、バルブケーシングＺ２の側面から下端部までバルブケーシングＺ２を貫通する。第２流路Ｚ２３は、第１連接管３３９ａ、３５９ａを介して圧力室３３４、３５４に連通している。第２流路Ｚ２３は、第２横孔Ｚ２３ａと第２縦孔Ｚ２３ｂを有する。第２横孔Ｚ２３ａは、バルブケーシングＺ２の軸心ＣＬｍに交差する方向に延びる貫通孔である。第２縦孔Ｚ２３ｂは、第２横孔Ｚ２３ａの途中で分岐してバルブケーシングＺ２の軸心ＣＬｍに沿って下端部まで延びている。第２流路Ｚ２３は、バルブケーシングＺ２の側面のうち、上端部と下端部との略中間となる位置に開口している。また、第２流路Ｚ２３は、図１７に示すように、凹部Ｚ２１の底面に開口している。

　第３流路Ｚ２４は、バルブケーシングＺ２の側面から下端部までバルブケーシングＺ２を貫通する。第３流路Ｚ２４は、第３連接管３３９ｃ、３５９ｃを介して出口流路３３１ｂ、３５１ｂに連通している。第３流路Ｚ２４は、第３横孔Ｚ２４ａと第３縦孔Ｚ２４ｂを有する。第３横孔Ｚ２４ａは、バルブケーシングＺ２の軸心ＣＬｍに交差する方向に延びる貫通孔である。第３縦孔Ｚ２４ｂは、第３横孔Ｚ２４ａの途中で分岐してバルブケーシングＺ２の軸心ＣＬｍに沿って下端部まで延びている。第３流路Ｚ２４は、バルブケーシングＺ２の側面のうち、第２流路Ｚ２３の開口よりも上端部に近い位置に開口している。また、第３流路Ｚ２４は、図１７に示すように、凹部Ｚ２１の底面のうち、第２流路Ｚ２３の開口とは異なる位置に開口している。なお、第２流路Ｚ２３および第３流路Ｚ２４は、互いに連通しないように、バルブケーシングＺ２において異なる位置に形成されている。

　図１９に示すように、バルブケーシングＺ２の側面には、第１溝部Ｚ２５、第２溝部Ｚ２６、第３溝部Ｚ２７が形成されている。第１溝部Ｚ２５、第２溝部Ｚ２６、第３溝部Ｚ２７は、バルブケーシングＺ２の周方向に沿って延びている。

　第１溝部Ｚ２５は、バルブケーシングＺ２の側面のうち、第２流路Ｚ２３が開口する位置の下方に形成されている。第１溝部Ｚ２５には、ＯリングＺ４が取り付けられている。このＯリングＺ４は、バルブケーシングＺ２と有底孔３３０ｋ、３５０ｋとの隙間からの冷媒漏れを抑制する。

　第２溝部Ｚ２６は、バルブケーシングＺ２の側面のうち、第２流路Ｚ２３の開口と第３流路Ｚ２４の開口との間に形成されている。第２溝部Ｚ２６には、ＯリングＺ５ａが取り付けられている。このＯリングＺ５ａは、バルブケーシングＺ２と有底孔３３０ｋ、３５０ｋとの隙間からの冷媒漏れを抑制する。

　第３溝部Ｚ２７は、バルブケーシングＺ２の側面のうち、第３流路Ｚ２４が開口する位置よりも上方に形成されている。第３溝部Ｚ２７には、ＯリングＺ５ｂが取り付けられている。このＯリングＺ５ｂは、バルブケーシングＺ２と有底孔３３０ｋ、３５０ｋとの隙間からの冷媒漏れを抑制する。

　ここで、第２流路Ｚ２３は、バルブケーシングＺ２の側面のうち第２流路Ｚ２３が形成された開口と有底孔３３０ｋ、３５０ｋの内壁との間の隙間を介して第１連接管３３９ａ、３５９ａに連通する。第３流路Ｚ２４は、バルブケーシングＺ２の側面のうち第３流路Ｚ２４が形成された開口と有底孔３３０ｋ、３５０ｋの内壁との間の隙間を介して第３連接管３３９ｃ、３５９ｃに連通する。

　バルブケーシングＺ２は、上端部にリッドＺ８が配置されるとともに、上端部からターミナルＺ６、Ｚ７の一部が突き出ている。ターミナルＺ６、Ｚ７は、回路基板３３８、３５８とマイクロバルブＺ１とを電気的に接続する配線部品である。ターミナルＺ６、Ｚ７は、一部がバルブケーシングＺ２の上端部から突き出るように、バルブケーシングＺ２にインサート成形される。リッドＺ８は、略中央に窓部Ｚ８１が形成された環状の部品である。リッドＺ８は、有底孔３３０ｋ、３５０ｋに対してカシメ、ネジ、溶接等の接合手段によって固定される。リッドＺ８の窓部Ｚ８１は、ターミナルＺ６、Ｚ７が通すための挿通孔である。

　本実施形態のマイクロバルブＺ１は、第１実施形態で説明したマイクロバルブＹ１と同様に構成されている。本実施形態のマイクロバルブＺ１の構成要素のうち、第１実施形態のマイクロバルブＹ１の構成要素と共通するものは、符号の先頭に付した「Ｙ１」を「Ｚ１」に変更して表記する。例えば、マイクロバルブＺ１の構成要素のうち、第１実施形態の第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８に対応するものは、第１冷媒孔Ｚ１６、第２冷媒孔Ｚ１７、第３冷媒孔Ｚ１８と表記する。

　図２０に示すように、マイクロバルブＺ１は、バルブケーシングＺ２の凹部Ｚ２１に配置されている。図示しないが、マイクロバルブＺ１は、凹部Ｚ２１に設けられた支持部材によって支持されている。

　マイクロバルブＺ１は、第１冷媒孔Ｚ１６、第２冷媒孔Ｚ１７、第３冷媒孔Ｚ１８が形成された面が、凹部Ｚ２１の底面に向く姿勢で凹部Ｚ２１の内側に配置されている。具体的には、マイクロバルブＺ１は、第１冷媒孔Ｚ１６が第２流路Ｚ２３の開口と向き合うとともに、第２冷媒孔Ｚ１７が第１流路Ｚ２２と向き合い、さらに、第３冷媒孔Ｚ１８が第３流路Ｚ２４の開口と向き合うように、凹部Ｚ２１の内側に配置されている。これにより、マイクロバルブＺ１は、第１冷媒孔Ｚ１６が第２流路Ｚ２３に連通し、第２冷媒孔Ｚ１７が第１流路Ｚ２２に連通し、第３冷媒孔Ｚ１８が第３流路Ｚ２４に連通する。

　また、マイクロバルブＺ１は、第１冷媒孔Ｚ１６、第２冷媒孔Ｚ１７、第３冷媒孔Ｚ１８が形成された面の反対側に電極Ｚ２８が設けられている。この電極Ｚ２８は、マイクロバルブＺ１をターミナルＺ６、Ｚ７に電気的に接続する部品である。電極Ｚ２８の一部およびマイクロバルブＺ１の一部は、モールド樹脂部Ｚ２９によって封止されている。

　マイクロバルブＺ１は、電極Ｚ２８、ターミナルＺ６、Ｚ７を介して回路基板３３８、３５８に接続されている。マイクロバルブＺ１は、回路基板３３８、３５８からの電力供給によって駆動される。

　図１４に示すように、回路基板３３８、３５８は、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に並行となる姿勢で圧力調整部３３７、３５７のターミナルＺ６、Ｚ７に接続されている。

　その他の構成は、第１実施形態と同様である。本実施形態の各膨張弁３３、３５は、第１実施形態と共通の構成または均等な構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

　特に、各膨張弁３３、３５は、ボデー部３３０、３５０の貫通孔３３０ｊ、３５０ｊに上下方向ＤＲｇから主弁３３２、３５２を取り付けるとともに、有底孔３３０ｋ、３５０ｋに上下方向ＤＲｇから圧力調整部３３７、３５７を取り付ける構造になっている。これによると、ボデー部３３０、３５０に対する主弁３３２、３５２および圧力調整部３３７、３５７の組付け作業が容易となる。

　（第２実施形態の変形例）
　第２実施形態では、ボデー部３３０、３５０の貫通孔３３０ｊ、３５０ｊおよび有底孔３３０ｋ、３５０ｋが上下方向ＤＲｇに沿って延びているものを例示したが、ボデー部３３０、３５０は、これに限定されない。ボデー部３３０、３５０は、例えば、貫通孔３３０ｊ、３５０ｊおよび有底孔３３０ｋ、３５０ｋが弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に形成されていれば、上記のものと異なる態様になっていてもよい。

　第２実施形態では、回路基板３３８、３５８の板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に沿って延びる姿勢で圧力調整部３３７、３５７に回路基板３３８、３５８が接続されているものを例示したが、これに限定されない。回路基板３３８、３５８は、その板面３３８ａ、３５８ａが水平方向に対して交差する姿勢で圧力調整部３３７、３５７に接続されていてもよい。

　（第３実施形態）
　本実施形態について、図２１～図２７を参照して説明する。本実施形態では、第２実施形態と異なる部分について主に説明する。

　本実施形態の冷凍サイクル装置３０は、冷媒の蒸発時の吸熱作用によって車両に搭載されたバッテリ等の冷却対象機器を冷却する機器冷却を実行可能になっている。図２１に示すように、冷凍サイクル装置３０は、凝縮器３２の冷媒出口側に、第２膨張弁３５および冷房用蒸発器３６と並列になるように、第３膨張弁３９および機器用蒸発器４０が接続されている。

　第３膨張弁３９は、室外熱交換器３４と第２膨張弁３５とを繋ぐ冷媒配管から分岐する分岐配管に設けられている。第３膨張弁３９は、機器冷却時に、室外熱交換器３４を通過した冷媒を減圧する機器冷却用の膨張弁である。第３膨張弁３９は、絞り開度が最小となる全閉状態において、冷媒の流れが遮断される構造になっている。

　本実施形態の第１膨張弁３３、第２膨張弁３５、および第３膨張弁３９は、一部の部品が統合された１つの統合弁ＶＤとして構成されている。統合弁ＶＤは、本開示の弁装置を構成している。統合弁ＶＤの詳細は後述する。

　第３膨張弁３９の冷媒出口側には、機器用蒸発器４０が接続されている。機器用蒸発器４０は、第３膨張弁３９を通過した冷媒を蒸発させる熱交換器である。具体的には、機器用蒸発器４０は、冷媒が流通する冷媒流路部４０１と冷却回路ＬＣの熱媒体が流通する熱媒体流路部４０２を備え、冷媒と冷却回路ＬＣを流れる熱媒体とを熱交換させて、熱媒体を冷却する冷却用熱交換器を構成している。なお、冷却回路ＬＣは、冷媒の蒸発潜熱を冷却対象機器の冷却を行うための冷熱源として利用するための回路である。図示しないが、冷却回路ＬＣには、バッテリから吸熱するための吸熱器等が設けられている。

　機器用蒸発器４０の冷媒出口側には、蒸発圧力調整弁４１を介して、冷房用蒸発器３６と圧縮機３１とを接続する冷媒配管に接続されている。蒸発圧力調整弁４１は、機器用蒸発器４０を通過する冷媒の圧力を所定の設定圧力値以上に維持するものである。蒸発圧力調整弁４１は、例えば、ベローズ式の弁で構成される。冷凍サイクル装置３０は、蒸発圧力調整弁４１を備えることで、例えば、冷却対象機器の冷却と車室内の冷房を同時に行う際、機器用蒸発器４０を通過する冷媒の圧力を維持しつつ、冷房用蒸発器３６を通過する冷媒の圧力を低下させることができる。

　続いて、制御装置３００は、図２２に示すように、制御装置３００の入力側に、空調用センサ群３０１に加えて、機器冷却用センサ３０３が接続されている。機器冷却用センサ３０３は、例えば、冷却対象機器の温度を検出する温度センサを含んでいる。

　制御装置３００の出力側には、圧縮機３１、第１膨張弁３３、室外ファン３４１、第２膨張弁３５、室内ファン３６１、バイパス弁３７、第３膨張弁３９が接続されている。制御装置３００は、第３膨張弁３９の絞り開度を状況に応じて変更することができる。

　冷凍サイクル装置３０は、空調用センサ群３０１、操作パネル３０２、機器冷却用センサ３０３による入力を受け付けることで、冷凍サイクル装置３０の運転モードを適宜切り替える。

　具体的には、制御装置３００は、各膨張弁３３、３５、３９およびバイパス弁３７等を制御して冷凍サイクル装置３０における冷媒の流れ方を変更することで、冷凍サイクル装置３０の運転モードを切り替える。本実施形態の冷凍サイクル装置３０は、室内冷房、室内暖房、除湿暖房、機器冷却といった４つの運転モードに設定可能になっている。

　ここで、室内冷房、室内暖房、および除湿暖房を行う際には、図２３に示すように、制御装置３００によって第３膨張弁３９が全閉状態に制御され、第１膨張弁３３、第２膨張弁３５が第１実施形態と同様に制御される。室内冷房、室内暖房、および除湿暖房を行う際の冷凍サイクル装置３０の作動は第１実施形態と同様である。以下、機器冷却時の冷凍サイクル装置３０の作動について説明する。

　［機器冷却］
　機器冷却は、冷房用蒸発器３６で所望の温度に冷却した空気を車室内へ吹き出しつつ、冷却対象機器を所望の温度に冷却する運転モードである。機器冷却は、例えば、運転モード切替スイッチによって運転モードが冷房モードに設定された状態で、冷却対象機器の温度が適正温度を上回ると冷凍サイクル装置３０によって実行される。この機器冷却時には、ヒータ回路ＨＣにおける熱媒体の流れが停止される。

　制御装置３００は、室内冷房時における各種機器の作動状態を空調用センサ群３０１、機器冷却用センサ３０３の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。例えば、制御装置３００は、図２３に示すように、第１膨張弁３３が全開状態となり、第２膨張弁３５および第３膨張弁３９が絞り状態となるように各膨張弁３３、３５、３９を制御する。また、制御装置３００は、バイパス弁３７を閉状態に制御する。制御装置３００は、圧縮機３１、各ファン３４１、３６１等の他の機器に対する制御信号について、空調用センサ群３０１の検出信号および操作パネル３０２の操作信号を用いて適宜決定する。

　冷凍サイクル装置３０は、機器冷却時に、圧縮機３１から吐出された高圧冷媒が凝縮器３２に流入する。機器冷却時には、ヒータ回路ＨＣに熱媒体が流れていないので、凝縮器３２に流入した冷媒は、殆ど放熱することなく第１膨張弁３３に流入する。

　機器冷却時には、第１膨張弁３３が全開状態になっているので、第１膨張弁３３に流入した冷媒は、殆ど減圧されることなく室外熱交換器３４に流入する。室外熱交換器３４に流入した冷媒は、外気に放熱して凝縮する。

　機器冷却時には、第２膨張弁３５および第３膨張弁３９が絞り状態になっているので、室外熱交換器３４を通過した冷媒が第２膨張弁３５および第３膨張弁３９それぞれに流入する。

　第２膨張弁３５に流入した冷媒は、第２膨張弁３５にて所望の圧力となるまで減圧される。第２膨張弁３５で減圧された冷媒は、冷房用蒸発器３６に流入する。冷房用蒸発器３６に流入した冷媒は、室内ファン３６１からの送風空気から吸熱して蒸発する。車室内には、冷房用蒸発器３６で所望の温度に冷却された空気が吹き出される。

　一方、第３膨張弁３９で減圧された冷媒は、機器用蒸発器４０に流入する。機器用蒸発器４０に流入した冷媒は、冷却回路ＬＣを流れる熱媒体から吸熱して蒸発する。この際、冷媒の蒸発時の吸熱作用によって冷却回路ＬＣを流れる熱媒体が冷却されるので、機器用蒸発器４０で冷却された熱媒体によって冷却対象機器が冷却される。

　冷房用蒸発器３６および機器用蒸発器４０を通過した冷媒は、圧縮機３１に吸入される。圧縮機３１に吸入された冷媒は、圧縮機３１にて再び高圧冷媒となるまで圧縮される。

　以上の如く、機器冷却時には、冷房用蒸発器３６で冷却された空気が車室内に吹き出されるとともに、機器用蒸発器４０で冷却された熱媒体によって冷却対象機器が冷却される。

　次に、統合弁ＶＤの詳細について図２４～図２７を参照しつつ説明する。図２４および図２５に示すように、統合弁ＶＤは、各膨張弁３３、３５、３９におけるボデー部ＢＰおよび回路基板ＣＢが統合されている。

　ボデー部ＢＰは、各膨張弁３３、３５、３９の外殻を形成するものである。ボデー部ＢＰは、例えば、アルミニウム合金製の金属ブロックに孔開け加工等が施されたものである。図２６および図２７に示すように、ボデー部ＢＰには、第１内部流路３３１、第２内部流路３５１、第３内部流路３９１が形成されている。

　第１内部流路３３１は、第１膨張弁３３の一部を構成する冷媒流路であって、凝縮器３２を通過した冷媒が通過する。第２内部流路３５１は、第２膨張弁３５の一部を構成する冷媒流路であって、室外熱交換器３４を通過した冷媒が通過する。第３内部流路３９１は、第３膨張弁３９の一部を構成する冷媒流路であって、室外熱交換器３４を通過した冷媒が通過する。

　図２５に示すように、ボデー部ＢＰの正面には、第１内部流路３３１の入口部３３０ａと出口部３３０ｂ、第２内部流路３５１の出口部３５０ｂ、第３内部流路３９１の出口部３９０ｂが形成されている。ボデー部ＢＰの側面には、第２内部流路３５１の入口部３５０ａおよび第３内部流路３９１の入口部３９１ａが形成されている。

　図２４に示すように、ボデー部ＢＰには、ボデー部ＢＰの正面から背面まで貫通する３つの貫通孔３３０ｊ、３５０ｊ、３９０ｊ、上面から下方に向かう３つの有底孔３３０ｋ３５０ｋ、３９０ｋが形成されている。

　３つの貫通孔３３０ｊ、３５０ｊ、３９０ｊは、横一列に並ぶように水平方向に延びている。３つの有底孔３３０ｋ、３５０ｋ、３９０ｋは、縦一列に並ぶように上下方向ＤＲに延びている。３つの貫通孔３３０ｊ、３５０ｊ、３９０ｊおよび３つの有底孔３３０ｋ、３５０ｋ、３９０ｋは、ボデー部ＢＰにおいて、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に形成されている。弁軸方向ＤＲａｘは、各膨張弁３３、３５、３９の主弁３３２、３５２、３９２の弁部分が変位する方向である。本実施形態では、各膨張弁３３、３５、３９の主弁３３２、３５２、３９２の弁部分の変位する方向が同じ方向になっている。なお、各膨張弁３３、３５、３９の主弁３３２、３５２、３９２の弁部分の変位する方向が異なる場合、弁軸方向ＤＲａｘは、各膨張弁３３、３５、３９で異なる方向となる。

　統合弁ＶＤは、圧力調整部３３７、３５７、３９７および主弁３３２、３５２、３９２を一組とする複数の弁ユニットＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３を備える。具体的には、統合弁ＶＤは、第１弁ユニットＵＴ１、第２弁ユニットＵＴ２、第３弁ユニットＵＴ３を備える。

　第１弁ユニットＵＴ１は、第１膨張弁３３の圧力調整部３３７および主弁３３２を一組とする弁ユニットである。第１膨張弁３３は、貫通孔３３０ｊに主弁３３２が配置され、有底孔３３０ｋに圧力調整部３３７が配置されている。これにより、第１膨張弁３３の主弁３３２および圧力調整部３３７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置される。換言すれば、第１膨張弁３３の圧力調整部３３７は、第１膨張弁３３の主弁３３２に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にオフセットして配置される。圧力調整部３３７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において、絞り部３３３ａと重なり合う位置に配置されている。これにより、第１弁ユニットＵＴ１は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向の体格が抑えられている。なお、第１膨張弁３３の主弁３３２および圧力調整部３３７は、第２実施形態と同様に構成されている。

　第２弁ユニットＵＴ２は、第２膨張弁３５の圧力調整部３５７および主弁３５２を一組とする弁ユニットである。第２膨張弁３５は、貫通孔３５０ｊに主弁３５２が配置され、有底孔３５０ｋに圧力調整部３５７が配置されている。これにより、第２膨張弁３５の主弁３５２および圧力調整部３５７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置される。換言すれば、第２膨張弁３５の圧力調整部３５７は、第２膨張弁３５の主弁３５２に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にオフセットして配置される。圧力調整部３５７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において、絞り部３５３ａと重なり合う位置に配置されている。これにより、第２弁ユニットＵＴ２は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向の体格が抑えられている。なお、第２膨張弁３５の主弁３５２および圧力調整部３５７は、第２実施形態と同様に構成されている。

　第３弁ユニットＵＴ３は、第３膨張弁３９の圧力調整部３９７および主弁３９２を一組とする弁ユニットである。第３膨張弁３９は、貫通孔３９０ｉに主弁３９２が配置され、有底孔３９０ｋに圧力調整部３９７が配置されている。これにより、第３膨張弁３９の主弁３９２および圧力調整部３９７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において異なる位置に配置される。換言すれば、第３膨張弁３９の圧力調整部３９７は、第３膨張弁３９の主弁３９２に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にオフセットして配置される。圧力調整部３９７は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向において、絞り部３９３ａと重なり合う位置に配置されている。これにより、第３弁ユニットＵＴ３は、弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向の体格が抑えられている。

　ここで、図２６に示すように、第３膨張弁３９の主弁３９２は、弁体３９２ａ、支持部３９２ｂ、第１バネ３９２ｃ、第２バネ３９２ｄ、調整ネジ３９２ｅ、作動棒３９２ｆ、ストッパ３９２ｇ、仕切部３９２ｈ、キャップ３９２ｉを有する。

　弁体３９２ａ、支持部３９２ｂ、第１バネ３９２ｃは、内部流路３９１の途中に設けられた弁室３９３に収容されている。弁室３９３には、絞り部３９３ａが設けられるとともに、弁体３９２ａの弁座３９３ｂが形成されている。また、第２バネ３９２ｄは、圧力室３９４に配置されている。この圧力室３９４には、第３膨張弁３９の圧力調整部３９７によって圧力調整された冷媒が制御流体として導入される。なお、主弁３９２の他の構成要素は、第１、第２実施形態で説明した主弁３３２、３５２と同様であるため、詳細な説明を省略する。

　第３膨張弁３９の圧力調整部３９７は、バルブモジュールＺ０で構成されている。バルブモジュールＺ０は、第２実施形態で説明したものと同様であるため、その説明を省略する。

　図２６に示すように、ボデー部ＢＰには、第３膨張弁３９の圧力調整部３９７の第２流路Ｚ２３と圧力室３９４とを連通させる第１圧力導入路Ｌｐ１が形成されている。図示しないが、ボデー部ＢＰには、第１膨張弁３３の圧力調整部３３７の第２流路Ｚ２３と圧力室３３４とを連通させる第１圧力導入路および第２膨張弁３５の圧力調整部３５７の第２流路Ｚ２３と圧力室３５４とを連通させる第１圧力導入路が形成されている。これにより、各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７で調整された制御流体の圧力が、各膨張弁３３、３５、３９の圧力室３３４、３５４、３９４に導入される。

　また、図２７に示すように、ボデー部ＢＰには、圧縮機３１から吐出される冷媒と同等の圧力を有する高圧冷媒が流れる高圧流路Ｌ１、圧縮機３１に吸入される冷媒と同等の圧力を有する低圧冷媒が流れる低圧流路Ｌ２が形成されている。

　高圧流路Ｌ１は、ボデー部ＢＰに形成された第２圧力導入路Ｌｐ２を介して各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７の第１流路Ｚ２２に接続されている。これにより、各膨張弁３３、３５、３９の第１流路Ｚ２２には、高圧冷媒の圧力が導入される。

　一方、低圧流路Ｌ２は、ボデー部ＢＰに形成された第３圧力導入路Ｌｐ３を介して各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７の第３流路Ｚ２４に接続されている。これにより、各膨張弁３３、３５、３９の第３流路Ｚ２４には、低圧冷媒の圧力が導入される。

　また、図２７に示すように、各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７のターミナルＺ６、Ｚ７は、１つの回路基板ＣＢに接続されている。この回路基板ＣＢには、各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７それぞれの駆動回路が実装されている。

　回路基板ＣＢは、その板面が各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７の並び方向に沿って延びる姿勢で、圧力調整部３３７、３５７、３９７のターミナルＺ６、Ｚ７に接続されている。

　その他の構成は、第２実施形態と同様である。本実施形態の各膨張弁３３、３５、３９は、第１実施形態および第２実施形態と共通の構成または均等な構成から奏される効果を第１実施形態および第２実施形態と同様に得ることができる。

　本実施形態の冷凍サイクル装置３０は、各膨張弁３３、３５、３９が１つの統合弁ＶＤとして統合されている。これによると、各膨張弁３３、３５、３９を簡素に実現できるとともに、冷凍サイクル装置３０の搭載性を向上させることができる。

　この統合弁ＶＤは、各弁ユニットＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３の圧力調整部３３７、３５７、３９７が、弁軸方向ＤＲａｘにおいて主弁３３２、３５２、３９２と重ならないように配置されている。すなわち、各弁ユニットＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３の圧力調整部３３７、３５７、３９７は、主弁３３２、３５２、３９２が配置される位置に対して弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向にずれた位置に配置されている。これによれば、統合弁ＶＤと統合弁ＶＤの周囲に配置される他の部品とが干渉し難くなり、統合弁ＶＤおよび他の部品のレイアウトの自由度が高まるので、設計の自由度の向上を図ることができる。

　（第３実施形態の変形例）
　第３実施形態では、各弁ユニットＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３の圧力調整部３３７、３５７、３９７が、弁軸方向ＤＲａｘにおいて主弁３３２、３５２、３９２と重ならないように配置されているものを例示したが、統合弁ＶＤは、これに限定されない。統合弁ＶＤは、例えば、各弁ユニットＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３のうち、一部の圧力調整部３３７、３５７、３９７が、弁軸方向ＤＲａｘにおいて主弁３３２、３５２、３９２と重ならないように配置されていてもよい。

　第３実施形態では、各膨張弁３３、３５、３９が統合されたものを例示したが、統合弁ＶＤは、これに限らず、例えば、バイパス弁３７等の他の機器が統合されていたり、各膨張弁３３、３５、３９の一部が統合されていたりしてもよい。

　また、第３実施形態で説明した統合弁ＶＤは、各膨張弁３３、３５、３９の駆動回路が共通の回路基板ＣＢに実装されているが、これに限らず、例えば、各膨張弁３３、３５、３９の駆動回路が異なる基板に実装されていてもよい。

　第３実施形態では、各膨張弁３３、３５、３９の圧力調整部３３７、３５７、３９７および主弁３３２、３５２、３９２が実質的に同じもので構成されているものを例示したが、各膨張弁３３、３５、３９はこれに限定されない。各膨張弁３３、３５、３９は、圧力調整部３３７、３５７、３９７および主弁３３２、３５２、３９２の少なくとも一部が異なる構造になっていてもよい。

　第３実施形態では、回路基板ＣＢの板面が水平方向に沿って延びる姿勢で圧力調整部３３７、３５７、３９７に回路基板ＣＢが接続されているものを例示したが、これに限定されない。回路基板ＣＢは、その板面が水平方向に対して交差する姿勢で圧力調整部３３７、３５７、３９７に接続されていてもよい。

　第３実施形態では、冷房モード時に機器冷却が実行されるものを例示したが、機器冷却は、これに限らず、暖房モード時や除湿暖房モード時に実行されるようになっていてもよい。また、機器冷却は、室内の空調を行っていない状況下で実行されるようになっていてもよい。

　（他の実施形態）
　以上、本開示の代表的な実施形態について説明したが、本開示は、上述の実施形態に限定されることなく、例えば、以下のように種々変形可能である。

　上述の実施形態では、各膨張弁３３、３５、３９の主弁３３２、３５２、３９２と圧力調整部３３７、３５７、３９７とが弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向に重なり合っているものを例示したが、各膨張弁３３、３５、３９は、これに限定されない。各膨張弁３３、３５、３９は、少なくとも１つが、主弁３３２、３５２、３９２と圧力調整部３３７、３５７、３９７とが弁軸方向ＤＲａｘに直交する方向に重なり合っていなくてもよい。また、各膨張弁３３、３５、３９の姿勢は、上述の実施形態で示したものに限定されない。例えば、各膨張弁３３、３５、３９は、弁軸方向ＤＲａｘが上下方向ＤＲｇと交差して延びる姿勢で搭載されていてもよい。

　上述の実施形態等のマイクロバルブＹ１、Ｚ１は、非通電時に絞り開度が最小となる常閉弁ではなく、非通電時に絞り開度が最大となる常開弁として構成されていてもよい。

　上述の実施形態では、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４が通電されることで発熱し、その発熱によって自らの温度が上昇することで膨張する。しかし、これら部材は、温度が変化すると長さが変化する形状記憶材料から構成されていてもよい。

　上述の実施形態では、冷凍サイクル装置３０における冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整するものを例示したが、圧力調整部３３７、３５７、３９７は、これに限定されない。圧力調整部３３７、３５７、３９７は、例えば、冷凍サイクル装置３０とは異なる機器で生ずる流体の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整するようになっていてもよい。

　上述の実施形態の如く、圧力調整部３３７、３５７、３９７にマイクロバルブＹ１、Ｚ１を用いることが望ましいが、圧力調整部３３７、３５７、３９７は、これに限定されない。圧力調整部３３７、３５７、３９７は、例えば、電動モータ、磁気カップリング等の出力を利用して圧力室３３４、３５４、３９４の圧力を調整するようになっていてもよい。

　上述の実施形態では、各膨張弁３３、３５、３９がポペット式の弁構造になっているものを例示したが、各膨張弁３３、３５、３９は、例えば、スプール式の弁構造またはスライド式の弁構造になっていてもよい。

　上述の実施形態では、本開示の弁装置を蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置３０に適用した例について説明したが、本開示の弁装置は、冷凍サイクル装置３０以外の様々なシステムに対して広く適用可能である。

　上述の実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

　上述の実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されない。

　上述の実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されない。

　本開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。あるいは、本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウエア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウエア論理回路で構成されたプロセッサとの組合せにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。

　（まとめ）
　上述の実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、弁装置は、制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部材を有する主弁と、を備える。圧力調整部および主弁は、弁軸方向に直交する方向において異なる位置に配置されている。

　第２の観点によれば、圧力調整部は、圧力調整部の少なくとも一部が主弁と弁軸方向に直交する方向に重なり合っている。

　弁装置には、弁軸方向において主弁を変位させる空間が必要であり、圧力調整部と主弁とが弁軸方向において重なり合うレイアウトになっていると、弁装置の弁軸方向における体格の大型化が避けられない。

　これに対して、上記の如く、圧力調整部の少なくとも一部と主弁とが弁軸方向に直行する方向に重なり合うレイアウトになっていれば、弁装置の弁軸方向における体格の大型化を抑制することができる。

　第３の観点によれば、弁装置は、制御流体の圧力を調整する圧力調整部および制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁を一組とする複数の弁ユニットを備える。複数の弁ユニットのうち、少なくとも１つの弁ユニットに含まれる圧力調整部は、弁軸方向において主弁と重ならないように、主弁が配置される位置に対して弁軸方向に直交する方向にずれた位置に配置されている。

　第４の観点によれば、弁装置は、圧力調整部が取り付けられるボデー部と、圧力調整部を駆動するための駆動回路が形成された回路基板と、を備える。回路基板は、回路基板の板面が水平方向に対して交差する姿勢で圧力調整部に接続されている。

　回路基板の周囲には、駆動回路の発熱に伴って自然対流が生ずる。回路基板の板面が水平方向に対して交差する姿勢になっていると、自然対流によって回路基板の板面に沿って上方に向かう気流が生ずる。このため、回路基板の板面が水平方向に対して交差する姿勢で配置されていれば、自然対流によって回路基板を冷却することができる。

　第５の観点によれば、圧力調整部は、制御流体の圧力を調整するための流体室を有する弁部品を含む。弁部品は、流体室が形成される基部と、自らの温度が変化すると変位する駆動部と、駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部と、増幅部によって増幅された変位が伝達されて動くことで、流体室を流れる冷媒の圧力を調整する可動部と、を有する。弁部品では、駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置で増幅部が可動部を付勢する。弁部品では、ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長くなっている。

　これによると、弁部品の増幅部は、梃子として機能する。このため、駆動部の温度変化に応じた変位量が、梃子によって増幅されて可動部に伝わる。このように、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅される弁部品は、そのような梃子を利用しない電磁弁や電動弁を用いたものに比べて小型に構成することが可能となる。圧力調整部の弁部品を小型に構成できると、弁装置における圧力調整部が占める割合が小さくなり、圧力調整部以外の部品の設定をより広い範囲で検討することが可能となるので、弁装置の設計の自由度を高めることができる。

　第６の観点によれば、弁部品は、半導体チップによって構成されている。このように、弁部品を半導体チップで構成すれば、弁部品を含む圧力調整部の小型化を実現することができる。

　第７の観点によれば、弁装置は、蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置に適用される。圧力調整部は、冷凍サイクル装置のうち異なる箇所を流れる冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整可能になっている。冷凍サイクル装置における冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整する構造とすれば、冷凍サイクル装置の構成要素とは異なる別の要素によって制御流体の圧力を調整するものに比べて、弁装置の簡素化を図ることができる。

Claims

　弁装置であって、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部（３３７、３５７、３９７）と、
　前記制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁（３３２、３５２、３９２）と、を備え、
　前記圧力調整部および前記主弁は、前記弁軸方向に直交する方向において異なる位置に配置されている弁装置。
　前記圧力調整部は、前記圧力調整部の少なくとも一部が前記主弁と前記弁軸方向に直交する方向に重なり合っている請求項１に記載の弁装置。
　弁装置であって、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部（３３７、３５７、３９７）および前記制御流体の圧力に応じて所定の弁軸方向に変位する弁部分を有する主弁（３３２、３５２、３９２）を一組とする複数の弁ユニット（ＵＴ１、ＵＴ２、ＵＴ３）を備え、
　複数の前記弁ユニットのうち、少なくとも１つの前記弁ユニットに含まれる前記圧力調整部は、前記弁軸方向において前記主弁と重ならないように、前記主弁が配置される位置に対して前記弁軸方向に直交する方向にずれた位置に配置されている弁装置。
　前記圧力調整部が取り付けられるボデー部（３３０、３５０、ＢＰ）と、
　前記圧力調整部を駆動するための駆動回路が形成された回路基板（３３８、３５８）と、を備え、
　前記回路基板は、前記回路基板の板面が水平方向に対して交差する姿勢で前記圧力調整部に接続されている請求項１ないし３のいずれか１つに記載の弁装置。
　前記圧力調整部は、前記制御流体の圧力を調整するための流体室（Ｙ１９）を有する弁部品（Ｙ１）を含み、
　前記弁部品は、
　前記流体室（Ｙ１９）が形成される基部（Ｙ１２１、Ｙ１１、Ｙ１３）と、
　自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｙ１２３、Ｙ１２４、Ｙ１２５）と、
　前記駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｙ１２６、Ｙ１２７）と、
　前記増幅部によって増幅された変位が伝達されて動くことで、前記流体室を流れる冷媒の圧力を調整する可動部（Ｙ１２８）と、を有し、
　前記駆動部が温度の変化によって変位したときに、前記駆動部が付勢位置において前記増幅部を付勢することで、前記増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、前記増幅部と前記可動部の接続位置で前記増幅部が前記可動部を付勢し、
　前記ヒンジから前記付勢位置までの距離よりも、前記ヒンジから前記接続位置までの距離の方が長くなっている請求項１ないし４のいずれか１つに記載の弁装置。
　前記弁部品は、半導体チップによって構成されている請求項５に記載の弁装置。
　蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置（３０）に適用されるものであって、
　前記圧力調整部は、前記冷凍サイクル装置のうち異なる箇所を流れる冷媒の圧力差を利用して前記制御流体の圧力を調整可能になっている請求項１ないし６のいずれか１つに記載の弁装置。