WO2021131497A1

WO2021131497A1 - 弁装置、冷凍サイクル装置

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Publication number: WO2021131497A1
Application number: PCT/JP2020/044313
Authority: WO
Inventors: 陽平長野; 陽一郎河本; 安浩水野
Original assignee: 株式会社デンソー
Priority date: 2019-12-24
Filing date: 2020-11-27
Publication date: 2021-07-01
Also published as: WO2021131498A1

Abstract

弁装置（１３）は、圧力室（ＰＣ１、ＰＣ２）に導入される制御流体の圧力に応じて、対象流体が流れる内部流路（１６２、１８２）の絞り開度が変化する複数の弁（１６０、１８０）と、複数の弁それぞれを駆動するアクチュエータ（１３０）と、を備える。アクチュエータは、制御流体の圧力を調整する圧力調整部（１３１）と、圧力調整部にて圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入する圧力導入部（１３２）と、を含んでいる。

Description

弁装置、冷凍サイクル装置

関連出願への相互参照

　本出願は、２０１９年１２月２４日に出願された日本特許出願番号２０１９－２３３０７１号と、２０２０年６月９日に出願された日本特許出願番号２０２０－１０００２８号とに基づくもので、ここにその記載内容が参照により組み入れられる。

　本開示は、弁装置および当該弁装置を備える冷凍サイクル装置に関する。

　従来、膨張弁を備える空気冷却用の蒸発器と膨張弁を備える電池冷却器とが、室外熱交換器の下流側に並列に接続された冷凍サイクル装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。電池冷却器は、膨張弁の下流側に並列に接続される複数の蒸発器で構成されている。膨張弁と複数の蒸発器との間には、膨張弁を通過した気液二相の冷媒を分配するための分配器が設けられており、当該分配器によって複数の蒸発器に気液二相状態の冷媒が分配される。

特開２０１２－１１１４８６号公報

　ところで、特許文献１の如く、膨張弁と複数の蒸発器との間に分配器が配置される構成では、複数の蒸発器を流れる冷媒の流量調整が困難となる。この対策として、例えば、複数の蒸発器それぞれの上流側にステッピングモータ等の電動モータによって弁を駆動する電気式膨張弁を配置し、当該電気式膨張弁によって複数の蒸発器に流す冷媒流量を調整することが考えられる。

　しかしながら、この場合は、電動モータ等の大型なアクチュエータ数の増加が避けられず、弁装置全体としての体格が非常に大型になり、搭載性が悪化してしまう。このことは、蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置に限らず、複数の弁を備える他の装置でも生じ得る。これらは本発明者らの検討の末に見出された。
　本開示は、部品点数の増加を抑えつつ、複数の弁を制御可能な弁装置および冷凍サイクル装置を提供することを目的とする。

　本開示の１つの観点によれば、
　弁装置は、
　圧力室に導入される制御流体の圧力に応じて、対象流体が流れる内部流路の絞り開度が変化する複数の弁と、
　複数の弁それぞれを駆動するアクチュエータと、を備え、
　アクチュエータは、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、
　圧力調整部にて圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入する圧力導入部と、を含んでいる。

　このように、圧力調整部で圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入可能なアクチュエータを用いれば、単一のアクチュエータによって複数の弁の内部流路の絞り開度を変化させることができる。したがって、部品点数の増加を抑えつつ、複数の弁を制御可能な弁装置を実現することができる。

　本開示の別の観点によれば、
　蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置は、
　吸入した冷媒を圧縮して吐出する圧縮機と、
　圧縮機で圧縮された冷媒を凝縮させる凝縮器と、
　凝縮器を通過した冷媒を減圧させる弁装置と、
　弁装置で減圧された冷媒を蒸発させる複数の蒸発器と、を備え、
　複数の蒸発器は、冷媒流れに対して並列となるように配置され、
　弁装置は、
　複数の蒸発器のうち少なくとも２つ以上の蒸発器の冷媒流れ上流に配置され、圧力室に導入される制御流体の圧力に応じて、冷媒が流れる内部流路の絞り開度が変化する複数の弁と、
　複数の前記弁それぞれを駆動するアクチュエータと、を有しており、
　アクチュエータは、
　制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、
　圧力調整部にて圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入する圧力導入部と、を含んでいる。

　このように、圧力調整部で圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入可能なアクチュエータを用いれば、単一のアクチュエータによって複数の弁の内部流路の絞り開度を変化させることができる。したがって、部品点数の増加を抑えつつ、複数の弁の制御によって、並列に接続される２つ以上の蒸発器に対して所望の割合で冷媒を分配することが可能となる。

　なお、各構成要素等に付された括弧付きの参照符号は、その構成要素等と後述する実施形態に記載の具体的な構成要素等との対応関係の一例を示すものである。

第１実施形態の冷凍サイクル装置の概略構成図である。第１実施形態の冷凍サイクル装置の電子制御部を示すブロック図である。第１実施形態の各弁の絞り開度が小さい状態を示す概略図である。第１実施形態の各弁の絞り開度が大きい状態を示す概略図である。制御圧力と各弁の絞り開度との関係を説明するための説明図である。第１実施形態に係る弁装置の圧力調整部の概略図である。圧力調整部に用いられるマイクロバルブの模式的な分解図である。圧力調整部に用いられるマイクロバルブの模式的な側面図である。図８のＩＸ－ＩＸ断面を示すものであって、マイクロバルブへの非通電状態を示す断面図である。図９のＸ－Ｘ断面を示す断面図である。図８のＩＸ－ＩＸ断面を示すものであって、マイクロバルブへの通電状態を示す断面図である。図１１のＸＩＩ－ＸＩＩ断面を示す断面図である。制御圧力の調整方法を説明するための説明図である。第１実施形態の弁装置の変形例を示す概略構成図である。第２実施形態の弁装置を示す概略図である。

　以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態において、先行する実施形態で説明した事項と同一もしくは均等である部分には、同一の参照符号を付し、その説明を省略する場合がある。また、実施形態において、構成要素の一部だけを説明している場合、構成要素の他の部分に関しては、先行する実施形態において説明した構成要素を適用することができる。以下の実施形態は、特に組み合わせに支障が生じない範囲であれば、特に明示していない場合であっても、各実施形態同士を部分的に組み合わせることができる。

　（第１実施形態）
　本実施形態について、図１～図１３を参照して説明する。本実施形態では、本開示の冷凍サイクル装置１０を車両走行用の駆動力を電動モータから得る電気自動車に適用した例について説明する。

　電気自動車には、走行用の電動モータへ供給される電力を蓄えるバッテリＢＴが搭載されている。バッテリＢＴは、充放電可能な二次電池として構成されている。具体的には、バッテリＢＴは、電気的に直列に接続される複数の電池モジュールＭ１、Ｍ２で構成されている。本実施形態のバッテリＢＴは、第１電池モジュールＭ１および第２電池モジュールＭ２によって構成されている。なお、各電池モジュールＭ１、Ｍ２は、複数のセルＣを電気的に直列に接続した直列接続体で構成されている。

　バッテリＢＴは、走行用の電動モータへの電力供給時に発熱する。バッテリＢＴの温度が過度に上昇すると、バッテリＢＴが劣化したり、出力が制限されたりする。このため、バッテリＢＴは、その温度が所定の基準温度（例えば、５０℃）以下に維持されるように適宜冷却する必要がある。

　このような背景を加味して、本実施形態では、車室内に供給する空気およびバッテリＢＴを冷凍サイクル装置１０の冷却対象としている。すなわち、冷凍サイクル装置１０は、車室内に供給する空気およびバッテリＢＴそれぞれを所望の温度に調整するように構成されている。

　図１に示すように、冷凍サイクル装置１０は、圧縮機１１、凝縮器１２、弁装置１３、冷房用蒸発器１５、第１電池用蒸発器１７、第２電池用蒸発器１９、および蒸発圧力調整弁２０を備えている。これらの各構成機器同士は、冷媒配管によって接続されている。また、冷凍サイクル装置１０は、各構成機器の動作を制御する制御装置１００を備えている。

　冷凍サイクル装置１０は、冷媒として、ＨＦＣ系冷媒（具体的には、Ｒ１３４ａ）が採用されている。冷媒には圧縮機１１を潤滑するための冷凍機油が混入されており、冷凍機油の一部は冷媒とともにサイクルを循環している。なお、冷媒としては、ＨＦＯ系冷媒（例えば、Ｒ１２３４ｙｆ）や自然冷媒（例えば、Ｒ７４４）等が採用されていてもよい。

　圧縮機１１は、冷凍サイクル装置１０において、冷媒を吸入し、圧縮して吐出するものである。圧縮機１１は、吐出容量が固定された固定容量型の圧縮機構を電動モータにて駆動する電動圧縮機で構成されている。圧縮機１１は、車両のボンネットの内側に配置される。なお、圧縮機１１を構成する電動モータは、後述の制御装置１００から出力される制御信号によって、その作動（例えば、回転数）が制御される。

　圧縮機１１の冷媒吐出側には、凝縮器１２の冷媒入口側が接続されている。凝縮器１２は、圧縮機１１から吐出された冷媒を放熱して凝縮させる熱交換器である。具体的には、凝縮器１２は、冷媒が流通する冷媒流路部１２１とヒータ回路ＨＣの熱媒体が流通する熱媒体流路部１２２を備え、冷媒とヒータ回路ＨＣを流れる熱媒体とを熱交換させて、熱媒体を加熱する加熱用熱交換器を構成している。なお、ヒータ回路ＨＣは、圧縮機１１から吐出された冷媒を車室内へ送風する送風空気の加熱、バッテリＢＴの暖機等を行うための熱源として利用するための回路である。図示しないが、ヒータ回路ＨＣには、熱媒体を車室内への送風空気に放熱させるためのヒータコア、熱媒体をバッテリＢＴに放熱させるための放熱器等が設けられている。

　凝縮器１２の冷媒出口側には、凝縮器１２を通過した冷媒を減圧させる減圧装置としての弁装置１３が接続されている。具体的には、凝縮器１２の冷媒出口側には、弁装置１３の一部を構成する冷房用減圧部１４が接続されている。冷房用減圧部１４は、車室内の空調時に、凝縮器１２を通過した冷媒を減圧する減圧部である。冷房用減圧部１４は、ステッピングモータ等の電動モータによって弁体を駆動する電気式膨張弁によって構成されている。なお、冷房用減圧部１４は、電気式膨張弁に限らず、機械式膨張弁や固定絞りによって構成されていてもよい。

　冷房用減圧部１４の冷媒出口側には、冷房用蒸発器１５の冷媒入口側が接続されている。冷房用蒸発器１５は、冷房用減圧部１４で減圧された冷媒を蒸発させる蒸発器である。冷房用蒸発器１５は、図示しない空調ケースの内側に配置され、冷媒と室内ファン１５１から送風される空気とを熱交換させて冷媒を蒸発させる。換言すると、冷房用蒸発器１５は、室内ファン１５１からの送風空気を冷媒と熱交換させて冷却する空気冷却器である。なお、室内ファン１５１は、冷房用蒸発器１５で冷却された空気を車室内へ送風する送風機である。

　ここで、冷凍サイクル装置１０には、凝縮器１２の冷媒出口側において、冷房用減圧部１４と並列となるように第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８が接続されている。具体的には、冷凍サイクル装置１０は、凝縮器１２と冷房用減圧部１４との間に第１分岐部２１が設けられている。第１分岐部２１は、凝縮器１２から冷房用減圧部１４に向かって流れる冷媒の一部を第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８に向けて流すためのものである。

　さらに、第１分岐部２１の冷媒流れ下流側には、第１分岐部２１で分岐した冷媒を第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８に分配するための第２分岐部２２が設けられている。第２分岐部２２には、一方の冷媒出口側に第１電池用減圧部１６が接続され、他方の冷媒出口側に第２電池用減圧部１８が接続されている。

　第１電池用減圧部１６は、バッテリＢＴの冷却時に、各分岐部２１、２２を介して流入する冷媒を減圧する減圧部である。第１電池用減圧部１６は、第１圧力室ＰＣ１に導入される制御流体の圧力に応じて冷媒が流れる第１内部流路１６２の絞り開度が変化する第１弁１６０を有している。なお、第１電池用減圧部１６の詳細は後述する。

　第１電池用減圧部１６の冷媒出口側には、第１電池用蒸発器１７の冷媒入口側が接続されている。第１電池用蒸発器１７は、第１電池用減圧部１６で減圧された冷媒を蒸発させる蒸発器である。第１電池用蒸発器１７は、バッテリＢＴの第１電池モジュールＭ１から吸熱して冷媒を蒸発させる吸熱器である。換言すると、第１電池用蒸発器１７は、第１電池モジュールＭ１を冷媒と熱交換させて冷却する電池冷却器である。

　また、第２電池用減圧部１８は、バッテリＢＴの冷却時に、各分岐部２１、２２を介して流入する冷媒を減圧する減圧部である。第２電池用減圧部１８は、第２圧力室ＰＣ２に導入される制御流体の圧力に応じて冷媒が流れる第２内部流路１８２の絞り開度が変化する第２弁１８０を有している。

　ここで、第１電池用減圧部１６、および第２電池用減圧部１８は、冷房用減圧部１４とともに、凝縮器１２を通過した冷媒を減圧させる弁装置１３を構成している。弁装置１３を構成する減圧部のうち、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８は、冷房用減圧部１４とは異なり、共通のアクチュエータ１３０によって第１弁１６０および第２弁１８０が駆動される。アクチュエータ１３０は、制御流体の圧力を調整する圧力調整部１３１と、圧力調整部１３１で圧力調整された制御圧力を第１弁１６０の第１圧力室ＰＣ１および第２弁の第２圧力室ＰＣ２に導入する圧力導入部１３２とを備えている。第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８の詳細は後述する。

　第２電池用減圧部１８の冷媒出口側には、第２電池用蒸発器１９の冷媒入口側が接続されている。第２電池用蒸発器１９は、第２電池用減圧部１８で減圧された冷媒を蒸発させる蒸発器である。第２電池用蒸発器１９は、バッテリＢＴの第２電池モジュールＭ２から吸熱して冷媒を蒸発させる吸熱器である。換言すると、第２電池用蒸発器１９は、第２電池モジュールＭ２を冷媒と熱交換させて冷却する電池冷却器である。

　第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９それぞれの冷媒流れ下流側には、第１電池用蒸発器１７を通過した冷媒と第２電池用蒸発器１９を通過した冷媒とを合流させる第１合流部２３が設けられている。また、第１合流部２３の冷媒流れ下流側には、第１合流部２３で合流した冷媒と冷房用蒸発器１５を通過した冷媒とを合流させる第２合流部２４が設けられている。なお、第２合流部２４の冷媒流れ下流側は、圧縮機１１の冷媒吸入側に接続される。

　ここで、第１合流部２３と第２合流部２４との間には、蒸発圧力調整弁２０が配置されている。蒸発圧力調整弁２０は、第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９を通過する冷媒の圧力を所定の設定圧力値以上に維持するものである。蒸発圧力調整弁２０は、例えば、ベローズ式の弁で構成される。

　冷凍サイクル装置１０は、蒸発圧力調整弁２０を備えることで、例えば、バッテリＢＴの冷却と車室内の冷房を同時に行う際、各電池用蒸発器１７、１９を通過する冷媒の圧力を維持しつつ、冷房用蒸発器１５を通過する冷媒の圧力を低下させることができる。

　次に、冷凍サイクル装置１０の電子制御部を構成する制御装置１００について図２を参照して説明する。図２に示すように、制御装置１００は、プロセッサ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリを含むマイクロコンピュータとその周辺回路で構成されている。なお、制御装置１００のメモリは、非遷移的実体的記憶媒体で構成される。

　制御装置１００の入力側には、空調用センサ１０１およびバッテリ用センサ１０２が接続されている。空調用センサ１０１は、冷房処理の制御に用いられる複数種類のセンサによって構成されている。空調用センサ１０１は、例えば、サイクルの低圧側における冷媒温度を検出する温度センサ（蒸発器温度センサ等）、サイクルの高圧側の冷媒圧力を検出する高圧センサ、高圧冷媒の温度を検出する温度センサを含んでいる。バッテリ用センサ１０２は、バッテリＢＴの冷却処理の制御に用いられる複数種類のセンサによって構成されている。バッテリ用センサ１０２は、例えば、各電池モジュールＭ１、Ｍ２の電池温度を検出する温度センサを含んでいる。

　制御装置１００は、空調用センサ１０１およびバッテリ用センサ１０２から取得した各種情報、およびメモリに記憶された制御プログラムに基づいて各種演算処理を行い、出力側に接続された各構成機器の作動を制御する。

　具体的には、制御装置１００の出力側には、圧縮機１１、冷房用減圧部１４、室内ファン１５１、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８のアクチュエータ１３０が接続されている。制御装置１００は、圧縮機１１による冷媒吐出性能（例えば、冷媒圧力）、各減圧部１４、１６、１８の絞り開度、室内ファン１５１の送風性能を状況に応じて調整することができる。すなわち、冷凍サイクル装置１０は、制御装置１００が、圧縮機１１、各減圧部１４、１６、１８、室内ファン１５１それぞれの動作を制御することで、車室内に供給する空気およびバッテリＢＴそれぞれを所望の温度に調整することができる。

　特に、冷凍サイクル装置１０は、第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９の冷媒流れ下流側に蒸発圧力調整弁２０が設けられている。これによると、例えば、バッテリＢＴの冷却と車室内の冷房を同時に行う際に、各電池用蒸発器１７、１９を通過する冷媒の圧力を維持しつつ、冷房用蒸発器１５を通過する冷媒の圧力を低下させることができる。

　また、冷凍サイクル装置１０は、冷房用蒸発器１５、第１電池用蒸発器１７、第２電池用蒸発器１９それぞれに対応して、冷房用減圧部１４、第１電池用減圧部１６、第２電池用減圧部１８が設けられている。これによれば、従来技術のように減圧部を通過した後の気相と液相冷媒を含む気液二相状態の冷媒を複数の蒸発器に対して分配する構成に比べて、各蒸発器１５、１７、１９に対して気液二相状態の冷媒を適切に分配することができる。この結果、バッテリＢＴにおける温度分布に起因する電池性能の低下を抑制することができる。また、上記の構成になっていることで、冷媒に含まれる冷凍機油についても、各蒸発器１５、１７、１９に対して分配されるので、一部の蒸発器に冷凍機油が偏って圧縮機１１の潤滑不良が生じることを抑制できる。

　ここで、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８は、ソレノイドアクチュエータで弁体を駆動する電磁弁、ステッピングモータ等の電動モータで弁体を駆動する電動弁を含む構成とすることが考えられる。

　しかしながら、この場合、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８それぞれで大型なアクチュエータを用いる必要があり、弁装置１３および冷凍サイクル装置１０が大型になってしまう。特に、本実施形態の冷凍サイクル装置１０では、各蒸発器１５、１７、１９それぞれに対応して、各減圧部１４、１６、１８が設けられているので、冷凍サイクル装置１０の大型化が顕著となる。

　これらを加味して、本開示の冷凍サイクル装置１０は、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８でアクチュエータ１３０が共用されている。第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８の詳細は図３、図４を参照しつつ説明する。

　まず、第１電池用減圧部１６に説明すると、図３および図４に示すように、第１電池用減圧部１６は、第１弁１６０を備える。第１弁１６０は、第１ボデー部１６１の内側に形成された第１内部流路１６２の絞り開度を変化させて、第１電池用蒸発器１７の入口側に流出させる冷媒流量を調整するものである。

　第１弁１６０は、第１ボデー部１６１および第１弁機構部１６３を備える。第１ボデー部１６１は、第１弁１６０の外殻を形成するものである。第１ボデー部１６１は、例えば、アルミニウム合金製の金属ブロックに穴開け加工等が施されたものである。第１ボデー部１６１には、凝縮器１２を通過後の冷媒が流れる第１内部流路１６２、第１弁室１６４、第１圧力室ＰＣ１等が形成されている。

　第１内部流路１６２は、凝縮器１２を通過した冷媒を減圧させるための冷媒流路である。第１内部流路１６２は、第１ボデー部１６１の側面に開口する第１入口部１６１ａ、第１出口部１６１ｂに連なっている。第１入口部１６１ａは、凝縮器１２の冷媒出口側に接続されている。また、第１出口部１６１ｂは、第１電池用蒸発器１７に冷媒入口側に接続されている。

　第１内部流路１６２の途中には、第１弁室１６４が形成されている。第１弁室１６４は、第１弁機構部１６３の一部が収容されている。第１弁室１６４は、第１ボデー部１６１の軸心ＣＬ１の軸方向ＤＲａ１に延びている。

　第１弁室１６４は、第１入口部１６１ａおよび第１出口部１６１ｂそれぞれに連通している。第１弁室１６４には、冷媒が流れる流路が細く絞られた第１絞り部１６４ａが設けられている。第１絞り部１６４ａは、第１入口部１６１ａから第１弁室１６４に流入した冷媒を減圧膨張させながら第１出口部１６１ｂに導く流路である。第１絞り部１６４ａの冷媒入口側には、第１弁体１６３ａが接離する第１弁座１６４ｂが形成されている。

　ここで、本実施形態では、第１内部流路１６２における第１絞り部１６４ａを通過する前の冷媒が流れる流路が入口流路１６２ａを構成し、第１内部流路１６２における第１絞り部１６４ａから流出した冷媒が流れる流路が出口流路１６２ｂを構成している。入口流路１６２ａは、凝縮器１２を通過した液相状態の冷媒が対象流体として流れる流路である。出口流路１６２ｂは、第１電池用蒸発器１７に流入する前の気液二相状態の冷媒が対象流体として流れる流路である。

　第１弁機構部１６３は、第１弁体１６３ａ、第１支持部１６３ｂ、一対の第１バネ１６３ｃ、１６３ｄ、第１調整ネジ１６３ｅ、第１作動棒１６３ｆを有している。

　第１弁体１６３ａは、軸方向ＤＲａ１に変位することで第１絞り部１６４ａの通路面積を調整するものである。第１弁体１６３ａは、球状の弁体で構成されている。本実施形態の第１弁１６０は、第１弁体１６３ａが第１弁座１６４ｂに対して交差する方向（例えば、直交方向）に変位して第１内部流路１６２の絞り開度が変化するポペット式の弁構造になっている。

　第１弁体１６３ａは、第１支持部１６３ｂおよび一方の第１バネ１６３ｃとともに第１弁室１６４に配置されている。第１支持部１６３ｂは、第１弁体１６３ａの軸方向ＤＲａ１の他方側に固定されている。一方の第１バネ１６３ｃは、第１支持部１６３ｂを介して第１弁体１６３ａを閉弁方向に付勢する付勢部材である。

　第１バネ１６３ｃが第１弁体１６３ａに対して付勢する荷重は、第１ボデー部１６１に設けられた第１調整ネジ１６３ｅによって調整可能になっている。第１調整ネジ１６３ｅは、第１ボデー部１６１のうち、第１バネ１６３ｃと対向する部位に開口するネジ穴に螺号されている。第１調整ネジ１６３ｅを回転させ、第１バネ１６３ｃの取付長さを変更することで、第１バネ１６３ｃが第１弁体１６３ａに対して付勢する荷重を調整することができる。

　第１弁体１６３ａの軸方向ＤＲａの一方側には、第１作動棒１６３ｆが配置されている。第１作動棒１６３ｆは、略円柱形状の金属棒である。第１作動棒１６３ｆは、軸方向ＤＲａ１に沿って延びた姿勢で第１絞り部１６４ａの内側に配置されている。

　第１作動棒１６３ｆの軸方向ＤＲａの一方側には、第１ストッパ１６３ｇが固定されている。第１ストッパ１６３ｇは、第１作動棒１６３ｆの軸方向ＤＲａの変位を制限するものである。

　第１作動棒１６３ｆの軸方向ＤＲａの一方側の端部には、第１ボデー部１６１のうち第１絞り部１６４ａよりも軸方向ＤＲａ１の一方側に形成された内部空間を第１圧力室ＰＣ１と第１低圧空間１６６に仕切る第１仕切部１６３ｈが設けられている。

　第１圧力室ＰＣ１には、圧力調整部１３１によって圧力調整された冷媒が、第１弁体１６３ａを開弁側または閉弁側に押圧する制御流体として導入される。第１仕切部１６３ｈは、第１圧力室ＰＣ１に導入される制御流体の圧力を受ける。

　第１圧力室ＰＣ１には、他方の第１バネ１６３ｄが配置されている。他方の第１バネ１６３ｄは、第１仕切部１６３ｈ、第１ストッパ１６３ｇ、第１作動棒１６３ｆを介して第１弁体１６３ａを開弁方向に付勢する付勢部材である。

　第１ボデー部１６１には、第１圧力室ＰＣ１に隣接する部位に、後述するバルブモジュールＹ０の第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３が嵌め合わされる第１凹部１６７、第２凹部１６８、第３凹部１６９が形成されている。

　第１凹部１６７、第２凹部１６８、第３凹部１６９は、第１ボデー部１６１を軸方向ＤＲａ１の一方側から見たときに、第２凹部１６８、第１凹部１６７、第３凹部１６９の順に直線状に並ぶように配置されている。

　第１凹部１６７の底部には、第１凹部１６７と第１圧力室ＰＣ１とを連通させる第１貫通孔１６７ａが形成されている。第２凹部１６８の底部には、第２凹部１６８と第１内部流路１６２における入口流路１６２ａとを連通させる第２貫通孔１６８ａが形成されている。第３凹部１６９の底部には、第３凹部１６９と第１内部流路１６２における出口流路１６２ｂとを連通させる第３貫通孔１６９ａが形成されている。

　ここで、第１ボデー部１６１には、第１圧力室ＰＣ１と後述する均圧管１３３の内側とを連通させる第４貫通孔１６１ｃが形成されている。この第４貫通孔１６１ｃには、後述する均圧管１３３の一端側が接続されている。

　このように構成される第１電池用減圧部１６は、第１内部流路１６２の流路面積（すなわち、絞り開度）が第１弁体１６３ａの位置によって変化する。そして、第１弁体１６３ａの位置は、第１弁体１６３ａに作用する力によって決定される。

　具体的には、第１弁体１６３ａの位置は、第１圧力室ＰＣ１内の制御流体の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）による荷重Ｆｍ、一対の第１バネ１６３ｃ、１６３ｄからの荷重Ｆｓ１、Ｆｓ２、第１弁室１６４での冷媒圧力による荷重Ｆｃ等によって決定される。

　第１電池用減圧部１６は、制御圧力Ｐｍが第１絞り部１６４ａの下流側の冷媒圧力（すなわち、低圧圧力Ｐｌ）と同等の圧力となる場合、高圧圧力Ｐｈと制御圧力Ｐｍとの圧力差が最大となる。この場合、第１弁体１６３ａは、図３に示すように、絞り開度が最小となる位置に変位する。

　この状態から制御圧力Ｐｍが低圧圧力Ｐｌよりも高くなると、高圧圧力Ｐｈと制御圧力Ｐｍとの圧力差が小さくなることで、第１弁体１６３ａが絞り開度が大きくなる位置に変位する。そして、制御圧力Ｐｍが高圧圧力Ｐｈと同等の圧力となると、図４に示すように、第１弁体１６３ａが絞り開度が最大となる位置に変位する。

　以上の如く、第１電池用減圧部１６は、図５に示すように、制御圧力Ｐｍが小さくなると第１内部流路１６２の絞り開度が小さくなり、制御圧力Ｐｍが大きくなると絞り開度が大きくなる構成になっている。

　ここで、本実施形態の第１電池用減圧部１６は、制御圧力Ｐｍが圧力調整部１３１によって調整される。圧力調整部１３１は、バルブモジュールＹ０によって構成されている。このバルブモジュールＹ０は、第１弁１６０に対して取り付けられている。すなわち、第１電池用減圧部１６は、第１弁１６０および圧力調整部１３１を備えている。なお、圧力調整部１３１を構成するバルブモジュールＹ０の詳細は後述する。

　続いて、第２電池用減圧部１８に説明すると、図３および図４に示すように、第２電池用減圧部１８は、第２弁１８０を備える。第２弁１８０は、第１弁１６０と同様に構成されているため、以下では、第２弁１８０における第１弁１６０と異なる箇所について主に説明する。なお、第２弁１８０において説明のない箇所については、第１弁１６０にて対応または類似する箇所の説明を援用して解釈することができる。

　第２弁１８０は、第２ボデー部１８１の内側に形成された第２内部流路１８２の絞り開度を変化させて、第２電池用蒸発器１９の入口側に流出させる冷媒流量を調整するものである。

　第２弁１８０は、第２ボデー部１８１および第２弁機構部１８３を備える。第２ボデー部１８１は、第２内部流路１８２、第２弁室１８４、第２圧力室ＰＣ２等が形成されている。

　第２内部流路１８２は、凝縮器１２の冷媒出口側に接続される第２入口部１８１ａ、第２電池用蒸発器１９に冷媒入口側に接続される第２出口部１８１ｂに連なっている。第２内部流路１８２の途中に第２弁室１８４が形成されている。第２弁室１８４は、第２弁機構部１８３の一部が収容されている。第２弁室１８４は、第２ボデー部１８１の軸心ＣＬ２の軸方向ＤＲａ２に延びている。

　第２弁室１８４は、第２入口部１８１ａおよび第２出口部１８１ｂそれぞれに連通している。第２弁室１８４には、第２絞り部１８４ａが設けられている。第２絞り部１８４ａの冷媒入口側には第２弁座１８４ｂが形成されている。

　第２弁機構部１８３は、第２弁体１８３ａ、第２支持部１８３ｂ、一対の第２バネ１８３ｃ、１８３ｄ、第２調整ネジ１８３ｅ、第２作動棒１８３ｆを有している。本実施形態の第２弁１８０は、第２弁体１８３ａが第２弁座１８４ｂに対して交差する方向（例えば、直交方向）に変位して第２内部流路１８２の絞り開度が変化するポペット式の弁構造になっている。

　第２作動棒１８３ｆの軸方向ＤＲａ２の一方側には、第２ストッパ１８３ｇおよび第２仕切部１８３ｈが設けられている。第２ボデー部１８１のうち第２絞り部１８４ａよりも軸方向ＤＲａ２の一方側に形成された内部空間は、第２仕切部１８３ｈによって、第２圧力室ＰＣ２と第２低圧空間１８６に仕切られている。

　第２圧力室ＰＣ２は、圧力調整部１３１によって圧力調整された冷媒が、第２弁体１８３ａを開弁側または閉弁側に押圧する制御流体として導入される。第２仕切部１８３ｈは、第２圧力室ＰＣ２に導入される制御流体の圧力を受ける。

　第２ボデー部１８１には、第２圧力室ＰＣ２に隣接する部位に、第２圧力室ＰＣ２と後述する均圧管１３３の内側とを連通させる連通路１８７が形成されている。第２圧力室ＰＣ２には、後述の均圧管１３３および連通路１８７を介して第１弁１６０の第１圧力室ＰＣ１に導入される制御流体が導入される。

　このように構成される第２電池用減圧部１８は、第２内部流路１８２の流路面積（すなわち、絞り開度）が第２弁体１８３ａの位置によって変化する。そして、第２弁体１８３ａの位置は、第２弁体１８３ａに作用する力によって決定される。

　第２電池用減圧部１８は、制御圧力Ｐｍが第２絞り部１８４ａの下流側の冷媒圧力（すなわち、低圧圧力Ｐｌ）と同等の圧力となる場合、高圧圧力Ｐｈと制御圧力Ｐｍとの圧力差が最大となる。この場合、第２弁体１８３ａは、図３に示すように、絞り開度が最小となる位置に変位する。

　この状態から制御圧力Ｐｍが低圧圧力Ｐｌよりも高くなると、高圧圧力Ｐｈと制御圧力Ｐｍとの圧力差が小さくなることで、第２弁体１８３ａが絞り開度が大きくなる位置に変位する。そして、制御圧力Ｐｍが高圧圧力Ｐｈと同等の圧力となると、図４に示すように、第２弁体１８３ａが絞り開度が最大となる位置に変位する。

　本実施形態の第２電池用減圧部１８の第２圧力室ＰＣ２には、圧力導入部１３２を介して第１圧力室ＰＣ１の制御圧力Ｐｍが導入される。このため、第２電池用減圧部１８は、第１電池用減圧部１６と同様に、制御圧力Ｐｍが小さくなると第２内部流路１８２の絞り開度が小さくなり、制御圧力Ｐｍが大きくなると絞り開度が大きくなる構成になっている。

　ここで、本実施形態の第１弁１６０には、圧力調整部１３１が取り付けられている。そして、圧力調整部１３１で圧力調整された制御流体は、第１貫通孔１６７ａを介して第１圧力室ＰＣ１に導入される。このため、本実施形態では、第１貫通孔１６７ａが圧力導入部１３２の一部を構成している。

　また、圧力調整部１３１で圧力調整された制御流体は、均圧管１３３を介して第２圧力室ＰＣ２に導入される。このため、本実施形態では、均圧管１３３が圧力導入部１３２の一部を構成している。

　次に、圧力調整部１３１を構成するバルブモジュールＹ０の詳細について説明する。

　［バルブモジュールＹ０の構成］
　図６に示すように、バルブモジュールＹ０は、マイクロバルブＹ１、バルブケーシングＹ２、封止部材Ｙ３、３つのＯリングＹ４、Ｙ５ａ、Ｙ５ｂ、２本の電気配線Ｙ６、Ｙ７、変換プレートＹ８を有している。

　マイクロバルブＹ１は、第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２に導入する制御流体（本例では冷媒）の圧力を調整するための流体室Ｙ１９を有する弁部品である。マイクロバルブＹ１は、板形状であり、その全体が半導体チップによって構成されている。

　マイクロバルブＹ１の厚さ方向の長さは例えば２ｍｍであり、厚さ方向に直交する長手方向の長さは例えば１０ｍｍであり、長手方向にも厚さ方向にも直交する短手方向の長さは例えば５ｍｍであるが、これに限定されない。マイクロバルブＹ１への供給電力が変動することで、マイクロバルブＹ１の流路構成が変化する。マイクロバルブＹ１は、第１弁体１６３ａおよび第２弁体１８３ａを駆動するパイロット弁として機能する。

　電気配線Ｙ６、Ｙ７は、マイクロバルブＹ１の２つの板面のうち、バルブケーシングＹ２とは反対側の面から伸びて、封止部材Ｙ３、バルブケーシングＹ２内を通過して、バルブモジュールＹ０の外部にある電源に接続される。これにより、電気配線Ｙ６、Ｙ７を通して、電源からマイクロバルブＹ１に電力が供給される。

　変換プレートＹ８は、マイクロバルブＹ１とバルブケーシングＹ２の間に配置される板形状の部材である。変換プレートＹ８は、ガラス基板である。変換プレートＹ８の２つの板面の一方側は、マイクロバルブＹ１に対して接着剤で固定され、他方側はバルブケーシングＹ２に対して接着剤で固定されている。変換プレートＹ８には、マイクロバルブＹ１の後述する３つの冷媒孔とバルブケーシングＹ２の３つの連通孔とを繋げるための流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３が形成されている。これら流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３は、一列に並ぶ上記３つの冷媒孔のピッチと一列に並ぶ上記３つの連通孔のピッチの違いを吸収するための部材である。流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３は、変換プレートＹ８の２つの板面の一方から他方に貫通している。

　バルブケーシングＹ２は、マイクロバルブＹ１および変換プレートＹ８を収容する樹脂製のケーシングである。バルブケーシングＹ２は、ポリフェニレンサルファイドを主成分として樹脂成形によって形成されている。バルブケーシングＹ２は、線膨張係数が、マイクロバルブＹ１の線膨張係数と第１ボデー部１６１の線膨張係数の間の値となるように構成されている。なお、バルブケーシングＹ２は、マイクロバルブＹ１を第１ボデー部１６１に対して取り付けるための部品取付部を構成している。バルブケーシングＹ２は、一方側に底壁を有し、他方側が開放された箱体である。バルブケーシングＹ２の底壁は、マイクロバルブＹ１および変換プレートＹ８が第１ボデー部１６１に直に接しないように、第１ボデー部１６１とマイクロバルブＹ１の間に介在する。そして、この底壁の一方側の面が第１ボデー部１６１に接触して固定され、他方側の面が変換プレートＹ８に接触して固定される。

　このようになっていることで、マイクロバルブＹ１と第１ボデー部１６１の線膨張係数の違いをバルブケーシングＹ２が吸収できる。これは、バルブケーシングＹ２の線膨張係数が、マイクロバルブＹ１の線膨張係数と第１ボデー部１６１の線膨張係数の間の値となっているからである。なお、変換プレートＹ８の線膨張係数は、マイクロバルブＹ１の線膨張係数とバルブケーシングＹ２の線膨張係数の間の値となっている。

　また、バルブケーシングＹ２の底壁は、マイクロバルブＹ１に対向する板形状のベース部Ｙ２０と、マイクロバルブＹ１から離れる方向に当該ベース部Ｙ２０から突出する柱形状の第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３を有する。

　第１突出部Ｙ２１、第２突出部Ｙ２２、第３突出部Ｙ２３は、第１ボデー部１６１に形成された第１凹部１６７、第２凹部１６８、第３凹部１６９に嵌め込まれている。第１突出部Ｙ２１には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第１連通孔ＹＶ１が形成されている。第２突出部Ｙ２２には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第２連通孔ＹＶ２が形成されている。第３突出部Ｙ２３には、マイクロバルブＹ１側端からその反対側端まで貫通する第３連通孔ＹＶ３が形成されている。第１連通孔ＹＶ１、第２連通孔ＹＶ２、第３連通孔ＹＶ３は一列に並んでおり、第２連通孔ＹＶ２と第３連通孔ＹＶ３の間に第１連通孔ＹＶ１が位置する。

　第１連通孔ＹＶ１のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８１のバルブケーシングＹ２側端に連通している。第２連通孔ＹＶ２のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８２のバルブケーシングＹ２側端に連通している。第３連通孔ＹＶ３のマイクロバルブＹ１側端は、変換プレートＹ８に形成された流路Ｙ８３のバルブケーシングＹ２側端に連通している。

　封止部材Ｙ３は、バルブケーシングＹ２の開放された上記他方側を封止するエポキシ樹脂製の部材である。封止部材Ｙ３は、マイクロバルブＹ１の表裏の２つの板面のうち、変換プレートＹ８側とは反対側の板面の全体を覆う。また、封止部材Ｙ３は、変換プレートＹ８の２つの板面のうち、バルブケーシングＹ２の底壁側とは反対側の板面の一部を覆う。また、封止部材Ｙ３は、電気配線Ｙ６、Ｙ７を覆うことで、電気配線Ｙ６、Ｙ７の防水および絶縁を実現する。封止部材Ｙ３は樹脂ポッティング成形等によって形成される。

　ＯリングＹ４は、第１突出部Ｙ２１の外周に取り付けられ、第１ボデー部１６１と第１突出部Ｙ２１の間を封止することで、第１電池用減圧部１６の外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。ＯリングＹ５ａは、第２突出部Ｙ２２の外周に取り付けられ、第１ボデー部１６１と第２突出部Ｙ２２の間を封止することで、第１電池用減圧部１６の外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。ＯリングＹ５ｂは、第３突出部Ｙ２３の外周に取り付けられ、第１ボデー部１６１と第３突出部Ｙ２３の間を封止することで、第１電池用減圧部１６の外部かつ冷媒回路の外部への冷媒の漏出を抑制する。

　［マイクロバルブＹ１の構成］
　ここで、マイクロバルブＹ１の構成について更に説明する。マイクロバルブＹ１は、図７、図８に示すように、いずれも半導体である第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３を備えたＭＥＭＳである。なお、「ＭＥＭＳ」は、Micro Electro Mechanical Systemsの略称である。

　第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３は、それぞれが同じ外形を有する長方形の板形状の部材であり、第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の順に積層されている。第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３のうち、第２外層Ｙ１３が、バルブケーシングＹ２の底壁に最も近い側に配置される。後述する第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の構造は、化学的エッチング等の半導体製造プロセスによって形成される。

　第１外層Ｙ１１は、半導体部材である。第１外層Ｙ１１には、図７に示すように、表裏に貫通する２つの貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５が形成されている。この貫通孔Ｙ１４、Ｙ１５に、それぞれ、電気配線Ｙ６、Ｙ７のマイクロバルブＹ１側端が挿入される。

　第２外層Ｙ１３は、半導体部材である。第２外層Ｙ１３には、図７、図９、図１０に示すように、表裏に貫通する第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８が形成されている。第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、それぞれ、第１流体孔、第２流体孔、第３流体孔に対応する。

　図１０に示すように、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、それぞれ、変換プレートＹ８の流路Ｙ８１、Ｙ８２、Ｙ８３に連通する。第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、一列に並んでいる。第２冷媒孔Ｙ１７と第３冷媒孔Ｙ１８の間に第１冷媒孔Ｙ１６が配置される。

　中間層Ｙ１２は、導電性の半導体部材であり、第１外層Ｙ１１と第２外層Ｙ１３に挟まれている。中間層Ｙ１２は、図９に示すように、第１固定部Ｙ１２１、第２固定部Ｙ１２２、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８を有している。

　第１固定部Ｙ１２１は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定された部材である。第１固定部Ｙ１２１は、第２固定部Ｙ１２２、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８を同じ１つの流体室Ｙ１９内に囲むように形成されている。流体室Ｙ１９は、第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３によって囲まれた室である。流体室Ｙ１９は、第１圧力室ＰＣ１に導入する冷媒が流通する。第１固定部Ｙ１２１、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３は、全体として基部に対応する。なお、電気配線Ｙ６、Ｙ７は複数の第１リブＹ１２３および複数の第２リブＹ１２４の温度を変化させて変位させるための電気配線である。

　第１固定部Ｙ１２１の第１外層Ｙ１１および第２外層Ｙ１３に対する固定は、冷媒が流体室Ｙ１９から第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８以外を通ってマイクロバルブＹ１から漏出することを抑制するような形態で、行われている。

　第２固定部Ｙ１２２は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定される。第２固定部Ｙ１２２は、第１固定部Ｙ１２１に取り囲まれると共に、第１固定部Ｙ１２１から離れて配置される。

　複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５、アームＹ１２６、梁Ｙ１２７、可動部Ｙ１２８は、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して固定されておらず、第１外層Ｙ１１、第２外層Ｙ１３に対して変位可能である。

　スパインＹ１２５は、中間層Ｙ１２の矩形形状の短手方向に伸びる細長い棒形状を有している。スパインＹ１２５の長手方向の一端は、梁Ｙ１２７に接続されている。

　複数本の第１リブＹ１２３は、スパインＹ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＹ１２５の一方側に配置される。そして、複数本の第１リブＹ１２３は、スパインＹ１２５の長手方向に並んでいる。各第１リブＹ１２３は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

　各第１リブＹ１２３は、その長手方向の一端で第１固定部Ｙ１２１に接続され、他端でスパインＹ１２５に接続される。そして、各第１リブＹ１２３は、第１固定部Ｙ１２１側からスパインＹ１２５側に近付くほど、スパインＹ１２５の長手方向の梁Ｙ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＹ１２５に対して斜行している。そして、複数の第１リブＹ１２３は、互いに対して平行に伸びている。

　複数本の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５の長手方向に直交する方向におけるスパインＹ１２５の他方側に配置される。そして、複数本の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５の長手方向に並んでいる。各第２リブＹ１２４は、細長い棒形状を有しており、温度に応じて伸縮可能となっている。

　各第２リブＹ１２４は、その長手方向の一端で第２固定部Ｙ１２２に接続され、他端でスパインＹ１２５に接続される。そして、各第２リブＹ１２４は、第２固定部Ｙ１２２側からスパインＹ１２５側に近付くほど、スパインＹ１２５の長手方向の梁Ｙ１２７側に向けてオフセットされるよう、スパインＹ１２５に対して斜行している。そして、複数の第２リブＹ１２４は、互いに対して平行に伸びている。

　複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４、スパインＹ１２５は、全体として、駆動部に対応する。

　アームＹ１２６は、スパインＹ１２５と非直交かつ平行に伸びる細長い棒形状を有している。アームＹ１２６の長手方向の一端は梁Ｙ１２７に接続されており、他端は第１固定部Ｙ１２１に接続されている。

　梁Ｙ１２７は、スパインＹ１２５およびアームＹ１２６に対して約９０°で交差する方向に伸びる細長い棒形状を有している。梁Ｙ１２７の一端は、可動部Ｙ１２８に接続されている。アームＹ１２６と梁Ｙ１２７は、全体として、増幅部に対応する。

　アームＹ１２６と梁Ｙ１２７の接続位置ＹＰ１、スパインＹ１２５と梁Ｙ１２７の接続位置ＹＰ２、梁Ｙ１２７と可動部Ｙ１２８の接続位置ＹＰ３は、梁Ｙ１２７の長手方向に沿って、この順に並んでいる。そして、第１固定部Ｙ１２１とアームＹ１２６との接続点をヒンジＹＰ０とすると、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ３までの直線距離の方が、長い。例えば、前者の直線距離を後者の直線距離で除算した値は、１／５以下であってもよいし、１／１０以下であってもよい。

　可動部Ｙ１２８は、流体室Ｙ１９を流れる冷媒の圧力を調整するものである。可動部Ｙ１２８は、その外形が、梁Ｙ１２７の長手方向に対して概ね９０°の方向に伸びる矩形形状を有している。この可動部Ｙ１２８は、流体室Ｙ１９内において梁Ｙ１２７と一体に動くことができる。そして、可動部Ｙ１２８は、中間層Ｙ１２の表裏に貫通する貫通孔Ｙ１２０を囲む枠形状となっている。したがって、貫通孔Ｙ１２０も、可動部Ｙ１２８と一体的に移動する。貫通孔Ｙ１２０は、流体室Ｙ１９の一部である。

　可動部Ｙ１２８は、上記のように動くことで、第２冷媒孔Ｙ１７の貫通孔Ｙ１２０に対する開度および第３冷媒孔Ｙ１８の貫通孔Ｙ１２０に対する開度を変更する。第１冷媒孔Ｙ１６は、貫通孔Ｙ１２０に対して常に全開で連通している。

　また、第１固定部Ｙ１２１のうち、複数の第１リブＹ１２３と接続する部分の近傍の第１印加点Ｙ１２９には、図７に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１４を通った電気配線Ｙ６のマイクロバルブＹ１側端が接続される。また、第２固定部Ｙ１２２の第２印加点Ｙ１３０には、図７に示した第１外層Ｙ１１の貫通孔Ｙ１５を通った電気配線Ｙ７のマイクロバルブＹ１側端が接続される。

　［バルブモジュールＹ０の作動］
　ここで、バルブモジュールＹ０の作動について説明する。マイクロバルブＹ１への通電が開始されると、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０の間に電圧が印加される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れる。この電流によって、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４が発熱する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に膨張する。

　このような熱的な膨張の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５を接続位置ＹＰ２側に付勢する。付勢されたスパインＹ１２５は、接続位置ＹＰ２において、梁Ｙ１２７を押す。このように、接続位置ＹＰ２は付勢位置および調圧用付勢位置に対応する。

　そして、梁Ｙ１２７とアームＹ１２６から成る部材は、ヒンジＹＰ０を支点として、接続位置ＹＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｙ１２７のアームＹ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｙ１２８も、その長手方向の、スパインＹ１２５が梁Ｙ１２７を押す側に、移動する。

　また、マイクロバルブＹ１への通電が停止されたときは、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０への電圧印加が停止される。すると、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４を電流が流れなくなり、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の温度が低下する。その結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４の各々が、その長手方向に収縮する。

　このような熱的な収縮の結果、複数の第１リブＹ１２３、複数の第２リブＹ１２４は、スパインＹ１２５を接続位置ＹＰ２とは反対側に付勢する。付勢されたスパインＹ１２５は、接続位置ＹＰ２において、梁Ｙ１２７を引っ張る。その結果、梁Ｙ１２７とアームＹ１２６から成る部材は、ヒンジＹＰ０を支点として、接続位置ＹＰ２を力点として、一体に姿勢を変える。その結果、梁Ｙ１２７のアームＹ１２６とは反対側の端部に接続された可動部Ｙ１２８も、その長手方向の、スパインＹ１２５が梁Ｙ１２７を引っ張る側に、移動する。その移動の結果、可動部Ｙ１２８は、所定の非通電時位置で停止する。

　このようなマイクロバルブＹ１への通電時、電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０を介してマイクロバルブＹ１に供給される電力が大きいほど、非通電時位置に対する可動部Ｙ１２８の移動量も大きくなる。これは、マイクロバルブＹ１に供給される電力が高いほど、第１リブＹ１２３、第２リブＹ１２４の温度が高くなり、膨張度合いが大きいからである。

　例えば電気配線Ｙ６、Ｙ７から第１印加点Ｙ１２９、第２印加点Ｙ１３０へ印加される電圧がＰＷＭ制御される場合、デューティ比が大きいほど非通電時に対する可動部Ｙ１２８の移動量も大きくなる。

　図９、図１０に示すように、可動部Ｙ１２８が非通電時位置にある場合、貫通孔Ｙ１２０は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｙ１６、第３冷媒孔Ｙ１８と重なるが、当該方向に第２冷媒孔Ｙ１７とは重ならない。第２冷媒孔Ｙ１７は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に可動部Ｙ１２８と重なる。つまりこのとき、貫通孔Ｙ１２０に対して第１冷媒孔Ｙ１６、第３冷媒孔Ｙ１８は全開になり、第２冷媒孔Ｙ１７は全閉になる。したがってこの場合、第１冷媒孔Ｙ１６が第３冷媒孔Ｙ１８に可動部Ｙ１２８を介して連通し、第２冷媒孔Ｙ１７は第１冷媒孔Ｙ１６とも第３冷媒孔Ｙ１８とも遮断される。この結果、第１連通孔ＹＶ１と第３連通孔ＹＶ３との間で、流路Ｙ８１、第１冷媒孔Ｙ１６、貫通孔Ｙ１２０、第３冷媒孔Ｙ１８、流路Ｙ８３を介した、冷媒の流通が可能となる。

　また、図１１、図１２に示すように、マイクロバルブＹ１への通電によって可動部Ｙ１２８が非通電時位置から最も遠ざかった位置にある場合、そのときの可動部Ｙ１２８の位置を最大通電時位置という。可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合は、マイクロバルブＹ１へ供給される電力が制御範囲内の最大となる。例えば、可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、上述のＰＷＭ制御においてデューティ比が制御範囲内の最大値（例えば１００％）となる。

　可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、貫通孔Ｙ１２０は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７と重なるが、当該方向に第３冷媒孔Ｙ１８とは重ならない。第３冷媒孔Ｙ１８は、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向に可動部Ｙ１２８と重なる。つまりこのとき、貫通孔Ｙ１２０に対して第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７は全開になり、第３冷媒孔Ｙ１８は全閉になる。したがってこの場合、第１冷媒孔Ｙ１６が第２冷媒孔Ｙ１７に可動部Ｙ１２８を介して連通し、第３冷媒孔Ｙ１８は第１冷媒孔Ｙ１６とも第２冷媒孔Ｙ１７とも遮断される。この結果、第１連通孔ＹＶ１と第２連通孔ＹＶ２との間で、流路Ｙ８１、第１冷媒孔Ｙ１６、貫通孔Ｙ１２０、第２冷媒孔Ｙ１７、流路Ｙ８３を介した、冷媒の流通が可能となる。

　また、マイクロバルブＹ１に供給される電力を、例えばＰＷＭ制御で調整することで、可動部Ｙ１２８を、非通電時位置と最大通電時位置の間のどの中間位置にでも、停止させることができる。例えば、最大通電時位置と非通電時位置からも等距離の位置（すなわち、中央位置）で可動部Ｙ１２８を停止させるには、マイクロバルブＹ１に供給される電力が、制御範囲内の最大値の半分であればいい。例えば、ＰＷＭ制御のデューティ比が５０％であればいい。

　可動部Ｙ１２８が中間位置に停止している場合、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７、第３冷媒孔Ｙ１８は、いずれも貫通孔Ｙ１２０に連通している。しかし、第２冷媒孔Ｙ１７および第３冷媒孔Ｙ１８は、貫通孔Ｙ１２０に対して全開状態ではなく、１００％未満かつ０％よりも大きい開度となっている。可動部Ｙ１２８が中間位置において最大通電時位置に近づくほど、貫通孔Ｙ１２０に対する第３冷媒孔Ｙ１８の開度が減少し、第２冷媒孔Ｙ１７の開度が増大する。

　マイクロバルブＹ１は、梁Ｙ１２７およびアームＹ１２６が、ヒンジＹＰ０を支点とし、接続位置ＹＰ２を力点とし、接続位置ＹＰ３を作用点とする梃子として機能する。上述の通り、中間層Ｙ１２の板面に平行な面内におけるヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ２までの直線距離よりも、ヒンジＹＰ０から接続位置ＹＰ３までの直線距離の方が、長い。したがって、力点である接続位置ＹＰ２の移動量よりも、作用点である接続位置ＹＰ３の移動量の方が大きくなる。したがって、熱的な膨張による変位量が、梃子によって増幅されて可動部Ｙ１２８に伝わる。

　また、マイクロバルブＹ１における冷媒の流路は、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、マイクロバルブＹ１の一方側の面からマイクロバルブＹ１内に流入し、マイクロバルブＹ１内を通って、マイクロバルブＹ１の同じ側の面からマイクロバルブＹ１外に流出する。そして同様にバルブモジュールＹ０における冷媒の流路も、Ｕターン構造を有している。具体的には、冷媒は、バルブモジュールＹ０の一方側の面からバルブモジュールＹ０内に流入し、バルブモジュールＹ０内を通って、バルブモジュールＹ０の同じ側の面からバルブモジュールＹ０外に流出する。なお、中間層Ｙ１２の板面に直交する方向は、第１外層Ｙ１１、中間層Ｙ１２、第２外層Ｙ１３の積層方向である。

　ここで、バルブモジュールＹ０は、第１冷媒孔Ｙ１６が、第１連通孔ＹＶ１、第１凹部１６７の第１貫通孔１６７ａを介して第１圧力室ＰＣ１に連通している。また、第２冷媒孔Ｙ１７が、第２連通孔ＹＶ２、第２凹部１６８の第２貫通孔１６８ａを介して入口流路１６２ａに連通している。そして、第３冷媒孔Ｙ１８が、第３連通孔ＹＶ３、第３凹部１６９の第３貫通孔１６９ａを介して出口流路１６２ｂに連通している。

　このため、例えば、マイクロバルブＹ１の可動部Ｙ１２８が非通電時位置にある場合、第１冷媒孔Ｙ１６と第３冷媒孔Ｙ１８とが連通し、第１圧力室ＰＣ１が第１内部流路１６２における出口流路１６２ｂに連通する。これにより、第１圧力室ＰＣ１の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が第１内部流路１６２における出口流路１６２ｂと同等の低圧圧力Ｐｌに低下する。

　この状態からマイクロバルブＹ１への通電によって、可動部Ｙ１２８が非通電時位置から最大通電時位置に近づくと、各冷媒孔Ｙ１６、Ｙ１７、Ｙ１８が連通し、第１圧力室ＰＣ１が第１内部流路１６２における入口流路１６２ａおよび出口流路１６２ｂと連通する。これにより、第１圧力室ＰＣ１の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が低圧圧力Ｐｌよりも大きく高圧圧力Ｐｈよりも小さい中間圧力となる。

　また、マイクロバルブＹ１への通電によって、可動部Ｙ１２８が最大通電時位置にある場合、第１冷媒孔Ｙ１６と第２冷媒孔Ｙ１７が連通し、第１圧力室ＰＣ１が第１内部流路１６２における入口流路１６２ａと連通する。これにより、第１圧力室ＰＣ１の圧力（すなわち、制御圧力Ｐｍ）が第１内部流路１６２における第１絞り部１６４ａの上流側と同等の高圧圧力Ｐｈとなる。

　これらを加味して、本実施形態の冷凍サイクル装置１０では、マイクロバルブＹ１に印加される電圧をＰＷＭ制御によって変更することで、制御圧力Ｐｍを変化させる。冷凍サイクル装置１０は、例えば、図１３に示すように、ＰＷＭ制御のデューティ比を大きくすることで制御圧力Ｐｍを大きくし、ＰＷＭ制御のデューティ比を小さくすることで制御圧力Ｐｍを小さくする。

　本実施形態の制御装置１００は、例えば、車室内の冷房よりもバッテリＢＴの冷却を優先する必要がある場合、第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９の冷媒流量が大流量となるように、各減圧部１４、１６、１８を制御する。

　具体的には、制御装置１００は、車室内の冷房よりもバッテリＢＴの冷却を優先する必要がある場合、マイクロバルブＹ１へ通電して第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８の絞り開度を大きくし、冷房用減圧部１４の絞り開度を小さくする。これによれば、冷凍サイクル装置１０による電池冷却能力が高まるので、車室内の冷房よりもバッテリＢＴの冷却を優先することができる。

　また、バッテリＢＴの冷却よりも車室内の冷房を優先する必要がある場合、制御装置１００は、冷房用蒸発器１５の冷媒流量が大流量となるように、各減圧部１４、１６、１８を制御する。具体的には、制御装置１００は、バッテリＢＴの冷却よりも車室内の冷房を優先する必要がある場合、マイクロバルブＹ１への通電を停止して第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８の絞り開度を小さくし、冷房用減圧部１４の絞り開度を大きくする。これによれば、冷凍サイクル装置１０による冷房能力が高まるので、バッテリＢＴの冷却よりも車室内の冷房を優先することができる。

　以上説明した弁装置１３は、第１電池用減圧部１６の第１弁１６０および第２電池用減圧部１８の第２弁１８０が共通のアクチュエータ１３０によって駆動される構成になっている。具体的には、アクチュエータ１３０は、制御流体の圧力を調整する圧力調整部１３１と圧力調整部１３１にて圧力調整された制御流体を第１弁１６０の第１圧力室ＰＣ１および第２弁１８０の第２圧力室ＰＣ２に導入する圧力導入部１３２とを有している。これによれば、単一のアクチュエータ１３０によって第１弁１６０の第１内部流路１６２および第２弁１８０の第２内部流路１８２それぞれの絞り開度を変化させることができる。したがって、弁装置１３によれば、部品点数の増加を抑えつつ、第１弁１６０および第２弁１８０を制御することができる。

　特に、本実施形態の弁装置１３は、蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置１０の減圧装置に適用されている。これによると、部品点数の増加を抑えつつ、第１弁１６０および第２弁１８０の制御によって、並列に接続される第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９に対して所望の割合で冷媒を分配することが可能となる。

　本実施形態の圧力調整部１３１は、バルブモジュールＹ０で構成されている。バルブモジュールＹ０は、マイクロバルブＹ１による第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２の圧力調整によって、各弁体１６３ａ、１８３ａを開弁側または閉弁側に変位させる構成になっているので、電磁弁や電動弁よりも小型に構成することができる。その理由の１つは、マイクロバルブＹ１が上述の通り半導体チップにより形成されているということである。また、上述の通り、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅されることも、そのような梃子を利用しない電磁弁や電動弁と比べて小型に構成することが可能となる。

　具体的には、マイクロバルブＹ１は、可動部Ｙ１２８によって第２冷媒孔Ｙ１７および第３冷媒孔Ｙ１８の開度を調整して第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２の圧力を変化させる構成になっている。これによれば、マイクロバルブＹ１による第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２の圧力調整によって、第１弁体１６３ａおよび第２弁体１８３ａを閉弁側および開弁側に変位させることができる。

　したがって、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８の絞り開度の変更によって冷媒流量を負荷条件等に応じた適量に調整することができる。すなわち、本実施形態の冷凍サイクル装置１０では、並列に接続される第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９に対して略均等な割合で冷媒および冷凍機油を分配することができる。

　また、マイクロバルブＹ１は、梃子を利用しており、熱的な膨張による変位量を可動部Ｙ１２８の移動量より抑えることができるので、可動部Ｙ１２８を駆動するための消費電力も低減することができる。また、電磁弁の駆動時における衝撃音を無くすことができるので、騒音を低減することができる。また、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４の変位は熱に起因して発生するので、騒音低減効果が高い。

　また、マイクロバルブＹ１およびバルブモジュールＹ０はＵターンの構造の冷媒流路を有しているので、第１ボデー部１６１の掘り込みを少なくすることができる。つまり、バルブモジュールＹ０を配置するために第１ボデー部１６１に形成された凹みの深さを抑えることができる。その理由は以下の通りである。

　例えば、バルブモジュールＹ０がＵターンの構造の冷媒流路を有しておらず、バルブモジュールＹ０の第１ボデー部１６１側の面に冷媒入口があり、バルブモジュールＹ０の反対側の面に冷媒出口があったとする。その場合、バルブモジュールＹ０の両面に、冷媒流路を形成する必要がある。したがって、バルブモジュールＹ０の両面の冷媒流路まで第１ボデー部１６１に収容しようとすると、バルブモジュールＹ０を配置するために第１ボデー部１６１に形成しなければならない凹みが深くなってしまう。また、マイクロバルブＹ１自体が小型であるので、第１ボデー部１６１の掘り込みを更に低減することができる。

　また、マイクロバルブＹ１の両面のうち、第１冷媒孔Ｙ１６、第２冷媒孔Ｙ１７が形成される面とは反対側の面に電気配線Ｙ６、Ｙ７を配置した場合、電気配線Ｙ６、Ｙ７を大気雰囲気により近い側に置くことができる。したがって、電気配線Ｙ６、Ｙ７への冷媒雰囲気の影響を低減するためのハーメチック等のシール構造が不要となる。その結果、アクチュエータ１３０の小型化が実現できる。

　また、マイクロバルブＹ１が軽量であることから、アクチュエータ１３０が軽量化される。マイクロバルブＹ１の消費電力が小さいので、アクチュエータ１３０が省電力化される。

　また、マイクロバルブＹ１は、第２冷媒孔Ｙ１７が、第２連通孔ＹＶ２、第２凹部１６８の第２貫通孔１６８ａを介して入口流路１６２ａに連通している。この入口流路１６２ａは、凝縮器１２を通過した液相状態の冷媒が流れる流路である。

　液相状態の冷媒は、ガス状態および気液二相状態の冷媒に比べて密度が高い。このため、入口流路１６２ａに凝縮器１２を通過した液相状態の冷媒が流れる構成とすれば、入口流路１６２ａおよび第２冷媒孔Ｙ１７を介して、纏まった量の冷媒を短時間で流体室Ｙ１９および第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２に導入することができる。したがって、制御流体を第１弁１６０の第１圧力室ＰＣ１および第２弁１８０の第２圧力室ＰＣ２それぞれに導入する構成であっても、第１弁１６０および第２弁１８０の応答性能を確保することが可能となる。

　また、マイクロバルブＹ１は、第３冷媒孔Ｙ１８が、第３連通孔ＹＶ３、第３凹部１６９の第３貫通孔１６９ａを介して出口流路１６２ｂに連通している。この出口流路１６２ｂは、第１電池用蒸発器１７に流入する前の気液二相状態の冷媒が流れる流路である。

　このような構成では、例えば、第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２の圧力を低下させる際に、第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２の冷媒が流体室Ｙ１９、第３冷媒孔Ｙ１８、出口流路１６２ｂを介して第１電池用蒸発器１７の冷媒入口に流れる。この場合、第１電池用蒸発器１７に流入する冷媒流量が増えるので、第１電池用蒸発器１７における吸熱性能を確保することができる。

　（第１実施形態の変形例）
　上述の第１実施形態では、並列に接続された第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９といった２つ電池冷却器を備える冷凍サイクル装置１０を例示したが、電池冷却器の数は、これに限定されない。冷凍サイクル装置１０は、３つ以上の電池冷却器を備えていてもよい。

　例えば、冷凍サイクル装置１０は、図１４に示すように、第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９に加えて、第３電池モジュールＭ３を冷却する第３電池用蒸発器２５を備えていてもよい。

　この場合、第３電池用蒸発器２５の上流に設けられる第３電池用減圧部２６は、第１電池用減圧部１６および第２電池用減圧部１８と共通のアクチュエータ１３０によって駆動されるように構成されていることが望ましい。すなわち、第３電池用減圧部２６は、第２電池用減圧部１８と同様に、第１電池用減圧部１６の第１圧力室ＰＣ１に均圧管を介して連通する第３圧力室ＰＣ３を有する第３弁２６０で構成することが望ましい。

　上述の第１実施形態では、圧力調整部１３１が第１弁１６０に対して取り付けられているものを例示したが、弁装置１３はこれに限定されない。弁装置１３は、例えば、圧力調整部１３１が第２弁１８０に対して取り付けられていてもよい。

　上述の第１実施形態では、マイクロバルブＹ１の第２冷媒孔Ｙ１７が、凝縮器１２を通過した液相状態の冷媒が流れる入口流路１６２ａに連通しているものを例示したが、圧力調整部１３１は、これに限定されない。圧力調整部１３１は、マイクロバルブＹ１の第２冷媒孔Ｙ１７が、圧縮機１１から吐出されて凝縮器１２を通過する前の気相状態の冷媒が流れる入口流路に連通していてもよい。

　気相状態の冷媒は液相冷媒に比べて重力の影響を受け難い。このため、マイクロバルブＹ１の第２冷媒孔Ｙ１７に凝縮器１２を通過する前の気相状態の冷媒が流れる構成とすれば、重力の影響に伴う制御流体の分配性の悪化を抑えられる。このことは、以降の実施形態においても同様である。

　上述の第１実施形態では、マイクロバルブＹ１の第３冷媒孔Ｙ１８が、第１電池用蒸発器１７に流入する前の気液二相状態の冷媒が流れる出口流路１６２ｂに連通しているものを例示したが、圧力調整部１３１は、これに限定されない。圧力調整部１３１は、マイクロバルブＹ１の第３冷媒孔Ｙ１８が、第１電池用蒸発器１７を通過した後の気相状態の冷媒が流れる出口流路に連通していてもよい

　（第２実施形態）
　次に、第２実施形態について、図１５を参照して説明する。本実施形態では、第１実施形態と異なる部分について主に説明する。

　図１５に示すように、本実施形態のアクチュエータ１３０は、圧力調整部１３１が、第１弁１６０に取り付けられておらず、第１弁１６０および第２弁１８０とは別体の部品として構成されている。

　圧力調整部１３１は、第１連通孔ＹＶ１に対して均圧管１３３が接続され、第２連通孔ＹＶ２に対して冷媒導入管１３４が接続され、第３連通孔ＹＶ３に対して冷媒導出管１３５が接続されている。

　均圧管１３３は、一端側が圧力調整部１３１の第１連通孔ＹＶ１に接続されている。均圧管１３３は、一端から他端に向かう途中で第１分岐管１３３ａおよび第２分岐管１３３ｂに分岐している。均圧管１３３は、第１分岐管１３３ａが第１弁１６０の第１ボデー部１６１に形成された第１貫通孔１６７ａに接続され、第２分岐管１３３ｂが第２弁１８０の第２ボデー部１８１に形成された連通路１８７に接続されている。

　これにより、圧力調整部１３１で圧力調整された制御流体が、均圧管１３３を介して第１圧力室ＰＣ１および第２圧力室ＰＣ２それぞれに導入される。本実施形態では、均圧管１３３が圧力導入部１３２を構成している。

　冷媒導入管１３４は、一端側が圧力調整部１３１の第２連通孔ＹＶ２に接続されている。図示しないが、冷媒導入管１３４の他端側は、凝縮器１２を通過した液相冷媒が流れる流路に接続されている。

　冷媒導出管１３５は、一端側が圧力調整部１３１の第３連通孔ＹＶ３に接続されている。図示しないが、冷媒導出管１３５の他端側は、第１電池用蒸発器１７および第２電池用蒸発器１９のうち一方の蒸発器に流入する前の気液二相状態の冷媒が流れる流路に接続されている。

　ここで、本実施形態の第１弁１６０は、圧力調整部１３１が取り付けられていない。そして、第１弁１６０は、第２貫通孔１６８ａ、第３貫通孔１６９ａ、第４貫通孔１６１ｃが設けられていない。このため、第１弁１６０は、第２弁１８０と実質的に同じ構成になっている。

　その他の構成は、第１実施形態と同様である。本実施形態の弁装置１３は、第１実施形態と共通の構成または均等な構成から奏される効果を第１実施形態と同様に得ることができる。

　本実施形態の弁装置１３は、アクチュエータ１３０の圧力調整部１３１が、第１弁１６０に取り付けられておらず、第１弁１６０および第２弁１８０と実質的に同じ弁で構成することが可能である。第１弁１６０および第２弁１８０を実質的に同じ弁で構成する場合、製造時の部品の管理工数等を低減することができるので、製造コストの低減を図ることができる。なお、「実質的に同じ」とは、本件の出願時点での製造技術において制作可能な程度に同一であることを意味するものである。このため、本件の出願時点での製造技術において生じ得る誤差等により生ずる差は同一として解釈することができる。

　（第２実施形態の変形例）
　上述の第２実施形態では、第１弁１６０および第２弁１８０が実質的に同じ弁で構成されているものを例示したが、弁装置１３はこれに限定されない。弁装置１３は、第１弁１６０および第２弁１８０が異なる弁で構成されていてもよい。

　（他の実施形態）
　以上、本開示の代表的な実施形態について説明したが、本開示は、上述の実施形態に限定されることなく、例えば、以下のように種々変形可能である。

　上述の実施形態等のマイクロバルブＹ１は、非通電時に絞り開度が最小となる常閉弁ではなく、非通電時に絞り開度が最大となる常開弁として構成されていてもよい。

　上述の実施形態では、複数本の第１リブＹ１２３、複数本の第２リブＹ１２４が通電されることで発熱し、その発熱によって自らの温度が上昇することで膨張する。しかし、これら部材は、温度が変化すると長さが変化する形状記憶材料から構成されていてもよい。

　上述の実施形態では、冷凍サイクル装置１０における冷媒の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整するものを例示したが、圧力調整部１３１は、これに限定されない。圧力調整部１３１は、例えば、冷凍サイクル装置１０とは異なる機器で生ずる流体の圧力差を利用して制御流体の圧力を調整するようになっていてもよい。

　上述の実施形態の如く、アクチュエータ１３０の圧力調整部１３１としてマイクロバルブＹ１を用いることが望ましいが、弁装置１３は、これに限定されない。弁装置１３は、アクチュエータ１３０として、例えば、電動モータ、磁気カップリング等の出力を利用して各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２の圧力を調整するものが用いられていてもよい。

　上述の実施形態では、第１弁１６０および第２弁１８０がポペット式の弁構造になっているものを例示したが、第１弁１６０および第２弁１８０の弁構造はこれに限定されない。例えば、第１弁１６０および第２弁１８０は、少なくとも一方がスプール式の弁構造またはスライド式の弁構造になっていてもよい。

　上述の実施形態では、冷凍サイクル装置１０として、車室内に供給する空気およびバッテリＢＴを冷却対象としているものを例示したが、冷凍サイクル装置１０は、これに限定されない。冷凍サイクル装置１０は、例えば、車室内に供給する空気およびバッテリＢＴ以外が冷却対象になっていてもよい。

　上述の実施形態では、複数の電池冷却器に対して対象流体である冷媒を略均等な割合で分配するものを例示したが、弁装置１３はこれに限定されない。弁装置１３は、例えば、複数の電池冷却器の一部に偏って冷媒を分配するように構成されていたり、冷媒の流れを切り替える流路切替弁として構成されていたりしてもよい。

　上述の実施形態では、本開示の弁装置１３を冷凍サイクル装置１０に適用したものを例示したが、弁装置１３の適用対象はこれに限定されない。弁装置１３は、複数の弁が含まれる様々なシステムに対して広く適用可能である。弁装置１３は、例えば、並列に接続された複数の電池冷却器それぞれに対応して複数の弁が配置された水循環回路に適用可能である。なお、弁装置１３は、対象流体の流れに対して複数の弁が並列に接続されたものに限らず、例えば、対象流体の流れに対して複数の弁が直列に接続されたものにも適用可能である。

　上述の実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。

　上述の実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されない。

　上述の実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されない。

　本開示に記載の制御部及びその手法は、コンピュータプログラムにより具体化された一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。あるいは、本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ以上の専用ハードウエア論理回路によってプロセッサを構成することによって提供された専用コンピュータにより、実現されてもよい。本開示に記載の制御部及びその手法は、一つ乃至は複数の機能を実行するようにプログラムされたプロセッサ及びメモリと一つ以上のハードウエア論理回路で構成されたプロセッサとの組合せにより構成された一つ以上の専用コンピュータにより、実現されてもよい。また、コンピュータプログラムは、コンピュータにより実行されるインストラクションとして、コンピュータ読み取り可能な非遷移有形記録媒体に記憶されていてもよい。

　（まとめ）
　上述の実施形態の一部または全部で示された第１の観点によれば、弁装置は、圧力室に導入される制御流体の圧力に応じて、対象流体が流れる内部流路の絞り開度が変化する複数の弁と、複数の弁それぞれを駆動するアクチュエータと、を備える。アクチュエータは、制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、圧力調整部にて圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入する圧力導入部と、を含んでいる。

　第２の観点によれば、圧力調整部は、圧力室に導入する制御流体の圧力を調整するための流体室を有する弁部品を含んでいる。弁部品は、流体室が形成される基部と、自らの温度が変化すると変位する駆動部と、駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部と、増幅部によって増幅された変位が伝達されて動くことで、流体室を流れる冷媒の圧力を調整する可動部と、を有する。弁部品は、駆動部が温度の変化によって変位したときに、駆動部が付勢位置において増幅部を付勢することで、増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、増幅部と可動部の接続位置で増幅部が可動部を付勢する。そして、ヒンジから付勢位置までの距離よりも、ヒンジから接続位置までの距離の方が長くなっている。

　これによると、弁部品の増幅部は、梃子として機能する。このため、駆動部の温度変化に応じた変位量が、梃子によって増幅されて可動部に伝わる。このように、梃子を利用して熱的な膨張による変位量が増幅される弁部品は、そのような梃子を利用しない電磁弁や電動弁を用いたものに比べて小型に構成することが可能となる。したがって、本開示の弁装置によれば、搭載性の悪化を抑制しつつ、複数の弁を制御することが可能となる。

　第３の観点によれば、基部には、流体室と圧力室とを連通させる第１流体孔、弁の絞り部に流入する対象流体が流れる入口流路と流体室とを連通させる第２流体孔、絞り部から流出した対象流体が流れる出口流路と流体室とを連通させる第３流体孔が形成されている。圧力調整部は、可動部によって第２流体孔および第３流体孔のうち少なくとも一方の流体孔の開度を調整することで圧力室の圧力を変化させる構成になっている。これによると、圧力室の圧力を微調整可能となることで、対象流体の流量を負荷条件等に応じた適量に調整することができる。

　第４の観点によれば、弁装置は、圧縮機、凝縮器、冷媒流れに対して並列に配置される複数の蒸発器を含む蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置の減圧装置を構成する。複数の弁は、複数の蒸発器のうち、少なくとも２つ以上の蒸発器の冷媒流れ上流に配置され、圧力室に導入される制御流体としての冷媒の圧力に応じて、対象流体としての冷媒が流れる内部流路の絞り開度が変化する弁構造を有している。これによると、部品点数の増加を抑えつつ、複数の弁の制御によって、並列に接続される２つ以上の蒸発器に対して所望の割合で冷媒を分配することが可能となる。

　第５の観点によれば、入口流路は、凝縮器を通過した液相状態の冷媒が流れる流路である。液相状態の冷媒は、気相状態および気液二相状態の冷媒に比べて密度が高い。このため、入口流路に凝縮器を通過した液相状態の冷媒が流れる構成とすれば、入口流路、第２流体孔を介して、纏まった量の冷媒を短時間で流体室および圧力室に導入することができる。したがって、制御流体を複数の弁の圧力室に導入する構成であっても、複数の弁の応答性能を確保することが可能となる。

　第６の観点によれば、出口流路は、蒸発器に流入する前の気液二相状態の冷媒が流れる流路である。このような構成では、例えば、圧力室の圧力を低下させる際に、圧力室の冷媒が流体室、第３流体孔、出口流路等を介して蒸発器の冷媒入口に流れることで、蒸発器に流入する冷媒流量が増えるので、蒸発器における吸熱性能を確保することができる。
　第７の観点によれば、蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置は、圧縮機と、凝縮器と、弁装置と、複数の蒸発器と、を備える。複数の蒸発器は、冷媒流れに対して並列となるように配置されている。弁装置は、複数の蒸発器のうち少なくとも２つ以上の蒸発器の冷媒流れ上流に配置され、圧力室に導入される制御流体の圧力に応じて、冷媒が流れる内部流路の絞り開度が変化する複数の弁と、複数の弁それぞれを駆動するアクチュエータと、を有している。アクチュエータは、制御流体の圧力を調整する圧力調整部と、圧力調整部にて圧力調整された制御流体を複数の弁の圧力室に導入する圧力導入部と、を含んでいる。

Claims

　弁装置であって、
　圧力室（ＰＣ１、ＰＣ２）に導入される制御流体の圧力に応じて、対象流体が流れる内部流路（１６２、１８２）の絞り開度が変化する複数の弁（１６０、１８０）と、
　複数の前記弁それぞれを駆動するアクチュエータ（１３０）と、を備え、
　前記アクチュエータは、
　前記制御流体の圧力を調整する圧力調整部（１３１）と、
　前記圧力調整部にて圧力調整された前記制御流体を複数の前記弁の前記圧力室に導入する圧力導入部（１３２）と、を含んでいる弁装置。
　前記圧力調整部は、前記圧力室に導入する前記制御流体の圧力を調整するための流体室（Ｙ１９）を有する弁部品（Ｙ１）を含み、
　前記弁部品は、
　前記流体室（Ｙ１９）が形成される基部（Ｙ１２１、Ｙ１１、Ｙ１３）と、
　自らの温度が変化すると変位する駆動部（Ｙ１２３、Ｙ１２４、Ｙ１２５）と、
　前記駆動部の温度の変化による変位を増幅する増幅部（Ｙ１２６、Ｙ１２７）と、
　前記増幅部によって増幅された変位が伝達されて動くことで、前記流体室を流れる冷媒の圧力を調整する可動部（Ｙ１２８）と、を有し、
　前記駆動部が温度の変化によって変位したときに、前記駆動部が付勢位置において前記増幅部を付勢することで、前記増幅部がヒンジを支点として変位するとともに、前記増幅部と前記可動部の接続位置で前記増幅部が前記可動部を付勢し、
　前記ヒンジから前記付勢位置までの距離よりも、前記ヒンジから前記接続位置までの距離の方が長くなっている請求項１に記載の弁装置。
　前記基部には、前記流体室と前記圧力室とを連通させる第１流体孔（Ｙ１６）、前記弁の絞り部に流入する前の前記対象流体が流れる入口流路（１６２ａ）と前記流体室とを連通させる第２流体孔（Ｙ１７）、前記絞り部から流出した前記対象流体が流れる出口流路（１６２ｂ）と前記流体室とを連通させる第３流体孔（Ｙ１８）が形成されており、
　前記圧力調整部は、前記可動部によって前記第２流体孔および前記第３流体孔のうち少なくとも一方の流体孔の開度を調整することで前記圧力室の圧力を変化させる構成になっている請求項２に記載の弁装置。
　圧縮機（１１）、凝縮器（１２）、冷媒流れに対して並列に配置される複数の蒸発器（１５、１７、１９）を含む蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置の減圧装置であって、
　複数の前記弁は、複数の前記蒸発器のうち、少なくとも２つ以上の前記蒸発器（１７、１９）の冷媒流れ上流に配置され、前記圧力室に導入される前記制御流体としての冷媒の圧力に応じて、前記対象流体としての冷媒が流れる前記内部流路の絞り開度が変化する弁構造を有している請求項３に記載の弁装置。
　前記入口流路は、前記凝縮器を通過した液相状態の冷媒が流れる流路である請求項４に記載の弁装置。
　前記出口流路は、前記蒸発器に流入する前の気液二相状態の冷媒が流れる流路である請求項４または５に記載の弁装置。
　蒸気圧縮式の冷凍サイクル装置であって、
　吸入した冷媒を圧縮して吐出する圧縮機（１１）と、
　前記圧縮機で圧縮された冷媒を凝縮させる凝縮器（１２）と、
　前記凝縮器を通過した冷媒を減圧させる弁装置（１３）と、
　前記弁装置で減圧された冷媒を蒸発させる複数の蒸発器（１５、１７、１９）と、を備え、
　複数の前記蒸発器は、冷媒流れに対して並列となるように配置され、
　前記弁装置は、
　複数の前記蒸発器のうち少なくとも２つ以上の前記蒸発器の冷媒流れ上流に配置され、圧力室（ＰＣ１、ＰＣ２）に導入される制御流体の圧力に応じて、冷媒が流れる内部流路（１６２、１８２）の絞り開度が変化する複数の弁（１６０、１８０）と、
　複数の前記弁それぞれを駆動するアクチュエータ（１３０）と、を有しており、
　前記アクチュエータは、
　前記制御流体の圧力を調整する圧力調整部（１３１）と、
　前記圧力調整部にて圧力調整された前記制御流体を複数の前記弁の前記圧力室に導入する圧力導入部（１３２）と、を含んでいる冷凍サイクル装置。