JP2020138991A - 熱伝導シートおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートの提供。【解決手段】樹脂および粒子状フィラーを含み、厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、厚みの標準偏差が７．０μｍ以下である、熱伝導シート。【選択図】なし

Description

本発明は、熱伝導シートおよび熱伝導シートの製造方法に関するものである。

近年、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）や集積回路（ＩＣ）チップ等の電子部品は、高性能化に伴って発熱量が増大している。その結果、電子部品を用いた電子機器では、電子部品の温度上昇による機能障害対策を講じる必要が生じている。

電子部品の温度上昇による機能障害対策としては、一般に、電子部品等の発熱体に対し、金属製のヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体を取り付けることによって、放熱を促進させる方法が採られている。そして、放熱体を使用する際には、発熱体から放熱体へと熱を効率的に伝えるために、熱伝導性を有するシート状の部材（熱伝導シート）が用いられている。例えば、発熱体と放熱体の間に、樹脂および粒子状フィラーを含む熱伝導シートを挟持し、この熱伝導シートを介して発熱体と放熱体とを密着させることで、発熱体から放熱体へと伝熱を行う。そして、従来から、熱伝導シートの諸特性を高めるための試みがなされている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１では、樹脂および粒子状炭素材料を含む１次シートを厚み方向に積層する等して得られる積層体を、積層方向に対して４５°以下の角度でスライスした後、スライスにより得られたシートを加圧することで熱伝導シートを得る方法が開示されている。そして、特許文献１によれば、上述した方法により得られる熱伝導シートは、比較的低い挟持圧力での使用に際しても優れた熱伝導性を発揮することができる。

特開２０１８−６７６９５号公報

ここで、近年、熱伝導シートを介して発熱体と放熱体を良好に密着させつつ、発熱体から放熱体への伝熱を均一に行う観点から、熱伝導シートの厚み精度を高めることが求められている。
しかしながら、上記従来の手法では、均一な厚みを有する熱伝導シートを作製しつつ、当該熱伝導シートに、厚み方向に優れた熱伝導性を発揮させることが困難であった。

そこで、本発明は、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することを目的とする。

本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った。まず、本発明者らは、上記特許文献１に記載されたスライス後の加圧により、熱伝導シートの厚み精度の向上を試みた。しかしながら、本発明者らの検討によれば、スライス後のシートを強く加圧すると、得られる熱伝導シート中において粒子状フィラーが厚み方向に配向し難くなるためと推察されるが、単位厚み当たりの伝熱の効率性（即ち、厚み方向の熱伝導率）が十分に確保し難いことが明らかとなった。その上で、本発明者は、樹脂および粒子状フィラーを含む熱伝導シートにおいて、厚みの標準偏差を所定の値以下としつつ、厚み方向の熱伝導率を所定の値以上とすれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートが得られることを見出し、本発明を完成させた。

即ち、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、厚みの標準偏差が７．０μｍ以下であることを特徴とする。このように、樹脂および粒子状フィラーを含み、そして、厚み方向の熱伝導率が上記値以上であり且つ厚みの標準偏差が上記値以下である熱伝導シートは、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「厚み方向の熱伝導率」は、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。
また、本発明において、「厚みの標準偏差」は、熱伝導シートの任意の５点における厚みを測定し、これらの測定値から得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。

ここで、本発明の熱伝導シートは、前記粒子状フィラーの含有割合が４５体積％以下であることが好ましい。粒子状フィラーが熱伝導シート中に占める体積割合が上記値以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。

そして、本発明の熱伝導シートは、主面の面積を３０ｃｍ^２以上とすることができる。
なお、本発明において「主面」とは、熱伝導シート等における最大面積を有する面を指す。

また、本発明の熱伝導シートは、平均厚みが２００μｍ以下であることが好ましい。熱伝導シートの平均厚みが上記値以下であれば、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「平均厚み」は、熱伝導シートの任意の５点における厚みを測定し、これらの測定値から得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて算出することができる。

更に、本発明の熱伝導シートは、少なくとも一方の主面の表面粗さＳａが２．８０μｍ以下であることが好ましい。少なくとも一方の主面の表面粗さＳａが上記値以下であれば、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「表面粗さＳａ」とは、国際規格ＩＳＯ ２５１７８に準拠して得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。

また、この発明は、上記課題を有利に解決することを目的とするものであり、本発明の熱伝導シートの製造方法は、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーＣ硬度が３５以上９０以下であるブロック体を、先端の曲率半径Ｒが１．０μｍ以上１２．０μｍ以下である刃を用いてスライスする工程を備えることを特徴とする。このように、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーＣ硬度が上記範囲内であるブロック体を、先端の曲率半径Ｒが上記範囲内である刃を用いてスライスすれば、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートを得ることができる。
なお、本発明において、「アスカーＣ硬度」は、日本ゴム協会規格（ＳＲＩＳ）のアスカーＣ法に準拠し、硬度計を用いて温度２５℃で測定される値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。
また、本発明において、「先端の曲率半径Ｒ」は、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。

ここで、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記スライスする工程において、スライス幅が２１０μｍ以下であることが好ましい。上記値以下のスライス幅でブロック体をスライスすれば、熱伝導シートの厚みを低減して、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「スライス幅」とは、ブロック体と刃を一定方向に相対的に移動させながらブロック体を連続的にスライスして複数の熱伝導シートを製造するに際し、ｎ回目（ｎは１以上の自然数）のスライスからｎ＋１回目のスライスまでに、ブロック体と刃が上記一定方向について相対的に移動する距離の平均値を意味する。

そして、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記スライスする工程に先んじて、樹脂および粒子状フィラーを含む１次シートを、厚み方向に複数枚積層して、或いは、前記１次シートを折畳または捲回して、前記ブロック体を得る工程を更に備えることができる。
なお、本明細書において、「積層」、「折畳」、または「捲回」を、纏めて「積層等」と略記する場合がある。

また、本発明の熱伝導シートの製造方法は、前記１次シートの引張強度が０．３ＭＰａ以上１．９ＭＰａ以下であることが好ましい。１次シートの引張強度が上記範囲内であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
なお、本発明において、引張強度は、ＪＩＳ Ｋ６２５１に準拠して得られる値であり、例えば、本明細書の実施例に記載の方法を用いて測定することができる。

本発明によれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することができる。

本発明に従う熱伝導シートの製造方法の一例を用いて熱伝導シートを製造する過程を示す説明図である。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明の熱伝導シートは、例えば、発熱体に放熱体を取り付ける際に発熱体と放熱体との間に挟み込んで使用することができる。即ち、本発明の熱伝導シートは、ヒートシンク、放熱板、放熱フィン等の放熱体と共に放熱装置を構成することができる。
そして、本発明の熱伝導シートは、例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法に従って製造することができる。

（熱伝導シート）
本発明の熱伝導シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。また、本発明の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、厚みの標準偏差が７．０μｍ以下である。そして、本発明の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、且つ厚みの標準偏差が７．０μｍ以下であるため、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることができる。

＜樹脂＞
熱伝導シートに含まれる樹脂としては、特に限定されず、任意の樹脂を用いることができる。例えば、樹脂としては、液状樹脂および固体樹脂の何れも用いることができる。なお、樹脂は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。例えば、熱伝導シートは、液状樹脂および固体樹脂の少なくとも一方を含むことができるが、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させつつ、厚み方向に一層良好に伝熱させる観点から、熱伝導シートは、液状樹脂と固体樹脂の双方を含むことが好ましい。

＜＜液状樹脂＞＞
そして、液状樹脂としては、常温常圧下で液体である限り、特に限定されることなく、例えば、常温常圧下で液体の熱可塑性樹脂を用いることができる。
なお、本発明において、「常温」とは２３℃を指し、「常圧」とは、１ａｔｍ（絶対圧）を指す。

液状樹脂としては、例えば、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂が挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。中でも、液状樹脂としては、シリコーン樹脂およびフッ素樹脂が好ましく、フッ素樹脂がより好ましい。液状樹脂として、シリコーン樹脂とフッ素樹脂の少なくとも一方を用いれば、熱伝導シートの難燃性を向上させることができる。また、液状樹脂としてフッ素樹脂を用いれば、得られる熱伝導シートの耐熱性、耐油性、および耐薬品性を向上させることができる。

＜＜固体樹脂＞＞
固体樹脂としては、常温常圧下で液体でない限り、特に限定されることなく、例えば、常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂、常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂を用いることができる。

［常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂］
常温常圧下で固体の熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリ（アクリル酸２−エチルヘキシル）、アクリル酸とアクリル酸２−エチルヘキシルとの共重合体、ポリメタクリル酸またはそのエステル、ポリアクリル酸またはそのエステルなどのアクリル樹脂；シリコーン樹脂；フッ素樹脂；ポリエチレン；ポリプロピレン；エチレン−プロピレン共重合体；ポリメチルペンテン；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリ酢酸ビニル；エチレン−酢酸ビニル共重合体；ポリビニルアルコール；ポリアセタール；ポリエチレンテレフタレート；ポリブチレンテレフタレート；ポリエチレンナフタレート；ポリスチレン；ポリアクリロニトリル；スチレン−アクリロニトリル共重合体；アクリロニトリル−ブタジエン共重合体（ニトリルゴム）；アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）；スチレン−ブタジエンブロック共重合体またはその水素添加物；スチレン−イソプレンブロック共重合体またはその水素添加物；ポリフェニレンエーテル；変性ポリフェニレンエーテル；脂肪族ポリアミド類；芳香族ポリアミド類；ポリアミドイミド；ポリカーボネート；ポリフェニレンスルフィド；ポリサルホン；ポリエーテルサルホン；ポリエーテルニトリル；ポリエーテルケトン；ポリケトン；ポリウレタン；液晶ポリマー；アイオノマー；などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
なお、本発明において、ゴムは、「樹脂」に含まれるものとする。

［常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂］
常温常圧下で固体の熱硬化性樹脂としては、例えば、天然ゴム；ブタジエンゴム；イソプレンゴム；ニトリルゴム；水素化ニトリルゴム；クロロプレンゴム；エチレンプロピレンゴム；塩素化ポリエチレン；クロロスルホン化ポリエチレン；ブチルゴム；ハロゲン化ブチルゴム；ポリイソブチレンゴム；エポキシ樹脂；ポリイミド樹脂；ビスマレイミド樹脂；ベンゾシクロブテン樹脂；フェノール樹脂；不飽和ポリエステル；ジアリルフタレート樹脂；ポリイミドシリコーン樹脂；ポリウレタン；熱硬化型ポリフェニレンエーテル；熱硬化型変性ポリフェニレンエーテル；などが挙げられる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜樹脂の含有割合＞＞
熱伝導シート中の樹脂の含有割合は、特に限定されないが、３５質量％以上であることが好ましく、４５質量％以上であることがより好ましく、５５質量％以上であることが更に好ましく、９５質量％以下であることが好ましく、８５質量％以下であることがより好ましく、７５質量％以下であることが更に好ましい。樹脂の含有割合が３５質量％以上であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。一方、樹脂の含有割合が９５質量％以下であれば、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。

＜＜液状樹脂の含有割合＞＞
また、樹脂中における液状樹脂の含有割合（換言すると、固形樹脂と液状樹脂の合計中に占める液状樹脂の割合）は、特に限定されないが、３０質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましく、５０質量％以上であることが更に好ましく、６０質量％以上であることが特に好ましく、９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以下であることが更に好ましく、８０質量％以下であることが特に好ましい。樹脂中に占める液状樹脂の含有割合が３０質量％以上であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。一方、樹脂中に占める固形樹脂の含有割合が９５質量％以下であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。

＜粒子状フィラー＞
熱伝導シートに含まれる粒子状フィラーとしては、熱伝導シートに熱伝導性を付与することができるものであれば特に限定されない。そして、このような粒子状フィラーとしては、高い熱伝導性を有する粒子状炭素材料を好適に使用することができる。なお、粒子状フィラーは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜粒子状炭素材料＞＞
粒子状炭素材料としては、特に限定されることなく、例えば、人造黒鉛、鱗片状黒鉛、薄片化黒鉛、天然黒鉛、酸処理黒鉛、膨張性黒鉛、膨張化黒鉛などの黒鉛；カーボンブラック；などを用いることができる。これらは、１種単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

上述した中でも、粒子状炭素材料としては、膨張化黒鉛を用いることが好ましい。膨張化黒鉛を用いることで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。ここで、膨張化黒鉛は、例えば、鱗片状黒鉛などの黒鉛を硫酸などで化学処理して得た膨張性黒鉛を、熱処理して膨張させた後、微細化することにより得ることができる。そして、膨張化黒鉛としては、例えば、伊藤黒鉛工業社製のＥＣ１５００、ＥＣ１０００、ＥＣ５００、ＥＣ３００、ＥＣ１００、ＥＣ５０（いずれも商品名）等が挙げられる。

＜＜粒子状フィラーの性状＞＞
粒子状フィラーは、体積平均粒子径が、３０μｍ以上であることが好ましく、５０μｍ以上であることがより好ましく、１００μｍ以上であることが更に好ましく、１５０μｍ以上であることが特に好ましく、５００μｍ以下であることが好ましく、４００μｍ以下であることがより好ましく、３００μｍ以下であることが更に好ましく、２３０μｍ以下であることが特に好ましい。粒子状フィラーの体積平均粒子径が３０μｍ以上であれば、熱伝導シート中で粒子状フィラーの伝熱パスが良好に形成可能であるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まる。結果として、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの体積平均粒子径が５００μｍ以下であれば、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。
なお、本発明において「体積平均粒子径」は、ＪＩＳ Ｚ８８２５に準拠して測定することができ、レーザー回折法で測定された粒度分布（体積基準）において、小径側から計算した累積体積が５０％となる粒子径を表す。

また、粒子状フィラーは、アスペクト比（長径／短径）が、１超１０以下であることが好ましく、１超５以下であることがより好ましい。粒子状フィラーのアスペクト比が１超１０以下であれば、熱伝導シート中で粒子状フィラーが厚み方向に良好に配向し易くなるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まる。結果として、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。
なお、本発明において、「アスペクト比」は、粒子状フィラーをＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察し、任意の５０個の粒子状フィラーについて、最大径（長径）と、最大径に直交する方向の粒子径（短径）とを測定し、長径と短径の比（長径／短径）の平均値を算出することにより求めることができる。また、上記において、例えば粒子状フィラーが鱗片形状である場合、「長径」は当該鱗片形状が有する主面の長軸の方向の長さを指し、「短径」は当該主面の長軸に直交する方向の長さを指すものとする。

＜＜粒子状フィラーの含有割合＞＞
熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有割合は、特に限定されないが、５体積％以上であることが好ましく、１０体積％以上であることがより好ましく、２０体積％以上であることが更に好ましく、４５体積％以下であることが好ましく、３５体積％以下であることがより好ましく、３０体積％以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有割合が５体積％以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有割合が４５体積％以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、厚み精度を更に向上させることができる。

また、熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有割合は、特に限定されないが、５質量％以上であることが好ましく、１５質量％以上であることがより好ましく、２５質量％以上であることが更に好ましく、７０質量％以下であることが好ましく、５５質量％以下であることがより好ましく、４５質量％以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有割合が５質量％以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有割合が７０質量％以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。

加えて、熱伝導シート中の粒子状フィラーの含有量は、特に限定されないが、樹脂１００質量部当たり、２０質量部以上であることが好ましく、３０質量部以上であることがより好ましく、４０質量部以上であることが更に好ましく、１００質量部以下であることが好ましく、８０質量部以下であることがより好ましく、６０質量部以下であることが更に好ましい。粒子状フィラーの含有量が樹脂１００質量部当たり２０質量部以上であれば、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が高まり、当該熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。一方、粒子状フィラーの含有量が樹脂１００質量部当たり１００質量部以下であれば、熱伝導シートの柔軟性を確保しつつ、熱伝導シートの厚み精度を更に向上させることができる。

＜添加剤＞
本発明の熱伝導シートには、必要に応じて、熱伝導シートの形成に使用され得る既知の添加剤を更に配合することができる。そして、熱伝導シートに配合し得る添加剤としては、特に限定されることなく、例えば、セバシン酸エステルといった脂肪酸エステルなどの可塑剤；赤リン系難燃剤、リン酸エステル系難燃剤などの難燃剤；ウレタンアクリレートなどの靭性改良剤；酸化カルシウム、酸化マグネシウムなどの吸湿剤；シランカップリング剤、チタンカップリング剤、酸無水物などの接着力向上剤；ノニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤などの濡れ性向上剤；無機イオン交換体などのイオントラップ剤；等が挙げられる。なお、添加剤は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

そして、熱伝導シートが添加剤を更に含む場合は、添加剤の配合量は、例えば、上述した樹脂１００質量部に対して０．１質量部以上２０質量部以下とすることができ、１０質量部以下とすることが好ましい。

＜熱伝導シートの性状＞
熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が、１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが必要であり、１３Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることがより好ましく、１４Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが更に好ましい。熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ未満であると、熱伝導シートの厚み方向に良好に伝熱させることができない。そして、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率の値の上限は、特に限定されないが、例えば、５０Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。
なお、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率は、熱伝導シートの製造に用いる材料（樹脂、粒子状フィラー等）の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、熱伝導シート中の粒子状フィラーの体積平均粒子径および／または含有割合を変更することで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率を上昇させることができる。また、例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率を上昇させることができる。

また、熱伝導シートは、厚みの標準偏差が、７．０μｍ以下であることが必要であり、６．０μｍ以下であることが好ましく、５．０μｍ以下であることがより好ましく、４．０μｍ以下であることが更に好ましい。厚みの標準偏差が７．０μｍ超であると、熱伝導シートの厚み精度が損なわれる。そのため、熱伝導シートを介して発熱体と放熱体を良好に密着させることが困難となり、また発熱体から放熱体への伝熱を均一に行うことができない。そして、熱伝導シートの厚みの標準偏差の値の下限は、特に限定されないが、例えば、１．０μｍ以上である。
なお、熱伝導シートの厚みの標準偏差は、熱伝導シートの製造に用いる材料（樹脂、粒子状フィラー等）の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの厚みの標準偏差を上昇させることができる。より具体的には、本発明の熱伝導シートの製造方法において、１次シートの引張強度、ブロック体のアスカーＣ硬度、および／またはスライスに用いる刃の先端の曲率半径Ｒを変更することで、熱伝導シートの厚みの標準偏差を低下させることができる。

加えて、熱伝導シートは、平均厚みが、７０μｍ以上であることが好ましく、８０μｍ以上であることがより好ましく、２００μｍ以下であることが好ましく、１６０μｍ以下であることがより好ましく、１３０μｍ以下であることが更に好ましく、１１０μｍ以下であることが特に好ましい。平均厚みが７０μｍ以上であれば、熱伝導シートの強度を確保することができ、２００μｍ以下であれば、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。

また、熱伝導シートは、主面の面積を、例えば、３０ｃｍ^２以上とすることができ、５０ｃｍ^２以上とすることができ、８０ｃｍ^２以上とすることができ、１００ｃｍ^２以上とすることができ、１０００ｃｍ^２以下とすることができる。

そして、熱伝導シートは、少なくとも一方の主面の表面粗さＳａが、２．８０μｍ以下であることが好ましく、２．６０μｍ以下であることがより好ましく、２．２０μｍ以下であることが更に好ましく、２．００μｍ以下であることが特に好ましい。主面の表面粗さＳａが２．８０μｍ以下であれば、当該主面が十分に平滑であるため、熱伝導シートを発熱体および放熱体の間に挟み込んで使用した場合に、熱伝導シートと発熱体および／または放熱体が良好に密着し、界面抵抗が低減する。そのため、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。そして、熱伝導シートの主面の表面粗さＳａの値の下限は、特に限定されないが、例えば、１．００μｍ以上である。
更に、熱伝導シートの厚み方向に一層良好に伝熱させる観点から、熱伝導シートの両方の主面（表面および裏面）の表面粗さＳａが上記好適上限値以下であることが好ましい。
なお、熱伝導シートの厚みの主面の表面粗さＳａは、熱伝導シートの製造に用いる材料（樹脂、粒子状フィラー等）の種類および含有割合、ならびに熱伝導シートの製造条件等を変更することにより調整することができる。例えば、後述する本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて熱伝導シートを製造することで、熱伝導シートの表面粗さＳａを低下させることができる。より具体的には、本発明の熱伝導シートの製造方法において、１次シートの引張強度、ブロック体のアスカーＣ硬度、および／またはスライスに用いる刃の先端の曲率半径Ｒを変更することで、熱伝導シートの主面の表面粗さＳａを低下させることができる。

（熱伝導シートの製造方法）
上述した本発明の熱伝導シートは、例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法を用いて製造することができる。ここで、本発明の熱伝導シートの製造方法は、樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーＣ硬度が３５以上９０以下であるブロック体を、先端の曲率半径Ｒが１．０μｍ以上１２．０μｍ以下である刃を用いてスライスする工程（スライス工程）を、少なくとも含む。
そして、本発明の熱伝導シートの製造方法によれば、十分な厚み精度を有すると共に、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シートを得ることができる。

＜スライス工程＞
スライス工程では、上述した通り、アスカーＣ硬度が３５以上９０以下であるブロック体を、先端の曲率半径Ｒが１．０μｍ以上１２．０μｍ以下である刃を用いてスライスすることで、ブロック体から熱伝導シートを切り出す。

＜＜ブロック体＞＞
ブロック体は、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。また、ブロック体は、アスカーＣ硬度が３５以上９０以下である。

［樹脂、粒子状フィラー、および添加剤］
ブロック体に含まれる樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に含まれる添加剤の好適な種類、性状および含有割合は、本発明の熱伝導シートについて上述した好適な種類、性状および含有割合と同様とすることができる。

［アスカーＣ硬度］
ここで、ブロック体は、アスカーＣ硬度が、３５以上９０以下であることが必要であり、８５以下であることが好ましく、８０以下であることがより好ましく、４０以上であることが好ましく、５０以上であることがより好ましく、６０以上であることが更に好ましい。アスカーＣ硬度が９０を超えると、ブロック体をスライスして得られる熱伝導シートの厚み精度（特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度）を十分に確保することが困難となる。一方、アスカーＣ硬度が３５を下回ると、ブロック体の粘着性等に起因するスライス中の刃先のブレが抑制できず、熱伝導シートの厚み精度が低下する。
なお、ブロック体のアスカーＣ硬度は、ブロック体の製造に用いる材料（樹脂、粒子状フィラー等）の種類および含有割合や、ブロック体の製造方法を変更することにより調整することができる。

＜＜刃＞＞
上述したブロック体のスライスに用いる刃の形状は、特に限定されず、片刃、両刃、非対称刃いずれでもよいが、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、両刃が好ましい。また、刃の材質は特に限定されないが、金属製であることが好ましい。

そして、ブロック体のスライスに用いる刃は、先端の曲率半径Ｒが、上述した通り１．０μｍ以上１２．０μｍ以下であることが必要であり、１．５μｍ以上であることが好ましく、４．５μｍ以上であることがより好ましく、１０．０μｍ以下であることが好ましく、９．０μｍ以下であることがより好ましく、７．０μｍ以下であることが更に好ましく、５．０μｍ以下であることが特に好ましい。刃の先端の曲率半径Ｒが１．０μｍ未満であると、スライスの際に刃がかけてしまい、熱伝導シートの製造効率が低下する虞がある。一方、刃の先端の曲率半径Ｒが１２．０μｍを超えると、ブロック体をスライスして得られる熱伝導シートの厚み精度（特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度）を確保することが困難になる、あるいは、ブロック体に対して鈍角な刃が食い込まずスライスが困難になる。

＜＜スライス＞＞
ブロック体をスライスする方法は、先端の曲率半径Ｒが上述した範囲内である刃を用いる方法であれば特に限定されない。そしてスライスには、先端の曲率半径Ｒが上述した範囲内である刃を備える切断具を用いることができる。このような切断具としては、例えば、カッター、カンナ、スライサーが挙げられる。

ここで、ブロック体が、後述の積層工程により１次シートを積層等して得られる積層体である場合、ブロック体をスライスする角度は、積層方向に対して４５°以下であることが好ましく、積層方向に対して３０°以下であることがより好ましく、積層方向に対して１５°以下であることが更に好ましく、積層方向に対して略０°である（即ち、積層方向に沿う方向である）ことが特に好ましい。ブロック体が１次シートを積層等して得られる積層体である場合、ブロック体の内部においては、粒子状フィラーが積層方向に略直交する方向に配向していると推察される。そして、このようなブロック体を、積層方向に対して４５°以下の角度でスライスすれば、得られる熱伝導シート中で粒子状フィラーが厚み方向（即ち、１次シートの積層方向に略直交する方向）に配向しつつ、粒子状フィラーの接触によって形成される伝熱経路が、主に熱伝導シートの厚み方向に良好に形成されるためと推察されるが、熱伝導シートの厚み方向に、一層良好に伝熱させることができる。

また、ブロック体を容易にスライスして、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、スライスする際のブロック体の温度は−２０℃以上８０℃以下とすることが好ましく、−１０℃以上５０℃以下とすることがより好ましい。
更に、ブロック体を容易にスライスして、得られる熱伝導シートの厚み精度を十分に確保する観点からは、スライスする際にブロック体を加圧する等して固定することが好ましい。このような加圧において、圧力を加える面は特に限定されない。

＜その他の工程＞
本発明の熱伝導シートの製造方法が、任意に含み得るその他の工程は、特に限定されない。
例えば、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、上述したスライス工程の前に、樹脂および粒子状フィラーを含む１次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、この１次シートを折畳または捲回してブロック体を得る工程（積層工程）を実施することができる。
また、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、上述したスライス工程の前に、ブロック体を加熱する工程（加熱工程）を実施することができる。
なお、本発明の熱伝導シートの製造方法においては、本発明の効果が著しく損なわれない限り、スライス工程の後に得られた熱伝導シートを厚み方向に加圧する工程（プレス工程）を実施していてもよい。しかしながら、得られる熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率の低下を抑制する観点からは、本発明の熱伝導シートの製造方法は、プレス工程を含まないことが好ましい。
以下、その他の工程としての積層工程および加熱工程について、詳述する。

＜＜積層工程＞＞
上述した通り、積層工程では、１次シートを厚み方向に複数枚積層して、或いは、この１次シートを折畳または捲回して、積層体であるブロック体を得る。

[１次シート]
１次シートは、樹脂および粒子状フィラーを含み、任意に添加剤を更に含み得る。

―樹脂、粒子状フィラー、および添加剤―
１次シートに含まれる樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に含まれる添加剤の好適な種類、性状および含有割合は、ブロック体、および本発明の熱伝導シートについて上述した、各成分の好適な種類、性状および含有割合と同様とすることができる。

―１次シートの性状―
１次シートは、引張強度が、０．３ＭＰａ以上であることが好ましく、０．４ＭＰａ以上であることがより好ましく、０．６ＭＰａ以上であることが更に好ましく、１．９ＭＰａ以下であることが好ましく、１．６ＭＰａ以下であることがより好ましく、１．４ＭＰａ以下であることが更に好ましい。引張強度が０．３ＭＰａ以上であれば、１次シートを積層等して得られるブロック体のアスカーＣ硬度が高まる。そのため、当該ブロック体をスライスする際の刃先のブレを抑制する等して、厚み精度に一層優れる熱伝導シートを得ることができる。一方、引張強度が１．９ＭＰａ以下であれば、１次シートを積層等して得られるブロック体のアスカーＣ硬度が過度に高まることもない。そのため、ブロック体のスライスが容易となり、得られる熱伝導シートの厚み精度（特に、スライス幅を小さくして熱伝導シートの厚みを低減した場合の厚み精度）を十分に確保することができる。
なお、１次シートの引張強度は、１次シートの製造に用いる材料（樹脂、粒子状フィラー等）の種類および含有割合や、１次シートの製造方法を変更することにより調整することができる。例えば、１次シート中の樹脂の含有割合を高めることで、１次シートの引張強度を上昇させることができる。

また、１次シートの厚み（平均厚み）は、特に限定されることなく、例えば、０．０５ｍｍ以上２ｍｍ以下とすることができる。
なお、１次シートの「厚み（平均厚み）」は、熱伝導シートの「平均厚み」と同様にして測定することができる。

―１次シートの調製方法―
１次シートの調製方法は、特に限定されない。１次シートは、例えば、樹脂および粒子状フィラー、並びに、任意に用いられる添加剤を含む組成物を、プレス成形、圧延成形または押し出し成形などの既知の成形方法で成形することにより得ることができる。

［積層等によるブロック体の形成］
１次シートの積層等によるブロック体の形成は、特に限定されることなく、積層装置を用いて行ってもよく、手作業にて行ってもよい。また、熱伝導シートの折り畳みによるブロック体の形成は、特に限定されることなく、折り畳み機を用いて１次シートを一定幅で折り畳むことにより行うことができる。さらに、１次シートの捲き回しによるブロック体の形成は、特に限定されることなく１次シートの短手方向または長手方向に平行な軸の回りに１次シートを捲き回すことにより行うことができる。

＜＜加熱工程＞＞
ここで、例えば上述の積層工程を経て得られたブロック体は、そのままスライス工程に供してもよいが、当該ブロック体を更に加熱した後でスライス工程に供してもよい。加熱工程における加熱温度は、例えば、５０℃以上１７０℃以下とすることができ、加熱時間は、例えば、１分以上８時間以下とすることができる。加熱工程を経ることにより、ブロック体のアスカーＣ硬度を調整することができる。例えば、ブロック体が熱可塑性樹脂を含む場合、加熱工程を実施することにより、ブロック体のアスカーＣ硬度を低下させることができる。

以下、本発明について実施例に基づき具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明において、量を表す「％」及び「部」は、特に断らない限り、質量基準である。
そして、実施例および比較例において、刃の先端の曲率半径Ｒ、１次シートの引張強度、ブロック体のアスカーＣ硬度、並びに、熱伝導シートの平均厚み、厚みの標準偏差、表面粗さＳａ、厚み方向の熱伝導率、および厚み方向の熱抵抗値は、それぞれ以下の方法に従って測定または評価した。

＜曲率半径Ｒ＞
刃の先端の曲率半径Ｒは、全焦点３Ｄ表面形状測定装置（Alicona imaging社製、製品名「Infinite Focus G5」）を用いて測定した。
具体的には、刃先方向から同軸落射でスポット光を当てて、５０倍のレンズを用いて先端形状を測定した。またスポット光に対して刃全体を２０度傾けて刃を固定した。
得られた刃の先端の３Ｄ像について、任意の断面で断面観察を行い、刃の先端に円周の約半分が接するように内円を描き、その半径を、刃の先端の曲率半径Ｒとした。
＜引張強度＞
１次シートを、ＪＩＳ Ｋ６２５１に準拠してダンベル２号にて打ち抜き成型し、試料片を作製した。引張試験機（株式会社島津製作所製、製品名「ＡＧ−ＩＳ２０ｋＮ」）を用い、試料片の両末端から１ｃｍの箇所をつまみ、温度２３℃で、試料片の表面から出る法線に対して垂直な方向に、５００ｍｍ／分の引張速度で引っ張り、破断強度（引張強度）を測定した。
＜アスカーＣ硬度＞
ブロック体のアスカーＣ硬度の測定は、日本ゴム協会規格（ＳＲＩＳ）のアスカーＣ法に準拠し、硬度計（高分子計器社製、製品名「ＡＳＫＥＲ ＣＬ−１５０ＬＪ」を使用して温度２５℃で行った。具体的には、得られた積層体を温度２５℃に保たれた恒温室内に４８時間以上静置して、試験体とした。次に、積層面から針先の距離が２ｃｍになるように硬度計を設置し、ダンパーを降ろして、積層体とダンパーとを衝突させた。当該衝突から６０秒後の積層体のアスカーＣ硬度を、硬度計（高分子計器社製、商品名「ＡＳＫＥＲ ＣＬ−１５０ＬＪ」）を用いて２回測定し、測定結果の平均値を採用した。
＜平均厚み＞
膜厚計（ミツトヨ製、製品名「デジマチックインジケーター ＩＤ−Ｃ１１２ＸＢＳ」）を用いて、熱伝導シートの略中心点および四隅（四角）の計五点における厚みを測定し、測定した厚みの平均値（μｍ）を求めた。
＜厚みの標準偏差＞
膜厚計（ミツトヨ製、製品名「デジマチックインジケーター ＩＤ−Ｃ１１２ＸＢＳ」）を用いて、熱伝導シートの略中心点および四隅（四角）の計五点における厚みを測定し、測定した厚みの標準偏差（μｍ）を求めた。
＜表面粗さＳａ＞
熱伝導シートの表面粗さＳａは、三次元形状測定機（株式会社キーエンス製、製品名「ワンショット３Ｄ測定マクロスコープ」）を用いて測定した。ここで、１ｃｍ角以上の任意の大きさの略正方形に切り取った熱伝導シートを試料とし、解析範囲は、１ｃｍ×１ｃｍとし、当該試料の表面および裏面について、それぞれ三次元形状を測定した。そして、三次元形状の測定結果に対して更にソフトウェアでフィルター処理（２．５ｍｍ）を行い、うねり成分を取り除くことにより、表面粗さＳa（μｍ）を自動計算した。
＜厚み方向の熱伝導率＞
熱伝導シートについて、厚み方向の熱拡散率α（ｍ^２／ｓ）、定圧比熱Ｃｐ（Ｊ／ｇ・Ｋ）、および比重ρ（ｇ／ｍ^３）を、ぞれぞれ、以下の方法で測定した。
［厚み方向の熱拡散率α］
熱拡散・熱伝導率測定装置（株式会社アイフェイズ製、製品名「アイフェイズ・モバイル １ｕ」）を使用して、ＩＳＯ ２２００７−３の規定に基づき測定した。
［定圧比熱Ｃｐ］
示差走査熱量計（Ｒｉｇａｋｕ製、製品名「ＤＳＣ８２３０」）を使用し、１０℃／分の昇温条件下、２５℃における比熱を測定した。
［比重ρ（密度）］
自動比重計（東洋精機社製、商品名「ＤＥＮＳＩＭＥＴＥＲ−Ｈ」）を用いて測定した。
そして、各測定値を、下記式（Ｉ）：
λ＝α×Ｃｐ×ρ・・・（Ｉ）
に代入し、２５℃における熱伝導シートの厚み方向の熱伝導率λ（Ｗ／ｍ・Ｋ）を求めた。
＜熱抵抗値＞
熱伝導シートの熱抵抗値は、熱抵抗試験器（株式会社日立テクノロジーアンドサービス製、製品名「樹脂材料熱抵抗測定装置」）を用いて測定した。ここで、１ｃｍ角の略正方形に切り出した熱伝導シートを試料とし、試料温度５０℃において、０．１ＭＰａ、及び０．９ＭＰａの圧力を加えた時の熱抵抗値（℃／Ｗ）を測定した。熱抵抗値が小さいほど熱伝導シートが熱伝導性に優れ、例えば、発熱体と放熱体との間に介在させた際の放熱特性に優れていることを示す。

（実施例１）
＜１次シートの形成＞
樹脂としての常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂（ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルＧ−１０１」）７０部および常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂（スリーエムジャパン株式会社製、製品名「ダイニオンＦＣ２２１１」）３０部、並びに、粒子状フィラーとしての膨張化黒鉛（伊藤黒鉛工業株式会社製、製品名「ＥＣ１００」、体積平均粒子径：２００μｍ）５０部を、加圧ニーダー（日本スピンドル製）を用いて、温度１５０℃にて２０分間撹拌混合した。次に、得られた混合物を解砕機（大阪ケミカル社製、製品名「ワンダークラッシュミルＤ３Ｖ−１０」）に投入して、１０秒間解砕した。
解砕後の混合物５０ｇを、サンドブラスト処理を施した厚み５０μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製フィルム（保護フィルム）で挟み、ロール間隙５５０μｍ、ロール温度５０℃、ロール線圧５０ｋｇ／ｃｍ、ロール速度１ｍ／分の条件にて圧延成形することにより、厚みが０．８ｍｍの１次シートを得た。そして、１次シートの引張強度を測定した。結果を表１に示す。
＜積層工程＞
得られた１次シートを縦１５０ｍｍ×横１５０ｍｍ×厚み０．８ｍｍに裁断し、１次シートの厚み方向に１００枚積層し、更に、温度１２０℃、圧力０．１ＭＰａで３分間、積層方向にプレスすることにより、高さ約８０ｍｍのブロック体（積層体）を得た。そして、得られたブロック体のアスカーＣ硬度を測定した。結果を表１に示す。
＜スライス工程＞
その後、スライスに必要な長さを残して、得られたブロック体の上面の全体を金属板で押え、積層方向に（即ち、上から）０．１ＭＰａの圧力をかけて、ブロック体を固定した。なお、ブロック体の側面、背面の固定は行わなかった。このとき、ブロック体の温度は２５℃であった。
次いで、サーボプレス機（放電精密加工研究所製）のプレス部分に、図１に示す形状の刃１０（両刃、刃角２θ：２０°、刃部の最大厚み：３．５ｍｍ、材質：超鋼、ロックウェル硬度：９１．５、刃面のシリコン加工：なし、全長：２００ｍｍ、先端の曲率半径Ｒ：１．７μｍ）を取り付け、スライス幅：８５μｍ、スライス速度：２００ｍｍ／秒の条件でブロック体（積層体）の積層方向（換言すれば、積層された１次シートの主面の法線に一致する方向に）にスライスして、縦１５０ｍｍ×横８０ｍｍの主面を有する熱伝導シートを得た。なお、スライス時の刃の姿勢は、図１に示す角度αが１０°になり、刃面１１の延在方向がブロック体２０のスライス面２１と平行な方向になる姿勢とした。
そして、得られた熱伝導シートの平均厚み、厚みの標準偏差、表面粗さＳａ、厚み方向の熱伝導率、および熱抵抗値を測定した。結果を表１に示す。

（実施例２）
スライス工程において、先端の曲率半径Ｒが４．７μｍである刃（両刃、刃角２θ：２０°、刃部の最大厚み：３．５ｍｍ、材質：超鋼、ロックウェル硬度：９１．５、刃面のシリコン加工：なし、全長：２００ｍｍ）を用いた以外は、実施例１と同様にして、１次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表１に示す。

（実施例３）
実施例１と同様にして、１次シートを形成した。次いで、積層工程において、実施例１と同様にして１次シートを積層およびプレスした後、得られた積層体を更に１００℃にて３時間加熱し（加熱工程）、常温にて３時間放冷した。この加熱および放冷後のブロック体のアスカーＣ硬度を測定した。結果を表１に示す。
そして、この加熱および放冷後のブロック体を用いた以外は、実施例１と同様にしてスライス工程を実施し、熱伝導シートを作製して各種評価を行った。結果を表１に示す。

（実施例４）
１次シートの形成に際し、樹脂として、常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂（ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルＧ−１０１」）１００部のみを用いた以外は、実施例１と同様にして、１次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表１に示す。

（実施例５）
スライス工程において、先端の曲率半径Ｒが４．７μｍである刃（両刃、刃角２θ：２０°、刃部の最大厚み：３．５ｍｍ、材質：超鋼、ロックウェル硬度：９１．５、刃面のシリコン加工：なし、全長：２００ｍｍ）を用いた以外は、実施例３と同様にして、１次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表１に示す。

（実施例６）
スライス工程において、先端の曲率半径Ｒが９．１μｍである刃（両刃、刃角２θ：２０°、刃部の最大厚み：３．５ｍｍ、材質：超鋼、ロックウェル硬度：９１．５、刃面のシリコン加工：なし、全長：２００ｍｍ）を用い、且つスライス幅を９０μｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、１次シート、ブロック体、および熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表１に示す。

（実施例７）
＜１次シートの形成＞
樹脂としての常温常圧下で液体の熱可塑性フッ素樹脂（ダイキン工業株式会社製、製品名「ダイエルＧ−１０１」）４５部および常温常圧下で固体の熱可塑性フッ素樹脂（スリーエムジャパン株式会社製、製品名「ダイニオンＦＣ２２１１」）４０部、粒子状フィラーとしての膨張化黒鉛（伊藤黒鉛工業株式会社製、製品名「ＥＣ１００」、体積平均粒子径：２５０μｍ）８５部、並びに、可塑剤としてのセバシン酸エステル（大八化学工業株式会社製、製品名「ＤＯＳ」）５部を、加圧ニーダー（日本スピンドル製）を用いて、温度１５０℃にて２０分間撹拌混合した。次に、得られた混合物を解砕機（大阪ケミカル社製、製品名「ワンダークラッシュミルＤ３Ｖ−１０」）に投入して、１０秒間解砕した。
解砕後の混合物５０ｇを、実施例１と同様の条件で圧延成形することにより、厚みが０．８ｍｍの１次シートを得た。そして、１次シートの引張強度を測定した。結果を表１に示す。
＜積層工程＞
上述した１次シートを用いた以外は、実施例１と同様にしてブロック体を得た。そして、得られたブロック体のアスカーＣ硬度を測定した。結果を表１に示す。
＜スライス工程＞
上述したブロック体を用い、且つスライス幅を１６０μｍに変更した以外は、実施例１と同様にして、熱伝導シートを作製し、各種評価を行った。結果を表１に示す。

（比較例１）
実施例１と同様にして、１次シートおよびブロック体を作製した。そして、スライス工程において、先端の曲率半径Ｒが１３．５μｍである刃（両刃、刃角２θ：２０°、刃部の最大厚み：３．５ｍｍ、材質：超鋼、ロックウェル硬度：９１．５、刃面のシリコン加工：なし、全長：２００ｍｍ）を用い、且つスライス幅を１５０μｍに変更した以外は実施例１と同様の条件でブロック体のスライスを試みた。しかしながら、刃の切れ味が悪いためスライスすることができず、熱伝導シートが得られなかった。

（比較例２）
実施例４と同様にして、１次シートを形成した。次いで、積層工程において、実施例４と同様にして１次シートを積層およびプレスした後、得られた積層体を更に１００℃にて３時間加熱し（加熱工程）、常温にて３時間放冷した。この加熱および放冷後のブロック体のアスカーＣ硬度を測定した。結果を表１に示す。
そして、この加熱および放冷後のブロック体を用いた以外は、実施例４と同様にしてスライス工程を実施し、熱伝導シートを作製して各種評価を行った。結果を表１に示す。

表１より、実施例１〜７の熱伝導シートは、厚み方向の熱伝導率が小さく、そして厚み方向の熱抵抗値が低く抑えられているため、厚み方向に良好に伝熱し得ることが分かる。また、実施例１〜７の熱伝導シートは、厚みの標準偏差の値が小さいため、厚み精度に優れることが分かる。
一方、比較例１は、上述した通り、刃の切れ味が悪いためスライスすることができず、熱伝導シートが得られなかった。
また、表１より、比較例２の熱伝導シートは、厚みの標準偏差の値が大きいため、厚み精度に劣ることが分かる。

本発明によれば、十分な厚み精度を有しつつ、厚み方向に良好に伝熱させることが可能な熱伝導シート、および当該熱伝導シートの製造方法を提供することができる。

１０ 刃
１１ 刃面
２０ ブロック体
２１ スライス面
３０ 熱伝導シート

Claims (9)

1. 樹脂および粒子状フィラーを含み、
   厚み方向の熱伝導率が１２Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、
   厚みの標準偏差が７．０μｍ以下である、熱伝導シート。
2. 前記粒子状フィラーの含有割合が４５体積％以下である、請求項１に記載の熱伝導シート。
3. 主面の面積が３０ｃｍ^２以上である、請求項１または２に記載の熱伝導シート。
4. 平均厚みが２００μｍ以下である、請求項１〜３の何れかに記載の熱伝導シート。
5. 少なくとも一方の主面の表面粗さＳａが２．８０μｍ以下である、請求項１〜４の何れかに記載の熱伝導シート。
6. 樹脂および粒子状フィラーを含み、且つアスカーＣ硬度が３５以上９０以下であるブロック体を、先端の曲率半径Ｒが１．０μｍ以上１２．０μｍ以下である刃を用いてスライスする工程を備える、熱伝導シートの製造方法。
7. 前記スライスする工程において、スライス幅が２１０μｍ以下である、請求項６に記載の熱伝導シートの製造方法。
8. 前記スライスする工程に先んじて、樹脂および粒子状フィラーを含む１次シートを、厚み方向に複数枚積層して、或いは、前記１次シートを折畳または捲回して、前記ブロック体を得る工程を更に備える、請求項６または７に記載の熱伝導シートの製造方法。
9. 前記１次シートの引張強度が０．３ＭＰａ以上１．９ＭＰａ以下である、請求項８に記載の熱伝導シートの製造方法。

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