JP2020120029A - チャックテーブル - Google Patents
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Abstract
Description
11a 表面
11b 裏面
11c 第1領域
11d 第2領域
11e 凹部
11f 外周部
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
17 デバイス領域
19 外周余剰領域
21 境界
23 保護部材
25 テープ
27 フレーム
27a 開口
2 研削装置
4 チャックテーブル(保持テーブル)
6 研削ユニット
8 ハウジング
10 スピンドル
12 研削ホイール
14 基台
16 研削砥石
22 レーザー加工装置
24 基台
24a 突出部
26 支持構造
26a 支持アーム
28 カセットエレベータ
30 カセット
32 仮置き機構
32a,32b ガイドレール
34 搬送機構
34a 把持部
36 移動機構
38 Y軸ガイドレール
40 Y軸移動テーブル
42 Y軸ボールネジ
44 Y軸パルスモータ
46 X軸ガイドレール
48 X軸移動テーブル
50 X軸ボールネジ
52 テーブルベース
54 チャックテーブル(保持テーブル)
54a 保持面
56 クランプ
58 レーザー照射ユニット
60 撮像ユニット(カメラ)
70 テーブル基台
70a 表面
70b 凸部
70c 上面
70d 収容凹部
70e 吸引路
70f 大気開放溝
70g 貫通孔
70h ねじ溝
70i 凹部
70j 投光貫通孔
72 吸引部
74 ポーラス板
74a 上面
76 シール部材
78 隙間
80 押し当て固定部
82 固定部
82a 長孔
84 押圧部
84a 押圧面
86 付勢部材
88 ねじ
88a 頭部
90 発光部
92 光源
94 配線
96 カバー
98 バルブ
100 吸引源
102 隙間
110 チャックテーブル(保持テーブル)
112 発光部
114 光源
120 チャックテーブル(保持テーブル)
122 テーブル基台
124 下部基台
124a 上面
124b 吸引路
124c ねじ溝
126 上部基台
126a 上面
126b 下面
126c 開口
126d 押さえ部(庇部)
126e 大気開放溝
126f 切り欠き部
126g 貫通孔
128 吸引部
130 ポーラス板
130a 上面
130b 段差部
132 シール部材
134 ねじ
136 隙間
Claims (5)
- デバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面側に備え、裏面側の該デバイス領域に対応する領域に凹部を備えるウェーハにレーザービームを照射することによって該ウェーハを加工可能なレーザー加工装置に備えられ、該ウェーハを保持するチャックテーブルであって、
該ウェーハの該凹部に上面側が挿入され、該レーザービームに対して透過性を有するポーラス板と、
該ポーラス板の下面側が収容される収容凹部と、該収容凹部を吸引源に接続する吸引路とを備えるテーブル基台と、を備え、
該ポーラス板は、上面側が該テーブル基台の上面から上方に突出するように配置され、
該ポーラス板の上面と該テーブル基台の上面との高さの差は、該ウェーハの該凹部の深さに対応することを特徴とするチャックテーブル。 - 該ポーラス板の側面側を押圧し、該収容凹部の側面によって構成される該テーブル基台の内壁に該ポーラス板を押し当てることにより、該ポーラス板を該テーブル基台に着脱自在に固定する押し当て固定部を備えることを特徴とする請求項1記載のチャックテーブル。
- 該テーブル基台は、該収容凹部と該テーブル基台の側面とを接続する大気開放溝を備えることを特徴とする請求項1又は2記載のチャックテーブル。
- 該テーブル基台は、該ウェーハの外周部と重なる位置に配置された発光部を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のチャックテーブル。
- 該ポーラス板の側面にはシール部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のチャックテーブル。
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