JP2020110879A - 廃液処理装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】加工装置から排出される廃液の処理を行う廃液処理装置において、ろ過した加工廃液に加工屑が再び混ざらないようにした廃液処理装置を提供する。【解決手段】加工液を供給しながら保持手段が保持した被加工物を加工具で加工する加工装置1に連結され、加工装置から排出される加工屑Bを含んだ加工廃液Lから加工屑Bを除去する廃液処理装置2であって、加工廃液Lを溜める液槽20と、液槽20に加工廃液Lを導入する入口21と、液槽20の底200の所定の部分に加工屑Bを集中的に沈殿させるための傾斜面200bを有する集中エリア22と、集中エリア22に沈殿した加工屑Bを液槽20の外に排出させる排出手段24と、加工屑Bを除いた加工廃液L1を排出する出口26と、を備え、集中エリア22に沈殿した加工屑Bを排出させ廃液処理を継続的に可能にする廃液処理装置2。【選択図】図2

Description

本発明は、加工装置から排出される廃液の処理を行う装置に関する。
加工液を供給して半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置は、加工屑を含んだ加工廃液を排出している。そして、加工装置に連結され、排出された該加工廃液から加工屑を沈殿させ加工廃液をフィルタでろ過して得られた水を加工液として再利用する廃液処理装置がある(例えば、特許文献1参照)。
特開2004−322214号公報
しかし、廃液処理装置の液槽の底に沈殿物が多く溜まってくると、フィルタでろ過され清水となった加工廃液に加工屑が液槽内において再度混ざってくるという問題がある。
よって、加工装置から排出される廃液の処理を行う廃液処理装置においては、ろ過した加工廃液に加工屑が再び混ざらないようにするという課題がある。
上記課題を解決するための本発明は、加工液を供給しながら保持手段が保持した被加工物を加工具で加工する加工装置に連結され、該加工装置から排出される加工屑を含んだ加工廃液から加工屑を除去する廃液処理装置であって、該加工廃液を溜める液槽と、該液槽に該加工廃液を導入する入口と、該液槽の底の所定の部分に該加工屑を集中的に沈殿させるための傾斜面を有する集中エリアと、該集中エリアに沈殿した該加工屑を該液槽の外に排出させる排出手段と、該加工屑を除いた加工廃液を排出する出口と、を備え、該集中エリアに沈殿した該加工屑を排出させ廃液処理を継続的に可能にする廃液処理装置である。
加工液を供給しながら保持手段が保持した被加工物を加工具で加工する加工装置に連結される本発明に係る廃液処理装置は、加工廃液を溜める液槽と、液槽に加工廃液を導入する入口と、液槽の底の所定の部分に加工屑を集中的に沈殿させるための傾斜面を有する集中エリアと、集中エリアに沈殿した加工屑を液槽の外に排出させる排出手段と、加工屑を除いた加工廃液を排出する出口と、を備えているため、集中エリアに沈殿した加工屑を排出させ廃液処理を継続的に可能にする。そして、液槽内においてろ過した加工廃液(清水)に再び加工屑が混ざってしまうことがなく、ろ過した加工廃液を加工液として再利用することが可能となる。
例えば、切削バイトで被加工物に形成された電極を切削する切削加工装置では、加工屑が細かな粒(約10μm〜約20μm)になる。そのため、従来においては、廃液処理装置の液槽の底に加工屑が溜まると、廃液処理装置の液槽を流れる加工廃液の流れで加工屑が液槽の底から上方に流れ出てきてしまう。しかし、本発明に係る廃液処理装置では、液槽の下方に傾斜面を備え凹み状の集中エリアを設け集中的に加工屑を該集中エリアに溜める構造とし、その溜まった加工屑を排出手段によって排出できる様にしているので、沈殿した加工屑がろ過された加工廃液(清水)側へ向かうことが抑制される。
加工装置及び加工装置に連結された廃液処理装置の一例を示す斜視図である。 廃液処理装置の構造の一例を示す断面図である。
本発明に係る廃液処理装置2が連結される図1に示す加工装置1は、例えば、保持手段30上に保持された被加工物WをZ軸方向の軸心周りに周回する加工具64を備える切削手段6によってバイト切削し、被加工物Wの被切削面である上面Waを平坦化するバイト切削装置(サーフェスプレーナー)である。
加工装置1のベース10上の前方(−X方向側)は、保持手段30に対し被加工物Wの着脱が行われる領域となっており、ベース10上の後方(+X方向側)は、切削手段6によって保持手段30上に保持された被加工物Wのバイト切削が行われる領域となっている。
なお、加工装置1は、回転する円環状の切削ブレードで被加工物Wを個々のチップに切削して分割する切削装置、又は回転する研削砥石で被加工物Wを研削して薄化する研削装置であってもよい。
外形が平面視矩形状の被加工物Wは、例えば、母材をシリコンとする所定の厚みの基板W1を備えており、その上面には、図示しないデバイスが複数形成されている。このデバイスの上面にはそれぞれ複数のバンプEと呼ばれる突起電極が立設している。バンプEは、銅を主要素として例えば円柱状又は球状に形成されたものである。基板W1の上面は、エポキシ樹脂等の樹脂層W2によってバンプEと共にデバイスが封止されている。即ち、本実施形態における被加工物Wは所謂パッケージ基板である。そして、樹脂層W2の上面が、切削される被加工物Wの上面Waとなり、基板W1の下面が保持手段30で保持される被加工物Wの下面Wbとなる
なお、被加工物Wは本実施形態に示す例に限定されるものではなく、円形板状のシリコンウェーハ、サファイア基板及びSiC基板等の硬質材からなる基板、又はセラミックス基板等であってもよい。
外形が平面視矩形状の保持手段30は、ポーラス部材等からなり被加工物Wを吸着する吸着部300と、吸着部300を支持する枠体301とを備える。保持手段30の吸着部300は、エジェクター機構や真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が、吸着部300の露出面である保持面300aに伝達されることで、保持手段30は保持面300a上で被加工物Wを吸引保持することができる。また、保持手段30は、カバー39によって周囲から囲まれつつ、カバー39及びカバー39に連結されX軸方向に伸縮する蛇腹カバー39aの下に配設された図示しない切削送り手段によって、ベース10上をX軸方向に往復移動可能となっている。
なお、保持手段30は本実施形態に示す例に限定されるものではなく、保持面に吸引溝が形成された保持テーブルや、複数の支持ピンにより保持面が形成されるピンチャックテーブルであってもよい。
ベース10上の後方側(+X方向側)にはコラム11が立設されており、コラム11の前面には切削手段6を保持手段30に対して離間又は接近するZ軸方向(鉛直方向)に切込み送りする切込み送り手段13が配設されている。切込み送り手段13は、Z軸方向の軸心を有するボールネジ130と、ボールネジ130と平行に配設された一対のガイドレール131と、ボールネジ130の上端に連結しボールネジ130を回動させるモータ132と、内部のナットがボールネジ130に螺合し側部がガイドレール131に摺接する昇降板133とを備えており、モータ132がボールネジ130を回動させると、これに伴い昇降板133がガイドレール131にガイドされてZ軸方向に往復移動し、昇降板133に固定された切削手段6がZ軸方向に切込み送りされる。
切削手段6は、軸方向がZ軸方向であるスピンドル60と、スピンドル60を回転可能に支持するハウジング61と、スピンドル60を回転駆動するモータ62と、スピンドル60の下端に接続された円形状のバイトホイール63と、バイトホイール63に着脱可能に装着されている加工具64と、ハウジング61を保持し昇降板133に固定されたホルダ65とを備えている。
図1に示すように、バイトホイール63の下面の外周領域には、例えば、略直方体形状のシャンク631が取り付けられており、シャンク631の側面に加工具64(切削バイト64)がネジ等によって固定されている。加工具64は、その下端に尖形に形成された切り刃641を備えており、切り刃641は、例えばダイヤモンド等の砥粒と所定のバインダーとを焼き固めたものである。
加工具64が被加工物Wをバイト切削する際には、加工具64と被加工物Wとの接触部位に向けて、保持手段30の近傍に配設された図示しない外部ノズルから加工液(例えば、純水)が供給される、又は切削手段6のスピンドル60を通してバイトホイール63の下面に開いた供給口から加工液(例えば、純水)が供給される。該加工液は、接触部位に供給された後に加工廃液L(図2参照)となる。
保持手段30の移動経路両脇には、図示しないウォーターケースの開口が配設されている。ウォーターケースは、被加工物Wがバイト切削されて排出されるバンプE由来の銅が混じった加工屑を含み保持手段30から流下する加工廃液L(図2参照)を受け止めて、配管15を介して図1、2に示す廃液処理装置2へと送る。
加工液を供給しながら保持手段30が保持した被加工物Wを加工具64で加工する加工装置1に配管15を介して連結され、加工装置1から排出される加工屑B(図2参照)を含んだ加工廃液Lから加工屑Bを除去する廃液処理装置2は、加工廃液Lを溜める液槽20と、液槽20に加工廃液Lを導入する入口21と、液槽20の底200の所定の部分に加工屑Bを集中的に沈殿させるための傾斜面を有する集中エリア22と、集中エリア22に沈殿した加工屑Bを液槽20の外に排出させる排出手段24と、加工屑Bを除いた加工廃液L1を排出する出口26とを備えている。
液槽20は、図示の例では上側が開口した略直方体形状の容器であり、平面視略矩形の底200と、底200の外周から一体的に+Z方向に立ち上がる4枚の側壁とからなる。図1、2でX軸方向において対向する2枚の側壁を側壁201として、Y軸方向において対向する2枚の側壁を側壁202とする。
また、液槽20の上部には、加工廃液Lが溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、図示しないタンクに連通しており、液槽20から溢れようとした加工廃液Lを該タンクに導く。
液槽20の内部は、垂直方向に延在する隔壁205、206によって、廃液導入部207とフィルタ収容部208と廃液流出部209とに分割されている。図2に示すように、隔壁205と底200との間には所定の隙間(廃液通過路)が設けられている。隔壁206の上端は、側壁202の上端よりも低く設定されており、フィルタ収容部208内を上昇し加工屑Bが除かれて清水となった加工廃液L1が隔壁206上を乗り越え、液槽20から漏れることなく廃液流出部209内に流入できるようになっている。
−X方向側の側壁201に液槽20に加工廃液Lを導入する入口21は貫通形成されている。例えば、図2に示すように、廃液導入部207内の入口21の下方に当たる位置には、加工廃液Lの流れをフィルタ収容部208側にガイドするガイド板207aが配設されている。
液槽20の底200は、例えば、フィルタ収容部208内から廃液導入部207内のガイド板207aの下側にかけて水平方向から斜め下方に傾斜した傾斜面200bとなっており、主に該傾斜面200bとガイド板207aとの間の空間が、加工屑Bを集中的に沈殿させるための傾斜面200bを有する集中エリア22となる。傾斜面200bは、図2に示す例のように曲線状に傾斜していてもよいし、又は直線状に傾斜していてもよい。
先に説明したガイド板207aは、入口21から入る加工廃液Lによって集中エリア22に溜まった加工屑Bがかき回されないようにする役割も果たしている。
なお、廃液導入部207の体積が大きいとき、ガイド板207aを液槽20内に配設しなくても良い。
−X方向側の側壁201の下方には集中エリア22に連通する第一の加工屑排出口201cが貫通形成されており、第一の加工屑排出口201cには排出管240を介してバキュームポンプ等からなる排出手段24が連通している。なお、排出手段24を排出管240の開閉を制御する開閉バルブとして、開閉バルブを開いた状態にすることで、加工屑Bが傾斜面200bを滑り落ちる勢いで排出管240から液槽20外へ加工屑Bが排出されるものとしてもよい。
フィルタ収容部208内には、フィルタ収容部208内に隙間無く収まる大きさの外形が直方体状のフィルタ28が収容されている。図2に示すように、フィルタ28は、濾過面積が増大するように隔壁205、206に対して所定の角度(例えば、約30度)で傾斜する樹脂または濾紙等からなる複数の傾斜板28aを備え、隣接する傾斜板28aとの間には複数の細管28bが形成されている。
廃液流出部209内の底200は、例えば、下方に向かって傾斜するすり鉢形状の底200cに形成されており、該すり鉢形状の底200cには第二の加工屑排出口200dが貫通形成されており、第二の加工屑排出口200dは、第一仕切り弁200fによって開閉可能となっていると共に、加工屑を収容する図示しない廃棄ボックスに連通している。
+X方向側の側壁201の上方には加工屑Bを除いた加工廃液L1を排出する出口26が貫通形成されており、出口26には供給管260が連通しており、加工屑Bが除かれ液槽20から排出された加工廃液L1は、イオン交換や紫外線照射による殺菌等がされた後、図1に示す加工装置1において加工液として再利用される。供給管260は、第二仕切り弁262によって開閉可能となっている。なお、加工廃液L1の再利用先は加工装置1に限定されるものではない。
以下に、加工液を供給しつつ図1に示す被加工物Wを加工具64でバイト切削して、排出される図2に示す加工屑Bを含んだ加工廃液Lから加工屑Bをろ過して除いた加工廃液L1(清水L1)を得る場合の、加工装置1及び廃液処理装置2の動作について説明する。
まず、図1に示す保持手段30の中心と被加工物Wの中心とが略合致するように、被加工物Wが樹脂層W2側を上にして平坦な保持面300a上に載置される。そして、図示しない吸引源が作動して生み出された吸引力が保持面300aに伝達されることで、保持手段30が保持面300a上で被加工物Wを吸引保持する。
切削手段6が切込み送り手段13により−Z方向へと送られ、加工具64の最下端となる切り刃641が被加工物Wの上面Waに所定量切り込む高さ位置、即ち、切り刃641が樹脂層W2及びバンプEに所定量切り込む高さ位置に切削手段6が位置付けられる。さらに、モータ62がスピンドル60を所定の回転速度で回転させ、これに伴って、加工具64がスピンドル60を軸に所定の回転速度で円弧を描くように周回する。
被加工物Wを吸引保持した保持手段30が所定の切削送り速度で+X方向に送られていき、周回する加工具64の切り刃641が被加工物Wの樹脂層W2及びバンプEを切削して被加工物Wの上面Waを平坦化していく。
そして、X軸方向の所定の位置まで保持手段30が+X方向に移動し、周回する加工具64により被加工物Wの上面Wa全面が平坦面になるように切削される。
切削中は、加工具64と被加工物Wの上面Waとの接触部位に加工液(例えば、純水)が供給され、接触部位が冷却・洗浄される。その結果、被加工物Wが切削されて微細な粉末状をなし銅等を含む加工屑B(図2参照)が形成されると共に、加工屑Bが加工液に混入して加工廃液Lが生成される。生成された加工廃液Lは、図示しないウォーターケースで受け止められた後、配管15を通り廃液処理装置2に向かって流れていく。
加工廃液Lは配管15を通り、廃液処理装置2の入口21から液槽20の廃液導入部207に流れ込む。そして、入口21から流下した加工廃液Lは、図2に示すガイド板207aによって受け止められて隔壁205と底200との間の廃液通過路側へとガイドされて、フィルタ収容部208内に流入していく。この際、加工廃液Lに含まれる加工屑Bの一部は、底200の傾斜面200bに落ちて、そのまま傾斜面200bを滑り落ちて集中エリア22に沈殿していく。
フィルタ収容部208内に入った加工廃液Lは、フィルタ28の細管28bを上昇して、その後廃液流出部209に流入する。このとき、加工廃液Lに含まれる加工屑Bは、フィルタ28の傾斜板28aに衝突するために上昇せず、傾斜板28aに沿って沈降してフィルタ収容部208内の底200に蓄積される。したがって、加工廃液Lに含まれる加工屑Bの大半がここで沈殿する。よって、フィルタ28を上方に向かって通過して隔壁206を乗り越えて廃液流出部209に流入する加工廃液は、ほとんど加工屑Bが含まれていない、加工屑Bが除かれた加工廃液L1(清水L1)となる。
加工屑Bが除かれ廃液流出部209に入った加工廃液L1は、廃液流出部209内のすり鉢形状の底200cに流下して、さらに、僅かに含まれる細かな加工屑が沈降してすり鉢状の底200cの第二の加工屑排出口200dに集められる。一方、廃液流出部209に溜まっていった加工廃液L1の液面が出口26の高さまで上昇すると、第二仕切り弁262によって開かれた状態の供給管260内に出口26から排出された加工廃液L1が流れていき、その後、加工装置1に供給されて加工液として再利用される。
廃液流出部209内のすり鉢状の底200cの第二の加工屑排出口200d付近に所定量の細かな加工屑が溜まった状態になると、第一仕切り弁200fが開かれて細かな加工屑が図示しない廃棄ボックスに排出される。
なお、出口26に例えばメッシュフィルタ等を配設して、メッシュフィルタによって加工廃液L1に僅か含まれる細かな加工屑を完全に除去するものとしてもよい。もちろん、フィルタ28で加工廃液Lから加工屑Bを必要十分に濾過可能である場合には、メッシュフィルタを備えなくてもよい。
フィルタ収容部208内の底200に加工屑Bが蓄積されていくと、フィルタ収容部208内から廃液導入部207内にかけて斜め下方に傾斜した傾斜面200bを、加工屑Bが滑り落ちて集中エリア22に集中的に加工屑Bが沈殿されていき、該集中エリア22に沈殿した加工屑Bは、液槽20内における加工廃液Lの流れから隔離されるため、再びフィルタ収容部208内に戻ることが無いようになる。
所定量の加工屑Bが集中エリア22に沈殿したり、廃液処理装置2が作動して所定時間経過したりすると、本実施形態においてはバキュームポンプ等からなる排出手段24が定期的に作動して加工屑Bを吸引して、集中エリア22に沈殿している加工屑Bを液槽20外に排出させる。
以上説明してきたように、加工液を供給しながら保持手段30が保持した被加工物Wを加工具64で加工する加工装置1に連結される本発明に係る廃液処理装置2は、加工廃液Lを溜める液槽20と、液槽20に加工廃液Lを導入する入口21と、液槽20の底200の所定の部分に加工屑Bを集中的に沈殿させるための傾斜面200bを有する集中エリア22と、集中エリア22に沈殿した加工屑Bを液槽20の外に排出させる排出手段24と、加工屑Bを除いた加工廃液L1を排出する出口26と、を備えているため、集中エリア22に沈殿した加工屑Bを排出させ廃液処理を継続的に可能にする。そして、液槽20内においてろ過した加工廃液L1(清水L1)に再び加工屑Bが混ざってしまうことがなく、ろ過した加工廃液L1を加工液として再利用することが可能となる。
例えば、本実施形態のような加工具64で被加工物Wに形成されたバンプEを切削する加工装置1では、加工屑Bが細かな粒(約10μm〜約20μm)になる。そのため、従来においては、廃液処理装置2の液槽20の底200に加工屑Bが溜まると、廃液処理装置2の液槽20内を流れる加工廃液Lの流れで加工屑Bが液槽20の底200から上方に流れ出てきてしまう。しかし、本発明に係る廃液処理装置2では、液槽20の下に傾斜面200bを有する凹み状の集中エリア22を設け集中的に加工屑Bを集中エリア22に溜める構造とし、その溜まった加工屑Bを定期的に排出手段24によって排出できる様にしているので、沈殿した加工屑Bが加工廃液L1(清水L1)側へ向かうことが抑制される。
本発明に係る廃液処理装置2は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている加工装置1や廃液処理装置2の各構成要素の外形等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
W:被加工物 W1:基板 W2:樹脂層 E:バンプ Wa:被加工物の上面 Wb:被加工物の下面
1:加工装置 10:ベース 11:コラム
30:保持手段 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
39:カバー 39a:蛇腹カバー
13:切込み送り手段 130:ボールネジ 132:モータ
6:切削手段 60:スピンドル 63:バイトホイール 64:加工具 641:切り刃
2:廃液処理装置 L:加工廃液 B:加工屑 L1:加工屑を取り除いた加工廃液
20:液槽 200:底 201:側壁 202:側壁
21:入口 205、206:隔壁 207:廃液導入部 207a:ガイド板 208:フィルタ収容部
209:廃液流出部 200c:すり鉢形状の底 200d:第二の加工屑排出口
200f:第一仕切り弁
22:集中エリア 200b:傾斜面 201c:第一の加工屑排出口
26:出口 260:供給管 262:第二仕切り弁
24:排出手段 240:排出管
28:フィルタ 28a:傾斜板 28b:細孔

Claims (1)

  1. 加工液を供給しながら保持手段が保持した被加工物を加工具で加工する加工装置に連結され、該加工装置から排出される加工屑を含んだ加工廃液から加工屑を除去する廃液処理装置であって、
    該加工廃液を溜める液槽と、
    該液槽に該加工廃液を導入する入口と、
    該液槽の底の所定の部分に該加工屑を集中的に沈殿させるための傾斜面を有する集中エリアと、
    該集中エリアに沈殿した該加工屑を該液槽の外に排出させる排出手段と、
    該加工屑を除いた加工廃液を排出する出口と、を備え、
    該集中エリアに沈殿した該加工屑を排出させ廃液処理を継続的に可能にする廃液処理装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112321081A (zh) * 2020-10-29 2021-02-05 李同霞 一种工业污水处理工艺
CN112777819A (zh) * 2020-12-23 2021-05-11 徐州市国栋生化装备有限公司 一种酸性工业废水和碱性工业废水联合处理装置
JP7376037B1 (ja) * 2023-07-18 2023-11-08 政寿 岡田 スラッジ除去装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BR102020020215A2 (pt) * 2020-10-01 2022-04-12 Ronaldo Leite Almeida Junior Equipamento de adensamento de sólidos por arraste
DE102021000392A1 (de) * 2021-01-27 2022-07-28 H Y D A C Filtertechnik GmbH Verfahren und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nebst Verwendung
CN117620764B (zh) * 2024-01-24 2024-03-29 沈阳航空制造有限公司 一种柔性制造生产线集中排屑排液设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0631802U (ja) * 1992-09-28 1994-04-26 嚴一 佐藤 ろ過装置
US5520825A (en) * 1993-11-08 1996-05-28 Mctighe Industries, Inc. Oil-water separator
JP3080726U (ja) * 2001-03-29 2001-10-05 株式会社シイエヌケイ 傾斜板式沈殿槽装置
JP2002096237A (ja) * 2000-09-18 2002-04-02 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の切り屑処理装置
JP2012228634A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Sowa Engineering:Kk 再生水製造装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2868384A (en) * 1955-07-25 1959-01-13 Ca Nat Research Council Apparatus for settling fluid suspensions
US3743260A (en) * 1971-11-22 1973-07-03 Caterpillar Tractor Co Anti-polluting waste collector for a burn table
US4056477A (en) * 1976-06-21 1977-11-01 Riga, Inc. Separating apparatus for clarifying liquid
FR2708260B1 (fr) * 1993-06-30 1995-10-20 Degremont Dispositif de traitement des eaux résiduaires notamment des eaux de pluie.
JP4176915B2 (ja) * 1999-05-24 2008-11-05 オルガノ株式会社 固液分離装置
JP3952160B2 (ja) * 2002-03-22 2007-08-01 ブラザー工業株式会社 切削液ろ過装置
JP2004322214A (ja) * 2003-04-21 2004-11-18 Disco Abrasive Syst Ltd 加工液処理装置
JP4421256B2 (ja) * 2003-10-06 2010-02-24 月島機械株式会社 濾過ユニット、該濾過ユニットの設置方法、および濾過装置
CN2743334Y (zh) * 2004-12-03 2005-11-30 谭奇峰 导流微旋絮凝反应池
JP4446122B2 (ja) * 2005-05-26 2010-04-07 有限会社中道環境開発 廃液の処理装置、その処理システム
JP2008284425A (ja) * 2007-05-15 2008-11-27 Hanex Co Ltd 排水分離装置
CN103083951A (zh) * 2011-11-02 2013-05-08 南通新凤祥液压铸造有限公司 一种汽油过滤器
CA2857888C (en) * 2013-07-29 2018-03-20 Calx Limited Apparatus and method for treating slurries
KR101722099B1 (ko) * 2016-11-23 2017-03-31 주식회사 월드이노텍 미세기포의 안정적 발생구조를 가진 부상분리식 하수처리장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0631802U (ja) * 1992-09-28 1994-04-26 嚴一 佐藤 ろ過装置
US5520825A (en) * 1993-11-08 1996-05-28 Mctighe Industries, Inc. Oil-water separator
JP2002096237A (ja) * 2000-09-18 2002-04-02 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の切り屑処理装置
JP3080726U (ja) * 2001-03-29 2001-10-05 株式会社シイエヌケイ 傾斜板式沈殿槽装置
JP2012228634A (ja) * 2011-04-25 2012-11-22 Sowa Engineering:Kk 再生水製造装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112321081A (zh) * 2020-10-29 2021-02-05 李同霞 一种工业污水处理工艺
CN112777819A (zh) * 2020-12-23 2021-05-11 徐州市国栋生化装备有限公司 一种酸性工业废水和碱性工业废水联合处理装置
JP7376037B1 (ja) * 2023-07-18 2023-11-08 政寿 岡田 スラッジ除去装置

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