JP2020110879A - 廃液処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
よって、加工装置から排出される廃液の処理を行う廃液処理装置においては、ろ過した加工廃液に加工屑が再び混ざらないようにするという課題がある。
例えば、切削バイトで被加工物に形成された電極を切削する切削加工装置では、加工屑が細かな粒(約10μm〜約20μm)になる。そのため、従来においては、廃液処理装置の液槽の底に加工屑が溜まると、廃液処理装置の液槽を流れる加工廃液の流れで加工屑が液槽の底から上方に流れ出てきてしまう。しかし、本発明に係る廃液処理装置では、液槽の下方に傾斜面を備え凹み状の集中エリアを設け集中的に加工屑を該集中エリアに溜める構造とし、その溜まった加工屑を排出手段によって排出できる様にしているので、沈殿した加工屑がろ過された加工廃液(清水)側へ向かうことが抑制される。
加工装置1のベース10上の前方(−X方向側)は、保持手段30に対し被加工物Wの着脱が行われる領域となっており、ベース10上の後方(+X方向側)は、切削手段6によって保持手段30上に保持された被加工物Wのバイト切削が行われる領域となっている。
なお、加工装置1は、回転する円環状の切削ブレードで被加工物Wを個々のチップに切削して分割する切削装置、又は回転する研削砥石で被加工物Wを研削して薄化する研削装置であってもよい。
なお、被加工物Wは本実施形態に示す例に限定されるものではなく、円形板状のシリコンウェーハ、サファイア基板及びSiC基板等の硬質材からなる基板、又はセラミックス基板等であってもよい。
なお、保持手段30は本実施形態に示す例に限定されるものではなく、保持面に吸引溝が形成された保持テーブルや、複数の支持ピンにより保持面が形成されるピンチャックテーブルであってもよい。
また、液槽20の上部には、加工廃液Lが溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、図示しないタンクに連通しており、液槽20から溢れようとした加工廃液Lを該タンクに導く。
先に説明したガイド板207aは、入口21から入る加工廃液Lによって集中エリア22に溜まった加工屑Bがかき回されないようにする役割も果たしている。
なお、廃液導入部207の体積が大きいとき、ガイド板207aを液槽20内に配設しなくても良い。
そして、X軸方向の所定の位置まで保持手段30が+X方向に移動し、周回する加工具64により被加工物Wの上面Wa全面が平坦面になるように切削される。
なお、出口26に例えばメッシュフィルタ等を配設して、メッシュフィルタによって加工廃液L1に僅か含まれる細かな加工屑を完全に除去するものとしてもよい。もちろん、フィルタ28で加工廃液Lから加工屑Bを必要十分に濾過可能である場合には、メッシュフィルタを備えなくてもよい。
例えば、本実施形態のような加工具64で被加工物Wに形成されたバンプEを切削する加工装置1では、加工屑Bが細かな粒(約10μm〜約20μm)になる。そのため、従来においては、廃液処理装置2の液槽20の底200に加工屑Bが溜まると、廃液処理装置2の液槽20内を流れる加工廃液Lの流れで加工屑Bが液槽20の底200から上方に流れ出てきてしまう。しかし、本発明に係る廃液処理装置2では、液槽20の下に傾斜面200bを有する凹み状の集中エリア22を設け集中的に加工屑Bを集中エリア22に溜める構造とし、その溜まった加工屑Bを定期的に排出手段24によって排出できる様にしているので、沈殿した加工屑Bが加工廃液L1(清水L1)側へ向かうことが抑制される。
1:加工装置 10:ベース 11:コラム
30:保持手段 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
39:カバー 39a:蛇腹カバー
13:切込み送り手段 130:ボールネジ 132:モータ
6:切削手段 60:スピンドル 63:バイトホイール 64:加工具 641:切り刃
2:廃液処理装置 L:加工廃液 B:加工屑 L1:加工屑を取り除いた加工廃液
20:液槽 200:底 201:側壁 202:側壁
21:入口 205、206:隔壁 207:廃液導入部 207a:ガイド板 208:フィルタ収容部
209:廃液流出部 200c:すり鉢形状の底 200d:第二の加工屑排出口
200f:第一仕切り弁
22:集中エリア 200b:傾斜面 201c:第一の加工屑排出口
26:出口 260:供給管 262:第二仕切り弁
24:排出手段 240:排出管
28:フィルタ 28a:傾斜板 28b:細孔
Claims (1)
- 加工液を供給しながら保持手段が保持した被加工物を加工具で加工する加工装置に連結され、該加工装置から排出される加工屑を含んだ加工廃液から加工屑を除去する廃液処理装置であって、
該加工廃液を溜める液槽と、
該液槽に該加工廃液を導入する入口と、
該液槽の底の所定の部分に該加工屑を集中的に沈殿させるための傾斜面を有する集中エリアと、
該集中エリアに沈殿した該加工屑を該液槽の外に排出させる排出手段と、
該加工屑を除いた加工廃液を排出する出口と、を備え、
該集中エリアに沈殿した該加工屑を排出させ廃液処理を継続的に可能にする廃液処理装置。
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