KR20200089213A

KR20200089213A - 폐액 처리 장치

Info

Publication number: KR20200089213A
Application number: KR1020190174812A
Authority: KR
Inventors: 신이치 나미오카
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2019-01-15
Filing date: 2019-12-26
Publication date: 2020-07-24
Also published as: TWI829849B; CN111434368A; TW202037458A; US20200223713A1; JP7256644B2; DE102020200376A1; US11040889B2; CN111434368B; JP2020110879A

Abstract

본 발명은 가공 장치로부터 배출되는 폐액의 처리를 행하는 폐액 처리 장치에 있어서, 여과한 가공 폐액에 가공 부스러기가 다시 혼합되지 않도록 하는 것을 목적으로 한다.
가공 장치로부터 배출되는 가공 부스러기를 포함한 가공 폐액으로부터 가공 부스러기를 제거하는 폐액 처리 장치로서, 가공 폐액을 모으는 액조(液槽)와, 액조에 가공 폐액을 도입하는 입구와, 액조의 바닥의 미리 정해진 부분에 가공 부스러기를 집중적으로 침전시키기 위한 경사면을 갖는 집중 영역과, 집중 영역에 침전된 가공 부스러기를 액조 밖으로 배출시키는 버큠 펌프와, 가공 부스러기를 제거한 가공 폐액을 배출하는 출구를 포함한다.

Description

폐액 처리 장치{WASTE LIQUID PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 가공 장치로부터 배출되는 폐액의 처리를 행하는 폐액 처리 장치에 관한 것이다.

가공액을 공급하여 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 가공하는 가공 장치는, 가공 부스러기를 포함한 가공 폐액을 배출하고 있다. 그리고, 가공 장치에 연결되며, 배출된 상기 가공 폐액으로부터 가공 부스러기를 침전시키고 가공 폐액을 필터로 여과하여 얻어진 물을 가공액으로서 재이용하는 폐액 처리 장치가 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-322214호 공보

그러나, 폐액 처리 장치의 액조(液槽)의 바닥에 침전물이 많이 모여 가면, 필터로 여과되어 맑은 물이 된 가공 폐액에 가공 부스러기가 액조 내에 있어서 재차 혼합되어 간다고 하는 문제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 가공 장치로부터 배출되는 폐액의 처리를 행하는 폐액 처리 장치에 있어서는, 여과한 가공 폐액에 가공 부스러기가 다시 혼합되지 않도록 한 폐액 처리 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 가공액을 공급하면서 유지 테이블이 유지한 피가공물을 가공구로 가공하는 가공 장치에 연결되며, 상기 가공 장치로부터 배출되는 가공 부스러기를 포함한 가공 폐액으로부터 가공 부스러기를 제거하는 폐액 처리 장치로서, 상기 가공 장치로부터 배출되는 상기 가공 폐액을 도입하는 입구와, 상기 가공 부스러기를 제거한 가공 폐액을 배출하는 출구를 가지며, 상기 가공 폐액을 모으는 액조와, 상기 액조 내에 배치되며 상기 가공 폐액을 여과하는 필터와, 상기 액조의 바닥의 미리 정해진 부분에 상기 가공 부스러기를 집중적으로 침전시키기 위해서 상기 액조 내에 형성된 경사면을 갖는 집중 영역과, 상기 집중 영역에 침전된 상기 가공 부스러기를 상기 액조 밖으로 배출하는 배출 수단을 구비하고, 상기 집중 영역에 침전된 상기 가공 부스러기를 상기 배출 수단에 의해 배출함으로써, 폐액 처리를 계속적으로 실시 가능한 폐액 처리 장치가 제공된다.

본 발명에 의하면, 집중 영역에 침전된 가공 부스러기를 배출시켜 폐액 처리를 계속적으로 가능하게 하기 때문에, 액조 내에 있어서 여과한 가공 폐액(맑은 물)에 다시 가공 부스러기가 혼합되어 버리는 일이 없고, 여과한 가공 폐액을 가공액으로서 재이용하는 것이 가능해진다.

예컨대, 절삭 바이트로 피가공물에 형성된 전극을 절삭하는 절삭 가공 장치에서는, 가공 부스러기가 미세한 입자(약 10 ㎛∼약 20 ㎛)가 된다. 그 때문에, 종래에 있어서는, 폐액 처리 장치의 액조의 바닥에 가공 부스러기가 모이면, 폐액 처리 장치의 액조를 흐르는 가공 폐액의 흐름으로 가공 부스러기가 액조의 바닥으로부터 상방으로 흘러나와 버린다. 그러나, 본 발명에 따른 폐액 처리 장치에서는, 액조의 하방에 경사면을 구비하며 오목형의 집중 영역을 형성하여 집중적으로 가공 부스러기를 상기 집중 영역에 모으는 구조로 하고, 그 모인 가공 부스러기를 배출 수단에 의해 배출할 수 있도록 하고 있기 때문에, 침전된 가공 부스러기가 여과된 가공 폐액(맑은 물)측으로 향하는 것이 억제된다.

도 1은 가공 장치 및 가공 장치에 연결된 폐액 처리 장치의 일례를 도시한 사시도이다.
도 2는 폐액 처리 장치의 구조의 일례를 도시한 단면도이다.

본 발명에 따른 폐액 처리 장치(2)가 연결되는 도 1에 도시된 가공 장치(1)는, 예컨대 유지 테이블(30) 상에 유지된 피가공물(W)을 Z축 방향의 축심 주위로 주회(周回)하는 가공구(64)를 구비하는 절삭 유닛(6)에 의해 바이트 절삭하여, 피가공물(W)의 피절삭면인 상면(Wa)을 평탄화하는 바이트 절삭 장치(서페이스 플레이너)이다. 가공 장치(1)의 베이스(10) 상의 전방(-X 방향측)은, 유지 테이블(30)에 대해 피가공물(W)의 착탈이 행해지는 영역으로 되어 있고, 베이스(10) 상의 후방(+X 방향측)은, 절삭 유닛(6)에 의해 유지 테이블(30) 상에 유지된 피가공물(W)의 바이트 절삭이 행해지는 영역으로 되어 있다.

한편, 가공 장치(1)는, 회전하는 원환형의 절삭 블레이드로 피가공물(W)을 개개의 칩으로 절삭하여 분할하는 절삭 장치, 또는 회전하는 연삭 지석으로 피가공물(W)을 연삭하여 박화(薄化)하는 연삭 장치여도 좋다.

외형이 평면에서 보아 직사각형 형상의 피가공물(W)은, 예컨대 모재를 실리콘으로 하는 미리 정해진 두께의 기판(W1)을 구비하고 있고, 그 상면에는, 기능층이 적층되며, 이 기능층에 도시하지 않은 디바이스가 복수 형성되어 있다. 이 디바이스의 상면에는 각각 복수의 범프(E)라고 불리는 돌기 전극이 세워져 설치되어 있다. 범프(E)는, 구리를 주요소로 하여 예컨대 원기둥형 또는 구형으로 형성된 것이다. 기판(W1)의 상면은, 에폭시 수지 등의 수지층(W2)에 의해 범프(E)와 함께 디바이스가 밀봉되어 있다. 즉, 본 실시형태에 있어서의 피가공물(W)은 소위 패키지 기판이다. 그리고, 수지층(W2)의 상면이, 절삭되는 피가공물(W)의 상면(Wa)이 되고, 기판(W1)의 하면이 유지 테이블(30)로 유지되는 피가공물(W)의 하면(Wb)이 된다.

한편, 피가공물(W)은 본 실시형태에 나타내는 예에 한정되는 것은 아니며, 원형 판형의 실리콘 웨이퍼, 사파이어 기판 및 SiC 기판 등의 경질재를 포함하는 기판, 또는 세라믹스 기판 등이어도 좋다.

외형이 평면에서 보아 직사각형 형상의 유지 테이블(30)은, 다공성 부재 등을 포함하며 피가공물(W)을 흡착하는 흡착부(300)와, 흡착부(300)를 지지하는 프레임(301)을 구비한다. 유지 테이블(30)의 흡착부(300)는, 이젝터 기구나 진공 발생 장치 등의 도시하지 않은 흡인원에 연통(連通)되고, 흡인원이 흡인함으로써 생성된 흡인력이, 흡착부(300)의 노출면인 유지면(300a)에 전달됨으로써, 유지 테이블(30)은 유지면(300a) 상에서 피가공물(W)을 흡인 유지할 수 있다. 또한, 유지 테이블(30)은, 커버(39)에 의해 주위로부터 둘러싸이면서, 커버(39) 및 커버(39)에 연결되며 X축 방향으로 신축하는 주름상자 커버(39a) 아래에 배치된 도시하지 않은 절삭 이송 기구에 의해, 베이스(10) 상을 X축 방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.

한편, 유지 테이블(30)은 본 실시형태에 나타내는 예에 한정되는 것은 아니며, 유지면에 흡인홈이 형성된 유지 테이블이나, 복수의 지지 핀에 의해 유지면이 형성되는 핀 척 테이블이어도 좋다.

베이스(10) 상의 후방측(+X 방향측)에는 칼럼(11)이 세워져 설치되어 있고, 칼럼(11)의 전면(前面)에는 절삭 유닛(6)을 유지 테이블(30)에 대해 이격 또는 접근하는 Z축 방향(연직 방향)으로 절입 이송하는 절입 이송 수단(13)이 배치되어 있다. 절입 이송 수단(13)은, Z축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(130)와, 볼 나사(130)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(131)과, 볼 나사(130)의 상단에 연결하며 볼 나사(130)를 회동시키는 모터(132)와, 내부의 너트가 볼 나사(130)에 나사 결합되며 측부가 가이드 레일(131)에 미끄럼 접촉하는 승강판(133)을 구비하고 있고, 모터(132)가 볼 나사(130)를 회동시키면, 이에 따라 승강판(133)이 가이드 레일(131)에 가이드되어 Z축 방향으로 왕복 이동하여, 승강판(133)에 고정된 절삭 유닛(6)이 Z축 방향으로 절입 이송된다.

절삭 유닛(6)은, 축 방향이 Z축 방향인 스핀들(60)과, 스핀들(60)을 회전 가능하게 지지하는 하우징(61)과, 스핀들(60)을 회전 구동하는 모터(62)와, 스핀들(60)의 하단에 접속된 원형 형상의 바이트 휠(63)과, 바이트 휠(63)에 착탈 가능하게 장착되어 있는 가공구(64)와, 하우징(61)을 유지하며 승강판(133)에 고정된 홀더(65)를 구비하고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 바이트 휠(63)의 하면의 외주 영역에는, 예컨대 대략 직육면체 형상의 섕크(shank; 631)가 부착되어 있고, 섕크(631)의 측면에 가공구(64)[절삭 바이트(64)]가 나사 등에 의해 고정되어 있다. 가공구(64)는, 그 하단에 첨형(尖形)으로 형성된 절삭날(641)을 구비하고 있고, 절삭날(641)은, 예컨대 다이아몬드 등의 지립과 미리 정해진 바인더를 태워 굳힌 것이다.

가공구(64)가 피가공물(W)을 바이트 절삭할 때에는, 가공구(64)와 피가공물(W)의 접촉 부위를 향해, 유지 테이블(30) 근방에 배치된 도시하지 않은 외부 노즐로부터 가공액[예컨대, 순수(純水)]이 공급되거나, 또는 절삭 유닛(6)의 스핀들(60)을 통해 바이트 휠(63)의 하면에서 개방된 공급구로부터 가공액(예컨대, 순수)이 공급된다. 상기 가공액은, 접촉 부위에 공급된 후에 가공 폐액(L)(도 2 참조)이 된다.

유지 테이블(30)의 이동 경로 양편에는, 도시하지 않은 워터 케이스의 개구가 배치되어 있다. 워터 케이스는, 피가공물(W)이 바이트 절삭되어 배출되는 범프(E) 유래의 구리가 혼합된 가공 부스러기를 포함하며 유지 테이블(30)로부터 흘러내리는 가공 폐액(L)(도 2 참조)을 받아내어, 배관(15)을 통해 도 1, 2에 도시된 폐액 처리 장치(2)에 보낸다.

가공액을 공급하면서 유지 테이블(30)이 유지한 피가공물(W)을 가공구(64)로 가공하는 가공 장치(1)에 배관(15)을 통해 연결되며, 가공 장치(1)로부터 배출되는 가공 부스러기(B)(도 2 참조)를 포함한 가공 폐액(L)으로부터 가공 부스러기(B)를 제거하는 폐액 처리 장치(2)는, 가공 폐액(L)을 모으는 액조(20)와, 액조(20)에 가공 폐액(L)을 도입하는 입구(21)와, 액조(20)의 바닥(200)의 미리 정해진 부분에 가공 부스러기(B)를 집중적으로 침전시키기 위한 경사면을 갖는 집중 영역(22)과, 집중 영역(22)에 침전된 가공 부스러기(B)를 액조(20) 밖으로 배출시키는 배출 수단(24)과, 가공 부스러기(B)를 제거한 가공 폐액(L1)을 배출하는 출구(26)를 구비하고 있다.

액조(20)는, 도시된 예에서는 상측이 개구된 대략 직육면체 형상의 용기이며, 평면에서 보아 대략 직사각형의 바닥(200)과, 바닥(200)의 외주로부터 일체적으로 +Z 방향으로 기립하는 4장의 측벽을 포함한다. 도 1, 2에서 X축 방향에 있어서 대향하는 2장의 측벽을 측벽(201)으로 하고, Y축 방향에 있어서 대향하는 2장의 측벽을 측벽(202)으로 한다. 또한, 액조(20)의 상부에는, 가공 폐액(L)이 넘치는 것을 방지하는 도시하지 않은 오버플로우관이 설치되어 있다. 오버플로우관은, 도시하지 않은 탱크에 연통되어 있고, 액조(20)로부터 넘치려고 한 가공 폐액(L)을 상기 탱크로 유도한다.

액조(20)의 내부는, 수직 방향으로 연장되는 격벽(205, 206)에 의해, 폐액 도입부(207)와 필터 수용부(208)와 폐액 유출부(209)로 분할되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 격벽(205)과 바닥(200) 사이에는 미리 정해진 간극(폐액 통과로)이 형성되어 있다. 격벽(206)의 상단은, 측벽(202)의 상단보다 낮게 설정되어 있고, 필터 수용부(208) 내를 상승하여 가공 부스러기(B)가 제거되어 맑은 물이 된 가공 폐액(L1)이 격벽(206) 상을 타고 넘어, 액조(20)로부터 누설되지 않고 폐액 유출부(209) 내로 유입될 수 있도록 되어 있다.

-X 방향측의 측벽(201)에, 액조(20)에 가공 폐액(L)을 도입하는 입구(21)가 관통 형성되어 있다. 예컨대, 도 2에 도시된 바와 같이, 폐액 도입부(207) 내의 입구(21)의 하방에 해당하는 위치에는, 가공 폐액(L)의 흐름을 필터 수용부(208)측으로 가이드하는 가이드판(207a)이 배치되어 있다.

액조(20)의 바닥(200)은, 예컨대 필터 수용부(208) 내로부터 폐액 도입부(207) 내의 가이드판(207a)의 하측에 걸쳐 수평 방향으로부터 비스듬히 하방으로 경사진 경사면(200b)으로 되어 있고, 주로 상기 경사면(200b)과 가이드판(207a) 사이의 공간이, 가공 부스러기(B)를 집중적으로 침전시키기 위한 경사면(200b)을 갖는 집중 영역(22)이 된다. 경사면(200b)은, 도 2에 도시된 예와 같이 곡선형으로 경사져 있어도 좋고, 또는 직선형으로 경사져 있어도 좋다.

앞서 설명한 가이드판(207a)은, 입구(21)로부터 들어오는 가공 폐액(L)에 의해 집중 영역(22)에 모인 가공 부스러기(B)가 휘저어지지 않도록 하는 역할도 수행하고 있다. 한편, 폐액 도입부(207)의 체적이 클 때, 가이드판(207a)을 액조(20) 내에 배치하지 않아도 좋다.

-X 방향측의 측벽(201)의 하방에는 집중 영역(22)에 연통되는 제1 가공 부스러기 배출구(201c)가 관통 형성되어 있고, 제1 가공 부스러기 배출구(201c)에는 배출관(240)을 통해 버큠 펌프 등을 포함하는 배출 수단(24)이 연통되어 있다. 한편, 배출 수단(24)을 배출관(240)의 개폐를 제어하는 개폐 밸브로 하여, 개폐 밸브를 개방한 상태로 함으로써, 가공 부스러기(B)가 경사면(200b)을 미끄러져 떨어지는 기세로 배출관(240)으로부터 액조(20) 밖으로 가공 부스러기(B)가 배출되는 것으로 해도 좋다.

필터 수용부(208) 내에는, 필터 수용부(208) 내에 간극 없이 들어가는 크기의 외형이 직육면체 형상의 필터(28)가 수용되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 필터(28)는, 여과 면적이 증대하도록 격벽(205, 206)에 대해 미리 정해진 각도(예컨대, 약 30도)로 경사진, 수지 또는 여과지 등을 포함하는 복수의 경사판(28a)을 구비하고, 인접한 경사판(28a) 사이에는 복수의 세관(28b)이 형성되어 있다.

폐액 유출부(209) 내의 바닥(200)은, 예컨대 하방을 향해 경사진 유발 형상의 바닥(200c)으로 형성되어 있고, 상기 유발 형상의 바닥(200c)에는 제2 가공 부스러기 배출구(200d)가 관통 형성되어 있으며, 제2 가공 부스러기 배출구(200d)는, 제1 구획 밸브(200f)에 의해 개폐 가능하게 되어 있고, 가공 부스러기를 수용하는 도시하지 않은 폐기 박스에 연통되어 있다.

+X 방향측의 측벽(201)의 상방에는 가공 부스러기(B)를 제거한 가공 폐액(L1)을 배출하는 출구(26)가 관통 형성되어 있고, 출구(26)에는 공급관(260)이 연통되어 있으며, 가공 부스러기(B)가 제거되어 액조(20)로부터 배출된 가공 폐액(L1)은, 이온 교환이나 자외선 조사에 의한 살균 등이 된 후, 도 1에 도시된 가공 장치(1)에 있어서 가공액으로서 재이용된다. 공급관(260)은, 제2 구획 밸브(262)에 의해 개폐 가능하게 되어 있다. 한편, 가공 폐액(L1)의 재이용처는 가공 장치(1)에 한정되는 것은 아니다.

이하에, 가공액을 공급하면서 도 1에 도시된 피가공물(W)을 가공구(64)로 바이트 절삭하여, 배출되는 도 2에 도시된 가공 부스러기(B)를 포함한 가공 폐액(L)으로부터 가공 부스러기(B)를 여과하여 제거한 가공 폐액(L1)[(맑은 물(L1)]을 얻는 경우의, 가공 장치(1) 및 폐액 처리 장치(2)의 동작에 대해 설명한다.

먼저, 도 1에 도시된 유지 테이블(30)의 중심과 피가공물(W)의 중심이 대략 합치하도록, 피가공물(W)이 수지층(W2)측을 위로 하여 평탄한 유지면(300a) 상에 배치된다. 그리고, 도시하지 않은 흡인원이 작동하여 생성된 흡인력이 유지면(300a)에 전달됨으로써, 유지 테이블(30)이 유지면(300a) 상에서 피가공물(W)을 흡인 유지한다.

절삭 유닛(6)이 절입 이송 수단(13)에 의해 -Z 방향으로 보내지고, 가공구(64)의 최하단이 되는 절삭날(641)이 피가공물(W)의 상면(Wa)에 미리 정해진 양 절입하는 높이 위치, 즉 절삭날(641)이 수지층(W2) 및 범프(E)에 미리 정해진 양 절입하는 높이 위치에 절삭 유닛(6)이 위치된다. 또한, 모터(62)가 스핀들(60)을 미리 정해진 회전 속도로 회전시키고, 이에 따라 가공구(64)가 스핀들(60)을 축으로 미리 정해진 회전 속도로 원호를 그리도록 주회한다.

피가공물(W)을 흡인 유지한 유지 테이블(30)이 미리 정해진 절삭 이송 속도로 +X 방향으로 보내져 가고, 주회하는 가공구(64)의 절삭날(641)이 피가공물(W)의 수지층(W2) 및 범프(E)를 절삭하여 피가공물(W)의 상면(Wa)을 평탄화해 간다. 그리고, X축 방향의 미리 정해진 위치까지 유지 테이블(30)이 +X 방향으로 이동하여, 주회하는 가공구(64)에 의해 피가공물(W)의 상면(Wa) 전체면이 평탄면이 되도록 절삭된다.

절삭 중에는, 가공구(64)와 피가공물(W)의 상면(Wa)의 접촉 부위에 가공액(예컨대, 순수)이 공급되어, 접촉 부위가 냉각·세정된다. 그 결과, 피가공물(W)이 절삭되어 미세한 분말 형상을 이루며 구리 등을 포함하는 가공 부스러기(B)(도 2 참조)가 형성되고, 가공 부스러기(B)가 가공액에 혼입되어 가공 폐액(L)이 생성된다. 생성된 가공 폐액(L)은, 도시하지 않은 워터 케이스로 받아내어진 후, 배관(15)을 지나 폐액 처리 장치(2)를 향해 흘러 간다.

가공 폐액(L)은 배관(15)을 지나, 폐액 처리 장치(2)의 입구(21)로부터 액조(20)의 폐액 도입부(207)로 유입된다. 그리고, 입구(21)로부터 흘러내린 가공 폐액(L)은, 도 2에 도시된 가이드판(207a)에 의해 받아내어져 격벽(205)과 바닥(200) 사이의 폐액 통과로측으로 가이드되고, 필터 수용부(208) 내로 유입되어 간다. 이때, 가공 폐액(L)에 포함되는 가공 부스러기(B)의 일부는, 바닥(200)의 경사면(200b)에 떨어지고, 그대로 경사면(200b)을 미끄러져 떨어져 집중 영역(22)에 침전되어 간다.

필터 수용부(208) 내로 들어간 가공 폐액(L)은, 필터(28)의 세관(28b)을 상승하고, 그 후 폐액 유출부(209)로 유입된다. 이때, 가공 폐액(L)에 포함되는 가공 부스러기(B)는, 필터(28)의 경사판(28a)에 충돌하기 때문에 상승하지 않고, 경사판(28a)을 따라 침강하여 필터 수용부(208) 내의 바닥(200)에 축적된다. 따라서, 가공 폐액(L)에 포함되는 가공 부스러기(B)의 대부분이 여기서 침전된다. 따라서, 필터(28)를 상방을 향해 통과하여 격벽(206)을 타고 넘어 폐액 유출부(209)로 유입되는 가공 폐액은, 거의 가공 부스러기(B)가 포함되어 있지 않은, 가공 부스러기(B)가 제거된 가공 폐액(L1)[맑은 물(L1)]이 된다.

가공 부스러기(B)가 제거되어 폐액 유출부(209)로 들어간 가공 폐액(L1)은, 폐액 유출부(209) 내의 유발 형상의 바닥(200c)으로 흘러내리고, 또한 약간 포함되는 미세한 가공 부스러기가 침강하여 유발형의 바닥(200c)의 제2 가공 부스러기 배출구(200d)에 모여진다. 한편, 폐액 유출부(209)에 모여 간 가공 폐액(L1)의 액면이 출구(26)의 높이까지 상승하면, 제2 구획 밸브(262)에 의해 개방된 상태의 공급관(260) 내에 출구(26)로부터 배출된 가공 폐액(L1)이 흘러가고, 그 후 가공 장치(1)에 공급되어 가공액으로서 재이용된다.

폐액 유출부(209) 내의 유발형의 바닥(200c)의 제2 가공 부스러기 배출구(200d) 부근에 미리 정해진 양의 미세한 가공 부스러기가 모인 상태가 되면, 제1 구획 밸브(200f)가 개방되어 미세한 가공 부스러기가 도시하지 않은 폐기 박스에 배출된다. 한편, 출구(26)에 예컨대 메시 필터 등을 배치하여, 메시 필터에 의해 가공 폐액(L1)에 약간 포함되는 미세한 가공 부스러기를 완전히 제거하는 것으로 해도 좋다. 물론, 필터(28)로 가공 폐액(L)으로부터 가공 부스러기(B)를 필요 충분히 여과 가능한 경우에는, 메시 필터를 구비하지 않아도 좋다.

필터 수용부(208) 내의 바닥(200)에 가공 부스러기(B)가 축적되어 가면, 필터 수용부(208) 내로부터 폐액 도입부(207) 내에 걸쳐 비스듬히 하방으로 경사진 경사면(200b)을, 가공 부스러기(B)가 미끄러져 떨어져 집중 영역(22)에 집중적으로 가공 부스러기(B)가 침전되어 가고, 상기 집중 영역(22)에 침전된 가공 부스러기(B)는, 액조(20) 내에 있어서의 가공 폐액(L)의 흐름으로부터 격리되기 때문에, 다시 필터 수용부(208) 내로 되돌아가는 일이 없게 된다.

미리 정해진 양의 가공 부스러기(B)가 집중 영역(22)에 침전되거나, 폐액 처리 장치(2)가 작동하여 미리 정해진 시간 경과하거나 하면, 본 실시형태에 있어서는 버큠 펌프 등을 포함하는 배출 수단(24)이 정기적으로 작동하여 가공 부스러기(B)를 흡인하여, 집중 영역(22)에 침전되어 있는 가공 부스러기(B)를 액조(20) 밖으로 배출시킨다.

이상 설명해 온 바와 같이, 가공액을 공급하면서 유지 테이블(30)이 유지한 피가공물(W)을 가공구(64)로 가공하는 가공 장치(1)에 연결되는 본 발명에 따른 폐액 처리 장치(2)는, 가공 폐액(L)을 모으는 액조(20)와, 액조(20)에 가공 폐액(L)을 도입하는 입구(21)와, 액조(20)의 바닥(200)의 미리 정해진 부분에 가공 부스러기(B)를 집중적으로 침전시키기 위한 경사면(200b)을 갖는 집중 영역(22)과, 집중 영역(22)에 침전된 가공 부스러기(B)를 액조(20) 밖으로 배출시키는 배출 수단(24)과, 가공 부스러기(B)를 제거한 가공 폐액(L1)을 배출하는 출구(26)를 구비하고 있기 때문에, 집중 영역(22)에 침전된 가공 부스러기(B)를 배출시켜 폐액 처리를 계속적으로 가능하게 한다. 그리고, 액조(20) 내에 있어서 여과한 가공 폐액(L1)[맑은 물(L1)]에 다시 가공 부스러기(B)가 혼합되어 버리는 일이 없고, 여과한 가공 폐액(L1)을 가공액으로서 재이용하는 것이 가능해진다.

예컨대, 본 실시형태와 같은 가공구(64)로 피가공물(W)에 형성된 범프(E)를 절삭하는 가공 장치(1)에서는, 가공 부스러기(B)가 미세한 입자(약 10 ㎛∼약 20 ㎛)가 된다. 그 때문에, 종래에 있어서는, 폐액 처리 장치(2)의 액조(20)의 바닥(200)에 가공 부스러기(B)가 모이면, 폐액 처리 장치(2)의 액조(20) 내를 흐르는 가공 폐액(L)의 흐름으로 가공 부스러기(B)가 액조(20)의 바닥(200)으로부터 상방으로 흘러나와 버린다. 그러나, 본 발명에 따른 폐액 처리 장치(2)에서는, 액조(20) 아래에 경사면(200b)을 갖는 오목형의 집중 영역(22)을 형성하여 집중적으로 가공 부스러기(B)를 집중 영역(22)에 모으는 구조로 하고, 그 모인 가공 부스러기(B)를 정기적으로 배출 수단(24)에 의해 배출할 수 있도록 하고 있기 때문에, 침전된 가공 부스러기(B)가 가공 폐액(L1)[맑은 물(L1)]측으로 향하는 것이 억제된다.

본 발명에 따른 폐액 처리 장치(2)는 전술한 실시형태에 한정되지 않고, 그 기술적 사상의 범위 내에서 여러 가지 상이한 형태로 실시되어도 좋은 것은 말할 것도 없다. 또한, 첨부 도면에 도시되어 있는 가공 장치(1)나 폐액 처리 장치(2)의 각 구성 요소의 외형 등에 대해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.

W: 피가공물 W1: 기판
W2: 수지층 E: 범프
Wa: 피가공물의 상면 Wb: 피가공물의 하면
1: 가공 장치 10: 베이스
11: 칼럼 30: 유지 테이블
300: 흡착부 300a: 유지면
301: 프레임 39: 커버
39a: 주름상자 커버 13: 절입 이송 수단
130: 볼 나사 132: 모터
6: 절삭 유닛 60: 스핀들
63: 바이트 휠 64: 가공구
641: 절삭날 2: 폐액 처리 장치
L: 가공 폐액 B: 가공 부스러기
L1: 가공 부스러기를 제거한 가공 폐액 20: 액조
200: 바닥 201: 측벽
202: 측벽 21: 입구
205, 206: 격벽 207: 폐액 도입부
207a: 가이드판 208: 필터 수용부
209: 폐액 유출부 200c: 유발 형상의 바닥
200d: 제2 가공 부스러기 배출구 200f: 제1 구획 밸브
22: 집중 영역 200b: 경사면
201c: 제1 가공 부스러기 배출구 26: 출구
260: 공급관 262: 제2 구획 밸브
24: 배출 수단 240: 배출관
28: 필터 28a: 경사판
28b: 세관

Claims

가공액을 공급하면서 유지 테이블이 유지한 피가공물을 가공구로 가공하는 가공 장치에 연결되며, 상기 가공 장치로부터 배출되는 가공 부스러기를 포함한 가공 폐액으로부터 가공 부스러기를 제거하는 폐액 처리 장치로서,
상기 가공 장치로부터 배출되는 상기 가공 폐액을 도입하는 입구와, 상기 가공 부스러기를 제거한 가공 폐액을 배출하는 출구를 가지며, 상기 가공 폐액을 모으는 액조(液槽)와,
상기 액조 내에 배치되며 상기 가공 폐액을 여과하는 필터와,
상기 액조의 바닥의 미리 정해진 부분에 상기 가공 부스러기를 집중적으로 침전시키기 위해서 상기 액조 내에 형성된 경사면을 갖는 집중 영역과,
상기 집중 영역에 침전된 상기 가공 부스러기를 상기 액조 밖으로 배출하는 배출 수단
을 구비하고, 상기 집중 영역에 침전된 상기 가공 부스러기를 상기 배출 수단에 의해 배출함으로써, 폐액 처리를 계속적으로 실시 가능한 것인 폐액 처리 장치.