JP2020105538A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 201
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 41
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018241977A JP7269000B2 (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機elパネルの製造システム |
| KR1020190164050A KR102853777B1 (ko) | 2018-12-26 | 2019-12-10 | 기판 재치 방법, 성막 방법, 성막 장치, 및 유기 el 패널의 제조 시스템 |
| CN201911324615.9A CN111378932B (zh) | 2018-12-26 | 2019-12-20 | 基板载置方法、成膜方法、成膜装置及有机el面板的制造系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018241977A JP7269000B2 (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機elパネルの製造システム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020105538A JP2020105538A (ja) | 2020-07-09 |
| JP2020105538A5 true JP2020105538A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) | 2022-01-11 |
| JP7269000B2 JP7269000B2 (ja) | 2023-05-08 |
Family
ID=71216906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018241977A Active JP7269000B2 (ja) | 2018-12-26 | 2018-12-26 | 基板載置方法、成膜方法、成膜装置、および有機elパネルの製造システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7269000B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| KR (1) | KR102853777B1 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| CN (1) | CN111378932B (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7337108B2 (ja) * | 2021-01-28 | 2023-09-01 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント装置、成膜装置および調整方法 |
| KR102549181B1 (ko) * | 2021-03-09 | 2023-06-29 | 피에스케이홀딩스 (주) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
| JP7462696B2 (ja) * | 2022-04-25 | 2024-04-05 | キヤノントッキ株式会社 | ワーク保持装置、アライメント装置及び成膜装置 |
| JP2024035289A (ja) * | 2022-09-02 | 2024-03-14 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、成膜装置の駆動方法、及び成膜方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3789857B2 (ja) | 2002-06-25 | 2006-06-28 | トッキ株式会社 | 蒸着装置 |
| JP4510609B2 (ja) | 2004-12-21 | 2010-07-28 | 株式会社アルバック | 基板とマスクのアライメント方法および有機薄膜蒸着方法ならびにアライメント装置 |
| JP4773834B2 (ja) * | 2006-02-03 | 2011-09-14 | キヤノン株式会社 | マスク成膜方法およびマスク成膜装置 |
| JP5132213B2 (ja) | 2007-07-18 | 2013-01-30 | 富士フイルム株式会社 | 蒸着装置及び蒸着方法並びにその方法を用いてパターン形成した層を有する電子素子及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| WO2009084623A1 (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Canon Anelva Corporation | 処理装置、並びに電子放出素子及び有機elディスプレイの生産方法 |
| JP2010086809A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Canon Anelva Corp | 保持装置、マスクのアライメント方法、基板処理装置、電子放出素子ディスプレイの生産方法及び有機elディスプレイの生産方法 |
| TWI401832B (zh) * | 2008-12-15 | 2013-07-11 | Hitachi High Tech Corp | Organic electroluminescent light making device, film forming apparatus and film forming method, liquid crystal display substrate manufacturing apparatus, and calibration apparatus and calibration method |
| CN105026051A (zh) * | 2013-02-26 | 2015-11-04 | 东丽工程株式会社 | 基板处理装置、掩模设置方法、膜形成装置及膜形成方法 |
| JP6250999B2 (ja) * | 2013-09-27 | 2017-12-20 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント方法並びにアライメント装置 |
| JP6500103B2 (ja) * | 2015-06-12 | 2019-04-10 | 株式会社アルバック | 基板保持装置及び成膜装置 |
| JP6448067B2 (ja) * | 2017-05-22 | 2019-01-09 | キヤノントッキ株式会社 | 基板載置方法、基板載置機構、成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法 |
| JP6461235B2 (ja) | 2017-05-22 | 2019-01-30 | キヤノントッキ株式会社 | 基板載置装置、成膜装置、基板載置方法、成膜方法、および電子デバイスの製造方法 |
| JP6468540B2 (ja) * | 2017-05-22 | 2019-02-13 | キヤノントッキ株式会社 | 基板搬送機構、基板載置機構、成膜装置及びそれらの方法 |
| KR101866139B1 (ko) * | 2017-08-25 | 2018-06-08 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 얼라인먼트 방법, 얼라인먼트 장치, 이를 포함하는 진공증착방법 및 진공증착장치 |
-
2018
- 2018-12-26 JP JP2018241977A patent/JP7269000B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-10 KR KR1020190164050A patent/KR102853777B1/ko active Active
- 2019-12-20 CN CN201911324615.9A patent/CN111378932B/zh active Active